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JP2007023262A - Pigment-containing thermosetting composition, and color filter, image recording material, and method for producing the color filter - Google Patents

Pigment-containing thermosetting composition, and color filter, image recording material, and method for producing the color filter Download PDF

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JP2007023262A
JP2007023262A JP2006155228A JP2006155228A JP2007023262A JP 2007023262 A JP2007023262 A JP 2007023262A JP 2006155228 A JP2006155228 A JP 2006155228A JP 2006155228 A JP2006155228 A JP 2006155228A JP 2007023262 A JP2007023262 A JP 2007023262A
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pigment
color filter
compound
composition
resin
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JP2006155228A
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Japanese (ja)
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Toru Yamada
徹 山田
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fujifilm Holdings Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermosetting composition rich in pigment with a small amount of a resin used, suitable for etching, excellent in spectroscopic characteristics, pattern form's rectangularity and adhesion to lower and upper layers, and capable of thin-film formation, to provide a color filter and an image recording material each using the composition, and to provide a method for producing the color filter. <P>SOLUTION: The pigment-containing heat-curable composition includes a pigment dispersion obtained by dispersing a composition comprising a thermosetting resin, a solvent, and a pigment, wherein the concentration of the pigment is 65 wt.% or more and less than 100 wt.% with respect to the total solid contents. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な顔料含有熱硬化性組成物、並びに、該顔料含有熱硬化性組成物を用いたカラーフィルタ、画像記録材料、および、ドライエッチング法によってパターン形成を行なうカラーフィルタの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a pigment-containing thermosetting composition suitable for forming a colored image constituting a color filter used in a liquid crystal display device (LCD), a solid-state imaging device (CCD, CMOS, etc.), and the pigment-containing heat. The present invention relates to a color filter using a curable composition, an image recording material, and a method for producing a color filter for performing pattern formation by a dry etching method.

液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。   As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.

このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。   Among these, the pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. It has the advantage of being stable to heat and the like. Further, since patterning is performed by a photolithography method, it has been widely used as a suitable method for manufacturing a color filter for a large-screen, high-definition color display with high positional accuracy.

顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコータやロールコーター等により塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を各色ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルタを得ることができる。   When producing a color filter by a pigment dispersion method, a radiation sensitive composition is applied on a glass substrate by a spin coater or a roll coater and dried to form a coating film, and the coating film is colored by pattern exposure and development. By performing this operation repeatedly for each color, a color filter can be obtained.

前記の顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物が記載されたものがある(例えば、特許文献1〜4参照。)。   Examples of the pigment dispersion method include a negative photosensitive composition in which a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator are used in combination with an alkali-soluble resin (see, for example, Patent Documents 1 to 4).

近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれており、染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照。)。しかしながら、染料含有の硬化性組成物は、例えば、耐光性、耐熱性、溶解性、塗布均一性など様々な性能につき、一般的に顔料に比べて劣るという問題があった。また更に、特に固体撮像素子用カラーフィルタ作製用途の場合には1.5μm以下の膜厚が要求されるため、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、これにより基板との密着が不充分となったり、十分な硬化が得られなかったり、露光部でも染料が抜けてしまうなどと、パターン形成性が著しく困難であるといった問題も生じていた。   In recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices, and a technique using a dye has been proposed (see, for example, Patent Document 5). However, the dye-containing curable composition has a problem that it is generally inferior to the pigment in various performances such as light resistance, heat resistance, solubility, and coating uniformity. Furthermore, in particular, in the case of the use for producing a color filter for a solid-state image sensor, a film thickness of 1.5 μm or less is required, so that a large amount of dye must be added to the curable composition, thereby When the adhesion of the ink becomes insufficient, sufficient curing cannot be obtained, or the dye is lost even in the exposed area, there is a problem that the pattern formation is extremely difficult.

また顔料および染料に関わらず、フォトリソ法を用いたカラーフィルタは、着色剤以外の成分すなわち、バインダー樹脂、光重合性化合物、開始剤を相当量入れる必要があり、膜厚を薄く出来ない欠点がある。しかし、近年のカラーフィルタに対しては、シェーディング低減による画質向上のため、薄膜化への強い要求がある。
前記フォトリソ法を利用するカラーフィルタの製造法に対して、より薄膜で、かつ微細パターンの形成に有効な方法としてドライエッチング法が古くから知られている。ドライエッチング法は、色素の蒸着薄膜に対してパターン形成する方法として従来から採用されており(例えば、特許文献6参照。)、薄膜形成に関してはフォトリソ系に比べ、分光特性を同じ程度としながら膜厚が1/2以下の薄膜の形成も可能である。
しかしながら、蒸着による薄膜形成では、蒸着装置の汚染が避けられず、カラーフィルタの作製には大きな負荷となっていた。また、顔料または染料のみで画素が形成されるため、下層の平坦化膜や上層との密着性が悪く、歩留まりが上がらない原因の一つにもなっていた。
Regardless of pigments and dyes, color filters using the photolithographic method need to contain a considerable amount of components other than the colorant, that is, a binder resin, a photopolymerizable compound, and an initiator. is there. However, there is a strong demand for color filters in recent years in order to improve image quality by reducing shading.
In contrast to the color filter manufacturing method using the photolithographic method, a dry etching method has been known for a long time as a method for forming a fine pattern with a thinner film. The dry etching method has been conventionally employed as a method for forming a pattern on a dye-deposited thin film (see, for example, Patent Document 6), and the film is formed with the same spectral characteristics as that of a photolithographic system. A thin film having a thickness of 1/2 or less can also be formed.
However, in the formation of a thin film by vapor deposition, contamination of the vapor deposition apparatus is unavoidable, and it is a heavy load for the production of a color filter. Further, since the pixel is formed only with the pigment or the dye, the adhesion with the lower planarization film or the upper layer is poor, which is one of the causes of the yield not increasing.

特開平2−181704号公報JP-A-2-181704 特開平2−199403号公報JP-A-2-199403 特開平5−273411号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-273411 特開平7−140654号公報JP-A-7-140654 特開平6−75375号公報JP-A-6-75375 特開昭55−146406号公報JP-A-55-146406

本発明は、エッチングに好適であり、分光特性、パターン形状の矩形性、並びに、下層および上層との密着性に優れ、かつ、薄膜化が可能であり、更に、樹脂の総使用量が少なく高濃度な顔料含有熱硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルタおよび画像記録材料を提供することを目的とする。また、同時に優れたカラーフィルタを製造し、コストパフォーマンスの高いドライエッチングで作製するカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention is suitable for etching, has excellent spectral characteristics, rectangular shape of the pattern shape, and adhesion to the lower layer and the upper layer, can be thinned, and has a low total amount of resin used. It is an object of the present invention to provide a high-concentration pigment-containing thermosetting composition, and a color filter and an image recording material using the same. It is another object of the present invention to provide a method for producing a color filter that simultaneously produces an excellent color filter and is produced by dry etching with high cost performance.

前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 熱硬化性樹脂、溶剤、及び顔料を含む組成物を分散して得られる顔料分散液を、全固形分中の顔料濃度が50%以上100%未満となる範囲で含むことを特徴とする顔料含有熱硬化性組成物である。
Specific means for solving the above problems are as follows.
<1> A pigment dispersion obtained by dispersing a composition containing a thermosetting resin, a solvent, and a pigment is contained in a range where the pigment concentration in the total solid content is 50% or more and less than 100%. This is a pigment-containing thermosetting composition.

<2> 更に、前記熱硬化性樹脂の硬化触媒を含むことを特徴とする前記<1>の顔料含有熱硬化性組成物である。   <2> The pigment-containing thermosetting composition according to <1>, further including a curing catalyst for the thermosetting resin.

<3> 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ基を有することを特徴とする前記<1>または<2>の顔料含有熱硬化性組成物である。   <3> The pigment-containing thermosetting composition according to <1> or <2>, wherein the thermosetting resin has an epoxy group.

<4> 前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の顔料含有熱硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタである。   <4> A color filter comprising the pigment-containing thermosetting composition according to any one of <1> to <3>.

<5> 前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の顔料含有熱硬化性組成物を用いてなる着色層上に、感光性樹脂層を積層してなることを特徴とする画像記録材料である。   <5> An image obtained by laminating a photosensitive resin layer on a colored layer formed using the pigment-containing thermosetting composition according to any one of <1> to <3>. Recording material.

<6> 前記<5>に記載の画像記録材料を用いたカラーフィルタの製造方法であって、少なくとも前記画像記録材料における感光性樹脂層にパターン画像を形成した後、ドライエッチング処理し、前記画像記録材料における着色層にパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   <6> A method for producing a color filter using the image recording material according to <5>, wherein at least a pattern image is formed on the photosensitive resin layer of the image recording material, and then dry etching is performed, A color filter manufacturing method, wherein a pattern is formed on a colored layer of a recording material.

本発明によれば、エッチングに好適であり、分光特性、パターン形状の矩形性、並びに、下層および上層との密着性に優れ、かつ、薄膜化が可能であり、更に、樹脂の総使用量が少なく高濃度な顔料含有熱硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルタおよび画像記録材料を提供することができる。また、同時に優れたカラーフィルタを製造し、コストパフォーマンスの高いドライエッチングで作製するカラーフィルタの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is suitable for etching, has excellent spectral characteristics, rectangular shape of the pattern shape, and adhesiveness with the lower layer and the upper layer, and can be thinned. It is possible to provide a thermosetting composition containing a small amount of pigment and a color filter and an image recording material using the same. In addition, an excellent color filter can be manufactured at the same time, and a method for manufacturing a color filter manufactured by dry etching with high cost performance can be provided.

以下に、本発明の顔料含有熱硬化性組成物、並びに、本発明の顔料含有熱硬化性組成物を用いたカラーフィルタ、画像記録材料、および、カラーフィルタの製造方法について詳述する。   Hereinafter, the pigment-containing thermosetting composition of the present invention, and the color filter, the image recording material, and the method for producing the color filter using the pigment-containing thermosetting composition of the present invention will be described in detail.

《顔料含有熱硬化性組成物》
本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、熱硬化性樹脂、溶剤、及び顔料を含む組成物を分散して得られる顔料分散液を、全固形分中の顔料濃度が50%以上100%未満となる範囲で含むことを特徴とする。即ち、本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、分散に用いる樹脂に熱硬化性機能を付与することで顔料以外の成分含量を減らして、より高顔料濃度の分散液とすることができ、より高顔料濃度の分散液とすることでより一層の薄層化が可能となる。本発明の顔料含有熱硬化性組成物には、必要に応じて、熱硬化性化合物や他の添加剤が含有される。
<Pigment-containing thermosetting composition>
The pigment-containing thermosetting composition of the present invention is a pigment dispersion obtained by dispersing a composition containing a thermosetting resin, a solvent, and a pigment, and the pigment concentration in the total solid content is 50% or more and less than 100%. It is included in the range which becomes. That is, the pigment-containing thermosetting composition of the present invention can reduce the content of components other than the pigment by imparting a thermosetting function to the resin used for dispersion, and can be a dispersion with a higher pigment concentration. By making the dispersion liquid with a higher pigment concentration, it is possible to further reduce the thickness. The pigment-containing thermosetting composition of the present invention contains a thermosetting compound and other additives as necessary.

−顔料分散液−
本発明における顔料分散液は、熱硬化性樹脂、溶剤、及び顔料を含む組成物を分散して得られる。
-Pigment dispersion-
The pigment dispersion in the present invention is obtained by dispersing a composition containing a thermosetting resin, a solvent, and a pigment.

<熱硬化性樹脂>
本発明において、熱硬化性樹脂は、顔料分散液を調製する際、顔料を分散するときに用いられる。
本発明に使用可能な熱硬化性樹脂としては、反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、ノボラック樹脂などのフェノール樹脂;ユリア樹脂,メラミン樹脂,ベンゾグアナミン樹脂などのアミノ樹脂;不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂などのアリル樹脂;アルキド樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂,多官能基エポキシ樹脂、脂環状エポキシ樹脂エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂;ウレタン樹脂;ケイ素樹脂などが挙げられる。またそれ以外にも適宜、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基などの官能基を有する樹脂を使用することができる。中でも、エポキシ基を有するエポキシ基含有樹脂であることが好ましく、多官能エポキシ基含有樹脂であることが特に好ましい。
<Thermosetting resin>
In the present invention, the thermosetting resin is used to disperse the pigment when preparing the pigment dispersion.
The thermosetting resin that can be used in the present invention is not particularly limited as long as the film can be cured by reaction. Examples thereof include phenol resins such as novolac resins; amino resins such as urea resins, melamine resins, and benzoguanamine resins; Allyl resins such as unsaturated polyester resins and diallyl phthalate resins; Epoxy resins such as alkyd resins, bisphenol A type epoxy resins, novolac type epoxy resins, polyfunctional epoxy resins, alicyclic epoxy resins, epoxy resins; urethane resins; silicon resins, etc. Is mentioned. In addition, a resin having a functional group such as an epoxy group, a methylol group, an alkoxymethyl group, or an acyloxymethyl group can be used as appropriate. Among these, an epoxy group-containing resin having an epoxy group is preferable, and a polyfunctional epoxy group-containing resin is particularly preferable.

