JP2008108719A - Manufacturing method of member for plasma display - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はプラズマディスプレイ用部材の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a member for a plasma display.
プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」とする)、前面板と背面板との間に備えられた放電空間内で対向するアノードおよびカソード電極間にプラズマ放電を生じさせ、放電空間内に封入されているXe−Ne混合ガスなどの放電ガスから発生した147nm、172nmといった非常に波長が短い紫外線を、放電空間内に設けた蛍光体に照射することにより表示を行うものである。また、放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一な放電空間を確保するために、隔壁(障壁、リブともいう)が設けられている。隔壁の形状としては、およそ幅20〜120μm、高さ50〜250μmのストライプ状や格子状のものが一般によく用いられている。 Plasma discharge is generated between the anode and cathode electrodes facing each other in a discharge space provided between a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”), a front plate and a back plate, and is enclosed in the discharge space. The display is performed by irradiating the phosphor provided in the discharge space with ultraviolet rays having a very short wavelength such as 147 nm and 172 nm generated from a discharge gas such as a mixed gas of Xe-Ne. In addition, partition walls (also referred to as barriers or ribs) are provided in order to suppress the spread of the discharge to a certain area and perform display in a prescribed cell, and at the same time, ensure a uniform discharge space. As the shape of the partition wall, a stripe shape or a lattice shape having a width of about 20 to 120 μm and a height of 50 to 250 μm is generally used.
交流(AC)型PDPは、一般に図7に示すような構造を有す。すなわち、前面板1は、ガラス基板2に透明電極(スキャン電極3およびサステイン電極4)、バス電極5、透明誘電体層6、MgO保護膜7が形成された構成を有する。また、背面板8は、ガラス基板9にアドレス電極10、誘電体層11、隔壁12、蛍光体(赤色蛍光体13、緑色蛍光体14、青色蛍光体15)が形成された構造を有する。前面板1において、スキャン電極3とバス電極5およびサステイン電極4とバス電極5はそれぞれ積層され電気的に導通している。このスキャン電極3およびバス電極5の積層体とその隣に位置するサステイン電極4とバス電極5の積層体に交流のパルス電圧を印加することで、これらの透明電極間のギャップから放電を開始し、保護膜表面での面放電が維持されて表示発光動作を行っている。この放電により発生した紫外線によって背面板8に形成された蛍光体(赤色蛍光体13、緑色蛍光体14、青色蛍光体15)が励起されて発生した光を表示光として用いる。
An alternating current (AC) type PDP generally has a structure as shown in FIG. That is, the
上記のような従来のPDPを高精細化する場合、発光効率(一定発光面積への投入電力に対する輝度)が低下しやすいという課題がある。この理由として、放電ギャップの確保が困難になること、放電領域が小さくなること、等が挙げられる。先ず、高精細化に伴いセルのサイズが小さくなることで放電空間が小さくなる一方、隣接セルとの放電干渉防止のために隣接セル間の電極間距離を一定値以上とする結果、放電ギャップをあまり大きく取ることができないために微少領域での放電になりやすい上に、放電形態が面放電であるため、紫外線の発生効率の高い陽光柱が生成されず、放電モードが負グローに制約される。従って、紫外線生成効率は低くなるため、蛍光体からの表示光の発光効率も低くなりやすい。特に、ハイビジョン用途などの高精細PDPにおいては、放電部位と隔壁、蛍光体の距離が相対的に短くなり、イオンや電子などの荷電粒子が拡散しやすいため、より一層放電領域が狭まる。放電形態が面放電であることは、発生した紫外線が、蛍光体が形成されていない前面板1の方向にも照射され、そのほとんどが蛍光体の励起、表示光の発生に利用されないという点からも発光効率低下の要因となる。
When the conventional PDP as described above has a high definition, there is a problem that the light emission efficiency (luminance with respect to the input power to a constant light emission area) is likely to decrease. This is because it is difficult to secure the discharge gap, the discharge area is reduced, and the like. First, the discharge space is reduced by reducing the size of the cells with higher definition, while the distance between the electrodes between adjacent cells is set to a certain value or more to prevent discharge interference with the adjacent cells. Since it cannot be made very large, it tends to be a discharge in a very small region, and since the discharge form is a surface discharge, a positive column with high generation efficiency of ultraviolet rays is not generated, and the discharge mode is restricted to a negative glow. . Therefore, since the ultraviolet ray generation efficiency is low, the light emission efficiency of display light from the phosphor tends to be low. In particular, in a high-definition PDP for high-vision applications and the like, the distance between the discharge site, the barrier ribs, and the phosphor is relatively short, and charged particles such as ions and electrons are easily diffused, thereby further narrowing the discharge region. The fact that the discharge form is a surface discharge is that the generated ultraviolet rays are also irradiated in the direction of the
また、前面板1には表示画素を選択するアドレス時の電荷蓄積機能や、表示光の透過機能も必要とされる。そのため、厚み20〜50μmの透明誘電体層6が形成される。透明誘電体層6の可視光透過率は70〜80%程度であり、表示光の一部が吸収され、全てが表示として利用されず、ロスが生じている。表示光の透過性という観点では、前面板1上に存在するITO等で形成された透明電極(スキャン電極3およびサステイン電極4)の存在も妨げとなる。
Further, the
さらに、放電領域が透明電極付近に限定されるため、効率的に紫外線を発生させることが難しかった。さらに、上述のような構成を持つ前面板1は作製プロセスが多く、歩留まり低下、ひいてはコストの上昇の要因となっていた。
Furthermore, since the discharge region is limited to the vicinity of the transparent electrode, it has been difficult to efficiently generate ultraviolet rays. Further, the
以上述べたように、PDPの大きな課題は、高発光効率化および低コスト化である。この課題に対して、対向放電型のPDPが提案されている(特許文献1)。特許文献1に記載された対向放電型のPDPは、隔壁に相当する部分を格子状の厚膜セラミックシート化し、書込電極、隔壁および蛍光体を形成した背面板と隔壁および蛍光体を形成した前面板で厚膜セラミックシートを挟む3層構造としたもので、厚膜セラミックシート内にサステイン電極を形成し、対向放電とすることで発光効率の向上を狙うものである。しかし、プロセス上厚膜セラミックシートの高精細化は困難である。また、電極ギャップ(=放電ギャップ)が長いために放電開始電圧が高くなり、これまで以上の高耐圧ICが必要となり駆動回路のコストが上昇してしまうことや、背面板、厚膜セラミックシート、前面板の位置合わせに精度が必要であり、歩留まり低下、コストの上昇を招いてしまうという問題があった。
As described above, the major problems of the PDP are high luminous efficiency and low cost. In order to solve this problem, a counter discharge type PDP has been proposed (Patent Document 1). In the counter discharge type PDP described in
これに対して、背面板の隔壁内部に電極を有する対向放電型のPDPが提案されている(特許文献2参照)。特許文献2に記載されたPDPは、隔壁内部に形成した電極を、例えば表示電極として用いることによって、電極間ギャップを大きく取ることができ、陽光柱を伴う放電モードにより近くなるため、紫外線の発生効率を高くすることができ、その結果、蛍光体からの表示光の発光効率も大きくすることができる。また、表面に蛍光体を設けた隔壁の内部に存在する電極間の対向放電であるため、紫外線が効率よく蛍光体の励起に利用される。さらに、前面板に誘電体層や透明電極を設ける必要がないため、前面板における吸収によるロスも少ない。
On the other hand, a counter discharge type PDP having an electrode inside a partition wall of a back plate has been proposed (see Patent Document 2). The PDP described in
このような電極を内蔵した隔壁を形成する方法として、特許文献2には公知の感光性電極ペーストを用いたフォトリソグラフィー法による方法が記載されている。しかし、公知の感光性電極ペーストを用いる方法では、電極ペースト塗布層の光線透過率が小さいため、特許文献2に記載されているように、隔壁の下層、電極層、隔壁の上層の露光をそれぞれ個別に行う必要があり、プロセス数が多くなってしまうという課題があった。また、該電極層を厚膜化できないため対向放電の放電領域が狭いという課題があった。
本発明は、上記従来技術の問題点に着目し、高発光効率のPDP用部材を簡便に製造する方法を提供することにある。 The present invention focuses on the above-mentioned problems of the prior art and provides a method for easily producing a member for PDP having high luminous efficiency.
上記課題を解決するために本発明は以下の構成を有する。すなわち本発明は、基板上に低軟化点ガラス粉末を含む無機成分と感光性有機成分を含む有機成分からなる感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第1隔壁ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層上に感光性有機成分および数平均粒子径が1〜200nmの導電性粒子を含む感光性電極ペーストを塗布、乾燥して電極ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層および該電極ペースト層からなる積層体を一括露光、一括現像して第1隔壁パターンと電極パターンの積層体を形成し、該第1隔壁パターンと電極パターンの積層体を覆うように感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第2隔壁ペースト層を形成し、該第2隔壁ペースト層を露光、現像して、該第1隔壁パターン、該電極パターン、およびこれらを覆う第2隔壁パターンからなる積層隔壁パターンを形成し、該積層隔壁パターンを一括焼成することによって内部に電極を有する隔壁を形成することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法、または、低軟化点ガラス粉末を含む無機成分と感光性有機成分を含む有機成分からなるアルカリ現像性の感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第1隔壁ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層上に感光性有機成分および数平均粒子径が1〜200nmの導電性粒子を含む水現像性の電極ペーストを塗布、乾燥して電極ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層および該電極ペースト層からなる積層体を一括露光し、中性の水系現像液を用いて現像して第1隔壁ペースト層と電極パターンの積層体を形成し、該第1隔壁ペースト層と電極パターンの積層体を覆うように感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第2隔壁ペースト層を形成し、露光し、アルカリ性の現像液を用いて現像して該第1隔壁パターン、該電極パターン、およびこれらを覆う第2隔壁パターンからなる積層隔壁パターンを形成し、該積層隔壁パターンを一括焼成することによって内部に電極を有する隔壁を形成することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法である。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is, according to the present invention, a first barrier rib paste layer is formed by applying and drying a photosensitive barrier rib paste comprising an inorganic component including a low softening point glass powder and an organic component including a photosensitive organic component on a substrate. A photosensitive electrode paste containing a photosensitive organic component and conductive particles having a number average particle diameter of 1 to 200 nm is applied onto the partition wall paste layer and dried to form an electrode paste layer. The first partition paste layer and the electrode A laminated body composed of paste layers is collectively exposed and collectively developed to form a first barrier rib pattern and electrode pattern laminated body, and a photosensitive barrier rib paste is applied so as to cover the first barrier rib pattern and electrode pattern laminated body; A product comprising the first barrier rib pattern, the electrode pattern, and the second barrier rib pattern covering the first barrier rib paste layer by drying to form a second barrier rib paste layer, exposing and developing the second barrier rib paste layer. A method for producing a display member characterized by forming a partition wall pattern and collectively firing the laminated partition wall pattern, or an inorganic component containing a low softening point glass powder and a photosensitive material An alkali-developable photosensitive barrier rib paste composed of an organic component containing a photosensitive organic component is applied and dried to form a first barrier rib paste layer. The photosensitive organic component and the number average particle size are on the first barrier rib paste layer. A water-developable electrode paste containing 1 to 200 nm conductive particles is applied and dried to form an electrode paste layer, and the laminate composed of the first partition paste layer and the electrode paste layer is collectively exposed to neutrality. The first barrier rib paste layer and the electrode pattern laminate are formed by development using a water-based developer, and photosensitive so as to cover the first barrier rib paste layer and electrode pattern laminate. A wall paste is applied and dried to form a second partition paste layer, which is exposed to light and developed using an alkaline developer, and includes the first partition pattern, the electrode pattern, and a second partition pattern covering them. A method for producing a member for a display, comprising: forming a barrier rib pattern and firing the laminate barrier rib pattern at once to form barrier ribs having electrodes therein.
