JP2007038055A

JP2007038055A - Printer

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Publication number: JP2007038055A
Application number: JP2005222438A
Authority: JP
Inventors: Hiroto Uchida; 寛人内田; Masaaki Murata; 真朗村田; Mitsuru Yahagi; 充矢作; Susumu Sakio; 進崎尾; Hideo Takei; 日出夫竹井; Koji Hane; 功二羽根
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2005-08-01
Filing date: 2005-08-01
Publication date: 2007-02-15

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printer for supplying an ink liquid after removing air bubble to a print head. <P>SOLUTION: The printer is provided which supplies an ink liquid passing through a filter membrane 32 in a filter device 23 to a print head, wherein air bubble mixed in the ink liquid is separated together with foreign particles from the ink liquid by the filter membrane 32 not to enter the print head, the separated air bubble moves upward in a first chamber 33 of the filer device 23 and is recovered together with an excess ink liquid by a recovering pipe 84 or discharged to atmospheric air through a degassing pipe 88, and a liquid leak prevention device 25 may be connected to the degassing pipe 88 to prevent leak of the ink liquid. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット方式の印刷装置にかかり、特に、気泡の除去ができる印刷装置に関する。 The present invention relates to an ink jet printing apparatus, and more particularly to a printing apparatus capable of removing bubbles.

従来より、液晶のガラスパネルに配向膜を形成する装置や、液晶パネルの間にスペーサを配置する装置や、有機ＥＬ素子の有機層を形成する装置にはインクジェット方式の印刷装置が用いられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an inkjet printing apparatus has been used for an apparatus for forming an alignment film on a liquid crystal glass panel, an apparatus for arranging a spacer between liquid crystal panels, and an apparatus for forming an organic layer of an organic EL element. .

図１１は、インクジェット方式の印刷装置の一例であり、台１１５上に印刷対象の基板１０７が配置されている。
基板１０７の上方には、複数の印刷ヘッド１２０が設けられた保持体１１６が配置されている。各印刷ヘッド１２０は、インク供給系にそれぞれ接続されており、保持体１１６を移動させながら各印刷ヘッド１２０からインクを吐出すると、基板１０７上にインクが着弾し、薄膜が形成される。 FIG. 11 shows an example of an inkjet printing apparatus, in which a substrate 107 to be printed is arranged on a table 115.
A holding body 116 provided with a plurality of print heads 120 is disposed above the substrate 107. Each print head 120 is connected to an ink supply system, and when ink is ejected from each print head 120 while moving the holding body 116, the ink lands on the substrate 107 and a thin film is formed.

図１０は、保持体１１６内部を示すブロック図であり、保持体１１６の外部に配置された据え置きタンク１２４から、保持体１１６に設けられた移動タンク１２１にインク液１０３が供給され、ヘッダ１２２で分配されて各印刷ヘッド１２０に供給される。ヘッダ１２２と印刷ヘッド１２０の間にはフィルタ１２３が設けられており、印刷ヘッド１２０に供給されるインク液から異物が除去される。 FIG. 10 is a block diagram showing the inside of the holding body 116, and the ink liquid 103 is supplied from the stationary tank 124 arranged outside the holding body 116 to the moving tank 121 provided on the holding body 116. This is distributed and supplied to each print head 120. A filter 123 is provided between the header 122 and the print head 120 to remove foreign substances from the ink liquid supplied to the print head 120.

図１０、図１１の符号Ｅは、保持体１１６の移動方向を示しており、印刷ヘッド１２０と共に移動タンク１２１が移動するため、移動タンク１２１内にあるインク液が揺動し、気泡が発生してしまう場合がある。 10 and 11 indicate the moving direction of the holding body 116. Since the moving tank 121 moves together with the print head 120, the ink liquid in the moving tank 121 oscillates and bubbles are generated. May end up.

このような気泡が印刷ヘッド１２０の内部に進入するとインクの吐出ミスが発生し、薄膜に欠陥が生じたり、スペーサが配置されない領域が生じる場合があり、解決が望まれている。 If such bubbles enter the inside of the print head 120, an ink ejection error may occur, and the thin film may be defective or a region where no spacer is disposed may occur, and a solution is desired.

