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JP2007242137A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

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JP2007242137A
JP2007242137A JP2006062837A JP2006062837A JP2007242137A JP 2007242137 A JP2007242137 A JP 2007242137A JP 2006062837 A JP2006062837 A JP 2006062837A JP 2006062837 A JP2006062837 A JP 2006062837A JP 2007242137 A JP2007242137 A JP 2007242137A
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JP
Japan
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storage area
memory cells
data
memory cell
memory
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Withdrawn
Application number
JP2006062837A
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Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Murashima
憲行 村嶋
Masahiro Kanai
正博 金井
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a circuit scale in a semiconductor integrated circuit with built-in nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data, by shortening the writing and reading period of time with respect to a sub-storage area wherein information of erasing/writing properiety, etc., are stored. <P>SOLUTION: This semiconductor integrated circuit is equipped with: a memory array cell 5 having a main storage area constituted of memory cells of (N-1) rows, M columns, and the sub-storage area constituted of memory cells of one row, M columns; a row decoder 4 for selecting the memory cell of one row; a column decoder 6 for selecting the memory cell of at least one column; a driver 9 for driving a source of a transistor constituting the memory cells of memory cell array 5; an sense amplifier 7 for reading out the data from at least one memory cell; and a plurality of data latch circuits 2, each of them is connected to every adjacent two memory cells of sub-storage area through respective switching transistors. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリを内蔵した半導体集積回路に関する。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit including a nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data.

データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリとしては、1ワード単位でデータの消去を行うことが可能なEEPROMの他に、一括又はブロック単位でデータの消去が可能なフラッシュメモリ等が存在する。不揮発性メモリは、格納した情報を電源遮断時においても保持できるので、CPUやマイコンを制御するプログラムを格納したり、不揮発性メモリを内蔵した半導体集積回路が搭載されるシステムにおいて使用される重要なデータを格納したりするために用いられる。   Non-volatile memories that can electrically erase and write data are EEPROMs that can erase data in units of words, and flash that can erase data in batches or blocks Memory etc. exist. Non-volatile memory can retain stored information even when the power is shut off, so it is important to store programs that control the CPU and microcomputer, and to be used in systems equipped with semiconductor integrated circuits that incorporate non-volatile memory. Used to store data.

そのような不揮発性メモリにおいて、プログラムや重要なデータを保護するために、一部の記憶領域におけるデータの消去及び書込みを禁止することが行われている。そのために、一般的なデータを記憶するための主記憶領域とは別個に、消去及び書込みの可否情報を記憶するための副記憶領域を設けておき、データの消去又は書込みを行う際に、副記憶領域に記憶されている消去及び書込みの可否情報が参照される。この消去及び書込みの可否情報に基づいて、消去又は書込みコマンドによって指示されたアドレスが、データを保護すべき領域にあるかデータを書換え可能な領域にあるかが判定され、当該アドレスがデータを保護すべき領域にある場合には、データの消去及び書込みが禁止される。   In such a nonvolatile memory, in order to protect programs and important data, erasure and writing of data in a part of storage areas are prohibited. For this purpose, a sub-storage area for storing erasure / write enable / disable information is provided separately from the main storage area for storing general data. Reference is made to the erasure / write enable / disable information stored in the storage area. Based on this erasure / write enable / disable information, it is determined whether the address indicated by the erase or write command is in an area where data should be protected or an area where data can be rewritten, and the address protects the data. When it is in the area to be stored, erasing and writing of data are prohibited.

関連する技術として、特許文献1には、重要なデータの消失を防止するために、消去ブロック単位毎に書込み/消去の禁止・許可を制御するためのフラグビット(ロックビット)用メモリセルを設けたフラッシュメモリにおいて、制御系回路を小型化し、ロックビット用メモリセルの特性や信頼性をデータ用メモリセルと同様にし、また、ロックビット用メモリセルの形成が容易に行える半導体不揮発性記憶装置が開示されている。   As a related technique, Patent Document 1 is provided with a flag bit (lock bit) memory cell for controlling write / erase prohibition / permission for each erase block in order to prevent the loss of important data. In a flash memory, there is a semiconductor non-volatile memory device in which the control circuit is downsized, the characteristics and reliability of the memory cell for the lock bit are the same as those of the data memory cell, and the memory cell for the lock bit can be easily formed. It is disclosed.

この半導体不揮発性記憶装置は、複数のデータ記憶用メモリセルがマトリクス状に配置されたメモリアレイを有し、該メモリアレイへのデータの書込み及び消去をブロック単位で行う半導体不揮発性記憶装置であって、該メモリアレイ内に消去ブロック単位で対応して形成され、当該ブロック単位への書込み/消去を許可するか禁止するかを示すデータが書き込まれる書込み/消去禁止用メモリセル(ロックビット用メモリセル)と、アドレス指定されたブロックに対して書込み/消去禁止命令を受けた場合に、当該ブロックに対応する書込み/消去禁止用メモリセルに対して書込み/消去禁止データを書き込む制御手段とを有している。   This semiconductor nonvolatile memory device is a semiconductor nonvolatile memory device having a memory array in which a plurality of data storage memory cells are arranged in a matrix, and writing and erasing data in the memory array in units of blocks. A write / erase inhibit memory cell (lock bit memory) that is formed corresponding to each erase block in the memory array and into which data indicating whether write / erase to the block unit is permitted or prohibited is written. Cell) and a control means for writing write / erase inhibit data to the write / erase inhibit memory cell corresponding to the block when a write / erase inhibit command is received for the addressed block. is doing.

