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JP2009021841A - チャージポンプ駆動回路、及びそれを用いた半導体装置 - Google Patents

チャージポンプ駆動回路、及びそれを用いた半導体装置 Download PDF

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JP2009021841A JP2007183044A JP2007183044A JP2009021841A JP 2009021841 A JP2009021841 A JP 2009021841A JP 2007183044 A JP2007183044 A JP 2007183044A JP 2007183044 A JP2007183044 A JP 2007183044A JP 2009021841 A JP2009021841 A JP 2009021841A
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Abstract

【課題】チャージポンプ回路における高周波ノイズを低減することができる。
【解決手段】本発明によるチャージポンプ駆動回路10Aは、Pチャネル型MOSFET30とNチャネル型MOSFET31とを備える相補型インバータ回路を具備する。Pチャネル型MOSFET30の第1ゲートG1には、第1電圧が供給され、Nチャネル型MOSFETの第2ゲートG2には、第1電圧とは異なる第2電圧が供給される。相補型インバータ回路は、互いに電位差が生じた第1ゲートG1及び第2ゲートG2に入力される入力電圧に応じてチャージポンプ回路20を駆動する。
【選択図】図2

Description

本発明は、チャージポンプ駆動回路、及びチャージポンプ駆動回路を用いた半導体装置に関し、特に直流電圧を昇圧または降圧するチャージポンプ回路の高周波ノイズ低減技術に関する。
直流電圧を昇圧または降圧するチャージポンプ回路として、ディクソン型のチャージポンプ回路がある。このようなチャージポンプ回路が、例えば、特開2006−340436号公報に記載されている(特許文献1参照)。図1を参照して、ディクソン型のチャージポンプ回路を用いた昇圧回路について説明する。
図1を参照して、昇圧回路に用いられるチャージポンプ回路は、電源Viと出力端子Voとの間に直列接続された5つのダイオードDa〜Deと、ダイオードDa〜Deのアノードにそれぞれの一端(ノードN1a〜N1e)が接続される5つのコンデンサCa〜Ceを備える。コンデンサCa、Ccの他端(ノードN2a)は、チャージポンプ駆動回路100Aに共通接続され、クロックφが入力される。又、コンデンサCb、Cdの他端(ノードN2b)は、チャージポンプ駆動回路100Bに接続され、クロックφの逆相のクロックφBが入力される。コンデンサCeの一端はGND(第2電源)に接続される。クロックφはハイレベル(H)とローレベル(L)を周期的に繰り返す信号である。
クロックφがLの時、ノードN1a、NcがLとなり、ノードNb、NdはHとなる。このため、ダイオードDa、Dcは導通状態となり、ダイオードDb、Ddは非導通状態となる。これにより、コンデンサCaには電源電圧Viが充電され、コンデンサCcにはコンデンサCbに蓄積された電流が流れ込む。
一方、クロックφがHの状態では、ノードN1a、NcがHとなり、ノードNb、NdはLとなる。このため、ダイオードDa、Dcは非導通状態となり、ダイオードDb、Ddは導通状態となる。これにより、コンデンサCbにはコンデンサCaに充電された電位よりもViだけ高い電圧が充電される。
以上のように、ダイオードDa〜DdのスイッチングとコンデンサCa〜Cdの充放電により、出力端子Voには入力電圧Viの5倍の電圧が現れる。ただし、ここでは、ダイードによる電圧降下分は考慮していない。
上記に示したディクソン型チャージポンプ回路は、チャージポンプ駆動回路100A、100Bから出力されるクロックパルスφ及びその逆相クロックφBに基づいて、入力電圧Viを昇圧もしくは降圧する。ここで、クロックφ、φBは、通常、矩形波で構成される。このため、このようなクロックパルスの立ち上がり、および立下り時に高調波成分が発生し、この高調波成分がスイッチング素子(ここではダイオードDa〜De)に流れると、高周波ノイズとして周囲に放射されて、その周辺に設けられた無線機器(図示なし)に影響を及ぼす。
