JP2007258493A

JP2007258493A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2007258493A
Application number: JP2006081769A
Authority: JP
Inventors: Osamu Ueda; 修上田
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 2006-03-23
Filing date: 2006-03-23
Publication date: 2007-10-04

Abstract

【課題】クリーンノートと同様に、文字や絵を利用した引継ぎ情報を基板処理装置側に保存する。
【解決手段】基板処理装置（半導体製造装置１００）の稼動状態を画面に表示する表示手段（操作端末４）と、前記画面に入力された入力指示に従って制御する制御手段（半導体製造装置コントローラ３）と、を備え、前記表示手段は、前記画面を、手書き入力が可能で前記制御手段に対する出力が禁止された画面に切り替える切り替え手段（制御プログラム）を有する。
【選択図】図５

Description

本発明は半導体製造装置等の基板処理装置に関するものであり、特に、基板処理装置の稼動状態を画面に表示する表示手段を有する基板処理装置に関するものである。

半導体製造工場では、通常、２４時間稼動で生産を行っており、工程毎に数台〜数十台ある半導体製造装置の操作・点検等を数人の作業者が作業時間をローテーションしながら、交代勤務で各半導体製造装置の操作・保守等を行っている。
そのため、前の装置作業者が次の作業者に作業に関する引き継ぎ情報を残す場合は、クリーンノートに手書きでコメントを記入するか、又は、半導体製造装置の操作端末のキーボードによりコメントの入力をして次の作業者が参照できるようにしている。

しかしながら、半導体製造装置に引き継ぎ情報を保存する場合、クリーンノートのように絵や図形を書き込んで説明を補足することができないので、説明不足となってしまう虞がある。
また、複数の半導体製造装置は群管理装置に通信回線を介して接続されているにも拘わらず、引継ぎ情報は、装置作業者が各半導体製造装置の前に移動しなければ参照することができないという問題もある。
そこで、本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーンノートと同様に、文字や絵を利用した情報を基板処理装置に保存可能とすることを目的とする。

第１の手段は、基板処理装置の稼動状態を画面に表示する表示手段と、
前記画面に入力された入力指示に従って制御する制御手段と、を備え、
前記表示手段は、前記画面を、手書き入力が可能で前記制御手段に対する前記入力指示が禁止された画面に切り替える切り替え手段と、
を有し、前記切り替え手段により切り替えられた画面を前記基板処理装置に保存するように構成されたものである。
切り替え手段によって画面が切り替えられると、文字や絵、図形を画面上に入力して表示することが可能となる。また、制御手段への入力指示が禁止されるので、制御手段の制御対象が入力により誤動作する虞もない。また、切り替え手段により切り替えた後の画面上で手書き入力された入力指示はこの画面上で入力情報（文字、絵、図形等）として表示され、この入力情報は画面ファイルとして基板処理装置に保存される。
なお、入力対象が、例えば、基板処理装置の稼動状況を示す画面では、レシピ等の制御パラメータの設定値が入力指示に対応する。

第２の手段は、ある定められた手順により基板に処理を施す基板処理装置と、
前記基板処理装置の稼動状態を画面に表示する表示手段と、
画面上で画面切り替え機能、装置モード切り替え機能、装置停止機能、保存機能の各ボタンを選択的に押下する入力手段とを備えた基板処理システムであって、
前記画面を、前記入力手段からの入力を前記ボタンの押下のみについて受け付ける受付け画面から、前記入力手段からの入力指示をそのまま受け付けるタブレット画面に切り替える切り替え手段を有し、
前記タブレット画面では、前記入力手段による入力指示を入力情報として表示するように構成されているものである。
切り替え手段によって画面がタブレット画面に切り替えられると、文字や絵、図形を画面上に入力して表示することが可能となる。タブレット画面で手書き入力された入力指示は、この画面上で入力情報として表示され、この入力情報は画面ファイルとして基板処理装置に保存される。

