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JP2007318035A - Multiple-formed wiring substrate, package for holding electronic component, and electronic device - Google Patents

Multiple-formed wiring substrate, package for holding electronic component, and electronic device Download PDF

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Publication number
JP2007318035A
JP2007318035A JP2006148583A JP2006148583A JP2007318035A JP 2007318035 A JP2007318035 A JP 2007318035A JP 2006148583 A JP2006148583 A JP 2006148583A JP 2006148583 A JP2006148583 A JP 2006148583A JP 2007318035 A JP2007318035 A JP 2007318035A
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JP
Japan
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hole
dividing groove
groove
mother
dividing
Prior art date
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Application number
JP2006148583A
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Japanese (ja)
Inventor
Yosuke Moriyama
陽介 森山
Kunio Iino
邦男 飯野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multiple-formed wiring substrate where the careless fragile of a mother substrate can be prevented by a hole formed at an edge of a dividing groove, and can be favorably divided along an extension line of the dividing groove, when dividing the mother substrate to a tanzaku (an oblong card for writing a poem) like mother substrate. <P>SOLUTION: The multiple-formed wiring substrate includes a dividing groove 102 which is formed on at least one main surface of a plane-sheet-like mother substrate 101, so that the mother substrate is divided into a plurality of segments and the edge is positioned inside the circumference of the mother substrate; a first hole 103 which is formed between the edge of the dividing groove 102 and the circumference of the mother substrate 101 communicating with the dividing groove 102; and a second hole 104 which is formed between the first hole 103 and the circumference of the mother substrate 101 in an area on the extension line of the dividing groove 102. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、セラミック母基板の中央部に、各々が電子部品を収容するための配線基板となる複数の配線基板領域が縦横に配列形成されて成る多数個取り配線基板、配線基板領域ごとに分割されることにより個片化された電子部品収納用パッケージ、および、電子部品が搭載された電子装置に関するものである。   The present invention provides a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board regions, each of which is a wiring board for accommodating electronic components, are arranged vertically and horizontally in the central portion of the ceramic mother board, and is divided into wiring board regions. The present invention relates to an electronic component storage package separated into individual pieces and an electronic device on which the electronic component is mounted.

従来、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための配線基板(電子部品収納用パッケージ)は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成る絶縁基体の表面に、タングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る配線導体が配設されることにより形成されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, wiring boards (electronic component storage packages) for mounting electronic components such as semiconductor elements and crystal resonators are made of tungsten on the surface of an insulating base made of an electrically insulating material such as an aluminum oxide sintered body. It is formed by disposing a wiring conductor made of metal powder metallization such as molybdenum.

そして、この配線基板の上面には電子部品が搭載されるとともに、その電子部品の各電極が半田やボンディングワイヤ等の電気的接続手段を介して配線導体に電気的に接続された後に、電子部品が金属やセラミックスから成る蓋体あるいはポッティング樹脂で覆われて気密封止されることにより電子装置が製作される。   An electronic component is mounted on the upper surface of the wiring board, and after each electrode of the electronic component is electrically connected to the wiring conductor via an electrical connection means such as solder or a bonding wire, the electronic component Is covered with a lid made of metal or ceramics or potting resin and hermetically sealed to produce an electronic device.

ところで、このような配線基板は、近年の電子装置の小型化の要求に伴い、その大きさが数mm角以下の極めて小さなものとなってきている。そして、このような小型の配線基板は、その取り扱いを容易なものとするために、また配線基板やこれを使用した電子装置の製作の効率を向上させるために、配線基板となる多数の配線基板領域が広面積の母基板の中央部に縦横に配列形成されたいわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。   By the way, with the recent demand for downsizing of electronic devices, such wiring boards have become extremely small with a size of several mm square or less. In order to make such a small wiring board easy to handle and to improve the efficiency of manufacturing a wiring board and an electronic device using the wiring board, a large number of wiring boards that become wiring boards are used. It is manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which the regions are arranged vertically and horizontally in the center of a large-area mother board.

このような多数個取り配線基板は、例えば、略四角平板状の母基板の中央部に、各々が配線導体を備える多数の配線基板領域が縦横に配列形成されているとともに、母基板の少なくとも一方の面に各配線基板領域を区分する分割溝が縦横に形成されている。そして、各配線基板領域に電子部品が搭載される前や搭載された後に、母基板が分割溝に沿って撓折されて配線基板領域ごとに分割されることにより、多数の配線基板や電子装置が同時集約的に製造される。   In such a multi-cavity wiring board, for example, a plurality of wiring board regions each having wiring conductors are vertically and horizontally arranged at the center of a substantially square flat-plate mother board, and at least one of the mother boards Divided grooves that divide each wiring board region are formed vertically and horizontally on this surface. Then, before or after the electronic components are mounted on each wiring board area, the mother board is bent along the dividing grooves and divided into wiring board areas, so that a large number of wiring boards and electronic devices can be obtained. Are manufactured simultaneously and intensively.

なお、このような多数個取り配線基板は、例えば、母基板用のセラミックグリーンシートを準備し、そのセラミックグリーンシートに配線導体用のメタライズペーストを印刷して、必要に応じて複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、その少なくとも一方の面にカッター刃や金型等の切込み刃により分割溝用の切込みを入れ、それを高温で焼成することによって製作されている。   Such a multi-piece wiring board is prepared by, for example, preparing a ceramic green sheet for a mother board, printing a metallized paste for a wiring conductor on the ceramic green sheet, and, if necessary, a plurality of ceramic green sheets. After the sheets are laminated, a cut for a dividing groove is made on at least one surface by a cutting blade such as a cutter blade or a mold, and the sheet is fired at a high temperature.

しかしながら、搬送時や電子部品搭載時、母基板に外部から力が印加されると、その力が分割溝の端部に集中して作用し、その角部を起点として母基板に不用意に割れが発生することがあるという問題を有していた。   However, when a force is applied from the outside to the mother board during transportation or mounting of electronic components, the force concentrates on the edge of the dividing groove and inadvertently breaks into the mother board starting from the corner. Had the problem that may occur.

そこで、このような母基板の不用意な割れに対する対策として分割溝の端部と重なる位置に分割溝よりも深い穴を形成するという方法が提案されている(特許文献1参照)。これにより、搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加されると、その力は穴で良好に分散されるので、分割溝の端部を起点として母基板に不用意に割れが発生するのを抑制することができるというものである。   In view of this, as a countermeasure against such an unintentional crack of the mother substrate, a method has been proposed in which a hole deeper than the dividing groove is formed at a position overlapping the end of the dividing groove (see Patent Document 1). As a result, when an external force is applied to the mother board during transport or electronic component mounting, the force is well dispersed in the holes. It is possible to suppress the occurrence of cracks.

また、このような多数個取り配線基板は、例えば、特許文献2に記載されたような自動分割装置により行なわれている。自動の分割装置は、搬送ベルト上に搭載された母基板を配線基板領域の大きさに合わせて任意の距離だけ移送するとともに、分割溝を挟んで母基板の所定の位置に所定の圧力を印加することによって母基板を分割溝に沿って、1列に配列された短冊状の母基板に分割し、さらにこの短冊状の母基板を分割溝に沿って分割することにより配線基板領域毎に分割することができる。
特開2003−273274号公報 特開2002−166398号公報
Moreover, such a multi-piece wiring board is performed by, for example, an automatic dividing apparatus as described in Patent Document 2. The automatic dividing device transfers the mother board mounted on the conveyor belt by an arbitrary distance according to the size of the wiring board area, and applies a predetermined pressure to a predetermined position of the mother board across the dividing groove. To divide the mother board into strip-shaped mother boards arranged in a line along the dividing groove, and further divide the strip-like mother board along the dividing grooves into each wiring board region. can do.
JP 2003-273274 A JP 2002-166398 A

しかしながら、このような従来の母基板では、分割溝に沿って撓折することにより母基板を分割して、各々が短冊状の短冊状母基板を得ようとしても、分割時に穴を起点とする亀裂の進行方向がばらつき、進行した亀裂が分割溝の延長線上から外れてしまい、分割した短冊状母基板の形状が、例えば短冊状の一部が欠けた形状であったり、或いは短冊状母基板の一部が突出した形状であったりする。   However, in such a conventional mother board, even if an attempt is made to divide the mother board by bending along the dividing grooves to obtain a strip-like mother board, each of which is a starting point at the time of division. The progress direction of cracks varies, and the progressed cracks deviate from the extension line of the dividing groove, and the shape of the divided strip-shaped mother substrate is, for example, a shape in which a part of the strip shape is missing, or a strip-shaped mother substrate. Or a part of the projecting shape.

そして短冊状母基板に突出した部分を有する形状の場合、前記自動分割装置の溝内を移送することにより短冊状母基板を自動分割装置に供給しようとしても、短冊状母基板が溝内に入らなかったり、或いは溝の内壁に引っかかってしまい分割装置に対して斜めに供給されてしまったりするという問題があった。短冊状母基板が分割装置に対して斜めに供給されてしまうと、短冊状母基板に所定の圧力を印加できなくなり、分割された個々の配線基板にバリや欠けが発生しやすいという問題があった。   In the case of a shape having a protruding portion on the strip-shaped mother substrate, even if an attempt is made to supply the strip-shaped mother substrate to the automatic dividing device by transferring the groove in the automatic dividing device, the strip-shaped mother substrate does not enter the groove. There is a problem in that it does not exist or is caught on the inner wall of the groove and is supplied to the dividing device at an angle. If the strip-shaped mother board is supplied obliquely to the dividing device, it is impossible to apply a predetermined pressure to the strip-shaped mother board, and there is a problem that burrs and chips are likely to occur on each divided wiring board. It was.

