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JP2009541073A - Jet machining apparatus and method - Google Patents

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JP2009541073A
JP2009541073A JP2009516459A JP2009516459A JP2009541073A JP 2009541073 A JP2009541073 A JP 2009541073A JP 2009516459 A JP2009516459 A JP 2009516459A JP 2009516459 A JP2009516459 A JP 2009516459A JP 2009541073 A JP2009541073 A JP 2009541073A
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cartridge
interface
fluid
abrasive
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JP2009516459A
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Japanese (ja)
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マイケル・ウィリアム・ガッド
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Disco Corp
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    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C7/00Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置は研磨材が予め充填された空洞を有する。カートリッジアセンブリは、カートリッジアセンブリの第1の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されている。カートリッジアセンブリの第1の端部はさらに、ジェット加工装置のカートリッジアセンブリインタフェースとの係合のためのものである。カートリッジアセンブリは、また、カートリッジアセンブリをカートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するために第1の端部から離隔した位置でプレスと係合するように配設されている。装置はまたカートリッジアセンブリインタフェースおよびプレスにも及ぶ。
【選択図】 図6A
A cartridge assembly apparatus for jet machining has a cavity prefilled with an abrasive. The cartridge assembly is configured to pressure inject a machining fluid-abrasive mixture from a first end of the cartridge assembly. The first end of the cartridge assembly is further for engagement with a cartridge assembly interface of the jet processing apparatus. The cartridge assembly is also arranged to engage the press at a position spaced from the first end to engage and hold the cartridge assembly with the cartridge assembly interface. The device also extends to the cartridge assembly interface and press.
[Selection] FIG. 6A

Description

本発明は、ジェット加工に使用するためのカートリッジアセンブリ装置に関する。本発明はまた、ジェット加工に使用するための、研磨材が予め充填されたカートリッジアセンブリを有する装置に関する。   The present invention relates to a cartridge assembly apparatus for use in jet machining. The present invention also relates to an apparatus having a cartridge assembly pre-filled with abrasive material for use in jet machining.

精密機械加工が要求される多くの用途では研磨流体ジェットシステム(アブレシブジェットシステム)が使用されている。ある型式のアブレシブジェットシステムでは、貯留され、圧力容器から加圧下で放出されて、流体キャリヤと混合されて流体−研磨材混合物を形成する研磨材を用いている。その際、混合物は通常、ノズルによって加速され、例えば基板の切断の様な機械加工のための流体−研磨材ジェットを形成する。   In many applications where precision machining is required, an abrasive fluid jet system (abrasive jet system) is used. One type of abrasive jet system uses an abrasive that is stored and discharged under pressure from a pressure vessel and mixed with a fluid carrier to form a fluid-abrasive mixture. In so doing, the mixture is typically accelerated by a nozzle to form a fluid-abrasive jet for machining, such as cutting a substrate.

そのような既存のシステムでは、流体−研磨材混合物を混合すること、および、混合物が噴出されるためのノズルへ配給することを要とする。混合物が確実に汚染されないように配慮しなければならず、さもなければ、ノズルもシステム全体も最善の稼動は為されないものである。例えば、ノズルは混合物の汚染物質によって詰まる可能性がある。   Such existing systems require mixing the fluid-abrasive mixture and delivering it to the nozzle for the mixture to be ejected. Care must be taken to ensure that the mixture is not contaminated, otherwise the nozzle and the entire system will not perform optimally. For example, the nozzle can become clogged with contaminants in the mixture.

標準的な高精度ジェット加工システムは一般に、流体−研磨材混合物を圧力容器に充填するためにバッチプロセスを使用する。圧力容器には流体(例えば水)および研磨材が供給される。流体−研磨材混合物は、その後、加圧されノズルに配給されて、そこで混合物は高速でノズルから放出され、高精度の機械加工が達成される。流体−研磨材混合物の特定のバッチが使い果たされると、機械加工プロセスを停止しなければならず、プロセスを再開する前に混合物の新しいバッチを補給しなければならない。一般に、約15リットルの容量の容器を直径約0.25mmのノズルとともに使用した場合、流体−研磨材混合物を約30分の機械加工に供給することができる。流体−研磨材混合物の研磨材粒子のサイズは、一般に、最大でノズル直径の3分の1であり、それを超えるとノズルは過大粒子によって容易に詰まることになる。   Standard high precision jet processing systems generally use a batch process to fill a pressure vessel with a fluid-abrasive mixture. The pressure vessel is supplied with a fluid (eg, water) and an abrasive. The fluid-abrasive mixture is then pressurized and delivered to the nozzle where it is discharged from the nozzle at high speed to achieve high precision machining. When a particular batch of fluid-abrasive mixture is used up, the machining process must be stopped and a new batch of mixture must be replenished before the process can be resumed. Generally, when a container with a capacity of about 15 liters is used with a nozzle with a diameter of about 0.25 mm, the fluid-abrasive mixture can be fed for about 30 minutes of machining. The size of the abrasive particles of the fluid-abrasive mixture is typically at most one third of the nozzle diameter, beyond which the nozzle will be easily clogged with oversized particles.

また、より小さなサイズの研磨材粒子を使用すると、結果的にノズル口径の小さなノズルを使用することになることもわかっている。同様に、それに相当して、圧力容器の寸法/容量が減少することも理解されるものである。しかし、圧力容器の寸法が小さくなると、容器を充填するうえで問題となり得る。容器がより小さくなるにつれて、容器充填のための標準的な装置は相対的には大きくなるので、小さい容器を充填するためには不適格であるとみなされるものである。   It has also been found that the use of smaller size abrasive particles results in the use of a nozzle having a smaller nozzle diameter. Similarly, it should be understood that the size / capacity of the pressure vessel is correspondingly reduced. However, reducing the size of the pressure vessel can be a problem in filling the vessel. As containers become smaller, standard equipment for filling containers becomes relatively large and is considered unqualified for filling small containers.