このようなクロックパルスに起因するスプリアスを低減するための技術が特許文献1に記載されている。特許文献1に記載のチャージポンプ駆動回路は、2つの定電流源によって充放電されるコンデンサと、その充放電期間を制御する制御手段と、コンデンサの充放電電圧をチャージポンプ回路へのクロックφとして出力する出力手段とを備える。このチャージポンプ駆動回路では、コンデンサの充放電特性により、正相クロックパルスφの立ち上がり時間および立下り時間が増大するように制御される。これにより、チャージポンプ回路に供給されるクロックφの立ち上がり波形および立下り波形を鈍らせ、高調波成分の発生を抑制することが可能となる。
特開2006−340436号公報
しかしながら、特許文献1に記載のチャージポンプ駆動回路には、クロックφ、φBの立ち上がり又は立下り波形を鈍らせるため、スイッチ素子や定電流源やコンデンサ、出力手段となるオペアンプ等の素子が設けられる。又、コンデンサの充放電を制御するためのスイッチ素子が、設けられる。このため、特許文献1に記載のチャージポンプ駆動回路によれば、回路規模が大きくなり、チップサイズが増大するという問題がある。
上記の課題を解決するために、本発明は、以下に述べられる手段を採用する。その手段を構成する技術的事項の記述には、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための最良の形態]の記載との対応関係を明らかにするために、[発明を実施するための最良の形態]で使用される番号・符号が付加されている。但し、付加された番号・符号は、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲を限定的に解釈するために用いてはならない。
本発明によるチャージポンプ駆動回路(10A、10B)は、Pチャネル型MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)(30)とNチャネル型MOSFET(31)とを備える相補型インバータ回路を具備する。Pチャネル型MOSFET(30)の第1ゲート(G1)には、第1電圧が供給され、Nチャネル型MOSFETの第2ゲート(G2)には、第1電圧とは異なる第2電圧が供給される。相補型インバータ回路は、互いに電位差が生じた第1ゲート(G1)及び第2ゲート(G2)に入力される入力電圧に応じてチャージポンプ回路(20)を駆動する。ゲート間の電位差によって、第1ゲート(G1)又は第2ゲート(G2)におけるゲート容量に対する充放電時間が大きくなり、相補型インバータ回路からの出力電圧(φ)の信号レベルの遷移時間は、入力電圧(Vin)の信号レベルの遷移時間に比べて遅延する。これにより出力電圧(φ)の立ち上がり/立下りが緩やかになるため、上述の高調波成分が抑制され、チャージポンプ回路(20)において発生する高周波ノイズを低減することができる。
本発明によるチャージポンプ駆動回路(10A、10B)は、第1抵抗(32)と第2抵抗(33)と、第1定電流源(11)と、第2定電流源(12)とを更に具備することが好ましい。第1抵抗(32)は、第1ゲート(G1)と、入力電圧が供給される入力端子(34)との間に設けられ。第2抵抗(33)は、第2ゲート(G1)と、入力端子(34)との間に設けられる。第1定電流源(11)は、第1ゲート(G1)に接続され、第1電源電圧(VDD)に応じた電流を第1ゲート(G1)に流す。第2定電流源(12)は、第2ゲート(G2)に接続され、第2電源電圧(GND)に応じた電流を第2ゲート(G2)に流す。このような構成により、小さな回路規模で、上述のように第1ゲート(G1)と第2ゲート(G2)との間に電位差を生じさせることができる。
本発明によるチャージポンプ駆動回路(10A、10B)は、第1ゲート(G1)及び第1抵抗(32)の一端に接続され、カレントミラー回路を形成するPチャネル型MOSFET(39)と、第2ゲート(G2)及び第2抵抗(33)の一端に接続され、カレントミラー回路を形成するNチャネル型MOSFET(40)とを更に具備することが好ましい。Pチャネル型MOSFET(39)又はNチャネル型MOSFET(40)におけるドレイン−ソース間容量によって、出力電圧(φ)の信号レベルの遷移時間をより遅延させることができる。
本発明によれば、チャージポンプ回路における高周波ノイズを低減することができる。
又、チャージポンプ回路における高周波ノイズを低減しつつ回路面積の小さいチャージポンプ駆動回路を提供できる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。図2は、本発明による半導体装置の実施の形態における構成を示す回路図である。本実施の形態では、電源電圧VDDを4倍に昇圧する昇圧回路を一例に説明する。