しかしながら、この半導体不揮発性記憶装置においては、書込み/消去禁止用メモリセルが、2次元マトリクス状に配置されたデータ記憶用メモリセルの列方向に沿って一列に設けられている。その結果、1本のロックビット線に接続された複数の書込み/消去禁止用メモリセルが、書込み用データラッチ又は専用のセンスアンプに接続されるので、これらの書込み/消去禁止用メモリセルにおけるデータの書込み又は読出しを一度に1ビット分しか行うことができず、データの書込み又は読出しに時間を要する。また、書込み/消去禁止用メモリセルのために、専用のセンスアンプが必要になってしまう。
特開平10−188577(第1−2頁、図1)
However, in this semiconductor nonvolatile memory device, the write / erase prohibition memory cells are provided in a line along the column direction of the data storage memory cells arranged in a two-dimensional matrix. As a result, a plurality of write / erase inhibit memory cells connected to one lock bit line are connected to a write data latch or a dedicated sense amplifier, so that data in these write / erase inhibit memory cells is Can only be written or read one bit at a time, and it takes time to write or read data. In addition, a dedicated sense amplifier is required for the write / erase inhibit memory cell.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-188577 (page 1-2, FIG. 1)

そこで、上記の点に鑑み、本発明は、データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリを内蔵した半導体集積回路において、消去及び書込みの可否情報等が記憶される副記憶領域を設ける場合に、副記憶領域に対する書込み及び読出しのための時間を短縮すると共に、副記憶領域用の回路規模を削減することを目的とする。   Accordingly, in view of the above points, the present invention provides a sub-memory in which erasure / write enable / disable information and the like are stored in a semiconductor integrated circuit incorporating a nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data. In the case of providing an area, it is an object to reduce the time for writing to and reading from the secondary storage area and to reduce the circuit scale for the secondary storage area.

上記課題を解決するため、本発明の1つの観点に係る半導体集積回路は、データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリを内蔵した半導体集積回路であって、N行M列(N、Mは2以上の整数)の2次元アレイ状に配置された複数のメモリセルを含み、(N−1)行M列のメモリセルによって構成される主記憶領域と1行M列のメモリセルによって構成される副記憶領域とを有するメモリセルアレイと、メモリセルアレイのそれぞれの行のメモリセルを構成する複数のトランジスタのコントロールゲートに各々が接続された複数のワードラインを駆動することにより、1行のメモリセルを選択する行デコーダと、主記憶領域のそれぞれの列のメモリセルを構成する複数のトランジスタのドレインに各々が接続された複数のビットラインを駆動することにより、少なくとも1列のメモリセルを選択する列デコーダと、メモリセルアレイに含まれている複数のメモリセルをそれぞれ構成する複数のトランジスタのソースを駆動するドライバと、行デコーダ及び列デコーダによって選択された少なくとも1つのメモリセルから少なくとも1つのビットラインを介してデータを読み出すセンスアンプと、副記憶領域の隣接する2つずつのメモリセルにそれぞれのスイッチ用トランジスタを介して各々が接続された複数のデータラッチ回路とを具備する。   In order to solve the above problems, a semiconductor integrated circuit according to one aspect of the present invention is a semiconductor integrated circuit including a nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data, and includes N rows M A main storage area including a plurality of memory cells arranged in a two-dimensional array of columns (N and M are integers of 2 or more) and (N-1) rows and M columns of memory cells and 1 row and M columns And driving a plurality of word lines connected to control gates of a plurality of transistors constituting a memory cell in each row of the memory cell array. A row decoder for selecting one row of memory cells, and a plurality of transistors each connected to the drains of a plurality of transistors constituting the memory cells in each column of the main memory area A column decoder that selects at least one column of memory cells by driving a bit line; a driver that drives sources of a plurality of transistors that respectively configure a plurality of memory cells included in the memory cell array; a row decoder; A sense amplifier that reads data from at least one memory cell selected by the column decoder via at least one bit line, and two memory cells adjacent to each other in the sub storage area via respective switch transistors. And a plurality of connected data latch circuits.

この半導体集積回路は、副記憶領域のメモリセルからデータを読み出すのに先立って複数のデータラッチ回路をプリチャージするためのプリチャージ回路をさらに具備するようにしても良いし、電源投入時に、副記憶領域のメモリセルに格納されている複数ビットのデータを読み出してラッチするように、行デコーダ、ドライバ、スイッチ用トランジスタ、及び、プリチャージ回路を制御する制御回路をさらに具備するようにしても良い。   The semiconductor integrated circuit may further include a precharge circuit for precharging a plurality of data latch circuits prior to reading data from the memory cells in the sub storage area. A control circuit that controls a row decoder, a driver, a switching transistor, and a precharge circuit may be further provided so as to read and latch data of a plurality of bits stored in the memory cells of the storage area. .

ここで、メモリセルアレイが、データの分割消去を行うことが可能な主記憶領域を有し、制御回路が、副記憶領域から読み出された情報に基づいて、主記憶領域の一部の記憶領域におけるデータの消去及び書込みを禁止するようにしても良い。なお、副記憶領域の1行M列のメモリセルは、メモリセルアレイの最外列に配置されていることが望ましい。   Here, the memory cell array has a main storage area where data can be divided and erased, and the control circuit is a partial storage area of the main storage area based on information read from the sub storage area The erasing and writing of data may be prohibited. Note that the memory cells in the 1st row and the Mth column in the sub storage area are desirably arranged in the outermost column of the memory cell array.

さらに、複数のデータラッチ回路の各々が、副記憶領域の第1のメモリセルに接続された入力端子と副記憶領域の第2のメモリセルに接続された出力端子とを有する第1のインバータと、第2のメモリセルに接続された入力端子と第1のメモリセルに接続された出力端子とを有する第2のインバータとを含むようにしても良い。   Further, each of the plurality of data latch circuits includes a first inverter having an input terminal connected to the first memory cell in the secondary storage area and an output terminal connected to the second memory cell in the secondary storage area; A second inverter having an input terminal connected to the second memory cell and an output terminal connected to the first memory cell may be included.

