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JP2008034509A - カラー固体撮像素子の製造方法 - Google Patents

カラー固体撮像素子の製造方法 Download PDF

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JP2008034509A JP2006204409A JP2006204409A JP2008034509A JP 2008034509 A JP2008034509 A JP 2008034509A JP 2006204409 A JP2006204409 A JP 2006204409A JP 2006204409 A JP2006204409 A JP 2006204409A JP 2008034509 A JP2008034509 A JP 2008034509A
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Abstract

【課題】段差付着色フィルタを1回の露光、現像処理プロセスで形成することにより、表面平滑性に優れた着色フィルタを効率的に作製するためのカラー固体撮像素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光電変換素子12が形成された半導体基板11上に、平坦化層21及び緑色感光層31gを形成し、透過率制御露光マスク50gを用いてパターン露光を行い、現像等のパターンニング処理を行って、段差付緑色フィルタ31Gを形成する。順次青色カラーフィルタ31B、赤色カラーフィルタ31R及びマイクロレンズ41を形成してカラー固体撮像素子を作製する。
【選択図】図2

Description

本発明は、複数の光電変換素子が形成された半導体基板上に、フォトリソグラフィ法を用いて前記光電変換素子に対応した着色フィルタと平坦化層とマイクロレンズとを作製するカラー固体撮像素子の製造方法に関し、特に、透過率制御露光マスクを用いてパターン露光し、現像処理を行って段差付着色フィルタを形成した後、残りの着色フィルタとマイクロレンズとを作製するカラー固体撮像素子の製造方法に関する。
ガラス基板、もしくは複数の光電変換素子が形成された半導体基板等からなる基板上にブルー、グリーン、レッド等の着色フィルタは、通常、フォトリソグラフィ法を用いて作製されるのが一般的で、図10(a)〜(f)に示すような工程で作製される。
ここに示すカラーフィルタは、カラー固体撮像素子等に用いられるカラーフィルタの構成事例で、個々の着色フィルタ間にブラックマトリクスを設けない場合の事例である。
まず、アクリル系の感光性樹脂に緑色顔料を分散した緑色感光性樹脂溶液を基板111上にスピンナー等を用いて塗布し、緑色感光性樹脂層121を形成する(図10(a)参照)。
さらに、所定の露光マスクを使ってパターン露光し、現像、ポストベーク等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ121Gを形成する(図10(b)参照)。
次に、アクリル系の感光性樹脂に青色顔料を分散した青色感光性樹脂溶液を緑色フィルタ121Gが形成された基板111上にスピンナー等を用いて塗布し、青色感光性樹脂層122を形成する(図10(c)参照)。
次に、所定の露光マスクを使ってパターン露光し、現像、ポストベーク等の一連のパターニング処理を行って、青色フィルタ122Bを形成する(図10(d)参照)。
ここで、個々の着色フィルタ間にブラックマトリクスを設けていないため、青色フィルタ121Gと青色フィルタ122Bとの間で、隙間ができないように、0.5μm程オーバーラップさせて、マスクの位置合わせとパターン露光を行う。
そうした場合、図10(d)に示すように、緑色フィルタ121Gと青色フィルタ122Bとのオーバーラップ部分に通称角(つの)と称する突起部131が形成される。
次に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料を分散した赤色感光性樹脂溶液を緑色フィルタ121G及び青色フィルタ122Bが形成された基板上111にスピンナー等を用いて塗布し、赤色感光性樹脂層123を形成する(図10(e)参照)。
次に、所定の露光マスクを使ってパターン露光し、現像、ポストベーク等の一連のパターニング処理を行って、赤色フィルタ123Rを形成する(図10(f)参照)。