また、沈降の問題もある。機械加工装置の作動においては、研磨材粒子が一般に内部または容器の底部に向けて沈降することを要する。「通常サイズの」粒子による流体−研磨材混合物の標準的なバッチが補給された後、適切な濃度の研磨材粒子が容器内部の底部に向けて配置されるまでに研磨材粒子が容器の底部に向けて沈降するにはわずか数分ほどしかかからない。しかし、より小さな直径のノズルで使用されるより小さな研磨材粒子は、沈降するのにかなり長い時間を要する。ノズル口の大きさを約50ミクロンほどまで縮小した場合(そして粒子はノズル直径のせいぜい3分の1の大きさでなければならないという一般的経験則を適用すれば)、小さいサイズの研磨材粒子が流体−研磨材混合物において十分に沈降するために必要な沈降時間は多大な時間と成り得る。これは極めて望ましくない状況である。例えば、より小さなサイズの研磨材粒子を有する混合物を容器に装填し、機械加工が開始できる前に、混合物中の研磨材粒子が沈降するために何時間も待たなければならないことは、費用対効果がよいとは思われない。   There is also a problem of sedimentation. In the operation of the machining apparatus, it is generally necessary for the abrasive particles to settle towards the interior or the bottom of the container. After a standard batch of fluid-abrasive mixture with “normally sized” particles is replenished, the abrasive particles are placed at the bottom of the container until the appropriate concentration of abrasive particles is placed towards the bottom inside the container. It only takes a few minutes to settle towards However, the smaller abrasive particles used in smaller diameter nozzles require a much longer time to settle. When the nozzle mouth size is reduced to about 50 microns (and applying the general rule of thumb that the particles should be no more than one third of the nozzle diameter), the small abrasive particles The settling time required for the liquid to settle sufficiently in the fluid-abrasive mixture can be significant. This is a highly undesirable situation. For example, it can be cost-effective to load a mixture with smaller size abrasive particles into a container and wait for hours for the abrasive particles in the mixture to settle before machining can begin. I don't think it's good.

これらの課題に対処しようとする1つのシステムがWO99/14015に開示されている。予め充填された研磨材を収容する密封カートリッジがマイクロジェット加工装置に装填または接続される。予め充填されたカートリッジを使用することによって、カートリッジを保存することにより使用前に混合物を沈降させている。カートリッジは、単に、例えば一夜だけ保存した後、次の日に機械加工プロセスに使用することができる。さらに、カートリッジへの混合物の事前装填はきれいな環境で行うことができ、それによってWO99/14015中のノズル16を詰まらせ得る物質で混合物が汚染される可能性を低減している。100ミクロン未満のノズル直径の場合、1時間の機械加工のための研磨材貯留容器の容量は通常1リットル未満である。この容量の研磨材貯留容器の胴部は、オペレータが容易に取り扱うことができ、それによって、研磨材および流体を収容するカートリッジを変更することができる。   One system that attempts to address these issues is disclosed in WO 99/14015. A sealed cartridge containing pre-filled abrasive is loaded or connected to the microjet processing apparatus. By using a pre-filled cartridge, the mixture is allowed to settle before use by storing the cartridge. The cartridge can simply be stored, for example overnight, and then used in the machining process the next day. Furthermore, preloading of the mixture into the cartridge can be done in a clean environment, thereby reducing the possibility of contamination of the mixture with substances that can clog the nozzle 16 in WO 99/14015. For nozzle diameters less than 100 microns, the capacity of the abrasive reservoir for 1 hour machining is usually less than 1 liter. The barrel of this capacity abrasive reservoir can be easily handled by the operator, thereby changing the cartridge containing the abrasive and fluid.

WO99/14015のシステムは、容器の内部形状に合致した外部形状を有する、高密度ポリエチレンのようなポリマー材製の、カートリッジを用いている。容器は一体に螺合する胴部および基部を有する。カートリッジは、導管との接続およびノズルへの配給のために基部の通路と嵌合する通路を含むネジ蓋を有する。カートリッジは使用中に直立するように構成されており、加圧された流体−研磨材混合物をカートリッジ底面の開口を介してカートリッジから射出するように構成されている。   The system of WO 99/14015 uses a cartridge made of a polymer material such as high density polyethylene having an external shape that matches the internal shape of the container. The container has a barrel and a base that are screwed together. The cartridge has a screw cap that includes a passage that mates with a passage in the base for connection to the conduit and delivery to the nozzle. The cartridge is configured to stand upright during use and is configured to eject a pressurized fluid-abrasive mixture from the cartridge through an opening in the bottom of the cartridge.

この構成にはいくつかの問題点がある。第一に、このカートリッジの構成においては、望ましからぬ漏れを防止するために複雑な封止機構を要する。カートリッジおよび蓋は、カートリッジの内圧をカートリッジのネジ部分に作用させるように配設されたシール部材を有し、その内圧作用によって、そのシール部材を蓋のネジに合うように変形させて更なる封止を付与するものであるが、当然ながら、多くのシールと同様、これらは漏洩しがちであり、その問題は、出口開口がカートリッジの底面にあるという事実によってより一層悪化するが、つまり、その事実によって、あらゆる不良または摩耗シールに漏れを生じるということである。さらに、このネジ構成は扱いにくく、研磨材の何らかの浮遊粒子によって、特にそうした浮遊粒子がネジ山に入った場合、損傷を受ける可能性がある。一般に、ネジ構成は、混合物の汚染およびノズルの詰まりを回避しようとするためには理想的な形式の「クリーンルーム」環境には役立たない。   There are several problems with this configuration. First, this cartridge configuration requires a complex sealing mechanism to prevent unwanted leakage. The cartridge and the lid have a seal member disposed so as to apply the internal pressure of the cartridge to the screw portion of the cartridge, and the internal pressure action causes the seal member to be deformed to fit the screw of the lid, thereby further sealing. Of course, like many seals, they tend to leak and the problem is exacerbated by the fact that the outlet opening is at the bottom of the cartridge, i.e. The fact is that any bad or worn seal will leak. Furthermore, this screw configuration is cumbersome and can be damaged by any suspended particles of the abrasive, especially if they enter the thread. In general, screw configurations do not lend themselves to an ideal type of “clean room” environment in order to avoid contamination of the mixture and nozzle clogging.

