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JP2009166335A - Liquid jetting head and liquid jetting apparatus - Google Patents

Liquid jetting head and liquid jetting apparatus Download PDF

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JP2009166335A
JP2009166335A JP2008006177A JP2008006177A JP2009166335A JP 2009166335 A JP2009166335 A JP 2009166335A JP 2008006177 A JP2008006177 A JP 2008006177A JP 2008006177 A JP2008006177 A JP 2008006177A JP 2009166335 A JP2009166335 A JP 2009166335A
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JP
Japan
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head
drive circuit
flexible printed
liquid ejecting
pressure generating
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Application number
JP2008006177A
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Inventor
Yoshihiro Ito
祐弘 伊東
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jetting head and a liquid jetting apparatus which can improve durability of a driving circuit and can improve liquid jetting characteristics by efficiently carrying out heat radiation of the driving circuit. <P>SOLUTION: The liquid jetting head includes a head body 10 which is equipped with both pressure generation chambers 21 that communicate with nozzle openings 34 for jetting a liquid, and pressure generating means 40 that make the pressure generation chambers 21 generate pressure change; a flexible printed circuit board 50 to which the driving circuit 60 electrically connected to the pressure generating means 40 of the head body 10 to drive the pressure generating means 40 is mounted; and a sheath member 11 which holds the head body 10 and in which the flexible printed circuit board 50 is enclosed. The driving circuit 60 of the flexible printed circuit board 50 is connected to be thermally conductible to an internal surface of the sheath member 11. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzle openings, and more particularly to an ink jet recording head that ejects ink as liquid.

ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子のたわみ変形を用いたものが実用化されている。   A part of the pressure generating chamber communicating with the nozzle opening is constituted by a diaphragm, and the diaphragm is deformed by a piezoelectric element to pressurize ink in the pressure generating chamber and eject ink droplets from the nozzle opening. Has been put to practical use using a flexural deformation of a piezoelectric element comprising a lower electrode, a piezoelectric layer and an upper electrode.

また、圧電素子を駆動するための駆動信号を入力する駆動回路は、フレキシブルプリント基板に実装され、このフレキシブルプリント基板を介して圧電素子に電気的に接続されている(例えば、特許文献1参照)。   In addition, a drive circuit for inputting a drive signal for driving the piezoelectric element is mounted on a flexible printed circuit board, and is electrically connected to the piezoelectric element through the flexible printed circuit board (see, for example, Patent Document 1). .

特開2005−131881号公報JP 2005-131881 A

しかしながら、フレキシブルプリント基板に実装される駆動回路は、当該駆動回路自体でしか放熱できないため、放熱能力が限られており、回路損失が放熱能力を超える場合には、駆動回路が熱により破壊されてしまうと共に、放熱性を確保するには放熱面積が必要となるため、駆動回路の小型化を行うことができないという問題がある。   However, since the drive circuit mounted on the flexible printed circuit board can only dissipate heat by the drive circuit itself, the heat dissipation capability is limited. When the circuit loss exceeds the heat dissipation capability, the drive circuit is destroyed by heat. In addition, in order to ensure heat dissipation, a heat dissipation area is required, and thus there is a problem that the drive circuit cannot be reduced in size.

このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の耐久性を向上することができると共に液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, the present invention provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can efficiently dissipate heat from the drive circuit, improve the durability of the drive circuit, and improve the liquid ejecting characteristics. The purpose is to do.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生手段に電気的に接続されて当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板と、前記ヘッド本体を保持すると共に前記フレキシブルプリント基板が内包される外装部材とを具備し、前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が、前記外装部材の内面に熱伝導可能に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、駆動回路の熱を外装部材を介して大気中に放熱することができるため、駆動回路の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路を大型化する必要がなく、小型化してコストを低減することができる。また、駆動回路の発熱による低寿命化を防止して耐久性を向上することができると共に、液体噴射特性及び連続吐出性能を向上することができる。
An aspect of the present invention that solves the above-described problems includes a head main body that includes a pressure generation chamber that communicates with a nozzle opening that ejects liquid, and a pressure generation unit that causes a pressure change in the pressure generation chamber. A flexible printed circuit board on which a drive circuit that is electrically connected to the pressure generating means and drives the pressure generating means is mounted; and an exterior member that holds the head body and encloses the flexible printed circuit board. In the liquid ejecting head, the driving circuit of the flexible printed circuit board is connected to the inner surface of the exterior member so as to be capable of conducting heat.
In this aspect, the heat of the drive circuit can be dissipated to the atmosphere through the exterior member, so that the drive circuit can be prevented from being destroyed by heat, and the drive circuit does not need to be enlarged and downsized. Cost can be reduced. Further, it is possible to improve the durability by preventing the life of the drive circuit from being shortened due to heat generation, and to improve the liquid ejection characteristics and the continuous ejection performance.

