JP2007268555A - 熱交換器製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 熱交換用プレートを重ね合せることで生じたプレート同士の接触箇所を拡散接合により接合して、隣合うプレートの一体化部分を大幅に増加させ、熱交換用プレートで構成される熱交換器の耐圧強度を大幅に高められる熱交換器製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の熱交換用プレート１０を重ね合せると共に必要最小限度の押圧力を付与した状態とし、プレート同士の本来接触すべき箇所における接触状態を確保した上で、プレートをなす金属の拡散接合が適切に進行する温度条件及び周囲雰囲気条件を与え、プレート同士の接触箇所を拡散接合で一体化させることから、プレス成形されたプレートを用いて、隣合うプレート同士の接合部分が周端縁部分以外にも多数存在して強固に一体化した熱交換器を製造できることとなり、熱交換用流体に対する耐圧強度を高められ、熱交換器の高性能化が図れる。
【選択図】 図６

Description

本発明は金属薄板製の熱交換用プレートを複数並列状態で接合一体化して熱交換器とする熱交換器製造方法に関し、特に、プレス成型された熱交換用プレートを複数重ねた状態でその接触部分同士を強固に一体化して、熱交換器として高圧に耐えうる強度を付与できる熱交換器製造方法に関する。

高温流体と低温流体との間で熱の授受（熱交換）を行わせる熱交換器の使用にあたり、熱伝達率を大きくして熱交換性能を高めたい場合には、従来からプレート式の熱交換器が多く用いられていた。このプレート式の熱交換器は、複数の略板状のプレートを平行に所定間隔で重ね合せ、各プレート間をそれぞれ流路とし、各流路にはプレート一枚おきに高温流体と低温流体を交互に流して、各プレートを介して熱交換させる構造である。

このような従来のプレート式熱交換器においては、プレート間を一定間隔に保つと共に流体の通路部として区画する弾性素材製のガスケットを、各プレート間に配設するのが一般的であったが、ガスケットの耐えうる圧力範囲でしか熱交換用流体を用いることができないという問題があるため、近年、こうしたガスケット等を用いず、所定間隔で配置された金属薄板製の各プレート端部や開口孔周囲を互いに溶接等で直接接合して、各プレートの表裏両側に流体流路となる隙間部を形成しつつプレートを一体化する構成の熱交換器が提案されている。特に本発明者の発明した例が、特開２００３−１９４４９０号公報に開示されている。

ただし、こうした溶接等により形成された前記従来の熱交換器において、重ねたプレート同士の接合は、溶接等の作業上の制約からほとんど周端部のみで行われており、プレートを挟んで流通する熱交換用流体の圧力差が大きくなると各プレートの中央部分等非接合部分の間隔が変化し、熱交換への悪影響だけでなく熱交換器の破損につながるため、使用圧力をそれほど高くはできなかった。
これに対し、積層したプレートの接触部分全体を拡散接合により接合して得られる熱交換器も提案されており、その例が特公昭５４−１８２３２号公報や特開２００３−２６２４８９号公報に開示されている。
特開２００３−１９４４９０号公報 特公昭５４−１８２３２号公報 特開２００３−２６２４８９号公報

従来の熱交換器は前記各特許文献に示される構成となっており、特に前記特許文献２、３に記載の熱交換器の場合、積層されるプレートの接触部分全体を接合するために、変形の起りにくい高い強度を得ることができるが、拡散接合の際、一般に真空炉内で重ねたプレートに熱と共に高い押圧力を加えるため、前記特許文献２の場合では、加えられる圧力に対し変形等しないよう最適化された形状の波板と平らな平板との組合わせとされ、また、前記特許文献３の場合も、伝熱面となる基板の表面にエッチングや機械加工により仕切壁および流れ制御手段を形成したり、別体の仕切壁や流れ制御手段を平らな基板の表面に配置する等、特殊なプレート形状となっていた。

このように熱交換器の主要部分であるプレート形状が限定される前記特許文献２、３に記載の熱交換器に係る技術は、他への応用は難しく、特に、前記特許文献１に記載される熱交換器をはじめとする、全てプレス成形されて積層状態では凸部同士を接触させるプレート式熱交換器用のプレートの接合には、変形等の問題からそのまま適用することはできないという課題を有していた。

本発明は前記課題を解消するためになされたもので、熱交換用プレートを重ね合せることで生じたプレート同士の接触箇所を拡散接合により接合して、隣合うプレートの一体化部分を大幅に増加させ、熱交換用プレートで構成される熱交換器の耐圧強度を大幅に高めて、幅広い熱交換に適応可能な熱交換器を製造できる熱交換器製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る熱交換器製造方法は、所定の凹凸パターンを有する金属製略板状体からなる熱交換用プレートを複数重ねた状態で一体化させて熱交換器を製造する熱交換器製造方法において、各熱交換用プレートが、前記凹凸パターンを有して熱交換用流体と表裏で接触する伝熱面が少なくとも一部に含まれ、且つ複数重ね合せた状態で各熱交換用プレート同士が周端縁の少なくとも一部で当接すると共に、各熱交換用プレート間に一の熱交換用流体の通過部分となる第一隙間部と他の熱交換用流体の通過部分となる第二隙間部とがそれぞれ一つおきに生じる所定形状に、プレス成型により形成されてなり、各熱交換用プレートを所定枚数重ね合せ、重なり合う各プレートの平行度を少なくとも維持可能で且つプレート材質における拡散接合の生じる所定温度に昇温した状態でもプレートが塑性変形しない程度の押圧力をプレート重なり方向に付与し、重ね合せ状態を維持すると共に、隣合うプレート同士で互いにプレートから多数突出する凸部同士及び周端縁部同士を接触させ、少なくともプレート間の各接触部分周囲を、真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とした上で、各プレートを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、プレート同士の単に接触のみで未接合状態にある箇所を拡散接合させるものである。

