JP2007294059A - Perpendicular recording magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、垂直記録用磁気ヘッドに係り、特に、主磁極と補助磁極を有する垂直記録磁気ヘッドに関する。 The present invention relates to a perpendicular recording magnetic head, and more particularly to a perpendicular recording magnetic head having a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole.
磁気記録再生装置は、磁気記録媒体と磁気ヘッドを備え、磁気記録媒体上のデータは磁気ヘッドによって読み書きされる。磁気記録媒体の単位面積当たりの記録容量を大きくするためには、面記録密度を高める必要がある。しかしながら、現状の面内磁気記録方式では、記録されるビット長が小さくなると媒体の磁化の熱揺らぎの問題が生じ、面記録密度を上げられない問題がある。この問題を解決できる記録方式として、媒体に垂直な方向に磁化信号を記録する垂直磁気記録方式がある。垂直磁気記録方式には、記録媒体として軟磁性の裏打層を備えた二層垂直媒体を用いる方式と、軟磁性裏打層を有さない単層垂直媒体を用いる方式の2種類がある。記録媒体として二層垂直媒体を用いる場合には、主磁極と補助磁極とを備えたいわゆる単磁極ヘッドを用いて記録を行うと、より強い記録磁界を媒体に印加することができる。磁界を出すために、主磁極は浮上面に近づくにつれて体積が小さく絞られるように構成され、浮上面近傍の数百nm以下では幅が一定とされているのが一般的である。主磁極の浮上面形状は、ヘッドにスキュー角がついた場合を考慮して、リーディング側の幅が狭い逆台形形状とするのが一般的である。 The magnetic recording / reproducing apparatus includes a magnetic recording medium and a magnetic head, and data on the magnetic recording medium is read and written by the magnetic head. In order to increase the recording capacity per unit area of the magnetic recording medium, it is necessary to increase the surface recording density. However, in the current in-plane magnetic recording system, if the recorded bit length is small, there is a problem of thermal fluctuation of magnetization of the medium, and there is a problem that the surface recording density cannot be increased. As a recording system that can solve this problem, there is a perpendicular magnetic recording system that records a magnetization signal in a direction perpendicular to the medium. There are two types of perpendicular magnetic recording methods: a method using a double-layered perpendicular medium having a soft magnetic backing layer as a recording medium and a method using a single-layer perpendicular medium having no soft magnetic backing layer. When a double-layer perpendicular medium is used as the recording medium, a stronger recording magnetic field can be applied to the medium by performing recording using a so-called single-pole head having a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole. In order to generate a magnetic field, the main magnetic pole is configured such that the volume is reduced as it approaches the air bearing surface, and the width is generally constant at several hundred nm or less near the air bearing surface. The air bearing surface shape of the main pole is generally an inverted trapezoidal shape with a narrow width on the leading side in consideration of the case where the head has a skew angle.
記録ヘッド磁界の強度と共に記録ビットセルの境界を記録するヘッド磁界垂直成分プロファイルにおける磁界勾配、すなわち、ヘッド走行方向のヘッド磁界垂直成分プロファイルの磁界勾配も、高い記録密度を実現するための重要な要素である。今後、更に高い記録密度を達成するためには、更に磁界勾配を増大しなければならない。特許文献1には、記録磁界勾配を向上させるために、主磁極のトレーリング側及びトラックサイド側に非磁性層を介してトレーリングサイドシールドを配置する構造が記載されている。
The magnetic field gradient in the head magnetic field vertical component profile that records the boundary of the recording bit cell together with the recording head magnetic field strength, that is, the magnetic field gradient in the head magnetic field vertical component profile in the head running direction is also an important factor for realizing a high recording density. is there. In the future, in order to achieve a higher recording density, the magnetic field gradient must be further increased.
