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JP2008253108A - 駆動案内装置 - Google Patents

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JP2008253108A JP2007094562A JP2007094562A JP2008253108A JP 2008253108 A JP2008253108 A JP 2008253108A JP 2007094562 A JP2007094562 A JP 2007094562A JP 2007094562 A JP2007094562 A JP 2007094562A JP 2008253108 A JP2008253108 A JP 2008253108A
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Abstract

【課題】リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供する。
【解決手段】リニアモータによって、レール230に案内されて移動する移動ユニット100を備える駆動案内装置であって、移動ユニット100は、通電によって磁界を発生する可動子140と、可動子140を挟んでレール230が固定される基台210と反対側に設けられるテーブル110と、テーブル110と可動子140の間に設けられ、可動子140で生じる熱を放熱するための放熱フィン150と、を備える駆動案内装置において、放熱フィン150は、第1の放熱フィン151と、第1の放熱フィン151よりも高さが低い第2の放熱フィン152と、を備え、第1の放熱フィン151の間に第2の放熱フィン152を配置する。
【選択図】図1

Description

本発明は、リニアモータの通電側で生じた熱を放熱する放熱フィンを備える駆動案内装置に関する。
従来、案内ガイドが設けられる基台に対して移動する移動ユニットを備える駆動案内装置が知られている。また、このような駆動案内装置であって、移動ユニットの駆動源としてリニアモータを用いるものが知られている。特許文献1は、リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置の構成を開示するものである。
リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置は、通電されることで磁界を生じる可動子を移動ユニットに備え、基台の、可動子と対向する部分に磁石を有する固定子を備え、可動子が通電されて可動子と固定子の間に磁気相互力が生じることで、移動ユニットが案内ガイドに案内されて基台に対して移動する構成である。
この構成によれば、可動子と固定子が非接触の状態で移動ユニットが移動するので、移動ユニットの移動過程において可動子と固定子が接触することで生じる騒音、振動等がほとんどなく、その結果、駆動案内装置の低騒音化、低振動化を実現することが可能になる。さらに、可動子と固定子との間で摩擦が生じないので、移動ユニットの加速性能を向上させることが可能になる。
図11は、特許文献1に開示する、リニアモータを駆動源とする従来の駆動案内装置の概略構成を示すものである。図11に示すように、駆動案内装置には、テーブル110、移動ブロック120、可動子140、から構成される移動ユニット100を備える。また、基台210には、固定子220が設けられる。
また、基台210には、移動ユニット100の移動を案内するためのレール230(案内ガイド)が固定され、移動ユニット100に備えられる移動ブロック120がレール230に取り付けられる。この際、移動ブロック120は、一般的にボールやローラなどの転動体を介して、ある程度の予圧がかけられた状態でレール230に対して取り付けられる。予圧をかける行為は、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じさせないために行われるものである。
さらに移動ユニット100には、図11に示すように、可動子140とテーブル110との間にヒートシンク130が設けられ、ヒートシンク130上には複数の放熱フィン150が形成される(図12)。また、ヒートシンク130とテーブル110の間には断熱材400が設けられている。
この放熱フィン150、及び断熱材400は、可動子140に通電して移動ユニット100を移動させる際に、可動子140から生じる熱をテーブル110へ伝達させないために設けられるものである。
すなわち、可動子140を通電した際に可動子140で生じた熱がテーブル110へ伝達すると、テーブル110が熱膨張を起こして変形する。そして、移動ブロック120がレール230に取り付けられた状態でテーブル110が熱膨張すると、テーブル110が湾曲して移動ブロック120とレール230との取り付け状態に変動をきたす。
その結果、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、また、駆動案内装置の寿命が短くなるといった問題を生じる。
これに対し、従来例に係る駆動案内装置においては、可動子140で生じる熱をテーブル110へ伝達させない為に、テーブル110と可動子140の間に断熱材400を設けた。さらに、可動子140とテーブル110との間に放熱フィン150を設け、放熱フィン150によって、可動子140において生じた熱を放熱する構成とした。
特開2004−88981号公報
しかしながら、例えば移動ユニット100の推力を上げることを目的として、より大きな磁界を発生させる可動子140を用いる場合には、可動子140で生じる熱量が増加してしまい、従来の構成ではそれらの熱を十分に断熱または放熱しきれず、テーブル110へ熱が伝達しまう。
