JP2007204315A - Method of manufacturing ceramic powder, ceramic powder and laminated ceramic electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本願発明は、セラミック電子部品を製造するために用いられる、表面が金属元素含有物質により被覆されたセラミック粉末の製造方法、該製造方法により製造されたセラミック粉末、および積層セラミック電子部品に関する。 The present invention relates to a method for producing a ceramic powder whose surface is coated with a metal element-containing substance, which is used for producing a ceramic electronic component, a ceramic powder produced by the production method, and a multilayer ceramic electronic component.
セラミック材料を用いた積層セラミック電子部品の一つに、例えば、誘電体セラミック材料として、チタン酸バリウム(BaTiO3)系のセラミック材料を用いた積層セラミックコンデンサがある。 One example of a multilayer ceramic electronic component using a ceramic material is a multilayer ceramic capacitor using a barium titanate (BaTiO 3 ) -based ceramic material as a dielectric ceramic material.
チタン酸バリウムなどの誘電体セラミック材料においては、誘電率、温度特性、信頼性などを向上させるために、各種の添加物(Mg、Mn、希土類元素など)を添加することが行われる。この添加物は、チタン酸バリウム主原料粉末に、十分に分散していることが必要であり、特に、チタン酸バリウム主原料粉末の表面に付着している形態が望ましい。 In dielectric ceramic materials such as barium titanate, various additives (Mg, Mn, rare earth elements, etc.) are added in order to improve dielectric constant, temperature characteristics, reliability, and the like. This additive must be sufficiently dispersed in the barium titanate main raw material powder, and in particular, a form adhering to the surface of the barium titanate main raw material powder is desirable.
チタン酸バリウム粉末の表面に、添加すべき物質(添加成分)をコーティングする方法として、添加成分の溶液中にチタン酸バリウム粉末を懸濁させ、加熱して添加成分をチタン酸バリウム表面に析出させる方法が提案されている(特許文献1参照)。 As a method of coating the surface of the barium titanate powder with the substance to be added (additional component), the barium titanate powder is suspended in the solution of the additional component and heated to deposit the additional component on the surface of the barium titanate. A method has been proposed (see Patent Document 1).
しかしながら、上記従来の方法では、チタン酸バリウムの表面に均質に希土類元素の酸化物を付着させること、すなわち、チタン酸バリウムの表面に添加成分の均質なコーティング膜を形成することは困難であり、また、形成されるコーティング膜が剥がれやすいという問題点がある。 However, in the above conventional method, it is difficult to uniformly deposit an oxide of a rare earth element on the surface of barium titanate, that is, to form a uniform coating film of additive components on the surface of barium titanate, Further, there is a problem that the formed coating film is easily peeled off.
例えば、上記従来の方法で添加成分がコーティングされたチタン酸バリウム粉末をバインダと混合するために、媒体式撹拌ミルなどによって強いせん断力を加えた場合、コーティング層が比較的容易に剥がれてしまい、意図するような特性を備えた製品(積層セラミック電子部品)を得ることができなくなるというような問題がある。 For example, in order to mix the barium titanate powder coated with the additive component by the conventional method with a binder, when a strong shear force is applied by a medium stirring mill or the like, the coating layer is peeled off relatively easily, There is a problem that it becomes impossible to obtain a product (multilayer ceramic electronic component) having the intended characteristics.
また、添加成分がコーティングされたチタン酸バリウム粉末を乾燥し、熱処理によって付着力を高める方法も提案されているが、その場合には、チタン酸バリウム粉末の凝結が強くなってしまい、微細で均一に分散したチタン酸バリウム粉末を得ることができなくなってしまうという新たな問題が生じることになる。
本願発明は、上記課題を解決するものであり、表面が添加成分により均質かつ強固に被覆されたセラミック粉末の製造方法、該製造方法により製造されたセラミック粉末、および該セラミック粉末を用いて製造された、所望の特性を有する積層セラミック電子部品を提供することを目的とする。 The present invention solves the above-mentioned problems, and is produced using a method for producing a ceramic powder whose surface is uniformly and firmly coated with an additive component, a ceramic powder produced by the production method, and the ceramic powder. Another object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics.
上記課題を解決するために、請求項1のセラミック粉末の製造方法は、表面が金属元素含有物質のゲルにより被覆されたセラミック粉末の製造方法であって、
セラミック粉末の懸濁液に、金属元素の有機酸錯体および/または金属元素含有物質のゾルを混合した混合液を調製する第1の工程と、
前記混合液を、温度:100℃超と、圧力:0.1MPa超の条件下に、水熱反応を行わせることにより、前記セラミック粉末の表面を前記金属元素含有物質のゲルにより被覆する第2の工程と
を備えることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the method for producing a ceramic powder according to claim 1 is a method for producing a ceramic powder whose surface is coated with a gel of a metal element-containing substance,
A first step of preparing a mixed solution in which a suspension of ceramic powder is mixed with an organic acid complex of a metal element and / or a sol of a metal element-containing substance;
Second, the surface of the ceramic powder is coated with the gel of the metal element-containing material by causing a hydrothermal reaction to be performed on the mixed liquid under conditions of a temperature of over 100 ° C. and a pressure of over 0.1 MPa. It is characterized by comprising the following processes.
また、請求項2のセラミック粉末の製造方法は、請求項1の前記水熱反応を行わせる前記第2の工程の後に、さらに、表面が前記金属元素含有物質のゲルにより被覆されたセラミック粉末を乾燥させる第3の工程を備えていることを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for producing a ceramic powder comprising, after the second step of performing the hydrothermal reaction of the first aspect, further comprising a ceramic powder having a surface coated with the metal element-containing substance gel. It is characterized by including a third step of drying.
また、請求項3のセラミック粉末の製造方法は、請求項1または2の発明の構成において、
(a)前記セラミック粉末の主成分がチタン酸バリウムまたはチタン酸バリウムカルシウムであり、
(b)前記温度が300℃未満の温度であり、
(c)前記圧力が8.6MPa未満の圧力であること
を特徴としている。
The method for producing a ceramic powder according to claim 3 is the structure of the invention according to
(a) the main component of the ceramic powder is barium titanate or barium calcium titanate,
(b) the temperature is less than 300 ° C,
(c) The pressure is less than 8.6 MPa.
また、請求項4のセラミック粉末の製造方法は、請求項1〜3のいずれかの発明の構成において、前記金属元素の有機酸錯体を形成する有機酸が、酢酸、クエン酸、コハク酸、乳酸、リンゴ酸、マロン酸、酒石酸、グリコール酸からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴としている。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for producing a ceramic powder according to any one of the first to third aspects, wherein the organic acid forming the organic acid complex of the metal element is acetic acid, citric acid, succinic acid, lactic acid. , At least one selected from the group consisting of malic acid, malonic acid, tartaric acid and glycolic acid.
また、請求項5のセラミック粉末の製造方法は、前記有機酸の供給源が、アンモニウム塩であることを特徴としている。 The method for producing a ceramic powder according to claim 5 is characterized in that the organic acid supply source is an ammonium salt.
また、請求項6のセラミック粉末の製造方法は、請求項1〜5のいずれかの発明の構成において、前記金属元素含有物質のゾルを形成するコロイド粒子が、前記金属元素の酸化物、水酸化物、塩基性炭酸塩、炭酸塩からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴としている。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for producing a ceramic powder according to any one of the first to fifth aspects of the present invention, wherein the colloidal particles forming the sol of the metal element-containing substance are an oxide of the metal element, a hydroxide And at least one selected from the group consisting of a basic carbonate and a carbonate.
