JP2008207542A - 液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズルに分配する液体を貯留するための共通液室を備える液滴吐出装置において、この共通液室を構成するためのプレートの剛性低下を抑制して、プレートの取り扱いにおける作業性を向上させる。
【解決手段】キャビティ部２０は複数のプレートを積層して構成され、共通液室４３及び供給路４７を形成する開口部５０を有するマニホールドプレート３３（３４）を積層方向に少なくとも２枚隣接して備え、開口部５０は上下に重なるように配置されている。積層方向に重なった開口部５０のうち、少なくとも１つの開口部５０は、仕切り部５３によって、共通液室４３となる第１の開口５１と、供給路４７となる第２の開口５２とに分割されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、複数のノズルに分配する液体を貯留する共通液室を備え、複数のプレートを積層して構成される液滴吐出ヘッドに関するものである。

従来から、複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとして、インクジェット式の記録ヘッドが知られている。このような記録ヘッドは、インク供給源から供給されたインクを多数のノズルに分配して吐出するために、その内部に複雑なインク流通路が必要であるが、全体として小型化が求められている。そのため、例えば、特許文献１に記載されている記録ヘッドでは、インク流通路となる貫通部や凹部が形成された薄いプレートを複数枚積層することで、全体として小さい記録ヘッドの内部に複雑なインク流通路を形成している。

積層するプレートとしては、多数のノズルが列状に穿設されたノズルプレートや、共通インク室（マニホールド）を構成するための長穴（開口）が貫通形成されたマニホールドプレート、アクチュエータからの吐出圧力を受ける圧力室が形成されたキャビティプレート他等の複数枚のプレートがあり、インク供給源からのインクは、各プレートのインク流通路を介して、共通インク室から圧力室、ノズルに至るようになっている。

前述した共通インク室は、多数のノズルに分配するインクを一括して貯留する部分であるため（特許文献１の図６参照）、ノズルの列と同じ程度の長さと、大きな内容積とを有するように形成される必要があり、特許文献１では、共通インク室を、同一形状の長穴が貫通形成された２枚のマニホールドプレートを重ね、これらを共通インク室の天井面となる上側のプレートと共通インク室の底面となる下側のプレートとで挟んで形成している。

特許文献１では、ブラックインク、マゼンタインク、イエローインク、シアンインクの４色のインクに対して、ノズル列が５列配列（ブラックインクのみ２列）されている。そのため、共通インク室も、各ノズル列に対応して５列設けられており、各マニホールドプレートには、５つの長穴が略平行状に並んで穿設されている。
特開２００６−３３４７９７号公報（図５及び図６参照）

ところで、記録ヘッドでは、近年の記録の高精度化や高速化のために、ノズル数の増加や、インクの色数の増加が求められており、ノズル数やノズル列数が、さらに多くなる傾向にある。ノズル列数が増加すると、対応する共通インク室の個数も増加するため、各マニホールドプレートに穿設される長穴の数も多くなる。換言すれば、マニホールドプレートを貫通する抜き部（欠損部）が多くなる。

しかしながら、マニホールドプレートを含む記録ヘッドは大型化を避けるために、マニホールドプレートの平面積を必要以上に大きくすることができないので、共通インク室数の増加に伴い、マニホールドプレートに残る肉部が少なくならざるを得ない。特に、隣接する共通インク室の長穴同士の間には、細幅の肉部が共通インク室（長穴）に沿って、その長さと同じ寸法で長く残ることになる。例えば、特許文献１の構造では共通インク室が５つあるため、マニホールドプレートの中央部は、５つの長穴が穿設され、長穴間となる４本の細幅の肉部が略平行状に長く残るだけであり、マニホールドプレート全体の剛性が著しく低下する。また、マニホールドプレートの取り扱い時には、前記細幅の肉部が、下方に撓む現象も生じる。

このように肉部の少ないプレートは、部品検査や、部品梱包、組み立て等の種々の工程において、取り扱いにおける作業性（ハンドリング性）が極めて悪く、プレートの変形や破損も引き起こし易いという問題があった。

本発明は、上記問題を解消するものであり、複数のノズルに分配する液体を貯留するための共通液室を備える液滴吐出ヘッドにおいて、この共通液室を構成するためのプレートの剛性低下を抑制して、プレートの取り扱いにおける作業性を向上させることを目的とするものである。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するために第１の方向に延びる列状に配置された複数のノズルと、このノズルに液体を分配する共通液室と、液体供給源からの液体を前記共通液室に供給するように当該共通液室に連通する供給路とを有するキャビティ部を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記キャビティ部は、複数のプレートを積層して構成され、前記液体供給源からの液体をノズル側へ供給するための開口部を有するマニホールドプレートを積層方向に少なくとも２枚隣接して有し、前記開口部は、前記マニホールドプレートの積層方向に重なるように配置され、積層方向に重なった前記開口部のうち、少なくとも１つの開口部は、仕切り部によって、前記共通液室となる第１の開口と前記供給路となる第２の開口とに分割されていることを特徴とするものである。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記各マニホールドプレートの前記開口部はいずれも、前記仕切り部によって前記第１の開口と前記第２の開口とに分割されていて、各マニホールドプレートの前記仕切り部は、前記マニホールドプレートを積層したときに、積層方向からの平面視で重ならない位置に配置されていることを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルの列は第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、各マニホールドプレートには、前記開口部が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられ、前記開口部の前記第１の開口と前記第２の開口とは前記第１の方向に前記仕切り部を挟んで隣接し、同一マニホールドプレートに設けられた複数の前記仕切り部は、前記第２の方向に実質的に連続して形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出装置において、前記積層方向に重なった前記開口部のうち、一部の開口部は、前記仕切り部によって前記共通液室となる第１の開口と前記供給路となる第２の開口とに分割され、残りの開口部は、前記共通液室となる部分と前記供給路となる部分が連続するように構成されていることを特徴とするものである。

また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルの列は第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、各マニホールドプレートには、前記開口部が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられ、且つ前記仕切り部を有する開口部と前記仕切り部を有しない開口部とが、同一のマニホールドプレートに混在し、前記マニホールドプレートを積層したときの積層方向からの平面視で、前記仕切り部を有する開口部には前記仕切り部を有しない開口部が積層方向に重なるように構成されていることを特徴とするものである。

また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、各マニホールドプレートでは、前記仕切り部を有する開口部と前記仕切り部を有しない開口部とが、第２の方向に沿って交互に配置されていることを特徴とするものである。

