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JP2009071176A - Display apparatus and method of manufacturing the same - Google Patents

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JP2009071176A
JP2009071176A JP2007239870A JP2007239870A JP2009071176A JP 2009071176 A JP2009071176 A JP 2009071176A JP 2007239870 A JP2007239870 A JP 2007239870A JP 2007239870 A JP2007239870 A JP 2007239870A JP 2009071176 A JP2009071176 A JP 2009071176A
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JP
Japan
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pixel
display
row direction
display device
light emitting
Prior art date
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Pending
Application number
JP2007239870A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kizu
貴志 木津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display apparatus having a pixel array in which display pixels of the same color are not continuously arranged in one direction, such as in a case where a plurality of display pixels is in a delta array or the like, and which is capable of separating by color using a nozzle printing system, and to provide a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: A display apparatus 1 has a plurality of 3-color display pixels, each of which has a light-emitting element, is arranged in a delta shape. The display apparatus 1 has a plurality of separating walls 3 formed so as to separate pixel electrodes of the display pixels, and an organic compound layer formed on the pixel electrodes in a groove formed by the separating walls 3 by applying organic compound containing fluid in the groove with making a nozzle meet the groove. The separating walls 3 are formed so as to provide each pixel electrode of the display pixel of the same color arranged every two columns in a row direction in the groove formed by a pair of separating walls 3 and to extend in the row direction. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示装置及び表示装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a display device and a method for manufacturing the display device.

発光素子、例えば、有機EL(Electro Luminescence)素子を有する複数の表示画素を備える表示装置では、有機EL素子の有機層の成膜工程に、インクジェット方式、ノズルプリント方式などの湿式印刷方式が用いられている。   In a display device including a plurality of display pixels each having a light emitting element, for example, an organic EL (Electro Luminescence) element, a wet printing method such as an inkjet method or a nozzle printing method is used for a film forming process of an organic layer of the organic EL element. ing.

例えば、特許文献1には、塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させて、ノズルからの有機EL材料を溝内に流し込んで塗布するノズルプリント方式が提案されている。このノズルプリント方式によれば、基板からの跳ね返りが防止でき、さらに、有機EL材料の噴出位置と、噴出のオン・オフのタイミングとを高精度の制御する必要がなく、塗布制御を容易にすることができる。
特開2002−75640号公報
For example, in Patent Document 1, a groove corresponding to a predetermined pattern shape to be applied is formed on a substrate, and the substrate and the nozzle are relatively moved so that the nozzle is along the groove. A nozzle printing method has been proposed in which an organic EL material is applied in a groove. According to this nozzle printing method, rebound from the substrate can be prevented, and furthermore, it is not necessary to control the ejection position of the organic EL material and the on / off timing of the ejection with high precision, thereby facilitating coating control. be able to.
JP 2002-75640 A

ところで、フルカラーディスプレイでは通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の表示画素を有し、各色の表示画素の画素配列としては、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などがある。一般に、動画、写真などを表示するにはデルタ配列等の同色の表示画素が1方向に連続的に配列されない画素配列が適しており、文字、表などを表示するにはストライプ配列が適していることが知られている。   By the way, a full color display usually has display pixels of three colors of red (R), green (G), and blue (B), and the pixel arrangement of the display pixels of each color is a stripe arrangement, a delta arrangement, a mosaic arrangement, etc. There is. In general, a pixel arrangement in which display pixels of the same color such as a delta arrangement are not continuously arranged in one direction is suitable for displaying moving images, photographs, etc., and a stripe arrangement is suitable for displaying characters, tables, etc. It is known.

しかし、各色の表示画素の各々で使用する有機EL材料が異なるため、画素配列に応じて塗り分けなければならないが、特許文献1のノズルプリント方式では有機EL材料を溝内に連続的に流し込んで塗布することになるため、これにより塗り分け可能な画素配列は、ストライプ配列、及び、モザイク配列に限定されており、デルタ配列等の同色の表示画素が1方向に連続的に配列されない画素配列には対応することができなかった。また、全ての画素配列について、同一の製造プロセスを用いて塗り分けできることが好ましく、デルタ配列等についても、ノズルプリント方式を用いて塗り分けできることが求められている。   However, since the organic EL material used for each color display pixel is different, it has to be applied separately according to the pixel arrangement. However, in the nozzle printing method of Patent Document 1, the organic EL material is continuously poured into the groove. The pixel arrangement that can be applied separately is limited to the stripe arrangement and the mosaic arrangement, and the pixel arrangement in which display pixels of the same color such as a delta arrangement are not continuously arranged in one direction is applied. Could not respond. Further, it is preferable that all the pixel arrays can be separately applied using the same manufacturing process, and the delta array and the like are also required to be separately applied using the nozzle printing method.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、複数色の表示画素がデルタ配列等の同色の表示画素が1方向に連続的に配列されていない画素配列を有する表示装置について、ノズルプリント方式を用いて塗り分けを行うことができる表示装置及び表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a nozzle print is provided for a display device having a pixel array in which display pixels of a plurality of colors are not continuously arranged in one direction, such as a delta array. It is an object of the present invention to provide a display device and a method for manufacturing the display device that can be separately applied using a method.

上記目的を達成するため、本発明の第1の観点にかかる表示装置は、
発光素子を有する複数色の表示画素が行及び列方向に複数配列された表示装置であって、
前記複数色の表示画素は、任意の1色の前記表示画素が列毎に1.5画素ピッチ分列方向にずれて配列され、同色の前記表示画素が行方向に1列おきに配列され、
該各表示画素は前記発光素子の発光部をなす画素電極を有し、
行毎の前記各表示画素の前記画素電極を区分けするように形成された複数の隔壁を備え、
前記複数の隔壁における一対の前記隔壁により行方向に延在する複数の溝が形成され、
前記各溝の内側に、行方向に1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極が設けられていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a display device according to the first aspect of the present invention provides:
A display device in which a plurality of color display pixels having light emitting elements are arranged in a row and column direction,
The display pixels of the plurality of colors are arranged such that the display pixels of any one color are shifted in the column direction by 1.5 pixel pitch for each column, and the display pixels of the same color are arranged every other column in the row direction,
Each display pixel has a pixel electrode that forms a light emitting portion of the light emitting element,
A plurality of partition walls formed so as to partition the pixel electrodes of the display pixels for each row;
A plurality of grooves extending in the row direction are formed by the pair of the partition walls in the plurality of partition walls,
The pixel electrodes of the display pixels of the same color arranged in every other column in the row direction are provided inside the grooves.

前記各溝は、例えば、行方向に一定の幅を有するように形成され、前記各隔壁は、例えば、行方向に一定の幅を有する。   Each groove is formed to have a constant width in the row direction, for example, and each partition wall has a constant width in the row direction, for example.

前記各溝は、例えば、前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域における行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅より広くなるように形成され、
前記各隔壁は、例えば、前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応した領域であって、行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅に対して狭くされた変形部を有する。
Each of the grooves is formed, for example, such that the width in the row direction in the region corresponding to the pixel electrode of the display pixels of the same color arranged in every other column is wider than the width in the row direction in other regions. And
Each of the partition walls is, for example, a region corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged every other column, and the width in the row direction is larger than the width in the row direction in other regions. It has a narrowed deformation.

前記表示画素は、例えば、前記発光素子を駆動する、少なくとも1つのアクティブ素子を有する画素回路を有している。この場合、前記画素回路における前記アクティブ素子は、前記隔壁における前記変形部が形成されていない領域の下方に形成されていることが好ましい。   The display pixel includes, for example, a pixel circuit having at least one active element that drives the light emitting element. In this case, it is preferable that the active element in the pixel circuit is formed below a region of the partition where the deformed portion is not formed.

例えば、前記各溝内の前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極上に吐出部を有するノズルから連続的に吐出される有機化合物含有液が塗布されて、前記発光素子の発光層をなす有機化合物層が形成され、前記各溝の行方向の幅は、少なくとも前記ノズルの吐出部の外形より大きい。   For example, an organic compound-containing liquid continuously discharged from a nozzle having a discharge portion is applied onto the pixel electrodes of the display pixels of the same color arranged in every other row in each groove, and the light emitting element An organic compound layer constituting the light emitting layer is formed, and the width of each groove in the row direction is at least larger than the outer shape of the discharge portion of the nozzle.

前記隔壁の表面には、例えば、撥液処理が施されている。
前記発光素子は、例えば、有機エレクトロルミネッセンス素子である。
For example, a liquid repellent treatment is performed on the surface of the partition wall.
The light emitting element is, for example, an organic electroluminescence element.