また、請求項7のセラミック粉末の製造方法は、請求項1〜6のいずれかの発明の構成において、
前記金属元素が、ランタノイド元素、Y、Ba、Ca、Sr、Mg、Ti、Zr、Hf、Cu、V、Nb、Ta、Mn、Ni、Cr、Co、Zn、Si、Sbからなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴としている。
Moreover, the manufacturing method of the ceramic powder of Claim 7 WHEREIN: In the structure of the invention in any one of Claims 1-6,
The metal element is selected from the group consisting of lanthanoid elements, Y, Ba, Ca, Sr, Mg, Ti, Zr, Hf, Cu, V, Nb, Ta, Mn, Ni, Cr, Co, Zn, Si, and Sb. It is characterized by being at least one kind.
また、請求項8のセラミック粉末は、請求項2記載のセラミック粉末の製造方法により製造され、表面が金属元素含有物質のゲルを乾燥させることにより形成された層により被覆されていることを特徴としている。
The ceramic powder according to claim 8 is produced by the method for producing ceramic powder according to
また、請求項9の積層セラミック電子部品は、
誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品であって、
前記誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末が用いられていること
を特徴としている。
The multilayer ceramic electronic component of claim 9 is
A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
A ceramic powder produced by the production method according to any one of claims 1 to 7 is used as the ceramic material for the dielectric ceramic.
また、請求項10の積層セラミック電子部品は、
誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品であって、
前記内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられていること
を特徴としている。
The multilayer ceramic electronic component of claim 10 is
A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
As a conductive material for the internal electrode, a conductive material containing a ceramic powder manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 is used.
また、請求項11の積層セラミック電子部品は、
誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品であって、
前記誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末が用いられているとともに、
前記内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられていること
を特徴としている。
The multilayer ceramic electronic component of
A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
As the ceramic material for the dielectric ceramic, ceramic powder produced by the production method according to claim 1 is used,
As a conductive material for the internal electrode, a conductive material containing a ceramic powder manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 is used.
請求項1のセラミック粉末の製造方法は、セラミック粉末の懸濁液に、金属元素の有機酸錯体および/または金属元素含有物質のゾルを混合した混合液を調製し、この混合液を、温度:100℃超、圧力:0.1MPa超の条件下に、水熱反応させることにより、セラミック粉末の表面を金属元素含有物質のゲルにより被覆するようにしているので、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質のゲルにより均質に、しかも強固に被覆することが可能になる。したがって、本願発明を適用することにより、セラミック粉末の表面に添加成分をコーティングしたい場合において、セラミック粉末の表面が、添加成分を含有する物質(ゲル)により、均質に、しかも強固にコーティングされ、コーティング層が剥がれにくいセラミック粉末を提供することが可能になる。 In the method for producing ceramic powder according to claim 1, a mixed solution is prepared by mixing a suspension of ceramic powder with an organic acid complex of a metal element and / or a sol of a metal element-containing substance. The surface of the ceramic powder is coated with the gel of the metal element-containing substance by hydrothermal reaction under conditions of over 100 ° C. and pressure: over 0.1 MPa. The gel of the contained substance can be coated uniformly and firmly. Therefore, by applying the present invention, when it is desired to coat the surface of the ceramic powder with the additive component, the surface of the ceramic powder is homogeneously and firmly coated with the substance (gel) containing the additive component. It becomes possible to provide a ceramic powder in which the layers are difficult to peel off.
すなわち、セラミック粉末の表面に金属元素などの添加成分をコーティングする場合に、水熱反応(加熱、加圧下)を利用し、金属の有機酸錯休もしくはゾルをチタン酸バリウム粉末などのセラミック粉末の表面でゲル化させ、その一部をセラミック粉末の表面と反応させることにより、強固な付着力を持ったコーティング層を、セラミック粉末の表面に均質に形成することが可能になる。また、湿式反応中で実施できるため、コーティングされたチタン酸バリウム粉末などのセラミック粉末どうしが凝結することを抑制し、分散性に富んだ均質なセラミック粉末を得ることができる。 That is, when an additive component such as a metal element is coated on the surface of the ceramic powder, a hydrothermal reaction (heating and under pressure) is used to convert the metal organic acid complex or sol to a ceramic powder such as a barium titanate powder. By making the gel on the surface and reacting a part thereof with the surface of the ceramic powder, a coating layer having a strong adhesive force can be formed uniformly on the surface of the ceramic powder. Moreover, since it can implement in a wet reaction, it can suppress that ceramic powders, such as a coated barium titanate powder, condense, and can obtain the homogeneous ceramic powder rich in dispersibility.
なお、本願発明において、上述のような効果が得られるのは、水熱反応が十分に生起するような条件下では、チタン酸バリウムなどのセラミック粉末の表面付近において、コーティング成分との間で溶解再析出反応が起こるため、チタン酸バリウムなどのセラミック粉末が、コーティング成分元素を取り込んだ状態で再析出するため、強固で均質なコーティング層が形成されることによるものと考えられる。 In the invention of the present application, the above-mentioned effect can be obtained because it dissolves with the coating component in the vicinity of the surface of the ceramic powder such as barium titanate under the condition that the hydrothermal reaction occurs sufficiently. Since the reprecipitation reaction occurs, the ceramic powder such as barium titanate is reprecipitated in a state in which the coating component element is incorporated, and thus it is considered that a strong and uniform coating layer is formed.
また、チタン酸バリウムなどのセラミック粉末の表面を、他の金属元素の酸化物もしくはその前駆体によってコーティングするようにした場合、コーティングされたチタン酸バリウムなどのセラミック粉末を積層セラミックコンデンサの誘電体原料として用いることにより、焼成時の反応を均一に進行させて、部分的な組成の偏析や焼成むらが生じることを防止することが可能になり、誘電体層となるセラミック層を薄層化した場合にも、高い信頼性を備えた積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 In addition, when the surface of ceramic powder such as barium titanate is coated with an oxide of another metal element or its precursor, the coated ceramic powder such as barium titanate is used as the dielectric material of the multilayer ceramic capacitor. By using as a case, it is possible to prevent the occurrence of partial segregation and uneven firing by allowing the reaction during firing to proceed uniformly, and when the ceramic layer that becomes the dielectric layer is thinned In addition, a multilayer ceramic capacitor having high reliability can be obtained.
また、請求項2のセラミック粉末の製造方法のように、請求項1の前記水熱反応を行わせる前記第2の工程の後に、さらに、表面が前記金属元素含有物質のゲルにより被覆されたセラミック粉末を乾燥させる第3の工程を備えている場合、表面に金属粉末含有物質からなるコーティング層を備えた乾燥セラミック粉末を得ることが可能になる。
そして、この乾燥セラミック粉末を、例えばバインダと混合する工程などを経て、セラミックグリーンシートを作製することが可能になり、所望の特性を備えた積層セラミック電子部品を効率よく製造することができるようになる。
Further, as in the ceramic powder manufacturing method of
Then, it becomes possible to produce a ceramic green sheet through, for example, a step of mixing this dry ceramic powder with a binder, etc., so that a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics can be efficiently manufactured. Become.