印刷ヘッド１２０の吐出ミスについては、例えば、吐出状態の検査を行う技術があり、検査で異常が発見された場合は印刷ヘッド１２０のクリーニングを行う方法もあるが、インク液中に気泡が混入していると、印刷途中で吐出ミスが生じるため、解決が望まれている。
特開２００５−１３１５４０号公報 For example, there is a technique for inspecting the ejection state of the print head 120, and there is a method of cleaning the print head 120 when an abnormality is found in the inspection, but bubbles are mixed in the ink liquid. If this is the case, an ejection error occurs during printing, so a solution is desired.
JP 2005-131540 A

本発明は、上記従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、その目的は、気泡を除去したインク液を印刷ヘッドに供給する印刷装置を提供することにある。 The present invention was created to solve the above-described problems of the prior art, and an object thereof is to provide a printing apparatus that supplies an ink liquid from which bubbles have been removed to a print head.

また、本発明の目的は、フィルタ装置及び印刷ヘッドの移動によるインク液の振動や揺動を防止し、ノズルから気泡が侵入しないようにした印刷装置を提供することにある。 It is another object of the present invention to provide a printing apparatus that prevents ink liquid from vibrating and swinging due to movement of the filter device and the print head so that bubbles do not enter from the nozzles.

上記課題を解決するため、本発明は、保持体と、前記保持体に配置されたフィルタ装置と印刷ヘッドとを有し、前記フィルタ装置内部にはフィルタ膜が配置され、前記フィルタ膜を介して互いに隣接する第一室と第二室が設けられ、前記第一室に導入されたインク液は前記フィルタ膜を透過して前記第二室に移動した後、前記印刷ヘッドに供給され、前記印刷ヘッドから印刷対象物に前記インク液を吐出するように構成された印刷装置であって、前記第一室の上部には回収管が接続され、前記回収管に入った前記インク液は新しく供給されたインク液と共に前記第一室に導入されるように構成された印刷装置である。
また、本発明は、前記回収管に入った前記インク液は混入した気泡が除去された後、前記第一室に導入されるように構成された印刷装置である。
また、本発明は、保持体と、前記保持体に配置されたフィルタ装置と印刷ヘッドとを有し、前記フィルタ装置内部にはフィルタ膜が配置され、前記フィルタ膜を介して互いに隣接する第一室と第二室が設けられ、前記第一室に導入されたインク液は前記フィルタ膜を透過して前記第二室に移動した後、前記印刷ヘッドに供給され、前記印刷ヘッドから印刷対象物に前記インク液を吐出するように構成された印刷装置であって、前記第一室の上部には脱気管が設けられ、前記第一室内を上昇する気泡は前記脱気管を通って大気に放出されるように構成された印刷装置である。
また、本発明は、前記脱気管には液漏れ防止装置が設けられ、前記フィルタ装置から前記インク液が流出しないように構成された印刷装置である。
また、本発明は、前記フィルタ装置は前記印刷ヘッドと共に移動するように構成された印刷装置であって、前記フィルタ膜は前記フィルタ装置の移動方向とは垂直方向に張られた印刷装置である。 In order to solve the above-described problems, the present invention includes a holding body, a filter device and a print head arranged on the holding body, and a filter film is arranged inside the filter device, with the filter film interposed therebetween. A first chamber and a second chamber that are adjacent to each other are provided, and the ink liquid introduced into the first chamber passes through the filter film and moves to the second chamber, and is then supplied to the print head. A printing apparatus configured to discharge the ink liquid from a head to a printing object, wherein a recovery pipe is connected to an upper portion of the first chamber, and the ink liquid that has entered the recovery pipe is newly supplied. A printing apparatus configured to be introduced into the first chamber together with the ink liquid.
Further, the present invention is a printing apparatus configured to be introduced into the first chamber after air bubbles mixed in the ink liquid that has entered the recovery tube are removed.
The present invention also includes a holding body, a filter device and a print head arranged on the holding body, wherein a filter film is arranged inside the filter device and is adjacent to each other via the filter film. A chamber and a second chamber, the ink liquid introduced into the first chamber passes through the filter film and moves to the second chamber, and is then supplied to the print head from the print head. A printing apparatus configured to eject the ink liquid, wherein a deaeration pipe is provided in an upper part of the first chamber, and bubbles rising in the first chamber are released to the atmosphere through the deaeration pipe The printing apparatus is configured to be configured as described above.
Further, the present invention is a printing apparatus in which a liquid leakage prevention device is provided in the deaeration pipe so that the ink liquid does not flow out from the filter device.
Further, the present invention is a printing apparatus configured such that the filter device moves together with the print head, and the filter film is a printing device stretched in a direction perpendicular to a moving direction of the filter device.