本発明により、高発光効率のPDP用部材を簡便に製造する方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a method for easily producing a PDP member having high luminous efficiency.
発明者らは、高発光効率のPDP等のディスプレイ用部材を低コストで作製する方法について鋭意検討を行った結果、以下に述べる製造方法によって達成されることを見出した。すなわち本発明は、基板上に低軟化点ガラス粉末を含む無機成分と感光性有機成分を含む有機成分からなる感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第1隔壁ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層上に感光性有機成分および数平均粒子径が1〜200nmの導電性粒子を含む感光性電極ペーストを塗布、乾燥して電極ペースト層を形成し、該第1隔壁ペースト層および該電極ペースト層からなる積層体を一括露光、一括現像して第1隔壁パターンと電極パターンの積層体を形成し、該第1隔壁パターンと電極パターンの積層体を覆うように感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第2隔壁ペースト層を形成し、該第2隔壁ペースト層を露光、現像して、該第1隔壁パターン、該電極パターン、およびこれらを覆う第2隔壁パターンからなる積層隔壁パターンを形成し、該積層隔壁パターンを一括焼成することによって内部に電極を有する隔壁を形成することが重要である。以下に、隔壁内に電極を1層有する構造の製造方法について本発明の詳細を説明するが、本発明は隔壁内に電極層を2層以上含む構造にも適用可能であり、積層する層の数が多くなるほどプロセスを簡略化できる。 As a result of intensive studies on a method for producing a display member such as a PDP having high luminous efficiency at a low cost, the inventors have found that this can be achieved by the production method described below. That is, according to the present invention, a first barrier rib paste layer is formed by applying and drying a photosensitive barrier rib paste comprising an inorganic component including a low softening point glass powder and an organic component including a photosensitive organic component on a substrate. A photosensitive electrode paste containing a photosensitive organic component and conductive particles having a number average particle diameter of 1 to 200 nm is applied onto the partition wall paste layer and dried to form an electrode paste layer. The first partition paste layer and the electrode A laminated body composed of paste layers is collectively exposed and collectively developed to form a first barrier rib pattern and electrode pattern laminated body, and a photosensitive barrier rib paste is applied so as to cover the first barrier rib pattern and electrode pattern laminated body; A product comprising the first barrier rib pattern, the electrode pattern, and the second barrier rib pattern covering the first barrier rib paste layer by drying to form a second barrier rib paste layer, exposing and developing the second barrier rib paste layer. Forming a barrier rib pattern, it is important to form a partition wall having an electrode therein by co-firing the laminated barrier rib pattern. The details of the present invention will be described below with respect to a method for producing a structure having one electrode in a partition, but the present invention is also applicable to a structure including two or more electrode layers in a partition. The process can be simplified as the number increases.
図1は、本発明のディスプレイ用部材の製造方法を模式的に示したフロー図である。 FIG. 1 is a flowchart schematically showing a method for producing a display member of the present invention.
以下、図1に示す(a)〜(h)の工程に沿って本発明のディスプレイ用部材の製造方法を説明する。
まず、(a)工程において、ガラス基板2上に感光性隔壁ペーストを塗布し、乾燥して、第1隔壁ペースト層16を形成する。ここで、ガラス基板2としては、ガラス基板単体からなるものであってもよいし、後述の図2に示したような構成のPDP用基盤とする場合は、ガラス基板上に銀などの導電性金属によってアドレス電極10と低誘電ガラスを主成分とする誘電体層11を形成したものであってもよい。上述のアドレス電極や誘電体層を、有機成分と無機成分からなるペーストを用い、焼成して形成する場合は、あらかじめ焼成したアドレス電極10および誘電体層11を形成しておいてもよいし、焼成前のアドレス電極10の前駆体および誘電体層11の前駆体を設けたものであってもよい。
Hereafter, the manufacturing method of the member for a display of this invention is demonstrated along the process of (a)-(h) shown in FIG.
First, in the step (a), a photosensitive partition paste is applied on the
本発明でいう感光性ペースト(感光性隔壁ペースト、および感光性電極ペースト)とは、塗布、乾燥を行った後の塗膜に対し活性光線を照射することによって、照射部分が光架橋、光重合、光解重合、光変性などの反応を通し化学構造が変化して現像液による現像が可能になるようなペーストをいう。 The photosensitive paste (photosensitive barrier rib paste and photosensitive electrode paste) as used in the present invention is a photocrosslinking, photopolymerization by irradiating actinic rays to the coating film after coating and drying. , A paste whose chemical structure changes through a reaction such as photodepolymerization or photo-denaturation, and that can be developed with a developer.
本発明に用いる感光性隔壁ペーストは、低軟化点ガラス、さらに、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうち少なくとも1種類から選ばれた感光性有機成分、重合開始剤、有機溶媒を必須成分とする。さらに必要に応じて、フィラー、非感光性ポリマー成分や、酸化防止剤、有機染料、増感剤、増感助剤、可塑剤、増粘剤、分散剤、沈殿防止剤などの添加剤成分を加えることで構成されている。本発明に用いる感光性隔壁ペースト、特に第1隔壁ペースト層の形成に用いる感光性隔壁ペーストは、アルカリ現像性の感光性隔壁ペースト層とすることが好ましい。ここで、アルカリ現像性とは、露光前の状態ではpHが9〜14のアルカリ性の水系現像液には溶解するがpHが6〜8の中性の水系現像液には溶解せず、一方、露光後はpHが9〜14のアルカリ性の水系現像液、pHが6〜8の中性の水系現像液のいずれにも溶解しないような性質を有するものを指す。 The photosensitive partition paste used in the present invention must have a low softening point glass, a photosensitive organic component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, a polymerization initiator, and an organic solvent. Ingredients. Furthermore, if necessary, additive components such as fillers, non-photosensitive polymer components, antioxidants, organic dyes, sensitizers, sensitizers, plasticizers, thickeners, dispersants, precipitation inhibitors, etc. It is composed by adding. The photosensitive barrier rib paste used in the present invention, particularly the photosensitive barrier rib paste used for forming the first barrier rib paste layer, is preferably an alkali developable photosensitive barrier rib paste layer. Here, the alkali developability means that it is dissolved in an alkaline aqueous developer having a pH of 9 to 14 but not dissolved in a neutral aqueous developer having a pH of 6 to 8 in the state before exposure, After exposure, it refers to those having the property of not dissolving in either an alkaline aqueous developer having a pH of 9 to 14 or a neutral aqueous developer having a pH of 6 to 8.
本発明において、低軟化点ガラス粉末とは、荷重軟化温度が400〜600℃の範囲であるガラス粉末を指す。荷重軟化温度がこの範囲にあることで焼結時にパターンの変形がなく、溶融性も適切となるためである。また、フィラーとは、パターンの強度や、焼成収縮率を改善するために添加されるものであり、焼成温度でも溶融流動しにくい無機粒子を指す。具体的には、600℃以下で軟化温度や融点、分解温度を有さず、600℃において固体として存在するような無機粒子をいう。フィラーを添加することで、パターンの焼成による収縮を抑制したり、パターンの強度を向上させることができる。フィラーとして、荷重軟化温度600〜1200℃の高融点ガラスやコーディエライト、アルミナ、シリカ、マグネシア、ジルコニアなどのセラミックス粉末などが用いられる。 In the present invention, the low softening point glass powder refers to a glass powder having a load softening temperature in the range of 400 to 600 ° C. This is because when the load softening temperature is within this range, there is no deformation of the pattern during sintering, and the meltability becomes appropriate. The filler is added to improve pattern strength and firing shrinkage, and refers to inorganic particles that hardly melt and flow even at the firing temperature. Specifically, it refers to an inorganic particle that does not have a softening temperature, a melting point, or a decomposition temperature at 600 ° C. or lower and exists as a solid at 600 ° C. By adding a filler, the shrinkage | contraction by baking of a pattern can be suppressed or the intensity | strength of a pattern can be improved. As the filler, high melting point glass having a load softening temperature of 600 to 1200 ° C., ceramic powder such as cordierite, alumina, silica, magnesia, zirconia, or the like is used.
感光性ポリマーとしては、アルカリ可溶性のポリマーを好ましく用いることができる。感光性ポリマーがアルカリ可溶性を有することで現像液として環境に問題のある有機溶媒ではなくアルカリ水溶液を用いることができるためである。アルカリ可溶性のポリマーとしては、アクリル系共重合体を好ましく用いることができる。アクリル系共重合体とは、共重合成分に少なくともアクリル系モノマーを含む共重合体である。 As the photosensitive polymer, an alkali-soluble polymer can be preferably used. This is because, since the photosensitive polymer has alkali solubility, an alkaline aqueous solution can be used as a developing solution instead of an organic solvent having an environmental problem. As the alkali-soluble polymer, an acrylic copolymer can be preferably used. An acrylic copolymer is a copolymer containing at least an acrylic monomer as a copolymerization component.
非感光性のポリマー成分は、例えばメチルセルロース、エチルセルロース等のセルロース化合物、高分子量ポリエーテルなどである。また、感光性モノマーは、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物である。 Examples of the non-photosensitive polymer component include cellulose compounds such as methyl cellulose and ethyl cellulose, and high molecular weight polyethers. The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond.
上記の各種成分を所定の組成になるよう調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し、感光性隔壁ペーストを作製することができる。塗布方法としては、スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度によって調整できる。乾燥は熱風乾燥機、IR乾燥機等を用いて行い、乾燥温度や時間は用いたペーストの溶剤や塗布膜厚によって調整できる。 After preparing the above various components so as to have a predetermined composition, the mixture can be homogeneously mixed and dispersed with a three roller or kneader to produce a photosensitive partition paste. As a coating method, methods such as screen printing, bar coater, roll coater, die coater, and blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by the number of coatings, the screen mesh, and the paste viscosity. Drying is performed using a hot air drier, IR drier, etc., and the drying temperature and time can be adjusted by the solvent and coating thickness of the paste used.
