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JP2008160277A - Vibration correction device, imaging apparatus using it, inspection method of vibration correction device and inspection system of vibration correction device - Google Patents

Vibration correction device, imaging apparatus using it, inspection method of vibration correction device and inspection system of vibration correction device Download PDF

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JP2008160277A
JP2008160277A JP2006344321A JP2006344321A JP2008160277A JP 2008160277 A JP2008160277 A JP 2008160277A JP 2006344321 A JP2006344321 A JP 2006344321A JP 2006344321 A JP2006344321 A JP 2006344321A JP 2008160277 A JP2008160277 A JP 2008160277A
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JP
Japan
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vibration
calibration
detection means
unit
external
Prior art date
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Pending
Application number
JP2006344321A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ishige
良幸 石毛
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Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate the calibration work of a vibration correction device and to easily execute recalibration after shipping. <P>SOLUTION: The detected results of an angular rate sensor 10 of a digital camera 2 and an already calibrated external angular rate sensor are compared in a comparator circuit 43, and their phase difference and the difference of the maximum amplitudes are obtained from the waveform of the time-based change of the detected results of the angular rate sensor 10 and the external angular rate sensor. In a first calibration part 20, the setting value of the gain correction of the detected result of the angular rate sensor 10 is changed so that the phase difference and the difference of the maximum amplitudes obtained in the comparator circuit 43 become 0 or a stipulated value or less. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動を検出した結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正装置、およびこれを用いた撮像装置、振動補正装置の検査方法、並びに振動補正装置の検査システムに関する。   The present invention relates to a vibration correction apparatus that performs correction so as to cancel vibration according to a result of detecting vibration, an imaging apparatus using the same, an inspection method for the vibration correction apparatus, and an inspection system for the vibration correction apparatus.

最近、撮影時の手振れにより生じる画像の振れを補正する、いわゆる手振れ補正機能付きのデジタルカメラが市販されている。このようなデジタルカメラでは、ジャイロなどの角速度センサでカメラ本体の振れ量を検出し、この検出結果に応じて、振れを相殺するように撮像レンズやCCDをアクチュエータで機械的に変位させる、あるいは、画像データの読み出し位置を電子的にシフトさせることで、手振れ補正を行っている。   Recently, digital cameras with a so-called camera shake correction function for correcting image shake caused by camera shake at the time of shooting are commercially available. In such a digital camera, the shake amount of the camera body is detected by an angular velocity sensor such as a gyro, and the imaging lens and the CCD are mechanically displaced by an actuator so as to cancel the shake according to the detection result, or Camera shake correction is performed by electronically shifting the reading position of the image data.

ところで、手振れ補正機能付きデジタルカメラでは、角速度センサやアクチュエータの個体差に起因する性能ばらつきによって、角速度センサで検出された振れ量に見合った変位量でアクチュエータが駆動されないなど、手振れ補正が正しく行われない場合があった。このため、従来は、デジタルカメラの出荷前に、角速度センサやアクチュエータの性能ばらつきを校正していた。   By the way, in a digital camera with a camera shake correction function, camera shake correction is performed correctly, for example, the actuator is not driven with a displacement amount corresponding to the shake amount detected by the angular velocity sensor due to performance variations caused by individual differences in angular velocity sensors and actuators. There was no case. For this reason, conventionally, performance variations of angular velocity sensors and actuators have been calibrated before shipment of the digital camera.

角速度センサやアクチュエータの性能ばらつきを校正する方法としては、例えば、デジタルカメラを加振台に載せて振動させながら、規定の図柄が描かれた被写体を撮像させ、このときの映像信号の出力レベル(映像信号の高周波成分のピーク情報など)をモニタに表示して、これを観察しながら操作部材を操作して校正を行う方法が提案されている(特許文献1参照)。また、アクチュエータに正弦波信号を供給して駆動させ、正弦波信号とアクチュエータの駆動出力(アクチュエータで変位されるプリズムの姿勢を示す傾斜信号)との位相ずれを算出し、この算出結果を元に生成した校正データを用いて、角速度センサからの出力を補償する方法が提案されている(特許文献2参照)。
特開平8−006094号公報 特開平8−079598号公報
As a method of calibrating the performance variation of the angular velocity sensor and the actuator, for example, a digital camera is placed on a vibration table and vibrated while a subject on which a prescribed pattern is drawn is imaged, and the output level of the video signal ( A method has been proposed in which a high-frequency component peak information of a video signal is displayed on a monitor, and an operation member is operated while observing this to perform calibration (see Patent Document 1). In addition, a sine wave signal is supplied to the actuator to drive it, and the phase shift between the sine wave signal and the drive output of the actuator (a tilt signal indicating the attitude of the prism displaced by the actuator) is calculated. Based on this calculation result A method for compensating the output from the angular velocity sensor using the generated calibration data has been proposed (see Patent Document 2).
JP-A-8-006094 Japanese Patent Laid-Open No. 8-079998

特許文献1に記載の方法では、映像を観察しながら操作部材を操作して校正を行うので、作業性が悪く時間が掛かっていた。そのうえ、出荷後に再校正を行う場合には、加振台が設置された工場設備にデジタルカメラを持ち込まなければならず、利便性が悪いという問題があった。さらに、この方法では、振動に対する角速度センサの性能ばらつきは校正されるが、アクチュエータの性能ばらつきを校正することはできない。   In the method described in Patent Document 1, since the calibration is performed by operating the operation member while observing the video, workability is poor and time is required. In addition, when recalibration is performed after shipment, there is a problem in that the digital camera must be brought into the factory facility where the vibration table is installed, which is inconvenient. Further, in this method, the performance variation of the angular velocity sensor with respect to vibration is calibrated, but the performance variation of the actuator cannot be calibrated.

また、特許文献2に記載の方法は、正弦波信号に対するアクチュエータの駆動出力の位相ずれは、加振台を用いることなく校正することができるが、角速度センサの性能ばらつきを校正する際には、特許文献1の場合と同様に、加振台を用いて校正を行わざるを得ず、出荷後の再校正に関する問題を解決することができない。   In the method described in Patent Document 2, the phase shift of the actuator drive output with respect to the sine wave signal can be calibrated without using a vibration table, but when calibrating the performance variation of the angular velocity sensor, As in the case of Patent Document 1, calibration must be performed using a vibration table, and the problem regarding recalibration after shipment cannot be solved.

ここで、出荷後の再校正に関する問題は、メーカーのアフターサービス拠点や小売店舗などに加振台を設置すれば一応は解決されるが、加振台の設置費用、スペースなどの新たな問題が生じるため、現実的な解決方法とは言い難い。   Here, problems related to post-shipment recalibration can be solved once a shake table is installed at the manufacturer's after-sales service base or retail store. However, there are new problems such as the cost of installing the shake table and space. It is difficult to say that it is a realistic solution.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、校正作業を容易に行うことができ、出荷後の再校正を手軽に実施することができる振動補正装置、およびこれを用いた撮像装置、振動補正装置の検査方法、並びに振動補正装置の検査システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, a vibration correction device that can easily perform calibration work and can easily perform recalibration after shipment, and an imaging device using the same, An object of the present invention is to provide an inspection method for a vibration correction apparatus and an inspection system for the vibration correction apparatus.

上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置において、前記振動検出手段の検出結果、および前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段の検出結果を比較した結果に基づいて、前記振動検出手段を校正する第一校正手段を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 includes: a vibration detection unit that detects vibration; and a vibration correction unit that corrects the vibration so as to cancel out the vibration according to a detection result of the vibration detection unit. In the vibration correction apparatus, the vibration detection unit is calibrated based on a result of comparison between a detection result of the vibration detection unit and a detection result of a calibrated external vibration detection unit prepared separately from the vibration detection unit. The first calibration means is provided.

前記第一校正手段は、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から求められる、これらの位相差、および最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることが好ましい。   The first calibration means is obtained from the temporal change waveforms of the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means, and the phase difference and the maximum amplitude difference are 0 or less than a specified value. It is preferable to do so.

前記振動検出手段の検出結果を外部に出力するための外部出力手段を備えることが好ましい。また、前記第一校正手段の校正結果を記憶する第一記憶手段を備えることが好ましい。   It is preferable to provide an external output means for outputting the detection result of the vibration detection means to the outside. Moreover, it is preferable to provide the 1st memory | storage means which memorize | stores the calibration result of said 1st calibration means.

前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段は、角速度センサからなり、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果は、前記角速度センサで検出された角速度信号を積分して得られる角度のデータであることが好ましい。   The vibration detection means and the external vibration detection means are composed of angular velocity sensors, and the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means are angles obtained by integrating angular velocity signals detected by the angular velocity sensor. It is preferable that the data is.