また、母基板を分割溝の延長線に沿って割りやすくするため、分割溝に連通した穴を母基板の外周近くに形成した場合、搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加され、穴と母基板の外周との間にクラックが発生して分割溝と母基板の外周とが連通してしまい、母基板が不用意に割れてしまうということがあった。   In addition, in order to make it easy to split the mother board along the extension line of the dividing groove, when a hole communicating with the dividing groove is formed near the outer periphery of the mother board, when carrying or mounting electronic components, A force is applied, a crack is generated between the hole and the outer periphery of the mother substrate, and the dividing groove and the outer periphery of the mother substrate communicate with each other, which may cause the mother substrate to be carelessly cracked.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、分割溝の端部に形成された穴により母基板の不用意な割れを防止するとともに、母基板を短冊状の母基板に分割する際、分割溝の延長線に沿って良好に分割することができる多数個取り配線基板を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to prevent inadvertent cracking of the mother board by the holes formed at the ends of the dividing grooves and to make the mother board a strip. It is an object of the present invention to provide a multi-piece wiring substrate that can be favorably divided along an extended line of a dividing groove when dividing the substrate into a shaped mother substrate.

本発明の多数個取り配線基板は、平板状の母基板の少なくとも一方主面に、該母基板を複数の区画に区分するとともに、端部が該母基板の外周よりも内側に位置するように形成された分割溝と、前記分割溝の端部と前記母基板の外周との間に、前記分割溝に連通して形成されるとともに、前記分割溝より幅が広くかつ前記分割溝より深さの深い第1の穴と、前記第1の穴と前記母基板の外周との間で、且つ前記分割溝の延長線上の領域に形成された第2の穴とを備えることを特徴とするものである。   The multi-cavity wiring board of the present invention is configured such that the mother board is divided into a plurality of sections on at least one main surface of the flat mother board, and the end portion is located inside the outer periphery of the mother board. Between the formed dividing groove, an end of the dividing groove, and the outer periphery of the mother substrate, the dividing groove is formed to communicate with the dividing groove, and is wider than the dividing groove and deeper than the dividing groove. A deep hole, and a second hole formed between the first hole and the outer periphery of the mother substrate and in a region on an extension line of the dividing groove. It is.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、前記第2の穴は、前記第1の穴よりも開口径が小さいことを特徴とするものである。   Preferably, in the multi-cavity wiring board according to the present invention, the second hole has an opening diameter smaller than that of the first hole.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、前記第2の穴は、前記分割溝の延長線上に複数形成されていることを特徴とするものである。   Preferably, the multi-cavity wiring board of the present invention is characterized in that a plurality of the second holes are formed on an extension line of the dividing groove.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、隣接する前記第2の穴同士を連通するとともに、前記分割溝よりも浅く、かつ前記第2の穴よりも浅い第2の分割溝が形成されていることを特徴とするものである。   Preferably, the multi-cavity wiring board according to the present invention communicates the adjacent second holes, and has a second divided groove shallower than the divided groove and shallower than the second hole. It is characterized by being formed.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、前記第1の穴または前記第2の穴は、前記分割溝の延長線と重なる部分のうち少なくとも外側に角部を有する形状であることを特徴とするものである。   Preferably, in the multi-cavity wiring board according to the present invention, the first hole or the second hole has a shape having a corner portion at least outside of a portion overlapping with an extension line of the dividing groove. It is characterized by.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、前記第1の穴または前記第2の穴が、前記分割溝の延長線と重なる部分において、外周側に向かって漸次細くなる先細り形状であることを特徴とするものである。   Preferably, the multi-cavity wiring board of the present invention has a tapered shape in which the first hole or the second hole is gradually tapered toward the outer peripheral side at a portion where the first hole or the second hole overlaps the extension line of the dividing groove. It is characterized by being.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、前記第1の穴と前記第2の穴とを連通するとともに、前記分割溝及び前記第2の穴よりも浅い第3の分割溝が形成されていることを特徴とするものである。   Preferably, in the multi-cavity wiring board of the present invention, the first hole and the second hole communicate with each other, and the divided groove and the third divided groove shallower than the second hole are provided. It is characterized by being formed.

また、好ましくは、本発明の多数個取り配線基板は、最外周に位置する前記第2の穴から前記母基板の外周にまで延在する第4の分割溝が形成されるとともに、該第4の分割溝が、前記分割溝及び第2の穴よりも浅いことを特徴とするものである。   Preferably, the multi-piece wiring board of the present invention is formed with a fourth dividing groove extending from the second hole located on the outermost periphery to the outer periphery of the mother board, and the fourth The dividing groove is shallower than the dividing groove and the second hole.

本発明の電子部品収納用パッケージは、本発明の多数個取り配線基板を前記分割溝に沿って分割することにより個片化されたことを特徴とするものである。   The electronic component storage package of the present invention is characterized in that it is separated into pieces by dividing the multi-piece wiring board of the present invention along the dividing groove.

本発明の電子装置は、本発明の電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージに搭載された電子部品とを備えていることを特徴とするものである。   An electronic device of the present invention includes the electronic component storage package of the present invention and an electronic component mounted on the electronic component storage package.

本発明の多数個取り配線基板は、第1の穴と母基板の外周との間の分割溝の延長線上に第2の穴を備えることにより、第1の穴と母基板の外周との間の分割溝の延長線上の領域における機械的強度が周囲の領域よりも相対的に低いものとできる。このため、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、分割溝の延長線上に沿って第1の穴から母基板の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。   The multi-cavity wiring board of the present invention is provided with a second hole on the extension line of the dividing groove between the first hole and the outer periphery of the mother board, thereby providing a space between the first hole and the outer periphery of the mother board. The mechanical strength in the region on the extension line of the split groove can be relatively lower than that in the surrounding region. For this reason, when the mother board is bent along the dividing groove to be divided into strip-shaped mother boards, it becomes easy to propagate cracks from the first hole to the outer periphery of the mother board along the extension line of the dividing groove. It is possible to suppress the occurrence of burrs and chips on the substrate.

また、第1の穴と第2の穴とは分離しているので、搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加されて第2の穴と母基板の外周との間にクラックが発生したとしても、分割溝と母基板の外周とが連通してしまうことを抑制し、第1の穴を母基板の外周近くに形成した場合と比較して母基板が不用意に割れるのを低減することができる。   In addition, since the first hole and the second hole are separated from each other, an external force is applied to the mother board at the time of transportation or mounting of electronic components, so that the second hole and the outer periphery of the mother board are Even if a crack occurs between them, it is possible to prevent the dividing groove and the outer periphery of the mother substrate from communicating with each other, and the mother substrate is not prepared compared to the case where the first hole is formed near the outer periphery of the mother substrate. It is possible to reduce cracking.

また、好ましくは、第2の穴の開口径が、第1の穴の開口径よりも小さいことから、母基板の外周と第2の穴との間の機械的強度を保持しやすくなるので、搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加されても、母基板の外周と第2の穴との間にクラックが発生しにくく、母基板が不用意に割れることを、より良好に抑制することができる。   Preferably, since the opening diameter of the second hole is smaller than the opening diameter of the first hole, it is easy to maintain the mechanical strength between the outer periphery of the mother board and the second hole. Even when an external force is applied to the mother board during transportation or mounting of electronic components, cracks are unlikely to occur between the outer periphery of the mother board and the second hole, and the mother board is inadvertently cracked. , Can be suppressed more favorably.

また、好ましくは、第2の穴が、分割溝の延長線上に複数形成されていることから、複数の第2の穴同士間の機械的強度を低くすることで、第1の穴と母基板の外周との間の分割溝の延長線上の領域における機械的強度が周囲の領域よりも相対的に低いものとなり、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、母基板の外周部において分割溝の延長線に沿って第2の穴から母基板の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することをより良好に抑制することができるようになる。   Preferably, since the plurality of second holes are formed on the extension line of the dividing groove, the first hole and the mother board are reduced by reducing the mechanical strength between the plurality of second holes. The mechanical strength in the region on the extension line of the dividing groove between the outer periphery and the outer periphery of the substrate becomes relatively lower than the surrounding region, and the mother substrate is bent along the dividing groove to be divided into strip-shaped mother substrates. In the outer periphery of the mother board, it becomes easier to propagate cracks from the second hole to the outer periphery of the mother board along the extension line of the dividing groove, and it is possible to better suppress the occurrence of burrs and chips on the wiring board. become able to.

また、好ましくは、隣接する第2の穴を連通するとともに、分割溝及び第2の穴よりも浅い第2の分割溝が形成されていることから、搬送時や電子部品搭載時に母基板に外部からの力が印加されても、第2の分割溝の底部を起点として母基板に不用意に割れが発生することを抑制できる。さらに、第2の分割溝の形成部位は、隣接する第2の穴同士の間において、周囲の領域よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、第2の分割溝に沿って亀裂を進展させて、第1の穴から母基板の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することをより良好に抑制することができるようになる。   Preferably, the adjacent second holes communicate with each other, and the divided grooves and the second divided grooves shallower than the second holes are formed. Even if a force is applied, it is possible to prevent the mother substrate from being inadvertently cracked starting from the bottom of the second dividing groove. Furthermore, since the second split groove is formed between the adjacent second holes, the mechanical strength of the second split groove is relatively weaker than that of the surrounding area. Therefore, the mother substrate is bent along the split groove. When it is folded and divided into strip-shaped mother boards, cracks propagate along the second dividing grooves, making it easier to propagate cracks from the first hole to the outer periphery of the mother board, and there are burrs and chips on the wiring board. Generation | occurrence | production can be suppressed more favorably.