本発明の第2の観点にかかる表示装置の製造方法は、
発光素子を有する複数色の表示画素が行及び列方向に複数配列された表示装置の製造方法であって、
前記複数色の表示画素の画素電極を、任意の1色の前記表示画素が列毎に1.5画素ピッチ分列方向にずれて配列され、同色の前記表示画素が行方向に1列おきに配列されるように形成する工程と、
行毎の前記各表示画素の前記画素電極を区分けするように、行方向に延在される複数の隔壁を形成する工程と、
前記複数の隔壁における一対の前記隔壁により形成された複数の溝内にノズルを沿わせて有機化合物含有液を塗布することにより、前記各溝内の画素電極上に前記発光素子の発光層をなす有機化合物層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
A manufacturing method of a display device according to the second aspect of the present invention is as follows.
A method of manufacturing a display device in which a plurality of color display pixels having light emitting elements are arranged in a row and column direction,
The pixel electrodes of the display pixels of the plurality of colors are arranged so that the display pixels of any one color are shifted in the column direction by 1.5 pixel pitch for each column, and the display pixels of the same color are arranged every other column in the row direction. Forming to be arranged; and
Forming a plurality of partition walls extending in a row direction so as to partition the pixel electrodes of the display pixels for each row;
The organic compound-containing liquid is applied along a plurality of grooves formed by a pair of the partition walls in the plurality of partition walls, thereby forming a light emitting layer of the light emitting element on the pixel electrode in each groove. And a step of forming an organic compound layer.

前記複数の隔壁を形成する工程では、例えば、前記複数の隔壁を、該複数の隔壁における一対の前記隔壁により形成される前記複数の溝の溝内に、行方向に1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極が設けられように形成する。   In the step of forming the plurality of partition walls, for example, the plurality of partition walls are arranged in every other column in the row direction in the grooves of the plurality of grooves formed by the pair of partition walls in the plurality of partition walls. The pixel electrodes of the display pixels of the same color are formed so as to be provided.

前記複数の隔壁を形成する工程では、例えば、前記各隔壁を行方向に一定の幅に形成して、前記各溝の行方向の幅を一定とする。   In the step of forming the plurality of partition walls, for example, the partition walls are formed to have a constant width in the row direction, and the widths of the grooves in the row direction are made constant.

前記複数の隔壁を形成する工程では、例えば、前記各隔壁における1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域に、行方向の幅を、それ以外の領域における行方向の幅より狭くした変形部を形成して、前記各溝の1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域における行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅より広くなるようにする。   In the step of forming the plurality of partition walls, for example, the width in the row direction is set in the region corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged in every other column in each partition wall, and the rows in the other regions. Forming a deformed portion narrower than the width in the direction, and the width in the row direction in the region corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged in every other column of each groove is a row in the other region Be wider than the width of the direction.

前記表示画素は、例えば、前記発光素子を駆動する、少なくとも1つのアクティブ素子を有する画素回路を有する。この場合、前記隔壁の前記変形部が形成されていない領域の下方に前記画素回路の前記アクティブ素子を形成する工程をさらに含むことが好ましい。   The display pixel includes, for example, a pixel circuit having at least one active element that drives the light emitting element. In this case, it is preferable that the method further includes a step of forming the active element of the pixel circuit below a region of the partition where the deformed portion is not formed.

前記隔壁の表面に撥液処理を施す工程をさらに含むことが好ましい。
前記発光素子に有機エレクトロルミネッセンス素子を用いることが好ましい。
It is preferable to further include a step of applying a liquid repellent treatment to the surface of the partition wall.
An organic electroluminescence element is preferably used for the light emitting element.

本発明によれば、複数色の表示画素がデルタ配列等の同色の表示画素が1方向に連続的に配列されていない画素配列を有する表示装置について、ノズルプリント方式を用いて塗り分けを行うことができる。   According to the present invention, for a display device having a pixel array in which display pixels of the same color, such as a delta array, are not continuously arranged in one direction, the color printing is performed using the nozzle printing method. Can do.

以下、本発明の表示装置及び表示装置の製造方法について図面を参照して説明ずる。本実施の形態では、有機EL(Electro Luminescence)素子からなる発光素子を有する複数の表示画素を備える表示装置を例に本発明を説明する。   Hereinafter, a display device and a method for manufacturing the display device of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, the present invention will be described by taking a display device including a plurality of display pixels each having a light emitting element formed of an organic EL (Electro Luminescence) element as an example.

図1は、本実施の形態における表示装置1の画素配列の一例を示す図である。なお、図1では、画素配列と隔壁との関係を明確に示すため、各画素と隔壁のみを示している。   FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a pixel array of the display device 1 in the present embodiment. In FIG. 1, only the pixels and the partition walls are shown in order to clearly show the relationship between the pixel arrangement and the partition walls.

図1に示すように、表示装置1は、有機ELパネル(OLED:Organic Light Emitting Diode)2と、複数の隔壁3と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the display device 1 includes an organic EL panel (OLED: Organic Light Emitting Diode) 2 and a plurality of partition walls 3.

有機ELパネル2は、基板上に有機EL素子を有する表示画素を2次元配列した表示パネルである。本実施の形態の有機ELパネル2では、図1に示すように、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の表示画素がデルタ状となるように複数配列(デルタ配列)されている。   The organic EL panel 2 is a display panel in which display pixels having organic EL elements are two-dimensionally arranged on a substrate. In the organic EL panel 2 of the present embodiment, as shown in FIG. 1, a plurality of arrangements (delta arrangement) such that display pixels of three colors of red (R), green (G), and blue (B) are in a delta shape. )

隔壁3は、基板上にストライプ状(一直線状)となるように複数本並設されている。本実施の形態では、隔壁3は、行方向(図1の左右方向)に延伸し、列方向(図1の上下方向)に複数本並設されている。このため、隔壁3により形成される溝もストライプ状に形成されている。   A plurality of partition walls 3 are arranged side by side on the substrate so as to form a stripe shape (straight line shape). In the present embodiment, the partition walls 3 extend in the row direction (left-right direction in FIG. 1) and are arranged in parallel in the column direction (up-down direction in FIG. 1). For this reason, the grooves formed by the partition walls 3 are also formed in stripes.

また、隔壁3は、有機ELパネル2の複数の表示画素(画素電極)を各色ごとに区分けするように形成されている。このため、隔壁3により形成される溝内には、1色の画素電極のみが設けられる。このように、溝内に1色の画素電極のみが設けられているので、後述する有機EL素子の有機EL層15(正孔注入層15a、発光層15b)の成膜において、ノズルプリント方式を用いて塗布すべき有機EL材料の塗り分けを行うことができる。   The partition 3 is formed so as to divide a plurality of display pixels (pixel electrodes) of the organic EL panel 2 for each color. Therefore, only one color pixel electrode is provided in the groove formed by the partition 3. As described above, since only one color pixel electrode is provided in the groove, the nozzle printing method is used in the formation of the organic EL layer 15 (hole injection layer 15a, light emitting layer 15b) of the organic EL element described later. The organic EL material to be applied can be applied separately.

表示装置1の表示画素がアクティブ駆動方式により駆動されるものである場合、基板上には、各表示画素の有機EL素子に接続されたアノードライン(Anode line)と、データライン(Data line)と、セレクトライン(Select line)とが形成されている。アノードラインは、行方向に延びるように形成されている。また、データラインは列方向に延びるように形成され、セレクトラインはこれに直交し行方向に延びるように形成されている。なお、表示装置1の表示画素はパッシブ駆動されるものであってもよい。その場合、基板上には、各表示画素の有機EL素子に接続されたアノードラインと、カソードライン(Cathode line)とが形成され、例えばアノードラインが行方向に延びるように形成され、カソードラインが列方向に延びるように形成される。本実施の形態においては、表示画素がアクティブ駆動方式であるものとする。   When the display pixels of the display device 1 are driven by an active driving method, an anode line (Anode line) connected to an organic EL element of each display pixel, a data line (Data line), and , A select line is formed. The anode line is formed to extend in the row direction. The data line is formed so as to extend in the column direction, and the select line is formed so as to be orthogonal to this and extend in the row direction. The display pixels of the display device 1 may be passively driven. In that case, an anode line connected to the organic EL element of each display pixel and a cathode line (Cathode line) are formed on the substrate. For example, the anode line is formed to extend in the row direction, and the cathode line is formed. It is formed to extend in the column direction. In the present embodiment, it is assumed that the display pixel is an active drive method.