第３の手段は、ある定められた手順により基板に処理を施す基板処理装置と、
前記基板処理装置の稼動状態を画面に表示する表示手段と、
前記画面に表示された画面切り替え用のボタン又はキーが押下されたときに前記画面を手書き入力が可能で前記制御手段に対する入力指示が禁止されたタブレット画面と前記タブレット画面での入力指示及び保存のための支援キーを表示させる画面とを有する画面に切り替える切り替え手段と、
前記ボタンを押下するための手段であって、前記タブレット画面に入力指示を入力するための入力手段とを備えたものである。

第４の手段は、第１の手段〜第３の手段のいずれかにおいて、
さらに、複数の基板処理装置に群管理装置が接続され、前記切り替え手段により切り替えされた前記タブレット画面上で入力された入力指示であって前記基板処理装置に保存された入力指示を前記郡管理装置で一括管理するように構成したものである。

第５の手段は、基板処理装置の稼動状態を表示手段の画面に表示させる工程と、前記画面を、手書き入力が可能で前記制御手段に対する出力が禁止された画面に切り替える画面切り替え工程と、前記切り替え手段により切り替えられた画面上で情報を入力して前記基板処理装置に保存する工程と、前記基板処理装置に保存された情報を複数の基板処理装置からそれぞれ群管理装置に送信させることにより一括管理させる工程とを含む群管理システムにおける情報管理方法を提供するものである。

第６の手段は、基板処理装置の稼動状態を表示手段の画面に表示させる工程と、前記画面を、入力手段からの入力をボタンの押下のみについて受け付ける受付け画面から、前記入力手段からの入力指示をそのまま受け付けるタブレット画面に切り替える画面切り替え工程と、前記タブレット画面上で情報を入力して基板処理装置毎に保存する工程と、各基板処理装置に保存された情報を各基板処理装置からそれぞれ群管理装置に送信させて一括管理させる工程とを含む群管理システムにおける情報管理方法を提供するものである。

本発明によれば、文字や絵を利用した入力指示を、前記基板処理装置の画面に直接入力することができるので、クリーンノートと同様に、見やすく、分かりやすい入力指示を参照することができる。

本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（IC）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、半導体製造装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の半導体製造装置に適用した場合について述べる。
図１は、本発明に適用される処理装置の斜透視図として示されている。また、図２は図１に示す処理装置の側面透視図である。

図１および図２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の半導体製造装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。

筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。
ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理室２０２が設けられている。処理室２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理室２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給フアンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

次に、本発明にかかる半導体製造装置１００の動作について説明する。
図１および図２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満されることにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理室２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理室２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後は、処理室２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。

図３は本発明の実施の形態に係る群管理システムの解説図である。
図示されように、一台のコンピュータからなる群管理装置（集中管理装置）１にはＬＡＮ２を介して複数台の半導体製造装置１００が接続され、図示しないが各半導体製造装置１００に、それぞれコンピュータからなる半導体製造装置コントローラ３と、基板処理装置の稼動状態をそれぞれ画面に表示する操作端末４とが備えられている。
操作端末４は、半導体製造装置コントローラ３にＬＡＮ５を介して接続されていて通信可能となっている。
図４に示すように、半導体製造装置コントローラ３には、メモリから成る記憶領域６や制御を実行する各種制御手段としてのＣＰＵ７の他、半導体処理の際の処理データを異常時の原因分析用として取得するためのトレースロギング部８と、トレースロギング部８で取得したロギングデータ及び半導体処理のためのレシピやファイル類及び必要なプログラムを格納するためのハードディスク９とが備えられる。
また、半導体製造装置コントローラ３には、ユーザインタフェイスとして、画面表示手段としてのタッチパネル１０と、入力手段としてのキー入力装置１１とが接続されている。