さらに、手振れの状態を模した一定の連続した振動信号を発生する振動信号発生手段と、前記振動信号、および前記振動信号を与えたときの前記振動補正手段の駆動出力信号を比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果に基づいて、前記振動補正手段を校正する第二校正手段とを備えることが好ましい。   Furthermore, a vibration signal generating means for generating a constant continuous vibration signal simulating the state of camera shake, and a comparison means for comparing the vibration signal and the drive output signal of the vibration correction means when the vibration signal is given. Preferably, the apparatus further comprises second calibration means for calibrating the vibration correction means based on the comparison result of the comparison means.

この場合、前記比較手段は、前記振動信号、および前記駆動出力信号の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、前記第二校正手段は、前記比較手段で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることが好ましい。また、前記第二校正手段の校正結果を記憶する第二記憶手段を備えることが好ましい。   In this case, the comparison means obtains the phase difference and the maximum amplitude difference from the vibration signal and the temporal change waveform of the drive output signal, and the second calibration means is the comparison means. It is preferable that the difference between the obtained phase difference and the maximum amplitude is 0 or less than a specified value. Moreover, it is preferable to provide the 2nd memory | storage means to memorize | store the calibration result of said 2nd calibration means.

前記第二校正手段で前回校正した時間から一定時間経過した場合、前記振動補正手段を校正する処理に自動的に移行させるための処理移行手段を備えることが好ましい。あるいは、前記振動補正手段を校正する処理に移行させるための操作入力手段を備えることが好ましい。   It is preferable to provide a process transition means for automatically shifting to the process of calibrating the vibration correcting means when a predetermined time has elapsed from the time of the previous calibration by the second calibration means. Alternatively, it is preferable to provide an operation input means for shifting to the process of calibrating the vibration correcting means.

前記振動補正手段は、アクチュエータからなり、前記駆動出力信号は、前記アクチュエータにより変位される被変位部材の変位量のデータであることが好ましい。   It is preferable that the vibration correcting unit includes an actuator, and the drive output signal is data on a displacement amount of a member to be displaced that is displaced by the actuator.

請求項12に記載の発明は、撮像装置であって、請求項1ないし11のいずれかに記載の振動補正装置を搭載し、前記振動検出手段で装置本体に加わる振動が検出され、前記振動補正手段で光学系が機械的に変位されることを特徴とする。   A twelfth aspect of the present invention is an imaging apparatus, wherein the vibration correction device according to any one of the first to eleventh aspects is mounted, vibrations applied to the main body of the apparatus are detected by the vibration detection means, and the vibration correction is performed. The optical system is mechanically displaced by the means.

請求項13に記載の発明は、振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置を検査するための振動補正装置の検査方法であって、前記振動検出手段、および前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段に振動を与える加振工程と、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果を比較する第一比較工程と、前記第一比較工程の比較結果に基づいて、前記振動検出手段を校正する第一校正工程とを備えることを特徴とする。   According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a vibration correction apparatus comprising: vibration detection means for detecting vibration; and vibration correction means for correcting the vibration so as to cancel out vibration according to the detection result of the vibration detection means. The vibration correcting apparatus is an inspection method for applying vibration to a calibrated external vibration detecting means prepared separately from the vibration detecting means and the vibration detecting means, the vibration detecting means, and A first comparison step for comparing detection results of the external vibration detection means and a first calibration step for calibrating the vibration detection means based on the comparison results of the first comparison step are provided.

前記第一比較工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、前記第一校正工程では、前記第一比較工程で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることが好ましい。   In the first comparison step, the phase difference and the maximum amplitude difference are obtained from the temporal change waveform of the detection result of the vibration detection unit and the external vibration detection unit. In the first calibration step, It is preferable that the difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained in the first comparison step be 0 or less than a specified value.

前記振動検出手段の検出結果を外部に出力する外部出力工程を備えることが好ましい。また、前記第一校正工程の校正結果を記憶する第一記憶工程を備えることが好ましい。   It is preferable to provide an external output step of outputting the detection result of the vibration detection means to the outside. Moreover, it is preferable to provide the 1st memory | storage process which memorize | stores the calibration result of said 1st calibration process.

前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に、角速度センサを用い、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果として、前記角速度センサで検出された角速度信号を積分して得られる角度のデータを用いることが好ましい。   An angle obtained by integrating an angular velocity signal detected by the angular velocity sensor as a detection result of the vibration detecting unit and the external vibration detecting unit using an angular velocity sensor for the vibration detecting unit and the external vibration detecting unit. It is preferable to use this data.

前記加振工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に一定の連続した振動が与えられることが好ましい。あるいは、前記加振工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に不規則な振動が与えられ、前記第一比較工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、形が略一致した波形を抽出して、抽出した波形について、これらの位相差、および最大振幅の差を求めることが好ましい。   In the vibration step, it is preferable that a constant continuous vibration is applied to the vibration detection unit and the external vibration detection unit. Alternatively, in the vibration step, irregular vibration is given to the vibration detection means and the external vibration detection means, and in the first comparison step, the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means are It is preferable to extract a waveform having substantially the same shape from a temporally changing waveform, and obtain the phase difference and the maximum amplitude difference for the extracted waveform.

さらに、手振れの状態を模した一定の連続した振動信号を前記振動補正手段に与える振動信号入力工程と、前記振動信号、および前記振動信号による前記振動補正手段の駆動出力信号を比較する第二比較工程と、前記第二比較工程の比較結果に基づいて、前記振動補正手段を校正する第二校正工程とを備えることが好ましい。   Further, the vibration signal input step of giving a constant continuous vibration signal imitating the state of camera shake to the vibration correction means, and the second comparison for comparing the vibration signal and the drive output signal of the vibration correction means by the vibration signal Preferably, the method includes a step and a second calibration step for calibrating the vibration correcting means based on the comparison result of the second comparison step.

この場合、前記第二比較工程では、前記振動信号、および前記駆動出力信号の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、前記第二校正工程では、前記第二比較工程で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることが好ましい。また、前記第二校正工程の校正結果を記憶する第二記憶工程を備えることが好ましい。   In this case, in the second comparison step, the phase difference and the maximum amplitude difference are obtained from the temporal change waveforms of the vibration signal and the drive output signal. In the second calibration step, It is preferable that the difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained in the two comparison steps be 0 or less than a specified value. Moreover, it is preferable to provide the 2nd memory | storage process which memorize | stores the calibration result of said 2nd calibration process.

前記第二校正工程で前回校正した時間から一定時間経過した場合、前記振動補正手段を校正する処理に自動的に移行することが好ましい。   It is preferable to automatically shift to the process of calibrating the vibration correcting means when a predetermined time has elapsed from the time of the previous calibration in the second calibration step.

前記振動補正手段に、アクチュエータを用い、前記駆動出力信号として、前記アクチュエータにより変位される被変位部材の変位量のデータを用いることが好ましい。   It is preferable that an actuator is used for the vibration correction unit, and displacement amount data of a member to be displaced displaced by the actuator is used as the drive output signal.

請求項25に記載の発明は、振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置を検査するための振動補正装置の検査システムであって、前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段と、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果を比較する比較手段とを備え、前記比較手段の比較結果に基づいて、前記振動検出手段を校正することを特徴とする。   According to a twenty-fifth aspect of the present invention, there is provided a vibration correction apparatus comprising: vibration detection means for detecting vibration; and vibration correction means for correcting the vibration so as to cancel out vibration according to the detection result of the vibration detection means. The vibration correction apparatus inspection system according to claim 1, wherein the external vibration detection unit calibrated prepared separately from the vibration detection unit is compared with the detection results of the vibration detection unit and the external vibration detection unit. And the vibration detecting means is calibrated based on the comparison result of the comparing means.

前記比較手段は、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、前記校正は、前記比較手段で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることが好ましい。   The comparison means obtains the phase difference and the maximum amplitude difference from the temporal change waveforms of the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means, and the calibration is obtained by the comparison means. It is preferable that the difference between the phase difference and the maximum amplitude is 0 or less than a specified value.

前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に一定の連続した振動を与える加振手段を備えることが好ましい。   It is preferable that a vibration means for applying a constant continuous vibration to the vibration detection means and the external vibration detection means is provided.

本発明の振動補正装置、およびこれを用いた撮像装置、振動補正装置の検査方法、並びに振動補正装置の検査システムによれば、校正済みの外部振動検出手段の検出結果との比較結果に基づいて、振動検出手段を校正するので、従来のように、映像を観察しながら操作部材を操作して校正を行う必要がなく、校正作業を容易に行うことができる。また、加振台を用いずに校正を行うことができるので、出荷後の再校正を手軽に実施することができる。   According to the vibration correction device of the present invention, the imaging device using the same, the inspection method of the vibration correction device, and the inspection system of the vibration correction device, based on the comparison result with the detection result of the calibrated external vibration detection means. Since the vibration detecting means is calibrated, it is not necessary to perform calibration by operating the operating member while observing an image as in the prior art, and the calibration work can be easily performed. Moreover, since calibration can be performed without using a vibration table, recalibration after shipment can be easily performed.