次に(b)工程において、前述の第1隔壁ペースト層16上に感光性電極ペーストを塗布し、塗布した感光性電極ペーストを乾燥して電極ペースト層17を形成する。
Next, in step (b), a photosensitive electrode paste is applied on the first
本発明に用いる感光性電極ペーストは感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうち少なくとも1種類から選ばれる感光性有機成分、重合開始剤、有機溶媒および導電性粒子を必須成分とする。さらに必要に応じて、バインダー、紫外線吸光剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤等の添加成分、低軟化点ガラス、フィラーを含む。 The photosensitive electrode paste used in the present invention contains, as essential components, a photosensitive organic component, a polymerization initiator, an organic solvent, and conductive particles selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer. If necessary, binders, UV absorbers, sensitizers, sensitizers, polymerization inhibitors, plasticizers, thickeners, antioxidants, dispersants, organic or inorganic precipitation inhibitors and leveling agents, etc. Additive component, low softening point glass, and filler.
本発明の感光性電極ペーストに含まれる導電性粒子は、数平均粒子径が1〜200nmのものを用いる。一般に導電性粒子は不透明であったり、電極ペースト層17中の有機成分との間の屈折率差が大きいため、電極ペースト層中の導電性粒子の粒径が露光に用いる活性光線の波長より大きいと、活性光線を遮ったり反射したり散乱したりするため、電極ペースト層17と第1隔壁ペースト層16とを一括露光、一括現像してパターン化を行うことができない。本発明においては、感光性電極ペーストに含まれる導電性粒子の数平均粒子径を1〜200nmとすることによって、反射、散乱を防止し、電極ペースト層17と第1隔壁ペースト層16とを一括露光、一括現像して第1隔壁パターン21と電極パターン22の積層体を高精度に形成することができる。また、電極ペースト層17の活性光線の透過性がよいため、電極ペースト層17の厚さが大きくても高精度のパターン化が可能であり、その結果、本発明のPDP用部材の製造方法によって製造されるPDP用部材の隔壁に内蔵された電極の厚さを大きくすることができ、対向放電の放電領域を広くとることができる。電極の厚さは10〜50μmが好ましい。
As the conductive particles contained in the photosensitive electrode paste of the present invention, those having a number average particle diameter of 1 to 200 nm are used. In general, the conductive particles are opaque or have a large difference in refractive index from the organic component in the
導電性粒子の粒径が1nm未満の場合には粒子層の表面抵抗が急激に大きくなるため、電極層を形成した際に導電性が低下し、好ましくない。また、導電性粒子の粒径が200nm以上の場合は、有機成分との屈折率の違いから、露光光(紫外線)が散乱を生じるため透過率が低下し、隔壁ペースト層との一括露光ができなくなってしまう。導電性粒子はAu、Ag、Pd、Pt、Rh、Ru、Cu、Fe、Ni、Co、Sn、In、Al、Ta、Sb、Zn、Tiなどの金属から選ばれる1種または2種以上の金属からなる金属微粒子や、酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモンなどの酸化物微粒子のいずれかを用いることができる。該導電性粒子はペースト化する際、粒子のまま用いても良いし、ゾルとして用いても良い。導電性粒子の数平均粒子径は、導電性粒子が粉末または分散ゾルの状態で、動的光散乱式粒度分布計や電界放出形走査電子顕微鏡(FE−SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)等を用いて測定できる。FE−SEM及びTEM等を用いた場合、具体的には1μm×1μmの範囲の任意の導電性粒子100個を測長し、数平均粒子径を求めることができる。 When the particle size of the conductive particles is less than 1 nm, the surface resistance of the particle layer is rapidly increased, and therefore, the conductivity is lowered when the electrode layer is formed, which is not preferable. In addition, when the particle size of the conductive particles is 200 nm or more, due to the difference in refractive index from the organic component, the exposure light (ultraviolet rays) is scattered, so that the transmittance is lowered, and batch exposure with the barrier rib paste layer is possible. It will disappear. The conductive particles are one or more selected from metals such as Au, Ag, Pd, Pt, Rh, Ru, Cu, Fe, Ni, Co, Sn, In, Al, Ta, Sb, Zn, and Ti. Either metal fine particles made of metal or oxide fine particles such as tin oxide, indium oxide, and antimony oxide can be used. When the conductive particles are made into a paste, the particles may be used as they are or may be used as a sol. The number average particle diameter of the conductive particles is determined by the dynamic light scattering particle size distribution meter, field emission scanning electron microscope (FE-SEM), transmission electron microscope (TEM) in the state where the conductive particles are in a powder or dispersed sol state. Etc. can be measured. When FE-SEM, TEM, or the like is used, the number average particle diameter can be determined by measuring 100 arbitrary conductive particles in a range of 1 μm × 1 μm.
本発明における感光性電極ペーストの感光性有機成分はエチレン性不飽和基を有する化合物が好ましく用いられる。このような重合性モノマーとしては、例えば1個以上の光重合可能な(メタ)アクリレート基またはアリール基を有するモノマーなどが挙げられる。 As the photosensitive organic component of the photosensitive electrode paste in the present invention, a compound having an ethylenically unsaturated group is preferably used. Examples of such polymerizable monomers include monomers having one or more photopolymerizable (meth) acrylate groups or aryl groups.
感光性電極ペーストに用いるバインダーポリマーとしては、メチルセルロース、エチルセルロース等のセルロース化合物、高分子量ポリエーテル、アクリル系樹脂などを使用できる。本発明のディスプレイ部材の製造方法においては、後述のように水に可溶なバインダーポリマーを用いることによって、感光性電極ペーストを水現像性、すなわち露光前は中性の水系現像液に可溶、露光後は中性の水系現像液に不溶とする事が好ましい。なお、中性の水系現像液とは、pHが6〜8の範囲の水または水溶液を指す。 As the binder polymer used for the photosensitive electrode paste, cellulose compounds such as methyl cellulose and ethyl cellulose, high molecular weight polyethers, acrylic resins and the like can be used. In the method for producing a display member of the present invention, by using a water-soluble binder polymer as described later, the photosensitive electrode paste is water developable, that is, soluble in a neutral aqueous developer before exposure. It is preferable to make it insoluble in a neutral aqueous developer after exposure. The neutral aqueous developer refers to water or an aqueous solution having a pH in the range of 6-8.
例えば水に可溶なポリマーとしては側鎖または末端にエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体が好ましく用いられる。このようなポリマーは光硬化性とバインダー性を兼ね備えており、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物とを共重合させて形成したアクリル系共重合体にエチレン性不飽和基を側鎖または末端に付加させることによって製造することができる。好ましいのは、側鎖にエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するものである。
水現像可能なアクリル系共重合体のモノマー成分として重合させるエチレン性不飽和化合物としては特に限定されないが、不飽和カルボン酸および、以下の一般式(1)で表される多価アルコールとエチレン性不飽和カルボン酸とのモノエステルを含有する化合物を含むことが好ましい。感光性ガラスペーストの塗布膜に水現像性を付与するためには、バインダーポリマーがある一定以上の水溶解性を有しなければならない。バインダーポリマーに水溶性を与えるためにポリアミドやポリエーテルなどの親水性部位を骨格に導入する方法があるが、これらをバインダーポリマーとした無機成分を含有するペーストの塗布膜は膨潤するものの、十分な水溶解性が発揮されず、現像残渣が残るので良好なパターンが得られない。そこで、バインダーポリマーの骨格ではなく、側鎖部分にヒドロキシル基やカルボキシル基といった、水溶性置換基を導入することで、バインダーポリマーに十分な水溶性を与えることが可能となる。
For example, as the water-soluble polymer, an acrylic copolymer having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group at the side chain or terminal is preferably used. Such a polymer has both photocuring properties and binder properties, and an ethylenically unsaturated group is added to an acrylic copolymer formed by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an ethylenically unsaturated compound. It can manufacture by adding to. Preference is given to those having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group in the side chain.
Although it does not specifically limit as an ethylenically unsaturated compound polymerized as a monomer component of the acrylic copolymer which can be developed with water, Unsaturated carboxylic acid and the polyhydric alcohol and ethylenic represented by the following General formula (1) It is preferable to include a compound containing a monoester with an unsaturated carboxylic acid. In order to impart water developability to the coating film of the photosensitive glass paste, the binder polymer must have a certain level of water solubility. In order to give water solubility to the binder polymer, there is a method of introducing a hydrophilic site such as polyamide or polyether into the skeleton, but the coating film of the paste containing an inorganic component using these as a binder polymer swells, but is sufficient Since water solubility is not exhibited and a development residue remains, a good pattern cannot be obtained. Therefore, it is possible to impart sufficient water solubility to the binder polymer by introducing a water-soluble substituent such as a hydroxyl group or a carboxyl group into the side chain portion instead of the skeleton of the binder polymer.
また、ポリエーテルやポリエステルから選ばれた親水性樹脂を含むペーストを用いれば、基板との密着性が高くなり、スプレー現像などによる激しい現像環境においても、露光部が剥がれることなくパターン加工を行うことが知られている。通常、水現像用の感光性塗布膜を露光後、アルカリ性の現像液を用いてスプレー現像を行うといった極端な現像環境では、露光部の剥がれが発生するが、本発明のように、バインダーポリマー成分としてヒドロキシル基を有する感光性アクリル樹脂を使用すれば、別成分として剥がれ防止の化合物を添加することなく高い現像耐性が得られ、アルカリ性の現像液を使用する現像環境においても露光部剥がれの防止が可能である。 Also, if a paste containing a hydrophilic resin selected from polyether and polyester is used, the adhesion to the substrate will be high, and even in severe development environments such as spray development, pattern processing will be performed without peeling the exposed area. It has been known. Usually, in an extreme development environment in which a photosensitive coating film for water development is exposed and then spray development is performed using an alkaline developer, the exposed area is peeled off. If a photosensitive acrylic resin having a hydroxyl group is used, high development resistance can be obtained without adding an anti-peeling compound as a separate component, and exposure area peeling can be prevented even in a development environment using an alkaline developer. Is possible.
多価アルコールとしては例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、1,3−プロパンジオール、グリセリン、ポリグリセリン、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,2−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、1,2−ペンタンジオール、1,4−ペンタンジオール、1,5−ペンタンジオール、2,4−ペンタンジオール、1,2,6−ヘキサントリオール、シクロヘキサンジメタノールなどを挙げることができる。エチレン性不飽和カルボン酸の例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、およびこれらの酸無水物を挙げることができる。従って、多価アルコールとエチレン性不飽和カルボン酸とのエステルとは上記の多価アルコール化合物と、エチレン性不飽和カルボン酸の組み合わせによって成されるエステル化物を表す。 Examples of the polyhydric alcohol include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, polyethylene glycol, 1,3-propanediol, glycerin, polyglycerin, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, , 2-propanediol, neopentyl glycol, pentaerythritol, dipentaerythritol, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, trimethylolethane, 1,2-pentanediol, 1,4-pentanediol, 1,5-pentanediol, Examples include 2,4-pentanediol, 1,2,6-hexanetriol, cyclohexanedimethanol and the like. Examples of the ethylenically unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. Therefore, an ester of a polyhydric alcohol and an ethylenically unsaturated carboxylic acid represents an esterified product formed by a combination of the above polyhydric alcohol compound and an ethylenically unsaturated carboxylic acid.
本発明においては、アクリル系共重合体の側鎖または末端にカルボキシル基を導入するために、共重合体の成分として不飽和カルボン酸などの不飽和酸を加える。カルボン酸の具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸やこれらの酸無水物を挙げることができる。 In the present invention, an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid is added as a component of the copolymer in order to introduce a carboxyl group into the side chain or terminal of the acrylic copolymer. Specific examples of the carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.