ここで、前記外装部材は、前記駆動回路が熱伝導可能に接続された結合領域が他の領域に比べて放熱性の高い部材からなることが好ましい。これによれば、結合領域によってさらに駆動回路の放熱性を向上することができると共に、結合領域のみを比較的放熱性の高い材料で形成することで、外装部材が重くなり高速移動や移動に用いるモータ等に負担がかかるのを防止することができる。また、放熱性の高い材料は導電性を有する場合が多く、筐体との接地を施すことで、静電気等の発生も防止できる。   Here, it is preferable that the exterior member is a member in which a coupling region where the drive circuit is connected to be thermally conductive is higher in heat dissipation than other regions. According to this, the heat dissipation of the drive circuit can be further improved by the coupling region, and only the coupling region is formed of a material having a relatively high heat dissipation, so that the exterior member becomes heavy and used for high-speed movement and movement. It is possible to prevent a burden on the motor and the like. In addition, a material with high heat dissipation often has conductivity, and the occurrence of static electricity or the like can be prevented by grounding the housing.

また、前記外装部材が、前記フレキシブルプリント基板が接続される回路基板が設けられたヘッドケースであることが好ましい。これによれば、駆動回路が熱伝導可能に接続される外装部材としてヘッドケースを用いることで、新たな部材が不要となり、コストを低減することができる。   Moreover, it is preferable that the said exterior member is a head case provided with the circuit board to which the said flexible printed circuit board is connected. According to this, by using the head case as the exterior member to which the drive circuit is connected so as to be able to conduct heat, a new member becomes unnecessary and the cost can be reduced.

また、前記ヘッドケースが、中空箱形状を有し、前記フレキシブルプリント基板が、前記ヘッドケース内の壁面に沿って屈曲されて設けられており、前記駆動回路と前記ヘッドケースの壁面とが熱伝導可能に接続されていることが好ましい。これによれば、駆動回路とヘッドケースの壁面とを容易に且つ確実に熱伝導可能に接続することができる。   Further, the head case has a hollow box shape, the flexible printed circuit board is bent along a wall surface in the head case, and the drive circuit and the wall surface of the head case conduct heat. It is preferable that the connection is possible. According to this, the drive circuit and the wall surface of the head case can be connected easily and reliably so as to be able to conduct heat.

また、前記圧力発生手段が、撓み振動モードの圧電素子であることが好ましい。これによれば、撓み振動モードの圧電素子に接続されたフレキシブルプリント基板の駆動回路の熱を効率よく放熱することができる。   Moreover, it is preferable that the said pressure generation means is a piezoelectric element of a bending vibration mode. According to this, the heat of the drive circuit of the flexible printed circuit board connected to the piezoelectric element in the flexural vibration mode can be efficiently radiated.

また、前記駆動回路と前記外装部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接着されていることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの移動時などに駆動回路と外装部材との間に隙間が生じて熱伝導が断絶するのを防止して、駆動回路の熱を外装部材によって確実に放熱することができる。   Moreover, it is preferable that the said drive circuit and the said exterior member are adhere | attached through the adhesive agent which has an electrothermal filler. According to this, it is possible to prevent heat conduction from being interrupted due to a gap between the drive circuit and the exterior member when the liquid ejecting head is moved, and to reliably radiate the heat of the drive circuit by the exterior member. Can do.

さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、信頼性を向上すると共に低コスト化した液体噴射装置を実現できる。
According to still another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
According to this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus with improved reliability and reduced cost.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2はインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図3は、図2のA−A′断面図及びB−B′断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head that is an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the ink jet recording head, and FIG. It is AA 'sectional drawing and BB' sectional drawing.

図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドIは、インクを吐出するヘッド本体10と、ヘッド本体10の圧力発生手段に電気的に接続されて圧力発生手段に駆動信号を供給するフレキシブルプリント基板50と、ヘッド本体10のインク吐出面とは反対側に設けられてインクジェット式記録ヘッドIの外装部材であるヘッドケース11とを具備する。   As shown in the drawing, an ink jet recording head I of this embodiment includes a head main body 10 that ejects ink, and a flexible print that is electrically connected to the pressure generating means of the head main body 10 and supplies a drive signal to the pressure generating means. A substrate 50 and a head case 11 which is provided on the side opposite to the ink discharge surface of the head body 10 and is an exterior member of the ink jet recording head I are provided.

まず、本実施形態のヘッド本体10について説明する。図3(b)に示すように、ヘッド本体10は、アクチュエータユニット20と、アクチュエータユニット20が固定される1つの流路ユニット30と、アクチュエータユニット20に接続されるフレキシブルプリント基板50とで構成されている。   First, the head body 10 of this embodiment will be described. As shown in FIG. 3B, the head body 10 includes an actuator unit 20, one flow path unit 30 to which the actuator unit 20 is fixed, and a flexible printed circuit board 50 connected to the actuator unit 20. ing.

アクチュエータユニット20は、圧電素子40を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室21が形成された流路形成基板22と、流路形成基板22の一方面側に設けられた振動板23と、流路形成基板22の他方面側に設けられた圧力発生室底板24とを有する。   The actuator unit 20 is an actuator device including a piezoelectric element 40, and includes a flow path forming substrate 22 in which a pressure generation chamber 21 is formed, a vibration plate 23 provided on one surface side of the flow path forming substrate 22, And a pressure generation chamber bottom plate 24 provided on the other surface side of the path forming substrate 22.

