JP2008224546A - Automatic cylindrical body inspection method - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 252
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 89
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 33
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
本発明は、光学的手段を使用し、円筒体の表面の二次元画像を得て、画像処理をすることにより行う円筒体の欠陥検査方法に関する。この欠陥検査方法によれば、被検査物の凹凸、突起または汚れ、表面の濃度変化を伴う欠陥の検出・検査、および被検査物の形状の異常に伴い発生する回転振れの検査等を行うことができる。 The present invention relates to a defect inspection method for a cylindrical body which is performed by using an optical means, obtaining a two-dimensional image of the surface of the cylindrical body, and performing image processing. According to this defect inspection method, irregularities, protrusions or dirt on the object to be inspected, detection / inspection of defects accompanied by changes in surface density, inspection of rotational shake that occurs due to abnormality in the shape of the object to be inspected, etc. Can do.
このような円筒体の欠陥検査については、例えば、特開２０００−９４５１号公報（電子写真用感光ドラムの外観検査装置およびそれを用いた外観検査方法）、特開平５−１０７１９７号公報（表面層欠陥検出装置）、および特開２００５−３００５１２号公報（表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法、その方法をコンピュータに実行させるプログラム）等に記載されている。
上記特開２０００−９４５１号公報（特許文献１）に記載されたものは、検査すべき電子写真用感光ドラムの端部を支持することができるように、適宜間隔もって配置された一対の駆動ローラが該感光ドラムの両端部を支持するために一組配置され、これら駆動ローラ上に載置された上記感光ドラムが、該駆動ローラを回転させることでその自重と駆動ローラとの摩擦により回転され、該感光ドラムの表面検査を行うための外観検査が行われるものであって、上記感光ドラムの回転振れによって発生する照射光軸とイメージセンサー走査線のズレを利用して、該イメージセンサーから出力される変動電圧を画像処理装置にて読み取ることにより、回転振れの良否の判定を行っている。
As for the defect inspection of such a cylindrical body, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-9451 (appearance inspection apparatus for electrophotographic photosensitive drum and appearance inspection method using the same), Japanese Patent Laid-Open No. 5-107197 (surface layer). Defect detection device), and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-300512 (surface defect inspection device, surface defect inspection method, program for causing a computer to execute the method), and the like.
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-9451 (Patent Document 1) describes a pair of driving rollers arranged at an appropriate interval so as to support the end of an electrophotographic photosensitive drum to be inspected. Are arranged to support both ends of the photosensitive drum, and the photosensitive drum placed on the driving roller is rotated by friction between its own weight and the driving roller by rotating the driving roller. In addition, an appearance inspection is performed to inspect the surface of the photosensitive drum, and output from the image sensor using a deviation between an irradiation optical axis and an image sensor scanning line generated by the rotational shake of the photosensitive drum. The quality of the rotational shake is determined by reading the fluctuation voltage to be read by the image processing apparatus.
上記特開平５−１０７１９７号公報（特許文献２）に記載されたものは、図１５に示されているように、被検査体（感光体ドラム）４０の表面層（感光層：アンダーコート層＋荷電発生層＋荷電輸送層）４０ａに検査用の帯状光（スリット光）を照射する光照射装置Ｋと、上記表面層４０ａからの上記帯状光の反射光量を検出する多数の受光素子が直線に沿って配置されたラインセンサＳと、このラインセンサＳと上記被検査体４０とを上記多数の受光素子が列設された方向Ｘと垂直な方向Ｚに相対的に移動させる移動装置Ｍとを備えており、上記ラインセンサＳによって検出される上記表面層４０ａからの反射光量により、表面層の欠陥を検出する表面層欠陥検出装置である。
上記光照射装置Ｋは蛍光灯４６、反射鏡４７、およびスリット形成板４８から成り、上記移動装置Ｍは被検査体４０を回転し得るように、歯車４３を持つドラム支持部材４２、および駆動歯車４４を持つステッピングモータ４５から成る。また、上記ラインセンサＳは多数個の受光素子と縮小光学系Ｓaとから成り、Ｘ,Ｙ,Ｚ軸回りの各回転テーブル５１,５２,５３を有するラインセンサ支持装置Ｕに姿勢調整可能に支持されている。なお、符号Ｅは欠陥信号抽出回路である。
As disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-107197 (Patent Document 2), as shown in FIG. 15, the surface layer (photosensitive layer: undercoat layer + A light irradiation device K for irradiating the strip light (slit light) for inspection onto the charge generation layer + charge transport layer 40a and a number of light receiving elements for detecting the amount of reflected light of the strip light from the surface layer 40a in a straight line. A line sensor S disposed along the line sensor S, and a moving device M that relatively moves the line sensor S and the inspection object 40 in a direction Z perpendicular to the direction X in which the plurality of light receiving elements are arranged. And a surface layer defect detection device that detects defects in the surface layer based on the amount of light reflected from the surface layer 40a detected by the line sensor S.
The light irradiation device K includes a fluorescent lamp 46, a reflecting mirror 47, and a slit forming plate 48, and the moving device M has a drum support member 42 having a gear 43 and a drive gear so that the device under test 40 can rotate. A stepping motor 45 having 44. The line sensor S includes a large number of light receiving elements and a reduction optical system Sa, and is supported by a line sensor support device U having rotary tables 51, 52, and 53 about the X, Y, and Z axes so that the posture can be adjusted. Has been. Reference E denotes a defect signal extraction circuit.
また、上記特開２００５−３００５１２号公報（特許文献３）に記載されたものは、図１６に示されているように、感光体ドラムなどの被検査物６２を矢印Ｒ方向に回転させながら、光源６１から光を照射し、その反射光をエリアセンサカメラの第１カメラ６３とラインセンサカメラの第２カメラ６４で撮像する表面欠陥検査装置であり、第１カメラ６３で撮像した画像を反射光位置算出部６６で反射光位置を算出し、この位置変動に基づいて追従制御部６７により第２カメラ６４の視野における相対的位置関係がほぼ一定となるように、第２カメラ６４の位置を位置調整部６５によって調整するものである。上記第１カメラ６３と第２カメラ６４との間の角度βは、第１カメラ６３による光の検出処理時間と追従制御部６７による追従遅れ時間に相当する角度とされている。
このような構成により、第１カメラ６３で直前の被検査物表面の変位状況を検出して、同じ位相で第２カメラ６４を追従制御させることが可能となり、この追従制御させた第２カメラ６４を使って被検査物表面の欠陥検査を行うため、例えば被検査物６２を回転させる回転中心が偏心して、周期的に被検査物表面が変位する場合であっても、常に高精度で欠陥検査を行うことができる。
Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-300512 (Patent Document 3), as shown in FIG. 16, while rotating an object 62 such as a photosensitive drum in the direction of arrow R, This is a surface defect inspection apparatus that irradiates light from a light source 61 and captures the reflected light with the first camera 63 of the area sensor camera and the second camera 64 of the line sensor camera. The image captured by the first camera 63 is reflected light. The reflected light position is calculated by the position calculation unit 66, and the position of the second camera 64 is set so that the relative position relationship in the field of view of the second camera 64 becomes substantially constant by the follow-up control unit 67 based on the position fluctuation. Adjustment is performed by the adjustment unit 65. The angle β between the first camera 63 and the second camera 64 is an angle corresponding to the light detection processing time by the first camera 63 and the tracking delay time by the tracking control unit 67.