WO99/14015WO99 / 14015

本質的に、開示された上記構成は、故障を起こし易い多数の構成要素を伴う複雑な解決策を提供するものであるが、それによって装置に損傷をもたらし得るものである。   In essence, the disclosed configuration provides a complex solution with a large number of components that are prone to failure, which can cause damage to the device.

さらに、装置の保守は一般に、ネジ山/ネジの配設に起因する清掃上の現実問題を提起する問題であり、カートリッジ開口は使用中にカートリッジの底面に位置するように配設されている。   In addition, device maintenance is generally a problem that poses a real cleaning problem due to thread / screw placement, and the cartridge opening is located at the bottom of the cartridge during use.

本発明は独立請求項に記載されている。本発明のいくつかの任意の特徴要件は従属請求項に記載されている。   The invention is set out in the independent claims. Some optional features of the invention are described in the dependent claims.

カートリッジアセンブリの第1の端部(流体−研磨材混合物が加圧下に押し出される同じ端部)でカートリッジアセンブリインタフェース(装置の実施例ではマニホールドである)と係合するように配設されたカートリッジアセンブリを設けることによって、カートリッジアセンブリの第1の端部から離隔されカートリッジをインタフェースと係合して保持するためのプレスは、マニホールドとアセンブリとの係合を比較的単純な方法で達成することができる。これはきれいな環境に貢献し、結果として、汚染および漏れの恐れを低減するものである。さらに、カートリッジアセンブリとマニホールドとの間の単純なインタフェースに漏れがある場合も、あらゆる漏れの清掃は遥かに容易に行える。   A cartridge assembly disposed to engage a cartridge assembly interface (which is a manifold in the device embodiment) at a first end of the cartridge assembly (the same end at which the fluid-abrasive mixture is extruded under pressure). By providing the press, the press spaced apart from the first end of the cartridge assembly to hold the cartridge in engagement with the interface can achieve the engagement of the manifold and assembly in a relatively simple manner. . This contributes to a clean environment and consequently reduces the risk of contamination and leakage. Furthermore, if there is a leak at the simple interface between the cartridge assembly and the manifold, cleaning any leaks is much easier.

さらに、流体−研磨材混合物が重力に逆らって(すなわち実質的に上方向に)カートリッジから射出するように構成することによって、不良または摩耗シールに関係する問題は軽減され得る。当然、これらのシール部材が不良である場合、それから生じる問題は、重力の下でカートリッジアセンブリの出口開口から離れたカートリッジアセンブリ底部に向けて沈降するという流体−研磨材混合物の自然な傾向によって軽減される。この構成は、混合物の射出のための開口が使用時においてカートリッジアセンブリの上面に位置するように配設された場合、特に有利であることがわかる。   Further, by configuring the fluid-abrasive mixture to eject from the cartridge against gravity (ie, substantially upward), problems associated with poor or wear seals may be reduced. Of course, if these seal members are defective, the resulting problems are alleviated by the natural tendency of the fluid-abrasive mixture to settle towards the bottom of the cartridge assembly away from the outlet opening of the cartridge assembly under gravity. The This arrangement proves to be particularly advantageous when the opening for the injection of the mixture is arranged so that it is located on the upper surface of the cartridge assembly in use.

装置の実施例によって、以下の更なる利点を説明する。脱着可能カートリッジはプラグアンドプレイ機能性(接続すれば直ぐに使用できる機能性)を備える消費アイテムとしてセット販売可能である。   The following further advantages are explained by means of an embodiment of the device. The removable cartridge can be sold as a set as a consumable item having plug-and-play functionality (functionality that can be used immediately upon connection).

汚染されたカートリッジは容易に処分することができる。汚染された従来の圧力容器は、汚染物質を除去するうえで相当の労力を費やし、従って保守するために極めてコストがかかる。   Contaminated cartridges can be easily disposed of. Contaminated conventional pressure vessels spend considerable effort in removing contaminants and are therefore very expensive to maintain.

カートリッジはまた、非汚染を保証するためにクリーンルームで包装することができる。カートリッジは研磨材を予め充填することができ、その後に、流体を加えて流体−研磨材混合物を形成することができる。カートリッジは流体−研磨材混合物を予め充填して提供することができる。重要な考慮すべき点は、カートリッジアセンブリが設置された機械加工装置の作動前に流体−研磨材混合物を十分に沈降させるということである。   The cartridge can also be packaged in a clean room to ensure non-contamination. The cartridge can be pre-filled with abrasive and then fluid can be added to form a fluid-abrasive mixture. The cartridge can be provided pre-filled with a fluid-abrasive mixture. An important consideration is that the fluid-abrasive mixture settles sufficiently prior to operation of the machining apparatus in which the cartridge assembly is installed.

装置の第1の実施例を示す略図である。1 schematically illustrates a first embodiment of the device. 装置の第2の実施例を示す略図である。2 is a schematic diagram showing a second embodiment of the apparatus. カートリッジアセンブリの具体例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the specific example of a cartridge assembly. カートリッジアセンブリインタフェース、カートリッジアセンブリおよびプレスの分解した状態を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an exploded state of the cartridge assembly interface, the cartridge assembly, and the press. カートリッジアセンブリインタフェース、カートリッジアセンブリおよびラムを組み立てたカートリッジアセンブリ装置の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a cartridge assembly apparatus in which a cartridge assembly interface, a cartridge assembly, and a ram are assembled. カートリッジアセンブリ装置の封止構成の実施例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the Example of the sealing structure of a cartridge assembly apparatus. カートリッジアセンブリ装置の実施例を示す縦断正面図である。It is a vertical front view which shows the Example of a cartridge assembly apparatus. カートリッジアセンブリ装置の実施例を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows the Example of a cartridge assembly apparatus.

ここで本発明を単なる一実施例として添付図面を参照して説明する。   The present invention will now be described by way of example only with reference to the accompanying drawings.