流路形成基板22は、例えば、150μm程度の厚みを有するアルミナ(Al23)や、ジルコニア(ZrO2)などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室21がその幅方向に沿って並設された列が2列形成されている。そして、この流路形成基板22の一方面に、例えば、厚さ10μmのジルコニアの薄板からなる振動板23が固定され、圧力発生室21の一方面はこの振動板23により封止されている。 The flow path forming substrate 22 is made of, for example, a ceramic plate such as alumina (Al 2 O 3 ) or zirconia (ZrO 2 ) having a thickness of about 150 μm. In this embodiment, the plurality of pressure generating chambers 21 have their widths. Two rows arranged in parallel along the direction are formed. A vibration plate 23 made of, for example, a zirconia thin plate having a thickness of 10 μm is fixed to one surface of the flow path forming substrate 22, and one surface of the pressure generating chamber 21 is sealed by the vibration plate 23.

圧力発生室底板24は、流路形成基板22の他方面側に固定されて圧力発生室21の他方面を封止すると共に、圧力発生室21の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室21と後述するリザーバとを連通する供給連通孔25と、圧力発生室21の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口34に連通するノズル連通孔26とを有する。   The pressure generation chamber bottom plate 24 is fixed to the other surface side of the flow path forming substrate 22 to seal the other surface of the pressure generation chamber 21, and is provided in the vicinity of one end of the pressure generation chamber 21 in the longitudinal direction. A supply communication hole 25 that communicates the generation chamber 21 with a reservoir, which will be described later, and a nozzle communication hole 26 that is provided near the other end in the longitudinal direction of the pressure generation chamber 21 and communicates with a nozzle opening 34 that will be described later.

そして、圧電素子40は、振動板23上の各圧力発生室21に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室21の列が2列設けられているため、圧電素子40の列も2列設けられている。   And the piezoelectric element 40 is provided in each area | region facing each pressure generation chamber 21 on the diaphragm 23. For example, in this embodiment, since the row | line | column of the pressure generation chamber 21 is provided in two rows, it is piezoelectric. Two rows of elements 40 are also provided.

ここで、各圧電素子40は、振動板23上に設けられた下電極膜43と、各圧力発生室21毎に独立して設けられた圧電体層44と、各圧電体層44上に設けられた上電極膜45とで構成されている。圧電体層44は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜43は、並設された圧電体層44に亘って設けられて各圧電素子40の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜43を各圧電体層44毎に設けるようにしてもよい。このような圧電素子40は、厚さ方向に撓み変形する、いわゆる撓み振動モードの圧電素子40である。   Here, each piezoelectric element 40 is provided on the lower electrode film 43 provided on the vibration plate 23, the piezoelectric layer 44 provided independently for each pressure generation chamber 21, and the piezoelectric layer 44. And the upper electrode film 45 thus formed. The piezoelectric layer 44 is formed by attaching or printing a green sheet made of a piezoelectric material. The lower electrode film 43 is provided across the piezoelectric layers 44 arranged side by side and serves as a common electrode for the piezoelectric elements 40, and functions as a part of the diaphragm. Of course, the lower electrode film 43 may be provided for each piezoelectric layer 44. Such a piezoelectric element 40 is a so-called flexural vibration mode piezoelectric element 40 that bends and deforms in the thickness direction.

なお、アクチュエータユニット20の各層である流路形成基板22、振動板23及び圧力発生室底板24は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室21等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板23上に圧電素子40が形成される。   The flow path forming substrate 22, the vibration plate 23, and the pressure generation chamber bottom plate 24, which are each layer of the actuator unit 20, are formed by molding a clay-like ceramic material, a so-called green sheet, to a predetermined thickness, for example, a pressure generation chamber After drilling 21 and the like, they are laminated and fired to integrate them without requiring an adhesive. Thereafter, the piezoelectric element 40 is formed on the vibration plate 23.

一方、流路ユニット30は、アクチュエータユニット20の圧力発生室底板24に接合されるインク供給口形成基板31と、複数の圧力発生室21の共通インク室となるリザーバ32が形成されるリザーバ形成基板33と、ノズル開口34が形成されたノズルプレート35とからなる。   On the other hand, the flow path unit 30 includes an ink supply port forming substrate 31 joined to the pressure generating chamber bottom plate 24 of the actuator unit 20 and a reservoir forming substrate on which a reservoir 32 serving as a common ink chamber of the plurality of pressure generating chambers 21 is formed. 33 and a nozzle plate 35 in which nozzle openings 34 are formed.

インク供給口形成基板31は、厚さ150μmのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口34と圧力発生室21とを接続するノズル連通孔36と、前述の供給連通孔25と共にリザーバ32と圧力発生室21とを接続するインク供給口37を穿設して構成され、また、各リザーバ32と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口38が設けられている。   The ink supply port forming substrate 31 is made of a zirconia thin plate having a thickness of 150 μm, the nozzle communication hole 36 connecting the nozzle opening 34 and the pressure generation chamber 21, and the reservoir 32 and the pressure generation chamber 21 together with the supply communication hole 25 described above. The ink supply port 37 is connected to each other, and an ink introduction port 38 that communicates with each reservoir 32 and supplies ink from an external ink tank is provided.

