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JP2009294613A - Imaging-element drive device - Google Patents

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JP2009294613A
JP2009294613A JP2008150813A JP2008150813A JP2009294613A JP 2009294613 A JP2009294613 A JP 2009294613A JP 2008150813 A JP2008150813 A JP 2008150813A JP 2008150813 A JP2008150813 A JP 2008150813A JP 2009294613 A JP2009294613 A JP 2009294613A
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JP
Japan
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frame
axis
image
optical axis
imaging
Prior art date
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Pending
Application number
JP2008150813A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadakuni Tanaka
忠訓 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Imaging Corp
Original Assignee
Olympus Imaging Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Imaging Corp filed Critical Olympus Imaging Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging-element drive device able to ensure the stability of an imaging surface and obtain a satisfactory photographic image. <P>SOLUTION: The imaging-element drive device 300 includes: a first frame member 302 and a second frame member 301. The second frame member 301 is configured such that rolling members 307x, 336x are disposed at the vertices of a quadrilateral D surrounding an optical axis within a plane intersecting the optical axis O at right angles. The second frame member 301 includes the imaging element 31 which is moved so as to intersect the optical axis at right angles relative to the first frame member via the rolling members and which is disposed such that the imaging surface intersects the optical axis at right angles. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、撮像素子駆動装置、詳しくは撮影光学系の光軸に直交する平面内で撮像素子を水平方向及び垂直方向にそれぞれ独立に変位させて像ブレを補正する撮像素子駆動装置に関するものである。   The present invention relates to an image sensor driving device, and more particularly to an image sensor driving device that corrects image blur by independently displacing an image sensor in a horizontal direction and a vertical direction in a plane orthogonal to an optical axis of a photographing optical system. is there.

近年、撮影光学系により結像された光学像を撮像素子等によって光電変換し、これにより得られた画像信号を記録媒体に記録するいわゆるデジタルカメラ等の撮像装置が広く普及している。   2. Description of the Related Art In recent years, imaging apparatuses such as so-called digital cameras that photoelectrically convert an optical image formed by a photographing optical system using an imaging element or the like and record an image signal obtained thereby are recorded widely.

従来の撮像装置のうち特にデジタルカメラ等は、使用者が手で保持した状態での撮影、いわゆる手持ち撮影により主に使用されるのが普通である。このように、撮像装置の姿勢が不安定な状態で撮影動作が行われた場合には、その撮影結果として得られる画像は、像ブレが生じた不鮮明なものになってしまうことがある。   Among conventional image pickup apparatuses, in particular, a digital camera or the like is usually used mainly by photographing with a user holding it by hand, so-called hand-held photographing. As described above, when a photographing operation is performed in a state where the posture of the imaging apparatus is unstable, an image obtained as a result of the photographing may be unclear due to image blurring.

そこで、近年の撮像装置においては、このような像ブレを補正して、鮮明な画像を得るための像ブレ補正機能を備えたものが、種々提案されており、また実用化されている。   Therefore, various types of image pickup apparatuses having an image blur correction function for correcting such image blur to obtain a clear image have been proposed and put into practical use.

従来のデジタルカメラ等の撮像装置(以下、単にカメラと略記する)に採用されている像ブレ補正機能を実現する技術としては、例えば、カメラのピッチ方向(X軸周りの方向)のブレ振動とカメラのヨー方向(Y軸周りの方向)のブレ振動とを、角速度センサ等のブレ検出ユニットを用いて検出し、検出されたブレ信号に基づいて、発生したブレ信号を打ち消す方向に撮像光学系の一部、若しくは撮像素子を撮影光学系の光軸に直交する平面内、即ち撮像素子の像面と平行な面で、水平方向及び垂直方向にそれぞれ独立にシフトさせることで撮像素子の撮像面上での像ブレを補正するものが知られている。   As a technique for realizing an image blur correction function employed in a conventional imaging device such as a digital camera (hereinafter simply referred to as a camera), for example, blur vibration in the camera pitch direction (direction around the X axis) An imaging optical system that detects camera shake vibration in the yaw direction (direction around the Y axis) using a shake detection unit such as an angular velocity sensor and cancels the generated shake signal based on the detected shake signal. Or an image pickup surface of the image pickup device by independently shifting the image pickup device in the horizontal direction and the vertical direction in a plane orthogonal to the optical axis of the imaging optical system, that is, a plane parallel to the image plane of the image pickup device. What corrects the above-mentioned image blur is known.

例えば特開2007−298884号公報,特開2008−48220号公報等によって開示されている技術は、撮影光学系の光軸に直交する平面内で撮像素子を水平方向及び垂直方向にそれぞれ独立に変位させることで像ブレを補正する撮像素子駆動装置である。   For example, the techniques disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2007-29884, 2008-48220, and the like displace the image sensor independently in the horizontal and vertical directions within a plane orthogonal to the optical axis of the photographing optical system. This is an image sensor driving device that corrects the image blur.

これら従来の撮像素子駆動装置では、カメラ等に固定され基本構成部材となる固定枠と、この固定枠に対して水平方向に移動自在に配設される第1移動枠と、この第1移動枠に対して垂直方向に移動自在に配設され撮像素子を保持し搭載する第2移動枠とを有し、第1移動枠と第2移動枠とを、それぞれ独立に駆動するように構成している。   In these conventional image sensor driving devices, a fixed frame that is fixed to a camera or the like and serves as a basic component member, a first moving frame that is arranged to be movable in the horizontal direction with respect to the fixed frame, and the first moving frame And a second moving frame that holds and mounts the image sensor, and is configured to drive the first moving frame and the second moving frame independently of each other. Yes.

この場合において、各枠の光軸方向における位置決めは、付勢部材を用いて隣接する各枠同士を当接させることで行われる。また、各枠同士の間には、各枠の相対的な移動が常にスムーズに行われるようにするために、例えば接触抵抗を低減させるための部材を介在させる等の構造的工夫が施されている。   In this case, positioning of each frame in the optical axis direction is performed by bringing adjacent frames into contact with each other using a biasing member. In addition, structural measures such as interposing a member for reducing contact resistance are provided between the frames so that the relative movement of the frames is always performed smoothly. Yes.

一方、通常のカメラ等における撮像素子は、その像面が撮影光学系の光軸に対して常に直交する面内に配置されるようになっているのが普通である。   On the other hand, an image pickup element in a normal camera or the like is usually arranged in a plane whose image plane is always orthogonal to the optical axis of the photographing optical system.

そして、上述したような構成の従来の撮像素子駆動装置において、固定枠に対する第1移動枠の移動や、第1移動枠に対する第2移動枠の移動は、撮像素子の像面に平行な面内で、水平方向及び垂直方向のそれぞれに独立させて行われる。   In the conventional image sensor driving apparatus configured as described above, the movement of the first movement frame relative to the fixed frame and the movement of the second movement frame relative to the first movement frame are within the plane parallel to the image plane of the image sensor. In the horizontal direction and the vertical direction, it is performed independently.

このように、撮像素子駆動装置では、被写体像が結像される撮像素子が搭載される枠部材が像面に平行となる面内で移動する構造となっているので、その移動の際には、撮像素子の像面の光軸に対する安定性が求められる。
特開2007−298884号公報 特開2008−48220号公報
As described above, in the image pickup device driving apparatus, the frame member on which the image pickup device on which the subject image is formed is moved in a plane parallel to the image plane. The stability of the image plane of the image sensor with respect to the optical axis is required.
JP 2007-29884 A JP 2008-48220 A

つまり、上述のような構成の従来の撮像素子駆動装置において、各移動枠を撮像素子の像面に平行な面内(即ち光軸に直交する面内)で移動させるとき、各枠の移動がスムーズに行われないと、例えば異音が発生したり、移動枠に搭載される撮像素子の像面が不安定な状態になってしまう。   In other words, in the conventional image sensor driving apparatus having the above-described configuration, when each moving frame is moved in a plane parallel to the image plane of the image sensor (that is, in a plane orthogonal to the optical axis), the movement of each frame is performed. If it is not performed smoothly, for example, abnormal noise occurs or the image plane of the image sensor mounted on the moving frame becomes unstable.

このように、撮像素子の像面の安定性が確保されない状態では、像面上の部位によって光路長が異なる箇所が生じることになる。その結果、取得される画像は不鮮明なものになってしまうという問題点が発生する。   As described above, in a state where the stability of the image plane of the image sensor is not ensured, a location where the optical path length varies depending on the location on the image plane. As a result, there arises a problem that the acquired image becomes unclear.

本発明は、上述した点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、撮像素子の像面の安定性を確保して、良質な撮影画像を取得することのできる撮像素子駆動装置を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described points, and an object of the present invention is to drive an image sensor that can ensure the stability of the image plane of the image sensor and acquire a high-quality captured image. Is to provide a device.

上記目的を達成するために、本発明による撮像素子駆動装置は、第1の枠部材と、光軸と直交する面内で光軸を内包する四辺形の頂点のそれぞれに転動部材が配置され、上記第1の枠部材に対して上記転動部材を介して光軸と直交する方向に相対移動させられ、撮像面が光軸と直交するように配される撮像素子を含む第2の枠部材と、を具備したことを特徴とする。   In order to achieve the above object, in the imaging device driving device according to the present invention, a rolling member is disposed at each of the first frame member and the vertex of a quadrangle that includes the optical axis in a plane orthogonal to the optical axis. A second frame including an image sensor that is moved relative to the first frame member in a direction orthogonal to the optical axis via the rolling member and is arranged so that the imaging surface is orthogonal to the optical axis. And a member.

