JP2007117898A - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出手段の吐出量のバラツキによらずに、スジの発生を防ぐことができる薄膜形成方法及び薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基体１０Ａと液滴吐出とを対向させて相対的に走査しながら、液滴吐出ヘッドにより吐出される液滴を基体１０Ａ上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法であって、基体１０Ａ上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する液滴吐出ヘッドが吐出する液滴の吐出回数を変更することにより、欠陥が発生していない位置との塗布量のばらつきを抑える。
【選択図】図３

Description

本発明は、機能液の液滴を基体上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法及び薄膜形成装置に関する。

近年、液滴吐出ヘッドにより機能液のインク（液滴）を吐出する液滴吐出法、いわゆるインクジェット法を用いて、機能膜（薄膜）を形成することが提案されている（例えば、特許文献１，２を参照。）。このインクジェット法は、一般に、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから吐出されたインクを基板上に繰り返し着弾させて薄膜を形成するものである。このインクジェット法は、微小なインクをドット状に吐出するため、インクの大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高く、また、スピンコート法などの従来の塗布技術に比べて、液の消費に無駄が少ない。さらに、フォトリソグラフィーなどのパターニング技術を用いずに、任意のパターンを直接形成することができる。このため、例えば、液晶装置のカラーフィルタや、有機ＥＬ装置の発光層などの薄膜形成に応用されている。
特開平１０−１００３９６号公報 特開平１０−１５１７５５号公報

ところで、上述したインクジェット法による大型液晶パネルなどのカラーフィルタ形成工程においては、生産性を確保するために、１つのキャリッジに多くの液滴吐出ヘッドを搭載して描画を行っている。しかしながら、このような多数のヘッドを搭載して描画を行った場合には、ヘッドの個体差により吐出量にバラツキが生じて、描画パターン中にスジと呼ばれる線状の欠陥が発生してしまうことがあった。このようなスジは、ヘッド構成と描画パターンにより特定の場所及びピッチに現れる。一方、このようなスジの発生を防止するために、各ノズルの吐出量を補正する機構を備えたものもあるが、各ノズルの吐出量を制御するためには、大幅な改良が必要となり、コストがかかってしまう。

本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、液滴吐出手段の吐出量のバラツキによらずに、スジの発生を防ぐことができる描画方法及び描画装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係る描画方法は、基体と液滴吐出手段とを対向させて相対的に走査しながら、液滴吐出手段により吐出される機能液の液滴を基体上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法であって、基体上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を変更することを特徴とする。
このような薄膜形成方法によれば、欠陥が発生した特定位置に対する液滴の吐出回数を変更することで、欠陥が発生していない位置との塗布量のばらつきを抑えることができる。したがって、液滴吐出手段の吐出量のバラツキによらずに、スジの発生を防ぐことができる。

また、本発明に係る薄膜形成方法は、基体上にカラーフィルタを形成する場合に好適に用いることができる。

一方、本発明に係る薄膜形成装置は、基体と対向して配置されて、この基体上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出手段と、基体と液滴吐出手段とのうち少なくとも一方を他方に対して相対的に走査する走査手段と、基体を検査する検査手段と、液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を制御する制御手段とを備え、制御手段は、検査手段からの検査情報に基づいて、基体上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を変更することを特徴とする。
このような薄膜形成装置によれば、欠陥が発生した特定位置に対する液滴の吐出回数を変更することで、欠陥が発生していない位置との塗布量のばらつきを抑えることができる。したがって、液滴吐出手段の吐出量のバラツキによらずに、スジの発生を防ぐことができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、これらの図面に示される構造は特徴的な部分を分かり易く示すために実際の構造に対して寸法を異ならせて示す場合がある。

（電気光学装置）
先ず、本実施形態に係る薄膜形成装置及び薄膜形成方法用いて作製される電気光学装置の一例として、図１に示す液晶装置１を挙げて説明する。図１は、液晶装置１の構成を示す斜視図である。

この液晶装置１は、図１に示すように、液晶パネル４０と、バックライト４１とを主体として構成されている。液晶パネル４０は、アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とがシール材２６を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とシール材２６との間に液晶６が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域２ａは、画像や動画等が表示される領域である。

なお、液晶装置１は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル４０は、２枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される（多数個取り）。２枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板３を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板２を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。