リザーバ形成基板33は、インク流路を構成するに適した、例えば、150μmのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク(図示なし)からインクの供給を受けて圧力発生室21にインクを供給するリザーバ32と、圧力発生室21とノズル開口34とを連通するノズル連通孔39とを有する。   The reservoir forming substrate 33 receives a supply of ink from an external ink tank (not shown) on a plate material having corrosion resistance such as 150 μm stainless steel, which is suitable for forming an ink flow path. And a nozzle communication hole 39 for communicating the pressure generating chamber 21 and the nozzle opening 34.

ノズルプレート35は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室21と同一の配列ピッチでノズル開口34が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット30には、圧力発生室21の列が2列設けられているため、ノズルプレート35にも、ノズル開口34の列が2列形成されている。また、このノズルプレート35は、リザーバ形成基板33の流路形成基板22の反対面に接合されてリザーバ32の一方面を封止している。   The nozzle plate 35 is formed, for example, by forming nozzle openings 34 in a thin plate made of stainless steel at the same arrangement pitch as the pressure generating chambers 21. For example, in the present embodiment, since the flow path unit 30 is provided with two rows of the pressure generating chambers 21, the nozzle plate 35 is also formed with two rows of nozzle openings 34. The nozzle plate 35 is bonded to the opposite surface of the flow path forming substrate 22 of the reservoir forming substrate 33 to seal one surface of the reservoir 32.

このような流路ユニット30は、これらインク供給口形成基板31、リザーバ形成基板33及びノズルプレート35を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本実施形態では、リザーバ形成基板33及びノズルプレート35をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエータユニット20と同様に流路ユニット30を一体的に形成することもできる。   Such a flow path unit 30 is formed by fixing the ink supply port forming substrate 31, the reservoir forming substrate 33, and the nozzle plate 35 with an adhesive, a heat welding film, or the like. In the present embodiment, the reservoir forming substrate 33 and the nozzle plate 35 are formed of stainless steel. However, for example, the reservoir forming substrate 33 and the nozzle plate 35 are formed of ceramics, and the flow path unit 30 is integrally formed in the same manner as the actuator unit 20. You can also.

そして、このような流路ユニット30とアクチュエータユニット20とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。   And such a flow-path unit 30 and the actuator unit 20 are joined and fixed via the adhesive agent and the heat welding film.

また、図2及び図3に示すように、各圧電素子40の長手方向一端部の圧力発生室21の周壁に相対向する領域には、上電極膜45に接続された金(Au)等からなる個別接続端子46が設けられている。この個別接続端子46は圧電素子40毎に設けられている。また、図2に示すように、並設された圧電素子40の列間の圧電素子40の列の両端外側には、下電極膜43に接続された金(Au)からなる共通接続端子47が設けられている。そして、圧電素子40の各上電極膜45及び下電極膜43に設けられた個別接続端子46及び共通接続端子47には、フレキシブルプリント基板50に設けられた配線層51が電気的に接続されており、このフレキシブルプリント基板50を介して駆動回路60からの駆動信号が各圧電素子40に供給される。   As shown in FIGS. 2 and 3, the region opposite to the peripheral wall of the pressure generation chamber 21 at one longitudinal end of each piezoelectric element 40 is made of gold (Au) or the like connected to the upper electrode film 45. The individual connection terminal 46 is provided. The individual connection terminal 46 is provided for each piezoelectric element 40. In addition, as shown in FIG. 2, common connection terminals 47 made of gold (Au) connected to the lower electrode film 43 are provided on both outer sides of the rows of the piezoelectric elements 40 between the rows of the piezoelectric elements 40 arranged side by side. Is provided. A wiring layer 51 provided on the flexible printed circuit board 50 is electrically connected to the individual connection terminal 46 and the common connection terminal 47 provided on each of the upper electrode film 45 and the lower electrode film 43 of the piezoelectric element 40. A drive signal from the drive circuit 60 is supplied to each piezoelectric element 40 via the flexible printed board 50.

フレキシブルプリント基板50は、2列の圧電素子40に亘って1つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット(FPC)や、テープキャリアパッケージ(TCP)などからなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板50は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム52の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層51を形成し、配線層51の圧電素子40と接続される端子部以外の領域をレジスト等の絶縁材料53で覆ったものである。   The flexible printed board 50 is formed of, for example, a flexible printing circuit (FPC), a tape carrier package (TCP), or the like, which is provided over two rows of piezoelectric elements 40. Specifically, the flexible printed circuit board 50 is formed, for example, by forming a wiring layer 51 having a predetermined pattern on a surface of a base film 52 made of polyimide or the like with a thin copper film or the like, and other than the terminal portion connected to the piezoelectric element 40 of the wiring layer 51. The region is covered with an insulating material 53 such as a resist.