図2は、表示装置1のアクティブ駆動方式の表示画素の回路構成の一例を示す図である。図2に示すように、各表示画素は、TFT(Thin Film Transistor)等のアクティブ素子を有する画素駆動回路Dcと、画素駆動回路Dcにより制御される電流により発光する有機EL素子OLED(Organic Light Emitting Diode:発光素子)とを備えた回路構成を有している。   FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of an active drive type display pixel of the display device 1. As shown in FIG. 2, each display pixel includes a pixel driving circuit Dc having an active element such as a TFT (Thin Film Transistor), and an organic EL element OLED (Organic Light Emitting) that emits light by a current controlled by the pixel driving circuit Dc. The circuit configuration includes a diode.

画素駆動回路Dcは、図2に示すように、トランジスタ(選択トランジスタ)Tr11と、トランジスタ(発光駆動トランジスタ)Tr12と、キャパシタCsとを備え、有機EL素子OLEDのアノード端子に接続されている。   As shown in FIG. 2, the pixel drive circuit Dc includes a transistor (selection transistor) Tr11, a transistor (light emission drive transistor) Tr12, and a capacitor Cs, and is connected to the anode terminal of the organic EL element OLED.

図2に示すように、選択トランジスタTr11のゲート端子はセレクトラインLsに、ソース端子が表示パネルの列方向に配設されたデータラインLdに、ドレイン端子が接点N11にそれぞれ接続される。また、発光駆動トランジスタTr12のゲート端子は接点N11に接続されており、ソース端子は供給電圧ラインLaに、ドレイン端子は接点N12にそれぞれ接続されている。キャパシタCsは、トランジスタTr12のゲート端子及びドレイン端子に接続されている。なお、キャパシタCsは、トランジスタTr12のゲート−ドレイン間に付加的に設けられた補助容量、もしくは、これらの寄生容量と補助容量からなる容量成分である。また、有機EL素子は、アノード端子(アノード電極)が接点N12に接続され、カソード端子(カソード電極)が基準電圧Vss(例えば、接地電位GND)に接続されている。   As shown in FIG. 2, the selection transistor Tr11 has a gate terminal connected to the select line Ls, a source terminal connected to the data line Ld arranged in the column direction of the display panel, and a drain terminal connected to the contact N11. The gate terminal of the light emission drive transistor Tr12 is connected to the contact N11, the source terminal is connected to the supply voltage line La, and the drain terminal is connected to the contact N12. The capacitor Cs is connected to the gate terminal and the drain terminal of the transistor Tr12. The capacitor Cs is an auxiliary capacitance additionally provided between the gate and drain of the transistor Tr12, or a capacitance component composed of these parasitic capacitance and auxiliary capacitance. The organic EL element has an anode terminal (anode electrode) connected to the contact N12 and a cathode terminal (cathode electrode) connected to a reference voltage Vss (for example, ground potential GND).

トランジスタTr11及びTr12は、それぞれ、nチャネル型の薄膜トランジスタ(電界効果型トランジスタ)が用いられている。なお、pチャネル型の電界効果型トランジスタを用いても良く、この場合はソース端子及びドレイン端子が図2とは逆に接続される。   Each of the transistors Tr11 and Tr12 is an n-channel thin film transistor (field effect transistor). Note that a p-channel field effect transistor may be used, and in this case, the source terminal and the drain terminal are connected in the opposite manner to FIG.

セレクトラインLsは、図示しないセレクトドライバに接続されており、所定タイミングで表示パネルの行方向に配列された複数の表示画素を選択状態に設定するための選択電圧(セレクト信号)Sselが印加される。また、データラインLdは、図示しないデータドライバに接続され、各表示画素の選択状態に同期するタイミングで表示データに応じたデータ電圧(階調信号)Vpixが印加される。   The select line Ls is connected to a select driver (not shown), and a selection voltage (select signal) Ssel for setting a plurality of display pixels arranged in the row direction of the display panel to a selected state at a predetermined timing is applied. . The data line Ld is connected to a data driver (not shown), and a data voltage (gradation signal) Vpix corresponding to the display data is applied at a timing synchronized with the selection state of each display pixel.

また、アノードライン(供給電圧ライン)Laは、例えば、所定の高電位電源に直接又は間接的に接続され、有機EL素子の画素電極(例えば、アノード電極)に表示データに応じた発光駆動電流を流す。このため、アノードラインLaには、有機EL素子の対向電極(カソード電極)に印加される基準電圧Vssより電位の高い所定の高電位(供給電圧Vdd)が印加される。   In addition, the anode line (supply voltage line) La is connected directly or indirectly to a predetermined high potential power source, for example, and applies a light emission driving current corresponding to display data to a pixel electrode (for example, an anode electrode) of the organic EL element. Shed. Therefore, a predetermined high potential (supply voltage Vdd) having a potential higher than the reference voltage Vss applied to the counter electrode (cathode electrode) of the organic EL element is applied to the anode line La.

すなわち、各表示画素において、直列に接続されたトランジスタTr12と有機EL素子の組の両端(トランジスタTr12のドレイン端子と有機EL素子のカソード端子)にそれぞれ、供給電圧Vddと基準電圧Vssを印加して有機EL素子に順バイアスを付与して有機EL素子が発光できる状態にし、更に階調信号Vpixに応じて流れる発光駆動電流の電流値を画素駆動回路により制御している。   That is, in each display pixel, the supply voltage Vdd and the reference voltage Vss are applied to both ends (the drain terminal of the transistor Tr12 and the cathode terminal of the organic EL element) of the pair of the transistor Tr12 and the organic EL element connected in series. A forward bias is applied to the organic EL element so that the organic EL element can emit light, and the current value of the light emission drive current that flows according to the gradation signal Vpix is controlled by the pixel drive circuit.

次に、表示装置1の表示画素の構造の一例について説明する。図3は、表示画素の平面図を示す。図4は、図3のIV−IV線断面図である。なお、本実施の形態の表示装置1は基板側から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション型である。   Next, an example of the structure of the display pixel of the display device 1 will be described. FIG. 3 shows a plan view of the display pixel. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. The display device 1 of the present embodiment is a so-called bottom emission type in which light is extracted from the substrate side.

基板11は、透光性を備える材料から形成され、例えば、ガラス基板から構成されている。また、基板11上にはゲート電極Tr12g、データラインLd、及び、絶縁膜12が形成されている。   The board | substrate 11 is formed from the material provided with translucency, for example, is comprised from the glass substrate. On the substrate 11, a gate electrode Tr12g, a data line Ld, and an insulating film 12 are formed.

絶縁膜12は、絶縁性材料、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜等から構成されている。絶縁膜12は、ゲート電極Tr12g、及び、データラインLdを覆うように基板11上に形成されている。また、絶縁膜12はゲート電極Tr12gが形成された領域において、トランジスタTr12のゲート絶縁膜として機能する。   The insulating film 12 is made of an insulating material such as a silicon oxide film or a silicon nitride film. The insulating film 12 is formed on the substrate 11 so as to cover the gate electrode Tr12g and the data line Ld. The insulating film 12 functions as a gate insulating film of the transistor Tr12 in the region where the gate electrode Tr12g is formed.

トランジスタTr11、Tr12は、nチャネル型の薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)である。トランジスタTr11、12は、基板11上に形成されている。また、トランジスタTr12は、半導体層SMCと、ソース電極Tr12sと、ドレイン電極Tr12dと、オーミックコンタクト層OHMと、ゲート電極Tr12gと、を備えている。なお、トランジスタTr11も、トランジスタTr12と同様に、半導体層と、ソース電極Tr11sと、ドレイン電極Tr11dと、オーミックコンタクト層と、ゲート電極Tr11gと、を備えている。   The transistors Tr11 and Tr12 are n-channel thin film transistors (TFTs). The transistors Tr11 and Tr12 are formed on the substrate 11. The transistor Tr12 includes a semiconductor layer SMC, a source electrode Tr12s, a drain electrode Tr12d, an ohmic contact layer OHM, and a gate electrode Tr12g. Note that, similarly to the transistor Tr12, the transistor Tr11 includes a semiconductor layer, a source electrode Tr11s, a drain electrode Tr11d, an ohmic contact layer, and a gate electrode Tr11g.

