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JP2007254768A - Soft magnetic powder material, its production method, soft magnetic compact and its production method - Google Patents

Soft magnetic powder material, its production method, soft magnetic compact and its production method Download PDF

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JP2007254768A
JP2007254768A JP2006077035A JP2006077035A JP2007254768A JP 2007254768 A JP2007254768 A JP 2007254768A JP 2006077035 A JP2006077035 A JP 2006077035A JP 2006077035 A JP2006077035 A JP 2006077035A JP 2007254768 A JP2007254768 A JP 2007254768A
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JP
Japan
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iron
soft magnetic
powder particles
iron powder
coating layer
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Application number
JP2006077035A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiharu Iyoda
義治 伊豫田
Kazutoshi Sanada
和俊 真田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toda Kogyo Corp
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Toda Kogyo Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a soft magnetic powder material provided with a coated layer having high barrier properties to the diffusion of elements to iron powder grains, to provide its production method, to provide a soft magnetic compact using the soft magnetic powder material, and to provide its production method. <P>SOLUTION: The soft magnetic powder material is provided with: iron powder grains 1 essentially consisting of iron; and a coated layer 2 essentially consisting of silicon oxide, which is applied to the surface of each iron powder grain 1 by contacting an inorganic silicon-containing compound-added aqueous solution with each iron powder grain, and further, the external layer of the coated layer 2 is coated with a ferrite layer 4. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は軟磁性粉末材料およびその製造方法、軟磁性成形体およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a soft magnetic powder material and a manufacturing method thereof, a soft magnetic molded body and a manufacturing method thereof.

近年の産業機器等の進歩に伴い、軟磁性材料は、従来よりも更に高い透磁率を有することが要望されている。更に、高い透磁率の他に、鉄損等の低減を図るため、高い比抵抗を有することが求められている。これらの要求に対し、これまでに種々の研究が進められ、種々の軟磁性成形体に係る技術が提案されてきた。   With recent advances in industrial equipment and the like, soft magnetic materials are required to have higher magnetic permeability than before. In addition to high magnetic permeability, it is required to have a high specific resistance in order to reduce iron loss and the like. In response to these demands, various studies have been advanced so far, and various techniques relating to soft magnetic molded bodies have been proposed.

特許文献1には、Fe−Al系の鉄系粉末を大気中で熱処理することにより粉末粒子の表面を選択的に酸化し、粉末粒子の表面に比抵抗の高いアルミ酸化物、鉄酸化物の膜を被覆した軟磁性粒子を形成し、その軟磁性粒子の粉末集合体を高温高圧下で成形して高密度の磁芯を製造する技術が開示されている。   In Patent Document 1, the surface of powder particles is selectively oxidized by heat-treating Fe—Al-based iron-based powder in the atmosphere, and aluminum oxide and iron oxide having high specific resistance are formed on the surface of the powder particles. A technique for producing a high-density magnetic core by forming soft magnetic particles coated with a film and molding a powder aggregate of the soft magnetic particles under high temperature and high pressure is disclosed.

特許文献2には、ドラム内に軟磁性金属粒子とソフトフェライトとを装入した状態で機械的に攪拌させてメカノフュージョンを実施することにより、軟磁性金属粒子の表面にソフトフェライト層を機械的に被覆し、その軟磁性金属粒子の粉末集合体をプラズマ活性化焼結することにより磁性コアを製造する技術が開示されている。   In Patent Document 2, the soft ferrite layer is mechanically agitated on the surface of the soft magnetic metal particles by carrying out mechanofusion by mechanically stirring the soft magnetic metal particles and soft ferrite in the drum. And a technique for producing a magnetic core by plasma activated sintering of a powder aggregate of soft magnetic metal particles.

特許文献3には、軟磁性の金属粉末粒子の表面に、高い比抵抗をもつガラス状の酸化物を被覆し、その軟磁性金属粉末粒子の粉末集合体を高温・高圧焼結することにより、軟磁性成形体を製造する技術が開示されている。   In Patent Document 3, the surface of soft magnetic metal powder particles is coated with a glassy oxide having a high specific resistance, and the powder aggregate of the soft magnetic metal powder particles is sintered at high temperature and high pressure. A technique for producing a soft magnetic molded body is disclosed.

また、特許文献4には、Fe−Si系の軟磁性粉末粒子の表面にスピネル構造のフェライト層を被覆した複合粉末粒子と、平均粒径100ナノメートルのSiO粉末粒子を0.05〜1.0質量%添加して混合した混合粉末を形成し、その後、混合粉末から圧粉体を形成し、その後、圧粉体を焼結する製造方法が開示されている。 Further, in Patent Document 4, 0.05 to 1 composite powder particles in which the surface of Fe-Si based soft magnetic powder particles is coated with a ferrite layer having a spinel structure and SiO 2 powder particles having an average particle diameter of 100 nanometers. A manufacturing method is disclosed in which a mixed powder is formed by adding 0.0% by mass, a green compact is then formed from the mixed powder, and then the green compact is sintered.

また、特許文献5には、軟磁性粉末粒子の表面に被覆層を形成した複合粉末粒子を形成し、その後、複合粉末粒子と粉末状のフェライト材とを混合分散させた混合粉末を形成し、その後、混合粉末から圧粉体を形成し、圧粉体を焼結する複合焼結材料の製造方法が開示されている。   Further, in Patent Document 5, composite powder particles in which a coating layer is formed on the surface of soft magnetic powder particles are formed, and then mixed powder in which composite powder particles and powdered ferrite material are mixed and dispersed is formed, Thereafter, a method for producing a composite sintered material is disclosed in which a green compact is formed from the mixed powder and the green compact is sintered.

また、特許文献6には、クロムやモリブデンを含有する鉄系粉末にフェライト被膜を形成した軟磁性粒子を形成し、その後、軟磁性粒子の集合体を加圧して圧粉体を形成し、その後、圧粉体を焼結して複合磁性材料を形成する技術が開示されている。
特開平5−326289号公報 特開平5−47541号公報 特開平8−167519号公報 特開2003−306704号公報 特開2005−243794号公報 特開2005−150257号公報
In Patent Document 6, soft magnetic particles in which a ferrite film is formed on iron-based powder containing chromium and molybdenum are formed, and then a compact is formed by pressing an aggregate of the soft magnetic particles, A technique for forming a composite magnetic material by sintering a green compact is disclosed.
JP-A-5-326289 Japanese Patent Laid-Open No. 5-47541 JP-A-8-167519 JP 2003-306704 A JP 2005-243794 A JP 2005-150257 A

上記した各従来技術によれば、軟磁性成形体の比抵抗を高め得るため、交流磁場で使用される場合であっても、軟磁性成形体に発生する渦電流を抑えることができ、ひいては渦電流による損失を抑えることができる。   According to each of the prior arts described above, since the specific resistance of the soft magnetic molded body can be increased, the eddy current generated in the soft magnetic molded body can be suppressed even when the soft magnetic molded body is used, and as a result Loss due to current can be suppressed.

しかしながら、焼結して軟磁性成形体を形成するとき、鉄粉粒子を構成する鉄成分の拡散を無視できない。拡散量が多いと、抵抗が低い物質が鉄粉粒子同士の界面に生成し易い。この場合、軟磁性成形体の目的とする磁気性能が得られにくいという不具合がある。   However, when a soft magnetic molded body is formed by sintering, the diffusion of the iron component constituting the iron powder particles cannot be ignored. When the amount of diffusion is large, a substance with low resistance is likely to be generated at the interface between the iron powder particles. In this case, there is a problem that it is difficult to obtain the intended magnetic performance of the soft magnetic molded body.