(構成)
図2から図4を参照して本発明による半導体装置(昇圧回路)の構成を説明する。図2を参照して、本発明による半導体装置は、チャージポンプ駆動回路10A、10Bと、チャージポンプ回路20とを具備する。チャージポンプ駆動回路10A、10Bは、それぞれチャージポンプ回路20に対しクロックφ、φBを出力する。ここで、クロックφ、φBは入力電圧Vinに応じて周期的に信号レベルが遷移するクロックパルス信号である。チャージポンプ駆動回路10Bは、チャージポンプ駆動回路10Aの構成に加え、出力ノード(後述する出力ノードN7に相当)にインバータ回路が接続された構成である。このため、クロックφBはクロックφの逆相信号となる。又、以下においてチャージポンプ駆動回路10Bの構成及び動作の説明は省略する。
本発明に係るチャージポンプ回路20は、入力端子43と出力端子21との間に直列接続された4つのダイオードD1〜D4と、ダイオードD2〜D4のアノードにそれぞれの一端(ノードN1〜N3)が接続される3つのコンデンサC1〜C3と、一端がダイオードD4のカソード(出力端子21)に接続され、他端が接地(第2電源GNDに接続)されるコンデンサC4を備える。入力端子43は第1電源VDDに接続され、電源電圧VDDが供給される。又、出力端子21には、図示しない負荷回路が接続される。コンデンサC1、C3の他端は、ノードN5を介して、チャージポンプ駆動回路10A(出力ノードN7)に共通接続され、チャージポンプ駆動回路10Aからクロックφが入力される。又、コンデンサC2の他端は、ノードN6を介してチャージポンプ駆動回路10Bに接続され、チャージポンプ駆動回路10BからクロックφBが入力される。
本発明によるチャージポンプ駆動回路10Aは、相補型インバータ回路を形成するPチャネル型MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)30とNチャネル型MOSFET31とを具備する。又、チャージポンプ駆動回路10Aは、抵抗32(第1抵抗)、抵抗33(第2抵抗)、第1電流源回路11、第2電流源回路12、端子41を介して第1電流源回路11に接続されるPチャネル型MOSFET39、端子42を介して第2電流源に接続されるNチャネル型MOSFET40を更に備える。
Pチャネル型MOSFET30のドレインは、クロックφが出力される出力ノードN7を介してNチャネル型MOSFET31のドレインに接続される。Pチャネル型MOSFET30のソース及び基板は、第1電源VDDに接続され、Nチャネル型MOSFET31のソース及び基板は、第2電源GNDに接続される。Pチャネル型MOSFET30のゲート(以下、第1ゲートG1と称す)は、Pチャネル型MOSFET39のドレインに接続され、Nチャネル型MOSFET31のゲート(以下、第2ゲートG2と称す)は、Nチャネル型MOSFET40のドレインに接続される。又、第1ゲートG1と第2ゲートG2は抵抗32、33を介して接続される。
抵抗32の一端は、入力電圧Vinが供給される入力端子34に接続され、他端は第1ゲートG1及びPチャネル型MOSFET39のドレインに接続される。抵抗33の一端は、入力電圧Vinが供給される入力端子34に接続され、他端は第2ゲートG2及びNチャネル型MOSFET40のドレインに接続される。すなわち、入力端子34は、抵抗32、33のそれぞれを介して第1ゲートG1及び第2ゲートG2に接続される。
Pチャネル型MOSFET39のソース及び基板は、第1電源VDDに接続され、ゲートは端子41を介して図3に示す第1電流源回路11に接続される。Pチャネル型MOSFET39は、第1電流源回路11で発生した電流を第1ゲートG1に流すカレントミラー回路として機能する。
図3は、第1電流源回路11の構成を示す回路図である。図3を参照して、第1電流源回路11は、ソース及び基板が第1電源VDD(入力端子43)に接続され、ゲート及びドレインが端子41に接続されるPチャネル型MOSFET35と、Pチャネル型MOSFET35のゲート及びドレイン(端子41)と、第2電源GNDとの間に接続される抵抗36とを備える。このような構成により、第1電流源回路11は、第1電源VDDから供給される電源電圧VDD(電源電圧VDD−接地電圧GND)に比例した電流を流す定電流源回路として機能する。
Nチャネル型MOSFET40のソース及び基板は、第2電源GNDに接続され、ゲートは端子42を介して図4に示す第2電流源回路12に接続される。Nチャネル型MOSFET40は、第2電流源回路12で発生した電流を第2ゲートG2に流すカレントミラー回路として機能する。