また、請求項3のセラミック粉末の製造方法のように、請求項1または2の発明の構成において、(a)セラミック粉末の主成分をチタン酸バリウムまたはチタン酸バリウムカルシウムとし、(b)温度を300℃未満の温度とし、(c)圧力を8.6MPa未満の圧力とすることにより、確実に、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質またはそのゲルにより被覆することが可能になり、本願発明を実効あらしめることが可能になる。
Further, as in the method for producing a ceramic powder according to claim 3, in the configuration of the invention according to
また、請求項4のセラミック粉末の製造方法のように、請求項1〜3のいずれかの発明の構成において、金属元素の有機酸錯体を形成する有機酸が、酢酸、クエン酸、コハク酸、乳酸、リンゴ酸、マロン酸、酒石酸、グリコール酸からなる群より選ばれる少なくとも1種である有機酸錯体を用いることにより、効率よく、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質またはそのゲルにより被覆することが可能になり、本願発明を実効あらしめることが可能になる。 Moreover, like the manufacturing method of the ceramic powder of Claim 4, in the structure of any one of Claims 1-3, the organic acid which forms the organic acid complex of a metal element is acetic acid, a citric acid, succinic acid, By using an organic acid complex that is at least one selected from the group consisting of lactic acid, malic acid, malonic acid, tartaric acid, and glycolic acid, the surface of the ceramic powder is efficiently coated with the metal element-containing substance or its gel. It becomes possible to make the present invention effective.
また、請求項5のセラミック粉末の製造方法のように、有機酸の供給源として、アンモニウム塩を用いるようにした場合、金属元素の有機酸錯体を効果的に形成することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。 In addition, when an ammonium salt is used as the organic acid supply source as in the ceramic powder manufacturing method of claim 5, it is possible to effectively form an organic acid complex of a metal element. The invention can be further improved.
また、請求項6のセラミック粉末の製造方法のように、請求項1〜5のいずれかの発明の構成において、金属元素含有物質のゾルを形成するコロイド粒子が、金属元素の酸化物、水酸化物、塩基性炭酸塩、炭酸塩からなる群より選ばれる少なくとも1種とすることにより、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質またはそのゲルにより均質に、しかも強固に被覆することが可能になり、本願発明を実効あらしめることが可能になる。 Further, as in the method for producing ceramic powder according to claim 6, in the configuration of any one of claims 1 to 5, the colloidal particles forming the sol of the metal element-containing substance are metal element oxides, hydroxides By making at least one selected from the group consisting of a material, a basic carbonate, and a carbonate, the surface of the ceramic powder can be uniformly and firmly coated with the metal element-containing material or its gel. Thus, the present invention can be effectively presented.
また、請求項7のセラミック粉末の製造方法のように、請求項1〜6のいずれかの発明の構成において、金属元素が、ランタノイド元素、Y、Ba、Ca、Sr、Mg、Ti、Zr、Hf、Cu、V、Nb、Ta、Mn、Ni、Cr、Co、Zn、Si、Sbからなる群より選ばれる少なくとも1種とすることにより、種々の金属元素含有物質またはそのゲルによりセラミック粉末の表面を均質に、しかも強固に被覆することが可能になる。したがって、本願発明によれば、種々の添加物をセラミック粉末の表面に均質に付与することが可能になり、該セラミック粉末を用いることにより、所望の特性を備えた積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。 Moreover, like the manufacturing method of the ceramic powder of Claim 7, in the structure of any one of Claims 1-6, a metal element is a lanthanoid element, Y, Ba, Ca, Sr, Mg, Ti, Zr, By using at least one selected from the group consisting of Hf, Cu, V, Nb, Ta, Mn, Ni, Cr, Co, Zn, Si, and Sb, various metal element-containing materials or gels thereof can be used for the ceramic powder. It becomes possible to coat the surface uniformly and firmly. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to uniformly apply various additives to the surface of the ceramic powder. By using the ceramic powder, it is possible to efficiently produce a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics. It becomes possible to do.
また、請求項8のセラミック粉末は、請求項2記載のセラミック粉末の製造方法により製造されたセラミック粉末であって、表面が金属元素含有物質のゲルを乾燥させることにより形成された層により被覆されており、金属元素含有物質からなる被覆層は均質で、強固にセラミック粉末の表面に付着しているため、例えば、バインダとの混合の際に、媒体式撹拌ミルなどによって強いせん断力を加えた場合にも、被覆層が剥がれにくい。その結果、本願発明のセラミック粉末を用いることにより、意図する特性を備えた製品(積層セラミック電子部品)を確実に製造することが可能になる。
The ceramic powder according to claim 8 is a ceramic powder produced by the method for producing ceramic powder according to
また、請求項9の積層セラミック電子部品は、誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品において、誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造された、表面が金属元素含有物質またはそのゲルにより被覆されたセラミック粉末が用いられているので、焼成工程において、均一な反応を進行させることが可能で、焼成後に欠陥が少ない誘電体セラミックが形成されるため、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い積層セラミック電子部品を提供することが可能になる。 The multilayer ceramic electronic component of claim 9 is a ceramic material for a dielectric ceramic in a multilayer ceramic electronic component having a structure in which an internal electrode is laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic. Since the ceramic powder with the surface coated with the metal element-containing substance or the gel produced by the production method according to any one of 7 to 7 is used, a uniform reaction can be advanced in the firing process. Since a dielectric ceramic with few defects is formed after firing, it is possible to provide a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics and high reliability.
また、請求項10の積層セラミック電子部品は、誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品であって、内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられているので、コーティング層が焼結抑制層として働き、高温まで導電性ペーストを構成する導電成分(例えばNi粒子)間にとどまることにより、例えばNi粒子などの導電成分の粒成長を抑制して、焼結後の内部電極の被覆率を向上させることが可能になり、特性の良好な積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。 The multilayer ceramic electronic component of claim 10 is a multilayer ceramic electronic component having a structure in which an internal electrode is laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic, wherein the multilayer ceramic electronic component is a conductive material for the internal electrode. Since the conductive material containing the ceramic powder manufactured by the manufacturing method in any one of 1-7 is used, the coating layer works as a sintering suppression layer, and the conductive component (for example, constituting the conductive paste up to a high temperature) By staying between (Ni particles), for example, it is possible to suppress the grain growth of conductive components such as Ni particles, and to improve the coverage of the internal electrode after sintering, and to provide a multilayer ceramic electronic component with good characteristics Can be manufactured efficiently.
また、請求項11の積層セラミック電子部品は、誘電体セラミック中に、内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック電子部品であって、誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末が用いられているとともに、内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられているので、意図するような特性を備え、かつ、内部電極とセラミック層の密着性に優れており、内部電極とセラミック層の層間剥離やクラックの発生しにくい信頼性の高い積層セラミック電子部品を確実に製造することが可能になる。
The multilayer ceramic electronic component of
すなわち、内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられている場合、特に、誘電体層を構成するセラミックと同じセラミック原料粉末を含有する導電性ペーストを用いて内部電極を形成するようにした場合には、コーティング層が導電性ペースト中のセラミック粉末の焼結抑制層として働き、高温まで導電性ペーストを構成する導電成分(例えばNi粒子)間にとどまることにより、例えばNi粒子などの導電成分の粒成長を抑制して、焼結後の内部電極の被覆率を向上させることが可能になる。
なお、内部電極用の導電材料に配合されるセラミック粉末と、誘電体セラミック用のセラミック粉末とは、組成が同一または類似したものを用いることが望ましいが、組成が異なっていても、内部電極の焼結挙動を制御するという基本的な効果を得ることは可能である。
That is, when the conductive material containing the ceramic powder manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 is used as the conductive material for the internal electrode, in particular, the ceramic constituting the dielectric layer and When an internal electrode is formed using a conductive paste containing the same ceramic raw material powder, the coating layer works as a sintering suppression layer for the ceramic powder in the conductive paste, and the conductive paste is constructed up to a high temperature. By staying between the conductive components (for example, Ni particles), it is possible to suppress the grain growth of the conductive components such as Ni particles and improve the coverage of the internal electrode after sintering.