殊に、特許文献4に係る技術によれば、鉄粉粒子の外側にSiO(シリカ)粉末粒子が用いられているものの、鉄粉粒子→フェライト層→シリカ粉末粒子の順に並んでいるため、鉄粉粒子とフェライト層との間において相互拡散が生じやすい。このため特許文献4に係る技術によれば、鉄粉粒子とフェライト層との間において、相互拡散が発生し易く、電気抵抗が低い物質が生成するおそれがある。この場合、隣接する鉄粉同士間において渦電流のループが生じ、渦電流損失を増加させるおそれがあり、軟磁性成形体の目的とする磁気性能が得られにくいというおそれがある。 In particular, according to the technique according to Patent Document 4, although SiO 2 (silica) powder particles are used outside the iron powder particles, the iron powder particles → the ferrite layer → the silica powder particles are arranged in this order, Interdiffusion is likely to occur between the iron powder particles and the ferrite layer. For this reason, according to the technique concerning patent document 4, there exists a possibility that a mutual diffusion may generate | occur | produce easily between an iron powder particle and a ferrite layer, and a substance with low electrical resistance may produce | generate. In this case, an eddy current loop occurs between adjacent iron powders, which may increase eddy current loss, and it may be difficult to obtain the intended magnetic performance of the soft magnetic molded body.

本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、元素拡散に対するバリヤ性が高い被覆層を鉄粉粒子の表面に形成することにより、目的とする磁気性能を得るのに有利な軟磁性粉末材料およびその製造方法、軟磁性成形体およびその製造方法を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a soft magnetic powder that is advantageous for obtaining a desired magnetic performance by forming a coating layer having a high barrier property against element diffusion on the surface of iron powder particles. It is an object to provide a material and a manufacturing method thereof, a soft magnetic molded body, and a manufacturing method thereof.

本発明者は軟磁性粒子および軟磁性成形体に関する技術について鋭意開発を進めている。そして、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子の表面に被覆すれば、軟磁性粒子を高温領域に加熱して焼結するときであっても、元素拡散に対するバリヤ性が高い被覆層が得られ、ひいては、鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できること知見し、試験で確認し、本発明を完成した。   The present inventor has been intensively developing technologies relating to soft magnetic particles and soft magnetic compacts. If the surface of the iron powder particles is coated with a coating layer mainly composed of silicon oxide, the coating has a high barrier property against element diffusion even when the soft magnetic particles are heated to a high temperature region and sintered. A layer was obtained, and as a result, it was found that it was possible to suppress the generation of a nonmagnetic substance having a low electrical resistance at the interface between the iron powder particles, which was confirmed by a test to complete the present invention.

(1)即ち、様相1に係る軟磁性粉末材料は、鉄を主成分とする鉄粉粒子と、鉄粉粒子の表面に被覆されシリコン酸化物を主成分とする被覆層とを具備することを特徴とする。被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   (1) That is, the soft magnetic powder material according to aspect 1 includes iron powder particles mainly composed of iron and a coating layer mainly coated with silicon oxide and coated on the surface of the iron powder particles. Features. The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with low electrical resistance is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

(2)様相2に係る軟磁性粉末材料は、鉄を主成分とする鉄粉粒子と、鉄粉粒子の表面に被覆されシリコン酸化物層を主成分とする被覆層と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層と、被覆層に被覆されたフェライト層とを具備しており、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子とフェライト層との間に介在させていることを特徴とする。   (2) The soft magnetic powder material according to aspect 2 is mainly composed of iron powder particles mainly composed of iron, a coating layer coated on the surface of the iron powder particles and mainly composed of a silicon oxide layer, and silicon oxide. It has a coating layer as a component and a ferrite layer coated on the coating layer, and a coating layer mainly composed of silicon oxide is interposed between the iron powder particles and the ferrite layer. And

被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部に拡散することが抑制される。またフェライト層を構成している成分が鉄粉粒子の内部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside. Moreover, it is suppressed that the component which comprises a ferrite layer diffuses into the inside of an iron powder particle. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with low electrical resistance is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

(3)様相3に係る軟磁性粉末材料の製造方法は、鉄を主成分とする鉄粉粒子を用意する第1工程と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子の表面に被覆する第2工程とを順に実施することを特徴とする。   (3) The method for producing a soft magnetic powder material according to aspect 3 includes a first step of preparing iron powder particles mainly composed of iron, and a coating layer mainly composed of silicon oxide on the surface of the iron powder particles. The second step of covering is performed in order.

被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低く透磁率が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with a low electrical resistance and a low magnetic permeability is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

(4)様相4に係る軟磁性粉末材料の製造方法は、鉄を主成分とする鉄粉粒子を用意する第1工程と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子の表面に被覆する第2工程と、シリコン酸化物を被覆した鉄粉粒子にフェライト層を被覆し、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子とフェライト層との間に介在させる第3工程とを順に実施することを特徴とする。   (4) The method for producing a soft magnetic powder material according to aspect 4 includes a first step of preparing iron powder particles mainly composed of iron, and a coating layer mainly composed of silicon oxide on the surface of the iron powder particles. A second step of covering, and a third step of covering the iron powder particles coated with silicon oxide with a ferrite layer and interposing a coating layer mainly composed of silicon oxide between the iron powder particles and the ferrite layer; Are performed in order.

被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部(フェライト層)に拡散することが抑制される。またフェライト層を構成している成分が鉄粉粒子の内部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside (ferrite layer). Moreover, it is suppressed that the component which comprises a ferrite layer diffuses into the inside of an iron powder particle. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with low electrical resistance is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

(5)様相5に係る軟磁性成形体は、上記した様相に係る前記軟磁性粉末材料を主成分とする粉末集合体の粒子が互いに接合されていることを特徴とする。   (5) The soft magnetic molded body according to aspect 5 is characterized in that particles of a powder aggregate mainly composed of the soft magnetic powder material according to the above aspect are bonded to each other.

被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部に拡散することが抑制される。またフェライト層が被覆されている場合には、フェライト層を構成している成分が鉄粉粒子の内部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside. Moreover, when the ferrite layer is coat | covered, it is suppressed that the component which comprises the ferrite layer diffuses inside the iron powder particle. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with low electrical resistance is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

(6)様相6に係る軟磁性成形体の製造方法は、上記した様相に係る軟磁性粉末材料を主成分とする粉末集合体に対して、加圧する操作と加熱する操作とを、同時にまたは時間をずらして行うことにより軟磁性成形体を形成することを特徴とする。これにより軟磁性成形体が得られる。被覆層は元素拡散に対して高いバリヤ性をもつ。このため鉄粉粒子を構成する鉄成分が外部に拡散することが抑制される。またフェライト層が被覆されている場合には、フェライト層を構成している成分が鉄粉粒子の内部に拡散することが抑制される。これにより鉄粉粒子同士の界面において、電気抵抗が低い非磁性物質が生成することを抑制できる。   (6) In the method for producing a soft magnetic molded body according to aspect 6, the operation of pressing and heating the powder aggregate mainly composed of the soft magnetic powder material according to the above aspect is performed simultaneously or for a time. It is characterized in that a soft magnetic molded body is formed by deviating. Thereby, a soft magnetic compact is obtained. The coating layer has a high barrier property against element diffusion. For this reason, it is suppressed that the iron component which comprises an iron powder particle diffuses outside. Moreover, when the ferrite layer is coat | covered, it is suppressed that the component which comprises the ferrite layer diffuses inside the iron powder particle. Thereby, it can suppress that the nonmagnetic substance with low electrical resistance is produced | generated in the interface of iron powder particle | grains.

本発明によれば、元素拡散に対するバリヤ性が高い被覆層を鉄粉粒子の表面に形成することにより、目的とする磁気性能を得るのに有利な軟磁性粉末材料およびその製造方法、軟磁性成形体を提供することができる。   According to the present invention, by forming a coating layer having a high barrier property against element diffusion on the surface of iron powder particles, a soft magnetic powder material advantageous for obtaining a desired magnetic performance, a method for producing the same, and soft magnetic molding The body can be provided.