図4は、第2電流源回路12の構成を示す回路図である。図4を参照して、第2電流源回路12は、ソース及び基板が第2電源GNDに接続され、ゲート及びドレインが端子42に接続されるNチャネル型MOSFET37と、Nチャネル型MOSFET37のゲート及びドレイン(端子42)と、第1電源VDD(入力端子43)との間に接続される抵抗38とを備える。このような構成により、第2電流源回路12は、第1電源VDDから供給される電源電圧VDD(接地電圧GND−電源電圧VDD)に比例した電流を流す定電流源回路として機能する。
端子41、42に接続される電流源回路の構成は、図3及び図4に示す構成に限らず、他の構成による定電流源が用いられても良い。
(動作)
次に、図2及び図5を参照して、本発明による半導体装置(昇圧回路)の動作を説明する。図5(a)は、入力端子34に入力される入力電圧Vinの信号レベルの推移を示すタイミングチャートである。図5(b)は、第1ゲートG1及び第2ゲートG2における信号レベルの推移を示すタイミングチャートである。図5(c)は、出力ノードN7から出力されるクロックφの信号レベルの推移を示すタイミングチャートである。
図5(a)を参照して、入力端子34には、電源電圧VDDと接地電位GND(0V)とを周期的に遷移するクロックパルス波形を示す入力電圧Vinが入力される。図5(b)を参照して、時刻0〜時刻T1において0Vの入力電圧Vinが入力されると、第1ゲートG1における電圧は、Pチャネル型MOSFET39に流れる電流によって抵抗32の両端の電位差Va分だけ接地電位GNDから上がった電圧となる。又、第2ゲートG2における電圧は、接地電位GND(0V)となる。ここで、抵抗32の両端の電位差Vaは、入力電圧Vinが0Vのときに電源電圧VDD−Vthpとなるように設定されることが好ましい。ただし、VthpはPチャネル型MOSFET30の閾値電圧である。この場合、時刻0〜時刻T1における第1ゲートG1の電圧は、VDD−Vthp[V]となる。
時刻T1において入力電圧Vinが電源電圧VDDに立ち上がると、Pチャネル型MOSFET39のドレイン−ソース間の電圧は少しずつ小さくなり、最終的に第1ゲートG1の電圧は電源電圧VDDに遷移する。入力電圧Vinの立ち上がり直後、Pチャネル型MOSFET39のドレイン−ソース間に流れる電流は、抵抗32を介して出力バッファであるPチャネル型MOSFET30のゲート容量を充電する。このため、第1ゲートG1の電圧は、入力電圧Vinの立上がりよりも緩やかに電源電圧VDDに遷移する。
時刻T2において入力電圧Vinが接地電位GND(0V)に立ち下がると、入力電圧Vinの立下がりに応じて、Pチャネル型MOSFET39のドレイン−ソース間電圧は大きくなり、ドレイン−ソース間に電流が流れる。又、時刻T1〜時刻T2においてPチャネル型MOSFET30のゲート容量に充電された電荷が抵抗32を介して入力端子34から引き抜かれる。第1ゲートG1から引き抜かれる電流は、入力電圧Vinの立ち上がり時に比べ小さな値を示す。このため、第1ゲートG1の電圧は、電源電位VDD−Vthp[V]から電源電圧VDDへの立ち上がり時よりも緩やかに電源電圧VDDから電源電位VDD−Vthp[V]へ立ち下がる。
第2ゲートG2における電圧も同様に、入力電圧Vinの信号レベルの遷移に応じて緩やかに遷移する。詳細には、時刻T1において入力電圧Vinが電源電圧VDDに立ち上がると、Nチャネル型MOSFET40のドレイン−ソース間電圧は大きくなり、ドレインーソース間に電流が流れる。このNチャネル型MOSFET40のドレイン−ソース間の電流は、抵抗33を介して出力バッファであるNチャネル型MOSFET31のゲート容量を充電する。このように、抵抗33において差分された電流によってゲート容量が充電されるため、第2ゲートG2の電圧は、入力電圧Vinの立上がりよりも緩やかに遷移する。又、第2ゲートG2における電圧は、Nチャネル型MOSFET40に流れる電流による抵抗33の両端の電位差Vb分だけ電源電圧VDDから下がった値(電源電圧VDD−Vb)に遷移する。ここで、抵抗33の両端の電位差Vbは、入力電圧Vinが電源電圧VDDのとき、電源電圧VDD−Vthnとなるように設定されることが好ましい。ただし、VthnはNチャネル型MOSFET31の閾値電圧である。この場合、第2ゲートG2の電圧は、入力電圧Vinの立上がりよりも緩やかに0[V]から電源電圧VDD−Vb=Vthn[V]に遷移する。
