JP2008214072A - 物品処理設備 - Google Patents

Abstract

【課題】物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理できる物品処理設備を提供すること。
【解決手段】物品仮置き用の一対の物品載置体２８Ｔが、移動経路２側に突出する突出位置と移動経路２Ｔから離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、物品搬送体３が、物品移載箇所に停止した状態において、突出位置の物品載置体２８Ｔに対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成され、運転制御手段が、物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すときには、保持した搬入用の物品を一対の物品載置体２８Ｔの一方に仮置きした後、物品搬出入部７に位置する搬出用の物品を一対の物品載置体２８Ｔの他方に仮置きし、次に、仮置きした搬入用の物品を物品搬出入部７に受け渡すように、物品搬送体３及び一対の物品載置体２８Ｔの作動を制御するように構成されている物品処理設備。
【選択図】図１

Description

本発明は、物品処理装置に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体に、物品保持する保持状態と物品の保持を解除する解除状態とに切換え自在な物品保持部が、昇降自在に設けられ、運転制御手段が、前記物品処理装置の物品搬出入部に対して物品の搬出入を行うときには、前記物品移載箇所に停止させるべく前記物品搬送体の走行作動を制御し、且つ、前記物品搬出入部への物品の受け渡し又は前記物品搬出入部からの物品の受け取りを行うべく、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動を制御するように構成されている物品処理設備に関する。

上記のような物品処理設備の従来例として、物品仮置き用の物品載置体が、物品移載箇所に停止した物品搬送体に対して物品を授受すべく移動経路の片脇に設けられ、物品搬送体に、昇降体を移動経路の横脇に横移動させる横移動操作機構が設けられ、物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成され、前記運転制御手段が、前記物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡すときには、保持した搬入用の物品を物品載置体に仮置きした後、前記物品搬出入部に位置する搬出用の物品を目標搬送箇所に搬送するべく、前記横移動操作機構の横移動操作作動、前記物品保持部の昇降作動、前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動を制御するように構成されたものがある（例えば、特許文献１参照。）。

上記従来の物品処理設備では、前記運転制御手段が、物品搬送体が物品載置体に仮置きした搬入用の物品を、物品を保持しない状態の物品搬送体により物品搬出入部に受け渡すために、当該搬入用の物品を仮置きした物品搬送体を当該物品搬出入部に対する物品移載箇所から走行させた後に、物品を保持しない状態の物品搬送体を改めて当該物品移載箇所に走行させ、仮置きされている搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すべく、当該物品移載箇所に停止している物品搬送体の作動を制御することになる。

また、特許文献１には、仮置き用の物品載置体を物品搬出入部の付近に複数設けることで、搬入用の物品を仮置きした後、物品搬出入部に位置する搬出用の物品を搬入用の物品が仮置きされている物品載置体とは別の物品載置体に仮置きし、その後、仮置きした搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すべく、物品搬送体の作動を制御することが記載されている。

このように物品移載箇所付近に物品仮置き用の物品載置体を複数設けることで、物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態においても、搬入用の物品を保持した物品搬送体により搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すことを可能とし、物品搬送体による物品処理態様の多様化を図っている。

上記従来の物品処理設備において、仮置き用の物品載置体を物品搬出入部の付近に複数設ける場合には、特許文献１において参照されている特許第３０６７６５６号公報の図９の記載からすると、物品搬送体の移動経路方向で物品処理装置の物品搬出入部を挟んで前後に異なる位置に一対の物品載置体を配置することが考えられる。

特開２００６−５４３８９号公報

しかしながら、上記従来の物品処理設備は、仮置き用の物品載置体を移動経路の片脇の一個所又は移動経路方向で前後に異なる複数箇所に設けるものであるため、以下のような問題があった。

すなわち、まず、仮置き用の物品載置体を移動経路の片脇の一個所に設けるものである場合、上述のように、仮置きした搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すためには、物品を保持していない物品搬送体を改めて物品移載箇所に走行させなければならない。この場合、搬入用の物品を仮置きした物品搬送体が処理を終えてから対応するか、搬入用の物品を仮置きした当該物品搬送体でない別の物品搬送体が対応することになる。何れにしても、仮置きされている搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すために当該物品処理装置に関する新たな物品搬送指令が発生することから、限られた物品搬送体のうち他の物品処理装置に関する物品搬送指令に割り付けることができる物品搬送体の数が減少するので、複数の物品処理装置について並列的に処理を行う能力が低下してしまい、全体としての搬送効率が悪化する。

また、仮置き用の物品載置体を移動経路の片脇で移動経路方向の前後に異なる複数箇所に設けるものである場合、例えば移動経路方向で上流側に位置する物品載置体に搬入用の物品を仮置きするものとすると、仮置きした搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すためには、運転制御手段は、物品搬送体の作動を次のように制御する。

すなわち、上流側の物品載置体に対する停止位置に停止した状態で当該物品載置体に搬入用の物品を仮置きした後、物品移載箇所に前進移動して物品搬出入部に位置する搬出用の物品を受け取り、その後、下流側の物品載置体に対する停止位置まで前進走行し、この停止位置に停止した状態で下流側の物品載置体に搬出用の物品を仮置きする。そして、搬入用の物品が仮置きされた上流側の物品載置体に対する停止位置まで後退走行又は再度周回走行し、この停止位置に停止した状態で上流側の物品載置体に仮置きされた搬入用の物品を取り出し、その後、物品移載箇所に前進走行して物品搬出入部に搬入用の物品を受け渡すように、運転制御手段が物品搬送体の作動を制御する。

このように、仮置き用の物品載置体を移動経路の片脇において移動経路方向で前後に異なる複数箇所に設けるものである場合、搬入用の物品の仮置き、搬出用の物品の仮置き、搬入用の物品の取り出し、搬入用の物品の受け渡しの各処理を行う際に物品搬送体の走行作動を伴うため、最終的に搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すまでに長い時間を要するものであり、搬送効率を悪化させるものであった。

また、従来の物品処理設備では、物品を物品載置体に仮置きする場合には、物品保持部を移動経路の横脇に配置された物品載置体上に位置させて昇降作動させるべく、横移動操作機構にて物品保持部を水平移動操作させるので、物品保持部の水平移動操作が完了した後の揺れの影響を回避するべく、仮置き作業用昇降位置における物品保持部の昇降作動を開始させるまでに所定の待機時間が必要となる場合があり、これによっても、物品搬出入部に対する物品の搬出入に要する時間が長くなるおそれがある。