本発明は上記のように構成されており、フィルタ装置には迂回路は設けられておらず、通液性を有するフィルタ膜を透過したインク液だけが印刷ヘッドに供給されるように構成されている。 The present invention is configured as described above, the filter device is not provided with a bypass, and only the ink liquid that has passed through the filter film having liquid permeability is supplied to the print head. Yes.

フィルタ膜の孔よりも大きな気泡はフィルタ膜を通過できず、第一室の上方に移動し、脱気管から大気に放出されるか、又は回収管によって過剰なインク液と共に回収される。
回収されたインク液は気泡が除去された後、新しいインク液と共にフィルタ装置の第一室に供給される。 Bubbles larger than the pores of the filter membrane cannot pass through the filter membrane and move above the first chamber and are discharged from the deaeration tube to the atmosphere or collected together with excess ink liquid by the collection tube.
The recovered ink liquid is supplied to the first chamber of the filter device together with new ink liquid after the bubbles are removed.

また、フィルタ膜はフィルタ装置及び印刷ヘッドの移動方向とは垂直に張られており、フィルタ装置の移動と停止に伴って生じるフィルタ装置内のインク液の揺動や振動を減少させるように構成されている。 In addition, the filter film is stretched perpendicular to the moving direction of the filter device and the print head, and is configured to reduce the oscillation and vibration of the ink liquid in the filter device that occurs when the filter device moves and stops. ing.

印刷ヘッド内への気泡の侵入が防止される。 Air bubbles are prevented from entering the print head.

図１は本発明の印刷装置１０の平面図であり、図２は側面図である。
この印刷装置１０は台１５を有しており、台１５上には保持体１６が配置されている。台１５上には印刷対象物７が配置されている。この印刷対象物７は、例えばガラス基板等の基板である。 FIG. 1 is a plan view of a printing apparatus 10 of the present invention, and FIG. 2 is a side view.
The printing apparatus 10 includes a table 15, and a holding body 16 is disposed on the table 15. A printing object 7 is arranged on the table 15. The print object 7 is a substrate such as a glass substrate.

保持体１６は、例えば台１５の側方に配置されたレール１７ａ、１７ｂに移動可能に取りつけられており、台１５に置かれた印刷対象物７表面から一定距離だけ上方位置を、レール１７ａ、１７ｂの延設方向に沿って往復移動できるように構成されている。 The holding body 16 is movably attached to, for example, rails 17 a and 17 b disposed on the side of the table 15. The holding body 16 is positioned above the surface of the printing object 7 placed on the table 15 by a certain distance from the rails 17 a and 17 b. It is comprised so that it can reciprocate along the extending direction of 17b.

保持体１６には、複数の印刷ヘッド２０が設けられている。
各印刷印刷ヘッド２０には複数のノズルが列設されている。各印刷ヘッド２０には、後述するように、インク液が供給され、そのインク液はノズルから印刷対象物７に向かって吐出されるように構成されている。 The holding body 16 is provided with a plurality of print heads 20.
Each print print head 20 is provided with a plurality of nozzles. As will be described later, an ink liquid is supplied to each print head 20, and the ink liquid is ejected from the nozzle toward the printing object 7.

各印刷ヘッド２０のノズルは同一方向に並べられており、ノズルの列設方向とは垂直な方向に保持体１６を移動させてインク液を吐出すると、印刷対象物７の表面に着弾したインク液によって印刷対象物７の表面に薄膜が形成される。印刷対象物７の表面にパターニングされた透明導電膜や薄膜トランジスタが予め形成されている場合は、それらの表面に薄膜が形成される。 The nozzles of the print heads 20 are arranged in the same direction. When the holder 16 is moved in a direction perpendicular to the direction in which the nozzles are arranged and the ink liquid is ejected, the ink liquid that has landed on the surface of the print object 7 is printed. Thus, a thin film is formed on the surface of the printing object 7. When the transparent conductive film and thin film transistor which were patterned on the surface of the printing object 7 are previously formed, a thin film is formed on those surfaces.

図１、２、及び後述する図３〜図９の符号Ｄは保持体１６の移動方向であり、各印刷ヘッド２０は、ノズルの並び方向が保持体１６の移動方向と垂直になるように配置される。 1 and 2 and FIG. 3 to FIG. 9 to be described later are the moving directions of the holding body 16, and the print heads 20 are arranged so that the nozzle alignment direction is perpendicular to the moving direction of the holding body 16. Is done.