また、フレキシブルプリント基板50は、一端側圧電素子40に接続され、他端側が印刷信号等が入力される外部配線が接続される回路基板70に接続されている。回路基板70は、外部配線が接続されるコネクタが設けられていると共に、圧電素子40を動作する動作回路が実装されたものである。   The flexible printed board 50 is connected to one end side piezoelectric element 40 and the other end side is connected to a circuit board 70 to which external wiring to which a print signal or the like is input is connected. The circuit board 70 is provided with a connector to which external wiring is connected and an operation circuit for operating the piezoelectric element 40 is mounted.

さらにフレキシブルプリント基板50の配線層51には、圧電素子40を駆動するための駆動回路60が実装されている。駆動回路60としては、例えば、回路基板や半導体集積回路(IC)などが挙げられる。このような駆動回路60は、フレキシブルプリント基板50の配線層51に、例えば、フリップ実装で搭載されている。なお、駆動回路60のフレキシブルプリント基板50上への実装は、例えば、金(Au)−金(Au)接続、金(Au)−錫(Sn)接続などの金属接続や、ACF(異方性導電ペースト)、ACP(異方性導電膜)、半田バンプ接続などを用いることができる。   Furthermore, a drive circuit 60 for driving the piezoelectric element 40 is mounted on the wiring layer 51 of the flexible printed board 50. Examples of the drive circuit 60 include a circuit board and a semiconductor integrated circuit (IC). Such a drive circuit 60 is mounted on the wiring layer 51 of the flexible printed board 50 by, for example, flip mounting. The drive circuit 60 is mounted on the flexible printed board 50 by, for example, metal connection such as gold (Au) -gold (Au) connection, gold (Au) -tin (Sn) connection, or ACF (anisotropic). Conductive paste), ACP (anisotropic conductive film), solder bump connection, or the like can be used.

一方、このようなヘッド本体10には、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドIの外装部材であるヘッドケース11が設けられている。   On the other hand, the head main body 10 is provided with a head case 11 that is an exterior member of the ink jet recording head I of this embodiment.

ヘッドケース11は、フレキシブルプリント基板50が接続される回路基板70が保持されたベース部12と、ベース部12の底面側に設けられた中空の箱形状を有するケース部13とを具備する。   The head case 11 includes a base portion 12 that holds a circuit board 70 to which the flexible printed circuit board 50 is connected, and a case portion 13 having a hollow box shape provided on the bottom surface side of the base portion 12.

ケース部13は、底面にヘッド本体10が接合されると共に、ヘッド本体10の圧電素子40を露出する開口部14が設けられている。本実施形態では、ケース部13の底面には、ヘッド本体10の流路ユニット30のノズルプレート35とは反対側の面が接着剤等を介して接合されている。そして、ケース部13内には、圧電素子40に電気的に接続されたフレキシブルプリント基板50が内包されている。   The case portion 13 is provided with an opening 14 that exposes the piezoelectric element 40 of the head body 10 while the head body 10 is bonded to the bottom surface. In the present embodiment, the surface of the case body 13 opposite to the nozzle plate 35 of the flow path unit 30 of the head body 10 is bonded to the bottom surface of the case body 13 with an adhesive or the like. And in the case part 13, the flexible printed circuit board 50 electrically connected to the piezoelectric element 40 is included.

また、ヘッドケース11には、液体を貯留する液体貯留手段であるインクカートリッジやインクタンクに接続されたチューブ部材等が接続されて、ケース部13の底面に保持されたヘッド本体10にインクを供給する液体供給路15が設けられている。   The head case 11 is connected to an ink cartridge, which is a liquid storage means for storing liquid, a tube member connected to the ink tank, and the like, and supplies ink to the head main body 10 held on the bottom surface of the case portion 13. A liquid supply path 15 is provided.

ベース部12は、ケース部13に一体的に形成されて、ケース部13の側面よりも外側に突出するように設けられており、この突出した領域に回路基板70が保持されている。なお、ベース部12は回路基板70を縦方向に保持する構成で設計される場合もある。   The base portion 12 is formed integrally with the case portion 13 so as to protrude outward from the side surface of the case portion 13, and the circuit board 70 is held in the protruding region. The base portion 12 may be designed with a configuration that holds the circuit board 70 in the vertical direction.

そして、ケース部13内に内包されたフレキシブルプリント基板50は、ケース部13の壁面に沿って屈曲され、ベース部12の回路基板70に電気的に接続されている。   The flexible printed board 50 enclosed in the case portion 13 is bent along the wall surface of the case portion 13 and is electrically connected to the circuit board 70 of the base portion 12.

