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JP2006224247A - Device and method of promoting metal fatigue promoting trimmed line portion, and manufacturing device of etched product - Google Patents

Device and method of promoting metal fatigue promoting trimmed line portion, and manufacturing device of etched product Download PDF

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JP2006224247A
JP2006224247A JP2005041459A JP2005041459A JP2006224247A JP 2006224247 A JP2006224247 A JP 2006224247A JP 2005041459 A JP2005041459 A JP 2005041459A JP 2005041459 A JP2005041459 A JP 2005041459A JP 2006224247 A JP2006224247 A JP 2006224247A
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JP
Japan
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metal
belt
trimming line
line portion
trimming
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Application number
JP2005041459A
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Japanese (ja)
Inventor
Sakae Hasegawa
栄 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method of promoting the metal fatigue of a trimmed line portion that are capable of giving a sufficient metal fatigue to the trimmed line portion of a metal workpiece and does not deteriorate the quality of a product, and simultaneously provide the manufacturing method of an etched product in which such a metal fatigue promoting device of a trimmed line portion is incorporated. <P>SOLUTION: The device is provided with the metal fatigue promoting path of the trimmed line portion in the metal workpiece that promotes metal fatigue in the trimmed line portion by pressing the metal workpiece with both rolls of a belt with the metal workpiece matched with one surface of the belt and giving snaking operations that repeat collapsing and projecting operations in a direction perpendicular to the conveying direction to the metal workpiece to promote the metal fatigue in the trimmed line portion, and is further provided with metal workpiece control means that suppresses the floating of the metal workpiece from the belt in the trimmed line portion between the adjacent rolls to control the metal workpiece to match with the belt. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、加工素材である金属板材からエッチング加工により作製されるエッチング加工製品に関し、特に、シャドウマスク製品、リードフレーム製品等の加工素材である金属板材からのトリミング線部により分離を容易にする方法、装置に関する。   The present invention relates to an etching processed product manufactured by etching from a metal plate material that is a processed material, and in particular, facilitates separation by a trimming line portion from the metal plate material that is a processed material such as a shadow mask product and a lead frame product. The present invention relates to a method and an apparatus.

近年、カラーTV(ブラウン管)用のシヤドウマスクは、使用量の拡大に伴い量産化が進み、且つ、その使用目的によっては、ファイン化、大型化等が求められている。
このようなシヤドウマスクは、一般には、帯状に連続する金属板材600を素材(図4(a))として用い、一貫ラインで生産されており、簡単には、帯状に連続する金属板材600を連続ないし間欠的に移動させながら、製版、エッチングして、各シヤドウマスクの製品部(これをシヤドウマスクと言う)611の外周部が金属板材600に保持されるようにして、且つ、該金属板材600にシヤドウマスク611を面付けした状態にして外形加工される。(図4(b))
そして、この後、図4(c)に示すように、一旦、金属板材600を断裁し、断裁された金属シート610、610Aから各シヤドウマスク611を分離する(図4(d))トリミング方法(オフライン方式)が一般には採られている。
金属板材600から断裁された金属シートは、図4(c)(ロ)に示すように、シヤドウマスク1個(単面付け)の外側に不要の金属板部612を付けた状態のもの、あるいは、図4(c)(イ)に示すように、図4(c)(ロ)のものを複数個1つのシートにした状態のものである。
このトリミング方法としては、あらかじめ、エッチングにより、シヤドウマスクの外周に、ハーフエッチング部およびまたは貫通孔部を形成したシヤドウマスクの外周線(以下トリミング線とも言う)を設けておき、シヤドウマスクの外周線(トリミング線とも言う)に合った押さえ型により、シヤドウマスクの製品部を押さえ、人が不要の金属板部612を持ち上げて、これを製品部から分離する第1の方法や、人手ではなく、装置が、不要の金属板部612を上下に折り曲げて分離する第2の方法等が採られていた。
尚、第1の方法や第2の方法によるトリミングは、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング方法とも呼ばれ、また、第2の方法で用いられる装置は、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング装置あるいはオフラインむしり機とも言われている
そしてまた、以下、エッチング加工ラインに組みこまれたトリミング方法をインライントリミング方法と言う。
In recent years, shadow masks for color TVs (CRTs) have been mass-produced as the amount of use has increased, and depending on the purpose of use, there has been a demand for finer and larger sizes.
Such shadow masks are generally produced in an integrated line using a metal plate 600 continuous in a strip shape as a material (FIG. 4 (a)). While being moved intermittently, plate making and etching are performed so that the outer peripheral portion of the product portion (referred to as a shadow mask) 611 of each shadow mask is held by the metal plate 600 and the shadow mask 611 is attached to the metal plate 600. The outer shape is processed with the surface facing. (Fig. 4 (b))
Thereafter, as shown in FIG. 4C, the metal plate 600 is once cut, and each shadow mask 611 is separated from the cut metal sheets 610 and 610A (FIG. 4D). A trimming method (offline) Method) is generally adopted.
The metal sheet cut from the metal plate 600 has a state in which an unnecessary metal plate portion 612 is attached to the outside of one shadow mask (single-sided), as shown in FIG. As shown in FIGS. 4C and 4A, a plurality of the sheets shown in FIGS. 4C and 4B are formed into one sheet.
As this trimming method, an outer peripheral line (hereinafter also referred to as a trimming line) of a shadow mask in which a half-etched portion and / or a through-hole portion is formed on the outer periphery of the shadow mask by etching is provided in advance. The first method of pressing the product part of the mask mask and lifting the unnecessary metal plate part 612 and separating it from the product part with a holding mold suitable for the The 2nd method etc. which bent and separated the metal plate part 612 up and down were taken.
The trimming by the first method and the second method is not incorporated in the etching processing line, but is also called an off-line trimming method. The apparatus used in the second method is used in the etching processing line. It is also called an off-line trimming device or off-line stripper, not a built-in one. Also, hereinafter, a trimming method built into an etching processing line is called an in-line trimming method.