上記共重合成分と重合可能なその他の共重合成分としては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、tert−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレート、シクロへキシルアクリレート、2−エチルへキシルアクリレート、アリルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、ステアリルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アクリルアミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、ベンジルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート、また、これらの芳香環の水素原子のうち、1〜5個を塩素または臭素に置換したモノマー、もしくは、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボキシメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、および上記化合物のアクリレートをメタクリレートに変えたものが挙げられる。本発明ではこれらを1種または2種以上組み合わせて使用することができる。 Examples of other copolymerizable components that can be polymerized with the copolymerized component include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, n- Pentyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, allyl acrylate, butoxyethyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobonyl Acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate Relate, stearyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, octafluoropentyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, benzyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate , Thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, a monomer in which 1 to 5 of the aromatic ring hydrogen atoms are substituted with chlorine or bromine, or styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m- Methyl styrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methyl styrene, chlorinated α-methyl styrene, brominated α-methyl styrene, chloromethyl Styrene, hydroxy styrene, carboxymethyl styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and those that were changed to methacrylate acrylate of the above compounds. In this invention, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types.
側鎖にエチレン性不飽和結合を導入する方法として、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド、マレイン酸などのカルボン酸を反応させて作る方法がある。 As a method for introducing an ethylenically unsaturated bond into a side chain, an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid with respect to a mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. There is a method in which a carboxylic acid such as chloride, allyl chloride or maleic acid is reacted.
グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエーテルなどが挙げられる。とりわけ、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましく用いられる。
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアナート、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネートなどがある。また、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライドは、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して0.05〜1モル当量反応させることが好ましく、さらに好ましくは0.1〜0.8モル当量である。付加量が0.05モル当量未満では感光特性が不良となり、パターンの形成が困難となり、1モル当量より大きい場合は、未露光部の溶解性が低下するので好ましくない。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, crotonic acid glycidyl ether, and isocrotonic acid glycidyl ether. In particular, glycidyl (meth) acrylate is preferably used.
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate. In addition, the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is 0.05 to 1 molar equivalent with respect to a mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. It is preferable to make it react, More preferably, it is 0.1-0.8 molar equivalent. If the addition amount is less than 0.05 molar equivalent, the photosensitivity will be poor and pattern formation will be difficult, and if it is greater than 1 molar equivalent, the solubility of the unexposed area will decrease, which is not preferred.
上記の成分を重合して得られる、側鎖または末端にエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体の酸価は2〜50mgKOH/gであることが好ましい。さらに好ましくは5〜40mg/KOHである。酸価が50mgKOH/gを超えると亜鉛や鉛を含有するガラス粉末との共存下において、カルボキシル基によるイオン架橋密度が増し、ペーストのゲル化が促進され、未露光部の現像液に対する溶解性の低下やペーストポットライフの低下を引き起こす。また、酸価が2mgKOH/g以下では、未露光部の溶解性を左右するカルボキシル基の含有量が低すぎるため、未露光部の現像液に対する溶解性が著しく低下し、高精細なパターンが得られにくくなる。 The acid value of the acrylic copolymer having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group at the side chain or terminal obtained by polymerizing the above components is preferably 2 to 50 mgKOH / g. More preferably, it is 5-40 mg / KOH. When the acid value exceeds 50 mgKOH / g, in the presence of glass powder containing zinc or lead, the ion crosslinking density due to the carboxyl group increases, the gelation of the paste is promoted, and the solubility of the unexposed part in the developer is increased. Causes a drop and paste pot life. On the other hand, when the acid value is 2 mgKOH / g or less, the content of the carboxyl group that affects the solubility of the unexposed area is too low, so the solubility of the unexposed area in the developing solution is remarkably lowered, and a high-definition pattern is obtained. It becomes difficult to be.
また、側鎖または末端にエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体の重量平均分子量は、5000〜20000であることが好ましく、さらに好ましくは8000〜15000である。分子量が5000未満では感光性共重合体がバインダーとしての作用が弱くなり、現像耐性が低下するので、露光部まで剥がれが発生する。また分子量が20000より大きいと現像耐性が高すぎるため、未露光部の溶解性が低下し、パターン形成が難しくなる。 The weight average molecular weight of the acrylic copolymer having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group at the side chain or terminal is preferably 5000 to 20000, more preferably 8000 to 15000. When the molecular weight is less than 5,000, the photosensitive copolymer has a weak action as a binder and the development resistance is lowered, and therefore, the exposed portion is peeled off. On the other hand, if the molecular weight is larger than 20000, the development resistance is too high, so that the solubility of the unexposed area is lowered and pattern formation becomes difficult.
重合開始剤は、ラジカル種を発生するものから選んで用いられる。 The polymerization initiator is selected from those that generate radical species.
感光性電極ペーストに紫外線吸収剤を添加することで、露光光によるペースト内部の散乱光を吸収し、散乱光を弱めることができる。紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、サリチル酸系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、インドール系化合物が用いられる。また、導電性粒子として亜鉛やチタンの酸化物などが紫外線吸収特性を示す導電性粒子を用いる場合、紫外線吸収剤の吸収波長、添加量により、ペースト層の吸収特性を制御することができる。 By adding an ultraviolet absorber to the photosensitive electrode paste, the scattered light inside the paste due to the exposure light can be absorbed and the scattered light can be weakened. As the ultraviolet absorber, benzophenone compounds, cyanoacrylate compounds, salicylic acid compounds, benzotriazole compounds, and indole compounds are used. In addition, when conductive particles in which zinc or titanium oxide or the like exhibits ultraviolet absorption characteristics are used as the conductive particles, the absorption characteristics of the paste layer can be controlled by the absorption wavelength and addition amount of the ultraviolet absorbent.
感光性電極ペーストに用いる低軟化点ガラスとしては、隔壁ペーストで用いる低軟化点ガラスと屈折率、軟化温度、熱膨張係数などが近いものを用いるのが好ましい。隔壁ペーストと同じ低軟化点ガラスを用いると、電極ペースト層の上または下に積層された隔壁ペースト層と屈折率を整合できるため露光時の光の散乱を抑制することができ、更に電極パターンの上または下に積層された隔壁パターンとの焼成収縮がマッチングするため、より好ましい。 As the low softening point glass used for the photosensitive electrode paste, it is preferable to use a glass having a refractive index, a softening temperature, a thermal expansion coefficient, and the like close to those of the low softening point glass used for the partition wall paste. When the same low softening point glass as the barrier rib paste is used, it is possible to match the refractive index with the barrier rib paste layer laminated on or under the electrode paste layer, so that light scattering during exposure can be suppressed, and further, the electrode pattern This is more preferable because firing shrinkage matches with the barrier rib pattern laminated on the top or bottom.
これら感光性電極ペーストの各種成分を所定の組成になるよう調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し、感光性電極ペーストを作製することができる。塗布方法としては、スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度によって調整できる。乾燥は熱風乾燥機、IR乾燥機等を用いて行い、乾燥温度や時間は用いたペーストの溶剤や塗布膜厚によって調整できる。 After preparing these various components of the photosensitive electrode paste to have a predetermined composition, the photosensitive electrode paste can be prepared by uniformly mixing and dispersing with three rollers or a kneader. As a coating method, methods such as screen printing, bar coater, roll coater, die coater, and blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by the number of coatings, the screen mesh, and the paste viscosity. Drying is performed using a hot air drier, IR drier, etc., and the drying temperature and time can be adjusted by the solvent and coating thickness of the paste used.
次に(c)工程において、該第1隔壁ペースト層16および該電極ペースト層17からなる積層体を最適露光量で電極露光用フォトマスク20を用いて一括露光し、第1隔壁ペースト層露光部18と電極ペースト層露光部19を形成した。本発明では紫外線波長よりも小さい体積平均粒子径が1〜200nmの導電性粒子を含有する電極ペーストを用いるので、電極ペースト層の紫外線の透過性が高く、電極ペースト層と隔壁ペースト層の積層体を一括露光できる。露光は、一般的なフォトリソグラフィー法で行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法を用いればよい。用いるフォトマスクは、感光性有機成分の種類によって、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フォトマスクを用いずに、赤色や青色のレーザー光等で直接描画する方法を用いても良い。露光装置としては、ステッパー露光機、プロキシミティ露光機等を用いることができる。また、大面積の露光を行う場合は、ガラス基板等の基板上に感光性ペーストを塗布した後に、電極露光用フォトマスク20と基板を相対的に移動させながら露光を行うことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積を露光することができる。ここでいう最適露光量とは、現像後、パターンの剥がれや蛇行がなく、パターン形状が矩形または台形になる時の露光量をいう。矩形とは頂部幅と底部幅が同じもの、台形とは頂部幅より底部幅が大きいものを言い、矩形に近い方がより好ましい。
Next, in step (c), the laminated body composed of the first barrier
次に(d)工程において、第1隔壁ペースト層露光部18および電極ペースト層露光部19を含む第1隔壁ペースト層16および電極ペースト層17からなる積層体を一括現像し、第1隔壁パターン21および電極パターン22からなる積層体を形成する。なお、(d)工程において、電極ペースト層17のみを現像し、第1隔壁ペースト層露光部18を含む第1隔壁ペースト層16および電極パターン22からなる積層体を形成すると、パターン間の溝の深さが浅くなるため、次の(e)工程での塗布不良を抑制でき好ましい。現像は通常、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行う。現像液としては感光性ペースト中の有機成分が溶解可能である有機溶媒やアルカリ水溶液または中性の水系現像液を用いることができる。アルカリ水溶液としては水酸化ナトリウムや、炭酸ナトリウム、水酸化カリウム水溶液、アミノエタノール水溶液等を使用することができる。電極ペースト層17のみを現像する場合は、第1隔壁ペースト層が不溶になるように、例えば、第1隔壁ペースト層にはアルカリ現像性の隔壁ペースト、電極ペースト層には水現像性の電極ペーストを用い、中性の水系現像液を用いて一括現像すると良い。現像後、該第1隔壁パターン21と該電極パターン22の積層体を熱によりキュアすることが好ましい。キュアすることで電極層と隔壁層を一括焼成する際の断線、亀裂を抑制することができる。キュアする条件としては、通常150〜250℃で3〜60分程度である。ここでいうキュアとは、現像液の留去や、有機成分の架橋構造による有機成分の硬化を促進させるような熱処理を意味する。キュアには熱風乾燥機やIR乾燥機を用いることができる。
Next, in the step (d), the laminate composed of the first
次に(e)工程において、第1隔壁パターン21および電極パターン22からなる積層体又は、第1隔壁ペースト層露光部18を含む第1隔壁ペースト層16および電極パターン22からなる積層体を覆うように該感光性隔壁ペーストを塗布、乾燥して第2隔壁ペースト層23を形成する。感光性隔壁ペーストとしては第1隔壁ペースト層16で使用したものと同様、公知の感光性ガラスペーストを用いると良い。焼成時の収縮を考えて、収縮応力を低減できるウレタン化合物を含んでいるものを用いるとより好ましい。ウレタン化合物として、例えば、下記一般式(1)で示される化合物が挙げられる。
Next, in step (e), the laminated body composed of the first barrier rib pattern 21 and the
R1−(R4−R3)n−R4−R2 (1)
(R1およびR2はエチレン性不飽和基を含む置換基、水素、炭素数1〜20のアルキル基、アリール基、アラルキル基およびヒドロキシアラルキル基からなる群から選ばれたものであり、それぞれ同じであっても異なっていても良い。R3はアルキレンオキサイド基またはアルキレンオキサイドオリゴマー、R4はウレタン結合を含む有機基である。nは1〜10の整数)このようなウレタン化合物は、エチレンオキサイド単位を含むことが好ましい。より好ましくは、一般式(1)中、R4がエチレンオキサイド単位(以下、EOと示す)とプロピレンオキサイド単位(以下、POと示す)を含むオリゴマーであり、かつ、該オリゴマー中のEO含有量が8〜70質量%の範囲内であることである。EO含有量が70質量%以下であることにより、柔軟性がさらに向上し、焼成応力を小さくできるため、欠陥を効果的に抑制できる。さらに、熱分解性が向上し、隔壁形成後の焼成工程において、焼成残渣が発生しにくくなる。また、EO含有量が8%以上であることにより、他の有機成分との相溶性が向上する。また、ウレタン化合物が炭素−炭素二重結合を有することも好ましい。ウレタン化合物の炭素−炭素二重結合が他の架橋剤の炭素−炭素二重結合と反応して架橋体の中に含有されることにより、さらに重合収縮を抑制することができる。
R 1 - (R 4 -R 3 ) n -R 4 -R 2 (1)
(R 1 and R 2 are selected from the group consisting of a substituent containing an ethylenically unsaturated group, hydrogen, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group, an aralkyl group, and a hydroxyaralkyl group, and the same. R 3 is an alkylene oxide group or alkylene oxide oligomer, R 4 is an organic group containing a urethane bond, n is an integer of 1 to 10) such a urethane compound is ethylene oxide Preferably it contains units. More preferably, in the general formula (1), R 4 is an oligomer containing an ethylene oxide unit (hereinafter referred to as EO) and a propylene oxide unit (hereinafter referred to as PO), and the EO content in the oligomer Is within the range of 8 to 70% by mass. When the EO content is 70% by mass or less, the flexibility is further improved and the firing stress can be reduced, so that defects can be effectively suppressed. Furthermore, the thermal decomposability is improved, and the firing residue is less likely to occur in the firing step after the partition wall is formed. Moreover, compatibility with other organic components improves because EO content is 8% or more. It is also preferred that the urethane compound has a carbon-carbon double bond. When the carbon-carbon double bond of the urethane compound reacts with the carbon-carbon double bond of another crosslinking agent and is contained in the crosslinked product, polymerization shrinkage can be further suppressed.