ここでも、緑色フィルタ121G及び青色フィルタ122Bと赤色フィルタ123Rとのオーバーラップ部では、上記で説明したように、突起部132が形成される。
上記着色フィルタ間に突起部131及び132が形成されると、約0.2μmの段差が発生する。
固体撮像素子では、集光性を向上させるため上記カラーフィルタ上にマクロレンズを形成しているが、カラーフィルタの表面の平坦性が悪いと、所望のマイクロレンズ形状が得られないという問題を有している。
上記問題点を解消するためのカラーフィルタの平坦性を向上させる技術として、段差付ブラックマトリクスを用いたカラーフィルタ構成が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
図9(a)は、段差付ブラックマトリクスを用いたカラーフィルタの構成例を示す模式部分断面図である。図9(b)は、段差付ブラックマトリクスの部分拡大構成断面図である。図9(c)及び(d)は、段差付ブラックマトリクスを用いて形成したカラーフィルタの段差付ブラックマトリクス周辺部のカラーフィルタの形状の一例を示す説明図である。
図9(a)に示す段差付ブラックマトリクスを用いたカラーフィルタは、まず、基板111上に段差付ブラックマトリクス150BLを形成した後、順次緑色フィルタ125G、青色フィルタ126B及び赤色フィルタ127Rを形成したものである。
段差付ブラックマトリクス150BLは、図9(b)に示すように、下層ブラックマトリクス151BLと、下層ブラックマトリクス151BLよりパターン幅を狭くした上層ブラックマトリクス152BLとを重ね合わせることにより、段差部を形成している。
段差付ブラックマトリクス150BLが形成された基板111上に着色フィルタを形成する場合、段差付ブラックマトリクス150BL周辺部のカラーレジストの挙動、形状に付いて説明する。
まず、段差付ブラックマトリクス150BLが形成された基板111上に、例えば青色のカラーレジストをスピンコート法等により塗布した場合、段差付ブラックマトリクス150BLの上部周辺は段差が傾斜の役目をし、青色のカラーレジストは傾斜に沿って流れ込み、図9(c)に示すように、段差付ブラックマトリクス150BLの上部周辺に突起部は発生しない。
また、パターン露光工程において、段差付ブラックマトリクス150BLの上層ブラックマトリクス151BLよりも若干小さいパターンでパターン露光し、現像等のパターニング処理することにより、図9(d)に示すように、段差付ブラックマトリクス150BLの上層ブラックマトリクス151BLの周辺部で青色フィルタが若干窪んだ形となり、平坦性が確保される。
このように、段差付ブラックマトリクスを用いてカラーフィルタを形成することにより、平坦性に優れたカラーフィルタを得ることができる。
さらに、段差付ブラックマトリクスを用いたカラーフィルタについては、ブラックマトリクスなしのカラーフィルタ構成にも適用できることが判明している。
しかしながら、上記の段差付ブラックマトリクス150BLを得るために、下層ブラックマトリクス151BLと上層ブラックマトリクス152BLとの2層にわけて形成しているので、段差付ブラックマトリクス、もしくは段差付着色フィルタを形成するのに工数が1回増えるという問題がある。
特開平6−331815号公報
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたものであり、複数の光電変換素子が形成された半導体基板上に、フォトリソグラフィ法を用いて前記光電変換素子に対応した着色フィルタとマイクロレンズとを作製するカラー固体撮像素子の製造方法において、段差付着色フィルタを1回の露光、現像処理プロセスで形成することにより、表面平滑性に優れた着色フィルタを効率的に作製するためのカラー固体撮像素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず、請求項1においては、複数の光電変換素子が形成された半導体基板上に、フォトリソグラフィ法を用いて前記光電変換素子に対応した着色フィルタとマイクロレンズとが形成されており、前記着色フィルタの少なくとも一色の着色フィルタは周辺部に段差を設けた段差付着色フィルタからなり、順次残りの着色フィルタと、マイクロレンズとを形成してカラー固体撮像素子を作製するカラー固体撮像素子の製造方法において、
少なくとも以下の工程を具備することを特徴とするカラー固体撮像素子の製造方法としたものである。