図５は操作端末４の起動時の初期画面と、初期画面から呼び出されるコメント入力画面の一例を示す解説図、図６はコメント入力画面の一例を示す解説図、図７は基板処理装置側の操作端末で実行される制御プログラムの一例を示すフローチャートである。
以下、図３乃至図７を参照して初期画面、コメント入力画面の構成及び画面切り替え、各画面での情報の入力及び保存等について詳述する。
前記群管理装置１、半導体製造装置コントローラ３及び半導体製造装置１００を起動し、半導体製造装置コントローラ３に接続されている操作端末４を起動すると、操作端末４の制御手段としてのＣＰＵ（図示せず）はモード切り替え手段として前記制御プログラムを起動させ、半導体製造装置コントローラ３のハードディスク９に格納されている初期画面を操作端末４に接続されているタッチパネル１０に表示させる。

図５（ａ）に示すように、この初期画面は、画面上部の装置状態表示部１５と、画面下部のタッチキー表示部１６とを備えた画面構成となっている。
起動直後、装置状態表示部１５には、画面上で画面を他の切り替えるためのキーと、半導体製造装置コントローラ３の装置モードを切り替えるためのキー、半導体製造装置コントローラ３を停止するためのキー、初期画面上で入力された入力を保存するためのキー等各種の機能を有するキー（いずれも図示せず）が表示され、前記タッチキー表示部１６には、「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーが表示される。
この「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーは、タッチされた際に、前記初期画面を、手書き入力が可能で前記半導体製造装置コントローラ３に対する入力指示が禁止された画面に切り替えるための入力キーとなっている。

前記制御プログラムは、操作端末４の起動直後に、操作端末４で実行され、まず、半導体製造装置コントローラ３の記憶領域６又はハードディスク９を検索する。
そして、未読のコメントファイル（後述する）がひとつでもあると、「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーを、点滅表示させ、装置作業者に報知するようにプログラムされている。この場合、「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーは、色違いの二種の「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーを、所定時間毎に切り替えることにより点滅される。

制御プログラムは、前記タッチキー表示部１６に「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーを表示させた後は、図７に示すように、コメント入力キー選択待ちのステップＳ１を繰り返し、この繰り返しによりタッチキー表示部１６の「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーがタッチされたかどうかを検出する。

「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーがタッチされず（図７、ステップＳ１、NO）、初期画面に表示されている装置状態表示部１５の操作、例えば、装置状態表示に表示されたレシピ実行キー（図示せず）がタッチされた場合、制御プログラムは、半導体製造装置コントローラ３による割り込み処理を許可し、その後、ステップＳ１のコメント入力キー選択待ちを再開する。

半導体製造装置コントローラ３のＣＰＵ７は、装置状態表示部１５のレシピ実行キーのタッチによりレシピ実行を指示された場合は、前記ハードディスク９に格納されているレシピ（図示せず）を実行する。
レシピには、予め定められた手順（ステップ順）で酸化、アニール、拡散等の処理を実行するためのシーケンスが設定されると共に、シーケンスのステップ毎に半導体製造装置１００を制御するため、前記処理室２０２の温度を所定の温度雰囲気にするためのヒータ温度コントローラ、処理室の排気量の調節により処理室内の圧力を調節するコントローラ、処理室への原料ガス流量を調節するマスフローコントローラ等の原料ガス流量調節コントローラ、ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５やポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８等のメカニズムを制御するコントローラ等、各種サブコントローラ（いずれも図示せず）に送信するための設定値がそれぞれ設定されており、各サブコントローラは、温度、圧力、原料ガス流量等、生産条件など前記レシピに設定された設定値に従って制御を実行する。

