JP2008038844A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ロータバランス修正作業が容易で、かつ、ロータ下部の円筒薄肉部を削るバランス修正に起因するロータの応力集中による破壊が起こらないターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】コラム挿入穴１ａとアキシアル磁気軸受６の下側アキシアル電磁石６ｂ外周部に設けた覗き穴６１ｂとを通して、矢印Ａ方向から、アキシアル磁気軸受６のディスク６ｄ外周のネジ孔６１ｄにバランス修正用ネジ２０をねじ込んで回転体のバランス修正を行ない、バランス修正作業終了後は、ベース１下面の底蓋８を取り付けて、内部を外気から遮断する。
【選択図】図１

Description

この発明は、ロータバランス修正が容易なターボ分子ポンプに関する。

ターボ分子ポンプは、ロータを数万r.p.m.の高速で回転して、ロータ翼とこれに微小間隔を保って交互に積層配置されたステータ翼との間で気体分子を叩くようにして気体を排気する。運転時のロータの回転速度が大きいので、ポンプを組み立て、高速回転させながら不釣合を測定し、バランス修正をしないと、ロータの静粛運転が保証できない。

ターボ分子ポンプのロータは、外周に薄肉の回転翼が多層設けられ、その下側にネジ溝ポンプ部の薄肉の円筒部を備えたものもある。そして、一般に、ロータ上部でロータ軸に一体に固定されている。ロータ軸は、軸受により支持され、モータにより回転駆動される。ターボ分子ポンプのロータ、ロータ軸のこのような構造上、ロータは、特にその下側での不釣合が大きくなりやすい。

ロータの下側でのバランス修正を、ロータの応力集中を起こしやすい円筒薄肉部で行なうのを避けて、ロータ軸下部に取り付けられたアーマチュアディスク（この発明におけるディスク）等で行なう技術が特許文献１に開示されている。

特許文献１では、アーマチュアディスク等の外周縁にネジ孔を放射状に形成し、このネジ孔にバランス調整用雄ねじを埋め込んでバランス修正を行なうようにしている。バランス調整用雄ねじのねじ込み量調節や着脱は、ポンプの排気口か特別に設けた調整用孔を通して行なうようになっている。

しかし、特許文献１のようにアーマチュアディスク等のネジ孔と雄ねじでバランス修正するには、ポンプの排気口に新たに調整用の構造を追加するか、新たに設けた調整用孔が必要である。

すなわち、排気口を用いる場合は、図１０に示すように、排気口１５からアーマチュアディスク６ｄの外周縁に向けた通し孔１ｂ、２ｂを、ベース１やステータコラム２に新たに設けなければならない。この通し孔１ｂ、２ｂは、バランス調整後もそのままにしておくと、パージガスが通し孔１ｂ、２ｂより噴出してしまうため、アキシアル磁気軸受６の内部空間、保護用ベアリング１８、ラジアル磁気軸受５、モータ７の各隙間に充分に流れることができず、パージガスによる保護ができないおそれがある。

よって、腐食性ガス排気時に腐食性ガスが磁気軸受５、６、モータ７、保護用ベアリング１８を腐食するおそれがある。このような腐食を防ぐには、通し孔１ｂ、２ｂの密閉手段も準備する必要があり、排気口１５側からアーマチュアディスク６ｄ等にバランス修正作業を行なうことは、部品点数増、工数増によるコスト上昇になって、あまり経済的でない。

また、調整用孔を新たに設ける場合は、調整用孔とこれを密閉する密閉手段が必要で、これも部品点数増、工数増によるコスト上昇になって経済的ではない。

なお、図１０において、３はロータ、６ａ、６ｂはアキシアル電磁石、６ｃはアキシアル電磁石６ａ、６ｂ間の環状スペーサ、６ｃｎは環状スペーサ６ｃの切欠きである。

実開平６−１４４９０号公報（要約、請求項３）

この発明は、ロータの下側でのバランス修正を、ロータの円筒薄肉部で行なわず、排気ガスの腐食雰囲気に曝されにくく、高速回転による遠心力の影響も比較的少ないアキシアル軸受のディスクで行ない、排気経路以外のポンプの既存の開口部からディスクのバランス修正部にネジを着脱、出し入れ調節したり、ディスクのバランス修正部を部分的に除去することにより、上述の問題点を解決し、組立後の回転体バランス修正作業の効率がよいターボ分子ポンプを提供するものである。