With such a configuration, the first camera 63 can detect the displacement state of the surface of the immediately preceding inspection object, and can control the second camera 64 to follow the same phase. Therefore, even when the surface of the inspection object is periodically displaced, the defect inspection is always performed with high accuracy. It can be performed.
そして、円筒体の偏心・回転振れは、一般的に変位計で回転表面の位置変化を検出することにより行うことができる。その事例として、図１７に示されているように、モーターシャフトやコピードラムの偏心測定が紹介されている。上記モーターシャフトの偏心測定（図１７(ａ)を参照）では、回転中のモータ７１のシャフトの位置変化をＣＣＤレーザ変位センサ７２で検出しており、また、上記コピードラムの偏心測定（図１７(ｂ)を参照）は、回転中のコピードラム７４の位置変化を接触式変位センサ７５で検出している。（キーエンス社のＷebサイト、http://www.keyence.co.jp/henni/solution/jirei11.jspを参照）。 The eccentricity / rotational run-out of the cylindrical body can be generally performed by detecting a change in the position of the rotating surface with a displacement meter. As an example, as shown in FIG. 17, the measurement of eccentricity of a motor shaft and a copy drum is introduced. In the measurement of the eccentricity of the motor shaft (see FIG. 17A), the position change of the shaft of the rotating motor 71 is detected by the CCD laser displacement sensor 72, and the eccentricity measurement of the copy drum is performed (see FIG. 17). (see (b)), the contact-type displacement sensor 75 detects a change in the position of the rotating copy drum 74. (See Keyence web site, http://www.keyence.co.jp/henni/solution/jirei11.jsp).
上記特許文献１〜３に示すように、一様な照明手段からの投射光を被測定物表面に照射し、その反射光分布から得られる画像に対して、物体表面の傷や凹凸および汚れ等を検出もしくは検査すること、特に、円筒状の物体においては、撮像素子としてラインセンサを用いて、円筒体を回転して副走査し、これにより得られた表面画像を処理する方法は一般に行われている。
また、複写機やレーザービームプリンタ等の電子写真プロセスを用いた画像生成装置においては、感光体ドラム、現像ローラ、および定着ローラ等の円筒体が使用されているが、このような部品においては表面の欠陥検査と共に、円筒体の偏心・回転振れ精度の検査も行われている。この偏心や回転振れの測定は、一般的にはレーザ変位計や渦電流式の変位計を用いて変位の変化を検出し、その大きさにより良否の判別が行われている。
従来では、外観検査機により回転振れを検出することができないため、回転振れの検出は異なる検出装置を用いており、装置サイズの増大やコストの増大の原因となっていた。
As shown in Patent Documents 1 to 3 above, the surface of the object to be measured is irradiated with the projection light from the uniform illumination means, and the image obtained from the reflected light distribution has scratches, irregularities, dirt, etc. on the object surface In particular, for a cylindrical object, a method of processing a surface image obtained by rotating and sub-scanning a cylindrical body using a line sensor as an image sensor is generally performed. ing.
In addition, in an image generation apparatus using an electrophotographic process such as a copying machine or a laser beam printer, a cylindrical body such as a photosensitive drum, a developing roller, and a fixing roller is used. In addition to defect inspection, cylindrical body eccentricity and rotational runout accuracy are also inspected. In the measurement of the eccentricity and the rotational shake, generally, a change in displacement is detected using a laser displacement meter or an eddy current displacement meter, and the quality is determined based on the magnitude of the change.
Conventionally, since rotational shake cannot be detected by an appearance inspection machine, detection of rotational shake uses a different detection device, which causes an increase in device size and cost.
上記の問題を解決する試みをしたものとして、上記特許文献１に記載されたものが存在する。この特許文献１に記載のものでは、回転振れによって発生する照射光軸とイメージセンサのズレにより発生する反射光量の変化によって検出するものである。
ところが、我々の検査対象において同様の変化を計測したものとして、上記特許文献３の図１７に示されているように、反射光量の変化と輝線からの距離（前記ズレに相当）との関係を表したグラフがある。このグラフから分かるように、輝度と距離の相関はあるものの、ばらつきが大きく、特に輝線からの距離が離れるほど、誤差が大きくなってしまうことが分かる。この特許文献３において輝度で位置を評価できるのは、同一の被検査物の条件を変えて撮像した分布に対して、再度撮像したときの輝度変動を観測しているからであり、現実に連続して生産される被検査物は製造工程のばらつき等により反射率も異なる（同一輝度で１０％以上変動する）ため、輝度変化だけでは回転振れの検査に必要な精度で測定することは難しい。
There exists what was described in the said patent document 1 as what tried to solve said problem. In the device described in Patent Document 1, detection is performed by a change in the amount of reflected light caused by a deviation between an irradiation optical axis generated by rotational shake and an image sensor.
However, as shown in FIG. 17 of Patent Document 3 above, the relationship between the change in the amount of reflected light and the distance from the bright line (corresponding to the above-mentioned deviation) is assumed as a result of measuring the same change in our inspection object. There is a graph. As can be seen from this graph, although there is a correlation between the luminance and the distance, the variation is large, and in particular, the error increases as the distance from the bright line increases. The reason why the position can be evaluated by the luminance in Patent Document 3 is that the luminance variation when the image is taken again is observed for the distribution obtained by changing the conditions of the same object to be inspected. Since the inspection object produced in this way has different reflectivities due to variations in the manufacturing process or the like (varies by 10% or more at the same luminance), it is difficult to measure with the accuracy required for the rotational shake inspection only by the luminance change.
本発明の技術課題は、上記従来技術の問題点を解決するために、被検査物の外観検査と回転振れ検査を、同じ一次元撮像手段を用いる装置構成により高精度で行うことができるように、その検査方法について工夫することである。 The technical problem of the present invention is that, in order to solve the problems of the above-described prior art, the appearance inspection and the rotational shake inspection of the inspection object can be performed with high accuracy by the apparatus configuration using the same one-dimensional imaging means. It is to devise the inspection method.
上記課題を解決するために講じた手段を作用と共に説明する。
(１) 本発明に係る円筒体自動検査方法（請求項１に対応）は、被検査物をその中心軸周りに回転し、その表面にライン状照明手段から該被検査物の中心軸に略平行な光を照射し、その反射光を一次元撮像手段に順次取り込むことにより、該被検査物の表面画像を入力して該被検査物の検査を行う方法であって、
先ず、上記一次元撮像手段をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、
次に、上記一次元撮像手段を上記被検査物の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも該被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、
上記被検査物の外観検査と偏心・回転振れ検査を順次行うことである。
Means taken to solve the above problems will be described together with the action.
