JP2007112464A - 基板収納体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持台と、前記支持台上に載置された第1の支持板と、前記第1の支持板上に載置された複数の基板を積み重ねてなる積重体と、前記積重体上に載置された第2の支持板と、バネ構造と締め具とを備え、端部を前記支持台に固定可能なベルトと、を具備し、前記ベルトを締め付けることにより、前記積重体が前記支持台に押し付け固定されてなることを特徴とする基板収納体。
【選択図】図1
Description
図1及び図2は、本発明の第1の実施形態に係る基板収納体の説明図であり、図1は、基板収納体1の斜視図であり、図2は、基板収納体1の正面図である。
ベルト13の締め付けの程度は、支持板11の下面の基板押し圧力が、1平方cmあたり10g〜300gである。
例えば、前述した実施の形態では、基板はカラーフィルター基板であったが、カラーフィルター基板以外の各種基板等を搬送する場合にも適用することができる。
3………パレット
5………支持板
7………積重体
8………離間体
9a………基板本体
9b………機能層
9c………保護膜
11………支持板
13………ベルト
15………バネ部材
17………締め具
19………逆U字具
21………枕材
23………クッション材
25………蓋体
Claims (3)
- 支持台と、
前記支持台上に載置された第1の支持板と、
前記第1の支持板上に載置された複数の基板を積み重ねてなる積重体と、
前記積重体上に載置された第2の支持板と、
バネ構造と締め具とを備え、端部を前記支持台に固定可能なベルトと、
を具備し、
前記ベルトを締め付けることにより、前記積重体が前記支持台に押し付け固定されてなることを特徴とする基板収納体。 - 前記積重体の基板端部と前記ベルトとの間にクッション材を備えることを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
- 前記第2の支持板と前記ベルトとの間に枕材を具備することを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板収納体。
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