トランジスタTr11、Tr12において、ゲート電極Tr11g,Tr12gは、例えば、アルミニウム−ネオジウム−チタン(AlNdTi)またはクロム(Cr)から形成されている。また、ソース電極Tr11s,Tr12s、ドレイン電極Tr11d,Tr12dは、それぞれ。例えば、アルミニウム−チタン(AlTi)/Cr、AlNdTi/CrまたはCrから形成されている。また、それぞれのソース電極Tr11s,Tr12s及びドレイン電極Tr11d,Tr12dと半導体層SMCとの間には低抵抗性接触のため、オーミックコンタクト層OHMが形成されている。   In the transistors Tr11 and Tr12, the gate electrodes Tr11g and Tr12g are made of, for example, aluminum-neodymium-titanium (AlNdTi) or chromium (Cr). The source electrodes Tr11s and Tr12s and the drain electrodes Tr11d and Tr12d are respectively provided. For example, it is made of aluminum-titanium (AlTi) / Cr, AlNdTi / Cr, or Cr. Further, ohmic contact layers OHM are formed between the source electrodes Tr11s and Tr12s, the drain electrodes Tr11d and Tr12d, and the semiconductor layer SMC for low resistance contact.

また、半導体層SMCには、図示しないソース領域及びドレイン領域が形成されており、ゲート電極Tr11g,Tr12gに所定の電圧が印加されると、ゲート電極Tr11g,Tr12gと対向する領域にチャネルが形成される。   Further, a source region and a drain region (not shown) are formed in the semiconductor layer SMC, and when a predetermined voltage is applied to the gate electrodes Tr11g and Tr12g, a channel is formed in a region facing the gate electrodes Tr11g and Tr12g. The

トランジスタTr12、及び、アノードラインLa上には、層間絶縁膜13(13a、13b)が形成されている。層間絶縁膜13は、絶縁材料、例えば、SiN等から形成されている。   An interlayer insulating film 13 (13a, 13b) is formed on the transistor Tr12 and the anode line La. The interlayer insulating film 13 is formed of an insulating material such as SiN.

層間絶縁膜13上には、隔壁3が形成されている。隔壁3は、樹脂、例えば、感光性ポリイミドから構成されている。図3及び図4に示すように、隔壁3は断面形状が方形、平面形状が方形に形成され、列方向に(図3に示す縦方向)延びるように、ストライプ状に形成されている。   A partition wall 3 is formed on the interlayer insulating film 13. The partition 3 is comprised from resin, for example, photosensitive polyimide. As shown in FIGS. 3 and 4, the partition walls 3 are formed in a stripe shape so that the cross-sectional shape is square, the planar shape is square, and extends in the column direction (vertical direction shown in FIG. 3).

また、隔壁3は、この隔壁3によって形成される溝が、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の画素がデルタ状に配列された3種類の画素の任意の1種類の画素から、他の2種類の画素の間の中央に向かってストライプ状に延びるように形成されている。   In addition, the partition wall 3 has a groove formed by the partition wall 3 in any one of three types of pixels in which pixels of three colors of red (R), green (G), and blue (B) are arranged in a delta shape. It is formed so as to extend in a stripe shape from the type of pixel toward the center between the other two types of pixels.

図5は、本実施の形態の隔壁3の形成位置を説明するための図である。図5に示すように、有機ELパネル2では、任意の1色の表示画素が列毎に1.5画素ピッチ分列方向にずれて配列され、同色の表示画素が行方向に1列おきに配列されている。隔壁3は、一対の隔壁3によって形成される溝内に、デルタ状に配列された画素(画素電極)の端部(図5の左端)に配置された任意の1種類の画素電極の中央付近の位置から、行方向(図5の左右方向)にストライプ状に延びるように形成されている。例えば、隔壁3aと隔壁3bとによって形成された溝4内に、赤(R)の画素電極の中央付近の位置から、行方向にストライプ状(一直線状)延びるように形成されている。このため、デルタ配列された画素電極では、溝4内に1つおき(1列おき)に配置された画素電極が設けられることとなる。この結果、溝4内には、赤(R)の画素電極のみが配列される。なお、図5において、溝4は緑(G)と青(B)の画素電極が隣接する箇所を横切る形となっているが、実際に基板11上に形成される各画素電極の間には間隙部分があり、この間隙部分には、後述するように、層間絶縁膜13が形成されている(図1に示すように隙間を有する)ことから、ノズルプリント方式で溝4内全体に赤色用の有機EL材料を塗布しても、隣接画素電極間の間隙部分の有機EL材料は発光しない。従って、デルタ配列であってもノズルプリント方式により各色の塗り分けが可能となる。   FIG. 5 is a diagram for explaining the formation position of the partition wall 3 of the present embodiment. As shown in FIG. 5, in the organic EL panel 2, display pixels of any one color are arranged shifted in the column direction by 1.5 pixel pitch for each column, and display pixels of the same color are arranged every other column in the row direction. It is arranged. The partition 3 is in the vicinity of the center of any one type of pixel electrode arranged at the end (left end in FIG. 5) of the pixels (pixel electrodes) arranged in a delta shape in the groove formed by the pair of partitions 3 From this position, it is formed to extend in a stripe shape in the row direction (left-right direction in FIG. 5). For example, it is formed in the groove 4 formed by the partition 3a and the partition 3b so as to extend in a stripe shape (in a straight line) in the row direction from a position near the center of the red (R) pixel electrode. For this reason, in the pixel electrodes arranged in the delta arrangement, the pixel electrodes arranged every other (every other row) in the groove 4 are provided. As a result, only the red (R) pixel electrodes are arranged in the groove 4. In FIG. 5, the groove 4 has a shape that crosses a portion where the green (G) and blue (B) pixel electrodes are adjacent to each other, but between the pixel electrodes actually formed on the substrate 11. There is a gap portion, and as will be described later, an interlayer insulating film 13 is formed in this gap portion (having a gap as shown in FIG. 1). Even if this organic EL material is applied, the organic EL material in the gap portion between adjacent pixel electrodes does not emit light. Therefore, even in the delta arrangement, each color can be separately applied by the nozzle printing method.

このように、隔壁3は、画素電極(アノード電極14)を各色ごとに区分けするように形成されている。このため、隔壁3により形成される溝内には、1色の画素電極のみが設けられ、後述する有機EL層15(正孔注入層15a、発光層15b)の成膜に、ノズルプリント方式を用いて有機EL材料を塗布できるようにしている。   Thus, the partition 3 is formed so that the pixel electrode (anode electrode 14) is divided for each color. For this reason, only one color pixel electrode is provided in the groove formed by the partition walls 3, and a nozzle printing method is used for forming an organic EL layer 15 (hole injection layer 15a, light emitting layer 15b) described later. It is used so that an organic EL material can be applied.

なお、隔壁3の表面には撥液処理が施されていることが好ましい。隔壁3の表面に撥液処理を施すことによって、有機EL層を形成する際、これらの有機化合物を含有する溶液が隔壁3の側面に吸い上がることが抑制でき、これらの溶液が隣接する画素に混ざることを防止できるためである。また、隔壁3の側面に吸い上がることが抑制できるので、画素内に形成される有機EL層の膜厚を均一に形成することができる。   The surface of the partition wall 3 is preferably subjected to a liquid repellent treatment. By applying a liquid repellent treatment to the surface of the partition 3, it is possible to suppress the solution containing these organic compounds from being sucked to the side surface of the partition 3 when the organic EL layer is formed. This is because mixing can be prevented. Moreover, since it can suppress sucking up to the side surface of the partition 3, the film thickness of the organic EL layer formed in a pixel can be formed uniformly.

画素形成領域に形成された絶縁膜12上には、アノード電極(画素電極)14が形成されている。アノード電極14は、透光性を備える導電材料、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、ZnO等から構成されている。アノード電極14は、画素領域に塗布される有機化合物含有液に対して親液性を有するように、表面処理が施されている。また、各アノード電極14は隣接する他の画素のアノード電極14と層間絶縁膜13によって絶縁されている。   An anode electrode (pixel electrode) 14 is formed on the insulating film 12 formed in the pixel formation region. The anode electrode 14 is made of a conductive material having translucency, for example, ITO (Indium Tin Oxide), ZnO, or the like. The anode electrode 14 is subjected to a surface treatment so as to be lyophilic with respect to the organic compound-containing liquid applied to the pixel region. Each anode electrode 14 is insulated from the anode electrode 14 of another adjacent pixel by the interlayer insulating film 13.

アノード電極14上には、有機EL層15が形成されている。有機EL層15は、例えば、正孔注入層15aと、発光層15bとから構成されている。   An organic EL layer 15 is formed on the anode electrode 14. The organic EL layer 15 includes, for example, a hole injection layer 15a and a light emitting layer 15b.