また、各印刷ヘッド２０のノズルは、保持体１６の移動方向とは垂直な方向の間隔が一定になるように内地されており、ここでは、各印刷ヘッド２０は千鳥状に配置されている。 Further, the nozzles of each print head 20 are placed inward so that the interval in the direction perpendicular to the moving direction of the holding body 16 is constant. Here, the print heads 20 are arranged in a staggered manner.

図４〜図８は、保持体１６内部構造の第一〜第五例のブロック図であり、符号１６に添字ａ〜ｅを付し、符号１６ａ〜１６ｅとして第一〜第五例の保持体を区別する。
第一〜第五例の保持体１６ａ〜１６ｅは、移動タンク２１と、ヘッダ２２と、複数の印刷ヘッド２０と、印刷ヘッド２０と同数のフィルタ装置２３とを有している。 4 to 8 are block diagrams of the first to fifth examples of the internal structure of the holding body 16, and the suffixes a to e are added to the reference numeral 16, and the holding bodies of the first to fifth examples are denoted by the reference numerals 16a to 16e. To distinguish.
The holding bodies 16 a to 16 e of the first to fifth examples include a moving tank 21, a header 22, a plurality of print heads 20, and the same number of filter devices 23 as the print heads 20.

保持体１６ａ〜１６ｅの外部には、据え置きタンク２４が設置されている。
移動タンク２１は、可撓性配管８０によって据え置きタンク２４に接続されており、不図示のポンプにより、保持体１６ａ〜１６ｅを移動させながら、据え置きタンク２４内のインク液３ａを移動タンク２１に供給できるように構成されている。
図１の符号１４はインク液供給系であり、これにより、据え置きタンク２４にインク液が補充される。 A stationary tank 24 is installed outside the holding bodies 16a to 16e.
The moving tank 21 is connected to the stationary tank 24 by a flexible pipe 80, and supplies the ink liquid 3a in the stationary tank 24 to the moving tank 21 while moving the holding bodies 16a to 16e by a pump (not shown). It is configured to be able to.
Reference numeral 14 in FIG. 1 denotes an ink liquid supply system, which replenishes the stationary tank 24 with ink liquid.

移動タンク２１とヘッダ２２とは供給本管８６によって互いに接続されており、据え置きタンク２４から供給されたインク液は、先ず移動タンク２１に蓄液された後、不図示のポンプにより、供給本管８６を通ってヘッダ２２に送られる。
ヘッダ２２は太いパイプであり、ヘッダ２２と各フィルタ装置２３は、第一の供給枝管８１によって複数のフィルタ装置２３にそれぞれ接続されている。 The moving tank 21 and the header 22 are connected to each other by a supply main pipe 86. The ink liquid supplied from the stationary tank 24 is first stored in the moving tank 21, and then supplied to the main pipe by a pump (not shown). 86 to the header 22.
The header 22 is a thick pipe, and the header 22 and each filter device 23 are respectively connected to the plurality of filter devices 23 by a first supply branch pipe 81.

各フィルタ装置２３は第二の供給枝管８２によって印刷ヘッド２０にそれぞれ一対一に接続されており、ヘッダ２２に供給されたインク液は、第一、第二の供給枝管８１、８２とフィルタ装置２３とを通り、各印刷ヘッド２０に分配されるように構成されている。 Each filter device 23 is connected to the print head 20 on a one-to-one basis by a second supply branch pipe 82, and the ink liquid supplied to the header 22 is connected to the first and second supply branch pipes 81 and 82 and the filter. It is configured to be distributed to each print head 20 through the device 23.

フィルタ装置２３の断面図を図９(ａ)に示す。
各フィルタ装置２３は、筺体３１とフィルタ膜３２を有している。フィルタ膜３２は、筺体３１の内部を区切り、第一室３３と第二室３４を形成するように配置されている。第一室３３と第二室３４は、フィルタ膜３２を隔てて隣接している。 A sectional view of the filter device 23 is shown in FIG.
Each filter device 23 includes a housing 31 and a filter film 32. The filter film 32 is disposed so as to divide the interior of the housing 31 and form a first chamber 33 and a second chamber 34. The first chamber 33 and the second chamber 34 are adjacent to each other with the filter film 32 therebetween.