本発明によれば、撮像素子の像面の安定性を確保して、良質な撮影画像を取得することのできる撮像素子駆動装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the image pick-up element drive device which can ensure the stability of the image surface of an image pick-up element and can acquire a quality picked-up image can be provided.

以下、図示の実施の形態によって本発明を説明する。   The present invention will be described below with reference to illustrated embodiments.

なお、以下に示す一実施形態の撮像素子駆動装置は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子を含む撮像ユニットの手ブレ補正を行うためのものである。そして、以下の実施形態では、本発明の撮像素子駆動装置を搭載した撮像装置の一例として、撮影レンズ交換可能な一眼レフレックス方式のデジタルカメラを適用例として説明する。   Note that an image sensor driving apparatus according to an embodiment shown below is for performing camera shake correction of an image pickup unit including an image sensor that obtains an image signal by photoelectric conversion. In the following embodiments, a single-lens reflex digital camera with an interchangeable photographic lens will be described as an application example as an example of an imaging device equipped with the imaging element driving device of the present invention.

まず、本発明の一実施形態の撮像素子駆動装置を内部に具備するデジタルカメラのシステム構成の概略を図1に基いて以下に説明する。
図1は、本実施形態の撮像素子駆動装置を搭載するデジタルカメラにおいて主に電気的なシステム構成を示す概略ブロック構成図である。
First, an outline of a system configuration of a digital camera that internally includes an image sensor driving device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a schematic block configuration diagram mainly showing an electrical system configuration in a digital camera equipped with the image sensor driving apparatus of the present embodiment.

本実施形態の撮像素子駆動装置を具備するデジタルカメラ(以下単にカメラと略記する)は、カメラ本体としてのボディユニット100と、交換レンズとしてのレンズユニット10とによりシステム構成されている。   A digital camera (hereinafter simply abbreviated as “camera”) provided with an image sensor driving apparatus according to the present embodiment is configured by a body unit 100 as a camera body and a lens unit 10 as an interchangeable lens.

レンズユニット10は、ボディユニット100の前面に設けられたレンズマウント10aを介して着脱自在である。レンズユニット10の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ(以下、Lμcomと称する)5が行う。一方、ボディユニット100の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ(以下、Bμcomと称する)50が行う。これらLμcom5とBμcom50とは、ボディユニット100にレンズユニット10を装着した状態において通信コネクタ6を介して通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Lμcom5がBμcom50に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。   The lens unit 10 is detachable via a lens mount 10a provided on the front surface of the body unit 100. The lens unit 10 is controlled by its own lens control microcomputer (hereinafter referred to as Lμcom) 5. On the other hand, the body unit 100 is controlled by a body control microcomputer (hereinafter referred to as “Bμcom”) 50. These Lμcom5 and Bμcom50 are electrically connected via the communication connector 6 in a state where the lens unit 10 is mounted on the body unit 100. As a camera system, Lμcom5 is configured to operate while being dependent on Bμcom50.

レンズユニット10は、上述のLμcom5と、撮影レンズ1と、レンズ駆動機構2と、絞り3と、絞り駆動機構4とを備える。撮影レンズ1は、レンズ枠1aに保持された状態でレンズ駆動機構2内に設けられた図示しないDCモータによって駆動される。これにより、撮影レンズ1及びレンズ枠1aは、光軸Oに沿う方向に進退移動するようになっている。絞り3は、絞り駆動機構4内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Lμcom5は、Bμcom50の指令に基づいて、これらの各モータを制御する。   The lens unit 10 includes the above-described Lμcom 5, the photographing lens 1, the lens driving mechanism 2, the diaphragm 3, and the diaphragm driving mechanism 4. The taking lens 1 is driven by a DC motor (not shown) provided in the lens driving mechanism 2 while being held by the lens frame 1a. Thereby, the photographing lens 1 and the lens frame 1a are moved forward and backward in the direction along the optical axis O. The diaphragm 3 is driven by a stepping motor (not shown) provided in the diaphragm driving mechanism 4. Lμcom5 controls each of these motors based on the command of Bμcom50.

ボディユニット100内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、観察光学系としてクイックリターンミラー11、サブミラー11a、スクリーン12a、ペンタプリズム12、接眼レンズ13等からなる一眼レフ方式の構成部材と、撮影光軸(O)上に配置されるフォーカルプレーン式のシャッタ15と、サブミラー11aからの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのAFセンサユニット16とが設けられている。   In the body unit 100, the following components are arranged as shown in the figure. For example, as an observation optical system, a single-lens reflex type constituent member including a quick return mirror 11, a sub mirror 11 a, a screen 12 a, a pentaprism 12, an eyepiece lens 13, and the like, and a focal plane type member disposed on the photographing optical axis (O). A shutter 15 and an AF sensor unit 16 for receiving a reflected light beam from the sub mirror 11a and detecting a defocus amount are provided.

さらに、ボディユニット100内には、AFセンサユニット16を駆動制御するAFセンサ駆動回路17と、クイックリターンミラー11を駆動制御するミラー駆動回路18と、シャッタ15の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構19と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路20と、ペンタプリズム12からの光束を検出する測光センサ21aと、この測光センサ21aの出力に基づいて測光処理を行う測光回路21とが設けられている。また、ストロボ制御回路372により発光制御されるストロボ371が設けられている。   Further, in the body unit 100, an AF sensor driving circuit 17 for driving and controlling the AF sensor unit 16, a mirror driving circuit 18 for driving and controlling the quick return mirror 11, and a spring for driving the front curtain and the rear curtain of the shutter 15. A shutter charge mechanism 19 for charging the shutter, a shutter control circuit 20 for controlling the movement of the front and rear curtains, a photometric sensor 21a for detecting the light flux from the pentaprism 12, and photometry based on the output of the photometric sensor 21a A photometric circuit 21 for processing is provided. Further, a strobe 371 whose light emission is controlled by a strobe control circuit 372 is provided.

撮影光軸(O)上には、上述の観察光学系の後方に配置され、上記撮影レンズ1によって結像される被写体像を受けて光電変換するための撮像ユニット30が設けられている。この撮像ユニット30は、撮像素子であるCCD31やその前面に配設された光学ローパスフィルタ(LPF)32、防塵フィルタ33を一体化して構成したユニットである。なお、防塵フィルタ33の周縁部には、圧電素子34が取り付けられている。圧電素子34は、2つの電極を有しており、防塵フィルタ制御回路48によって圧電素子34を所定の周波数で振動させることで防塵フィルタ33を振動させ、この振動によってフィルタ表面に付着した塵を除去し得るように構成されている。撮像ユニット30に対しては、本実施形態の撮像素子駆動装置である手ブレ補正用防振ユニット300が付加された形態で構成されている。なお、この手ブレ補正用防振ユニット300の構成についての詳細は後述する。   On the photographic optical axis (O), an imaging unit 30 is provided that is disposed behind the above-described observation optical system and receives and subjects the subject image formed by the photographic lens 1 to photoelectric conversion. The image pickup unit 30 is a unit in which a CCD 31 as an image pickup element, an optical low-pass filter (LPF) 32 and a dustproof filter 33 arranged on the front surface thereof are integrated. A piezoelectric element 34 is attached to the peripheral edge of the dustproof filter 33. The piezoelectric element 34 has two electrodes, and the dust-proof filter 33 is vibrated at a predetermined frequency by the dust-proof filter control circuit 48 to vibrate the dust-proof filter 33, and the dust adhered to the filter surface is removed by this vibration. It is configured to be able to. The image pickup unit 30 is configured by adding an image stabilization unit 300 for camera shake correction which is an image pickup element driving device of the present embodiment. The details of the configuration of the image stabilization unit 300 for camera shake correction will be described later.

また、本実施形態の撮像素子駆動装置を具備するカメラシステムは、CCD31に接続したCCDインターフェース回路23と、液晶モニタ24、記憶領域として機能するSDRAM25、FLASH ROM26などを利用して画像処理する画像処理コントローラ28とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア27は、各種のメモリカードや外付けのHDD等の外部記録媒体である。記録メディア27は、通信コネクタを介してボディユニット100と通信可能であり、かつ交換可能となるようにボディユニット100に対して着脱自在となっている。そして、この記録メディア27には撮影により得られた画像データ等が記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶するメモリであって、例えばEEPROMからなる不揮発性メモリ29がBμcom50からアクセス可能に設けられている。   In addition, the camera system including the image pickup device driving apparatus according to the present embodiment performs image processing using the CCD interface circuit 23 connected to the CCD 31, the liquid crystal monitor 24, the SDRAM 25 functioning as a storage area, the FLASH ROM 26, and the like. And an electronic recording display function as well as an electronic imaging function. Here, the recording medium 27 is an external recording medium such as various memory cards or an external HDD. The recording medium 27 is communicable with the body unit 100 via a communication connector and is detachable from the body unit 100 so as to be exchangeable. The recording medium 27 records image data obtained by photographing. The other storage area is a memory for storing predetermined control parameters necessary for camera control. For example, a nonvolatile memory 29 made of an EEPROM is provided so as to be accessible from the Bμcom 50.