(1) In the cylindrical body automatic inspection method according to the present invention (corresponding to claim 1), the object to be inspected is rotated around its central axis, and the surface of the object is substantially aligned with the central axis of the object from the line illumination means. A method of inspecting the inspection object by inputting a surface image of the inspection object by irradiating parallel light and sequentially taking the reflected light into a one-dimensional imaging means,
First, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position substantially parallel to the line-shaped reflected light, and at least an image of one or more rounds of the inspection object is input, and the input appearance inspection image is processed. By performing an appearance inspection of the inspection object,
Next, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position that is inclined with respect to the central axis of the inspection object, and an image of at least one round of the inspection object is input, and this input eccentricity / rotational shake detection From the image, the eccentricity / rotational runout during the rotation of the inspection object is calculated and the eccentricity / rotational runout inspection is performed,
The visual inspection and the eccentricity / rotational run-out inspection of the inspection object are sequentially performed.
このように構成することにより、一次元撮像手段（ラインセンサ）を平行にして、被検査物である円筒体を回転して得られる円筒体表面の画像データから、該円筒体の表面の傷や汚れ等の欠陥を検査し得るとともに、一次元撮像手段を円筒体の回転軸に対して斜めに配置して、円筒体を回転して得られる画像データから、回転振れの特性を検査することができるので、製造コストの低減と検査装置の小型化を実行することができる。
また、一般的に演算量の大きな外観検査処理を画像取得後に直ぐに開始し、この処理中に回転振れ画像の撮像を行うことが可能であるため、１回の検査にかかる処理タクトを上げることができる。
By configuring in this way, from the image data of the cylindrical body surface obtained by rotating the cylindrical body as the inspection object with the one-dimensional imaging means (line sensor) in parallel, In addition to being able to inspect defects such as dirt, it is possible to inspect the characteristics of rotational shake from image data obtained by rotating the cylindrical body by arranging the one-dimensional imaging means obliquely with respect to the rotational axis of the cylindrical body. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost and reduce the size of the inspection apparatus.
In general, the appearance inspection process with a large amount of calculation can be started immediately after the image is acquired, and a rotational shake image can be captured during this process, so that the processing tact for one inspection can be increased. it can.
(２) 本発明に係る円筒体自動検査方法（請求項２に対応）は、被検査物をその中心軸周りに回転し、その表面にライン状照明手段から該被検査物の中心軸に略平行な光を照射し、その反射光を一次元撮像手段に順次取り込むことにより、該被検査物の表面画像を入力して該被検査物の検査を行う方法であって、
先ず、上記一次元撮像手段を上記被検査物の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、
次に、上記一次元撮像手段をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、
上記被検査物の偏心・回転振れ検査と外観検査を順次行うことである。
(2) In the cylindrical body automatic inspection method according to the present invention (corresponding to claim 2), the object to be inspected is rotated around its central axis, and the surface of the object is substantially aligned with the central axis of the object from the line illumination means. A method of inspecting the inspection object by inputting a surface image of the inspection object by irradiating parallel light and sequentially taking the reflected light into a one-dimensional imaging means,
First, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position that is inclined with respect to the central axis of the inspection object, and at least an image of one or more rounds of the inspection object is input. From the image, the eccentricity / rotational runout of the inspection object is calculated and the eccentricity / rotational runout is inspected,
Next, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position substantially parallel to the line-shaped reflected light, and an image of at least one round of the inspection object is input, and the input appearance inspection image is processed. By performing an appearance inspection of the inspection object,
This is to sequentially perform the eccentricity / rotational run-out inspection and the appearance inspection of the inspection object.
このように構成することにより、一次元撮像手段（ラインセンサ）を被検査物である円筒体の回転軸に対して斜めに配置して、該円筒体を回転して得られる画像データから、回転振れの特性を検査し得るとともに、一次元撮像手段を平行にして、該円筒体を回転して得られる円筒体表面の画像データから、該円筒体の表面の傷や汚れ等の欠陥を検査することができるので、製造コストの低減と検査装置の小型化を実行することができる。
また、先に被検査物の回転振れ検査が行われるので、その検出結果によって外観検査画像の撮像位置を制御するような場合に有効である。
With this configuration, the one-dimensional imaging means (line sensor) is arranged obliquely with respect to the rotation axis of the cylindrical body that is the object to be inspected, and rotated from the image data obtained by rotating the cylindrical body. In addition to being able to inspect vibration characteristics, inspect the surface of the cylindrical body for defects such as scratches and dirt from the cylindrical body image data obtained by rotating the cylindrical body with the one-dimensional imaging means in parallel. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost and reduce the size of the inspection apparatus.
Further, since the rotational shake inspection of the inspection object is performed first, it is effective when the imaging position of the appearance inspection image is controlled based on the detection result.
(３) 上記円筒体自動検査方法において、上記被検査物の偏心・回転振れ検査の結果が合格の場合は、引き続き該被検査物の外観検査を行い、不合格の場合は外観検査を行わないようにすることができる。（請求項３に対応）
このような構成により、回転振れの検査結果が不合格である場合には、次の外観検査処理を実行しないので、処理時間を削減することができる。
(3) In the cylindrical automatic inspection method, if the result of the eccentricity / rotational run-out inspection of the inspection object is acceptable, the appearance inspection of the inspection object is continued, and if the result is unacceptable, the appearance inspection is not performed. Can be. (Corresponding to claim 3)
With such a configuration, when the rotational shake inspection result is unacceptable, the next appearance inspection process is not executed, so that the processing time can be reduced.
(４) 上記円筒体自動検査方法において、上記偏心・回転振れ検査を、上記一次元撮像手段を回転軸に垂直な方向に順次移動するとともに、複数回撮像を行うことにより、複数箇所の偏心・回転振れの検査を行うことができる。（請求項４に対応）
このような構成により、一次元撮像手段を回転軸に直交する方向に移動して複数回撮像することができるので、複数の異なる箇所で回転振れ測定を行うことが可能である。
(4) In the cylindrical body automatic inspection method, the eccentricity / rotational shake inspection is performed by sequentially moving the one-dimensional imaging means in a direction perpendicular to the rotation axis, and performing imaging a plurality of times. It is possible to check for rotational runout. (Corresponding to claim 4)
With such a configuration, the one-dimensional imaging means can be moved in the direction orthogonal to the rotation axis and imaged a plurality of times, so that rotational shake measurement can be performed at a plurality of different locations.
(５) 上記円筒体自動検査方法において、少なくとも偏心・回転振れ検出用画像の撮像時に、上記ライン状照明手段が複数のライン状の光を平行に照射し、取得した画像のそれぞれの光に対応する領域ごとに、偏心・回転振れを演算することにより、複数箇所の偏心・回転振れの検査を行うことができる。（請求項５に対応）
このような構成により、複数のライン状の光を平行に照射することができるので、同時に被検査物の異なる位置の偏心や回転振れを検出することが可能となる。
(5) In the automatic cylindrical body inspection method, at least when taking an image for detecting eccentricity / rotational shake, the line-shaped illumination unit irradiates a plurality of line-shaped lights in parallel and corresponds to each light of the acquired image. By calculating the eccentricity / rotational shake for each region to be performed, it is possible to inspect the eccentricity / rotational shake at a plurality of locations. (Corresponding to claim 5)
With such a configuration, it is possible to irradiate a plurality of line-shaped lights in parallel, so that it is possible to simultaneously detect the eccentricity and rotational shake of different positions of the inspection object.