図1において、本発明の撮像装置に相当する手振れ補正機能付きデジタルカメラ2は、本発明の振動補正装置に相当する、ジャイロなどの角速度センサ10、マイクロコンピュータにより構成される手振れ補正処理部11、アクチュエータ12、および位置検出部13などを備えている。   In FIG. 1, a digital camera 2 with a camera shake correction function corresponding to the imaging device of the present invention includes an angular velocity sensor 10 such as a gyro, a camera shake correction processing unit 11 configured by a microcomputer, and the like. The actuator 12 and the position detector 13 are provided.

角速度センサ10は、手振れによるカメラ本体2aの左右軸まわりの揺れ(ピッチング)、およびカメラ本体2aの上下軸まわりの揺れ(ヨーイング)の角速度を検出する。角速度センサ10で検出された角速度の信号(以下、角速度信号と略す。)Saは、バンドパスフィルタ(図示せず)で任意の帯域の周波数成分が抽出され、DCカットフィルタ(図示せず)で直流成分を除去された後、手振れ補正処理部11の切り替えスイッチ14の端子aに出力される。   The angular velocity sensor 10 detects the angular velocity of shaking (pitching) around the left and right axes of the camera body 2a and shaking around the vertical axis (yawing) of the camera body 2a. An angular velocity signal (hereinafter, abbreviated as an angular velocity signal) Sa detected by the angular velocity sensor 10 is extracted from a frequency component of an arbitrary band by a band pass filter (not shown), and a DC cut filter (not shown). After the direct current component is removed, it is output to the terminal a of the changeover switch 14 of the camera shake correction processing unit 11.

切り替えスイッチ14の端子b、cには、正弦波出力部15、およびA/D変換器(以下、A/Dと略す。)16が接続されている。正弦波出力部15は、手振れの状態を模した一定の周波数(例えば、10Hz)の連続した正弦波信号Sbを生成し、これを切り替えスイッチ14の端子bに出力する。A/D16には、端子a、bから端子cを介して、角速度信号Sa、または正弦波信号Sbのいずれかが入力される。A/D16は、入力された角速度信号Sa、または正弦波信号Sbをデジタル信号に変換し、積分フィルタ17に出力する。   A sine wave output unit 15 and an A / D converter (hereinafter abbreviated as A / D) 16 are connected to terminals b and c of the changeover switch 14. The sine wave output unit 15 generates a continuous sine wave signal Sb having a constant frequency (for example, 10 Hz) simulating the state of camera shake, and outputs this to the terminal b of the changeover switch 14. Either the angular velocity signal Sa or the sine wave signal Sb is input to the A / D 16 from the terminals a and b through the terminal c. The A / D 16 converts the input angular velocity signal Sa or sine wave signal Sb into a digital signal and outputs it to the integration filter 17.

積分フィルタ17は、A/D16でデジタル変換された角速度信号Sa、または正弦波信号Sbを積分して、カメラ本体2aの左右軸まわり、および上下軸まわりの角度のデータ(以下、センサ角度データと略す。)Da、または正弦波信号Sbによる模擬的な振れの角度のデータ(以下、正弦波角度データと略す。また、このデータとセンサ角度データとを総じて、単に角度データDということがある。)Dbを生成する。積分フィルタ17で生成された角度データDは、利得補正回路18に出力される。また、正弦波角度データDbは、比較回路19に出力される。   The integration filter 17 integrates the angular velocity signal Sa or sine wave signal Sb digitally converted by the A / D 16 to obtain angle data about the left and right axes and the vertical axis of the camera body 2a (hereinafter referred to as sensor angle data). (Abbreviated) Da or simulated deflection angle data based on the sine wave signal Sb (hereinafter, abbreviated as sine wave angle data. The data and the sensor angle data may be collectively referred to simply as angle data D). ) Db is generated. The angle data D generated by the integration filter 17 is output to the gain correction circuit 18. The sine wave angle data Db is output to the comparison circuit 19.

利得補正回路18は、第一、第二校正部(第一、第二校正手段、および第一、第二記憶手段に相当する。)20、21に設定された位相値、およびゲイン値に基づいて、積分フィルタ17からの角度データDの位相、およびゲインを補正する。この利得補正回路18で利得補正された角度データDを、補正角度データD’とする。補正角度データD’は、D/A変換器(図示せず)でD/A変換された後、アクチュエータ12に入力される。また、後述する角速度センサ10の校正の際には、補正センサ角度データDa’が、利得補正後にCPU29に入力される。   The gain correction circuit 18 is based on the phase values and gain values set in the first and second calibration sections (corresponding to the first and second calibration means and the first and second storage means) 20 and 21. Thus, the phase and gain of the angle data D from the integration filter 17 are corrected. The angle data D whose gain has been corrected by the gain correction circuit 18 is referred to as corrected angle data D ′. The correction angle data D ′ is D / A converted by a D / A converter (not shown) and then input to the actuator 12. Further, when the angular velocity sensor 10 to be described later is calibrated, the correction sensor angle data Da 'is input to the CPU 29 after gain correction.

アクチュエータ12は、主レンズ22などのレンズ群に含まれる補正レンズ23に接続されている。補正レンズ23は、カメラ本体2aの左右軸、および上下軸まわりに回転自在とされている。アクチュエータ12は、利得補正回路18からの補正角度データD’を受けて、振れを相殺するように補正レンズ23をカメラ本体2aの左右軸、および上下軸まわりに回転駆動させる。このアクチュエータ12による補正レンズ23の左右軸、および上下軸に対する傾きは、補正レンズ23に取り付けられた傾き検出センサ24で検出され、この検出結果がA/D変換器(図示せず)でA/D変換されて位置検出部13に入力される。   The actuator 12 is connected to a correction lens 23 included in a lens group such as the main lens 22. The correction lens 23 is rotatable about the left and right axes and the vertical axis of the camera body 2a. The actuator 12 receives the correction angle data D 'from the gain correction circuit 18 and rotates the correction lens 23 about the left and right axes and the vertical axis of the camera body 2a so as to cancel out the shake. The inclination of the correction lens 23 with respect to the left and right axes and the vertical axis by the actuator 12 is detected by an inclination detection sensor 24 attached to the correction lens 23, and the detection result is converted to A / D converter (not shown) by an A / D converter. D-converted and input to the position detector 13.

位置検出部13は、傾き検出センサ24の検出結果を受けて、カメラ本体2aの左右軸、および上下軸に対する補正レンズ23の傾き角度のデータ(以下、傾き角度データと略す。)Dcを求め、これを比較回路19に出力する。   In response to the detection result of the tilt detection sensor 24, the position detector 13 obtains data of the tilt angle of the correction lens 23 with respect to the left and right axes of the camera body 2a and the vertical axis (hereinafter abbreviated as tilt angle data) Dc. This is output to the comparison circuit 19.

比較回路19は、後述するアクチュエータ12の校正の際に、積分フィルタ17からの正弦波角度データDbと、位置検出部13からの傾き角度データDcとを一定時間間隔で同時にサンプリングする。これにより、正弦波角度データDb、および傾き角度データDcの時間的な変化のデータが得られる。   The comparison circuit 19 simultaneously samples the sine wave angle data Db from the integration filter 17 and the inclination angle data Dc from the position detection unit 13 at regular time intervals when the actuator 12 described later is calibrated. As a result, temporal change data of the sine wave angle data Db and the inclination angle data Dc are obtained.

比較回路19は、得られた正弦波角度データDb、および傾き角度データDcの時間的な変化のデータを用いて、正弦波角度データDbと傾き角度データDcの位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaを求め、これを第二校正部21に出力する。   The comparison circuit 19 uses the obtained sine wave angle data Db and the change data of the tilt angle data Dc with time to use the phase difference ΔTa between the sine wave angle data Db and the tilt angle data Dc and the difference between the maximum amplitudes. ΔAa is obtained and output to the second calibration unit 21.

第二校正部21は、比較回路19からの位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaが0、あるいは規定値以下となるように、位相値、およびゲイン値の設定を変更する。このとき、第二校正部21は、例えば、位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaに対する位相値、およびゲイン値の関係を表す簡易なデータ変換テーブル(予めCPU29内のメモリなどに記憶されている。)に基づいて、設定の変更を行う。そして、位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaが0、あるいは規定値以下となったときの位相値、およびゲイン値を、改めて設定値として書き換える。   The second calibration unit 21 changes the setting of the phase value and the gain value so that the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa from the comparison circuit 19 are 0 or less than a specified value. At this time, the second calibration unit 21 stores, for example, a simple data conversion table (previously stored in a memory in the CPU 29 or the like) that represents the relationship between the phase value and the gain value with respect to the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa. )) To change the setting. Then, the phase value and gain value when the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa are 0 or less than the specified value are rewritten as set values.