ここで図1Aおよび図1Bを参照すると、カートリッジアセンブリ装置を組み込んでいるジェット加工用の装置の略図が示されている。装置10は、機械加工用の流体−研磨材混合物を供給するために研磨材16が予め充填された空洞14を有するカートリッジ13を含むカートリッジアセンブリ12を有する(図1Aに示されたように、カートリッジは完全に充填される必要はなく、部分的な事前充填で十分である)。カートリッジアセンブリ12はまた、単数または複数の開口34および単数または複数の導管32を通じて空洞14に流入する加圧流体からの加圧を受ける時にカートリッジ13を収容するための圧力容器18を備える。カートリッジは、単数または複数の開口28および単数または複数の導管30を通じたカートリッジアセンブリ12の第1の端部26から流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されている。   Referring now to FIGS. 1A and 1B, there is shown a schematic diagram of an apparatus for jet machining incorporating a cartridge assembly apparatus. The apparatus 10 has a cartridge assembly 12 that includes a cartridge 13 having a cavity 14 pre-filled with abrasive 16 to supply a fluid-abrasive mixture for machining (as shown in FIG. 1A). Need not be completely filled, partial prefilling is sufficient). The cartridge assembly 12 also includes a pressure vessel 18 for receiving the cartridge 13 when subjected to pressurization from the pressurized fluid flowing into the cavity 14 through the one or more openings 34 and the one or more conduits 32. The cartridge is configured to pressurize a fluid-abrasive mixture from the first end 26 of the cartridge assembly 12 through the one or more openings 28 and the one or more conduits 30.

また、カートリッジアセンブリ12の第1の端部26と係合し、機械加工のためにカートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェース20(装置の実施例においてこれはマニホールドである)も示されている。導管30および32を、カートリッジアセンブリインタフェース20内の、少なくともその一部分に、設けることができる。   Also, a cartridge assembly interface 20 (in the embodiment of the apparatus, this is a manifold) for engaging the first end 26 of the cartridge assembly 12 and for delivering a fluid-abrasive mixture from the cartridge assembly for machining. ) Is also shown. Conduits 30 and 32 can be provided in at least a portion of the cartridge assembly interface 20.

カートリッジアセンブリ12およびマニホールド20は、互いに係合および/または嵌合する実質的に平坦なまたは相補的な表面15、17を備える滑らかで凹凸のない連接面が得られるように配設されている。装置の実施例において、これらは(開口28、34を除き)実質的に連続的な表面であるように配設されている。装置の実施例において、カートリッジアセンブリインタフェース/マニホールドと係合するように配設されたカートリッジアセンブリの平坦な表面は、マニホールドと係合する実質的に表面領域全体にわたって延在し、それゆえ比較的単純な連接面を保証するものである。この構成は比較的単純な連接面をもたらし、それはまた比較的「クリーン」であり、容易な保守および清掃に貢献するものである。   The cartridge assembly 12 and the manifold 20 are arranged to provide a smooth, uneven connection surface with substantially flat or complementary surfaces 15, 17 that engage and / or mate with each other. In the device embodiment, they are arranged to be substantially continuous surfaces (except for apertures 28, 34). In an embodiment of the apparatus, the flat surface of the cartridge assembly arranged to engage the cartridge assembly interface / manifold extends over substantially the entire surface area engaging the manifold and is therefore relatively simple. This guarantees a proper connecting surface. This configuration results in a relatively simple articulating surface that is also relatively “clean” and contributes to easy maintenance and cleaning.

装置の実施例において、カートリッジ13は加圧容器の内面と相補的な外面を有するプラスチック製の本体を備える。従って、カートリッジは圧力容器に精密に適合し、容器は加圧流体がカートリッジに導入された時にカートリッジの過度の変形を防止するものである。   In an embodiment of the apparatus, the cartridge 13 comprises a plastic body having an outer surface that is complementary to the inner surface of the pressurized container. Thus, the cartridge fits precisely into the pressure vessel, which prevents excessive deformation of the cartridge when pressurized fluid is introduced into the cartridge.

また、カートリッジアセンブリの第1の端部26から離隔した位置23でのカートリッジアセンブリ12との係合のためのプレス22が示されている。プレス22がカートリッジアセンブリ12と係合する位置は、符号25によって示された通りカートリッジアセンブリ12の第1の端部26から離隔している。(装置の実施例において、第1の端部はマニホールド20と係合するカートリッジアセンブリの全体部分とみなすことができ、従って、プレス22とカートリッジアセンブリ12との間の係合の位置が第1の端部26から離隔している限り、カートリッジアセンブリ12とマニホールド20との間に比較的単純な連結が達成し得る。)装置の実施例において、位置23は、カートリッジアセンブリ12上の、第1の端部26の遠位に、例えば第1の端部に対向する端部に、配置されている。   Also shown is a press 22 for engagement with the cartridge assembly 12 at a location 23 spaced from the first end 26 of the cartridge assembly. The position where the press 22 engages the cartridge assembly 12 is spaced from the first end 26 of the cartridge assembly 12 as indicated by reference numeral 25. (In the embodiment of the apparatus, the first end can be considered as the entire part of the cartridge assembly that engages the manifold 20, so that the position of engagement between the press 22 and the cartridge assembly 12 is the first position. As long as it is spaced from the end 26, a relatively simple connection between the cartridge assembly 12 and the manifold 20 can be achieved.) In an embodiment of the device, the position 23 is the first on the cartridge assembly 12. Disposed distally of the end 26, for example, at the end opposite the first end.

プレスは、カートリッジアセンブリ12に保持力を加えて、カートリッジアセンブリ12がカートリッジアセンブリインタフェース20に係合した状態で、カートリッジアセンブリ12を保持する。プレス22は、方向24に移動してカートリッジアセンブリ12と係合し、アセンブリに保持力を加えることや、引き下がることによって、カートリッジアセンブリ12をカートリッジアセンブリインタフェース20へ挿入させたり、カートリッジアセンブリインタフェース20から後退させるように構成されている。装置の実施例は、プレスがネジによる構成または他の何らかの適切な構成によって、油圧式、空気圧式に駆動することができる。   The press applies a holding force to the cartridge assembly 12 to hold the cartridge assembly 12 with the cartridge assembly 12 engaged with the cartridge assembly interface 20. The press 22 moves in the direction 24 to engage the cartridge assembly 12 and applies the holding force to the assembly or pulls it down to allow the cartridge assembly 12 to be inserted into or retracted from the cartridge assembly interface 20. It is configured to let you. Embodiments of the device can be driven hydraulically, pneumatically, with the press being a screw configuration or any other suitable configuration.