このように本発明によれば、複数の熱交換用プレートを重ね合せると共に、重ね合せ方向のみから必要最小限度の押圧力を付与した状態とし、プレート同士の本来接触すべき箇所における接触状態を確保した上で、プレートをなす金属の拡散接合が適切に進行する温度条件及び周囲雰囲気条件を与え、隣合うプレート同士の多数の接触箇所を拡散接合で一体化させることにより、プレス成型された一般的な熱交換用プレートを用いて、プレートの成型形状を損わずに、隣合うプレート同士の接合部分が周端縁部分以外にも多数存在して、重なり合う各プレートが強固に一体化した熱交換器を製造できることとなり、熱交換器各部の熱交換用流体に対する耐圧強度を著しく高められ、導入する熱交換用流体の圧力や熱交換用流体間の圧力差を高めて効率よく熱交換が行える条件を設定でき、熱交換器の高性能化が図れる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、前記各熱交換用プレートを重ね合せる段階で、隣合う熱交換用プレート同士を周端縁部で溶接し、各プレートの重ね合せた位置関係が変化しない一体化状態とし、当該一体化したプレートに対し、少なくともプレート間の各接触部分周囲を、前記真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とした上で、各プレートを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、各プレートの未接合状態にある伝熱面の凸部同士の接触箇所を拡散接合させるものである。

このように本発明によれば、熱交換用プレートを重ね合せて周端縁部をあらかじめ接合一体化し、得られたプレート集合体に対し、プレート同士の未接合の接触部分をさらに拡散接合で一体化させることにより、拡散接合を行う前にあらかじめプレートを一体化して重ね合せ状態を確実に維持でき、複数のプレートの取扱いがまとめて容易に行えると共に、既存の周端縁を溶接するのみの熱交換器製造の後工程として適用することもでき、既存製法の熱交換器におけるプレート全体をさらに強力に一体化でき、耐圧強度を大幅に高めてプレート間の隙間に高い圧力の熱交換用流体を流入させられるなど、熱交換の条件を変えて熱交換効率を向上させられる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、前記各熱交換用プレート同士の溶接で、各プレートを一体化状態とすると共に、前記各第一隙間部に通じる流体流入出用の一の開口部分と前記各第二隙間部に通じる流体流入出用の他の開口部分以外では前記各隙間部が外部から隔離された状態とし、前記一の開口部分に前記第一隙間部に対し流体を供給排出可能な一の流体流路を接続すると共に、前記他の開口部分に前記第二隙間部に対し流体を供給排出可能な他の流体流路を接続した後に、前記第一隙間部から前記一の流体流路を通じて気体を除去して真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態としつつ、前記第二隙間部に前記他の流体流路を通じて高温で所定圧力の不活性ガスを導入して前記第一隙間部より圧力の高い状態とし、各プレートの伝熱面における凸部同士の接触箇所のうち第一隙間部に位置するものを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、拡散接合させる工程と、前記第二隙間部から前記他の流体流路を通じて気体を除去して真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態としつつ、前記第一隙間部に前記一の流体流路を通じて高温で所定圧力の不活性ガスを導入して前記第二隙間部より圧力の高い状態とし、各プレートの伝熱面における凸部同士の接触箇所のうち第二隙間部に位置するものを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、拡散接合させる工程とを有するものである。

このように本発明によれば、プレートの拡散接合しようとする接合面側の隙間部を真空状態又は不活性ガスのみ存在する低圧力状態とし、且つ接合面の反対側の隙間部に高温の不活性ガスを導入して、接合面側の各接触箇所を拡散接合の起りやすい状態とし、この接触箇所が拡散接合されたら、隙間部の環境条件を入替え、プレートの反対面側についても各接触箇所を拡散接合させることにより、各隙間部における圧力を異ならせて接合を行おうとする面側に向けプレートに均等に力が加わることとなり、この面側での接触すべき箇所同士の接触圧力を補強でき、プレートの凹凸形状によらず、プレートにおける接触すべき箇所同士の接触面積を確保して拡散接合をより確実なものとすることができる。また、拡散接合にあたり、一方の隙間部側のみ真空又は低圧力状態にすれば良く、真空脱気すべき空間を減らせることでポンプ負荷を軽減でき、拡散接合工程にかかるエネルギ消費を抑えて熱交換器製造コストを低減できる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、前記熱交換用プレートを重ね合せた状態で、少なくともプレート重なり方向に拡縮変形可能で且つ気体流入出口部を除いて気密を維持可能な容器内に収容し、前記押圧力をプレート重なり方向に付与すると共に前記気体流入出口部から容器内気体を排出した後、気体流入出口部を閉じて、プレート間の各接触部分周囲を含む前記容器内空間を前記真空状態又は前記低圧力状態とするものである。

このように本発明によれば、重ね合された熱交換用プレートを拡縮可能な容器内に入れ、容器内空間から気体を排出して容器内空間全体を真空又は低圧力状態とすることにより、容器の縮変形を伴いつつ確実にプレート間の各接触部分周囲を真空又は低圧力状態とすることができ、拡散接合の信頼性を高められ、プレート同士の接合をより確実なものとすることができる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、前記熱交換用プレートを重ね合せた状態で、各熱交換用プレートのうち重なり方向一端部のプレートを所定の通電加熱用電源における一方の電極に電気的に接続可能とすると共に、重なり方向他端部のプレートを前記電源における他方の電極に電気的に接続可能とし、少なくともプレート間の各接触部分周囲を、真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とした上で、前記重なり方向両端部の各プレートに通電して全ての熱交換用プレートを通電状態とし、各プレートのうち、少なくともプレート同士の単に接触のみで未接合状態にある箇所を、通電加熱により拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、前記未接合箇所を拡散接合させるものである。

このように本発明によれば、重ね合された熱交換用プレートに通電してプレート自体のジュール熱により各プレートを直接昇温させ、拡散接合可能な温度とすることにより、プレート加熱のために拡散接合の行われる空間全体を昇温させずに済み、拡散接合工程にかかるエネルギ消費を抑えて熱交換器製造コストを低減できる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、重ね合せた前記各熱交換用プレートを、各熱交換用プレートの重なり方向外側から、少なくとも熱交換用プレート同士の拡散接合条件では熱交換用プレートとは拡散接合しない材質製で且つ中空構造の冷却板で挟み、当該冷却板とプレート間で熱伝導可能な状態とすると共に、冷却板内部に所定の冷却用流体を供給排出可能な流体流路を接続し、前記熱交換用プレート同士の拡散接合が完了した後、前記真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態を維持したまま、前記冷却板内に冷却用流体を流通させ、各プレート温度を低下させるものである。