上記で説明したように、テーブル110に熱が伝達してテーブル110が熱膨張すると、移動ブロック120とレール230の取り付け状態に変動をきたし、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、駆動案内装置の寿命が短くなる。
この解決策として、放熱フィン150の放熱効率を上げることが考えられるが、一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるためには、複数の放熱フィンの総表面積を大きくする必要がある。具体的には、隣り合う放熱フィンの間隔を狭め、単位長さあたりに設置される放熱フィンの数を増やしたり、放熱フィンの高さを高くして放熱フィンの1枚あたりの表面積を大きくする、といった方法が考えられる。
しかしながら、放熱フィンの間隔を狭めたり、放熱フィンの高さを高くすると、隣り合うフィンの間で空気対流が起きにくくなる恐れがあり、その結果放熱フィンから十分に放熱がされず、逆に放熱効率が下がってしまう。
つまり図12に示すように、従来例における放熱フィン150は、放熱フィン150の高さを全て同じにする構成であるので、放熱効率を上げるために隣り合う放熱フィン150の間隔を狭めたり放熱フィン150の高さを高くしても、所望の放熱効果を得られないばかりか、逆に放熱効率が低くなってテーブル110の熱膨張を防ぎきれなくなる、といった問題点を生じる。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明にあっては、リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、前記移動ユニットは、通電によって磁界を発生する可動子と、前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンと、を備える駆動案内装置において、前記複数の放熱フィンには、第1の放熱フィンと、第1の放熱フィンよりも高さが低い第2の放熱フィンと、がそれぞれ複数含まれ、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンの間に第2の放熱フィンが配置されることを特徴とする。
この構成によると、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第2の放熱フィンを設けるので、高さの高い第1の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間には第2の放熱フィンが設置されることで、第2の放熱フィンによっても放熱しつつ、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。
また、第1のフィンと第2のフィンは交互に配置されるとよい。
また、前記放熱フィンは、前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることも好適である。
この構成によれば、テーブルの移動に伴って放熱フィンの間を空気が通り抜けていき易くなるので、放熱フィンからの放熱がより効果的に行われる。
また、前記テーブルには、前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることも好適である。
この構成によると、テーブルの複数の放熱フィンと対向する部分に孔部を形成することで、放熱フィンから放熱される熱が、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げやすくなる。
また、前記孔部は、前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることも好適である。
この構成によると、孔部の形状を長孔として孔部の面積を大きくすることで、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げる熱量をより多くし、かつ長孔の形状をテーブルの移動方向に直交する方向に長い形状とすることで、長孔をテーブルの移動方向に長い形状とする場合よりも剛性を確保することができる。
以上説明したように、本発明によれば、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第2の放熱フィンを設けるので、高さの高い第1の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間には第2の放熱フィンが設置されることで、第2の放熱フィンによっても放熱しつつ、第1の放熱フィンと第1の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。よって、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。
以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
以下、図1〜図10を参照して、本発明の実施の形態に係る駆動案内装置について説明する。
[移動ユニットと基台の構成]
図1、図2に、本実施の形態に係る駆動案内装置の概略構成を示す。図1は、本実施の
形態に係る駆動案内装置の概略構成の斜視図である。また、図2は本実施の形態に係る駆動案内装置の断面における概略構成図である。
図1、2に示すように、本実施の形態に係る駆動案内装置は、移動ユニット100と、移動ユニット100の移動方向を案内する案内ガイドとしてのレール230が固定される基台210と、を備える。
そして、移動ユニット100には、通電されることで磁界を生じる可動子140と、テーブル110と、移動ブロック120と、が備えられる。
可動子140は、不図示の電磁子コアと電磁子コイルを有する。また、可動子140とテーブル110との間には、複数の放熱フィン150が設けられたヒートシンク130が備えられる。なお、放熱フィン付きのヒートシンク130の構成については後に説明する。
