JP2007183225A - 光照射装置、面形状検査システム、および面形状検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】車両ボディ表面などの凹曲面又は凸曲面等の複雑な曲面を被検査面とする面形状検査において、受光手段が捉えた被検査面の任意の位置において像対象物の鏡像が映るようにして、一度の検査で被検査面の曲面形状を残らず検出することのできる技術を提案する。
【解決手段】被検査面Ｆを略中心として放射状に、且つ、併せて検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されている略直線状の光線照射部２１ａ・２１ａ・・・を備えた像対象物２１から、被検査面Ｆに光線束を照射することによって、該被検査面Ｆに明部と暗部とを形成する。そして、被検査面Ｆの明部と暗部の表れ方や形状等に基づいて該被検査面Ｆの形状を特定し、品質の良否を判定する。
【選択図】図５

Description

本発明は、車両ボディの表面等、凹曲面や凸曲面が含まれる被検査面の品質を検査するための技術に関する。

従来、車両ボディ等の表面の品質を検査するに当たって、被検査面に照明を照射することにより該被検査面に表れる陰影を、検査員が視覚や触覚等の官能に基づいて観察し、面品質の良否判定を行う手法が採用されていた。
しかし、被検査面に表れる陰影では、該被検査面から光源までの距離や被検査面の光沢や色により明るさに差異が生じて誤判定が生じたり、官能検査では検査官の疲労度などのコンディションや個々の検査官により判定基準にばらつきが生じたりするという、課題があった。

そこで、車両ボディが滑らかな反射率の高い面であり鏡面の性質を持つことを利用して、特許文献１では、被検査面に複数の明るい線（以下、『ハイライト線』と記載する）を映して、このハイライト線の歪みやうねり等を検出することによって、被検査面の品質を検査する技術が提案されている。
この技術は、長尺スリット光線を被検査面に照射する光源を複数略平行に並設した装置と、被検査面に映ったハイライト線を撮像する装置と、撮像された画像を分析する装置とを備えて、被検査面の品質の良否を判定するものである。

しかし、特許文献１に記載の技術では、被検査面に映り前記ハイライト線を形成する物体が或限られた範囲において略同一平面上に配置されている。
例えば、図１２に示すように、或限られた範囲において略同一平面上に配置された光源６１・６１・・・を、凸曲面や凹曲面等の曲面が含まれる被検査面Ｆに映し、これを受光手段６２にて受光して検査を行う場合に、図１３に示すように、受光手段から見た被検査面に表れるハイライト線の間隔に大小が生じたり、ハイライト線が映らない部位が生じたりする。

被検査面Ｆに含まれる凸曲面は、凸面鏡の性質を有するため、得られる像は全て正立虚像となり、また、拡大鏡に似た性質を有するため、幅が太く間隔の大きいハイライト線が見える。
一方、凹曲面は凹面鏡の性質を有するため、焦点よりも外側にある物体は倒立実像となり、内側にある物体は正立虚像となり、また、広角鏡に似た性質を有するため、幅が細く間隔の狭いハイライト線が見える。

上述のように被検査面Ｆに、平面鏡とは性質の異なる球面鏡となる部分が含まれる場合には、受光手段が捉えることができない範囲に光源の像が結ばれて、受光手段が捉えた被検査面にハイライト線が映らない部位が生じることがある。

このような場合には、被検査面の検査領域ごとに該被検査面に像を形成する物体や受光手段を移動させながら検査を行う必要が生じ、この結果、品質不良の見落としが発生したり、検出不良が発生したりすることが危惧される。
特開平６−１９４１４８号公報

そこで、本発明は、車両ボディ表面などの凹曲面又は凸曲面等の複雑な曲面を被検査面とする面形状検査において、受光手段が捉えた被検査面の任意の位置において像対象物の鏡像が映るようにして、一度の検査で被検査面の曲面形状を特定することのできる技術を提案する。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、請求項１においては、像対象物より被検査面に光線束を照射して該被検査面に明部と暗部とを形成するための光照射装置において、前記像対象物が、単数又は複数の規則性を有する形状の光線照射部を有し、前記被検査面を包囲するように形成されているものである。

請求項２においては、前記像対象物が有する光線照射部は、略直線状であって、被検査面を略中心として放射状に、且つ、被検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されているものである。

請求項３においては、前記光線照射部は発光体にて構成され、前記像対象物は、前記被検査面を包囲するように形成された板体と、該板体に固定された前記光線照射部とで構成されるものである。