また、請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記キャビティ部における前記複数のプレートのうち、前記開口部が貫通形成された前記少なくとも２枚のマニホールドプレートと、前記少なくとも２枚のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続に近い側に位置し、前記第２の開口と連通し前記供給路となる接続開口を有するプレートと、前記少なくとも２枚のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続から遠い側に位置し、前記開口部を覆うプレートと、が積層されることで、前記共通液室と前記供給路とが形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記キャビティ部は、前記供給路を形成する第２の開口を有するマニホールドプレートを２枚以上有し、前記第２の開口のうち、前記液体供給源との接続から遠い側のマニホールドプレートに設けられた第２の開口は、前記液体供給源との接続に近い側のマニホールドプレートに設けられた第２の開口よりも、前記第１の方向に延びる長さ寸法が長く設定され、前記液体供給源との接続から遠い側のマニホールドプレートに設けられた第１の開口と連通していることを特徴とするものである。

また、請求項９に記載の発明における液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するために第１の方向に延びる列状に配置された複数のノズルと、このノズルに液体を分配する共通液室と、液体供給源からの液体を前記共通液室に供給するように当該共通液室に連通する供給路とを有するキャビティ部を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記キャビティ部は、複数のプレートを積層して構成されるとともに、前記第１の方向に沿って長く延びた前記共通液室となる第１の開口と、当該第１の開口と仕切り部を挟んで並ぶように設けられた前記供給路となる第２の開口とが、貫通形成または凹設された少なくとも１枚の第１のマニホールドプレートと、前記第１及び第２の開口の下側に重なって位置し、第１及び第２の開口の第１の方向の長さの和よりも短い長さを有する第３の開口が形成された第２のマニホールドプレートと、を有していることを特徴とするものである。

また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記複数のプレートのうち、前記第１の開口及び第２の開口が貫通形成された前記第１のマニホールドプレートと、前記第１のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続に近い側に位置し、前記第２の開口と連通し前記供給路となる接続開口を有するプレートと、前記第２のマニホールドプレートと、が積層されることで、前記共通インク室と前記供給路とが形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルの列は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、前記第１のマニホールドプレートには、前記第１の開口が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられるとともに、前記第２の開口が、前記各第１の開口における第１の方向の一方の端部側に前記仕切り部を挟んで隣接し且つ第２の方向に沿って複数個設けられ、前記第１のマニホールドプレートに設けられた前記仕切り部は、前記第２の方向に実質的に連続して形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項１２に記載の発明は、請求項１〜１１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液体は、ブラックインクとその他の複数のカラーインクであり、前記インクの色毎に設けられた前記ノズルの列に対応して、前記共通液室が複数列設けられ、同じ色のインクを貯める共通液室に連通する前記供給路同士は、その流路抵抗が実質上同じになるように設定されていることを特徴とするものである。

請求項１に記載の発明によれば、キャビティ部がマニホールドプレートを少なくとも２枚隣接して有していて、各マニホールドプレートには、共通液室及び供給路を形成するための開口部が設けられている。開口部は、マニホールドプレートの積層方向に重なるように配置されていて、重なった開口部のうちの少なくとも１つは、共通液室を構成する第１の開口と供給路を構成する第２の開口とが、仕切り部によって分割されている。従来は、仕切り部がなくマニホールドプレートには、開口部として第１の開口と第２の開口とを連続させた長穴が設けられていた。これに比べると、上下に重なる開口部の少なくとも１つに仕切り部を設け、マニホールドプレートに形成される長穴の長さを、共通液室の分の長さと供給路の分の長さとに分割させることで、マニホールドプレートの抜き部（欠損部）を削減し肉部（仕切り部）を増加させることができる。その結果、マニホールドプレートのプレート単体の剛性を大幅に高めることができ、製造工程で、マニホールドプレートを取り扱うときの作業性が向上され、破損や変形を防止できる。

請求項２に記載の発明によれば、キャビティ部は、マニホールドプレートを少なくとも２枚具備し、上下のマニホールドプレートにおける開口部の仕切り部を平面視にて重ならない位置にずらして配置している。これにより、上下に重なる開口部のうちの一方の開口部の第１の開口が他方の開口部に連通し、他方の開口部の第１の開口が一方の開口部の第２の開口に連通することができる。従って、第２の開口が重なって形成される供給路から流れる液体が、仕切り部の間を積層方向に通り抜けながら移動して、第１の開口が重なって形成される共通液室に流入させることができる。換言すれば、１枚のマニホールドプレートにおいて、共通液室となる第１の開口を仕切り部で仕切って供給路となる第２の開口と不連続に設けていても、マニホールドプレートを複数枚設け、それぞれで仕切り部の位置を、液体の流れる方向の上流側と下流側とにずらしている。これにより、第２の開口で構成される供給路と第１の開口で構成される共通液室とは連続し、仕切り部を設けていても、供給路から共通液室へ速やかにインクを流すことができる。

請求項３に記載の発明によれば、ノズルの列が第２の方向に沿って複数列設けられ、各マニホールドプレートには、開口部がノズルの配列に対応して、第２の方向に複数個並設されている。従って、マニホールドプレートの肉部は、開口部の数が増えるほど少なくなり、プレート単体の剛性が低下する。特に、開口部が第１の方向に長くマニホールドプレートに貫通形成されていると、開口部同士の間の肉部が細幅に且つ平行状に残り、この細幅部分の撓み変形が生じやすい。しかしながら、前述したように、開口部に仕切り部を設けることで、従来に比べてマニホールドプレートの抜き部（欠損部）を減少させるとともに、細幅部分を架橋するように支持するので、細幅部分の撓み変形も抑制でき、マニホールドプレートの剛性を高めることができる。

請求項４に記載の発明によれば、積層方向に重なった開口部のうち、一部の開口部は、仕切り部によって共通液室となる第１の開口と供給路となる第２の開口とに分割されているが、残りの開口部は仕切り部で分割されずに、共通液室となる部分と供給路となる部分とが連続して形成されている。仕切り部で分割されている第１の開口は、これに重なる他の開口部を介して、供給路と連通することができる。従って、少なくとも、開口部が仕切り部で分割されているマニホールドプレートは、仕切り部によって、抜き部（欠損部）の量を減らすとともに、抜き部（欠損部）を補強することができ、プレート単体としての剛性を高めることができる。

また、仕切り部で分割された開口部に、仕切り部を有しない開口部を重ねて、供給路から共通液室に液体を流入させているから、開口部の全てが仕切り部で分割されている場合に比べて、流路抵抗を低減させることができる。

請求項５に記載の発明によれば、ノズルの列が第２の方向に沿って複数列設けられ、各マニホールドプレートには、開口部がノズルの配列に対応して、第２の方向に複数個並設されている。従って、マニホールドプレートの肉部は、開口部の数が増えるほど少なくなり、プレート単体の剛性が低下する。特に、開口部が第１の方向に長くマニホールドプレートに貫通形成されていると、開口部同士の間に細幅の肉部が残り、この細幅部分の撓み変形等が生じやすい。しかしながら、仕切り部を有する開口部と仕切り部を有しない開口部とが、同一マニホールドプレートに混在している。従って、開口部に仕切り部を設けることで、従来に比べてマニホールドプレートの抜き部（欠損部）を減少させるとともに、細幅部分を架橋するように支持するので、細幅部分の撓み変形も抑制でき、マニホールドプレートの剛性を高めることができる。