磁気ヘッドの記録磁界、分布は記録媒体に合わせて適正化しなければならない。磁界強度、分布は、スロートハイトに大きく依存する。スロートハイトとは、主磁極のポールチップにおいて、媒体に対向してトラック幅を規定する先端部分に磁束を集中させるために、媒体対向面から素子高さ方向に向かってトラック幅方向の磁極幅の変化の割合が変化する位置(絞り位置)までの媒体対向面からの長さである。スロートハイトが小さい場合、磁界強度が大きくトラック幅方向の分布幅も大きくなる。スロートハイトが大きい場合、磁界強度が小さくなり、トラック幅方向の磁界分布幅も小さくなる。磁界強度が小さい場合、保磁力の大きな媒体に記録できなくなる。トラック幅方向の分布幅が大きい場合、隣接トラックのデータを消去してしまう問題がある。
さらに、高密度化を実現するためには、線記録密度を高めると共に、トラック密度を高めることが不可欠である。そのためには、記録トラック幅を小さくする必要があり、サイドシールド構造ヘッドなどが提案されている。この構造においては、サイドシールドと主磁極の間隔いわゆるサイドギャップ、およびサイドシールドの膜厚が重要となる。
The recording magnetic field and distribution of the magnetic head must be optimized according to the recording medium. The magnetic field strength and distribution greatly depend on the throat height. The throat height is the pole width in the track width direction from the medium facing surface toward the element height direction in order to concentrate the magnetic flux at the tip of the pole tip of the main pole, which faces the medium and defines the track width. This is the length from the medium facing surface to the position (aperture position) where the rate of change changes. When the throat height is small, the magnetic field strength is large and the distribution width in the track width direction is also large. When the throat height is large, the magnetic field strength is small, and the magnetic field distribution width in the track width direction is also small. When the magnetic field strength is small, recording on a medium having a large coercive force is impossible. When the distribution width in the track width direction is large, there is a problem that data on adjacent tracks is erased.
Further, in order to realize a high density, it is indispensable to increase the linear recording density and the track density. For this purpose, it is necessary to reduce the recording track width, and a side shield structure head has been proposed. In this structure, the so-called side gap between the side shield and the main pole, and the film thickness of the side shield are important.
スロートハイト、サイドシールドの寸法公差は非常に重要となり、製造バラツキを抑えることが高密度化への課題である。このバラツキは性能の劣化、歩留まりの低化をもたらす。スロートハイト、サイドシールドの膜厚などはウエハープロセスにおいても、浮上面を研磨する加工工程においてもバラツキが生じる要因が存在する。
以上のことから、磁界強度、分布のバラツキを小さくすることは、磁気ヘッドの性能、製造歩留まりを向上させる上で必須である。この問題は、垂直磁気記録を用いた磁気ディスク装置のさらなる高記録密度化を実現するために解決しなくてはならない課題である。
本発明の目的は、磁界強度、分布の製造バラツキによる寸法依存性が小さい垂直記録磁気ヘッドを提供することである。
The dimensional tolerances of the throat height and side shield are very important, and suppressing manufacturing variation is a challenge for higher density. This variation results in performance degradation and yield reduction. The throat height, the thickness of the side shield, and the like have factors that cause variations in both the wafer process and the processing step for polishing the air bearing surface.
From the above, it is indispensable to reduce the magnetic field strength and the variation in distribution in order to improve the performance and manufacturing yield of the magnetic head. This problem is a problem that must be solved in order to achieve a higher recording density of a magnetic disk device using perpendicular magnetic recording.
An object of the present invention is to provide a perpendicular recording magnetic head having small dimensional dependence due to manufacturing variations in magnetic field strength and distribution.
本発明による垂直記録磁気ヘッドは、主磁極と補助磁極とを備え、主磁極は、記録トラック幅を規定するポールチップと、ポールチップより素子高さ方向に後退したヨーク部とを有し、ポールチップのトレーリング側とトラック幅方向側に磁界勾配を急峻にするための磁性体(トレーリング/サイドシールド)を有し、主磁極とサイドシールドの間隔(サイドギャップ長)が浮上面から素子高さ方向に向かって小さくなる構造をとる。 A perpendicular recording magnetic head according to the present invention includes a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole, and the main magnetic pole has a pole tip that defines a recording track width, and a yoke portion that recedes in the element height direction from the pole tip. Magnetic material (trailing / side shield) for steep magnetic field gradient on the trailing side and the track width direction side of the chip, and the distance between the main pole and side shield (side gap length) It has a structure that decreases in the vertical direction.