請求項４においては、前記請求項１〜３のいずれか一項に記載の光照射装置と、被検査面を撮像する撮像装置と、前記撮像装置にて撮像された被検査面の像を画像化する画像処理装置と、前記画像処理装置にて画像化された被検査面に表れる明部及び暗部に基づいて、該被検査面の品質の良否を判定する判定装置とを、備える面形状検査システムである。

請求項５においては、前記判定装置は、画像化された被検査面に表れる明部及び暗部と、予め設定された基準被検査面の理想的な形状を表す明部及び暗部とを、比較することにより、該画像化された被検査面の品質の良否を判定するものである。

請求項６においては、単数又は複数の規則性を有する形状の光線照射部を有し、前記被検査面を包囲するように形成されて成る像対象物より、被検査面に光線束を照射し、前記被検査面に表れる明部及び暗部に基づいて該被検査面の形状を検査する面形状検査方法である。

請求項７においては、前記像対象物が有する光線照射部は、略直線状であって、被検査面を略中心として放射状に、且つ、被検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されているものである。

請求項８においては、前記光線照射部は発光体にて構成され、前記像対象物は、前記被検査面を包囲するように形成された板体と、該板体に固定された前記光線照射部とで構成されるものである。

請求項９においては、前記像対象物が映った被検査面を撮像し、撮像された被検査面に表れる明部及び暗部を画像化し、画像化された被検査面に表れる明部及び暗部と、予め設定された基準被検査面の理想的な形状を表す明部及び暗部とを、比較することにより、該画像化された被検査面の品質の良否を判定するものである。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

受光手段にて捉える被検査面の任意の位置に像対象物が映るため、被検査面の任意の位置において明部と暗部とを確認することができる。よって、被検査面の測定領域ごとに受光手段や像対象物を移動させる必要が無くなる。

次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の実施例に係る面形状検査システムの最小限構成図、図２は像対象物と被検査面と受光手段との関係の一例を説明する図、図３は像対象物と被検査面と受光手段との関係の一例を説明する図、図４は被検査面に表れるハイライト線を示す図である。
なお、図１２は従来の像対象物と被検査面と受光手段との関係を説明する図、図１３は従来の手段にて被検査面に表れるハイライト線を示す図である。

本発明の実施例に係る面形状検査システムは、車輌ボディ表面等の滑らかで反射率の高い面の形状を検査するためのものである。
図１に示すように、面形状検査システム１０には、被検査面Ｆに映る物体（以下、『像対象物２１』と記載する）と、該被検査面Ｆに映る像対象物２１の像を捉える受光手段３１とが備えられる。

被検査面Ｆは、滑らかで反射率の高い面であり鏡面としての性質を有するため、像対象物２１から出た光線束は被検査面Ｆにて反射し、受光手段３１は、この反射した光を受光することによって、被検査面Ｆに映る像対象物２１の像を捉える。

前記像対象物２１は、少なくとも規則性を有する形状の光線照射部２１ａを有する。
この光線照射部２１ａの『規則性を有する形状』は直線状であって、該光線照射部２１ａは、複数が略平行に所定間隔をあけて配列されることが望ましい。

前記像対象物２１の光線照射部２１ａが被検査面Ｆに映ることによって、該被検査面Ｆに明部と暗部とが表れる（光線照射部２１ａが映っている部分が明部となり、それ以外の部分が暗部となる）。以下、受光手段３１が捉えた被検査面Ｆに映る明部を『ハイライト線』と記載する。
このハイライト線の流れ（位置、曲率などの形状）、ハイライト線同士の間隔、ハイライト線の幅の変化、ハイライト線の輪郭線の変化等、ハイライト線の表れ方や形状等に基づいて、被検査面Ｆの面形状を特定し、被検査面Ｆに生じた歪等の表面不良を検出して、該被検査面Ｆの形状の検査を行うことができる。また、ハイライト線の流れと、予め定められた理想的なハイライト線の流れとを比較することにより、被検査面Ｆの形状が設計通りであるか否かを検出することができる。

上述のように、像対象物２１の光線照射部２１ａを略直線状とすれば、被検査面Ｆに表れる明部の形状や、明部と暗部の境界線の歪みなどから、該被検査面Ｆの凹凸等の曲面形状を容易に特定することができる。
但し、像対象物２１の光線照射部２１ａの形状は、規則性を有する形状であればよく、波線状や鎖線状等であっても、その規則性の変化に基づいて、該被検査面Ｆの形状を特定することができる。