請求項６に記載の発明によれば、仕切り部を有する開口部と仕切り部を有しない開口部とが第２の方向に交互に配置されているから、仕切り部による細幅部分の架橋がバランスよく配置され効果的に補強するので、プレート単体としての撓みや変形も生じ難くなる。

請求項７に記載の発明によれば、開口部が、マニホールドプレートに貫通形成されて、このマニホールドプレートを少なくとも２枚と、これらの上下を挟むプレートとによって、共通液室と供給路とが形成されている。これにより、共通液室は、マニホールドプレートの枚数分の厚みと同じ高さが確保され、その内容量を大きくすることができる。この場合には、マニホールドプレートに貫通部分、すなわち抜き部（欠損部）が多くなるから、マニホールドプレートの剛性が低くなりがちであるが、請求項１〜６に記載したように、仕切り部を設けたマニホールドプレートではその剛性低下を抑制できる。

請求項８に記載の発明によれば、供給路を形成する第２の開口のうち、液体供給源との接続から遠い側のマニホールドプレートに設けた第２の開口は、液体供給源との接続に近い側のマニホールドプレートの第２の開口よりも、第１の方向に延びる長さ寸法が長く設定されている。液体は、液体供給源から積層方向に沿って供給路を流れ、マニホールドプレートに達すると、積層方向に実質上直交する方向に流れの向きを変え、マニホールドプレートの長い面に沿って第１の方向に流れる。各第２の開口の第１の方向に延びる長さ寸法は、各仕切り部の位置によって規定される。従って、液体供給源に近い上側のマニホールドプレートの仕切り部が、液体供給源から遠い下側のマニホールドプレートの仕切り部よりも、液体がほぼ直角に流れの向きを変える供給路の隅部に近い位置に配置されていることになる。

そのため、積層方向から流れてきて略直角に向きを変えた液体は、隅部に近い側に設けられた仕切り部を避けるように、液体供給源から遠い側を通って流れる。一般的に隅部には液体の澱みが生じ易く、この澱みが気泡の溜まり等の不都合を引き起こすことになるが、上述のように、液体が液体供給源から遠い側を通って流れながら直角に曲がると、隅部に澱みを生じ難くする効果を奏することができる。

請求項９に記載の発明によれば、第１のマニホールドプレートに、共通液室を構成する第１の開口と供給路を構成する第２の開口とが仕切り部を挟んで並ぶように形成され、その下側の第２のマニホールドプレートに形成された第３の開口が、第１のマニホールドプレートの第１及び第２の開口と重なるから、第２の開口と第１の開口とが、第３の開口を介して連通することができる。第１のマニホールドプレートは仕切り部を有しており、第２のマニホールドプレートは、第３の開口の長さが第１の開口と第２の開口の長さの和よりも短い。そのため、いずれのマニホールドプレートも、供給路と共通インク室を連続して構成する長穴が形成されている場合に比べて、剛性が高められ、製造工程での作業性が向上し、破損や変形を防止できる。

請求項１０に記載の発明によれば、第１の開口及び第２の開口が、第１のマニホールドプレートに貫通形成されて、この第１のマニホールドプレートを少なくとも１枚と、第１のマニホールドプレートの上側に配置されるプレートと第２のマニホールドプレートとによって、共通液室と供給路とが形成されている。これにより、共通液室は、第１のマニホールドプレートの枚数分の厚みと第３の開口の深さ分の和と同じ高さが確保され、その内容量を大きくすることができる。この場合には、第１のマニホールドプレートに貫通部分、すなわち抜き部（欠損部）が多くなるから、第１のマニホールドプレートの剛性が低くなりがちであるが、請求項１に記載したように仕切り部を設けることで、マニホールドプレートの剛性低下を抑制できる。

請求項１１に記載の発明によれば、共通液室は、第１の方向に沿って長く形成され、第２の方向に複数個並設されているから、第１の開口の数が、共通液室の数の分だけ増え、マニホールドプレート全体の剛性は、複数の隣接する第１の開口同士間の細幅の肉部だけになるが、前述したように、仕切り部を設けることで、従来に比べて第１のマニホールドプレートの抜き部（欠損部）の増加を抑制でき、マニホールドプレートの剛性を高めることができる。

請求項１２に記載の発明によれば、同じ色のインクを貯める共通液室に連通する供給路同士が、その流路抵抗が実質上同じになるように設定されている。供給路は、比較的大きな流路径を有しているが、複数枚のプレートを積層して構成するため、流路抵抗にばらつきを生じやすい。そのため、全体としての流路抵抗を同じにするように厳密に規定することで、同じ色を吐出するノズルの列の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

以下に、本発明の基本的な実施形態について図面に基づいて説明する。第１の実施形態では、本発明の液滴吐出ヘッドを備える装置として、被記録媒体にインクを吐出する記録装置１について説明する。この記録装置１は、単独のプリンタ装置に適用しても、あるいは、ファクシミリ機能やコピー機能等の複数の機能を備えた多機能装置のプリンタ機能（記録部）に適用してもよい。

記録装置１には、図１に示すように、ノズル７を有しキャリッジ２に搭載された記録ヘッド（請求項の液滴吐出ヘッドに相当）３と、その記録ヘッド３の下面に対向してプラテン４が設けられている。第１ガイド部材５及び第２ガイド部材６は、キャリッジ２の主走査方向（Ｙ軸方向）に延びる部材であり、これらに跨ってキャリッジ２は往復移動するように構成されている。キャリッジ２には、その下面からノズル７（図３〜図５参照）を露出させるように記録ヘッド３が取り付けられている。以下の説明では、記録ヘッド３のノズルの開口面側を前面もしくは下面（下方）、その反対側を背面もしくは上面（上方）として記載する。

被記録媒体である用紙は、キャリッジ２の主走査方向（Ｙ軸方向）に直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。キャリッジ２は、キャリッジ（ＣＲ）モータ８に連結された駆動プーリ９と従動プーリ１０とに掛け渡されたタイミングベルト１１によって、Ｙ軸方向に沿って往復移動する。

本体フレーム１２内には、図１に示すように、交換式のインクカートリッジ１３の収納部１４が設けられており、インク色の数に応じたインクカートリッジ１３（ここではブラックインク用、シアンインク用、マゼンタインク用、イエローインク用の４つ）が収納されている。各インクカートリッジ１３のインクは、可撓性を有するインク供給管（樹脂製のチューブ）１５を介して、それぞれ独立して記録ヘッド３に供給される。