上述の課題を解決するために、この発明は、回転部保持体と、上記回転部保持体に空隙を保って配置されたロータ軸と、上記ロータ軸と一体に保持されるロータと、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に半径方向に保持するラジアル軸受と、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に軸線方向に保持するアキシアル軸受と、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転駆動するモータと、上記回転部保持体の下部に配設され、上記アキシアル軸受を収納する収納空間と、上記回転部保持体の下面に取り付けられ、上記収納空間を外部から閉鎖する底蓋とを有し、上記アキシアル軸受が、回転部保持体に取り付けた上側アキシアル保持部および下側アキシアル保持部と、これらのアキシアル保持部間に配設され、ロータ軸に取り付けたディスクとからなっているターボ分子ポンプにおいて、上記ディスクにバランス修正部を設け、上記下側アキシアル保持部の外周部には、上記底蓋側から上記バランス修正部を透視可能な覗き穴を設ける。

上記の発明において、上記バランス修正部が、ディスクのピッチ円上にロータ軸線の軸線方向に設けた複数のネジ孔と、上記ネジ孔にねじ込むバランス修正用ネジとを有するようにしてもよい。

上述の課題を解決するために、また、この発明は、回転部保持体と、上記回転部保持体に空隙を保って配置されたロータ軸と、上記ロータ軸と一体に保持されるロータと、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に半径方向に保持するラジアル軸受と、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に軸線方向に保持するアキシアル軸受と、上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転駆動するモータと、上記回転部保持体の側面に設けられたパージガス導入用のパージポート穴と、上記回転部保持体に設けられたパージガス導入用の径方向貫通穴とを有し、上記アキシアル軸受が、回転部保持体に取り付けた上側アキシアル保持部および下側アキシアル保持部と、これらのアキシアル保持部間に介挿され、径方向貫通部を有する径方向貫通部付き環状スペーサと、この環状スペーサ内側に配設され、ロータ軸に取り付けたディスクとからなっているターボ分子ポンプにおいて、上記ディスクにバランス修正部を設け、上記パージポート穴、回転部保持体の径方向貫通穴および環状スペーサの径方向貫通部を一直線状に配置して上記バランス修正部をパージポート側から透視可能とする。

上記の発明において、上記バランス修正部が、ロータ軸線の半径方向に設けた複数のネジ孔と、上記ネジ孔にねじ込むバランス修正用ネジとを有するようにしてもよい。

また、上記の発明において、上記バランス修正部が、部分的に除去されてバランス修正されるようになっているようにしてもよい。

この発明においては、アキシアル軸受の下側アキシアル保持部外周部に設けた覗き穴を通して、ポンプ下側からアキシアル軸受のディスクのバランス修正部に設けたネジ孔にバランス修正用ネジをねじ込み、あるいは、バランス修正部を部分的に除去して、バランス修正作業をし、または、パージポート穴を通して、ポンプ側面からアキシアル軸受のディスクのバランス修正部に設けた外周のネジ孔にバランス修正用ネジをねじ込み、あるいは、バランス修正部を部分的に除去して、バランス修正作業をする、というように、排気経路以外のポンプの既存の開口部からディスクのバランス修正部にネジを着脱、出し入れ調節あるいはバランス修正部を部分的に除去するようにしたから、ロータの下側でのバランス修正作業を短時間で効率よく行なうことができる。

排気口からディスクにネジを着脱、出し入れ調節する従来のバランス修正が、特別のパージガス洩れ防止用密閉手段を要するのと比べて、この発明では、既存の開口部に何ら手を加えなくても、パージガス洩れによる効率低下のおそれがない。

アキシアル軸受のディスクは、排気ガスの腐食雰囲気に曝されにくく、高速回転による遠心力の影響も比較的少ないから、腐食や変形によるバランス修正部分の変化が起こりにくく、長期間の使用にも回転体部分のバランスが維持される。