塗布方法としては、第1隔壁ペースト層16の塗布と同様、スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度によって調整できる。乾燥は熱風乾燥機、IR乾燥機等を用いて行い、乾燥温度や時間は用いたペーストの溶剤や塗布膜厚によって調整できる。
As a coating method, a method such as screen printing, a bar coater, a roll coater, a die coater, and a blade coater can be used in the same manner as the coating of the first
次に(f)工程において、得られた積層体を隔壁露光用フォトマスク24を用いて最適露光量で一括露光する。露光は、上述の第1隔壁ペースト層16および電極ペースト層17からなる積層体の露光と同様、通常のフォトリソグラフィー法で行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的である。ここで、後述する図2に示すような、電極を隔壁内部に設け露出させない場合は、隔壁露光用フォトマスク24により露光する露光部は上述の電極露光用フォトマスク20を用いて露光し、現像して得たパターンと、その内部に含むように位置合わせされる必要がある。
Next, in the step (f), the obtained laminate is collectively exposed with an optimum exposure amount using the
次に(g)工程において、第2隔壁ペースト層を現像して、該第1隔壁パターン、該電極パターン、およびこれらを覆う第2隔壁パターンからなる積層隔壁パターン26を形成する。現像は上述の第1隔壁ペースト層および電極ペースト層からなる積層体の現像と同様の方法で行うことができる。
Next, in step (g), the second barrier rib paste layer is developed to form a laminated
次に(h)工程において、焼成炉にて積層隔壁パターン26を一括焼成し、内部に電極を有する隔壁27を形成する。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉を用いることができる。
Next, in the step (h), the laminated
以上のように、本発明のPDP用部材の製造方法によれば、2回の露光工程を含む簡単なプロセスによって、内部に電極を有する隔壁を高精度に形成することができる。また、電極ペースト層17の厚さが大きくても高精度のパターン化が可能であるため、電極の厚さを大きくすることができ、対向放電の放電領域を広くとることができる。
As described above, according to the method for manufacturing a PDP member of the present invention, a partition having an electrode inside can be formed with high accuracy by a simple process including two exposure steps. Further, since the patterning with high accuracy is possible even when the thickness of the
本発明を用いて作製したPDP用部材は、PDPの背面板および前面板のどちらにも用いることができる。例として、本発明を用いて作製したPDP用部材を背面板に用いて、隔壁内の電極を表示(維持)電極とした場合の好ましい構成について以下に説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。 The member for PDP produced using the present invention can be used for both the back plate and the front plate of the PDP. As an example, a preferable configuration in the case where a PDP member produced using the present invention is used as a back plate and an electrode in a partition wall is used as a display (sustain) electrode will be described below. However, the present invention is not limited to this.
図2に本発明の製造方法により製造したPDP用部材の第1の構造例を示す。図2では、隔壁の内部構造を示すため、隔壁に一部切り欠き(斜線部)を設けている。 FIG. 2 shows a first structure example of a PDP member manufactured by the manufacturing method of the present invention. In FIG. 2, in order to show the internal structure of the partition wall, the partition wall is partially cut away (shaded portion).
図2に示した第1の構造例では、背面板8は、ガラス基板9上にストライプ状のアドレス電極10を設け、該アドレス電極を覆うようにして誘電体層11が設けられている。
In the first structural example shown in FIG. 2, the
さらに、誘電体層11上に、アドレス電極10と略平行な主隔壁30と、アドレス電極10と略直交する補助隔壁31からなる隔壁12が設けられており、補助隔壁31内にアドレス電極10と略直交するストライプ状の主電極32が設けられた構造を有する。
Further, a
本発明のPDPは一般的な面放電型ではなく対向放電型となる。そのため、面放電型と比較して電極の電極間ギャップを大きくすることが可能で、放電路を長くとることができる。すなわち、陽光柱の生成確率が高くなり、紫外線発生効率、発光効率を高くすることができる。また、これまでの対向放電型PDPの多くは前面板と背面板間の対向放電であり、放電路長(=電極間ギャップ)を大きくするためには、より高い隔壁を形成する必要があり、アスペクト比が大きくなり加工精度、歩留まりといった点から現実的ではなかった。また、前面板と背面板の対向放電でアドレスを行う場合、電極間ギャップが長くなり過ぎ、アドレス電圧が高くなり高耐圧ICが必要になりコストが増加してしまう問題もある。このため、対向放電型での電極間ギャップは100〜150μm程度であった。 The PDP of the present invention is not a general surface discharge type but a counter discharge type. Therefore, the gap between the electrodes can be increased as compared with the surface discharge type, and the discharge path can be made longer. That is, the generation probability of the positive column is increased, and the ultraviolet ray generation efficiency and the light emission efficiency can be increased. In addition, most of the counter discharge type PDPs so far are counter discharges between the front plate and the back plate, and in order to increase the discharge path length (= interelectrode gap), it is necessary to form higher barrier ribs, The aspect ratio is large, and it is not realistic from the viewpoint of processing accuracy and yield. In addition, when addressing is performed by opposing discharge between the front plate and the back plate, there is a problem that the gap between the electrodes becomes too long, the address voltage becomes high, a high voltage IC is required, and the cost increases. For this reason, the gap between electrodes in the counter discharge type was about 100 to 150 μm.
本発明の構造における電極間ギャップは、放電セルの間隔と同程度にすることができる。例えば、42インチのVGA(640×480画素)クラスで0.5mm程度、XGA(1024×768画素)クラスで0.3mm程度である。したがって隔壁を高くすることなく、従来の対向放電型に比べて電極間ギャップを2〜3倍以上に長くすることが可能である。また、従来の面放電型と比べても、電極間ギャップは3〜5倍程度にもなる。すなわち、陽光柱の生成を伴なう放電モードにより近くなり、紫外線発生効率を高く、すなわち発光効率を高くすることができる。さらに対向放電となるので、前面板への紫外線損失や隔壁への荷電粒子の損失が低下するので、こういった観点からも発光効率が高くなる。 The interelectrode gap in the structure of the present invention can be set to the same level as the interval between the discharge cells. For example, it is about 0.5 mm in the 42-inch VGA (640 × 480 pixels) class and about 0.3 mm in the XGA (1024 × 768 pixels) class. Therefore, the inter-electrode gap can be increased by 2 to 3 times or more as compared with the conventional counter discharge type without increasing the partition wall. In addition, the interelectrode gap is about 3 to 5 times that of the conventional surface discharge type. That is, it becomes closer to the discharge mode accompanied by the generation of the positive column, and the ultraviolet ray generation efficiency can be increased, that is, the light emission efficiency can be increased. Further, since the counter discharge is performed, the loss of ultraviolet rays to the front plate and the loss of charged particles to the barrier ribs are reduced, so that the luminous efficiency is increased from this viewpoint.
また、従来の前面板と背面板間の対向放電型では、電極間ギャップ、隔壁高さ、放電空間体積を独立に変えることはできなかったが、本発明の構造では、電極間ギャップを一定にしたまま、隔壁高さを高くすることで放電空間を広くできるので、放電開始電圧を変化させることなく、紫外線発生効率を大きくしたり荷電粒子の拡散損失を少なくするセル設計の自由度が増す。 In the conventional discharge type between the front plate and the back plate, the interelectrode gap, the partition wall height, and the discharge space volume could not be changed independently. However, in the structure of the present invention, the interelectrode gap is kept constant. Since the discharge space can be widened by increasing the height of the partition wall, the degree of freedom in cell design for increasing the ultraviolet ray generation efficiency and reducing the diffusion loss of charged particles can be increased without changing the discharge start voltage.
さらに、電極を前面板に形成する必要がなくなるので、透明誘電体層、透明電極層が不要となり、20〜30%ロスしていた蛍光体発光が有効に表示光として利用できるようになる。さらに、これらを形成しなくて済むので、前面板の作成工程が大幅に低減できる。また、前面板にはバス電極も不要となるので、1画素の開口率も大きくすることができる。さらに、これまでバス電極に照射された蛍光体からの発光はほとんどが吸収されて表示は利用されていなかったが、これを有効に利用できるようになるので高輝度化できる。 Further, since it is not necessary to form electrodes on the front plate, the transparent dielectric layer and the transparent electrode layer are unnecessary, and the phosphor emission that has been lost by 20 to 30% can be effectively used as display light. Furthermore, since these need not be formed, the front plate production process can be greatly reduced. Further, since no bus electrode is required on the front plate, the aperture ratio of one pixel can be increased. Further, until now, most of the light emitted from the phosphor irradiated to the bus electrode has been absorbed and the display has not been used. However, since this can be used effectively, the luminance can be increased.
