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JP2007044952A - Electric wiring member, and ink-jet recording head and its manufacturing method - Google Patents

Electric wiring member, and ink-jet recording head and its manufacturing method Download PDF

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JP2007044952A
JP2007044952A JP2005230575A JP2005230575A JP2007044952A JP 2007044952 A JP2007044952 A JP 2007044952A JP 2005230575 A JP2005230575 A JP 2005230575A JP 2005230575 A JP2005230575 A JP 2005230575A JP 2007044952 A JP2007044952 A JP 2007044952A
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JP
Japan
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wiring member
base substrate
ink
substrate unit
electric wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP2005230575A
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Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Ono
敬之 小野
Taiji Yoshinari
泰二 吉成
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electric wiring member or the like capable of preventing air-bubbles from entering between an electric wiring member and an ink-resistance protection layer by eliminating high-accuracy positioning of the ink-resistance protection layer to the electric wiring member. <P>SOLUTION: The electric wiring member 10 is composed by joining energy generation element substrates 7a, 7b, which respectively have an energy generation element for discharging ink, to a base substrate unit 11 arranged on a base substrate 8, and provided with an electric wiring 2 for transmitting an electric signal to the energy generation element substrates 7a, 7b. The electric wiring member 10 is also composed so that the ink-resistance protection layer 4 having resistance to ink is provided to at least a partial region other than the regions to be joined to the base substrate unit 11 in the face to be joined to the base substrate unit 11 of the electric wiring member 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット記録ヘッドに電気信号を伝送する配線を備えた電気配線部材、該電気配線部材が接合されたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an electric wiring member having wiring for transmitting an electric signal to an ink jet recording head, an ink jet recording head to which the electric wiring member is bonded, and a method for manufacturing the same.

図4は従来の電気配線部材の断面層構成を示す図である。   FIG. 4 is a diagram showing a cross-sectional layer structure of a conventional electric wiring member.

従来の電気配線部材は、ベースフィルム101と、ベースフィルム101上に設けられた電気配線102と、ベースフィルム101の電気配線102が設けられている面の全面に形成された接着剤層103と、接着剤層103上に設けられた耐インク保護層104とを有している。ベースフィルム101には、インクジェット記録ヘッドに接続されたときにそのエネルギー発生素子基板を覆う部分が切り抜かれて開口した領域(以下、「デバイスホール」という。)が形成されている。なお、インクジェット記録ヘッドのエネルギー発生素子基板には、インクを吐出する吐出口(不図示)と、吐出口からインクを吐出させるエネルギー発生を発生させる吐出エネルギー発生素子(不図示)とが設けられている。電気配線部材は、主として吐出エネルギー発生素子を駆動する電気エネルギーを吐出エネルギー発生素子に伝送するものである。   A conventional electric wiring member includes a base film 101, an electric wiring 102 provided on the base film 101, an adhesive layer 103 formed on the entire surface of the base film 101 where the electric wiring 102 is provided, And an ink-resistant protective layer 104 provided on the adhesive layer 103. In the base film 101, an area (hereinafter referred to as “device hole”) in which a portion covering the energy generating element substrate is cut out and opened when connected to the ink jet recording head is formed. The energy generating element substrate of the ink jet recording head is provided with an ejection port (not shown) for ejecting ink and an ejection energy generating element (not shown) for generating energy for ejecting ink from the ejection port. Yes. The electrical wiring member mainly transmits electrical energy for driving the ejection energy generation element to the ejection energy generation element.

従来、このような電気配線部材は、ベースフィルム101の接着剤層103が形成されている面に対して、ベースフィルム101と同じ大きさ、形状であって、同様にデバイスホールが形成されているフィルム状の耐インク保護層104を貼り合せることによって作製されている。   Conventionally, such an electrical wiring member has the same size and shape as the base film 101 with respect to the surface on which the adhesive layer 103 of the base film 101 is formed, and device holes are similarly formed. The film-like ink-resistant protective layer 104 is produced by bonding.

上述した電気配線部材は、特許文献1に開示されている。
特開2002−103637号公報
The electric wiring member described above is disclosed in Patent Document 1.
JP 2002-103637 A

しかしながら、上述した従来技術では、耐インク保護層にエネルギー発生素子基板のためのデバイスホールをくり抜いた上で、電気配線部材に形成されているデバイスホールに対して耐インク保護層のデバイスホールを位置合わせして、耐インク保護層を電気配線部材に貼り合わせなくてはならない。   However, in the above-described prior art, after the device hole for the energy generating element substrate is cut out in the ink resistant protective layer, the device hole of the ink resistant protective layer is positioned with respect to the device hole formed in the electric wiring member. In addition, the ink-resistant protective layer must be bonded to the electric wiring member.