［第１の実施形態］
この発明の第１の実施の形態を、以下、図１〜図６を参照して説明する。図１は、この発明の第１の実施形態を示す縦断面図、図２は、図１の要部拡大断面図、図３は、図１におけるディスクを示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図、図４は、図１における下側アキシアル電磁石を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図、図５は、図１における環状スペーサを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図６（ａ）は、図２におけるバランス修正作業状況を示す断面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）に対応する従来例でのバランス修正作業状況を示す断面図である。

図１において、１はベース、２はステータコラム、３はロータ軸、４はロータ、５はラジアル磁気軸受、６はアキシアル磁気軸受、７はモータである。

上記ベース１の中央には、コラム挿入穴１ａが設けられている。円筒状のステータコラム２は、コラム挿入穴１ａに上側から下部が挿入嵌合され、ボルト結合されて、ベース１の中央上方に突設されている。なお、ベース１とステータコラム２とをボルト結合する代わりに、ベース１とステータコラム２とを一体に形成することもできる。

コラム挿入穴１ａは、ベース１の下面に取り付けられた底蓋８により塞がれている。

上記ロータ軸３は、その上部で結合して上記ロータ４を一体に保持し、ステータコラム２の内筒内に空隙を保って回転自在に挿入されている。

すなわち、ロータ軸３とステータコラム２の間には、上記ラジアル磁気軸受５とアキシアル磁気軸受６が配設され、上記ステータコラム２がロータ軸３を回転自在に保持するために、ラジアル磁気軸受５がロータ軸３を半径方向に保持し、アキシアル磁気軸受６がロータ軸３を軸線方向に保持している。

また、ロータ軸３とステータコラム２の間には、上記モータ７が配設され、このモータ７が上記ステータコラム２に対してロータ軸３、ロータ４を回転駆動するようになっている。

両磁気軸受５、６とモータ７のそれぞれのステータコラム２側の部材とロータ軸３側の部材との間には、若干の空隙があって、磁気軸受５、６の各空隙が制御されることにより、ロータ軸３、ロータ４は空間上に安定保持され、モータ７により高速回転される。

上述のように、ベース１とステータコラム２とは、一体化されてロータ軸３、ロータ４等の高速回転部分を保持する回転部保持体を形成している。

アキシアル磁気軸受６の構成について、いま少し細かく説明すると、アキシアル磁気軸受６のステータコラム２に取り付けた静止部分として、上側アキシアル電磁石（上側アキシアル保持部）６ａおよび下側アキシアル電磁石（下側アキシアル保持部）６ｂが切欠付き環状スペーサ６ｃ（図５参照）を挟んで上下に配置され、アキシアル磁気軸受６のロータ軸３に取り付けた回転部分として、ディスク６ｄが両アキシアル電磁石６ａ、６ｂ間に、スペーサ６ｃのリング内側に配設されている。そして、上下のアキシアル電磁石６ａ、６ｂに挟まれてディスク６ｄがアキシアル方向に保持され、更に、上下のアキシアル電磁石６ａ、６ｂに流れる制御電流に応じて、ディスク６ｄがアキシアル方向に位置制御され、回転体の上下方向位置が安定して制御される。

１１は、上記ベース１の上方に取り付けられ、ステータコラム２、ロータ軸３、ロータ４を収容する円筒状のケーシング、１２、１２、‥‥は、上記ケーシング１１の上部内壁面に軸方向に重畳して取り付けられた複数のステータ翼である。このステータ翼１２、１２、‥‥は、上記ロータ４の上部外周に形成された複数のロータ翼４ａ、４ａ、‥‥と微小な隙間を保って交互に重ね合わされ、ロータ翼４ａ、４ａ、‥‥とステータ翼１２、１２、‥‥とでターボ分子ポンプ部を形成している。

１３は、ベース１と上記ステータ翼１２、１２、‥‥との間のケーシング１１の内壁に設けられ、内周面にネジ溝１３ａを形成したネジステータである。このネジステータ１３のネジ溝１３ａは、上記ロータ４下部の薄肉円筒状のスカート部４ｂの外周面と近接対向し、ネジ溝１３ａとスカート部４ｂとでネジ溝ポンプ部を形成している。

