JP2008229582A - Inkjet head control device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタの色パターンを形成するのに用いるインクジェット塗工装置に併設するインクジェットヘッド管理装置に関する。 The present invention relates to an ink-jet head management apparatus that is attached to an ink-jet coating apparatus used for forming a color pattern of a color filter.
カラー液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタ(以下、CFと称す)の製造方法は、従来からフォトリソグラフィーによる方法(以下フォトリソ方式)が一般的であった。この方式では、感光性レジストを角型のガラス基板に塗工し、露光、現像、乾燥の工程を複数回繰り返すことで、一定の格子状カラーパターンを得ることができる。 As a manufacturing method of a color filter (hereinafter referred to as CF) used for a color liquid crystal display, a photolithography method (hereinafter referred to as a photolithography method) has been generally used. In this method, a photosensitive resist is applied to a rectangular glass substrate, and a constant lattice-like color pattern can be obtained by repeating the steps of exposure, development, and drying a plurality of times.
しかしながら、近年基板の大型化が進むと共に、パネル価格の下落に伴ってCFのコストダウン要求も更に厳しくなってきている。
従って、次世代の2m角を超えるようなサイズのCF製造ラインをフォトリソ方式で構築する場合、装置自体のコストが現ライン以上に高くなるとともにサイズアップによるフットプリントの拡大によって建屋にかかるコストも嵩んでしまい、イニシャルコストの大幅なアップが予想される。
また、現像される余分なインクの増加や現像液等の材料使用量の増加によりランニングコストも更に上がることが予想でき、前述したコストダウン要求を満たすことは困難である。
However, in recent years, as the size of the substrate has increased, the cost reduction of CF has become more severe as the panel price has decreased.
Therefore, when constructing the next-generation CF production line exceeding 2m square by the photolithographic method, the cost of the device itself becomes higher than the current line, and the cost of the building increases due to the expansion of the footprint due to the size increase. Therefore, a significant increase in initial cost is expected.
Further, it can be expected that the running cost will further increase due to an increase in excess ink to be developed and an increase in the amount of materials used such as a developer, and it is difficult to satisfy the cost reduction requirement described above.
そこでフォトリソ方式に代わる新しいCF製造方法の一つとしてインクジェット方式が注目されている。この方法では、インクジェットヘッドを用いてBM(ブラックマトリクス)パターンに直接カラーパターンを複数色同時塗工していくため、フォトリソ方式で必要であった露光、現像等の工程を削減できるため、フットプリントを大幅に削減することが可能となる。
また、塗工材料も必要最小量であり、更にフォトリソ方式で必要であった現像液等が不要となるため、ランニングコストも削減することが可能である。
Therefore, an inkjet method has attracted attention as one of new CF manufacturing methods that can replace the photolithography method. In this method, multiple colors are applied simultaneously to the BM (black matrix) pattern using an inkjet head, so the steps required for the photolithographic method, such as exposure and development, can be reduced. Can be greatly reduced.
In addition, the coating material is also the minimum amount necessary, and further, the developing solution necessary for the photolithography method is not necessary, so that the running cost can be reduced.
上記インクジェット方式において、インクを吐出する為のインクジェットヘッドは基板の大型化、生産性向上の為のタクトアップ、カラーフィルタ−の高精細化が進むにしたがって装置に搭載するヘッドが密集し、かつ複数個配列されるようになった。 In the above-described ink jet system, the number of ink jet heads for ejecting ink is increased as the substrates mounted on the apparatus become denser as the substrate size increases, the tact up for improving productivity, and the color filters become more precise. It came to be arranged individually.
インクジェットは、ヘッド吐出面の乾きや乾きによるインキ凝集による吐出口詰まりなどによって不吐出が製品の歩留を下げる要因の一つとなっている。
これらを防止するためには定期的にヘッドからの液出し、ヘッドを駆動させミスト状の予備吐出を行ったり、ヘッド吐出面に付着した汚れを定期的にクリーニングする機能、また塗工前にヘッドの吐出状態を検査することにより不良を未然に防ぐ機能が必要である。
インクジェットヘッドを最良の状態に維持するために、複数の液摘出ヘッド保守ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる液摘出装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
Ink jet is one of the factors that reduce the yield of products due to dryness of the head discharge surface and clogging of discharge ports due to ink aggregation due to drying.
In order to prevent these problems, the liquid is periodically discharged from the head, the head is driven to perform mist-like preliminary discharge, the function of periodically cleaning dirt adhering to the head discharge surface, and the head before coating. It is necessary to have a function of preventing defects in advance by inspecting the discharge state.