また、インクジェット記録ヘッドの高解像度化に伴ってエネルギー発生素子基板の吐出エネルギー発生素子の数が増え、電気配線の数が増えると、電気配線部材の寸法が大きくなる。この場合、耐インク保護層を電気配線部材の全面に貼り合わせる構成では、貼り合わせる際に電気配線部材上の接着層と耐インク保護層との間に気泡が入り込み易いため、電気配線部材が不良品となる確率が増してしまう。   Also, as the number of ejection energy generating elements on the energy generating element substrate increases as the resolution of the ink jet recording head increases, the size of the electrical wiring member increases as the number of electrical wirings increases. In this case, in the configuration in which the ink-resistant protective layer is bonded to the entire surface of the electric wiring member, air bubbles easily enter between the adhesive layer on the electric wiring member and the ink-resistant protective layer at the time of bonding. The probability of becoming a good product increases.

そこで本発明は、電気配線部材に対する耐インク保護層の高精度な位置決めが不要であり、かつ電気配線部材と耐インク保護層との間に気泡が入り込むことを抑えることが可能な電気配線部材、その電気配線部材が接続されたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention does not require highly accurate positioning of the ink-resistant protective layer with respect to the electric wiring member, and the electric wiring member capable of suppressing air bubbles from entering between the electric wiring member and the ink-resistant protective layer, An object of the present invention is to provide an ink jet recording head to which the electric wiring member is connected and a manufacturing method thereof.

上記目的を達成するため、本発明の電気配線部材は、インクを吐出させるエネルギー発生素子を有するエネルギー発生素子基板がベース基板上に配設されてなるベース基板ユニットに接合される、前記エネルギー発生素子基板に接続される電気配線を有する電気配線部材において、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される面における、前記ベース基板ユニットに接合される領域以外の少なくとも一部の領域に、前記インクに対する耐性を有する耐インク保護層が設けられていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the electrical wiring member of the present invention has the energy generating element bonded to a base substrate unit in which an energy generating element substrate having an energy generating element for discharging ink is disposed on the base substrate. An electric wiring member having an electric wiring connected to a substrate, wherein the ink is provided in at least a part of the surface of the electric wiring member bonded to the base substrate unit other than the region bonded to the base substrate unit. An ink-resistant protective layer having resistance to the above is provided.

上記本発明によれば、電気配線部材に対する耐インク保護層の高精度な位置決めが不要であり、かつ電気配線部材と耐インク保護層との間に気泡が入り込むことを抑えることができる。   According to the present invention, it is not necessary to position the ink-resistant protective layer with high accuracy with respect to the electric wiring member, and it is possible to prevent bubbles from entering between the electric wiring member and the ink-resistant protective layer.

次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an ink jet recording head according to a first embodiment of the present invention.

本実施形態の電気配線部材10は、可撓性を有する絶縁性のベースフィルム1と、ベースフィルム1上に設けられた電気配線2と、電気配線2をメッキ処理する際に被処理領域を保護するメッキ保護層5と、メッキ保護層5上に形成された接着剤層3と、接着剤層3上に貼られた耐インク保護層4とを有している。電気配線部材10は、ベース基板ユニット11に接着剤6を介して貼り付けられたときにエネルギー発生素子基板7a,7bを覆う部分に、デバイスホール10a,10bが形成されている。上記の通りベースフィルム1が可撓性を有していることから、電気配線部材10は、いわゆるフレキシブル配線基板やTAB(Tape Automated Bonding)フィルムキャリアの形態を有している。   The electrical wiring member 10 of the present embodiment protects a region to be processed when the insulating base film 1 having flexibility, the electrical wiring 2 provided on the base film 1, and the electrical wiring 2 are plated. A plating protective layer 5, an adhesive layer 3 formed on the plating protective layer 5, and an ink-resistant protective layer 4 stuck on the adhesive layer 3. The electrical wiring member 10 has device holes 10a and 10b formed in portions covering the energy generating element substrates 7a and 7b when attached to the base substrate unit 11 via the adhesive 6. Since the base film 1 has flexibility as described above, the electric wiring member 10 has a form of a so-called flexible wiring board or a TAB (Tape Automated Bonding) film carrier.