１４はポンプの吸気口、１５は排気口、１６はベース１の側面に設けられたパージガス導入用のパージポート穴、１７は、パージポート穴１６の入口に取り付けたパージポートである。吸気口１４は、ポンプ上部に、排気口１５とパージポート穴１６とは、ベース１内にそれぞれ設けられている。

上記ステータコラム２には、パージポート穴１６に対向する部分に径方向貫通穴２ａが設けられている。そして、上側アキシアル電磁石６ａと下側アキシアル電磁石６ｂとの間に介挿された上記切欠付き環状スペーサ６ｃの切欠き６ｃｎは、この径方向貫通穴２ａに対向して配置されていて、径方向貫通穴２ａと切欠き６ｃｎを通してパージガスが磁気軸受５、６、モータ７等の内部隙間に導入されるようになっている。

この実施の形態では、環状スペーサ６ｃに切欠き６ｃｎを設けて径方向貫通部としたが、切欠きに代えて環状スペーサ６ｃに貫通穴を設けて径方向貫通部としてもよい。

１８は、ステータコラム２とロータ軸３との間に設けられた保護用ベアリングである。この保護用ベアリング１８は、停電や回路異常時など磁気軸受の制御不能時等に、磁気軸受５、６とモータ７の各ステータコラム側とロータ軸側との接触を防止するためのものである。

図１のターボ分子ポンプでは、ロータの高速回転により、ターボ分子ポンプ部、ネジ溝ポンプ部の作用で、真空室等に接続した吸気口１４からガスを吸気し、吸気されたガスは、ターボ分子ポンプ部、ネジ溝ポンプ部の順に通過して、排気口１５から排気口１５側に接続された補助ポンプ等側に排気される。

以上の構成は、周知の部分である。

次に、この発明の特徴部分を説明する。

ロータ軸３、ロータ４、磁気軸受５、６のロータ軸３側、および、モータ７のロータ軸３側からなる回転体は、高速回転時の振動を防止するために、通常、２面バランス修正が施されるが、この発明では、２面のうち下側のバランス修正面のバランス修正部として、ポンプ運転中腐食雰囲気に曝されることの多いスカート部４ｂを避け、また、そのために特別の部品を付加することを避け、既存の部品であるアキシアル磁気軸受６のディスク６ｄを使用する。

また、バランス修正はポンプ組立後に行なうものであるから、バランス修正作業の前後に特別の作業を必要としたり、特別の部品を準備したりすることがないようにしている。

図２において、上側アキシアル電磁石６ａの下面には、円環状の溝６０ａが、下側アキシアル電磁石６ｂの上面には、円環状の溝６０ｂが、それぞれ設けられている。これらの溝６０ａ、６０ｂは、ディスク６ｄが回転するとき、後述するバランス修正用ネジ２０の公転軌跡との干渉を避ける逃げ溝の役目をする。

ディスク６ｄの外周は、下面を凹ませて凹み６０ｅを形成し、外周の厚みを薄くして段差６０ｄとなっている。この実施の形態では、段差６０ｄがバランス修正部６０ｃとなっている。

ディスク６ｄの薄肉とした上記段差６０ｄ（バランス修正部６０ｃ）には、図３に示すように、そのバランス修正部ピッチ円ｐ上等間隔に複数のネジ孔６１ｄがロータ軸線の軸線方向に貫通穿設されている。

下側アキシアル電磁石６ｂの外周部には、ディスク６ｄの上記バランス修正部ピッチ円ｐ上に対向させて、覗き穴６１ｂが設けられている（図４参照）。この覗き穴６１ｂは、底蓋８側から透視可能になっている。これにより、バランス修正部６０ｃは、底蓋８側から覗き穴６１ｂを通して透視可能である。