本発明に係る鉄粉粒子としては、純鉄(Fe)、鉄−アルミニウム系(Fe−Al系)、鉄−シリコン系(Fe−Si系)、鉄−ニッケル系(Fe−Ni系)、鉄−シリコン−アルミニウム(Fe−Si−Al系)、鉄−クロム系(Fe−Cr系)、鉄−コバルト系(Fe−Co系)の少なくとも1種を採用でき、場合によってはアモルファスであっても良い。鉄粉粒子を100%とするとき、質量比で、Cは0.1%以下、殊に0.01%以下とすることができ、Oは0.5%以下、殊に0.1%以下とすることができる。鉄粉粒子としては、水アトマイズ法で製造したものでも良いし、ガスアトマイズ法で製造したものでも良いし、場合によっては、機械的破砕法で製造したものでも良い。   The iron powder particles according to the present invention include pure iron (Fe), iron-aluminum system (Fe-Al system), iron-silicon system (Fe-Si system), iron-nickel system (Fe-Ni system), iron -At least one of silicon-aluminum (Fe-Si-Al system), iron-chromium system (Fe-Cr system), and iron-cobalt system (Fe-Co system) can be used. good. When the iron powder particles are 100%, by mass ratio, C can be 0.1% or less, especially 0.01% or less, and O is 0.5% or less, especially 0.1% or less. It can be. The iron powder particles may be manufactured by a water atomizing method, may be manufactured by a gas atomizing method, or may be manufactured by a mechanical crushing method in some cases.

鉄粉粒子の粒径が過剰に小さいと、満足する磁気時性が得られにくい。鉄粉粒子の粒径が過剰に大きいと、軟磁性成形体を圧縮成形する際に圧縮成形性が低下する。従って、鉄粉粒子の粒径としては10μm〜2000μm、10μm〜1000μm、好ましくは50〜250μm、更に好ましくは100μm〜200μmを採用することができる。   When the particle size of the iron powder particles is excessively small, it is difficult to obtain satisfactory magnetic time. When the particle size of the iron powder particles is excessively large, the compression moldability is lowered when the soft magnetic molded body is compression molded. Therefore, the particle size of the iron powder particles may be 10 μm to 2000 μm, 10 μm to 1000 μm, preferably 50 to 250 μm, and more preferably 100 μm to 200 μm.

フェライト層は、基本的には、鉄酸化物を主成分とする高い電気絶縁性をもつ酸化物層であり、高い比抵抗、高い透磁率を有する。故に、鉄を主成分とする鉄粉粒子の表面にフェライト層が被覆されていれば、高い比抵抗、高い透磁率を発現させるのに有利となる。従って、高周波交流磁場等の交流磁場が作用する用途で使用されるときにおいて、渦電流が小さくなり、渦電流で生じる損失が低減される。   The ferrite layer is basically an oxide layer mainly composed of iron oxide and having high electrical insulation, and has high specific resistance and high magnetic permeability. Therefore, if the surface of the iron powder particles containing iron as a main component is coated with a ferrite layer, it is advantageous to exhibit high specific resistance and high magnetic permeability. Therefore, when used in an application in which an alternating magnetic field such as a high-frequency alternating magnetic field acts, the eddy current is reduced and the loss caused by the eddy current is reduced.

フェライト層としては一般的にスピネル型構造を採用できる。スピネル型構造は結晶磁気異方性が比較的小さいため、透磁率、飽和磁束密度が高い。この場合フェライト層としては、(Fe,M)の組成式をもつ形態を採用できる。Mは鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、マンガン(Mn)、亜鉛(Zn)、銅(Cu)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)の少なくとも1種とすることができる。上記したMがNi、Znのときには、NiZnフェライトとも呼ばれる。フェライト層の厚みは、フェライト層の組成、鉄粉粒子の粒子径等にもよるが、0.01μm〜10μm、殊に0.01μm〜2μm、0.2μm〜1μmとすることができるが、これらに限定されるものではない。 Generally, a spinel structure can be adopted as the ferrite layer. Since the spinel structure has a relatively small magnetocrystalline anisotropy, the permeability and saturation magnetic flux density are high. In this case, a form having a composition formula of (Fe, M) 3 O 4 can be adopted as the ferrite layer. M is at least one of iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), manganese (Mn), zinc (Zn), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), and titanium (Ti) It can be. When M is Ni or Zn, it is also called NiZn ferrite. Although the thickness of the ferrite layer depends on the composition of the ferrite layer, the particle diameter of the iron powder particles, etc., it can be 0.01 μm to 10 μm, particularly 0.01 μm to 2 μm, 0.2 μm to 1 μm. It is not limited to.

フェライト層の厚みが過剰であると、フェライト層を生成する時間が長くなり、工業的生産の面では好ましくない。フェライト層の厚みが過小であると、軟磁性粒子及び軟磁性成形体の所望の比抵抗が得られにくくなり、交流磁場で使用したとき、渦電流で生じる損失が増加するおそれがある。   When the thickness of the ferrite layer is excessive, it takes a long time to form the ferrite layer, which is not preferable in terms of industrial production. If the thickness of the ferrite layer is too small, it becomes difficult to obtain the desired specific resistance of the soft magnetic particles and the soft magnetic compact, and there is a possibility that the loss caused by the eddy current increases when used in an alternating magnetic field.

被覆層はシリコン酸化物(一般的にはSiO)を主成分とする。シリコン酸化物は高い電気絶縁性をもつ。被覆層の厚みとしては、鉄粉粒子の組成やサイズ等にも影響されるが、1〜500ナノメートル、殊に5〜100ナノメートルが例示される。 The coating layer contains silicon oxide (generally SiO 2 ) as a main component. Silicon oxide has high electrical insulation. The thickness of the coating layer is influenced by the composition and size of the iron powder particles, but is exemplified by 1 to 500 nanometers, particularly 5 to 100 nanometers.

本発明に係る軟磁性成形体は、軟磁性粉末材料を主成分とする粉末集合体に対して、加圧する操作と焼結する操作とを、同時にまたは時間をずらして行うことにより形成することができる。この場合、軟磁性粒子の粉末集合体が互いに接合されている。軟磁性成形体を製造するにあたり、上記した軟磁性粒子を主成分とする粉末集合体を用意する工程と、その軟磁性粒子の粉末集合体を加圧成形して互いに結合することにより軟磁性成形体を得る結合工程とを実施することができる。加圧成形としては、成形型加圧方式、静水圧加圧方式(CIP)などを例示できる。加圧力としては鉄粉粒子の種類、加圧成形の温度などによって相違するものの、2.0〜10tonf/cm(≒196〜980MPa)、殊に4.5〜7tonf/cm(≒441〜686MPa)を例示することができるが、これらに限定されるものではない。加圧時間としては鉄粉粒子の種類、加圧成形の温度などによって相違するものの、5〜120秒、殊に10〜60秒を例示することができるが、これらに限定されるものではない。加圧成形の雰囲気としては、大気雰囲気、非酸化性雰囲気(アルゴンガス雰囲気、真空雰囲気等)を例示することができる。 The soft magnetic molded body according to the present invention can be formed by performing a pressing operation and a sintering operation simultaneously or at different times on a powder aggregate mainly composed of a soft magnetic powder material. it can. In this case, the powder aggregates of soft magnetic particles are joined together. In producing a soft magnetic molded body, a step of preparing a powder aggregate mainly composed of the above-mentioned soft magnetic particles, and soft magnetic molding by pressing the powder aggregates of the soft magnetic particles and bonding them together And a binding step to obtain a body. Examples of the pressure molding include a mold pressing system and a hydrostatic pressure system (CIP). The applied pressure varies depending on the type of iron powder particles, the pressure molding pressure, etc., but is 2.0 to 10 tonf / cm 2 (≈196 to 980 MPa), especially 4.5 to 7 tonf / cm 2 (≈441 to 441). 686 MPa) can be exemplified, but is not limited thereto. Although the pressurization time varies depending on the type of iron powder particles, the pressure molding temperature, etc., it can be exemplified by 5 to 120 seconds, particularly 10 to 60 seconds, but is not limited thereto. Examples of the pressure forming atmosphere include an air atmosphere and a non-oxidizing atmosphere (such as an argon gas atmosphere and a vacuum atmosphere).