(a)複数の光電変換素子が形成された基板上に、着色感光層を形成し、透過率制御露光マスクを用いてパターン露光し、現像処理を行って段差付着色フィルタを形成する工程。(b)着色感光層を形成し、通常のマスクを用いたパターン露光にてパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、残りの着色フィルタを順次形成する工程。
(c)マイクロレンズを形成する工程。
また、請求項2においては、前記段差付着色フィルタが段差付緑色フィルタであることを特徴とする請求項1に記載のカラー固体撮像素子の製造方法としたものである。
また、前記段差付着色フィルタがネガ型着色レジストを用いて形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のカラー固体撮像素子の製造方法としたものである。
本発明のカラー固体撮像素子の製造方法によれば、段差付着色フィルタを1回のパターン露光、現像等のパターニング処理にて作製するため、製造工程の工程短縮化が図れ、かつ表面平坦性及び密着性に優れたカラーフィルタを作製することができ、結果として感度特性に優れたカラー固体撮像素子を得ることができる。
以下本発明の実施の形態につき説明する。
図1(a)は、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法にて作製した固体撮像素子の一実施例を示す模式平面図を、図1(b)は、図1(a)をA−A’で切断した固体撮像素子の模式構成断面図をそれぞれ示す。
本発明のカラー固体撮像素子の製造方法にて作製された固体撮像素子は、後記する段差付着色フィルタを1回のパターン露光、現像等のパターニング処理にて作製するため、製造工程の工程短縮化が図れ、かつ表面平坦性及び密着性に優れたカラーフィルタを作製することができる。
以下、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法について説明する。
図2(a)〜(e)及び図3(f)〜(h)は、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法の一実施例を工程順に示す部分模式断面図である。
まず、光電変換素子12が形成された半導体基板11上に、アクリル樹脂等からなる透明樹脂溶液をスピンコート等で塗布し、所定の温度で加熱、硬化して平坦化層21を形成する(図2(a)及び(b)参照)。
透明樹脂としては、上記アクリル樹脂の他に、エポキシ、ポリエステル、ウレタン、メラミン、エリアなどの尿素樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂あるいはこれらの共重合物等が使用可能である。
次に、ネガ型感光性樹脂に着色顔料(例えば、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントグリーン36及びC.I.ピグメントグリーン7)と、シクロヘキサノンやPGMEAなどの有機溶剤と、酸分解性樹脂と、光酸発生剤と、分散剤とをロールミル等で混練して作製したネガ型緑色レジストをスピンコート等で塗布し、緑色感光層31gを形成する(図2(c)参照)。
ここで、ネガ型緑色レジストを用いた理由は、市松模様(ベイヤー配列)の固体撮像素子では、最初に緑色フィルタから形成していくので、緑色フィルタの解像度が、そのまま固体撮像素子のカラーフィルタのパターン再現性、解像度に影響される。このため、分光特性が良好で、かつ解像度の高いカラーフィルタが形成できるネガ型感光性樹脂を設定している。
ネガ型感光性樹脂は、例えばノボラック樹脂とキノンアジド化合物の組み合わせであり、この組み合わせにさらにアルカリ可溶性ビニール重合体を加えることもできる。
また、この他にポリビニルフェノール誘導体やアクリル系であっても良い。
色材は、上記した顔料の他に有機顔料や染料であっても良い。
さらに、有機溶剤には、乳酸エステルを添加しても良い。
酸分解性樹脂は、酸に接触することによりアルカリ可溶性(例えば、カルボキシル基やフェノール性水酸基等)に変換可能な基を有する樹脂である。
光酸発生剤は、光が照射されることにより酸を発生する化合物であり、このような化合物を1種以上使用することができる。そして、光酸発生剤としては、例えば、オニウムのハロゲンイオン、BF4イオン、PF6イオン、AsF6イオン、SbF6イオン、CF3SO3イオン等との塩、有機ハロゲン化合物、ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物、光スルホン酸発生化合物などを使用することができる。