前記エポキシ基含有樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物;ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。   The epoxy group-containing resin may be any resin that has an epoxy group and has crosslinkability, such as bisphenol A diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether, Divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, diglycidyl phthalate, and N, N-diglycidyl aniline; similarly, trimethylolpropane triglycidyl ether, trimethylol Trivalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds typified by phenol triglycidyl ether, TrisP-PA triglycidyl ether, etc .; similarly, pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetramethylol vinyl Tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds typified by phenol A tetraglycidyl ether and the like; similarly, polyvalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as dipentaerythritol pentaglycidyl ether and dipentaerythritol hexaglycidyl ether; And glycidyl group-containing polymer compounds represented by 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol and the like. .

また、市販されているものとしては、脂環式エポキシ化合物「CEL−2021」、脂環式固形エポキシ樹脂「EHPE−3150」、エポキシ化ポリブタジエン「PB3600」、可とう性脂環エポキシ化合物「CEL−2081」、ラクトン変性エポキシ樹脂「PCL−G」等が挙げられる(何れもダイセル化学工業(株))。また、他には「セロキサイド2000」、「エポリードGT−3000」、「GT−4000」(何れもダイセル化学工業(株))が挙げられる。これらの中では、脂環式エポキシ樹脂が最も硬化性に優れており、さらには「EHPE−3150」が最も硬化性に優れている。これらの化合物は単独で使用してもよいし、2種以上組み合わせてもよく、以降に示す他種のものとの組み合わせも可能である。   Commercially available products include alicyclic epoxy compound “CEL-2021”, alicyclic solid epoxy resin “EHPE-3150”, epoxidized polybutadiene “PB3600”, flexible alicyclic epoxy compound “CEL-”. 2081 ", lactone-modified epoxy resin" PCL-G ", etc. (all are Daicel Chemical Industries, Ltd.). Other examples include “Celoxide 2000”, “Epolide GT-3000”, and “GT-4000” (all of which are Daicel Chemical Industries, Ltd.). Among these, the alicyclic epoxy resin is most excellent in curability, and “EHPE-3150” is most excellent in curability. These compounds may be used alone or in combination of two or more, and combinations with other types shown below are also possible.

前記熱硬化性樹脂の本発明における顔料含有熱硬化性組成物における含有量は、素材によって異なるが、好ましくは35質量%以下であり、更に好ましくは0.1〜25質量%であり、特に好ましくは1〜20質量%である。
また、本発明の顔料含有熱硬化性組成物中における、前記熱硬化性樹脂と後述する熱硬化性化合物との総含有量は、素材によって異なるが、該熱硬化性組成物の全固形分(質量)に対して、70質量%以下が好ましく、0.2〜50質量%が更に好ましく、1〜30質量%が特に好ましい。
The content of the thermosetting resin in the pigment-containing thermosetting composition of the present invention varies depending on the material, but is preferably 35% by mass or less, more preferably 0.1 to 25% by mass, and particularly preferably. Is 1-20 mass%.
The total content of the thermosetting resin and the thermosetting compound described below in the pigment-containing thermosetting composition of the present invention varies depending on the material, but the total solid content of the thermosetting composition ( 70 mass% or less is preferable with respect to (mass), 0.2-50 mass% is still more preferable, and 1-30 mass% is especially preferable.

これら熱硬化性樹脂は顔料分散時の分散樹脂の代替として使用できるが、保持能力が弱いものも中にある。このため、以下に示す元々分散用バインダーとして使用されてきたバインダーに熱硬化機能を有する官能基を共重合した樹脂が、保持能力もあり、好ましく用いられる。   These thermosetting resins can be used as an alternative to the dispersing resin when dispersing the pigment, but some of them have weak holding ability. For this reason, a resin obtained by copolymerizing a functional group having a thermosetting function with the binder that has been originally used as a binder for dispersion described below has a holding ability and is preferably used.

−バインダー−
前記従来分散に用いられていたバインダーとしては、アルカリ可溶性を必要とせず、有機溶剤に可溶であればよい。
-Binder-
The binder conventionally used for the dispersion is not required to be alkali-soluble and may be soluble in an organic solvent.

前記バインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶であるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。   The binder is preferably a linear organic polymer that is soluble in an organic solvent. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, and JP-B-54-. No. 25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, etc. Examples thereof include polymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, and acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are also useful.

前記のほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級または3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
In addition to the above, polymers obtained by adding acid anhydrides to polymers having a hydroxyl group, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl Alcohol and the like are also useful.
Moreover, you may copolymerize the monomer which has hydrophilic property, As an example, alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, Secondary or tertiary alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate Branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like.

これら各種バインダーの中でも、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。   Among these various binders, from the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable. Acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferred.

前記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、例えばベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸、ベンジルメタアクリレート/ベンジルメタアクリルアミドのような各共重合体、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好ましい。
これらのバインダー中に前記着色剤を高濃度に分散させることで、下層等との密着性を付与でき、これらはスピンコート、スリットコート時の塗布面状にも寄与している。
As the acrylic resin, a copolymer comprising monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and the like, for example, benzyl methacrylate / methacrylic acid, Each copolymer such as benzyl methacrylate / benzylmethacrylamide, KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) and the like are preferable.
By dispersing the colorant in these binders at a high concentration, it is possible to impart adhesion to the lower layer and the like, which also contributes to the coated surface shape during spin coating and slit coating.

前記バインダーとしては、重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000〜1×105の重合体がより好ましく、5000〜5×104の重合体が特に好ましい。 As the binder, a polymer having a weight average molecular weight (polystyrene conversion value measured by GPC method) of 1000 to 2 × 10 5 is preferable, a polymer of 2000 to 1 × 10 5 is more preferable, and 5000 to 5 × 10. The polymer of 4 is particularly preferred.

本発明における熱硬化性樹脂は、顔料の分散樹脂ばかりでなく、熱硬化性樹脂の機能も併せ持つ。すなわち、前記熱硬化性樹脂としては、熱硬化性化合物でありバインダー機能を少しでも有しているものであれば特に限定はなく、また、上述したバインダーで熱硬化機能を有しているものであればそのまま使用することができる。上述の通り、本発明における熱硬化性樹脂としては、エポキシ基をバインダー中に含有するものが好ましく、中でも上記アクリル樹脂系において、グリシジル(メタ)アクリレートのようなものを共重合したような樹脂が好ましい。   The thermosetting resin in the present invention has not only a pigment dispersion resin but also a function of a thermosetting resin. In other words, the thermosetting resin is not particularly limited as long as it is a thermosetting compound and has a binder function, and the binder described above has a thermosetting function. If there is, it can be used as it is. As described above, as the thermosetting resin in the present invention, those containing an epoxy group in the binder are preferable. Among them, in the above acrylic resin system, a resin such as a copolymer of glycidyl (meth) acrylate is used. preferable.

このような共重合体としては、例えば、ベンジルメタアクリレート/グリシジルメタクリレート共重合体、ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタアクリレート/グリシジルメタアクリレート共重合体、ベンジルメタアクリレート/ヒドロキシエチルメタアクリレート/グリシジルメタアクリレート/イソブチルメタアクリレート共重合体他、目的に応じてモノマーを種々に組み合わせることができる。また、各々の共重合比、分子量なども任意に選択可能である。   Examples of such copolymers include benzyl methacrylate / glycidyl methacrylate copolymer, hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate / glycidyl methacrylate copolymer, and benzyl methacrylate / hydroxyethyl methacrylate / glycidyl methacrylate / isobutyl. In addition to the methacrylate copolymer, various monomers can be combined depending on the purpose. Moreover, each copolymerization ratio, molecular weight, etc. can be selected arbitrarily.

これらの熱硬化性樹脂中に顔料を高濃度に分散させることで、膜を形成した際に下層等との密着性を付与でき、スピンコート、スリットコート時の塗布面状にも寄与することができる。   By dispersing the pigment in these thermosetting resins at a high concentration, adhesion to the lower layer and the like can be imparted when a film is formed, which can also contribute to the coating surface shape during spin coating and slit coating. it can.

前記バインダーの硬化性組成物における含有量としては、該組成物の全固形分(質量)に対して、0.01〜90質量%が好ましく、0.1〜80質量%がより好ましく、0.5〜70質量%が特に好ましい。   As content in the curable composition of the said binder, 0.01-90 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of this composition, 0.1-80 mass% is more preferable, and 0.0. 5-70 mass% is especially preferable.

<顔料>
本発明における顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また本発明における顔料としては、無機であれ有機であれ、なるべく細かいものを用いることが好ましい。ハンドリング適性をも考慮すると、前記顔料粒子の粒子径としては、平均粒子径で0.001μm〜0.1μmが好ましく、0.005μm〜0.05μmがさらに好ましい。また、本発明における顔料は、粒子径が0.01±0.005μmの範囲内にある顔料粒子が、顔料粒子の総質量に対して75質量%以上含まれていることが特に好ましい。かかる粒子径分布を達成するためには後述する分散方法によって顔料を分散することが特に好ましい。
<Pigment>
As the pigment in the present invention, conventionally known various inorganic pigments or organic pigments can be used. Moreover, it is preferable to use as fine a pigment as possible in the present invention, whether inorganic or organic. Considering handling suitability, the average particle diameter of the pigment particles is preferably 0.001 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.005 μm to 0.05 μm. The pigment in the present invention particularly preferably contains 75% by mass or more of pigment particles having a particle diameter in the range of 0.01 ± 0.005 μm with respect to the total mass of the pigment particles. In order to achieve such particle size distribution, it is particularly preferable to disperse the pigment by a dispersion method described later.

前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などで示される金属化合物が挙げられ、具体的には、アルミニウム、鉄、コバルト、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment include metal compounds represented by metal oxides and metal complex salts, and specifically, aluminum, iron, cobalt, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and the like. Mention may be made of metal oxides and composite oxides of the above metals.

前記有機顔料としては、
C.I.Pigment Yellow 11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C.I.Pigment Orange 36,38,43,71;
C.I.Pigment Red 81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.Pigment Violet 19,23,32,39;
C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.Pigment Green 7,36,37;
C.I.Pigment Brown 25,28;
等を挙げることができる。
As the organic pigment,
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C. I. Pigment Orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment Green 7, 36, 37;
C. I. Pigment Brown 25, 28;
Etc.

本発明において好ましく用いることができる有機顔料として、以下のものを挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Although the following can be mentioned as an organic pigment which can be preferably used in this invention, This invention is not limited to these.

C.I.Pigment Yellow 11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185;
C.I.Pigment Orange 36,71;
C.I.Pigment Red 122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264;
C.I.Pigment Violet 19,23,32;
C.I.Pigment Blue 15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185;
C. I. Pigment Orange 36, 71;
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264;
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32;
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;

前記有機顔料は、単独で用いてもよいし、色純度を上げるため種々組合せて用いることもできる。具体例を示すと、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独、或いは、それらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料との組み合わせなどを用いることができる。例えばアントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー83またはC.I.ピグメントイエロー139との組み合わせが好ましい。赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましく、100:10〜100:30がさらに好ましい。前記質量比がかかる範囲内にあると光透過率を抑えて色純度を向上させることができ、さらに主波長が短波長よりになってNTSC目標色相からずれるのを防止することができる。赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。   The organic pigments may be used alone or in various combinations in order to increase color purity. As specific examples, red pigments include anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone, or at least one of them, disazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, and quinophthalone yellow pigments. A combination with a pigment or a perylene red pigment can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177 and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224 and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Pigment yellow 83 or C.I. I. A combination with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50, more preferably 100: 10 to 100: 30. When the mass ratio is within such a range, the light transmittance can be suppressed and the color purity can be improved, and further, it is possible to prevent the main wavelength from becoming shorter than the NTSC target hue. In the case of a combination of red pigments, it can be adjusted in accordance with the chromaticity.

緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料単独、或いは、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料またはイソインドリン系黄色顔料との組み合わせを用いることができる。例えば、C.I.ピグメントグリーン7,36,37とC.I.ピグメントイエロー83,C.I.ピグメントイエロー138,C.I.ピグメントイエロー139,C.I.ピグメントイエロー150,C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましく、100:30〜100:120がさらに好ましい。前記質量比がかかる範囲にあると、400nm〜450nmの光透過率を抑え、色純度を向上させることができ、更に、主波長が長波長よりになってNTSC目標色相からずれるのを防止することができる。   As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment alone or a combination thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150, more preferably 100: 30 to 100: 120. When the mass ratio is within such a range, the light transmittance of 400 nm to 450 nm can be suppressed, the color purity can be improved, and further, the main wavelength can be prevented from deviating from the NTSC target hue due to the longer wavelength. Can do.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独、または、これとジオキサジン系紫色顔料との組み合わせを用いることができる。該組み合わせとしては、例えば、C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。   As the blue pigment, a phthalocyanine pigment alone or a combination thereof with a dioxazine purple pigment can be used. Examples of the combination include C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment to the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 30, more preferably 100: 10 or less.

更に前記の顔料をアクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマーおよびエチルセルロース樹脂等に微分散させた粉末状加工顔料を用いることによって、分散性および分散安定性の良好な顔料含有感光樹脂を得ることが出来る。   Furthermore, by using a powdered processed pigment in which the above pigment is finely dispersed in an acrylic resin, a maleic acid resin, a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, an ethyl cellulose resin, or the like, a pigment-containing photosensitive material having good dispersibility and dispersion stability. Resin can be obtained.

上述の通り、本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、顔料粒子を微粒子化し、且つ、その粒子サイズ分布をシャープにした顔料を用いる方法が好適である。具体的には、平均粒子径が0.01μm程度であり、且つ75質量%以上の粒子径が0.01±0.005μmの範囲にある顔料粒子から構成される顔料を用いる方法が好ましい。顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要となる。顔料の分散方法については後述する。   As described above, the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is preferably a method using a pigment having finely divided pigment particles and a sharp particle size distribution. Specifically, a method using a pigment composed of pigment particles having an average particle diameter of about 0.01 μm and a particle diameter of 75% by mass or more in the range of 0.01 ± 0.005 μm is preferable. In order to adjust the particle size distribution of the pigment within the above range, the pigment dispersion method is particularly important. The method for dispersing the pigment will be described later.

また、本発明においては、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料も好適に用いることができる。本発明において、前記の種々の樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状が好ましい。   In the present invention, processed pigments previously treated with an acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin or the like can also be suitably used. In the present invention, the processed pigment treated with the various resins is preferably a powder, paste, pellet, or paste in which the resin and the pigment are uniformly dispersed.

<顔料濃度>
前記顔料の顔料分散液中の濃度は、本発明の顔料含有熱硬化性組成物の全固形分に対する顔料濃度が、50質量%以上100質量%未満となるように決定される。本発明の顔料含有熱硬化性組成物の全固形分に対する顔料濃度としては、60質量%以上95質量%以下がより好ましく、65質量%以上90質量%以下が特に好ましい。前記顔料の含有量が、50質量%未満であると、所望の分光特性が得られず、色再現が悪く、グレーバランスもずれたものとなってしまう。また、前記の範囲であると、硬化性が良好である点で好ましい。
また、本発明の顔料含有熱硬化性組成物中における本発明における顔料分散液の含有量についても、上記顔料濃度を基準に決定される。
<Pigment concentration>
The concentration of the pigment in the pigment dispersion is determined so that the pigment concentration with respect to the total solid content of the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is 50% by mass or more and less than 100% by mass. The pigment concentration relative to the total solid content of the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is more preferably 60% by mass to 95% by mass, and particularly preferably 65% by mass to 90% by mass. If the content of the pigment is less than 50% by mass, desired spectral characteristics cannot be obtained, color reproduction is poor, and gray balance is also shifted. Moreover, it is preferable at the point which has favorable curability as it is the said range.
The content of the pigment dispersion in the present invention in the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is also determined based on the pigment concentration.

本発明の顔料含有熱硬化性組成物で作製するカラーフィルタは、フォトリソ法で作製するカラーフィルタに対して同等程度の分光特性を有しながら、薄膜化を実現させることができる。
通常、薄膜化実現のためには、フォトリソ法で作製した塗布膜に対して固形分濃度を上げる必要がある。これに対し、所望とする分光特性を得るためには顔料の濃度を向上させる必要がある。
このため、フォトリソ法で所望の分光特性を得たまま薄膜化を行うと、顔料以外の固形分の含有量を下げることとなり、その結果、硬化不良やこれに伴うアルカリ現像でのパターンの消失(現像、リンス工程での流れ)が起きる。このため、フォトリソ法による薄膜化には、顔料濃度に限界があり、顔料濃度が65質量%以上では、殆どパターンが出来なかった。
The color filter produced with the pigment-containing thermosetting composition of the present invention can be made thin while having spectral characteristics comparable to those of a color filter produced by a photolithography method.
Usually, in order to realize a thin film, it is necessary to increase the solid content concentration with respect to a coating film produced by a photolithography method. On the other hand, in order to obtain desired spectral characteristics, it is necessary to improve the concentration of the pigment.
For this reason, if thinning is performed while obtaining the desired spectral characteristics by the photolithographic method, the content of solids other than the pigment will be reduced. As a result, curing failure and loss of the pattern due to alkali development ( Development and rinsing process). For this reason, there is a limit to the pigment concentration in thinning by the photolithographic method, and almost no pattern was formed when the pigment concentration was 65% by mass or more.

これに対し、本発明の顔料含有熱硬化性組成物を用いてなる本発明のカラーフィルタは、後述する通り、熱で顔料を含む塗布膜(着色層)を硬化させ、ドライエッチングによりパターン形成するため、フォトリソ法では必須成分であるモノマー(光重合性化合物)や光重合開始剤を、顔料を含む層に含有させる必要がない。このため、本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、顔料と熱で硬化された樹脂とで最低限構成されるため、顔料濃度を65質量%以上に設定することができる。   On the other hand, the color filter of the present invention using the pigment-containing thermosetting composition of the present invention cures the coating film (colored layer) containing the pigment with heat and forms a pattern by dry etching, as will be described later. Therefore, it is not necessary to include a monomer (photopolymerizable compound) or a photopolymerization initiator, which are essential components in the photolithography method, in the layer containing the pigment. For this reason, since the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is composed at least of a pigment and a resin cured by heat, the pigment concentration can be set to 65% by mass or more.

尚、究極の顔料濃度は蒸着法による100質量%であり、膜厚も蒸着法によるものが最も薄くできるが、(1)装置汚染の問題があること、また(2)上層や下層との密着性に問題がある場合があることは上述した通りである。
高顔料濃度の硬化性組成物をスピンコータやスリット塗布で塗布し、熱硬化で薄膜を作製する方法は、熱硬化樹脂等を添加する分蒸着法に比べ、若干膜厚は厚くなるが、アルカリ現像性が不要のため、フォトリソ法では成し得ない高顔料濃度の硬化液の調製が可能である。
The ultimate pigment concentration is 100% by mass by the vapor deposition method, and the film thickness can also be reduced by the vapor deposition method, but (1) there is a problem of equipment contamination, and (2) adhesion with the upper layer and lower layer. As described above, there may be a problem in sex.
The method of applying a curable composition with a high pigment concentration by spin coater or slit coating and producing a thin film by thermosetting is slightly thicker than the vapor deposition method in which thermosetting resin is added, but alkali development. Therefore, it is possible to prepare a curable liquid having a high pigment concentration, which cannot be achieved by the photolithography method.

本発明の顔料含有熱硬化性組成物においては、顔料濃度が65%質量以上であれば後述する好ましい目標膜厚にすることができるが、例えば、後述するエポキシ樹脂での熱硬化方式を採用する場合には、更に顔料濃度は70質量%以上に設定することができる。すなわち分光特性を殆ど変えずにフォトリソ法での限界以下の膜厚よりも薄い膜の形成が可能である。
加えて、顔料以外の成分に密着性を持たせることで、蒸着法では得られなかった密着性能が高顔料濃度のものでも実現できる。
In the pigment-containing thermosetting composition of the present invention, if the pigment concentration is 65% by mass or more, a preferable target film thickness described later can be obtained. For example, a thermosetting method using an epoxy resin described later is employed. In this case, the pigment concentration can be further set to 70% by mass or more. That is, it is possible to form a film that is thinner than the limit of the photolithography method without changing the spectral characteristics.
In addition, by imparting adhesion to components other than pigments, adhesion performance that could not be obtained by vapor deposition can be realized even with high pigment concentrations.

(染料)
本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、顔料と併せて染料を用いてもよい。
前記染料としては、特に制限なく使用することができ、従来カラーフィルタ用として公知の染料などが挙げられる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。化学構造の観点からは、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用でき、特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。
(dye)
The pigment-containing thermosetting composition of the present invention may use a dye together with the pigment.
The dye can be used without any particular limitation, and includes conventionally known dyes for color filters. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 And dyes described in JP-A-6-194828. From the viewpoint of chemical structure, dyes such as triphenylmethane, anthraquinone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, and indigo can be used. Particularly preferred are pyrazole azo dyes, anilinoazo dyes, pyrazolotriazole azo dyes, pyridone azo dyes, anthraquinone dyes and anthrapyridone dyes.

また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合には現像によりバインダーおよび/または染料を完全に除去するという観点から、酸性染料および/またはその誘導体を好適に使用できることがある。そのほか、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/またはこれらの誘導体等も有用に使用することができる。   In the case of a resist system that performs water or alkali development, an acid dye and / or a derivative thereof may be preferably used from the viewpoint of completely removing the binder and / or dye by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be used effectively.

−酸性染料−
前記酸性染料について説明する。酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
-Acid dyes-
The acid dye will be described. The acidic dye is not particularly limited as long as it is a dye having an acidic group such as sulfonic acid, carboxylic acid, phenolic hydroxyl group, etc., but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, curability. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.

以下、前記酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
Acid alizarin violet N;
Acid black 1,2,24,48;
Acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
Acid chrome violet K;
Acid Fuchsin;
Acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
Acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
Hereinafter, specific examples of the acid dye will be given. However, the present invention is not limited to these. For example,
Acid alizarin violet N;
Acid black 1, 2, 24, 48;
Acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
Acid chroma violet K;
Acid Fuchsin;
Acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
Acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;

Acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
Acid violet 6B,7,9,17,19;
Acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
Acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
Acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;

Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

前記の酸性染料の中でも、
Acid black 24;
Acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
Acid orange 8,51,56,74,63,74;
Acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
Acid violet 7;
Acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25;
などの染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
Among the acid dyes,
Acid black 24;
Acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
Acid orange 8, 51, 56, 74, 63, 74;
Acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
Acid violet 7;
Acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
Acid Green 25;
And the like and derivatives of these dyes are preferred.

また、前記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44,38;C.I.Solvent Orange45;Rhodamine B, Rhodamine 110、3−[(5−chloro−2−phenoxyphenyl)hydrazono]−3,4−dihydro−4−oxo−5−[(phenylsulfonyl)amino]−2,7−Naphthalenedisulfonic acid等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好適に使用することができる。   Other than the above, azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38; I. Solvent Orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110, 3-[(5-chloro-2-phenoxyphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5-[(phenylsulfonyl) amino] -2,7-naphthyl, etc. These acid dyes and derivatives of these dyes can also be suitably used.

酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the derivative of the acid dye, an inorganic salt of an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, a sulfonamide of an acid dye, etc. can be used, and a curable composition solution Is not particularly limited as long as it can be dissolved, but it requires solubility in organic solvents and developers, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance, etc. It is selected considering all of the performance.

酸性染料と含窒素化合物との塩について説明する。酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性および耐光性改良に効果的な場合がある。   The salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound will be described. The method of forming a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent) and improving heat resistance and light resistance.

酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。
含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性および耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、nという。)について説明する。nは、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることがさらに好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。
The nitrogen-containing compound that forms a salt with the acid dye and the nitrogen-containing compound that forms an amide bond with the acid dye will be described.
Nitrogen-containing compounds are the solubility of salts or amide compounds in organic solvents and developers, salt-forming properties, dye absorbance / color value, interaction with other components in the curable composition, and heat resistance as a colorant. In addition, it is selected in consideration of all of light resistance and the like. When selecting only in terms of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound is preferably as low as possible in molecular weight, more preferably having a molecular weight of 300 or less, more preferably having a molecular weight of 280 or less, and a molecular weight of 250 or less. Those are particularly preferred.
The molar ratio of nitrogen-containing compound / acid dye (hereinafter referred to as n) in the salt of the acid dye and the nitrogen-containing compound will be described. n is a value that determines the molar ratio between the acid dye molecule and the amine compound that is a counter ion, and can be freely selected according to the salt forming conditions of the acid dye-amine compound. Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selecting from the standpoint of absorbance only, n is preferably a value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a value between 0 <n ≦ 4, and 0 <n. It is particularly preferable to take a numerical value between ≦ 3.5.

前記に示した酸性染料はその構造上酸性基を導入したことにより、酸性染料となっていることから、その置換基を変更することにより、非酸性染料とすることが出来る。
酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともあり、非酸性染料を好適に使用する場合もある。
Since the acidic dye shown above is an acidic dye due to the introduction of an acidic group in its structure, it can be made a non-acidic dye by changing its substituent.
In some cases, the acid dye works favorably during alkali development, but on the other hand, it may become over-developed, and a non-acid dye may be preferably used.

<溶剤>
本発明における顔料分散液(あるいはこれを含む本発明の顔料含有熱硬化性組成物の調製)には溶剤が用いられる。溶剤は、各成分の溶解性や顔料含有熱硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。尚、前記有機溶剤は、2種以上を混合することが好ましい。
<Solvent>
A solvent is used for the pigment dispersion in the present invention (or preparation of the pigment-containing thermosetting composition of the present invention containing the same). As long as the solubility of each component and the applicability of the pigment-containing thermosetting composition are satisfied, the solvent is preferably selected basically in consideration of the solubility, applicability and safety of the dye and binder. In addition, it is preferable that the said organic solvent mixes 2 or more types.

前記溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;   Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, and methyl lactate. , Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, etc .; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, such as methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Acid ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy- 2-methylpropio Methyl acid, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl, etc; methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等; Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。 Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone are preferred; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are preferred.

<熱硬化性化合物>
本発明の顔料含有熱硬化性組成物は、熱硬化性化合物を含んでいてもよい。本発明に使用可能な熱硬化性化合物としては、加熱により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、熱硬化性官能基を有する化合物を用いることができる。前記熱硬化性化合物としては、例えば、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基を有するものが好ましい。
<Thermosetting compound>
The pigment-containing thermosetting composition of the present invention may contain a thermosetting compound. The thermosetting compound that can be used in the present invention is not particularly limited as long as the film can be cured by heating. For example, a compound having a thermosetting functional group can be used. As the thermosetting compound, for example, those having at least one group selected from an epoxy group, a methylol group, an alkoxymethyl group and an acyloxymethyl group are preferable.

更に好ましい熱硬化性化合物としては、(a)上述のエポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。   More preferable thermosetting compounds include (a) the above-mentioned epoxy resin, (b) a melamine compound, a guanamine compound substituted with at least one substituent selected from a methylol group, an alkoxymethyl group and an acyloxymethyl group, A glycoluril compound or a urea compound, and (c) a phenol compound, a naphthol compound, or a hydroxyanthracene compound substituted with at least one substituent selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group.

前記(b)に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が各化合物に置換している数としては、メラミン化合物の場合2〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は3〜4である。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、(b)における(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物という。
The number of methylol groups, alkoxymethyl groups, and acyloxymethyl groups contained in (b) that are substituted for each compound is 2 to 6 for melamine compounds, glycoluril compounds, guanamine compounds, and urea compounds. Although it is 2-4, Preferably it is 5-6 in the case of a melamine compound, and 3-4 in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound, and a urea compound.
Hereinafter, the melamine compound, guanamine compound, glycoluril compound and urea compound of (b) are collectively referred to as a compound (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group) in (b).

前記(b)におけるメチロール基含有化合物は、(b)におけるアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記(b)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(b)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。   The methylol group-containing compound in (b) can be obtained by heating the alkoxymethyl group-containing compound in (b) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like. The acyloxymethyl group-containing compound in (b) can be obtained by mixing and stirring the methylol group-containing compound in (b) with acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

以下、前記置換基を有する(b)における化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
Hereinafter, specific examples of the compound in (b) having the substituent will be given.
Examples of the melamine compound include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 5 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl melamine, hexamethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 5 methylol groups of melamine are acyloxymethylated, or mixtures thereof.

前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。   Examples of the guanamine compound include tetramethylol guanamine, tetramethoxymethyl guanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol guanamine or a mixture thereof, tetramethoxyethyl guanamine, tetraacyloxymethyl guanamine, tetramethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 3 methylol groups of guanamine are acyloxymethylated or a mixture thereof.

前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。   Examples of the glycoluril compound include tetramethylol glycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolglycoluril, or a mixture thereof, or a methylol group of tetramethylolglycoluril. Examples thereof include compounds obtained by acylating 1 to 3 or a mixture thereof.

前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら(b)における化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
Examples of the urea compound include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol urea, a mixture thereof, and tetramethoxyethyl urea.
These compounds in (b) may be used alone or in combination.

前記(c)における化合物、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、前記(b)における化合物の場合と同様、上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、(c)における(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。   The compound in the above (c), that is, a phenol compound, a naphthol compound or a hydroxyanthracene compound substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group is a compound in the above (b). As in the case of, the intermixing with the overcoated photoresist is suppressed and the film strength is further increased. Hereinafter, these compounds may be collectively referred to as a compound (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group) in (c).

前記(c)における化合物に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低2個必要であり、熱硬化および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位およびパラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の3位または5位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the compound in (c) above is at least 2 per molecule, and from the viewpoint of thermosetting and storage stability, a phenolic compound that becomes a skeleton A compound in which all of the 2- and 4-positions are substituted is preferred. In addition, the naphthol compound and hydroxyanthracene compound serving as the skeleton are also preferably compounds in which all of the ortho-position and para-position of the OH group are substituted. The 3-position or 5-position of the phenol compound may be unsubstituted or may have a substituent.
The naphthol compound may be unsubstituted or substituted except for the ortho position of the OH group.

前記(c)におけるメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基の2位または4位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記(c)におけるアルコキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
As the methylol group-containing compound in (c), a compound in which the phenolic OH group has a hydrogen atom at the 2-position or 4-position is used as a raw material, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, tetraalkylammonium hydroxide, etc. Obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst.
The alkoxymethyl group-containing compound in (c) can be obtained by heating the methylol group-containing compound in (c) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like.
The acyloxymethyl group-containing compound in (c) can be obtained by reacting the methylol group-containing compound in (c) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

(c)における骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノールAなどのビスフェノール類;4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。   Examples of the skeletal compound in (c) include phenolic compounds, naphthols, hydroxyanthracene compounds, etc., in which the ortho-position or para-position of the phenolic OH group is unsubstituted. For example, phenol, cresol isomers, 2, 3 -Bisphenols such as xylenol, 2,5-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenol A; 4,4'-bishydroxybiphenyl, TrisP-PA (Honshu Chemical Industry Co., Ltd. ), Naphthol, dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyanthracene, and the like.

前記(c)の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。   Specific examples of (c) include, as a phenol compound, for example, trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, trimethylol-3- Compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of cresol, tri (methoxymethyl) -3-cresol, trimethylol-3-cresol, dimethylol cresol such as 2,6-dimethylol-4-cresol, tetramethylol Compounds obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of bisphenol A, tetramethoxymethyl bisphenol A, tetramethylol bisphenol A, tetramethylol-4,4′-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl-4,4′-bishi Roxybiphenyl, TrisP-PA hexamethylol, TrisP-PA hexamethoxymethyl, TrisP-PA hexamethylol compound methoxymethylated 1-5 methylol groups, bishydroxymethylnaphthalenediol, etc. Can be mentioned.

また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。   In addition, examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene, and examples of the acyloxymethyl group-containing compound include, for example, a part of the methylol group of the methylol group-containing compound or Examples include compounds that are all acyloxymethylated.

これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら(c)における化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
Among these compounds, trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, trisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) or a methylol group thereof is preferable. Examples thereof include an alkoxymethyl group and a phenol compound substituted with both a methylol group and an alkoxymethyl group.
These compounds in (c) may be used alone or in combination.

前記熱硬化性化合物の本発明の顔料含有熱硬化性組成物中における総含有量については上述した通りである。   The total content of the thermosetting compound in the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is as described above.

<各種添加物>
本発明の顔料含有熱硬化性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じ、各種添加物、例えば、バインダー、硬化剤、硬化触媒、溶剤、充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、分散剤、等を配合することができる。
<Various additives>
In the pigment-containing thermosetting composition of the present invention, various additives such as a binder, a curing agent, a curing catalyst, a solvent, a filler, and a high amount other than those described above are included in the range that does not impair the effects of the present invention. Molecular compounds, surfactants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, aggregation inhibitors, dispersants, and the like can be blended.

(硬化剤)
本発明において、熱硬化性樹脂として、エポキシ樹脂を使用する場合、硬化剤を添加することが好ましい。エポキシ樹脂の硬化剤は種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが使用する硬化剤の種類によって非常に異なるため、硬化剤の使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ばねばならない。前記硬化剤に関しては垣内弘編 「エポキシ樹脂(昇晃堂)」第5章に詳しく解説されている。前記硬化剤の例を挙げると以下のようになる。
触媒的に作用するものとしては、第3アミン類、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等;また、常温硬化のものとして、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂、中温硬化のものの例としてジエチルアミノプロピルアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;高温硬化の例として、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等がある。また化学構造別に見るとアミン類では、脂肪族ポリアミンとしてはジエチレントリアミン;芳香族ポリアミンとしてはメタフェニレンジアミン;第二および第三アミンとしてはトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;酸無水物としては無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三フッ化ホウ素−モノエチルアミンコンプレックス;合成樹脂初期縮合物としてはフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド等が挙げられる。
(Curing agent)
In the present invention, when an epoxy resin is used as the thermosetting resin, it is preferable to add a curing agent. There are many types of curing agents for epoxy resins, and their properties, pot life with resin and curing agent mixture, viscosity, curing temperature, curing time, heat generation, etc. vary greatly depending on the type of curing agent used. An appropriate curing agent must be selected according to the purpose of use, use conditions, working conditions, and the like. The curing agent is described in detail in Chapter 5 of Hiroshi Kakiuchi “Epoxy resin (Shojodo)”. Examples of the curing agent are as follows.
Those that act catalytically include tertiary amines, boron trifluoride-amine complexes, those that react stoichiometrically with functional groups of epoxy resins, polyamines, acid anhydrides, etc .; Examples include diethylenetriamine, polyamide resin, and medium temperature curing examples such as diethylaminopropylamine and tris (dimethylaminomethyl) phenol; examples of high temperature curing include phthalic anhydride and metaphenylenediamine. In terms of chemical structure, amines include diethylenetriamine as an aliphatic polyamine, metaphenylenediamine as an aromatic polyamine, tris (dimethylaminomethyl) phenol as a secondary and tertiary amine, and phthalic anhydride as an acid anhydride. , Polyamide resin, polysulfide resin, boron trifluoride-monoethylamine complex; examples of the synthetic resin initial condensate include phenol resin and other dicyandiamide.

これら硬化剤は、加熱によりエポキシ基と反応し、重合することによって架橋密度が上がり硬化するものである。薄膜化のためには、バインダー、硬化剤とも極力少量の方が好ましく、特に硬化剤に関しては熱硬化性樹脂に対して35質量%以下、好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは25質量%以下とすることが好ましい。   These curing agents react with an epoxy group by heating and polymerize to increase the crosslinking density and cure. For thinning, both the binder and the curing agent are preferably as small as possible. Particularly, the curing agent is 35% by mass or less, preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less with respect to the thermosetting resin. It is preferable that

(硬化触媒)
本発明の顔料含有熱硬化性組成物には硬化触媒を使用することができる。前記硬化性樹脂等にエポキシ樹脂を用いた場合、有用な硬化触媒としては、イミダゾール化合物、三フッ化ホウ素錯体(特にアミン錯体)、第三アミン類(グアニジン、ビグアニド、チタン酸エステルなどが挙げられる。中でもイミダゾール化合物が硬化速度の点で好ましい。また、ホスフィン誘導体なども硬化触媒として使用できる。前記硬化触媒の添加量としてはエポキシ当量が150〜200程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で1/10〜1/1000程度、好ましくは1/20〜1/500程度さらに好ましくは1/30〜1/250程度のわずかな量で硬化させることが可能である。
(Curing catalyst)
A curing catalyst can be used in the pigment-containing thermosetting composition of the present invention. When an epoxy resin is used for the curable resin or the like, useful curing catalysts include imidazole compounds, boron trifluoride complexes (particularly amine complexes), tertiary amines (guanidine, biguanide, titanate, etc.). Among them, an imidazole compound is preferable from the viewpoint of curing speed, and a phosphine derivative, etc. can be used as a curing catalyst, and the addition amount of the curing catalyst is 1 on a mass basis with respect to an epoxy resin having an epoxy equivalent of about 150 to 200. It can be cured in a slight amount of about / 10 to 1/1000, preferably about 1/20 to 1/500, more preferably about 1/30 to 1/250.