本発明は上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理できる物品処理設備を提供する点にある。

本発明にかかる物品処理設備は、物品処理装置に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体に、物品保持する保持状態と物品の保持を解除する解除状態とに切換え自在な物品保持部が、昇降自在に設けられ、運転制御手段が、前記物品処理装置の物品搬出入部に対して物品の搬出入を行うときには、前記物品移載箇所に停止させるべく前記物品搬送体の走行作動を制御し、且つ、前記物品搬出入部への物品の受け渡し又は前記物品搬出入部からの物品の受け取りを行うべく、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動を制御するように構成されているものであって、
その第１特徴構成は、物品仮置き用の一対の物品載置体が、前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体に対して物品を授受すべく前記移動経路側に突出する突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成され、
前記運転制御手段が、前記物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡すときには、保持した搬入用の物品を一対の前記物品載置体の一方に仮置きした後、前記物品搬出入部に位置する搬出用の物品を一対の前記物品載置体の他方に仮置きし、次に、仮置きした前記搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡すように、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動、並びに、一対の前記物品載置体の出退作動を制御するように構成されている点にある。

本発明の第１特徴構成によると、制御手段が、物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すときには、物品搬送体を物品移載箇所に停止させた状態において、一対の物品載置体の一方を突出位置にすべく一対の物品載置体の出退作動を制御し、かつ、突出位置に位置させた一対の物品載置体の一方に、保持した搬入用の物品を仮置きすべく、物品保持部の昇降作動及び物品保持部の保持状態と解除状態との切換え作動を制御する。

そして、搬入用の物品が仮置きされた物品載置体を引退位置に戻すべく一対の物品載置体の出退作動を制御するとともに、物品搬出入部に位置する搬出用の物品を受け取るべく物品保持部の昇降作動及び物品保持部の保持状態と解除状態との切換え作動を制御する。

その後、一対の物品載置体の他方を突出位置にすべく一対の物品載置体の出退作動を制御し、かつ、突出位置に位置させた一対の物品載置体の他方に保持している搬出用の物品を仮置きすべく、物品保持部の昇降作動及び物品保持部の前記保持状態と解除状態との切換え作動を制御する。

そして、搬出用の物品が仮置きされた物品載置体を引退位置に戻した後、仮置きされている搬入用の物品を取り出すために搬入用の物品が仮置きされている物品載置体を突出位置にするべく一対の物品載置体の出退作動を制御し、かつ、突出位置に位置させた一対の物品載置体の一方に載置されている搬入用の物品を保持するべく物品保持部の昇降作動及び物品保持部の保持状態と解除状態との切換え作動を制御する。

搬入用の物品を取り出した後、これが仮置きされていた物品載置体を引退位置に戻すべく一対の物品載置体の出退作動を制御するとともに、物品搬出入部に対して搬入用の物品を受け渡すべく物品保持部の昇降作動及び物品保持部の保持状態と解除状態との切換え作動を制御する。

このように、一対の物品載置体の何れか一方を移動経路側に突出させて突出位置にすることで、物品搬送体が物品移載箇所に停止した状態において、突出位置の物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うことができる。つまり、搬入用の物品の仮置き動作は、物品搬送体が物品移載箇所に位置した状態で行われるので、制御手段は、物品搬送体を走行させることなくそのままの停止位置に停止させた状態で、物品搬出入部に位置する搬出用の物品を受け取らせることができる。

したがって、制御手段は、物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡す場合に、物品搬送体が物品移載箇所に停止した状態において、保持した搬入用の物品を一対の物品載置体の一方に仮置きする仮置き動作を完了することができる。

そして、物品搬送体が物品移載箇所に位置した状態であれば、制御手段は、一対の物品載置体のうち他方の物品載置体を突出位置に突出させることで、物品搬送体が保持している物品を一対の前記物品載置体の他方に仮置きできるので、制御手段は、搬入用の物品を一対の物品載置体の一方に仮置きした後、物品搬送体を走行させることなく、物品搬出入部に位置する搬出用の物品を一対の物品載置体の他方に仮置きすることができる。

要するに、本発明の第１特徴構成によると、物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡す場合に、搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すべく物品搬送体を物品移載箇所まで走行させれば、その後、物品搬送体を走行させることなく、保持した搬入用の物品を一対の物品載置体の一方に仮置きすること、物品搬出入部に位置する搬出用の物品を一対の物品載置体の他方に仮置きすること、及び、仮置きした搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡すことの各作業を処理することができ、物品搬送体の走行作動を伴わない分、物品搬出入部に対する物品の搬出入を迅速に処理することができる。

また、物品保持部は物品搬送体に昇降自在に設けられているので、物品搬送体が物品移載箇所に停止すると、物品保持部の昇降経路が定まる。そして、物品搬送体が物品移載箇所に停止した後は、物品搬送体が走行作動することなく物品載置体への物品の仮置きや、物品搬出入部に対する物品の受け渡しが行われるので、物品搬送体が停止したままの状態が維持される。したがって、物品載置体への物品の仮置きや、物品搬出入部に対する物品の受け渡しをする際に、物品保持部を安定して昇降作動させることができる。

ここで、物品載置体に物品を仮置きする場合には、物品載置体の所定の位置に精度よく載置することが求められる。ところが、従来のように仮置き作業において物品保持部の横移動を伴うものであると、物品載置体に対する物品保持部の位置が揺らいで安定しない虞があり、物品載置体の所定の位置に精度よく物品を載置するためには、例えば、揺れが収まるまで待機する等、物品保持部の横移動に起因する揺れに対する対策を取らなければならず、物品の仮置きを迅速に行えない。物品載置体に仮置きされた物品を物品保持部にて保持させる場合についても同様に、物品載置体に対する物品保持部の位置の揺れに対する対策を取らなければならず、物品保持部にて物品を迅速に保持させることができない。

これに対して、本発明の第１特徴構成によると、物品を物品載置体に仮置きする場合、物品保持部は昇降作動するだけで突出位置に位置する物品載置体に物品を載置することができるので、物品保持部を昇降作動させる場合の突出位置に位置する物品載置体に対する物品保持部の位置を安定させることができる。したがって、物品載置体に対する物品保持部の位置が安定するまで待機する等の対策を取らなくても、物品載置体の所定の位置に精度よく物品を載置することができ、物品を迅速にかつ的確に仮置きすることができる。また、物品載置体に仮置きされた物品を物品保持部にて保持する場合についても同様に、物品載置体に対する物品保持部の位置が安定するまで待機する等の対策を取らなくても、物品保持部にて物品を迅速かつ的確に保持することができる。