また、好ましくは、第1の穴または第2の穴は、分割溝の延長線と重なる部分のうち少なくとも外周側に角部を有することから、分割時の応力が集中するために第1の穴から第2の穴または第2の穴から母基板の外周へ向かう亀裂の起点となる角部が、分割溝の延長線上に位置することとなるので、分割溝の延長線に沿って良好に短冊状母基板に分割することができ、短冊状母基板の寸法や形状をより良好なものとすることができる。   Preferably, the first hole or the second hole has a corner portion on at least the outer peripheral side of the portion overlapping with the extension line of the dividing groove, so that the stress at the time of division is concentrated so that the first hole is concentrated. Since the corner from which the crack starts from the second hole or from the second hole toward the outer periphery of the mother substrate is located on the extension line of the division groove, the strip is well formed along the extension line of the division groove. It can divide | segment into a shape | mold mother board | substrate, and can make the dimension and shape of a strip-shaped mother board | substrate more favorable.

また、好ましくは、第1の穴または第2の穴が、分割溝の延長線と重なる部分のうち外周側に向かって漸次細くなる先細り形状であることから、亀裂の進行を、第1の穴の先細り部分から第2の穴へ、または第2の穴の先細り部分から母基板の外周へと誘導させやすくなる。従って、クラックが、例えば外周側の第2の穴から内側の穴または他の第2の穴へと向かう等の予定しない方向へのクラックの進行を抑制でき、これにより分割溝の延長線に沿って良好に短冊状母基板に分割することができ、短冊状母基板の寸法や形状をより良好なものとすることができる。   Preferably, since the first hole or the second hole has a tapered shape that gradually becomes thinner toward the outer peripheral side in the portion overlapping the extension line of the dividing groove, the progress of the crack is controlled by the first hole. It becomes easy to guide from the taper portion of the second hole to the second hole or from the taper portion of the second hole to the outer periphery of the mother substrate. Accordingly, the progress of the crack in an unplanned direction such as from the second hole on the outer peripheral side to the inner hole or another second hole can be suppressed, thereby extending along the extension line of the dividing groove. Therefore, it can be divided into strip-shaped mother substrates, and the size and shape of the strip-shaped mother substrates can be made better.

また、好ましくは、第1の穴と第2の穴とを連通するとともに、分割溝及び第2の穴よりも浅い第3の分割溝が形成されていることから、第3の分割溝を分割溝よりも機械的強度を相対的に強くして搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加されても、第3の分割溝の底部から母基板に不用意に割れが発生することを抑制することができる。また、第3の分割溝の形成部位は、第1の穴と第2の穴との間において、周囲の領域よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、第3の分割溝に沿って亀裂を進展させて、第1の穴から母基板の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することをより良好に抑制することができるようになる。   Preferably, the first hole and the second hole are communicated with each other, and the split groove and the third split groove shallower than the second hole are formed, so that the third split groove is split. Even when external force is applied to the mother board when transporting or mounting electronic components with relatively higher mechanical strength than the groove, the mother board is inadvertently cracked from the bottom of the third divided groove. Can be prevented from occurring. In addition, since the third split groove is formed between the first hole and the second hole, the mechanical strength is relatively weaker than the surrounding area. Along the third dividing groove, it is easy to propagate the crack from the first hole to the outer periphery of the mother board, and the wiring board is It is possible to better suppress the occurrence of cracks.

また、好ましくは、第2の穴から母基板の外周まで延在する第4の分割溝が、分割溝及び第2の穴よりも浅いことから、分割する際に良好に分割できるように形成された分割溝よりも機械的強度を相対的に強くして搬送時や電子部品搭載時、母基板に、外部からの力が印加されても、第4の分割溝の底部から母基板に不用意に割れが発生することを抑制する。また第4の分割溝の形成部位は、第2の穴と母基板の外周との間において、周囲の領域よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、第4の分割溝に沿って亀裂を進展させて、第1の穴から母基板の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することをより良好に抑制することができるようになる。   Preferably, the fourth dividing groove extending from the second hole to the outer periphery of the mother substrate is shallower than the dividing groove and the second hole, so that the fourth dividing groove is formed so that it can be divided well when dividing. Even when an external force is applied to the mother board during transportation or mounting of electronic components with relatively higher mechanical strength than the divided grooves, the mother board is not prepared from the bottom of the fourth divided grooves. Suppresses the occurrence of cracks. In addition, since the fourth divided groove is formed between the second hole and the outer periphery of the mother board, the mechanical strength is relatively weaker than the surrounding area. When the substrate is bent and divided into strip-shaped mother boards, the cracks propagate along the fourth dividing grooves, and the cracks are easily propagated from the first hole to the outer periphery of the mother board. It is possible to better suppress the occurrence of chipping.

本発明の電子部品収納用パッケージは、本発明の多数個取り配線基板を分割溝に沿って分割することにより個片化されたことから、外縁にバリや欠け等の発生のない良好な電子部品収納用パッケージとすることができる。   Since the electronic component storage package of the present invention is separated into pieces by dividing the multi-cavity wiring board of the present invention along the dividing groove, it is a good electronic component with no occurrence of burrs or chips on the outer edge. It can be set as a storage package.

本発明の電子装置は、本発明の電子部品収納用パッケージと、電子部品収納用パッケージに搭載された電子部品とを備えていることから、電子部品が良好に収容された電子装置とすることができる。   Since the electronic device of the present invention includes the electronic component storage package of the present invention and the electronic component mounted on the electronic component storage package, the electronic device can be an electronic device in which the electronic component is well stored. it can.

本発明を添付の図面に基づき詳細に説明する。図1は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図である。図1において、101は母基板、102は分割溝、103は第1の穴、104は第2の穴である。   The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view showing an example of an embodiment of a multi-cavity wiring board according to the present invention. In FIG. 1, 101 is a mother board, 102 is a dividing groove, 103 is a first hole, and 104 is a second hole.

本発明の多数個取り配線基板は、平板状の母基板101の少なくとも一方主面に、母基板101を複数の区画に区分するとともに、端部が母基板101の外周よりも内側に位置するように形成された分割溝102と、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通して形成されるとともに、分割溝102より幅が広くかつ分割溝102より深さの深い第1の穴103と、第1の穴103と母基板101の外周との間で、且つ分割溝102の延長線上の領域に形成された第2の穴104とを備えている。   The multi-cavity wiring board according to the present invention divides the mother board 101 into a plurality of sections on at least one main surface of the flat-shaped mother board 101, and the end is located inside the outer periphery of the mother board 101. Are formed in communication with the dividing groove 102 between the end of the dividing groove 102 and the outer periphery of the mother substrate 101, and are wider than the dividing groove 102 and wider than the dividing groove 102. A first hole 103 having a deep depth, and a second hole 104 formed between the first hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101 and in a region on an extension line of the dividing groove 102 are provided. .

母基板101は、例えば酸化アルミニウム質焼結体やムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化珪素質焼結体、ガラスセラミックス等の電気絶縁性のセラミック材料から成り、小型の配線基板を多数個同時集約的に製作するための母材として機能する。そして、各小型の配線基板の上面に半導体素子や抵抗、コンデンサ等の電子部品(図示せず)が搭載される。   The base substrate 101 is an electrically insulating ceramic material such as an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a glass ceramic. It functions as a base material for manufacturing a large number of small wiring boards simultaneously. Then, electronic components (not shown) such as semiconductor elements, resistors, and capacitors are mounted on the upper surface of each small wiring board.

なお、母基板101は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダーおよび溶剤、可塑剤、分散剤等を添加混合して得たセラミックスラリーを従来周知のドクターブレード法等のシート成形方法を採用してシート状に成形してセラミックグリーンシートを得、しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともにこれを複数枚積層し、高温(約1500〜1800℃)で焼成することによって製作される。   If the mother substrate 101 is made of, for example, an aluminum oxide sintered body, an organic binder, solvent, plasticizer, and dispersing agent suitable for ceramic raw material powders such as aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, and calcium oxide. The ceramic slurry obtained by adding and mixing, etc. is formed into a sheet shape by using a conventionally known sheet forming method such as a doctor blade method, and then a ceramic green sheet is obtained. It is manufactured by laminating a plurality of sheets and baking them at a high temperature (about 1500 to 1800 ° C.).

また、母基板101は、その上面に母基板101を複数の領域に区分するごとく分割溝102が格子状に形成されており、分割溝102で区分された各領域の上面や下面には配線導体105が被着形成されている。   The mother board 101 has a plurality of divided grooves 102 formed in a lattice pattern on the upper surface of the mother board 101 so as to divide the mother board 101 into a plurality of areas. Wiring conductors are formed on the upper and lower surfaces of each area divided by the divided grooves 102. 105 is deposited.

