JP2008184186A - スペーサシート及び板状物梱包体 - Google Patents

Abstract

【課題】スペーサシートとガラス板等との接触面間に可及的に摺動が生じないようにして、ガラス板等の面に傷が付くことによる品位低下を防止すると共に、スペーサシートの予め決められた位置にガラス板等を極めて容易に配置できるようにして、作業能率の向上を図る。
【解決手段】複数枚の板状物４を梱包するに際して隣り合う板状物４の相互間に介在されて該板状物４の面に接触し且つ該板状物４の周縁部４ａから外周側に食み出すスペーサシート３に、板状物４の周縁部４ａの外周側方向への移動を規制する規制部３ａｘを形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、スペーサシート及びこれを用いた板状物梱包体に係り、特に、複数枚の板状物を梱包するに際して隣り合う板状物の相互間に介在されるスペーサシートの改良に関する。

周知のように、イメージセンサ用のカバーガラスや光学フィルタ用基板などのガラス板或いは半導体ウエハなどに代表される板状物を梱包（包装或いはパッケージングを含む）するに際しては、複数枚の板状物の相互間に、紙や樹脂製のスペーサシート（フィルム状のものを含む）を介在させて積層状に配列することが行われる。そして、このような態様で配列される板状物及びスペーサシートは、ケースの内部空間に収納されるのが通例である。

その具体例として、下記の特許文献１には、多数枚の半導体ウエハをパッケージングするに際して、各半導体ウエハの相互間に介在されるスペーサシートにエンボス加工を施して微小凹凸を形成することにより或いは周縁から中心に向かってカットラインを切り込み形成することにより、半導体ウエハの面との密着防止または密着解除の容易化を図ると共に、この両者を容器内に交互に積層して、その下端側及び上端側にクッション部材を収納する構成が開示されている。

また、下記の特許文献２には、上記と同様に密着防止等の観点からスペーサシートに微小凹凸を形成すると共に、半導体ウエハの積層方向に圧力が加えられた状態ではその微小凹凸が圧せられてスペーサシートがフラット等になり、積層方向の圧力が除かれた状態ではその微小凹凸が復元されるように、スペーサシートの剛軟度を適正にする構成が開示されている。

更に、下記の特許文献３には、スペーサシートに、その表裏の接触面の間隔を弾性的に維持するばね部を形成し、輸送や運搬中に半導体ウエハ等を保護するに十分な緩衝作用を行わせることが開示されている。

加えて、下記の特許文献４には、上下面がスペーサシートで挟まれた状態にある半導体ウエハを複数段に積層されたトレー内にそれぞれ収容すると共に、上段のトレーの支え部内に下段のトレーの支え部を嵌合し、この嵌合部で重量を支持することにより、半導体ウエハが圧縮力を加えられることなく上下のトレー相互間の収納空間に収容される構成が開示されている。

特開平９−１２９７１９号公報 国際公開第ＷＯ２００４／０８９７８４号パンフレット 特開２００４−２６２５４６号公報 特開２００５−１９１４１９号公報

ところで、上記の特許文献１、２、３、４に開示の梱包手段は何れも、スペーサシートの表裏面に微小凹凸或いは微小環状凹凸が形成されているものの、半導体ウエハの面に沿う方向の移動については、スペーサシートと半導体ウエハとの積層方向に作用する加圧力に起因して両者の接触面間に生じる摩擦力により阻止できるに留まる構成となっている。

そのため、ケース内にスペーサシート及び半導体ウエハを積層状に収納してなる梱包体の工場内での搬送時や輸出等の長期運送時、更には荷積みや荷降ろし時に、当該梱包体に極めて大きな衝撃が半導体ウエハの面に沿う方向に作用した場合には、スペーサシートとの接触面間の摩擦力に打ち勝って半導体ウエハがスペーサシートに対して面方向に相対移動する。これに起因して、両者の接触面に摺動が生じるため、半導体ウエハの面に傷が付き、品位低下を招くという問題が生じる。