The ceramic powder blended in the conductive material for the internal electrode and the ceramic powder for the dielectric ceramic are desirably the same or similar in composition, but even if the composition is different, It is possible to obtain the basic effect of controlling the sintering behavior.
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 The features of the present invention will be described in more detail below with reference to examples of the present invention.
この実施例1では、積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層を構成するチタン酸バリウム粉末の表面を、添加成分である金属元素Ba、Mg、Mn、Si、Dyを含む物質によりコーティングすることにより、表面が添加成分である金属元素含有物質により被覆されたチタン酸バリウム粉末を製造した。以下、その製造方法について説明する。 In Example 1, the surface of the barium titanate powder constituting the dielectric ceramic layer of the multilayer ceramic capacitor is coated with a substance containing the additive elements metal elements Ba, Mg, Mn, Si, and Dy, whereby the surface Barium titanate powder coated with a metal element-containing substance, which is an additive component, was produced. Hereinafter, the manufacturing method will be described.
(1)チタン酸バリウム粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。 (1) 100 g of barium titanate powder was put together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm into a resin pot with a capacity of 1 L, and 400 ml of pure water was added and crushed in a ball mill for 12 hours.
(2)それから、Ba炭酸塩ゾルを7.2g、Mgクエン酸錯体を3.5g、Mnクエン酸錯体を0.85g、Si酸化物ゾルを0.86g、Dyクエン酸錯体を18.6g添加し、さらに1時間ボールミルにて混合しスラリーを作製した。 (2) Then, 7.2 g Ba carbonate sol, 3.5 g Mg citrate complex, 0.85 g Mn citrate complex, 0.86 g Si oxide sol, and 18.6 g Dy citrate complex were added. The mixture was further mixed with a ball mill for 1 hour to prepare a slurry.
(3)その後、このスラリー200mlをポリテトラフルオロエチレン製の容器に入れ、オートクレーブにて温度200℃、圧力1.5MPa、時間4時間の条件下で、水熱反応させ、チタン酸バリウム粉末の表面に、金属元素(この実施例1ではBa、Mg、Mn、Si、Dy)含有物質(酸化物、水酸化物、塩基性炭酸塩、炭酸塩など)のゲルを生成させ、該ゲルによりチタン酸バリウム粉末の表面を被覆した。 (3) Thereafter, 200 ml of this slurry is put into a polytetrafluoroethylene container and subjected to a hydrothermal reaction in an autoclave under conditions of a temperature of 200 ° C., a pressure of 1.5 MPa, and a time of 4 hours to obtain the surface of the barium titanate powder. In addition, a gel of a substance (oxide, hydroxide, basic carbonate, carbonate, etc.) containing a metal element (Ba, Mg, Mn, Si, Dy in this Example 1) is generated, and titanic acid is generated by the gel. The surface of barium powder was coated.
(4)水熱反応が終了した後、スラリーをヌッチェにて脱水し、さらに純水100mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥することにより、表面が金属元素(この実施例1ではBa、Mg、Mn、Si、Dy)の酸化物、炭酸塩などにより被覆されたチタン酸バリウム粉末を得た。 (4) After the hydrothermal reaction is completed, the slurry is dehydrated with Nutsche, further washed with 100 ml of pure water, and then dried in an oven at 140 ° C., so that the surface is a metallic element (in this Example 1, Ba). , Mg, Mn, Si, Dy), barium titanate powder coated with an oxide, carbonate or the like was obtained.
上述のように、チタン酸バリウム粉末に、所定の誘電体セラミック原料組成となるように添加成分である金属元素含有物質を含むゾルおよび有機酸錯体を添加し、このスラリーを適切な条件下で水熱処理をすることにより、チタン酸バリウム粉末の表面に添加成分元素を含む物質からなる強固なコーティング層が形成されたチタン酸バリウム粉末を得ることができる。 As described above, to the barium titanate powder, a sol containing a metal element-containing substance as an additional component and an organic acid complex are added so as to have a predetermined dielectric ceramic raw material composition, and the slurry is subjected to water under appropriate conditions. By performing the heat treatment, it is possible to obtain a barium titanate powder in which a strong coating layer made of a substance containing an additive component element is formed on the surface of the barium titanate powder.
そして、この実施例1のチタン酸バリウム粉末の表面のコーティング層は、このセラミックグリーンシート粉末を用いてセラミックグリーンシートを作製する過程で行なわれるバインダとの混合やミリングの際にもチタン酸バリウム粉末の表面から剥離しにくく、均一なコーティング層が維持される。したがって、積層セラミックコンデンサを製造する際の焼成工程においても、均一な反応を進行させることが可能になり、焼成後に欠陥が少ない誘電体セラミックを得ることができる。その結果、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い(寿命の長い)積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 The coating layer on the surface of the barium titanate powder of Example 1 is also used in the mixing and milling with the binder performed in the process of producing the ceramic green sheet using the ceramic green sheet powder. It is difficult to peel off from the surface of the film, and a uniform coating layer is maintained. Therefore, even in the firing step when manufacturing the multilayer ceramic capacitor, it is possible to allow a uniform reaction to proceed, and a dielectric ceramic with few defects after firing can be obtained. As a result, a multilayer ceramic capacitor having desired characteristics and high reliability (long life) can be obtained.
(1)チタン酸バリウム粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。 (1) 100 g of barium titanate powder was put together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm into a resin pot with a capacity of 1 L, and 400 ml of pure water was added and crushed in a ball mill for 12 hours.
(2)それから、Ba炭酸塩ゾルを14.4g、Ca炭酸塩ゾルを6.1g、Zr酸化物ゾルを19.1g、Mnクエン酸錯体を0.85g、Ni水酸化物ゾルを1.0g、Si酸化物ゾルを0.86g、Dyクエン酸錯体を4.6g添加し、さらに1時間ボールミルにて混合しスラリーを作製した。 (2) Then, 14.4 g of Ba carbonate sol, 6.1 g of Ca carbonate sol, 19.1 g of Zr oxide sol, 0.85 g of Mn citrate complex, 1.0 g of Ni hydroxide sol Then, 0.86 g of Si oxide sol and 4.6 g of Dy citrate complex were added, and further mixed for 1 hour by a ball mill to prepare a slurry.
(3)その後、このスラリー200mlをポリテトラフルオロエチレン製の容器に入れ、オートクレーブにて温度250℃、圧力4.0MPa、時間4時間の条件下で、水熱反応させ、チタン酸バリウム粉末の表面に、金属元素(この実施例2ではBa、Ca、Zr、Mn、Ni、Si、Dy)を含有する物質のゲルを生成させ、該ゲルによりチタン酸バリウム粉末の表面を被覆した。 (3) Thereafter, 200 ml of this slurry was put into a polytetrafluoroethylene container and subjected to hydrothermal reaction in an autoclave under conditions of a temperature of 250 ° C., a pressure of 4.0 MPa, and a time of 4 hours, and the surface of the barium titanate powder. In addition, a gel containing a metal element (Ba, Ca, Zr, Mn, Ni, Si, Dy in Example 2) was formed, and the surface of the barium titanate powder was covered with the gel.