正孔注入層15aは、アノード電極14上に形成されている。正孔注入層15aは、発光層15bに正孔を供給する。正孔注入層15aは正孔(ホール)注入、輸送が可能な有機高分子系の材料から構成されている。正孔注入層15aは、アノード電極14からの注入障壁が低く、ホール移動度の高い材料を用いることが好ましく、本実施形態では、有機高分子系のホール注入・輸送材料を含む有機化合物含有液として、導電性ポリマーであるポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とドーパントであるポリスチレンスルホン酸(PSS)を水系溶媒に分散させた分散液であるPEDOT/PSS水溶液を用いている。このPEDOT/PSS水溶液をノズルプリント方式により塗布、乾燥させることによって正孔注入層15aが形成される。   The hole injection layer 15 a is formed on the anode electrode 14. The hole injection layer 15a supplies holes to the light emitting layer 15b. The hole injection layer 15a is made of an organic polymer material that can inject and transport holes. The hole injection layer 15a is preferably made of a material having a low injection barrier from the anode electrode 14 and a high hole mobility. In this embodiment, the organic compound-containing liquid containing an organic polymer hole injection / transport material is used. As described above, a PEDOT / PSS aqueous solution that is a dispersion in which polyethylenedioxythiophene (PEDOT) as a conductive polymer and polystyrene sulfonic acid (PSS) as a dopant are dispersed in an aqueous solvent is used. The hole injection layer 15a is formed by applying and drying this PEDOT / PSS aqueous solution by a nozzle printing method.

発光層15bは、正孔注入層15a上に形成されている。発光層15bは、アノード電極14とカソード電極16との間に所定の電圧を印加することにより光を発生する機能を有する。発光層15bは、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料、例えば、ポリパラフェニレンビニール系やポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む赤(R)、緑(G)、青(B)色用の発光材料から構成される。また、これらの発光材料は、適宜、水系溶媒あるいはテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン、キシレン等の有機溶媒に溶解(又は分散)した溶液(分散液)である。この溶液(分散液)をノズルプリント方式により塗布し、溶媒を揮発させることによって発光層15bが形成される。   The light emitting layer 15b is formed on the hole injection layer 15a. The light emitting layer 15 b has a function of generating light by applying a predetermined voltage between the anode electrode 14 and the cathode electrode 16. The light emitting layer 15b is a known polymer light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence, for example, red (R), green (G) containing a conjugated double bond polymer such as polyparaphenylene vinyl or polyfluorene. ), A light emitting material for blue (B) color. These luminescent materials are appropriately solutions (dispersions) dissolved (or dispersed) in an aqueous solvent or an organic solvent such as tetralin, tetramethylbenzene, mesitylene, and xylene. The light emitting layer 15b is formed by applying this solution (dispersion) by a nozzle printing method and volatilizing the solvent.

発光層15b及び隔壁3上には、カソード電極(対向電極)16が設けられている。カソード電極16は、導電材料、例えばBa、Ca等から形成される。本実施の形態では、カソード電極は単一の電極層から構成され、GNDに接続されている。   A cathode electrode (counter electrode) 16 is provided on the light emitting layer 15 b and the partition 3. The cathode electrode 16 is formed from a conductive material such as Ba, Ca, or the like. In the present embodiment, the cathode electrode is composed of a single electrode layer and is connected to GND.

反射メタル18は、カソード電極16上に形成されている。反射メタル18は、発光層15bからカソード電極16側に発光された光をアノード電極14側に反射できるものであればよく、例えば、可視光を全て反射できる材質および膜厚から形成されている。反射メタル18は、可視光の反射率が高い金属から構成されることが好ましく、例えば、AgまたはAlNdTiまたはAlから構成されている。   The reflective metal 18 is formed on the cathode electrode 16. The reflective metal 18 may be any metal that can reflect the light emitted from the light emitting layer 15b toward the cathode electrode 16 toward the anode electrode 14, and is formed of a material and a film thickness that can reflect all visible light, for example. The reflective metal 18 is preferably made of a metal having a high visible light reflectance, and is made of, for example, Ag, AlNdTi, or Al.

このように構成された表示装置1(有機EL素子)では、アノード電極14とカソード電極16との間に所定の電圧を印加することで、発光層15bに流れる電流量に応じた光が発生する。そして、発生した光がアノード電極14から直接的に、また反射メタル18で反射されて、アノード電極14側から取り出される。   In the display device 1 (organic EL element) configured as described above, light corresponding to the amount of current flowing through the light emitting layer 15b is generated by applying a predetermined voltage between the anode electrode 14 and the cathode electrode 16. . Then, the generated light is reflected directly from the anode electrode 14 and by the reflection metal 18 and is extracted from the anode electrode 14 side.

次に、本実施の形態の表示装置1の製造方法について説明する。図6及び図7は本実施の形態の表示装置の製造方法を説明するための図である。   Next, a method for manufacturing the display device 1 of the present embodiment will be described. 6 and 7 are diagrams for explaining a method of manufacturing the display device of the present embodiment.

まず、ガラス基板からなる基板11を用意する。次に、この基板11上に、スパッタ法、真空蒸着法等により金属膜を形成し、これをゲート電極Tr12g、及び、データラインLdの形状にパターニングする。   First, a substrate 11 made of a glass substrate is prepared. Next, a metal film is formed on the substrate 11 by a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like, and patterned into the shape of the gate electrode Tr12g and the data line Ld.

続いて、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等によりゲート電極Tr12g、及び、データラインLd上に絶縁膜12を形成する。次に、絶縁膜12上に、半導体層SMCを形成し、更に半導体層SMCの上面に保護膜BLを形成する。   Subsequently, the insulating film 12 is formed on the gate electrode Tr12g and the data line Ld by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method or the like. Next, a semiconductor layer SMC is formed on the insulating film 12, and a protective film BL is further formed on the upper surface of the semiconductor layer SMC.

次に、スパッタ法等により、絶縁膜12上にアノード電極14を形成する。続いて、スパッタ法、真空蒸着法等によりオーミックコンタクト層OHMを形成する。次に、スパッタ法、真空蒸着法等により、ソース電極Tr12s、及び、ドレイン電極Tr12dを形成する。これにより、図6(a)に示す状態となる。   Next, the anode electrode 14 is formed on the insulating film 12 by sputtering or the like. Subsequently, an ohmic contact layer OHM is formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like. Next, the source electrode Tr12s and the drain electrode Tr12d are formed by sputtering, vacuum deposition, or the like. As a result, the state shown in FIG.

続いて、トランジスタTr12等を覆うように、CVD法、及び、フォトリソグラフィ等により層間絶縁膜13aを形成し、スパッタ法、真空蒸着法等によりアノードラインLaを形成する。さらに、CVD法、及び、フォトリソグラフィ等により層間絶縁膜13bを形成する。これにより、図6(b)に示す状態となる。   Subsequently, an interlayer insulating film 13a is formed by CVD, photolithography, or the like so as to cover the transistor Tr12 and the like, and an anode line La is formed by sputtering, vacuum evaporation, or the like. Further, an interlayer insulating film 13b is formed by a CVD method, photolithography, or the like. As a result, the state shown in FIG.

次に、層間絶縁膜13b上に、樹脂、例えば、感光性ポリイミド層を形成した上で、ポリイミド層に隔壁3に対応する形状に形成されたフォトマスクを形成し、パターニングすることによって、図7(a)に示すように隔壁3を形成する。このようにして、画素基板11上にTFT回路、画素電極、層間絶縁膜13、感光性ポリイミドで形成した隔壁3が形成される。   Next, after a resin, for example, a photosensitive polyimide layer is formed on the interlayer insulating film 13b, a photomask formed in a shape corresponding to the partition wall 3 is formed on the polyimide layer, and patterning is performed. A partition wall 3 is formed as shown in FIG. In this manner, the TFT circuit, the pixel electrode, the interlayer insulating film 13, and the partition 3 made of photosensitive polyimide are formed on the pixel substrate 11.