Bμcom50には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用LCD51および動作表示用LED51aと、カメラ操作スイッチ群(以下、スイッチは、SWと記載する)52とが設けられている。カメラ操作SW群52は、例えばレリーズSW、モード変更SWおよびパワーSWなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池54と、電池54の電圧を当該カメラシステムを構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路53が設けられている。この電源回路53には、外部電源からジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路等も含んで構成されている。   The Bμcom 50 is provided with an operation display LCD 51 and an operation display LED 51a for notifying the user of the operation state of the camera by display output, and a camera operation switch group (hereinafter, the switch is described as SW) 52. ing. The camera operation SW group 52 is a switch group including operation buttons necessary for operating the camera, such as a release SW, a mode change SW, and a power SW. Further, a battery 54 as a power source and a power supply circuit 53 that converts and supplies the voltage of the battery 54 to a voltage required by each circuit unit constituting the camera system are provided. The power supply circuit 53 includes a voltage detection circuit that detects a voltage change when current is supplied from an external power supply via a jack.

上述のように構成されたカメラシステムの各部は、概略的には以下のように稼動する。   Each part of the camera system configured as described above generally operates as follows.

まず、画像処理コントローラ28は、Bμcom50の指令に従ってCCDインターフェース回路23を制御してCCD31から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ28でビデオ信号に変換され、液晶モニタ24で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ24の表示画像から、撮影した画像を確認できる。   First, the image processing controller 28 takes in image data from the CCD 31 by controlling the CCD interface circuit 23 in accordance with a command of Bμcom 50. This image data is converted into a video signal by the image processing controller 28 and output and displayed on the liquid crystal monitor 24. The user can check the captured image from the display image on the liquid crystal monitor 24.

SDRAM25は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、JPEGデータに変換された後、記録メディア27に保管される。   The SDRAM 25 is a memory for temporarily storing image data, and is used as a work area when image data is converted. The image data is stored in the recording medium 27 after being converted into JPEG data.

ミラー駆動機構18は、クイックリターンミラー11をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー11がダウン位置にある時、撮影レンズ1からの光束はAFセンサユニット16側とペンタプリズム12側へと分割されて導かれる。AFセンサユニット16内のAFセンサからの出力は、AFセンサ駆動回路17を介してBμcom50へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム12を通過した光束の一部は測光回路21内の測光センサ21aへ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。   The mirror drive mechanism 18 is a mechanism for driving the quick return mirror 11 to the up position and the down position. When the quick return mirror 11 is in the down position, the light flux from the photographing lens 1 is on the AF sensor unit 16 side. The light is divided and guided to the pentaprism 12 side. The output from the AF sensor in the AF sensor unit 16 is transmitted to the Bμcom 50 via the AF sensor driving circuit 17 and a known distance measurement process is performed. On the other hand, a part of the light beam that has passed through the pentaprism 12 is guided to a photometric sensor 21a in the photometric circuit 21, and a known photometric process is performed based on the amount of light detected here.

次に、図2を参照してCCD31を含む撮像ユニット30の構成について説明する。   Next, the configuration of the imaging unit 30 including the CCD 31 will be described with reference to FIG.

図2は、図1に示すカメラに設けられる撮像ユニット30の構成を示す縦断側面図である。   FIG. 2 is a vertical side view showing the configuration of the imaging unit 30 provided in the camera shown in FIG.

撮像ユニット30は、撮影光学系を透過した後、光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのCCD31と、CCD31の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ローパスフィルタ(LPF)32と、この光学LPF32の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵フィルタ33と、この防塵フィルタ33の周縁部に配設されて防塵フィルタ33に対して所定の振動を与えるための圧電素子34とを備える。   The imaging unit 30 is disposed on the side of the photoelectric conversion surface of the CCD 31 and the CCD 31 as an imaging device that obtains an image signal corresponding to the light irradiated on the photoelectric conversion surface after passing through the imaging optical system. An optical low-pass filter (LPF) 32 that removes a high-frequency component from a subject light beam that is transmitted through the filter, a dust-proof filter 33 that is opposed to the optical LPF 32 at a predetermined interval on the front side, and a periphery of the dust-proof filter 33 And a piezoelectric element 34 which is disposed in the part and applies predetermined vibration to the dustproof filter 33.

ここで、CCD31のCCDチップ31aは、固定板35上に配設されたフレキシブル基板31b上に直接実装されている。このフレキシブル基板31bの両端からは、接続部31c,31dが延出されている。この接続部31c,31bは、主回路基板36に設けられたコネクタ36a,36bに接続されている。これによりCCD31は、上記フレキシブル基板31b,コネクタ36a,36bを介して主回路基板36と電気的に接続されている。また、CCD31が有する保護ガラス31eは、スペーサ31fを介してフレキシブル基板31b上に固着されている。   Here, the CCD chip 31 a of the CCD 31 is directly mounted on the flexible substrate 31 b disposed on the fixed plate 35. Connection portions 31c and 31d extend from both ends of the flexible substrate 31b. The connection portions 31 c and 31 b are connected to connectors 36 a and 36 b provided on the main circuit board 36. Thus, the CCD 31 is electrically connected to the main circuit board 36 via the flexible board 31b and the connectors 36a and 36b. The protective glass 31e of the CCD 31 is fixed on the flexible substrate 31b via a spacer 31f.

CCD31と光学LPF32との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材37が配設されている。このフィルタ受け部材37は、CCD31の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ光学LPF32の背面側周縁部の近傍に当接することで、CCD31と光学LPF32との間の気密性がほぼ保持されるように構成されている。そして、CCD31と光学LPF32とを気密的に覆うようにY枠38が配設されている。このY枠38は、撮影光軸(O)周りの略中央部分に矩形状の開口38aを有している。この開口38aの防塵フィルタ33側の内周縁部には断面が略L字形状の段部38bが形成されている。この開口38aに対してその後方側から光学LPF32及びCCD31が配設されている。   A filter receiving member 37 made of an elastic member or the like is disposed between the CCD 31 and the optical LPF 32. The filter receiving member 37 is disposed at a position that avoids the effective range of the photoelectric conversion surface at the front edge of the CCD 31 and abuts in the vicinity of the rear edge of the optical LPF 32 so that the CCD 31 and the optical LPF 32 are in contact with each other. It is comprised so that the airtightness between may be kept substantially. A Y frame 38 is disposed so as to hermetically cover the CCD 31 and the optical LPF 32. The Y frame 38 has a rectangular opening 38a at a substantially central portion around the photographing optical axis (O). A stepped portion 38b having a substantially L-shaped cross section is formed on the inner peripheral edge of the opening 38a on the dustproof filter 33 side. The optical LPF 32 and the CCD 31 are disposed from the rear side of the opening 38a.

ここで、光学LPF32の前面側周縁部を段部38bに対して気密性を有するように接触配置することで、光学LPF32は段部38bによって撮影光軸(O)に沿う方向における位置規制がなされると共に、Y枠38の内部から前面側に向けての抜け止め構造を備えている。   Here, the position of the optical LPF 32 in the direction along the photographing optical axis (O) is regulated by the step portion 38b by placing the front side peripheral portion of the optical LPF 32 in contact with the step portion 38b so as to be airtight. In addition, a retaining structure is provided from the inside of the Y frame 38 toward the front side.

一方、Y枠38の前面側の周縁部には、防塵フィルタ33を光学LPF32の前面に所定間隔あけて保持するために段部38b周りで段部38bよりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部38cが全周に亘って形成されている。   On the other hand, at the peripheral edge of the front side of the Y frame 38, a dustproof filter receiver that protrudes to the front side of the step 38b around the step 38b in order to hold the dust filter 33 on the front of the optical LPF 32 at a predetermined interval. The part 38c is formed over the entire circumference.

全体として円形ないしは多角形の板状に形成された防塵フィルタ33は、板ばね等の弾性体によって形成されて、ねじ39で防塵フィルタ受け部38cに固定された押圧部材40による押圧状態で防塵フィルタ受け部38cに支持される。ここで、防塵フィルタ33の背面側の外周縁部に配設された圧電素子34部分には、防塵フィルタ受け部38cとの間に環状の上記シール41が介在されて気密状態が確保されている。撮像ユニット30は、このようにしてCCD31を搭載し得る大きさに形成されたY枠38を備え、CCD31の周縁部を気密構造に構成している。   The dustproof filter 33 formed in a circular or polygonal plate shape as a whole is formed by an elastic body such as a leaf spring, and the dustproof filter is pressed by a pressing member 40 fixed to the dustproof filter receiving portion 38c with a screw 39. It is supported by the receiving portion 38c. Here, the annular seal 41 is interposed between the piezoelectric element 34 portion disposed on the outer peripheral edge of the dustproof filter 33 on the back side and the dustproof filter receiving portion 38c to ensure an airtight state. . The imaging unit 30 includes the Y frame 38 formed in such a size that the CCD 31 can be mounted in this manner, and the peripheral portion of the CCD 31 is configured in an airtight structure.

次に、本実施形態の撮像素子駆動装置である手ブレ補正用防振ユニット300の詳細構成について以下に説明する。   Next, a detailed configuration of the image stabilization unit 300 for camera shake correction that is the image sensor driving device of the present embodiment will be described below.