なお、上記の特許文献４に記載された構成は、トレーの周縁部を隆起させて支え部を形成したものであるが、上下面をスペーサシートで挟んだ状態にある半導体ウエハが複数段に積層されたトレー内にそれぞれ収容された場合には、半導体ウエハに圧縮力が加えられないことから、半導体ウエハはスペーサシートに対して自由に面方向に相対移動できることになる。そのため、上記の如く極めて大きな衝撃が半導体ウエハの面方向に作用した場合には、両者の接触面に摺動が生じて半導体ウエハの面に傷が付く等の問題が生じるのみならず、半導体ウエハがトレーの隆起する支え部に衝突して欠損する等の事態を招き、却って問題が大きくなる。

以上のような問題は、上記各文献に記載の梱包体が対象としている半導体ウエハに限られず、既述のイメージセンサ用のカバーガラスや光学フィルタ用基板などのガラス板についても当然の事ながら生じ得る。特に、この種のガラス板は、厚みが０．５〜０．１ｍｍ程度に至るまで薄肉化が推進されている現状に照らせば、それらの割れの発生等を阻止する観点から、ガラス板とスペーサシートとの積層方向に大きな加圧力を作用させることができず、そのため、両者の接触面に摺動が生じる確率、ひいてはガラス板の面に傷が付いて品位低下を招く確率がより一層高くなる。

しかも、複数枚のガラス板や半導体ウエハは、積層方向に加圧力が作用する場合に一部のものにのみ偏った位置に不当な加圧力が作用することを阻止すべく、スペーサシートの面内における予め決められた位置（例えば中央部）に配置させて積層方向に正確に整列させる必要がある。しかしながら、上記各文献に記載のスペーサシートは何れも、ガラス板等に対する位置決めの基準となるものが存在しないことから、ガラス板等を上記決められた位置に載せていくことが困難となり、作業の煩雑化や複雑化等を招く。

本発明は、上記事情に鑑み、スペーサシートとガラス板等との接触面間に可及的に摺動が生じないようにして、ガラス板等の面に傷が付くことによる品位低下を防止すると共に、スペーサシートの予め決められた位置にガラス板等を極めて容易に配置できるようにして、作業能率の向上を図ることを技術的課題とする。

上記技術的課題を解決するために創案された本発明は、複数枚の板状物を梱包するに際して隣り合う板状物の相互間に介在されて該板状物の面に接触し且つ該板状物の周縁部から外周側に食み出すスペーサシートであって、前記板状物の周縁部の外周側方向への移動を規制する規制部が形成されていることに特徴づけられる。この場合、前記規制部は、板状物の周縁部の外周側を全域に亘って連続的に包囲するものであってもよく、或いは不連続的（間欠的）に包囲するものであってもよい。また、板状物は、前記規制部の内周側に隙間なく係止または嵌め込まれることが好ましいが、その係止または嵌め込みをするための作業とその取り出し作業を容易に行い得る態様（例えば板状物の周縁部と規制部との間に僅かな隙間を設ける）とする必要がある。尚、板状物としては、イメージセンサ用のカバーガラスや光学フィルタ用基板などのガラス板、或いは半導体ウエハなどを挙げることができる。

このような構成によれば、板状物の周縁部から外周側に食み出すスペーサシートに、その食み出し部分を有効利用して、該板状物の周縁部の外周側方向への移動を規制する規制部を形成したから、板状物が面に沿う方向に移動しようとしても、その移動はスペーサシートの規制部によって規制される。これにより、板状物とスペーサシートとの接触面間に不当な摺動が生じなくなり、板状物の面に傷が付くという事態及びこれに起因する品位低下の問題が回避される。更に、スペーサシートの規制部は、該スペーサシート上での板状物の位置決め部としての役割も果たすことになるため、複数枚のスペーサシートの同一箇所に規制部を形成しておけば、それらの規制部にそれぞれ係止または嵌め込まれる複数個の板状物も各スペーサシート上の同一箇所に位置決めされる。従って、複数枚のスペーサシートを正確に積み重ねるだけで、複数個の板状物も正確に積層方向に整列することになるため、その整列作業が簡素化される。しかも、このような状態の下では、積層方向に加圧力が作用した場合であっても、一部の板状物に偏って不当な加圧力が作用してそれらが欠損する等の不具合が生じ難くなる。

この場合、上記のスペーサシートは、可撓性を有することが好ましい。

このようにすれば、板状物の周縁部が規制部に当接した場合や当接している状態で振動や衝撃を受けた場合であっても、当該規制部が適度に撓むことにより、板状物の周縁部に不当な圧力が作用せず、その周縁部に欠損等が生じるという不具合が好適に回避される。