第一の供給枝管８１は第一室３３に接続され、第二の供給枝管８２は第二室３４に接続されている。フィルタ膜３２は通液性を有しており、第一の供給枝管８１を通ってヘッダ２２から第一室３３に供給されたインク液は、フィルタ膜３２を透過し、第二室３４に移動し、印刷ヘッド２０に供給される。インク液がフィルタ膜３２を透過する際、ゴミなどの異物が除去される。 The first supply branch pipe 81 is connected to the first chamber 33, and the second supply branch pipe 82 is connected to the second chamber 34. The filter film 32 has liquid permeability, and the ink liquid supplied from the header 22 to the first chamber 33 through the first supply branch pipe 81 passes through the filter film 32 and enters the second chamber 34. It moves and is supplied to the print head 20. When the ink liquid passes through the filter film 32, foreign matters such as dust are removed.

図９(ａ)の符号３ｂは第一室３３に位置するインク液を示しており、同図符号３ｃは、第二室３４に位置するインク液を示している。 9A shows the ink liquid located in the first chamber 33, and FIG. 9C shows the ink liquid located in the second chamber.

ヘッダ２２から供給され、フィルタ装置２３の第一室３３に導入されるインク液３ｂの中には、気泡が混入している場合がある。フィルタ膜３２は例えば多孔質膜であり、その孔よりも大きな気泡はフィルタ膜３２を通過できず、気泡は異物と共に、フィルタ膜３２を透過するインク液から分離される。このフィルタ膜３２はステンレス鋼の金鋼を多数枚重ねて加圧、焼結したメッシュ（トミーファイレックスＳＳ（登録商標））、ステンレス鋼繊維の焼結体（ナスロン（登録商標））、ＰＴＦＥのフッ素繊維シート（トミーファイレックスＦ（登録商標））、ゴアテックス（登録商標）等の有機多孔質膜が適用可能であり、可撓性又は柔軟性を有していてもよく、板のように硬質であってもよい。 Air bubbles may be mixed in the ink liquid 3b supplied from the header 22 and introduced into the first chamber 33 of the filter device 23. The filter film 32 is, for example, a porous film, and bubbles larger than the pores cannot pass through the filter film 32, and the bubbles are separated from the ink liquid that passes through the filter film 32 together with foreign substances. The filter membrane 32 is made of a mesh of a large number of stainless steel gold plates, pressed and sintered (Tommy Pyrex SS (registered trademark)), a sintered body of stainless steel fibers (Naslon (registered trademark)), and PTFE. Organic porous membranes such as fluorine fiber sheets (Tomme Fyrex F (registered trademark)) and Gore-Tex (registered trademark) are applicable, and may have flexibility or flexibility, like a plate It may be hard.

印刷ヘッド２０には、環流管８３が接続されており、印刷ヘッド２０に供給され、印刷ヘッド２０の内部を流れたインク液は、一部がノズルから吐出され、残りは環流管８３に入る。 A recirculation pipe 83 is connected to the print head 20, and a part of the ink liquid supplied to the print head 20 and flowing inside the print head 20 is ejected from the nozzles, and the rest enters the recirculation pipe 83.

環流管８３に入ったインク液は、図４の第一例の保持体１６ａの接続、図７の第四例の保持体１６ｄの接続では移動タンク２１に戻される。図５、図６の第二、第三例の保持体１６ｂ、１６ｃの接続では据え置きタンク２４に戻される。 The ink liquid that has entered the reflux tube 83 is returned to the moving tank 21 when the first example holding body 16a shown in FIG. 4 is connected and when the fourth example holding body 16d shown in FIG. 7 is connected. When the holding bodies 16b and 16c of the second and third examples of FIGS. 5 and 6 are connected, they are returned to the stationary tank 24.

フィルタ装置２３は、第一室３３の壁面の上部、又は筺体３１の天井部分には開口が設けられ、図４〜図７の第一〜第四例の保持体１６ａ〜１６ｄでは、この開口には回収管８４が接続されている。 The filter device 23 is provided with an opening in the upper portion of the wall surface of the first chamber 33 or the ceiling portion of the housing 31, and in the holding bodies 16 a to 16 d of the first to fourth examples of FIGS. A recovery pipe 84 is connected.