ベース基板ユニット11は、ベース基板8にエネルギー発生素子基板7a,7bが設けられて構成されている。ベース基板ユニット11には、エネルギー発生素子基板7a,7bに形成されている各インク流路(不図示)にインクを供給するインク供給部材(不図示)が接続されている。   The base substrate unit 11 is configured by providing energy generating element substrates 7 a and 7 b on a base substrate 8. The base substrate unit 11 is connected to an ink supply member (not shown) for supplying ink to each ink flow path (not shown) formed on the energy generating element substrates 7a and 7b.

ベース基板8の上に耐インク性を有する接着剤6を塗布し、ベース基板ユニット11のエネルギー発生素子基板7a,7bに対して電気配線部材10のデバイスホール10a,10bを位置決めして、電気配線部材10をベース基板ユニット11に接合することにより、インクジェット記録ヘッドが構成される。   An adhesive 6 having ink resistance is applied on the base substrate 8, and the device holes 10a and 10b of the electric wiring member 10 are positioned with respect to the energy generating element substrates 7a and 7b of the base substrate unit 11, thereby By bonding the member 10 to the base substrate unit 11, an ink jet recording head is configured.

本実施形態の電気配線部材10では、耐インク保護層4および耐インク保護層4が貼り付けられる接着剤層3は、ベース基板ユニット11に接合されたときにベース基板ユニット11に対向する領域以外の領域にのみ設けられている。そのため、電気配線部材10における耐インク保護層4の接合面の面積は、電気配線部材の全面に耐インク保護層が設けられている従来技術に比べて小さい。これにより、耐インク保護層4を接着剤層3に貼り合わせる際に接着剤層3と耐インク保護層4との間に気泡が入り込み難くなっており、電気配線部材10が不良品となる確率を減らすことができる。なお、電気配線部材10のベース基板ユニット11に対向する領域は接着剤6によって封止されるので、耐インク保護層4が設けられなくてもインクによる侵食等から保護される。   In the electrical wiring member 10 of the present embodiment, the ink-resistant protective layer 4 and the adhesive layer 3 to which the ink-resistant protective layer 4 is attached are other than the regions facing the base substrate unit 11 when bonded to the base substrate unit 11. It is provided only in the area. Therefore, the area of the joint surface of the ink resistant protective layer 4 in the electric wiring member 10 is smaller than that of the conventional technique in which the ink resistant protective layer is provided on the entire surface of the electric wiring member. Accordingly, when the ink-resistant protective layer 4 is bonded to the adhesive layer 3, it is difficult for air bubbles to enter between the adhesive layer 3 and the ink-resistant protective layer 4, and the probability that the electric wiring member 10 becomes a defective product. Can be reduced. In addition, since the area | region which opposes the base substrate unit 11 of the electrical wiring member 10 is sealed with the adhesive agent 6, even if the ink-resistant protective layer 4 is not provided, it is protected from erosion by ink or the like.

また、電気配線部材10のベース基板ユニット11に対向する領域以外の領域にはデバイスホールは形成されていないので、耐インク保護層4を接合する際に、電気配線部材10に対して耐インク保護層4を高精度に位置合わせする必要を無くすことができる。   In addition, since no device hole is formed in a region other than the region facing the base substrate unit 11 of the electric wiring member 10, when the ink resistant protective layer 4 is joined, the ink wiring member 10 is protected against ink. The need to align the layer 4 with high accuracy can be eliminated.

なお、本実施形態では、メッキ保護層5にはソルダーレジストを用い、接着剤6には熱硬化型の接着剤を用いた。   In this embodiment, a solder resist is used for the plating protective layer 5, and a thermosetting adhesive is used for the adhesive 6.

(第2の実施形態)
図2(a)は、本発明の第2の実施形態に係る電気配線部材を示す平面図である。図2(a)は、電気配線部材10のベース基板ユニット(不図示)に接合される面を示している。
(Second Embodiment)
FIG. 2A is a plan view showing an electrical wiring member according to the second embodiment of the present invention. FIG. 2A shows a surface of the electric wiring member 10 to be joined to a base substrate unit (not shown).