本発明によれば、メモリセルアレイにおいて1行M列のメモリセルによって構成される副記憶領域を設け、副記憶領域の隣接する2つずつのメモリセルにそれぞれのスイッチ用トランジスタを介してデータラッチ回路を接続して、副記憶領域の複数のメモリセルに対するアクセスを一度にできるようにしたので、副記憶領域に対する書込み及び読出しのための時間を短縮すると共に、副記憶領域用の回路規模を削減することが可能となる。   According to the present invention, in the memory cell array, a sub storage area constituted by memory cells of one row and M columns is provided, and a data latch circuit is provided to each two adjacent memory cells of the sub storage area via the respective switching transistors. Are connected so that access to a plurality of memory cells in the secondary storage area can be performed at one time, so that the time for writing and reading to the secondary storage area is reduced and the circuit scale for the secondary storage area is reduced. It becomes possible.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。なお、同一の構成要素には同一の参照番号を付して、説明を省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路に内蔵されている不揮発性メモリの構成を示すブロック図である。この半導体集積回路は、データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリを内蔵している。
Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same constituent elements are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a nonvolatile memory built in a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention. This semiconductor integrated circuit has a built-in nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data.

図1に示すように、この半導体集積回路は、制御回路1と、データラッチ部2と、アドレスバッファ3と、Xデコーダ4と、メモリセルアレイ5と、Yデコーダ6と、センスアンプ7と、I/Oインタフェース8と、SL(ソースライン)ドライバ9とを有している。   As shown in FIG. 1, the semiconductor integrated circuit includes a control circuit 1, a data latch unit 2, an address buffer 3, an X decoder 4, a memory cell array 5, a Y decoder 6, a sense amplifier 7, an I / O interface 8 and SL (source line) driver 9.

メモリセルアレイ5において、データの消去、書込み、読出しが行われる複数のメモリセルが、N行M列(N、Mは2以上の整数)の2次元アレイ状に配置されている。本実施形態においては、その内の(N−1)行M列のメモリセルによって主記憶領域5aが構成され、最外列(最上列又は最下列)の1行M列のメモリセルによって副記憶領域5bが構成される。主記憶領域5aの複数のメモリセルには、複数のワードラインWLと、複数のビットラインBLと、複数のソースラインSLとが接続されている。一方、副記憶領域5bの複数のメモリセルには、1本のワードラインWLと、1本のソースラインSLとが接続されている。   In the memory cell array 5, a plurality of memory cells from which data is erased, written and read are arranged in a two-dimensional array of N rows and M columns (N and M are integers of 2 or more). In the present embodiment, the (N-1) rows and M columns of memory cells constitute a main storage area 5a, and the outermost column (uppermost column or lowermost column) of 1 row and M columns of memory cells is sub-stored. Region 5b is configured. A plurality of word lines WL, a plurality of bit lines BL, and a plurality of source lines SL are connected to the plurality of memory cells in the main memory area 5a. On the other hand, one word line WL and one source line SL are connected to the plurality of memory cells in the sub storage area 5b.

主記憶領域5aは、1ワード単位又は1ブロック単位で、データの分割消去を行うことが可能である。以下においては、主記憶領域5aが「セクター」という単位でデータの分割消去を行うことができるものとする。副記憶領域5bには、主記憶領域5a内のそれぞれの記憶領域(1セクター単位)における消去及び書込みの可否情報、及び/又は、この半導体集積回路が搭載されるシステムを管理するために使用される情報が格納される。例えば、機種情報やロット番号等のプロセス情報、内部電圧のトリミング情報、又は、冗長回路に関する情報を、副記憶領域5bに格納しても良い。以下においては、副記憶領域5bに格納される情報のことを「システム情報」という。   In the main storage area 5a, data can be divided and erased in units of one word or one block. In the following, it is assumed that the main storage area 5a can perform data divisional erasure in units of “sectors”. The secondary storage area 5b is used to manage erasability / write enable / disable information in each storage area (one sector unit) in the main storage area 5a and / or a system in which this semiconductor integrated circuit is mounted. Information is stored. For example, process information such as model information and lot numbers, internal voltage trimming information, or information regarding redundant circuits may be stored in the secondary storage area 5b. Hereinafter, the information stored in the secondary storage area 5b is referred to as “system information”.

データラッチ部2は、制御回路1の制御の下で、副記憶領域5bのメモリセルにシステム情報を書き込み、電源投入時に、副記憶領域5bのメモリセルからシステム情報を読み出す。このように、メモリセルアレイ5の行方向に沿って設けられた副記憶領域5bのメモリセルにデータラッチ部2を接続するように不揮発性メモリを構成すれば、副記憶領域5bのメモリセルのためにYデコーダや専用のセンスアンプを設ける必要がなく、また、副記憶領域5bのメモリセルに複数ビットのデータを1度に書き込んだり、これらのメモリセルから複数ビットのデータを1度に読み出すことができる。   Under the control of the control circuit 1, the data latch unit 2 writes system information to the memory cell in the secondary storage area 5b, and reads the system information from the memory cell in the secondary storage area 5b when the power is turned on. In this way, if the nonvolatile memory is configured so that the data latch unit 2 is connected to the memory cells in the secondary storage area 5b provided along the row direction of the memory cell array 5, the memory cells in the secondary storage area 5b are used. There is no need to provide a Y decoder or a dedicated sense amplifier, and a plurality of bits of data can be written to the memory cells of the sub storage area 5b at a time, or a plurality of bits of data can be read from these memory cells at a time. Can do.