(６) 上記円筒体自動検査方法において、上記偏心・回転振れ検出用画像から回転振れの中央位置を求め、上記外観検査用画像の撮像時における上記一次元撮像手段の位置を、上記偏心・回転振れの中央位置データを用いて変更すること。（請求項６に対応）
このような構成により、回転振れの検査結果から外観検査の撮像位置を変更することができるので、最適な位置で外観検査用画像を撮像することが可能となる。
(6) In the automatic cylindrical body inspection method, a center position of rotational shake is obtained from the eccentricity / rotational shake detection image, and the position of the one-dimensional imaging means at the time of imaging the appearance inspection image is determined as the eccentricity / rotation. Change using center position data of runout. (Corresponding to claim 6)
With such a configuration, since the imaging position of the appearance inspection can be changed from the inspection result of the rotational shake, it is possible to capture the image for appearance inspection at the optimum position.
(７) 上記円筒体自動検査方法において、上記偏心・回転振れ検出用画像から回転振れの複数の中央位置を求め、この複数の中央位置から反射光と円筒体とのなす角度を演算し、上記外観検査用画像の撮像時における上記一次元撮像手段の位置および角度を変更することことができる。（請求項７に対応）
このような構成により、回転振れの検査の結果から、外観検査での一次元撮像手段の角度および撮像位置を変更することができるので、最適な位置と角度で外観検査用画像を撮像することが可能となる。
(7) In the cylindrical body automatic inspection method, a plurality of central positions of rotational shake are obtained from the eccentricity / rotational shake detection image, and an angle formed between the reflected light and the cylindrical body is calculated from the plurality of central positions, It is possible to change the position and angle of the one-dimensional imaging means at the time of imaging the appearance inspection image. (Corresponding to claim 7)
With such a configuration, the angle and the imaging position of the one-dimensional imaging means in the appearance inspection can be changed from the result of the rotational shake inspection, so that the appearance inspection image can be captured at the optimum position and angle. It becomes possible.
本発明の効果を主な請求項について整理すると、次のとおりである。
(１) 請求項１、２に係る発明
外観と回転振れの異なる機能の検査を、同じ一次元撮像手段で行うことにより、センサの購入コストを削減できるばかりでなく、センサ取り付け機構部の簡略化によるコスト削減や、検査装置の小型化を実現することができる。
また、外観検査は位置検出に比較して、人の官能に寄る部分が大きく明確な良否判定が難しいため、実際に自動外観検査機を製造ラインに投入しても、想定している性能が出ない場合もあった。そのため、検査機の導入が遅れたり、導入を見合わせたりする場合も多かった。
しかし、本発明により、ほぼ同じ装置構成にて偏心・回転振れ検査を行うことができるようになったため、自動検査機の導入がし易くなり、実際の生産工程での検査機の稼動ができるので、外観検査処理性能の向上のためのデータも蓄積し易いという、副次的ではあるが大きな効果を生じる。
The main effects of the present invention are summarized as follows.
(1) Inventions according to Claims 1 and 2 By performing inspection of functions having different appearance and rotational shake with the same one-dimensional imaging means, not only can the purchase cost of the sensor be reduced, but also the simplification of the sensor mounting mechanism section. Therefore, the cost can be reduced and the inspection apparatus can be downsized.
In addition, the appearance inspection has a large portion that depends on human sensation compared to position detection, and it is difficult to make a clear pass / fail judgment. Therefore, even if an automatic appearance inspection machine is actually put into the production line, the expected performance is obtained. There was no case. For this reason, there were many cases where the introduction of inspection machines was delayed or delayed.
However, according to the present invention, since eccentricity and rotational run-out inspection can be performed with almost the same apparatus configuration, it becomes easy to introduce an automatic inspection machine, and the inspection machine can be operated in an actual production process. In addition, there is a secondary but significant effect that data for improving the appearance inspection processing performance can be easily stored.
(２) 請求項３に係る発明
回転振れの検出結果が許容値を超えて不良（不合格）となった場合には、次の外観検査処理を実行しないので、処理時間を削減することができ、タクト要求の厳しい生産工程に適用することができる。
(2) The invention according to claim 3 If the result of detection of rotational shake exceeds a permissible value and becomes defective (failed), the next appearance inspection process is not executed, so the processing time can be reduced. It can be applied to production processes with strict tact requirements.
(３) 請求項４に係る発明
一次元撮像手段を回転軸に直交する方向に移動して複数回撮像することにより、複数の異なる箇所で回転振れ測定を行うことができるので、被検査物の回転振れ特性をより詳細に測定することが可能である。
(４) 請求項５に係る発明
照射する光をライン状の複数の平行光とすることにより、一度に異なる箇所の回転振れ測定を行うことができるので、被検査物の回転振れ特性をより詳細に測定することが可能である。
(3) The invention according to claim 4 The rotational shake measurement can be performed at a plurality of different locations by moving the one-dimensional imaging means in the direction orthogonal to the rotation axis and imaging a plurality of times. It is possible to measure the rotational runout characteristic in more detail.
(4) The invention according to claim 5 By making the irradiated light into a plurality of line-shaped parallel lights, it is possible to measure the rotational shake at different places at once, so that the rotational shake characteristics of the inspection object can be more detailed. Can be measured.
(５) 請求項６に係る発明
先に回転振れの検査を行う場合に、この回転振れの検査結果から、外観検査の撮像位置の輝線から位置を変更することにより、最適な位置で外観検査用画像を撮像することができるので、凹凸や傷の検出感度を高くすることが可能である。
(６) 請求項７に係る発明
先に回転振れの検査を行う場合に、この回転振れの検査結果から、外観検査での一次元撮像手段の撮像位置および角度の輝線からの位置を変更することにより、最適な位置で外観検査用画像を撮像することができるので、凹凸や傷の検出感度を高くすることが可能である。
(5) The invention according to claim 6 When the rotational shake inspection is performed first, from the result of the rotational shake inspection, by changing the position from the bright line of the imaging position of the appearance inspection, for the appearance inspection at the optimum position. Since an image can be taken, it is possible to increase the detection sensitivity of unevenness and scratches.
(6) The invention according to claim 7 When the rotational shake inspection is performed first, the imaging position of the one-dimensional imaging means in the appearance inspection and the position from the bright line of the angle are changed from the rotational shake inspection result. As a result, an image for appearance inspection can be taken at an optimal position, so that the detection sensitivity of irregularities and scratches can be increased.
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図６を参照しながら説明する。
被検査物（被検査体）をその中心軸周りに回転し、その表面にライン状照明手段から中心軸に略平行な光を照射し、その反射光を一次元撮像手段（ラインセンサ）に順次取り込むことにより、被検査物の表面画像を入力するための光学系の配置は、上記特許文献２に示されている。
この特許文献２に示された外観検査装置（表面層欠陥検出装置）では、図１５に示されているように、ライン状光源Ｋ、被検査体４０、およびラインセンサＳは、おおよそ平行になるように配置されており、該被検査体４０の表面画像をほぼ一様な条件で取得することが可能である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
The object to be inspected (inspected object) is rotated around its central axis, the surface is irradiated with light substantially parallel to the central axis from the line illumination means, and the reflected light is sequentially applied to the one-dimensional imaging means (line sensor). The arrangement of the optical system for inputting the surface image of the object to be inspected by taking it in is shown in Patent Document 2.