なお、隔壁3を形成した後、ポリイミド表面を撥液化処理することが好ましい。例えば、隔壁3が形成された基板11を純水を用いて洗浄し、画素電極の親液化処理と、隔壁3の表面改質を兼ねて、酸素プラズマ処理を行う。酸素プラズマ処理により、ポリイミド表面のイミド環を開環させ、ポリイミド表面に吸着、もしくは内部に吸湿した水に由来する水素を取り込み、カルボキシル基とアミノ結合を生成する。次に、隔壁3表面のポリイミド表面の撥液化処理を行う。撥液化処理により、ポリイミド表面に生成されたカルボキシル基が脱水重合し、隔壁3表面が撥液化される。   In addition, after forming the partition 3, it is preferable to perform the liquid-repellent treatment on the polyimide surface. For example, the substrate 11 on which the partition walls 3 are formed is cleaned using pure water, and an oxygen plasma process is performed for both the lyophilic treatment of the pixel electrodes and the surface modification of the partition walls 3. By oxygen plasma treatment, the imide ring on the polyimide surface is opened, hydrogen derived from water adsorbed on the polyimide surface or absorbed inside is taken in, and a carboxyl group and an amino bond are generated. Next, a liquid repellency treatment is performed on the polyimide surface of the partition wall 3 surface. By the liquid repellent treatment, the carboxyl groups generated on the polyimide surface undergo dehydration polymerization, and the surface of the partition walls 3 is made liquid repellent.

次に、正孔注入材料(導電性高分子であるPEDOT及びドーパントとなるPSS)を分散したPEDOT/PSS水溶液をノズルプリント方式によりアノード電極14上に塗布する。本実施の形態では、アノード電極14及びその周辺の層間絶縁膜13は親液性であるため、塗布されたPEDOTインクが十分に広がる。さらに、隔壁3の表面が撥液性であるため、塗布されたインクの吸い上げが抑制される。PEDOT/PSS水溶液の塗布後、例えば、ホットプレート上で100℃以上の温度にて乾燥を行うことにより、図7(b)に示すように、アノード電極14上に正孔注入層15aが形成される。   Next, a PEDOT / PSS aqueous solution in which a hole injection material (PEDOT as a conductive polymer and PSS as a dopant) is dispersed is applied onto the anode electrode 14 by a nozzle printing method. In the present embodiment, since the anode electrode 14 and the surrounding interlayer insulating film 13 are lyophilic, the applied PEDOT ink spreads sufficiently. Furthermore, since the surface of the partition wall 3 is liquid repellent, the applied ink is prevented from being sucked up. After the application of the PEDOT / PSS aqueous solution, for example, by drying on a hot plate at a temperature of 100 ° C. or higher, the hole injection layer 15a is formed on the anode electrode 14 as shown in FIG. The

続いて、赤・緑・青色の発光材料(ポリフルオレン系)をテトラリン、テトラメチルベンゼン、メシチレン等の有機溶剤に溶かした溶液を、ノズルプリント方式により、正孔注入層15a上にそれぞれ成膜する。上述したように、隔壁3の表面が撥液性となっているため、隣接した画素との混色が防止され、赤・緑・青色の塗り分けが精度良く行える。発光材料を成膜後、窒素雰囲気中のホットプレートによる乾燥、或いは真空中でのシーズヒータによる乾燥を行い、残留溶媒の除去を行う。これにより、図7(c)に示すように、正孔注入層15a上に発光層15bが形成される。   Subsequently, a solution obtained by dissolving red, green, and blue light emitting materials (polyfluorene-based) in an organic solvent such as tetralin, tetramethylbenzene, and mesitylene is formed on the hole injection layer 15a by a nozzle printing method. . As described above, since the surface of the partition wall 3 is liquid repellent, color mixing with adjacent pixels is prevented, and red, green, and blue can be separated accurately. After the light emitting material is formed, the residual solvent is removed by drying with a hot plate in a nitrogen atmosphere or drying with a sheathed heater in a vacuum. Thereby, as shown in FIG.7 (c), the light emitting layer 15b is formed on the positive hole injection layer 15a.

ここで、一対の隔壁3により形成される溝内には、1色の画素電極のみが設けられるように隔壁3が形成されているので、ノズルプリント方式による溶液の塗布では、図8に示すように、ストライプ状の溝に沿ってノズル21を走査させることができる。このため、ノズル21から吐出される有機EL材料を、所定色のアノード電極14等の上に塗布することができる。従って、有機EL層15(正孔注入層15a、発光層15b)の成膜において、ノズルプリント方式を用いて塗布すべき有機EL材料の塗り分けを行うことができる。なお、ノズル21は、図8に示すように、有機EL材料が吐出される吐出部21aを有し、吐出部21aから吐出される有機EL材料が一対の隔壁3により形成される溝内に流し込まれる。ここで、隔壁3により形成される溝の行方向の幅は吐出部21aの外形寸法より大きく形成される。   Here, since the partition 3 is formed in the groove formed by the pair of partition 3 so that only one color pixel electrode is provided, in the application of the solution by the nozzle printing method, as shown in FIG. In addition, the nozzle 21 can be scanned along the stripe-shaped groove. For this reason, the organic EL material discharged from the nozzle 21 can be applied on the anode electrode 14 of a predetermined color. Therefore, in the formation of the organic EL layer 15 (the hole injection layer 15a and the light emitting layer 15b), the organic EL material to be applied can be separately applied using the nozzle printing method. As shown in FIG. 8, the nozzle 21 has a discharge portion 21a from which the organic EL material is discharged, and the organic EL material discharged from the discharge portion 21a flows into a groove formed by the pair of partition walls 3. It is. Here, the width in the row direction of the groove formed by the partition walls 3 is formed to be larger than the outer dimension of the discharge portion 21a.

次に、発光層15aを形成した画素基板に、真空蒸着やスパッタリング等により、Ca,Ba等のカソード電極16を形成する。次いで、反射メタル18を、例えば、スパッタ法又は蒸着法によりカソード電極16及び隔壁3上に形成することにより、表示装置1が完成する。   Next, the cathode electrode 16 made of Ca, Ba or the like is formed on the pixel substrate on which the light emitting layer 15a has been formed by vacuum deposition, sputtering, or the like. Next, the reflective metal 18 is formed on the cathode electrode 16 and the partition 3 by, for example, sputtering or vapor deposition, whereby the display device 1 is completed.

以上説明したように、本実施の形態によれば、隔壁3により形成される溝内には、1色の画素電極のみが設けられるように隔壁3が形成されている。このため、複数色の表示画素がデルタ配列等の同色の表示画素が1方向に連続的に配列されていない画素配列を有する表示装置について、ノズルプリント方式を用いて塗布すべき有機EL材料の塗り分けを行うことができる。   As described above, according to the present embodiment, the partition 3 is formed so that only one color pixel electrode is provided in the groove formed by the partition 3. For this reason, for a display device having a pixel arrangement in which display pixels of the same color, such as a delta arrangement, are not continuously arranged in one direction, the application of the organic EL material to be applied using the nozzle printing method Can be divided.

また、本実施の形態では、ポリイミドからなる隔壁3の表面が撥液性となっているため、正孔注入層15a、発光層15bを形成する際に、塗布された溶液が隔壁に吸い上がることが抑制される。このため、画素電極(アノード電極14)上の膜厚プロファイルの均一性を向上できる。   In this embodiment, since the surface of the partition wall 3 made of polyimide is liquid repellent, the applied solution is sucked into the partition wall when forming the hole injection layer 15a and the light emitting layer 15b. Is suppressed. For this reason, the uniformity of the film thickness profile on the pixel electrode (anode electrode 14) can be improved.

なお、本発明は、上記の実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な他の実施の形態について説明する。   In addition, this invention is not restricted to said embodiment, A various deformation | transformation and application are possible. Hereinafter, other embodiments applicable to the present invention will be described.