プレスの代替位置が符号22aによって示されており、そこで代替位置22aのプレスは距離25aだけカートリッジアセンブリの第1の端部から離隔した位置でカートリッジアセンブリ12と係合する。代替位置22aのプレスは、図に示す24aの方向に移動して、保持力を及ぼすか、或いは、カートリッジアセンブリの取り外しを可能にするために後退するように構成されている。明確化のために省略されているが、装置の実施例において、代替位置22aのプレスはカートリッジアセンブリ12の外面の凹部と係合する。   An alternative position of the press is indicated by reference numeral 22a, where the press at alternative position 22a engages cartridge assembly 12 at a distance 25a away from the first end of the cartridge assembly. The press at the alternative position 22a is configured to move in the direction of 24a shown in the figure to apply a holding force or retract to allow removal of the cartridge assembly. Although omitted for clarity, in an embodiment of the apparatus, the press at alternate location 22a engages a recess in the outer surface of cartridge assembly 12.

装置の代替構成が図1Bによって示されており、ここにおいて同じ符号は図1Aに示されたのと同じ部品を示す。この実施例において、カートリッジは、本体13bおよび、研磨材16および流体−研磨材混合物を空洞14に密閉するための密封クロージャ手段13aを備える。流体−研磨材混合物はクロージャ手段13aの開口(図示せず)によってカートリッジ13を出る。装置のこの実施例において、プレス自体が、カートリッジを収容し、カートリッジ13をカートリッジアセンブリインタフェース(マニホールド)20と係合させた状態で保持するように配設された圧力容器である。プレス22の駆動機構は、プレスを符号25aおよび25bの各距離の方向に駆動するように配設された符号22aおよび22bの位置に示された幾つかの手段のいずれかで作動されるものである。   An alternative arrangement of the device is illustrated by FIG. 1B, where like numerals indicate the same parts as shown in FIG. 1A. In this embodiment, the cartridge comprises a body 13b and a sealing closure means 13a for sealing the abrasive 16 and fluid-abrasive mixture to the cavity 14. The fluid-abrasive mixture exits the cartridge 13 through an opening (not shown) in the closure means 13a. In this embodiment of the apparatus, the press itself is a pressure vessel arranged to contain the cartridge and hold the cartridge 13 in engagement with the cartridge assembly interface (manifold) 20. The drive mechanism of the press 22 is actuated by any of several means shown at the positions 22a and 22b arranged to drive the press in the direction of each distance 25a and 25b. is there.

装置の実施例において、カートリッジアセンブリは一体型の加圧ユニットである。   In the apparatus embodiment, the cartridge assembly is an integral pressure unit.

ここで図2を参照すると、装置の1実施例に基づくカートリッジアセンブリの構成要素の斜視図が示されている。カートリッジアセンブリ12は、密封カートリッジ13および、カートリッジ13を開口38に受け入れるための圧力容器18よりなる。カートリッジ13はカートリッジの第1の端部26に開口34、28を備える。装置のこの実施例において、圧力容器18はプレス(図示せず)と係合するための表面42を有する。圧力容器18本体の外面上に設けたキー44は、プレス(図示せず)に設けたキー溝(図示せず)と係合するように適応されている。さらに、圧力容器18には、圧力容器18の物理的操作、およびカートリッジアセンブリ12全体の物理的操作においてオペレータの助けとなるためのハンドル手段40が具備されている。   Referring now to FIG. 2, a perspective view of the components of the cartridge assembly according to one embodiment of the apparatus is shown. The cartridge assembly 12 includes a sealed cartridge 13 and a pressure vessel 18 for receiving the cartridge 13 in the opening 38. The cartridge 13 includes openings 34 and 28 at the first end 26 of the cartridge. In this embodiment of the apparatus, the pressure vessel 18 has a surface 42 for engaging a press (not shown). A key 44 provided on the outer surface of the main body of the pressure vessel 18 is adapted to engage with a key groove (not shown) provided in a press (not shown). In addition, the pressure vessel 18 is provided with handle means 40 to assist the operator in the physical operation of the pressure vessel 18 and the physical operation of the entire cartridge assembly 12.

装置の実施例の分解斜視図を図3に示す。機械加工プロセス用の流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェース(マニホールド)20が示されている。また図示の通り、カートリッジアセンブリ12は、本質的にカートリッジアセンブリ12の第1の端部26全体に延在する実質的に平坦な上面17をカートリッジアセンブリの第1の端部26に有する。実質的に平坦な上面17は、マニホールド20の下面20aの内部開口(図示せず)の対応する実質的に平坦な表面と係合して嵌合するためのものである。マニホールド20は、マニホールド本体を貫通し、上面52の開口50において突出する導管を、マニホールド20の上面52に有する。   An exploded perspective view of an embodiment of the apparatus is shown in FIG. Shown is a cartridge assembly interface (manifold) 20 for dispensing a fluid-abrasive mixture for a machining process. Also as shown, the cartridge assembly 12 has a substantially flat top surface 17 at the first end 26 of the cartridge assembly that extends essentially the entire first end 26 of the cartridge assembly 12. The substantially flat top surface 17 is for engaging and mating with a corresponding substantially flat surface of an internal opening (not shown) in the bottom surface 20a of the manifold 20. The manifold 20 has a conduit on the upper surface 52 of the manifold 20 that passes through the manifold body and protrudes at an opening 50 in the upper surface 52.