図3,図4は、本実施形態の撮像素子駆動装置(手ブレ補正用防振ユニット)の構成を示す分解斜視図である。このうち図3は、上記撮像素子駆動装置(手ブレ補正用防振ユニット)の前面側から見た斜視図であり、図4は、上記撮像素子駆動装置(手ブレ補正用防振ユニット)の背面側から見た斜視図である。図5は、上記撮像素子駆動装置(手ブレ補正用防振ユニット)の正面図である。図6は、図5の[6]−[6]線に沿う部分断面図である。図7は、図5の[7]−[7]線に沿う部分断面図である。   3 and 4 are exploded perspective views showing the configuration of the image sensor driving apparatus (anti-shake unit for camera shake correction) according to this embodiment. 3 is a perspective view seen from the front side of the image sensor driving device (anti-shake unit for camera shake correction), and FIG. 4 is a perspective view of the image sensor driving device (anti-shake unit for camera shake correction). It is the perspective view seen from the back side. FIG. 5 is a front view of the image sensor driving device (anti-shake unit for camera shake correction). 6 is a partial cross-sectional view taken along line [6]-[6] in FIG. FIG. 7 is a partial cross-sectional view taken along line [7]-[7] in FIG.

上記カメラに具備される本実施形態の撮像素子駆動装置である手ブレ補正用防振ユニット(以下、単に防振ユニットと略記する)300は、図3に示すように、撮影光軸(O)に沿う方向をZ軸方向とした場合に、この撮影光軸(O)に直交するX軸及びY軸を含む平面内にあって、互いに直交するX軸方向(第1の方向)及びY軸方向(第2の方向)のそれぞれに、撮像素子(CCD31)を変位移動させることにより像ブレを補正する手ブレ補正機能を実現するものである。   As shown in FIG. 3, an image stabilization unit for camera shake correction (hereinafter simply abbreviated as an image stabilization unit) 300, which is an image sensor driving device of the present embodiment, provided in the camera, has a photographing optical axis (O). The X-axis direction (first direction) and the Y-axis are in a plane including the X-axis and the Y-axis orthogonal to the photographing optical axis (O) and are orthogonal to each other. A camera shake correction function for correcting image blur is realized by displacing and moving the image sensor (CCD 31) in each direction (second direction).

上記防振ユニット300は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を発生させる振動子を駆動源として有している。また、上記防振ユニット300は、撮像ユニット30の構成部材のうちCCD31を搭載したY枠38を、最終的な移動対象物として、X軸方向(第1の方向)及びY軸方向(第2の方向)のそれぞれに移動させる得るように構成されている。   The anti-vibration unit 300 includes, as a drive source, a vibrator that generates elliptical vibration in the drive unit when a predetermined frequency voltage is applied. Further, the image stabilization unit 300 uses the Y frame 38 on which the CCD 31 is mounted among the constituent members of the imaging unit 30 as the final moving object, in the X-axis direction (first direction) and the Y-axis direction (second direction). In each direction).

まず、本実施形態の防振ユニット300は、光学LPF32、防塵フィルタ33、CCD31等からなる撮像ユニット30を搭載したY枠38と、撮影光軸(O)周りに形成される枠開口301aを囲む枠部301bを有する枠形状からなりY枠38をY軸方向に移動可能に搭載するX枠301と、撮影光軸(O)周りに形成される開口302aを囲む枠部302bを有する枠形状からなりX枠301をX軸方向に移動可能に搭載しボディユニット100の固定部(図3では図示せず)に固定される固定枠302と、固定枠302に対してX枠301をX軸方向に変位移動させるX軸駆動機構部310xと、X枠301に対してY枠38をY軸方向に変位移動させるY軸駆動機構部310yとを備える。   First, the image stabilization unit 300 of the present embodiment surrounds a Y frame 38 on which an imaging unit 30 including an optical LPF 32, a dustproof filter 33, a CCD 31 and the like is mounted, and a frame opening 301a formed around the photographing optical axis (O). An X frame 301 having a frame shape having a frame portion 301b and mounting the Y frame 38 so as to be movable in the Y-axis direction, and a frame shape having a frame portion 302b surrounding an opening 302a formed around the photographing optical axis (O). The X frame 301 is mounted so as to be movable in the X-axis direction and is fixed to a fixing portion (not shown in FIG. 3) of the body unit 100. The X frame 301 is fixed to the fixed frame 302 in the X-axis direction. An X-axis drive mechanism portion 310x that is displaced in the Y-axis direction, and a Y-axis drive mechanism portion 310y that moves the Y frame 38 in the Y-axis direction relative to the X frame 301.

なお、X軸方向とY軸方向は、図3に示すように、互いに垂直な方向であって撮影光軸(O)に対してそれぞれ垂直に交差する方向である。X軸はカメラ左右方向であり、Y軸はカメラ上下方向を表す。   Note that, as shown in FIG. 3, the X-axis direction and the Y-axis direction are directions perpendicular to each other and perpendicular to the photographing optical axis (O). The X axis represents the camera left-right direction, and the Y axis represents the camera up-down direction.

X枠301は、Y枠38に対する相対的な保持部材となっている。固定枠302はX枠301に対する固定部材であり保持部材である。   The X frame 301 is a holding member relative to the Y frame 38. The fixed frame 302 is a fixing member and a holding member for the X frame 301.

したがって、Y枠38は、Y軸駆動機構部310yによりX枠301に対してY軸方向に変位移動する。これにより、Y枠38に搭載されたCCD31は、像面と平行なXY平面内でY軸方向にブレを補償するように変位移動するようになっている。   Therefore, the Y frame 38 is displaced in the Y axis direction with respect to the X frame 301 by the Y axis drive mechanism 310y. As a result, the CCD 31 mounted on the Y frame 38 is displaced so as to compensate for blurring in the Y-axis direction within an XY plane parallel to the image plane.

また、X枠301は、X軸駆動機構部310xによりY枠38と共に、固定枠302に対してX軸方向に変位移動する。これにより、Y枠38に搭載されたCCD31は、像面と平行なXY平面内でX軸方向にブレを補償するように変位移動するようになっている。   Further, the X frame 301 is displaced in the X axis direction with respect to the fixed frame 302 together with the Y frame 38 by the X axis drive mechanism portion 310x. As a result, the CCD 31 mounted on the Y frame 38 is displaced so as to compensate for blurring in the X-axis direction within an XY plane parallel to the image plane.

X軸駆動機構部310xは、X軸振動子(第1の振動子)320xと、X枠301に一体に固定されX枠301と共に駆動対象となる摺動体(第1の移動体部)330xと、X軸振動子320xを摺動体330x側に付勢する押圧機構(付勢手段)340xとを備える。   The X-axis drive mechanism section 310x includes an X-axis vibrator (first vibrator) 320x, and a sliding body (first moving body section) 330x that is integrally fixed to the X frame 301 and is to be driven together with the X frame 301. And a pressing mechanism (biasing means) 340x for urging the X-axis vibrator 320x toward the sliding body 330x.

X軸振動子320xは矩形状の圧電体323xと駆動子(駆動部)321x,322xとからなり、駆動子(駆動部)321x,322xを圧電体323xの片面に備えている。そして、所定の周波電圧が矩形状の圧電体323xに印加されることにより駆動子(駆動部)321x,322xには楕円振動が発生する。   The X-axis vibrator 320x includes a rectangular piezoelectric body 323x and driving elements (driving units) 321x and 322x, and the driving elements (driving units) 321x and 322x are provided on one surface of the piezoelectric body 323x. When a predetermined frequency voltage is applied to the rectangular piezoelectric body 323x, elliptical vibrations are generated in the driver elements (drive units) 321x and 322x.

なお、図3には、図示されていないが、X軸振動子320xには、上記圧電体323xの駆動子321x,322xと相反する側の中央位置に振動子ホルダが設けられていて、この振動子ホルダに形成された突起が固定枠302の溝状保持部342x(第1の保持部)に嵌合することで、X軸振動子320xはX軸方向への移動が規制され、固定枠302に対して位置決めされている。この状態では、X軸振動子320xは、固定枠302の枠部302bの外縁側に形成されるX軸振動子収納部302c内に収納された形態となる。そして、X軸振動子320xは、後述する押圧機構340xの押圧板(押圧部材)341xにより摺動体330xの背面側に向けて押圧されている。   Although not shown in FIG. 3, the X-axis vibrator 320x is provided with a vibrator holder at a central position on the side opposite to the driver elements 321x and 322x of the piezoelectric body 323x. The protrusion formed on the child holder fits into the groove-shaped holding portion 342x (first holding portion) of the fixed frame 302, whereby the X-axis vibrator 320x is restricted from moving in the X-axis direction, and the fixed frame 302 Is positioned against. In this state, the X-axis vibrator 320x is housed in an X-axis vibrator housing part 302c formed on the outer edge side of the frame part 302b of the fixed frame 302. The X-axis vibrator 320x is pressed toward the back side of the sliding body 330x by a pressing plate (pressing member) 341x of a pressing mechanism 340x described later.

このような構成により、駆動子321x,322xに生じる楕円振動による駆動力が摺動体330xに対してX軸方向に作用するようになっている。   With such a configuration, a driving force due to elliptical vibration generated in the driver elements 321x and 322x acts on the sliding body 330x in the X-axis direction.

摺動体330xは、軸受け(被ガイド部)331x上に摺動板(摺動部)332xを固着してなる。軸受け331xは、X枠301の一部に対して、例えばビス333xによりX枠301と一体となるように固定されている。このとき、上記X軸振動子320xの駆動子321x,322xは、上述したように上記押圧機構340xにより後方から押圧されていて、摺動板332xを軸受け331xに接触する位置に配置している。   The sliding body 330x is formed by fixing a sliding plate (sliding portion) 332x on a bearing (guided portion) 331x. The bearing 331x is fixed to a part of the X frame 301 so as to be integrated with the X frame 301 by, for example, a screw 333x. At this time, the driver elements 321x and 322x of the X-axis vibrator 320x are pressed from behind by the pressing mechanism 340x as described above, and the sliding plate 332x is disposed at a position in contact with the bearing 331x.

