JP2009158841A - めっき用導電性基材、その製造方法及びそれを用いた導体層パターン付き基材の製造方法、導体層パターン付き基材、透光性電磁波遮蔽部材 - Google Patents

Abstract

【課題】導体層パターン付き基材を転写法を用いて生産性よく製造することができ、作製が容易であるめっき用導電性基材、その製造方法及びそれを用いた導体層パターン付き基材の製造方法、導体層パターン付き基材、透光性電磁波遮蔽部材を提供する。
【解決手段】導電性基材２の表面にＤＬＣ、無機材料等からなる絶縁層３を形成し、絶縁層３が形成されている導電性基材２の表面に、レーザにより絶縁層３に開口方向に向かって幅広な、めっきを形成するための凹部４を形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、めっき用導電性基材、その製造法及びそれを用いた導電性に優れ、光透過性を有するようにパターニングされた導体層パターン付き基材の製造方法、導体層パターン付き基材、透光性電磁波遮蔽部材に関する。

電磁波を発生するディスプレイの表示面等を電磁波遮蔽する方法は、従来より種々の提案がなされている。例えば、被遮蔽面上に電磁波遮蔽塗料を全面塗布する方法、被遮蔽面上に金属箔を貼り合わせる方法、金属めっきされた繊維メッシュを樹脂シートにラミネートした電磁波遮蔽シートを被遮蔽面に貼り合わせる方法、導電性繊維をメッシュ状に編んだものを被遮蔽面に貼り合わせる方法等が一般的に行われている。

これらのうち、透明ガラス面、透明樹脂パネル面、陰極線管（ＣＲＴ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などのディスプレイの表示面等を電磁波遮蔽する場合には、電磁波遮蔽用部材が薄くて、光透過性（透明性）が良好で、これらに相反する電磁波遮蔽性をバランスよく両立させるものとして、金属メッシュを用いた電磁波遮蔽用部材が主流になっている。

金属メッシュを電磁波シールド層として有する電磁波遮蔽用部材の製造法として、特許文献１には、メッシュ状に金属電着が可能な電着基板上に金属電解液を使用して金属を電着し、接着剤を介して電磁波遮蔽基板に接着転写して電磁波遮蔽板を作製する方法（以下、転写法という）が記載されている。上記の電着基板は、金属板等の導電性基板の上に、電着を阻害する絶縁性膜でメッシュパタ−ンと逆パターンを形成し、メッシュ状に金属電着が可能な電着部を露出させるようにして作製される。また、特許文献１には、絶縁層支持体上に凸状の導電性メッシュ層を形成した電着基板を用いる方法が記載されている。

特許文献２には、電子部品の回路パターンやセラミックコンデンサの電極パターンを作製するための金属層転写用ベースシートが開示されている。金属層転写用ベースシートは、ベース金属層および電気絶縁層を備え、ベース金属層の表面には、転写金属層を電解めっきにより形成するための凸状パターンが形成されており、電気絶縁層は、ベース金属層の表面における前記凸状パターンが形成されていない部分に、形成されているものである。金属層転写用ベースシートの製造法として、ベース金属層の表面に、ドライフィルムレジストなどを用いてエッチングレジストを凸状パターンと同一パターンで形成し、エッチングレジストで覆われず露出しているベース金属層の表面をエッチングして凹部を形成し、この後、エッチングレジストを除去し、エッチングされたベース金属層の全表面に電気絶縁層を形成し、次いで、凸状パターンが露出するまで電気絶縁層を研磨する方法が開示されている。このとき、電気絶縁層の表面とベース金属層の凸状パターンの表面は同一平面上に配置され面一となる。また、その作製方法の他の例として、めっきレジストからなる電気絶縁層を、ベース金属層の表面に、ドライフィルムレジストなどを用いて凸状パターンと逆パターン（反転パターン）で形成し、電気絶縁層の間から露出するベース金属層の表面に、電解めっき金属層を凸状パターンで形成するが、このとき、電解めっき金属層の厚みを、電気絶縁層よりも厚くする方法が記載されている。電解めっき金属層の表面を、電気絶縁層の表面よりも高く形成することによって、凸状パターン上に電気めっきにより形成された転写金属層を粘着シートに転写するときに、上記電気絶縁層がこの粘着シートに損傷を与えることを防止することができる旨記載されている。
特開平１１−２６９８０号公報 特開２００４−１８６４１６号公報

前記特許文献１に記載の転写法は、電磁波遮蔽部材の作製に当たりコスト低減をはかることができる方法として期待できる。

特許文献１には、電着基板の作製に際し、絶縁層をフォトレジストによって、形成することが記載されているが、このような電着基板を用いた場合、数回〜数十回程度の繰り返し使用は可能であるが、数百回〜数千回繰り返し使用が出来ず量産レベルにはならないという問題がある。これは、電着基板上のメッシュパターンを形成する絶縁層が、接着転写により剥離応力を受け、少々の繰り返し使用で導電性基材から絶縁層が剥離してしまうためである。

また、ＳｉＯ_２を導電性基材上に作製し、これをフォトエッチングして絶縁層を形成した電着基板が開示されるが、フォトエッチングするので、その電着基板の作製の工程が増えるという問題がある。オーバーエッチングで凹部が開口方向に向かって狭くなるというという問題がある。

また、特許文献１には、金属基板面にフォトリソグラフィーや切削で必要な凹部を形成し、次いで、この凹部の中に強固な絶縁性樹脂を埋め込み、硬化させて、メッシュ状に金属電着が可能な電着部を有する電着基板を作製する方法が開示される。しかし、この方法で金属基板状に凹部を作製することは、パターンの精度、パターンの無欠陥、パターン作製の所要時間等に問題があり、生産性のよい方法とは言えない。また、絶縁層に絶縁性樹脂を使用すると、絶縁層の耐久性に問題がある。

また、特許文献１には、タンタルやチタン等の単体金属板、または、表面がこれらの金属面である場合には、電着部を構成する部分に相当する箇所にのみレジストを形成した後、陽極酸化して酸化チタン、酸化タンタル等の絶縁性酸化物層を形成し、次いでレジストを除去することにより、耐久性が極めて高く、かつ、反復使用性の極めて高い電着基板を作製することができること、陽極金属酸化層は、硬度が高く、傷がつきにくいこと、電着圧着に十分に耐えることができる絶縁性膜を持つことが開示される。

しかし、この場合、また、上記の場合も含めて、形成される凹状のメッシュパターン（電着部）においては、陽極酸化による絶縁性酸化物層は、極めて薄くその幅方向の断面が面一であり、形状的な凹凸を伴わないため、電着層を形状的に成形する作用はない。即ち、電着されるライン形状の制御が困難と言える。また、陽極酸化による絶縁性酸化物層のは耐久性が劣り、連続作業においては実用的に適さない。現に、Ｎｉの電鋳においては、毎回、転写前の陽極酸化を余儀なくされている。さらに、陽極酸化による絶縁性酸化物層は、絶縁性が低いため、高速電解めっきには適さない。ただし、アルミの陽極酸化による絶縁性酸化物層の場合は、比較的絶縁性が高いと言えるが、機械的耐久性に劣る。

また、特許文献１には、絶縁層支持体上に凸状の導電性メッシュ層を形成した電着基板を用いる方法が記載されているが、この方法によれば、実際は、導電性メッシュの側面にも金属が電着され、このことがメッシュ状電着金属層の接着転写に対する抵抗となり、剥離ができなかったり、剥離できたとしてもメッシュパターンに折れが発生し、電磁波シールド性が低下するといった不良が起こるという問題があることを、本発明者らは確認した。

特許文献２において、電気絶縁層の材料としては、有機絶縁樹脂が例示される。しかし、このような電気絶縁層の表面とベース金属層の凸状パターンの表面が同一平面上に配置され面一となっている金属層転写用ベースシートを用いて凸状パターン上に形成された転写金属層を粘着シートに転写する場合、電着基板上の電気絶縁層が、接着転写により剥離応力を受け、少々の繰り返し使用で導電性基材から絶縁層が剥離してしまうという問題がある。

また、特許文献２において、電解めっき金属層からなる凸状パターンの表面を電気絶縁層の表面よりも高く形成した金属層転写用ベースシートを用いて凸状パターン上に形成された転写金属層を粘着シートに転写する場合、凸状パターンの側面にも転写金属層がめっきされ、このことが転写金属層の接着転写に対する抵抗となり、転写金属層を凸状パターンから剥離できなかったり、剥離できたとしてもメッシュパターンに折れが発生し、電磁波シールド性が低下するといった不良が起こるという問題がある。

特許文献２において、金属層転写用ベースシートの製造法として、ベース金属層の表面上へのエッチングレジストの形成、エッチングレジストで覆われず露出しているベース金属層の表面のエッチングを含む場合には、その工程数が増え、生産性の良い方法とは言えない。

本発明は、このような問題点に鑑み、導電性及び光透過性を有するようにパターニングされた導体層パターン付き基材を転写法を用いて生産性よく製造することができ、しかも、それ自体作製が容易であるめっき用導電性基材及びその製造方法を提供するものである。また、本発明は、そのような導電性基材を用いた導体層パターン付き基材の製造方法、導体層パターン付き基材及びそれを用いた電磁波遮蔽部材を提供するものである。

本発明は、次のものに関する。

１． （Ａ）導電性基材の表面に、絶縁層を形成する工程、及び
（Ｂ）絶縁層が形成されている導電性基材の表面に、レーザによりその絶縁層に開口方向に向かって幅広な、めっきを形成するための凹部を形成する工程を含むことを特徴とするめっき用導電性基材の製造方法。

２． レーザがフェムト秒レーザであることを特徴とする項１又は２記載のめっき用導電性基材の製造方法。

３． 絶縁層がＤＬＣ又は無機材料からなる項１記載のめっき用導電性基材の製造方法。

４． 無機材料がＡｌ_２Ｏ_３又はＳｉＯ_２である項３に記載のめっき用導電性基材の製造方法。

５． 絶縁層が、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）ある項３に記載のめっき用導電性基材の製造方法。

６． 絶縁層が、硬度が１０〜４０ＧＰａのＤＬＣからなる項１〜５のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

７． ＤＬＣ膜が真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、アーク放電法、イオン化蒸着法またはプラズマＣＶＤ法により形成される項５又は６記載のめっき用導電性基材の製造方法。

８． 凹部の最小幅が１〜４０μｍ、凹部の最大幅が２〜６０μｍ及び凹部の間隔が５０〜１０００μｍである項１〜７のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

９． レーザで形成された凹部側面の角度が絶縁層側で１０度以上７０度未満である項１〜８のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

１０． レーザで形成された凹部側面の角度が絶縁層側で１０度以上４０度以下である項１〜９のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

１１． 絶縁層の厚さが、０．５〜２０μｍである項１〜１０のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