In order to maintain the inkjet head in the best state, a liquid extraction device that can effectively use space as a whole device by arranging a plurality of liquid extraction head maintenance units with high space efficiency has been proposed ( For example, see Patent Document 1).
また、最悪の場合複数個配列されたヘッドを搭載したユニットを交換する場合、バックアップ用の複数個配列されたヘッドを搭載したユニットを早急に交換する必要がある為、インクジェット塗工装置とヘッドの着脱機能も必要となる。このようにインクジェット塗工装置でインクジェットヘッドの安定した吐出をサポートするためにはインクジェットヘッド管理装置を設置する必要がある。
本発明は、上記要望に鑑み考案されたもので、密集して複数個配列されたヘッド吐出口のインキ乾きを起こさないで、吐出ミスのない安定した吐出をサポートするためのインクジェットヘッド管理装置を提供することを目的とする。 The present invention has been devised in view of the above-described demands, and provides an inkjet head management device for supporting stable ejection without causing ejection errors without causing ink drying of a plurality of densely arranged head ejection openings. The purpose is to provide.
本発明に於いて上記課題を達成するために、本発明では、インクジェット塗工装置のインクジェットヘッドの管理を行う装置であって、
少なくとも、
(a)ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット10と、
(c)洗浄部材にてインクジェットヘッド吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット20と、
(b)塗工前のインクジェットヘッドの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット30と、
(d)インクジェット塗工装置からインクジェットヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット40と、
(e)前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置50と、で構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド管理装置としたものである。
In order to achieve the above-mentioned problems in the present invention, the present invention is an apparatus for managing an inkjet head of an inkjet coating apparatus,
at least,
(A) a liquid discharge /
(C) a
(B) a head discharge
(D) a head unit attaching / detaching
(E) A
本発明のインクジェットヘッド管理装置を用いることにより、密集して複数個配列されたヘッド吐出口のインク乾きを起こさないで、吐出ミスのない安定したインキ吐出をサポートすることができる。 By using the inkjet head management device of the present invention, it is possible to support stable ink ejection without ejection errors without causing ink drying of a plurality of densely arranged head ejection openings.
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図1は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の模式構成図を、図2は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の一実施例を示す模式上面図を、図3は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の模式側面図をそれぞれ示す。
本発明のインクジェットヘッド管理装置100は、図1〜図3に示すように、ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット10と、洗浄部材にてインクジェットヘッド吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット20と、塗工前のインクジェットヘッドの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット30と、インクジェット塗工装置からインクジェットヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット40と、前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置50と、で構成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inkjet head management device of the present invention, FIG. 2 is a schematic top view showing an embodiment of the inkjet head management device of the present invention, and FIG. 3 is an inkjet head management device of the present invention. The schematic side view of each is shown.
As shown in FIGS. 1 to 3, the inkjet
液出し・予備吐出ユニット10では、配管内のインクの初期通液、インクジェットヘッド内エア抜き、ヘッド吐出口乾燥防止の為のインターバル液出し等を行う為に排出ポットを設ける。排出ポットは色毎に備えられており、排出口下にタンクが設けられている。
また、インクジェットヘッドより排出されたミスト状インクを収集することを目的としており、ミスト状インクがヘッド吐出面への再付着または周辺への飛散を防止する為ブロアまたは真空発生器等によって排気(収集)を行う。
In the liquid discharge /
The purpose is to collect the mist-like ink discharged from the inkjet head. The mist-like ink is exhausted (collected) by a blower or a vacuum generator in order to prevent the mist-like ink from reattaching to the head ejection surface or scattering to the surroundings. )I do.
ヘッド洗浄ユニット20では、ロール状から繰り出された洗浄部材にてヘッド長手方向に向かって前記シート下より押当ローラによりヘッド吐出面に押当を行うことにより、ヘッド吐出面の汚れを除去する。
In the
ヘッド吐出状態検査ユニット30では、インク浸透性のある受像フィルムを用い、全ヘッド吐出検出用パターンを前記受像フィルムに吐出した後カメラにより吐出検出用パターンを撮像して、吐出欠陥の判定を行う。
The head discharge
ヘッドユニット着脱ユニット40では、インクジェットヘッドユニットを着脱ユニットが備えている移動と昇降手段により、インクジェット塗工装置へのインクジェットヘッドユニットの着脱を行う。
また、着脱ユニットはヘッドユニット交換や緊急時など使用頻度が低い為、独立した走行軸を持たせており、ヘッド方向への横移動と昇降によりインクジェット塗工装置と着脱を行う。
In the head unit attaching / detaching
In addition, since the detachable unit is used less frequently, such as when the head unit is replaced or in an emergency, it has an independent travel axis, and is attached to and detached from the inkjet coating apparatus by lateral movement in the head direction and elevation.