しかし、これらの方法は、品種別の押さえ型が必要で、特に、装置による第2の方法においては、型のコストがかかり、段取り替えに時間がかかると言う問題があった。
また、トリミングには時間がかかり、効率的ではないと言う問題もある。
このため、トリミング作業の生産性向上、コスト削減のためトリミング工程のインライン化が図られている。
例えば、特開2002−370197号公報(特許文献1)に記載のような、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせることなく、外むしりにより、製品部と不要部とを分離する方法が、本願出願人から提案されている。
尚、ここで、「外むしり」とは、製品部外側の不要部を引っ張り破断する際、製品部から外側に向かい引っ張りながら破断する方法を言う。
このインライントリミング方法には、製品のサイズや面付け、品種が異なる場合等において、種々問題があり、エッチング加工ラインで未だ実用化されていない。
特開2002−370197号公報
However, these methods require holding dies for each product type. In particular, in the second method using the apparatus, there is a problem in that the cost of the die is high and it takes time to change the setup.
Also, there is a problem that trimming takes time and is not efficient.
For this reason, in-line trimming processes have been attempted in order to improve the productivity of trimming work and reduce costs.
For example, there is a method of separating a product part and an unnecessary part by peeling off without causing metal trimming to weaken the trimming line part as described in JP-A-2002-370197 (Patent Document 1). And proposed by the present applicant.
Here, “extraction” refers to a method in which when an unnecessary portion outside the product portion is pulled and broken, the portion is broken while being pulled outward from the product portion.
This in-line trimming method has various problems when the product size, imposition, product type, etc. are different, and has not yet been put to practical use in the etching processing line.
JP 2002-370197 A