本発明のPDPは、隔壁内の表示電極は、高さ(厚み)方向に厚いほうが好ましい。表示電極が厚い程、放電セル中の隔壁側面にグロー放電による電荷が貯まりやすく、放電時の放電空間が広がり紫外線発生効率が向上する。これまでのフォトリソグラフィー法を用いた作製方法では電極層の露光光(紫外線)透過性が低いため、それぞれ1回の塗布、露光、現像で1μm〜5μm程度の膜厚でなければ形成することができず、厚膜化するためには塗布、露光を数回繰り返さなければならなかった。しかし本発明では、それぞれ1回の塗布、露光、現像で1μm〜50μm程度の電極層を形成することができる。 In the PDP of the present invention, the display electrodes in the partition walls are preferably thick in the height (thickness) direction. As the display electrode is thicker, charges due to glow discharge are more easily stored on the side surfaces of the partition walls in the discharge cell, and the discharge space at the time of discharge is widened to improve the efficiency of generating ultraviolet rays. In the production method using the conventional photolithography method, the exposure light (ultraviolet ray) of the electrode layer is low. Therefore, the electrode layer may be formed unless the film thickness is about 1 μm to 5 μm by one application, exposure, and development. In order to increase the film thickness, coating and exposure had to be repeated several times. However, in the present invention, an electrode layer of about 1 μm to 50 μm can be formed by one application, exposure and development, respectively.
また、表示電極層が例えば10μm〜50μm程度の厚膜の場合、表示(維持)電極層の断面形状は矩形に近い方が好ましい。表示(維持)電極層の断面形状が台形または逆台形では、誘電体層である隔壁の側面の膜厚がばらつくため、放電が不安定化することがあり、好ましくない。ここで、逆台形とは底部幅より頂部幅が大きいものをいう。本発明では表示(維持)電極を矩形に形成できるため、厚膜化しても安定した放電が起こる。 Further, when the display electrode layer is a thick film of about 10 μm to 50 μm, for example, the cross-sectional shape of the display (sustain) electrode layer is preferably close to a rectangle. If the cross-sectional shape of the display (sustain) electrode layer is trapezoidal or inverted trapezoidal, the film thickness on the side surfaces of the partition walls, which are dielectric layers, varies, which is not preferable because the discharge may become unstable. Here, the inverted trapezoid means that the top width is larger than the bottom width. In the present invention, since the display (sustain) electrode can be formed in a rectangular shape, stable discharge occurs even when the film thickness is increased.
図3に本発明の製造方法により製造したPDP用部材の第2の構造例を示す。図3では、隔壁の内部構造を示すため、隔壁に一部切り欠き(斜線部)を設けている。 FIG. 3 shows a second structural example of the PDP member manufactured by the manufacturing method of the present invention. In FIG. 3, in order to show the internal structure of the partition wall, the partition wall is partially notched (shaded portion).
図3に示すように、本発明のPDP部材においては、電極が、ストライプ状の主電極と主電極から互いに向き合う方向に張り出した補助電極を有することが好ましい。これにより、放電開始電圧を下げ、安定な放電を行うことができる。放電開始電圧は、パッシェンの法則(Vf=f(p・d)、Vf:放電開始電圧、p:放電ガス圧、d:電極間距離)により決定される。Vfはp・dの積に対して極小を示す。電極を隔壁の表面および/または内部に配する場合、前述の通り面放電に比べて電極間距離が長くなり、放電開始電圧が高くなってしまうが、図3に示すように、主電極から互いに向き合う方向に張り出した補助電極を設けることで、放電開始電圧を低くすることができる。なぜならば、補助電極を設けることで、表示電極間隔で部分的に距離を小さくできるので、この補助電極間ギャップ(放電ギャップ)で放電が生じやすくなり、これをトリガーとして主電極間隔の広い放電に繋がる。 As shown in FIG. 3, in the PDP member of the present invention, it is preferable that the electrode has a striped main electrode and an auxiliary electrode protruding from the main electrode in a direction facing each other. Thereby, the discharge start voltage can be lowered and stable discharge can be performed. The discharge start voltage is determined by Paschen's law (V f = f (p · d), V f : discharge start voltage, p: discharge gas pressure, d: distance between electrodes). V f indicates a minimum with respect to the product of p · d. When the electrodes are arranged on the surface and / or inside of the barrier ribs, the distance between the electrodes becomes longer and the discharge start voltage becomes higher than that in the surface discharge as described above. However, as shown in FIG. By providing the auxiliary electrode protruding in the facing direction, the discharge start voltage can be lowered. This is because by providing the auxiliary electrode, the distance can be partially reduced by the distance between the display electrodes, so that a discharge easily occurs in the gap between the auxiliary electrodes (discharge gap). Connected.
放電開始電圧の低減効果、放電の安定性から、補助電極間ギャップは、50〜800μmであることが好ましい。より好ましく、60〜300μmである。さらにより好ましくは、70〜150μmである。補助電極間ギャップが50μmよりも小さい場合、電極間ギャップでの絶縁破壊が生じやすくなる。また、800μmよりも大きい場合、放電開始電圧の低減効果が得にくくなる。 In view of the effect of reducing the discharge start voltage and the stability of the discharge, the gap between the auxiliary electrodes is preferably 50 to 800 μm. More preferably, it is 60-300 micrometers. Even more preferably, it is 70 to 150 μm. When the gap between the auxiliary electrodes is smaller than 50 μm, dielectric breakdown is likely to occur at the gap between the electrodes. Moreover, when larger than 800 micrometers, it becomes difficult to obtain the reduction effect of a discharge start voltage.
主電極間ギャップは、作成する放電セルの大きさによるが100〜1000μmであることが好ましい。より好ましくは、150〜650μmである。100μmよりも小さい場合、放電空間が狭くなり過ぎて安定した放電が出来なくなる。1000μmよりも大きい場合、放電開始電圧が実用上大きく成りすぎるからである。 The gap between the main electrodes is preferably 100 to 1000 μm although it depends on the size of the discharge cell to be produced. More preferably, it is 150-650 micrometers. If it is smaller than 100 μm, the discharge space becomes too narrow and stable discharge cannot be performed. This is because the discharge starting voltage is too large for practical use when it is larger than 1000 μm.
また、図3には単純なスリットを入れた構造の補助電極を示してあるが、片側にテーパーをつけもよい。すなわち、隣接する放電セル側にテーパーをつけることによって、隣接の非放電セル(非表示セル)の誤放電を抑えることができる。また、電極間間隔の加工精度の均一性といった点からは、平行なスリット形状が好ましい。
AC型PDPの場合、電極は絶縁性の材料で被覆することが必要であるが、補助電極を設けた場合、この補助電極を主電極と同様に隔壁の内部に埋め込むか、隔壁の表面に形成し、後で絶縁性の材料で被覆することがよい。補助電極、主電極を隔壁の表面および/または内部に配する場合、隔壁形状は、ストライプ状ではなく、格子状、ワッフル状が好ましい。より好ましくは格子状の隔壁である。水平方向の画素を仕切る隔壁(主隔壁)の内部に補助電極を形成し、垂直方向の画素を仕切るための隔壁(補助隔壁)の内部に主電極を形成すればよいからである。
Further, although FIG. 3 shows an auxiliary electrode having a simple slit structure, one side may be tapered. That is, by providing a taper on the side of the adjacent discharge cell, erroneous discharge of the adjacent non-discharge cell (non-display cell) can be suppressed. In addition, a parallel slit shape is preferable from the viewpoint of uniformity in processing accuracy of the inter-electrode spacing.
In the case of AC type PDP, it is necessary to cover the electrode with an insulating material. However, when an auxiliary electrode is provided, the auxiliary electrode is embedded in the partition wall or formed on the surface of the partition wall in the same manner as the main electrode. Then, it is preferable to coat with an insulating material later. When the auxiliary electrode and the main electrode are arranged on the surface and / or inside of the partition wall, the partition wall shape is preferably a lattice shape or a waffle shape, not a stripe shape. A lattice-like partition wall is more preferable. This is because the auxiliary electrode may be formed inside the partition wall (main partition wall) that partitions the pixels in the horizontal direction and the main electrode may be formed inside the partition wall (auxiliary partition wall) for partitioning the pixels in the vertical direction.
本発明のPDP部材を例えば背面板に用いてPDPを製造する場合について以下に説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。 A case where a PDP is manufactured using the PDP member of the present invention, for example, as a back plate will be described below. However, the present invention is not limited to this.
本発明の背面板及び前面板の基板としては、ソーダガラスの他にPDP用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“PD200”や日本電気硝子社製の“PP8”を用いることができる。 As the back plate and the front plate substrate of the present invention, “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. and “PP8” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which are heat resistant glass for PDP, can be used in addition to soda glass.
背面板は、まず、ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を放電セルのピッチにてストライプ状に形成する。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに、通常400〜600℃に加熱・焼成して電極パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属を蒸着した後に、レジストを塗布し、レジストをフォトマスクを用いてパターン露光・現像した後にエッチングにより、不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。さらに、放電の安定化のためにアドレス電極層の上に誘電体層を設けても良い。 In the back plate, first, address electrodes are formed in stripes at a pitch of discharge cells on a glass substrate with a metal such as silver, aluminum, chromium or nickel. As a method of forming, after applying a metal paste mainly composed of these metal powder and organic binder by screen printing, or after applying a photosensitive metal paste using a photosensitive organic component as an organic binder, It is possible to use a photosensitive paste method in which pattern exposure is performed using a photomask, unnecessary portions are dissolved and removed in a development step, and further, heated and baked at 400 to 600 ° C. to form an electrode pattern. Also, after depositing a metal such as chrome or aluminum on a glass substrate, apply a resist, pattern exposure and development using a photomask, and then use an etching method to remove unnecessary portions of the metal by etching. Can do. Furthermore, a dielectric layer may be provided on the address electrode layer in order to stabilize discharge.
アドレス電極を形成したガラス基板上に本発明の隔壁を形成する。隔壁の形状としては、特に限定されないが、図3に示したように補助電極を用いる場合は格子状であることが好ましい。隔壁を形成した後に、パネル化後の真空排気の効率をよくするために、前面側基板とのクリアランスを確保するための隔壁をさらに設けてもよい。このクリアランス確保を目的とする隔壁もまた、第1隔壁パターン、電極パターン、およびこれらを覆う第2隔壁パターンとともに一括してパターン形成を行ってもよい。 The partition wall of the present invention is formed on the glass substrate on which the address electrode is formed. The shape of the partition wall is not particularly limited. However, when the auxiliary electrode is used as shown in FIG. After the partition walls are formed, a partition wall for securing a clearance from the front side substrate may be further provided in order to improve the efficiency of evacuation after panel formation. The partition for the purpose of securing the clearance may also be formed together with the first partition pattern, the electrode pattern, and the second partition pattern covering them.