上記ネジ孔６１ｄには、頭部付きのバランス修正用ネジ２０がねじ込まれるようになっている。このバランス修正用ネジ２０のねじ部がネジ孔６１ｄにねじ込まれ、バランス修正用ネジ２０の頭部２０ａを段差６０ｄの凹み６０ｅに位置させる。これにより、バランス修正用ネジ２０の重心は、ディスク６ｄの重心とその高さがほぼ一致する。

このように、頭部２０ａ付きのバランス修正用ネジ２０を用いるのは、ネジのバランス修正質量を大きくして、バランス修正が効きやすくするためである。しかし、ディスク６ｄが高速回転すると、質量の大きい頭部２０ａに生じる遠心力が、薄板状のディスク６ｄを反りかえすように変形させ、アキシアル磁気軸受６の電磁石６ａ、６ｂとディスク６ｄとの間隔を微妙に変動させ、回転体の軸線方向の制御を不安定にするおそれがある。そこで、この実施の形態では、頭部２０ａを凹み６０ｅに位置させ、バランス修正用ネジ２０重心のディスク６ｄ重心からの上下方向ずれを少なくして、頭部２０ａの遠心力の影響を減らし、ディスク６ｄの反りかえり変形を防止している。

バランス修正作業時には、回転体の不釣合測定値に応じて、所定の角度位置のネジ孔６１ｄに、所定の質量のバランス修正用ネジ２０をねじ込んで、不釣合を解消する。バランス修正用ネジ２０は、矢印Ａの方向からコラム挿入穴１ａ、覗き穴６１ｂを通して工具を入れてねじ込む。

バランス修正用ネジ２０を矢印Ａ（図１参照）側から工具でねじ込んだり取り外したりする作業は、コラム挿入穴１ａ、細い覗き穴６１ｂの先であるので、操作しにくく、バランス修正用ネジ２０を落としやすい。そこで、この実施の形態では、上記覗き穴６１ｂのディスク６ｄ側開口部のロータ軸心から最遠の部分ｆが、ディスク６ｄを囲う壁面（スペーサ６ｃの内周面）ｗに等しいか壁面ｗよりもロータ軸心から遠くしてある。

このようにすると、図６（ａ）に示すように、工具先端からバランス修正用ネジ２０が外れたとき（２０（１））、下側アキシアル電磁石６ｂの上面に引っ掛かって手元に戻らない、ということがなく、ネジの自重で落下してバランス修正用ネジ２０を回収することができる（２０（２））。もしも、図６（ｂ）に示すように、覗き穴６１ｂのディスク６ｄ側開口部のロータ軸心から最遠の部分ｆが、ディスク６ｄを囲う壁面（スペーサ６ｃの内周面）ｗよりもロータ軸心側になっていると、バランス修正用ネジ２０を回収する際、下側アキシアル電磁石６ｂの上面の段差部ｋに引っ掛かかりやすくなる。

ネジ孔６１ｄの角度位置は予め決まっており、バランス修正用ネジ２０の質量も使用範囲が限られるから、一般には、ひとつの修正用ネジ２０で済むことはなく、複数の修正用ネジ２０をねじ込んだり、あるいは、全てのネジ孔６１ｄに修正用ネジ２０をねじ込んでおいて、修正用ネジ２０の質量を加減しながらバランス修正する。

バランス修正作業後は、底蓋８を閉じるだけでよく、覗き穴６１ｂを密封する必要は全くないから、バランス修正作業も、バランス修正用の構造も簡単である。

［第２の実施形態］
この発明の第２の実施の形態を、図７および図８を参照して説明する。図７は、この発明の第２の実施形態を示す要部拡大断面図、図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。

第２の実施の形態は、上述の第１の実施の形態と同様、ディスクのバランス修正部にバランス修正用ネジをねじ込んで下側のバランス修正面のバランス修正を行なうのであるが、第１の実施の形態と異なる点は、ディスクのバランス修正部にロータ軸線の半径方向から、パージポート穴を通してバランス修正用ネジをねじ込む点である。

図７において、第１の実施の形態と同じ部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。ディスク２６ｄ外周のバランス修正部６０ｃにロータ軸線の半径方向に複数のネジ孔２６１ｄが等間隔で設けてある。