図２は、カラーフィルタ基板３の構成を示す平面図であり、（ａ）は、カラーフィルタ基板３の全体構成を示す図であり、（ｂ）は、カラーフィルタ基板３の一部を拡大して示す図である。図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板３は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板３上には、遮光層１３が設けられており、遮光層１３で囲まれた領域（画素領域）に対応して赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂを有するカラーフィルタ１６が設けられている。このカラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ及び１６Ｂは、後述する薄膜形成装置を用いたインクジェット法により形成されたものである。また、各画素領域は、後述するインクジェット法により液体材料が吐出される位置である。したがって、以下の説明において、この画素領域を「被吐出部」と呼ぶこともある。

また、カラーフィルタ基板３には、カラーフィルタ１６を覆うようにオーバーコート層（図示せず。）が形成され、オーバーコート層上には、配向膜（図示せず。）が形成されている。この配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。

また、図２（ｂ）に示すように、１個の赤色層１６Ｒ（または緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂ）については、短辺の長さＳが例えば１７０μｍ程度、長辺の長さＬが例えば５１０μｍ程度の矩形に設けられている。また、隣接するカラーフィルタ１６同士の間隔については、行方向の間隔Ｔ１は約２０μｍとなっており、列方向の間隔Ｔ２は約４０μｍとなっている。

（薄膜形成装置）
次に、本実施形態に係る薄膜形成装置（液滴吐出装置）１００について説明する。
図３に示すように、薄膜形成装置１００は、液体材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液体材料１１１が供給される吐出走査部１０２とを主体として構成されている。

液体材料１１１には、例えば上述した液晶装置１のカラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒを構成する材料（以下、「赤色材料」という。）１１１Ｒと、緑色層１６Ｇを構成する材料（以下、「緑色材料」という。）１１１Ｇと、青色層１６Ｂを構成する材料（以下、「青色材料」という。）１１１Ｂとの３種類がある。

タンク１０１は、赤色材料１１１Ｒを保持する赤色材料タンク１０１Ｒと、緑色材料１１１Ｇを保持する緑色材料タンク１０１Ｇと、青色材料１１１Ｂを保持する青色材料タンク１０１Ｂとを有しており、上述した３種類の液体材料１１１を個別に保持するようになっている。各タンク１０１には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられており、この圧力ポンプがタンク１０１の内部に圧力を加えることで、液体材料１１１がタンク１０１内から吐出走査部１０２へと供給されるようになっている。

ここで、赤色材料１１１Ｒとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料（例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
一方、緑色材料１１１Ｇとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料（例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等）を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
一方、青色材料１１１Ｂとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料（例えば、群青や紺青等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。

吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御するキャリッジ位置制御装置１０４と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御するステージ位置制御装置１０８と、制御部１１２とを有している。なお、実際には、吐出装置１００には複数（例えば１０個）のキャリッジ１０３が設置されている。なお、図３には、便宜上１つのキャリッジ１０３のみを図示する。

キャリッジ位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させるようになっている。ステージ位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｙ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させるようになっている。

上述のように、キャリッジ１０３は、キャリッジ位置制御装置１０４の制御によってＸ軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ１０６は、ステージ位置制御装置１０８の制御によってＹ軸方向に移動するようになっている。すなわち、キャリッジ位置制御装置１０４及びステージ位置制御装置１０８（走査手段）によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わるようになっている。

これにより、キャリッジ１０３及びステージ１０６のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ１０３がステージ１０６（あるいはステージ１０６に保持される基体１０Ａ）を走査することができるようになっている。なお、本実施形態では、キャリッジ１０３を静止させ、ステージ１０６を移動させることで走査を行う場合を例に挙げて説明する。

図４は、１個のキャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図４の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図４の紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。キャリッジ１０３は、図４に示すように、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド（液滴吐出手段）１１４を保持している。液滴吐出ヘッド１１４には、液体材料１１１のうち赤色材料１１１Ｒを吐出するヘッド１１４Ｒ、緑色材料１１１Ｇを吐出するヘッド１１４Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出するヘッド１１４Ｂの３種類がある。

キャリッジ１０３には、ヘッド群１１４Ｐが２箇所に設けられている。各ヘッド群１１４Ｐには、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ２個ずつ、Ｙ軸方向に直線状に設けられている。したがって、１つのキャリッジ１０３においては、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ４個ずつ設けられており、ヘッド１１４は、計１２個設けられていることになる。