操作端末４のＣＰＵ２６が前記「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーがタッチされたことを検知すると、前記制御プログラムは、図５（ａ）に示すように、「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーに代えて、前記タッチキー表示部１６に「ＦＲＥＥ」キー、「ＫＥＹＢＯＡＤ」キー、「ＣＯＭＭＥＮＴＬＩＳＴ」キー、「ＵＰＬＯＡＤ」キーを表示させる受付け画面とする。この受付け画面では、前記装置状態表示部１５に表示されたタッチキーのタッチ操作や入力操作が禁止又は無効とされ、タッチキー表示部１６に表示したタッチキーのみのタッチが有効とされて各種キー選択待ち、すなわちこれらのタッチキーがタッチされるまで処理が待機とされる（図７、ステップＳ２）。

前記「ＦＲＥＥ」キー、前記「ＫＥＹＢＯＡＤ」キーは、それぞれＩＮＰＵＴＴＹＰＥ、すなわち、入力タイプを選択するための選択キーとなっている。
操作端末４のＣＰＵ２６が「ＦＲＥＥ」キーのタッチを検知したときは、制御プログラムは、図５（ｂ）に示すように、装置状態表示部１５の画面を、入力手段として図示しないペン型のポインティングデバイス（入力デバイス）を用いて文字や図形を自由に書き込むことができる手書きモードの手書き入力領域に切り替え手書き入力処理を実行する（図７、ステップＳ３）。以下、手書き処理による手書き入力領域をタブレット画面という。

タブレット画面では、文字や図形を自由に書き込むことが可能となるので、装置作業者等は、様々な情報、例えば、メンテナンス情報や日常点検の作業を引継ぎための引継ぎ情報を、絵や図形で書き込むことができる。このように、文字だけでなく、絵や図形を書き込む場合、文字情報と絵や図形の情報が互いを補完するので、単語や簡単な文型の短文でも次の装置作業者に対して正確に伝達することができる。

なお、この手書き入力モードにおいて、制御プログラムは、図６に示すように、タッチキー表示部１６に、訂正モードに切り替えるための「ＥＲＡＳＥ」キーと、入力モードに戻すための「ＰＥＮ」キーとを表示させ、「ＥＲＡＳＥ」キーがタッチされた際に、訂正を行うため、大きさの異なる複数種の消しゴムツールをポップアップウインドウ１７に表示させるようにしている。また、制御プログラムは、タブレット画面１５ａ全体を一度で消去できるようにするため、画面全体を一括で消去する「ＣＬＥＡＲ」キーを表示させる。

装置作業者がタブレット画面１５ａに書き込んだ情報を保存する際は、キー表示部の「ＳＡＶＥ」キーをタッチする。
操作端末４のＣＰＵ２６が「ＳＡＶＥ」キーがタッチされたことを検知すると、制御プログラムは、タブレット画面１５ａに書き込んだ引継ぎ又は伝達情報をコメントファイルとして前記半導体製造装置コントローラ３の記憶領域６又はハードディスク９に格納する。
この場合、制御プログラムは、コメントファイルを、保存形式がイメージ形式（例えば、拡張子がＢＭＰ形式のファイル、拡張子がＴＦＦ形式のファイル）でファイル名を作成日時とするコメントファイルとし、このコメントファイルのファイル名、すなわち、作成日時と同じ作成日時のタッチキーを作成して相互の関連付けを行い、これらを前記半導体製造装置コントローラ３の記憶領域６又はハードディスク９に格納する。

前記「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーのタッチ後、操作端末４のＣＰＵ２６が「ＫＥＹＢＯＡＤ」キーがタッチされたことを検知した場合は、制御プログラムは、前記装置状態表示部１５の画面モードをキー入力モードに切り替えるキーボード入力処理を実行する（図７、ステップＳ４）。このキーボード入力処理では、制御プログラムが、図５（ｃ）に示すように、複数のタッチキーで構成されるソフト上のキーボード１８と、キーボード１８により入力した引継ぎ又は伝達情報を表示させるキー入力画面１５ｂを前記装置状態表示部１５に表示させる。
この場合、キーボード１８としては、例えば、英数字キーの他、半導体処理の分野で用いられる特殊文字のキーを設けたキーマップのものが用いられる。
文字入力モードでも文字のみ、あるいは、キャラクタベースの図形と共に引継ぎ情報又は伝達情報を作成することが可能なので、タブレット画面１５ａと同様に、絵や図形を用いた入力や引継ぎ情報の入力が可能となる。