１２． 導電性基材と絶縁層の間に、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｓｉまたはそれらの窒化物又は炭化物のいずれか１以上を含む中間層を介在させている項１〜１１のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

１３． 導電性基材の表面が、鋼又はＴｉからなる項１〜１２のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

１４． 導電性のロール（ドラム）またはロールに巻き付けるものである項１〜１３のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

本発明のめっき用導電性基材は、めっきにより金属層が形成される凹部が開口方向に向かった幅広となっているため、めっきにより得られる導体層パターンの剥離が容易である。また、絶縁層をＤＬＣ又は無機材料からなるため導電性基材への密着性が優れ、その耐剥離性が優れる。その絶縁層は、中間層により導電性基材と絶縁層の間の密着性を向上させることができ、これにより、めっき用導電性基材の寿命を、さらに長くすることができる。

本発明の開口方向に向かって幅広の凹部を持つめっき用導電性基材は、導電性基材上に凸状のパターンを形成し、絶縁層を形成後に、絶縁層が付着している凸状のパターンを除去することにより凹部を作製することができるため、その製造が容易で、生産性に富む。

例えばリフトオフ法などを用いた場合、一度導電性基材上にレジスト等を用いてパターンを形成し、絶縁層を形成した後にレジストとその上に形成された絶縁層を除去する、といった煩雑な工程が必要であった。そのため、レジストとの密着性を得るために意図的に導電性基材表面を粗化したり、レジストとその上に形成された絶縁層を除去する工程においても、面積が大きくなるにつれて面内の均一な除去が困難である、という問題があった。それに対し本発明のめっき用導電性基材では、先に導電性基材表面に形成した絶縁層をレーザで直接加工するため、レジストを形成したり、除去したり、という工程が不要であり工程数を非常に少なくすることが出来る。

また、本発明のめっき用導電性基材は、パターンの形成にレジスト等を用いないため導電性基材の表面を粗化する必要が無く、めっきにより得られる導体層パターンの剥離が容易である。また、導電性基材の凹凸に起因する絶縁層膜の欠陥を減少させることが可能である。

本発明のめっき用導電性基材を用いれば、めっきにより得られる導体層パターンの剥離が容易であるため、光透過性に優れた導体層パターン付き基材が容易に製造でき、また、電磁波シールド性又は導電性に優れた導体層パターン付き基材を容易に製造できる。さらに、また、このような導体層パターン付き基材を生産効率よく製造できる。これを電磁波遮蔽部材として用いると光透過性及び電磁波シールド性に優れ、また、生産効率よく製造できる。

本発明におけるめっき用導電性基材は、パターン状のめっき部を有する導電性基材であって、導電性基材の表面に絶縁層が形成されており、その絶縁層に開口方向に向かって幅広なめっきを形成するための凹部（めっき形成部）が形成されている。この凹部の底面には導電性材料が露出している。

本発明において、導電性基材に用いられる導電性材料は、その露出表面に電解めっきで金属を析出させるために十分な導電性を有するものであり、金属であることが特に好ましい。また、その基材は表面に電解めっきにより形成された金属層を接着性支持体に転写させることができるように、その上に形成された金属層との密着力が低く、容易に剥離できるものであることが好ましい。このような導電性基材の材料としてはステンレス鋼、クロムめっきされた鋳鉄、クロムめっきされた鋼、チタン、チタンをライニングした材料、ニッケルなどが特に好ましい。導電性基材は、基材に導電性材料の層を形成したものであってもよい。

前記の導電性基材の形状としては、シート状、プレート状、ロール状、フープ状等がある。ロール状の場合は、シート状、プレート状のものを回転体（ロール）に取り付けたものであってもよい。フープ状の場合は、フープの内側の２箇所から数箇所にロールを設置し、そのロールにフープ状の導電性基材を通すような形態等が考えられる。ロール状、フープ状ともに金属箔を連続的に生産することが可能であるため、シート状、プレート状に比較すると、生産効率が高く、好ましい。導電性基材をロールに巻きつけて使用する場合、ロールとして導電性のものを使用し、ロールと導電性基材が容易に導通するようにしたものが好ましい。

絶縁層の厚さは、凹部の深さに対応する。凹部の深さは、析出するめっきの厚さとも関係するため、目的に応じて適宜決定される。絶縁層の厚さは、０．１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲であることが好ましく、０．５μｍ以上２０μｍ以下の範囲であることがより好ましい。絶縁層が薄すぎると絶縁層にピンホールが発生しやすくなるため、めっきした際に、絶縁層を施した部分にも金属が析出しやすくなる。絶縁層の厚さは、１〜１０μｍであることが特に好ましい。

上記の絶縁層は、ダイヤモンドに類似したカーボン薄膜、いわゆるダイヤモンドライクカーボン（以下、ＤＬＣとする）薄膜のうち、絶縁性を有するものにて形成することができる。ＤＬＣ薄膜は、特に、耐久性、耐薬品性に優れているため、特に好ましい。

さらに、絶縁層をＡｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２等の無機化合物のような無機材料で形成することもできる。その他絶縁層の材料としては、熱硬化性樹脂等を用いることができる。

凹部又は絶縁層の形状は、目的応じて適宜決定されるが、平面形状が、正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、ひし形、平行四辺形、台形などの四角形、（正）六角形、（正）八角形、（正）十二角形、（正）二十角形などの（正）ｎ角形（ｎは３以上の整数）、円、だ円、星型などの幾何学図形があり、これらを適宜組み合わせた模様としてもよい、これらの単位は、単独で又は２種類以上組み合わせて繰り返されることが可能である。一つのめっき用導電性基材において、凹部の形状と絶縁層の形状は、互いに対応した形状となる。

光透過性電磁波遮蔽部材の性能の観点からは溝状の凹部に囲まれる絶縁層を三角形とすることが最も有効であり、可視光透過性の点からは溝状の凹部が同一のライン幅なら、それにより囲まれる絶縁層が（正）ｎ角形のとき、ｎ数が大きいほど導体層パターンの開口率が上がる。

本発明の一例を図面を用いて説明する。

図１は、本発明のめっき用導電性基材の一例を示す一部斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図を示す。図２の（ａ）は凹部の側面が平面的であるが、（ｂ）は凹部の側面になだらかな凹凸がある場合を示す。めっき用導電性基材１は、導電性基材２の上に絶縁層３が積層されており、絶縁層３に凹部４が形成されており、凹部４の底部は、導電性基材２が露出している。凹部４の底部は、導電性基材に導通している導体層であってもよい。

この例においては、絶縁層３は、幾何学図形としては正方形であり、この正方形の周りに凹部４が溝状に形成されている。

導電性基材２と絶縁層３の間には、絶縁層３の接着性の改善等を目的として、導電性又は絶縁性の中間層（図示せず）が積層されていてもよい。または、凹部４は、その幅が、開口方向に向かって全体として幅広になっている。図面のよう勾配αで一定に幅広になっている必要は必ずしもない。めっきにより形成される導体層パターンの剥離に問題がなければ、凹部は、開口方向に向かって幅が狭くなっている部分があってもよいが、このような部分がない方が良く、凹部は開口方向に向かって狭まっておらず全体として広がっていることが好ましい。特に、凹部の一側面がその対面と共に、底面に対して垂直となっている部分が高さ方向で１μｍ以上続く部分がないようにすることが好ましい。このようなめっき用導電性基材であれば、それを用いてめっきを行った後、析出した金属層をめっき用導電性基材から剥離するに際し、金属層と絶縁層との間の摩擦又は抵抗を小さくすることができ、その剥離がより容易になる。

凹部の側面は、必ずしも平面ではない。この場合には、図２（ｂ）に示すように、前記の勾配αは、凹部の高さｈ（これは、すなわち、絶縁層の厚さとなる）と凹部の側面の幅ｓ（水平方向で凹部の側面の幅方向）を求め、

によってαを決定する。

αは、角度で１０度以上９０度未満が好ましく、１０度以上８０度以下がより好ましい。この角度が小さいと作製が困難となる傾向があり、大きいと凹部にめっきにより形成し得た金属層（導体層パターン）を剥離する際、又は、別の基材に転写する際の抵抗が大きくなる傾向がある。αは、小さすぎると、膜厚の増加とともにめっきが広がりやすくなる面があり、そのような観点からは３０度以上が好ましい。また、レーザによる加工のしやすさという観点からは、αは、７０度未満が好ましく、４０度以下がさらに好ましい。しかし、このような角度は、制御可能である。

本発明のめっき用導電性基材における絶縁層の平面形状及びその厚さ若しくは凹部の深さは、本発明のめっき用導電性基材を用いて得られるパターン化金属の用途に応じて適宜決定される。

上記めっき用導電性基材の凹部は、めっきにより生成するパターン化金属の形状に対応するが、同様に導体層パターン付き基材における導体層パターンに対応するものであり、その導体層パターンは、最終的に電磁波遮蔽部材を作製したときの電磁波シールド層に対応するものである。

また、絶縁層の厚さは、前記と同様であるが、これに対応するように、本発明のめっき用導電性基材における凹部４の深さは、０．１〜１００μｍであることが好ましく、０．５〜２０μｍであることがより好ましく、１〜１０μｍであることが特に好ましい。

本発明のめっき用導電性基材を用いて転写法により光透過性電磁波遮蔽部材を作製するために使用するときは、図２に示すような凹部４の幅は、開口部の幅ｄが２〜６０μｍ、底部の幅ｄ′が１〜４０μｍで有ることが好ましい。また、凹部４の開口部の幅ｄは４〜１５μｍ、底部の幅ｄ′は３〜１０μｍであることが特に好ましい。凹部４の中心間隔（ラインピッチ）は５０〜１０００μｍであることが好ましく、特に１００〜４００μｍであることが好ましい。溝の幅及びその間隔は、導体層パターンの開口率を好ましくは５０％以上、特に好ましくは８０％以上とすることを考慮して決定する。

なお、本発明において、凹部の中心間隔（ラインピッチ）は、凹部によって形成されている絶縁層の図形パターンが複雑な図形であったり、複数の図形の組み合わせであったりして簡単に決定できない場合は、パターンの繰り返し単位を基準としてその面積を正方形の面積に換算し、その一辺の長さであると定義する。

ディスプレイ用の電磁波遮蔽材における可視光透過性の点からは、電磁波遮蔽材における上記のような幾何学図形を描く導体層パターン開口率は５０％以上であることが必要とされ、導体層パターンの開口率は８０％以上であることがさらに好ましい。導体層パターンの開口率は、電磁波遮蔽材の有効面積（例えば、上記の幾何学図形が描かれている範囲の面積等電磁波遮蔽に有効に機能する範囲の面積）に対するその有効面積から導電層で覆われている面積を引いた面積の比の百分率である。