また、上記のスペーサシートは、緩衝性を有することが好ましい。

このようにすれば、板状物の面と直交する方向に衝撃を受けた場合であっても、スペーサシートの衝撃緩和作用により板状物の面が保護されて割れ等が生じ難くなり、また上記と同様に、板状物の周縁部が規制部に当接した場合や当接している状態で振動や衝撃を受けた場合であっても、当該規制部の衝撃緩和作用により、板状物の周縁部に欠損等が生じるという不具合が好適に回避される。

更に、上記のスペーサシートは、樹脂材料からなることが好ましい。

このようにすれば、スペーサシートが上記の可撓性と緩衝性との両特性を適切に併せ持つことが可能となる。尚、この場合には、発泡樹脂シートの表裏両側に発泡構造を有しない樹脂シートを配置させてなる三層構造または四層構造以上のスペーサシートを形成するようにしてもよい。

以上の構成において、前記規制部は、板状物を保持するために形成された凹部の内周面とすることができる。

このようにすれば、板状物がスペーサシートの凹部に保持されることにより、その凹部の内周面が、板状物の周縁部の外周側への移動を規制する規制部としての役割を果たすことになり、板状物を衝撃等から適切に保護することが可能となる。尚、凹部の深さ寸法は通例では板状物の厚み寸法よりも短いことが好ましいが、板状物が薄肉（例えば、厚みが０．１〜０．５ｍｍ程度）の場合には、凹部の深さ寸法は、板状物の厚み寸法と同等またはそれより長くてもよい。

また、以上の構成において、前記規制部は、板状物の周縁部を取り囲む凸部とすることができる。この場合の凸部は、板状物の周縁部を連続して取り囲むようにしてもよく、或いは不連続（間欠的）に取り囲むようにしてもよい。

このようにすれば、厳密には凸部の内周面が規制部としての役割を果たすことになるため、上記のように凹部の内周面を規制部とする場合と実質的に同等の利点を享受することができる。

更に、以上の構成において、前記規制部は、板状物を当該スペーサシートの中央部に保持するように形成されていることが好ましい。

このようにすれば、配置バランスや重量バランスが良好な状態でスペーサシートと板状物とを交互に積層させることが可能となる。

また、以上の構成において、少なくとも前記板状物の面と接触するスペーサシートの面に、微小凹凸が形成されていることが好ましい。ここで、「微小凹凸」とは、上述の規制部を構成する凸部及び凹部よりも相対的に小さな凹凸を意味する。

このようにすれば、スペーサシートと板状物との密接な面接触による密着状態が回避され、スペーサシートからの板状物の取り外しが容易になると共に、微小凹凸がクッション機能を有することになるため、板状物が例えば０．１〜０．５ｍｍ厚さ程度の薄肉のガラス板であっても、割れ等を生じることなく積層方向の加圧力を好適に受け止めることが可能となる。

一方、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る板状物梱包体は、ケースの内部空間に、上述の何れかのスペーサシートと、板状物とを、該スペーサシートの規制部により板状物の移動を規制した状態で交互に積層状に配列し、且つ積層方向に加圧してなることに特徴づけられる。

このような構成によれば、既に述べたスペーサシートの利点を確保しつつ、ケースの内部に的確に板状物が収納されてなる板状物梱包体が得られる。尚、各スペーサシートの周縁部とケースの内周面とは密接していてもよく、また相互間に隙間が設けられていてもよいが、隙間が設けられる場合には、その隙間に緩衝部材等を介在させることが好ましい。

この板状物梱包体においては、前記ケースの内部空間におけるスペーサシートと板状物との配列部位の少なくとも積層方向の一端側にクッション部材を配設することが好ましい。

このようにすれば、クッション部材の存在によって、各スペーサシート及び板状物並びにこれらの相互間に積層方向に対する好適な加圧力を作用させることが可能になると共に、積層方向に作用する衝撃を好適に緩和することが可能となる。このような観点から、クッション部材は、スペーサシートと板状物との配列部位の積層方向における両端側に配設することがより好ましい。