引継ぎ情報や伝達情報、すなわち、コメント情報（制御以外の入力指示）を保存する場合は、タブレット画面１５ａの場合と同様にタッチキー表示部１６に表示された「ＳＡＶＥ」キーをタッチする。操作端末４のＣＰＵ２６が「ＳＡＶＥ」キーがタッチされたことを検知すると、制御プログラムは、キー入力画面に入力した引継ぎ又は伝達情報をコメントファイルとして前記半導体製造装置コントローラの記憶領域又はハードディスクにアスキー形式で保存する。そして、この場合も、コメントファイルを、コメントファイル作成日時のファイル名で保存すると共に、このコメントファイルを、同じ作成日時のタッチキーと関連付けて前記半導体製造装置コントローラの記憶領域又はハードディスクに格納する。
なお、前記制御プログラムは、前記操作端末４に接続されているハードウエアを検出し、外部のキー入力装置１１が接続されている場合は、キー入力装置１１の入力も許可するようにプログラムされている。

また、操作端末４のＣＰＵ２６が前記「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーのタッチ後、「ＣＯＭＭＥＮＴＬＩＳＴ」キーがタッチされたことを検知すると、前記制御プログラムが、装置状態表示部１５の画面モードを、図5（ｄ）に示すように、リスト一覧画面１５ｃに切り替え、タブレット画面１５ａ又はキー入力画面１５ｂを用いて保存した全てのコメントファイルに関連付けられたタッチキー、すなわち、コメントファイルのファイル名の成日時と同じ日時のタッチキーをハードディスク9から全て検索し、検索した全てのタッチキーを時系列順に並べ替えるコメント一覧表示処理を実行し（図７、ステップＳ５）、前記リスト一覧画面１５ｃに昇順又は降順の時系列順に表示させる。
そして、操作端末４のＣＰＵ２６が作成日時を表示したタッチキーがタッチされると、制御プログラムは、対応するコメントファイルの内容をリスト一覧画面１５ｃ一杯に表示させる。

操作端末４のＣＰＵ２６が前記タッチキー表示部１６の「ＵＰＬＯＡＤ」キーがタッチされると、前記制御プログラムは、半導体製造装置コントローラ3のＣＰＵ７及び送受信部（図示せず）を送信手段として機能させ、前記群管理装置1のメモリ等の記憶領域又はハードディスク（図示せず）に、作成した全てのコメントファイル又は更新されたコメントファイルのみを転送するコメントアップロード処理を実行する（図７、ステップＳ６）。
なお、図５（ｄ）に示すように、制御プログラムは、タッチキー表示部１６に、「ＵＰ（前頁）」キー、「ＤＯＷＮ（次頁）」キーを表示させ、コメントファイルに対応するタッチキーをスクロールさせるようにしたときは、リスト一覧画面１５ｃに表示された全てのコメントファイルを参照することができる。
このようにコメントファイルのファイル名に作成日時を用いると、作業引継ぎ時に、タッチキーの作成日時により、確認できるので引き継ぐべき装置作業者に錯誤なく正確に引き継ぐことができる。
また、このようにコメントファイルそれ自身をタッチキーで表示させるように構成すると、検索キーや検索子を入力する手間がなくなるので、作業が簡単になると共に、検索にかかる時間を省略することができるという利点もある。