このように本発明によれば、重ね合せた熱交換用プレートの外側に冷却板を配置して熱交換用プレートを両側から挟み込んだ状態に配置し、拡散接合完了後、冷却板の中空部に冷却水を流通させてプレートを冷却することにより、一体化したプレートを急速に冷却できることとなり、接合完了後におけるプレート材の性質変化の生じやすい高温状態にある期間をなるべく短縮することができ、不必要な性質の変化を生じさせずに常温状態まで到達させられ、欠陥がなく安定した性能の熱交換器が短時間に得られる。

また、本発明に係る熱交換器製造方法は必要に応じて、前記熱交換用プレートを重ね合せる過程又は重ね合せた状態で、各熱交換用プレート端部の、隣合うプレートの端部と接触する箇所で且つ別の隣合うプレート端部と対向する箇所における、対向するプレート端部間の空隙に、少なくとも熱交換用プレート同士の拡散接合条件では熱交換用プレートとは拡散接合しない材質製のスペーサを配設し、前記空隙を挟む各プレート端部の対向面にそれぞれ前記スペーサを一様に当接させるものである。

このように本発明によれば、重ね合せる各熱交換用プレートにおける端部と別の端部との間の空隙に、熱交換用プレートとは拡散接合しない材質製のスペーサを配設し、前記空隙を挟む各端部の対向面にそれぞれスペーサ表面を一様に当接させ、スペーサでプレート端部を拘束した状態とすることにより、プレート各部が拡散接合を行う際のプレート温度上昇で焼鈍状態となり、端部で変形が生じやすい状況となっても、あらかじめスペーサを配置して変形の余地を無くしていることで端部の変形を防止でき、隣合うプレート端部同士の接触状態を確保して適切に拡散接合を進行させられる。

（本発明の第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態を図１ないし図８に基づいて説明する。図１は本実施形態に係る熱交換器製造方法で製造されたプレート集合体の概略構成図、図２は本実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレート重ね合せ状態説明図、図３は本実施形態に係る熱交換器製造方法におけるカバープレートの重ね合せ状態説明図、図４は本実施形態に係る熱交換器製造方法における冷却板の重ね合せ状態説明図、図５は本実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレートと冷却板との一体化状態説明図、図６は本実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレートの接合用容器への収容状態説明図、図７は本実施形態に係る熱交換器製造方法における拡散接合過程での容器内状態説明図、図８は本実施形態に係る熱交換器製造方法におけるプレートの拡散接合状態説明図である。

前記各図において本実施の形態に係る熱交換器製造方法は、矩形状の金属製略板状体で形成される熱交換用プレート１０を複数重ね合せた状態とした後、重ねたプレート１０の外側にカバープレート１８及び冷却板１９を取付け、この重なり状態を維持した状態で接合用空間となる接合用容器６０内部に入れ、各プレートを拡散温度まで昇温させ、プレート同士の接触部分全てを拡散接合により一体化して、プレート同士が多数の箇所で強固に一体化したプレート集合体１７を得るものである。

前記熱交換用プレート１０は、矩形状の金属薄板を素材とし、所定のプレス装置（図示を省略）で凹凸のある伝熱面１１を略中央部分に成型されると共に、伝熱面１１を囲む外周各辺に各々フランジ部１２を成型される構成である。

前記伝熱面１１は、一方の面に高温の熱交換用流体、他方の面に低温の熱交換用流体がそれぞれ接触して熱伝達を行うのに最適化された凹凸形状、すなわち、所定配置パターンで多数形成される所定隆起形状の凸部１３、及びこの凸部１３間に凸部１３の隆起方向と逆向きに凹んだ凹形状として多数形成される凹部１４を有する領域である。

この伝熱面１１における凹凸パターンは、各部の凹凸位置関係がプレート天地方向（長辺方向）の中心についてちょうど対称となる配置となっており、熱交換用プレート１０に対し同形状の別の熱交換用プレート１０を天地及び表裏を逆にした状態、すなわち、同じ面同士を天地を逆にして重ね合せると、それぞれの凹凸位置が一致することとなり、プレートから突出状態の凸部同士が接触する。この点を除けば、凹凸パターンは、熱伝達特性に優れた波形断面形状や、凝縮水を速やかに排出可能な溝状部分などを有する公知のパターンとなっており、詳細な説明は省略する。

この伝熱面１１上での凸部１３及び凹部１４位置は、それぞれプレートの反対面側において凹部分と凸部分をなしているが、凸部１３の裏側の凹部分と凹部１４、また、凹部１４の裏側の凸部分と凸部１３の各形状は、伝熱面１１全体でそれぞれ同一（表裏対称）又は異なる形状（表裏非対称）のいずれかに統一されており、熱交換の条件により使い分けられる仕組みである。

前記フランジ部１２は、熱交換用プレート１０の端縁に沿って、平坦部分１２ａと、この平坦部分１２ａから略壇状に隆起する隆起部分１２ｂとを有する形状として成型される構成であり、プレート重ね合せの際には隣合うプレートの平坦部分同士、又は隆起部分同士が互いに当接する状態となるものである。そして、隣合うプレートで各プレートの平坦部分１２ａ同士が当接しない部分や、隆起部分１２ｂ同士の当接しない部分が、それぞれプレート間の各隙間部３０、４０に連通する開口部となる。

この熱交換用プレート１０を複数重ね合せた状態では、各伝熱面１１間に一方の熱交換用流体の通過する第一隙間部３０と他方の熱交換用流体の通過する第二隙間部４０とがそれぞれ一つおきに生じる。そして、この重なり合った熱交換用プレート１０における長辺方向両端部には、各第一隙間部３０に対し一方の熱交換用流体を流入出させる一の開口部分としての第一開口部３１が、また、短辺方向両端部には、各第二隙間部４０に対し他方の熱交換用流体を流入出させる他の開口部分としての第二開口部４１がそれぞれ位置する状態となる。各開口部３１、４１の位置は、フランジ部１２における平坦部分１２ａと隆起部分１２ｂの配置関係で任意に設定できる。各隙間部３０、４０は、フランジ部１２における接合が完了すると、それぞれ各開口部３１、４１以外では外部に対し水密状態を維持して完全に隔離された状態となる。