また、記録装置１には、キャリッジ２の主走査方向の移動可能範囲の一側に、記録ヘッド３のノズル７から記録とは無関係に吐出させたインクを受けるフラッシングステーション１６が配設されている。このフラッシングステーション１６において、記録とは無関係な吐出を行うことで吐出ヘッド６のインク流路内の増粘したインクや発生した気泡などを排出し、ノズルの目詰まりの防止、解消を行うことで、各ノズルの吐出機能の維持及び回復を行っている。

また、キャリッジ２の主走査方向の移動可能範囲の他方側には、意図的もしくは定期的に記録ヘッド３のノズル７からインクを吸引する回復装置１７が配設されている。この回復装置１７は、各ノズル７のノズル面をキャップ１８で覆い、キャップ１８に設けた排出口（図示せず）から、それに連通した負圧装置(図示せず)を稼動させることで、記録ヘッド３内のインク流通路中の増粘したインクや発生した気泡等を排出し、各ノズル７の吐出機能を回復させる、所謂吸引パージを行なっている。また、非記録時には、キャップ１８でノズル面を被覆しておくことによって、ノズル７の乾燥や塵埃等の付着を防止することもできる。

図２は、記録ヘッド３に備えられるキャビティ部２０、アクチュエータ２１、フレキシブルフラットケーブル２２の斜視図である。複数枚のプレートからなるキャビティ部２０に圧電式のアクチュエータ２１が接合され、このアクチュエータ２１の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル２２が電気的に接合されている。

キャビティ部２０に設けられた各インク流通路は、インクカートリッジ１３側から供給されたインクを、内部に設けた共通インク室（マニホールド室、請求項の共通液室に相当）４３に貯めるように形成されている。加えて、インク流通路は、共通インク室４３からアクチュエータ２１と対向する位置（上面側の位置）に設けた多数の圧力室４０にインクを分配するように連通し、さらに、上面側の各圧力室４０から下面に設けたノズル７に連通するように形成されている。そして、圧力室４０のインクが、アクチュエータ２１から所定の吐出圧力を受けると、ノズル７からインクを吐出し、共通インク室４３側から圧力室４０にインクを補充するように構成されている。詳細については後述する。

アクチュエータ２１には、特開２００５−３２２８５０号公報等に開示された公知のものと同様に、全ての圧力室４０にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層６０と、この複数のセラミックス層６０の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられている。

電極層としては、圧力室４０毎に形成される個別電極６１の電極層と、複数の圧力室４０に跨って形成されるコモン電極６２の電極層とが、各セラミックス層６０を挟んで対向するように形成された駆動用電極の層と（図４及び図５参照）、フレキシブルフラットケーブル２２と電気的に接続するために最上面に配置された表面電極６３の層とが設けられている（図２及び図３参照、図４及び図５では表面電極６３を省略している）。表面電極６３は、個別電極６１とスルーホール等で電気的に接続される個別用表面電極６３ａと、コモン電極６２とスルーホール等で電気的に接続されるコモン用表面電極６３ｂとを含んでいる。

このように電極層が設けられたアクチュエータ２１では、公知のように個別電極６１とコモン電極６２との間に高電圧を印加することで、両電極に挟まれたセラミックス層６０の部分が分極され、活性部として形成される。この活性部がフレキシブルフラットケーブル２２から選択的に供給された電圧により変形すると、キャビティ部２１の圧力室４０に吐出圧力を与える。

キャビティ部２０は、前述した複雑なインク流通路をその内部に形成するために、貫通部や凹部が形成された複数のプレートを、それぞれの広幅面同士を対向させるように積層し、接着剤を介して接合した構造となっている。実施形態では、キャビティ部２０は、図３〜図５に示すように、ノズルプレート３０、スペーサプレート３１、ダンパープレート３２、２枚のマニホールドプレート３３、３４、サプライプレート３５、ベースプレート３６、及びキャビティプレート３７の合計８枚の薄い板で構成されている。

各プレート３０〜３７は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート３０はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート３１〜３７は４２％ニッケル合金鋼板製である。ノズルプレート３０には、微小径（２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル７が微小間隔で千鳥状に多数個穿設され、当該ノズルプレート３０においてＸ軸方向と平行な８列に配列されている（図３では２列だけ図示している）。

また、キャビティプレート３７には、図２及び図３に示すように、複数の圧力室４０がキャビティプレート３７のＸ軸方向と平行な８列に配列されている。実施形態では、各圧力室４０は、平面視細長形状でその長手方向がキャビティプレート３７のＹ軸方向と平行で且つキャビティプレート３７の板厚を貫通して穿設されている。

各圧力室４０の長手方向の一端は、ベースプレート３６に設けた連通孔４１と接続されており、圧力室４０は、連通孔４１及びサプライプレート３５に設けた接続流路４２を介して、共通インク室４３、４３と連通している。各圧力室４０の長手方向（Ｙ軸方向）の他端は、ベースプレート３６、サプライプレート３５、２枚のマニホールドプレート３４、３３、ダンパープレート３２、及びスペーサプレート３１に穿設されている貫通路４４を介して、ノズルプレート３０における各ノズル７に連通している。

また、接続流路４２の中途には、断面積を小さくして流路抵抗を大きくした絞り部（図示せず）が設けられており、圧力室４０のインクが吐出圧力を受けたときに、圧力室４０側から共通インク室４３側へのインク（圧力波）の後退を抑制している。これにより、アクチュエータ２１からの吐出圧力によって、インクをノズル７側に効率よく前進させることができる。

マニホールドプレート３３の下面に隣接するダンパープレート３２の下面側には、共通インク室４３の位置及び形状に対応させて、当該共通インク室４３と隔絶されたダンパー室４９が凹み形成されている。このダンパープレート３２は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパー室４９上部の薄い板状の天井部は、共通インク室４３側にも、ダンパー室４９側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室４０で発生した圧力変動が共通インク室４３に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパー効果を奏し、圧力変動が他の圧力室４０へ伝播するというクロストークを抑制する。

最上層となるキャビティプレート３７には、Ｙ軸方向に平行な一方の辺寄りの位置に、インクカートリッジ１３側からの４色のインクを個別に記録ヘッド３に導入するためのインク取入口４５が、４つ並んで穿設されている。そして、ベースプレート３６とサプライプレート３５にはいずれも、インク取入口４５に上下の位置を対応させて接続開口４６が穿設されている。インク取入口４５を覆うように、インク中のゴミ等を除去するためのメッシュ部を備えたフィルタ体４８が貼着されている。

これらインク取入口４５と、接続開口４６と、後述するマニホールドプレート３３、３４に穿設された第２の開口５２とが連通することによって、インクカートリッジ１３からインク取入口４５に供給されたインクを、共通インク室４３に送るための供給路４７が構成されている。換言すると、供給路４７は、複数のプレートに形成された開口を組み合わせて形成されている。