また、可動子140はヒートシンク130の下面に設けられ、ヒートシンク130の上面には複数の放熱フィン150が設けられる。さらにヒートシンク130は、テーブル110にボルト等によって固定される。また、テーブル110の幅方向の両端には、それぞれ移動ブロック120が設けられる。
一方、基台210には、移動ブロック120の移動を案内する案内ガイドとして、一対のレール230が互いに平行に固定される。また、基台210には、可動子140と対向する部分に磁石等を有する固定子220が設けられる。なお、固定子220と可動子140との間には隙間が設けられる。
そして、移動ブロック120がレール230に取り付けられることで、移動ユニット100はレール230に沿って移動自在に構成される。なお、移動ブロック120とレール230の取り付け部分の構成等に関しては、後に説明する。
このように構成される駆動案内装置において、不図示の電源から可動子140が通電されると、可動子140が磁界を生じる。そして、固定子220が形成する磁界との磁気相互作用によって、可動子140が設けられる移動ユニット100がレール230に沿って移動する。
すなわち、本実施の形態における駆動案内装置においては、可動子140と固定子220とによって構成されるリニアモータによって、移動ユニット100が基台210に対して移動する構成である。
[移動ブロックとレールの取り付け部分の構成]
本実施の形態においては、移動ブロック120とレール230との間に、転動体(ボール、ローラ等)を介在させることで、移動ブロック120がレール230に案内されて移動することが可能な転がり案内を有する構成とした。以下、図3〜図5を参照して、移動ブロック120と、レール230の取り付け部分の構成について説明する。ここでは、転動体の一例としてボールを用いる場合について説明を行う。
図4に示すように、レール230には、その長手方向に沿って転動体転走面としてのボール転走溝231が左右側面に2条ずつ形成される。一方、移動ブロック120には、ボール転走溝231に対向する負荷転動体転走路をなす負荷転走溝121を含む、無限循環路が形成される。
そして無限循環路には、レール230に対する移動ブロック120の相対移動に伴って、ボール転走溝231と負荷転走溝121との間で転動して循環する複数のボール232が配列、収容されている。
また、図3に示すように、移動ブロック120は、負荷転走溝121及び、これに平行なボール戻し路を備える移動ブロック本体120aと、この移動ブロック本体120aの両端にそれぞれ結合される一対のエンドキャップ120bと、を備える。なお、エンドキャップ120bは、負荷転走溝121とボール戻し路を連結するものである。
上記移動ブロック120に形成された負荷転走溝121は、レール230に形成された各ボール転走溝231に対向して形成されており、負荷転走溝121とボール転走溝231との間には複数のボール232が介在する。
そして、これら複数のボール232は、移動ブロック120の移動に伴い、エンドキャップ120bに形成された方向転換路を介してボール戻し路へと送り込まれ、再び負荷転走溝121に導かれ、無限循環路を循環する。
図5に示すように、複数のボール232は、保持部材235によって回転自在に保持される。この保持部材235は、ボール232と交互に配置された間座122と、間座122を接続する薄板状の可撓性を有するベルト234とで構成される。
また、図4に示すように、レール230の上面と移動ブロック120との間、並びにレール230の側面と移動ブロック120との間には、シール部材125,126が配設される。
シール部材125,126は、ボール転走溝231と負荷転走溝121との間に充填される潤滑剤の外部への漏れ、または外部からの塵埃の侵入を防ぐために設けられるものである。
ところで、上記では、レール230と移動ブロック120とがボールなどの転動体(ボール又はローラ)を介して相対移動自在である、転がり案内の構成について説明したが、本実施の形態における駆動案内装置の構成はこれに限らず、すべり案内の構成を採用してもよい。
図8は、すべり方式の案内機構を備えた駆動案内装置の概略構成例を示す図である。
図8に示すように、すべり方式の案内機構は、断面矩形状のレール230と、レール230に跨架状態にして相対運動自在に組み付けられ、上面にテーブル110が装着される移動ブロック120を有しており、基台210上に左右一対設けられている。
レール230及び移動ブロック120は、すべり案内、つまり、互いの間に転動体は介装されず、直接当接して摺動自在に組み込まれている。
[放熱フィンの構成]
図1、図2に示す本実施の形態に係る駆動案内装置における放熱フィン150の取り付け部分を拡大して、図6,図7に示す。
図6、図7に示すように、上記のように構成される駆動案内装置においては、可動子140が通電されて発熱した場合に、生じた熱を放熱するための放熱フィン150を設ける構成とした。
具体的には、ヒートシンク130の上面に放熱フィン150を複数設ける構成とした。また、本実施の形態においては、放熱フィン150が高さの異なる第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152を含むものとした。
そして、第1の放熱フィン(高いほうのフィン)151と第2の放熱フィン(低いほうのフィン)152を交互に設ける構成とした。また、放熱フィン150は、移動ユニット100の移動方向と平行になるように並べた。そうすることによって、放熱フィン150の放熱面の法線方向が、テーブル110の移動方向と直交するように構成される。
また、第1の放熱フィン151は、その表面積が大きくなるように、高さをできる限り大きくした。一方で、寸法公差等を考慮して、その上面がテーブル110の下面に当接しない高さに設定した。