アドレス電極、隔壁、表示電極対を形成したガラス基板上に、蛍光体ペーストを用いて蛍光体を形成する。感光性蛍光体ペーストを用いたフォトリソグラフィー法、ディスペンサー法、スクリーン印刷法等によって形成できる。蛍光体の厚みも特に限定されるものではないが、10〜30μm、より好ましくは15〜25μmである。蛍光体粉末は特に限定されないが、発光強度、色度、色バランス、寿命などの観点から、以下の蛍光体が好適である。青色は2価のユーロピウムを賦活したアルミン酸塩蛍光体(例えば、BaMgAl10O17:Eu)やCaMgSi2O6である。緑色では、パネル輝度の点からZn2SiO4:Mn、YBO3:Tb、BaMg2Al14O24:Eu,Mn、BaAl12O19:Mn、BaMgAl14O23:Mnが好適である。さらに好ましくはZn2SiO4:Mnである。赤色では、同様に(Y、Gd)BO3:Eu、Y2O3:Eu、YPVO:Eu、YVO4:Euが好ましい。さらに好ましくは(Y、Gd)BO3:Euである。 A phosphor is formed using a phosphor paste on a glass substrate on which address electrodes, barrier ribs, and display electrode pairs are formed. It can be formed by a photolithography method, a dispenser method, a screen printing method or the like using a photosensitive phosphor paste. The thickness of the phosphor is not particularly limited, but is 10 to 30 μm, more preferably 15 to 25 μm. The phosphor powder is not particularly limited, but the following phosphors are preferable from the viewpoint of light emission intensity, chromaticity, color balance, lifetime, and the like. Blue is an aluminate phosphor activated with divalent europium (for example, BaMgAl 10 O 17 : Eu) or CaMgSi 2 O 6 . In the case of green, Zn 2 SiO 4 : Mn, YBO 3 : Tb, BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, Mn, BaAl 1 2 O 19 : Mn, BaMgAl 14 O 23 : Mn are preferable from the viewpoint of panel luminance. More preferably Zn 2 SiO 4: is Mn. In red, (Y, Gd) BO 3 : Eu, Y 2 O 3 : Eu, YPVO: Eu, and YVO 4 : Eu are also preferable. More preferred is (Y, Gd) BO 3 : Eu.
蛍光体を形成した後に、絶縁性の材料で蛍光体の一部あるいは全てを被覆してもよい。被覆の方法などは、前述の隔壁の被覆のところで記したものと同様であるが、蛍光体を被覆する層の焼成温度は、蛍光体の劣化を最小限にするために550℃以下であることが好ましい。より好ましくは510℃以下である。 After forming the phosphor, a part or all of the phosphor may be covered with an insulating material. The coating method and the like are the same as those described above for the partition wall coating, but the firing temperature of the layer covering the phosphor should be 550 ° C. or less in order to minimize phosphor degradation. Is preferred. More preferably, it is 510 degrees C or less.
次に、本発明の前面板として究極的には、ガラス基板のみでも可能であるが、ガラス基板表面の耐スパッタ性を向上する目的でガラス基板上に保護膜(例えば、MgO膜)を形成したり、明室コントラストを向上させる目的でブラックストライプやブラックマトリックスを形成してもよい。また、表示セルのアドレス電圧やマージンを改善する目的で、前面側にアドレス電極を形成することもできる。 Next, although the front plate of the present invention is ultimately possible only with a glass substrate, a protective film (for example, MgO film) is formed on the glass substrate for the purpose of improving the sputter resistance of the glass substrate surface. Alternatively, a black stripe or a black matrix may be formed for the purpose of improving the bright room contrast. In addition, an address electrode can be formed on the front side for the purpose of improving the address voltage and margin of the display cell.
該背面板と該前面板を封着後、2枚の基板間隔に形成された空間を加熱しながら真空排気を行った後に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入して封止する。放電電圧と輝度の両面からはXe5〜10%−Ne bal.混合ガスが好ましい。紫外線の発生効率を大きくするために、さらにXeを30%程度まで高くしてもよい。 After sealing the back plate and the front plate, the space formed between the two substrates is evacuated while heating, and then sealed with a discharge gas composed of helium, neon, xenon, or the like. Stop. Xe5-10% -Ne bal. Mixed gas is preferable in terms of both discharge voltage and luminance. In order to increase the generation efficiency of ultraviolet rays, Xe may be further increased to about 30%.
以下、本発明を実施例を用いて具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。
(隔壁ペーストの作製方法)
ガラス粉末60重量%、バインダー(メタクリル酸メチルとメタクリル酸の共重合体(平均分子量25000、酸価102)10重量%、感光性モノマー(テトラプロピレングリコールジアクリレート)10重量%、光重合開始剤(チバガイギー社製、“イルガキュア”369)、γ−ブチロラクトン17重量%。ガラス粉末は、ガラス転移点495℃、軟化点530℃、熱膨張係数75×10-7/℃、密度2.54g/cm3なるものを用いた。有機成分の各成分を混合、溶解し、その後、無機成分を添加し、3本ローラーで混練することによってガラス微粒子および有機成分からなるペーストを作製した。ペーストは遠心脱泡機により脱泡した。
(導電性粒子の数平均粒子径の測定)
導電性粒子の数平均粒子径は、ペースト添加前に動的光散乱式粒度分布計(ゼータサイザー;シスメックス株式会社製)を用いて測定した。
(電極ペーストの作製方法)
有機成分の各成分を50℃に加熱しながら溶解し、続いて、導電性粒子およびガラス微粒子を添加し、混練機を用いて混練して作製した。導電性粒子としては、電極ペースト1に銀粒子(ファインスフェアSVND102;日本ペイント株式会社製)を、電極ペースト2にインジウム錫酸化物粒子(ナノテック;シーアイ化成株式会社製)を、電極ペースト3にアンチモン錫酸化物(TWU−1;株式会社ジェムコ製)を、電極ペースト4に銀粒子(SPN10J;三井金属製)を用いた。作製した電極ペーストの組成を表1に示す。表1中の無機、有機成分の詳細は以下の通りである。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to this.
(Method for producing barrier rib paste)
Glass powder 60% by weight, binder (copolymer of methyl methacrylate and methacrylic acid (average molecular weight 25000, acid value 102) 10% by weight, photosensitive monomer (tetrapropylene glycol diacrylate) 10% by weight, photopolymerization initiator ( “Irgacure” 369), 17% by weight of γ-butyrolactone, glass powder, glass transition point 495 ° C., softening point 530 ° C., coefficient of thermal expansion 75 × 10 −7 / ° C., density 2.54 g / cm 3 Each component of the organic component was mixed and dissolved, then added with the inorganic component, and kneaded with three rollers to prepare a paste composed of glass fine particles and the organic component. Defoamed with a machine.
(Measurement of number average particle diameter of conductive particles)
The number average particle size of the conductive particles was measured using a dynamic light scattering particle size distribution meter (Zeta Sizer; manufactured by Sysmex Corporation) before adding the paste.
(Production method of electrode paste)
Each component of the organic component was dissolved while being heated to 50 ° C., and then conductive particles and glass fine particles were added and kneaded using a kneader. As the conductive particles, silver paste (Finesphere SVND102; manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.) is used for the
VY−10:ガラス転移点460℃、軟化点495℃
ポリマー1:スチレン/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体のカルボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタクリレートを付加反応したもの。重量平均分子量43000、酸価95
ポリマー2:アクリル酸30%、メチルメタクリレート40%、グリセリンモノアクリレート30%からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.9モル当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させた感光性アクリル系重合体。酸価10mgKOH/g、重量平均分子量9000。
PDP400:プロピレングリコールジメタクリレート
TPA330:トリメチロールプロパントリアクリレート
IC369:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1
S20000:ソルスパース20000
γ−BL:ガンマブチロラクトン
(下地基板の作製)
5インチ角のガラス基板(PD−200;旭硝子株式会社製)上に電極ペースト4をスクリーン印刷により塗布・乾燥し、乾燥後厚み10μmの塗布膜を得た。その塗布膜をピッチ300μm、幅80μmのストライプパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて400mJ/cm2の露光量で露光し、0.1wt%2−アミノエタノール溶液でシャワー現像を20秒行い、電極パターンを形成した。次にその電極パターン上に誘電体ペーストをスクリーン印刷により塗布・乾燥し、乾燥後厚み6μmの誘電体層を形成し、これを下地基板とした。
(パターン加工性評価)
5インチ角のガラス基板上に隔壁層と電極層からなる積層パターンを40cm2(8cm×5cm)の領域に形成した際に、その領域のパターンが、加工時に剥がれず、焼成時に亀裂がなかったものをパターン加工○とし、1つでも剥がれ、亀裂があるものは×とした。
(相対発光効率の測定)
発光効率は次のように求めた。まず、作製したPDPの輝度B(cd/m2)を色彩計(CS−1000;ミノルタ製)を用いて測定した。この時のPDPに印加されている電力W(W)をデジタルパワーメータ(横河電機株式会社製、2532)を用いて求めた。そして次式より発光効率ηを求めた。
η=πB・S/W
ただし、Sは作製したPDPの表示部の面積(m2)である。
比較例4の発光効率を100とした時の発光効率を相対発光効率とした。
(実施例1)
下地基板上にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第1隔壁ペースト層の厚さが120μmになるように塗布し熱風乾燥機を用いて100℃で60分乾燥を行った。その上にスリットダイコーターを用いて電極ペースト1を乾燥後の電極ペースト層の厚さが40μmになるように塗布し、熱風乾燥機を用いて100℃で30分乾燥を行った。次にその積層体を図4に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて100mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、0.2wt%2−アミノエタノール溶液で3分間シャワー現像し、積層パターンを形成した。次にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第2隔壁ペースト層の厚さが180μmになるように、積層パターンを覆うように塗布し、熱風乾燥機を用いて100℃で90分乾燥を行った。その積層体を図5に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて100mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、0.2wt%2−アミノエタノール溶液で4分間シャワー現像し、積層パターンを形成した。積層パターンを590℃で焼成し、隔壁内に厚み20μmの電極層が形成された隔壁を形成できた。
(実施例2)
電極ペースト1の代わりに電極ペースト2を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で、隔壁内に厚み20μmの電極層が形成された隔壁を形成できた。
(実施例3)
電極ペースト1の代わりに電極ペースト3を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で、隔壁内に厚み20μmの電極層が形成された隔壁を形成できた。
(比較例1)
下地基板上にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第1隔壁ペースト層の厚さが120μmになるように塗布し熱風乾燥機を用いて100℃で60分乾燥を行った。次にその隔壁層を図5に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて30mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、その上に電極ペースト4をスクリーン印刷機を用いて乾燥後の電極ペースト層の厚さが10μmの厚さになるよう塗布を行い熱風乾燥機を用いて120℃で10分乾燥を行った。次にその電極層を図4に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて300mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、0.1w%2−アミノエタノール溶液で20秒間シャワー現像を行い隔壁層上に電極パターンを形成した。次に隔壁層と電極パターンの積層体上にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第2隔壁ペースト層の厚さが50μmになるように塗布し、熱風乾燥機を用いて100℃で30分乾燥を行った。その隔壁層を図5に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて50mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、0.1wt%2−アミノエタノール溶液で4分間シャワー現像し、積層パターンを形成できた。積層パターンを590℃で焼成し隔壁内に厚み3μmの電極層が形成された隔壁を形成できた。実施例1〜3よりも作製プロセスが多くなった。
(比較例2)
電極ペーストを10μmではなく、乾燥後の電極ペースト層の厚さが20μmの厚さになるよう塗布した事以外は、比較例1と同様の方法で、隔壁内に電極層が形成された隔壁を作製した。隔壁層上に電極パターンを形成できたが、比較例1よりも電極層が厚くなったため、電極層下部の硬化不足により、隔壁層と電極パターンの積層体上に隔壁ペーストを塗布した際に、電極パターンが剥がれてしまい、焼成後に電極が剥がれた部分で隔壁に亀裂が生じた。
(比較例3)
電極ペースト4を用いる事以外は実施例1と同様の方法でパターン加工を行った。露光光を通さない電極ペーストを使用したため、隔壁層と電極層の一括露光では電極層下の隔壁層が硬化不足となり、現像時に隔壁層と電極層の積層パターンが剥がれ、パターンが形成できなかった。
(実施例4)
下地基板上にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第1隔壁ペースト層の厚さが120μmになるように塗布し熱風乾燥機を用いて100℃で60分乾燥を行った。その上にスリットダイコーターを用いて電極ペースト5を乾燥後の電極ペースト層の厚さが40μmになるように塗布し、熱風乾燥機を用いて100℃で30分乾燥を行った。次にその積層体を図4に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて100mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行った。その後、超純水(pH:7)で30秒間シャワー現像し、電極層のみを現像した積層パターンを形成した。次にスリットダイコーターを用いて隔壁ペーストを乾燥後の第2隔壁ペースト層の厚さが60μmになるよう、積層パターンを覆うように塗布し、熱風乾燥機を用いて100℃で30分乾燥を行った。その積層体を図5に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有する5インチエマルジョンマスクを用いて100mJ/cm2の露光量でアライメント露光を行い、0.2wt%2−アミノエタノール溶液で4分間シャワー現像し、積層パターンを形成した。積層パターンを590℃で焼成し、隔壁内に厚み20μmの電極層が形成された隔壁を形成できた。実施例1〜3と比較して第2隔壁ペーストの積層パターンへの塗布性が良好であった。
(実施例5)
プラズマディスプレイを以下の手順で作製した。まず、次にプラズマディスプレイ背面板は以下の手順にて作製した。硝子株式会社製 “PD−200”ガラス基板(13インチ)上に、電極ペースト4を用いたフォトリソグラフィー法によりアドレス電極パターンを形成した。次いで、アドレス電極が形成されたガラス基板上に誘電体層をスクリーン印刷法により20μmの厚みで形成した。しかる後、実施例1の方法で隔壁内に厚み20μmの電極層が形成された隔壁を形成した。次に蛍光体層をディスペンサー法にて厚さ20μmに形成し、焼成して背面板を得た。
VY-10: Glass transition point 460 ° C., softening point 495 ° C.