図1に示した第1の実施形態と同様に、電気配線部材10のベース基板ユニット(不図示)に接合される領域にはデバイスホール10a,10bが形成されている。その接合領域に隣接する領域には耐インク保護層4が設けられている。さらに、耐インク保護層4が設けられている領域に隣接する領域には、この電気配線部材10が接続されたインクジェット記録ヘッドが記録装置本体に搭載されたときに記録装置本体の電気接続部に接続される電気接続部Aが構成されている。電気接続部Aの電気配線部材10の図示裏面側(ベース基板ユニット(不図示)に接合される面とは反対側の面)には、記録装置本体に設けられた電気接点に接続される複数の電極パッド21が形成されている。   As in the first embodiment shown in FIG. 1, device holes 10a and 10b are formed in regions of the electrical wiring member 10 that are joined to a base substrate unit (not shown). An ink-resistant protective layer 4 is provided in a region adjacent to the bonding region. Further, in an area adjacent to the area where the ink resistant protective layer 4 is provided, when the ink jet recording head to which the electric wiring member 10 is connected is mounted on the recording apparatus main body, The electrical connection part A to be connected is configured. A plurality of electrical connection members A connected to electrical contacts provided on the recording apparatus main body on the back side of the electrical wiring member 10 in the electrical connection portion A (surface opposite to the surface joined to the base substrate unit (not shown)). The electrode pad 21 is formed.

本実施形態では、電気配線部材10のベース基板ユニット(不図示)に接合される領域以外の一部の領域にのみ耐インク保護層4を設けることで、耐インク保護層4を設ける領域を最小限にしている。なお、本実施形態の電気配線部材10のその他の構成は第1の実施形態と同様であり、本実施形態の電気配線部材10も電気配線、メッキ保護層および接着剤層が設けられているが、図2(a)ではそれらの図示を省略している。   In the present embodiment, by providing the ink-resistant protective layer 4 only in a part of the electric wiring member 10 other than the region bonded to the base substrate unit (not shown), the region where the ink-resistant protective layer 4 is provided is minimized. It is limited. The other configuration of the electrical wiring member 10 of this embodiment is the same as that of the first embodiment, and the electrical wiring member 10 of this embodiment is also provided with electrical wiring, a plating protective layer, and an adhesive layer. In FIG. 2A, illustration thereof is omitted.

図2(b)は図2(a)に示した電気配線部材の一変形例を示す平面図である。図2(b)も、電気配線部材10のベース基板ユニット(不図示)に接合される面を示している。   FIG.2 (b) is a top view which shows the modification of the electrical wiring member shown to Fig.2 (a). FIG. 2B also shows a surface bonded to the base substrate unit (not shown) of the electrical wiring member 10.

図2(b)に示す電気配線部材10は、電気配線部材10のベース基板ユニット(不図示)に接合される領域の周囲を周囲を取り囲むように耐インク保護層4が設けられている点において、図2(a)に示した構成と相違している。図2(b)に示した電気配線部材10のその他の構成は、図2(a)に示したものと同じである。   The electric wiring member 10 shown in FIG. 2B is provided with an ink-resistant protective layer 4 so as to surround the periphery of a region bonded to a base substrate unit (not shown) of the electric wiring member 10. This is different from the configuration shown in FIG. The other configuration of the electrical wiring member 10 shown in FIG. 2B is the same as that shown in FIG.

ベース基板ユニットのサイズが電気配線部材10の横幅よりも小さい場合には、電気配線部材10をベース基板ユニットに接合したときに、ベース基板ユニットの周囲に電気配線部材10の余白領域が生じる。これに対し、その余白領域には図2(b)に示すように耐インク保護層4が設けられているので、その領域からインクが浸みて電気配線部材10の配線が腐蝕してしまうことが防止されている。   When the size of the base substrate unit is smaller than the width of the electric wiring member 10, when the electric wiring member 10 is joined to the base substrate unit, a blank area of the electric wiring member 10 is generated around the base substrate unit. On the other hand, since the ink-resistant protective layer 4 is provided in the blank area as shown in FIG. 2B, the ink may soak from the area and the wiring of the electric wiring member 10 may be corroded. It is prevented.

また、図2(b)に示す構成によれば、電気配線部材10を接着剤でベース基板ユニット(不図示)に接合したときに、電気配線部材10とベース基板ユニットとの間からはみ出た接着剤が電気配線部材10の外周まではみ出すことを防ぐことができる。   Further, according to the configuration shown in FIG. 2B, when the electric wiring member 10 is bonded to the base substrate unit (not shown) with an adhesive, the bonding protrudes from between the electric wiring member 10 and the base substrate unit. It is possible to prevent the agent from protruding to the outer periphery of the electric wiring member 10.