なお、引継ぎ情報や伝達情報に対し画面の広さが狭い場合は、前記「ＦＲＥＥ」キー、前記「ＫＥＹＢＯＡＤ」キーによるコメントファイルの作成と、前記「ＳＡＶＥ」キーによるコメントファイルの保存と、前記「ＵＰＬＯＡＤ」キーによるアップロードを繰り返す。
このように、作業者は、半導体製造装置毎に、点検やメンテナンスを実行し、次の装置作業者に引き継ぐべきコメントファイルの作成と保存とを繰り返し、コメントファイルを逐次更新する。

次に、前記群管理装置１によるコメントファイルの参照について説明する。
図５に示すように、群管理装置１には、モニタのための操作端末２０が接続されており、操作端末２０には画面表示手段としてのタッチパネル１２と、キー入力装置１３とが接続されている。
群管理装置１に接続されている操作端末２０を起動すると、操作端末２０のプログラムが起動し、この操作端末２０のＣＰＵ（図示せず）がタッチパネル１２に、初期画面を表示させる。この初期画面には、複数の半導体製造装置のアイコンと各半導体製造装置を区別するための番号が表示される。なお、初期画面は、操作端末２０に搭載されてハードディスク（図示せず）に格納されている。

この初期画面で、装置作業者が複数の半導体製造装置１００のアイコンの中からアイコンを選択してクリックすると、群管理装置１で起動しているプログラムは、群管理装置１の記憶領域又はハードディスク（いずれも図示せず）に格納されているコメントファイルの全てを検索し、図５（ｄ）で説明したリスト一覧画面１５ｃと同じ画面をタッチパネル１２に表示させる。
そして、操作端末２０のＣＰＵがこのリスト画面で最新の日時のファイルをタッチしたことを検知すると、群管理装置１のプログラムがコメントファイルの内容を画面一杯に表示させるので、装置作業者は、群管理装置１側で、各半導体製造装置１００で実施されたコメントファイルを参照することが可能となる。

したがって、群管理装置１側でコメントファイルを参照する場合は、選択した半導体製造装置１００についてのコメントファイル、すなわち、コメント情報を参照できるので、メンテナンスや日常点検データの引継ぎがスムーズなものとなる。
また、全ての半導体製造装置１００についての引継ぎ情報を参照することができるため、引継ぎのための準備を効率よく行うことができる。

［実施形態の効果］
（１）作業者から作業者にメンテナンスや日常点検の作業を引き継ぐ場合、従来より、クリーンノートが用いられていたが、クリーンノートを半導体製造装置ごとに準備し、各半導体製造装置の空きスペースに設けられた保管場所に常備している。クリーンノートは、ページ数に限りがあるため、全ページ記入してしまったら、新しいクリーンノートを準備する必要があり、また、以前の引継ぎ情報を参照する場合もあるため、前に使用していた記入済みのクリーンノートも一緒に保管していくことになる。この場合、保管場所もある程度の余裕を持たせたものとせざるを得ない。
また、記入済みクリーンノートの冊数が増加すると、以前の引継ぎ情報を参照する際も必要な情報を探し出すのに時間と手間がかかってしまう。
これに対して、本実施形態に係る群管理システムでは、半導体製造装置側の操作端末を利用してコメントファイルを半導体製造装置コントローラの記憶領域又はハードディスクに保存するので、クリーンノートやその保管場所を不要とすることができる。
（２）半導体製造装置の操作端末には、装置を操作するための機能に加え、英数字、一部の特殊文字が使用できる程度のテキストエディタ機能を備えている場合があるが、この操作端末を、メンテナンスや日常点検の引継ぎに使用する場合、英語を母国語としている地域では、英語でコメントを入力できるため、入力の際、言語上の問題は生じないが、英語以外を母国語とする地域の作業者に正しく伝わらなくなってしまう場合がある。また、言語に関係なく、文章だけで表現し難い場合もある。また、従来は、引継ぎ情報は、一回分の情報しか保存することができないので、それ以前の引継ぎ情報を参照することもできない。
これに対して、本実施形態に係る群管理システムでは、複数回分の引継ぎ情報を保存することが可能であり、また、タブレット画面にて絵や図形に対する説明文の形で引継ぎ情報を保存できるので、引継ぎ情報や伝達情報を前の装置作業者から次の装置作業者に正確に伝達することができる。また、引継ぎ情報の回数も一回分に制限されず、それ以前の引継ぎ情報を参照することも可能となる。
さらに、引継ぎ情報を群管理装置側で参照できるので、各半導体製造装置の前に移動して引継ぎ情報を参照する作業から装置作業者を開放することができる。