更に、図3に示す、本出願人による出願の特開2001−266741号公報(特許文献2)に記載のように、エッチング加工ラインにインライン接続して、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを、分離するように引っ張る、インライントリミング方法が、本願出願人から提案されている。
図3に示すインライントリミング方法は、上下2つの搬送ベルト451、456で、搬送方向に対し上下する、凹凸形状の金属ワーク420の通路を形成し、製品とトリミング線部とを設けた金属ワーク420を、上下2つの搬送ベルト451、456で挟みながら搬送し、凹凸形状の金属ワークの通路を通過させ、金属ワークに、凹凸形状の金属ワークの通路形状に対応した折り曲げを与え、トリミング線部にて製品410と不要部420とを分離するものである。
ここでの金属ワーク420は、帯状に連続する金属シートをエッチング加工して、製品と、該製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続するものである。
しかし、この方法においては、製品とトリミング線部とを設けた金属ワーク420を、上下2つの搬送ベルト451、456で挟みながら搬送し、凹凸形状の金属ワークの通路を通過させるため、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができなく、問題となっていた。
上下のロール453、458にベルトを張り、ニップした状態でシートを通した場合には、ベルトのなりに進んでいくため、確実にトリミング線部を弱らせることは困難である。
尚、図3において、B0は不要部と製品部を引っ張り分離する分離部である。
特開2001−266741号公報 また、特開2001−266742号公(特許文献3)には、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを分離するインライントリミング方法で、製品と不要部とを分離する際に、金属ワークを磁石で引き付けて分離をし易くする方法も提案されている。 この方法の場合も、特開2001−266741号公報に記載のものと、基本的に同じく、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができないという問題を抱えている。 特開2001−266742号公報
Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-266741 (Patent Document 2) filed by the present applicant shown in FIG. 3, the trimming line portion is weakened by in-line connection to the trimming line portion. The applicant of the present application has proposed an in-line trimming method in which a product portion and an unnecessary portion are pulled apart from each other after being made to run.
In the in-line trimming method shown in FIG. 3, a metal work 420 provided with a product and a trimming line portion is formed by forming a path of a concavo-convex metal work 420 that is vertically moved with respect to the transport direction by two transport belts 451 and 456. Is conveyed while being sandwiched between two upper and lower conveyor belts 451 and 456, passed through the corrugated metal workpiece passage, and the metal workpiece is bent corresponding to the corrugated metal workpiece passage shape to the trimming line portion. Thus, the product 410 and the unnecessary part 420 are separated.
Here, the metal workpiece 420 is formed by etching a metal sheet that is continuous in a strip shape, and includes a product and a half-etched portion and a through-hole portion around the entire product. And a trimming line portion for integrally connecting the two.
However, in this method, the metal workpiece 420 provided with the product and the trimming line portion is conveyed while being sandwiched between the upper and lower two conveyor belts 451 and 456, and passes through the path of the uneven metal workpiece. The trimming line portion cannot give sufficient metal fatigue, which is a problem.
When a belt is stretched between the upper and lower rolls 453 and 458 and the sheet is passed in a nipped state, the belt proceeds like a belt and it is difficult to reliably weaken the trimming line portion.
In FIG. 3, B0 is a separation part that pulls and separates the unnecessary part and the product part.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-266741 In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-266742 (Patent Document 3) discloses in-line trimming that separates a product portion from an unnecessary portion after metal trimming is applied to weaken the trimming line portion. In the method, when separating the product and the unnecessary part, a method of facilitating separation by attracting a metal workpiece with a magnet has been proposed. In the case of this method as well, there is a problem that sufficient metal fatigue cannot be given to the trimming line portion of the metal workpiece basically the same as that described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-266741. JP 2001-266742 A

尚、ロールのみを用いて、金属ワークのトリミング線部に折曲げを与えて、トリミング線部を金属疲労させ弱らせる方法方法もあるが、この場合、波状のうねりの角度をつけると、トリミング線部が弱まるが、トリミング線部が破断し、製品部がロールに直接、接触して品質不良になる。
さらに、面付けの前部分と後部分においてはトリミング線部の弱らせ度合(金属疲労度合のこと)が変わる問題が起こる。
In addition, there is a method of bending the trimming line part of the metal workpiece by using only a roll and making the trimming line part fatigued and weakened, but in this case, if the angle of the wavy undulation is applied, the trimming is performed. Although the line portion weakens, the trimming line portion breaks, and the product portion directly contacts the roll, resulting in poor quality.
Further, there is a problem that the degree of weakening of the trimming line portion (the degree of metal fatigue) changes in the front portion and the rear portion of the imposition.