また、ネガ型感光性樹脂に色材として有機顔料を添加する場合には、ネガ型着色感光層からカラーフィルタを製造する際の種々の製造工程での品質を考慮すると、ネガ型緑色レジストにおける有機顔料の固形比は30〜50%が好ましく、特に40%前後が好ましい。
固形比が30%より低くなると、着色感光層に対する充分な着色効果を得ることができない。また、固形比が50%を越えると、着色感光層を精度良くカラーフィルタ形状に加工することが困難になるとともに、現像後に顔料を主体とする残渣が増えるので好ましくない。
次に、図4(a)及び(b)に示す透過率制御露光マスク50gを用いて、段差付緑色フィルタを作製するためのパターン露光を行う(図2(d)参照)。
ここで、透過率制御露光マスク50gについて説明する。
図4(a)に透過率制御露光マスク50gの部分模式平面図を、図4(b)に、図4(a)をA−A’線で切断した透過率制御露光マスク50gの部分模式断面図をそれぞれ示す。
透過率制御露光マスク50gは、透過パターン61、遮光パターン62及び透過率制御パターン63とで構成されており、透過率制御パターン63にて緑色フィルタのエッジの段差形状(幅及び高さ)を制御しようとするものである。
図5に透過率制御露光マスク50gの透過パターン61、遮光パターン62及び透過率制御パターン63のパターンサイズの一例を示す。
2.2μm角のセルサイズに対して、1.8μm角の透過パターン61と2.1μm角の遮光パターン62を設定し、透過パターン61の周辺部には0.2μm幅の透過率制御パ
ターン63を、遮光パターン62の周辺部には0.05μm幅の透過率制御パターン63を配置して、段差付緑色フィルタを形成する事例である。
透過率制御パターン63の透過率設定の一例について説明する。
図6は、緑色感光層について、透過率制御パターン63の透過率を変えてパターン露光した際の緑色感光層31gの残膜率を調べたものである。
例えば、1.4μm厚の緑色感光層31gを用いて、0.8μmの膜厚の緑色フィルタを得るためには、透過率20%の透過率制御パターン63を使用すれば良いことが分かる。このように、あらゆる緑色感光層について、このような露光パターンの透過率と残膜曲線を測定しておけば、残膜膜厚に応じた透過率制御パターンの最適透過率を設定できる。
次に、専用の現像液で現像処理し、加熱硬化して、平滑層21上の所定位置に段差付緑色フィルタ31Gを形成する(図2(e)参照)。
ここで、ネガ型の緑色感光層31gを用いているため、透過パターン61でパターン露光された箇所は硬化し、現像後も硬化部が残り、他の着色フィルタを形成するためのフィルタセルが形成される。
また、遮光パターン62ではパターン露光されないので、未硬化となり、現像で除去される。
また、透過率制御パターン63では、透過率制御パターン63の透過率に応じた膜厚段差が形成される。
次に、ネガ型感光性樹脂に青色顔料(例えば、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントバイオレット23)と、分散剤等とをロールミル等で混練して作製したネガ型青色レジストをスピンコート等で塗布し、青色感光層を形成し、図7(a)及び(b)に示す遮光領域66に透過パターン64が形成された露光マスク50bを用いてパターン露光し、現像等の一連のパターニング処理を行って、段差付緑色フィルタ31G間に青色フィルタ31Bを形成する(図3(f)参照)。
ここで、青色フィルタ31Bのエッジ部は、段差付緑色フィルタ31Gの段差部にオーバーラップされた状態で形成されるので、段差部の盛り上がりも無く、2μm前後の画素サイズであっても、フィルタ剥がれを起こすようなことはない。
次に、ネガ型感光性樹脂に赤色顔料(例えば、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド48:1及びC.I.ピグメントイエロー139)と、分散剤等とをロールミル等で混練して作製したネガ型赤色レジストをスピンコート等で塗布し、赤色感光層を形成し、図8(a)及び(b)に示す遮光領域66に透過パターン65が形成された露光マスク50rを用いてパターン露光し、現像等の一連のパターニング処理を行って、段差付緑色フィルタ31G間に赤色フィルタ31Rを形成する(図3(g)参照)。ここで、赤色フィルタ31Rのエッジ部は、段差付緑色フィルタ31Gの段差部にオーバーラップされた状態で形成されるので、段差部の盛り上がりも無く、2μm前後の画素サイズであっても、フィルタ剥がれを起こすようなことはない。