(4)水熱反応が終了した後、スラリーをヌッチェにて脱水し、さらに純水100mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥することにより、表面が金属元素(この実施例2ではBa、Ca、Zr、Mn、Ni、Si、Dy)の酸化物、炭酸塩などにより被覆されたチタン酸バリウム粉末を得た。 (4) After the hydrothermal reaction is completed, the slurry is dehydrated with Nutsche, further washed with 100 ml of pure water, and then dried in an oven at 140 ° C., so that the surface is a metallic element (in this Example 2, Ba , Ca, Zr, Mn, Ni, Si, Dy), barium titanate powder coated with an oxide, carbonate or the like.
この実施例2のように、実施例1とは異なる金属元素含有物質を添加成分とし、実施例1とは異なる条件で水熱反応を行った場合にも、上記実施例1の場合と同様に、チタン酸バリウム粉末の表面に添加成分元素を含む物質からなる強固なコーティング層が形成されたチタン酸バリウム粉末を得ることができた。 As in Example 2, when a metal element-containing substance different from Example 1 is used as an additive component and a hydrothermal reaction is performed under conditions different from Example 1, the same as in Example 1 above. In addition, it was possible to obtain a barium titanate powder in which a strong coating layer made of a substance containing an additive component element was formed on the surface of the barium titanate powder.
このチタン酸バリウム粉末の表面のコーティング層も、バインダとの混合やミリングの際にチタン酸バリウム粉末の表面から剥離しにくく、均一なコーティング層が維持される。したがって、積層セラミックコンデンサを製造する際の焼成工程においても、均一な反応を進行させることが可能になり、焼成後に欠陥が少ない誘電体セラミックを得ることができる。その結果、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い(寿命の長い)積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 The coating layer on the surface of the barium titanate powder is also difficult to peel off from the surface of the barium titanate powder during mixing with the binder or milling, and a uniform coating layer is maintained. Therefore, even in the firing step when manufacturing the multilayer ceramic capacitor, a uniform reaction can be advanced, and a dielectric ceramic with few defects after firing can be obtained. As a result, a multilayer ceramic capacitor having desired characteristics and high reliability (long life) can be obtained.
(1)チタン酸バリウム粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。 (1) 100 g of barium titanate powder was put together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm into a resin pot with a capacity of 1 L, and 400 ml of pure water was added and crushed in a ball mill for 12 hours.
(2)それから、Dyクエン酸錯体を27.9g添加し、さらに1時間ボールミルにて混合しスラリーを作製した。 (2) Then, 27.9 g of Dy citrate complex was added and further mixed for 1 hour by a ball mill to prepare a slurry.
(3)その後、このスラリー200mlをポリテトラフルオロエチレン製の容器に入れ、オートクレーブにて温度200℃、圧力1.5MPa、時間4時間の条件下で、水熱反応させ、チタン酸バリウム粉末の表面に、金属元素(この実施例3ではDy)を含有する物質のゲルを生成させ、該ゲルによりチタン酸バリウム粉末の表面を被覆した。 (3) Thereafter, 200 ml of this slurry is put into a polytetrafluoroethylene container and subjected to a hydrothermal reaction in an autoclave under conditions of a temperature of 200 ° C., a pressure of 1.5 MPa, and a time of 4 hours to obtain the surface of the barium titanate powder. Then, a gel of a substance containing a metal element (Dy in this Example 3) was generated, and the surface of the barium titanate powder was covered with the gel.
(4)水熱反応が終了した後、スラリーをヌッチェにて脱水し、さらに純水100mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥することにより、表面が金属元素(この実施例3ではDy)の酸化物、炭酸塩などにより被覆されたチタン酸バリウム粉末を得た。 (4) After the hydrothermal reaction is completed, the slurry is dehydrated with Nutsche, further washed with 100 ml of pure water, and then dried in an oven at 140 ° C., so that the surface is a metal element (in this example, Dy Barium titanate powder coated with oxide, carbonate, etc.).
この実施例3のように、実施例1および2とは異なる金属元素含有物質、すなわち、焼結抑制効果を有する希土類元素の一種であるDyを有機酸錯体の形で添加し、実施例2とは異なる条件で水熱反応を行った場合にも、上記実施例1の場合と同様に、チタン酸バリウム粉末の表面に添加成分元素を含む物質からなる強固なコーティング層が形成されたチタン酸バリウム粉末を得ることができた。 Like Example 3, a metal element-containing substance different from Examples 1 and 2, that is, Dy, which is a kind of rare earth element having a sintering inhibiting effect, was added in the form of an organic acid complex. In the case where hydrothermal reaction is performed under different conditions, barium titanate in which a strong coating layer made of a substance containing an additive component element is formed on the surface of the barium titanate powder as in the case of Example 1 above. A powder could be obtained.
このチタン酸バリウム粉末の表面のコーティング層も、バインダとの混合やミリングの際にチタン酸バリウム粉末の表面から剥離しにくく、均一なコーティング層が維持される。したがって、積層セラミックコンデンサを製造する際の焼成工程においても、均一な反応を進行させることが可能になり、焼成後に欠陥が少ない誘電体セラミックを得ることができる。その結果、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い(寿命の長い)積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 The coating layer on the surface of the barium titanate powder is also difficult to peel off from the surface of the barium titanate powder during mixing with the binder or milling, and a uniform coating layer is maintained. Therefore, even in the firing step when manufacturing the multilayer ceramic capacitor, a uniform reaction can be advanced, and a dielectric ceramic with few defects after firing can be obtained. As a result, a multilayer ceramic capacitor having desired characteristics and high reliability (long life) can be obtained.
[比較例1]
(1)チタン酸バリウム粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。
[Comparative Example 1]
(1) 100 g of barium titanate powder was put together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm into a resin pot with a capacity of 1 L, and 400 ml of pure water was added and crushed in a ball mill for 12 hours.
(2)それから、Ba炭酸塩ゾルを7.2g、Mgクエン酸錯体を3.5g、Mnクエン酸錯体を0.85g、Si酸化物ゾルを0.86g、Dyクエン酸錯体を18.6g添加し、さらに1時間ボールミルにて混合しスラリーを作製した。 (2) Then, 7.2 g Ba carbonate sol, 3.5 g Mg citrate complex, 0.85 g Mn citrate complex, 0.86 g Si oxide sol, and 18.6 g Dy citrate complex were added. The mixture was further mixed with a ball mill for 1 hour to prepare a slurry.
(3)その後、このスラリー200mlをガラスフラスコに取り、電気ヒータにて温度100℃、圧力0.1MPaで、4時間加熱還流処理した。 (3) Thereafter, 200 ml of this slurry was placed in a glass flask and heated and refluxed with an electric heater at a temperature of 100 ° C. and a pressure of 0.1 MPa for 4 hours.
(4)それから、加熱還流処理後のスラリーを、ヌッチェにて脱水し、さらに純水100mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥した。 (4) Then, the slurry after the heating and refluxing treatment was dehydrated with Nutsche, further washed with 100 ml of pure water, and then dried at 140 ° C. in an oven.
この比較例1のように、100℃常圧で処理をしたものは添加成分がチタン酸バリウム表面に十分定着せず、純水で洗浄する際に、成分の一部が溶出してしまい、均一なコーティング層を形成することができなかった。 As in Comparative Example 1, the component treated at 100 ° C. and normal pressure did not sufficiently fix the added component on the surface of the barium titanate, and part of the component was eluted when washed with pure water. A coating layer could not be formed.
[比較例2]
(1)チタン酸バリウム粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。
[Comparative Example 2]
(1) 100 g of barium titanate powder was put together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm into a resin pot with a capacity of 1 L, and 400 ml of pure water was added and crushed in a ball mill for 12 hours.