軟磁性粉末材料の製造方法は、鉄を主成分とする鉄粉粒子を用意する第1工程と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子の表面に被覆する第2工程と、鉄粉粒子の被覆層にフェライト層を被覆し、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を鉄粉粒子とフェライトとの間に介在させる第3工程とを順に実施する。   The method for producing a soft magnetic powder material includes a first step of preparing iron powder particles mainly composed of iron, and a second step of covering a surface of the iron powder particles with a coating layer mainly composed of silicon oxide, A ferrite layer is coated on the coating layer of iron powder particles, and a third step is sequentially performed in which a coating layer mainly composed of silicon oxide is interposed between the iron powder particles and ferrite.

第2工程は、無機系のシリコン含有化合物を用い、シリコン含有化合物を添加した水溶液と鉄粉粒子とを接触させる接触操作を経て実施される形態が例示される。接触操作としては、シリコン含有化合物を添加した水溶液に鉄粉粒子を浸漬させても良いし、あるいは、シリコン含有化合物を添加した水溶液を鉄粉粒子にスプレー塗布しても良い。反応性を高めるため、水溶液を加熱することが好ましい。   The second step is exemplified by an embodiment in which an inorganic silicon-containing compound is used and a contact operation in which the aqueous solution to which the silicon-containing compound is added and the iron powder particles are brought into contact with each other is performed. As the contact operation, iron powder particles may be immersed in an aqueous solution to which a silicon-containing compound is added, or an aqueous solution to which a silicon-containing compound is added may be sprayed onto the iron powder particles. In order to increase the reactivity, it is preferable to heat the aqueous solution.

シリコン含有化合物としては水ガラスが使用できる。水ガラスはアルカリケイ酸塩であり、アルカリ性を示す。アルカリは一般的にはナトリウムであり、水ガラスはケイ酸ナトリウムが挙げられる。一般式としては、NaO・nSiOが挙げられる。例えばn=2〜4にできる。アルカリケイ酸塩を構成するアルカリはカリウムでも良い。 Water glass can be used as the silicon-containing compound. Water glass is an alkali silicate and exhibits alkalinity. The alkali is generally sodium, and the water glass includes sodium silicate. As a general formula, Na 2 O · nSiO 2 may be mentioned. For example, n = 2 to 4. The alkali constituting the alkali silicate may be potassium.

ここで、水溶液において水ガラスが薄すぎると、シリコン酸化物が鉄粉粒子の表面に付着する時間が長くなり、生産性が低下する。水溶液において水ガラスが濃すぎると、シリコン酸化物が鉄粉粒子に均一に付着しない。このため水溶液における水ガラスの濃度としては、質量比で、1〜10%程度、殊に1〜5%程度が挙げられる。   Here, when the water glass is too thin in the aqueous solution, the time for the silicon oxide to adhere to the surface of the iron powder particles becomes long, and the productivity is lowered. If the water glass is too concentrated in the aqueous solution, silicon oxide will not adhere uniformly to the iron powder particles. For this reason, as a density | concentration of the water glass in aqueous solution, about 1 to 10% by mass ratio, especially about 1 to 5% are mentioned.

上記した接触操作としては、水溶液にアルカリ調整剤(塩基性物質)を添加し、水溶液のPH値をアルカリ領域にしつつ実施することが好ましい。アルカリ調整剤としてはアルカリ金属の水酸化物を用いることができる。水酸化ナトリウム、水酸化カリウムが例示される。水溶液のPH値をアルカリ領域に設定する理由としては、鉄粉粒子の表面における錆びの生成、酸化膜の生成を抑制するためである。鉄粉粒子の表面に錆びや、酸化膜が生成すると、シリコン酸化物が鉄粉粒子の表面に付着しにくいと推察される。水溶液のPH値としてはアルカリ領域であれば良く、PH値が7.5〜14、あるいは、8〜13とすることができる。この場合、アルカリ性が強過ぎても弱すぎてもシリコン酸化物が鉄粉粒子の表面に付着しにくい。   The contact operation described above is preferably carried out while adding an alkali adjusting agent (basic substance) to the aqueous solution and setting the pH value of the aqueous solution to the alkaline region. An alkali metal hydroxide can be used as the alkali adjuster. Examples thereof include sodium hydroxide and potassium hydroxide. The reason for setting the pH value of the aqueous solution in the alkaline region is to suppress the generation of rust and the formation of an oxide film on the surface of the iron powder particles. If rust or an oxide film is generated on the surface of the iron powder particles, it is presumed that the silicon oxide hardly adheres to the surface of the iron powder particles. The PH value of the aqueous solution may be in the alkaline range, and the PH value may be 7.5 to 14 or 8 to 13. In this case, even if the alkalinity is too strong or too weak, the silicon oxide hardly adheres to the surface of the iron powder particles.

軟磁性成形体としては、モータの固定子コア、モータの回転子コア、電磁アクチュエータの軟磁性コアが例示される。モータとしては、公知のモータで有れば良く、回転式モータ、リニア式モータを含む。電磁アクチュエータは、コイルに通電することによって、磁力または電磁力により操作子を作動させるものを意味し、プランジャ型のソレノイド装置、油圧回路または空圧回路といった流体回路等に使用される電磁弁を含む。   Examples of the soft magnetic molded body include a stator core of a motor, a rotor core of a motor, and a soft magnetic core of an electromagnetic actuator. The motor may be a known motor, and includes a rotary motor and a linear motor. The electromagnetic actuator means an actuator that is operated by a magnetic force or an electromagnetic force by energizing a coil, and includes a solenoid valve used in a fluid circuit such as a plunger-type solenoid device, a hydraulic circuit or a pneumatic circuit. .

以下、本発明の実施例1について図1および図2を参照して説明する。図1は鉄粉粒子1の概念図を示す。まず、下記の軟磁性をもつ鉄粉粒子1の粉末集合体を用意する。鉄粉粒子1の組成は、純鉄に近いものであり、質量比で、Fe−0.25%C−0.25%O−0.03%Si−0.1%Mn−0.001%Pである。製法はガスアトマイズ法であり、粒子の平均粒径は約100μmである。   Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 shows a conceptual diagram of iron powder particles 1. First, a powder aggregate of iron powder particles 1 having the following soft magnetism is prepared. The composition of the iron powder particles 1 is close to that of pure iron, and in terms of mass ratio, Fe-0.25% C-0.25% O-0.03% Si-0.1% Mn-0.001% P. The manufacturing method is a gas atomizing method, and the average particle diameter of the particles is about 100 μm.

そして、鉄粉粒子1の表面に湿式処理により被覆層2を被覆する。この場合、無機系のシリコン含有化合物である水ガラス(アルカリケイ酸塩,NaO・nSiO、n=2〜4)を用いる。そして水ガラスを70℃の水に添加する。水ガラスの添加割合は、質量比で約1%とする。そして、PH調整剤として水酸化ナトリウムで水溶液のPH値を12付近に調整する。これを調整液とする。 And the coating layer 2 is coat | covered by the wet process on the surface of the iron powder particle | grains 1. FIG. In this case, water glass (alkali silicate, Na 2 O · nSiO 2 , n = 2 to 4), which is an inorganic silicon-containing compound, is used. And water glass is added to 70 degreeC water. The addition ratio of water glass is about 1% by mass ratio. Then, the pH value of the aqueous solution is adjusted to around 12 with sodium hydroxide as a PH adjuster. This is the adjustment liquid.