また、上述のように、複数の光線照射部２１ａを略平行に所定間隔をあけて配列すれば、受光手段３１が捉える被検査面Ｆには、明暗の縞模様が形成され、より被検査面Ｆの形状を明確に捉えることができる。但し、像対象物２１の光線照射部２１ａは単数とすることもできる。

前記像対象物２１は、例えば、図２に示すように、円弧を成して被検査面Ｆを包囲したり、図３に示すように、複数の平面を成して被検査面Ｆを包囲したりするようにして、像対象物２１が被検査面Ｆを包囲するように設けられる。
なお、被検査面Ｆの形状にもよるが、像対象物２１が円弧を成す方（図２）が、被検査面Ｆから像対象物２１までの距離が略均一となり、ハイライト線の輝度に変化が生じにくいので望ましい。

上述のように、像対象物２１が被検査面Ｆを包囲するように設けられているため、受光手段３１が捉える被検査面Ｆの任意の位置に必ず像対象物２１が映り、被検査面Ｆの任意の位置でハイライト線を確認することができる。
つまり、例えば図４に示すように、受光手段３１が捉えた被検査面Ｆにハイライト線が映らない部位を無くすことができる。
よって、一度に被検査面Ｆ全体を検査して面形状を特定することができ、被検査面の測定領域ごとに受光手段や像対象物を移動させる必要が無いので、見落としによる検査不良を防止することができる。

なお、前記像対象物２１は、光線照射部２１ａに相当する発光部と非発光部とを備えて発光部自らが光を発して被検査面Ｆに光を照射するもの、光線照射部２１ａに相当する反射部と非反射部とを備えて被検査面Ｆに反射光を照射するもの、又は、光の遮光部と光線照射部２１ａに相当する透光部とを備えて被検査面Ｆに透過光を照射するもの等と、することができる。
但し、前記像対象物２１の光線照射部２１ａは、自ら光を発して被検査面Ｆに光を照射する発光体であることが望ましい。このように、像対象物２１の光線照射部２１ａを発光体とすることによれば、被検査面Ｆの色彩に拘わらず、被検査面Ｆに像対象物２１が映る明部と暗部との差異が明らかとなり、ハイライト線をより明確に捉えることができる。

続いて、上記面形状検査システム１０の実施例について説明する。

次に、本発明の実施例１に係る面形状検査システム１０Ａについて説明する。
図５は本発明の実施例１に係る面形状検査システムの構成図、図６は面形状検査システムの構成を示すブロック図、図７は光照射装置を示す図、図８はアクチャル画像とバーチャル画像の比較図、図９はアクチャル画像とバーチャル画像の比較図である。

図５及び図６に示すように、面形状検査システム１０Ａは、像対象物２１を備える光照射装置２０と、受光手段３１としての撮像装置３０と、該撮像装置３０で撮像された像を画像化処理する画像処理装置４０と、被検査面Ｆの品質の良否を判定する判定装置５０等で構成される。

但し、面形状検査システム１０として前記光照射装置２０を備え、受光手段３１としての検査官が、被検査面Ｆに映る像対象物２１により形成されるハイライト線を視認することにより検査を行い、該被検査面Ｆの品質の良否判定を行うこともできる。

前記光照射装置２０は、像対象物２１を備え、該像対象物２１から放出される光線束を被検査面Ｆに照射して、該被検査面Ｆにハイライト線を表すための手段である。
図７にも示すように、光照射装置２０は、被検査面Ｆを包囲するように略円弧形状を成す板体である曲板２４と、該曲板２４に固定された複数の直管蛍光灯２２・２２・・・と、該曲板２４を姿勢変化可能に支承するスタンド２３とで構成される。このうち、前記直管蛍光灯２２・２２・・・と、前記曲板２４とによって、像対象物２１が構成される。直管蛍光灯２２は、像対象物２１の光線照射部２１ａに相当する。

前記直管蛍光灯２２・２２・・・は、曲板２４が形成する略円弧形状の内側に沿って、各直管蛍光灯２２が略水平方向であって、且つ、各直管蛍光灯２２・２２間が略等間隔となるように、曲板２４に並設される。従って、複数の直管蛍光灯２２・２２・・・は、被検査面Ｆを中心として放射状であって、併せて被検査面Ｆを包囲する略円弧形状を成すように配置されることとなる。