第一〜第四例の保持体１６ａ〜１６ｄでは、ヘッダ２２からフィルタ装置２３の第一室３３に供給されるインク液の量は、フィルタ膜３２を通過し、第二室３４に移動するインク液の量よりも多くされており、第一室３３に導入されたインク液の余剰な分は、第一室３３の上方に移動し、回収管８４に入り、移動タンク２１に戻される(第一例、第三例)か、又は据え置きタンク２４に戻される(第二例、第四例)。 In the holding bodies 16 a to 16 d of the first to fourth examples, the amount of ink liquid supplied from the header 22 to the first chamber 33 of the filter device 23 passes through the filter film 32 and moves to the second chamber 34. The excess amount of the ink liquid introduced into the first chamber 33 is moved above the first chamber 33, enters the recovery pipe 84, and is returned to the moving tank 21 (first). (Example, third example) or returned to the stationary tank 24 (second example, fourth example).

フィルタ膜３２を通過できなかった気泡は、第一室３３内の余剰なインク液３ｂと一緒に第一室３３の上方に移動し、回収管８４を通って移動タンク２１又は据え置きタンク２４に戻される。気泡は移動タンク２１や据え置きタンク２４の内部で上昇し、液面に達すると大気に放出される。 The bubbles that could not pass through the filter membrane 32 move to the upper side of the first chamber 33 together with the excess ink liquid 3 b in the first chamber 33, and return to the moving tank 21 or the stationary tank 24 through the recovery pipe 84. It is. The bubbles rise inside the moving tank 21 and the stationary tank 24 and are released to the atmosphere when they reach the liquid level.

この場合、移動タンク２１や据え置きタンク２４の内部を減圧雰囲気にし、インク液中に含まれる気泡を大きくして液面まで積極的に浮かび上がらせ、真空排気することで、インク液の脱泡時間を短縮することもできる。
このように、印刷ヘッド２０に供給されるインク液からは気泡が除去されているので、印刷ヘッド２０内に気泡は侵入せず、吐出ミスが生じない。 In this case, the inside of the moving tank 21 and the stationary tank 24 is set to a reduced-pressure atmosphere, the bubbles contained in the ink liquid are enlarged to positively rise to the liquid surface, and the defoaming time of the ink liquid is reduced by evacuation. It can also be shortened.
Thus, since the air bubbles are removed from the ink liquid supplied to the print head 20, the air bubbles do not enter the print head 20, and no ejection error occurs.

次に、第五例の保持体１６ｅでは、第一室３３の壁面の上部又は筺体３１の天井部分の開口は、脱気管８８が接続されており、第一室３３の上方に浮かび上がった気泡は脱気管８８から大気に放出されるように構成されている。
ここでは脱気管８８の先端は、液漏れ防止装置２５に接続されており、気泡は液漏れ防止装置２５を介して大気に放出されるように構成されている。 Next, in the holding body 16e of the fifth example, a deaeration pipe 88 is connected to the upper portion of the wall surface of the first chamber 33 or the opening of the ceiling portion of the housing 31, and the air bubbles floating above the first chamber 33 are formed. Is configured to be discharged from the deaeration pipe 88 to the atmosphere.
Here, the tip of the deaeration pipe 88 is connected to the liquid leakage prevention device 25, and the bubbles are configured to be discharged to the atmosphere via the liquid leakage prevention device 25.

図９(ｂ)、(ｃ)に液漏れ防止装置２５の構造とフィルタ装置２３の第一室３３との接続を示す。
液漏れ防止装置２５は、内部に浮遊栓３７が収容された容器３６を有している。容器３６は第一室３３よりも上方に配置されており、脱気管８８により、第一室３３の上部と液漏れ防止装置２５の容器３６の底部とが接続されており、フィルタ膜３２によって分離された気泡は第一室３３内を上昇し、容器３６内に収集される。 9B and 9C show the connection between the structure of the liquid leakage prevention device 25 and the first chamber 33 of the filter device 23. FIG.
The liquid leakage prevention device 25 has a container 36 in which a floating plug 37 is accommodated. The container 36 is disposed above the first chamber 33, and the upper portion of the first chamber 33 and the bottom of the container 36 of the liquid leakage prevention device 25 are connected by a deaeration pipe 88 and separated by the filter membrane 32. The bubbles thus generated rise in the first chamber 33 and are collected in the container 36.