前記カバープレート１８は、熱交換器の外殻となる部材であり、十分な強度を備える金属製の厚板とされる構成である。

前記冷却板１９は、内部に冷却用流体としての冷却水が流通可能な中空部を設けた厚板状の部材であり、変形等起りにくい十分な強度を有しており、ボルト１９ａによる締結で熱交換用プレート１０の変形やずれを抑えるガイドの役割を果す構成である。

次に、本実施の形態に係る熱交換器製造方法による製造工程について説明する。前提として、熱交換用プレート１０はチタン製とし、あらかじめ前工程で、素材のチタン薄板に対するプレス装置によるプレス成型がなされ、成型された熱交換用プレート１０がプレス装置から搬出されて、本工程に送られているものとする。また、熱交換用プレート１０の伝熱面１１における凸部１３の裏側の凹部分形状は凹部１４と、また、凹部１４の裏側の凸部分形状は凸部１３と、それぞれ同一形状となっているものとする。

はじめに、二つの熱交換用プレート１０を、一方の面同士を向い合わせる形で重ね合せる。続いて、重ね合せた熱交換用プレート１０に対し、他の熱交換用プレート１０を、他方の面同士を向い合わせる形で重ね合せ、さらに、重ね合せた熱交換用プレートに別の熱交換用プレート１０を、一方の面同士を向い合わせる形で並列に重ね合せ、その後同様の重ね合せ手順を繰返していく。新たに重ねられる熱交換用プレート１０は、その直前に重ねられた熱交換用プレートに対して常に天地及び表裏を逆にした状態で重ね合されることとなり、直前の一つ前に重ねられた熱交換プレートとは同じ向きとなる。こうして一枚おきに他と天地及び表裏を逆にした状態としながら、プレート集合体１７を構成する所定枚数だけ重ね合せることとなる。

この熱交換用プレート１０を重ね合せる過程で、各熱交換用プレート１０におけるフランジ部１２の平坦部分１２ａと別の平坦部分１２ａとの間が空隙となる箇所には、熱交換用プレート１０同士の拡散接合条件では熱交換用プレート１０とは拡散接合しない所定材質製のスペーサ１６を、平坦部分１２ａ間に挟むようにして配設し、前記空隙を挟む各平坦部分１２ａの対向面にそれぞれスペーサ１６表面を一様に当接させておく。これにより、プレートのプレス成型により変形している箇所が拡散接合を行う際のプレート温度上昇で焼鈍状態となり、平坦部分１２ａ等の端部で変形が生じやすくなるのに対して、あらかじめスペーサを配置して変形の余地を無くすことで平坦部分１２ａの変形を防止可能となり、隣合う平坦部分１２ａ同士の接触状態を確保して適切に拡散接合させることができる。なお、スペーサ１６は熱交換用プレート１０を全て重ね合せた状態において前記空隙にそれぞれ挿入して配設することもできる。

重ねられて隣合う熱交換用プレート１０においては、フランジ部１２同士が平坦部分１２ａ又は隆起部分１２ｂで互いに当接すると共に、伝熱面１１のうち相対するプレート側へ突出している凸部１３同士が互いに接触し、こうした接触部分以外で熱交換用プレート１０は互いに所定間隔を維持して対向する状態となる。

この重ね合された熱交換用プレート１０のうち、一方の面同士が向い合う部位では、互いの伝熱面１１に挟まれる隙間が第一隙間部３０をなすと共に、長辺方向端部（各短辺位置）のフランジ部１２における隆起部分１２ｂ同士互いに接触せず空隙を生じている部分が、それぞれこの第一隙間部３０に連通する第一開口部３１となる（図１参照）。

また、熱交換用プレート１０のうち、他方の面同士が向い合う部位では、互いの伝熱面１１に挟まれる隙間が第二隙間部４０をなすと共に、短辺方向端部（各長辺位置）のフランジ部１２における平坦部分１２ａ同士互いに接触せず空隙を生じている部分（スペーサ１６配設箇所）が、それぞれこの第二隙間部４０に連通する第二開口部４１となる（図１参照）。

熱交換用プレート１０をプレート集合体１７の構成枚数分重ね合せたら、この重ね合せた熱交換用プレート１０のプレート重なり方向の両端にカバープレート１８を重ね合せ、さらにその外側に冷却板１９を重ね合せ、ボルト１９ａ及びナット１９ｂで締結して一体に固定する。これにより各プレートに対し法線方向に一様に弱い押圧力（矯正力）が加わり、各プレートの平行度が維持されることとなる。この押圧力は、一旦プレス成型を経ている熱交換用プレート１０が、材質ごとに特有な拡散接合の生じる所定温度（チタンの場合約８００〜９００℃）に達した状態でも、塑性変形を生じない程度の弱い圧力（チタンの場合、約０．５ＭＰａ）とされており、拡散接合に際して熱交換用プレート１０の成型形状が損われることはない。プレートに加わる圧力はボルト１９ａ及びナット１９ｂの締付けトルクで調整される。

さらに、各冷却板１９に管状の流体流路１９ｃを接続して冷却水を流通可能とし、且つ熱交換用プレート１０の重なり方向両端のプレート及び／又はこれらに接する各カバープレート１８を給電線１５により電源（図示を省略）の各極と接続し、各熱交換用プレート１０にその接触部分を通じて通電可能な状態とする。こうして各種付属物と一体化した熱交換用プレート１０を、外部に対し隔離可能な内部空間を空気の除去された真空状態、又は、不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とすることのできる接合用容器６０内に入れ、前記流体流路１９ｃの外部との連通及び給電線１５の接続状態を維持しつつ容器内空間を外部から隔離し、減圧して容器内空間及びプレート間の各隙間部から一旦空気を除去した真空状態、又は、減圧しつつ空気をアルゴン等の不活性ガスと置換えて容器内及び各隙間部に不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とする。