このように、本発明の第１特徴構成によると、物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理できる物品処理設備を得るに至った。

本発明の第２特徴構成は、本発明の第１特徴構成において、前記運転制御手段が、前記搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡したのち、仮置きした前記搬出用の物品を目標搬送箇所に搬送すべく、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動、前記物品載置体の出退作動、並びに、前記物品搬送体の走行作動を制御するように構成されている点にある。

本発明の第２特徴構成によると、搬入用の物品を物品搬出入部に受け渡して物品を保持しない状態となった物品搬送体が、仮置きした搬出用の物品を目標搬送箇所に搬送するので、仮置きされた搬出用の物品を目標搬送箇所に搬送するに当たって、物品を保持していない別の物品搬送体を物品移載箇所まで走行作動させることなく、当該物品移載箇所に位置している物品搬送体にて物品を目標搬送箇所に搬送することができる。

したがって、仮置きされた搬出用の物品を迅速に目標搬送箇所に搬送することができるとともに、物品搬送体が物品を保持しない状態で走行作動することを極力防止でき、運転効率の向上を図ることができる。

このように、本発明の第２特徴構成によると、物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理でき、しかも、運転効率の向上を図ることができる物品処理設備を得るに至った。

本発明の第３特徴構成は、本発明の第１又は第２特徴構成において、前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられ、前記運転制御手段が、前記物品載置体の出退作動のために前記出退操作手段の作動を制御するように構成されている点にある。

本発明の第３特徴構成によると、制御手段は、物品搬送体に設けられた出退操作手段の作動を制御することにより、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退操作することができるので、物品載置体の夫々に出退操作用電力を供給するための給電手段や、制御指令を指令するため指令伝達手段を設けずに済む。したがって、物品処理設備の構成の簡素化を図ることができる。

このように、本発明の第３特徴構成によると、物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理でき、しかも、物品処理設備の構成の簡素化を図ることができる物品処理設備を得るに至った。

本発明の第４特徴構成は、本発明の第１〜第３特徴構成のいずれか一つにおいて、一対の前記物品載置体が、前記移動経路の両脇に設けられている点にある。

本発明の第４特徴構成によると、物品載置体が移動経路の両脇に設けられているので、一対の物品載置体の夫々の高さが揃った状態にすることができる。夫々の物品載置体の高さを揃えることで、一方の物品載置体に対して物品を仮置きしようとする場合と、他方の物品載置体に対して物品を仮置きしようとする場合とで、物品保持部の昇降位置を同じにすることができる。また、同様に、一方の物品載置体に仮置きされた物品を保持しようとする場合と、他方の物品載置体に仮置きされた物品を保持しようとする場合とで、物品保持部の昇降位置を同じにすることができる。

したがって、物品載置体を移動経路の両脇に設けることで、各物品載置体に対する昇降位置を共通化して物品保持部の昇降制御内容の簡素化を図ることが可能となる。

このように、本発明の第４特徴構成によると、物品搬出入部に対する物品の搬出入を、多様な処理態様にて処理できるものでありながら、迅速に処理でき、しかも、物品保持部の昇降制御内容の簡素化を図ることが可能な物品処理設備を得るに至った。

本発明に係る物品処理設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品処理設備は、図１及び図２に示すように、複数の物品処理装置１に対する物品移載箇所を経由する状態で移動経路としての案内レール２が設置され、この案内レール２に沿って移動自在な物品搬送体としての移動車３が設けられている。そして、半導体基板を収納した容器５を物品として、移動車３が複数の物品処理装置１の間で容器５を搬送するように構成されている。

各物品処理装置１では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理が行われる。複数の物品処理装置１は、半導体基板の製造工程の順となるように、第１処理装置１ａ、第２処理装置１ｂ、第３処理装置１ｃの順で案内レール２に沿って設置されており、各物品処理装置１に備えられたステーション７の夫々（第１ステーション７ａ、第２ステーション７ｂ、第３ステーション７ｃ）が案内レール２の直下に位置するようになっている。

前記移動車３は、容器５を吊り下げ状態で保持する物品保持部４（以下では、単に保持部４という）を昇降自在に備えている。前記保持部４は、移動車３が停止した状態において、ワイヤ６を巻き取り又は巻き出すことにより、移動車３に近接位置させる上昇位置と移動車３よりも下方側に設置されたステーション７との間で物品移載を行う下降位置とに昇降自在に設けられている。ちなみに、図２では、保持部４が上昇位置から下降位置に下降する場合を右側に示し、保持部４を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を左側に示している。

前記ステーション７は、容器５を載置支持する載置台にて構成されている。そして、ステーション７は、物品処理装置１にて所定の処理を行う容器５を移動車３から受け取る又は物品処理装置１にて所定の処理を行った容器５を移動車３に受け渡すためのものであり、本発明の物品搬出入部に相当する。

そして、移動車３は、保持部４を上昇位置に位置させた状態で案内レール２に沿って移動し、複数のステーション７に対する物品移載箇所のうち移載対象のステーション７に対する物品移載箇所に停止した状態で保持部４を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション７との間で容器５の受け渡し又は受け取りを行うように構成されている。

前記案内レール２は、図２〜図４に示すように、案内レール用ブラケット８により天井部に固定状態で設置されている。前記移動車３は、案内レール２の内方空間部に位置する上方車体９と案内レール２の下方に位置する下方車体１２とを前後の連結扞１０，１１にて連結して構成されている。

前記上方車体９は、案内レール２の内方空間部に設けられるマグネット１３に近接対向させる状態で一次コイル１４を備えている。そして、上方車体９は、マグネット１３と一次コイル１４とからなるリニアモータにより推進力を得るリニアモータ式であり、移動車３は、この推進力によって案内レール２に沿って移動するように構成されている。

前記案内レール２の内方空間部には、上方車体９に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、上方車体９に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール２には給電線１９が設けられ、上方車体９には受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。

この実施形態では、上方車体９を駆動させる方式として、リニアモータにより推進力を得て駆動させるリニアモータ式を例示しているが、例えば、走行輪１５を回転駆動する電動モータを設け、この電動モータにて走行輪１５を回転駆動させることにより上方車体９を駆動させる方式を用いることもできる。