上記実施の形態では、隔壁3(及び、隔壁3によって形成される溝)をストライプ状に形成した場合を例に本発明を説明したが、例えば、図9に示すように、隔壁3の溝幅を狭くする変形部31を設けてもよい。変形部31は、隔壁3によって形成される溝の幅が広がる、すなわち、溝内に大きな画素電極(アノード電極14)を設けられるように、隔壁3の幅が狭くなるように形成されている。この変形部31は、アノード電極14の形状に合わせて(応じて)変形されている。本実施の形態では、アノード電極14の形状が方形であるため、溝内に設けられるアノード電極14の幅が広がるように、変形部31は、凹状に形成されている。このように、隔壁3に変形部31が設けられているので、隔壁3により形成される溝内には、1色の画素電極のみが設けられるように隔壁3を形成しても、画素電極(アノード電極14)を小さくする必要がなくなる。このため、開口率を低下させることなく、ノズルプリント方式を用いて塗布すべき有機EL材料の塗り分けを行うことができる。この場合、図10に示すように、トランジスタTr11、Tr12の形成領域を確保するため、トランジスタTr11、Tr12は、隔壁3の変形部31が設けられていない領域の下方に設けることが好ましい。また、図9及び図10に示した構成の場合、隔壁3の行方向の幅が画素電極に対応した領域とそれ以外の領域とで変化し、一対の隔壁3によって形成される溝の幅も、画素電極に対応した領域とそれ以外の領域とで変化し、画素電極に対応していない領域の溝の幅が、画素電極に対応した領域の溝の幅より狭くなっている。この場合、隔壁3により形成される溝の幅の最も狭い部分の幅が吐出部21aの外形寸法より大きく形成される。   In the above embodiment, the present invention has been described by taking as an example the case where the partition 3 (and the groove formed by the partition 3) is formed in a stripe shape. For example, as shown in FIG. You may provide the deformation | transformation part 31 which narrows. The deformed portion 31 is formed so that the width of the groove formed by the partition 3 is increased, that is, the width of the partition 3 is reduced so that a large pixel electrode (anode electrode 14) is provided in the groove. The deformed portion 31 is deformed according to (in accordance with) the shape of the anode electrode 14. In the present embodiment, since the shape of the anode electrode 14 is square, the deformed portion 31 is formed in a concave shape so that the width of the anode electrode 14 provided in the groove is widened. As described above, since the deformed portion 31 is provided in the partition wall 3, even if the partition wall 3 is formed so that only one color pixel electrode is provided in the groove formed by the partition wall 3, the pixel electrode ( There is no need to make the anode electrode 14) small. For this reason, the organic EL material to be applied can be separately applied using the nozzle printing method without reducing the aperture ratio. In this case, as shown in FIG. 10, in order to secure the formation region of the transistors Tr11 and Tr12, the transistors Tr11 and Tr12 are preferably provided below the region where the deformed portion 31 of the partition wall 3 is not provided. In the case of the configuration shown in FIGS. 9 and 10, the width of the partition 3 in the row direction varies between the region corresponding to the pixel electrode and the other region, and the width of the groove formed by the pair of partitions 3 is also different. The width of the groove in the region corresponding to the pixel electrode is smaller than the width of the groove in the region corresponding to the pixel electrode. In this case, the width of the narrowest portion of the groove formed by the partition wall 3 is formed larger than the outer dimension of the discharge part 21a.

上記実施の形態では、有機EL層15が正孔注入層15aと発光層15bとから形成されている場合を例に本発明を説明したが、例えば、正孔注入層15aと発光層15bとの間に、発光層15b内を移動する電子をブロッキングする機能等を有するインターレイヤー層を形成してもよい。この場合、発光層15b内での電子とホール(正孔)との再結合確率を高める作用を奏する。このインターレイヤー層は、ホール移動度が高く、電子ブロッキング機能を有する材料を用いることが好ましい。   In the above embodiment, the present invention has been described by taking the case where the organic EL layer 15 is formed of the hole injection layer 15a and the light emitting layer 15b as an example. For example, the organic EL layer 15 includes the hole injection layer 15a and the light emitting layer 15b. An interlayer layer having a function of blocking electrons moving in the light emitting layer 15b may be formed therebetween. In this case, there is an effect of increasing the recombination probability between electrons and holes in the light emitting layer 15b. This interlayer layer is preferably made of a material having a high hole mobility and an electron blocking function.

また、発光層15b上に電子輸送層を設けてもよい。この場合、発光層15bへの電子注入効率を高めるとともに、ホールブロッキング機能を有することができる。この電子輸送層は、Mg、Ca、Ba等のアルカリ土類金属やその酸化物または金属との合金などを用いることが好ましい。   Further, an electron transport layer may be provided on the light emitting layer 15b. In this case, the efficiency of electron injection into the light emitting layer 15b can be increased and a hole blocking function can be provided. The electron transport layer is preferably made of an alkaline earth metal such as Mg, Ca, Ba, an oxide thereof, or an alloy with a metal.

上記実施の形態では、画素駆動回路Dcに2個のトランジスタ(TFT)を有している場合を例に本発明を説明したが、例えば、3個のTFTを有しているものであってもよく、また、4個以上のTFTを有しているものであってもよい。   In the above embodiment, the present invention has been described by taking the case where the pixel driving circuit Dc has two transistors (TFTs) as an example. However, for example, even if the pixel driving circuit Dc has three TFTs, Alternatively, it may have four or more TFTs.

上記実施の形態では、発光素子が有機EL素子である場合を例に本発明を説明したが、本発明は様々な発光素子に適用可能であり、発光素子は有機EL素子に限定されるものではない。   In the above embodiment, the present invention has been described by taking the case where the light emitting element is an organic EL element as an example. Absent.

本発明の実施の形態の表示装置の画素配列の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the pixel arrangement | sequence of the display apparatus of embodiment of this invention. 表示装置のアクティブ駆動方式の表示画素の回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of the display pixel of the active drive system of a display apparatus. 表示画素の平面図を示す図である。It is a figure which shows the top view of a display pixel. 図3のIV−IV線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 隔壁の形成位置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the formation position of a partition. 表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a display apparatus. 表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a display apparatus. ノズルプリント方式による溶液の塗布方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the coating method of the solution by a nozzle printing system. 他の実施の形態の表示装置の画素配列の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the pixel arrangement | sequence of the display apparatus of other embodiment. 他の実施の形態の表示画素の平面図を示す図である。It is a figure which shows the top view of the display pixel of other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・表示装置、2・・・有機ELパネル、3・・・隔壁、11・・・基板、12・・・絶縁膜、13・・・層間絶縁膜、14・・・アノード電極、15・・・有機EL層15、15a・・・正孔注入層、15b・・・発光層、16・・・カソード電極   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Display apparatus, 2 ... Organic EL panel, 3 ... Partition, 11 ... Substrate, 12 ... Insulating film, 13 ... Interlayer insulating film, 14 ... Anode electrode, 15 ... Organic EL layers 15, 15a ... Hole injection layer, 15b ... Light emitting layer, 16 ... Cathode electrode

Claims (14)