前記主磁極の先端部は浮上面から素子高さ方向に所定の距離だけトラック幅に相当する幅を有し、先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、先端部の両側面との間隔が素子高さ方向に向かって小さくなるような角度を有する。 The front end portion of the main pole has a width corresponding to the track width by a predetermined distance from the air bearing surface in the element height direction, and the side surface of the magnetic body facing both side surfaces of the front end portion is opposite to both side surfaces of the front end portion. Have an angle such that the distance between them decreases in the element height direction.
前記磁性体の側面のトラック幅方向に平行な面とのなす角度が104度以上130度以下であることが望ましい。 It is desirable that an angle formed between a side surface of the magnetic body and a surface parallel to the track width direction is 104 degrees or more and 130 degrees or less.
また、前記主磁極の先端部は素子高さ方向に向かってトラック幅方向の幅が広がる形状を有し、先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、トラック幅方向に平行な面に対して直交している構成であっても良い。 The front end of the main pole has a shape in which the width in the track width direction increases toward the element height direction, and the side surface of the magnetic body facing both side surfaces of the front end is a surface parallel to the track width direction. The configuration may be orthogonal to the above.
前記主磁極の先端部のトラック幅方向への広がり角度が、トラック幅方向に平行な面に対して104度以上130度以下であることが望ましい。 The spread angle of the tip of the main magnetic pole in the track width direction is desirably 104 degrees or greater and 130 degrees or less with respect to a plane parallel to the track width direction.
本発明によると、磁界強度、分布のスロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を小さくできるため、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。 According to the present invention, the magnetic field strength, the distribution throat height, and the side shield thickness dependency can be reduced, so that the manufacturing yield can be improved while maintaining the performance of the magnetic head.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下の図においては、同じ機能部分には同一の符号を付して説明する。
図14Aは本発明の垂直記録磁気ヘッドが搭載される磁気ディスク装置の概略構成を示す上面図である。図14Bは、その断面図である。磁気ディスク装置は、モータ28によって回転する磁気ディスク(磁気記録媒体)11上の所定位置に、サスペンション12の先端に固定された磁気ヘッドスライダ13に搭載された磁気ヘッドによって磁化信号の記録再生を行う。ロータリアクチュエータ15を回転駆動することにより、磁気ヘッドの磁気ディスク半径方向の位置(トラック)を選択することができる。磁気ヘッドへの記録信号及び磁気ヘッドからの読み出し信号はヘッドアンプ35a、プリント基板35bに実装されている信号処理回路等にて処理される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same functional parts will be described with the same reference numerals.
FIG. 14A is a top view showing a schematic configuration of a magnetic disk apparatus on which the perpendicular recording magnetic head of the present invention is mounted. FIG. 14B is a cross-sectional view thereof. The magnetic disk device records and reproduces a magnetization signal by a magnetic head mounted on a
図1は第1の実施例による垂直記録磁気ヘッドの主磁極先端部をトレーリング方向からみた摸式図である。図2は浮上面からみた主磁極近傍の模式図である。図2のA−A線断面図が図1である。図3は第1の実施例による垂直記録磁気ヘッドのトラック中心での断面模式図である。図3には、磁気記録媒体11も合わせて示してある。
図3に示すように垂直記録磁気ヘッド10は、主磁極1と補助磁極3とを備えた記録ヘッド(単磁極ヘッド)25と、再生素子7を備えた再生ヘッド24を有する記録再生複合ヘッドである。巨大磁気抵抗効果素子(GMR)やトンネル磁気抵抗効果素子(TMR)などからなる再生素子7は、リーディング側の下部シールド8とトレーリング側の上部シールド9からなる一対の磁気シールド(再生シールド)間に配置されている。主磁極1と補助磁極3とは浮上面から離れた位置でピラー17によって磁気的に接続され、主磁極1、補助磁極3、ピラー17によって構成される磁気回路に薄膜導体コイル2が鎖交している。主磁極1は、補助磁極3のリーディング側に配置されている。主磁極1は、主磁極ヨーク部1Aと、ヘッド浮上面に露出してトラック幅を規定する主磁極先端部(ポールチップ)1Bとから構成されている。