前記下方車体１２は、移動車３の前後方向に延びる前後枠体２１、前後枠体２１の前端箇所及び後端箇所から下方側に延びる前後一対の縦枠体２２から構成されている。そして、下方車体１２は、側面視において、下方側が開放されたコ字状に形成され、前後方向の中央部に保持部４を配置している。

前記保持部４は、上方車体９に対して昇降自在な昇降体２３に設けられ、この昇降体２３は、前後枠体２１に設けられた昇降操作機構２４によって昇降操作自在に支持されている。
前記昇降操作機構２４は、ドラム駆動用モータ２５により回動自在な回転ドラム２６に４本のワイヤ６を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構２４は、回転ドラム２６を正逆回転させて４本のワイヤ６を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体２３を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。

前記保持部４には、容器５のフランジ５ａを保持する一対の保持具４ａが設けられている。そして、一対の保持具４ａが保持動作用モータ２７の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ５ａを保持する保持状態（図３中に実線で示す状態）と、一対の保持具４ａが互いに離れる方向に揺動して保持を解除する解除状態（図３中に点線で示す状態）とに切り換え自在に構成されている。

前記ステーション７に搬送する容器５を一時的に載置するために、案内レール２の側脇には、図１に示すように、案内レール２に対して左右両側に対を成した状態で物品載置体２８が設けられている。そして、物品載置体２８は、案内レール２に沿って並ぶ状態で複数対設けられている。

これらの物品載置体２８のうち、それに対する物品移載箇所とステーション７に対する物品移載箇所とが一致している一対の物品載置体２８は、ステーション７に対して容器５を搬出入する場合に、当該ステーション７に搬入する容器５及び当該ステーション７から搬出する容器５を一時的に仮置きする仮置き用の物品載置体２８（以下、仮置き用載置体２８Ｔという。）であり、本発明の物品仮置き用の一対の物品載置体に相当する。

この一対の仮置き用載置体２８Ｔに対する物品移載箇所はステーション７に対する物品移載箇所と一致しているので、移動車３がステーション７に対する物品移載箇所に停止した状態で、一対の仮置き用載置体２８Ｔの夫々に対して容器５を移載することができる。

また、物品載置体２８のうち、それに対する物品移載箇所とステーション７に対する物品移載箇所とが異なっている物品載置体２８は、上流工程の物品処理装置１（例えば、第１処理装置１ａ）で処理が完了して、そのステーション７（例えば、第１ステーション７ａ）から搬出した容器５を、移動車３の移動方向で下流側に位置する次の工程の物品処理装置１（例えば、第２処理装置１ｂ）のステーション７（例えば、第２ステーション７ｂ）に対して搬入する場合に、その容器５を一時的に保管する保管用の物品載置体２８（以下、保管用載置体２８Ｂという。）である。

図５〜図９に示すように、物品載置体２８の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車３の保持部４から容器５の受け取りを行うべく案内レール２側に突出する突出位置（図７及び図９参照）と、保持部４への容器５の受け渡しを行うべく案内レール２から離間する側に引退する引退位置（図６及び図８参照）とに出退自在に設けられている。

以下、物品移載箇所に停止した移動車３の前後方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車３に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。

前記物品移載箇所は、複数の物品載置体２８の夫々に対応して定められている。そして、前後方向において物品載置体２８の幅は移動車３における前後一対の縦枠体２２の間隔よりも小さくなるように形成されている。したがって、物品移載箇所に移動車３が停止した状態において、移動車３における前後一対の縦枠体２２の間に物品載置体２８を挿脱できるようになっている。

前記引退位置は、物品載置体２８が引退位置に位置するときに、自己及び自己が載置支持する容器５が移動車３の移動や保持部４の昇降の邪魔にならないように、案内レール２の存在箇所から遠近方向に外れた案内レール２の側脇に定められている。

前記突出位置は、物品載置体２８が突出位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車３において上昇位置に近接する位置に位置する保持部４との間で容器５を授受できるように、物品移載箇所に停止した移動車３における保持部４と上下方向に重複する位置に定められている。

前記物品載置体２８は、図５に示すように、引退位置に対応して天井側に設置された固定枠体２９と、その固定枠体２９に対して遠近方向に移動自在に支持された移動枠体３０とから構成されている。

前記固定枠体２９は、遠近方向に長尺状に形成された一対の側面枠部２９ａから構成されている。一対の側面枠部２９ａは、遠近方向に間隔を隔てて配設された枠体用第１連結体３１ａと枠体用第２連結体３１ｂとにより連結されている。枠体用第１連結体３１ａは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側を連結しており、枠体用第２連結体３１ｂは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３から離れる側を連結している。

そして、固定枠体２９は、一対の側面枠部２９ａの夫々から上方に向って延設された複数の吊り下げ用延設体３２の上端部を取り付け金具により２本の吊り下げ用支持体３３に固定して吊り下げ支持されている。前記吊り下げ用支持体３３は、天井部からの吊りボルト３４にて吊り下げ支持されており、案内レール２と平行になるように案内レール２の長手方向に沿って配設されている。

前記固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持する構成は、上述の構成に限らず、適宜変更が可能である。例えば、固定枠体２９の上端部にボルト取り付け用溝部を設け、このボルト取り付け用溝部に吊り下げ支持体の下端部をボルト固定し、吊り下げ支持体の上端部を天井部にボルト固定することにより、固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持することができる。

このように、複数の物品載置体２８における固定枠体２９の夫々を各別に天井側に吊り下げ支持することにより、物品載置体２８を１つずつ取り付け又は取り外しすることができ、物品載置体２８の増設又は取り外しを容易に行うことができるようにしている。

図６及び図７に示すように、前記移動枠体３０は、遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム体３５と、その左右一対の支持アーム体３５に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて且つその左右一対の支持アーム体３５を接続する状態で設けられた複数の接続枠体３６とを備えて構成されている。
そして、移動枠体３０は、複数の接続枠体３６にて容器５の底部を載置支持するように構成されており、複数の接続枠体３６が、容器５の底部を分担して載置支持するように構成されている。