アドレスバッファ3は、データの書込み又は読出し等が行われる1ワード分のメモリセルを指定するアドレスを入力すると、それらのメモリセルのセクターを指定するセクターアドレス及び各セクター内の行を指定する行アドレスをXデコーダ4に出力すると共に、それらのメモリセルの列を指定する列アドレスをYデコーダ6に出力する。   When the address buffer 3 inputs an address designating a memory cell for one word where data is written or read, a sector address designating a sector of the memory cell and a row address designating a row in each sector Are output to the X decoder 4 and a column address designating the column of these memory cells is output to the Y decoder 6.

Xデコーダ4は、メモリセルアレイ5のそれぞれの行のメモリセルを構成する複数のトランジスタのコントロールゲートに各々が接続された複数のワードラインWLをセクターアドレス及び行アドレスに基づいて駆動することにより、1行のメモリセルを選択する。また、Yデコーダ6は、主記憶領域5aのそれぞれの列のメモリセルを構成する複数のトランジスタのドレインに各々が接続された複数のビットラインBLを列アドレスに基づいて駆動することにより、少なくとも1列(例えば、8ビットのデータに対応する8列)のメモリセルを選択する。   The X decoder 4 drives a plurality of word lines WL respectively connected to control gates of a plurality of transistors constituting memory cells in each row of the memory cell array 5 based on the sector address and the row address, thereby Select a memory cell in a row. The Y decoder 6 drives at least one bit line BL connected to the drains of the plurality of transistors constituting the memory cells in each column of the main memory area 5a based on the column address. A memory cell in a column (for example, 8 columns corresponding to 8-bit data) is selected.

センスアンプ7は、Xデコーダ4及びYデコーダ6によって選択された少なくとも1つのメモリセル(例えば、8ビットのデータに対応する8つのメモリセル)から、対応するビットラインBLを介してデータを読み出す。I/Oインタフェース8は、書込みモードにおいて、外部から入力されたデータDINをビットラインBLに供給し、読出しモードにおいて、センスアンプ7によって読み出されたデータDOUTを外部に出力する。SLドライバ9は、少なくとも選択された行のメモリセルを構成するトランジスタのソースに、消去、書込み、読出しに応じて所定の電圧を印加する。 The sense amplifier 7 reads data from at least one memory cell (for example, eight memory cells corresponding to 8-bit data) selected by the X decoder 4 and the Y decoder 6 via the corresponding bit line BL. I / O interface 8, in the write mode, supplying the data D IN input from the outside to the bit line BL, in read mode, and outputs the data D OUT read by the sense amplifier 7 to the outside. The SL driver 9 applies a predetermined voltage to at least the sources of the transistors constituting the memory cells in the selected row in accordance with erasing, writing, and reading.

制御回路1は、電源投入時に、副記憶領域5bのメモリセルに格納されている複数ビットのデータを読み出してラッチするように、Xデコーダ4、SLドライバ9、データラッチ部2を制御する。システム情報として、主記憶領域5a内の一部のセクターに関する消去及び書込みの可否情報が記憶されている場合には、制御回路1が、その情報に基づいて、主記憶領域5a内の一部のセクターにおけるデータの消去及び書込みを禁止する。   The control circuit 1 controls the X decoder 4, the SL driver 9, and the data latch unit 2 so as to read and latch data of a plurality of bits stored in the memory cell of the secondary storage area 5 b when power is turned on. When the system information stores erasure / write enable / disable information regarding a part of the sector in the main storage area 5a, the control circuit 1 determines a part of the main storage area 5a based on the information. Data erasure and writing in the sector are prohibited.

図2は、図1に示すメモリセルアレイの一部の構造を示す断面図である。このメモリセルアレイに含まれている各メモリセル10は、フローティングゲート104及びコントロールゲート107を備えたトランジスタによって構成される。図2に示すように、P型基板100において、ドレインとなるN型不純物拡散領域101と、ソースとなるN型不純物拡散領域102とが形成されている。P型基板100上には、絶縁膜103を介してフローティングゲート104が形成され、さらに、絶縁膜105及び106を介してコントロールゲート107が形成されている。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a partial structure of the memory cell array shown in FIG. Each memory cell 10 included in the memory cell array is constituted by a transistor including a floating gate 104 and a control gate 107. As shown in FIG. 2, in the P-type substrate 100, an N-type impurity diffusion region 101 serving as a drain and an N-type impurity diffusion region 102 serving as a source are formed. On the P-type substrate 100, a floating gate 104 is formed through an insulating film 103, and a control gate 107 is formed through insulating films 105 and 106.

図3は、書込み、読出し、消去におけるメモリセル各部の電圧の例を示す図である。
メモリセルにデータを書き込む際には、Xデコーダ4が、選択されたメモリセルのコントロールゲート107にワードラインを介して第1の電圧(例えば、2V)を印加し、選択されないメモリセルのコントロールゲート107にワードラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加する。また、Yデコーダ6が、データ「0」が書き込まれるメモリセルのドレイン101にビットラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加し、データ「0」が書き込まれない(消去時のデータ「1」を維持する)メモリセルのドレイン101にビットラインを介して第2の電圧(例えば、4V)を印加する。SLドライバ9は、選択されたメモリセルのソース102にソースラインを介して高電圧(例えば、12V)を印加する。
FIG. 3 is a diagram showing an example of voltages at various parts of the memory cell in writing, reading and erasing.
When writing data to the memory cell, the X decoder 4 applies a first voltage (for example, 2V) to the control gate 107 of the selected memory cell via the word line, and controls the control gate of the unselected memory cell. A low level voltage (for example, 0 V) is applied to 107 via the word line. Further, the Y decoder 6 applies a low level voltage (for example, 0 V) to the drain 101 of the memory cell in which the data “0” is written via the bit line, so that the data “0” is not written (at the time of erasing). A second voltage (for example, 4 V) is applied to the drain 101 of the memory cell (maintaining data “1”) via the bit line. The SL driver 9 applies a high voltage (for example, 12V) to the source 102 of the selected memory cell via the source line.