本発明のめっき用導電性基材を用いて穴明き金属箔を作製するために使用するときは、図２に示すような絶縁層３は、その底面（導電性基材との接触面）の面積が１〜１×１０^６平方ミクロンメートルであることが好ましく、絶縁層の間隔（凸部と凸部の最短距離）が１〜１０００μｍであることが好ましい。また、絶縁層３は、底面の面積が１×１０^２〜１×１０^４平方ミクロンメートルであることがより好ましく、絶縁層の間隔が１０〜１００μｍであることがより好ましい。絶縁層底面の面積及びその間隔は、導体層パターンの開口率を好ましくは１０％以上、特に好ましくは３０％以上とすることを考慮して決定する。このような穴明き金属箔は、キャパシタの集電体として有用である。

本発明におけるめっき用導電性基材の製造方法としては、導電性基材の表面に、導電性基材を露出させている凹部によって幾何学図形が描かれるように絶縁層を形成する工程を含む。

この工程は、（Ａ）導電性基材の表面に、絶縁層を形成する工程、及び（Ｂ）絶縁層が形成されている基材の表面に、レーザ光を照射して絶縁層の一部を除去することにより凹部を形成する工程を含む。

導電性基材としては、上記の材料を用いることができる。導電性基材の表面は、平滑であることが好ましい。研磨等で磨き上げたものを用いることが絶縁膜の欠陥が生じにくい。導電性基材に凹凸が存在すると、絶縁膜を形成する際に絶縁膜がその凹凸を埋めきれずその部分がコーティングが薄い欠陥として残ったり。凹凸部分へ絶縁膜の応力が集中して剥離しやすくなる場合がある。導電性基材の表面に電解研磨、化学研磨などで滑らかな凹凸が残存している分にはこの欠陥に対して悪影響を及ぼさないが、物理的研磨などによる急峻な凹凸がある場合、この欠陥が顕著になりやすい。後述のレーザ加工の工程においても表面の凹凸が大きいと焦点があいにくくなるため、平滑であることが好ましい。

絶縁層としてＤＬＣ薄膜を形成する方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、アーク放電法、イオン化蒸着法等の物理気相成長法、プラズマＣＶＤ法等の化学気相成長法等のドライコーティング法を採用し得るが、成膜温度が室温から制御できる高周波やパルス放電を利用するプラズマＣＶＤ法が特に好ましい。

上記ＤＬＣ薄膜をプラズマＣＶＤ法で形成するために、原料となる炭素源として炭化水素系のガスが好んで用いられる。例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン等のアルカン系ガス類、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン等のアルケン系ガス類、ペンタジエン、ブタジエン等のアルカジエン系ガス類、アセチレン、メチルアセチレン等のアルキン系ガス類、ベンゼン、トルエン、キシレン、インデン、ナフタレン、フェナントレン等の芳香族炭化水素系ガス類、シクロプロパン、シクロヘキサン等のシクロアルカン系ガス類、シクロペンテン、シクロヘキセン等のシクロアルケン系ガス類、メタノール、エタノール等のアルコール系ガス類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系ガス類、メタナール、エタナール等のアルデヒド系ガス類等が挙げられる。上記ガスは単独で使用しても良いし、二種以上を併用しても良い。また、元素として炭素と水素を含有する原料ガスとして上記した炭素源と水素ガスとの混合物、上記した炭素源と一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス等の炭素と酸素のみからなる化合物のガスとの混合物、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス等の炭素と酸素のみから構成される化合物のガスと水素ガスとの混合物、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス等の炭素と酸素のみからなる化合物のガスと酸素ガスまたは水蒸気との混合物等が挙げられる。更に、これらの原料ガスには希ガスが含まれていてもよい。希ガスは、周期律表第０属の元素からなるガスであり、例えば、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キセノン等が挙げられる。これらの希ガスは単独で使用しても良いし、二種以上を併用しても良い。

絶縁層は、その全体を、上述した絶縁性のＤＬＣ薄膜によって形成してもよいが、当該ＤＬＣ薄膜の、金属板等の導電性基材に対する密着性を向上させて、絶縁層の耐久性をさらに向上させるためには、この両者の間に、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｓｉもしくはそれらの窒化物又は炭化物から選ばれる一種以上の成分又はその他よりなる中間層を介挿することが好ましい。

上記ＳｉまたはＳｉＣの薄膜は、例えば、ステンレス鋼などの金属との密着性に優れる上、その上に積層する絶縁性のＤＬＣ薄膜との界面においてＳｉＣを形成して、当該ＤＬＣ薄膜の密着性を向上させる効果を有している。

中間層は、前記したようなドライコーティング法により形成させることができる。

中間層の厚みは、１μｍ以下であることが好ましく、生産性を考慮すると０．５μｍ以下であることが更に好ましい。１μｍ以上コーティングするには、コーティング時間が長くなると共に、コーティング膜の内部応力が大きくなるため適さない。

絶縁層をＡｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２等の無機化合物のような無機材料で形成する場合にも、スパッタリング法、イオンプレーティング法といった物理的気相成長法やプラズマＣＶＤといった化学気相成長法を用いることができる。例えばスパッタリング法で形成する場合には、ターゲットをＳｉまたはＡｌにして反応性ガスとして酸素、窒素などの導入することでＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４などの酸化物、窒化物を成膜することができる。また、イオンプレーティング法を用いる場合にはＳｉやＡｌを原料とし、電子ビームをこれらに照射することで蒸発させ、基板に成膜することができる。その際に、酸素、窒素、アセチレンといった反応性ガスを導入することで酸化物、窒化物、炭化物を成膜することができる。

また、ＣＶＤ法で成膜する場合には金属塩化物、金属水素化物、有機金属化合物などのような化合物ガスを原料とし、それらの化学反応を利用して成膜することでできる。酸化シリコンのＣＶＤは、例えばＴＥＯＳ、オゾンを用いたプラズマＣＶＤで行える。窒化シリコンのＣＶＤは、例えばアンモニアとシランを用いたプラズマＣＶＤで行える。

熱硬化性樹脂等は、塗布などの方法により絶縁層を形成することができる。

絶縁層が形成されている導電性基材の表面に、レーザにより凹部を形成する工程では、絶縁層を加工して表面の導電性基材を露出させる。

レーザー光を絶縁層に照射して絶縁層の一部除去すると、このとき、熱拡散により、わずかにレーザー光が照射された周辺の絶縁層も除去されるため、絶縁層の開口方向に向かって幅広な凹部を形成することができる。レーザーとしては、特に限定されないが、ＣＯ_２レーザー、ＵＶ−ＹＡＧレーザー、フェトム秒レーザーが挙げられる。ＣＯ_２レーザー、ＵＶ−ＹＡＧレーザー等のパルス幅の大きいレーザーを用いると、レーザーを絞っても加工幅の周囲まで熱拡散の大きく影響を受けるため、開口方向に向かって幅広な溝が形成できる。これに対して、フェトム秒レーザーを用いると、パルス幅が小さいため熱拡散が小さく、幅の小さい溝を形成することができる。基材や加工した凹部周囲にダメージを与えないために、フェムト秒レーザを用いることが最も好ましい。

フェムト秒レーザとは、オン時間（パルス幅）が、熱緩和時間より短い１０^−１２秒（１ピコ秒）以下に設定された超短パルスレーザである。ちなみに、通常のＹＡＧレーザ（基準波ＹＡＧレーザ）のパルス幅は１０^−３秒程度であり、高周波ＹＡＧレーザのパルス幅は１０^−６程度である。

本発明によるパルス幅が１ピコ秒以下のフェムト秒レーザを、有機化合物に対して高い深さ精度を要求される加工などに用いることが近年になって提唱されるようになった。フェムト秒レーザにおいては、多光子吸収や熱緩和時間よりも短時間の現象であることにより非熱加工が可能である。さらに、非線形応答のため加工分解能は光の回折限界以下であり、高い精度の加工が可能である。非熱加工が可能であることは、加工材料が溶融しないので、加工部分の周囲に溶融物が飛散しない。また、導電性基材を劣化させることもない。ＹＡＧレーザ加工等で発生しやすい加工底部への残渣や加工周囲の熱損傷が抑制される。

図３は、導電性基材上に形成された絶縁層を加工するための加工装置の一例を示している。フェムト秒レーザシステム２０から発振されたレーザパルスは、シャッタ２１を通過してレーザ制御ユニット２２に入射される。レーザ制御ユニット２２では、レーザパルスの波長を変換するとともに偏光制御を行う。偏光制御では、直線偏光（縦方向・横方向）及び円偏光を必要に応じて行う。

レーザ制御ユニット２２から出射されたレーザパルスは、反射ミラー２３、２４及び２５により反射されて凹面反射鏡（放物鏡）２６に入射して集光されるようになる。そして、集光されたレーザパルスは、３軸ステージ２７の試料台に設置された被加工物２９の表面に照射される。

３軸ステージ２７は、図示しないＺ軸ステージ及びＺ軸ステージを取り付けたＸＹステージを備えており、制御装置２８からの制御信号に基づいてＸＹ軸ステージ及びＺ軸ステージを移動させて被加工物２９表面の照射位置を移動させるようにする。

この例では、被加工物２９を移動させてレーザパルスを照射するようにしているが、レーザパルスの発振及び光学系を含む装置側を移動させるようにしてもよく、また両方を移動させてもよい。

また加工の際には加工時に発生する微小の付着物等を除去するためにアシストガスなどを用いることもできる。アシストガスとして例えば、ドライエアー、窒素、酸素、アルゴンなどを用いてもよい。

本発明におけるめっき用導電性基材の製造方法を図４の断面図を用いて説明する。

図４（ａ）に導電性基材２を示す。導電性基材２の全面に絶縁層３を形成した図を図４（ｂ）に示す。導電性基材上２に形成された絶縁層３にレーザ加工で凹部４を形成した図を図４（ｃ）に示す。

凹部を所望の形状とするには、アパーチャの形状やサイズを小さくしたり、レンズの焦点距離やアパーチャからレンズまでの光路を長くしてレーザー光を絞ってもよい。

図５は本発明における凹部形成断面形状の別の態様を示す。

図４（ｃ）では絶縁層３を加工した凹部４が一定の勾配で開口方向に向かって幅広になっているが、図５（ａ）に示すように途中で勾配が変化してもよい。また、図４（ｃ）では絶縁層３のみ加工されているが、図５（ｂ）に示すように意図的に導電性基材も含めて加工することもできる。レーザの加工条件を変えたり、２段階でレーザを照射することにより、図５（ｂ）のような加工も可能である。