次に、鉄粉粒子1の集合体を調整液に浸漬させ、所定時間(約1時間)、所定温度(約70℃)で鉄粉粒子1を調整液内に保持する。その後、調整液から鉄粉粒子1の集合体を取り出し、鉄粉粒子1を乾燥させる。これにより鉄粉粒子1の表面に被覆層2が形成されている。図2はこのように製造した軟磁性粉末粒子の概念の断面を模式的に示す。被覆層2は基本的にはシリコン酸化物(SiO)を主成分として形成されている。被覆層2の厚みは約1〜500ナノメートルとすることができる。 Next, the aggregate of the iron powder particles 1 is immersed in the adjustment liquid, and the iron powder particles 1 are held in the adjustment liquid at a predetermined time (about 1 hour) and at a predetermined temperature (about 70 ° C.). Thereafter, the aggregate of the iron powder particles 1 is taken out from the adjustment liquid, and the iron powder particles 1 are dried. Thereby, the coating layer 2 is formed on the surface of the iron powder particles 1. FIG. 2 schematically shows a conceptual cross section of the soft magnetic powder particles thus produced. The covering layer 2 is basically formed with silicon oxide (SiO 2 ) as a main component. The thickness of the coating layer 2 can be about 1 to 500 nanometers.

以上説明したように本実施例によれば、鉄粉粒子1の集合体を調整液に浸漬させることにより、シリコン酸化物(SiO)を主成分とする被覆層2を鉄粉粒子1の表面に形成する。このような方法であれば、コスト低廉を図りつつ、被覆層2で被覆された多量の軟磁性粉末粒子を製造できる。 As described above, according to this embodiment, the coating layer 2 containing silicon oxide (SiO 2 ) as a main component is formed on the surface of the iron powder particles 1 by immersing the aggregate of the iron powder particles 1 in the adjustment liquid. To form. With such a method, a large amount of soft magnetic powder particles coated with the coating layer 2 can be produced while reducing costs.

以下、本発明の実施例2について図3および図4を説明する。本実施例によれば、実施例1で製造した被覆層2を被覆した鉄粉粒子1の集合体を用いる。そしてこの鉄粉粒子1の被覆層2にフェライト層4を被覆する(図4参照)。これによりシリコン酸化物を主成分とする被覆層2を、鉄粉粒子1とフェライト層4との間に介在させる(図4参照)。   Hereinafter, FIG. 3 and FIG. 4 are demonstrated about Example 2 of this invention. According to this example, the aggregate of iron powder particles 1 coated with the coating layer 2 manufactured in Example 1 is used. And the ferrite layer 4 is coat | covered on the coating layer 2 of this iron-powder particle 1 (refer FIG. 4). Thereby, the coating layer 2 containing silicon oxide as a main component is interposed between the iron powder particles 1 and the ferrite layer 4 (see FIG. 4).

フェライト層4を被覆するにあたり、図3に示すメカノフュージョン装置を用いて行う。この場合、図3に示すように、メカノフュージョン装置は、円筒形のケース100(内径150ミリメートル)と、ケース100内に回転可能に配置されたスクレーバ102と、ケース100内に回転可能に配置されたインナーピース104とをもつ。   When the ferrite layer 4 is coated, the mechanofusion apparatus shown in FIG. 3 is used. In this case, as shown in FIG. 3, the mechano-fusion device is arranged in a cylindrical case 100 (inner diameter 150 mm), a scraper 102 rotatably arranged in the case 100, and rotatably in the case 100. An inner piece 104.

そして、被覆層2を被覆した鉄粉粒子1の集合体と、フェライト粉末粒子(平均粒径:5〜300ナノメートル)3の集合体とを、メカノフュージョン装置の円筒形のケース100に挿入する。この場合、配合比としては、質量比で、被覆層2を被覆した鉄粉粒子1:フェライト粉末粒子3=99.4:0.6とした。   And the aggregate | assembly of the iron powder particle | grains 1 which coat | covered the coating layer 2, and the aggregate | assembly of a ferrite powder particle (average particle diameter: 5-300 nanometer) 3 are inserted in the cylindrical case 100 of a mechanofusion apparatus. . In this case, the blending ratio was, as a mass ratio, iron powder particles 1 covering the coating layer 2: ferrite powder particles 3 = 99.4: 0.6.

フェライト粉末粒子3はNi−Zn−Cuフェライトである。即ち、フェライト粉末粒子3は、鉄酸化物(Fe)を主成分とし、ニッケル酸化物、亜鉛酸化物、銅酸化物を含む。具体的には、フェライトの組成は、質量比で、ニッケル酸化物が約45%、亜鉛酸化物が約2%、銅酸化物が約3%、残部が鉄酸化物および不可避の不純物である。フェライト粉末粒子3は銅成分を含有するため、銅成分を含有しない場合に比較して、フェライト粉末粒子3同士の焼結温度を低下させることができる。フェライトの粉末粒子3同士の焼結温度を約1100℃付近から、750〜850℃へと低下させることができる。 The ferrite powder particles 3 are Ni—Zn—Cu ferrite. That is, the ferrite powder particles 3 are mainly composed of iron oxide (Fe 2 O 3 ) and include nickel oxide, zinc oxide, and copper oxide. Specifically, the composition of ferrite is about 45% of nickel oxide, about 2% of zinc oxide, about 3% of copper oxide, and the balance of iron oxide and inevitable impurities by mass ratio. Since the ferrite powder particles 3 contain a copper component, the sintering temperature between the ferrite powder particles 3 can be lowered as compared with the case where no ferrite component is contained. The sintering temperature between the ferrite powder particles 3 can be lowered from about 1100 ° C. to 750 to 850 ° C.

そして、メカノフュージョン装置を作動させ、不活性ガス(アルゴンガス)を5リットル/分間の流速でケース100内に供給しつつ、スクレーバ102およびインナーピース104を回転数800rpmで40分間回転させる。これによりケース100内に配置されている鉄粉粒子1とフェライト粉末粒子3とに、スクレーバ102による掻き取り作用と、インナーピース104による圧縮作用とが作用する。これによりシリコン酸化物を主成分とする被覆層2が被覆された鉄粉粒子1にフェライト粉末粒子3が堆積し、フェライト層4が被覆層2の上に形成される。これによりシリコン酸化物を主成分とする被覆層2は、鉄粉粒子1とフェライト層との間に介在する。図4はこのように製造した軟磁性粉末粒子の概念の断面を模式的に示す。   Then, the mechano-fusion device is operated, and the scraper 102 and the inner piece 104 are rotated at a rotation speed of 800 rpm for 40 minutes while supplying an inert gas (argon gas) into the case 100 at a flow rate of 5 liters / minute. As a result, the scraping action by the scraper 102 and the compression action by the inner piece 104 act on the iron powder particles 1 and the ferrite powder particles 3 arranged in the case 100. As a result, the ferrite powder particles 3 are deposited on the iron powder particles 1 coated with the coating layer 2 containing silicon oxide as a main component, and the ferrite layer 4 is formed on the coating layer 2. As a result, the coating layer 2 containing silicon oxide as a main component is interposed between the iron powder particles 1 and the ferrite layer. FIG. 4 schematically shows a conceptual cross section of the soft magnetic powder particles thus produced.

以下、本発明の実施例3を説明する。本実施例によれば、実施例2で製造した軟磁性粉末粒子を用いる。軟磁性粉末粒子は、シリコン酸化物を主成分とする被覆層2が被覆された鉄粉粒子1と、鉄粉粒子1の被覆層2に被覆されたフェライト層4とを有する。鉄粉粒子1とフェライト層4との間には、シリコン酸化物を主成分とする被覆層2が存在する(図4参照)。   Embodiment 3 of the present invention will be described below. According to this example, the soft magnetic powder particles produced in Example 2 are used. The soft magnetic powder particles have an iron powder particle 1 coated with a coating layer 2 containing silicon oxide as a main component, and a ferrite layer 4 coated with the coating layer 2 of the iron powder particle 1. Between the iron powder particles 1 and the ferrite layer 4, there is a coating layer 2 mainly composed of silicon oxide (see FIG. 4).