In the appearance inspection apparatus (surface layer defect detection apparatus) disclosed in Patent Document 2, as shown in FIG. 15, the line light source K, the object to be inspected 40, and the line sensor S are approximately parallel. It is possible to acquire the surface image of the device under test 40 under substantially uniform conditions.
本発明の検査方法での画像取得についての概略図を図１に示す。図１(ａ)に示す検査画像撮像時には、上記図１５に示されたものと同様に、ライン状光源１、被検査物３、および多数個の受光素子とレンズから成る一次元撮像手段（ラインセンサ）５が、ほぼ平行となるように一次元撮像手段５の位置を制御する。また、図１(ｂ)に示す偏心・回転振れ検出用の撮像時には、ライン状光源１と被検査物３の位置関係を平行に保ったまま、一次元撮像手段５を傾けることを特徴としている。一次元撮像手段５を傾けたときに得られる画像は、被検査物３の回転時の偏心や回転振れの情報を含有する。一次元撮像手段５を３度傾けたときに得られる画像の例を図２に示す。 FIG. 1 shows a schematic diagram of image acquisition by the inspection method of the present invention. When the inspection image shown in FIG. 1 (a) is imaged, a one-dimensional imaging means (line) comprising a line-shaped light source 1, an object 3 to be inspected, and a number of light receiving elements and lenses, as shown in FIG. Sensor) 5 controls the position of the one-dimensional imaging means 5 so as to be substantially parallel. 1B is characterized in that the one-dimensional imaging means 5 is tilted while keeping the positional relationship between the line-shaped light source 1 and the inspection object 3 in parallel during imaging for detecting eccentricity and rotational shake. . The image obtained when the one-dimensional imaging means 5 is tilted contains information on the eccentricity and rotational shake when the inspection object 3 rotates. An example of an image obtained when the one-dimensional imaging means 5 is tilted by 3 degrees is shown in FIG.
上記図２に示されている画像は、特許文献３に記述されているように、回転振れにより輝線位置とラインセンサの相対位置がずれ、軸方向の濃度分布（輝度分布）がシフトした状態の画像となっている。この特許文献３において示される、輝線の移動に伴う濃度分布の移動量を得るために、先ず、軸方向ラインごとの設定領域内において下記式(１)で表される画像の重心ｇ(ｙ)を求める。ただしｉ(ｙ,ｘ)は画像の輝度を表す。
図４には、上記方法にて得られた軸方向ラインごとの重心値を、図２の画像に重ねて示している。なお、破線で示した矩形が検出領域を示す。
斜めにラインセンサを設置しているから、実際の輝線の移動は、解像度Ａ（μｍ/画素）、相対角度をθとして、
ｈ(ｙ)＝Ａ・sinθ・ｇ(ｙ) [μｍ] ‥‥‥‥‥ (２)
となる。このｈ(ｙ)の最大、最小の幅が偏心・回転振れに相当し、中央値が回転中心位置となる。
また、この現象を図３を用いて簡単に説明する。
図３は、ラインセンサ５を、輝線（軸方向）に対して、角θ傾けた場合の輝線移動と輝度分布の移動のモデルであり、図３(ａ)は輝線とラインセンサとの位置関係を示し、図３(ｂ)は図３(ａ)のラインセンサの輝度分布を示す。
図３(ａ)において、移動前、ラインセンサ５と輝線７がクロスする点が、ラインセンサ上では最も輝度が高く図３(ｂ)の分布の頂点となる。
図３(ａ)に示す方向に輝線移動した場合、クロス点が左下に移動するので、図３(ｂ)に示すように輝度の分布は左に移動する。
FIG. 4 shows the center-of-gravity value for each axial line obtained by the above method, superimposed on the image of FIG. A rectangle indicated by a broken line indicates a detection area.
Since the line sensor is installed diagonally, the actual movement of the bright line is as follows: Resolution A (μm / pixel), relative angle θ
h (y) = A · sinθ · g (y) [μm] (2)
It becomes. The maximum and minimum widths of h (y) correspond to eccentricity and rotational runout, and the median value is the rotation center position.
This phenomenon will be briefly described with reference to FIG.
FIG. 3 is a model of bright line movement and luminance distribution movement when the line sensor 5 is tilted at an angle θ with respect to the bright line (axial direction), and FIG. 3A shows the positional relationship between the bright line and the line sensor. FIG. 3B shows the luminance distribution of the line sensor of FIG.
In FIG. 3 (a), the point where the line sensor 5 and the bright line 7 cross before moving is the highest luminance on the line sensor and becomes the apex of the distribution of FIG. 3 (b).
When the bright line moves in the direction shown in FIG. 3 (a), the cross point moves to the lower left, so that the luminance distribution moves to the left as shown in FIG. 3 (b).
図４に重ねて表示したグラフ部分を図５に再度示す。ラインごとの処理では表面の粗さなどにより、非常にばらついていることが分かる。このため、回転振れの値としては、ローパスフィルタを通すことが望ましい。ここでは、１ラインごとに測定した値と、３０点平均したグラフを併記する。また、ローパスフィルタは、前記のように測定した値に対してかける方法の他に、画像の段階でかける方法等がある。
さらに、図４の画像取得条件（Ａ＝８０，θ＝３度）から、図６に上記式(２)にてμｍに変換し、同じ状態で別途測定したレーザ変位計の測定結果と共に示す。ただし、双方の測定結果のゼロ点が異なるため、ここでは共に平均値が０になるように値にオフセットをかけてある。測定原理や観測している表面状態に差があること等の影響で、グラフの形状は多少異なるが、振幅も含めよい相関があると言える。
なお、上記測定条件では、一画素当たりの偏心・回転振れの移動量が ４[μｍ]＝８０*sin(３°)となる。必要とする測定精度に依存するが、必ずしも(１)式のような多値の重心を求めるような複雑な処理ではなく、２値化し重心を求める方法や、２値化しその中間の位置を求めるという方法を含め、さまざまな処理手法があり、ここでは限定しない。
FIG. 5 shows the graph portion displayed in an overlapping manner in FIG. It can be seen that the line-by-line processing varies greatly due to the roughness of the surface. For this reason, it is desirable to pass a low-pass filter as the value of the rotational shake. Here, a value measured for each line and a graph obtained by averaging 30 points are shown together. In addition to the method of applying the low-pass filter to the value measured as described above, there is a method of applying it at the image stage.
Further, from the image acquisition conditions (A = 80, θ = 3 degrees) in FIG. 4, FIG. 6 shows the measurement results of the laser displacement meter converted into μm by the above equation (2) and separately measured in the same state. However, since the zero points of the two measurement results are different, the values are offset so that the average value is zero. It can be said that there is a good correlation including amplitude, although the shape of the graph is somewhat different due to the influence of the difference in measurement principle and surface condition being observed.
Note that, under the above measurement conditions, the amount of movement of eccentricity / rotational shake per pixel is 4 [μm] = 80 * sin (3 °). Although it depends on the required measurement accuracy, it is not necessarily a complicated process such as calculating the multi-value centroid as shown in equation (1), but a method for obtaining a binary centroid and a binarization and obtaining an intermediate position. There are various processing methods including the method described above, and the processing is not limited here.