図６は、中間層を有するめっき用導電性基材とその前駆体の断面図を示す。

導電性基材２の表面に、絶縁層３を形成する前に、中間層５を形成することが好ましい（図６（ｂ′））。中間層としては、前記したものが使用でき、その形成方法も前記したとおりである。中間層５を形成した場合のレーザ加工の際には、中間層５が絶縁性のもので形成されている場合には中間層５も同時に除去することが望ましい。中間層を別途ドライエッチングなどの工程により除去してもよいが、レーザで同時に、あるいは複数回照射することで除去した方が効率がよい。また、中間層として、電解めっきが十分可能な程度に導電性のものを使用した場合、凹部４の底部はその中間層５のままでよい（図６（ｃ‘’））。

本発明において、導体層パターン付き基材は、
（イ）前記のめっき用導電性基材の凹部にめっきにより金属を析出させる工程、及び
（ロ）上記導電性基材の凹部に析出させた金属を別の基材に転写する工程
を含む方法により製造される。

本発明におけるめっき法は公知の方法を採用することができる。めっき法としては、電解めっき法、無電解めっき法その他のめっき法を適用することができる。

電解めっきについてさらに説明する。例えば、電解銅めっきであれば、めっき用の電解浴には硫酸銅浴、ほうふっ化銅浴、ピロリン酸銅浴、または、シアン化銅浴などを用いることができる。このときに、めっき浴中に有機物等による応力緩和剤（光沢剤としての効果も有する）を添加すれば、より電着応力のばらつきを低下させることができることが知られている。また、電解ニッケルめっきであれば、ワット浴、スルファミン酸浴などを使用することができる。これらの浴にニッケル箔の柔軟性を調整するため、必要に応じてサッカリン、パラトルエンスルホンアミド、ベンゼンスルホン酸ナトリウム、ナフタリントリスルホン酸ナトリウムのような添加剤、及びその調合剤である市販の添加剤を添加してもよい。さらに、電解金めっきの場合は、シアン化金カリウムを用いた合金めっきや、クエン酸アンモニウム浴やクエン酸カリウム浴を用いた純金めっきなどが用いられる。合金めっきの場合は、金−銅、金−銀、金−コバルトの２元合金や、金−銅−銀の３元合金が用いられる。他の金属に関しても同様に公知の方法を用いることができる。電界めっき法としては、例えば、「現場技術者のための実用めっき」（日本プレーティング協会編、１９８６年槇書店発行）第８７〜５０４頁を参照することができる。

次に、無電解めっきについてさらに説明する。無電解めっき法としては、銅めっき、ニッケルめっき、代表的であるが、その他、すずめっき、金めっき、銀めっき、コバルトめっき、鉄めっき等が挙げられる。工業的に利用されている無電解めっきのプロセスでは、還元剤をめっき液に添加し、その酸化反応によって生ずる電子を金属の析出反応に利用するのであり、めっき液は、金属塩、錯化剤、還元剤、ｐＨ調整剤、ｐＨ緩衝材、安定剤等から成り立っている。無電解銅めっきの場合は、金属塩として硫酸銅、還元剤としてホルマリン、錯化剤としてロッセル塩やエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）が好んで用いられる。また、ｐＨは主として水酸化ナトリウムによって調整されるが、水酸化カリウムや水酸化リチウムなども使用でき、緩衝剤としては、炭酸塩やリン酸塩が用いられ、安定化剤としては、１価の銅と優先的に錯形成するシアン化物、チオ尿素、ビピリジル、Ｏ−フェナントロリン、ネオクプロイン等が用いられる。また、無電解ニッケルめっきの場合は、金属塩として硫酸ニッケル、還元剤には、次亜りん酸ナトリウムやヒドラジン、水素化ホウ素化合物等が好んで用いられる。次亜りん酸ナトリウムを用いた場合には、めっき皮膜中にりんが含有され、耐食性や耐摩耗性が優れている。また、緩衝剤としては、モノカルボン酸またはそのアルカリ金属塩を使用する場合が多い。錯化剤は、めっき液中でニッケルイオンと安定な可溶性錯体を形成するものが使用され、酢酸、乳酸、酒石酸、りんご酸、クエン酸、グリシン、アラニン、ＥＤＴＡ等が用いられ、安定化剤としては、硫黄化合物や鉛イオンが添加される。無電解めっき法については上記非特許文献１の第５０５〜５４５頁を参照することができる。

さらに、還元剤の還元作用を得るためには、金属表面の触媒活性化が必要になることがある。素地が鉄、鋼、ニッケルなどの金属の場合には、それらの金属が触媒活性を持つため、無電解めっき液に浸漬するだけで析出するが、銅、銀あるいはそれらの合金、ステンレスが素地となる場合には、触媒活性化を付与するために、塩化パラジウムの塩酸酸性溶液中に被めっき物を浸漬し、イオン置換によって、表面にパラジウムを析出させる方法が用いられる。

本発明で利用できる無電解めっきは、例えば、めっき用導電性基材の凹部に、必要に応じてパラジウム触媒を付着させたあと、温度６０〜９０℃程度とした無電解銅めっき液に浸漬して、銅めっきを施す方法である。

無電解めっきでは、基材は必ずしも導電性である必要はない。しかし、基材を陽極酸化処理するような場合は、基材は導電性である必要がある。

特に、導電性基材の材質がＮｉである場合、無電解めっきするには、凹部を陽極酸化した後、無電解銅めっき液に浸漬して、銅を析出させる方法がある。

めっきによって出現又は析出する金属としては、銀、銅、金、アルミニウム、タングステン、ニッケル、鉄、クロム等の導電性を有するものが使用されるが、２０℃での体積抵抗率（比抵抗）が２０μΩ・ｃｍ以下の金属を少なくとも１種類以上含むことが望ましい。本発明により得られる構造体を電磁波遮蔽シートとして用いる場合には電磁波を電流としてアースするためにこれを構成する金属は導電性が高い方が電磁波遮蔽性に優れるためである。このような金属としては、銀（１．６２μΩ・ｃｍ）、銅（１．７２μΩ・ｃｍ）、金（２．４μΩ・ｃｍ）、アルミニウム（２．７５μΩ・ｃｍ）、タングステン（５．５μΩ・ｃｍ）、ニッケル（７．２４μΩ・ｃｍ）、鉄（９．０μΩ・ｃｍ）、クロム（１７μΩ・ｃｍ、全て２０℃での値）などがあるが特にこれらに限定するものではない。できれば体積抵抗率が１０μΩ・ｃｍであることがより好ましく、５μΩ・ｃｍであることがさらに好ましい。金属の価格や入手の容易さを考慮すると銅を用いることが最も好ましい。これらの金属は単体で用いてもよく、さらに機能性を付与するために他の金属との合金でも構わないし、金属の酸化物であってもよい。ただし、体積抵抗率が２０μΩ・ｃｍである金属が成分として最も多く含まれていることが導電性の観点から好ましい。

前記した導電性基材の凹部にめっきにより形成される金属層の厚さ（めっき厚さ）は、目的に応じて適宜決定される。めっき厚さは、十分な導電性を示す（このとき電磁波シールド性が十分に発現する）ためには、０．５μｍ以上であることが好ましく、導体層にピンホールが形成される（このとき、例えば、電磁波シールド性が低下する）可能性を小さくするためには、３μｍ以上の厚さであることがさらに好ましい。また、めっき厚さが大きすぎると、形成された金属層は幅方向にも広がる。これも目的に応じて、適宜調整される。このように、めっき厚さが大きすぎるとラインの幅が広くなり、得られる金属層を電磁波シールド層に利用するとき、その開口率が低下し、電磁波遮蔽部材の透明性、非視認性を低下させる傾向がある。したがって、電磁波遮蔽部材として、十分な透明性、非視認性を確保するためには、形成された金属層の厚みを２０μｍ以下とすることが好ましく、さらに、めっきの時間を短縮し、生産効率をあげるためには、めっきの厚みは１０μｍ以下であることがさらに好ましい。

前記した別の基材（導体層パターンが転写される基材）としては、ガラス、プラスチック等からなる板、プラスチックフィルム、プラスチックシートなどがある。ガラスとしては、ソーダガラス、無アルカリガラス、強化ガラス等のガラスを使用することができる。

プラスチックとしては、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂などの熱可塑性ポリエステル樹脂、酢酸セルロース樹脂、フッ素樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリウレタン樹脂、フタル酸ジアリル樹脂などの熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂が挙げられる。プラスチックの中では、透明性に優れるポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂が好適に用いられる。別の基材の厚みは、０．５ｍｍ〜５ｍｍがディスプレイの保護や強度、取扱い性から好ましい。

本発明における別の基材は、プラスチックフィルムが好ましい。このプラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂などのプラスチックからなるフィルムで全可視光透過率が７０％以上のものが好ましい。これらは単層で使うこともできるが、２層以上を組合せた多層フィルムとして使用してもよい。前記プラスチックフィルムのうち透明性、耐熱性、取り扱いやすさ、価格の点からポリエチレンテレフタレートフィルムまたはポリカーボネートフィルムが特に好ましい。

上記プラスチックフィルムの厚さは特に制限はないが、１ｍｍ以下のものが好ましく、厚すぎると可視光透過率が低下しやすくなる傾向がある。また、薄く成りすぎると取扱い性が悪くなることを勘案すると、上記プラスチックフィルムの厚さは５〜５００μｍがより好ましく、５０〜２００μｍとすることがさらに好ましい。

これらのプラスチックフィルム等の基材は、ディスプレイの前面からの電磁波の漏洩を防ぐための電磁波シールドフィルムとして使用するためには、透明であるもの（すなわち、透明基材）が好ましい。

上記の別の基材の導体層パターンが転写される面は、転写する際に粘着性を有していることが必要である。そのためには、基材自体が必要な粘着性を有していてもよいが、転写面に粘着層を積層しておくことが好ましい。

上記の粘着層は、転写時に粘着性を有しているもの又は加熱若しくは加圧下に粘着性を示すものが好ましい。粘着性を有しているものとしては、ガラス転移温度が２０℃以下の樹脂が好ましく、ガラス転移温度が０℃以下である樹脂を用いることが最も好ましい。粘着層に用いる材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー線の照射で硬化する樹脂等を使用することができる。加熱時に粘着性を示す場合、そのときの温度が高すぎると、透明基材にうねりやたるみ、カール等の変形が起こることがあるので、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー線の照射で硬化する樹脂のガラス転移点は８０℃以下であることが好ましい。上記熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー線の照射で硬化する樹脂の重量平均分子量は、５００以上のものを使用することが好ましい。分子量が５００未満では樹脂の凝集力が低すぎるために金属との密着性が低下するおそれがある。