前記硬化触媒の具体例としては市販されているものもあり、例えば、ジャパンエナジー(株)のイミダゾールシランシリーズ「IS−1000」、「IS−1000D」、「IM−1000」、「SP−1000」、「IA−1000A」、「IA−100P」、「IA−100F」、「IA−100AD」、「IA−100FD」、「IM−100F」、「IS−3000」、「IS−4000」などの他、四国化成(株)製の「1B2PZ」、「SFZ」が有用であるが、本発明はこれに限定されるものではない。   Specific examples of the curing catalyst include those that are commercially available. For example, imidazole silane series “IS-1000”, “IS-1000D”, “IM-1000”, “SP-1000” of Japan Energy Co., Ltd. , “IA-1000A”, “IA-100P”, “IA-100F”, “IA-100AD”, “IA-100FD”, “IM-100F”, “IS-3000”, “IS-4000”, etc. In addition, “1B2PZ” and “SFZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd. are useful, but the present invention is not limited thereto.

(分散剤)
また、前記分散剤は顔料の分散性を向上させるために添加することができる。前記分散剤としては、公知のものを適宜選定して用いることができ、例えば、カチオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、高分子分散剤等が挙げられる。
(Dispersant)
The dispersant can be added to improve the dispersibility of the pigment. As the dispersant, known ones can be appropriately selected and used, and examples thereof include a cationic surfactant, a fluorosurfactant, and a polymer dispersant.

さらに、特開平10−254133号公報に記載される主鎖部に特定の酸アミド基含有モノマーおよび四級アンモニウム塩モノマー残基を有するグラフト共重合体は、顔料を微分散する優れた作用を有することから、前記分散剤として用いることができる。前記グラフト共重合体を用いることによって、エネルギーや時間の消費を低減しながら顔料を微細に分散させることができ、且つ、分散した顔料が、時間経過しても凝集したり沈降したりすることがなく長期にわたる分散安定性を維持することができる。   Furthermore, the graft copolymer having a specific acid amide group-containing monomer and a quaternary ammonium salt monomer residue in the main chain described in JP-A-10-254133 has an excellent effect of finely dispersing the pigment. Therefore, it can be used as the dispersant. By using the graft copolymer, it is possible to finely disperse the pigment while reducing energy and time consumption, and the dispersed pigment may aggregate or settle even over time. Long-term dispersion stability can be maintained.

前記分散剤は、単独で用いてもよくまた2種以上組み合わせて用いてもよい。前記分散剤の本発明の顔料含有熱硬化性組成物中の添加量は、通常顔料100質量部に対して0.1〜50質量部程度が好ましい。   The dispersants may be used alone or in combination of two or more. The amount of the dispersant added to the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is usually preferably about 0.1 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment.

(他の添加剤)
上述したその他各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
(Other additives)
Specific examples of the above-mentioned various other additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; , Cationic and anionic surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4- Epoxycyclohexyl) ethyl Adhesion promoters such as limethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4- Antioxidants such as methyl-6-tert-butylphenol) and 2,6-di-tert-butylphenol; 2- (3-tert-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxy UV absorbers such as benzophenone; and anti-aggregation agents such as sodium polyacrylate.

<顔料含有熱硬化性組成物の調製方法>
本発明において好ましい本発明の顔料含有熱硬化性組成物の調製方法について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
<Method for preparing pigment-containing thermosetting composition>
A method for preparing the pigment-containing thermosetting composition of the present invention that is preferable in the present invention will be described. However, the present invention is not limited to this.

上述の通り、本発明の顔料含有熱硬化性組成物は熱硬化性樹脂の存在下で溶剤と共に顔料が分散された顔料分散液を用いることを特徴とする。顔料の分散方法としては、顔料粒子を微粒子化し、且つ、その粒子サイズ分布をシャープにした顔料を用いる方法が好適である。具体的には、平均粒子径が0.01μm程度であり、且つ粒子径が0.01±0.005μmの範囲にある顔料粒子を75質量%以上含んで構成される顔料を用いる方法が好ましい。
顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要となる。そのような分散方法としては、例えば、ニーダーや二本ロールなどのロールミルを用いて高粘度状態で分散する乾式分散(混練分散処理)と三本ロールやビーズミル等を用いて比較的低粘度状態で分散する湿式分散(微分散処理)とを組み合わせた分散方法が挙げられる。また、前記分散方法においては、2種以上の顔料を共分散したり、混練分散処理時には、溶剤を使用しないか若しくは使用量をできるだけ少なくするのも好ましい。ソルベントショックを和らげるために熱硬化性樹脂成分を前記混練分散処理時と微分散処理時とに分けて添加(2分割使用)したりすることが好ましく、また、混練分散処理から微分散処理に移行する際に顔料粒子が再凝集するのを防止するために溶解性に優れた熱硬化性樹脂成分を用いるのが好ましい。更に、微分散処理時に使用するビーズミルのビーズに高硬度のセラミックスを使用したり、粒径の小さいビーズを使用したりする手段も有効である。
As described above, the pigment-containing thermosetting composition of the present invention is characterized by using a pigment dispersion in which a pigment is dispersed together with a solvent in the presence of a thermosetting resin. As a method for dispersing the pigment, a method using a pigment having finely divided pigment particles and a sharp particle size distribution is suitable. Specifically, a method using a pigment composed of 75% by mass or more of pigment particles having an average particle size of about 0.01 μm and a particle size in the range of 0.01 ± 0.005 μm is preferable.
In order to adjust the particle size distribution of the pigment within the above range, the pigment dispersion method is particularly important. As such a dispersion method, for example, dry dispersion (kneading dispersion treatment) in which a high-viscosity state is dispersed using a roll mill such as a kneader or two-roll, and a relatively low-viscosity state using a three-roll or bead mill is used. Examples of the dispersion method include a combination of wet dispersion (fine dispersion treatment) for dispersion. In the dispersion method, it is also preferable to co-disperse two or more kinds of pigments or not to use a solvent or to minimize the amount used during the kneading dispersion treatment. In order to relieve the solvent shock, it is preferable to add the thermosetting resin component separately during the kneading dispersion treatment and during the fine dispersion treatment (use in two divisions), and shift from the kneading dispersion treatment to the fine dispersion treatment. In order to prevent re-aggregation of the pigment particles, it is preferable to use a thermosetting resin component having excellent solubility. Furthermore, it is also effective to use high hardness ceramics or beads with a small particle diameter for the beads of the bead mill used during the fine dispersion treatment.

本発明においては、特に、2種以上の顔料を用い、更に2種以上の顔料を50000mPa・s以上の高粘度状態で分散した後に、更に1000mPa・s以下の低粘度状態で分散して得られた顔料を用いることが好ましい。
一般に、これら顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とするため、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通である。
In the present invention, in particular, two or more pigments are used, and two or more pigments are further dispersed in a high viscosity state of 50000 mPa · s or more, and then further dispersed in a low viscosity state of 1000 mPa · s or less. It is preferable to use a pigment.
Generally, these pigments are supplied after drying by various methods after synthesis. Usually, it is dried from an aqueous medium and supplied as a powder. However, since water requires a large latent heat of vaporization for drying, a large amount of heat energy is given to dry it to form a powder. Therefore, the pigment usually forms an aggregate (secondary particle) in which primary particles are aggregated.

本発明の顔料含有熱硬化性組成物の調製方法においては、まず、熱硬化性樹脂中で溶剤と共に顔料が分散された顔料分散液を調製する。
具体的には、顔料に熱硬化性樹脂を混練分散処理後の粘度が50,000mPa・s以上(好ましくは50,000〜100,000mPa・s)の比較的高粘度になるように混練分散処理を施すのが好ましい。ここで、混練分散処理は、高粘度分散であってもよいし、乾式分散であってもよい。
In the method for preparing a pigment-containing thermosetting composition of the present invention, first, a pigment dispersion in which a pigment is dispersed together with a solvent in a thermosetting resin is prepared.
Specifically, the kneading and dispersing treatment is performed so that the viscosity after kneading and dispersing the thermosetting resin to the pigment is 50,000 mPa · s or more (preferably 50,000 to 100,000 mPa · s). It is preferable to apply. Here, the kneading dispersion treatment may be high viscosity dispersion or dry dispersion.

次いで、必要に応じて混練分散処理後の顔料分散物に熱硬化性樹脂や他の分散剤等を追加添加し、微分散処理後の粘度が1000mPa・s以下(好ましくは100mPa・s以下)の比較的低粘度になるように微分散処理を施すことが好ましい。尚、微分散処理は、低粘度分散であってもよいし、湿式分散であってもよい。   Then, if necessary, a thermosetting resin or other dispersant is additionally added to the pigment dispersion after the kneading dispersion treatment, and the viscosity after the fine dispersion treatment is 1000 mPa · s or less (preferably 100 mPa · s or less). It is preferable to perform a fine dispersion treatment so that the viscosity is relatively low. The fine dispersion treatment may be low viscosity dispersion or wet dispersion.

前記混練分散処理においては、溶剤の比率が被分散物に対して0〜20質量%であることが好ましい。このように、溶剤をあまり使用せずに分散を行うと、顔料粒子の表面をビヒクルの樹脂成分を主体とした構成成分との濡れを促進させることができ、顔料粒子表面が形成する界面を、顔料粒子と空気との固体/気体界面から、顔料粒子とビヒクル溶液との固体/溶液界面に変換することができる。顔料粒子の表面が形成する界面を空気から溶液に変換し混合攪拌すると、顔料を一次粒子に近い微小な状態にまで分散することができる。   In the kneading and dispersing treatment, the solvent ratio is preferably 0 to 20% by mass with respect to the dispersion. Thus, when the dispersion is performed without using much solvent, the surface of the pigment particles can promote the wetting with the constituent component mainly composed of the resin component of the vehicle. The solid / gas interface between the pigment particles and air can be converted to a solid / solution interface between the pigment particles and the vehicle solution. When the interface formed by the surfaces of the pigment particles is converted from air to a solution and mixed and stirred, the pigment can be dispersed to a fine state close to the primary particles.

このように、顔料を高度に分散させるためには、顔料粒子表面が形成する界面を空気から溶液に変換することが有効である。かかる変換には強い剪断力や圧縮力が必要である。このため、前記混練分散処理においては、強い剪断力や圧縮力を発揮できる混練機を用い、被混練物として高粘度のものを用いるのが好ましい。   Thus, in order to highly disperse the pigment, it is effective to convert the interface formed by the pigment particle surface from air to a solution. Such conversion requires a strong shearing force or compressive force. For this reason, in the said kneading | mixing dispersion | distribution process, it is preferable to use the thing of high viscosity as a to-be-kneaded material using the kneader which can exhibit strong shearing force and compressive force.

また、前記微分散処理時においては、ガラスやセラミックの微粒状の分散用メディアと共に混合攪拌することが好ましい。さらに、微分散処理時における溶剤の比率は、被分散物の20〜90質量%であることが好ましい。前記微分散処理時においては、顔料粒子を微小な状態にまで均一に安定させて分布させることが必要であることから、凝集している顔料粒子に衝撃力と剪断力とを付与できる分散機とを用い、被分散物として低粘度のものを用いるのが好ましい。   In the fine dispersion treatment, it is preferable to mix and stir together with fine dispersion media such as glass or ceramic. Furthermore, it is preferable that the ratio of the solvent at the time of a fine dispersion process is 20-90 mass% of to-be-dispersed material. At the time of the fine dispersion treatment, since it is necessary to distribute the pigment particles uniformly and stably to a fine state, a disperser capable of imparting impact force and shear force to the agglomerated pigment particles; It is preferable to use a low-viscosity material.