次に放熱のメカニズムについて説明する。まず、リニアモータの駆動と共に可動子140で発生した熱は、上記で説明した放熱フィン付きヒートシンク130に伝わる。なお、放熱フィン付きヒートシンク130には、例えば内部にヒートパイプが配設された既知の構成のものを用いるものとする。
そして、ヒートシンク130に伝わった熱は、ヒートシンク130上に備えられる放熱フィン150から放熱される。図6、図7に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン150として、高さの異なる第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152を用いるものとし、第1のフィン(高いほうのフィン)の間に第2のフィン(低いほうのフィン)が設けられる構成とした。
一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるための手法としては、放熱フィンの表面積を増やすことが考えられる。特に複数の放熱フィンがそれぞれ平行に配列されるような場合では、放熱フィン全体の総表面積を増やすことで、放熱効率を上げることが可能となる。具体的には、1枚1枚の放熱フィンを大きくして表面積を増やす、または並べられる放熱フィンの間隔を狭めて、単位長さあたりの放熱フィンの数を増やす、などが考えられる。
しかしながら、1枚1枚の放熱フィンの高さを出来る限り大きくして放熱フィンの表面積を増やす、または放熱フィンの間隔を狭めて単位長さあたりの放熱フィンの数を増やすと、放熱フィンの間のスペースで空気が対流しにくくなってしまう。
そこで本実施の形態においては、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間に、これらよりも高さの低い第2の放熱フィン152を設け、高さの高い第1の放熱フィン151によって放熱面の面積を確保しつつ、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間には第2の放熱フィン152が設置されることで、第2の放熱フィン152によっても放熱しつつ、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間で空気が対流する空間を確保する構成とした。
その結果、放熱フィン同士の間隔を狭めて単位長さ辺りの放熱フィンの数を増やしつつ、放熱フィン間で空気が対流できるスペースを確保することができ、放熱効率を上げることが可能になる。
また、放熱フィン付きヒートシンク130は、テーブル110の下面に対して、ヒートシンク130に設けられる壁部170の上面が当接することで固定される。図6に示すように、本実施の形態においては、壁部170が3箇所設けられ、それぞれの壁部170の上面がテーブル110の下面に固定される。
また、第1の放熱フィン151、及び第2の放熱フィン152ともに壁部170の上面よりも高さを低くすることで、第1の放熱フィン151、及び第2の放熱フィン152ともに、その上面がテーブル110の下面に当接しない構成とした。なお、壁部170の上面はテーブル110下面に対してボルト等で固定される。
また、本実施の形態では、壁部170を介してヒートシンク130からテーブル110に熱を伝え、テーブル110において放熱可能に構成される。そのような構成とすることで、放熱フィン150で熱を放熱しきれなかった場合に、放熱しきれなかった熱をテーブル110に伝え、テーブル110において放熱をすることが可能になるので、放熱量を増加させることができる。また、本実施の形態では、ヒートシンク130の熱をより効果的に放熱するために、ヒートシンク130の表面に黒色表面処理を施す構成とした。
[テーブルの構成]
また、図9に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン150の放熱効率をさらに向上させるために、テーブル110の放熱フィン150と対向する部分に孔部111を形成する構成とした。
この構成によると、テーブル110の放熱フィン150と対向する部分に孔部111を形成することで、放熱フィン150から放熱される熱が孔部111を通じてテーブル110の外側へ逃げやすくなる。その結果、放熱フィン150からの放熱量が増加する。また、テーブル110に孔部111を形成するのでテーブル110を軽量化することも可能になる。
また、孔部111の形状を長孔とすることで、テーブル110の幅方向の熱分布の偏りを抑制できる。
ここで駆動案内装置において、移動ユニットの推力を高めるためには磁界を大きくしなければならず、そのためには、コイルの数を増やしたり、コイルを大きくする必要がある。
そのため、高さ寸法、長さ寸法、幅寸法のうち少なくともいずれかを大きくしなければならない。しかしながら、高さ寸法を高くすることは、移動ユニット100の高さが高くなってしまうことから、その高さを制限されることがある。
また、長さ寸法を長くすることは、移動ユニット100の移動方向の長さが増えるために、その分移動ユニット100の移動範囲が狭まってしまう。
このように、高さ寸法と長さ寸法に制限がある場合は、移動ユニット100の推力を高めるためには、テーブル110の幅寸法を大きくせざるを得ない。
その結果、可動子140、及びテーブル110の幅方向の寸法が大きくなる。そして、可動子140、及びテーブル110の幅方向の寸法が大きくなると、可動子140及び固定子220の磁気吸引力等により、テーブル110の移動ブロック120を支点とする下方への撓み量が増大する傾向となる。
特に、テーブル110に長孔を設ける場合、長孔の形状をテーブル110の移動方向に長い形状とする場合は、テーブル110の撓み量は大きくなってしまう。
しかし、本実施の形態のように長孔の形状をテーブル110の移動方向に直交する方向
に長い形状とすることで、長孔の形状をテーブル110の移動方向に長い形状とする場合よりも、テーブル110の撓み量を低減させることが可能になる。