また、この実施例では油圧ラムよりなるプレス22も示されている(ラムの動作のための油圧回路は明確化のために省略されているが)。ラム22はカートリッジアセンブリ12の凸面42と係合するための内部凹面43を有する。ラム22はまた、内方リップ48に、カートリッジアセンブリ12のキー44との係合のためのキー溝46を備える。キーとキー溝との組合せはラム22をカートリッジアセンブリ12に固定する手段を提供するものである。この係合手段の効果を達成させるために、オペレータはカートリッジアセンブリ12をラム22の内部開口に入れて、垂直平面におけるカートリッジアセンブリ12の縦軸(図示せず)を中心にカートリッジアセンブリ12を捻じって、キー44をキー溝46に係合させる。油圧ラム22は、その後カートリッジアセンブリ12をマニホールド20と係合させるように操作される。その後、加圧流体がマニホールド20の開口50、および、カートリッジアセンブリ12のカートリッジ13の上面26の開口34、28を通じてカートリッジアセンブリ12の空洞14(図示せず)に導入される。流体−研磨材混合物は、その後、機械加工での使用のためにカートリッジアセンブリから加圧射出するように配置される。   Also shown in this embodiment is a press 22 consisting of a hydraulic ram (although the hydraulic circuit for ram operation is omitted for clarity). The ram 22 has an internal concave surface 43 for engaging the convex surface 42 of the cartridge assembly 12. The ram 22 also includes a keyway 46 in the inner lip 48 for engagement with the key 44 of the cartridge assembly 12. The key and keyway combination provides a means for securing the ram 22 to the cartridge assembly 12. In order to achieve the effect of this engagement means, the operator places the cartridge assembly 12 into the internal opening of the ram 22 and twists the cartridge assembly 12 about the longitudinal axis (not shown) of the cartridge assembly 12 in a vertical plane. Thus, the key 44 is engaged with the key groove 46. The hydraulic ram 22 is then manipulated to engage the cartridge assembly 12 with the manifold 20. Thereafter, pressurized fluid is introduced into the cavity 14 (not shown) of the cartridge assembly 12 through the opening 50 of the manifold 20 and the openings 34, 28 of the top surface 26 of the cartridge 13 of the cartridge assembly 12. The fluid-abrasive mixture is then arranged to be pressure injected from the cartridge assembly for use in machining.

図4は、カートリッジアセンブリ12、ラム22およびマニホールド20からなる、組み立てられた状態の装置を示している。マニホールド20が、より大きなジェット加工装置の不可欠な部分を構成し得ることは言うまでもない。   FIG. 4 shows the assembled device comprising the cartridge assembly 12, the ram 22 and the manifold 20. It goes without saying that the manifold 20 can constitute an integral part of a larger jet processing apparatus.

図5は、カートリッジアセンブリの封止機能を例示するためのカートリッジアセンブリ12の拡大図を示している。開口34、28にはOリングが挿入されるスロット54が備えられており、それによってカートリッジアセンブリ12がマニホールド20と係合した時に開口34、28の周りにシール部が得られる。開口34、28はカートリッジアセンブリ12の外周縁55の近傍に配設され、それによってOリングシールからのカートリッジのあらゆる変形を最小限にしている。カートリッジアセンブリの公差は、カートリッジアセンブリ12がプレス22を操作することによってマニホールド20と係合した時に、Oリングがシール部を形成できる程度の公差である。これらのシール部は、圧力容器の内部が大気圧であるので、特に強力である必要はない。使用中、圧力容器およびカートリッジの内部全体が圧力容器内のカートリッジ側の遊嵌による助力によって同じ圧力となるまで水が注がれるので、スロット56内の圧力容器シール用のOリングは、全作用圧力差を受ける。カートリッジ頂部のシール部は、カートリッジ内の所要の管路内に流れを誘導するために密閉するだけのものである。それだけで、それらは極めて小さな圧力差を受けるのみである。カートリッジアセンブリ12はまた、圧力容器18の周囲に配設されたOリング用のスロット56を有する。この設計の利点は、(開口34、28の周りの、および、スロット56の)全てのシール部が、マニホールド20にではなくカートリッジアセンブリにあるということである。この構成は装置の保守をより容易にするものである。Oリングは長持ちする部品ではないので、新たな各カートリッジアセンブリ12が独自のOリングを備えていてもよい。圧力容器の周りのスロット56内に配置された圧力容器シール用のOリングは、必要な場合、極めて容易に取り替えることができる。   FIG. 5 shows an enlarged view of the cartridge assembly 12 to illustrate the sealing function of the cartridge assembly. The openings 34 and 28 are provided with slots 54 into which O-rings are inserted, thereby providing a seal around the openings 34 and 28 when the cartridge assembly 12 is engaged with the manifold 20. Openings 34, 28 are disposed near the outer peripheral edge 55 of the cartridge assembly 12, thereby minimizing any deformation of the cartridge from the O-ring seal. The tolerance of the cartridge assembly is such that the O-ring can form a seal when the cartridge assembly 12 is engaged with the manifold 20 by operating the press 22. These seal portions do not need to be particularly strong because the inside of the pressure vessel is at atmospheric pressure. During use, water is poured until the pressure vessel and the entire inside of the cartridge have the same pressure with the help of loose fitting on the cartridge side in the pressure vessel, so the O-ring for sealing the pressure vessel in the slot 56 Subject to pressure differential. The seal at the top of the cartridge only seals to direct flow into the required conduit in the cartridge. As such, they are only subjected to very small pressure differences. The cartridge assembly 12 also has an O-ring slot 56 disposed around the pressure vessel 18. The advantage of this design is that all seals (around openings 34, 28 and in slot 56) are in the cartridge assembly, not in manifold 20. This configuration makes maintenance of the apparatus easier. Since the O-ring is not a long-lasting part, each new cartridge assembly 12 may have its own O-ring. The pressure vessel sealing O-ring located in the slot 56 around the pressure vessel can be very easily replaced if necessary.

カートリッジアセンブリ12の頂部に穴が配設されているので、カートリッジアセンブリ12がマニホールドから取り外される時に、Oリング漏れによるあらゆる汚損の危険性は著しく低減する。   Because the hole is disposed at the top of the cartridge assembly 12, the risk of any fouling due to O-ring leakage is significantly reduced when the cartridge assembly 12 is removed from the manifold.