配線導体105は、小型の配線基板に搭載される電子部品を外部電気回路基板に電気的に接続するための導電路として機能し、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板101用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の印刷手段により配線導体105用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板101用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域の上面や下面に被着形成される。メタライズペーストは、主成分の金属粉末に有機バインダー,有機溶剤,必要に応じて分散剤等を加えてボールミル、三本ロールミル、プラネタリーミキサー等の混練手段により混合および混練することで作製される。セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、焼成後の母基板との接合強度を高めたりするためにガラスやセラミックスの粉末を添加しても良い。   The wiring conductor 105 functions as a conductive path for electrically connecting an electronic component mounted on a small wiring board to an external electric circuit board, and is made of metal powder metallization such as tungsten, molybdenum, copper, silver, and the like. The metallized paste for the wiring conductor 105 is printed on the ceramic green sheet for the substrate 101 by printing means such as a screen printing method, and is fired together with the ceramic green sheet for the mother substrate 101 to adhere to the upper and lower surfaces of each region. It is formed. The metallized paste is prepared by adding an organic binder, an organic solvent, and a dispersant as required to the main component metal powder, and mixing and kneading them by a kneading means such as a ball mill, a three-roll mill, or a planetary mixer. Glass or ceramic powder may be added to match the sintering behavior of the ceramic green sheet or to increase the bonding strength with the mother substrate after firing.

また、上面および下面に形成された配線導体105は、母基板101を貫通する貫通導体により電気的に接続されている。このような貫通導体は、配線導体105を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って母基板101用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通導体用の貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段により充填しておくとともにこれを母基板101用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域に形成される。貫通導体用のメタライズペーストは配線導体105用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により充填に適した粘度に調製される。   Further, the wiring conductors 105 formed on the upper surface and the lower surface are electrically connected by a through conductor penetrating the mother board 101. Such penetrating conductors are used for penetrating conductors by a punching method using a die or punching or a processing method such as laser processing on a ceramic green sheet for the mother substrate 101 prior to the printing and application of the metallized paste for forming the wiring conductor 105. The through hole for the through conductor is filled with the metallized paste for the through conductor by a printing means such as a screen printing method and fired together with the ceramic green sheet for the mother substrate 101. Formed in each region. The metallized paste for the through conductor is prepared in the same manner as the metallized paste for the wiring conductor 105, but is prepared to have a viscosity suitable for filling depending on the amount of the organic binder or organic solvent.

母基板101の上面に形成された分割溝102は、母基板101を所望する小型の配線基板の形状に対応した大きさの複数の領域に区分するとともに母基板101を撓折して多数個の小型配線基板となす際、その撓折を容易かつ正確とする作用を為し、その端部が母基板101の外周よりも内側に位置するように形成されており、その母基板101の表面に現れる開口部分の幅は0.05〜1mm程度であり、その深さは0.05〜2mm程度である。なお、このような分割溝2は、断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて切込みを入れておくことによって母基板101の上面に格子状に形成される。母基板101がセラミックグリーンシートを複数枚積層して作製される場合は、切込みはセラミックグリーンシートを複数枚積層した積層体を作製した後に入れられる。   Divided grooves 102 formed on the upper surface of the mother board 101 divide the mother board 101 into a plurality of regions having a size corresponding to the shape of a desired small wiring board, and bend the mother board 101 to obtain a plurality of pieces. When making a small circuit board, the bending is performed easily and accurately, and its end is located inside the outer periphery of the mother board 101. The width of the appearing opening is about 0.05 to 1 mm, and the depth is about 0.05 to 2 mm. Such dividing grooves 2 are formed on the upper surface of the mother board 101 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge against a ceramic green sheet for the mother board 101 to make a cut. It is formed in a shape. When the mother substrate 101 is produced by laminating a plurality of ceramic green sheets, the cut is made after producing a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets are laminated.

第1の穴103は、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通して形成され、さらに分割溝102より幅が広くかつ分割溝102より深さが深いものとして形成されている。これにより、搬送時や電子部品搭載時に、外部からの応力が母基板101に印加されたとしても、該応力を第1の穴103にて良好に分散させることができ、分割溝102の端部を起点として不用意に割れが発生することを抑制するものとして作用する。   The first hole 103 is formed between the end of the dividing groove 102 and the outer periphery of the mother substrate 101 so as to communicate with the dividing groove 102 and is wider than the dividing groove 102 and deeper than the dividing groove 102. It is formed as a deep thing. As a result, even when external stress is applied to the mother board 101 during transport or electronic component mounting, the stress can be well dispersed in the first holes 103, and the end portions of the divided grooves 102 can be dispersed. As a starting point, it acts as a means to suppress the occurrence of inadvertent cracking.

このような第1の穴103は、母基板101用のセラミックグリーンシートのいくつかに第1の穴103用の貫通孔を金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により形成され、この第1の穴103と連通するように分割溝102用の切込みを母基板101用のセラミックグリーンシートに入れておくことによって、分割溝102端部と母基板101の外周との間に形成される。   Such a first hole 103 is formed by punching a through hole for the first hole 103 in some ceramic green sheets for the mother substrate 101 by a die or punching, or a processing method such as laser processing, By forming a cut for the dividing groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101 so as to communicate with the first hole 103, it is formed between the end of the dividing groove 102 and the outer periphery of the mother substrate 101. The

なお、第1の穴103は、母基板101を貫通したものであっても構わないし、母基板101を非貫通としたものであっても構わない。また、第1の穴103は、円形状、四角形状や三角形状等の多角形状の形状に形成しておけば良く、上述以外の形状であっても構わない。   Note that the first hole 103 may penetrate the mother board 101 or may not penetrate the mother board 101. Further, the first hole 103 may be formed in a polygonal shape such as a circular shape, a quadrangular shape, or a triangular shape, and may have a shape other than the above.

そして、本発明において、第2の穴104が第1の穴103と母基板101の外周との間で、且つ分割溝102の延長線上の領域に形成されている。この構成により、第1の穴103と母基板101の外周との間の分割溝102の延長線上の領域における機械的強度が周囲の領域よりも相対的に低いものとできる。このため、母基板101を分割溝102に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、分割溝102の延長線上に沿って第1の穴103から母基板101の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。   In the present invention, the second hole 104 is formed between the first hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101 and in a region on the extension line of the dividing groove 102. With this configuration, the mechanical strength in the region on the extension line of the dividing groove 102 between the first hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101 can be relatively lower than the surrounding region. For this reason, when the mother substrate 101 is bent along the dividing groove 102 to be divided into strip-shaped mother substrates, cracks propagate from the first hole 103 to the outer periphery of the mother substrate 101 along the extension line of the dividing groove 102. This makes it possible to suppress the occurrence of burrs and chips on the wiring board.

また、第1の穴103と第2の穴104とは分離しているので、搬送時や電子部品搭載時、母基板101に、外部からの力が印加されて第2の穴104と母基板101の外周との間にクラックが発生したとしても、分割溝102と母基板101の外周とが連通してしまうことを抑制し、第1の穴103を母基板101の外周近くに形成した場合と比較して母基板101が不用意に割れるのを低減することができる。   In addition, since the first hole 103 and the second hole 104 are separated from each other, an external force is applied to the mother board 101 at the time of transportation or mounting of electronic components, so that the second hole 104 and the mother board are applied. Even when a crack occurs between the outer periphery of the first substrate 101 and the outer periphery of the mother substrate 101, the first groove 103 is formed near the outer periphery of the mother substrate 101. Compared to the above, it is possible to reduce the inadvertent cracking of the mother board 101.

このような第2の穴104は、第1の穴103と同様に母基板101用のセラミックグリーンシートのいくつかに第2の穴104用の貫通孔を金型やパンチング等による打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により形成することにより、第1の穴103と母基板101の外周との間に形成される。なお、第1の穴103と第2の穴104とを打ち抜き方法により形成する場合、第1の穴103と第2の穴104との位置ズレを小さなものとするため、第1の穴103と第2の穴104とを同時に打ち抜くことにより形成することが好ましい。   Like the first hole 103, the second hole 104 is formed by punching a through hole for the second hole 104 in some ceramic green sheets for the mother substrate 101 by a die, punching, or the like. By forming by a processing method such as processing, it is formed between the first hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101. In the case where the first hole 103 and the second hole 104 are formed by a punching method, the first hole 103 and the second hole 104 are arranged in order to reduce the positional deviation between the first hole 103 and the second hole 104. Preferably, the second hole 104 is formed by punching at the same time.

なお、第2の穴104は、母基板101を貫通したものであっても構わないし、母基板101を非貫通としたものであっても構わない。また、第2の穴104は、円形状、四角形状や三角形状の多角形状の形状に形成しておけば良く、上述以外の形状であっても構わない。   Note that the second hole 104 may penetrate the mother board 101 or may not penetrate the mother board 101. The second hole 104 may be formed in a circular shape, a square shape, or a polygonal shape such as a triangle shape, and may have a shape other than those described above.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で幅が80mm×長さが80mm(80mmSQ)の矩形状で厚みが1.2mmの母基板101の一方主面に、母基板101の中央部の60mmSQの領域を6.0mmSQの矩形状の区画に100個(10行×10列)に区分する0.4mm(開口部分の幅)×0.8mm(深さ)の分割溝102を形成してなる場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する1.0mm(幅)×1.0mm(長さ)×1.0mm(深さ)の四角形状の第1の穴103(母基板101の外周から7.5mmの距離に形成)と、分割溝102の延長線上の領域に1.0mm(幅)×1.0mm(長さ)×1.0mm(深さ)の四角形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.5mmの距離に形成)とを形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, a rectangular shape having a width of 80 mm × length of 80 mm (80 mmSQ) in a plan view and a thickness of 1.2 mm on one main surface of the mother board 101 is arranged at the center of the mother board 101. A division groove 102 of 0.4 mm (width of the opening) × 0.8 mm (depth) is formed to divide the 60 mmSQ region of the section into 100 pieces (10 rows × 10 columns) in a 6.0 mm SQ rectangular section In this case, 1.0 mm (width) × 1.0 mm (length) × 1.0 mm (depth) communicating with the dividing groove 102 between the end portion of the dividing groove 102 and the outer periphery of the mother substrate 101. Square-shaped first hole 103 (formed at a distance of 7.5 mm from the outer periphery of the mother substrate 101) and 1.0 mm (width) × 1.0 mm (length) × in the region on the extension line of the dividing groove 102 1.0 mm (depth) quadrangular second hole 104 (of the mother board 101) A distance of 3.5mm formation) and it is sufficient to form a circumference.