レンズ群の後方には、CCD25が配置されている。CCD25は、レンズ群を透過して撮像面に結像された被写体像を光電変換して、撮像信号を出力する。CCD25から出力された撮像信号は、信号処理回路26に入力される。   A CCD 25 is arranged behind the lens group. The CCD 25 photoelectrically converts a subject image that has passed through the lens group and formed on the imaging surface, and outputs an imaging signal. The imaging signal output from the CCD 25 is input to the signal processing circuit 26.

信号処理回路26は、撮像信号に対して、相関二重サンプリング、増幅、およびA/D変換の各処理を施して、撮像信号をデジタルの画像データとし、画像処理回路27に出力する。画像処理回路27は、画像データに対して、階調変換、γ補正、ホワイトバランス補正などの各種画像処理を施す。画像処理回路27で画像処理された画像データは、カメラ本体2aの背面に備え付けられた液晶表示器28(以下、LCDと略す。図2参照。)に映像として出力される他、メモリカード(図示せず)に記録される。   The signal processing circuit 26 performs correlated double sampling, amplification, and A / D conversion on the image signal, and outputs the image signal to the image processing circuit 27 as digital image data. The image processing circuit 27 performs various kinds of image processing such as gradation conversion, γ correction, and white balance correction on the image data. The image data image-processed by the image processing circuit 27 is output as a video to a liquid crystal display 28 (hereinafter abbreviated as LCD; see FIG. 2) provided on the back surface of the camera body 2a, and a memory card (FIG. (Not shown).

CPU29は、デジタルカメラ2の各部の動作を統括的に制御する。CPU29には、外部入出力端子30が接続されている。外部入出力端子30は、例えば、USBコネクタなどのデータ通信用端子からなる。外部入出力端子30は、後述する角速度センサ10の校正の際に、補正センサ角度データDa’の比較回路43(図2参照)への出力、および比較回路43の比較結果(位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAb)の入力を媒介する。   The CPU 29 comprehensively controls the operation of each unit of the digital camera 2. An external input / output terminal 30 is connected to the CPU 29. The external input / output terminal 30 includes a data communication terminal such as a USB connector, for example. The external input / output terminal 30 outputs the correction sensor angle data Da ′ to the comparison circuit 43 (see FIG. 2) and the comparison result (phase difference ΔTb, and Mediates the input of the maximum amplitude difference ΔAb).

次に、角速度センサ10、およびアクチュエータ12を校正する際の系について説明する。まず、デジタルカメラ2の出荷前の検査工程では、本発明の振動補正装置の検査システムに相当する、図2に示す系40で校正を行う。すなわち、手振れの状態を模した一定の周波数(例えば、10Hz)の連続した正弦波振動を発生させる加振台41を用意し、その上にデジタルカメラ2、および校正済みの角速度センサ(以下、外部角速度センサという。)42を取り付ける。そして、外部入出力端子30と外部角速度センサ42とを、比較回路43に接続する。外部角速度センサ42は、角速度センサ10の場合と同様に、バンドパスフィルタ、DCカットフィルタ、A/D変換器、および積分フィルタ(いずれも図示せず)を介して、比較回路43に接続されている。なお、校正済みの角速度センサとは、検出した角速度の信号の値が、実際に与えた振動の値と一致する角速度センサのことをいう。   Next, a system for calibrating the angular velocity sensor 10 and the actuator 12 will be described. First, in the inspection process before shipment of the digital camera 2, calibration is performed by the system 40 shown in FIG. 2, which corresponds to the inspection system of the vibration correcting apparatus of the present invention. That is, an excitation table 41 that generates a continuous sine wave vibration having a constant frequency (for example, 10 Hz) that imitates the state of camera shake is prepared, and the digital camera 2 and a calibrated angular velocity sensor (hereinafter referred to as an external sensor) are provided thereon. 42) is attached. Then, the external input / output terminal 30 and the external angular velocity sensor 42 are connected to the comparison circuit 43. As with the angular velocity sensor 10, the external angular velocity sensor 42 is connected to the comparison circuit 43 via a bandpass filter, a DC cut filter, an A / D converter, and an integration filter (all not shown). Yes. Note that the calibrated angular velocity sensor means an angular velocity sensor in which the value of the detected angular velocity signal matches the value of the actually applied vibration.

比較回路43には、外部入出力端子30、および外部角速度センサ42から、それぞれ、補正センサ角度データDa’、および外部角速度センサ42で検出された角速度の信号(以下、校正角速度信号と略す。)Scに基づく角度のデータ(以下、校正センサ角度データと略す。)Ddが入力される。比較回路43は、これらのデータを一定時間間隔で同時にサンプリングする。これにより、例えば、図3に示すように、補正センサ角度データDa’(実線で示す。)、および校正センサ角度データDd(一点鎖線で示す。)の時間的な変化のデータが得られる。   The comparison circuit 43 includes a correction sensor angle data Da ′ and an angular velocity signal detected by the external angular velocity sensor 42 from the external input / output terminal 30 and the external angular velocity sensor 42, respectively (hereinafter abbreviated as a calibration angular velocity signal). Data of an angle based on Sc (hereinafter abbreviated as calibration sensor angle data) Dd is input. The comparison circuit 43 simultaneously samples these data at regular time intervals. Thereby, for example, as shown in FIG. 3, data of temporal changes in the correction sensor angle data Da ′ (shown by a solid line) and the calibration sensor angle data Dd (shown by a one-dot chain line) are obtained.

比較回路43は、得られた補正センサ角度データDa’、および校正センサ角度データDdの時間的な変化のデータを用いて、補正センサ角度データDa’と校正センサ角度データDdの位相差ΔTb(|t1−t2|)、および最大振幅の差ΔAb(|a1−a2|)を求め、外部入出力端子30、およびCPU29を介して、これらのデータを第一校正部20に出力する。   The comparison circuit 43 uses the obtained correction sensor angle data Da ′ and data of temporal change of the calibration sensor angle data Dd to use the phase difference ΔTb (|) between the correction sensor angle data Da ′ and the calibration sensor angle data Dd. t1-t2 |) and the difference ΔAb (| a1-a2 |) of the maximum amplitude are obtained, and these data are output to the first calibration unit 20 via the external input / output terminal 30 and the CPU 29.

第一校正部20は、比較回路43からの位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが0、あるいは規定値以下となるように、位相値、およびゲイン値の設定を変更する。このとき、第一校正部20は、第二校正部21の場合と同様に、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbに対する位相値、およびゲイン値の関係を表す簡易なデータ変換テーブルに基づいて、設定の変更を行う。そして、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが0、あるいは規定値以下となったときの位相値、およびゲイン値を、改めて設定値として書き換える。   The first calibration unit 20 changes the setting of the phase value and the gain value so that the phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb from the comparison circuit 43 are 0 or less than a specified value. At this time, as in the case of the second calibration unit 21, the first calibration unit 20 is based on a simple data conversion table representing the relationship between the phase value ΔTb and the phase value with respect to the maximum amplitude difference ΔAb, and the gain value. Change the settings. Then, the phase value and gain value when the phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb are 0 or less than the specified value are rewritten as set values.

以下、系40でアクチュエータ12の校正を行う手順について、図4のフローチャートを参照して説明する。まず、加振台41を停止させた状態で、初期設定として、第一校正部20の位相値を0°、ゲイン値を1にリセットし、切り替えスイッチ14を端子b側、すなわち、正弦波出力部15側に切り替える。   Hereinafter, the procedure for calibrating the actuator 12 in the system 40 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, with the shaking table 41 stopped, as an initial setting, the phase value of the first calibration unit 20 is reset to 0 °, the gain value is reset to 1, and the changeover switch 14 is set to the terminal b side, that is, a sine wave output. Switch to the unit 15 side.

初期設定後、正弦波出力部15が駆動されて正弦波信号Sbが出力され、A/D16でデジタル信号に変換される。そして、積分フィルタ17で積分されて、これにより正弦波角度データDbが出力される。正弦波角度データDbは、比較回路19に出力される一方、第一、第二校正部20、21の設定値に基づいて、利得補正回路18で位相、およびゲインが補正され、補正正弦波角度データDb’とされる。補正正弦波角度データDb’は、D/A変換後、アクチュエータ12に入力される。   After the initial setting, the sine wave output unit 15 is driven to output a sine wave signal Sb, which is converted into a digital signal by the A / D 16. Then, the signal is integrated by the integration filter 17 and sine wave angle data Db is output. While the sine wave angle data Db is output to the comparison circuit 19, the phase and gain are corrected by the gain correction circuit 18 based on the set values of the first and second calibration units 20 and 21, and the corrected sine wave angle is obtained. Data Db ′. The corrected sine wave angle data Db ′ is input to the actuator 12 after D / A conversion.