この状態で電源を作動させ、重ね合せた各プレートに給電線１５から所定の電流を流すと、プレート自体から直接発生するジュール熱で各プレートが昇温する通電加熱状態となる。各プレートから突出する凸部１３同士をはじめとする接触部分を昇温させて拡散接合の生じうる所定温度（チタンの場合約８００〜９００℃）に到達させ、締結により所定圧力での接触を保つ中でこの温度状態を約１時間維持して、接触部分を拡散接合により一体化させる。拡散接合に際し、プレート同士の接触は凸部１３等ごく一部に限られるため、接触面圧は大きく、十分に密着する状態となっており、この接触部分での拡散接合は問題なく進行していく。

この拡散接合に先立つプレートの温度上昇に伴い、プレートを塑性変形させるために要する力は徐々に小さくなる、すなわち、プレートは塑性変形しやすくなっていくが、一体に締結された各プレートに加わる圧力は、拡散接合の生じる所定温度の場合でも、プレートに塑性変形を生じない程度の弱い圧力に設定されていることから、プレート形状に変化はなく、隣合うプレート同士が確実に当初の接触部分における接触を維持できる。

熱交換用プレート１０同士の接触部位における拡散接合が完了した後、通電による加熱を停止し、冷却板１９の中空部分に冷却水を流通させ、一体化した熱交換用プレート１０を外側から急冷する。空気と接触してもプレートの性質が変化しない程度の温度まで冷却した後、容器内空間及び各隙間部を真空状態又は低圧力状態から減圧前の圧力まで変化させ、熱交換用プレート１０の一体化したプレート集合体１７を接合用容器６０から取出し、フランジ部１２の平坦部分１２ａ間に配設したスペーサ１６を全て取外せば工程完了となる。

各熱交換用プレート１０が、拡散接合プロセスを経てプレート集合体１７として一体に組合わされた状態では、各開口部３１、４１を除く各プレートの周端縁同士や、伝熱面１１における凸部１３の接触部分がそれぞれ拡散接合で一体化されていることで、プレート１０同士の接合強度が極めて高く、熱交換用流体を高い圧力としたり、二つの熱交換用流体間に高い圧力差を与えたりしたとしても、プレート１０の変形等無く二つの熱交換用流体の間で問題なく熱交換を行わせることができる。

このように、本実施の形態に係る熱交換器製造方法においては、複数の熱交換用プレート１０を重ね合せると共に必要最小限度の押圧力を付与した状態とし、プレート１０同士の本来接触すべき箇所における接触状態を確保した上で、プレートをなす金属の拡散接合が適切に進行する温度条件及び周囲雰囲気条件を与え、隣合うプレート１０同士の多数の接触箇所を拡散接合で一体化させることから、プレス成形された一般的な熱交換用プレート１０を用いて、隣合うプレート同士の接合部分が周端縁部分以外にも多数存在して、重なり合う各プレート１０が強固に一体化した熱交換器を製造できることとなり、熱交換器各部の熱交換用流体に対する耐圧強度を著しく高められ、導入する熱交換用流体の圧力や熱交換用流体間の圧力差を高めて効率よく熱交換が行える条件を設定でき、熱交換器の高性能化が図れる。

なお、前記第１の実施形態に係る熱交換器製造方法において、冷却板１９に冷却水を流通させるのは拡散接合完了後のプレート冷却時のみとする構成としているが、これに限らず、冷却板１９やカバープレート１８を通じて熱交換プレート１０に通電する場合、すなわち、冷却板１９やカバープレート１８にも電流が流れてそれぞれジュール熱が生じる場合には、熱交換用プレート１０への通電中も冷却板１９に冷却水を流通させる構成とすることもでき、拡散接合時、通電と並行して冷却板１９を冷却して冷却板１９やカバープレート１８の熱による形状変化（歪）を抑えられ、冷却板１９やカバープレート１８とこれらに挟まれた各プレート１０との位置関係を適切に維持してプレート１０同士の接合への悪影響を抑えられる。また、スペーサ１６についても、中空で冷却水を流通可能な構造として、冷却板１９と共に冷却水を流通させてプレート冷却に用いる構成とすることもできる。

（本発明の第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態を図９及び図１１に基づいて説明する。図９は本実施形態に係る熱交換器製造方法における冷却板の重ね合せ一体化状態説明図、図１０は本実施形態に係る熱交換器製造方法における拡散接合過程での容器内状態説明図、図１１は本実施形態に係る熱交換器製造方法におけるプレートの拡散接合過程説明図である。

前記各図において本実施の形態に係る熱交換器製造方法は、前記第１の実施形態同様、熱交換用プレート２０を複数重ねてカバープレート２８及び冷却板２９と共に接合用容器６０に入れ、拡散接合でプレート接触部分同士を一体化する一方、異なる点として、熱交換用プレート２０同士をあらかじめ周端縁部での溶接で複数重ねた状態に一体化したプレート集合体２７として接合用容器に入れ、高温雰囲気による加熱で、プレート中央の伝熱面２１における凸部同士の接触したのみとなっている部位を拡散接合させる構成を有するものである。

前記熱交換用プレート２０は、前記第１の実施形態同様、矩形状の金属薄板を素材とし、所定のプレス装置（図示を省略）で凹凸のある伝熱面２１を略中央部分に成型されると共に、伝熱面２１を囲む外周各辺に各々フランジ部２２を成型される構成である。前記伝熱面２１及びフランジ部２２の形状は前記第１の実施形態の場合と同じであり、詳細な説明は省略する。

この熱交換用プレート２０を複数並列させて一体化したプレート集合体２７の状態では、各伝熱面２１間に一方の熱交換用流体の通過する第一隙間部３０と他方の熱交換用流体の通過する第二隙間部４０とがそれぞれ一つおきに生じる。そして、この一体化した熱交換用プレート２０における長辺方向両端部には、各第一隙間部３０に対し一方の熱交換用流体を流入出させる一の開口部分としての第一開口部３１が、また、短辺方向両端部には、各第二隙間部４０に対し他方の熱交換用流体を流入出させる他の開口部分としての第二開口部４１がそれぞれ位置する状態となる。