この時、データ「0」が書き込まれるメモリセルにおいて、フローティングゲート104とソース102との間の容量結合によって、フローティングゲート104の電位が約10Vとなる。これにより、ドレイン101からソース102に流れる電子の一部が、チャネル・ホットエレクトロンとしてフローティングゲート104に注入される。その結果、データ「0」が書き込まれるメモリセルにおいて、フローティングゲート104が負に帯電し、コントロールゲート・ソース間のしきい電圧が高くなる。   At this time, in the memory cell in which data “0” is written, the potential of the floating gate 104 becomes approximately 10 V due to capacitive coupling between the floating gate 104 and the source 102. As a result, some of the electrons flowing from the drain 101 to the source 102 are injected into the floating gate 104 as channel hot electrons. As a result, in the memory cell in which data “0” is written, the floating gate 104 is negatively charged, and the threshold voltage between the control gate and the source is increased.

メモリセルに格納されているデータを読み出す際には、Xデコーダ4が、選択されたメモリセルのコントロールゲート107にワードラインを介して第3の電圧(例えば、4V)を印加し、選択されないメモリセルのコントロールゲート107にワードラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加する。SLドライバ9は、選択されたメモリセルのソース102にソースラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加する。このとき、センスアンプ側からビットラインを介してメモリセルに電流源を接続すると、データの書込み状態に応じて、ビットラインが、例えば2V又は0Vとなる。   When reading the data stored in the memory cell, the X decoder 4 applies a third voltage (for example, 4V) to the control gate 107 of the selected memory cell via the word line, and the unselected memory A low level voltage (for example, 0 V) is applied to the control gate 107 of the cell via the word line. The SL driver 9 applies a low level voltage (for example, 0 V) to the source 102 of the selected memory cell via the source line. At this time, when a current source is connected to the memory cell from the sense amplifier side via the bit line, the bit line becomes 2 V or 0 V, for example, depending on the data write state.

即ち、データ「0」が書き込まれているメモリセルにおいては、フローティングゲート104に電子が溜まってコントロールゲート・ソース間のしきい電圧が高くなっているので、ドレイン電流が流れずビットラインが2Vとなる。一方、データ「0」が書き込まれていないメモリセルにおいては、フローティングゲート104に電子が溜まっていないのでコントロールゲート・ソース間のしきい電圧が低く、ドレイン電流が流れてビットラインが0Vとなる。センスアンプ7において、ビットラインの電圧を参照電圧と比較することにより、データを識別することができる。   That is, in the memory cell in which data “0” is written, electrons accumulate in the floating gate 104 and the threshold voltage between the control gate and the source is high, so that the drain current does not flow and the bit line is 2V. Become. On the other hand, in the memory cell in which data “0” is not written, since no electrons are accumulated in the floating gate 104, the threshold voltage between the control gate and the source is low, the drain current flows, and the bit line becomes 0V. In the sense amplifier 7, the data can be identified by comparing the voltage of the bit line with the reference voltage.

メモリセルに格納されているデータを消去する際には、Xデコーダ4が、データが消去されるメモリセルのコントロールゲート107にワードラインを介して高電圧(例えば、15V)を印加し、Yデコーダ6が、データが消去されるメモリセルのドレイン101にビットラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加し、SLドライバ9が、データが消去されるメモリセルのソース102にソースラインを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加する。これにより、コントロールゲート107とフローティングゲート104の間に高電界が生じて、フローティングゲート104に溜まっていた電子がトンネル効果によってコントロールゲート107側に引き抜かれることにより、データの消去が行われる。消去された状態は、データ「1」に対応している。   When erasing the data stored in the memory cell, the X decoder 4 applies a high voltage (for example, 15V) to the control gate 107 of the memory cell from which the data is erased via the word line, and the Y decoder 6 applies a low level voltage (for example, 0V) to the drain 101 of the memory cell from which data is erased via the bit line, and the SL driver 9 applies the source line to the source 102 of the memory cell from which data is erased. A low-level voltage (for example, 0 V) is applied via. As a result, a high electric field is generated between the control gate 107 and the floating gate 104, and electrons accumulated in the floating gate 104 are extracted to the control gate 107 side by the tunnel effect, thereby erasing data. The erased state corresponds to data “1”.

図4は、図1に示す不揮発性メモリの詳細な構成を示す回路図である。
図4に示すように、主記憶領域5aにおいて、2次元マトリクス状に配列されたメモリセル10を構成するトランジスタのコントロールゲートが、ワードラインWL0、WL1、・・・を介してXデコーダ4に接続され、ドレインが、ビットラインBL0、BL1、・・・を介してYデコーダ6に接続され、トランジスタのソースが、ソースラインSL0、SL1、・・・を介してSLドライバ9に接続されている。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the nonvolatile memory shown in FIG.
As shown in FIG. 4, in the main memory area 5a, the control gates of the transistors constituting the memory cells 10 arranged in a two-dimensional matrix are connected to the X decoder 4 via the word lines WL0, WL1,. The drain is connected to the Y decoder 6 through the bit lines BL0, BL1,..., And the source of the transistor is connected to the SL driver 9 through the source lines SL0, SL1,.

また、副記憶領域5bにおいて、行方向に隣接する2つのメモリセル51及び52がペアとして用いられ、1ペアのメモリセル51及び52に1組の相補的なデータDi及びDiバーが格納される。メモリセル51及び52を構成するトランジスタのコントロールゲートが、ワードラインWLSを介してXデコーダ4に接続され、ドレインが、ドレインラインDL0、DL1、・・・を介してデータラッチ部2に接続され、ソースが、ソースラインSLSを介してSLドライバ9に接続されている。   In the secondary storage area 5b, two memory cells 51 and 52 adjacent in the row direction are used as a pair, and a pair of complementary data Di and Di bar is stored in the pair of memory cells 51 and 52. . The control gates of the transistors constituting the memory cells 51 and 52 are connected to the X decoder 4 through the word line WLS, and the drains are connected to the data latch unit 2 through the drain lines DL0, DL1,. A source is connected to the SL driver 9 via a source line SLS.