次に、熱リフロー性を有するアクリル系感光性樹脂溶液をスピンコートで塗布し、乾燥硬化させて所定厚の感光性樹脂層を形成し、露光マスクを用いてパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ31G、青色フィルタ31B及び赤色フィルタ31R上にレンズパターンを形成し、レンズパターンを所定の温度で加熱リフローすることにより、所定の曲率を有するマイクロレンズ41を形成し、カラー固体撮像素子を得る(図3(h)参照)。
マイクロレンズ形成技術については、公知の技術として、上記の熱フローによる樹脂の熱流動性(熱フロー)を用いた方法の他に、いくつかのエッチング技術によりレンズを加
工する技術が開示されているので、適宜使い分ければよい。
以下実施例により、本発明を詳細に説明する。
まず、光電変換素子12が形成された半導体基板11上に、アクリル樹脂等からなる透明樹脂溶液をスピンコート等で塗布し、200℃、9分加熱、硬化して、0.6μm厚の平坦化層21を形成した(図2(a)及び(b)参照)。
次に、ネガ型感光性樹脂に着色顔料(C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントグリーン36及びC.I.ピグメントグリーン7)と、シクロヘキサノンやPGMEAなどの有機溶剤と、酸分解性樹脂と、光酸発生剤と、分散剤とをロールミルで混練して作製したネガ型緑色レジストをスピンコート等で塗布し、70℃、1分プレベークして、緑色感光層31gを形成した(図2(c)参照)。
次に、図4(a)及び(b)に示すフィルタサイズ2.2μmに対応した透過パターン61、遮光パターン62及び透過率制御パターン63が市松模様(ベイヤー配列)に配列された透過率制御露光マスク50gをNikon−i112ステッパーにセットし、700msecで段差付緑色フィルタを作製するためのパターン露光を行った(図2(d)参照)。
次に、有機アルカリ水溶液からなる現像液で60秒間のスプレー現像を行い純水でリンスし、ホットプレート上で200℃、6分の熱硬化処理にて硬膜して、平滑層21上の所定位置に段差付緑色フィルタ31Gを形成した(図2(e)参照)。
次に、ネガ型感光性樹脂に青色顔料(C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントバイオレット23)と、分散剤等とをロールミル等で混練して作製したネガ型青色レジストを1200rpmのスピンコートで塗布し、青色感光層を形成し、図7(a)及び(b)に示すフィルタサイズ2.2μmに対応した遮光領域66に透過パターン64が配列された露光マスク50bを用いてパターン露光し、現像等の一連のパターニング処理を行って、青色フィルタ31Bを形成した(図3(f)参照)。
上記青色フィルタ31Bのエッジ部は、段差付緑色フィルタ31Gの段差部にオーバーラップされた状態で形成されるので、2.2μmのフィルタサイズであっても、フィルタ剥がれが生じることはなかった。
また、青色フィルタ31Bの上部からの膜厚差は、0.1μm以下で、高い平坦性が得られた。
次に、ネガ型感光性樹脂に赤色顔料(C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド48:1及びC.I.ピグメントイエロー139)と、分散剤等とをロールミル等で混練して作製したネガ型赤色レジストをスピンコート等で塗布し、赤色感光層を形成し、図8(a)及び(b)に示すフィルタサイズ2.2μmに対応した遮光領域66に透過パターン65が配列された露光マスク50rを用いてパターン露光し、現像等の一連のパターニング処理を行って、赤色フィルタ31Rを形成した(図3(g)参照)。
上記赤色フィルタ31Rのエッジ部は、段差付緑色フィルタ31Gの段差部にオーバーラップされた状態で形成されるので、2.2μmのフィルタサイズであっても、フィルタ剥がれが生じることはなかった。
また、赤色フィルタ31Rの上部からの膜厚差は、0.1μm以下で、高い平坦性が得られた。
次に、熱リフロー性を有するアクリル系感光性樹脂溶液をスピンコートで塗布し、乾燥硬化させて所定厚の感光性樹脂層を形成し、露光マスクを用いてパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ31G、青色フィルタ31B及び赤色フィルタ31R上にレンズパターンを形成し、レンズパターンを所定の温度で加熱リフローすることにより、所定の曲率を有するマイクロレンズ41を形成し、カラー固体撮像素子を得た(図3(h)参照)。