そして、以上のスペーサシートにより保護される板状物は、イメージセンサ用のカバーガラスや光学フィルタ用基板などのガラス板であれば好都合である。

このようにすれば、近年におけるこの種のガラス板の薄肉・軽量化に適切に対処可能となる。

以上のように本発明によれば、板状物の面が接触するスペーサシートに、該板状物の周縁部の外周側方向への移動を規制する規制部を形成したから、板状物が面に沿う方向に移動しようとしても、その移動はスペーサシートの規制部によって規制され、板状物とスペーサシートとの接触面間に不当な摺動が生じなくなり、板状物の面に傷が付く事態及びこれに起因する品位低下の問題が回避される。更に、スペーサシートの規制部は、該スペーサシート上での板状物の位置決め部としての役割も果たすことになるため、簡単な作業で複数個の板状物を正確に積層方向に整列させることが可能になると共に、このような状態で積層方向に加圧力が作用した場合であっても、一部の板状物に偏って加圧力が作用してそれらが欠損する等の不具合が生じ難くなる。

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る板状物梱包体の概略構成を示す縦断正面図、図２（ａ）は、その板状物梱包体の構成要素であるスペーサシートの平面図、図２（ｂ）は、そのスペーサシートの縦断正面図である。

図１に示すように、本実施形態に係る板状物梱包体１は、主たる構成として、ケース２の内部空間に、スペーサシート３と板状物４とが、交互に上下方向に積層して収納されている。詳述すると、ケース２は、平面視が矩形（正方形）のケース本体２ａと蓋体２ｂとから構成され、ケース本体２ａの底部に第１クッション部材５が敷設されると共に、この第１クッション部材５の上方にスペーサシート３と板状物４とが交互に複数段に配列されている。更に、最上段の板状物４の上方には、補助スペーサシート７を介して第２クッション部材６が配列されると共に、この第２クッション部材６の上部が、ケース２の蓋体２ｂにより覆われている。

厳密には、ケース２の蓋体２ｂがケース本体２ａに押し付けられることにより、第１クッション部材５、スペーサシート３、板状物４、補助スペーサシート７、及び第２クッション部材６が、ケース本体２ａの底面と蓋体２ｂの天井面との間に加圧された状態となっており、これらの構成要素の上下方向相互間には、同図に表れているような隙間が存在していない。尚、本実施形態では、板状物４は、厚みが０．１〜０．５ｍｍのイメージセンサ用のカバーガラスや光学フィルタ用基板などの円板状のガラス板からなる。但し、板状物４の厚みは、５．０ｍｍ程度が上限であっても差し支えない。

スペーサシート３は、図２（ａ）に示すように、平面視が矩形（正方形）を呈し且つ厚みが０．１〜３．０ｍｍで全体的に均一なシート状部材であって、可撓性及び緩衝性を有する樹脂、例えばポリエチレンまたはポリプロピレン等で形成されている。そして、このスペーサシート３の中央部には、板状物４を保持するための深さが０．１〜３．０ｍｍの凹部３ａが形成されている（図２（ｂ）参照）。この凹部３ａは、平面視が板状物４の形状及び大きさに対応する円形であって、その直径が５０〜５００ｍｍとされる共に、その内周面３ａｘが、板状物４の周縁部４ａの外周側方向への移動を規制する規制部とされている。この場合、スペーサシート３の凹部３ａの内周面３ａｘと、板状物４の周縁部４ａとの間には、図１に示すような程度の大きな隙間は実際上形成されておらず、板状物４の凹部３ａへの嵌め込み作業及びその取り出し作業が円滑に行われ得る僅かな隙間を介在させた嵌め合い形態とされている。

また、スペーサシート３の全体の表裏面には、図示しないが微小凹凸が形成されており、この微小凹凸の存在により、板状物４の面（表裏面）がスペーサシート３の面（表裏面）に密着されることを阻止し得るようになっている。このような観点から、上記の微小凹凸の形成部位は、スペーサシート３の凹部３ａの表裏面のみであってもよい。尚、補助スペーサシート７は、上述のスペーサシート３と同一材質及び同一厚みを有し且つ凹部が形成されていない平板状のシートである。

以上のような構成によれば、ケース２の内部空間に複数段に積み重ねられる板状物４の各相互間に介在されるスペーサシート３に、板状物４を保持するための凹部３ａが形成され、この凹部３ａの内周面３ａｘを規制部として、板状物４の周縁部４ａの外周側への移動が規制される。これにより、板状物４とスペーサシート３との接触面間に不当な摺動が生じなくなり、板状物４の面に傷が付くことを効果的に抑止できると共に、傷に起因して板状物４の品位が低下することを適切に回避することが可能となる。