上記の熱可塑性樹脂として代表的なものとして以下のものがあげられる。たとえば天然ゴム、ポリイソプレン、ポリ−１，２−ブタジエン、ポリイソブテン、ポリブテン、ポリ−２−ヘプチル−１，３−ブタジエン、ポリ−２−ｔ−ブチル−１，３−ブタジエン、ポリ−１，３−ブタジエン）などの（ジ）エン類、ポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリビニルエチルエーテル、ポリビニルヘキシルエーテル、ポリビニルブチルエーテルなどのポリエーテル類、ポリビニルアセテート、ポリビニルプロピオネートなどのポリエステル類、ポリウレタン、エチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリロニトリル、ポリスルホン、ポリスルフィド、フェノキシ樹脂、ポリエチルアクリレート、ポリブチルアクリレート、ポリ−２−エチルヘキシルアクリレート、ポリ−ｔ−ブチルアクリレート、ポリ−３−エトキシプロピルアクリレート）、ポリオキシカルボニルテトラメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリイソプロピルメタクリレート、ポリドデシルメタクリレート、ポリテトラデシルメタクリレート、ポリ−ｎ−プロピルメタクリレート、ポリ−３，３，５−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート、ポリエチルメタクリレート、ポリ−２−ニトロ−２−メチルプロピルメタクリレート、ポリ−１，１−ジエチルプロピルメタクリレート、ポリメチルメタクリレートなどのポリ（メタ）アクリル酸エステルが使用可能である。これらのポリマを構成するモノマーは、必要に応じて、２種以上共重合させて得られるコポリマとして用いてもよいし、以上のポリマ又はコポリマを２種類以上ブレンドして使用することも可能である。

活性エネルギー線で硬化する樹脂としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂等をベースポリマとし、各々にラジカル重合性あるいはカチオン重合性官能基を付与させた材料が例示できる。ラジカル重合性官能基として、アクリル基（アクリロイル基），メタクリル基（メタクリロイル基），ビニル基，アリル基などの炭素−炭素二重結合があり、反応性の良好なアクリル基（アクリロイル基）が好適に用いられる。カチオン重合性官能基としては、エポキシ基（グリシジルエーテル基、グリシジルアミン基）が代表的であり、高反応性の脂環エポキシ基が好適に用いられる。具体的な材料としては、アクリルウレタン、エポキシ（メタ）アクリレート、エポキシ変性ポリブタジエン、エポキシ変性ポリエステル、ポリブタジエン（メタ）アクリレート、アクリル変性ポリエステル等が挙げられる。活性エネルギー線としては、紫外線、電子線等が利用される。

活性エネルギー線が紫外線の場合、紫外線硬化時に添加される光増感剤あるいは光開始剤としては、ベンゾフェノン系、アントラキノン系、ベンゾイン系、スルホニウム塩、ジアゾニウム塩、オニウム塩、ハロニウム塩等の公知の材料を使用することができる。また、上記の材料の他に汎用の熱可塑性樹脂をブレンドしても良い。

熱硬化性樹脂としては、天然ゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ポリイソブチレン、ブチルゴム、ハロゲン化ブチル、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ポリイソブテン、カルボキシゴム、ネオプレン、ポリブタジエン等の樹脂と架橋剤としての硫黄、アニリンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノールホルムアルデヒド樹脂、リグリン樹脂、キシレンホルムアルデヒド樹脂、キシレンホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、アニリン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ホルマリン樹脂、金属酸化物、金属塩化物、オキシム、アルキルフェノール樹脂等の組み合わせで用いられるものがある。なおこれらには、架橋反応速度を増加する目的で、汎用の加硫促進剤等の添加剤を使用することもできる。

熱硬化性樹脂として、硬化剤を利用するものとしては、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、不飽和炭化水素基等の官能基を有する樹脂とエポキシ基、水酸基、アミノ基、アミド基、カルボキシル基、チオール基等の官能基を有する硬化剤あるいは金属塩化物、イソシアネート、酸無水物、金属酸化物、過酸化物等の硬化剤との組み合わせで用いられるものがある。なお、硬化反応速度を増加する目的で、汎用の触媒等の添加剤を使用することもできる。具体的には、硬化性アクリル樹脂組成物、不飽和ポリエステル樹脂組成物、ジアリルフタレート樹脂、エポキシ樹脂組成物、ポリウレタン樹脂組成物等が例示される。

さらに、熱硬化性樹脂又は活性エネルギー線で硬化する樹脂としては、アクリル酸又はメタクリル酸の付加物が好ましいものとして例示できる。

アクリル酸又はメタクリル酸の付加物としては、エポキシアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．６０）、ウレタンアクリレート（ｎ＝１．５〜１．６）、ポリエーテルアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．４９）、ポリエステルアクリレート（ｎ＝１．４８〜１．５４）なども使うこともできる。特に接着性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、１、６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の（メタ）アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートなどのように分子内に水酸基を有するポリマは接着性向上に有効である。これらの共重合樹脂は必要に応じて、２種以上併用することができる。

本発明で粘着性を有しているもの又は粘着性を示すもの（以下、これらを、「粘着剤」という）には、必要に応じて、架橋剤、硬化剤、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤、着色剤、紫外線吸収剤や粘着付与剤などの添加剤を配合してもよい。

粘着層の厚さは、薄すぎると十分な強度を得られないため、めっきで形成された金属層を転写する際に、金属が粘着層に密着せず、転写不良が発生することがある。したがって、粘着層の厚みは、１μｍ以上であることが好ましく、量産時の転写信頼性を確保するためには３μｍ以上であることが更に好ましい。また、粘着層の厚さが厚いと、粘着層の製造コストが高くなるとともに、ラミネートした際に、粘着層の変形量が多くなるため、粘着層の厚みは３０μｍ以下が好ましく、１５μｍ以下がさらに好ましい。

別の基材に粘着剤を塗布して形成した粘着層を有するフィルムを、金属層が形成されている面に貼り合わせる際には、粘着剤の特性に応じて、必要ならば加熱される。

最終的に得られる導体層パターン付き基材の導体層パターン（金属パターンを黒化処理したときは黒化処理された導体層パターンを意味する）のライン幅は、４０μｍ以下、ライン間隔は５０μｍ以上の範囲とすることが好ましい。また、導体層パターン（幾何学図形）の非視認性の観点からライン幅は２５μｍ以下、可視光透過率の点からライン間隔は１２０μｍ以上がさらに好ましい。ライン幅は、あまりに小さく細くなると表面抵抗が大きくなりすぎて遮蔽効果に劣るので１μｍ以上が好ましい。ライン間隔は、大きいほど開口率は向上し、可視光透過率は向上する。本発明によって得られる導体層パターンをディスプレイ前面に使用する場合、開口率は５０％以上が必要であるが、６０％以上がさらに好ましい。ライン間隔が大きくなり過ぎると、電磁波遮蔽性が低下するため、ライン間隔は１０００μｍ（１ｍｍ）以下とするのが好ましい。なお、ライン間隔は、幾何学図形等の組合せで複雑となる場合、繰り返し単位を基準として、その面積を正方形の面積に換算してその一辺の長さをライン間隔とする。

また、本発明によって得られる導体層パターン付き基材をディスプレイ前面用途に使用する場合、可視光透過率の点から、電磁波シールド機能を担わせる部分の開口率は５０％以上が必要であるが、６０％以上が好ましく、特に８０％以上が好ましい。開口率が大きすぎるとライン幅が小さくなりすぎるため、開口率は９７％以下であることが好ましい。ライン間隔という観点からは、ライン間隔は１０００μｍ（１ｍｍ）以下とするのが好ましい。ライン間隔が大きくなり過ぎると、電磁波遮蔽性が低下する傾向がある。なお、ライン間隔は、幾何学図形等の組合せで複雑となる場合、繰り返し単位を基準として、その面積を正方形の面積に換算してその一辺の長さをライン間隔とする。可視光透過率の点からライン間隔は、５０μｍ以上が好ましく、１００μｍ以上がより好ましく、１２０μｍ以上が特に好ましい。ライン間隔は、大きいほど開口率は向上し、可視光透過率は向上する。

また、導体層パターンの厚みは１００μｍ以下が好ましく、ディスプレイ前面の電磁波遮蔽シートとして適用した場合、厚みが薄いほどディスプレイの視野角が広がり電磁波遮蔽材料として好ましく、また、金属層をめっきにより形成させるのにかかる時間を短縮することにもなるので４０μｍ以下とすることがより好ましく、２０μｍ以下であることがさらに好ましい。あまりに厚みが薄いと表面抵抗が大きくなりすぎて電磁波遮蔽効果に劣るようになり、また、導体層パターンの強度が劣り、転写時の導電性基材からの剥離が困難になるため０．５μｍ以上が好ましく、さらに１μｍ以上がさらに好ましい。

析出する金属層の厚さに対して相対的に凹部がより深くなることにより、析出する金属層をより形状的に規正することができるという観点から、めっきにより形成される金属箔の厚さを絶縁層の高さの２倍以下とすることが好ましく、特に１．５倍以下、さらに１．２倍以下とすることが好ましいが、これに制限されるものではない。

めっきの程度を、析出する金属層が凹部内に存在する程度とすることができる。このような場合であっても、凹部形状が開口方向に幅広であるため、さらには、絶縁層により形成される凹部側面の表面を平滑にできるため、金属箔パターンの剥離時のアンカー効果を小さくできる。また、析出する金属層の幅に対する高さの割合を高くすることが可能となり、透過率をより向上させることができる。

上記のめっき用導電性基材を用いた導体層パターン付き基材の作製例を次に示す。

図７は、導体層パターン付き基材の作製例の前半を示す断面図である。また、図８はその後半を示す断面図である。

上記のめっき用導電性基材１上に、前記しためっき工程により、凹部４内にめっきを施し、導体層パターン９を形成する（図７（ｅ））。ついで、別個に準備された転写用基材１０、これは、別の基材（透明基材）１１に粘着剤層１２が積層されている。導体層パターン９が形成されためっき用導電性基材１に転写用基材１０を粘着剤層１２を向けて圧着する準備を行う（図７（ｆ））。

ついで、導体層パターンが形成されためっき用導電性基材１に転写用基材１０を粘着剤層１２を向けて圧着する（図８（ｇ））。このとき、粘着剤層１２が絶縁層７に接触してもよい。

ついで、転写用基材１０を引きはがすと導体層パターン９は、その粘着剤層１２に接着してめっき用導電性基材１の凹部４から剥離され、この結果、導体層パターン付き基材１３が得られる（図８（ｈ））。

図９は、めっき用導電性基材の凹部内にめっきにより導体層パターンを形成した状態を示す断面図、図１０は、その凹部内の導体層パターンを転写して得られた導体層パターン付き基材の断面図を示す。