前記曲板２４は、スタンド２３に支承されて姿勢変化可能であるとともに、スタンド２３に具備される車輪２３ｃにより移動可能である。
そして、直管蛍光灯２２・２２・・・と曲板２４から成る像対象物２１が、被検査面Ｆを包囲し、且つ、該被検査面Ｆから像対象物２１までの距離がなるべく均一となるように、光照射装置２０の位置や姿勢が定められる。

上記構成の光照射装置２０にて、像対象物２１から出る光線束を被検査面Ｆに照射すれば、被検査面Ｆに直管蛍光灯２２・２２・・・が映って成る明部と、同じく、被検査面Ｆに曲板２４が映って成る暗部とにより、受光手段３１が捉える被検査面Ｆに複数のハイライト線（明暗の縞模様）が表れることとなる。

このハイライト線は、前記直管蛍光灯２２・２２・・・は略等間隔に配置されるので、略等間隔に表れ、特に複雑な表面形状である被検査面Ｆにおいては、より明確に被検査面Ｆの表面形状の凹凸を観察することができる。
但し、前記複数の直管蛍光灯２２・２２・・・は略等間隔で配置されることに限定されず、被検査面Ｆの形状に応じて適宜間隔を調整することもできる。

また、前記ハイライト線は、像対象物２１である直管蛍光灯２２が発光体であるので被検査面Ｆには明るく映り、該直管蛍光灯２２の輪郭である明暗の境界線を明確とすることができる。なお、被検査面Ｆの色彩に応じて、被検査面Ｆにより明確に映る色の光を発光する直管蛍光灯２２を選択することができる。

なお、上記構成の光照射装置２０において、直管蛍光灯２２に代えて、ハロゲン光源と、拡散板と、略平行に複数のスリットが形成された遮光板とを像対象物２１として備えることもできる。
この場合、ハロゲン光源から出力した光線を、拡散板を通じて平行光線とし、さらに遮光板を通じて方向性を有し且つ細長い光線として、被検査面Ｆに照射することができる。これにより、より明暗のはっきりした縞状のハイライト線を被検査面Ｆに映し出すことができる。

前記撮像装置３０は、受光手段３１として機能するものであり、該被検査面Ｆに対して正面に近い斜め方向から被検査面Ｆを撮像するように配置される。
撮像装置３０として、例えば、ＣＣＤカメラを採用することができる。この撮像装置３０で撮像された被検査面Ｆの像は、画像処理装置４０に画像データとして取り込まれる。

前記画像処理装置４０又は前記判定装置５０は、各種計算を行うＣＰＵ４６と、情報を入力する入力部４７と、画像データ、形状データ、判定結果などの演算結果が表示出力される表示部４８等にて構成される。これらは、単数又は複数の汎用コンピュータ４５等にて構成することができる。

前記画像処理装置４０では、前記画像データに基づいて、受光手段３１が捉えた被検査面Ｆが画像化されたうえで、ハイライト線（又はハイライト線の輪郭）が抽出され、これが曲線近似されて数値として表される。この曲線より、被検査面Ｆの表面形状の曲率半径や中心の向き、曲率半径等の数値が算出される。

さらに、前記判定装置５０では、画像処理装置４０にて画像化又は数値化された被検査面Ｆの表面形状に基づいて、被検査面Ｆの品質の良否判定が行われる。この判定結果は表示部４８に出力表示される。

上記判定装置５０における、被検査面Ｆの良否判定の手法として、画像処理装置４０にて数値化された被検査面Ｆの表面形状の曲率半径や中心の向き、曲率半径等の数値と、予め設定された所定の基本値との比較演算処理が行われ、その差異が予め設定された許容範囲内にあるか否かが判断されることによって、被検査面Ｆの品質の良否判定が行われる。

また、上記判定装置５０における、被検査面Ｆの良否判定の手法として、画像処理装置４０にて画像化された被検査面Ｆに表れるハイライト線（アクチャル画像）と、被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線（バーチャル画像）とを、比較することによって、被検査面Ｆの歪みの有無や、被検査面Ｆの曲面形状が設計通りであるか否かを判断し、被検査面Ｆの品質の良否判定が行われる。

被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線（バーチャル画像）は、予め設計に基づく数値解析（シミュレーション）を行ったり、或いは、面形状検査システム１０にて良品を検査対象として検査を行ったりすることによって、予め設定された基準被検査面から得ることができる。