時刻T2において入力電圧Vinが接地電位GND(0V)に立ち下がると、Nチャネル型MOSFET40のドレイン−ソース間電圧が小さくなり、時刻T1〜時刻T2においてNチャネル型MOSFET30のゲート容量に充電された電荷が抵抗33を介して入力端子34から引き抜かれる。このため、第2ゲートG1の電圧は、入力電圧Vinの立下がりよりも緩やかに−Vthp[V]に遷移する。
上述のように、入力電圧Vinが0に遷移した場合は、第1ゲートG1の電圧は、緩やかに電源電圧VDD−Vthpに遷移し、第2ゲートG2の電圧は緩やかに0Vに遷移する。これにより、N型チャネルMOSFET31は少しずつ抵抗値が増大しオフ状態となり、Pチャネル型MOSFET30は抵抗値が少しずつ減少してオン状態となる。このため、出力ノードN7の電圧(クロックφ)は緩やかに0に遷移する。又、入力電圧Vinが電源電圧VDDに遷移した場合、同様に、N型チャネルMOSFET31は少しずつ抵抗値が減少しオン状態となり、Pチャネル型MOSFET30は抵抗値が少しずつ増大してオフ状態となる。このため、出力ノードN7の電圧(クロックφ)は緩やかに電源電位VDDに遷移する。従って、本発明によれば、入力端子34にパルス幅T2−T1の矩形波が入力された場合、立ち上がり時間が時刻T3まで遅延され、立下り時間が時刻T4まで遅延された矩形波(クロックφ)を得ることができる。
従来技術のようなゲート間に電位差のないバッファ回路は、緩やかな立ち上がり/立下りの波形の信号を、急峻な立ち上がり/立下りの矩形信号に変換する。一方、本発明によるチャージポンプ回路10A、10Bでは、クロックパルスφを出力するバッファであるPチャネル型MOSFET30とNチャネル型MOSFET31のゲート間に電位差がある。このため、Pチャネル型MOSFET30のソース−ドレイン間、Nチャネル型MOSFET31のドレイン−ソース間を流れる貫通電流の最大値は小さく、かつその立ち上がり/立下りは緩やかになることは自明である。更に、抵抗32の電位差を電源電圧VDD−Vthpとし、抵抗33の電位差を電源電圧VDD−Vthnとすることで、チャージポンプ駆動回路10A、10Bは、入力端子34に入力される信号の立ち上がり/立下りが緩やかでも急峻でも、緩やかな立ち上がり/立下りのクロックφを出力することができる。
以上のように、本発明によるチャージポンプ駆動回路10A、10Bは、入力電圧Vinの信号レベルの遷移時間に比べて遅く信号レベルが遷移するクロックφを出力することができる。これにより、チャージポンプ回路20に入力されるクロックφにおける立ち上がり又は立下り時における高調波成分の発生を抑制することができ、ダイオードD1〜D4からの高周波ノイズの発生を低減することができる。
又、本発明によるチャージポンプ駆動回路は、特許文献1のようにコンデンサやスイッチ素子を必要としないため、回路面積を増大させずにクロックφの立ち上がり/立下り時間を緩やかにすることができる。すなわち、本発明によれば従来よりも小さい回路規模で、チャージポンプ回路のクロックパルスの立ち上がり、および立下り時の高調波成分を抑制することができる。
以上、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の変更があっても本発明に含まれる。本実施の形態では、Pチャネル型MOSFET30とNチャネル型MOSFET31のゲート間に電位差を設けるため、抵抗32、33が設けられているが、これに限らず、抵抗32、33としてダイオードや、トランジスタ(例えばMOSFET)を用いても良い。又、抵抗32、33として、複数段接続されたダイオードや、トランジスタを用いても良い。本実施の形態では、昇圧回路に用いられるチャージポンプ駆動回路を一例としたが、これに限らず、チャージポンプ駆動回路10A、10Bは降圧回路に使用されても良い。又、本実施の形態におけるチャージポンプ駆動回路10A、10Bは、第1ゲートG1に接続される定電流源11、抵抗32、及びPチャネル型MOSFET39と、第2ゲートに接続される定電流源12、抵抗33、及びNチャネル型MOSFETとを具備している。しかし、チャージポンプ駆動回路10A、10Bは、どちらか一方の構成(例えば定電流源11、抵抗32、及びPチャネル型MOSFET39)のみを具備しても構わない。
図1は、従来技術によるチャージポンプ駆動回路を用いた昇圧回路の構成を示す回路図である。 図2は、本発明によるチャージポンプ駆動回路を用いた昇圧回路の実施の形態における構成を示す回路図である。 図3は、本発明に係る第1定電流源回路の構成を示す回路図である。 図4は、本発明に係る第2定電流源回路の構成を示す回路図である。 図5は、本発明によるチャージポンプ駆動回路の入力電圧に応じた出力クロックの信号レベルの推移を示すタイミングチャートである。