めっき用導電性基材にめっきした際、めっきは等方的に生長するため、導電性基材の露出部分から始まっためっきの析出は、それが進むと凹部からあふれて絶縁層に覆い被さるように突出して析出する。転写用基材への貼着の観点から、突出するようにめっきを析出させることが好ましい。しかし、このとき、めっきの析出を凹部４内に収まる程度に施しても良い。この状態を図９に示す。この場合でも、図１０に示すように、転写用基材を圧着することにより、導体層パターン９を粘着剤層１２に転着して、めっき用導電性基材１から導体層パターン９を剥離して、導体層パターン付き基材１３を作製することができる。

本発明により得られる導体層パターン付き基材の導体層パターンを黒化処理して、黒化処理された導体層パターンを有する導体層パターン付き基材とすることができる。このためには、上記図８（ｈ）又は図１０に示すような導体層パターン付き基材１３の導体層パターン９を黒化処理する方法、めっき用導電性基材１の凹部４に形成された導体層パターン９をそれが、転写される前に黒化処理する方法及びこれらの両方の黒化処理を行う方法がある。

このように黒化処理された導体層パターンを有する導体層パターン付き基材を電磁波遮蔽部材としてディスプレイの前面において利用するときは、一般に、黒色層を設けた方の面がディスプレイの視聴者側に向くようにして用いられる。

上記の黒化処理の方法は、金属パターンに黒色層を形成する手法であるが、このためには、金属層にめっきや酸化処理、印刷などの様々な手法を用いることができる。

本発明における導体層パターン付き基材を電磁波遮蔽体として用いる場合は、そのまま、ディスプレイ画面に適宜別の接着剤を介して又は介さないで貼着して使用することができるが、他の基材に貼着してからディスプレイに適用してもよい。他の基材は、ディスプレイの前面からの電磁波を遮断するために使用するには透明であることが必要である。

図１１に導体層パターン付き基材が他の基材に貼着されて得られた電磁波遮蔽部材の断面図を示す。図１１において、基材（別の基材）１１に積層されている粘着剤層１２上に金属からなる導体層パターン９が貼り付けられ、この上に他の基材１３’が積層されており、導体層パターン９は、粘着剤層１２に埋設されている。これは、導体層パターン付き基材の導体層パターン９側を他の基材１３’に加熱又は非加熱下に加圧することにより作製することができる。この場合、粘着剤層１２が十分な流動性を有するものであるか十分な流動性を有するうちに、適度な圧力を加えることにより導体層パターンを粘着剤層１２に埋設する。基材（別の基材）１１及び基材（他の基材）１３’として、透明性を有し、しかもその表面の平滑性が優れるものを使用することにより、透明性が高い電磁波遮蔽部材を得ることができる。

図１２に導体層パターン付き基材が保護樹脂で覆われた電磁波遮蔽部材の断面図を示す。基材（別の基材）１１に積層されている粘着剤層１２上に金属からなる導体層パターン９が貼り付けられており、これらは、透明な保護樹脂１４によって被覆されている。

図１３は、別の態様の電磁波遮蔽体の断面図を示す。この電磁波遮蔽体は、図１２の電磁波遮蔽部材が、基材１１の導体層パターン９がある面とは反対の面で、接着剤層１５を介して他の基材１６が貼り合わされたものである。

図１４は、さらに、別の態様の電磁波遮蔽体の断面図を示す。図１３において、基材（別の基材）１１に粘着剤層１２を介して金属からなる導体層パターン９が接着されており、その上を透明樹脂からなる接着剤又は粘着剤１７により被覆され、さらにその上に保護フィルム１８が積層されている。基材１１のもう一方の面には接着剤層１５を介してガラス板等の他の基材１６が貼着されている。この電磁波遮蔽部材では、基材（別の基材）１１に粘着剤１２を介して接着されている導体層パターン９を有する導体層パターン付き基材の導体層パターン９が存在する面を、透明な接着剤または粘着材１７によりコーティングし、さらに保護フィルム１８を積層し、ついで、得られた積層物の基材１１のもう一方の面（何も積層されていない面）に接着剤を塗布して接着剤層１２を形成し、これを他の基材１６に押しつけて接着することにより作製することができる。上記の透明樹脂１７としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のほかに活性エネルギー線で硬化する樹脂をを主成分とする接着剤または粘着剤を用いることもできる。活性エネルギー線で硬化する樹脂を用いることは、それが瞬時に又は短時間に硬化することから、生産性が高くなるので好ましい。

また、本発明で用いられる導電性基材として、回転体（ロール）を用いることができることは前記したが、さらに、この詳細を説明する。回転体（ロール）は金属製が好ましい。さらに、回転体としてはドラム式電解析出法に用いるドラム電極などを用いることが好ましい。ドラム電極の表面を形成する物質としては上述のようにステンレス鋼、クロムめっきされた鋳鉄、クロムめっきされた鋼、チタン、チタンをライニングした材料などのめっき付着性が比較的低い材料を用いることが好ましい。導電性基材として回転体を用いることにより連続的に作製して巻物として導体層パターン付き基材を得ることが可能となるため、この場合、生産性が飛躍的に大きくなる。

回転体を用いて、電解めっきにより形成されたパターンを連続的に剥離しながら、構造体を巻物として得る工程を、図１５を用いて説明する。図１５は、導電性基材としてドラム電極を用いた場合に、ドラム電極を回転させつつ、金属を電界めっきにより連続的に析出させ、また、析出した金属を連続的に剥離する装置の概念を示す断面図（一部正面図）である。

すなわち、電解浴１００内の電解液１０１が陽極１０２とドラム電極などの回転体１０３の間のスペースに配管１０４とポンプ１０５により供給されるようになっている。陽極１０２と回転体１０３の間に電圧をかけ、回転体１０３を一定速度で回転させると、回転体１０３の表面に金属が電解析出し、電解液１０１の外で、回転体１０３表面の導電性の凹部に析出した金属１０６に、粘着層を形成したフィルム１０７の粘着層を圧着ロール１０８で圧着し、連続的に回転体１０３から金属１０６を剥離しつつ粘着層を形成したフィルム１０７にその金属１０６を転写し、導体層パターン付き基材１０９とする。これはロール（図示せず）に巻き取ることができる。このようにして導体層パターン付き基材１０９を製造することができる。なお、上記の回転体１０３の表面には、凹部とそれにより描かれている幾何学図形状の絶縁層が形成されている。また、回転中の回転体１０３から、凹部に析出した金属１０６が剥離させられた後で、電解液１０１に浸かる前に、回転体１０３表面をエッチング洗浄したり（図示せず）してもよい。なお、図示していないが陽極１０２の上端には高速で循環している電解液が上方へ噴出するのを防ぐために水切りロールを設置しても良く、水切りロールによってせき止められた電解液は陽極１０２の外部から下の電解液の浴槽へと戻り、ポンプにより循環される。また、図示しないがこの循環の間に消費された銅イオン源や添加剤等を必要に応じて追加する態様を加えることが好ましい。

さらに、本発明で用いられる導電性基材として、フープ状の導電性基材を用いることができることは前記したが、さらに、この詳細を説明する。

フープ状の導電性基材に関しては、帯状の導電性基材の表面に絶縁層と凹部を形成した後、端部をつなぎ合わせるなどして作製できる。導電性基材の表面を形成する物質としては上述のようにステンレス鋼、クロムめっきされた鋳鉄、クロムめっきされた鋼、チタン、チタンをライニングした材料などのめっき付着性が比較的小さい材料を用いることが好ましい。フープ状の導電性基材を用いた場合には、黒化処理、防錆処理、転写等の工程を、１つの連続した工程で処理可能となるため導電性パターン付き基材の生産性が高く、また、導電性パターン付き基材を連続的に作製して巻物として製品とすることができる。フープ状の導電性基材の厚さは適宜決定すればよいが、１００〜１０００μｍであることが好ましい。

フープ状の導電性基材を用いて、電界めっきにより形成された導体層パターンを連続的に剥離しながら、構造体を巻物として得る工程を、図１６を用いて説明する。図１６は、導電性基材としてフープ状導電性基材を用いた場合に、連続的に導体層パターンを電界めっきにより析出させながら剥離する装置の概念図である。

フープ状の導電性基材１１０を、搬送ロール１１１〜１２８を用い、前処理槽１２９、めっき槽１３０、水洗槽１３１、黒化処理槽１３２、水洗槽１３３、防錆処理槽１３４、水洗槽１３５を順次とおり、周回運動するように設置する。前処理槽１２９で導電性基材１１０の脱脂もしくは酸処理等の前処理を行う。その後、めっき槽１３０で、導電性基材１１０上に金属を析出させる。この後に、水洗槽１３１、黒化処理槽１３２、水洗槽１３３、防錆処理槽１３４、水洗槽１３５を順次通して、それぞれで、導電性基材１１０上に析出した金属の表面を黒化し、さらに防錆処理する。各処理工程後にある水洗槽は、１槽しか図示していないが、必要に応じて複数の槽を用いたり、各処理工程の前に他の前処理槽等があってもよい。次いで、接着層を積層したプラスチックフィルム基材１３６を導電性基材１１０の導電性の凹部に析出した金属が転写されるように搬送ロール１２８上の導電性基材１１０と圧着ロール１３７の間を通し、上記金属をプラスチックフィルム基材１３６に転写して、導体層パターン付き基材１３８を連続的に製造することができる。得られる導体層パターン付き基材１３８は、ロール状に巻き取ることができる。必要に応じて、圧着ロール１３７を加熱することもできるし、図示はしないが、プラスチックフィルム基材１３６を、圧着ロールを通過させる前にプレヒート槽を通して予備加熱してもよい。また、転写したフィルムの巻取りには、必要に応じて、離型ＰＥＴ等を挿入してもよい。さらに、金属が転写された後、フープ状導電性基材は、上記の工程を繰り返すこととなる。このようにして、連続的に、高い生産性で導体層パターン付き基材を製造することができる。

上記のようにして得られる導体層パターン付き基材を電磁波遮蔽部材として用いる場合には、反射防止層、近赤外線遮蔽層等をさらに積層してもよい。導電性基材に析出した金属を転写する基材そのものが反射防止層、近赤外線遮蔽層等の機能層を兼ねていてもよい。さらに、導体層パターンに保護層を形成する際に用いられるカバーフィルム（例えば、図１４の保護フィルム１８）が、反射防止層、近赤外線遮蔽層等の機能層を兼ねていてもよい。

また、本発明における導体層パターン付き基材は、上記のような回転ロールやフープを利用した連続的なめっき方法に限らず枚葉で作製することも可能である。枚葉で行った場合、めっき用導電性基材の作製時の取扱が容易であり、同一のめっき用導電性基材を繰り返し使用した後に一箇所だけ絶縁層が剥離した、といった場合でもドラム状やフープ状の基材であると特定部分だけの抜き取りあるいは交換は困難であるが、枚葉であれば不良が発生しためっき用導電性基材のみを抜き取りあるいは交換することが可能である。このように枚葉で作製することにより、めっき用導電性基材に不具合が発生したときの対応が容易である。枚葉状の導電性基材の厚みは適宜決定すればよいが、めっき槽内で液の攪拌等に左右されない十分な強度を持たせることを考慮すると厚みは２０μｍ以上が好ましい。厚すぎると重量が増え取扱が困難であるため１０ｃｍ以下の厚みであることが好ましい。