また、図2に示すように、第2の穴104は、第1の穴103よりも開口径が小さいことが好ましい。なお、ここでいう開口径とは、分割溝102の延在方向に直交する方向における第1の穴103および第2の穴104の開口幅を示すものである。この構成により、母基板101の外周と第2の穴104との間の機械的強度を保持しやすくなるので、搬送時や電子部品搭載時に、外部からの力が母基板101に印加されても、母基板101の外周と第2の穴104との間にクラックが発生しにくく、母基板101が不用意に割れることをより良好に抑制することができる。   As shown in FIG. 2, the second hole 104 preferably has a smaller opening diameter than the first hole 103. The opening diameter here indicates the opening width of the first hole 103 and the second hole 104 in the direction orthogonal to the extending direction of the dividing groove 102. With this configuration, the mechanical strength between the outer periphery of the mother board 101 and the second hole 104 can be easily maintained. Therefore, even when an external force is applied to the mother board 101 during transportation or mounting of electronic components. In addition, cracks are unlikely to occur between the outer periphery of the mother board 101 and the second holes 104, and the mother board 101 can be better prevented from being carelessly cracked.

なお、第2の穴104の開口径が第1の穴103の開口径と比較して小さすぎると、第1の穴103において分割溝102の延長線と重なる部分以外の部分を起点として亀裂が発生した際、亀裂が第1の穴103から第2の穴104の方向へと進行しにくくなることがあるので、第2の穴104の開口径は、第1の穴103の開口径の30%以上に形成しておくことが好ましい。   If the opening diameter of the second hole 104 is too small compared to the opening diameter of the first hole 103, cracks will start from a portion other than the portion overlapping the extension line of the dividing groove 102 in the first hole 103. When the crack occurs, the crack may not easily progress from the first hole 103 toward the second hole 104, so the opening diameter of the second hole 104 is 30 of the opening diameter of the first hole 103. % Or more is preferable.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で90mmSQの矩形状で厚みが1.5mmの母基板101の一方主面に、母基板101の中央部の70mmSQの領域を7.0mmSQの矩形状の区画に100個(10行×10列)に区分する0.5mm(開口部分の幅)×1.0mm(深さ)の分割溝102を形成して成る場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する1.0mm(内径)×1.2mm(深さ)の円形状の第1の穴103(母基板101の外周から7.0mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.6mm(内径)×0.9mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.0mmに形成)とを形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, a 70 mmSQ region in the center of the mother board 101 is formed on one main surface of the mother board 101 having a rectangular shape of 90 mmSQ in a plan view and a thickness of 1.5 mm. In the case where 0.5 mm (opening portion width) × 1.0 mm (depth) dividing groove 102 is formed in a rectangular section divided into 100 pieces (10 rows × 10 columns), the end of the dividing groove 102 A circular first hole 103 having a diameter of 1.0 mm (inner diameter) × 1.2 mm (depth) communicating with the dividing groove 102 between the outer periphery of the mother substrate 101 and the outer periphery of the mother substrate 101 (7. And a circular second hole 104 of 0.6 mm (inner diameter) × 0.9 mm (depth) in the region on the extension line of the dividing groove 102 (formed from the outer periphery of the mother substrate 101 to 3.0 mm). ).

また、図3に示すように、第2の穴104は、分割溝102の延長線上に複数形成されていることが好ましい。この構成により、複数の第2の穴104同士間の機械的強度を低くすることで、第1の穴103と母基板101の外周との間の分割溝102の延長線上の領域における機械的強度が周囲の領域よりも相対的に低いものとなり、母基板101を分割溝102に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、母基板101の外周部において分割溝102の延長線に沿って第2の穴104から母基板101の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。   Further, as shown in FIG. 3, it is preferable that a plurality of the second holes 104 are formed on the extension line of the dividing groove 102. With this configuration, by reducing the mechanical strength between the plurality of second holes 104, the mechanical strength in the region on the extension line of the dividing groove 102 between the first hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101. When the mother board 101 is bent along the dividing grooves 102 and divided into strip-shaped mother boards, the extension of the dividing grooves 102 is formed on the outer periphery of the mother board 101. Along the second hole 104, the crack can easily propagate from the second hole 104 to the outer periphery of the mother board 101, and the occurrence of burrs and chips on the wiring board can be suppressed.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で100mmSQの矩形状で厚みが0.5mmの母基板101の一方主面に、母基板101の中央部の80mmSQの領域を4.0mmSQの矩形状の区画に400個(20行×20列)に区分する0.15mm(開口部分の幅)×0.3mm(深さ)の分割溝102を形成して成る場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する1.0mm(内径)の母基板101を貫通した円形状の第1の穴103(母基板101の外周から8.0mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.8mm(内径)×0.2mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から5.5mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.5mm(内径)×0.2mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.0mmに形成)を形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, an area of 80 mmSQ in the center of the mother board 101 is set to 4.0 mmSQ on one main surface of the mother board 101 having a rectangular shape of 100 mmSQ and a thickness of 0.5 mm in plan view. When the dividing groove 102 of 0.15 mm (opening width) × 0.3 mm (depth) divided into 400 pieces (20 rows × 20 columns) is formed in a rectangular section, the end of the dividing groove 102 A circular first hole 103 (from the outer periphery of the mother substrate 101 to 8.0 mm) that penetrates the mother substrate 101 of 1.0 mm (inner diameter) communicating with the dividing groove 102 between the outer periphery of the mother substrate 101 and the outer periphery of the mother substrate 101 Formation) and a circular second hole 104 (formed from the outer periphery of the mother substrate 101 to 5.5 mm) in a region on the extension line of the dividing groove 102, 0.8 mm (inner diameter) × 0.2 mm (depth). In the region on the extension line of the dividing groove 102, 0.5 mm It is sufficient to form a second hole 104 inner diameter) × 0.2 mm circular in (depth) (formed 3.0mm from the outer periphery of the base substrate 101).

また、図4、図5に示すように、隣接する第2の穴104同士を連通するとともに、分割溝102及び第2の穴104よりも浅い第2の分割溝106が形成されていることが好ましい。この構成により、第2の分割溝106の機械的強度を分割溝102の機械的強度よりも相対的に強くして、搬送時や電子部品搭載時に、外部からの力が母基板101に印加されても、第2の分割溝106の底部を起点として母基板101に不用意に割れが発生することを抑制できる。さらに、第2の分割溝106の形成部位は、隣接する第2の穴104同士の間において、周囲の領域の機械的強度よりも相対的に弱くなるので、母基板101を分割溝102に沿って撓折して短冊状母基板101に分割する際、第2の分割溝106に沿って亀裂を進展させて、第1の穴103から母基板101の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。このような第2の分割溝106は、分割溝102と同様に断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて第2の分割溝106用の切込みを入れておくことによって母基板101の第2の穴104同士を連通するように形成される。なお、第2の分割溝106は、母基板101用のセラミックグリーンシートに分割溝102用の切込みを同時に第2の分割溝106用の切込みを入れることによって形成しても良いし、分割溝102用の切込みとは別に第2の分割溝106用の切込みを入れることによって形成されるものであっても構わない。分割溝102と第2の分割溝106との位置ズレを小さなものとするため、分割溝102用の切込みと第2の分割溝106用の切込みとは、母基板101用のセラミックグリーンシートに同時に入れることが好ましい。例えば、分割溝102用の切込み部と第2の分割溝106用の切込み部とにおいて高さの異なるカッター刃や金型を用いて母基板101用のセラミックグリーンシートに切込みを入れることにより、分割溝102用の切込みと第2の分割溝106用の切込みとを同時に入れることができる。   In addition, as shown in FIGS. 4 and 5, the adjacent second holes 104 communicate with each other, and the divided grooves 102 and the second divided grooves 106 shallower than the second holes 104 are formed. preferable. With this configuration, the mechanical strength of the second dividing groove 106 is made relatively stronger than the mechanical strength of the dividing groove 102, and an external force is applied to the mother substrate 101 at the time of transportation or electronic component mounting. However, it is possible to prevent the mother substrate 101 from being carelessly cracked starting from the bottom of the second dividing groove 106. Furthermore, since the formation site of the second dividing groove 106 is relatively weaker than the mechanical strength of the surrounding area between the adjacent second holes 104, the mother substrate 101 extends along the dividing groove 102. When the substrate is bent into the strip-shaped mother board 101, the cracks propagate along the second dividing grooves 106, so that the cracks can easily propagate from the first hole 103 to the outer periphery of the mother board 101. It is possible to suppress the occurrence of burrs and chips on the substrate. Similar to the divided groove 102, such a second divided groove 106 is used for the second divided groove 106 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge against a ceramic green sheet for the base substrate 101. The second holes 104 of the mother substrate 101 are formed to communicate with each other by making the cuts of. The second dividing groove 106 may be formed by simultaneously making a cut for the dividing groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101, or by forming a notch for the second dividing groove 106 at the same time. It may be formed by making a notch for the second dividing groove 106 separately from the notch. In order to make the positional deviation between the dividing groove 102 and the second dividing groove 106 small, the notch for the dividing groove 102 and the notch for the second dividing groove 106 are simultaneously formed on the ceramic green sheet for the mother substrate 101. It is preferable to add. For example, by dividing the ceramic green sheet for the mother substrate 101 by using a cutter blade or a mold having different heights in the cut portion for the split groove 102 and the cut portion for the second split groove 106 A cut for the groove 102 and a cut for the second dividing groove 106 can be made simultaneously.