記録ヘッド25の主磁極1から出た磁束は、磁気記録媒体11の磁気記録層19及び軟磁性裏打ち層20を通り補助磁極3に戻る磁束路を形成し、磁気記録層19に磁化パターンを記録する。磁気記録層19と軟磁性裏打ち層20の間には中間層が形成されていても良い。
FIG. 1 is a schematic diagram of the front end portion of the main pole of the perpendicular recording magnetic head according to the first embodiment viewed from the trailing direction. FIG. 2 is a schematic view of the vicinity of the main magnetic pole as seen from the air bearing surface. FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view at the track center of the perpendicular recording magnetic head according to the first embodiment. FIG. 3 also shows the
As shown in FIG. 3, the perpendicular recording
The magnetic flux emitted from the main
図1に示すように、ポールチップ1Bは、浮上面に向かってトラック幅方向の幅が絞られている部分と、素子高さ(スロートハイトTh)位置P2から浮上面位置P1までトラック幅Pwに相当する一定の幅の部分とを有する。図2に浮上面から見たポールチップ1Bの形状を示すが、トラック幅方向の幅がリーディング側よりトレーリング側が広い逆台形形状をしており、トレーリング側の幅でトラック幅Pwが規定される。
図1及び図2に示すように、ポールチップ1Bのトレーリング側及びトラック幅方向に配置された磁性体32,33は、ヘッド走行方向の磁束を吸収し、ヘッド磁界垂直成分プロファイルの磁界勾配を増大するためのトレーリングシールド32、狭トラック化を実現するためにトラック幅方向への磁界漏れを小さくするためのサイドシールド33である。
なお、図3に示したヘッド構造では、補助磁極3を主磁極1のリーディング側に配置したが、図4に示すように補助磁極3は主磁極1のリーディング側に配置しても良い。また、図5に示すように上部シールド9と主磁極1の間にコイルを配置しても良いし、図示はしていないが磁性体を配置しても良い。また、浮上面形状は図6に示すようにサイドシールド33の側面(ポールチップの側面に対向する面)が、逆台形形状のポールチップ1Bの側面に沿って傾斜していても良い。また、図7に示すようにサイドシールド33とトレーリングシールド32が分離されていても良い。また、より大きい磁界強度を得るためにサイドシールドのみの構造でも良い。
As shown in FIG. 1, the
As shown in FIGS. 1 and 2, the
In the head structure shown in FIG. 3, the auxiliary
そして、本実施例の磁気ヘッド10では、図1に示すように、サイドシールド33とポールチップ1Bのスロートハイト部との間隔(サイドギャップ長gl)が、浮上面から素子高さ方向に向かって(浮上面から遠ざかる方向に向かって)小さくなる構造をとる。すなわち、浮上面位置P1におけるサイドギャップ長gl(1)よりも、素子高さ位置P2におけるサイドギャップ長gl(2)が小さくなっている(gl(1)>gl(2))。
In the
上記第1の実施例による垂直記録磁気ヘッド10の記録ヘッド25と、従来構造の記録ヘッドの主磁極より発生する記録磁界を3次元磁界計算により計算した。計算に用いた従来構造の記録ヘッドは、主磁極先端部とサイドシールドとの間隔(サイドギャップ長gl)が一定のものである。計算の条件は以下の通りである。図1に示す第1の実施例による記録ヘッド25のサイドギャップ長glは浮上面位置P1で100nm、素子高さ位置P2で25nmとした。このときサイドシールド33の側面の浮上面と平行な面からの開き角度θは127度である。ポールチップ1Bは、図2に示す形状で、膜厚は200nm、トレーリング側の幅は100nm、リーディング側の幅は44nmとした。ポールチップ1Bとトレーリングシールド32の間隔(トレーリングギャップTg)は40nmとした。
The recording magnetic field generated from the
ポールチップ1Bの材料にはCoNiFeを用い、飽和磁束密度を2.4T、比透磁率を500とした。主磁極1のヨーク部1Aには、飽和磁束密度が1.0Tの80at%Ni−20at%Feを用いた。補助磁極3には、飽和磁束密度が1.0Tの80at%Ni−20at%Feを用い、大きさは、トラック幅方向の幅を30μm、素子高さ方向の長さを16μm、膜厚を2μmとした。上部シールド9、下部シールド8は、飽和磁束密度が1.0Tの80at%Ni−20at%Feを用い、大きさは、トラック幅方向の幅を32μm、素子高さ方向の長さを16μm、膜厚を1.5μmとした。トレーリング/サイドシールド32,33の材料には45at%Ni−55at%Feを用い、飽和磁束密度を1.7T、比透磁率を1000とした。
The material of the
磁気記録媒体11の軟磁性裏打ち層20の材料にはCoTaZrを用い、ヘッド浮上面から軟磁性裏打ち層20の表面までの距離は40nm、軟磁性裏打ち層20の膜厚は150nmとした。記録磁界は、ヘッド浮上面から21nmの磁気記録層19の中心位置で算出した。記録電流値は35mAで、コイルの巻き数は5ターンとした。
サイドギャップ長の大きさが一定な従来構造の記録ヘッドに対しては、サイドシールドの形状以外は、形状、材料ともに上記実施例の記録ヘッドと同様の条件で計算を行った。
CoTaZr was used as the material of the soft
For a recording head having a conventional structure with a constant side gap length, the calculation was performed under the same conditions as the recording head of the above-described embodiment, except for the shape of the side shield.