本発明における導体層パターン付き基材において、導体層パターンの開口率を高くすることができ、これにより透光性を優良にできる。本発明における導体層パターン付き基材は、透光性電磁波遮蔽部材として使用することができる。

以上で詳細に説明しためっき用導電性支持体は、開口方向に幅広な凹部のパターン及びそれに対応した絶縁層を有し、適当な広さで作製される。電磁波遮蔽部材要の導体層パターンを作製する場合、その領域を領域Ａとすると、本発明に係るめっき用導電性基材には、そのまわりに、電磁波遮蔽部材のアース部に対応する領域（領域Ｂという）を備えることができる。領域Ａと領域Ｂは同一の導体層パターンを有するものであってもよい。また、領域Ａにおける絶縁層の面積比率（平面図で見たときに、全面積に対する凹部を除いた部分の面積の比率）は、領域Ｂにおける絶縁層の面積比率よりも大きくされていてもよく、好ましくは１０％以上大きくされていてもよい。また、領域Ｂの絶縁層比率を０としてもよいが、この場合には、めっき用導電性支持体上にめっきによりベタの金属膜が周辺に形成される。ベタの金属膜は転写に際し、割れやすいので、望ましくは、領域Ｂの絶縁層の面積率は４０％以上とすることが好ましく、また、９７％未満であることが好ましい。

領域Ｂにおいて、凹部のパターンによって描かれる幾何学図形状としては、
（１）メッシュ状幾何学的模様
（２）所定間隔で規則的に配列された方形状幾何学的模様
（３）所定間隔で規則的に配列された平行四辺形模様
（４）円模様又は楕円模様
（５）三角形模様
（６）五角形以上の多角形模様
（７）星形模様等がある。

また、領域Ｂにおける凹部の形成、絶縁層の形成等は、前記した領域Ａと同様に行うことができる。さらに、凹部の深さ、凹部が開口方向に幅広であることも領域Ａと同様にされることが好ましい。

また、接地機能を担わせる部分の導体層パターンのラインの厚みは、十分な電気抵抗を確保するために、同様に０．５μｍ以上が好ましく、さらに１μｍ以上がさらに好ましい。さらに、電磁波シールド機能を担わせる部分の導体層パターンのラインの厚みとの差が大きいと，転写する際に段差となるために、境目の部分が転写されなかったり、折れが発生しやすくなるため、電磁波シールド機能を担わせる部分の導体層パターンのラインの厚みとの差は１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。

以上説明した、導体層パターン付き基材の製造法において、
転写に際し使用する別の基材を剥離用粘着フィルムとして使用して、上記導電性基材の凹部に析出させた金属を剥離するために利用し、転写された導体層パターンをｋの別の基材からさらに剥離して使用しても良い。

また、以上説明した、導体層パターン付き基材の製造法において、
（ロ）上記導電性基材の凹部に析出させた金属を別の基材に転写する工程の代わりに（ロ′）上記導電性基材の凹部に析出させた金属を粘着フィルムを使用せず、それ自体を剥離する工程とすることにより、パターン化された金属箔を製造することができる。

＜実施例１＞
（絶縁層の形成）
ＰＢＩＩ／Ｄ装置（ＴｙｐｅIII、株式会社栗田製作所製）によりＤＬＣ膜を形成する。チャンバー内に鏡面研磨したステンレス基板（ＳＵＳ３１６Ｌ、１００ｍｍ×１５０ｍｍ×０．３ｍｍｔ）のを入れ、チャンバー内を真空状態にした後、アルゴンガスで基板表面のクリーニングを行った。次いで、チャンバー内にヘキサメチルジシロキサンを導入し、膜厚０．１μｍとなるように中間層を成膜した。次いで、トルエン、メタン、アセチレンガスを導入し、膜厚が２〜３μｍとなるように、中間層の上にＤＬＣ層を形成した（図４（ｂ）に対応する）。なお、絶縁層の厚さ測定は導電性基材の一部を切り取って樹脂で注型し、倍率は３０００倍で断面をＳＥＭ観察することにより実測した。測定点は５点で、最大値と最小値を採用した。

（凹部の形成）
フェムト秒レーザ加工装置（ＳｕｒｆｂｅａｔＲ、キャノンマシナリー株式会社製）を用いて加工を行った。ピーク波長は８００ｎｍ、パルス幅約１５０ｆｓのレーザパルスを直線偏光制御し、大気中で導電性基材上に形成された絶縁層の表面に照射した。５０ｍｍ□の面積を加工し、底部のライン幅は１２〜１４μｍ、ラインピッチ３５０μｍの格子状パターンを形成した。凹部の角度は１７°〜２０°で、開口部のライン幅は１９〜２４μｍであった。凹部の角度測定は導電性基材の一部を切り取って樹脂で注型し、倍率は３０００倍で断面をＳＥＭ観察することにより実測した。測定点は５点で、最大値と最小値を採用した。

（銅めっき）
さらに、上記で得られためっき用導電性基材のパターンが形成されていない面（裏面）に粘着フィルム（ヒタレックスＫ−３９４０Ｂ、日立化成工業（株）製）を貼り付けた。この粘着フィルムを貼り付けためっき用導電性基材を陰極として、また、含燐銅を陽極として電解銅めっき用の電解浴（硫酸銅（５水塩）２５０ｇ／Ｌ、硫酸７０ｇ／Ｌ、キューブライトＡＲ（荏原ユージライト株式会社製、添加剤）４ｍｌ／Ｌの水溶液、３０℃）中に浸し、両極に電圧をかけて電流密度を１０Ａ／ｄｍ^２として、めっき用導電性基材の凹部に析出した金属の厚さがほぼ８μｍになるまでめっきした。めっき用導電性基材の凹部の中とそれからあふれるようにめっきが形成された。

（転写用粘着フィルムの作製）
厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（Ａ−４１００、東洋紡績株式会社製）の表面にプライマー（ＨＰ―１、日立化成工業株式会社製）を厚さ１μｍ）に、粘着層としてアクリルポリマー（ＨＴＲ−２８０、長瀬ケムテック（株）製）を厚さ１０μｍに順次塗布して転写用粘着フィルムを作製した。

（転写）
上記転写用粘着フィルムの粘着層の面と、上記めっき用導電性基材の銅めっきを施した面を、ロールラミネータを用いて貼り合わせた。ラミネート条件は、ロール温度４０℃、圧力０．１ＭＰａ、ラインスピード１ｍ／ｍｉｎとした。次いで、めっき転写用版に貼り合わせた粘着フィルムを剥離したところ、上記めっき用導電性基材上に析出した銅が粘着フィルムに転写されていた。これにより、ライン幅２８〜３１μｍ、ラインピッチ３５０±２μｍ、導体層厚さ（最大）８μｍの格子状金属パターンからなる導体層パターン付き基材が得られた。導体層の形状は、凹部の形状を反映して、図８（ｈ）に示されるように下部から上部（粘着層）に向かって幅広になっており、さらに凹部からあふれた部分が傘のように広がっていた。

転写後のめっき用導電性基材の表面を観察した結果、絶縁層が剥離している箇所はなかった。ライン幅、導体層厚さの測定は、得られた導体層パターン付き基材を一部切り取って樹脂で注型し、倍率は３０００倍で断面をＳＥＭ観察することにより実測した。測定点は５点で、凹部の両側を測定したので計１０点の値の最大値と最小値を採用した（以下も同様）。ラインピッチの測定は、顕微鏡（デジタルマイクロスコープＶＨＸ−５００、キーエンス（株）製）を用いて、倍率２００倍で観察して測定し、測定は、無作為の５点で行った（以下も同様）。

（保護膜の形成）
上記で得られた導体層パターン付き基材の導体層パターンが存在する面に、ＵＶ硬化型樹脂ヒタロイド７９８３ＡＡ３（日立化成工業（株）製）をコーティングし、ポリカーボネートフィルム（マクロホールＤＥ、バイエル株式会社製、７５μｍ）でラミネートして導体層パターンをＵＶ硬化型樹脂中に埋没させた後、紫外線ランプを用いて１Ｊ／ｃｍ^２の紫外線を照射してＵＶ硬化型樹脂を硬化させて、保護膜を有する導体層パターン付き基材を得た。

（繰り返し使用）
次いで、上記のめっき用導電性基材を用いて、銅めっき−転写の工程を上記と同様にして３００回繰り返した結果、銅めっきの転写性に変化が無く、絶縁層の剥離箇所も観測されなかった。

＜実施例２＞
（絶縁層の形成）
導電性基材として♯６００研磨したチタンＴＰ２７０Ｃ板（１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍｔ、株式会社神戸製鋼所製）を用い、実施例１と同様に中間層までコーティングした後、ＤＬＣ層を膜厚が５〜６μｍとなるまでコーティングした。

（凹部の形成）
フェムト秒レーザ加工装置（ＳｕｒｆｂｅａｔＲ、キャノンマシナリー株式会社製）を用いて加工を行った。ピーク波長は８００ｎｍ、パルス幅約１５０ｆｓのレーザパルスを円偏光制御し、大気中で導電性基材上に形成された絶縁層の表面に照射した。アシストガスとして圧縮空気を吹き付けながら加工した。５０ｍｍ□の面積を加工し、底部のライン幅は８〜１１μｍ、ラインピッチ２７５μｍの格子状パターンを形成した。凹部の角度は２１度〜２４度で、開口部のライン幅は３４〜３７μｍであった。凹部の角度測定は導電性基材の一部を切り取って樹脂で注型し、倍率は３０００倍で断面をＳＥＭ観察することにより実測した。測定点は５点で、最大値と最小値を採用した。

（銅めっき）
さらに、上記で得られためっき用導電性基材のパターンが形成されていない面（裏面）に粘着フィルム（ヒタレックスＫ−３９４０Ｂ、日立化成工業（株）製）を貼り付けた。この粘着フィルムを貼り付けためっき用導電性基材を陰極として、また、銅板を陽極として電解銅めっき用の電解浴（ピロリン酸銅：１００ｇ／Ｌ、ピロリン酸カリウム：２５０ｇ／Ｌ、アンモニア水（３０％）：２ｍＬ／Ｌ、ｐＨ：８〜９、浴温：３０℃）中に浸し、両極に電圧をかけて陰極電流密度を６Ａ／ｄｍ^２として、めっき用導電性基材の凹部に析出した金属の厚さがほぼ１０μｍになるまでめっきした。めっき用導電性基材の凹部の中にめっきが形成された。開口部の幅が広いため、幅方向には凹部が完全にめっきが埋まっていなかった。