以上の議論により、同一の光学系の構成にて、ラインセンサの角度を制御することにより、外観検査用画像と偏心・回転振れ画像を取得できることが分かる。
本発明は、このようにラインセンサの角度を適宜制御することによって、自動検査を実現する検査方法であり、以下に、各実施例について図７〜図１４を参照しながら説明する。
From the above discussion, it can be seen that an appearance inspection image and an eccentricity / rotation shake image can be acquired by controlling the angle of the line sensor with the same optical system configuration.
The present invention is an inspection method that realizes automatic inspection by appropriately controlling the angle of the line sensor in this way, and each example will be described below with reference to FIGS.
先ず、本発明の実施例１の自動検査方法（請求項１に対応）について、図７を参照しながら説明する。図７は自動検査方法の処理シーケンスを示す。
本実施例１の自動検査方法では、先に被検査物（被検査体）３を検査装置（検査機）にセットし（ステップ１）、ラインセンサ５を平行な位置に移動して（ステップ２）、該被検査物３を回転しながら外観検査画像を撮像し（ステップ３）、外観検査処理を行う（ステップ４）。次に、ラインセンサ５を傾けた位置に移動し（ステップ５）、該被検査物３を回転しながら回転振れ画像を撮像し（ステップ６）、偏心・回転振れ検査処理を行う（ステップ７）。次に、上記検査結果を出力すると共に（ステップ８）、該被検査物３を検査装置から取出す（ステップ９）。このような撮像および処理を被検査物３がなくなるまで順次繰り返して行う（ステップ１０）。
この実施例１の自動検査方法では、一般的に演算量の大きな外観検査処理を画像取得後に直ぐに開始し、この処理中に回転振れ画像の撮像を行うことが可能となり、１回の検査にかかる処理タクトを上げることが可能となる。このため、被検査物３を１本ごとバッチ処理するような自動検査装置に適する。
First, an automatic inspection method (corresponding to claim 1) of Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 shows a processing sequence of the automatic inspection method.
In the automatic inspection method of the first embodiment, the inspection object (inspection object) 3 is first set in the inspection apparatus (inspection machine) (step 1), and the line sensor 5 is moved to a parallel position (step 2). ), An appearance inspection image is taken while rotating the inspection object 3 (step 3), and appearance inspection processing is performed (step 4). Next, the line sensor 5 is moved to an inclined position (step 5), a rotational shake image is taken while rotating the inspection object 3 (step 6), and an eccentricity / rotational shake inspection process is performed (step 7). . Next, the inspection result is output (step 8), and the inspection object 3 is taken out from the inspection apparatus (step 9). Such imaging and processing are sequentially repeated until the inspection object 3 disappears (step 10).
In the automatic inspection method according to the first embodiment, an appearance inspection process with a large amount of computation is generally started immediately after image acquisition, and a rotational shake image can be captured during this process, and one inspection is performed. It is possible to increase the processing tact. For this reason, it is suitable for an automatic inspection apparatus that batch-processes the inspected objects 3 one by one.
次に、本発明の実施例２の自動検査方法（請求項２に対応）について、図８を参照しながら説明する。図８は自動検査方法の処理シーケンスを示す。
本実施例２の自動検査方法では、先に、ラインセンサ５を傾けた位置に移動して、回転振れ画像の撮像および偏心・回転振れの検査を行い、次に、ラインセンサ５を平行な位置に移動して外観検査画像の撮像および処理を行っている。
即ち、被検査物（被検査体）３を検査装置（検査機）にセットし（ステップ１１）、ラインセンサ５を傾けた位置に移動し（ステップ１２）、該被検査物３を回転しながら回転振れ画像を撮像し（ステップ１３）、偏心・回転振れ検査処理を行う（ステップ１４）。次に、ラインセンサ５を平行な位置に移動して（ステップ１５）、該被検査物３を回転しながら外観検査画像を撮像し（ステップ１６）、外観検査処理を行う（ステップ１７）。次に、上記検査結果を出力すると共に（ステップ１８）、該被検査物３を検査装置から取出す（ステップ１９）。このような撮像および処理を被検査物３がなくなるまで順次繰り返して行う（ステップ２０）。
Next, an automatic inspection method (corresponding to claim 2) of Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 shows a processing sequence of the automatic inspection method.
In the automatic inspection method according to the second embodiment, the line sensor 5 is first moved to a tilted position, a rotational shake image is captured and the eccentricity / rotational shake is inspected, and then the line sensor 5 is moved to a parallel position. To take and process appearance inspection images.
That is, the inspection object (inspection object) 3 is set in an inspection apparatus (inspection machine) (step 11), the line sensor 5 is moved to an inclined position (step 12), and the inspection object 3 is rotated. A rotational shake image is taken (step 13), and an eccentricity / rotational shake inspection process is performed (step 14). Next, the line sensor 5 is moved to a parallel position (step 15), an appearance inspection image is taken while rotating the inspection object 3 (step 16), and an appearance inspection process is performed (step 17). Next, the inspection result is output (step 18), and the inspection object 3 is taken out from the inspection apparatus (step 19). Such imaging and processing are sequentially repeated until the inspection object 3 disappears (step 20).
この実施例２の自動検査方法は、後述する実施例６、７にあるように、被検査物３の回転振れの検出結果から、外観検査画像の撮像位置を制御するような場合に有効なシーケンスである。なお、このシーケンスにおいては、単体の被検査物の処理時間が上記実施例１よりも長くなるが、連続して検査を行う場合等には、画像処理中に次の被検査物の撮像を行うことにより、上記実施例１と同等の処理時間を実現することが可能である。 The automatic inspection method according to the second embodiment is an effective sequence when the imaging position of the appearance inspection image is controlled based on the detection result of the rotational shake of the inspected object 3 as in the sixth and seventh embodiments described later. It is. In this sequence, the processing time of a single object to be inspected is longer than that in the first embodiment. However, when inspecting continuously, the next object to be inspected is imaged during image processing. Thus, it is possible to realize a processing time equivalent to that in the first embodiment.
本発明の実施例３の自動検査方法（請求項３に対応）について、図９を参照しながら説明する。図９は自動検査方法の処理シーケンスを示す。
本実施例３の自動検査方法は、上記実施例２（図８を参照）と同様であるが、回転振れの検査結果が許容値を超えて不良となった場合には、その被検査物の外観検査処理を実行することなく（ステップ２５）、上記回転振れの検査結果を出力する（ステップ２９）。これにより、処理時間を削減することができ、タクト要求の厳しい生産工程に適用することができる。
An automatic inspection method (corresponding to claim 3) of Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 shows a processing sequence of the automatic inspection method.
The automatic inspection method of the third embodiment is the same as that of the second embodiment (see FIG. 8). However, when the rotational shake inspection result exceeds the allowable value and becomes defective, the inspection object is inspected. Without executing the appearance inspection process (step 25), the inspection result of the rotational shake is output (step 29). Thereby, processing time can be reduced and it can apply to the production process with a severe tact request | requirement.