しかも、スペーサシート３の規制部３ａｘは、スペーサシート３上における板状物４の位置決め部としての役割も果たし得ることになるため、全てのスペーサシート３の同一箇所に形状が同一で且つ大きさも同一の凹部３ａを形成しておけば、それらの凹部３ａにそれぞれ保持される全ての板状物４が各スペーサシート３上の同一箇所に容易に位置決めされる。従って、ケース２内における全段の板状物４に上下方向の加圧力が作用している状態では、全ての板状物４に均一に加圧力が作用することになるため、一部の板状物４に偏って不当な加圧力が作用してその一部の板状物４が欠損する等の不具合が回避される。

図３（ａ）、（ｂ）は、スペーサシートの変形例を示すものである。図３（ａ）に示すように、変形例に係るスペーサシート８には、板状物４の周縁部４ａを取り囲む円環状の凸部８ａが形成され、この凸部８ａ（厳密には凸部８ａの内周面８ａｘ）が、板状物４の周縁部４ａの外周側方向への移動を規制する規制部とされている（図３（ｂ）参照）。尚、図示例の円環状の凸部８ａは、１８０度隔てた２箇所Ａで途切れているが、連続して形成されるものであってもよく、或いは３箇所以上で途切れていてもよい。そして，このスペーサシート８も、図１に示す形態と同様に、複数段に積み重ねられる板状物４の各相互間に介在されることにより、板状物梱包体１が得られる。

尚、以上の実施形態では、スペーサシートが平面視で矩形とされているが、円形や多角形等のその他の形状であってもよく、またスペーサシートに形成される凹部及び凸部は、板状物が円板状であるがために、平面視で円形及び円環状とされているが、板状物が矩形板状や多角形板状である場合には、スペーサシートに形成される凹部及び凸部は、それに倣う形状とされる。

本発明の実施形態に係る板状物梱包体の概略構成を示す縦断正面図。 図２（ａ）は、上記板状物梱包体の構成要素であるスペーサシートの平面図、図２（ｂ）は、そのスペーサシートの縦断正面図。 図３（ａ）は、上記スペーサシートの変形例を示す平面図、図３（ｂ）は、その変形例に係るスペーサシートの縦断正面図。

符号の説明

１ 板状物梱包体
２ ケ−ス
３ スペーサシート
３ａ 凹部
３ａｘ 規制部（凹部の内周面）
４ 板状物
４ａ 板状物の周縁部
５ 第１クッション部材
６ 第２クッション部材
８ スペーサシート
８ａ 規制部（凸部）

Claims (11)

1. 複数枚の板状物を梱包するに際して隣り合う板状物の相互間に介在されて該板状物の面に接触し且つ該板状物の周縁部から外周側に食み出すスペーサシートであって、
   前記板状物の周縁部の外周側方向への移動を規制する規制部が形成されていることを特徴とするスペーサシート。
2. 可撓性を有することを特徴とする請求項１に記載のスペーサシート。
3. 緩衝性を有することを特徴とする請求項１に記載のスペーサシート。
4. 樹脂材料からなることを特徴とする請求項１に記載のスペーサシート。
5. 前記規制部は、板状物を保持するために形成された凹部の内周面であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のスペーサシート。
6. 前記規制部は、板状物の周縁部を取り囲む凸部であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のスペーサシート。
7. 前記規制部は、板状物を当該スペーサシートの中央部に保持するように形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のスペーサシート。
8. 少なくとも前記板状物の面と接触する当該スペーサシートの面に、微小凹凸が形成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のスペーサシート。
9. ケースの内部空間に、請求項１〜８の何れかに記載のスペーサシートと、板状物とを、該スペーサシートの規制部により板状物の移動を規制した状態で交互に積層状に配列し、且つ積層方向に加圧してなることを特徴とする板状物梱包体。
10. 前記ケースの内部空間におけるスペーサシートと板状物との配列部位の少なくとも積層方向の一端側にクッション部材を配設したことを特徴とする請求項９に記載の板状物梱包体。
11. 前記板状物はガラス板であることを特徴とする請求項９または１０に記載の板状物梱包体。

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