上記したように、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法によれば、段差付着色フィルタを1回のパターン露光、現像等のパターニング処理にて作製するため、製造工程の工程短縮化が図れ、かつ表面平坦性及び密着性に優れたカラーフィルタを作製することができ、結果として感度特性に優れたカラー固体撮像素子を得ることができる。
(a)は、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法にて作製したカラー固体撮像素子の一例を示す分模式平面図である。(b)は、(a)をA−A’線で切断したカラー固体撮像素子の部分模式断面図である。 (f)〜(h)は、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法の一実施例の一部を工程順に示す部分模式断面図である。 (a)〜(e)は、本発明のカラー固体撮像素子の製造方法の一実施例の一部を工程順に示す部分模式断面図である。 (a)は、透過率制御露光マスク50gのパターン配列の一実施例を示す部分模式平面図である。(b)は、(a)をA−A’線で切断した透過率制御露光マスク50gの部分模式断面図である。 透過率制御露光マスク50gの透過パターン61、遮光パターン62及び透過率制御パターン63のパターンサイズの一例を示す説明図である。 緑色感光層について、透過率制御パターン63の透過率を変えてパターン露光した際の緑色感光層の残膜率を調べた残膜曲線の一例を示す説明図である。 (a)は、青色フィルタ作製用の露光マスク50bのパターン配列の一例を示す部分模式平面図である。(b)は、(a)をA−A’線で切断した露光マスク50bの部分模式断面図である。 (a)は、赤色フィルタ作製用の露光マスク50bのパターン配列の一例を示す部分模式平面図である。(b)は、(a)をA−A’線で切断した露光マスク50bの部分模式断面図である。 (a)は、段差付ブラックマトリクスを用いたカラーフィルタの構成を示す模式部分断面図である。(b)は、段差付ブラックマトリクスの部分拡大構成断面図である。(c)及び(d)は、段差付ブラックマトリクスを用いて形成したカラーフィルタの段差付ブラックマトリクス周辺部のカラーフィルタの形状を示す説明図である。 (a)〜(f)は、カラーフィルタの製造方法の一例を工程順に示す部分模式断面図である。
符号の説明
11……半導体基板
12……光電変換素子
21……平坦化層
31g……緑色感光層
31G……緑色フィルタ
31B……青色フィルタ
31R……赤色フィルタ
41……マイクロレンズ
50g……透過率制御露光マスク
50b、50r……露光マスク
51……ガラス基板
61、64、65……透過パターン
62……遮光パターン
63……透過率制御パターン
66……遮光領域
111……基板
121……赤色感光性樹脂層
121R、125R……赤色フィルタ
122……緑色感光性樹脂層
122G、126G……緑色フィルタ
123……青色感光性樹脂層
123B、127B……青色フィルタ
131、132……突起部
150BL……段差付ブラックマトリクス
151BL……下層ブラックマトリクス
151BL……上層ブラックマトリクス

Claims (3)

  1. 複数の光電変換素子が形成された半導体基板上に、フォトリソグラフィ法を用いて前記光電変換素子に対応した着色フィルタとマイクロレンズとが形成されており、前記着色フィルタの少なくとも一色の着色フィルタは周辺部に段差を設けた段差付着色フィルタからなり、順次残りの着色フィルタと、マイクロレンズとを形成してカラー固体撮像素子を作製するカラー固体撮像素子の製造方法において、
    少なくとも以下の工程を具備することを特徴とするカラー固体撮像素子の製造方法。
    (a)複数の光電変換素子が形成された基板上に、着色感光層を形成し、透過率制御露光マスクを用いてパターン露光し、現像処理を行って段差付着色フィルタを形成する工程。(b)着色感光層を形成し、通常の露光マスクを用いたパターン露光にてパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、残りの着色フィルタを順次形成する工程。
    (c)マイクロレンズを形成する工程。
  2. 前記段差付着色フィルタが段差付緑色フィルタであることを特徴とする請求項1に記載のカラー固体撮像素子の製造方法。
  3. 前記段差付着色フィルタがネガ型着色レジストを用いて形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のカラー固体撮像素子の製造方法。
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