本発明の実施例４の自動検査方法（請求項４に対応）について、図１０を参照しながら説明する。図１０は自動検査方法において、ラインセンサを移動することによって、複数の異なる観測位置で撮像する場合の概念図である。
上記特許文献３に記述されるように、傷や凹凸に対する検出感度が輝線からの距離によって大きく変化するため、外観検査装置においては一次元撮像手段（ラインセンサ）を、周方向に移動する機構を備えているものが多い。
本実施例４では、このような機構を用いて、ラインセンサ５を斜めにした状態で回転軸と直交する方向に該ラインセンサ５を移動し、複数回撮像することによって、回転振れの観測位置が変わるので、被検査物（被検査体）の異なる位置での偏心や回転振れを検出することが可能となる。
この実施例４における自動検査方法の処理シーケンスは、上記実施例１〜３（図７〜９を参照）の場合と同様である。
An automatic inspection method (corresponding to claim 4) of Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a conceptual diagram in the case of imaging at a plurality of different observation positions by moving the line sensor in the automatic inspection method.
As described in Patent Document 3, since the detection sensitivity for scratches and unevenness greatly varies depending on the distance from the bright line, a mechanism for moving the one-dimensional imaging means (line sensor) in the circumferential direction is used in the appearance inspection apparatus. Many are equipped.
In the fourth embodiment, using such a mechanism, the line sensor 5 is moved in the direction orthogonal to the rotation axis in a state where the line sensor 5 is inclined, and the rotational vibration observation position is obtained by imaging a plurality of times. Therefore, it is possible to detect the eccentricity and rotational shake at different positions of the inspection object (inspection object).
The processing sequence of the automatic inspection method in the fourth embodiment is the same as that in the first to third embodiments (see FIGS. 7 to 9).
本発明の実施例５の自動検査方法（請求項５に対応）について、図１１を参照しながら説明する。図１１は自動検査方法において、複数のライン状の光を照射して複数箇所の観測を同時に行う場合の概念図である。
偏心および回転振れの検出は、一次元撮像手段の一部分に取り込まれる最も明るい部分の近傍でのみ処理を行っている。
このため、本実施例５では、図１１に示すように複数のライン状の光を平行に照射することによって、同時に被検査物３の異なる位置の偏心や回転振れを検出することが可能となる。複数のライン状の光は、実際に複数の光源を設置して照射する方法の他に、光源前に複数スリット持つスリット形成板を置く方法等が考えられる。また、このスリット形成板を待避させる機構を加えて、実回転振れ測定時と外観検査撮像時において出し入れする方法や、入れたままで外観検査をする方法もある。
この実施例５における自動検査方法の処理シーケンスは、上記実施例１〜３（図７〜９を参照）の場合と同様である。
An automatic inspection method (corresponding to claim 5) of Embodiment 5 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a conceptual diagram in the case of simultaneously observing a plurality of locations by irradiating a plurality of lines of light in the automatic inspection method.
The detection of the eccentricity and the rotational shake is performed only in the vicinity of the brightest part taken into a part of the one-dimensional imaging means.
For this reason, in the fifth embodiment, as shown in FIG. 11, by irradiating a plurality of line-shaped lights in parallel, it becomes possible to simultaneously detect the eccentricity and rotational shake of different positions of the inspection object 3. . In addition to a method of actually installing a plurality of light sources and irradiating a plurality of line-shaped lights, a method of placing a slit forming plate having a plurality of slits in front of the light sources can be considered. In addition, there is a method for adding / removing the slit-forming plate to take it in / out at the time of actual rotation shake measurement and appearance inspection imaging, and a method for inspecting appearance while it is put in.
The processing sequence of the automatic inspection method in the fifth embodiment is the same as that in the first to third embodiments (see FIGS. 7 to 9).
本発明の実施例６の自動検査方法（請求項６に対応）について、図１２を参照しながら説明する。図１２は自動検査方法の処理シーケンスを示す。
上記特許文献３に記述されているように、傷や凹凸に対する検出感度は輝線からの距離によって大きく変化する。本実施例６は、被検査物（被検査体）の撮像位置をワークごとに調整する方法に特徴を有する。
この実施例６の自動検査方法では、上記実施例２の処理シーケンス（図８を参照）において、回転振れ演算（ステップ４４）を行った後、振れ幅だけではなくその回転振れの中心位置を求め、この測定位置から一次元撮像手段（ラインセンサ）の位置を決定し（ステップ４５）、軸と直交方向に移動してから（ステップ４７）外観検査画像を撮像する（ステップ４８）。回転振れの中央位置と一次元撮像手段の位置との関係は、対応するマップを用意する方法や、簡単にするには直線変換する方法等が考えられる。
なお、直線変換は、撮像位置＝Ｋ1＊振れ中央位置＋Ｋ2（Ｋ1は比例定数、Ｋ2はオフセット量）で表すことが可能ある。図１２では、回転振れの検査結果によらず外観検査を行うシーケンスを示すが、回転振れの検査結果が不良の場合に、上記実施例３（図９を参照）と同様に外観検査を行わないようにすることも、勿論可能である。
An automatic inspection method (corresponding to claim 6) of Embodiment 6 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 shows a processing sequence of the automatic inspection method.
As described in Patent Document 3, the detection sensitivity with respect to scratches and irregularities greatly varies depending on the distance from the bright line. The sixth embodiment is characterized by a method of adjusting the imaging position of an object to be inspected (inspected object) for each work.
In the automatic inspection method of the sixth embodiment, after performing the rotational shake calculation (step 44) in the processing sequence of the second embodiment (see FIG. 8), not only the runout width but also the center position of the rotational shake is obtained. Then, the position of the one-dimensional imaging means (line sensor) is determined from this measurement position (step 45), and after moving in the direction orthogonal to the axis (step 47), an appearance inspection image is captured (step 48). Regarding the relationship between the center position of the rotational shake and the position of the one-dimensional imaging means, a method of preparing a corresponding map, a method of performing a straight line conversion, or the like can be considered.
Note that the linear transformation can be expressed by imaging position = K1 * center of shake + K2 (K1 is a proportionality constant and K2 is an offset amount). FIG. 12 shows a sequence for performing an appearance inspection regardless of the rotational shake inspection result. However, when the rotational shake inspection result is defective, the appearance inspection is not performed as in the third embodiment (see FIG. 9). Of course, it is also possible to do so.
本発明の実施例７の自動検査方法（請求項７に対応）について、図１３および図１４を参照しながら説明する。図１３は自動検査方法の処理シーケンスを示し、図１４は被検査物の傾き角度の算出方法に関する説明図である。
上記特許文献３に記述されているように、傷や凹凸に対する検出感度は輝線からの距離によって大きく変化する。本実施例７は、被検査物の撮像位置に加え、角度もワークごとに調整する方法に特徴を有する。
この実施例７の自動検査方法では、上記実施例２の処理シーケンス（図８を参照）において、複数位置の回転振れ幅および中心位置の演算を行った後、求めた複数の中央位置から被検査物の傾きを算出し、角度の補正量を求める（ステップ６５）。その後、一次元撮像手段の位置および角度を補正移動した後（ステップ６７）、外観検査画像を撮像する。
An automatic inspection method (corresponding to claim 7) of Embodiment 7 of the present invention will be described with reference to FIG. 13 and FIG. FIG. 13 shows a processing sequence of the automatic inspection method, and FIG. 14 is an explanatory diagram regarding a method of calculating the tilt angle of the inspection object.