補正正弦波角度データDb’がアクチュエータ12に入力されると、アクチュエータ12が駆動され、正弦波信号Sbによる模擬的な振れを相殺するように、補正レンズ23がカメラ本体2aの左右軸、および上下軸まわりに回転駆動される。これに伴い、補正レンズ23の左右軸、および上下軸に対する傾きが、傾き検出センサ24で検出される。そして、この検出結果がA/D変換されて位置検出部13に入力され、位置検出部13で傾き角度データDcが求められる。求められた傾き角度データDcは、比較回路19に出力される。   When the corrected sine wave angle data Db ′ is input to the actuator 12, the actuator 12 is driven, and the correction lens 23 is moved to the left and right axes of the camera body 2a and up and down so as to cancel the simulated shake due to the sine wave signal Sb. It is driven to rotate around the axis. Accordingly, the inclination detection sensor 24 detects the inclination of the correction lens 23 with respect to the left and right axes and the vertical axis. Then, the detection result is A / D converted and input to the position detection unit 13, and the position detection unit 13 obtains the tilt angle data Dc. The obtained tilt angle data Dc is output to the comparison circuit 19.

比較回路19では、積分フィルタ17からの正弦波角度データDbと、位置検出部13からの傾き角度データDcとが一定時間間隔で同時にサンプリングされる。そして、これにより得られた正弦波角度データDb、および傾き角度データDcの時間的な変化のデータを用いて、正弦波角度データDbと傾き角度データDcの位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaが求められる。求められた位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaは、第二校正部21に出力される。   In the comparison circuit 19, the sine wave angle data Db from the integration filter 17 and the tilt angle data Dc from the position detection unit 13 are simultaneously sampled at a constant time interval. Then, using the sine wave angle data Db and the data of temporal change of the tilt angle data Dc obtained by this, the phase difference ΔTa between the sine wave angle data Db and the tilt angle data Dc and the difference ΔAa of the maximum amplitude. Is required. The obtained phase difference ΔTa and maximum amplitude difference ΔAa are output to the second calibration unit 21.

第二校正部21では、比較回路19からの位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaが0、あるいは規定値以下となるように、位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaに対する位相値、およびゲイン値の関係を表す簡易なデータ変換テーブルに基づいて、位相値、およびゲイン値の設定が変更される。そして、位相差ΔTa、および最大振幅の差ΔAaが0、あるいは規定値以下となったときの位相値、およびゲイン値が、改めて設定値として書き換えられる。   In the second calibration unit 21, the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa from the comparison circuit 19 are 0, or the phase value and gain for the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa so as to be equal to or less than a specified value. The setting of the phase value and the gain value is changed based on a simple data conversion table representing the value relationship. Then, the phase value and the gain value when the phase difference ΔTa and the maximum amplitude difference ΔAa are 0 or less than the specified value are rewritten as set values.

第二校正部21の設定値の書き換え後、正弦波出力部15の駆動が停止される。以上の工程により、アクチュエータ12の入出力信号の関係が一致するように、利得補正の設定値が校正される。   After the set value of the second calibration unit 21 is rewritten, the driving of the sine wave output unit 15 is stopped. Through the above steps, the gain correction setting value is calibrated so that the relationship between the input and output signals of the actuator 12 matches.

次いで、系40で角速度センサ10の校正を行う手順について、図5のフローチャートを参照して説明する。まず、初期設定として、アクチュエータ12の校正終了時の第二校正部21の設定値をCPU29内のメモリなどにストックした後、第二校正部21の位相値を0°、ゲイン値を1にリセットし、切り替えスイッチ14を端子a側、すなわち、角速度センサ10側に切り替える。   Next, the procedure for calibrating the angular velocity sensor 10 in the system 40 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, as an initial setting, the setting value of the second calibration unit 21 at the end of calibration of the actuator 12 is stocked in a memory or the like in the CPU 29, and then the phase value of the second calibration unit 21 is reset to 0 ° and the gain value is reset to 1. Then, the changeover switch 14 is switched to the terminal a side, that is, the angular velocity sensor 10 side.

初期設定後、加振台41が駆動されて正弦波振動が発生される。この振動により、角速度センサ10、および外部角速度センサ42から、角速度信号Sa、および校正角速度信号Scが出力される。角速度信号Saは、バンドパスフィルタによる周波数成分の抽出、およびDCカットフィルタによる直流成分の除去が施された後、A/D16でA/D変換され、積分フィルタ17で積分されて、これによりセンサ角度データDaが出力される。センサ角度データDaは、第一、第二校正部20、21の設定値に基づいて、利得補正回路18で位相、およびゲインが補正され、補正センサ角度データDa’とされる。補正センサ角度データDa’は、CPU29、外部入出力端子30を経て、比較回路43に出力される。   After the initial setting, the vibration table 41 is driven to generate sine wave vibration. Due to this vibration, the angular velocity signal Sa and the calibration angular velocity signal Sc are output from the angular velocity sensor 10 and the external angular velocity sensor 42. The angular velocity signal Sa is subjected to the extraction of the frequency component by the band pass filter and the removal of the direct current component by the DC cut filter, then A / D conversion by the A / D 16 and integration by the integration filter 17. Angle data Da is output. The sensor angle data Da is corrected in phase and gain by the gain correction circuit 18 based on the set values of the first and second calibration units 20 and 21, and is set as corrected sensor angle data Da '. The correction sensor angle data Da ′ is output to the comparison circuit 43 via the CPU 29 and the external input / output terminal 30.

一方、校正角速度信号Scは、角速度信号Saの場合と同様に、周波数成分の抽出、直流成分の除去、A/D変換、および積分が施され、これにより校正センサ角度データDdが出力される。校正センサ角度データDdは、比較回路43に出力される。   On the other hand, the calibration angular velocity signal Sc is subjected to frequency component extraction, DC component removal, A / D conversion, and integration, as in the case of the angular velocity signal Sa, thereby outputting calibration sensor angle data Dd. The calibration sensor angle data Dd is output to the comparison circuit 43.

比較回路43では、外部入出力端子30からの補正センサ角度データDa’と、外部角速度センサ42からの校正センサ角度データDdとが一定時間間隔で同時にサンプリングされ、これにより得られた補正センサ角度データDa’、および校正センサ角度データDdの時間的な変化のデータを用いて、補正センサ角度データDa’と校正センサ角度データDdの位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが求められる。求められた位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbは、外部入出力端子30、CPU29を経て、第一校正部20に出力される。   In the comparison circuit 43, the correction sensor angle data Da ′ from the external input / output terminal 30 and the calibration sensor angle data Dd from the external angular velocity sensor 42 are simultaneously sampled at regular time intervals, and the correction sensor angle data obtained thereby is obtained. The phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb between the correction sensor angle data Da ′ and the calibration sensor angle data Dd are obtained using the data Da ′ and the temporal change data of the calibration sensor angle data Dd. The obtained phase difference ΔTb and maximum amplitude difference ΔAb are output to the first calibration unit 20 via the external input / output terminal 30 and the CPU 29.

第一校正部20では、比較回路43からの位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが0、あるいは規定値以下となるように、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbに対する位相値、およびゲイン値の関係を表す簡易なデータ変換テーブルに基づいて、位相値、およびゲイン値の設定が変更される。そして、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが0、あるいは規定値以下となったときの位相値、およびゲイン値が、改めて設定値として書き換えられる。   In the first calibration unit 20, the phase difference ΔTb and the phase difference with respect to the maximum amplitude difference ΔAb and the gain so that the phase difference ΔTb from the comparison circuit 43 and the maximum amplitude difference ΔAb are 0 or less than a specified value. The setting of the phase value and the gain value is changed based on a simple data conversion table representing the value relationship. Then, the phase value and gain value when the phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb are 0 or less than the specified value are rewritten as set values.

第一校正部20の設定値の書き換え後、第二校正部21の設定値がアクチュエータ12の校正終了時の値に戻され、加振台41の駆動が停止される。以上の工程により、角速度センサ10の入出力信号の関係が一致するように、利得補正の設定値が校正される。角速度センサ10の校正後、デジタルカメラ2は、加振台41から取り外されて次の他の検査工程に送られ、全ての検査終了後、製品として出荷される。   After rewriting the set value of the first calibration unit 20, the set value of the second calibration unit 21 is returned to the value at the end of calibration of the actuator 12, and the drive of the vibration table 41 is stopped. Through the above steps, the gain correction set value is calibrated so that the relationship between the input and output signals of the angular velocity sensor 10 matches. After the calibration of the angular velocity sensor 10, the digital camera 2 is removed from the vibration table 41 and sent to the next other inspection process, and is shipped as a product after completion of all the inspections.