制御装置50は、コンピュータ、ディスプレイ等から構成されており、インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動及び動作制御を行う。
また、ヘッドの管理が必要な場合はヘッドの位置に各処理ユニットが定位置に来るように移動制御を行う。
The
When head management is required, movement control is performed so that each processing unit comes to a fixed position at the head position.
図4は、本発明のインクジェットヘッド管理装置を組み込んだインクジェット塗工装置の一実施例を示す模式上面図である。
インクジェット塗工装置200は、インクジェットヘッドを搭載したヘッドユニット210と基板吸着ステージ220とで構成されており、ヘッドユニット210下を定位置で基板吸着ステージ220がスキャンすることにより塗工を行う。
本発明のインクジェットヘッド管理装置100は、インクジェット塗工装置200の両側に設置されている。
FIG. 4 is a schematic top view showing an embodiment of an inkjet coating apparatus incorporating the inkjet head management apparatus of the present invention.
The ink
The inkjet
インクジェットヘッド管理装置100は、スキャン方向と平行に設置されている。インクジェットヘッド管理装置100に装備された各ユニットは必要に応じて走行機構によりヘッドユニット210下まで移動し、様々な処理を行う。
The inkjet
インクジェットヘッド管理装置100は、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20、ヘッド吐出状態検査ユニット30、ヘッドユニット着脱ユニット40及び制御装置50から構成されている。
液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20及びヘッド吐出状態検査ユニット30は、共通の台車に搭載され、走行軸を持っている。また、ヘッドユニット着脱ユニット40は、単独で走行軸を有し、レール230上を移動し、制御装置50にて任意の位置に停止することができる。
ここでは、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20及びヘッド吐出状態検査ユニット30を共通の台車に、ヘッドユニット着脱ユニット40を単独の台車に設置した事例を示したが、これは、あくまでも一例であって、これに限定されるものではない。
The inkjet
The liquid discharge /
Here, an example in which the liquid discharge /
ヘッドユニット着脱ユニット40を使用する際は、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20、ヘッド吐出状態検査ユニット30が図4の左側に退避してから着脱動作を行う。
When the head unit attachment
図5(a)は、液出し・予備吐出ユニット10の廃液ポットの模式上面図を、図5(b
)は、図5(a)をA−A’線で切断した模式構成断面図を、図6は、液排出部11及びミスト排出部12で発生した廃液のフロー図をそれぞれ示したもので、液排出部11でヘッドユニットへのインク通液、エアパージ、乾燥防止の為の定期的な液出しを行う。廃液は図6に示すように、ドレンタンク14に自然落下させるしくみとなっている。
FIG. 5A is a schematic top view of the waste liquid pot of the liquid discharge /
) Is a schematic sectional view taken along line AA ′ of FIG. 5A, and FIG. 6 is a flow chart of waste liquid generated in the
ミスト排出部12では、塗工前の予備吐出や乾燥防止を目的とした定期的な吐出を行う。ヘッドユニット210とミスト排出部12との間隔は極力接近させミスト飛散を防ぐ(上昇機構は図示せず)。ミスト状インクを吐出した際吐出面に再付着または周辺への飛散を防止するため、真空発生器13により排気(収集)を行う。
The
予備吐出の場合は、施設側の排気ラインと接続を行う。液状インクがそのまま施設側排気ラインに流れ込まないように、施設側とユニット側の間にトラップタンク15を設け、流速を落して液状インクをトラップする。施設側排気ラインとの接続のON/OFFは開閉ダンパ16により行う。
In the case of preliminary discharge, connection is made with the exhaust line on the facility side. A
図7は、ヘッドユニット210吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット20の構成の一例を示す模式構成図を、図8は、ヘッド洗浄ユニット20の模式側面図を、図9は、押当ローラ24を横移動する転位シリンダ26の機能を示す説明図を、図10は、押当ローラ24の押圧機構を示す説明図をそれぞれ示す。
ヘッド洗浄ユニット20では、洗浄液をしみ込ませた洗浄部材21をヘッド吐出面に押し当てることにより、ヘッド吐出面の汚れを除去するもので、洗浄部材21の巻き出しを行う巻出部27aと、洗浄処理の終わった洗浄部材21を巻き取ると巻取部27bとを備えており、洗浄部材21の繰出し、巻取りを行う。