また、第2の分割溝106は、母基板101の内周側の第2の穴104から外周側の第2の穴104にかけて漸次浅くなるように形成しても構わない。これにより、母基板101の第2の分割溝106部の外周における機械的強度を保持しやすくなるので、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に母基板101が不用意に割れることを抑制しやすくなる。   The second dividing groove 106 may be formed so as to gradually become shallower from the second hole 104 on the inner peripheral side of the mother substrate 101 to the second hole 104 on the outer peripheral side. This makes it easier to maintain the mechanical strength at the outer periphery of the second division groove 106 portion of the mother board 101, so that the mother board 101 is inadvertently cracked when transported or mounted with electronic components. It becomes easy to suppress.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で100mmSQの矩形状で厚みが0.4mmの母基板101の一方主面に、母基板101の中央部の80mmSQの領域を4.0mm(幅)×8.0mm(長さ)の矩形状の区画に200個(20行×10列)に区分する0.1mm(開口部分の幅)×0.25mm(深さ)の分割溝102を形成して成る場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する0.8mm(内径)の母基板101を貫通した円形状の第1の穴103(母基板101の外周から8.0mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.5mm(内径)×0.2mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から5.0mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.3mm(内径)×0.2mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.0mmに形成)とを形成し、0.04mm(開口部分の幅)×0.1mm(深さ)の第2の分割溝106を隣接する第2の穴104同士を連通するように形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, an area of 80 mmSQ in the central portion of the mother board 101 is set to 4.0 mm on one main surface of the mother board 101 having a rectangular shape of 100 mmSQ and a thickness of 0.4 mm in plan view. Dividing grooves 102 of 0.1 mm (width of opening) × 0.25 mm (depth) divided into 200 (20 rows × 10 columns) in rectangular sections of (width) × 8.0 mm (length) When formed, a circular first hole 103 passing through the 0.8 mm (inner diameter) mother substrate 101 communicating with the dividing groove 102 between the end of the dividing groove 102 and the outer periphery of the mother substrate 101. (Formed to 8.0 mm from the outer periphery of the mother substrate 101) and a circular second hole 104 (mother substrate) of 0.5 mm (inner diameter) × 0.2 mm (depth) in a region on the extension line of the dividing groove 102 101) and an extension of the dividing groove 102 A circular second hole 104 (formed from the outer periphery of the mother substrate 101 to 3.0 mm) of 0.3 mm (inner diameter) × 0.2 mm (depth) is formed in the upper region, and 0.04 mm (opening) A second dividing groove 106 having a width of the portion × 0.1 mm (depth) may be formed so that the adjacent second holes 104 communicate with each other.

また、図6に示すように、第1の穴103または第2の穴104は、分割溝102の延長線上と重なる部分のうち少なくとも外周側に角部を有することが好ましい。この構成により、分割時の応力が集中するために第1の穴103から第2の穴104または第2の穴104から母基板101の外周へ向かう亀裂の起点となる角部が、分割溝102の延長線上に位置することとなるので、分割溝102の延長線に沿って良好に短冊状母基板に分割することができ、短冊状母基板の寸法や形状をより良好なものとすることができる。   Moreover, as shown in FIG. 6, it is preferable that the 1st hole 103 or the 2nd hole 104 has a corner | angular part at least on the outer peripheral side among the parts which overlap on the extension line of the division groove | channel 102. FIG. With this configuration, since the stress at the time of division is concentrated, the corner portion that becomes the starting point of the crack from the first hole 103 to the second hole 104 or from the second hole 104 to the outer periphery of the mother substrate 101 is divided into the divided grooves 102. Therefore, it can be divided into strip-shaped mother substrates well along the extension line of the dividing groove 102, and the dimensions and shape of the strip-shaped mother substrate can be made better. it can.

なお、上述の場合、第1の穴103または第2の穴104は、三角形状、四角形状、菱形形状等の多角形状等の角部を備えるものとしておけば良い。   In the above-described case, the first hole 103 or the second hole 104 may be provided with corner portions such as a polygonal shape such as a triangular shape, a quadrangular shape, and a rhombus shape.

また、図7に示すように、第1の穴103または第2の穴104は、分割溝102の延長線と重なる部分のうち外周側に向かって漸次細くなる先細り形状であることが好ましい。なお、ここでいう先細り形状とは、一方側が、先端に角部を有した形状をいい、他方側は弧状の形状であることが好ましい。この構成により、亀裂の進行を、第1の穴103の先細り部分から第2の穴104へ、または第2の穴104の先細り部分から母基板101の外周へと誘導させやすくなる。従って、クラックが、例えば外周側の第2の穴104から内側の第1の穴103または他の第2の穴104へと向かう等といった予定しない方向へのクラックの進行を抑制でき、これにより分割溝102の延長線に沿って良好に短冊状母基板に分割することができ、短冊状母基板の寸法や形状をより良好なものとすることができる。   Moreover, as shown in FIG. 7, it is preferable that the 1st hole 103 or the 2nd hole 104 is a taper shape which becomes thin gradually toward the outer peripheral side among the parts which overlap with the extension line of the division | segmentation groove | channel 102. As shown in FIG. In addition, the taper shape here refers to a shape in which one side has a corner at the tip, and the other side is preferably an arc shape. With this configuration, it is easy to induce the progress of cracks from the tapered portion of the first hole 103 to the second hole 104 or from the tapered portion of the second hole 104 to the outer periphery of the mother substrate 101. Therefore, the progress of the crack in an unscheduled direction such as, for example, from the outer peripheral second hole 104 to the inner first hole 103 or the other second hole 104 can be suppressed, thereby dividing the crack. The strip-shaped mother substrate can be favorably divided along the extended line of the groove 102, and the size and shape of the strip-shaped mother substrate can be made better.

また、図8、図9に示すように、第1の穴103と第2の穴104とを連通するとともに、分割溝102及び第2の穴104よりも浅い第3の分割溝107が形成されていることが好ましい。この構成により、第3の分割溝107の機械的強度を分割溝102の機械的強度よりも相対的に強くして、搬送時や電子部品搭載時、母基板101に、外部からの力が印加されても、第3の分割溝107の底部から母基板101に不用意に割れが発生することを抑制することができる。また、第3の分割溝107の形成部位は、第1の穴103と第2の穴104との間において、その周囲の領域よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、母基板101を分割溝102に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、第3の分割溝107に沿って亀裂を進展させて、第1の穴103から母基板101の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。   Further, as shown in FIGS. 8 and 9, the first hole 103 and the second hole 104 communicate with each other, and the dividing groove 102 and the third dividing groove 107 shallower than the second hole 104 are formed. It is preferable. With this configuration, the mechanical strength of the third dividing groove 107 is made relatively stronger than the mechanical strength of the dividing groove 102, and an external force is applied to the mother board 101 at the time of transportation or mounting of electronic components. Even if it is done, it can suppress that a crack generate | occur | produces in the mother board | substrate 101 from the bottom part of the 3rd division groove 107 carelessly. In addition, the formation site of the third dividing groove 107 is relatively weaker in mechanical strength than the surrounding area between the first hole 103 and the second hole 104. When 101 is bent along the dividing groove 102 and divided into strip-shaped mother boards, the cracks propagate along the third dividing grooves 107 so that the cracks extend from the first holes 103 to the outer periphery of the mother board 101. It becomes easy to progress, and it becomes possible to suppress the generation of burrs and chips on the wiring board.

このような第3の分割溝107は、分割溝102と同様に断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて第3の分割溝107用の切込みを入れておくことによって母基板101の第1の穴103と第2の穴104との間に形成される。   The third dividing groove 107 is used for the third dividing groove 107 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge against the ceramic green sheet for the base substrate 101 in the same manner as the dividing groove 102. Is formed between the first hole 103 and the second hole 104 of the mother substrate 101.

なお、第3の分割溝107は、母基板101用のセラミックグリーンシートに分割溝102用の切込みを同時に第3の分割溝107用の切込みを入れることによって形成しても良いし、分割溝102用の切込みとは別に第3の分割溝107用の切込みを入れることによって形成されるものであっても構わない。分割溝102と第3の分割溝107との位置ズレを小さなものとするため、分割溝102用の切込みと第3の分割溝107用の切込みとは、母基板101用のセラミックグリーンシートに同時に入れることが好ましい。例えば、分割溝102用の切込み部と第3の分割溝107用の切込み部とにおいて高さの異なるカッター刃や金型を用いて母基板101用のセラミックグリーンシートに切込みを入れることにより、分割溝102用の切込みと第3の分割溝107用の切込みとを同時に入れることができる。   The third dividing groove 107 may be formed by simultaneously making a cut for the dividing groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101, or by forming a notch for the third dividing groove 107 at the same time. It may be formed by making a cut for the third dividing groove 107 separately from the cut for use. In order to make the positional deviation between the dividing groove 102 and the third dividing groove 107 small, the notch for the dividing groove 102 and the notch for the third dividing groove 107 are simultaneously formed on the ceramic green sheet for the mother substrate 101. It is preferable to add. For example, the ceramic green sheet for the mother substrate 101 is cut by using a cutter blade or a mold having different heights in the cut portion for the split groove 102 and the cut portion for the third split groove 107. A cut for the groove 102 and a cut for the third dividing groove 107 can be made simultaneously.