図8に計算結果を示す。図8は第1の実施例による記録ヘッド25と、従来構造の記録ヘッドの記録磁界強度の最大値を縦軸に、スロートハイトTh、サイドシールド厚さtを横軸にとった図である。本計算ではスロートハイトTh、サイドシールド厚さtは同じ寸法で変化するものとした。図8より第1の実施例による構造の方がスロートハイト、サイドシールド厚さ依存性が小さくなっていることがわかる。スロートハイト、サイドシールド厚さが100nmから50nmまで変化した場合、従来構造の記録ヘッドでは5000(×1000/4π (A/m))変化するのに対して、第1の実施例の記録ヘッドでは4000(×1000/4π (A/m))と小さくなっている。磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが75nmの場合の最大磁界強度での割合で示すと、従来構造の場合においてはスロートハイトThが75nmの場合の最大磁界強度の48%に相当した。一方、第1の実施例の場合は、この値は36%に減少させることができた。主磁極と補助磁極とを有する垂直記録用磁気ヘッドでは、主磁極のスロートハイトThが小さくなると磁界強度が大きくなる。さらに、サイドシールドが設けられた構造においては、サイドギャップ長が小さいほどサイドシールドの磁束を吸い込む能力が大きくなり、トラック幅方向の磁界分布が狭くなる関係にあるためである。また、磁界強度のバラツキの抑制ができたために、同時に磁界勾配のバラツキも抑制することができる。
FIG. 8 shows the calculation results. FIG. 8 is a diagram in which the maximum value of the recording magnetic field strength of the
図9に、トラック幅方向の磁界分布幅を示す。図9の横軸はスロートハイト、サイドシールド厚さ、縦軸は媒体に信号が記録されることを考慮し、媒体の保磁力が5000(×1000/4π (A/m))での磁界分布幅である。従来構造の磁界分布幅の差は190nmもあるのに対して、本実施例の構造では80nmと半分以下に抑制することができている。 FIG. 9 shows the magnetic field distribution width in the track width direction. In FIG. 9, the horizontal axis represents the throat height and the side shield thickness, and the vertical axis represents the magnetic field distribution when the coercive force of the medium is 5000 (× 1000 / 4π (A / m)). Width. While the difference in the magnetic field distribution width of the conventional structure is 190 nm, the structure of this example can be suppressed to 80 nm, which is half or less.
以上の説明のように第1の実施例による記録ヘッドを用いると、磁界強度のバラツキを抑制できるため、オーバーライト特性などのバラツキを抑制することができる。また、磁界勾配のバラツキを抑制できるため、再生分解能特性などのバラツキを抑制することができる。さらに、トラック幅方向の磁界分布幅のバラツキを抑制できるため、実効トラック幅のバラツキを抑制することができる。これらのことにより、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。 As described above, when the recording head according to the first embodiment is used, variations in magnetic field strength can be suppressed, and variations such as overwrite characteristics can be suppressed. In addition, since variations in magnetic field gradient can be suppressed, variations in reproduction resolution characteristics and the like can be suppressed. Furthermore, since the variation in the magnetic field distribution width in the track width direction can be suppressed, the variation in the effective track width can be suppressed. As a result, the manufacturing yield can be improved while maintaining the performance of the magnetic head.