そして、図5に示すように、第1分割型201および第2分割型202をもつ成形型200を用い、上記した軟磁性粉末粒子の集合体を成形型200のキャビティ203に装填する。その後、成形型200のキャビティ203内の軟磁性粉末粒子の集合体を加圧成形し、圧粉体6を形成する。その後、圧粉体6を焼結炉において窒素雰囲気で焼結温度750℃とし、1時間焼結する。これにより圧粉体6を構成する軟磁性粉末粒子同士を互いに結合させる。これにより軟磁性成形体7を形成する。加圧成形の条件としては、雰囲気として大気雰囲気とし、温度としては約25℃とし、面圧は約8tonf/cm (≒800MPa)とする。 Then, as shown in FIG. 5, a mold 200 having a first split mold 201 and a second split mold 202 is used to load the above-described aggregate of soft magnetic powder particles into the cavity 203 of the mold 200. Thereafter, the aggregate of soft magnetic powder particles in the cavity 203 of the mold 200 is pressure-molded to form the green compact 6. Thereafter, the green compact 6 is sintered in a sintering atmosphere in a nitrogen atmosphere at a sintering temperature of 750 ° C. for 1 hour. Thereby, the soft magnetic powder particles constituting the green compact 6 are bonded to each other. Thereby, the soft magnetic molded body 7 is formed. As the conditions for the pressure molding, the atmosphere is an air atmosphere, the temperature is about 25 ° C., and the surface pressure is about 8 tonf / cm 2 (≈800 MPa).

上記したように製造した軟磁性成形体7によれば、軟磁性粉末粒子が互いに接合している。軟磁性粉末粒子を構成する鉄粉粒子1とフェライト層4との間には、被覆層2が膜状に介在している。被覆層2は、電気絶縁性が高いシリコン酸化物(SiO)を主成分とする。このため、軟磁性成形体7が交流磁場が作用する部位において使用されるとき、高い電気絶縁性をもつシリコン酸化物(SiO)を主成分とする被覆層2により、渦電流のループが抑制され、渦電流による損失が抑制される。 According to the soft magnetic molded body 7 manufactured as described above, the soft magnetic powder particles are bonded to each other. Between the iron powder particles 1 constituting the soft magnetic powder particles and the ferrite layer 4, the coating layer 2 is interposed in the form of a film. The covering layer 2 contains silicon oxide (SiO 2 ) having high electrical insulation as a main component. For this reason, when the soft magnetic molded body 7 is used in a site where an alternating magnetic field acts, the coating layer 2 mainly composed of silicon oxide (SiO 2 ) having high electrical insulation prevents the eddy current loop. Thus, loss due to eddy current is suppressed.

軟磁性粉末粒子の焼結性を高めるためには、焼結温度をある程度以上とすることが好ましい。しかし高温で焼結すると、鉄粉粒子1とフェライト層4との間において元素拡散が進行し、電気抵抗が低くかつ透磁率が低い非磁性物質(例えばFeO)が鉄粉粒子1とフェライト層4との間に生成されるおそれがある。   In order to improve the sinterability of the soft magnetic powder particles, the sintering temperature is preferably set to a certain level or more. However, when sintered at a high temperature, element diffusion proceeds between the iron powder particles 1 and the ferrite layer 4, and a nonmagnetic substance (for example, FeO) having a low electric resistance and a low magnetic permeability is converted into the iron powder particles 1 and the ferrite layer 4. May be generated between

この点本実施例によれば、軟磁性粉末粒子を構成する鉄粉粒子1とフェライト層4との間には、シリコン酸化物(SiO)を主成分とする拡散バリヤ性が高い被覆層2が膜状に介在している。このため、圧粉体6を焼結温度領域で焼結するとき、鉄粉粒子1の鉄成分がフェライト層4側に拡散することが抑制される。同様に、フェライト層4の成分が鉄粉粒子1側に拡散することが抑制される。このように焼結時において、焼結温度が高いときであっても、元素の拡散が被覆層2により抑制される。このため、鉄粉粒子1とフェライト層4との間に、電気抵抗が低くかつ透磁率が低い非磁性物質(例えばFeO)が生成されることが抑制される。従って、軟磁性成形体7の良好な磁気特性が得られる。 In this respect, according to the present embodiment, the coating layer 2 having a high diffusion barrier property mainly composed of silicon oxide (SiO 2 ) is provided between the iron powder particles 1 constituting the soft magnetic powder particles and the ferrite layer 4. Is interposed in the form of a film. For this reason, when the green compact 6 is sintered in the sintering temperature region, the iron component of the iron powder particles 1 is suppressed from diffusing to the ferrite layer 4 side. Similarly, the diffusion of the components of the ferrite layer 4 to the iron powder particle 1 side is suppressed. Thus, during the sintering, even when the sintering temperature is high, the diffusion of elements is suppressed by the coating layer 2. For this reason, generation | occurrence | production of the nonmagnetic substance (for example, FeO) with a low electrical resistance and a low magnetic permeability between the iron powder particle 1 and the ferrite layer 4 is suppressed. Therefore, good magnetic properties of the soft magnetic molded body 7 can be obtained.

ところで、フェライト層を形成するフェライト粉末粒子は酸化物であるため、フェライト粉末粒子の焼結温度領域は、1000〜1200℃と、鉄粉のみを焼結させる場合に比較して高くする必要がある。この点本実施例によれば、フェライト層4を形成するフェライト粉末粒子3は、鉄酸化物(Fe)を主成分とし、ニッケル酸化物、亜鉛酸化物、銅酸化物を含む。このようにフェライト粉末粒子3は銅成分を含有するため、銅成分を含有しない場合に比較して、フェライト粉末粒子3同士の焼結温度を低下させることができる。このため鉄粉粒子1の焼結温度と、フェライト粉末粒子3の焼結開始温度とを近づけることができる。このため焼結性を高めることができる。 By the way, since the ferrite powder particles forming the ferrite layer are oxides, the sintering temperature region of the ferrite powder particles needs to be higher than 1000 to 1200 ° C. as compared with the case where only iron powder is sintered. . In this regard, according to the present embodiment, the ferrite powder particles 3 forming the ferrite layer 4 contain iron oxide (Fe 2 O 3 ) as a main component and include nickel oxide, zinc oxide, and copper oxide. Thus, since the ferrite powder particle 3 contains a copper component, the sintering temperature between the ferrite powder particles 3 can be lowered as compared with the case where the ferrite powder particle 3 does not contain a copper component. For this reason, the sintering temperature of the iron powder particles 1 can be brought close to the sintering start temperature of the ferrite powder particles 3. For this reason, sinterability can be improved.

以下、本発明の試験例を具体的に説明する。本試験例では、便宜上、鉄板からなる試験片10(厚み:2ミリメートル、長さ:1センチメートル、幅:1センチメートル)を鉄系粒子としてみなし、試験片とした。試験片10の組成は鉄粉粒子1の組成に実質的に相当するものであり、炭素を0.25%、シリコンを0.03%、マンガンを0.16%含有する。本実施例によれば、湿式処理により、試験片10の表面にシリコン酸化物(SiO)の被覆層20を形成する。被覆層20を形成する手順について説明する。 Hereinafter, test examples of the present invention will be specifically described. In this test example, for convenience, a test piece 10 made of an iron plate (thickness: 2 millimeters, length: 1 centimeter, width: 1 centimeter) was regarded as an iron-based particle and used as a test piece. The composition of the test piece 10 substantially corresponds to the composition of the iron powder particles 1 and contains 0.25% carbon, 0.03% silicon, and 0.16% manganese. According to the present embodiment, the silicon oxide (SiO 2 ) coating layer 20 is formed on the surface of the test piece 10 by wet processing. A procedure for forming the coating layer 20 will be described.

まず、70℃の水に水ガラスを添加した。水ガラスの添加割合は、質量比で、約1%とした。この場合、PH調整剤として水酸化ナトリウムでPH値を12付近に調整し、調整液12を形成した。   First, water glass was added to 70 ° C. water. The addition ratio of water glass was about 1% by mass ratio. In this case, the pH value was adjusted to around 12 with sodium hydroxide as a pH adjusting agent, and the adjusting liquid 12 was formed.