また、第3の分割溝107は、第1の穴103から第2の穴104にかけて漸次浅くなるように形成しても構わない。これにより、母基板101の第3の分割溝107部の外周における機械的強度を保持しやすくなるので、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に母基板101が不用意に割れることを抑制しやすくなる。   Further, the third dividing groove 107 may be formed so as to become gradually shallower from the first hole 103 to the second hole 104. This makes it easier to maintain the mechanical strength at the outer periphery of the third division groove 107 portion of the mother board 101, so that the mother board 101 is inadvertently cracked when transporting or mounting electronic components on the mother board 101. It becomes easy to suppress.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で80mmSQの矩形状で厚みが1.2mmの母基板101の一方主面に、母基板101の中央部の60mmSQの領域を6.0mmSQの矩形状の区画に100個(10行×10列)に区分する0.4mm(開口部分の幅)×0.8mm(深さ)の分割溝102を形成してなる場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する1.0mm(一辺の長さ)×1.0mm(深さ)の正三角形状の第1の穴103(母基板101の外周から7.5mmの距離に形成)と、分割溝102の延長線上の領域に1.0mm(一辺の長さ)の正三角形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.5mmの距離に形成)とを、角部の一つが分割溝102の延長線上と重なる外周側となるようにして形成し、0.2mm(開口部分の幅)×0.4mm(深さ)の第3の分割溝107を第1の穴103と第2の穴104とを連通するように形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, a 60 mmSQ region at the center of the mother board 101 is formed at 6.0 mmSQ on one main surface of the mother board 101 having a rectangular shape of 80 mmSQ and a thickness of 1.2 mm in plan view. In the case where 0.4 mm (opening portion width) × 0.8 mm (depth) dividing groove 102 is formed in a rectangular section divided into 100 pieces (10 rows × 10 columns), the end of the dividing groove 102 1.0 mm (one side length) × 1.0 mm (depth) equilateral triangular first hole 103 (of the mother substrate 101) communicating with the dividing groove 102 between the portion and the outer periphery of the mother substrate 101. Formed at a distance of 7.5 mm from the outer periphery) and a 1.0 mm (one side length) equilateral triangular second hole 104 (3.5 mm from the outer periphery of the mother substrate 101) in the region on the extended line of the dividing groove 102. ), And one of the corners is an extension line of the dividing groove 102 The third divided groove 107 having a width of 0.2 mm (opening width) × 0.4 mm (depth) is divided into the first hole 103 and the second hole 104. What is necessary is just to form so that it may communicate.

また、図10、図11に示すように、第2の穴104から母基板の101の外周まで延在する第4の分割溝108が形成されるとともに、第4の分割溝108が、分割溝102及び第2の穴104よりも浅いことが好ましい。この構成により、分割する際に良好に分割できるように形成された分割溝102よりも機械的強度を相対的に強くして、搬送時や電子部品搭載時、外部からの力が母基板101に印加されても、第4の分割溝108の底部から母基板101に不用意に割れが発生することを抑制できる。また、第4の分割溝108の形成部位は、第2の穴104と母基板101の外周との間において、周囲の領域よりも機械的強度が相対的に弱いものとできるので、母基板101を分割溝102に沿って撓折して短冊状母基板に分割する際、第4の分割溝108に沿って亀裂を進展させて、第1の穴103から母基板101の外周まで亀裂を進展させやすくなり、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができるようになる。   Further, as shown in FIGS. 10 and 11, a fourth dividing groove 108 extending from the second hole 104 to the outer periphery of the mother board 101 is formed, and the fourth dividing groove 108 is divided into the dividing grooves. It is preferably shallower than 102 and the second hole 104. With this configuration, the mechanical strength is relatively stronger than the dividing groove 102 formed so that it can be divided satisfactorily when dividing, and external force is applied to the mother board 101 during transportation or mounting of electronic components. Even if it is applied, it is possible to prevent the mother substrate 101 from being inadvertently cracked from the bottom of the fourth dividing groove 108. Further, the fourth divided groove 108 can be formed at a portion where the mechanical strength is relatively weaker than the surrounding region between the second hole 104 and the outer periphery of the mother substrate 101. Is bent along the dividing groove 102 and divided into strip-shaped mother boards, the cracks are propagated along the fourth dividing grooves 108 and the cracks are propagated from the first hole 103 to the outer periphery of the mother board 101. This makes it possible to suppress the occurrence of burrs and chips on the wiring board.

このような第4の分割溝108は、分割溝102と同様に断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて第4の分割溝108用の切込みを入れておくことによって母基板101の第2の穴104から母基板101の外周にかけて形成される。   The fourth dividing groove 108 is used for the fourth dividing groove 108 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge to the ceramic green sheet for the mother substrate 101 in the same manner as the dividing groove 102. Is formed from the second hole 104 of the mother board 101 to the outer periphery of the mother board 101.

なお、第4の分割溝108は、母基板101用のセラミックグリーンシートに分割溝102用の切込みを同時に第4の分割溝108用の切込みを入れることによって形成しても良いし、分割溝102用の切込みとは別に第4の分割溝108用の切込みを入れることによって形成されるものであっても構わない。分割溝102と第4の分割溝108との位置ズレを小さなものとするため、分割溝102用の切込みと第4の分割溝108用の切込みとは、母基板101用のセラミックグリーンシートに同時に入れることが好ましい。例えば、分割溝102用の切込み部と第4の分割溝108用の切込み部とにおいて高さの異なるカッター刃や金型を用いて母基板101用のセラミックグリーンシートに切込みを入れることにより、分割溝102用の切込みと第4の分割溝108用の切込みとを同時に入れることができる。   The fourth dividing groove 108 may be formed by simultaneously making a cut for the dividing groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101, or by forming a notch for the fourth dividing groove 108 at the same time. It may be formed by making a cut for the fourth dividing groove 108 separately from the cut for use. In order to make the positional deviation between the dividing groove 102 and the fourth dividing groove 108 small, the notch for the dividing groove 102 and the notch for the fourth dividing groove 108 are simultaneously formed on the ceramic green sheet for the mother substrate 101. It is preferable to add. For example, by dividing the ceramic green sheet for the mother substrate 101 by using a cutter blade or a mold having different heights in the cut portion for the split groove 102 and the cut portion for the fourth split groove 108 A cut for the groove 102 and a cut for the fourth dividing groove 108 can be made simultaneously.

また、第4の分割溝108は、第2の穴104から母基板101の外周にかけて漸次浅くなるように形成しても構わない。これにより、母基板101の第4の分割溝108部の外周における機械的強度を保持しやすくなるので、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に母基板101が不用意に割れることを抑制しやすくなる。   The fourth dividing groove 108 may be formed so as to become gradually shallower from the second hole 104 to the outer periphery of the mother substrate 101. This makes it easy to maintain the mechanical strength at the outer periphery of the fourth division groove 108 portion of the mother board 101, so that the mother board 101 is inadvertently cracked when transporting or mounting electronic components on the mother board 101. It becomes easy to suppress.

例えば、このような多数個取り配線基板として、平面視で90mmSQの矩形状で厚みが1.5mmの母基板101の一方主面に、母基板101中央部の70mmSQの領域を7.0mmSQの矩形状の区画に100個(10行×10列)に区分する0.4mm(開口部分の幅)×1.0mm(深さ)の分割溝102を形成して成る場合、分割溝102の端部と母基板101の外周との間に、分割溝102に連通する1.0mm(内径)×1.2mm(深さ)の円形状の第1の穴103(母基板101の外周から7.5mmに形成)と、分割溝102の延長線上の領域に0.6mm(内径)×1.0mm(深さ)の円形状の第2の穴104(母基板101の外周から3.0mmに形成)とを形成し、0.04mm(開口部分の幅)×0.1mm(深さ)の第4の分割溝108を第2の穴104から母基板101の外周にかけて形成しておけば良い。   For example, as such a multi-piece wiring board, a 70 mmSQ area in the center of the mother board 101 is formed on one main surface of the mother board 101 having a rectangular shape of 90 mmSQ in a plan view and a thickness of 1.5 mm. When the dividing groove 102 of 0.4 mm (width of the opening portion) × 1.0 mm (depth) divided into 100 pieces (10 rows × 10 columns) is formed in the shape section, the end of the dividing groove 102 A circular first hole 103 (7.5 mm from the outer periphery of the mother substrate 101) communicating with the dividing groove 102 between the outer periphery of the mother substrate 101 and 1.0 mm (inner diameter) × 1.2 mm (depth). And a circular second hole 104 of 0.6 mm (inner diameter) × 1.0 mm (depth) in the region on the extension line of the dividing groove 102 (formed from the outer periphery of the mother substrate 101 to 3.0 mm). And 0.04 mm (opening width) × 0.1 mm ( A fourth division groove 108 having a depth) may be formed from the second hole 104 to the outer periphery of the mother substrate 101.