(2)それから、1mol/kgのDy(NO3)3水溶液を12.3g加え、さらに1時間ボールミルにて混合した後、アンモニア水(28%)を加えPHを9.0に調整した。 (2) Then, 12.3 g of 1 mol / kg Dy (NO 3 ) 3 aqueous solution was added and further mixed for 1 hour by a ball mill, and then aqueous ammonia (28%) was added to adjust the pH to 9.0.
(3)次に、スラリーをヌッチェにて脱水し、さらに純水400mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥した。 (3) Next, the slurry was dehydrated with Nutsche, further washed with 400 ml of pure water, and then dried in an oven at 140 ° C.
この比較例2の方法の場合、上述の実施例3の場合と同様に、チタン酸バリウム粉末の表面にDy化合物のコーティング層を形成することはできるが、コーティング層とチタン酸バリウム粉末の表面との密着性が低く、ミリング工程でコーティング層が剥がれ落ちてしまった。そのため、例えば、積層セラミックコンデンサを製造する場合における焼成工程において、均一な反応を進行させることができなくなり、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができなくなる。なお、この比較例2は、前述の特許文献1の先行技術に相当するものである。 In the case of the method of Comparative Example 2, a Dy compound coating layer can be formed on the surface of the barium titanate powder as in Example 3 above, but the coating layer and the surface of the barium titanate powder The coating layer was peeled off during the milling process. For this reason, for example, in the firing process in the case of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, it becomes impossible to make a uniform reaction, and it becomes impossible to obtain a multilayer ceramic capacitor having desired characteristics and high reliability. The comparative example 2 corresponds to the prior art of the above-mentioned Patent Document 1.
(1) チタン酸バリウムカルシウム((Ba0.96、Ca0.04)TiO3)粉末100gを、直径1mmのPSZビーズ1400gとともに容量1Lの樹脂製ポットに投入し、純水400mlを加えてボールミルにて12時間解砕した。 (1) 100 g of barium calcium titanate ((Ba 0.96 , Ca 0.04 ) TiO 3 ) powder is put into a resin pot with a capacity of 1 L together with 1400 g of PSZ beads having a diameter of 1 mm, and 400 ml of pure water is added for 12 hours in a ball mill. It was crushed.
(2)それから、Ba炭酸塩ゾルを7.2g、Mgクエン酸錯体を3.5g、Mnクエン酸錯体を0.85g、Si酸化物ゾルを0.86g、Dyクエン酸錯体を18.6g添加し、さらに1時間ボールミルにて混合しスラリーを作製した。 (2) Then, 7.2 g Ba carbonate sol, 3.5 g Mg citrate complex, 0.85 g Mn citrate complex, 0.86 g Si oxide sol, and 18.6 g Dy citrate complex were added. The mixture was further mixed with a ball mill for 1 hour to prepare a slurry.
(3)その後、このスラリー200mlをポリテトラフルオロエチレン製の容器に入れ、オートクレーブにて温度200℃、圧力1.5MPa、時間4時間の条件下で、水熱反応させ、チタン酸バリウムカルシウム粉末の表面に、金属元素(この実施例4ではBa、Mg、Mn、Si、Dy)を含有する物質のゲルを生成させ、該ゲルによりチタン酸バリウムカルシウム粉末の表面を被覆した。 (3) Thereafter, 200 ml of this slurry is put into a polytetrafluoroethylene container, and subjected to a hydrothermal reaction in an autoclave at a temperature of 200 ° C., a pressure of 1.5 MPa, and a time of 4 hours to obtain a barium calcium titanate powder. A gel of a substance containing a metal element (Ba, Mg, Mn, Si, Dy in Example 4) was generated on the surface, and the surface of the barium calcium titanate powder was covered with the gel.
(4)水熱反応が終了した後、スラリーをヌッチェにて脱水し、さらに純水100mlで洗浄した後、オーブンにて140℃で乾燥することにより、表面が金属元素(この実施例4ではBa、Mg、Mn、Si、Dy)を含有する物質の酸化物、炭酸塩などにより被覆されたチタン酸バリウムカルシウム粉末を得た。 (4) After the hydrothermal reaction is completed, the slurry is dehydrated with Nutsche, further washed with 100 ml of pure water, and then dried in an oven at 140 ° C., so that the surface is a metallic element (in this Example 4, Ba , Mg, Mn, Si, Dy), barium calcium titanate powder coated with an oxide, carbonate or the like of a substance containing the material was obtained.
この実施例4のように、実施例1のチタン酸バリウム粉末に代えて、チタン酸バリウムカルシウム粉末を使用した場合にも、表面が均質にコーティング層が形成されたセラミック粉末(チタン酸バリウムカルシウム粉末)を得ることができた。 As in Example 4, when a barium calcium titanate powder was used instead of the barium titanate powder of Example 1, a ceramic powder (barium calcium titanate powder having a uniform coating layer formed on the surface) )
このチタン酸バリウムカルシウム粉末の表面のコーティング層も、バインダとの混合やミリングの際にチタン酸バリウムカルシウム粉末の表面から剥離しにくく、均一なコーティング層が維持される。したがって、積層セラミックコンデンサを製造する際の焼成工程においても、均一な反応を進行させることが可能になり、焼成後に欠陥が少ない誘電体セラミックを得ることができる。その結果、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い(寿命の長い)積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 The coating layer on the surface of the barium calcium titanate powder is also difficult to peel off from the surface of the barium calcium titanate powder during mixing with the binder or milling, and a uniform coating layer is maintained. Therefore, even in the firing step when manufacturing the multilayer ceramic capacitor, a uniform reaction can be advanced, and a dielectric ceramic with few defects after firing can be obtained. As a result, a multilayer ceramic capacitor having desired characteristics and high reliability (long life) can be obtained.
上記の各実施例および比較例の試料の組成及び製造条件の一覧を表1に示す。なお、組成はチタン酸バリウム100mol(実施例4ではチタン酸バリウムカルシウム100mol)に対する、各添加元素(金属元素)の量をモル数で示している。 Table 1 shows a list of the compositions and manufacturing conditions of the samples of the above examples and comparative examples. The composition indicates the amount of each additive element (metal element) in moles with respect to 100 mol of barium titanate (100 mol of barium calcium titanate in Example 4).
また、上記実施例および比較例の方法で得たセラミック粉末をミリングして、コーティング層の密着力の大きさを調べた。
実施例および比較例において作製したセラミック粉末のコーティング層の密着力を比較するにあたって、TEM(透過電子顕微鏡)−EDX(エネルギー分散型蛍光X線分析)を用いた。
すなわち、図1(a),(b)に示すように、ミリング後のセラミック粉末(粒子)1の中心部1aと端部1bにおけるコーティング元素(金属元素)の濃度を、TEM(透過電子顕微鏡)−EDX(エネルギー分散型蛍光X線分析)を用いて比較することにより、セラミック粉末の表面のコーティング層の有無を確認した。その結果を表2に示す。なお、表2において、「ND」はその元素が上記分析では検出されないことを示している。
なお、図1(a)は十分なコーティング層2がセラミック粉末(粒子)1の表面に存在している本願発明の実施例の試料を模式的に示す図であり、(b)はコーティング層がセラミック粉末1の表面に存在していない比較例の試料を模式的に示す図である。
Moreover, the ceramic powder obtained by the method of the said Example and the comparative example was milled, and the magnitude | size of the adhesive force of a coating layer was investigated.
In comparing the adhesion of the coating layers of the ceramic powders produced in the examples and comparative examples, TEM (transmission electron microscope) -EDX (energy dispersive X-ray fluorescence analysis) was used.