Polymer 1: A product obtained by adding 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate to a carboxyl group of a styrene / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer. Weight average molecular weight 43000, acid value 95
Polymer 2: A photosensitive acrylic polymer obtained by addition reaction of 0.9 molar equivalent of glycidyl methacrylate to a carboxyl group of a copolymer composed of 30% acrylic acid, 40% methyl methacrylate, and 30% glycerin monoacrylate.
PDP400: Propylene glycol dimethacrylate TPA330: Trimethylolpropane triacrylate IC369: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1
S20000: Solsparse 20000
γ-BL: gamma butyrolactone (preparation of base substrate)
The
(Pattern processability evaluation)
When a laminated pattern composed of a partition wall layer and an electrode layer was formed on a 5-inch square glass substrate in a 40 cm 2 (8 cm × 5 cm) region, the pattern in that region was not peeled off during processing, and there were no cracks during firing. The thing was pattern-processed (circle), and even if even one piece peeled and there was a crack, it was set as x.
(Measurement of relative luminous efficiency)
Luminous efficiency was determined as follows. First, the luminance B (cd / m 2 ) of the produced PDP was measured using a colorimeter (CS-1000; manufactured by Minolta). The electric power W (W) applied to the PDP at this time was determined using a digital power meter (2532, manufactured by Yokogawa Electric Corporation). And luminous efficiency (eta) was calculated | required from following Formula.
η = πB · S / W
Here, S is the area (m 2 ) of the display part of the manufactured PDP.
The light emission efficiency when the light emission efficiency of Comparative Example 4 was 100 was defined as the relative light emission efficiency.
(Example 1)
The partition paste was applied on the base substrate using a slit die coater so that the thickness of the first partition paste layer after drying was 120 μm, and dried at 100 ° C. for 60 minutes using a hot air dryer. The
(Example 2)
A partition wall in which an electrode layer having a thickness of 20 μm was formed in the partition wall could be formed in the same manner as in Example 1 except that the
(Example 3)
A partition wall in which an electrode layer having a thickness of 20 μm was formed in the partition wall could be formed in the same manner as in Example 1 except that the
(Comparative Example 1)
The partition paste was applied on the base substrate using a slit die coater so that the thickness of the first partition paste layer after drying was 120 μm, and dried at 100 ° C. for 60 minutes using a hot air dryer. Next, the partition wall layer was subjected to alignment exposure at an exposure amount of 30 mJ / cm 2 using a 5-inch emulsion mask having a repeated pattern of dimensions shown in FIG. 5, and then the
(Comparative Example 2)
A partition wall in which an electrode layer is formed in the partition wall in the same manner as in Comparative Example 1 except that the electrode paste is applied to a thickness of 20 μm instead of 10 μm. Produced. Although the electrode pattern could be formed on the partition wall layer, the electrode layer became thicker than Comparative Example 1, and therefore, when the partition wall paste was applied onto the laminate of the partition wall layer and the electrode pattern due to insufficient curing of the lower part of the electrode layer, The electrode pattern was peeled off, and the partition wall was cracked at the portion where the electrode was peeled off after firing.
(Comparative Example 3)
Patterning was performed in the same manner as in Example 1 except that the
Example 4
The partition paste was applied on the base substrate using a slit die coater so that the thickness of the first partition paste layer after drying was 120 μm, and dried at 100 ° C. for 60 minutes using a hot air dryer. The
(Example 5)
A plasma display was produced by the following procedure. First, the plasma display back plate was prepared by the following procedure. An address electrode pattern was formed on a “PD-200” glass substrate (13 inches) manufactured by Glass Co., Ltd. by photolithography using the
次に、 “PD200”ガラス基板上に、電子ビーム蒸着法により500nm厚のMgO膜を形成し、プラズマディスプレイ前面板を作製した。作製した前面板と背面板をPbOを主成分とする封着フリットペーストを用いて450℃で封着した後、前背面の基板間隔に形成された空間に、キセノンが5体積%のキセノン−ネオン混合ガスの希ガスを450mmHgの圧力で封入することによって、プラズマディスプレイのパネル部分を作製した。さらに、駆動用のドライバーICを実装することによって、プラズマディスプレイを作製した。作製したPDPを駆動したところ、問題なく画像表示できた。相対発光効率は160であった。
(実施例6)
電極ペースト4を乾燥後の電極ペースト層の厚さが60μmになるように塗布した以外は実施例5と同様の方法で背面板の隔壁内に形成された電極の厚みが30μmのプラズマディスプレイを作製した。作製したPDPを駆動したところ、問題なく画像表示できた。相対発光効率は190であった。
(実施例7)
第1隔壁ペースト層および電極ペースト層を一括露光する際に、図6に示すディメンジョンの繰り返しパターンを有するエマルジョンマスクを用いたこと以外は実施例6と同様の方法でプラズマディスプレイを作製した。作製したPDPを駆動したところ、問題なく画像表示できた。相対発光効率は215であった。
(比較例4)
背面板の隔壁を比較例1の方法で作製したこと以外は実施例5と同様の方法でプラズマディスプレイを作製した。作製したPDPを駆動したところ、問題なく画像表示できた。相対発光効率は100であった。
Next, a 500 nm-thick MgO film was formed on a “PD200” glass substrate by an electron beam evaporation method, and a plasma display front plate was produced. The prepared front plate and back plate were sealed at 450 ° C. using a sealing frit paste containing PbO as a main component, and then xenon-neon containing 5% by volume of xenon in the space formed between the front and back substrates. A panel portion of a plasma display was manufactured by sealing a rare gas of mixed gas at a pressure of 450 mmHg. Further, a plasma display was manufactured by mounting a driver IC for driving. When the fabricated PDP was driven, an image could be displayed without any problem. The relative luminous efficiency was 160.
(Example 6)
A plasma display having an electrode thickness of 30 μm formed in the partition of the back plate was prepared in the same manner as in Example 5 except that the
(Example 7)
A plasma display was produced in the same manner as in Example 6 except that an emulsion mask having a repeated pattern of dimensions shown in FIG. 6 was used when the first barrier rib paste layer and the electrode paste layer were collectively exposed. When the fabricated PDP was driven, an image could be displayed without any problem. The relative luminous efficiency was 215.
(Comparative Example 4)
A plasma display was produced in the same manner as in Example 5 except that the partition of the back plate was produced by the method of Comparative Example 1. When the fabricated PDP was driven, an image could be displayed without any problem. The relative luminous efficiency was 100.
実施例1〜7、比較例1〜4の評価結果を表2に示した。 The evaluation results of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 4 are shown in Table 2.
1:前面板
2:ガラス基板
3:スキャン電極
4:サステイン電極
5:バス電極
6:透明誘電体層
7:MgO保護膜
8:背面板
9:ガラス基板
10:アドレス電極
11:誘電体層
12:隔壁
13:赤色蛍光体
14:緑色蛍光体
15:青色蛍光体
16:第1隔壁ペースト層
17:電極ペースト層
18:第1隔壁ペースト層露光部
19:電極ペースト層露光部
20:電極露光用フォトマスク
21:第1隔壁パターン
22:電極パターン
23:第2隔壁ペースト層
24:隔壁露光用フォトマスク
25:第2隔壁ペースト層露光部
26:積層隔壁パターン
27:内部に電極を有する隔壁
30:主隔壁
31:補助隔壁
32:主電極
33:補助電極
34:開口部
1: Front plate 2: Glass substrate 3: Scan electrode 4: Sustain electrode 5: Bus electrode 6: Transparent dielectric layer 7: MgO protective film 8: Back plate 9: Glass substrate 10: Address electrode 11: Dielectric layer 12: Partition 13: Red phosphor 14: Green phosphor 15: Blue phosphor 16: First partition paste layer 17: Electrode paste layer 18: First partition paste layer exposure unit 19: Electrode paste layer exposure unit 20: Photo for electrode exposure Mask 21: first barrier rib pattern 22: electrode pattern 23: second barrier rib paste layer 24: barrier rib exposure photomask 25: second barrier rib paste layer exposure part 26: laminated barrier rib pattern 27:
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