なお、多数個取り配線基板の表面に露出した配線導体105の表面には、配線導体105の腐食防止、電子部品と配線導体105との接続、個片化された電子部品収納用パッケージと外部回路基板との接合を強固なものとするために、NiやAu等のめっきを施しておくことが好ましい。   In addition, on the surface of the wiring conductor 105 exposed on the surface of the multi-piece wiring board, corrosion prevention of the wiring conductor 105, connection between the electronic component and the wiring conductor 105, separated electronic component storage package and external circuit are provided. In order to strengthen the bonding with the substrate, it is preferable to perform plating such as Ni or Au.

また本発明の電子部品収納用パッケージは、上述の多数個取り配線基板を分割溝102に沿って分割することにより個片化されることから、外縁にバリや欠け等の発生のない良好な電子部品収納用パッケージとすることができる。   In addition, since the electronic component storage package of the present invention is divided into pieces by dividing the multi-cavity wiring board described above along the dividing groove 102, it is possible to obtain excellent electronic components that are free from burrs and chips on the outer edge. It can be set as a component storage package.

さらに本発明の電子装置は、上述の電子部品収納用パッケージと、電子部品収納用パッケージに搭載された電子部品とを備えていることから、電子部品が良好に収容された電子装置とすることができる。   Furthermore, since the electronic device of the present invention includes the above-described electronic component storage package and the electronic component mounted on the electronic component storage package, the electronic device can be an electronic device in which the electronic component is well stored. it can.

そして、本発明の電子装置の搭載される電子部品は、ICチップやLSIチップ等の半導体素子、水晶振動子や圧電振動子等の圧電素子、各種センサ等であり、多数個取り配線基板を分割溝に沿って分割した電子部品収納用パッケージに搭載してもよいし、多数個取り配線基板に複数の電子部品を搭載した後に分割しても構わない。   The electronic components mounted on the electronic device of the present invention are semiconductor elements such as IC chips and LSI chips, piezoelectric elements such as crystal vibrators and piezoelectric vibrators, various sensors, and the like. You may mount in the package for electronic component accommodation divided | segmented along the groove | channel, and you may divide | segment after mounting a several electronic component in a multi-piece wiring board.

電子部品の搭載は、電子部品がフリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)を介して、半導体素子の電極と配線導体105とを電気的に接続することにより行なわれ、また、電子部品がワイヤボンディング型の半導体素子である場合には、ガラス、樹脂、ろう材等の接合材により固定した後、ボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体105とを電気的に接続することにより行なわれる。また、電子部品が水晶振動子等の圧電素子である場合には、導電性樹脂により圧電素子の固定と圧電素子の電極と配線導体105との電気的な接続を行なう。   When the electronic component is a flip-chip type semiconductor element, the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor are connected via a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin, etc.). 105, and when the electronic component is a wire bonding type semiconductor element, it is fixed with a bonding material such as glass, resin, brazing material, etc. This is performed by electrically connecting the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor 105. When the electronic component is a piezoelectric element such as a crystal resonator, the piezoelectric element is fixed and the electrode of the piezoelectric element and the wiring conductor 105 are electrically connected by a conductive resin.

そして、電子部品は、必要に応じて封止される。封止はエポキシ樹脂等の封止樹脂により電子部品を覆うことにより行なったり、電子部品を覆うようにして載置した樹脂や金属、セラミックス等からなる蓋体をガラス、樹脂、ロウ材等の接着剤により電子部品収納用パッケージに取着することにより行なったりすればよい。   And an electronic component is sealed as needed. Sealing is performed by covering the electronic component with a sealing resin such as epoxy resin, or a lid made of resin, metal, ceramics, etc. placed so as to cover the electronic component is bonded to glass, resin, brazing material, etc. What is necessary is just to carry out by attaching to an electronic component storage package with an agent.

本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、図1において、分割溝102は、母基板101の上面に形成しているが、分割溝102は、母基板101の下面に形成しても良いし、母基板101の上面および下面の両方に形成しても構わない。分割溝102が母基板101の上面および下面の両方に形成されている場合、上面および下面に形成された分割溝102の両方の端部にそれぞれ上記と同様の方法で同様の第1の穴103および第2の穴104を形成すれば良い。   The present invention can be variously modified within a range not departing from the gist of the present invention. For example, in FIG. 1, the dividing groove 102 is formed on the upper surface of the mother substrate 101, but the dividing groove 102 may be formed on the lower surface of the mother substrate 101, or both the upper and lower surfaces of the mother substrate 101. You may form in. When the dividing grooves 102 are formed on both the upper surface and the lower surface of the mother substrate 101, the same first holes 103 are formed at both ends of the dividing grooves 102 formed on the upper surface and the lower surface in the same manner as described above. The second hole 104 may be formed.

本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. (a)は、図4における多数個取り配線基板のA―A’線における断面図であり、(b)は、(a)のB部における要部拡大断面図である。4A is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of the multi-cavity wiring board in FIG. 4, and FIG. 4B is an enlarged cross-sectional view of a main part in a B portion of FIG. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. (a)は、図8における多数個取り配線基板のC―C’線における断面図であり、(b)は、(a)のD部における要部拡大断面図である。(A) is sectional drawing in the C-C 'line of the multi-piece wiring board in FIG. 8, (b) is a principal part expanded sectional view in the D section of (a). 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. (a)は、図10における多数個取り配線基板のE―E’線における断面図であり、(b)は、(a)のF部における要部拡大断面図である。(A) is sectional drawing in the E-E 'line | wire of the multi-piece wiring board in FIG. 10, (b) is a principal part expanded sectional view in F section of (a).

符号の説明Explanation of symbols

101・・・母基板
102・・・分割溝
103・・・穴
104・・・第2の穴
105・・・配線導体
106・・・第2の分割溝
107・・・第3の分割溝
108・・・第4の分割溝
101 ... Mother board 102 ... Dividing groove 103 ... Hole 104 ... Second hole 105 ... Wiring conductor 106 ... Second dividing groove 107 ... Third dividing groove 108 ... Fourth dividing groove

Claims (10)

平板状の母基板の少なくとも一方主面に、該母基板を複数の区画に区分するとともに、端部が該母基板の外周よりも内側に位置するように形成された分割溝と、前記分割溝の端部と前記母基板の外周との間に、前記分割溝に連通して形成されるとともに、前記分割溝より幅が広くかつ前記分割溝より深さの深い第1の穴と、該第1の穴と前記母基板の外周との間で、且つ前記分割溝の延長線上の領域に形成された第2の穴とを備えることを特徴とする多数個取り配線基板。 A dividing groove formed on at least one main surface of the flat-shaped mother board so that the mother board is divided into a plurality of sections and an end portion is located inside the outer periphery of the mother board, and the dividing groove A first hole having a width wider than the division groove and deeper than the division groove, and a first hole formed between the end of the division substrate and the outer periphery of the mother substrate. A multi-piece wiring board comprising: a second hole formed between a first hole and an outer periphery of the mother board and in a region on an extension line of the dividing groove. 前記第2の穴は、前記第1の穴よりも開口径が小さいことを特徴とする請求項1記載の多数個取り配線基板。 The multi-cavity wiring board according to claim 1, wherein the second hole has an opening diameter smaller than that of the first hole. 前記第2の穴は、前記分割溝の延長線上に複数形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の多数個取り配線基板。 3. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein a plurality of the second holes are formed on an extension line of the division groove. 4. 隣接する前記第2の穴同士を連通するとともに、前記分割溝及び前記第2の穴よりも浅い第2の分割溝が形成されていることを特徴とする請求項3記載の多数個取り配線基板。 The multi-piece wiring board according to claim 3, wherein the adjacent second holes are communicated with each other, and the divided grooves and the second divided grooves shallower than the second holes are formed. . 前記第1の穴または前記第2の穴は、前記分割溝の延長線と重なる部分のうち少なくとも外周側に角部を有する形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の多数個取り配線基板。 The said 1st hole or the said 2nd hole is a shape which has a corner | angular part at least on the outer peripheral side among the parts which overlap with the extension line of the said division groove | channel, The any one of Claim 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. The multi-cavity wiring board described in 1. 前記第1の穴または前記第2の穴は、前記分割溝の延長線と重なる部分のうち外周側に向かって漸次細くなる先細り形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の多数個取り配線基板。 The said 1st hole or the said 2nd hole is a taper shape which becomes thin gradually toward an outer peripheral side among the parts which overlap with the extension line of the said division groove | channel, The any one of Claim 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. Multi-cavity wiring board as described in Crab. 前記第1の穴と前記第2の穴とを連通するとともに、前記分割溝及び前記第2の穴よりも浅い第3の分割溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6に記載の多数個取り配線基板。 The first and second holes communicate with each other, and the divided grooves and a third divided groove shallower than the second holes are formed. The multi-cavity wiring board according to 6. 前記第2の穴から前記母基板の外周まで延在する第4の分割溝が形成されるとともに、該第4の分割溝が、前記分割溝及び第2の穴よりも浅いことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の多数個取り配線基板。 A fourth dividing groove extending from the second hole to the outer periphery of the mother substrate is formed, and the fourth dividing groove is shallower than the dividing groove and the second hole. The multi-piece wiring board according to any one of claims 1 to 7. 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の多数個取り配線基板を前記分割溝に沿って分割することにより個片化されたことを特徴とする電子部品収納用パッケージ。 9. A package for storing electronic parts, wherein the multi-piece wiring board according to claim 1 is divided into pieces by dividing the wiring board along the dividing grooves. 請求項9記載の電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージに搭載された電子部品とを備えていることを特徴とする電子装置。

An electronic device comprising the electronic component storage package according to claim 9 and an electronic component mounted on the electronic component storage package.

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