図５は、ヘッド１１４の底面１１４ａを示した図である。底面１１４ａの形状は、対向する２つの長辺及び対向する２つの短辺を有する矩形である。底面１１４ａは、ステージ１０６側を（図中Ｚ軸方向）向いている。ヘッド１１４の長辺方向と図中Ｘ軸方向、また、ヘッド１１４の短辺方向と図中Ｙ軸方向については、それぞれ平行になっている。

また、底面１１４ａには、ノズル１１８がＸ軸方向に例えば９０個ずつ、２列（列１１６Ａと列１１６Ｂ）に配置されている。また、各ノズル１１８のノズル径ｒは、約３０μｍとなっている。列１１６Ａ側のノズル１１８及び列１１６Ｂ側のノズル１１８は、それぞれ各列において所定のピッチＬＮＰ（ＬＮＰ：約１４０μｍ）で配置されている。

また、ノズル列１１６Ｂの各ノズル１１８の位置が、ノズル列１１６Ａの各ノズル１１８位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の負の方向（図５の下方向）にずれるように配置されている。なお、ヘッド１１４に設けられるノズル列は２列でなくても良い。例えば、３列、４列、・・・Ｍ列（Ｍは自然数）と列数を増やしても良いし、あるいは１列であっても構わない。

ノズル列１１６Ａ及びノズル列１１６Ｂは、それぞれ９０個のノズルからなることから、１つのヘッド１１４は、１８０個のノズルを有することになる。ただし、ノズル列１１６Ａの両端から５つ目までのノズルは、液体材料１１１が吐出されないようになっている（休止ノズル：図５中、破線で囲まれた部分）。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端から５つ目までのノズルも液体材料１１１が吐出されない休止ノズルとなっている（図５中、破線で囲まれた部分）。このため、液滴吐出ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、両端の２０個のノズルを除いた１６０個のノズル１１８が液体材料１１１を吐出するようになっている。

なお、本実施形態では、ノズル列１１６Ａに含まれる９０個のノズル１１８のうち、図５中上端から６番目のノズル１１８をヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」と表記する。すなわち、ノズル列１１６Ａにおける８０個の吐出ノズルのうち、図５中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」である。なお、すべてのヘッド１１４に対して、「基準ノズル１１８Ｒ」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル１１８Ｒ」の位置は、上記位置でなくてもよい。

次に、液滴吐出ヘッド１１４の内部の構成を説明する。図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、この液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドであり、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液体材料１１１が常に充填される液たまり１２９が設けられている。

また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が設けられている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０が構成されている。キャビティ１２０は、ノズル１１８ごとに設けられており、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁１２２間に設けられた供給口１３０を介して、液溜まり１２９から液体材料１１１が供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が配置されている。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを有している。この一対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液体材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料１１１を吐出する構成を有していてもよい。

次に、制御部１１２の構成を説明する。図７は、制御部１１２の構成を示すブロック図である。制御部１１２は、液体材料１１１を吐出するタイミングや吐出回数、キャリッジ１０３の固定位置、ステージ１０６の移動（移動速度、移動距離等）等、この薄膜形成装置１の動作に関して統括して制御する制御手段である。

具体的に、この制御部１１２は、図７に示すように、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２としては、例えばＲＡＭ等が用いられている。

処理部２０４は、記憶手段２０２内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部２０６及びヘッド駆動部２０８に、必要な駆動信号を供給する。

走査駆動部２０６は、処理部２０４から供給される駆動信号に基づいて、キャリッジ制御装置１０４およびステージ制御装置１０８に所定の制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部２０８は駆動信号に基づいて、各ヘッド１１４に液体材料１１１を吐出する吐出信号を供給する。

ヘッド駆動部２０８は、図８（ａ）に示すように、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有している。アナログスイッチＡＳは、ヘッド１１４内の振動子１２４に接続されている（具体的には、電極１２４Ａに接続されている。ただし、電極１２４Ａは図８（ａ）には示されていない。）。当該アナログスイッチＡＳは、ノズル１１８のそれぞれに対応するように設けられており、ノズル１１８の個数と同数設けられている。