このようにして得られた顔料分散液に、必要に応じて硬化触媒または硬化剤や、更に熱硬化性化合物を添加し、必要に応じて更に溶剤を添加することで本発明の熱硬化性化合物を調製することができる。   The thermosetting compound of the present invention is added to the pigment dispersion thus obtained by adding a curing catalyst or a curing agent or a thermosetting compound as necessary, and further adding a solvent as necessary. Can be prepared.

《画像記録材料》
本発明の顔料含有熱硬化性組成物を用いて着色層を作製し、さらに感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂層を積層することにより、本発明の画像記録材料として用いることができる。
<Image recording material>
A colored layer is produced using the pigment-containing thermosetting composition of the present invention, and a photosensitive resin layer using the photosensitive resin composition is further laminated to be used as the image recording material of the present invention.

<着色層>
着色層は、例えば、溶剤を含んだ本発明の顔料含有熱硬化性組成物を、直接または他の層を介して支持体上に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して形成することができる。
前記着色層の具体的な厚さとしては、0.005μm〜0.9μmが好ましく、0.01μm〜0.65μmが好ましく、0.02μm〜0.6μmで作製されることが更に好ましい。
<Colored layer>
The coloring layer is, for example, a coating method such as spin coating, slit coating, cast coating, roll coating, etc., on the support directly or via another layer with the pigment-containing thermosetting composition of the present invention containing a solvent. Can be formed by coating.
The specific thickness of the colored layer is preferably 0.005 μm to 0.9 μm, preferably 0.01 μm to 0.65 μm, and more preferably 0.02 μm to 0.6 μm.

また、前記着色層は、本発明の顔料含有熱硬化性組成物を塗布して塗布膜を形成した後に加熱工程により、該塗布膜を熱硬化させて形成することが好ましい。前記加熱工程は塗布後の乾燥と同時であってもよく、また塗布乾燥後に別途熱硬化の工程を設けてもよい。前記加熱工程は、オーブン、ホットプレートなど公知の加熱手段を用い、好ましくは130℃〜300℃、更に好ましくは150℃〜280℃、特に好ましくは170℃〜260℃の条件下で、好ましくは10秒〜3時間、更に好ましくは30秒〜2時間、特に好ましくは60秒〜60分の範囲で行なうことができる。但し、製造を考慮すると硬化に要する時間は短時間であるほど好ましい。   The colored layer is preferably formed by applying the pigment-containing thermosetting composition of the present invention to form a coating film, and then thermally curing the coating film by a heating process. The heating step may be performed at the same time as drying after coating, or a separate thermosetting step may be provided after coating and drying. In the heating step, a known heating means such as an oven or a hot plate is used, preferably 130 ° C. to 300 ° C., more preferably 150 ° C. to 280 ° C., particularly preferably 170 ° C. to 260 ° C., preferably 10 ° C. Second to 3 hours, more preferably 30 seconds to 2 hours, particularly preferably 60 seconds to 60 minutes. However, considering the production, the time required for curing is preferably as short as possible.

<感光性樹脂層>
上述のように、本発明の顔料含有熱硬化性組成物を用いた着色層を形成し、これを加熱することによって硬化させた後、該層上にポジ或いはネガ型の感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂層を設けることができる。
前記ポジ型の感光性樹脂組成物としては、紫外線(g線、i線)、エキシマー・レーザー等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびX線等の放射線に感応するポジ型フォトレジスト用に好適なポジ型レジスト組成物が使用できる。前記放射線のうち、前記感光性樹脂層を露光するものとしては、本発明の目的からは、g線、i線が好ましく、中でもi線露光が好ましい。
<Photosensitive resin layer>
As described above, after forming a colored layer using the pigment-containing thermosetting composition of the present invention and curing it by heating, a positive or negative photosensitive resin composition is formed on the layer. The used photosensitive resin layer can be provided.
The positive photosensitive resin composition is used for positive photoresists that are sensitive to radiation such as ultraviolet rays (g rays, i rays), deep ultraviolet rays including excimer lasers, electron beams, ion beams, and X rays. Any suitable positive resist composition can be used. Of the radiation, the one that exposes the photosensitive resin layer is preferably g-line or i-line for the purpose of the present invention, and i-line exposure is particularly preferable.

具体的には、前記ポジ型の感光性樹脂組成物は、キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有する組成物が好ましい。キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有するポジ型の感光性樹脂組成物は、500nm以下の波長の光照射によりキノンジアジド基が分解してカルボキシル基を生じ、結果としてアルカリ不溶状態からアルカリ可溶性になることを利用してポジ型フォトレジストとして用いられている。このポジ型フォトレジストは解像力が著しく優れているので、ICやLSI等の集積回路の作製に用いられている。前記キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド化合物が挙げられる。   Specifically, the positive photosensitive resin composition is preferably a composition containing a quinonediazide compound and an alkali-soluble resin. A positive-type photosensitive resin composition containing a quinonediazide compound and an alkali-soluble resin indicates that a quinonediazide group is decomposed by light irradiation with a wavelength of 500 nm or less to generate a carboxyl group, and as a result, the alkali-insoluble state becomes alkali-soluble. It is used as a positive photoresist. Since this positive photoresist has remarkably excellent resolution, it is used for manufacturing integrated circuits such as ICs and LSIs. Examples of the quinonediazide compound include naphthoquinonediazide compounds.

近年、集積回路については集積度の向上に伴って配線の幅が微細化され、このためエッチングも従来のウェットエッチングに代えてドライエッチングが主流になっている。このドライエッチングではレジストの形状がそのまま被エッチング層の形状に反映されるので、レジストの形状が悪いとエッチング不要の部分までエッチングされてしまい、集積回路の不良や歩留り悪化の原因となる。このため、現像残さ(スカム)等の少ないプロファイルの良好なレジストが従来以上に要求されている。また、ドライエッチングでは基板の温度が上昇し、レジストパターンが熱変形を起こして寸法精度が低下することがある。このため、レジストの耐熱性が従来以上に要求されている。このような観点で現在使用されているポジ型フォトレジストを観ると、プロファイル、スカム、解像度および耐熱性等の諸性能について満足するものが、数多く市販されており、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製のFH−6000シリーズ、例えば「FH−6400L」、「FH−6800L」など、同社製FHi−3000シリーズ、例えば「FHi−3200」、「FHi−3950」等、同社製FHi−600シリーズ例えば「FHi−644」、「FHi−645」、同社製Fi−SPシリーズ例えば、「Fi−SP2」等が挙げられる。但し、これに限らずパターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらずポジ型の感光性樹脂組成物として使用可能である。   In recent years, with respect to integrated circuits, the width of wiring has become finer as the degree of integration has improved, and for this reason, dry etching has become the mainstream in place of conventional wet etching. In this dry etching, the shape of the resist is directly reflected in the shape of the layer to be etched. Therefore, if the shape of the resist is poor, etching is performed up to a portion that does not require etching, which may cause defective integrated circuits and poor yield. For this reason, a resist having a good profile with little development residue (scum) or the like is required more than ever. Further, in dry etching, the temperature of the substrate rises, and the resist pattern may be thermally deformed to reduce the dimensional accuracy. For this reason, the heat resistance of a resist is requested | required more than before. Looking at positive photoresists currently used from this point of view, many products that satisfy various performances such as profile, scum, resolution and heat resistance are commercially available. For example, Fuji Film Electronics Materials ( FH-6000 series, for example, “FH-6400L”, “FH-6800L”, etc., and FHi-3000 series, for example, “FHi-3200”, “FHi-3950”, etc. Series such as “FHi-644”, “FHi-645”, and Fi-SP series manufactured by the same company such as “Fi-SP2” can be mentioned. However, the present invention is not limited to this, and it can be used as a positive-type photosensitive resin composition regardless of whether it is commercially available as long as it has a mask shape preferable for pattern formation.

前記ネガ型の感光性樹脂組成物としては、紫外線(g線、i線)、遠紫外線、X線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線等の輻射線に感応するネガ型フォトレジスト組成物が挙げられる。更に詳しくは、解像力および感度に優れ、かつ現像残りによる微小欠陥が実質上発生しないネガ型フォトレジスト組成物が好ましい。本発明によるネガ型フォトレジストは、着色層上に、スピン塗布法またはローラー塗布法で例えば0.5μm〜3μmの厚みに塗布される。その後、加熱、乾燥し、露光マスクを介して回路パターン等を紫外線照射などにより焼き付け、更に必要に応じ露光後加熱工程(PEB)を経てから現像すればネガ画像が得られる。更にこの画像をマスクとしてエッチングする事により熱硬化性樹脂層にパターン状の加工を施すことができる。代表的な応用分野はICなどの半導体製造工程、液晶、サーマルヘッドなどの回路基板の製造、更にその他のフォトフアプリケーション工程である。またこの画像と支持基板とのインクへの親和性の差を利用して平版印刷版に適用することもできる。半導体基板の加工の高集積度化に伴いフォトレジストの高解像力化が求められている。   Examples of the negative photosensitive resin composition include negative photoresists sensitive to radiation rays such as ultraviolet rays (g rays, i rays), far ultraviolet rays, X rays, electron rays, molecular rays, γ rays, and synchrotron radiation. A composition. More specifically, a negative photoresist composition that is excellent in resolving power and sensitivity and that does not substantially cause microdefects due to undeveloped residues is preferable. The negative photoresist according to the present invention is applied on the colored layer to a thickness of, for example, 0.5 μm to 3 μm by spin coating or roller coating. Thereafter, it is heated and dried, a circuit pattern or the like is printed by ultraviolet irradiation through an exposure mask, and if necessary, after a post-exposure heating step (PEB), development is performed to obtain a negative image. Further, patterning can be applied to the thermosetting resin layer by etching using this image as a mask. Typical application fields are semiconductor manufacturing processes such as ICs, circuit boards such as liquid crystals and thermal heads, and other photof application processes. Moreover, it can also be applied to a lithographic printing plate by utilizing the difference in affinity between the image and the support substrate for ink. With higher integration of semiconductor substrate processing, higher resolution of the photoresist is required.

前記ネガ型の感光性樹脂層は、光重合開始剤とエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含むことが好ましい。このような感光性樹脂層の形成に用いられるネガ型の感光性樹脂組成物については次のような先行技術が知られている。例えば、特公昭54−23574号公報は有機ハロゲン化物からなる光酸発生剤と組合せて、ノボラック樹脂を光硬化させる技術を開示している。また、西独公開特許2057473号公報には、ジアゾ化合物からなる光酸発生剤とメチロール化メラミンなどからなる光硬化性組成物との結合剤としてノボラックなどのフェノール樹脂を適用できることが記載されている。更に特開昭60−263143号公報は光酸発生剤とメラミン樹脂などの酸硬化性アミノブラスト樹脂、それに一般的なノボラック樹脂とからなる組成物を開示しており、水性現像可能で熱安定性の高いネガ画像が得られるとしている。また、特開昭62−164045号公報はかかる組成物の光酸発生剤として、遠紫外域に光吸収を有する有機ハロゲン化物が有利に使えることを述べている。同様に、特開平2−52348号公報は類似の系の光酸発生剤として、特定領域のpKa値を持つ有機ハロゲン化物が有利であることを述べている。更に、特開平2−154266号公報は同様な光硬化性組成物の光酸発生剤としてオキスムスルフォン酸エステル類が有効であることを示している。また別な例としては、特開平2−146044号公報が、特定のトリクロロトリアジン基を有する光酸発生剤とアルコキシ化メラミンにm−クレゾールを30%以上含有するノボラック樹脂を組み合わせた組成物が、高エネルギー線露光用に有用であることを述べている。更に、欧州特許397460A号公報には、同様な組成物に於いて分岐度の高いノボラック樹脂を用いることが示されている。これらネガ型の感光性樹脂組成物は、市販されており、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製のSCシリーズ、例えば、「SC−60」、「SC−450」等、同社製のHRシリーズ、例えば、「HR−100」、「HR−200」、同社製のHNRシリーズ、例えば、「HNR−80」、「HNR−120」などが挙げられる。但し、これらに限らずパターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらず使用可能である。   The negative photosensitive resin layer preferably contains a photopolymerization initiator and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. The following prior art is known about the negative photosensitive resin composition used for formation of such a photosensitive resin layer. For example, Japanese Patent Publication No. 54-23574 discloses a technique for photocuring a novolak resin in combination with a photoacid generator composed of an organic halide. Also, West German Patent Publication No. 2057473 discloses that a phenol resin such as novolak can be applied as a binder between a photoacid generator composed of a diazo compound and a photocurable composition composed of methylolated melamine. Further, JP-A-60-263143 discloses a composition comprising a photoacid generator, an acid curable amino blast resin such as a melamine resin, and a general novolac resin, and is aqueous developable and heat stable. High negative image is obtained. JP-A-62-164045 discloses that an organic halide having light absorption in the far ultraviolet region can be advantageously used as a photoacid generator for such a composition. Similarly, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-52348 states that an organic halide having a pKa value in a specific region is advantageous as a similar photoacid generator. Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-154266 shows that oxime sulfonic acid esters are effective as a photoacid generator for a similar photocurable composition. As another example, JP-A-2-146444 discloses a composition in which a photoacid generator having a specific trichlorotriazine group and a novolak resin containing 30% or more of m-cresol in alkoxylated melamine are combined. It is useful for high energy beam exposure. Further, European Patent No. 396460A discloses that a novolak resin having a high degree of branching is used in a similar composition. These negative photosensitive resin compositions are commercially available, for example, SC series manufactured by Fujifilm Electronics Materials, Inc., such as “SC-60”, “SC-450”, etc. HR series, for example, “HR-100”, “HR-200”, HNR series manufactured by the same company, for example, “HNR-80”, “HNR-120”, and the like. However, the present invention is not limited to these, and any mask having a preferable shape for pattern formation can be used regardless of whether it is commercially available.