次に、本実施の形態に係る熱交換器製造方法による製造工程について説明する。前提として、前記第１の実施形態同様、あらかじめ前工程で素材の金属薄板に対するプレス装置によるプレス成型がなされ、成型された熱交換用プレート２０がプレス装置から搬出されて、本工程に送られているものとする。

まず、熱交換用プレート２０は、同様にして形成された他の熱交換用プレート２０と天地及び表裏を逆にした状態で二つ重ね合され、各長辺位置にあるフランジ部２２の平坦部分２２ａ同士で互いに当接すると共に、伝熱面２１のうち互いに突出する凸部同士が互いに接触し、これら接触部分以外で互いに所定間隔を維持した状態とされる。この重ね合された二つの熱交換プレート２０が、フランジ部２２の平坦部分２２ａの一部を溶接代とする溶接加工により一体化され、プレート組２６となる。このプレート組２６をなす二つの熱交換用プレート２０間の隙間が第一隙間部３０となると共に、各短辺位置のフランジ部２２における隆起部分２２ｂが、互いに当接せず所定間隔で対向することで、それぞれこの第一隙間部３０に連通する第一開口部３１となる。

さらに、プレート組２６は、同様にして形成された他のプレート組２６と重ね合され、隣合うプレート組２６における熱交換用プレート２０のフランジ部２２における隆起部分２２ｂ同士が互いに当接すると共に、伝熱面２１のうち互いに突出する凸部同士が互いに接触し、こうした接触部分以外でプレート組２６は互いに所定間隔を維持した状態とされる。

これらの重ね合されたプレート組２６は、隣合う熱交換用プレート２０の当接する隆起部分２２ｂ端部を溶接され、一体化される。プレート組２６が一体化された状態では、プレート組２６間の隙間が第二隙間部４０をなすと共に、フランジ部２２における各長辺位置の当接しない平坦部分２２ａに挟まれた空隙部分がそれぞれこの第二隙間部４０に連通する第二開口部４１となる。前記同様にプレート組２６同士の溶接を繰返して、最終的に全てのプレート組２６を一体化するとプレート集合体２７となる。

一体のプレート集合体２７が得られたら、このプレート集合体２７におけるプレート重なり方向の両端にカバープレート２８を重ね合せ、さらにその外側に冷却板２９を重ね合せ、ボルトで締結して一体に固定する。これにより各プレートに対し法線方向に一様に弱い押圧力（矯正力）が加わり、各プレートの平行度が維持されることとなる。

さらに、各冷却板２９に管状の流体流路２９ｃを接続して冷却水を流通可能とし、且つ各第一開口部３１及び各第二開口部４１にそれぞれ各第一隙間部３０と各第二隙間部４０の減加圧・ガス導入出用の流体流路７１、７２を接続した状態とする。こうして各種付属物と一体化したプレート集合体２７を、前記第１の実施形態同様、内部空間を真空状態又は低圧力状態とすることのできる接合用容器６０内に入れ、各流体流路の外部との連通を維持しつつ容器内空間を外部から隔離し、減圧して容器内空間から一旦空気を除去した真空状態、又は、減圧しつつ空気をアルゴン等の不活性ガスと置換えて容器内に不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とする。同時に、プレート間の各隙間部についても、流体流路を通じて一旦空気を除去した真空状態、又は、減圧しつつ空気を不活性ガスと置換えて各隙間部に不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とする。

続いて、第一隙間部３０における真空状態又は低圧力状態を維持したまま、第二隙間部４０に第二開口部４１及び前記他の流体流路７２を通じて高温で所定圧力の不活性ガスを導入して、第一隙間部３０より２０〜１００ｋＰａ程度圧力の高い状態とし、第一隙間部３０を挟む各プレートを昇温させつつ互いに近付こうとする向きに加圧する（図１１（Ａ）参照）。こうして、各プレートの伝熱面２１における凸部同士の接触箇所のうち第一隙間部３０に位置するものについて、その当接状態を接触面圧が２〜５ＭＰａとなるよう強力に支持しながら拡散接合の生じる所定温度（チタンの場合約８００〜９００℃）に到達させ、さらにこの温度を所定時間維持して、接触箇所を拡散接合させる。

この第一隙間部３０に位置する凸部同士の接触箇所の拡散接合が完了したら、第二開口部４１及び他の流体流路７２を通じて第二隙間部４０から内部の気体を除去し、第二隙間部４０を真空状態又は低圧力状態とした後、新たに第一開口部３１及び一の流体流路７１を通じて第一隙間部３０に高温で所定圧力の不活性ガスを導入して、第二隙間部４０より圧力の高い状態とし、第二隙間部４０を挟む各プレートを加熱しつつ互いに近付こうとする向きに加圧する（図１１（Ｂ）参照）。前記第一隙間部３０側と同様、第二隙間部４０に位置する凸部同士の接触箇所について、その当接状態を強力に支持しながら拡散接合の生じる温度とし、この状態を所定時間維持して接触箇所を拡散接合させる。

こうして熱交換用プレート２０同士の拡散接合が完了した後、高温のガスを排出して容器内空間及び各隙間部を真空状態又は低圧力状態で且つ非加熱状態とすると共に、冷却板２９の中空部分に外部から冷却水を流通させ、一体化したプレート集合体２７を外側から急冷する。空気と接触してもプレートの性質が変化しない程度の温度まで冷却した後、容器内空間及び各隙間部を真空状態又は低圧力状態から減圧前の圧力まで変化させ、プレート集合体２７を接合用容器６０から取出せば工程完了となる。

熱交換用プレート２０からなるプレート集合体２７が、拡散接合プロセスを経た状態では、各開口部３１、４１を除く周端縁同士の溶接部分に加えて、伝熱面２１における凸部の接触部分もそれぞれ拡散接合によって一体化されていることで、前記第１の実施形態同様、プレート２０同士の接合強度が極めて高く、熱交換用流体を高い圧力としたり、二つの熱交換用流体間に高い圧力差を与えたりしたとしても、プレート２０の変形等無く二つの熱交換用流体の間で問題なく熱交換を行わせることができる。