図3(a)〜(c)は、図2(a)に示した電気配線部材をベース基板ユニットに接合する工程を示す図である。   3A to 3C are views showing a process of joining the electric wiring member shown in FIG. 2A to the base substrate unit.

図3(a)は図2(a)に示した電気配線部材10を示している。電気配線部材10には、上述したように、電気配線部材10のベース基板ユニット11に接合される領域にデバイスホール10a,10bが形成されている。その接合領域に隣接する領域には耐インク保護層4が設けられている。   FIG. 3A shows the electric wiring member 10 shown in FIG. As described above, device holes 10 a and 10 b are formed in the electric wiring member 10 in the region where the electric wiring member 10 is joined to the base substrate unit 11. An ink-resistant protective layer 4 is provided in a region adjacent to the bonding region.

まず、図3(b)に示すように、ベース基板8の電気配線部材10が接合される面上に、複数の島状の接着剤30を塗布する。図3(b)では図3(a)に示した電気配線部材10を裏返した状態で示している。また、図示の便宜上、耐インク保護層4を透視した状態で図示している。次に、ベース基板ユニット11のエネルギー発生素子基板7a,7bに対して電気配線部材10のデバイスホール10a,10bを位置決めして、電気配線部材10をベース基板ユニット11上に載置する。そして、ベース基板ユニット11上の接着剤30を潰して広げるように電気配線部材10をベース基板ユニット11に押し付けて、電気配線部材10をベース基板ユニット11に接合することにより、インクジェット記録ヘッドが構成される。これにより、図3(c)に示すように、複数の島状の接着剤30が電気配線部材10とベース基板ユニット11との間に均等に行き渡り、電気配線部材10を接着剤30で封止してインクから保護することができる。   First, as shown in FIG. 3B, a plurality of island-shaped adhesives 30 are applied on the surface of the base substrate 8 to which the electric wiring member 10 is bonded. FIG. 3B shows the electric wiring member 10 shown in FIG. For convenience of illustration, the ink-resistant protective layer 4 is seen through. Next, the device holes 10 a and 10 b of the electric wiring member 10 are positioned with respect to the energy generating element substrates 7 a and 7 b of the base substrate unit 11, and the electric wiring member 10 is placed on the base substrate unit 11. Then, the electric wiring member 10 is pressed against the base substrate unit 11 so that the adhesive 30 on the base substrate unit 11 is crushed and spread, and the electric wiring member 10 is joined to the base substrate unit 11, thereby configuring the ink jet recording head. Is done. Thereby, as shown in FIG. 3C, the plurality of island-shaped adhesives 30 are evenly distributed between the electric wiring member 10 and the base substrate unit 11, and the electric wiring member 10 is sealed with the adhesive 30. And can be protected from ink.

本実施形態では、電気配線部材10をベース基板ユニット11に押し付ける際にそれらの間に気泡が封入されることを防ぐために、接着剤30をベース基板ユニット11上に複数の島状に塗布している。しかし、ベース基板ユニット11上に塗布する接着剤の形態はこれに限られず、例えばベース基板ユニット11上のエネルギー発生素子基板7a,7b以外の全領域に接着剤を塗布してもよい。   In this embodiment, when the electric wiring member 10 is pressed against the base substrate unit 11, an adhesive 30 is applied on the base substrate unit 11 in a plurality of islands in order to prevent air bubbles from being enclosed between them. Yes. However, the form of the adhesive applied on the base substrate unit 11 is not limited to this, and the adhesive may be applied to the entire region other than the energy generating element substrates 7a and 7b on the base substrate unit 11, for example.

なお、電気配線部材10の電極パッド21が形成されている領域の裏面は、ベース基板ユニット11に接続されたインク供給部材(不図示)の壁面に耐インク性を有する熱硬化型接着剤で接合されるため、電気配線部材10の当該領域の裏面はインクによる侵食等から保護される。   The back surface of the region where the electrode pads 21 of the electric wiring member 10 are formed is bonded to the wall surface of an ink supply member (not shown) connected to the base substrate unit 11 with a thermosetting adhesive having ink resistance. Therefore, the back surface of the region of the electrical wiring member 10 is protected from erosion by ink.

本発明の第1の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing an ink jet recording head according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態に係る電気配線部材を示す平面図である。It is a top view which shows the electrical wiring member which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図2(a)に示した電気配線部材をベース基板ユニットに接合する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of joining the electric wiring member shown to Fig.2 (a) to a base substrate unit. 従来の電気配線部材の断面層構成を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional layer structure of the conventional electrical wiring member.