マニホールドプレート３３、３４にはそれぞれ、Ｘ軸方向（請求項の第１の方向に相当）に長い開口部５０（図５参照）が貫通形成され、各開口部５０は仕切り部５３によって分割されている。つまり、共通インク室４３を構成する第１の開口５１と、供給路４７を構成する第２の開口５２とが、仕切り部５３を挟んでＸ軸方向に並ぶように貫通形成されている。この実施形態では、４色のインクがＹ軸方向（請求項の第２の方向に相当）に並ぶ８列のノズル列から吐出され、同一色のインクが隣接する２列のノズル列から吐出される。そのため、共通インク室４３は、ノズル列の配列に対応して８つ設けられ、隣接する共通インク室は２つずつが組となり、同一色のインクを溜めるように設けられている。

従って、マニホールドプレート３３、３４には、Ｘ軸方向に沿ってノズル列の長さよりも長い略直線状の長穴に形成された第１の開口５１が、それぞれ８つずつＹ軸方向に平行状に並んでいる。なお、第１の開口５１の長さをノズル列の長さよりも長くする、換言すれば、仕切り部５３の位置をノズル列の端部から離れた位置に設けているから、仕切り部５３を設けることがノズル７の吐出性能に影響することを回避できる。

また、第１の開口５１には、その長手方向（Ｘ軸方向）の一端のうち、第２の開口５２が形成された側とは反対側の端部に、幅寸法を狭くした狭幅部４３ａを介して、小さい内容積の補助室４３ｂを設けている。補助室４３ｂは、圧力室４０側から共通インク室４３にインクが後退し、共通インク室４３の長手方向にインクの圧力波が伝播したときに、インクが入ることで圧力波を消波させることができる。これにより、ノズル７同士に共通インク室４３を介してインクの圧力波が伝播するクロストークを抑制している。

第２の開口５２は、第１の開口５１のＸ軸方向の他端（補助室４３ａの反対側の端部）に並設されている。第２の開口５２は、第１の開口５１よりもかなり短い長さであるが、インク取入口４５と共通インク室４３の他端との位置関係に応じて、これらを平面視で繋ぐように適宜屈曲しながらＸ軸方向に延びる長穴状に形成されている。第２の開口５２は、第１の開口５１に対応して設けられているため、第１の開口５１と同様にＹ軸方向に８つの第２の開口５２が形成されている。

仕切り部５３は、上方に位置するマニホールドプレート３４の仕切り部５３ａと、下方に位置するマニホールドプレート３３の仕切り部５３ｂとで、プレートの積層方向からの平面視で重ならない（Ｘ軸方向に間隔をあけた）位置に配置されている。換言すると、仕切り部５３の位置が、上方のマニホールドプレート３４と下方のマニホールドプレート３３とで、Ｘ軸方向にずれていて、仕切り部５３ａが下方のマニホールドプレート３３の第２の開口５２と対向していて、仕切り部５３ｂが上方のマニホールドプレート３４の第１の開口５１と対向しているようになっている。

従って、上方のマニホールドプレート３４の第１の開口５１と、下方のマニホールドプレート３３の第１の開口５１とは、仕切り部５３側の端部の形状（輪郭）を除き、その他の形状（輪郭）は上下で一致している。また、上方のマニホールドプレート３４の第２の開口５２と、下方のマニホールドプレート３３の第２の開口５２も、仕切り部５３側の端部の形状（輪郭）を除き、その他の形状（輪郭）は上下で一致している。

また、第１の開口５１と第２の開口５２とは、Ｙ軸方向に８つずつ配置されているため、同一のマニホールドプレート３３（３４）に形成されたそれぞれの仕切り部５３ｂ（５３ａ）は、Ｙ軸方向にほぼ連続して延びている。このように仕切り部５３をＹ軸方向にほぼ連続させると、仕切り部５３が、すべての共通インク室４３及び供給路４７に対して同じ位置に設けられていることになる。そのため、プレートの剛性やインク流通路の流路抵抗が均一化し、インク色ごとの吐出のばらつきを抑制する効果を奏する。

そして、各第１の開口５１と第２の開口５２が形成された２枚のマニホールドプレート３３、３４が、マニホールドプレート３４の上側（インク取入口４５に近い側）にあって共通インク室４３の天井面となるサプライプレート３５と、マニホールドプレート３３の下側（インク取入口４５に遠い側）にあって共通インク室４３の底面となるダンパープレート３２とに上下を挟まれることで、８つの第１の開口５１が８つの共通インク室４３として形成され、８つの第２の開口５２は、供給路４７の一部として形成される。

前述したように、上下の仕切り部５３は、平面視で重ならない位置に配置され、インクの流れる方向の上流側と下流側とにずれている。従って、２つのマニホールドプレート３３、３４のうちの一方（図５では下方）の第２の開口５２と、他方（図５では上方）の第１の開口５１とが連通することになり、供給路４７からインクが共通インク室４３に流れ込むことができる。

また、共通インク室４３に連通する第２の開口５２は各マニホールドプレート３３、３４に、８つずつ貫通形成されているが、インク取入口４５及び接続開口４６は、各プレートに４つずつ穿設されている。そのため、１つのインク取入口４５から導入されたインクは、供給路４７をプレートの積層方向に沿って流れ、マニホールドプレート３３、３４に到達すると、積層方向に略直交する方向に流れの向きを変えながら、第２の開口５２によって２つに分かれることになる。すなわち、８つの第２の開口５２は２つずつ組になり、１つの組には、同一色のインクが流れる。

そして、マニホールドプレート３３、３４で向きを変えたインクは、マニホールドプレート３３、３４の広幅面に沿って流れ、インクの流れる方向の上流側と下流側とにずれた仕切り部５３ａ、５３ｂの間を通り抜けるように上下（積層方向）に移動しながら、共通インク室４３に流れ込むようになっている（図５の矢印Ａ参照）。

従来の構成（特許文献１等）では、前述したように、マニホールドプレートに、供給路４７を構成する貫通穴と、共通インク室４３を構成する貫通穴とが、連続する長穴として穿設されていた。そのため、マニホールドプレートの中央部に細幅の肉部が長く平行状に複数本残り、マニホールドプレートをプレート単体で持ち上げると、細長い肉部が下方に撓み、変形や破損を招きやすかった。

しかしながら、本実施形態では、従来の長穴を、仕切り部５３を設けて第１の開口５１と第２の開口５２とに分けているから、仕切り部５３を設けることによって、共通インク室としての容量や流路抵抗を保持しながら、マニホールドプレートの肉部が増加し、また、従来の長穴の幅方向（Ｙ軸方向）に架橋された形となっているため、剛性が高められる。また、当然、従来の長穴よりも第１の開口５１の方が長手方向の寸法が短いから、隣接する第１の開口５１の間として細長く残る肉部の長さも、従来に比べて短くなる。従って、マニホールドプレートを持ち上げたときの、細長い肉部の撓みも少なくなる。これらのことが相乗的に効果を奏し、マニホールドプレート３３、３４を取り扱うときの作業性（ハンドリング性）が向上されるのである。その結果、製造工程で、マニホールドプレート３３、３４の破損や変形を防止でき、製造効率を高めることができる。