なお、図８（ａ）は数値解析による被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線を示し、図８（ｂ）は画像化された被検査面Ｆに表れるハイライト線を示している。同様に、図９（ａ）は数値解析による被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線を示し、図９（ｂ）は画像化された被検査面Ｆに表れるハイライト線を示している。
これらの図から、画像処理装置４０にて画像化された被検査面Ｆに表れるハイライト線（アクチャル画像）と、数値解析による被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線（バーチャル画像）とが、よく対応していることが分かる。

なお、画像処理装置４０にて画像化された被検査面Ｆは、検査官が視認できる被検査面Ｆの像と殆ど差異がないため、被検査面Ｆに表れるハイライト線（アクチャル画像）と、被検査面Ｆの理想的な膨らみやリバース等を表す線（バーチャル画像）とを検査官が視認により比較して、該被検査面Ｆの膨らみやリバース等の曲面形状が、設計通りであるか否かを容易に判断することができる。

続いて、本発明の実施例２に係る面形状検査システム１０Ｂについて説明する。
図１０は本発明の実施例２に係る面形状検査システムの構成図、図１１は被検査面に表れるハイライト線を示す図である。

図１０に示すように、面形状検査システム１０Ｂは、車両ボディ表面の周囲等、被検査物Ｆａの周囲全体が被検査面Ｆである場合に、該被検査面Ｆの面形状を一度に検査するためのシステムである。
面形状検査システム１０Ｂは、像対象物２１を備える光照射装置２０と、受光手段３１としての撮像装置３０と、該撮像装置３０で撮像された像を処理する画像処理装置４０と、被検査面Ｆの品質の良否を判定する判定装置５０等で構成される。

上記面形状検査システム１０Ｂを構成する要素のうち、撮像装置３０、画像処理装置４０、及び、判定装置５０の構成及び動作は、前述の実施例１に記載の面形状検査システム１０Ａに備えられるものと略同一であるので、説明を省略する。

前記光照射装置２０は、像対象物２１を備え、該像対象物２１から放出される光線束を被検査面Ｆに照射して、該被検査面Ｆにハイライト線を表すための手段である。
光照射装置２０は、光照射装置２０は、略円弧形状を成す板体である曲板２４と、該曲板２４に固定された複数の直管蛍光灯２２・２２・・・と、該曲板２４を姿勢変化可能に支承するスタンド２３とで構成される。このうち、前記曲板２４と前記直管蛍光灯２２とで像対象物２１が構成され、該直管蛍光灯２２は光線照射部２１ａに相当する。

前記曲板２４は、被検査面Ｆを備える被検査物Ｆａを包囲する略円弧形状、つまり、被検査面Ｆを備える被検査物Ｆａを包囲するドーム形状に形成される。
なお、曲板２４は一枚ではなく、複数枚で成る分割構成とすることもできる。

前記直管蛍光灯２２・２２・・・は、各直管蛍光灯２２が略水平方向であって、且つ、各直管蛍光灯２２・２２間が略等間隔となるように、曲板２４が形成する略円弧形状の内側に沿って該曲板２４に並設される。従って、複数の直管蛍光灯２２・２２・・・は、被検査面Ｆを備える被検査物Ｆａの略中心を中心として放射状であって、併せて被検査面Ｆを備える被検査物Ｆａを包囲する円弧を成すように配置されることとなる。

上記構成の光照射装置２０を備えた面形状検査システム１０Ｂでは、直管蛍光灯２２・２２・・・と曲板２４で成る像対象物２１にて形成されるドーム形状の空間の略中央に被検査物Ｆａが配置され、像対象物２１から出る光線束が被検査面Ｆに照射される。これにより、被検査面Ｆである被検査物Ｆａの周囲には、被検査面Ｆに直管蛍光灯２２・２２・・・が映って成る明部と、同じく、被検査面Ｆに曲板２４が映って成る暗部とにより、複数のハイライト線（明暗の縞模様）が表れ、これが撮像装置３０にて撮像される。
なお、前記受光手段３１としての撮像装置３０は、被検査面Ｆである被検査物Ｆａの周囲全体を撮像できるように、該被検査物Ｆａの周囲に複数配置することができる。