次に、試験片10を調整液12に所定時間(1時間)浸漬させ、所定温度(70℃)で試験片10を調整液12内に保持した。その後、調整液12から試験片10を取り出し、試験片10を乾燥させた。これにより試験片10の表面には薄膜状の被覆層20が形成されている。被覆層20は基本的にはシリコン酸化物(SiO)で形成されている。被覆層20の厚みは、膜厚計(ANRITSU ELECTIC株式会社製,型式K−402B)で測定したところ、約1マイクロメートルであった。 Next, the test piece 10 was immersed in the adjustment liquid 12 for a predetermined time (1 hour), and the test piece 10 was held in the adjustment liquid 12 at a predetermined temperature (70 ° C.). Then, the test piece 10 was taken out from the adjustment liquid 12, and the test piece 10 was dried. Thereby, a thin coating layer 20 is formed on the surface of the test piece 10. The covering layer 20 is basically formed of silicon oxide (SiO 2 ). The thickness of the coating layer 20 was about 1 micrometer when measured with a film thickness meter (model K-402B, manufactured by ANRITSU ELECTRIC Co., Ltd.).

被覆層20を被覆した試験片10について、窒素ガス雰囲気において450℃で1時間加熱して熱処理を実施した。更に、被覆層20を被覆した別の試験片10について、窒素ガス雰囲気において600℃で1時間加熱して熱処理を実施し、試験片10の界面における接合を促進させた。更に、被覆層20を被覆した別の試験片10について、窒素ガス雰囲気において800℃で1時間加熱して熱処理を実施した。   About the test piece 10 which coat | covered the coating layer 20, it heat-processed by heating at 450 degreeC for 1 hour in nitrogen gas atmosphere. Further, another test piece 10 coated with the coating layer 20 was heated at 600 ° C. for 1 hour in a nitrogen gas atmosphere to perform heat treatment, thereby promoting bonding at the interface of the test piece 10. Furthermore, another test piece 10 coated with the coating layer 20 was heated at 800 ° C. for 1 hour in a nitrogen gas atmosphere to perform heat treatment.

このように熱処理するにあたり、図8に示すように、2つの試験片10同士を重ね合わせてサンプルとした。サンプルでは、試験片10に被覆されている被覆層20同士が重なり合い、接触している。   In performing the heat treatment in this way, as shown in FIG. 8, two test pieces 10 were overlapped to obtain a sample. In the sample, the coating layers 20 coated on the test piece 10 are overlapped and in contact with each other.

比較例について試験を行った。比較例によれば、鉄板からなる試験片10Sの表面に、フェライトシート40(Ni−Zn−Cuフェライトシート、厚み1マイクロメートル)を1枚載せた。フェライトシート40はフェライト層4に相当する。フェライトシート40は、鉄酸化物(Fe)を主成分とし、ニッケル酸化物、亜鉛酸化物、銅酸化物を含む。具体的には、フェライトシート40の組成は、質量比で、ニッケル酸化物が45%、亜鉛酸化物が2%、銅酸化物が3%、残部が鉄酸化物および不可避の不純物であった。そして、2つの試験片10S同士をフェライトシート40が重なるように接触状態に積層させた。これを比較例のサンプルとした。 The comparative example was tested. According to the comparative example, one ferrite sheet 40 (Ni-Zn-Cu ferrite sheet, thickness 1 micrometer) was placed on the surface of the test piece 10S made of an iron plate. The ferrite sheet 40 corresponds to the ferrite layer 4. The ferrite sheet 40 contains iron oxide (Fe 2 O 3 ) as a main component and includes nickel oxide, zinc oxide, and copper oxide. Specifically, the composition of the ferrite sheet 40 was 45% of nickel oxide, 2% of zinc oxide, 3% of copper oxide, and the balance of iron oxide and inevitable impurities by mass ratio. And two test pieces 10S were laminated | stacked in the contact state so that the ferrite sheet 40 might overlap. This was used as a sample for comparison.

そして、2端子法により、実施例に係るサンプル、比較例に係るサンプルについて、厚み方向の電気抵抗を測定した。試験結果を図10に示す。図10において特性線W1は、実施例に係るサンプルの試験結果を示す。特性線W2は、比較例に係るサンプルの試験結果を示す。   And the electrical resistance of the thickness direction was measured about the sample which concerns on the example, and the sample which concerns on a comparative example by the 2 terminal method. The test results are shown in FIG. In FIG. 10, a characteristic line W1 indicates the test result of the sample according to the example. The characteristic line W2 shows the test result of the sample according to the comparative example.

図10の特性線W2に示すように、比較例に係るサンプルによれば、熱処理の温度を450℃としたときには、サンプルの電気抵抗は高く維持されていたが、熱処理の温度が600℃になると、サンプルの電気抵抗は急激に低下した。このことから、比較例に係るサンプルによれば、焼結温度領域に加熱されると、拡散が促進され、試験片10の表面に形成されているフェライトシート40に、電気抵抗が低い物質(FeO)が生成しているため、サンプルの厚み方向の電気抵抗が低下したものと推察される。これは、軟磁性粉末材料に適用した場合には、鉄粉粒子1同士の導通性が高まり、渦電流ループが流れ易くなり、渦電流損が増加することを意味する。   As shown by the characteristic line W2 in FIG. 10, according to the sample according to the comparative example, when the heat treatment temperature was 450 ° C., the electrical resistance of the sample was maintained high, but when the heat treatment temperature was 600 ° C. The electrical resistance of the sample dropped rapidly. From this, according to the sample according to the comparative example, when heated to the sintering temperature region, the diffusion is promoted, and the ferrite sheet 40 formed on the surface of the test piece 10 has a low electrical resistance (FeO ) Is generated, it is assumed that the electrical resistance in the thickness direction of the sample was reduced. This means that, when applied to a soft magnetic powder material, the electrical conductivity between the iron powder particles 1 is increased, the eddy current loop easily flows, and the eddy current loss increases.

これに対して、特性線W1に示すように、実施例に係るサンプルによれば、熱処理の温度が450℃、600℃、800℃である場合においても、サンプルの電気抵抗は高く維持されていた。このことから、実施例に係るサンプルによれば、試験片10の表面に形成されている被覆層2の拡散バリヤ性が高いため、鉄粉粒子1の鉄成分の拡散が抑制され、高温領域に加熱されるときであっても、試験片10の表面に形成されている被覆層2の電気絶縁性が良好に維持されているものと推察される。   On the other hand, as shown by the characteristic line W1, according to the sample according to the example, the electrical resistance of the sample was kept high even when the heat treatment temperatures were 450 ° C., 600 ° C., and 800 ° C. . From this, according to the sample which concerns on an Example, since the diffusion barrier property of the coating layer 2 currently formed in the surface of the test piece 10 is high, spreading | diffusion of the iron component of the iron powder particle 1 is suppressed, and it is in a high temperature area | region. Even when heated, it is presumed that the electrical insulation of the coating layer 2 formed on the surface of the test piece 10 is well maintained.

X線回折装置によりXRD分析した。この場合には、被覆層20同士が重なるように、被覆層20を形成した2つの試験片10同士を重ねたサンプルを用い、このサンプルを窒素雰囲気において800℃で1時間加熱する熱処理を施した。XRD分析結果を図11(横軸は2θ、縦軸は強度)に示す。図11に示すように、800℃という高温で1時間加熱した条件であっても、SiOのピーク(ASTMカードで同定)が認められた。即ち、高温領域で焼結したとしても、被覆層2においてシリコン酸化物が良好に残留しており、鉄粉粒子同士1の間において拡散バリヤ性を維持すると共に電気絶縁性を維持するのに有利となる。 XRD analysis was performed using an X-ray diffractometer. In this case, a sample in which two test pieces 10 on which the coating layer 20 was formed was overlapped so that the coating layers 20 overlap each other was subjected to a heat treatment in which the sample was heated at 800 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere. . The XRD analysis results are shown in FIG. 11 (the horizontal axis is 2θ, and the vertical axis is intensity). As shown in FIG. 11, the SiO 2 peak (identified by the ASTM card) was recognized even under the condition of heating at a high temperature of 800 ° C. for 1 hour. That is, even when sintered in a high temperature region, silicon oxide remains well in the coating layer 2, which is advantageous for maintaining diffusion barrier properties between the iron powder particles 1 and maintaining electrical insulation. It becomes.