なお、本実施形態では、半導体製造装置コントローラの操作端末からコメントファイルを群管理装置に送信することにより、群管理装置の記憶領域又はハードディスクに格納されているコメントファイルを更新、すなわち、ＵＰＬＯＡＤする説明をしたが、各基板処理装のコメントファイルを、ＬＡＮを介して群管理装置１により吸い上げるようにしてもよい。

また、リスト一覧画面に表示するタッチキーから呼び出すコメントファイルに対して、保存時に、未読状態、既読状態を表す情報を付加しておき、群管理装置の起動プログラムが、前記リスト一覧表示画面に表示させる際に、未読状態のコメントファイルに関連付けられたタッチキーを点滅させるようにしてもよい。このようにすると、未読状態により、引き継がれていないコメントファイルが点滅により明確になり、漏れのない引継ぎ実現される。

また、図５には示していないが、制御プログラムが、前記キー表示部に、「ＣＯＭＭＥＮＴ」キーの操作を無効として事前の状態に戻すキャンセルキーを表示させるようにしてもよい。このようにすると、錯誤により、装置状態表示部の操作を禁止又は無効とした場合でも、元の状態に戻して、半導体処理を実行することが可能となる。

さらに、キー入力モードでは、入力を支援するローマ字入力変換モード又はかな入力変換モードの少なくとも一方を、システムに組み込んで起動することにより、文字入力を支援するようにしてもよいし、多国の言語に対応したマルチフォント（ＵＴＦ−８）を利用して言語の相違を吸収できるシステムとしてもよい。

また、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようのようなガラス基板を処理する装置にも適用できる。また、縦型の処理装置に限定されるものではなく、横型、枚葉式の処理装置にも適用することができる。つまり、本発明は、オペレータが何らかの入力手段（キーボード、操作画面上のタッチボタン、タッチキー等）を用いて入力することによりレシピ等を作成して基板（半導体基板、ガラス基板等）に処理を施す装置であれば、全てについて適用が可能である。また、炉内の処理には直接関係がなく、例えば、酸化、アニール、拡散等にも適用が可能である。

また、本実施形態では、「キー又はボタン」に対してキーを用いた説明をしたがボタンであってもよい。

このように、本発明は、種々の改変が可能であり、本発明はこの改変された発明に及ぶことは当然である。

本発明の実施形態に適用される基板処理装置の一例としての半導体製造装置の斜透視図である。図１に示す半導体製造装置の側面透視図である。本発明の一実施の形態に係る群管理システムの解説図である。本発明の一実施の形態に係る半導体製造装置コントローラと操作端末を示すブロック図である。本発明の一実施の形態に係り、操作端末の起動時に、前記操作端末の初期画面と、初期画面から呼び出されるコメント入力画面の一例を示す解説図である。操作端末のコメント入力画面の一例を示す解説図である。本発明の一実施の形態に係り、初期画面からコメント入力画面に切り替える切り替え手段としての制御プログラムの一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１群管理装置
４操作端末（表示手段）
３半導体製造装置コントローラ（制御手段）
２０操作端末
１００基板処理装置

Claims

基板処理装置の稼動状態を画面に表示する表示手段と、
前記画面に入力された入力指示に従って制御する制御手段と、を備え、
前記表示手段は、前記画面を、手書き入力が可能で前記制御手段に対する前記入力指示が禁止された画面に切り替える切り替え手段を有することを特徴とする基板処理装置。