符号の説明
10A、10B:チャージポンプ駆動回路
20:チャージポンプ回路
11:第1定電流源回路
12:第2定電流源回路
30、39、35:Pチャネル型MOSFET
31、40、37:Nチャネル型MOSFET
32、33、36、38:抵抗
41、42:端子
N1〜N6:ノード
N7:出力ノード
G1:第1ゲート
G2:第2ゲート
C1〜C4:コンデンサ
D1〜D4:ダイオード
VDD:第1電源(電源電圧)
GND:第2電源(接地電位)
φ:クロック

Claims (10)

  1. チャネル型が異なる2つのMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)を備える相補型インバータ回路を具備し、
    前記2つのMOSFETの一方の第1ゲートには、第1電圧が供給され、前記2つのMOSFETの他方の第2ゲートには、前記第1電圧とは異なる第2電圧が供給され、
    前記相補型インバータ回路は、前記第1及び前記第2ゲートに入力される入力電圧に応じてチャージポンプ回路を駆動する
    チャージポンプ駆動回路。
  2. 請求項1に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1ゲートと、前記入力電圧が供給される入力端子との間に設けられる第1抵抗と、
    前記第1ゲートに接続され、第1電源電圧に応じた電流を前記第1ゲートに流す第1定電流源回路と、
    を更に具備するチャージポンプ駆動回路。
  3. 請求項2に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第2ゲートと、前記入力端子との間に設けられる第2抵抗と、
    前記第2ゲートに接続され、第2電源電圧に応じた電流を前記第2ゲートに流す第2定電流源回路と、
    を更に具備するチャージポンプ駆動回路。
  4. 請求項3に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1抵抗の両端の電位差は、前記入力端子への入力電圧が前記第2電源電圧のとき、前記第1電源電圧と前記2つのMOSFETの一方の閾値電圧とに基づいた値となるように設定され、
    前記第2抵抗の両端の電位差は、前記入力端子への入力電圧が前記第1電源電圧のとき、前記第2電源電圧と前記2つのMOSFETの他方の閾値電圧とに基づいた値となるように設定される
    チャージポンプ駆動回路。
  5. 請求項3又は4に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1ゲート及び前記第1抵抗の一端に接続され、カレントミラー回路を形成するPチャネル型MOSFETと、
    前記第2ゲート及び前記第2抵抗の一端に接続され、カレントミラー回路を形成するNチャネル型MOSFETと、
    を更に具備するチャージポンプ駆動回路。
  6. 請求項3から5いずれか1項に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1抵抗及び第2抵抗は、それぞれトランジスタを含む抵抗素子である
    チャージポンプ駆動回路。
  7. 請求項6に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1抵抗及び第2抵抗は、それぞれ複数段接続された複数のトランジスタを含む抵抗素子である
    チャージポンプ駆動回路。
  8. 請求項3から5いずれか1項に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1抵抗及び第2抵抗は、それぞれダイオードを含む抵抗素子である
    チャージポンプ駆動回路。
  9. 請求項8に記載のチャージポンプ駆動回路において、
    前記第1抵抗及び第2抵抗は、それぞれ複数段接続された複数のダイオードを含む抵抗素子である
    チャージポンプ駆動回路。
  10. 請求項1から9いずれか1項に記載のチャージポンプ駆動回路と、
    前記チャージポンプ駆動回路からの出力電圧に応じて駆動されるチャージポンプ回路と、
    を具備する半導体装置。
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