発光素子を有する複数色の表示画素が行及び列方向に複数配列された表示装置であって、
前記複数色の表示画素は、任意の1色の前記表示画素が列毎に1.5画素ピッチ分列方向にずれて配列され、同色の前記表示画素が行方向に1列おきに配列され、
該各表示画素は前記発光素子の発光部をなす画素電極を有し、
行毎の前記各表示画素の前記画素電極を区分けするように形成された複数の隔壁を備え、
前記複数の隔壁における一対の前記隔壁により行方向に延在する複数の溝が形成され、
前記各溝の内側に、行方向に1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極が設けられていることを特徴とする表示装置。
A display device in which a plurality of color display pixels having light emitting elements are arranged in a row and column direction,
The display pixels of the plurality of colors are arranged such that the display pixels of any one color are shifted in the column direction by 1.5 pixel pitch for each column, and the display pixels of the same color are arranged every other column in the row direction,
Each display pixel has a pixel electrode that forms a light emitting portion of the light emitting element,
A plurality of partition walls formed so as to partition the pixel electrodes of the display pixels for each row;
A plurality of grooves extending in the row direction are formed by a pair of the partition walls in the plurality of partition walls,
The display device, wherein the pixel electrodes of the display pixels of the same color arranged in every other column in the row direction are provided inside the grooves.
前記各溝は、行方向に一定の幅を有するように形成され、前記各隔壁は、行方向に一定の幅を有することを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein each of the grooves is formed to have a constant width in the row direction, and each of the partition walls has a constant width in the row direction. 前記各溝は、前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域における行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅より広くなるように形成され、
前記各隔壁は、前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応した領域であって、行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅に対して狭くされた変形部を有することを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
Each of the grooves is formed so that a width in a row direction in a region corresponding to the pixel electrode of the display pixels of the same color arranged in every other column is wider than a width in a row direction in other regions.
Each partition is an area corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged every other column, and the width in the row direction is narrower than the width in the row direction in other areas. The display device according to claim 1, further comprising a deformed portion.
前記表示画素は前記発光素子を駆動する、少なくとも1つのアクティブ素子を有する画素回路を有し、
前記画素回路における前記アクティブ素子は、前記隔壁における前記変形部が形成されていない領域の下方に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の表示装置。
The display pixel includes a pixel circuit having at least one active element that drives the light emitting element;
The display device according to claim 3, wherein the active element in the pixel circuit is formed below a region of the partition wall where the deformed portion is not formed.
前記各溝内の前記1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極上に吐出部を有するノズルから連続的に吐出される有機化合物含有液が塗布されて、前記発光素子の発光層をなす有機化合物層が形成され、
前記各溝の行方向の幅は、少なくとも前記ノズルの吐出部の外形より大きいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表示装置。
A liquid containing an organic compound continuously discharged from a nozzle having a discharge portion is applied onto the pixel electrodes of the display pixels of the same color arranged in every other row in each of the grooves, and light emission of the light emitting element A layered organic compound layer is formed,
5. The display device according to claim 1, wherein a width of each groove in a row direction is at least larger than an outer shape of a discharge portion of the nozzle.
前記隔壁の表面には撥液処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein a liquid repellent treatment is performed on a surface of the partition wall. 前記発光素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the light emitting element is an organic electroluminescence element. 発光素子を有する複数色の表示画素が行及び列方向に複数配列された表示装置の製造方法であって、
前記複数色の表示画素の画素電極を、任意の1色の前記表示画素が列毎に1.5画素ピッチ分列方向にずれて配列され、同色の前記表示画素が行方向に1列おきに配列されるように形成する工程と、
行毎の前記各表示画素の前記画素電極を区分けするように、行方向に延在される複数の隔壁を形成する工程と、
前記複数の隔壁における一対の前記隔壁により形成された複数の溝内にノズルを沿わせて有機化合物含有液を塗布することにより、前記各溝内の画素電極上に前記発光素子の発光層をなす有機化合物層を形成する工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
A method of manufacturing a display device in which a plurality of color display pixels having light emitting elements are arranged in a row and column direction,
The pixel electrodes of the display pixels of the plurality of colors are arranged so that the display pixels of any one color are shifted in the column direction by 1.5 pixel pitch for each column, and the display pixels of the same color are arranged every other column in the row direction. Forming to be arranged; and
Forming a plurality of partition walls extending in a row direction so as to partition the pixel electrodes of the display pixels for each row;
The organic compound-containing liquid is applied along a plurality of grooves formed by a pair of the partition walls in the plurality of partition walls, thereby forming a light emitting layer of the light emitting element on the pixel electrode in each groove. Forming the organic compound layer, and a method for manufacturing a display device.
前記複数の隔壁を形成する工程では、前記複数の隔壁を、該複数の隔壁における一対の前記隔壁により形成される前記複数の溝の溝内に、行方向に1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極が設けられように形成することを特徴とする請求項8に記載の表示装置の製造方法。   In the step of forming the plurality of partition walls, the plurality of partition walls are arranged in every other column in the row direction in the grooves of the plurality of grooves formed by the pair of partition walls in the plurality of partition walls. The method for manufacturing a display device according to claim 8, wherein the pixel electrode of the display pixel is provided. 前記複数の隔壁を形成する工程では、前記各隔壁を行方向に一定の幅に形成して、前記各溝の行方向の幅を一定とすることを特徴とする請求項8または9に記載の表示装置の製造方法。   10. The method according to claim 8, wherein, in the step of forming the plurality of partition walls, the partition walls are formed to have a constant width in the row direction, and the widths of the grooves in the row direction are made constant. Manufacturing method of display device. 前記複数の隔壁を形成する工程では、前記各隔壁における1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域に、行方向の幅を、それ以外の領域における行方向の幅より狭くした変形部を形成して、前記各溝の1列おきに配列される前記同色の表示画素の前記画素電極に対応する領域における行方向の幅が、それ以外の領域における行方向の幅より広くなるようにすることを特徴とする請求項8または9に記載の表示装置の製造方法。   In the step of forming the plurality of partition walls, the width in the row direction is set in the region corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged in every other column in each partition wall, and the row direction in the other regions. By forming a deformed portion narrower than the width, the width in the row direction in the region corresponding to the pixel electrode of the display pixel of the same color arranged in every other column of each groove is set in the row direction in the other regions. 10. The method for manufacturing a display device according to claim 8, wherein the display device is wider than the width. 前記表示画素は前記発光素子を駆動する、少なくとも1つのアクティブ素子を有する画素回路を有し、
前記隔壁の前記変形部が形成されていない領域の下方に前記画素回路の前記アクティブ素子を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の表示装置の製造方法。
The display pixel includes a pixel circuit having at least one active element that drives the light emitting element;
12. The method for manufacturing a display device according to claim 11, further comprising a step of forming the active element of the pixel circuit below a region of the partition wall where the deformed portion is not formed.
前記隔壁の表面に撥液処理を施す工程をさらに含むことを特徴とする請求項8乃至12のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a display device according to claim 8, further comprising a step of performing a liquid repellent treatment on a surface of the partition wall. 前記発光素子に有機エレクトロルミネッセンス素子を用いる、ことを特徴とする請求項8乃至13のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a display device according to claim 8, wherein an organic electroluminescence element is used as the light emitting element.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011093115A1 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 住友化学株式会社 Light-emitting device
WO2012132863A1 (en) * 2011-03-29 2012-10-04 凸版印刷株式会社 Ink composition, organic el element using same, and method for manufacturing organic el element
JP2012256587A (en) * 2011-05-19 2012-12-27 Sony Corp Display device and electronic apparatus
CN103311269A (en) * 2013-05-29 2013-09-18 京东方科技集团股份有限公司 OLED (organic light emitting diode) pixel limit structure and manufacturing method thereof
KR20150007992A (en) * 2013-07-12 2015-01-21 에버디스플레이 옵트로닉스 (상하이) 리미티드 Pixel array, display and method for presenting image on the display
WO2020199083A1 (en) * 2019-04-01 2020-10-08 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate and manufacturing method therefor, and display device
JP2020181783A (en) * 2019-04-26 2020-11-05 Tianma Japan株式会社 Manufacturing method of OLED display device and OLED display device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002075640A (en) * 2000-08-30 2002-03-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Manufacturing method of an organic el display device and its manufacturing device
JP2004117689A (en) * 2002-09-25 2004-04-15 Hitachi Ltd Display device
JP2007115529A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Display device and its manufacturing method
JP2007179798A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Casio Comput Co Ltd Display device manufacturing apparatus and display device manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002075640A (en) * 2000-08-30 2002-03-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Manufacturing method of an organic el display device and its manufacturing device
JP2004117689A (en) * 2002-09-25 2004-04-15 Hitachi Ltd Display device
JP2007115529A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Display device and its manufacturing method
JP2007179798A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Casio Comput Co Ltd Display device manufacturing apparatus and display device manufacturing method

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011093115A1 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 住友化学株式会社 Light-emitting device
JP2011159406A (en) * 2010-01-29 2011-08-18 Sumitomo Chemical Co Ltd Light-emitting device
CN102726122A (en) * 2010-01-29 2012-10-10 住友化学株式会社 Light-emitting device
WO2012132863A1 (en) * 2011-03-29 2012-10-04 凸版印刷株式会社 Ink composition, organic el element using same, and method for manufacturing organic el element
CN103459521A (en) * 2011-03-29 2013-12-18 凸版印刷株式会社 Ink composition, organic EL element using same, and method for manufacturing organic EL element
JP2012256587A (en) * 2011-05-19 2012-12-27 Sony Corp Display device and electronic apparatus
CN103311269A (en) * 2013-05-29 2013-09-18 京东方科技集团股份有限公司 OLED (organic light emitting diode) pixel limit structure and manufacturing method thereof
WO2014190685A1 (en) * 2013-05-29 2014-12-04 京东方科技集团股份有限公司 Oled pixel limiting structure, manufacturing method therefor and array substrate
KR20150007992A (en) * 2013-07-12 2015-01-21 에버디스플레이 옵트로닉스 (상하이) 리미티드 Pixel array, display and method for presenting image on the display
KR101582560B1 (en) * 2013-07-12 2016-01-21 에버디스플레이 옵트로닉스 (상하이) 리미티드 Pixel array, display and method for presenting image on the display
WO2020199083A1 (en) * 2019-04-01 2020-10-08 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate and manufacturing method therefor, and display device
CN112106204A (en) * 2019-04-01 2020-12-18 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate, manufacturing method thereof and display device
US11393877B2 (en) 2019-04-01 2022-07-19 Boe Technology Group Co., Ltd. Display substrate having first pixel unit and second pixel unit with unequal effective light-emitting areas and equal light-reflecting areas, fabrication method thereof, and display device
CN112106204B (en) * 2019-04-01 2022-08-16 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate, manufacturing method thereof and display device
JP2020181783A (en) * 2019-04-26 2020-11-05 Tianma Japan株式会社 Manufacturing method of OLED display device and OLED display device
JP7344004B2 (en) 2019-04-26 2023-09-13 Tianma Japan株式会社 OLED display device and method for manufacturing the OLED display device

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