また、この実施形態では、共通インク室４３を１枚のプレートで形成せずに、少なくとも２枚（ここでは２枚）のマニホールドプレートで形成している。従って、上下のマニホールドプレート３３、３４で、仕切り部５３の位置をインクの流れる方向の上流側と下流側とにずらすことができ、これにより、仕切り部５３を設けても、供給路４７と共通インク室４３とが連通して、インクを十分に共通インク室４３へ連続して流すことができる。

また、第２の開口５２においてインクがプレートの広幅面に平行に流れる部分の長さ寸法は、図５に示すように、上方（インク取入口４５に近い側）の第２の開口５２の長さ寸法Ｌ１が、下方（インク取入口４５に遠い側）の第２の開口５２の長さ寸法Ｌ２よりも短い方（Ｌ１＜Ｌ２）が望ましい。

第２の開口の上記寸法Ｌ１、Ｌ２は、仕切り部５３の位置によって規定される。仮に、図６に示すように、Ｌ１がＬ２よりも大きい（Ｌ１＞Ｌ２）場合には、下方の仕切り部５３ｂの方が、上方の仕切り部５３ａよりも、インクが積層方向からこれに略直交する方向へ流れの向きを変える箇所の隅部７０に近い位置に設けられていることになる。インクは仕切り部５３を避けながら、共通インク室４３に流れ込むから、図６の場合には、インクが上方のマニホールドプレート３４側を通り易くなり（図６の矢印Ｂ参照）、隅部７０の近傍に澱みが生じ易くなる。このような澱みには気泡等も溜まりがちで、吐出不良の要因になる。

しかしながら、本実施形態のように、Ｌ１＜Ｌ２に設定すると、インクが積層方向に略直交する方向に向きを変えるときに、下方のマニホールドプレート３４側を通り易くなる（図５の矢印Ａ参照）ので、隅部７０での澱みの発生を抑えることができる。

なお、図３では、８つの第１の開口５１をすべて同じ形状にするとともに、２つずつ組になった第２の開口５２を平面視で対称形状とし且つ４つの組をいずれも同じ大きさで図示している。しかしながら、第１の開口５１及び第２の開口５２の形状は、上記形状に限定するものではなく、対応するインクの色や、インク取入口４５と共通インク室４３との位置関係に応じて、適宜変更可能である。例えば、ブラックインク用の第１及び第２の開口５１、５２は、他のカラーインク用の第１及び第２の開口５１、５２よりも広幅に形成し、その内容量を大きくしてもよい。また、１つの組を構成する第２の開口５２の形状は、非対称の形状に形成してもよいが、この場合には、後述するように１つの組を構成する第２の開口５２の流路抵抗は同じにすることが望ましい。

また、供給路４７は、比較的その流路径が大きいが、複数のプレートを積層して構成され、且つ、１つの供給路４７は、その中途すなわち第２の開口５２の箇所から下流側は２つに分岐している。そのため、同一の色のインクが流れる供給路４７は、２つに分岐しても、各々の流路抵抗を同じにするように第２の開口５２の形状を規定することが望ましい。もちろん、共通インク室４３からノズル７に至る部分の流路抵抗は、全てのノズル７で同じになるように設計している。これにより、同じ色のインクを吐出する２列のノズル列の吐出特性を揃えることができる。

さらに、イエローインク、マゼンタインク、シアンインクに対応する供給路４７同士は、その流路抵抗を同じにすることが望ましく、流路抵抗が揃っていないと、前述した記録ヘッド３に対する吸引パージのときにその進行度にばらつきがでてしまう。

例えば、ブラックインク、イエローインク、マゼンタインク、シアンインクのそれぞれのノズル列に対して、吸引パージを行なうときに、回復装置１７は、ノズル面を覆うキャップ１８は、特開２００６−２７２８９４号公報にもあるように、ノズル列全体を覆ってノズル面と当接する環状リブと、環状リブ内をブラックインク用のノズル列と、そのほかのカラーインク用のノズル列を仕切るような仕切りリップが設けられていて、仕切りリップによって仕切られた２つの仕切り部屋のそれぞれには、吸引したインクを排出する排出口が設けられている。各排出口は、排出チューブが取り付けられていて、図示しない負圧装置（吸引ポンプ等）と切替えバルブ（図示しない）を介して連通している。

吸引パージを行なうときは、ノズル面をキャップ１８で覆って、切替バルブを切り替えることで、選択的に各仕切り部屋内を強制的に負圧にして、ノズルからインクを吸引して、ヘッド中のインク流路での気泡や不良インクを除去している。このとき、混色防止のため、ブラックインクとカラーインクとは切替バルブによって、別々に吸引パージされていて、カラーインク同士は、同時に吸引が行なわれている。

そのため、３色のカラーインクのヘッド内のインク流路に対しては、流路抵抗が揃っていないと、色によって吸引パージの進行具合にばらつきが生じることになる。そのため、マニホールドプレートにおいても、カラーインク同士は、その供給路４７、ひいては、キャビティ部２０におけるインク流通路の流路抵抗が同じであることが望ましい。

次に、図７及び図８を用いて、第１の実施形態のキャビティ部２０を変形した第２の実施形態について説明する。なお、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。

図７に示すように、第２の実施形態のキャビティ部２０のマニホールドプレート３３、３４にも、第１の実施形態と同様に、開口部が８つずつ貫通形成されている。しかしながら、この実施形態では、開口部として、仕切り部５３によって第１の開口５１と第２の開口５２とに分割された開口部５０ａと、仕切り部５３がなく連続した長穴状に形成された開口部５０ｂとが混在している。つまり、開口部５０ａは、共通インク室４３となる第１の開口５１と、供給路４７となる第２の開口５２とが、仕切り部５３を介して同一平面に並設されている。一方、開口部５０ｂは、共通インク室４３となる部分と、供給路４７となる部分とが同一平面に連続して形成されている。

そして、この開口部５０ａと開口部５０ｂとは、Ｙ軸方向に沿って交互に配置されている。従って、各マニホールドプレート３３、３４には、４つの仕切り部５３がＹ軸方向に間隔を開けて（飛び飛びに）配置されている。開口部５０ａと開口部５０ｂとは、仕切り部５３の有無を除いて、略同じ形状に形成されている。

また、仕切り部５３を有する開口部５０ａと仕切り部５３を有しない開口部５０ｂの並び順が、上下のマニホールドプレート３３、３４にて相違するようにしている。つまり、マニホールドプレート３４における仕切り部５３を有する開口部５０ａの下方には、マニホールドプレート３３における仕切り部５３を有しない開口部５０ｂが重なり、マニホールドプレート３４における仕切り部５３を有しない開口部５０ｂの下方には、マニホールドプレート３３における仕切り部５３を有する開口部５０ａが重なるように構成している。