なお、X枠301に対する摺動体330xの固定は、ビス止めに限らず、接着等であってもよく、固定方式は特に問わない。   Note that the fixing of the sliding body 330x to the X frame 301 is not limited to screwing, but may be bonding or the like, and the fixing method is not particularly limited.

摺動体330xは、図3に示すように、X枠301に比して小さなサイズに形成され、例えばX軸振動子320x相当の大きさで形成されている。また、X枠301が剛性の低い樹脂材料やアルミニウム等により形成されているのに対して、摺動板332xは、耐磨耗性を有して剛性の高いセラミックス等の材質で形成されている。そして、軸受け331xは、フェライト系のステンレス等の焼入れ可能な材質に焼入れをして剛性を高めた材質で形成されている。   As shown in FIG. 3, the sliding body 330x is formed in a size smaller than that of the X frame 301, and is formed in a size corresponding to, for example, the X-axis vibrator 320x. Further, the X frame 301 is formed of a resin material with low rigidity, aluminum, or the like, whereas the sliding plate 332x is formed of a material such as ceramic having high wear resistance and high rigidity. . The bearing 331x is formed of a material that has been hardened to a hardenable material such as ferritic stainless steel and has increased rigidity.

摺動体330xの軸受け331xには、前面に向けた開口を有しX軸に沿う方向に延びるV溝334xが形成されている。このV溝334xに対向する部位には、後方に向けた開口を有しX軸に沿う方向に延びるV溝305xを有する磨耗防止用のV溝板306xが配設されている。このV溝板306xと軸受け331xとの間には、プラスチック等の材質により板状に形成されるリテーナ335xで位置決めされた2個のボール336x(転動体)が挟持されている。   A V-groove 334x having an opening toward the front surface and extending in the direction along the X-axis is formed in the bearing 331x of the sliding body 330x. At a portion facing the V-groove 334x, a wear-preventing V-groove plate 306x having a V-groove 305x extending in the direction along the X axis is provided. Between the V groove plate 306x and the bearing 331x, two balls 336x (rolling elements) positioned by a retainer 335x formed in a plate shape by a material such as plastic are sandwiched.

上記2個のボール336xは、駆動子321x,322xの直下より少しX軸方向外側となる位置付近にリテーナ335xにより位置決めがなされており、かつX軸方向の移動が規制されている。なお、転動体としては、ボール336xに限ることはなく、ローラ等を適用してもよい。   The two balls 336x are positioned by a retainer 335x in the vicinity of a position slightly outside the X-axis direction from directly below the driver elements 321x and 322x, and movement in the X-axis direction is restricted. The rolling element is not limited to the ball 336x, and a roller or the like may be applied.

そして、V溝板306xの前面側には、軸受け(ガイド部)304xが配設されている。この軸受け304xは、固定枠302のX軸振動子収納部302cの所定の固定部位に対してビス303xにより固定されている。   A bearing (guide portion) 304x is disposed on the front side of the V-groove plate 306x. The bearing 304x is fixed to a predetermined fixing portion of the X-axis vibrator housing portion 302c of the fixed frame 302 with a screw 303x.

このように、X軸方向に沿って1列に配列された2個のボール336xをV溝305xとV溝334xとの間に挟み込ませることにより、固定枠302に固定される軸受け304xとX枠301に固定される軸受け331xとは、相対的にX軸方向にスムースに移動し得るような構造となっている。   As described above, the two balls 336x arranged in a line along the X-axis direction are sandwiched between the V-groove 305x and the V-groove 334x, so that the bearing 304x fixed to the fixed frame 302 and the X frame The bearing 331x fixed to 301 has a structure that can move relatively smoothly in the X-axis direction.

押圧機構340xは、X軸振動子320xを保持する押圧板341xと、この押圧板341xを付勢する押圧ばね347xとを備えている。   The pressing mechanism 340x includes a pressing plate 341x that holds the X-axis vibrator 320x, and a pressing spring 347x that biases the pressing plate 341x.

押圧板341xの一端は、ビス344xにより座板及びスペーサを介して固定枠302に固定されている。押圧板341xの他端は、ビス345xにより座板とスペーサと上記押圧ばね347xを介して固定枠302に固定されている。   One end of the pressing plate 341x is fixed to the fixed frame 302 by a screw 344x via a seat plate and a spacer. The other end of the pressing plate 341x is fixed to the fixed frame 302 by a screw 345x via a seat plate, a spacer, and the pressing spring 347x.

この押圧ばね347xによる付勢力は、押圧板341xを介してX軸振動子320xを摺動体330xの背面側に向けて押圧し、よって駆動子321x,322xが摺動板332xに所定の力で押圧接触するようになっている。この押圧機構340xの押圧力は、15N(ニュートン)程度の非常に大きな力に設定されている。   The urging force of the pressing spring 347x presses the X-axis vibrator 320x toward the back side of the sliding body 330x via the pressing plate 341x, so that the driver elements 321x and 322x press the sliding plate 332x with a predetermined force. It comes to contact. The pressing force of the pressing mechanism 340x is set to a very large force of about 15N (Newton).

上述のような構成により、軸受け331xは、ボール336xの中心を通りV溝334xに平行な軸周りに回転可能である。しかしながら、軸受け331xは、X枠301に一体化されており、かつ軸受け331xからX軸方向とは異なる方向の離れた位置、詳しくは、固定枠302の枠部302b上で当該軸受け331xが固定されている一辺に対向する反対側の一辺の略両端部に2つのボール(転動体)307xが配設されている。   With the configuration as described above, the bearing 331x can rotate around an axis passing through the center of the ball 336x and parallel to the V-groove 334x. However, the bearing 331x is integrated with the X frame 301, and the bearing 331x is fixed on a position away from the bearing 331x in a direction different from the X axis direction, specifically, on the frame portion 302b of the fixed frame 302. Two balls (rolling elements) 307x are disposed at substantially both ends on one side opposite to the other side.

この2つのボール307xは、固定枠302とX枠301との間に挟まれるように配設される。固定枠302には2つの長孔302dが穿設されており、各長孔302dに対向する各部位には、X枠301に2つの長孔301dが穿設されている。各長孔302d,301dの深さ寸法は、ボール307xの半径よりも小となるように設定されている。また、各長孔302d,301dのY軸方向の幅寸法は、ボール307xの直径とほぼ等しいか若干大となるように設定されている。そして、各長孔302d,301dのX軸方向の幅寸法は、ボール307xが転動することで固定枠302に対してX枠301を移動させる際の移動量に応じて設定されている。   The two balls 307x are disposed so as to be sandwiched between the fixed frame 302 and the X frame 301. Two long holes 302d are formed in the fixed frame 302, and two long holes 301d are formed in the X frame 301 at each portion facing each of the long holes 302d. The depth dimension of each of the long holes 302d and 301d is set to be smaller than the radius of the ball 307x. Further, the width dimension in the Y-axis direction of each of the long holes 302d and 301d is set to be approximately equal to or slightly larger than the diameter of the ball 307x. The width dimension in the X-axis direction of each of the long holes 302d and 301d is set according to the amount of movement when the X frame 301 is moved with respect to the fixed frame 302 by rolling the ball 307x.

また、固定枠302とX枠301との間には、緊縮性の2本のばね308xが懸架されている。この2本のばね308xは、上記2つのボール307xが配置される近傍に形成されるばね架け部、即ち固定枠302の2つのばね架け部302fと、X枠301の2つのばね架け部301fとにそれぞれ係止されている。したがって、これら2本のばね308xは、固定枠302とX枠301とを互いに引き合う方向に付勢している。これにより、両枠302,301は離間しないようになっている。   Further, two elastic springs 308 x are suspended between the fixed frame 302 and the X frame 301. The two springs 308x include a spring mounting portion formed in the vicinity of the two balls 307x, that is, two spring mounting portions 302f of the fixed frame 302, and two spring mounting portions 301f of the X frame 301. Are respectively locked. Therefore, these two springs 308x urge the fixed frame 302 and the X frame 301 in the direction of pulling each other. Thereby, both the frames 302 and 301 are not separated.

また、このとき、上記2つのボール307xのそれぞれは、2つの長孔302d,301d内にそれぞれ1つずつ収納され挟持された状態が維持されている。この構成により、固定枠302に対するX枠301の光軸Oに沿う方向、即ちZ軸方向の位置決めをし、よって両枠の間隔が維持されるようになっている。   At this time, each of the two balls 307x is stored and held in the two long holes 302d and 301d one by one. With this configuration, the X frame 301 is positioned in the direction along the optical axis O of the X frame 301 with respect to the fixed frame 302, that is, in the Z-axis direction, so that the distance between both frames is maintained.

なお、ばね308xの付勢力は、ボール307xの挟持状態を維持できればよく、上記押圧機構340xの押圧ばね347xによる付勢力に比して弱く設定されている。   Note that the urging force of the spring 308x only needs to maintain the holding state of the ball 307x, and is set weaker than the urging force of the pressing spring 347x of the pressing mechanism 340x.