ここまでの説明では、デジタルカメラ2の出荷前に角速度センサ10、およびアクチュエータ12を校正する方法について説明したが、以下では、デジタルカメラ2の出荷後に角速度センサ10の校正を行う場合について説明する。   In the description so far, the method for calibrating the angular velocity sensor 10 and the actuator 12 before the shipment of the digital camera 2 has been described. However, the case where the angular velocity sensor 10 is calibrated after the digital camera 2 is shipped will be described below.

デジタルカメラ2の出荷後に角速度センサ10の校正を行う場合は、図6に示す系50を用いる。すなわち、デジタルカメラ2に外部角速度センサ42を取り付け、出荷前の校正の場合と同様に、アクチュエータ12の校正終了時の第二校正部21の設定値をCPU29内のメモリなどにストックした後、第二校正部21の位相値を0°、ゲイン値を1にリセットする。そして、切り替えスイッチ14を角速度センサ10側に切り替えた後、加振台41の代わりに手動でデジタルカメラ2を振動させる。   When the angular velocity sensor 10 is calibrated after the digital camera 2 is shipped, a system 50 shown in FIG. 6 is used. That is, after attaching the external angular velocity sensor 42 to the digital camera 2 and stocking the set value of the second calibration unit 21 at the end of calibration of the actuator 12 in the memory or the like in the CPU 29 as in the case of calibration before shipment, The phase value of the second calibration unit 21 is reset to 0 ° and the gain value is reset to 1. Then, after the changeover switch 14 is switched to the angular velocity sensor 10 side, the digital camera 2 is manually vibrated instead of the vibration table 41.

この場合、例えば、図7に示すように、比較回路43で、補正センサ角度データDa’と校正センサ角度データDdとを、一定時間間隔で同時にサンプリングして得られた補正センサ角度データDa’ (実線で示す。)、および校正センサ角度データDd(一点鎖線で示す。)の時間的な変化のデータは、図3の加振台41を用いた場合と異なり、不規則な波形となる。このため、比較回路43は、補正センサ角度データDa’、および校正センサ角度データDdの時間的な変化のデータから、形が略一致した波形を抽出して、抽出した波形について、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbを求める。   In this case, for example, as shown in FIG. 7, the correction sensor angle data Da ′ (obtained by simultaneously sampling the correction sensor angle data Da ′ and the calibration sensor angle data Dd at a constant time interval by the comparison circuit 43, as shown in FIG. Unlike the case where the vibration table 41 of FIG. 3 is used, the temporal change data of the calibration sensor angle data Dd (indicated by the alternate long and short dash line) is an irregular waveform. For this reason, the comparison circuit 43 extracts a waveform whose shape substantially matches from the temporal change data of the correction sensor angle data Da ′ and the calibration sensor angle data Dd, and the phase difference ΔTb, And the difference ΔAb of the maximum amplitude is obtained.

また、この場合、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbが0、あるいは規定値以下となるまで、デジタルカメラ2の手動による振動、補正センサ角度データDa’と校正センサ角度データDdのサンプリング、位相差ΔTb、および最大振幅の差ΔAbの算出、および第一校正部20の設定変更を繰り返し行う。このように、外部角速度センサ42、および比較回路43さえあれば、加振台41といった大掛かりな装置を用いることなく、手動でデジタルカメラ2を振動させるだけで、角速度センサ10の校正を行うことができる。   Further, in this case, until the phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb are 0 or less than the specified value, manual vibration of the digital camera 2, sampling of the correction sensor angle data Da ′ and the calibration sensor angle data Dd, The calculation of the phase difference ΔTb and the maximum amplitude difference ΔAb and the setting change of the first calibration unit 20 are repeated. Thus, if there is only the external angular velocity sensor 42 and the comparison circuit 43, the angular velocity sensor 10 can be calibrated by simply vibrating the digital camera 2 manually without using a large-scale device such as the vibration table 41. it can.

なお、出荷後のアクチュエータ12の校正を可能とするために、例えば、図8に示すデジタルカメラ60のように、アクチュエータ12を前回校正した時間をCPU29内のメモリなどに記憶しておき、この時間とCPU29内のシステムクロックの現在時間とを比較回路61で比較して、前回校正した時間から一定時間経過していた場合に、アクチュエータ12の校正を行うようにしてもよい。あるいは、アクチュエータ12の校正をユーザーが指示するための校正指示スイッチ62を設け、校正指示スイッチ62が操作されたことを契機に、アクチュエータ12の校正を行うようにしてもよい。   In order to make it possible to calibrate the actuator 12 after shipment, for example, as in the digital camera 60 shown in FIG. 8, the time when the actuator 12 was calibrated last time is stored in a memory or the like in the CPU 29. And the current time of the system clock in the CPU 29 are compared by the comparison circuit 61, and the calibration of the actuator 12 may be performed when a predetermined time has elapsed since the last calibration time. Alternatively, a calibration instruction switch 62 for the user to instruct calibration of the actuator 12 may be provided, and the actuator 12 may be calibrated when the calibration instruction switch 62 is operated.

この場合、図9、および図10のフローチャートに示すように、前回校正した時間から一定時間経過していた場合、あるいは、校正指示スイッチ62が操作された場合、例えば、「再校正を実施しますか?はい/いいえ」など、再校正の実施可否を確認するメッセージをLCD28に表示する。   In this case, as shown in the flowcharts of FIGS. 9 and 10, when a predetermined time has elapsed since the last calibrated time or when the calibration instruction switch 62 is operated, for example, “Recalibration is performed. A message for confirming whether or not recalibration can be performed is displayed on the LCD 28, such as “Yes / No”.

ユーザーにより再校正が指示された場合は、角速度センサ10で手振れ量を検出する。検出した手振れ量が予め規定された値以下であった場合は、例えば、「再校正を実施します。カメラを動かさないで下さい。」など、再校正を開始する旨を報せるメッセージをLCD28に表示し、図4に示す手順でアクチュエータ12の校正を実施する。一方、手振れ量が予め規定された値以上であった場合は、例えば、「カメラを安定した場所に設置して下さい。」というように、安定した場所への設置を促すメッセージをLCD28に表示して、再校正の実施可否を確認するメッセージの表示に戻る。   When recalibration is instructed by the user, the amount of camera shake is detected by the angular velocity sensor 10. If the detected camera shake amount is less than or equal to the pre-specified value, for example, a message that informs the LCD 28 that recalibration will start, such as “Perform recalibration. Do not move the camera.” Display and calibrate the actuator 12 according to the procedure shown in FIG. On the other hand, if the amount of camera shake is equal to or greater than a predetermined value, a message prompting the user to place the camera in a stable location is displayed on the LCD 28, for example, “Please install the camera in a stable location.” To return to the message display for confirming whether or not recalibration can be performed.

アクチュエータ12の再校正を実施した場合は、再校正後、前回と今回の第二校正部21の設定値をCPU29内の比較回路(図示せず)で比較して、これらの差分を算出する。そして、算出した差分が予め規定された値以下であった場合は、例えば、「設定を書き換えますか?はい/いいえ」など、第二校正部21の設定の書き換え可否を確認するメッセージをLCD28に表示する。   When recalibration of the actuator 12 is performed, after the recalibration, the setting value of the second calibration unit 21 of the previous time and that of the current time is compared by a comparison circuit (not shown) in the CPU 29, and the difference between them is calculated. If the calculated difference is equal to or less than a predetermined value, for example, a message confirming whether the setting of the second calibration unit 21 can be rewritten, such as “Would you like to rewrite the setting? Yes / No”, is displayed on the LCD 28. indicate.

ユーザーにより書き換えが指示された場合は、今回の再校正の結果に基づいて、第二校正部21の設定を書き換える。そして、例えば、「設定を書き換えました。」といった、設定を書き換えた旨を報せるメッセージをLCD28に表示した後、通常の動作モードに移行する。書き換えが指示されなかった場合は、例えば、「設定を書き換えませんでした。」など、設定を書き換えなかった旨を報せるメッセージをLCD28に表示した後、通常の動作モードに移行する。   When rewriting is instructed by the user, the setting of the second calibration unit 21 is rewritten based on the result of the current recalibration. Then, for example, a message reporting that the setting has been rewritten, such as “Setting has been rewritten”, is displayed on the LCD 28, and then the operation mode is shifted to the normal operation mode. When the rewriting is not instructed, for example, a message reporting that the setting has not been rewritten is displayed on the LCD 28, such as “The setting has not been rewritten”, and then the operation mode is shifted to the normal operation mode.