巻出部27aは、例えば機械式のクラッチブレーキを使用し、巻取部27bはサーボモータ等を使用し、送り速度の調整を可能とする。送り量は送り量検知ローラによって行い、ローラ先に接続されたパルスカウンタ等により検知する。
7 is a schematic configuration diagram showing an example of the configuration of the
In the
The unwinding
洗浄部材21の繰出先頭側の裏面側に洗浄液を吐出する固定の洗浄液吐出ローラ23があり、吐出口から洗浄液を洗浄部材21に吐出し、洗浄液を洗浄部材21にしみ込ませる。
洗浄部材21の下面にはインキ浸透防止部材22があり、巻出部28aと巻取部28bを有し、繰出可能な機構となっている。
There is a fixed cleaning
An ink
インキ浸透防止部材22は洗浄部材21に浸透した液が裏回りし、弾性体に付着・汚染しないようになっている。インキ浸透防止部材22の下には複数列配置されたヘッドユニット210のヘッドに対し洗浄部材21とインキ浸透防止部材22を押当可能な押当ローラ24を有している。
The ink
押当ローラ24は、図10に示すように、昇降ベース24aにスライドシャフト24dを立て、押当ローラブロック24b内のスライドガイド24cにより上下動可能な機構になっている。押当圧は押当スプリング24eにより与えられる。押当圧調整ネジ24fにより調整は可能である。
As shown in FIG. 10, the pressing
ヘッド洗浄の指令が発せられるとヘッドユニット210直下に洗浄ユニット20が移動する。
移動と同時に洗浄部材21の巻取部27aを駆動させ、送り量検知ローラによって指定送り量の洗浄部材21を繰出す。その際に洗浄液吐出ローラ23から洗浄液を吐出させ、必要箇所のみ洗浄部材に浸透させる。
When a head cleaning command is issued, the
Simultaneously with the movement, the winding
洗浄部材21の指定送りが完了すると、昇降シリンダ25により押当ローラ24を押し
当てた後、図9に示す転位シリンダ26によりローラを指定位置まで転位させ、昇降シリンダ25を下降、転位シリンダ26を戻す。
When the designated feed of the cleaning
図11は、インクジェット塗工前にヘッドの吐出確認を行うためのヘッド吐出状態検査ユニット30の一例を示す模式構成図である。
ヘッド吐出状態検査ユニット30は、インク浸透性のある受像フィルム31を巻出すための巻出部33aと巻き取るための巻取部33bとを有し、インク浸透性のある受像フィルム31をニップローラ32により繰出を行うとともに、ニップローラ32の巻取側と巻出側の径によらず一定に保つべくテンションコントローラを設置している。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a head discharge
The head discharge
受像フィルム31の裏面側には白色照明320をもうけ検出面の明度を確保する。
検出手順は、まず、制御装置50よりの検査指令とともに必要量の受像フィルム31を繰出す。
In the detection procedure, first, a necessary amount of the
次に、受像フィルム31の繰出しが完了すると液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20及びヘッド吐出状態検査ユニット30を搭載した走行台車がヘッドユニット210に向かって定速移動する。
Next, when the feeding of the
次に、ヘッドユニット210下にヘッド吐出状態検査ユニット30がさしかかったところで、ヘッドユニット210に対して全色吐出検出用パターンの印字指令を行う。
図12に示すように、吐出タイミングを変えながら全色の検出用パターンを受像フィルム31に印字する。
Next, when the head discharge
As shown in FIG. 12, the detection patterns for all colors are printed on the
次に、受像フィルム31に印字された検出用パターンがカメラ310の視野に入るように走行台車を移動させ、停止させる。
Next, the traveling carriage is moved and stopped so that the detection pattern printed on the
次に、カメラ310は受像フィルム21幅方向にスキャンし吐出検出パターンの吐出本数をカウントし、ヘッドユニット210の吐出状態の判定を行う。
吐出状態の判定は輝度で代用して判定する。吐出部は吐出していない部分と比較して輝度が低く、閾値の設定により、吐出欠陥のあるヘッド番地とそのヘッドのノズル番号が検出可能である。
上記一連の動作制御、判定は、制御装置50にて行う。
Next, the
The determination of the discharge state is performed by using luminance instead. The discharge section has a lower brightness than the non-discharge section, and the head address having a discharge defect and the nozzle number of the head can be detected by setting a threshold value.