そして、本実施例に係る面形状検査システム１０Ｂにおいても、実施例１と同様に、撮像装置３０にて撮像された像が画像処理装置４０にて画像化され、判定装置５０にて、画像化された被検査面Ｆの明部と暗部の表れ方や形状等に基づいて該被検査面Ｆの形状を特定し、該被検査面Ｆの品質の良否が判定される。

なお、上記面形状検査システム１０Ｂでは、光照射装置２０に具備される像対象物２１は、被検査物Ｆａの全周囲を包囲するように構成されるが、像対象物２１は被検査物Ｆａを包囲することに限定されない。
例えば、光照射装置２０に具備される像対象物２１を門形状に形成し、該像対象物２１により形成された門を被検査物Ｆａが通過するときに、該被検査物Ｆａの被検査面Ｆに映るハイライト線を、受光手段３１にて捉えることもできる。

本発明の実施例に係る面形状検査システムの最小限構成図。 像対象物と被検査面と受光手段との関係の一例を説明する図。 像対象物と被検査面と受光手段との関係の一例を説明する図。 被検査面に表れるハイライト線を示す図。 本発明の実施例１に係る面形状検査システムの構成図。 面形状検査システムの構成を示すブロック図。 光照射装置を示す図。 アクチャル画像とバーチャル画像の比較図。 アクチャル画像とバーチャル画像の比較図。 本発明の実施例２に係る面形状検査システムの構成図。 被検査面に表れるハイライト線を示す図。 従来の像対象物と被検査面と受光手段との関係を説明する図。 従来の手段にて被検査面に表れるハイライト線を示す図。

符号の説明

Ｆ 被検査面
１０ 面形状検査システム
２０ 光照射装置
２１ 像対象物
２１ａ 光線照射部
２２ 直管蛍光灯
２３ スタンド
２４ 曲板
３０ 撮像装置
３１ 受光手段
４０ 画像処理装置
５０ 判定装置

Claims (9)

1. 像対象物より被検査面に光線束を照射して該被検査面に明部と暗部とを形成するための光照射装置において、
   前記像対象物が、単数又は複数の規則性を有する形状の光線照射部を有し、前記被検査面を包囲するように形成されていることを特徴とする、
   光照射装置。
2. 前記像対象物が有する光線照射部は、略直線状であって、被検査面を略中心として放射状に、且つ、被検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されていることを特徴とする、
   請求項１記載の光照射装置。
3. 前記光線照射部は発光体にて構成され、
   前記像対象物は、前記被検査面を包囲するように形成された板体と、該板体に固定された前記光線照射部とで構成されることを特徴とする、
   請求項１又は請求項２に記載の光照射装置。
4. 前記請求項１〜３のいずれか一項に記載の光照射装置と、
   被検査面を撮像する撮像装置と、
   前記撮像装置にて撮像された被検査面の像を画像化する画像処理装置と、
   前記画像処理装置にて画像化された被検査面に表れる明部及び暗部に基づいて、該被検査面の品質の良否を判定する判定装置とを、
   備えることを特徴とする面形状検査システム。
5. 前記判定装置は、
   画像化された被検査面に表れる明部及び暗部と、予め設定された基準被検査面の理想的な形状を表す明部及び暗部とを、比較することにより、該画像化された被検査面の品質の良否を判定することを特徴とする、
   請求項４に記載の面形状検査システム。
6. 単数又は複数の規則性を有する形状の光線照射部を有し、前記被検査面を包囲するように形成されて成る像対象物より、被検査面に光線束を照射し、
   前記被検査面に表れる明部及び暗部に基づいて該被検査面の形状を検査することを特徴とする、
   面形状検査方法。
7. 前記像対象物が有する光線照射部は、略直線状であって、被検査面を略中心として放射状に、且つ、被検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されていることを特徴とする、
   請求項６記載の面形状検査方法。
8. 前記光線照射部は発光体にて構成され、
   前記像対象物は、前記被検査面を包囲するように形成された板体と、該板体に固定された前記光線照射部とで構成されることを特徴とする、
   請求項６又は請求項７に記載の面形状検査方法。
9. 前記像対象物が映った被検査面を撮像し、
   撮像された被検査面に表れる明部及び暗部を画像化し、
   画像化された被検査面に表れる明部及び暗部と、予め設定された基準被検査面の理想的な形状を表す明部及び暗部とを、比較することにより、該画像化された被検査面の品質の良否を判定することを特徴とする、
   請求項６〜請求項８の何れか一項に記載の面形状検査方法。