したがって、2つのボール307xを介して固定枠302とX枠301とを組み合わせた状態とし、この状態で、両枠302,301の間に2本のばね308xを所定の位置に懸架したとき、両枠302,301における各枠部302b,301bが対向する面同士は接触することなく、両者の間には僅かな隙間が生じるようになっている。   Therefore, when the fixed frame 302 and the X frame 301 are combined via the two balls 307x, and two springs 308x are suspended between the frames 302 and 301 in a predetermined position, In the frames 302 and 301, the surfaces of the frame portions 302b and 301b facing each other are not in contact with each other, and a slight gap is generated between them.

これにより、固定枠302とX枠301とは、2つのボール307xを介して相対的にX軸方向にスムースに移動し得るような構造となっている。   Thus, the fixed frame 302 and the X frame 301 have a structure that can relatively smoothly move in the X-axis direction via the two balls 307x.

なお、固定枠302,X枠301とボール307xとは、いずれもが金属部材により形成されている。したがって、X枠301が固定枠302に対して移動するとき、各長孔302d,301d内の壁面とボール307x(つまり金属同士)とが直接接触した状態であると、摩耗や異音等が生じる可能性がある。   The fixed frame 302, the X frame 301, and the ball 307x are all formed of a metal member. Therefore, when the X frame 301 moves relative to the fixed frame 302, wear, noise, or the like occurs if the wall surface in each of the long holes 302d and 301d and the ball 307x (that is, metals) are in direct contact with each other. there is a possibility.

そこで、各ボール307xと両枠302,301の各長孔302d,301d内の各壁面(長孔底面)との間には、プラスチック等の材質からなる板状シート309xが介在している。これにより、X枠301は固定枠302に対してスムースに移動すると共に、その移動の際に摩耗や異音等の発生が抑止されるようになっている。   Therefore, a plate-like sheet 309x made of a material such as plastic is interposed between each ball 307x and each wall surface (long hole bottom surface) in each of the long holes 302d and 301d of both frames 302 and 301. As a result, the X frame 301 moves smoothly with respect to the fixed frame 302, and generation of wear, abnormal noise, or the like is suppressed during the movement.

以上のような構成により、摺動体330xを一体に取り付けたX枠301は、固定枠302に対して、一辺に設けられる2個のボール336xと、これに対向する他辺に設けられる2個のボール307xとによる4点支持でX方向に移動させることができるように構成されている。   With the configuration as described above, the X frame 301 to which the sliding body 330x is integrally attached has two balls 336x provided on one side and two pieces provided on the other side opposite to the fixed frame 302. It is configured to be able to move in the X direction with four-point support by the ball 307x.

なお、ボール307xとボール336xとは、光軸Oと枠開口302a,301aを挟んで反対側の部位に配置している。これにより、ボール307xとボール336xとの距離をできるだけ離間した位置に配置して、X枠301のX軸方向への移動の安定化に寄与している。   Note that the ball 307x and the ball 336x are disposed on opposite sides of the optical axis O and the frame openings 302a and 301a. As a result, the distance between the ball 307x and the ball 336x is arranged as far as possible, which contributes to stabilization of the movement of the X frame 301 in the X-axis direction.

さらに、上記構成によれば、4つのボール(転動体)307x,336xによって、X枠301のX軸方向への移動が案内されると同時に、X軸方向以外の方向への移動は規制されている。したがって、X枠301のX軸方向への安定した駆動を確保することができるようになっている。   Furthermore, according to the above configuration, the movement of the X frame 301 in the X-axis direction is guided by the four balls (rolling elements) 307x and 336x, and at the same time, the movement in a direction other than the X-axis direction is restricted. Yes. Therefore, stable driving of the X frame 301 in the X-axis direction can be ensured.

また、本実施形態の撮像素子駆動装置(防振ユニット300)において、4つのボール307x,336xは、光軸Oと直交する面内、例えば撮像面内で、光軸Oを内包する四辺形(図5の符号D参照)の頂点のそれぞれに配置されるような形態となっている。そして、X枠301は、固定枠302に対して4つのボール307x,336xを介して光軸Oと直交する方向に相対的に移動するようになっている。そして、X枠301には、撮像面が光軸Oと直交するように配される撮像素子(CCD31)を含む撮像ユニット30が搭載されたY枠38が搭載された形態になっている。したがって、撮像ユニット30を搭載されたY枠38は、固定枠302に対してX枠301と共にX軸方向に相対移動可能であり、後述するようにX枠301に対してはY軸方向に相対移動可能となっている。   In the image sensor driving apparatus (anti-vibration unit 300) of the present embodiment, the four balls 307x and 336x are quadrilaterals that include the optical axis O in a plane orthogonal to the optical axis O, for example, in the imaging plane ( It is configured to be arranged at each of the vertices in FIG. The X frame 301 moves relative to the fixed frame 302 in the direction orthogonal to the optical axis O via the four balls 307x and 336x. The X frame 301 is mounted with a Y frame 38 on which an image pickup unit 30 including an image pickup device (CCD 31) arranged so that the image pickup surface is orthogonal to the optical axis O is mounted. Therefore, the Y frame 38 on which the imaging unit 30 is mounted can be moved relative to the fixed frame 302 in the X axis direction together with the X frame 301, and relative to the X frame 301 in the Y axis direction, as will be described later. It is movable.

一方、Y軸駆動機構部310yの基本的な構造は、上述のX軸駆動機構部310xと略同様である。即ち、Y軸駆動機構部310yは、固定枠302に代えてX枠301を相対的な固定部材とし、X枠301に代えてY枠38(第2の移動体)を移動対象としている。このY軸駆動機構部310yは、Y軸振動子(第2の振動子)320y(不図示;X枠中に設けられている)と、Y枠38に一体に固定され該Y枠38と共に駆動対象となる摺動体(第2の移動体部)330yと、Y軸振動子320yを摺動体330y側に付勢する押圧機構(付勢手段)340yとを備える。   On the other hand, the basic structure of the Y-axis drive mechanism 310y is substantially the same as that of the above-described X-axis drive mechanism 310x. That is, the Y-axis drive mechanism unit 310y uses the X frame 301 as a relative fixing member instead of the fixed frame 302, and uses the Y frame 38 (second moving body) as a moving object instead of the X frame 301. The Y-axis drive mechanism 310y is fixed integrally with the Y-frame 38 and driven by the Y-frame 38 (second oscillator) 320y (not shown; provided in the X-frame). A target sliding body (second moving body portion) 330y and a pressing mechanism (biasing means) 340y that biases the Y-axis vibrator 320y toward the sliding body 330y are provided.

なお、このY軸駆動機構部310yについては、X軸駆動機構部310xと異なる部分のみを説明するものとし、上記X軸駆動機構部310xと同一または対応する構成要素については、上記X軸駆動機構部310xの各構成要素と同一符号で添え字をyとした符号で示し、その詳細な説明は省略する。   The Y-axis drive mechanism 310y will be described only with respect to the parts different from the X-axis drive mechanism 310x, and the same or corresponding components as those of the X-axis drive mechanism 310x will be described with reference to the X-axis drive mechanism. The same reference numerals as those of the components of the section 310x are used, and the subscript is indicated by y, and the detailed description thereof is omitted.

Y軸駆動機構部310yがX軸駆動機構部310xと異なるところは夫々の摺動板332x,332yの厚さである(材料は同じであり、密度も同じ)。ここではX軸駆動機構部310xの板厚がY軸駆動機構部310yのそれより厚く構成されている。従って、摺動板332xの屈曲(即ち、振動子の屈曲振動に対応する屈曲)に対する剛性は、厚さの3乗に比例して大きくなり、摺動板332yを固着して構成される摺動体330yの剛性は摺動体330xよりも小さくなる。ここで、X軸駆動機構部310xの摺動板332xを厚くしてあるが、これはX軸駆動機構部310xが駆動するX枠301は、Y軸駆動機構部310yも保持しており、より大きな駆動力を発生する必要があり、X軸振動子320xの振動振幅はより大きく、剛性を高めて摺動板332xへの振動印加での撓みによる振動エネルギー損失を少なくするためである。また、摺動板332xの厚さを厚くすることにより、摺動体330xの剛性を大きくすることができ、摺動体330xの屈曲の基本周波数を高くすることにより、摺動体330xがX軸振動子の駆動周波数に重ならないように設定することができ、摺動体330xの共振による振動エネルギーの損失も抑えることができる。   The difference between the Y-axis drive mechanism 310y and the X-axis drive mechanism 310x is the thickness of the sliding plates 332x and 332y (the materials are the same and the density is the same). Here, the plate thickness of the X-axis drive mechanism portion 310x is configured to be thicker than that of the Y-axis drive mechanism portion 310y. Therefore, the rigidity of the sliding plate 332x with respect to the bending (that is, the bending corresponding to the bending vibration of the vibrator) increases in proportion to the cube of the thickness, and the sliding body configured by fixing the sliding plate 332y. The rigidity of 330y is smaller than that of the sliding body 330x. Here, the sliding plate 332x of the X-axis drive mechanism 310x is thickened, but this is because the X frame 301 driven by the X-axis drive mechanism 310x also holds the Y-axis drive mechanism 310y. This is because a large driving force needs to be generated, and the vibration amplitude of the X-axis vibrator 320x is larger, so that the rigidity is increased and vibration energy loss due to bending due to application of vibration to the sliding plate 332x is reduced. Further, by increasing the thickness of the sliding plate 332x, it is possible to increase the rigidity of the sliding body 330x, and by increasing the bending fundamental frequency of the sliding body 330x, the sliding body 330x becomes the X-axis vibrator. It can set so that it may not overlap with a drive frequency, and the loss of the vibration energy by resonance of sliding body 330x can also be controlled.