容器３６の上部には放出口３８が設けられており、放出口３８が開放状態にあれば、容器３６内に収集された気泡は放出口３８から大気に放出される。 A discharge port 38 is provided in the upper part of the container 36, and if the discharge port 38 is in an open state, bubbles collected in the container 36 are discharged from the discharge port 38 to the atmosphere.

第一室３３に供給されるインク液の量が、フィルタ膜３２を通って第二室３４に移動する量よりも多い場合は、余剰なインク液は脱気管８８を通って容器３６内に侵入する。 When the amount of ink liquid supplied to the first chamber 33 is larger than the amount moved to the second chamber 34 through the filter film 32, excess ink liquid enters the container 36 through the deaeration pipe 88. To do.

図９(ｂ)、(ｃ)の符号３ｄは、容器３６内に侵入したインク液を示している。浮遊栓３７はインク液よりも軽いため、容器３６内のインク液３ｄが増加し、その液面が上昇すると浮遊栓３７も上昇し、図９(ｃ)に示すように、放出口３８は浮遊栓３７によって閉塞されるので、インク液３ｄは、放出口３８から外部に流出しない。
放出口３８の閉塞によって容器３６へのインク液の流入は停止する。 Reference numerals 3 d in FIGS. 9B and 9C indicate ink liquid that has entered the container 36. Since the floating plug 37 is lighter than the ink liquid, the ink liquid 3d in the container 36 increases, and when the liquid level rises, the floating plug 37 also rises. As shown in FIG. 9C, the discharge port 38 floats. Since it is blocked by the plug 37, the ink liquid 3d does not flow out from the discharge port 38 to the outside.
Inflow of the ink liquid into the container 36 is stopped by closing the discharge port 38.

そして、この状態から、フィルタ膜３２によってインク液から分離された気泡が容器３６の上部に収集されると、その圧力で容器３６内のインク液３ｄの液面が押し下げられ、放出口３８が開くと、気泡に由来する容器３６上部の気体は大気に放出される。
なお、本願のフィルタ装置２３は、各印刷ヘッド２０と一緒に保持体１６に固定されており、保持体１６の移動によって印刷ヘッド２０と一緒に移動する。 From this state, when air bubbles separated from the ink liquid by the filter film 32 are collected on the upper part of the container 36, the liquid level of the ink liquid 3d in the container 36 is pushed down by the pressure, and the discharge port 38 is opened. And the gas of the container 36 upper part derived from a bubble is discharge | released to air | atmosphere.
The filter device 23 of the present application is fixed to the holding body 16 together with each print head 20, and moves together with the print head 20 by the movement of the holding body 16.

図１〜図９の符号Ｄは、保持体１６の移動方向、即ちフィルタ装置２３の移動方向を示している。フィルタ装置２３内部のフィルタ膜３２は、フィルタ装置２３の移動方向Ｄと垂直な方向に張られており、保持体１６が移動と停止を繰り返す場合に、フィルタ膜３２により、フィルタ装置２３内部のインク液３ｂ、３ｃの揺動が防止されており、各印刷ヘッド２０のノズルの液面が振動し、ノズルから印刷ヘッド２０の内部に気泡が侵入することが無いようにされている。 1 to 9 indicates the moving direction of the holding body 16, that is, the moving direction of the filter device 23. The filter film 32 inside the filter device 23 is stretched in a direction perpendicular to the moving direction D of the filter device 23, and when the holding body 16 repeatedly moves and stops, the filter film 32 causes the ink inside the filter device 23 to pass through. The liquids 3b and 3c are prevented from swinging, and the liquid level of the nozzles of each print head 20 is vibrated so that bubbles do not enter the print head 20 from the nozzles.

なお、上記は、液晶配向膜や有機ＥＬ素子用の有機薄膜等の薄膜をガラス基板上に形成する場合について説明したが、ガラス基板ではなく、半導体基板上にも印刷することができる。また、ＰＤＰ等の他の基板でもよい。 In the above, the case where a thin film such as a liquid crystal alignment film or an organic thin film for an organic EL element is formed on a glass substrate has been described. However, printing can also be performed on a semiconductor substrate instead of the glass substrate. Also, other substrates such as PDP may be used.

更に、上記例では、ブランケットな薄膜を形成したが、インク液を所望位置に吐出し、配線膜等のパターニングを形成することもできる。また、スペーサが分散されたインク液を吐出し、スペーサ配置にも用いることができる。 Further, in the above example, a blanket thin film is formed, but patterning of a wiring film or the like can also be formed by ejecting ink liquid to a desired position. Further, the ink liquid in which the spacers are dispersed can be discharged and used for spacer arrangement.