駆動信号生成部２０３は、図８（ｂ）に示すような駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に独立して供給される。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。すなわち、駆動信号ＤＳは、複数の吐出波形Ｐが吐出周期ＥＰで繰り返される信号である。吐出周期ＥＰは、例えば処理部２０４によって所望の値に調節されるようになっている。この吐出周期ＥＰを適宜調節することによって、複数のノズル１１８から所定の順序で液体材料１１１が吐出されるように吐出信号を生成することができる。このように、吐出のタイミングを制御することができるようになっている。

また、吐出のタイミングの他、例えば、ステージ１０６を走査させながら液体材料１１１を吐出する動作を行う場合に、液体材料１１１を吐出している間は、液体材料１１１を吐出しない間よりもステージ１０６の移動のスピードを遅くするように、すなわち、走査速度を低くするように制御可能になっている。

なお、制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。

（薄膜形成方法）
次に、上述した薄膜形成装置１００を用いた本実施形態に係る薄膜形成方法について説明する。本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置１に分離する方法を例に挙げて説明する。

先ず、カラーフィルタ側マザー基板を作製する。すなわち、上記薄膜形成装置１００のステージ１０６に、基体１０Ａを保持させる。当該基体１０Ａには、図９に示すように、カラーフィルタ１６の各層を保持する被吐出部１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）が形成されている。すなわち、被吐出部１８Ｒには、赤色層１６Ｒが保持され、被吐出部１８Ｇには、緑色層１６Ｇが保持され、被吐出部１８Ｂには、青色層１６Ｂが保持されるようになっている。なお、基体１０Ａをステージ１０６に保持する際には、基体１０Ａの短辺方向がＸ軸方向に一致し、長辺方向がＹ軸方向に一致するように位置を調節する。

次に、この状態から、ステージ１０６を例えば図９中左側から右側へ移動させる。これにより、キャリッジ１０３は、相対的に図９中右側から左側に基体１０Ａ上を走査することになる。また、各ヘッド１１４からは、液体材料１１１の液滴が各被吐出部１８に吐出される。このとき、上述した制御部１１２により液体材料１１１の吐出のタイミング及び走査速度、吐出回数等が制御される。

これにより、各被吐出部１８には、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂの各液滴が着弾されて、カラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂが形成されることになる。なお、各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ全体吐出走査がされた状態においては、各被吐出部１８の全体に液体材料１１１が吐出されてはいるものの、カラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを形成するのに液体材料１１１の体積がまだ不足している状態である。したがって、上記走査を、カラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを形成するために十分な体積の液体材料１１１で満たされる状態になるまで繰り返して行う。なお、複数行に亘って設けられた被吐出部１８のうち、どの行に液体材料１１１の液滴を吐出するかは、適宜設定することが可能である。

次に、カラーフィルタ１６が形成された基材１０Ａ上に、電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基材１０Ａの表面にギャップ制御用のスペーサ及び隔壁を形成する。この基材１０Ａに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。

次に、アクティブマトリクス側マザー基板を作製する。すなわち、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。

次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。すなわち、両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト４１を取り付けて、液晶装置１が完成する。

ところで、上述した薄膜形成装置１００の制御部１１２は、図７に示すように、基板１０Ａの検査を行う検査装置３００と接続されており、この検査装置３００からの検査情報に基づいて、基体１０Ａ上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する液滴吐出ヘッド１１４が吐出する液滴の吐出回数を変更することを特徴としている。

具体的に、検査装置３００には、例えば図１０に示すようなムラ検出器を用いることができる。すなわち、この検査装置３００は、色の濃淡とその位置を検出するものであり、基体１０Ａの背面側に配置されたバックライト（照明手段）３０１と、基体１０Ａの前面側に配置されたＣＣＤカメラ（撮像手段）３０２とを備えている。そして、この検査装置３００は、バックライト３０１が照明光（可視光）を基体１０Ａに照射しながら、この基体１０Ａを透過光して写し出される基体１０Ａの像をＣＣＤカメラ３０２が撮影する構成となっている。また、この検査装置３００は、ＣＣＤカメラ３０２により撮影された基体１０Ａの画像から各位置の光学濃度(ＯＤ:Optical Density)値を測定することができる。

一方、制御部１１２は、検査装置３００から測定データが供給されると、内部に記録された制御プログラムに従って、基体１０Ａに欠陥（スジ）が発生したか否かの判定を行う。また、その欠陥が発生した位置の特定を行う。これらの判定には、例えば幾つかのサンプル画像との比較によって行うことができる。制御部１１２は、この判定結果に基づいて、液滴吐出ヘッド１１４の吐出量のばらつきにより基体１０Ａの特定の位置に欠陥が発生したと判別した場合には、描画データを変更し、その特定位置の被吐出部１８に対する液滴の吐出回数に変更を加える。