なお、上述したように摺動板332x,332yを含む摺動体330xと330yとの厚さを異ならせる以外にも構成材料の弾性率または剛性を異ならせたり(例えば、摺動板の中立軸に関する断面2次モーメントを異ならせる)、さらには、密度の異なる材料を適用するなどにより摺動体330x側の屈曲の基本周波数を高くして同様の効果を得ることができる。   Note that, as described above, the sliding members 330x and 330y including the sliding plates 332x and 332y have different thicknesses than the sliding members 330x and 330y. The same effect can be obtained by increasing the fundamental frequency of bending on the sliding body 330x side by, for example, applying materials having different densities.

また、X枠301に対するY枠38の光軸Oに沿う方向(Z軸方向)の位置決めと、両枠301,38間の間隔は、X枠301の枠部301bに穿設される1つの長孔301dに収納される1つのボール307yと、両枠301,38の各ばね掛け部301g,38gとの間に懸架されるばね308yとによって規定され維持されるようになっている。   Further, the positioning in the direction along the optical axis O of the Y frame 38 with respect to the X frame 301 (Z axis direction) and the distance between both the frames 301 and 38 are one length perforated in the frame portion 301b of the X frame 301. One ball 307y accommodated in the hole 301d and a spring 308y suspended between the spring hook portions 301g and 38g of both frames 301 and 38 are defined and maintained.

一方、本実施形態の防振ユニット300は、図1に示すように、ボディユニット100のX軸周りのブレ(ピッチ方向のブレ)を検出するセンサであるX軸ジャイロ350xと、ボディユニット100のY軸周りのブレ(ヨー方向のブレ)を検出するセンサであるY軸ジャイロ350yとを有している。これらのX軸ジャイロ350x,Y軸ジャイロ350yは、図3では図示していないが、ボディユニット100の本体部の所定の部位に固設されている。   On the other hand, as shown in FIG. 1, the image stabilization unit 300 according to the present embodiment includes an X-axis gyro 350 x that is a sensor that detects a blur around the X-axis of the body unit 100 (pitch in the pitch direction), and the body unit 100. It has a Y-axis gyro 350y that is a sensor for detecting a blur around the Y-axis (blur in the yaw direction). These X-axis gyro 350x and Y-axis gyro 350y are not shown in FIG. 3, but are fixed to predetermined portions of the main body of the body unit 100.

また、上記防振ユニット300は、固定枠302に配設させたホール素子351と、このホール素子351に対向するY枠38の部位に配設させたマグネット352と、によって構成される位置検出センサ353を備えている。   The vibration isolation unit 300 is a position detection sensor including a hall element 351 disposed on the fixed frame 302 and a magnet 352 disposed on a portion of the Y frame 38 facing the hall element 351. 353.

この位置検出装置である位置検出センサ353の詳細を説明すると、ホール素子351は箱状の筐体の光軸と直交する一面に設けられ、マグネット352は、Y枠38の一部から張り出した腕状の部分にホール素子351に対向するように、そして上記筐体の内部のなかで相対的移動が可能なように取り付けられている。   The details of the position detection sensor 353 as the position detection device will be described. The hall element 351 is provided on one surface orthogonal to the optical axis of the box-shaped housing, and the magnet 352 extends from a part of the Y frame 38. It is attached to the shaped portion so as to face the Hall element 351 and to be relatively movable in the inside of the casing.

そして、これらX軸ジャイロ350x,Y軸ジャイロ350yと位置検出センサ353からの信号に基いてX軸振動子320x,Y軸振動子320yに対する振動子駆動回路354を制御する防振制御回路355(図1参照)を備えている。この防振制御回路355は、Bμcom50からの指示に従って制御動作を実行するようになっている。   Then, based on the signals from the X-axis gyro 350x, the Y-axis gyro 350y and the position detection sensor 353, the image stabilization control circuit 355 for controlling the vibrator drive circuit 354 for the X-axis vibrator 320x and the Y-axis vibrator 320y (FIG. 1). The image stabilization control circuit 355 is configured to perform a control operation in accordance with an instruction from the Bμcom 50.

以上説明した構成の上記一実施形態による防振ユニット300(撮像素子駆動装置)においては、固定枠302(第1の枠部材)と、この固定枠302に対してX軸方向に相対移動するX枠301(第2の枠部材)と、このX枠301に対してY軸方向に相対移動するY枠38と、4つのボール307x,336x(転動部材)とを有して構成している。この場合において、4つのボール307x,336xは、固定枠302とX枠301との間にあって、かつ光軸Oと直交する面内(例えば撮像素子(CCD31)の撮像面と平行な面内)で光軸Oを内包する四辺形の頂点のそれぞれに配置した形態としている。これにより、X枠301は、固定枠302に対して4つのボール307x,336xを介して光軸Oと直交する方向に相対的に安定した状態で移動するようになる。   In the image stabilization unit 300 (imaging element driving device) according to the embodiment having the above-described configuration, the fixed frame 302 (first frame member) and X that moves relative to the fixed frame 302 in the X-axis direction. A frame 301 (second frame member), a Y frame 38 that moves relative to the X frame 301 in the Y-axis direction, and four balls 307x and 336x (rolling members) are configured. . In this case, the four balls 307x and 336x are located between the fixed frame 302 and the X frame 301 and are orthogonal to the optical axis O (for example, in a plane parallel to the imaging surface of the imaging device (CCD 31)). A configuration is adopted in which each of the vertices of the quadrilateral including the optical axis O is arranged. As a result, the X frame 301 moves relative to the fixed frame 302 in a relatively stable state in the direction orthogonal to the optical axis O via the four balls 307x and 336x.

また、X枠301には、撮像面が光軸Oと直交するように配される撮像素子(CCD31)を含む撮像ユニット30を搭載したY枠38が搭載された形態になっている。これにより、撮像ユニット30を搭載したY枠38は、固定枠302に対してX枠301と共にX軸方向に相対移動可能に、かつX枠301に対してはY軸方向に相対移動可能である。   Further, the X frame 301 has a form in which a Y frame 38 on which an imaging unit 30 including an imaging element (CCD 31) arranged so that the imaging surface is orthogonal to the optical axis O is mounted. As a result, the Y frame 38 on which the imaging unit 30 is mounted can move relative to the fixed frame 302 in the X axis direction together with the X frame 301, and can move relative to the X frame 301 in the Y axis direction. .

このように、4つのボール307x,336xにより形成される四辺形は、少なくとも一辺に、複数のボール(転動部材)が配されており、かつ上記四辺形の領域内には光軸Oに沿う方向の投影面に撮像面が存在するようになっている。   As described above, the quadrilateral formed by the four balls 307x and 336x has a plurality of balls (rolling members) arranged on at least one side, and is along the optical axis O in the quadrilateral region. An imaging surface is present on the direction projection surface.

さらに、固定枠302とX枠301とに掛け渡された2本のばね308x(バネ部材)により、固定枠302とX枠301との間に複数のボール307x(転動部材)を挟むように構成している。   Further, a plurality of balls 307 x (rolling members) are sandwiched between the fixed frame 302 and the X frame 301 by two springs 308 x (spring members) spanned between the fixed frame 302 and the X frame 301. It is composed.

このような構成により、上記一実施形態の防振ユニット300によれば、固定枠302に対して、X枠301を常に安定した状態で移動可能に保持することができる。したがって、防振ユニット300を駆動させて、X枠301及びY枠38をそれぞれ移動させることで、X枠301に搭載されるY枠38に搭載した撮像ユニット30を撮像面に沿う方向に移動させた場合にも、光軸Oに対してCCD31(撮像素子)の撮像面を常に安定した状態に維持し、光路長の変化量を抑えることができる。したがって、防振ユニット300を駆動させた場合にも、像ブレを抑えつつ、常に良質な撮影画像を取得することができる。   With such a configuration, according to the image stabilization unit 300 of the above-described embodiment, the X frame 301 can always be held movably in a stable state with respect to the fixed frame 302. Accordingly, by driving the image stabilization unit 300 and moving the X frame 301 and the Y frame 38, respectively, the imaging unit 30 mounted on the Y frame 38 mounted on the X frame 301 is moved in a direction along the imaging surface. In this case, the imaging surface of the CCD 31 (imaging device) can always be kept stable with respect to the optical axis O, and the amount of change in the optical path length can be suppressed. Therefore, even when the image stabilization unit 300 is driven, it is possible to always obtain a good quality captured image while suppressing image blur.

[実施例]
上述のように構成される本実施形態の防振ユニット300を動作させた場合において、その駆動量(mm)に対する光路長の変化量(mm)の測定結果を図8に示す。
[Example]
FIG. 8 shows a measurement result of the change amount (mm) of the optical path length with respect to the drive amount (mm) when the image stabilization unit 300 of the present embodiment configured as described above is operated.

図8において、符号A(「○」;白丸)でプロットされる折れ線が本実施形態の防振ユニット300による測定結果である。また、符号B(「●」;黒丸)でプロットされる折れ線は従来の形態の防振ユニットによる測定結果である。   In FIG. 8, the polygonal line plotted with the symbol A (“◯”; white circle) is the measurement result by the image stabilization unit 300 of the present embodiment. In addition, the broken line plotted with the symbol B (“●”; black circle) is the measurement result by the vibration isolating unit of the conventional form.