The series of operation control and determination is performed by the
図13は、ヘッドユニット着脱ユニット40の一実施例を示す模式構成図を、図14は、ヘッドユニット着脱ユニット40の側面図を、図15は、ヘッドユニットの着脱機構を示す部分拡大図をそれぞれ示す。
ヘッドユニット着脱ユニット40は、複数個を配列したヘッドを着脱する為の機構であり、ヘッドユニット210は先頭が球状をした4本の支持ピン42で支持されている。
FIG. 13 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the head unit attaching / detaching
The head unit attaching / detaching
ヘッドユニット210側は、支持ピン42に対応する球状の溝を有している。ヘッドユニット支持ピン42を含む支持ブロック41は、図15に示すエアベアリング44によってフローティングしており、また4本の支持ピン42の位置決めを行うために位置決めシリンダ43により内側から4方向に支持ブロック41を突っ張る。
The
ヘッドユニット210と着脱ユニットの位置がある程度ラフであっても支持ピン42がフローティング状態で位置決めされ、ヘッドユニット210側球状の溝に支持ブロック41の支持ピン42が誘い込まれる。
ヘッドユニット210の着脱動作は、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20、ヘッド吐出状態検査ユニット30を搭載した走行台車をヘッドユニット210の位置より図4に示す左側に退避して行う。
ヘッドユニット着脱ユニットはヘッドユニット210方向へ移動し、リフタ上昇と横移動、リフタ下降の組合せにより着脱動作を行う。
Even if the position of the
The attaching / detaching operation of the
The head unit attachment / detachment unit moves in the direction of the
上記したように、本発明のインクジェットヘッド管理装置を用いることにより、インクジェット塗工装置のヘッドユニットの液出し・予備吐出、ヘッド洗浄、ヘッド吐出状態検査及びヘッドユニットの着脱を、容易に、自動で行うことができるため、密集して複数個配列されたヘッド吐出口のインク乾きを起こさないで、吐出ミスのない安定したインキ吐出をサポートすることができる。 As described above, by using the ink jet head management apparatus of the present invention, liquid discharge / preliminary discharge of the head unit of the ink jet coating apparatus, head cleaning, head discharge state inspection, and attachment / detachment of the head unit can be easily and automatically performed. Therefore, stable ink ejection without ejection errors can be supported without causing ink drying of a plurality of head ejection ports arranged in a dense manner.
10……液出し・予備吐出ユニット
11……液排出部
12……ミスト排出部
13……真空発生器
14……ドレンタンク
15……トラップタンク
16……開閉ダンパ
20……ヘッド洗浄ユニット
21……洗浄部材
22……インク浸透防止材
23……洗浄液吐出ローラ
24……押当ローラ
25……昇降シリンダ
26……転移シリンダ
27a、28a……巻出部
27b、28b……巻取部
30……ヘッド吐出状態検査ユニット
31……受像フィルム
32……ニップローラ
33a……巻出部
33b……巻取部
40……ヘッドユニット着脱ユニット
41……支持ブロック
42……支持ピン
43……位置決めシリンダ
50……制御装置
100……インクジェットヘッド管理装置
200……インクジェット塗工装置
210……ヘッドユニット
220……基板吸着ステージ
230……レール
310……カメラ
320……白色照明
DESCRIPTION OF
Claims (1)
少なくとも、
(a)ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット(10)と、
(b)洗浄部材にてヘッドユニット吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット(20)と、(c)塗工前のヘッドユニットの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット(30)と、
(d)インクジェット塗工装置からヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット(40)と、
(e)前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置(50)と、から構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド管理装置。 An inkjet head management apparatus that manages an inkjet head of an inkjet coating apparatus,
at least,
(A) A liquid discharge / preliminary discharge unit (10) having a drain function for head liquid flow, air purge or periodic liquid discharge, and a function of collecting mist-like ink discharged from the head during preliminary discharge When,
(B) a head cleaning unit (20) for cleaning the head unit discharge surface with a cleaning member; (c) a head discharge state inspection unit (30) for inspecting the discharge state of the head unit before coating;
(D) a head unit attaching / detaching unit (40) for attaching / detaching the head unit from the ink jet coating apparatus;
(E) A control device (50) configured to perform movement and operation control of the various units in cooperation with the ink jet coating device, and an ink jet head management device.
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