このようなフレキシブルプリント基板50は、駆動回路60が設けられた面が、ヘッドケース11の内壁面に相対向するように配置されており、この駆動回路60は、ヘッドケース11の内面に熱伝導可能に接続、すなわち熱結合されている。本実施形態では、ヘッドケース11のケース部13の壁面である側面側に駆動回路60を熱結合するようにした。ここで、駆動回路60とヘッドケース11とが熱結合(熱伝導可能に接続)された状態とは、両者が互いに接触した状態又は両者が互いに接着剤等を介して接合された状態のことを言う。すなわち、駆動回路60とヘッドケース11とが互いに接触していても、また、接着剤等で接合されていてもよい。   Such a flexible printed circuit board 50 is disposed such that the surface on which the drive circuit 60 is provided is opposed to the inner wall surface of the head case 11, and the drive circuit 60 is thermally conductive to the inner surface of the head case 11. Possible connection, ie thermal coupling. In the present embodiment, the drive circuit 60 is thermally coupled to the side surface that is the wall surface of the case portion 13 of the head case 11. Here, the state in which the drive circuit 60 and the head case 11 are thermally coupled (connected so as to allow heat conduction) refers to a state in which they are in contact with each other or a state in which both are bonded to each other via an adhesive or the like. To tell. That is, the drive circuit 60 and the head case 11 may be in contact with each other or may be joined with an adhesive or the like.

なお、駆動回路60とヘッドケース11の壁面とを接触させる際には、例えば、駆動回路60をヘッドケース11の内壁面側に向かって付勢するばねやゴム等の付勢手段や、クリップなどの固定手段によって接触した状態が解除されないようにすればよい。また、駆動回路60とヘッドケース11の内面とを接着剤を介して接合する際には、接着剤として比較的に熱伝導率の高い材料を用いるのが好ましい。熱伝導率の高い接着剤としては、例えば、シリコーン材料からなる電熱フィラーが混練された接着剤等が挙げられる。本実施形態では、図3に示すように、駆動回路60とヘッドケース11とを接着剤16を介して接合するようにした。これにより、インクジェット式記録ヘッドIがキャリッジに搭載されて主走査方向に移動した際に、キャリッジの移動などにより駆動回路60とヘッドケース11との間に隙間が生じて熱結合が解除されるのを確実に防止している。   When the drive circuit 60 and the wall surface of the head case 11 are brought into contact with each other, for example, a biasing means such as a spring or rubber that biases the drive circuit 60 toward the inner wall surface of the head case 11, a clip, or the like It is sufficient that the contact state by the fixing means is not released. Further, when the drive circuit 60 and the inner surface of the head case 11 are joined via an adhesive, it is preferable to use a material having a relatively high thermal conductivity as the adhesive. Examples of the adhesive having a high thermal conductivity include an adhesive in which an electrothermal filler made of a silicone material is kneaded. In this embodiment, as shown in FIG. 3, the drive circuit 60 and the head case 11 are joined via the adhesive 16. As a result, when the ink jet recording head I is mounted on the carriage and moved in the main scanning direction, a gap is generated between the drive circuit 60 and the head case 11 due to the movement of the carriage and the thermal coupling is released. Is surely prevented.

このようにインクジェット式記録ヘッドIの外装部材であるヘッドケース11と駆動回路60とを熱結合させることによって、駆動回路60の熱を駆動回路60の表面からだけではなく、ヘッドケース11を介して空気中に放熱することができる。すなわち、ヘッドケース11は、インクジェット式記録ヘッドIの外装部材であるため、外気に触れて駆動回路60の熱を放熱することができる。したがって、駆動回路60の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路60の放熱性を高めるために駆動回路60を大型化する必要がなく、駆動回路60を放熱能力に合わせて小型化することができる。ちなみに、駆動回路60の発熱を抑制するためには、駆動回路60の内部抵抗を低減する必要があるため、駆動回路60内のトランジスタの大きさを確保する必要があったが、駆動回路60をヘッドケース11に熱結合させることにより、駆動回路60内のトランジスタの大きさを確保する必要がない。したがって、駆動回路60の内部抵抗を低減する必要がなく、放熱能力に合わせて小型化することができると共にコストを低減することができる。   Thus, by thermally coupling the head case 11 that is an exterior member of the ink jet recording head I and the drive circuit 60, the heat of the drive circuit 60 is not only from the surface of the drive circuit 60 but also through the head case 11. It can dissipate heat into the air. That is, since the head case 11 is an exterior member of the ink jet recording head I, the heat of the drive circuit 60 can be radiated by touching the outside air. Therefore, it is possible to prevent the drive circuit 60 from being destroyed by heat, and it is not necessary to increase the size of the drive circuit 60 in order to improve the heat dissipation of the drive circuit 60, and the drive circuit 60 is reduced in size in accordance with the heat dissipation capability. be able to. Incidentally, since it is necessary to reduce the internal resistance of the drive circuit 60 in order to suppress the heat generation of the drive circuit 60, it is necessary to ensure the size of the transistor in the drive circuit 60. By thermally coupling to the head case 11, it is not necessary to ensure the size of the transistors in the drive circuit 60. Therefore, it is not necessary to reduce the internal resistance of the drive circuit 60, and it is possible to reduce the size in accordance with the heat dissipation capability and to reduce the cost.