上記ネジ孔２６１ｄには、頭部なしのバランス修正用ネジ２１がねじ込まれるようになっている。

ディスク２６ｄのバランス修正部６０ｃは、一直線状に配置されたパージポート穴１６、回転部保持体の径方向貫通穴２ａ、環状スペーサ径方向貫通部６ｃｎを通して、パージポート１７側から透視可能となっている。

バランス修正作業時には、回転体の不釣合測定値に応じて、所定の角度位置のネジ孔２６１ｄに、所定の質量のバランス修正用ネジ２１をねじ込んで、不釣合を解消する。バランス修正用ネジ２１は、矢印Ａの方向にパージポート穴１６から工具を入れてねじ込む。

ネジ孔２６１ｄがロータ軸線の半径方向に設けてあるから、極微小なバランス修正はネジ２１を少しずつ出し入れすることで行なうことができる。

ネジ孔２６１ｄの角度位置は予め決まっているから、一般には、ひとつの修正用ネジ２１で済むことはなく、複数の修正用ネジ２１をねじ込んだり、あるいは、全てのネジ孔２６１ｄに修正用ネジ２１をねじ込んでおいて、修正用ネジ２１の出入りを加減しながら、また、場合により、質量の異なる修正用ネジに交換して、バランス修正する。

バランス修正作業後は、パージガスの洩れの問題がないから、特別の密封作業等は必要ない。

［第３の実施形態］
この発明の第３の実施の形態を図９を参照して説明する。図９は、この発明の第３の実施形態を示す要部拡大断面図である。

第３の実施の形態の、上述の第１の実施の形態と異なる点は、ディスクを削除してバランス修正を行なう点である。図９において、図２と同じ部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。

図９において、６０ｒは、ディスク６ｄのバランス修正部６０ｃを削ってバランスを修正した除去部、Ｔは、バランス修正部６０ｃを削るルータである。

バランス修正作業時には、回転体の不釣合測定値に応じて、所定の角度位置、所定の質量６０ｒをルータＴで削り取り、不釣合を解消する。ルータＴは、矢印Ａの方向からコラム挿入穴１ａ、覗き穴６１ｂを通してルータＴを挿入する。削り取る角度位置は、予めネジ孔を所定間隔で設ける第１の実施の形態と異なり、任意の角度位置とすることができる。

バランス修正部６０ｃを部分的に除去してバランス修正するには、上記第３の実施形態の他、図７の第２の実施形態のように、パージポート穴１６、回転部保持体の径方向貫通穴２ａおよび環状スペーサの径方向貫通部６ｃｎを一直線状に配置してバランス修正部６０ｃをパージポート１７側から透視可能として、ここからルータＴを矢印Ａの方向に挿入し、バランス修正部６０ｃの外径部を部分的に除去してバランス修正するようにしてもよい。

また、バランス修正部６０ｃを部分的に除去してバランス修正するには、ルータ等の切削工具による他、バランス修正部６０ｃを化学的あるいは熱的に溶解等して除去することもできる。

上述の実施の形態では、軸受は全て正確、安定した制御を行ないやすい磁気軸受を使用したが、この発明は無給油軸受、流体軸受等、他の軸受を使用したターボ分子ポンプにも適用することができる。

この発明の第１の実施形態を示す縦断面図。 図１の要部拡大断面図。 図１におけるディスクを示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図。 図１における下側アキシアル電磁石を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図。 図１におけるスペーサを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。 （ａ）は図２におけるバランス修正作業状況を示す断面図、（ｂ）は従来例におけるバランス修正作業状況を示す断面図。 この発明の第２の実施形態を示す要部拡大断面図。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図。 この発明の第３の実施形態を示す要部拡大断面図。 特許文献１を説明する縦断面図。