図6Aおよび図6Bは、マニホールド20およびカートリッジアセンブリ12内部の導管の断面図を示している。流体−研磨材混合物の攪拌、混合および供給については、本願と共通の出願人による国際公開第WO02/085573号公報に記載の通りであり、その公報を参照することにより開示の代用とする。図示の通り、図6Aおよび図6Bの装置は、カートリッジ13および圧力容器18を備えるカートリッジアセンブリ12を含み、ラム22がキー44およびキー溝46によってカートリッジアセンブリ12と係合する。カートリッジアセンブリ12とマニホールド20との間の連接面が示されている。スロット54、56のOリングシールはカートリッジアセンブリ12および導管60、62、64および66を密閉するために設けられている。   6A and 6B show cross-sectional views of the conduit within the manifold 20 and cartridge assembly 12. The stirring, mixing, and supply of the fluid-abrasive mixture are as described in International Publication No. WO 02/085573 by the same applicant as that of the present application, and the disclosure is substituted by referring to that publication. As shown, the apparatus of FIGS. 6A and 6B includes a cartridge assembly 12 comprising a cartridge 13 and a pressure vessel 18 with a ram 22 engaging the cartridge assembly 12 by a key 44 and a keyway 46. The interface between the cartridge assembly 12 and the manifold 20 is shown. O-ring seals in slots 54, 56 are provided to seal cartridge assembly 12 and conduits 60, 62, 64 and 66.

本発明を実施例によってのみ説明したが、本発明の範囲を逸脱することなく種々の設計変更が行い得ることは言うまでもない。本発明の1態様に関して提示された特徴が本発明の他の態様においても適用され得ることは言うまでもない。   Although the invention has been described by way of example only, it will be appreciated that various design changes may be made without departing from the scope of the invention. It will be appreciated that features presented with respect to one aspect of the invention may be applied in other aspects of the invention.

10 装置
12 カートリッジアセンブリ
13 カートリッジ
14 空洞
15 表面
16 研磨材
17 上面
18 圧力容器
20 マニホールド
20a 下面
22 ラム
22a 代替位置
22b 位置
23 位置
24 方向
24a 方向
25 距離
25a 距離
25b 距離
26 第1の端部
28、34 開口
30、32 導管
44 キー
46 キー溝
48 内方リップ
50 開口
52 上面
54 開口Oリング用スロット
55 外周縁
56 圧力容器Oリング用スロット
60、62、64、66 導管
10 Equipment
12 Cartridge assembly
13 cartridge
14 cavity
15 surface
16 Abrasive
17 Top view
18 Pressure vessel
20 Manifold
20a bottom
22 Lamb
22a Alternate position
22b position
23 position
24 directions
24a direction
25 distance
25a distance
25b distance
26 First end
28, 34 opening
30, 32 conduit
44 key
46 Keyway
48 Inner lip
50 openings
52 Top view
54 Opening O-ring slot
55 outer periphery
56 Slot for pressure vessel O-ring
60, 62, 64, 66 conduit

Claims (21)

ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置であって、カートリッジアセンブリは、
研磨材が予め充填された空洞を有しており、前記カートリッジアセンブリはカートリッジアセンブリの第1の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されており、
該第1の端部は更にカートリッジアセンブリインタフェースと係合するように配設されており、
前記カートリッジアセンブリは、更に、前記カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するために該第1の端部から離隔した位置でプレスと係合するように構成されていることを特徴とする、ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置。
A cartridge assembly apparatus for jet machining, wherein the cartridge assembly is
A cavity pre-filled with abrasive material, wherein the cartridge assembly is configured to pressure inject a machining fluid-abrasive mixture from a first end of the cartridge assembly;
The first end is further disposed to engage the cartridge assembly interface;
The cartridge assembly is further configured to engage a press at a location spaced from the first end for engaging and holding the cartridge assembly with the cartridge assembly interface. A cartridge assembly device for jet machining.
ジェット加工用の装置であって、
予め研磨材が充填された空洞を有するカートリッジアセンブリであって、該カートリッジアセンブリの第1の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成された該カートリッジアセンブリと、
前記カートリッジアセンブリの該第1の端部と係合して、機械加工のために該カートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェースと、
該第1の端部から離隔した位置で前記カートリッジアセンブリと係合し、該カートリッジアセンブリに保持力をかけて、該カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するためのプレスと
を備えることを特徴とする、ジェット加工用の装置。
An apparatus for jet machining,
A cartridge assembly having a cavity pre-filled with abrasive material, the cartridge assembly configured to pressurize a fluid-abrasive mixture for machining from a first end of the cartridge assembly;
A cartridge assembly interface for engaging the first end of the cartridge assembly to deliver a fluid-abrasive mixture from the cartridge assembly for machining;
A press for engaging the cartridge assembly at a position spaced from the first end, applying a retention force to the cartridge assembly, and holding the cartridge assembly in engagement with the cartridge assembly interface. An apparatus for jet machining, characterized in that
前記カートリッジアセンブリは、前記第1の端部から離隔した該カートリッジアセンブリの端部にある位置で該プレスと係合するように構成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。   The cartridge assembly according to claim 1 or 2, wherein the cartridge assembly is configured to engage the press at a position at an end of the cartridge assembly spaced from the first end. apparatus. 前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースの相補的表面と係合するように配設された表面を該第1の端部に有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の装置。   4. A cartridge assembly as claimed in any preceding claim, wherein the cartridge assembly has a surface at the first end disposed to engage a complementary surface of the cartridge assembly interface. apparatus. 前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースの実質的に平坦な表面と係合するように配設された実質的に平坦な表面を該第1の端部に有し、それによって該カートリッジアセンブリと該カートリッジアセンブリインタフェースとの間に凹凸のない連接面を付与することを特徴とする、請求項4に記載の装置。   The cartridge assembly has a substantially flat surface at the first end disposed to engage a substantially flat surface of the cartridge assembly interface, whereby the cartridge assembly and the cartridge assembly 5. An apparatus according to claim 4, characterized in that an uninterrupted connecting surface is provided between the cartridge assembly interface. 前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合するように配設された前記カートリッジアセンブリの平坦な表面は、該カートリッジアセンブリインタフェースと係合するために実質的に表面領域全体にわたって延在することを特徴とする、請求項4または5に記載の装置。   The flat surface of the cartridge assembly disposed to engage the cartridge assembly interface extends substantially over the entire surface area to engage the cartridge assembly interface. Item 6. The device according to Item 4 or 5. 前記カートリッジアセンブリインタフェースは、重力に逆らって流体−研磨材混合物を加圧射出するために前記カートリッジアセンブリと連接するように配設されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の装置。   7. The cartridge assembly interface of claim 1, wherein the cartridge assembly interface is arranged to communicate with the cartridge assembly for pressure injection of a fluid-abrasive mixture against gravity. The device described. ジェット加工用の装置であって、
予め研磨材が充填された空洞を有するカートリッジアセンブリと、カートリッジアセンブリは前記カートリッジアセンブリの第1の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するために配設されており、
前記カートリッジアセンブリの該第1の端部と係合し、機械加工のために前記カートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェースと、
前記カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するための保持装置とを備えており、
前記カートリッジアセンブリは、重力に逆らって流体−研磨材混合物を加圧射出するように配設されてなることを特徴とする、ジェット加工用の装置。
An apparatus for jet machining,
A cartridge assembly having a cavity pre-filled with abrasive material, the cartridge assembly being arranged for pressure injection of a machining fluid-abrasive mixture from a first end of said cartridge assembly;
A cartridge assembly interface for engaging the first end of the cartridge assembly and delivering a fluid-abrasive mixture from the cartridge assembly for machining;
A holding device for engaging and holding the cartridge assembly with the cartridge assembly interface;
The apparatus for jet machining, wherein the cartridge assembly is arranged to pressurize and inject a fluid-abrasive mixture against gravity.
前記カートリッジアセンブリは、該カートリッジアセンブリの頂端部から流体−研磨材混合物を加圧射出するように配設されていることを特徴とする、請求項7または8に記載の装置。   9. An apparatus according to claim 7 or 8, wherein the cartridge assembly is arranged to pressurize a fluid-abrasive mixture from the top end of the cartridge assembly. 前記カートリッジアセンブリおよび前記プレスまたは保持装置のうちの1方は凹面を有しており、該カートリッジアセンブリおよびプレスまたは保持装置のうちの他方のものは凹面と係合するための凸面を有することを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載の装置。   One of the cartridge assembly and the press or holding device has a concave surface, and the other of the cartridge assembly and the press or holding device has a convex surface for engaging the concave surface. The device according to claim 1. 前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジおよび圧力容器を含み、該カートリッジは前記圧力容器に直接入れられるように配設されていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の装置。   The apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein the cartridge assembly includes the cartridge and a pressure vessel, the cartridge being arranged to be directly placed in the pressure vessel. 前記カートリッジは前記加圧容器の内面と相補的な外面を有するプラスチック材料の本体を備えることを特徴とする、請求項11に記載の装置。   12. The apparatus of claim 11, wherein the cartridge comprises a body of plastic material having an outer surface complementary to the inner surface of the pressurized container. 前記カートリッジアセンブリは前記プレスまたは保持装置のキー溝と係合するためのキーを該カートリッジアセンブリの外面に有することを特徴とする、請求項1〜12のいずれかに記載の装置。   13. A device according to any preceding claim, wherein the cartridge assembly has a key on the outer surface of the cartridge assembly for engaging a keyway of the press or holding device. 前記カートリッジアセンブリは流体−研磨材混合物が予め充填された空洞を備えていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれかに記載の装置。   14. A device according to any preceding claim, wherein the cartridge assembly comprises a cavity pre-filled with a fluid-abrasive mixture. 前記カートリッジアセンブリは加圧流体の進入および流体−研磨材混合物の射出のために空洞内部に配置された第1および第2の導管を備えており、該第1および第2の導管は前記カートリッジアセンブリインタフェースの対応する導管と嵌合するように配置されていることを特徴とする、請求項1〜14のいずれかに記載の装置。   The cartridge assembly includes first and second conduits disposed within a cavity for entry of pressurized fluid and injection of a fluid-abrasive mixture, the first and second conduits being the cartridge assembly. Device according to any of the preceding claims, characterized in that it is arranged to mate with a corresponding conduit of the interface. 前記カートリッジアセンブリは、該カートリッジアセンブリの該第1の端部の開口と、該カートリッジアセンブリが前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に前記開口を密閉するためのシールとを備えることを特徴とする、請求項1〜15のいずれかに記載の装置。   The cartridge assembly comprises an opening at the first end of the cartridge assembly and a seal for sealing the opening when the cartridge assembly is engaged with the cartridge assembly interface. Item 16. The apparatus according to any one of Items 1 to 15. 前記開口は前記カートリッジの第1の端部に配設されており、前記シールは開口のまわりに配置された第1のシールを含むことを特徴とする、請求項16に記載の装置。   The apparatus of claim 16, wherein the opening is disposed at a first end of the cartridge and the seal includes a first seal disposed about the opening. 前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に該カートリッジアセンブリを密閉するためのシールを含むことを特徴とする、請求項1〜17のいずれかに記載の装置。   18. An apparatus according to any preceding claim, wherein the cartridge assembly includes a seal for sealing the cartridge assembly when engaged with the cartridge assembly interface. 前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に前記カートリッジアセンブリを密閉するためのシールは圧力容器に配設されていることを特徴とする、請求項11〜17のいずれかに従属する場合の請求項18に記載の装置。   Claim 18 when dependent on any of claims 11-17, characterized in that a seal for sealing the cartridge assembly when engaged with the cartridge assembly interface is disposed on the pressure vessel. The device described. 前記開口は該第1の端部の表面の外周縁の近傍に配設されていることを特徴とする、請求項15〜18のいずれかに記載の装置。   The device according to any one of claims 15 to 18, wherein the opening is arranged in the vicinity of the outer peripheral edge of the surface of the first end portion. 請求項1〜20のいずれかの装置を用いてジェット加工を達成する方法。   A method of achieving jet machining using the apparatus of any of claims 1-20.
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