（転写）
めっき用導電性基材上に形成された銅のパターンを、実施例１と同様に粘着フィルムに転写した。ライン幅２８〜３１μｍ、ラインピッチ２７５±２μｍ、導体層厚さ１０μｍの格子状金属パターンからなる導体層パターン付き基材が得られた。導体層の形状は、凹部の形状を反映して、下部から上部（粘着層）に向かって幅広になっていたが、幅方向では凹部が完全に埋まっていなかった。

転写後のめっき用導電性基材の表面を観察した結果、絶縁層が剥離している箇所はなかった。

さらに実施例１と同様にして保護膜の形成を行い、保護膜を有する導体層パターン付き基材を得た。

（繰り返し使用）
次いで、上記のめっき用導電性基材を用いて、銅めっき−転写の工程を上記と同様にして７００回繰り返した結果、銅めっきの転写性に変化が無く、絶縁層の剥離箇所も観測されなかった。

＜実施例３＞
（絶縁層の形成）
基材として鏡面研磨したＳＵＳ３０４ステンレス箔（３１４ｍｍ×１００ｍｍ×０．１５ｍｍｔ、日新製鋼株式会社製）を用いて、実施例２と同様にＤＬＣを膜厚が０．１μｍになるようにコーティングした。そのときレジスト膜により形成された凸部両側のＤＬＣ膜の厚さは、１〜２μｍであった。

（凹部の形成）
フェムト秒レーザ加工装置（ＳｕｒｆｂｅａｔＲ、キャノンマシナリー株式会社製）を用いて加工を行った。ピーク波長は８００ｎｍ、パルス幅約２００ｆｓのレーザパルスを直線偏光制御し、大気中で導電性基材上に形成された絶縁層の表面に照射した。アシストガスとして圧縮空気を吹き付けながら加工した。５０ｍｍ□の面積を面内２箇所加工し、底部のライン幅は２５〜２６μｍ、ラインピッチ３００μｍの格子状パターンを形成した。凹部の角度は１８度〜２０度で、開口部のライン幅は３０〜３７μｍであった。凹部の角度測定は導電性基材の一部を切り取って樹脂で注型し、倍率は３０００倍で断面をＳＥＭ観察することにより実測した。測定点は５点で、最大値と最小値を採用した。

（銅めっき）
φ１００ｍｍ、幅２００ｍｍのステンレスロールに、前記で作製しためっき用導電性基材の背面とロールが接触するように、巻きつけて、つなぎ目を絶縁テープで貼り合わせた。さらに、側部からめっき液が染み込まないように、導電性基材の両端５ｍｍを全周にわたって、絶縁テープで覆うように、ロールと導電性基材を貼り合わせ、一つの回転体とした。

次いで、図１５に示すような装置構成で回転体１０３に電界銅めっきした。陽極１０２には白金でコーティングしたチタン製の不溶性電極を用いた。陰極には上記ステンレス製のロールをドラム電極とした。電解銅めっき用の電解浴１００には、硫酸銅（五水塩）：２５５ｇ／Ｌ、硫酸：５５ｇ／Ｌ、キューブライト＃１Ａ（荏原ユージライト株式会社製、添加剤）：４ｍＬ／Ｌの水溶液で２０℃の電解液１０１が収容され配管１０４を通じてポンプ１０５により、陽極１０２と回転体１０３の間に送られ、満たされている。回転体１０３の約半分がこの電解液に浸漬している。電流密度を１５Ａ／ｄｍ^２となるように、両極に電圧をかけて上記導電性基材に析出する金属の厚みが５μｍ厚になるまでめっきした。このとき。上記のステンレスロールを０．１ｍ／分の速度で回転させるようにした。めっき用導電性基材の凹部の中とそれからあふれるようにめっきが形成された。

（転写）
実施例１で作製した粘着フィルムを一旦ロール状で巻き取り、ロール状の粘着フィルムとした。このロール状の粘着フィルムから粘着フィルム１０７を巻き出し、その粘着剤層の面を上記回転体（ステンレスロール）に析出した金属（銅）１０６に圧着ロール１０８により実施例１と同様のラミネート条件で、連続的に貼り合わせるとともに剥離することにより、金属１０６を粘着フィルムの粘着剤層に転写して、導体層パターン付き基材１０９を連続的に作製した。導体層パターン付き基材１０９はロール状に巻き取られた（図示せず）。また、このとき、粘着フィルムの導体層パターンが転写された面に離型ＰＥＴ（Ｓ−３２、帝人デュポン株式会社製）をラミネートしながら巻き取ることにより、巻取り時のブロッキングを防止した。導体層パターンは、ライン幅３５〜３８μｍ、ラインピッチ３００±２μｍ、導体層厚５μｍであった。銅めっきが転写された粘着フィルムを５０ｍ巻き取った後も、ステンレスロール上への銅めっきとその転写性に変化が無く、絶縁層の剥離箇所も観測されなかった。導体層の形状は、凹部の形状を反映して、図８（ｈ）に示されるように下部から上部（粘着層）に向かって幅広になっており、さらに凹部からあふれた部分が傘のように広がっていた。

（保護膜の形成）
得られた導体層パターン付き基材の一部を切り取り、導体層パターンが形成されている面に、ＵＶ硬化型樹脂（アロニックスＵＶ−３７０１、東亞合成株式会社製）をアプリケータ（ヨシミツ精機株式会社製、ＹＢＡ型）を用いて１５μｍ厚でコーティングし、ＰＥＴフィルム（マイラーＤ、帝人デュポンフィルム株式会社製、７５μｍ）をハンドロールを用いて気泡が入らないように静かにラミネートした後、紫外線ランプを用いて１Ｊ／ｃｍ^２の紫外線を照射して、保護膜を形成した。

（繰り返し使用）
上記で得られためっき転写用導電性基材を用いて、銅めっき−転写の工程を上記と同様にして６５０回繰り返した（回転体を６５０回転させた）結果、銅めっきの転写性に変化が無く、絶縁層の剥離箇所も観測されなかった。

上記の実施例における仕様と試験結果を表１に示す。

本発明のめっき用導電性基材の一例を示す斜視図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 導電性基材上に形成された絶縁層を加工するための加工装置の一例を示す図である。 めっき用導電性基材の製造方法の一例を断面図である。 めっき用導電性基材の製造方法の一例を示す断面図である。 中間層を有するめっき用導電性基材の製造方法の一例を示す断面図である。 導体層パターン付き基材の作製方法の前半の一例を示す断面図である。 導体層パターン付き基材の作製方法の後半の一例を示す断面図である。 めっき用導電性基材の凹部内にめっきにより導体層パターンを形成した状態の一例を示す断面図である。 図９に示す凹部内の導体層パターンを転写して得られた導体層パターン付き基材の断面図である。 導体層パターン付基材が他の基材に貼着された電磁波遮蔽部材の一例を示す断面図である。 導体層パターン付基材が他の基材に貼着された電磁波遮蔽部材の一例を示す断面図である。 導体層パターン付基材が他の基材に貼着された電磁波遮蔽部材の一例を示す断面図である。 導体層パターン付基材が他の基材に貼着された電磁波遮蔽部材の一例を示す断面図である。 回転体を用いて導体層パターン付き基材を連続的に作製するための装置の概念断面図である。 フープ状のめっき用導電性基材を用いて導体層パターン付き基材を連続的に作製するための装置の概念断面図である。

符号の説明

１：めっき用導電性基材
２：導電性基材
３：絶縁層
４：凹部
５：感光性レジスト層（感光性樹脂層）
６：突起部
７：ＤＬＣ膜
８：中間層
９：導体層パターン
１０：転写用基材
１１：別の基材
１２：粘着剤層
１３：他の基材
１３’：別の基材
１４：保護樹脂
１５：接着剤
１６：他の基材
１７：接着剤又は粘着剤
１８：保護フィルム
２０：フェムト秒レーザシステム
２１：シャッタ
２２：レーザ制御ユニット
２３〜２５：反射ミラー
２６：凹面反射鏡
２７：加工ステージ
２８：ステージ制御装置
２９：被加工物
１００：電解浴
１０１：電解液
１０２：陽極
１０３：回転体
１０４：配管
１０５：ポンプ
１０６：金属
１０７：フィルム
１０８：圧着ロール
１０９：導体層パターン付き基材
１１０：フープ状の導電性基材
１１１〜１２８：搬送ロール
１２９：前処理槽
１３０：めっき槽（電解浴槽）
１３１：水洗槽
１３２：黒化処理槽
１３３：水洗槽
１３４：防錆処理槽
１３５：水洗槽
１３６：プラスチックフィルム基材（接着フィルム）
１３７：圧着ロール
１３８：導体層パターン付き基材

Claims (14)

1. （Ａ）導電性基材の表面に、絶縁層を形成する工程、及び
   （Ｂ）絶縁層が形成されている導電性基材の表面に、レーザによりその絶縁層に開口方向に向かって幅広な、めっきを形成するための凹部を形成する工程を含むことを特徴とするめっき用導電性基材の製造方法。
2. レーザがフェムト秒レーザであることを特徴とする請求項１記載のめっき用導電性基材の製造方法。
3. 絶縁層がＤＬＣ又は無機材料からなる請求項１又は２記載のめっき用導電性基材の製造方法。
4. 無機材料がＡｌ_２Ｏ_３又はＳｉＯ_２である請求項３に記載のめっき用導電性基材の製造方法。
5. 絶縁層が、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）ある請求項３に記載のめっき用導電性基材の製造方法。
6. 絶縁層が、硬度が１０〜４０ＧＰａのＤＬＣからなる請求項１〜５のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
7. ＤＬＣ膜が真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、アーク放電法、イオン化蒸着法またはプラズマＣＶＤ法により形成される請求項５又は６記載のめっき用導電性基材の製造方法。
8. 凹部の最小幅が１〜４０μｍ、凹部の最大幅が２〜６０μｍ及び凹部の間隔が５０〜１０００μｍである請求項１〜７のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
9. レーザで形成された凹部側面の角度が絶縁層側で１０度以上７０度未満である請求項１〜８のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
10. レーザで形成された凹部側面の角度が絶縁層側で１０度以上４０度以下である請求項１〜９のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
11. 絶縁層の厚さが、０．５〜２０μｍである請求項１〜１０のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
12. 導電性基材と絶縁層の間に、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｓｉまたはそれらの窒化物又は炭化物のいずれか１以上を含む中間層を介在させている請求項１〜１１のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
13. 導電性基材の表面が、鋼又はＴｉからなる請求項１〜１２のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。
14. 導電性のロール（ドラム）またはロールに巻き付けるものである請求項１〜１３のいずれかに記載のめっき用導電性基材の製造方法。

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