所望位置にインク液を着弾させる場合、例えば図３のように、保持体１６を移動方向Ｄに垂直な方向から傾け、移動方向Ｄに垂直な方向のノズル間距離を変えることができる。この場合、印刷ヘッド２０を交換しなくても、着弾位置を変更することができる。 When the ink liquid is landed at a desired position, for example, as shown in FIG. 3, the holder 16 can be tilted from the direction perpendicular to the moving direction D, and the distance between the nozzles in the direction perpendicular to the moving direction D can be changed. In this case, the landing position can be changed without replacing the print head 20.

本発明の印刷装置の一例の平面図The top view of an example of the printing apparatus of this invention その側面図Its side view 保持体を傾けた状態を説明するための平面図The top view for demonstrating the state which inclined the holding body 本発明のフィルタ装置の接続状態の第一例を説明するための図The figure for demonstrating the 1st example of the connection state of the filter apparatus of this invention 本発明のフィルタ装置の接続状態の第二例を説明するための図The figure for demonstrating the 2nd example of the connection state of the filter apparatus of this invention 本発明のフィルタ装置の接続状態の第三例を説明するための図The figure for demonstrating the 3rd example of the connection state of the filter apparatus of this invention 本発明のフィルタ装置の接続状態の第四例を説明するための図The figure for demonstrating the 4th example of the connection state of the filter apparatus of this invention 本発明のフィルタ装置の接続状態の第五例を説明するための図The figure for demonstrating the 5th example of the connection state of the filter apparatus of this invention (ａ)：回収管に接続されたフィルタ装置を説明するための図、(ｂ)：脱気管により液漏れ防止装置に接続されたフィルタ装置を説明するための図 (ｃ)：液漏れ防止装置の機能を説明するための図(a): A diagram for explaining a filter device connected to a recovery pipe, (b): A diagram for explaining a filter device connected to a liquid leakage prevention device by a deaeration pipe (c): A liquid leakage prevention device For explaining the function of 従来技術の印刷装置のフィルタ装置の接続を説明するための図The figure for demonstrating the connection of the filter apparatus of a prior art printing apparatus 従来技術の印刷装置の側面図Side view of a prior art printing device

Explanation of symbols

７……印刷対象物
１０……印刷装置
１６……保持体
２０……印刷ヘッド
２３……フィルタ装置
３２……フィルタ膜
３３……第一室
３４……第二室
８４……回収管
８８……脱気管
Ｄ、Ｅ……移動方向 7 ... Print object 10 ... Printing device 16 ... Holding body 20 ... Printing head 23 ... Filter device 32 ... Filter film 33 ... First chamber 34 ... Second chamber 84 ... Recovery pipe 88 ... ... deaeration pipes D and E ... direction of movement

Claims

Holding body,
Having a filter device and a print head disposed on the holder,
A filter membrane is disposed inside the filter device, and a first chamber and a second chamber are provided adjacent to each other via the filter membrane,
After the ink liquid introduced into the first chamber passes through the filter film and moves to the second chamber, it is supplied to the print head,
A printing apparatus configured to discharge the ink liquid from the print head to a print object,
A printing apparatus configured such that a recovery pipe is connected to an upper portion of the first chamber, and the ink liquid entering the recovery pipe is introduced into the first chamber together with newly supplied ink liquid.

The printing apparatus according to claim 1, wherein the ink liquid that has entered the collection tube is configured to be introduced into the first chamber after the mixed bubbles are removed.

Holding body,
Having a filter device and a print head disposed on the holder,
A filter membrane is disposed inside the filter device, and a first chamber and a second chamber are provided adjacent to each other via the filter membrane,
After the ink liquid introduced into the first chamber passes through the filter film and moves to the second chamber, it is supplied to the print head,
A printing apparatus configured to discharge the ink liquid from the print head to a print object,
A printing apparatus configured to be provided with a deaeration pipe in an upper part of the first chamber, and to allow bubbles rising in the first chamber to be discharged to the atmosphere through the deaeration pipe.

The printing apparatus according to claim 3, wherein a liquid leakage prevention device is provided in the deaeration pipe so that the ink liquid does not flow out from the filter device.

The printing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the filter device is configured to move together with the print head.
The printing device in which the filter film is stretched in a direction perpendicular to the moving direction of the filter device.