これにより、開口部５０ａの第１の開口５１が、その上方または下方の開口部５０ｂと重なって共通インク室４３を構成し、開口部５０ａの第２の開口５２が、その上方または下方の開口部５０ｂと重なって供給路４７を構成する。

このように構成すると、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、一方のマニホールドプレート３３（３４）の共通インク室４３となる第１の開口５１は、同一平面の供給路４７となる第２の開口５２と仕切り部５３で隔てられていても、他方のマニホールドプレート３４（３３）の開口部５０ｂにおける供給路４７となる部分と上下に連通することができる。従って、インク取入口４５からのインクは第２の開口５２と開口部５０ｂの一部とで構成された供給路４７を経て、上方または下方に位置する仕切り部５３を避けて開口部５０ｂの部分を通り、第１の開口５１と開口部５０ｂとで構成された共通インク室４３に速やかに流入することができる。

この実施形態では、マニホールドプレート３３、３４を上下に積層したときに、下側のマニホールドプレート３３の仕切り部５３と、上側のマニホールドプレート３４の仕切り部５３とは、Ｙ軸方向に延びる同一直線上に配置している（上下には重ならない）。しかしながら、仕切り部５３の上下の配置はこれに限定するものではなく、積層方向からの平面視でＸ軸方向に位置ズレしていてもよい。また、共通インク室４３や供給路４７の構成に応じて、同一のマニホールドプレート３３（３４）に、開口部５０ａと開口部５０ｂとが１つずつ交互に配置されるのではなく、例えば２つずつ（または３以上の数ずつ）が交互に配置されるようにしてもよい。

第２の実施形態では、第１の実施形態のようにすべての開口部５０に仕切り部５３を設けた場合に比べて、仕切り部５３の数が少ない分だけ、マニホールドプレート３３、３４における抜き部（欠損部）が多くなる。しかしながら、各マニホールドプレート３３（３４）に、開口部５０ａ、５０ｂを交互に配置しているため、開口部同士の間にＸ軸方向に細長く平行状に延びる（残る）肉部を、仕切り部５３によってＹ軸方向に沿って飛び飛びに架橋して補強することができる。これにより剛性を高める効果が得られるので、プレート単体を取り扱うときの変形や撓みを抑制することができる。

加えて、第１の実施形態では、供給路４７から共通インク室４３にインクが流れ込む際には、２つの仕切り部５３ａ、５３ｂの間を積層方向に流動していたが、第２の実施形態では、上方または下方に位置する１つの仕切り部５３を回避してインクが共通インク室４３に流入する。従って、インクが回避する仕切り部５３の数が少ない分、供給路４７から共通インク室４３に流入するインクの妨げが少なくなるので、インクに対する流路抵抗を小さくできるという効果も奏する。

次に、図９を用いて、第１の実施形態のキャビティ部２０を変形した第３の実施形態について説明する。なお、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。

図９に示すキャビティ部２０では、共通インク室４３が第１のマニホールドプレート３４と第２のマニホールドプレート３３ａに跨がって形成されている。第１のマニホールドプレート３４は、上記実施形態のマニホールドプレート３４と同様の形状を有し、共通インク室４３となる第１の開口５１が、ノズル列に対応してＸ軸方向に長く延び、Ｙ軸方向に８つ並んでいる。また、第２の開口５２も仕切り部５３を挟んで、第１の開口５１毎にそのＸ軸方向に隣接して配置されている。

第１のマニホールドプレート３４の下面に隣接する第２のマニホールドプレート３３ａには、第３の開口５５が、Ｘ軸方向に長く延び且つＹ軸方向に８つ並んで形成されている。この第３の開口５５は、第１のマニホールドプレート３４の第１開口５１と第２の開口５２とに平面視で重なり、仕切り部５３を挟んで、第１開口５１と第２の開口５２とに跨がるように配置されている。第３の開口５５のＸ軸方向の長さ寸法Ｌ３は、第１の開口５１のＸ軸方向の長さ寸法Ｌ４及び第２の開口５２のＸ軸方向の長さ寸法Ｌ５の和よりも短く、且つ、第３の開口５５の前記寸法Ｌ３は、第１の開口５１の前記寸法Ｌ４よりも長い。そして、第１の開口５１と第３の開口５５とは、第２の開口５２側と反対側の端部の形状（輪郭）が上下で一致している。

このように構成された第１のマニホールドプレート３４と第２のマニホールドプレート３３ａが重ねられ、これらを挟むように、サプライプレート３５とダンパープレート３２が積層されると、共通インク室４３が、第１の開口５１と第３の開口５５とで形成されるとともに、供給路４７も形成される。このとき、仕切り部５３の下面が第３の開口５５と対向するので、第３の開口５５における第２の開口５２に近い側が、第２の開口５２と連通することになる。従って、供給路４７から流れるインクは、第２の開口５２から仕切り部５３を避けるように第３の開口５５に入り、そのまま共通インク室４３に流れ込む（図９の矢印Ｃ参照）。

この実施形態では、第２のマニホールドプレート３３ａに、第２の開口５２と同じ（重なる）形状の開口が設けられていないため、供給路４７を流れてきたインクが、マニホールドプレート３４に達すると、プレートの積層方向と直交する方向に緩やかに曲がることになるため、隅部７０のよどみを少なくする効果がある。この実施形態でも、供給路４７の流路抵抗は、同じ色を供給するインクの流れに対しては等しくなるように設定している。

第３の実施形態の場合には、第２のマニホールドプレート３３ａに、第３の開口５５が貫通形成されているが、第３の開口５５の長さは、第１の開口５１の長さと第２の開口５２の長さの和よりも短いから、抜き部（欠損部）が少なくなり、仕切り部を設けていなくても、その剛性を高めることができる。

なお、第１〜第３実施形態のキャビティ部２０のプレートの構成（枚数、種類）は、一例として挙げたものであって、これに限定するものではない。上記実施形態では、共通インク室を２枚のプレートで構成したが、３枚以上で構成してもよい。また、複数枚のプレートで共通インク室を形成する場合、そのうちの最下層（共通インク室の底面側）のプレート、または最上層（共通インク室の天井面側）のプレートの第１の開口５１は、プレートに凹設（ハーフエッチング）してもよい。もちろんこの場合には、凹み面が共通インク室４３の内面となるように組み合わされる。また、前記最下層のプレートでは、第２の開口５２も凹設（ハーフエッチング）してもよい。また、仕切り部５３は、マニホールドプレートの板厚と同一の板厚となっているが、凹設（ハーフエッチング）されていてもよい。この場合、凹み面が共通インク室４３の内面となるように組み合わされる。