That is, as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the concentration of the coating element (metal element) at the
1A is a diagram schematically showing a sample of an embodiment of the present invention in which a
なお、表2において、粒子端部のコーティング元素濃度が高い場合、コーティング層の残存する割合が高く、また、粒子端部のコーティング元素濃度が低い場合、コーティング層の残存している割合が低いことを示している。 In Table 2, the ratio of remaining coating layer is high when the coating element concentration at the particle edge is high, and the ratio of remaining coating layer is low when the coating element concentration at the particle edge is low. Is shown.
なお、実施例の試料の場合、コーティング層のセラミック粉末の表面への密着力が大きく、強固であるため、ミリング後も図1(a)に示すようにコーティング層が残存し、比較例の場合には、図1(b)に示すように、コーティング層が剥がれ落ちて、セラミック粉末の表面に残存していないか、残存していてもその量が少量であることが確認された。なお、表2において、ミリング前およびミリング後の両方において「ND」となっているものは、その元素をコートしようとしたが上記分析ではコートされていることが確認されなかったことを示している。 In the case of the sample of the example, since the adhesion force of the coating layer to the surface of the ceramic powder is large and strong, the coating layer remains even after milling as shown in FIG. As shown in FIG. 1B, it was confirmed that the coating layer peeled off and did not remain on the surface of the ceramic powder, or even if it remained, the amount was small. In Table 2, those that are “ND” both before and after milling indicate that the element was tried to be coated but was not confirmed by the above analysis. .
なお、上記実施例1〜4では、水熱反応を、温度200℃(実施例1,3,4)、250℃(実施例2)、圧力1.5MPa(実施例1,3,4)、4.0MPa(実施例2)の条件で行わせるようにした場合を例にとって説明したが、温度300℃未満、圧力8.6MPa未満の条件においては、上記の実施例1〜4の場合と同様に、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質またはそのゲルにより、効率よく被覆できることが実験により確認されている。 In Examples 1 to 4, the hydrothermal reaction was performed at a temperature of 200 ° C. (Examples 1, 3, 4), 250 ° C. (Example 2), a pressure of 1.5 MPa (Examples 1, 3, 4), Although the case where it was made to perform on condition of 4.0MPa (Example 2) was demonstrated as an example, in the conditions of temperature less than 300 degreeC and pressure less than 8.6MPa, it is the same as the case of said Examples 1-4. In addition, it has been experimentally confirmed that the surface of the ceramic powder can be efficiently coated with the metal element-containing substance or its gel.
一方、水熱反応の温度条件が300℃以上、圧力条件が8.6MPa以上になると、セラミック粉末の表面を、金属元素含有物質またはそのゲルにより被覆する効果がやや低下する傾向が認められた。 On the other hand, when the temperature condition of the hydrothermal reaction was 300 ° C. or more and the pressure condition was 8.6 MPa or more, the effect of covering the surface of the ceramic powder with the metal element-containing substance or its gel was slightly reduced.
したがって、本願発明のセラミック粉末の製造方法において、その作用効果を確実に奏させるためには、水熱反応条件を、温度:300℃未満、圧力:8.6MPa未満とすることが望ましい。 Therefore, in the method for producing a ceramic powder of the present invention, in order to ensure the effects, it is desirable that the hydrothermal reaction conditions are a temperature: less than 300 ° C. and a pressure: less than 8.6 MPa.
上記実施例1の方法で作製したセラミック粉末と、上記比較例1の方法で作製したセラミック粉末を用いて、図2に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサを作製し、その信頼性を比較した。 Using the ceramic powder produced by the method of Example 1 and the ceramic powder produced by the method of Comparative Example 1, a multilayer ceramic capacitor having a structure as shown in FIG. 2 was produced, and the reliability was compared. .
なお、図2の積層セラミックコンデンサは、セラミック素子(電子部品素子)11中に、複数の内部電極12a,12bがセラミック層13を介して積層、配設され、かつ、セラミック層13を介して互いに対向する内部電極12a,12bが交互にセラミック素子11の逆側の端面14a,14bに引き出されて、セラミック素子11の両端面に形成された一対の外部電極15a,15bに接続された構造を有している。
この積層セラミックコンデンサの製造方法は以下の通りである。
(1)まず、上記実施例1の方法で作製したセラミック粉末と、上記比較例1の方法で作製したセラミック粉末を用意した。
(2)各セラミック粉末に、ポリビニルブチラール系バインダおよびエタノール系の有機溶剤を加えて、ボールミルにより湿式混合し、セラミックススラリーを調製した。
(3)セラミックススラリーをドクターブレード法によりシート成形し、厚み5μmの短形のグリーンシートを得た。
(4)このセラミックグリーンシート上に、Ni粉末を主成分とする導電性ペーストを印刷し、内部電極を構成するための導電性ペースト膜(内部電極パターン)を形成した。
(5)セラミックグリーンシートを、上述の導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いとなるように複数枚積層し、積層体を得た。
(6)この積層体を、N2雰囲気にて350℃の温度に加熱し、バインダを燃焼させた後、酸素分圧10-9〜10-12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元雰囲気中において1150〜1250℃の温度で焼成した。
(7)焼成後の積層体の両端面にB2O3−SiO2−BaO系のガラスフリットを含有する銀ペーストを塗布し、N2雰囲気中において600℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的に接続された外部電極を形成した。
The multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 2 includes a plurality of
The manufacturing method of this multilayer ceramic capacitor is as follows.
(1) First, the ceramic powder produced by the method of Example 1 and the ceramic powder produced by the method of Comparative Example 1 were prepared.
(2) A polyvinyl butyral binder and an ethanol organic solvent were added to each ceramic powder and wet mixed by a ball mill to prepare a ceramic slurry.
(3) The ceramic slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to obtain a short green sheet having a thickness of 5 μm.
(4) On this ceramic green sheet, the electroconductive paste which has Ni powder as a main component was printed, and the electroconductive paste film (internal electrode pattern) for comprising an internal electrode was formed.
(5) A plurality of ceramic green sheets were laminated so that the side from which the above-mentioned conductive paste film was drawn was staggered to obtain a laminate.
(6) The laminate was heated to a temperature of 350 ° C. at a N 2 atmosphere, after burning a binder, oxygen partial pressure 10 -9 to 10 -12 MPa of H 2 -N 2 -H 2 O gas Was fired at a temperature of 1150 to 1250 ° C. in a reducing atmosphere.
(7) A silver paste containing B 2 O 3 —SiO 2 —BaO-based glass frit is applied to both end faces of the fired laminate, and baked at a temperature of 600 ° C. in an N 2 atmosphere. Connected external electrodes were formed.
このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は、幅が3.2mm、長さが1.6mm、厚さが1.2mmであり、内部電極間に介在する誘電体セラミック層の厚みは3.0μmであった。 The outer dimensions of the multilayer ceramic capacitor thus obtained are 3.2 mm in width, 1.6 mm in length, and 1.2 mm in thickness. The thickness of the dielectric ceramic layer interposed between the internal electrodes is as follows. It was 3.0 μm.
また、有効セラミック層(誘電体層)の層数は100であり、1層あたりの対抗電極の面積は3.0×10-6m2であった。 The number of effective ceramic layers (dielectric layers) was 100, and the area of the counter electrode per layer was 3.0 × 10 −6 m 2 .