データラッチ部2においては、副記憶領域5bの各ペアのメモリセル51及び52に対応して、1組のスイッチ用トランジスタ21及び22と、インバータ23及び24で構成されるデータラッチ回路と、プリチャージ用のトランジスタ25〜27とが設けられている。トランジスタ21及び22は、ゲートにハイレベルのスイッチオン信号SWONが印加されたときに、オン状態となる。トランジスタ25〜27は、ゲートにハイレベルのプリチャージ信号PREが印加されたときに、ドレインラインDL0、DL1、・・・をVDD/2にプリチャージする。 In the data latch unit 2, a data latch circuit including a pair of switching transistors 21 and 22 and inverters 23 and 24 corresponding to each pair of memory cells 51 and 52 in the secondary storage area 5b, Charge transistors 25 to 27 are provided. The transistors 21 and 22 are turned on when a high-level switch-on signal SWON is applied to the gates. The transistors 25 to 27 precharge the drain lines DL0, DL1,... To V DD / 2 when the high-level precharge signal PRE is applied to the gates.

副記憶領域5bのメモリセルにデータを書き込む際には、Xデコーダ4が、メモリセル51及び52のコントロールゲートにワードラインWLSを介して第1の電圧(例えば、2V)を印加し、SLドライバ9が、メモリセル51及び52のソースにソースラインSLSを介して高電圧(例えば、12V)を印加する。さらに、制御回路1が、スイッチオン信号SWONを所定の期間ハイレベルとすることにより、トランジスタ21及び22がオン状態となる。これにより、外部からデータラッチ回路に入力されてラッチされているデータDi及びDiバー(i=0、1、・・・)が、それぞれのペアのメモリセル51及び52に書き込まれる。   When data is written to the memory cell in the secondary storage area 5b, the X decoder 4 applies a first voltage (for example, 2V) to the control gates of the memory cells 51 and 52 via the word line WLS, and the SL driver 9 applies a high voltage (for example, 12 V) to the sources of the memory cells 51 and 52 via the source line SLS. Further, when the control circuit 1 sets the switch-on signal SWON to the high level for a predetermined period, the transistors 21 and 22 are turned on. As a result, data Di and Di bar (i = 0, 1,...) Latched by being input to the data latch circuit from the outside are written into the memory cells 51 and 52 of the respective pairs.

副記憶領域5bのメモリセルからデータを読み出す際には、Xデコーダ4が、メモリセル51及び52のコントロールゲートにワードラインWLSを介して第3の電圧(例えば、4V)を印加し、SLドライバ9が、メモリセル51及び52のソースにソースラインSLSを介してローレベルの電圧(例えば、0V)を印加する。さらに、制御回路1が、プリチャージ信号PREを一旦ハイレベルとすることにより、トランジスタ25〜27をオン状態として、ドレインラインDL0、DL1、・・・をプリチャージした後、スイッチオン信号SWONを所定の期間ハイレベルとすることにより、トランジスタ21及び22がオン状態となる。これにより、各ペアのメモリセル51及び52に格納されているデータDi及びDiバー(i=0、1、・・・)が読み出されて、それぞれのラッチ回路にラッチされる。   When data is read from the memory cell in the sub storage area 5b, the X decoder 4 applies a third voltage (for example, 4V) to the control gates of the memory cells 51 and 52 via the word line WLS, and the SL driver 9 applies a low-level voltage (for example, 0 V) to the sources of the memory cells 51 and 52 via the source line SLS. Further, the control circuit 1 once sets the precharge signal PRE to a high level to turn on the transistors 25 to 27 and precharge the drain lines DL0, DL1,. The transistors 21 and 22 are turned on by keeping the high level during this period. As a result, data Di and Di bar (i = 0, 1,...) Stored in each pair of memory cells 51 and 52 are read out and latched in the respective latch circuits.

次に、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路の起動時の動作について、図4〜図6を参照しながら説明する。図5は、制御回路に含まれているスイッチ制御回路の構成を示す回路図であり、図6は、図5に示す各部の電圧の変化を示す波形図である。   Next, an operation at the time of startup of the semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a switch control circuit included in the control circuit, and FIG. 6 is a waveform diagram showing a change in voltage of each part shown in FIG.

図5に示すように、スイッチ制御回路1aには、電源電位VDD及びVSSと、POR(パワーオン・リセット)信号とが、半導体集積回路の外部から供給される。なお、本実施形態において、電源電位VSSは接地電位(0V)であるものとする。スイッチ制御回路1aは、外部から供給されるPOR信号を第1の遅延時間D1だけ遅延させる遅延素子11と、外部から供給されるPOR信号及び遅延されたPOR1信号が入力されるAND回路12と、遅延素子11から出力されるPOR1信号を第2の遅延時間D2だけ遅延させる遅延素子13と、遅延素子11から出力されるPOR1信号及び遅延されたPOR2信号が入力されるAND回路14とを含んでいる。遅延素子11及び13としては、直列に接続された複数の論理回路(バッファ等)によるゲート遅延を用いても良い。また、AND回路12及び14の各々は、一方の入力端子が反転入力となっている。 As shown in FIG. 5, power supply potentials V DD and V SS and a POR (power on reset) signal are supplied to the switch control circuit 1a from the outside of the semiconductor integrated circuit. In the present embodiment, the power supply potential VSS is assumed to be the ground potential (0 V). The switch control circuit 1a includes a delay element 11 that delays an externally supplied POR signal by a first delay time D1, an AND circuit 12 to which an externally supplied POR signal and a delayed POR1 signal are input, A delay element 13 that delays the POR1 signal output from the delay element 11 by a second delay time D2, and an AND circuit 14 that receives the POR1 signal output from the delay element 11 and the delayed POR2 signal are included. Yes. As the delay elements 11 and 13, gate delays by a plurality of logic circuits (buffers or the like) connected in series may be used. Each of the AND circuits 12 and 14 has one input terminal as an inverting input.