前記感光性樹脂層の具体的な厚さとしては、0.01μm〜3μmが好ましく、0.1μm〜2.5μmが好ましく、0.15μm〜2.0μmで作製されることが更に好ましいが目的により任意に設定できこれに制限されるものではない。   The specific thickness of the photosensitive resin layer is preferably 0.01 μm to 3 μm, preferably 0.1 μm to 2.5 μm, and more preferably 0.15 μm to 2.0 μm. It can be set arbitrarily and is not limited to this.

<支持体>
本発明の画像記録材料は、通常、支持体上に着色層が形成される。
前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの支持体には、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
<Support>
In the image recording material of the present invention, a colored layer is usually formed on a support.
Examples of the support include soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements and the like. Examples thereof include a silicon substrate and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These supports may be formed with black stripes that separate pixels.
Further, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

《カラーフィルタおよびその製造方法》
上述した本発明の画像記録材料はカラーフィルタの材料として有効に用いることができる。その製造方法を以下に詳述する。本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既に述べた通り、ドライエッチング法によりパターン形成を行なう。
<< Color filter and manufacturing method thereof >>
The image recording material of the present invention described above can be effectively used as a color filter material. The manufacturing method will be described in detail below. In the color filter manufacturing method of the present invention, as already described, pattern formation is performed by dry etching.

本発明のカラーフィルタの製造方法における好ましい態様は、感光性樹脂層にフォトリソ法によりエッチング用マスク(パターン画像)を形成し、着色層にドライエッチング法によりパターン形成を行なうものである。   In a preferred embodiment of the method for producing a color filter of the present invention, an etching mask (pattern image) is formed on the photosensitive resin layer by a photolithography method, and a pattern is formed on the colored layer by a dry etching method.

まず上述の感光性樹脂層に所定のマスクパターンを介してg線、h線、i線等、特に好ましくはi線で露光を施し、現像液で現像することによって、ポジ或いはネガ型の感光性樹脂組成物にパターンを形成する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、ここで形成された感光性樹脂層のパターンをパターンマスクとして用い、酸素やCF4、CO2等のガスを用いてドライエッチングを行なう。この工程によりパターンマスクのパターン状に前記着色層がエッチングされ、色パターンを形成することができる。 First, the photosensitive resin layer described above is exposed to g-line, h-line, i-line, etc. through a predetermined mask pattern, particularly preferably i-line, and developed with a developer. A pattern is formed in the resin composition. In the method for producing a color filter of the present invention, the pattern of the photosensitive resin layer formed here is used as a pattern mask, and dry etching is performed using a gas such as oxygen, CF 4 , or CO 2 . By this step, the colored layer is etched into the pattern of the pattern mask, and a color pattern can be formed.

エッチング終了後、マスクのレジスト(露光後の感光性樹脂層)は専用の剥離液や溶剤によって除去される。係るレジストの除去は、全工程が終了してからおこなってもよい。次いで、二色目以降も同様の方法でパターンを作製する。尚、最後の色のパターン形成に関しては、熱硬化のみを行い、上層に残った余分な顔料熱硬化性組成物を除去し、CMPなどで(Chemical mechanical polishing)平坦化を行い、全色のパターン作製を行なってもよい。   After the etching is completed, the mask resist (photosensitive resin layer after exposure) is removed with a special stripping solution or solvent. The removal of the resist may be performed after all steps are completed. Next, a pattern is produced by the same method for the second and subsequent colors. For the pattern formation of the last color, only thermosetting is performed, the excess pigment thermosetting composition remaining in the upper layer is removed, planarization is performed by CMP (Chemical mechanical polishing), and all color patterns are formed. Fabrication may be performed.

前記現像液としては、顔料を含む着色層には影響を与えず、ポジレジストの露光部およびネガレジストの未硬化部を溶解するものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。   Any developer can be used as long as it dissolves the exposed portion of the positive resist and the uncured portion of the negative resist without affecting the colored layer containing the pigment. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used.

前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。   Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. , Choline, pyrrole, piperidine, alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution obtained by dissolution is preferable. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.

<ドライエッチング>
本発明のカラーフィルタの製造方法はドライエッチング法によりパターン形成を行なう。ドライエッチング法の代表的な例としては、特開昭59−126506号、特開昭59−46628号、同58−9108号、同58−2809号、同57−148706号、同61−41102号などの公報に記載のように着色剤を蒸着した後、マスクのレジストを塗布し、パターニングを行いエッチングする方法等が挙げられる。
ドライエッチング処理に用いられるガスとしては、O2、CF4等が挙げられる。
<Dry etching>
The color filter manufacturing method of the present invention forms a pattern by a dry etching method. Representative examples of the dry etching method include JP-A-59-126506, JP-A-59-46628, JP-A-58-9108, JP-A-58-2809, JP-A-57-148706, JP-A-61-41102. As described in the above publications, there is a method of depositing a colorant, applying a mask resist, patterning, and etching.
Examples of the gas used for the dry etching process include O 2 and CF 4 .

本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。   The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、蒸着に近い膜厚と密着性実現のため、これまでには無い高い顔料濃度でスピンコータやスリットコートに均一な塗布を行なうこと、フォトリソ法から熱硬化法への変更で着色剤以外の固形分を極限まで減らすることで薄膜化を実現したこと、ドライエッチングによりパターンの異方性を維持したまま矩形パターンを形成したこと、これらの組み合わせにより、これまで成し得なかった薄い膜厚でパターン矩形性と密着性とを実現できたことができる。このように、本発明のカラーフィルタの製造方法を用いれば、熱硬化させた顔料を含む薄膜を酸素やCF4などのガスで異方性エッチングすることで、パターン矩形性の非常に高いカラーフィルタを作製でき、非常に有用である。 The method for producing a color filter of the present invention is to apply a uniform coating to a spin coater or slit coat at a high pigment concentration that has never been achieved so as to realize a film thickness and adhesion close to vapor deposition, from photolitho method to thermosetting method. By reducing the solid content other than the colorant to the utmost by changing the process, the formation of a rectangular pattern while maintaining the pattern anisotropy by dry etching, and the combination of these, It was possible to realize pattern rectangularity and adhesion with a thin film thickness that could not be achieved. Thus, by using the method for producing a color filter of the present invention, a color filter having a very high pattern rectangularity can be obtained by anisotropically etching a thin film containing a thermoset pigment with a gas such as oxygen or CF 4. Can be made and is very useful.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof.

[実施例1]
《カラーフィルタ用顔料含有熱硬化性組成物の調製》
<顔料分散液の調製>
緑色(G)、青色(B)、赤色(R)の各色についてそれぞれ下記表1に示す各素材をそれぞれニーダーで均一に混練した後に、混練物を二本ロールで乾式分散処理(混練分散処理)した。
次いで、乾式分散処理を施された分散物に、溶剤成分としてプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートを785質量部加えた。その後、ホモジナイザーにて2000rpmで30分間攪拌処理し、顔料が均一に分散した、緑色(G)、青色(B)、赤色(R)の各色の分散組成物を調製した。得られた分散組成物を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて微分散処理を施した。
[Example 1]
<< Preparation of pigment-containing thermosetting composition for color filter >>
<Preparation of pigment dispersion>
For each color of green (G), blue (B), and red (R), each material shown in Table 1 below is uniformly kneaded with a kneader, and the kneaded product is then subjected to dry dispersion treatment (kneading dispersion treatment) with two rolls. did.
Next, 785 parts by mass of propylene glycol monomethyl ethyl acetate as a solvent component was added to the dispersion subjected to the dry dispersion treatment. Thereafter, the mixture was stirred with a homogenizer at 2000 rpm for 30 minutes to prepare a dispersion composition of each color of green (G), blue (B), and red (R) in which the pigment was uniformly dispersed. The obtained dispersion composition was finely dispersed with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads.

その後、2.5μmフィルターにて濾過を行い、顔料が均一に分散された各色の顔料分散液(1)〜(3)を得た。尚、各顔料分散液について混練分散処理時および微分散処理時における混練物(分散物)の粘度、並びに、各顔料分散液における顔料の平均粒子径および粒子径0.01±0.005μmの範囲にある顔料粒子の占める割合を表1に示す。尚、顔料の粒子径の測定は、日機装(株)製のMICROTRAC UPA 150を用い、各着色樹脂組成物をプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートで希釈したものをサンプルとして測定した。   Then, it filtered with a 2.5 micrometer filter, and obtained the pigment dispersion liquid (1)-(3) of each color in which the pigment was disperse | distributed uniformly. For each pigment dispersion, the viscosity of the kneaded product (dispersion) at the time of the kneading dispersion treatment and the fine dispersion treatment, and the average particle diameter and the particle diameter of 0.01 ± 0.005 μm in each pigment dispersion liquid Table 1 shows the ratio of the pigment particles. In addition, the particle diameter of the pigment was measured by using MICROTRAC UPA 150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd. and using each of the colored resin compositions diluted with propylene glycol monomethyl ethyl acetate as a sample.

Figure 2007023262
Figure 2007023262

<顔料含有熱硬化性組成物の調製>
前記各色の顔料分散液について、顔料分散液(1)に対しては0.4質量部、顔料分散液(2)に対しては0.2質量部、顔料分散液(3)に対しては0.3質量部の硬化触媒(四国化成(株)製の「1B2PZ)を添加した。溶解確認後、本組成物中の固形分が15質量%になるように、プロピレングリコールモノメチルエチルアセテートでピグメントショックが起こらないように注意しながら希釈した。前記の手順により、顔料分散液(1)は79.3質量%、顔料分散液(2)は73.0質量%、顔料分散液(3)は79.8質量%といった高い顔料濃度の顔料含有熱硬化性組成物を調製した。
<Preparation of pigment-containing thermosetting composition>
For the pigment dispersion of each color, 0.4 parts by mass for the pigment dispersion (1), 0.2 parts by mass for the pigment dispersion (2), and for the pigment dispersion (3) 0.3 parts by mass of a curing catalyst (“1B2PZ manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) was added. After confirmation of dissolution, pigment was added with propylene glycol monomethyl ethyl acetate so that the solid content in the composition was 15% by mass. Dilution was made with care so as not to cause a shock.By the above procedure, the pigment dispersion (1) was 79.3% by mass, the pigment dispersion (2) was 73.0% by mass, and the pigment dispersion (3) was A pigment-containing thermosetting composition having a high pigment concentration of 79.8% by mass was prepared.

《パターンの形成》
前記のようにして得られた各顔料含有熱硬化性組成物について、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製の「CT−2000L」を用いてなる下塗り層を有するシリコンウェハー基板上にスピンコータにて、各々膜厚が0.5μmの塗布膜となるように塗布した後、ホットプレートにて100℃で2分間の加熱処理を行ない、塗布膜の乾燥を行なった。次に、ホットプレートを使用して、220℃で7分間の加熱を行い、塗布膜の硬化を行なった。
《Pattern formation》
About each pigment-containing thermosetting composition obtained as described above, a spin coater on a silicon wafer substrate having an undercoat layer using “CT-2000L” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials, After coating each so as to form a coating film having a thickness of 0.5 μm, heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 minutes on a hot plate to dry the coating film. Next, using a hot plate, the coating film was cured by heating at 220 ° C. for 7 minutes.