一方、前回と今回の第二校正部21の設定値の差分が規定値以上であった場合は、例えば、「結果が異常です。再校正をし直しますか?はい/いいえ」といった、再校正をし直すか否かを確認するメッセージをLCD28に表示する。   On the other hand, if the difference between the previous and current settings of the second calibration unit 21 is greater than or equal to the specified value, for example, “Result is abnormal. Do you want to recalibrate again? Yes / No” A message for confirming whether or not to re-do is displayed on the LCD 28.

ユーザーにより再校正のし直しが指示された場合は、再校正の実施回数を計数するCPU29内のカウンタ(図示せず)をインクリメントする。そして、実施回数が予め規定された値以下であった場合は、再校正をし直すために手振れ量の検出に戻る。一方、実施回数が規定値以上であった場合は、アクチュエータ12自体が故障しているおそれがあるため、例えば、「再校正できません。故障のおそれがあります。」など、再校正が不可であることを報せるメッセージをLCD28に表示した後、設定を書き換えなかった旨を報せるメッセージを表示し、通常の動作モードに移行する。   When re-calibration is instructed by the user, a counter (not shown) in the CPU 29 that counts the number of re-calibrations is incremented. If the number of executions is less than or equal to a predetermined value, the process returns to the detection of camera shake amount in order to recalibrate. On the other hand, if the number of executions is greater than or equal to the specified value, the actuator 12 itself may be broken, so re-calibration is impossible, for example, “Cannot be re-calibrated. There is a risk of failure.” Is displayed on the LCD 28, and then a message indicating that the setting has not been rewritten is displayed to shift to the normal operation mode.

以上説明したように、本発明によれば、デジタルカメラの出荷前だけでなく、出荷後に、且つ設置費用やスペースが必要な加振台を用いることなく、角速度センサ10、およびアクチュエータ12の校正を行うことができる。   As described above, according to the present invention, the angular velocity sensor 10 and the actuator 12 can be calibrated not only before shipment of the digital camera but also after shipment and without using a vibration table that requires installation cost and space. It can be carried out.

なお、第一、第二校正部20、21の設定値を手動で操作することができるように、デジタルカメラに専用の操作部材を設けてもよい。また、上記一連の校正処理を行うためのプログラムを作成して、これをパーソナルコンピュータにインストールし、第一、第二校正部20、21や比較回路43の機能をパーソナルコンピュータで実現するように構成してもよい。   A dedicated operation member may be provided in the digital camera so that the set values of the first and second calibration units 20 and 21 can be manually operated. Further, a program for performing the above series of calibration processing is created and installed in a personal computer, and the functions of the first and second calibration units 20 and 21 and the comparison circuit 43 are realized by the personal computer. May be.

上記実施形態では、角速度センサ10の検出結果である補正センサ角度データDa’を、外部入出力端子30を介して比較回路43に出力しているが、外部角速度センサ42の検出結果である校正センサ角度データDdをデジタルカメラに入力するようにし、比較回路43をデジタルカメラ側に搭載させてもよい。   In the above embodiment, the correction sensor angle data Da ′ that is the detection result of the angular velocity sensor 10 is output to the comparison circuit 43 via the external input / output terminal 30, but the calibration sensor that is the detection result of the external angular velocity sensor 42. The angle data Dd may be input to the digital camera, and the comparison circuit 43 may be mounted on the digital camera side.

上記実施形態では、デジタルカメラに振動補正装置を搭載した例を挙げて説明したが、他の撮像装置、例えば、カメラ付き携帯電話やビデオカメラなどについても、本発明を適用することができる。   In the above-described embodiment, an example in which a vibration correction device is mounted on a digital camera has been described. However, the present invention can also be applied to other imaging devices such as a mobile phone with a camera and a video camera.

本発明の手振れ補正機能付きデジタルカメラの概略を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the outline of the digital camera with a camera-shake correction function of this invention. デジタルカメラの出荷前に校正を行う場合の系を示す概略図である。It is the schematic which shows the system | strain in the case of calibrating before shipment of a digital camera. 加振台で振動を加えた場合の角速度センサと外部角速度センサの検出結果の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the detection result of the angular velocity sensor and external angular velocity sensor at the time of applying a vibration with a vibration table. デジタルカメラの出荷前にアクチュエータの校正を行う手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure which calibrates an actuator before shipment of a digital camera. デジタルカメラの出荷前に角速度センサの校正を行う手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure which calibrates an angular velocity sensor before shipment of a digital camera. デジタルカメラの出荷後に校正を行う場合の系を示す概略図である。It is the schematic which shows the system | strain in the case of calibrating after shipment of a digital camera. 手動で振動を加えた場合の角速度センサと外部角速度センサの検出結果の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the detection result of the angular velocity sensor and external angular velocity sensor at the time of adding a vibration manually. 手振れ補正機能付きデジタルカメラの別の実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows another embodiment of the digital camera with a camera-shake correction function. 図8に示すデジタルカメラで、出荷後にアクチュエータの校正を行う手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure which calibrates an actuator after shipment with the digital camera shown in FIG. 図8に示すデジタルカメラで、出荷後にアクチュエータの校正を行う手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure which calibrates an actuator after shipment with the digital camera shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

2、60 デジタルカメラ
10 角速度センサ
12 アクチュエータ
15 正弦波出力部
18 利得補正回路
19 比較回路
20、21 第一、第二校正部
23 補正レンズ
29 CPU
30 外部入出力端子
40、50 校正を行うための系
41 加振台
42 校正済みの角速度センサ(外部角速度センサ)
43 比較回路
61 比較回路
62 校正指示スイッチ
2, 60 Digital camera 10 Angular velocity sensor 12 Actuator 15 Sine wave output unit 18 Gain correction circuit 19 Comparison circuit 20, 21 First and second calibration unit 23 Correction lens 29 CPU
30 External input / output terminal 40, 50 System for calibration 41 Excitation table 42 Calibrated angular velocity sensor (external angular velocity sensor)
43 Comparison circuit 61 Comparison circuit 62 Calibration instruction switch

Claims (27)