符号の説明

１ ベース
１ａ コラム挿入穴
２ ステータコラム
２ａ 径方向貫通穴
３ ロータ軸
４ ロータ
４ａ ロータ翼
４ｂ スカート部
５ ラジアル磁気軸受
６ アキシアル磁気軸受
６ａ 上側アキシアル電磁石（上側アキシアル保持部）
６ｂ 下側アキシアル電磁石（下側アキシアル保持部）
６ｃ 環状スペーサ
６ｃｎ 径方向貫通部（切欠き）
６ｄ ディスク
７ モータ
８ 底蓋
１１ ケーシング
１２ ステータ翼
１３ ネジステータ
１３ａ ネジ溝
１４ 吸気口
１５ 排気口
１６ パージポート穴
１７ パージポート
１８ 保護用ベアリング
２０ バランス修正用ネジ
２１ バランス修正用ネジ
２６ｄ ディスク
６０ａ 溝
６０ｂ 溝
６０ｃ バランス修正部
６０ｄ 段差
６０ｅ 凹み
６１ｂ 覗き穴
６１ｄ ネジ孔
２６１ｄ ネジ孔
ｆ 覗き穴６１ｂのロータ軸心から最遠の部分
ｐ ディスク６ｄのバランス修正部ピッチ円
ｗ ディスク６ｄを囲う壁面
Ｔ ルータ

Claims (7)

1. 回転部保持体と、
   上記回転部保持体に空隙を保って配置されたロータ軸と、
   上記ロータ軸と一体に保持されるロータと、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に半径方向に保持するラジアル軸受と、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に軸線方向に保持するアキシアル軸受と、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転駆動するモータと、
   上記回転部保持体の下部に配設され、上記アキシアル軸受を収納する収納空間と、
   上記回転部保持体の下面に取り付けられ、上記収納空間を外部から閉鎖する底蓋と
   を有し、
   上記アキシアル軸受が、回転部保持体に取り付けた上側アキシアル保持部および下側アキシアル保持部と、これらのアキシアル保持部間に配設され、ロータ軸に取り付けたディスクとからなっているターボ分子ポンプにおいて、
   上記ディスクにバランス修正部を設け、上記下側アキシアル保持部の外周部には、上記底蓋側から上記バランス修正部を透視可能な覗き穴を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 上記バランス修正部が、ディスクのピッチ円上にロータ軸線の軸線方向に設けた複数のネジ孔と、上記ネジ孔にねじ込むバランス修正用ネジとを有する請求項１記載のターボ分子ポンプ。
3. 上記ピッチ円に沿ってディスクの厚みを薄くして段差を設け、上記バランス修正用ネジの頭部がこの段差の凹みに位置するようにした請求項２記載のターボ分子ポンプ。
4. 上記覗き穴のディスク側開口部のロータ軸心から最遠の部分が、ディスクを囲う壁面に等しいか壁面よりもロータ軸心から遠くなっている請求項２記載のターボ分子ポンプ。
5. 回転部保持体と、
   上記回転部保持体に空隙を保って配置されたロータ軸と、
   上記ロータ軸と一体に保持されるロータと、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に半径方向に保持するラジアル軸受と、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転自在に軸線方向に保持するアキシアル軸受と、
   上記ロータ軸と回転部保持体との間に設けられ、ロータ軸を回転駆動するモータと、
   上記回転部保持体の側面に設けられたパージガス導入用のパージポート穴と、
   上記回転部保持体に設けられたパージガス導入用の径方向貫通穴と
   を有し、
   上記アキシアル軸受が、回転部保持体に取り付けた上側アキシアル保持部および下側アキシアル保持部と、これらのアキシアル保持部間に介挿され、径方向貫通部を有する径方向貫通部付き環状スペーサと、この環状スペーサ内側に配設され、ロータ軸に取り付けたディスクとからなっているターボ分子ポンプにおいて、
   上記ディスクにバランス修正部を設け、上記パージポート穴、回転部保持体の径方向貫通穴および環状スペーサの径方向貫通部を一直線状に配置して上記バランス修正部をパージポート側から透視可能とした
   ことを特徴とするターボ分子ポンプ。
6. 上記バランス修正部が、ロータ軸線の半径方向に設けた複数のネジ孔と、上記ネジ孔にねじ込むバランス修正用ネジとを有する請求項５記載のターボ分子ポンプ。
7. 上記バランス修正部が、部分的に除去されてバランス修正されるようになっている請求項１または５に記載のターボ分子ポンプ。

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