本発明は上記し且つ図面に示した実施例のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施できる。上記した実施例によれば、水ガラスを水に添加するにあたり、水ガラスの添加割合は、質量比で、約1%とするが、これに限らず、0.1〜8%程度としても良い。上記した実施例によれば、フェライト粉末粒子はNi−Znフェライトとしても良いし、Ni−Cuフェライトとしても良い。   The present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, and can be implemented with appropriate modifications without departing from the scope of the invention. According to the above-described embodiment, when the water glass is added to water, the addition ratio of the water glass is about 1% by mass ratio, but is not limited thereto, and may be about 0.1 to 8%. . According to the above embodiment, the ferrite powder particles may be Ni—Zn ferrite or Ni—Cu ferrite.

実施例1で用いる鉄粉粒子の概念を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the concept of the iron powder particle used in Example 1. FIG. 実施例1の鉄粉粒子に被覆層を被覆した状態の概念を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the concept of the state which coat | covered the coating layer on the iron powder particle of Example 1. FIG. 実施例2に係り、被覆層を被覆した鉄粉粒子の表面にフェライト層を被覆する方法を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the method which concerns on Example 2 and coat | covers the ferrite layer on the surface of the iron powder particle | grains which coat | covered the coating layer. 実施例2に係り、被覆層を被覆した鉄粉粒子の表面にフェライト層を被覆した軟磁性粒子の概念を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the concept of the soft-magnetic particle which concerns on Example 2 and coat | covered the ferrite layer on the surface of the iron powder particle | grains which coat | covered the coating layer. 実施例3に係り、圧粉体を成形する過程を模式的に示す構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram schematically showing a process of forming a green compact according to Example 3. 実施例3に係り、圧粉体を焼結して形成した軟磁性成形体を模式的に示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram schematically showing a soft magnetic molded body formed by sintering a green compact according to Example 3. 実施例4に係り、試験片に被覆層を被覆する過程を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the process which concerns on Example 4 and coat | covers a coating layer on a test piece. 実施例4に係り、被覆層を被覆した試験片の厚み方向の電気抵抗を測定する状態を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the state which concerns on Example 4 and measures the electrical resistance of the thickness direction of the test piece which coat | covered the coating layer. 比較例に係り、被覆層を被覆した試験片の厚み方向の電気抵抗を測定する状態を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows the state which concerns on a comparative example and measures the electrical resistance of the thickness direction of the test piece which coat | covered the coating layer. 試験結果に係り、抵抗と熱処理の温度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between resistance and the temperature of heat processing concerning a test result. XRD分析した結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of XRD analysis.

符号の説明Explanation of symbols

図中、1は鉄粉粒子、2は被覆層、3はフェライト粉末粒子、4はフェライト層、6は圧粉体、7は軟磁性成形体を示す。   In the figure, 1 is an iron powder particle, 2 is a coating layer, 3 is a ferrite powder particle, 4 is a ferrite layer, 6 is a green compact, and 7 is a soft magnetic compact.

Claims (9)

鉄を主成分とする鉄粉粒子と、前記鉄粉粒子の表面に被覆されシリコン酸化物を主成分とする被覆層とを具備することを特徴とする軟磁性粉末材料。   A soft magnetic powder material comprising: iron powder particles containing iron as a main component; and a coating layer covering a surface of the iron powder particles and containing silicon oxide as a main component. 鉄を主成分とする鉄粉粒子と、前記鉄粉粒子の表面に被覆されシリコン酸化物を主成分とする被覆層と、前記被覆層に被覆されたフェライト層とを具備しており、前記シリコン酸化物を主成分とする前記被覆層を前記鉄粉粒子と前記フェライト層との間に介在させていることを特徴とする軟磁性粉末材料。   Comprising iron powder particles mainly composed of iron, a coating layer coated on the surface of the iron powder particles and mainly composed of silicon oxide, and a ferrite layer coated on the coating layer. A soft magnetic powder material, characterized in that the coating layer containing an oxide as a main component is interposed between the iron powder particles and the ferrite layer. 請求項1または2において、前記鉄粉粒子は、純鉄(Fe)、鉄−アルミニウム系(Fe−Al系)、鉄−シリコン系(Fe−Si系)、鉄−ニッケル系(Fe−Ni系)、鉄−シリコン−アルミニウム(Fe−Si−Al系)、鉄−クロム系(Fe−Cr系)、鉄−コバルト系(Fe−Co系)の少なくとも1種であることを特徴とする軟磁性粉末材料。   3. The iron powder particles according to claim 1, wherein the iron powder particles are pure iron (Fe), iron-aluminum system (Fe-Al system), iron-silicon system (Fe-Si system), iron-nickel system (Fe-Ni system). ), Iron-silicon-aluminum (Fe-Si-Al system), iron-chromium system (Fe-Cr system), and iron-cobalt system (Fe-Co system) Powder material. 鉄を主成分とする鉄粉粒子を用意する第1工程と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を前記鉄粉粒子の表面に被覆する第2工程とを順に実施することを特徴とする軟磁性粉末材料の製造方法。   A first step of preparing iron powder particles containing iron as a main component and a second step of covering the surface of the iron powder particles with a coating layer containing silicon oxide as a main component are sequentially performed. A method for producing a soft magnetic powder material. 鉄を主成分とする鉄粉粒子を用意する第1工程と、シリコン酸化物を主成分とする被覆層を前記鉄粉粒子の表面に被覆する第2工程と、前記被覆層にフェライト層を被覆し、前記シリコン酸化物を主成分とする前記被覆層を前記鉄粉粒子と前記フェライト層との間に介在させる第3工程とを順に実施することを特徴とする軟磁性粉末材料の製造方法。   A first step of preparing iron powder particles containing iron as a main component, a second step of coating the surface of the iron powder particles with a coating layer containing silicon oxide as a main component, and coating the ferrite layer on the coating layer And the 3rd process of interposing the said coating layer which has the said silicon oxide as a main component between the said iron powder particle and the said ferrite layer is implemented in order, The manufacturing method of the soft-magnetic powder material characterized by the above-mentioned. 請求項4または5において、前記第2工程は、前記無機系シリコン含有化合物を添加した水溶液と前記鉄粉粒子とを接触させる接触操作を経て実施されることを特徴とする軟磁性粉末材料の製造方法。   6. The soft magnetic powder material manufacturing method according to claim 4, wherein the second step is performed through a contact operation in which the aqueous solution containing the inorganic silicon-containing compound is brought into contact with the iron powder particles. Method. 請求項6において、前記接触操作は、前記水溶液にアルカリ調整剤を添加し、前記水溶液のPH値をアルカリ領域にしつつ実施することを特徴とする軟磁性粉末材料の製造方法。   7. The method for producing a soft magnetic powder material according to claim 6, wherein the contact operation is performed while adding an alkali adjusting agent to the aqueous solution and setting the PH value of the aqueous solution to an alkaline region. 請求項1〜7のいずれか一項に係る前記軟磁性粉末材料を主成分とする粉末集合体の粒子が互いに接合されていることを特徴とする軟磁性成形体。   A soft magnetic molded body, wherein particles of a powder aggregate mainly composed of the soft magnetic powder material according to any one of claims 1 to 7 are bonded to each other. 請求項1〜8のうちのいずれか一項に係る前記軟磁性粉末材料を主成分とする粉末集合体に対して、加圧する操作と加熱する操作とを、同時にまたは時間をずらして行うことにより軟磁性成形体を形成することを特徴とする軟磁性成形体の製造方法。   By performing a pressurizing operation and a heating operation on the powder aggregate mainly composed of the soft magnetic powder material according to any one of claims 1 to 8 simultaneously or at different times. A method for producing a soft magnetic molded body, comprising forming a soft magnetic molded body.
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