前記接続枠体３６は、その断面形状が中央部を上方側に突出させた凸状に形成されており、凸状の平らな部分にて容器５の底部を載置支持する。そして、接続枠体３６は、支持アーム体３５において内側に折り曲げた部分に載置させた状態において、両端部がボルトナットにて支持アーム体３５に固定されている。
前記接続枠体３６は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側に位置する細長状の第１接続枠体３６ａと、物品移載箇所に停止した移動車３から離間する側に位置する細長状の第２接続枠体３６ｂとから構成されている。そして、第１接続枠体３６ａには、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側に伸びて上方側に起立する起立壁部３７が設けられている。この起立壁部３７は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側への容器５の移動を規制するように構成されている。

前記左右一対の支持アーム体３５は、接続枠体３６だけでなく、複数の連結用枠体４５によっても接続されている。前記連結用枠体４５は、左右一対の支持アーム体３５の下端部３５ａにおいて物品移載箇所に停止した移動車３から離間する側の端部を接続する第１連結用枠体４５ａと、左右一対の支持アーム体３５の中間部３５ｂを接続する第２連結用枠体４５ｂと、左右一対の支持アーム体３５の上端部３５ｃを接続する第３連結用枠体４５ｃとから構成されている。

前記物品載置体２８を引退位置（図６及び図８参照）と突出位置（図７及び図９参照）とに位置変更自在に支持するスライド案内機構４６が設けられている。このスライド案内機構４６は、固定枠体２９に対して遠近方向に移動枠体３０をスライド移動自在に支持するように構成されている。

前記スライド案内機構４６は、固定枠体２９に形成されたレール部４７と支持アーム体３５に設けられた複数のガイドローラ４８とから構成されている。前記レール部４７は、一対の側面枠部２９ａの夫々に設けられている。前記ガイドローラ４８は、支持アーム体３５における上端部３５ｃに設けられている。そして、スライド案内機構４６は、レール部４７にてガイドローラ４８を案内支持することにより、固定枠体２９に対して引退位置と突出位置とに移動枠体３０をスライド案内移動自在に支持するように構成されている。

また、固定枠体２９には、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する接近位置（図６及び図８参照）と物品移載箇所に停止した移動車３から離間する離間位置（図７及び図９参照）とに移動自在に支持された被操作体４９が設けられている。そして、被操作体４９は、接近位置では物品載置体２８を引退位置に操作し、且つ、離間位置では物品載置体２８を突出位置に操作するように、物品載置体２８に連係されている。

前記被操作体４９は、その長手方向の中央部が一方の側面枠部２９ａの上部に設けられた板状の基台５０に枢支連結されて、その連結箇所である第１揺動軸心Ｐ１周りに揺動自在に設けられている。そして、被操作体４９は、接近位置に位置する状態において、第１揺動軸心Ｐ１から移動車３に接近する側に延びる第１被操作部分４９ａと第１揺動軸心Ｐ１から移動車３から離れる側に延びる第２被操作部分４９ｂとを上下に段差をつけて一体的に形成されている。

前記被操作体４９は、第１揺動軸心Ｐ１周りでの揺動により接近位置と離間位置とに切換自在で且つ接近位置（図６及び図８参照）においては第１被操作部分４９ａが第１揺動軸心Ｐ１よりも物品移載箇所に停止した移動車３に接近する姿勢となるように設けられている。そして、被操作体４９の第１被操作部分４９ａに、被操作体４９が接近位置に位置する状態において、遠近方向に対して交差する方向に沿って第１揺動軸心Ｐ１側に延びる溝部５１が設けられている。この溝部５１には、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側の先端を遠近方向に沿って開口させた形状に形成されている。

そして、被操作体４９が接近位置に位置すると、図６及び図８に示すように、物品載置体２８を引退位置に位置させ、且つ、被操作体４９が離間位置に位置すると、図７及び図９に示すように、物品載置体２８を突出位置に位置させるように、被操作体４９の動きと物品載置体２８の動きとを連係させる連係機構５２が設けられている。

前記連係機構５２は、上下軸心周りに揺動自在な第１リンクアーム５３、第２リンクアーム５４及び第３リンクアーム５５の３つのリンクアームから構成されている。第１リンクアーム５３は、一端部が被操作体４９の第２操作部分４９ｂの一端部に枢支連結され且つ他端部が第２リンクアーム５４の長手方向の途中部分に枢支連結されている。第２リンクアーム５４は、一端部が基台５０に枢支連結され且つ他端部が第３リンクアーム５５の一端部に枢支連結されている。第３リンクアーム５５は、他端部が第３連結用枠体４５ｃに立設された連係用被操作体５６に枢支連結されている。

前記移動車３には、物品載置体２８を引退位置と突出位置とに出退操作するための出退操作手段Ｓが設けられている。前記出退操作手段Ｓは、移動車３に固定されて遠近方向に長尺状のベース５７と、そのベース５７に対して遠近方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体５８と、その操作体５８の先端部の下面側に設けられた係合ローラ５９とを備えて構成されている。そして、出退操作手段Ｓは、図示を省略したアクチュエータの作動によりベース５７に対して操作体５８を出退させて、係合ローラ５９を遠近方向に移動させる突出作動及び引退作動を行うように構成されている。

ちなみに、移動車３には、移動車３の移動方向において右側に位置する物品載置体２８を出退操作するための出退操作手段Ｓと、移動車３の移動方向において左側に位置する物品載置体２８を出退操作するための出退操作手段Ｓとが設けられている。

前記係合ローラ５９は、前後方向において被操作体４９の溝部５１の幅と同じ又はその幅よりも小さい直径に形成されており、係合ローラ５９が、遠近方向での移動により被操作体４９の溝部５１に係脱自在に構成されている。

そして、出退操作手段Ｓが、突出作動により係合ローラ５９を溝部５１に係合させて被操作体４９を接近位置から離間位置に押し操作し、且つ、引退作動により係合ローラ５９を溝部５１に係合させて被操作体４９を離間位置から接近位置に引き操作し、その後係合ローラ５９を溝部５１から離脱させる押し引き式に構成されている。

前記出退操作手段Ｓが突出作動により係合ローラ５９にて被操作体４９を接近位置から離間位置に操作すると、被操作体４９が離間位置に位置することにより、連係機構５２を介して物品載置体２８が突出位置に操作され、物品載置体２８が引退位置から突出位置に出退操作されることになる。

また、出退操作手段Ｓが引退作動により係合ローラ５９にて被操作体４９を離間位置から接近位置に操作すると、被操作体４９が接近位置に位置することにより、連係機構５２を介して物品載置体２８が引退位置に操作され、物品載置体２８が突出位置から引退位置に出退操作されることになる。