また、駆動回路60をヘッドケース11に熱結合させることで、駆動回路60の発熱を抑制することができ、駆動回路60に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。すなわち、駆動回路60は、電流を大きくすることで発熱も大きくなると共に、連続吐出させることで放熱時間が短くなるため、電流や連続吐出性能が制限されてしまうが、ヘッドケース11によって駆動回路60の熱を放熱することにより、駆動回路60を流れる電流を大きくすることができると共に連続吐出を短い間隔で長時間行わせることができる。   Further, by thermally coupling the drive circuit 60 to the head case 11, heat generation of the drive circuit 60 can be suppressed, and the current applied to the drive circuit 60 can be increased to improve the ink ejection characteristics and the ink. The continuous discharge performance can be improved. That is, the drive circuit 60 increases heat generation by increasing the current, and the heat dissipation time is shortened by continuously discharging, so that the current and continuous discharge performance are limited. By radiating this heat, the current flowing through the drive circuit 60 can be increased and continuous ejection can be performed at short intervals for a long time.

なお、ヘッドケース11は、例えば、変性PPE(ポリフェニレンエーテル)樹脂等の合成樹脂材料で形成されている。また、本実施形態では、ヘッドケース11の駆動回路60が熱結合された結合領域17は、他の領域に比べて熱伝導率の高い材料、例えば、銅、鉄、アルミニウム、ステンレス等の金属材料で形成した。このように、ヘッドケース11の駆動回路60が熱結合された結合領域17を熱伝導率の高い材料で形成することにより、駆動回路60の熱をさらに効率よく放熱することができる。   The head case 11 is made of a synthetic resin material such as a modified PPE (polyphenylene ether) resin. In the present embodiment, the coupling region 17 where the driving circuit 60 of the head case 11 is thermally coupled is a material having a higher thermal conductivity than other regions, for example, a metal material such as copper, iron, aluminum, stainless steel, or the like. Formed with. Thus, by forming the coupling region 17 in which the drive circuit 60 of the head case 11 is thermally coupled with a material having high thermal conductivity, the heat of the drive circuit 60 can be radiated more efficiently.

なお、本実施形態では、ヘッドケース11の駆動回路60が熱結合された結合領域17のみを熱伝導率の高い材料で形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドケース11全体が合成樹脂であってもよく、また、ヘッドケース11全体が熱伝導率の高い金属等の材料であってもよい。ちなみに、樹脂材料の熱伝導率は0.1W/m℃程度であり、空気の熱伝導率0.02W/m℃に比べて高いため、全体が樹脂材料からなるヘッドケース11であっても駆動回路60からの熱を効率よく放熱することができる。また、ヘッドケース11全体を金属等の熱伝導率の高い材料で形成すると、高コストになってしまうと共に、インクジェット式記録ヘッドIが重くなり、キャリッジによる移動を高速に行うことができないと共にキャリッジを動かすモータ等に負担がかかってしまう。これに対して、ヘッドケース11の一部の結合領域17のみを金属等の比較的熱伝導率の高い材料で形成することで、コストを低減することができると共にヘッドケースが重くなるのを防止することができるというさらなる効果を奏する。   In the present embodiment, only the coupling region 17 where the drive circuit 60 of the head case 11 is thermally coupled is formed of a material having high thermal conductivity. However, the present invention is not limited to this. For example, the head case 11 The whole may be a synthetic resin, and the entire head case 11 may be a material such as a metal having high thermal conductivity. Incidentally, since the thermal conductivity of the resin material is about 0.1 W / m ° C., which is higher than the thermal conductivity of air, 0.02 W / m ° C., even the head case 11 made entirely of the resin material is driven. The heat from the circuit 60 can be efficiently radiated. Further, if the entire head case 11 is formed of a material having high thermal conductivity such as metal, the cost becomes high, the ink jet recording head I becomes heavy, and the carriage cannot be moved at a high speed and the carriage can be moved. A burden is placed on the motor to be moved. On the other hand, by forming only a part of the coupling region 17 of the head case 11 with a material having a relatively high thermal conductivity such as a metal, the cost can be reduced and the head case can be prevented from becoming heavy. There is a further effect of being able to.

また、実質的に圧電素子40を保持する部材(流路形成基板22等)ではなく、圧電素子40を保持する部材とは異なる部材であるヘッドケース11に駆動回路60を熱結合させることで、圧電素子40の駆動時の熱がヘッドケース11を介して駆動回路60に伝達することがない。したがって、ヘッドケース11によって駆動回路60の放熱のみを効率よく行うことができる。   Further, the drive circuit 60 is thermally coupled to the head case 11 which is not a member (such as the flow path forming substrate 22) that substantially holds the piezoelectric element 40 but a member that is different from the member that holds the piezoelectric element 40, Heat at the time of driving the piezoelectric element 40 is not transmitted to the drive circuit 60 via the head case 11. Therefore, only the heat radiation of the drive circuit 60 can be efficiently performed by the head case 11.