例えば、図１１（ａ）に示すように、基体１０Ａ中の画素列に所定のピッチでスジＳが発生した場合には、そのスジＳが発生した被吐出部１８に対する液滴の吐出回数を変更する駆動信号をヘッド駆動部２０８に供給する。すなわち、吐出回数の変更は、スジが発生していない位置との比較によって、その塗布量が少ないと判定された場合には、吐出回数を増やすようにし、その塗布量が多いと判定された場合には、吐出回数を減らすようにする。これにより、図１１（ｂ）に示すように、スジＳが発生していない位置との塗布量のバラツキを抑え、このようなスジＳの発生を防ぐことができる。

このように、描画後に基体１０Ａに発生するスジＳの有無と、発生した場合の位置を特定することで、どの画素列の塗布量を変えたらよいかがわかる。なお、このような検査は、基体１０Ａ毎或いは基体１０Ａ内のライン毎に行うことができる。

以上のように、本実施形態によれば、上述した液滴吐出ヘッド１１４の吐出量のバラツキによらずに、スジＳの発生を防ぐことができる。また、本実施形態によれば、大画面の表示装置をなす液晶装置（カラーフィルタ側マザー基板）について、液滴吐出ヘッド１１４が吐出する液滴の吐出量のばらつきを抑えて、均一な膜厚で安定した成膜を行うことができる。したがって、不良の発生を防ぎつつ、大画面の液晶装置１を高品質且つ低コストで製造することができる。

なお、本実施形態の薄膜形成装置及び薄膜形成方法は、上述したＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）の３色を組み合わせたカラーフィルタの構成に限らず、さらに４色以上を組み合わせた構成、例えば、Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）等を加えた構成とすることもできる。

また、本実施形態の薄膜形成装置及び薄膜形成方法は、上述した液晶装置１の製造に限らず、金属配線の形成や、有機ＥＬ装置の発光層、液晶装置の配向膜の形成など、機能膜を形成する際に広く適用することが可能である。そして、何れも場合にも、機能膜を精度良く形成することができる。

（電子機器）
次に、上記液晶装置１を備えた電子機器について説明する。
図１２（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１２（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の液晶装置からなる表示部を示している。図１２（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１２（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の液晶装置からなる表示部を示している。図１２（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１２（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の液晶装置１からなる表示部を示している。

図１２に示す電子機器の液晶装置は、上記実施形態の薄膜形成装置及び薄膜形成方法を用いて製造されているので、高品質な画像を表示でき不具合が発生しないなど高性能としながら、低価格で提供することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。

液晶装置の構成を示す斜視図である。 カラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。 液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。 キャリッジの構成を示す平面図である。 液滴吐出ヘッドの外部構成を示す平面図である。 液滴吐出ヘッドの内部構成を示す図である。 液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。 液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。 液滴吐出装置の動作を説明するための図である 検査装置の構成を示す図である。 スジの発生及びその発生防止を説明するための模式図である。 電子機器を示す斜視図である。

符号の説明

１…液晶装置、２…アクティブマトリクス基板、３…カラーフィルタ基板、１０Ａ…基体、１６…カラーフィルタ、１００…薄膜形成装置（液滴吐出装置）、１０３…キャリッジ、１０６…ステージ、１１２…制御部、１１４…液滴吐出ヘッド、１１８…ノズル

Claims (3)

1. 基体と液滴吐出手段とを対向させて相対的に走査しながら、前記液滴吐出手段により吐出される機能液の液滴を前記基体上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
   前記基体上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する前記液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を変更することを特徴とする薄膜形成方法。
2. 前記基体上にカラーフィルタを形成することを特徴とする請求項１に記載の薄膜形成方法。
3. 基体と対向して配置されて、前記基体上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出手段と、
   前記基体と前記液滴吐出手段とのうち少なくとも一方を他方に対して相対的に走査する走査手段と、
   前記基体を検査する検査手段と、
   前記液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記検査手段からの検査情報に基づいて、前記基体上に発生した欠陥の位置を特定し、この特定位置に対する前記液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出回数を変更することを特徴とする薄膜形成装置。

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