前記物品載置体２８は、遠近方向に間隔を隔てて位置させた２つの接続枠体３６にて容器５の底部を分担して載置支持するように構成されており、物品載置体２８の軽量化を図っている。そして、２つの接続枠体３６は、遠近方向において容器５の底部の端部側部分を載置支持するように配設されており、容器５をバランスよく載置支持している。
前記複数の接続枠体３６には、容器５の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材３９が支持されている。複数の物品位置決め部材３９は、遠近方向及びそれに直交する前後方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材４０にて保持された状態で設けられている。
ちなみに、複数の物品位置決め部材３９が遠近方向において適正相対位置関係となるように、遠近方向における第１接続枠体３６ａの設置位置及び第２接続枠体３６ｂの設置位置が調整されている。

前記移動車３には、移動車３の動作を制御する台車用制御部（本発明の運転制御手段に相当）が設けられている。そして、台車用制御部は、物品処理設備全体の動作を管理する管理用コンピュータからの指令、及び、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の走行作動並びに保持部４の上昇位置と下降位置との昇降作動及び保持状態と解除状態との切換え作動を制御するとともに、保持動作用モータ２７及び出退操作手段Ｓの作動を制御するように構成されている。

例えば、管理用コンピュータから、複数のステーション７のうちから搬送元のステーション７として第１処理装置１ａのステーション７ａが、搬送先のステーション７として第２処理装置１ｂの第２ステーション７ｂが特定された状態で搬送元の第１ステーション７ａから搬送先の第２ステーション７ｂに容器５を搬送する搬出搬入指令が指令された場合には、台車用制御部が、搬送元の第１ステーション７ａから容器５を受け取り、搬送先の第２ステーション７ｂに容器５を受け渡すべく、移動車３の動作を制御するように構成されている。搬出搬入指令が指令された場合の容器５の移動の様子を上記例に基づいて模式的に示すと図１０（イ）に示すようになる。

管理用コンピュータからは、搬送元のステーション７における容器５の受け取り及び搬送先のステーション７における受け渡しの双方を伴う上記搬出搬入指令以外に、ステーション７における容器５を受け取り、その受け取った容器５を次工程の処理装置１についての保管用の２８Ｂに保管する搬出保管指令や、２８Ｔに保管された容器５を取り出し、その取り出した容器５を当該２８Ｔに対応する処理装置１のステーション７に受け渡す取出搬入指令Ｃ３が指令される。

搬出保管指令及び取出搬入指令が指令された場合の容器５の移動の様子を上記例に基づいて模式的に示すと図１０（ロ）及び（ハ）に示すようになる。

物品処理設備では、各処理装置における処理時間が異なるうえ、複数の容器５についての処理を同時期に行うので、台車用制御部は、上記搬出搬入指令により搬送元の上流工程の処理装置１のステーション７（先の例では、第１ステーション７ａ）から搬送先の次工程の処理装置１のステーション７（先の例では、第２ステーション７ｂ）へ直接容器５を搬送する場合は少なく、台車用制御部は、搬出保管指令により、上流工程の処理装置１のステーション７（先の例では、第１ステーション７ａ）から搬出した容器５を、一旦、次工程の処理装置１（先の例では、第２処理装置１ｂ）についての仮置き用載置体２８Ｔに保管しておき、取出搬入指令により、ステーション７についての仮置き用載置体２８Ｔに保管されている容器５のうち先に保管された容器５から順に、当該ステーション７に搬入するようになっている。

さらに、台車用制御部は、ステーション７に搬出用の容器５が存在する状態において保持した搬入用の容器５をステーション７に受け渡すときには、保持した搬入用の容器５を一対の仮置き用載置体２８Ｔの一方に仮置きした後、ステーション７に位置する搬出用の容器５を一対の仮置き用載置体２８Ｔの他方に仮置きし、次に、仮置きした搬入用の容器５をステーション７に受け渡すように、物品保持部の昇降作動及び物品保持部の保持状態と解除状態との切換え作動、並びに、一対の仮置き用載置体２８Ｔの出退作動を制御するように構成されている。

また、台車用制御部は、搬入用の容器５をステーション７に受け渡したのち、仮置きした搬出用の容器５を目標搬送箇所としての下流工程の処理装置１についての保管用載置体２８Ｂに搬送すべく、保持部４の昇降作動及び保持部４の保持状態と解除状態との切換え作動、仮置き用載置体２８Ｔの出退作動、並びに、物品搬送体の走行作動を制御するように構成されている。

このように、本物品処理設備では、ステーション７に搬出保管指令についての搬出対象の容器５が存在する状態において保持した取出搬入指令についての搬入対象の容器５を当該ステーション７に受け渡すときに、一対の仮置き用載置体２８Ｔを利用して、移動車３がステーション７についての物品移載箇所に停止した状態のままで、取出搬入指令に基づいてステーション７へ受け渡すべき容器５と、搬出保管指令に基づいてステーション７から受け取るべき容器５との持ち換え動作を行うことで、１台の移動車３により迅速に搬出用及び搬入用の容器５の搬出入処理をすることができるようになっている。

以下に、管理用コンピュータが、第２処理装置１ｂについての保管用載置体２８Ｂから容器５を取出して、第２処理装置１ｂの第２ステーション７ｂに容器５を搬入する取出搬入指令と、第２処理装置１ｂの第２ステーション７ｂの容器５を搬出し、その容器５を第３処理装置１ｃについての保管用載置体２８Ｂに保管する搬出保管指令とを同時に台車用制御部に指令した場合の台車用制御部による移動車３の制御動作について説明する。

なお、取出搬入指令と搬出保管指令とが同時に指令されるとは、両指令が連続して指令される場合をいい、先に取出搬入指令が指令され、その指令に基づく制御動作が開始された後に、搬出保管指令が指令される場合や、この逆に、先に搬出保管指令が指令され、その指令に基づく制御動作が開始された後、取出搬入指令の割込みが許容される状態であるうちに取出搬入指令が指令される場合を含んでいる。いずれの場合においても、取出搬入指令と搬出保管指令とが同時に指令されると、台車用制御部は、取出搬入指令に基づく制御動作から搬出保管指令に基づく制御動作へと移行していく。