振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置において、
前記振動検出手段の検出結果、および前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段の検出結果を比較した結果に基づいて、前記振動検出手段を校正する第一校正手段を備えることを特徴とする振動補正装置。
In a vibration correction apparatus having vibration detection means for detecting vibration and vibration correction means for correcting the vibration so as to cancel out according to the detection result of the vibration detection means,
First calibration means for calibrating the vibration detection means based on a result of comparing the detection result of the vibration detection means and the detection result of a calibrated external vibration detection means prepared separately from the vibration detection means. A vibration correction apparatus comprising:
前記第一校正手段は、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から求められる、これらの位相差、および最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることを特徴とする請求項1に記載の振動補正装置。   The first calibration means is obtained from the temporal change waveforms of the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means, and the phase difference and the maximum amplitude difference are 0 or less than a specified value. The vibration correction apparatus according to claim 1, wherein: 前記振動検出手段の検出結果を外部に出力するための外部出力手段を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の振動補正装置。   The vibration correction apparatus according to claim 1, further comprising an external output unit configured to output a detection result of the vibration detection unit to the outside. 前記第一校正手段の校正結果を記憶する第一記憶手段を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の振動補正装置。   The vibration correction apparatus according to claim 1, further comprising a first storage unit that stores a calibration result of the first calibration unit. 前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段は、角速度センサからなり、
前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果は、前記角速度センサで検出された角速度信号を積分して得られる角度のデータであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の振動補正装置。
The vibration detection means and the external vibration detection means are composed of angular velocity sensors,
5. The detection result of the vibration detection means and the external vibration detection means is angle data obtained by integrating angular velocity signals detected by the angular velocity sensor. The vibration correction apparatus described.
手振れの状態を模した一定の連続した振動信号を発生する振動信号発生手段と、
前記振動信号、および前記振動信号を与えたときの前記振動補正手段の駆動出力信号を比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記振動補正手段を校正する第二校正手段とを備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の振動補正装置。
Vibration signal generating means for generating a constant continuous vibration signal imitating the state of camera shake;
Comparing means for comparing the vibration signal and the drive output signal of the vibration correcting means when the vibration signal is given;
6. The vibration correction apparatus according to claim 1, further comprising a second calibration unit that calibrates the vibration correction unit based on a comparison result of the comparison unit.
前記比較手段は、前記振動信号、および前記駆動出力信号の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、
前記第二校正手段は、前記比較手段で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることを特徴とする請求項6に記載の振動補正装置。
The comparison means obtains a phase difference between the vibration signal and a temporal change waveform of the drive output signal, and a difference in maximum amplitude,
The vibration correction apparatus according to claim 6, wherein the second calibration unit is configured such that a difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained by the comparison unit is 0 or less than a specified value.
前記第二校正手段の校正結果を記憶する第二記憶手段を備えることを特徴とする請求項6または7に記載の振動補正装置。   The vibration correction apparatus according to claim 6, further comprising a second storage unit that stores a calibration result of the second calibration unit. 前記第二校正手段で前回校正した時間から一定時間経過した場合、前記振動補正手段を校正する処理に自動的に移行させるための処理移行手段を備えることを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに記載の振動補正装置。   9. The method according to claim 6, further comprising a process transition unit for automatically shifting to a process of calibrating the vibration correction unit when a predetermined time has elapsed from the time of the previous calibration by the second calibration unit. The vibration correcting device according to claim 1. 前記振動補正手段を校正する処理に移行させるための操作入力手段を備えることを特徴とする請求項6ないし9のいずれかに記載の振動補正装置。   The vibration correction apparatus according to claim 6, further comprising an operation input unit that shifts the vibration correction unit to a process of calibrating the vibration correction unit. 前記振動補正手段は、アクチュエータからなり、
前記駆動出力信号は、前記アクチュエータにより変位される被変位部材の変位量のデータであることを特徴とする請求項6ないし10のいずれかに記載の振動補正装置。
The vibration correcting means comprises an actuator,
The vibration correction apparatus according to claim 6, wherein the drive output signal is data of a displacement amount of a member to be displaced that is displaced by the actuator.
請求項1ないし11のいずれかに記載の振動補正装置を搭載し、
前記振動検出手段で装置本体に加わる振動が検出され、
前記振動補正手段で光学系が機械的に変位されることを特徴とする撮像装置。
The vibration correction device according to any one of claims 1 to 11 is mounted,
The vibration applied to the apparatus main body is detected by the vibration detection means,
An image pickup apparatus, wherein an optical system is mechanically displaced by the vibration correcting means.
振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置を検査するための振動補正装置の検査方法であって、
前記振動検出手段、および前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段に振動を与える加振工程と、
前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果を比較する第一比較工程と、
前記第一比較工程の比較結果に基づいて、前記振動検出手段を校正する第一校正工程とを備えることを特徴とする振動補正装置の検査方法。
An inspection method of a vibration correction apparatus for inspecting a vibration correction apparatus having vibration detection means for detecting vibration and vibration correction means for correcting the vibration so as to cancel out vibration according to the detection result of the vibration detection means. And
The vibration detecting means, and an exciting step for applying vibration to the calibrated external vibration detecting means prepared separately from the vibration detecting means,
A first comparison step of comparing the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means;
And a first calibration step of calibrating the vibration detection means based on the comparison result of the first comparison step.
前記第一比較工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、
前記第一校正工程では、前記第一比較工程で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることを特徴とする請求項13に記載の振動補正装置の検査方法。
In the first comparison step, from the waveform of the temporal change in the detection result of the vibration detection unit and the external vibration detection unit, the phase difference and the maximum amplitude difference are obtained.
14. The vibration correction according to claim 13, wherein, in the first calibration step, the difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained in the first comparison step is 0 or less than a specified value. Device inspection method.
前記振動検出手段の検出結果を外部に出力する外部出力工程を備えることを特徴とする請求項13または14に記載の振動補正装置の検査方法。   15. The inspection method for a vibration correction apparatus according to claim 13, further comprising an external output step of outputting a detection result of the vibration detection means to the outside. 前記第一校正工程の校正結果を記憶する第一記憶工程を備えることを特徴とする請求項13ないし15のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。   16. The vibration correction apparatus inspection method according to claim 13, further comprising a first storage step of storing a calibration result of the first calibration step. 前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に、角速度センサを用い、
前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果として、前記角速度センサで検出された角速度信号を積分して得られる角度のデータを用いることを特徴とする請求項13ないし16のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。
An angular velocity sensor is used for the vibration detection means and the external vibration detection means,
17. The angle data obtained by integrating the angular velocity signal detected by the angular velocity sensor is used as a detection result of the vibration detecting unit and the external vibration detecting unit. The inspection method of the vibration correction apparatus as described.
前記加振工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に一定の連続した振動が与えられることを特徴とする請求項13ないし17のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。   18. The vibration correcting apparatus inspection method according to claim 13, wherein in the vibration step, a constant continuous vibration is applied to the vibration detection unit and the external vibration detection unit. 前記加振工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に不規則な振動が与えられ、
前記第一比較工程では、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、形が略一致した波形を抽出して、
抽出した波形について、これらの位相差、および最大振幅の差を求めることを特徴とする請求項13ないし18のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。
In the vibration step, irregular vibration is given to the vibration detection means and the external vibration detection means,
In the first comparison step, from the waveform of the temporal change of the detection result of the vibration detection means and the external vibration detection means, a waveform whose shape is substantially the same is extracted,
19. The inspection method for a vibration correcting apparatus according to claim 13, wherein the phase difference and the maximum amplitude difference are obtained for the extracted waveform.
手振れの状態を模した一定の連続した振動信号を前記振動補正手段に与える振動信号入力工程と、
前記振動信号、および前記振動信号による前記振動補正手段の駆動出力信号を比較する第二比較工程と、
前記第二比較工程の比較結果に基づいて、前記振動補正手段を校正する第二校正工程とを備えることを特徴とする請求項13ないし19のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。
A vibration signal input step of giving a constant continuous vibration signal imitating the state of camera shake to the vibration correction means;
A second comparison step of comparing the vibration signal and a drive output signal of the vibration correction means by the vibration signal;
20. The vibration correction apparatus inspection method according to claim 13, further comprising a second calibration step of calibrating the vibration correction unit based on a comparison result of the second comparison step.
前記第二比較工程では、前記振動信号、および前記駆動出力信号の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、
前記第二校正工程では、前記第二比較工程で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることを特徴とする請求項20に記載の振動補正装置の検査方法。
In the second comparison step, from the waveform of the vibration signal and the temporal change in the drive output signal, the phase difference and the difference in maximum amplitude are obtained,
21. The vibration correction according to claim 20, wherein in the second calibration step, the difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained in the second comparison step is 0 or less than a specified value. Device inspection method.
前記第二校正工程の校正結果を記憶する第二記憶工程を備えることを特徴とする請求項20または21のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。   The inspection method for the vibration correcting apparatus according to claim 20, further comprising a second storage step of storing a calibration result of the second calibration step. 前記第二校正工程で前回校正した時間から一定時間経過した場合、前記振動補正手段を校正する処理に自動的に移行することを特徴とする請求項20ないし22のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。   23. The vibration correction apparatus according to claim 20, wherein when a predetermined time has elapsed from the time of previous calibration in the second calibration step, the process automatically shifts to a process of calibrating the vibration correction means. Inspection method. 前記振動補正手段に、アクチュエータを用い、
前記駆動出力信号として、前記アクチュエータにより変位される被変位部材の変位量のデータを用いることを特徴とする請求項20ないし23のいずれかに記載の振動補正装置の検査方法。
An actuator is used for the vibration correction means,
24. The inspection method for a vibration correcting apparatus according to claim 20, wherein data of a displacement amount of a member to be displaced displaced by the actuator is used as the drive output signal.
振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出結果に応じて、振動を相殺するように補正する振動補正手段とを有する振動補正装置を検査するための振動補正装置の検査システムであって、
前記振動検出手段とは別に用意された、校正済みの外部振動検出手段と、
前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果を比較する比較手段とを備え、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記振動検出手段を校正することを特徴とする振動補正装置の検査システム。
An inspection system for a vibration correction apparatus for inspecting a vibration correction apparatus having vibration detection means for detecting vibration and vibration correction means for correcting the vibration so as to cancel out vibration according to the detection result of the vibration detection means. And
Prepared separately from the vibration detection means, calibrated external vibration detection means,
Comparing means for comparing the detection results of the vibration detection means and the external vibration detection means,
An inspection system for a vibration correcting device, wherein the vibration detecting means is calibrated based on a comparison result of the comparing means.
前記比較手段は、前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段の検出結果の時間的な変化の波形から、これらの位相差、および最大振幅の差を求め、
前記校正は、前記比較手段で求めた前記位相差、および前記最大振幅の差が0、あるいは規定値以下となるようにすることを特徴とする請求項25に記載の振動補正装置の検査システム。
The comparison means obtains the phase difference and the maximum amplitude difference from the temporal change waveform of the detection result of the vibration detection means and the external vibration detection means,
26. The vibration correction apparatus inspection system according to claim 25, wherein the calibration is performed such that a difference between the phase difference and the maximum amplitude obtained by the comparison unit is 0 or less than a specified value.
前記振動検出手段、および前記外部振動検出手段に一定の連続した振動を与える加振手段を備えることを特徴とする請求項25または26に記載の振動補正装置の検査システム。   27. The inspection system for a vibration correction apparatus according to claim 25 or 26, further comprising a vibration means for applying a constant continuous vibration to the vibration detection means and the external vibration detection means.
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