As described in Patent Document 3, the detection sensitivity with respect to scratches and irregularities greatly varies depending on the distance from the bright line. The seventh embodiment is characterized in that the angle is adjusted for each work in addition to the imaging position of the inspection object.
In the automatic inspection method of the seventh embodiment, in the processing sequence of the second embodiment (see FIG. 8), after calculating the rotational shake width and the center position at a plurality of positions, the inspection target is obtained from the plurality of center positions obtained. The inclination of the object is calculated, and an angle correction amount is obtained (step 65). Thereafter, after correcting and moving the position and angle of the one-dimensional imaging means (step 67), an appearance inspection image is taken.
角度の算出方法の例として、上記実施例２（図８を参照）において２箇所で回転振れを検出した場合の算出方法を、図１４を用いて説明する（簡単にするために、左側の観測位置は固定してある）。また、被検査物３の中心軸が傾くことにより輝線７が傾くことになるが、この図１４では図面が煩雑になるのを避けるために、傾いた被検査物は図示しておらず、傾いた輝線７’のみを破線で示している。
先ず、被検査物３に傾きが無い場合について、三角形Ｉを用いて解説する。斜めの観察角をθとして、ラインセンサ５を直交方向にΔＤ移動すると、該ラインセンサ上ではsinθ／ΔＤ動き、このとき被検査物３上ではΔＤ＊tanθずれた位置を観測する。
次に、傾いた輝線７'を破線で示すように、被検査物３が傾いた場合について三角形IIに着目して考察すると、該ラインセンサ５上での２点の振れ中心位置が、想定していた値sinθ／ΔＤからΔＸ変動したときに、輝線の位置はΔＸ＊sinθずれていることになる。図１４の下側に示した拡大図から、被検査物の傾きはtanφ＝ΔＸ＊sinθ／（ΔＤ＊tanθ＋ΔＸ＊cosθ）として求めることができる。
また、外観検査は周方向の解像度を確保するために、１回転で１０００ライン以上の入力が必要になるが、回転振れの測定には、それほど分解能が必要でない場合もあり、そのようなラインセンサが斜めの撮像時には、回転速度を早くして全体のタクトを向上する方法も適用することができる。
As an example of an angle calculation method, a calculation method in the case where rotational shake is detected at two locations in the second embodiment (see FIG. 8) will be described with reference to FIG. The position is fixed). In addition, the bright line 7 is tilted when the central axis of the inspection object 3 is tilted. In FIG. 14, the tilted inspection object is not shown in FIG. Only the bright line 7 'is indicated by a broken line.
First, the case where the inspection object 3 has no inclination will be described using the triangle I. When the line sensor 5 is moved by ΔD in the orthogonal direction with an oblique observation angle θ, a sin θ / ΔD movement is observed on the line sensor, and at this time, a position shifted by ΔD * tan θ is observed on the inspection object 3.
Next, as shown by the broken bright line 7 ′ by a broken line, the case where the inspection object 3 is tilted is considered by focusing on the triangle II, and the two shake center positions on the line sensor 5 are assumed. When the value sinθ / ΔD changes by ΔX, the position of the bright line is shifted by ΔX * sinθ. From the enlarged view shown on the lower side of FIG. 14, the inclination of the inspection object can be obtained as tan φ = ΔX * sin θ / (ΔD * tan θ + ΔX * cos θ).
In addition, in order to ensure circumferential resolution, visual inspection requires input of 1000 lines or more in one rotation. However, resolution may not be so necessary for measurement of rotational shake. However, when imaging is oblique, a method of improving the overall tact by increasing the rotation speed can be applied.
１…ライン状照明手段（光源） ３…被検査物（被検査体）
５…一次元撮像手段（ラインセンサ） ７，７’…輝線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Line-like illumination means (light source) 3 ... Inspection object (inspection object)
5 ... One-dimensional imaging means (line sensor) 7, 7 '... Bright line
Claims (7)
先ず、上記一次元撮像手段をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、
次に、上記一次元撮像手段を上記被検査物の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも該被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、
上記被検査物の外観検査と偏心・回転振れ検査を順次行うことを特徴とする円筒体自動検査方法。 By rotating the inspection object around its central axis, irradiating the surface with light substantially parallel to the central axis of the inspection object from the line illumination means, and sequentially taking the reflected light into the one-dimensional imaging means, A method of inspecting the inspection object by inputting a surface image of the inspection object,
First, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position substantially parallel to the line-shaped reflected light, and at least an image of one or more rounds of the inspection object is input, and the input appearance inspection image is processed. By performing an appearance inspection of the inspection object,
Next, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position that is inclined with respect to the central axis of the inspection object, and an image of at least one round of the inspection object is input, and this input eccentricity / rotational shake detection From the image, the eccentricity / rotational runout during the rotation of the inspection object is calculated and the eccentricity / rotational runout inspection is performed,
An automatic cylindrical body inspection method characterized by sequentially performing an appearance inspection and an eccentricity / rotational vibration inspection of the inspection object.
先ず、上記一次元撮像手段を上記被検査物の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、
次に、上記一次元撮像手段をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、
上記被検査物の偏心・回転振れ検査と外観検査を順次行うことを特徴とする円筒体自動検査方法。 By rotating the inspection object around its central axis, irradiating the surface with light substantially parallel to the central axis of the inspection object from the line illumination means, and sequentially taking the reflected light into the one-dimensional imaging means, A method of inspecting the inspection object by inputting a surface image of the inspection object,
First, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position that is inclined with respect to the central axis of the inspection object, and at least an image of one or more rounds of the inspection object is input. From the image, the eccentricity / rotational runout of the inspection object is calculated and the eccentricity / rotational runout is inspected,
Next, the one-dimensional imaging means is moved to a predetermined position substantially parallel to the line-shaped reflected light, and an image of at least one round of the inspection object is input, and the input appearance inspection image is processed. By performing an appearance inspection of the inspection object,
An automatic cylindrical body inspection method comprising sequentially performing eccentricity / rotational run-out inspection and appearance inspection of the inspection object.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007065669A JP4859127B2 (en) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | Cylindrical automatic inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007065669A JP4859127B2 (en) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | Cylindrical automatic inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008224546A true JP2008224546A (en) | 2008-09-25 |
| JP4859127B2 JP4859127B2 (en) | 2012-01-25 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007065669A Expired - Fee Related JP4859127B2 (en) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | Cylindrical automatic inspection method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4859127B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110793455A (en) * | 2018-08-01 | 2020-02-14 | 株式会社三丰 | Roundness measuring device, measurement guide system, and measurement guide method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5714627B2 (en) * | 2013-02-28 | 2015-05-07 | 新日本工機株式会社 | Cylindrical inspection device |
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-
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- 2007-03-14 JP JP2007065669A patent/JP4859127B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4859127B2 (en) | 2012-01-25 |
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| A977 | Report on retrieval |
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