図6に示すように、電源投入時に電源電圧(VDD−VSS=VDD)が立ち上がると、POR信号がローレベルからハイレベルに活性化される。第1の遅延時間D1が経過した後、POR1信号がローレベルからハイレベルに変化し、さらに第2の遅延時間D2が経過した後、POR2信号がローレベルからハイレベルに変化する。AND回路12は、POR信号及びPOR1信号に基づいて、1パルスのプリチャージ信号PREを生成し、AND回路14は、POR1信号及びPOR2信号に基づいて、1パルスのスイッチオン信号SWONを生成する。 As shown in FIG. 6, when the power supply voltage (V DD −V SS = V DD ) rises when the power is turned on, the POR signal is activated from the low level to the high level. After the first delay time D1 elapses, the POR1 signal changes from low level to high level, and after the second delay time D2 elapses, the POR2 signal changes from low level to high level. The AND circuit 12 generates a 1-pulse precharge signal PRE based on the POR signal and the POR1 signal, and the AND circuit 14 generates a 1-pulse switch-on signal SWON based on the POR1 signal and the POR2 signal.

再び図4を参照すると、データラッチ部2は、制御回路1からプリチャージ信号PRE及びスイッチオン信号SWONを入力する。プリチャージ信号PREがハイレベルとなっている期間において、トランジスタ25〜27がオン状態となって、ドレインラインDL0、DL1、・・・がVDD/2にプリチャージされる。その後、スイッチオン信号SWONがハイレベルとなっている期間において、スイッチ用トランジスタ21及び22がオン状態となって、副記憶領域5bのメモリセル51及び52がデータラッチ部2に接続される。 Referring to FIG. 4 again, the data latch unit 2 receives the precharge signal PRE and the switch-on signal SWON from the control circuit 1. During the period when the precharge signal PRE is at the high level, the transistors 25 to 27 are turned on, and the drain lines DL0, DL1,... Are precharged to V DD / 2. Thereafter, during a period in which the switch-on signal SWON is at a high level, the switching transistors 21 and 22 are turned on, and the memory cells 51 and 52 in the secondary storage area 5 b are connected to the data latch unit 2.

データラッチ部2において、インバータ23及び24によって構成されるデータラッチ回路は、メモリセル51及び52に格納されているデータDi及びDiバーに従って出力レベルを確定させる。即ち、データDi及びDiバーは互いに相補的であるので、メモリセル51及び52を構成する2つのトランジスタのドレイン電圧には、データDi及びDiバーに従って電位差が生じる。従って、データラッチ回路は、その電位差に基づいて、メモリセル51及び52に格納されているデータをラッチする。このように、データラッチ回路を用いてデータを読み出す構成としたので、副記憶領域5bのメモリセル用のYデコーダやセンスアンプを設けることなく、データの正確な読出しを行うことができる。   In the data latch unit 2, the data latch circuit constituted by the inverters 23 and 24 determines the output level according to the data Di and Di bar stored in the memory cells 51 and 52. That is, since the data Di and Di bar are complementary to each other, a potential difference is generated between the drain voltages of the two transistors constituting the memory cells 51 and 52 according to the data Di and Di bar. Therefore, the data latch circuit latches data stored in the memory cells 51 and 52 based on the potential difference. As described above, since the data is read using the data latch circuit, the data can be read accurately without providing a Y decoder or a sense amplifier for the memory cell in the sub storage area 5b.

ここで、副記憶領域5bに格納されているシステム情報が、主記憶領域5a内の一部のセクターにおける消去及び書込みの可否情報である場合について説明する。電源投入時に消去及び書込みの可否情報が副記憶領域5bから読み出された後、外部から消去又は書込みコマンドが入力されると、制御回路1は、読み出された消去及び書込みの可否情報に基づいて、コマンドにおいて指定されたアドレスが保護すべきセクターに対応するか否かを判定し、指定されたアドレスが保護すべきセクターに対応する場合には、そのコマンドをリセットする。これにより、主記憶領域5aに格納されているプログラムや重要なデータを保護することが可能となる。   Here, a case will be described in which the system information stored in the secondary storage area 5b is erasable / writeable information on some sectors in the main storage area 5a. When the erasure / write enable / disable information is read from the secondary storage area 5b when the power is turned on, when an erase / write command is input from the outside, the control circuit 1 is based on the read erasure / write enable / disable information. Then, it is determined whether the address specified in the command corresponds to the sector to be protected. If the specified address corresponds to the sector to be protected, the command is reset. As a result, it is possible to protect programs and important data stored in the main storage area 5a.