図10に上記第1の実施例において、サイドシールド33の角度θを変化させたときの記録磁界強度の最大値の依存性の結果を示す。図11には磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが75nmの場合の最大磁界強度での割合で示した結果を示す。図10に示すように角度θが大きくなるにつれて磁界強度のバラツキが小さくなり、図11に示すように、スロートハイト、サイドシールド厚さが75nmの場合の最大磁界強度の変化の割合も小さくなることがわかる。また、図12にはサイドシールド33の角度θを変化させた第1の実施例のトラック幅方向の磁界分布幅を示す。角度θが大きくなるにつれて磁界分布幅のバラツキを抑制できていることがわかる。角度θは大きいことが望ましい。ただし、あまり大きいとサイドシールドの効果がなくなるために逆に幅方向の分布を劣化させることになり、好ましくない。また、角度を大きく製造することは困難を伴い、さらに磁性体を鋭角にすることは磁束の集中を引き起こすので望ましくなく、したがって角度θは104度〜127度にするのが望ましく、特に130度程度が望ましい。
FIG. 10 shows the result of the dependency of the maximum value of the recording magnetic field strength when the angle θ of the
上記第1の実施例の計算では、スロートハイト、サイドシールド厚さは同じ値としたが、トレーリングシールド32とサイドシールド33の厚さは異なっても良い。サイドシールド33の厚さtがスロートハイトThより20nm短い場合の検討を行った。磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが75nmの場合の最大磁界強度での割合で示した値は、従来構造の場合においては48%に相当したのに対して、この構造の場合、この値は40%に減少させることができた。
なお、上記第1の実施例は、記録ヘッドと再生ヘッドとを有する複合タイプの垂直記録磁気ヘッドであるが、この構成に限らず、記録ヘッドのみを有する垂直記録磁気ヘッドであっても良い。
In the calculation of the first embodiment, the throat height and the side shield thickness are the same, but the thicknesses of the trailing
The first embodiment is a composite type perpendicular recording magnetic head having a recording head and a reproducing head. However, the present invention is not limited to this configuration, and a perpendicular recording magnetic head having only a recording head may be used.
本発明の第2の実施例による垂直記録磁気ヘッドの主磁極の構造例をトレーリング側から見た平面模式図を図13に示す。主磁極以外の構成は、図3〜図5に示した第1の実施例と同じである。したがって、ここでは第1の実施例との相違点について説明する。浮上面に露出する主磁極1のポールチップ1Bの幅(幾何トラック幅Pw)が絞り位置(素子高さ)P2のトラック幅方向の幅より狭くなっており、かつ、サイドギャップ長glが浮上面位置P1から素子高さP2方向に向かって小さくなっている。すなわち、gl(1)>gl(2)となる。このような構造においても、スロートハイト、サイドシールド厚さが小さい場合には、サイドギャップ長glが小さくトラック幅方向の磁界の広がりを抑制する。また、スロートハイト、サイドシールド厚さが大きい場合には、サイドギャップ長glが前者より大きくなっているため、トラック幅方向の磁界の広がりを抑制する効果が小さくなる。したがって、スロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を小さくすることができ、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。
FIG. 13 is a schematic plan view of an example of the structure of the main pole of the perpendicular recording magnetic head according to the second embodiment of the present invention viewed from the trailing side. The configuration other than the main magnetic pole is the same as that of the first embodiment shown in FIGS. Therefore, here, differences from the first embodiment will be described. The width (geometric track width Pw) of the
1…主磁極、1A…主磁極ヨーク部、1B…ポールチップ、2…薄膜導体コイル、3…補助磁極、7…再生素子、8…下部シールド、9…上部シールド、10…垂直記録磁気ヘッド、11…磁気ディスク、12…サスペンション、13…磁気ヘッドスライダ、15…ロータリアクチュエータ、17…ピラー、19…磁気記録層、20…軟磁性裏打ち層、24…再生ヘッド、25…記録ヘッド、32,33…磁性体(トレーリング/サイドシールド)。
DESCRIPTION OF
Claims (20)
13. The perpendicular recording magnetic head according to claim 12, further comprising a reproducing head provided adjacent to the main magnetic pole or the auxiliary magnetic pole.
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