符号の説明Explanation of symbols

2 電気配線
7a,7b エネルギー発生素子基板
8 ベース基板
10 電気配線部材
11 ベース基板ユニット
2 Electric wiring 7a, 7b Energy generating element substrate 8 Base substrate 10 Electric wiring member 11 Base substrate unit

Claims (6)

インクを吐出させるエネルギー発生素子を有するエネルギー発生素子基板がベース基板上に配設されてなるベース基板ユニットに接合される、前記エネルギー発生素子基板に電気信号を伝送する電気配線を有する電気配線部材において、
前記インクに対する耐性を有する耐インク保護層が、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される面における、前記ベース基板ユニットに接合される領域以外の少なくとも一部の領域に設けられていることを特徴とする電気配線部材。
An electrical wiring member having an electrical wiring for transmitting an electrical signal to the energy generating element substrate, wherein an energy generating element substrate having an energy generating element for ejecting ink is joined to a base substrate unit disposed on the base substrate. ,
An ink-resistant protective layer having resistance to the ink is provided in at least a part of the surface of the electrical wiring member that is bonded to the base substrate unit other than the region that is bonded to the base substrate unit. An electrical wiring member characterized by the above.
前記耐インク保護層は、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される領域を取り囲む形状を有している、請求項1に記載の電気配線部材。   The electric wiring member according to claim 1, wherein the ink-resistant protective layer has a shape surrounding a region bonded to the base substrate unit of the electric wiring member. インクを吐出させるエネルギー発生素子を有するエネルギー発生素子基板がベース基板上に配設されてなるベース基板ユニットと、
該ベース基板ユニットに接合された、前記エネルギー発生素子基板に電気信号を伝送する電気配線を有する電気配線部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インクに対する耐性を有する耐インク保護層が、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される面における、前記ベース基板ユニットに接合される領域以外の少なくとも一部の領域に設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
A base substrate unit in which an energy generating element substrate having an energy generating element for discharging ink is disposed on the base substrate;
An electrical wiring member having electrical wiring joined to the base substrate unit for transmitting an electrical signal to the energy generating element substrate;
In an inkjet recording head having
An ink-resistant protective layer having resistance to the ink is provided in at least a part of the surface of the electrical wiring member that is bonded to the base substrate unit other than the region that is bonded to the base substrate unit. An ink jet recording head.
前記耐インク保護層は、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される領域を取り囲む形状を有している、請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド。   4. The ink jet recording head according to claim 3, wherein the ink-resistant protective layer has a shape surrounding a region of the electric wiring member to be joined to the base substrate unit. 5. インクを吐出させるエネルギー発生素子を有するエネルギー発生素子基板がベース基板上に配設されてなるベース基板ユニットと、
該ベース基板ユニットに接合された、前記エネルギー発生素子基板に電気信号を伝送する電気配線を有する電気配線部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記インクに対する耐性を有する耐インク保護層を、前記電気配線部材の前記ベース基板ユニットに接合される面における、前記ベース基板ユニットに接合される領域以外の少なくとも一部の領域に設けることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
A base substrate unit in which an energy generating element substrate having an energy generating element for discharging ink is disposed on the base substrate;
An electrical wiring member having electrical wiring joined to the base substrate unit for transmitting an electrical signal to the energy generating element substrate;
In the manufacturing method of the inkjet recording head having
An ink-resistant protective layer having resistance to the ink is provided in at least a part of the surface of the electrical wiring member that is bonded to the base substrate unit, other than the region that is bonded to the base substrate unit. A method for manufacturing an inkjet recording head.
前記ベース基板ユニット上の前記エネルギー発生素子基板以外の領域に、複数の島状の接着剤を塗布することと、
前記電気配線部材を前記ベース基板ユニット上に載置し、前記接着剤を潰して広げるように前記電気配線部材を前記ベース基板ユニットに押し付けて、前記電気配線部材を前記ベース基板ユニットに接合することと、
を含む、請求項5に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Applying a plurality of island-shaped adhesives to regions other than the energy generating element substrate on the base substrate unit;
The electric wiring member is placed on the base substrate unit, and the electric wiring member is pressed against the base substrate unit so that the adhesive is crushed and spread, so that the electric wiring member is joined to the base substrate unit. When,
The manufacturing method of the inkjet recording head of Claim 5 containing these.
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