得られた試料それぞれ10個について高温負荷試験(150℃、60V印加、抵抗が105Ω以下に低下した時点を故障とみなす)を行い、平均寿命時間(MTTF)を比較した。 A high-temperature load test (150 ° C., 60 V applied, when the resistance dropped to 10 5 Ω or less was regarded as a failure) was performed on each of the 10 samples obtained, and the average life time (MTTF) was compared.
平均寿命時間(MTTF)は、実施例1のセラミック粉末を用いた積層セラミックコンデンサの場合17時間、比較例1のセラミック粉末を用いた積層セラミックコンデンサの場合8時間で、本願発明の実施例にかかるセラミック粉末を用いた積層セラミックコンデンサは、信頼性の高いことが確認された。 The average life time (MTTF) is 17 hours for the multilayer ceramic capacitor using the ceramic powder of Example 1, and 8 hours for the multilayer ceramic capacitor using the ceramic powder of Comparative Example 1. It was confirmed that the multilayer ceramic capacitor using the ceramic powder has high reliability.
また、実施例3で作製したセラミック粉末を用いて誘電体セラミック層を形成するとともに、実施例3で作製したセラミック粉末を添加した導電性ペーストを用いて、上記実施例5の場合と同様の方法で積層セラミックコンデンサを製造した。 In addition, a dielectric ceramic layer is formed using the ceramic powder produced in Example 3, and the same method as in Example 5 is used using the conductive paste to which the ceramic powder produced in Example 3 is added. A multilayer ceramic capacitor was manufactured.
この実施例6のように、内部電極形成用の導電性ペーストに、誘電体セラミック層を構成するセラミック粉末と同じセラミック粉末を配合した場合、焼成過程において、高温までNi粉末の焼結を抑制することが可能になり、内部電極被覆率の向上やセラミック層との収縮挙動のミスマッチによる構造欠縮の発生を防止して、所望の特性を備え、かつ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。 As in Example 6, when the same ceramic powder as the ceramic powder constituting the dielectric ceramic layer is blended with the conductive paste for forming the internal electrode, the sintering of the Ni powder is suppressed to a high temperature in the firing process. It is possible to improve the internal electrode coverage and prevent structural deficiencies due to mismatch in shrinkage behavior with the ceramic layer, and to obtain a multilayer ceramic capacitor with desired characteristics and high reliability. Is possible.
なお、上記実施例6では、内部電極形成用の導電性ペーストに、誘電体セラミック層を構成するセラミック粉末と同じセラミック粉末を添加しているが、誘電体セラミック層を構成するセラミック粉末に関係なく、内部電極形成用の導電性ペーストにのみ、本願発明の要件を備えたセラミック粉末を添加するように構成することも可能である。 In Example 6 described above, the same ceramic powder as the ceramic powder constituting the dielectric ceramic layer is added to the conductive paste for forming the internal electrode, but regardless of the ceramic powder constituting the dielectric ceramic layer. The ceramic powder having the requirements of the present invention can be added only to the conductive paste for forming the internal electrodes.
なお、この実施例6の積層セラミックコンデンサの場合、その他の点においても、上記実施例5の積層セラミックコンデンサの場合と同様の効果を得ることができる。 In the case of the multilayer ceramic capacitor of Example 6, the same effects as in the case of the multilayer ceramic capacitor of Example 5 can be obtained in other respects.
なお、上記実施例5および6では積層セラミックコンデンサを例にとって説明したが、本願発明のセラミック粉末は、積層セラミックコンデンサに限らず、積層LC複合部品、多層基板などの種々の積層セラミック電子部品の製造に用いることが可能である。 In Examples 5 and 6 described above, the multilayer ceramic capacitor has been described as an example. However, the ceramic powder of the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and various multilayer ceramic electronic parts such as multilayer LC composite parts and multilayer substrates can be manufactured. Can be used.
本願発明はさらにその他の点においても、上記実施例に限定されるものではなく、水熱反応を行わせる際の具体的な条件、金属元素の有機酸錯体を形成する有機酸の種類、金属元素含有物質のゾルを形成するコロイド粒子の種類、金属元素の種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 The invention of the present application is not limited to the above embodiment in other points as well. Specific conditions for performing the hydrothermal reaction, the type of organic acid forming the organic acid complex of the metal element, and the metal element Various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the type of colloidal particles forming the sol of the contained substance, the type of metal element, and the like.
上述のように、本願発明によれば、表面が添加成分により均質、かつ強固に被覆されたセラミック粉末を効率よく製造することが可能になるとともに、得られるセラミック粉末を用いることにより、信頼性の高い積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を得ることが可能になる。
したがって、本願発明は、セラミック粉末の製造分野、添加成分を含んだセラミック粉末を用いて製造される積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品の製造技術などの分野に広く適用することが可能である。
As described above, according to the present invention, it is possible to efficiently produce a ceramic powder whose surface is uniformly and firmly coated with an additive component, and by using the obtained ceramic powder, reliability can be improved. It becomes possible to obtain a multilayer ceramic electronic component such as a high multilayer ceramic capacitor.
Therefore, the present invention can be widely applied in the fields of ceramic powder manufacturing, manufacturing technology of multilayer ceramic electronic parts such as multilayer ceramic capacitors manufactured using ceramic powder containing additive components, and the like.
1 セラミック粉末(粒子)
1a 中心部
1b 端部
2 コーティング層
11 セラミック素子(電子部品素子)
12a,12b 内部電極
13 セラミック層
14a,14b 端面
15a,15 外部電極
1 Ceramic powder (particles)
DESCRIPTION OF
12a,
Claims (11)
前記混合液を、温度:100℃超と、圧力:0.1MPa超の条件下に、水熱反応を行わせることにより、前記セラミック粉末の表面を前記金属元素含有物質のゲルにより被覆する第2の工程と
を備えることを特徴とする、表面が金属元素含有物質のゲルにより被覆されたセラミック粉末の製造方法。 A first step of preparing a mixed solution in which a suspension of ceramic powder is mixed with an organic acid complex of a metal element and / or a sol of a metal element-containing substance;
Second, the surface of the ceramic powder is coated with the gel of the metal element-containing material by causing a hydrothermal reaction to be performed on the mixed liquid under conditions of a temperature of over 100 ° C. and a pressure of over 0.1 MPa. A method for producing a ceramic powder having a surface coated with a gel of a metal element-containing substance.
(b)前記温度が300℃未満の温度であり、
(c)前記圧力が8.6MPa未満の圧力であること
を特徴とする、請求項1または2記載のセラミック粉末の製造方法。 (a) the main component of the ceramic powder is barium titanate or barium calcium titanate,
(b) the temperature is less than 300 ° C,
(c) The method according to claim 1 or 2, wherein the pressure is less than 8.6 MPa.
前記誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末が用いられていること
を特徴とする積層セラミック電子部品。 A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
A ceramic powder produced by the production method according to any one of claims 1 to 7 is used as the ceramic material for the dielectric ceramic.
前記内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられていること
を特徴とする積層セラミック電子部品。 A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
A multilayer ceramic electronic component, wherein a conductive material containing a ceramic powder produced by the production method according to claim 1 is used as the conductive material for the internal electrode.
前記誘電体セラミック用のセラミック材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末が用いられているとともに、
前記内部電極用の導電材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法により製造されたセラミック粉末を含む導電材料が用いられていること
を特徴とする積層セラミック電子部品。 A multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are laminated via a ceramic layer in a dielectric ceramic,
As the ceramic material for the dielectric ceramic, ceramic powder produced by the production method according to claim 1 is used,
A multilayer ceramic electronic component, wherein a conductive material containing a ceramic powder produced by the production method according to claim 1 is used as the conductive material for the internal electrode.
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