次に熱硬化させた各色の塗布サンプルの上層に富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製の「FHi−3950」を膜厚が1.5μmになるようにスピンコータで塗布した。次いで、100℃で2分間の加熱処理を行い、サンプルの乾燥を行なった後、i線ステッパーにて200mJのパターン露光を行った。
次いで、各色のサンプルについて富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製の「FHD−5」で1分間の現像処理を行い、1.5μm×1.5μmサイズのマスクを形成した。これらのサンプルについて、CF4/O2/Ar=2/2/1の比率の混合ガスにて非マスク部のドライエッチングを行ない、パターン形成を行なった。この後、レジストの剥離を富士フイルムエレクトロマテリアルズ社製の剥離液「MS−230」を使用して行い、各色について、矩形性の高い1.5μm四方のパターンを完成した。
Next, “FHi-3950” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. was applied to the upper layer of each color-cured application sample with a spin coater so that the film thickness was 1.5 μm. Subsequently, after heat-processing at 100 degreeC for 2 minutes and drying a sample, 200 mJ pattern exposure was performed with the i line | wire stepper.
Next, each color sample was developed with “FHD-5” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials for 1 minute to form a 1.5 μm × 1.5 μm size mask. These samples, subjected to dry etching unmasked portions at CF 4 / O 2 / Ar = 2/2/1 ratio mixed gas was subjected to patterning. Thereafter, the resist was stripped using a stripping solution “MS-230” manufactured by FUJIFILM Electromaterials, Inc., and a 1.5 μm square pattern with high rectangularity was completed for each color.

[実施例2]
まず、実施例1に従って、青色(B)のパターンを形成した。次いで、このサンプルについて、以下のようにして二色目(緑色(G))および三色目(赤色(R))のパターンを形成した。
まず、実施例1の緑色(G)の顔料含有熱硬化性組成物を、青色(B)のパターンを形成したシリコンウェハー基板上に膜厚が0.5μmとなるように塗布し、100℃、2分間の加熱処理を行った。
[Example 2]
First, according to Example 1, a blue (B) pattern was formed. Next, for this sample, a second color (green (G)) and third color (red (R)) pattern was formed as follows.
First, the green (G) pigment-containing thermosetting composition of Example 1 was applied on a silicon wafer substrate on which a blue (B) pattern was formed so that the film thickness was 0.5 μm, and 100 ° C. Heat treatment for 2 minutes was performed.

次いで実施例1と同様に、硬化後のサンプル上に、フォトレジスト「FHi−3950」を塗布し、i線ステッパーにより、上記形成した青色(B)パターンおよび緑色(G)の0.5μmのパターンを被覆できるパターンで露光を行い、その後、前記「FHD−5」で1分間の現像処理を行なった。ここで上記で形成された青色(B)パターンと緑色の顔料含有熱硬化性組成物の層との上面は、青色(B)パターンおよび緑色(G)パターンとなるべき部分がフォトレジストで被覆されている状態であった。次いで、実施例1と同様にドライエッチングを施し、緑色(G)のパターン形成を行なった。残ったマスクのレジストの剥離を実施例1と同様の剥離液で除去し、二色目を完成させた。   Next, in the same manner as in Example 1, a photoresist “FHi-3950” was applied on the cured sample, and the blue (B) pattern and the green (G) 0.5 μm pattern formed by the i-line stepper. The film was exposed with a pattern capable of covering the film, and then developed with the “FHD-5” for 1 minute. Here, the upper surface of the blue (B) pattern formed above and the layer of the green pigment-containing thermosetting composition is coated with a photoresist on the portions to be the blue (B) pattern and the green (G) pattern. It was in a state. Next, dry etching was performed in the same manner as in Example 1 to form a green (G) pattern. The remaining mask resist was removed with the same remover as in Example 1 to complete the second color.

このサンプルに、更に、三色目の赤色(R)の顔料含有熱硬化性組成物を塗布した後、100℃、2分の加熱処理後、220℃で7分間の熱硬化を行なった。次いで、このサンプルに対してO2ガスにてエッチングを行い、一色目、二色目のパターン上にある赤色(R)の膜を除去し、更に、平坦化して、RGB三色のカラーフィルタを作製した。また、本発明のカラーフィルタは三色目形成までの工程中、はがれが生じたものはなく、密着性に優れていた。 The sample was further coated with a red (R) pigment-containing thermosetting composition of the third color, and then heat-treated at 220 ° C. for 7 minutes after heat treatment at 100 ° C. for 2 minutes. Next, this sample is etched with O 2 gas to remove the red (R) film on the first and second color patterns, and further flattened to produce RGB three-color color filters. did. Further, the color filter of the present invention had no peeling during the process up to the formation of the third color, and was excellent in adhesion.

[実施例3]
実施例2と同様にしてRGB三色のカラーフィルタを作製した。但し、緑色(G)の顔料分散液については、イエローの顔料をPY−139からPY−150に代えるとともに、緑色(G)の塗布膜のエッチングに用いられるエッチングガスをCO/O2=1/1の混合ガスに代えた。
[Example 3]
In the same manner as in Example 2, RGB color filters were produced. However, for the green (G) pigment dispersion, the yellow pigment is changed from PY-139 to PY-150, and the etching gas used for etching the green (G) coating film is CO / O 2 = 1 / 1 gas mixture.

[比較例1]
<顔料分散液の調製>
下記表2に示す組成の各顔料分散液を調製した。
[Comparative Example 1]
<Preparation of pigment dispersion>
Each pigment dispersion having the composition shown in Table 2 below was prepared.

Figure 2007023262
Figure 2007023262

<着色樹脂性組成物の調製>
上記から得られた顔料分散液(4)〜(6)の各々と、下記組成を各々混合機にて均一に混合し、各色用のカラーフィルタ用着色樹脂組成物を調製した。
1.緑色(G)(顔料分散液(4)808質量部について)
<組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー) 10質量部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤) 120質量部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤) 50質量部
・ハロメチルトリアジン系開始剤 2質量部
<Preparation of colored resinous composition>
Each of the pigment dispersions (4) to (6) obtained from the above and the following composition were uniformly mixed with a mixer to prepare a colored resin composition for a color filter for each color.
1. Green (G) (for pigment dispersion (4) 808 parts by mass)
<Composition>
Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer) 10 parts by mass Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent) 120 parts by mass Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent) 50 parts by mass Halogenated triazine initiator 2 parts by mass

2.青色(B)(顔料分散液(5)981質量部について)
<組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー) 7質量部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤) 100質量部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤) 40質量部
・ハロメチルトリアジン系開始剤 2質量部
2. Blue (B) (for pigment dispersion (5) 981 parts by mass)
<Composition>
Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer) 7 parts by weight Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent) 100 parts by weight Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent) 40 parts by weight Halogen triazine initiator 2 parts by weight

3.赤色(R)(顔料分散液(6)634質量部について)
<組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー) 5質量部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤) 70質量部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤) 30質量部
・ハロメチルトリアジン系開始剤 1質量部
3. Red (R) (about 634 parts by mass of pigment dispersion (6))
<Composition>
-Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer) 5 parts by mass-Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent) 70 parts by mass-Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent) 30 parts by mass-Halomethyltriazine-based initiator 1 part by mass

以上のようにして、各色実施例1と同じ顔料濃度でフォトリソ機能を付与した着色樹脂組成物を調製した。これら着色樹脂組成物に関し、カラーフィルタを作製すべく、実施例1と同様に、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製、「CT−2000L」を下塗りしたシリコンウェハー上に各々、着色樹脂組成物をスピンコーターにて膜厚0.5μmで塗布し、ホットプレートにて100℃で2分間の加熱処理を行ない、塗布膜の乾燥を行なった。このサンプルに関し、i線ステッパーにて1.5μmのパターン露光を行い、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製の「CD−2000」アルカリ現像液にて現像処理を行なったところ、全色とも溶解して流れてしまいパターン形成ができなかった。この結果からも、本発明のような高顔料濃度領域では、本発明のカラーフィルタの製造方法のように、熱硬化方式でドライエッチングによるパターン形成が最適であることが明らかであり、本発明が薄膜化には必須の技術であることが改めて証明できた。   As described above, a colored resin composition to which a photolitho function was imparted at the same pigment concentration as in Example 1 of each color was prepared. With respect to these colored resin compositions, in order to produce a color filter, each of the colored resin compositions on a silicon wafer primed with “CT-2000L” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd., as in Example 1. Was applied with a spin coater to a film thickness of 0.5 μm, and heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 minutes on a hot plate to dry the coating film. This sample was exposed to a pattern of 1.5 μm with an i-line stepper and developed with a “CD-2000” alkaline developer manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. The pattern could not be formed. From this result, it is clear that, in the high pigment concentration region as in the present invention, the pattern formation by dry etching by the thermosetting method is optimal as in the color filter manufacturing method of the present invention. It was proved again that this is an essential technology for thinning.

《評価》
実施例1から3及び比較例1について下記の評価を行った。結果を下記表3に示す。
<評価規準>
1.矩形性
得られたパターンの断面のSEM写真を観察し、断面が矩形状のものを「○」、
テーパ状等断面形状が矩形でないものを「×」とした。
<Evaluation>
The following evaluation was performed for Examples 1 to 3 and Comparative Example 1. The results are shown in Table 3 below.
<Evaluation criteria>
1. Observing the SEM photograph of the cross section of the obtained pattern, the one with a rectangular cross section is “O”,
A taper-like cross-sectional shape that was not rectangular was designated as “x”.

2.現像性
マスクレジスト現像時前後の着色膜の溶解程度を観察し、溶解および現像欠陥がないものを「○」、溶解および現像欠陥が認められたものを「×」とした。
2. Developability The degree of dissolution of the colored film before and after the development of the mask resist was observed, and “◯” indicates that there was no dissolution and development defect, and “X” indicates that the dissolution and development defect was observed.

3.表面状態
得られたパターンの断面のSEM写真を観察し、断面が矩形状のものを相対評価し、表面および側面に凹凸が殆ど無いものを「○」、明らかな凹凸が確認できるものを「△」、明らかな凹凸が確認でき、穴や欠損部もあるものを「×」と評価した。
3. Surface state SEM photograph of the cross section of the obtained pattern is observed, the cross section is rectangular, relative evaluation is made, “○” indicates that the surface and side surfaces have almost no unevenness, and “△” indicates that clear unevenness can be confirmed. ”, Those having clear irregularities and having holes and defects were evaluated as“ x ”.

4.密着性
CMP(Chemical mechanical polishing)を用いて研磨耐性を評価した。この際、剥れが無かったものを「○」、剥れが20%未満だったものを「△」、剥れが20%以上のものを「×」と評価した。
4). Adhesion Polishing resistance was evaluated using CMP (Chemical mechanical polishing). At this time, the case where there was no peeling was evaluated as “◯”, the case where peeling was less than 20% was evaluated as “Δ”, and the case where peeling was 20% or more was evaluated as “x”.

Figure 2007023262
Figure 2007023262

表3の結果からも明らかなように、実施例1〜3は全ての評価について満足のいく結果となった。かかる結果からも本発明のカラーフィルタの製造方法が優れていることがわかる。   As is apparent from the results in Table 3, Examples 1 to 3 were satisfactory for all evaluations. From these results, it can be seen that the method for producing a color filter of the present invention is excellent.

Claims (4)

熱硬化性樹脂、溶剤、及び顔料を含む組成物を分散して得られる顔料分散液を、全固形分中の顔料濃度が50%以上100%未満となる範囲で含むことを特徴とする顔料含有熱硬化性組成物。   A pigment containing liquid dispersion comprising a pigment dispersion obtained by dispersing a composition containing a thermosetting resin, a solvent, and a pigment in a range where the pigment concentration in the total solid content is 50% or more and less than 100%. Thermosetting composition. 請求項1に記載の顔料含有熱硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter comprising the pigment-containing thermosetting composition according to claim 1. 請求項1に記載の顔料含有熱硬化性組成物を用いてなる着色層上に、感光性樹脂層を積層してなることを特徴とする画像記録材料。   An image recording material comprising a photosensitive resin layer laminated on a colored layer formed using the pigment-containing thermosetting composition according to claim 1. 請求項3に記載の画像記録材料を用いたカラーフィルタの製造方法であって、少なくとも前記画像記録材料における感光性樹脂層にパターン画像を形成した後、ドライエッチング処理し、前記画像記録材料における着色層にパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   A method for producing a color filter using the image recording material according to claim 3, wherein a pattern image is formed at least on the photosensitive resin layer in the image recording material, and then dry etching treatment is performed to color the image recording material. A method for producing a color filter, wherein a pattern is formed on a layer.
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