加えて、上記実施形態では、第１の開口５１が形成された下方のマニホールドプレート３３の下側に、ダンパープレート３２を隣接させることで共通インク室４３の底部を形成させているが、他の機能を有するプレートであってもよい。例えば、ダンパー室４９を設けない場合には、マニホールドプレート３３の下側にはスペーサプレート３１が隣接する。この場合、上述したように、下方のマニホールドプレート３３、３３ａでは、共通インク室４３の底部を凹設（ハーフエッチング）してやれば、ダンパー効果も兼ね備えることができる。

また、上記実施形態では、同じ色のインクを貯める２つの共通インク室４３に対して１つの供給路４７を対応させて、供給路４７の途中で分岐して２つの共通インク室に接続するようにしているが、共通インク室４３毎に独立して供給路４７を接続したり、３つ以上の共通インク室４３に対して１つの供給路４７を接続したりしてもよい。

さらに、本発明の液滴吐出装置は、本実施形態のような記録装置１に限定するものではなく、インク以外の液体を吐出する装置に適用してもよい。

第１の実施形態の記録ヘッドを適用した記録装置の平面図である。 記録ヘッドの斜視図である。 キャビティ部の分解斜視図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。 図２のＶ−Ｖ線矢視断面図である。 比較例の図５に相当する断面図である。 第２の実施形態のキャビティ部の分解斜視図である。 （ａ）は図７のVIIIa―VIIIa線矢視断面図、（ｂ）は図７のVIIIb―VIIIb線矢視断面図である。 第３の実施形態を示した断面図である。

符号の説明

１ 記録装置
３ 記録ヘッド
７ ノズル
２０ キャビティ部
２１ アクチュエータ
２２ フレキシブルフラットケーブル
３３、３４ マニホールドプレート
４０ 圧力室
４７ 供給路
５０（５０ａ、５０ｂ） 開口部
５１ 第１の開口
５２ 第２の開口
５３ 仕切り部
５５ 第３の開口

Claims (12)

1. 液滴を吐出するために第１の方向に延びる列状に配置された複数のノズルと、このノズルに液体を分配する共通液室と、液体供給源からの液体を前記共通液室に供給するように当該共通液室に連通する供給路とを有するキャビティ部を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記キャビティ部は、複数のプレートを積層して構成され、前記液体供給源からの液体をノズル側へ供給するための開口部を有するマニホールドプレートを積層方向に少なくとも２枚隣接して備え、
   前記開口部は、前記マニホールドプレートの積層方向に重なるように配置され、積層方向に重なった前記開口部のうち、少なくとも１つの開口部は、仕切り部によって、前記共通液室となる第１の開口と前記供給路となる第２の開口とに分割されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記各マニホールドプレートの前記開口部はいずれも、前記仕切り部によって前記第１の開口と前記第２の開口とに分割されていて、
   各マニホールドプレートの前記仕切り部は、前記マニホールドプレートを積層したときに、積層方向からの平面視で重ならない位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記ノズルの列は第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、
   各マニホールドプレートには、前記開口部が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられ、前記開口部の前記第１の開口と前記第２の開口とは前記第１の方向に前記仕切り部を挟んで隣接し、
   同一マニホールドプレートに設けられた複数の前記仕切り部は、前記第２の方向に実質的に連続して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記積層方向に重なった前記開口部のうち、一部の開口部は、前記仕切り部によって前記共通液室となる第１の開口と前記供給路となる第２の開口とに分割され、残りの開口部は、前記共通液室となる部分と前記供給路となる部分が連続するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記ノズルの列は第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、
   各マニホールドプレートには、前記開口部が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられ、且つ前記仕切り部を有する開口部と前記仕切り部を有しない開口部とが、同一のマニホールドプレートに混在し、
   前記マニホールドプレートを積層したときの積層方向からの平面視で、前記仕切り部を有する開口部には前記仕切り部を有しない開口部が積層方向に重なるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
6. 各マニホールドプレートでは、前記仕切り部を有する開口部と前記仕切り部を有しない開口部とが、第２の方向に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッド。
7. 前記キャビティ部における前記複数のプレートのうち、
   前記開口部が貫通形成された前記少なくとも２枚のマニホールドプレートと、
   前記少なくとも２枚のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続に近い側に位置し、前記第２の開口と連通し前記供給路となる接続開口を有するプレートと、
   前記少なくとも２枚のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続から遠い側に位置し、前記開口部を覆うプレートと、
   が積層されることで、前記共通液室と前記供給路とが形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
8. 前記キャビティ部は、前記供給路を形成する第２の開口を有するマニホールドプレートを２枚以上有し、
   前記第２の開口のうち、前記液体供給源との接続から遠い側のマニホールドプレートに設けられた第２の開口は、前記液体供給源との接続に近い側のマニホールドプレートに設けられた第２の開口よりも、前記第１の方向に延びる長さ寸法が長く設定され、前記液体供給源との接続から遠い側のマニホールドプレートに設けられた第１の開口と連通していることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
9. 液滴を吐出するために第１の方向に延びる列状に配置された複数のノズルと、このノズルに液体を分配する共通液室と、液体供給源からの液体を前記共通液室に供給するように当該共通液室に連通する供給路とを有するキャビティ部を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記キャビティ部は、複数のプレートを積層して構成されるとともに、
   前記第１の方向に沿って長く延びた前記共通液室となる第１の開口と、当該第１の開口と仕切り部を挟んで並ぶように設けられた前記供給路となる第２の開口とが、貫通形成または凹設された少なくとも１枚の第１のマニホールドプレートと、
   前記第１及び第２の開口の下側に重なって位置し、第１及び第２の開口の第１の方向の長さの和よりも短い長さを有する第３の開口が形成された第２のマニホールドプレートと、を有していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
10. 前記複数のプレートのうち、
    前記第１の開口及び第２の開口が貫通形成された前記第１のマニホールドプレートと、
    前記第１のマニホールドプレートに対して前記液体供給源との接続に近い側に位置し、前記第２の開口と連通し前記供給路となる接続開口を有するプレートと、
    前記第２のマニホールドプレートと、
    が積層されることで、前記共通インク室と前記供給路とが形成されていることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッド。
11. 前記ノズルの列は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って複数列設けられ、
    前記第１のマニホールドプレートには、前記第１の開口が、前記ノズルの配列に対応して第２の方向に沿って複数個設けられるとともに、前記第２の開口が、前記各第１の開口における第１の方向の一方の端部側に前記仕切り部を挟んで隣接し且つ第２の方向に沿って複数個設けられ、
    前記第１のマニホールドプレートに設けられた前記仕切り部は、前記第２の方向に実質的に連続して形成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の液滴吐出ヘッド。
12. 前記液体は、ブラックインクとその他の複数のカラーインクであり、
    前記インクの色毎に設けられた前記ノズルの列に対応して、前記共通液室が複数列設けられ、同じ色のインクを貯める共通液室に連通する前記供給路同士は、その流路抵抗が実質上同じになるように設定されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。

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