本発明の一実施形態における不揮発性メモリの構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the non-volatile memory in one Embodiment of this invention. 図1に示すメモリセルアレイの一部の構造を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a partial structure of the memory cell array shown in FIG. 1. 書込み、読出し、消去におけるメモリセル各部の電圧の例を示す図。The figure which shows the example of the voltage of each part of the memory cell in writing, reading, and erasing. 図1に示す不揮発性メモリの詳細な構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the detailed structure of the non-volatile memory shown in FIG. 制御回路に含まれているスイッチ制御回路の構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the structure of the switch control circuit contained in the control circuit. 図5に示す各部の電圧の変化を示す波形図。The wave form diagram which shows the change of the voltage of each part shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 制御回路、 1a スイッチ制御回路、 2 データラッチ部、 3 アドレスバッファ、 4 Xデコーダ、 5 メモリセルアレイ、 5a 主記憶領域、 5b 副記憶領域、 6 Yデコーダ、 7 センスアンプ、 8 I/Oインタフェース、 9 SLドライバ、 10、51、52 メモリセル、 11、13 遅延素子、 12、14 AND回路、 100 P型基板、 101 ドレイン、 102 ソース、 103、105、106 絶縁膜、 104 フローティングゲート、 107 コントロールゲート   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Control circuit, 1a Switch control circuit, 2 Data latch part, 3 Address buffer, 4 X decoder, 5 Memory cell array, 5a Main storage area, 5b Sub storage area, 6 Y decoder, 7 Sense amplifier, 8 I / O interface, 9 SL driver, 10, 51, 52 Memory cell, 11, 13 Delay element, 12, 14 AND circuit, 100 P type substrate, 101 Drain, 102 Source, 103, 105, 106 Insulating film, 104 Floating gate, 107 Control gate

Claims (6)

データの消去及び書込みを電気的に行うことが可能な不揮発性メモリを内蔵した半導体集積回路であって、
N行M列(N、Mは2以上の整数)の2次元アレイ状に配置された複数のメモリセルを含み、(N−1)行M列のメモリセルによって構成される主記憶領域と1行M列のメモリセルによって構成される副記憶領域とを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのそれぞれの行のメモリセルを構成する複数のトランジスタのコントロールゲートに各々が接続された複数のワードラインを駆動することにより、1行のメモリセルを選択する行デコーダと、
前記主記憶領域のそれぞれの列のメモリセルを構成する複数のトランジスタのドレインに各々が接続された複数のビットラインを駆動することにより、少なくとも1列のメモリセルを選択する列デコーダと、
前記メモリセルアレイに含まれている複数のメモリセルをそれぞれ構成する複数のトランジスタのソースを駆動するドライバと、
前記行デコーダ及び前記列デコーダによって選択された少なくとも1つのメモリセルから少なくとも1つのビットラインを介してデータを読み出すセンスアンプと、
前記副記憶領域の隣接する2つずつのメモリセルにそれぞれのスイッチ用トランジスタを介して各々が接続された複数のデータラッチ回路と、
を具備する半導体集積回路。
A semiconductor integrated circuit including a nonvolatile memory capable of electrically erasing and writing data,
A main storage area including a plurality of memory cells arranged in a two-dimensional array of N rows and M columns (N and M are integers of 2 or more) and (N-1) rows and M columns of memory cells and 1 A memory cell array having a secondary storage area composed of memory cells in rows and M columns;
A row decoder for selecting one row of memory cells by driving a plurality of word lines each connected to the control gates of a plurality of transistors constituting each row of memory cells in the memory cell array;
A column decoder for selecting at least one column of memory cells by driving a plurality of bit lines respectively connected to the drains of a plurality of transistors constituting the memory cells in each column of the main storage area;
A driver for driving sources of a plurality of transistors respectively constituting a plurality of memory cells included in the memory cell array;
A sense amplifier that reads data from at least one memory cell selected by the row decoder and the column decoder via at least one bit line;
A plurality of data latch circuits each connected to two adjacent memory cells in the sub storage area via respective switching transistors;
A semiconductor integrated circuit comprising:
前記副記憶領域のメモリセルからデータを読み出すのに先立って前記複数のデータラッチ回路をプリチャージするためのプリチャージ回路をさらに具備する、請求項1記載の半導体集積回路。   2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising a precharge circuit for precharging the plurality of data latch circuits prior to reading data from the memory cells in the sub storage area. 電源投入時に、前記副記憶領域のメモリセルに格納されている複数ビットのデータを読み出してラッチするように、前記行デコーダ、前記ドライバ、前記スイッチ用トランジスタ、及び、前記プリチャージ回路を制御する制御回路をさらに具備する、請求項2記載の半導体集積回路。   Control for controlling the row decoder, the driver, the switching transistor, and the precharge circuit so that, when power is turned on, a plurality of bits of data stored in the memory cells of the secondary storage area are read and latched. The semiconductor integrated circuit according to claim 2, further comprising a circuit. 前記メモリセルアレイが、データの分割消去を行うことが可能な主記憶領域を有し、
前記制御回路が、前記副記憶領域から読み出された情報に基づいて、前記主記憶領域の一部の記憶領域におけるデータの消去及び書込みを禁止する、
請求項3記載の半導体集積回路。
The memory cell array has a main storage area capable of performing divided erasure of data,
The control circuit prohibits erasing and writing of data in a partial storage area of the main storage area based on information read from the secondary storage area.
The semiconductor integrated circuit according to claim 3.
前記副記憶領域の1行M列のメモリセルが、前記メモリセルアレイの最外列に配置されている、請求項1〜4のいずれか1項記載の半導体集積回路。   5. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein memory cells of 1 row and M columns in the sub storage area are arranged in an outermost column of the memory cell array. 前記複数のデータラッチ回路の各々が、前記副記憶領域の第1のメモリセルに接続された入力端子と前記副記憶領域の第2のメモリセルに接続された出力端子とを有する第1のインバータと、前記第2のメモリセルに接続された入力端子と前記第1のメモリセルに接続された出力端子とを有する第2のインバータとを含む、請求項1〜5のいずれか1項記載の半導体集積回路。
Each of the plurality of data latch circuits has a first inverter having an input terminal connected to the first memory cell in the sub storage area and an output terminal connected to the second memory cell in the sub storage area And a second inverter having an input terminal connected to the second memory cell and an output terminal connected to the first memory cell. Semiconductor integrated circuit.
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