このように、本実施の形態に係る熱交換器製造方法においては、熱交換用プレート２０を重ね合せて周端縁部をあらかじめ接合一体化し、得られたプレート集合体２７に対し、プレート同士の未接合の接触部分をさらに拡散接合で一体化させることから、拡散接合を行う前にあらかじめプレートを一体化して重ね合せ状態を確実に維持でき、複数のプレートの取扱いがまとめて容易に行えると共に、既存の周端縁を溶接するのみの熱交換器製造の後工程として適用することもでき、既存製法の熱交換器におけるプレート全体をさらに強力に一体化でき、耐圧強度を大幅に高めてプレート間の隙間に高い圧力の熱交換用流体を流入させられるなど、熱交換の条件を変えて熱交換効率を向上させられる。

なお、前記第２の実施形態に係る熱交換器製造方法においては、拡散接合を行う前の段階で各熱交換用プレート２０同士を周端縁における溶接で一体化する構成としているが、これに限らず、溶接の代りに、拡散接合の際に接合用容器６０内で到達させる最高温度以上の融点となる金属ろうを用いたろう付けで熱交換用プレート２０同士を接合、一体化する構成とすることもできる。

また、前記第１及び第２の各実施形態に係る熱交換器製造方法において、複数接合一体化する熱交換用プレート１０、２０としては、熱交換用流体流入出用の開口部３１、４１が周縁部に配置される熱交換器構造に対応した孔無しタイプの熱交換用プレートを用いる構成としているが、これに限らず、接合対象の熱交換用プレートには、ガスケットを介してプレートを重ね合せる一般的なプレート式熱交換器のプレート同様、プレート上に熱交換用流体を通過させる部分としての開口孔が穿設されたものを用いる構成としてもよく、従来溶接等による接合が困難であった開口孔周囲部分も、隣合うプレート同士の接触部分となる凸部分を開口孔周縁部に連続的に配置すれば、確実に拡散接合により水密維持状態で一体化させられ、流路としての機能を果す構造が得られることとなり、問題なく熱交換器を製造できる。

また、前記第１及び第２の各実施形態に係る熱交換器製造方法において、前記第１の実施形態における全ての接合部分を拡散接合する例で、プレートの加熱に通電加熱を用い、また、前記第２の実施形態における周端縁部をあらかじめ溶接した例で、プレートの加熱に高温ガスによる方法を用いる構成としているが、これに限らず、全ての接合部分を拡散接合する例で高温ガスによる加熱など、通電加熱以外の方法を用いたり、周端縁部をあらかじめ溶接した例で通電加熱等、高温ガスによる加熱以外の方法を用いたりすることもできる。

また、前記第１及び第２の各実施形態に係る熱交換器製造方法においては、重ね合せた複数枚の熱交換プレート１０、２０を外部に対し隔離可能な内部空間を備える接合用容器６０内に入れ、この接合用容器６０の内部空間を空気の除去された真空状態、又は、不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とし、プレート接触部分周囲の真空状態又は低圧力状態を得た上で、プレートの加熱、拡散接合を行う構成としているが、これに限らず、図１２に示すように、重ね合せた状態の熱交換用プレート３０を、プレート重なり方向に略蛇腹状となって拡縮変形可能な薄い金属製の容器８０内に収容し、プレート重なり方向に押圧力を付与すると共に、気体流入出口部８１を除いて気密を維持可能な容器８０内から気体流入出口部８１を通じて容器内気体を排出した後、気体流入出口部８１を閉じ、容器８０内空間を真空状態又は低圧力状態とした上でプレートの加熱、拡散接合を行う構成とすることもでき、容器８０の縮変形を伴いつつ確実にプレート間の各接触部分周囲を真空又は低圧力状態とすることができ、拡散接合の信頼性を高められ、プレート同士の接合をより確実なものにできると共に、容器８０内空間から気体を排出して真空状態又は低圧力状態とするポンプの負荷を小さくしてより低出力、低コストのポンプを使用することができ、拡散接合工程に係るコストを抑えられる。なお、容器８０外側には、前記第１の実施形態同様に管状の流体流路３９ｃを接続されて冷却水を流通可能とされる各冷却板３９が配設されると共に、熱交換用プレート３０の重なり方向両端のプレートと接続されてプレートを通電加熱可能な状態とする給電線３５が気密状態を維持した状態で引出されており、容器８０内を真空又は低圧力状態とした後、各プレートに給電線３５から所定の電流を流して通電加熱状態とし、拡散接合を起させることができる。拡散接合完了後は、前記第１の実施形態同様、通電による加熱を停止し、冷却板３９の中空部分に冷却水を流通させ、一体化した熱交換用プレート３０を容器８０を介して外側から急冷することとなる。

図１２に示すように、熱交換用プレート３０の重なり方向を上下方向とし、冷却板３９をプレート上下に配置する場合、上側の冷却板３９を容器８０内の重ね合せた状態の熱交換用プレート３０に対し接合のための押圧力を付与する加重部分として使用することもできる。ただし、拡散接合の際のプレートの向きはこれに限らず、熱交換用プレート３０の重なり方向が横方向となる支持状態で拡散接合工程を実施してもかまわない。

本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法で製造されたプレート集合体の概略構成図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレート重ね合せ状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法におけるカバープレートの重ね合せ状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法における冷却板の重ね合せ状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレートと冷却板との一体化状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレートの接合用容器への収容状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法における拡散接合過程での接合用容器内状態説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る熱交換器製造方法におけるプレートの拡散接合状態説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る熱交換器製造方法における冷却板の重ね合せ一体化状態説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る熱交換器製造方法における拡散接合過程での接合用容器内状態説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る熱交換器製造方法におけるプレートの拡散接合過程説明図である。 本発明の他の実施形態に係る熱交換器製造方法における熱交換用プレートの容器収容状態説明図である。

符号の説明

１０、２０、３０ 熱交換用プレート
１１、２１ 伝熱面
１２、２２ フランジ部
１２ａ、２２ａ 平坦部分
１２ｂ、２２ｂ 隆起部分
１３ 凸部
１４ 凹部
１５、３５ 給電線
１６ スペーサ
１７、２７ プレート集合体
１８、２８ カバープレート
１９、２９、３９ 冷却板
１９ａ ボルト
１９ｂ ナット
１９ｃ、２９ｃ、３９ｃ 流体流路
２６ プレート組
３０ 第一隙間部
３１ 第一開口部
４０ 第二隙間部
４１ 第二開口部
６０ 接合用容器
７１、７２ 流体流路
８０ 容器
８１ 気体流入出口