以下、図１３のフローチャート並びに図１１及び図１２の容器５の移動順序を説明した図を参照しながら詳しく説明する。なお、図１１及び図１２の１番矢印については、例外的に容器５の移動ではなく、移動車３の移動を示している。

まず、状況設定として、第１ステーション７ａから搬出した容器５を次工程の第２処理装置１ｂについての保管用載置体２８Ｂに保管する過去の搬出保管指令に基づく処理が完了して、移動車３が図１に示す位置に容器５を保持しない状態で停止しているとし、第２処理装置１ｂについての保管用載置体２８Ｂには、上述した過去の搬出保管指令により保管された容器５とは別の容器５（以下、搬入用容器５inという）が、当該過去の搬出保管指令によりもさらに過去の搬出保管指令にて保管されているとする。

なお、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂは、一例として、案内レール２に関して第２処理装置位置１ｂと反対側に位置し、搬出用容器５outが保管されている保管用載置体２８Ｂは、一例として、案内レール２に関して第３処理装置位置１ｃと同じ側に位置するものであるとする。

この状態で、第２処理装置７ｂの第２ステーション７ｂにおいて搬出可能な状態の容器５（以下、搬出用容器５outという）が存在する状態となり、管理用コンピュータが、搬入用容器５inを取出搬入対象とする取出搬入指令及び搬出用容器５outを搬出保管対象とする搬出保管指令を指令したとする。

台車用制御部は、まずステップ＃１で、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂから搬入用容器５inを取り出すために、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を移動させる（図１１（イ）の１番矢印参照）べく、移動車３の走行作動を制御する。

台車用制御部は、ステップ＃２で、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを当該保管用載置体２８Ｂから取出すべく、移動車３の作動を制御する。

具体的には、台車用制御部は、まず、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で前方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂを引退位置から突出位置に位置変更させる（図１１（イ）の２番矢印参照）。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを保持姿勢に切り換え、突出位置に位置する保管用載置体２８Ｂから保持部４に搬入用容器５inを受け取る。その後、台車用制御部は、搬入用容器５inを保持している保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、空になった保管用載置体２８Ｂを突出位置から引退位置に位置変更させる。

台車用制御部は、ステップ＃３で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を移動させる（図１１（イ）の３番矢印参照）べく、移動車３の走行作動を制御する。

台車用制御部は、ステップ＃４で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを第２ステーション７ｂについての一対の仮置き用載置体２８Ｔの一方（案内レール２に関して第２処理装置１ｂと同じ側に位置するもの）に仮置きするべく、移動車３の作動を制御する。

具体的には、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で後方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、一対の仮置き用載置体２８Ｔのうち案内レール２に関して第２処理装置位置１Ｂと同じ側に位置するものを引退位置から突出位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、搬入用容器５inを保持している保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを解除姿勢に切り換え、保持部４から突出位置に位置する仮置き用載置体２８Ｔに搬入用容器５inを卸す。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、搬入用容器５inが載っている仮置き用載置体２８Ｔを突出位置から引退位置に位置変更させる（図１１（イ）の４番矢印参照）。

台車用制御部は、ステップ＃５で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬出用容器５outを第２ステーション７ｂから受け取るべく、移動車３の作動を制御する。

具体的には、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、保持部４を上昇位置から下降位置に下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、保持部４が下降位置に位置すると、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを保持姿勢に切り換え、搬出用容器５outのフランジ５ａを一対の保持具４ａにて保持して容器５を受け取る。その後、台車用制御部は、搬出用容器５outを保持している保持部４を下降位置から上昇位置に上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御する（図１１（ロ）の５番矢印参照）。

台車用制御部は、ステップ＃６で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬出用容器５outを第２ステーション７ｂについての一対の仮置き用載置体２８Ｔの他方（案内レール２に関して第２処理装置１ｂと反対側に位置するもの）に仮置きするべく、移動車３の作動を制御する。

具体的には、ステップ＃４と同様に、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で前方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、一対の仮置き用載置体２８Ｔのうち案内レール２に関して第２処理装置位置１Ｂと反対側に位置するものを引退位置から突出位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、搬出用容器５outを保持している保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを解除姿勢に切り換え、保持部４から突出位置に位置する仮置き用載置体２８Ｔに搬出用容器５outを卸す。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、搬出用容器５outが載っている仮置き用載置体２８Ｔを突出位置から引退位置に位置変更させる（図１１（ロ）の６番矢印参照）。

台車用制御部は、ステップ＃７で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを仮置き用載置体２８Ｔから取り出すべく、移動車３の作動を制御する。

この制御動作は、前述のステップ＃２における制御動作、つまり、搬入用容器５inが保管されている保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを保管用載置体２８Ｂから取り出す制御作動と同様である。

具体的には、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で後方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、搬入用容器５inが保管されている仮置き用載置体２８Ｔを引退位置から突出位置に位置変更させる（図１１（ハ）の７番矢印参照）。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させる（図１１（ハ）の８番矢印参照）べく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを保持姿勢に切り換え、突出位置に位置する仮置き用載置体２８Ｔから保持部４に搬入用容器５inを受け取る。その後、台車用制御部は、搬入用容器５inを保持した保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、空になった仮置き用載置体２８Ｔを突出位置から引退位置に位置変更させる。

台車用制御部は、ステップ＃８で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを第２ステーション７ｂへ受け渡すべく、移動車３の作動を制御する。

具体的には、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを保持している保持部４を上昇位置から下降位置に下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、保持部４が下降位置に位置すると、保持動作用モータ２７を作動させて、一対の保持具４ａを解除姿勢に切り換え、搬入用容器５inを第２ステーション７ｂに受け渡す。その後、台車用制御部は、保持部４を下降位置から上昇位置に上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御する。

台車用制御部は、ステップ＃９で、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬出用容器５outを仮置き用載置体２８Ｔから取り出すべく、移動車３の作動を制御する。

この制御動作は、前述のステップ＃２における制御動作、つまり、搬出用容器５outが保管されている保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬出用容器５outを保管用載置体２８Ｂから取り出す制御作動と同様である。また、この制御動作は、前述のステップ＃７における制御動作、つまり、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inを仮置き用載置体２８Ｔから取り出す制御作動と同様である。

具体的には、台車用制御部は、まず、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で前方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、搬出用容器５outが保管されている仮置き用載置体２８Ｔを引退位置から突出位置に位置変更させる（図１２（二）の９番矢印参照）。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを保持姿勢に切り換え、突出位置に位置する仮置き用載置体２８Ｔから保持部４に搬出用容器５outを受け取る。その後、台車用制御部は、搬出用容器５outを保持した保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、空になった仮置き用載置体２８Ｔを突出位置から引退位置に位置変更させる。