ただし、放熱フィン150からの放熱で足りる場合は、図10に示すように、テーブル110に孔部111を設けない構成であってもよい。孔部111を設けないことによって、テーブル110の剛性を上げることが可能になる。
また、本実施の形態においては、テーブル110に伝わった熱をより効果的に放熱するために、テーブル110の表面に黒色表面処理を施す構成とした。
また、テーブル110に、従来のアルミニウム合金(熱膨張係数19〜23×(10−6/K))や鉄(熱膨張係数11〜12×(10−6/K))に対して、株式会社榎本鋳工製ノビナイト(登録商標)CD−5(熱膨張係数11〜12×(10−6/K))を用いた。この構成によれば、放熱フィン150で放熱しきれなかった熱がテーブル110に伝わる場合に、テーブル110の熱膨張量を抑えることができる。
しかしながら、上記で説明したテーブル110の表面に黒色表面処理を施す方法は、放熱フィン150で放熱しきれない熱がテーブル110に伝わった場合に、テーブル110で効果的に放熱するための方法であるので、放熱フィン150からの放熱で十分に品質を満たすような場合は、この方法を用いなくともよい。
以上より、本実施の形態によれば、放熱フィン150の放熱効率を上げることが可能になるので、放熱フィン150からの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。また、従来のように可動子140とテーブル110の間に断熱材を挟むと、一般的に断熱材の剛性は低いので、装置本体の強度が不足してしまう。しかし、本実施の形態においては、可動子140とテーブル110の間に断熱材を設ける構成ではないので、装置本体の強度を向上させることが可能になる。
(その他の実施の形態)
上記では第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152を交互に配列するものとしたが、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間に第2の放熱フィンを複数設ける構成であってもよい。具体的には、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151の間に第2の放熱フィン152を2枚設ける構成などが挙げられる。
また、上記では放熱フィン150は、高さの異なる2種類の放熱フィン(第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152)を含む構成としたが、放熱フィン150の構成はこれに限られるものではなく、例えば第1の放熱フィン151、第2の放熱フィン152の他に、第1、第2の放熱フィンと高さが異なる放熱フィンを有する構成であってもよい。
本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図 本実施の形態に係る駆動案内装置の正面図 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図 本実施の形態における移動ブロックの概略構成図 本実施の形態における放熱フィンの正面図 本実施の形態における放熱フィンの斜視図 すべり案内の案内機構を備える駆動案内装置の概略構成図 本実施の形態におけるテーブルの斜視図 本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図 従来例に係る駆動案内装置の概略構成図 従来例に係る放熱フィンの概略構成図
符号の説明
100 移動ユニット
110 テーブル
111 孔部
120 移動ブロック
120a 移動ブロック本体
120b エンドキャップ
121 負荷転走溝
122 間座
125 シール部材
126 シール部材
130 ヒートシンク
135 隙間
136 ネジ穴
140 可動子
150 放熱フィン
151 第1の放熱フィン
152 第2の放熱フィン
170 壁部
210 基台
220 固定子
230 レール(案内ガイド)
231 ボール転走溝
232 ボール
234 ベルト
235 保持部材
400 断熱材

Claims (5)

  1. リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、
    前記移動ユニットは、
    通電によって磁界を発生する可動子と、
    前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、
    前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンと、
    を備える駆動案内装置において、
    前記複数の放熱フィンには、
    第1の放熱フィンと、
    第1の放熱フィンよりも高さが低い第2の放熱フィンと、
    がそれぞれ複数含まれ、
    第1の放熱フィンと第1の放熱フィンの間に第2の放熱フィンが配置されることを特徴とする駆動案内装置。
  2. 第1の放熱フィンと第2の放熱フィンは交互に配置されることを特徴とする請求項1に記載の駆動案内装置。
  3. 前記放熱フィンは、
    前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることを特徴とする請求項1または2に記載の駆動案内装置。
  4. 前記テーブルには、
    前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の駆動案内装置。
  5. 前記孔部は、
    前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることを特徴とする請求項4に記載の駆動案内装置。
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