Claims (7)

1. 所定の凹凸パターンを有する金属製略板状体からなる熱交換用プレートを複数重ねた状態で一体化させて熱交換器を製造する熱交換器製造方法において、
   各熱交換用プレートが、前記凹凸パターンを有して熱交換用流体と表裏で接触する伝熱面が少なくとも一部に含まれ、且つ複数重ね合せた状態で各熱交換用プレート同士が周端縁の少なくとも一部で当接すると共に、各熱交換用プレート間に一の熱交換用流体の通過部分となる第一隙間部と他の熱交換用流体の通過部分となる第二隙間部とがそれぞれ一つおきに生じる所定形状に、プレス成型により形成されてなり、
   各熱交換用プレートを所定枚数重ね合せ、重なり合う各プレートの平行度を少なくとも維持可能で且つプレート材質における拡散接合の生じる所定温度に昇温した状態でもプレートが塑性変形しない程度の押圧力をプレート重なり方向に付与し、重ね合せ状態を維持すると共に、隣合うプレート同士で互いにプレートから多数突出する凸部同士及び周端縁部同士を接触させ、
   少なくともプレート間の各接触部分周囲を、真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とした上で、各プレートを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、プレート同士の単に接触のみで未接合状態にある箇所を拡散接合させることを
   特徴とする熱交換器製造方法。
2. 前記請求項１に記載の熱交換器製造方法において、
   前記各熱交換用プレートを重ね合せる段階で、隣合う熱交換用プレート同士を周端縁部で溶接し、各プレートの重ね合せた位置関係が変化しない一体化状態とし、
   当該一体化したプレートに対し、少なくともプレート間の各接触部分周囲を、前記真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態とした上で、各プレートを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、各プレートの未接合状態にある接触箇所を拡散接合させることを
   特徴とする熱交換器製造方法。
3. 前記請求項２に記載の熱交換器製造方法において、
   前記各熱交換用プレート同士の溶接で、各プレートを一体化状態とすると共に、前記各第一隙間部に通じる流体流入出用の一の開口部分と前記各第二隙間部に通じる流体流入出用の他の開口部分以外では前記各隙間部が外部から隔離された状態とし、
   前記一の開口部分に前記第一隙間部に対し流体を供給排出可能な一の流体流路を接続すると共に、前記他の開口部分に前記第二隙間部に対し流体を供給排出可能な他の流体流路を接続した後に、
   前記第一隙間部から前記一の流体流路を通じて気体を除去して真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態としつつ、前記第二隙間部に前記他の流体流路を通じて高温で所定圧力の不活性ガスを導入して前記第一隙間部より圧力の高い状態とし、各プレートの伝熱面における凸部同士の接触箇所のうち第一隙間部に位置するものを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、拡散接合させる工程と、
   前記第二隙間部から前記他の流体流路を通じて気体を除去して真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態としつつ、前記第一隙間部に前記一の流体流路を通じて高温で所定圧力の不活性ガスを導入して前記第二隙間部より圧力の高い状態とし、各プレートの伝熱面における凸部同士の接触箇所のうち第二隙間部に位置するものを拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、拡散接合させる工程とを有することを
   特徴とする熱交換器製造方法。
4. 前記請求項１又は２に記載の熱交換器製造方法において、
   前記熱交換用プレートを重ね合せた状態で、少なくともプレート重なり方向に拡縮変形可能で且つ気体流入出口部を除いて気密を維持可能な容器内に収容し、前記押圧力をプレート重なり方向に付与すると共に前記気体流入出口部から容器内気体を排出した後、気体流入出口部を閉じて、プレート間の各接触部分周囲を含む前記容器内空間を前記真空状態又は前記低圧力状態とすることを
   特徴とする熱交換器製造方法。
5. 前記請求項１、２、４のいずれかに記載の熱交換器製造方法において、
   前記熱交換用プレートを重ね合せた状態で、各熱交換用プレートのうち重なり方向一端部のプレートを所定の通電加熱用電源における一方の電極に電気的に接続可能とすると共に、重なり方向他端部のプレートを前記電源における他方の電極に電気的に接続可能とし、
   少なくともプレート間の各接触部分周囲を、前記真空状態又は前記低圧力状態とした上で、前記重なり方向両端部の各プレートに通電して全ての熱交換用プレートを通電状態とし、各プレートのうち、少なくともプレート同士の単に接触のみで未接合状態にある箇所を、通電加熱により拡散接合の生じる所定温度に所定時間維持し、前記未接合箇所を拡散接合させることを
   特徴とする熱交換器製造方法。
6. 前記請求項１ないし５のいずれかに記載の熱交換器製造方法において、
   重ね合せた前記各熱交換用プレートを、各熱交換用プレートの重なり方向外側から、少なくとも熱交換用プレート同士の拡散接合条件では熱交換用プレートとは拡散接合しない材質製で且つ中空構造の冷却板で挟み、当該冷却板とプレート間で熱伝導可能な状態とすると共に、冷却板内部に所定の冷却用流体を供給排出可能な流体流路を接続し、
   前記熱交換用プレート同士の拡散接合が完了した後、前記真空状態又は不活性ガス雰囲気のみ存在する低圧力状態を維持したまま、前記冷却板内に冷却用流体を流通させ、各プレート温度を低下させることを
   特徴とする熱交換器製造方法。
7. 前記請求項１ないし６のいずれかに記載の熱交換器製造方法において、
   前記熱交換用プレートを重ね合せる過程又は重ね合せた状態で、各熱交換用プレート端部の、隣合うプレートの端部と接触する箇所で且つ別の隣合うプレート端部と対向する箇所における、対向するプレート端部間の空隙に、少なくとも熱交換用プレート同士の拡散接合条件では熱交換用プレートとは拡散接合しない材質製のスペーサを配設し、前記空隙を挟む各プレート端部の対向面にそれぞれ前記スペーサ表面を一様に当接させることを
   特徴とする熱交換器製造方法。