この場合において、従来の防振ユニットの形態としては、本実施形態の防振ユニットと略同様の構成からなるものではあるが、固定枠302とX枠301との間に挟持させる転動体としてのボールの配置を、例えば摺動体330x近傍においては本実施形態と同様に2つのボール336xを配置する一方、摺動体330xの対辺側に配置するボール307xを1個のみとして構成した点で異なる形態の防振ユニットを従来の形態の例として取り上げている。   In this case, the form of the conventional vibration isolating unit is substantially the same as that of the vibration isolating unit of the present embodiment, but as a rolling element to be sandwiched between the fixed frame 302 and the X frame 301. For example, in the vicinity of the sliding body 330x, two balls 336x are disposed in the vicinity of the sliding body 330x, while the ball 307x disposed on the opposite side of the sliding body 330x is configured with only one ball. The anti-vibration unit is taken as an example of a conventional form.

図8のグラフからも明らかなように、本実施形態の防振ユニット300においては、X軸方向への駆動量を±0.8mmの範囲で駆動した場合、従来品に比べて光路長変化量の抑制を実現している。したがって、これにより本実施形態の構成によれば、撮像素子駆動装置(防振ユニット)を駆動させたときの光路長の変化量を抑えることができ、より安定した像面を確保することができるということになる。   As is clear from the graph of FIG. 8, in the image stabilization unit 300 of this embodiment, when the drive amount in the X-axis direction is driven within a range of ± 0.8 mm, the optical path length change amount compared to the conventional product. Has been achieved. Therefore, according to the configuration of the present embodiment, the amount of change in the optical path length when the image sensor driving device (anti-vibration unit) is driven can be suppressed, and a more stable image surface can be secured. It turns out that.

なお、上述の一実施形態においては、固定枠302とX枠301との間に挟まれる4つのボール307x,336xの配置を工夫することで、固定枠302に対してX枠301をX軸方向に移動させたときの安定性を確保しているのみであるが、これに加えて、X枠301に対してY軸方向に移動するY枠38との関係に着目して、4つのボールを同様に配置することも可能である。この場合においては、上述の一実施形態における固定枠302をX枠301に、X枠301をY枠に置き換えた形態で考えれば、略同様の構成を実現することができる。   In the above-described embodiment, by devising the arrangement of the four balls 307x and 336x sandwiched between the fixed frame 302 and the X frame 301, the X frame 301 is placed in the X-axis direction with respect to the fixed frame 302. In addition to this, in addition to this, focusing on the relationship with the Y frame 38 that moves in the Y-axis direction with respect to the X frame 301, the four balls are A similar arrangement is also possible. In this case, a substantially similar configuration can be realized if the fixed frame 302 in the above-described embodiment is replaced with the X frame 301 and the X frame 301 is replaced with the Y frame.

また、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用を実施し得ることが可能であることは勿論である。さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせによって、種々の発明が抽出され得る。例えば、上記一実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。   In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various modifications and applications can be implemented without departing from the spirit of the invention. Further, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent elements. For example, even if some constituent elements are deleted from all the constituent elements shown in the embodiment, the problem described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the effect described in the effect of the invention Can be obtained as an invention.

本実施形態の撮像素子駆動装置を搭載するデジタルカメラにおいて主に電気的なシステム構成を示す概略ブロック構成図。1 is a schematic block configuration diagram mainly showing an electrical system configuration in a digital camera equipped with an image sensor driving device of the present embodiment. 図1のカメラの撮像ユニットの構成を示す縦断側面図。FIG. 2 is a longitudinal side view illustrating a configuration of an imaging unit of the camera in FIG. 1. 本実施形態の撮像素子駆動装置の構成を前面側から見た分解斜視図。The exploded perspective view which looked at the composition of the image sensor drive device of this embodiment from the front side. 本実施形態の撮像素子駆動装置の構成を背面側から見た分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the configuration of the image sensor driving device of the present embodiment as viewed from the back side. 本実施形態の撮像素子駆動装置の正面図。The front view of the image sensor drive device of this embodiment. 図5の[6]−[6]線に沿う部分断面図。The fragmentary sectional view which follows the [6]-[6] line of FIG. 図5の[7]−[7]線に沿う部分断面図。The fragmentary sectional view which follows the [7]-[7] line | wire of FIG. 本実施形態の撮像素子駆動装置を動作させた場合の駆動量(mm)に対する光路長の変化量(mm)の測定結果を示す実施例。The Example which shows the measurement result of the variation | change_quantity (mm) of the optical path length with respect to the drive amount (mm) at the time of operating the image pick-up element drive device of this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1……撮影レンズ
5……レンズ制御用マイクロコンピュータ(Lμcom)
10……レンズユニット
30……撮像ユニット
30 枠30
31……CCD
32……光学ローパスフィルタ(LPF)
33……防塵フィルタ
34……圧電素子
38……Y枠
38a……開口
38g……ばね掛け部
40……押圧部材
48……防塵フィルタ制御回路
50……ボディ制御用マイクロコンピュータ(Bμcom)
100……ボディユニット
300……手ブレ補正用防振ユニット
301……X枠
301a……枠開口
301b……枠部
301d……長孔
301f……ばね架け部
301g……ばね掛け部
302……固定枠
302a……枠開口
302b……枠部
302c……X軸振動子収納部
302d……長孔
302f……ばね架け部
305x……V溝
306x……V溝板
307x,307y,336x……ボール
308x,308y……ばね
309x……板状シート
310x……X軸駆動機構部
310y……Y軸駆動機構部
320x……X軸振動子
320y……Y軸振動子
321x,322x……駆動子
323x……圧電体
330x,330y……摺動体
332x,332y……摺動板
334x……V溝
335x……リテーナ
340x……押圧機構
341x……押圧板
342x……溝状保持部
347x……押圧ばね
350x……X軸ジャイロ
350y……Y軸ジャイロ
351……ホール素子
352……マグネット
353……位置検出センサ
354……振動子駆動回路
355……防振制御回路
1 …… Photo lens 5 …… Lens control microcomputer (Lμcom)
10 …… Lens unit 30 …… Imaging unit 30 Frame 30
31 …… CCD
32 …… Optical low-pass filter (LPF)
33 …… Dustproof filter 34 …… Piezoelectric element 38 …… Y frame 38a …… Opening 38g …… Spring hook 40 …… Pressing member 48 …… Dustproof filter control circuit 50 …… Body control microcomputer (Bμcom)
100 …… Body unit 300 …… Anti-shake unit for camera shake correction 301 …… X frame 301a …… Frame opening 301b …… Frame portion 301d …… Elongated hole 301f …… Spring hook portion 301g …… Spring hook portion 302 …… Fixed frame 302a …… Frame opening 302b …… Frame portion 302c …… X-axis vibrator housing portion 302d …… Elongated hole 302f …… Spring bridge portion 305x …… V groove 306x …… V groove plates 307x, 307y, 336x …… Balls 308x, 308y ... Spring 309x ... Plate-like sheet 310x ... X-axis drive mechanism 310y ... Y-axis drive mechanism 320x ... X-axis vibrator 320y ... Y-axis vibrator 321x, 322x ... Driver 323x …… Piezoelectric bodies 330x, 330y …… Sliding bodies 332x, 332y …… Sliding plates 334x …… V-groove 335x …… Retainer 340x …… Pressing mechanism 341x… Press plate 342x ... groove-shaped holding portion 347x ... press spring 350x ... X-axis gyro 350y ... Y-axis gyro 351 ... Hall element 352 ... magnet 353 ... position detection sensor 354 ... vibrator drive circuit 355 ... ... Anti-vibration control circuit

Claims (4)

撮像素子駆動装置において、
第1の枠部材と、
光軸と直交する面内で光軸を内包する四辺形の頂点のそれぞれに転動部材が配置され、上記第1の枠部材に対し上記転動部材を介して光軸と直交する方向に相対移動させられ、撮像面が光軸と直交するように配される撮像素子を含む第2の枠部材と、
を具備したことを特徴とする撮像素子駆動装置。
In the image sensor driving device,
A first frame member;
A rolling member is disposed at each of the vertices of the quadrilateral including the optical axis in a plane orthogonal to the optical axis, and relative to the first frame member in a direction orthogonal to the optical axis via the rolling member. A second frame member including an image sensor that is moved so that an imaging surface is orthogonal to the optical axis;
An image sensor driving device comprising:
上記四辺形の少なくとも一辺には、複数の上記転動部材が配されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子駆動装置。   The image sensor driving apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the rolling members are arranged on at least one side of the quadrilateral. 上記四辺形の領域内には、光軸方向の投影面に撮像面が存在することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子駆動装置。   2. The image sensor driving apparatus according to claim 1, wherein an imaging surface is present on a projection surface in an optical axis direction within the quadrilateral region. 上記第1の枠部材と上記第2の枠部材とに掛け渡されたバネ部材により、上記第1の枠部材と上記第2の枠部材との間に上記複数の転動部材を挟んだ状態で保持することを特徴とした請求項1に記載の撮像素子駆動装置。   A state in which the plurality of rolling members are sandwiched between the first frame member and the second frame member by a spring member spanned between the first frame member and the second frame member The image pickup device driving apparatus according to claim 1, wherein the image pickup element driving device is held by
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019066506A (en) * 2017-09-28 2019-04-25 キヤノン株式会社 Tremor-proof device, and optical device using tremor-proof device

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