(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、フレキシブルプリント基板50の駆動回路60がヘッドケース11の内壁面に相対向するように設け、駆動回路60とヘッドケース11の内壁面とを熱伝導可能に接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、フレキシブルプリント基板50は、配線や実装面の違いにより、駆動回路60がベースフィルム52のヘッドケース11の内壁面とは反対側の面に実装されるようにしてもよい。このような場合には、ベースフィルム52の駆動回路60が実装された領域をヘッドケース11の内壁面に熱伝導可能に接続することで、駆動回路60をヘッドケース11の内面に実質的に熱伝導可能に接続していることになる。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first embodiment described above, the drive circuit 60 of the flexible printed board 50 is provided so as to face the inner wall surface of the head case 11, and the drive circuit 60 and the inner wall surface of the head case 11 are connected so as to be able to conduct heat. However, the present invention is not limited to this. For example, in the flexible printed circuit board 50, the drive circuit 60 is mounted on the surface of the base film 52 opposite to the inner wall surface of the head case 11 due to differences in wiring and mounting surfaces. You may be made to do. In such a case, the drive circuit 60 is substantially thermally connected to the inner surface of the head case 11 by connecting the region of the base film 52 where the drive circuit 60 is mounted to the inner wall surface of the head case 11 so as to conduct heat. It is connected in a conductive manner.

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図4は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。   In addition, the ink jet recording heads of these embodiments constitute a part of a recording head unit having an ink flow path communicating with an ink cartridge or the like, and are mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 4 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

図4に示すように、インクジェット式記録ヘッド10を有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   As shown in FIG. 4, the recording head units 1A and 1B having the ink jet recording head 10 are detachably provided with cartridges 2A and 2B constituting ink supply means, and a carriage on which the recording head units 1A and 1B are mounted. 3 is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

なお、上述した実施形態1においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   In the first embodiment described above, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head. However, the present invention is widely intended for all liquid ejecting heads, and ejects liquids other than ink. Of course, the invention can also be applied to a liquid jet head. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.

本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。1 is a schematic view of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

I インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 II インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 10 ヘッド本体、 11 ヘッドケース(外装部材)、 20 アクチュエータユニット、 21 圧力発生室、 22 流路形成基板、 23 振動板、 24 圧力発生室低板、 30 流路ユニット、 31 インク供給口形成基板、 32 リザーバ、 33 リザーバ形成基板、 34 ノズル開口、 35 ノズルプレート、 40 圧電素子、 43 下電極膜、 44 圧電体層、 45 上電極膜、 46 個別接続端子、 47 共通接続端子、 50 配線基板、 51 配線層、 52 ベースフィルム、 53 絶縁材料、 60 駆動回路、 70 回路基板   I ink jet recording head (liquid ejecting head), II ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 10 head body, 11 head case (exterior member), 20 actuator unit, 21 pressure generating chamber, 22 flow path forming substrate, 23 Diaphragm, 24 Pressure generating chamber low plate, 30 Flow path unit, 31 Ink supply port forming substrate, 32 Reservoir, 33 Reservoir forming substrate, 34 Nozzle opening, 35 Nozzle plate, 40 Piezoelectric element, 43 Lower electrode film, 44 Piezoelectric body Layer, 45 upper electrode film, 46 individual connection terminal, 47 common connection terminal, 50 wiring board, 51 wiring layer, 52 base film, 53 insulating material, 60 drive circuit, 70 circuit board

Claims (7)

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生手段に電気的に接続されて当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板と、前記ヘッド本体を保持すると共に前記フレキシブルプリント基板が内包される外装部材とを具備し、
前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が、前記外装部材の内面に熱伝導可能に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
A head body comprising a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid; and a pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber; and electrically connected to the pressure generating means of the head body. A flexible printed circuit board on which a drive circuit for driving the pressure generating means is mounted; and an exterior member that holds the head body and includes the flexible printed circuit board.
The liquid ejecting head, wherein the driving circuit of the flexible printed circuit board is connected to an inner surface of the exterior member so as to be able to conduct heat.
前記外装部材は、前記駆動回路が熱伝導可能に接続された結合領域が他の領域に比べて放熱性の高い部材からなることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the exterior member is formed of a member having a heat dissipation property that is higher in a coupling region where the driving circuit is connected so as to be able to conduct heat compared to other regions. 前記外装部材が、前記フレキシブルプリント基板が接続される回路基板が設けられたヘッドケースであることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the exterior member is a head case provided with a circuit board to which the flexible printed board is connected. 前記ヘッドケースが、中空箱形状を有し、前記フレキシブルプリント基板が、前記ヘッドケース内の壁面に沿って屈曲されて設けられており、前記駆動回路と前記ヘッドケースの壁面とが熱伝導可能に接続されていることを特徴とする請求項3記載の液体噴射ヘッド。   The head case has a hollow box shape, and the flexible printed board is bent along a wall surface in the head case so that the drive circuit and the wall surface of the head case can conduct heat. The liquid ejecting head according to claim 3, wherein the liquid ejecting head is connected. 前記圧力発生手段が、撓み振動モードの圧電素子であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the pressure generating unit is a piezoelectric element in a flexural vibration mode. 前記駆動回路と前記外装部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接着されていることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the driving circuit and the exterior member are bonded via an adhesive having an electrothermal filler. 請求項1〜6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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