台車用制御部は、ステップ＃１０で、第２処理装置１ｂから搬出した搬出用容器５outを次工程の第３処理装置１ｃについての保管用載置体２８Ｂに保管するために、当該搬出用容器５outを保管すべき第３処理装置１ｃについての保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を移動させる（図１２（二）の１０番矢印参照）べく、移動車３の走行作動を制御する。

台車用制御部は、ステップ＃１１で、搬出用容器５outを保管すべき保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬出用容器５outを当該保管用載置体２８Ｂに保管するべく、移動車３の作動を制御する。

この制御動作は、前述のステップ＃４やステップ＃６における制御動作、つまり、第２ステーション７ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、搬入用容器５inや搬出用容器５outを仮置き用載置体２８Ｔへ仮置きする制御作動と同様である。

具体的には、台車用制御部は、まず、搬出用容器５outを保管すべき保管用載置体２８Ｂに対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、移動車３の移動方向で後方側の出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、搬出用容器５outを保管すべき保管用載置体２８Ｂを引退位置から突出位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、搬出用容器５outを保持している保持部４を上昇位置からそれに近接する位置へ下降させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、保持動作用モータ２７を作動させて一対の保持具４ａを解除姿勢に切り換え、保持部４から突出位置に位置する保管用載置体２８Ｂに搬出用容器５outを卸す。その後、台車用制御部は、保持部４を上昇位置まで上昇させるべく、保持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、搬出用容器５outが載っている保管用載置体２８Ｂを突出位置から引退位置に位置変更させる（図１２（二）の１１番矢印参照）。

〔別実施形態〕以下、別実施形態を列記する。

（１）上記実施形態では、制御手段が、物品保持部の昇降作動が停止した後に、物品載置体の出退作動を開始するように構成されたものを例示したが、これに限らず、制御手段が、物品保持部の昇降作動が停止する前に、物品載置体の出退作動を開始するように構成されたものであってもよい。

（２）上記実施形態では、物品載置体２８が、突出位置において、上昇位置に近接する位置に位置する保持部４との間で容器５を授受するように設けられているが、例えば、突出位置において、上昇位置に位置する保持部４との間で容器５を授受するように物品載置体２８を設けることもできる。
また、突出位置において、物品載置体２８が保持部４との間で容器５を授受する位置については、上昇位置に近接する位置又は上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品載置体２８を突出位置に位置させた状態で、保持部４を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品載置体２８と保持部４との間での容器５の授受を行うことができることになる。

（３）上記実施形態では、移動車３に、移動車３の移動方向において右側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓと、移動車３の移動方向において左側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓとの２つの出退操作手段Ｓを設けているが、例えば、出退操作手段Ｓが、移動車３の移動方向に対して右側及び左側の両側に係合ローラ５９を出退自在に備えることにより、移動車３に１つの出退操作手段Ｓを設けて実施することもできる。

（４）上記実施形態では、搬出用容器５outについての目標搬送箇所が、次工程の処理装置１について保管用載置体２８Ｂであるものを例示したが、これに限らず、目標搬送箇所は適宜設定可能であり、例えば、次工程の処理装置１についてのステーション７であってもよいし、図外のその他の搬送箇所であってもよい。

（５）上記実施形態では、一対の物品載置体が移動経路の両脇に設けられているものを例示したが、これに代えて、一対の物品載置体が移動経路の片脇に上下に並ぶ状態で設けられているものであってもよい。

（６）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器５を搬送する物品処理設備を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。

物品処理設備の平面図 移動車とステーションとの側面図 移動車の側面図 移動車の縦断正面図 物品載置体の斜視図 引退位置における物品載置体の斜視図 突出位置における物品載置体の斜視図 引退位置における物品載置体の平面図 突出位置における物品載置体の平面図 指令別の物品の移動経路の一例を示す模式図 取出搬入指令及び搬出保管指令が同時に指令された場合の物品の移動経路の一例を示す模式図 取出搬入指令及び搬出保管指令が同時に指令された場合の物品の移動経路の一例を示す模式図 取出搬入指令及び搬出保管指令が同時に指令された場合の台車用制御部の制御動作を示すフローチャート

符号の説明

Ｓ 出退操作手段
１ 物品処理装置
２ 案内レール
３ 物品搬送体
４ 物品保持部
２８Ｔ 物品仮置き用の一対の物品載置体

Claims (4)

1. 物品処理装置に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体に、物品保持する保持状態と物品の保持を解除する解除状態とに切換え自在な物品保持部が、昇降自在に設けられ、
   運転制御手段が、前記物品処理装置の物品搬出入部に対して物品の搬出入を行うときには、前記物品移載箇所に停止させるべく前記物品搬送体の走行作動を制御し、且つ、前記物品搬出入部への物品の受け渡し又は前記物品搬出入部からの物品の受け取りを行うべく、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動を制御するように構成されている物品処理設備であって、
   物品仮置き用の一対の物品載置体が、前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体に対して物品を授受すべく前記移動経路側に突出する突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、
   前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成され、
   前記運転制御手段が、前記物品搬出入部に搬出用の物品が存在する状態において保持した搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡すときには、保持した搬入用の物品を一対の前記物品載置体の一方に仮置きした後、前記物品搬出入部に位置する搬出用の物品を一対の前記物品載置体の他方に仮置きし、次に、仮置きした前記搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡すように、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動、並びに、一対の前記物品載置体の出退作動を制御するように構成されている物品処理設備。
2. 前記運転制御手段が、前記搬入用の物品を前記物品搬出入部に受け渡したのち、仮置きした前記搬出用の物品を目標搬送箇所に搬送すべく、前記物品保持部の昇降作動及び前記物品保持部の前記保持状態と前記解除状態との切換え作動、前記物品載置体の出退作動、並びに、前記物品搬送体の走行作動を制御するように構成されている請求項１記載の物品処理設備。
3. 前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられ、
   前記運転制御手段が、前記物品載置体の出退作動のために前記出退操作手段の作動を制御するように構成されている請求項１又は２記載の物品処理設備。
4. 一対の前記物品載置体が、前記移動経路の両脇に設けられている請求項１〜３の何れか１項に記載の物品処理設備。

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