また、製品部と不要部とを分離するトリミングの前処理として、トリミング線部に金属疲労を促進して、トリミングを容易に行えるようにする方法が、本願発明者により、特願2004−178929にて提案されている。
この方法は、いわば、特開2001−266741号公報(特許文献2)に記載のトリミング線部の金属疲労促進方法を改善したもので、簡単には、第1のベルトと第2のベルトとの間を帯状の金属ワークの通路として、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す該金属ワークの通路を、金属ワークが通過するようにして、そのトリミング線部の金属疲労を促進するものであるが、前記通路の凹箇所あるいは凸箇所において、金属ワークと、金属ワークが搬送方向に直交する方向に突出する側のベルトとの間に間隙を発生させ、更に、搬送方向に対する金属ワークの曲げ変位量や各ベルトの曲げ角を制御して、前記通路を、金属ワークが通過するようにするものである。
しかしながら、このトリミング線部の金属疲労促進方法においても、金属ワークはベルトなりに進み、トリミング線部における折り曲げ効果が十分に得られず、金属疲労が十分に促進されないという問題があった。
In addition, as a pre-processing for trimming for separating the product portion and the unnecessary portion, a method for facilitating the metal fatigue in the trimming line portion so that the trimming can be easily performed is disclosed in Japanese Patent Application No. 2004-178929. Has been proposed.
In other words, this method is an improvement of the method for promoting metal fatigue of the trimming line portion described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-266741 (Patent Document 2). The metal workpiece passes through the metal workpiece passage that repeats irregularities in the direction perpendicular to the metal workpiece conveyance direction, with the gap between the strips of the metal workpiece, and promotes metal fatigue at the trimming line. However, at the concave or convex portion of the passage, a gap is generated between the metal workpiece and the belt on the side where the metal workpiece protrudes in a direction perpendicular to the conveyance direction, and the metal with respect to the conveyance direction is further generated. The bending displacement amount of the workpiece and the bending angle of each belt are controlled so that the metal workpiece passes through the passage.
However, even in this method for promoting the metal fatigue of the trimming line portion, the metal work proceeds as a belt, and there is a problem that the bending effect in the trimming line portion cannot be sufficiently obtained and the metal fatigue is not sufficiently promoted.

上記のように、近年、シャドウマスク等の金属のエッチング加工においては、生産性の面、コスト面から、インライントリミング方法が求められ、これに対応して、エッチング加工ラインにインライン接続して、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを、分離するように引っ張る、インライントリミング方法が、本願出願人により、特開2001−266741号公報や、特開2001−266742号公報に記載されるように、提案されているが、これらに記載のトリミング線部に金属疲労促進方法では、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができないという問題を抱えており、この対応が求められていた。
そして、特願2004−178929にて提案した、トリミング線部に金属疲労を促進方法も、金属ワークはベルトなりに進み、実用レベルでは、やはり、トリミング線部における折り曲げ効果が十分に得られず、金属疲労が十分に促進されないという問題があり、その対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置およびトリミング線部の金属疲労促進方法を提供しようとするものである。
同時に、このようなトリミング線部の金属疲労促進装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置を提供しようとするものである。
As described above, in recent years, in the etching process of metals such as shadow masks, in-line trimming methods are required from the viewpoint of productivity and cost. An in-line trimming method for pulling a product part and an unnecessary part so as to separate them after applying metal fatigue to the line part to weaken it is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-266741 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-2001. Although it has been proposed as described in Japanese Patent Publication No. -266742, there is a problem in that the trimming line portion described therein cannot provide sufficient metal fatigue to the trimming line portion of the metal workpiece. We had this, and this correspondence was demanded.
And the method of promoting metal fatigue in the trimming line portion proposed in Japanese Patent Application No. 2004-178929 also proceeds as a belt for the metal workpiece, and in the practical level, the bending effect in the trimming line portion cannot be sufficiently obtained, There has been a problem that metal fatigue is not sufficiently promoted, and a countermeasure has been demanded.
The present invention is corresponding to this, and can provide sufficient metal fatigue to the trimming line portion of the metal workpiece, and does not damage the product quality, and the metal fatigue promoting device for the trimming line portion and the metal fatigue of the trimming line portion. It is intended to provide a promotion method.
At the same time, an object of the present invention is to provide an etching processed product manufacturing apparatus incorporating such a trimming line metal fatigue promoting device.

本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置は、帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させる、トリミング線部の金属疲労促進装置であって、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記トリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配したものであることを特徴とするものであり、前記他方の面側のロール自体に磁石を配していることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第1の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第1の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第2の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第2の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第1の回転ロールと前記第2の回転ロールとの距離(間隔)を制御するものであることを特徴とするものである。
尚、ここでは、トリミング線部とは、製品を不要部から分離し易くするため、製品外周全体に沿い、エッチング加工により、ハーフエッチング部およびまたは貫通孔部を形成した、製品外周の線状部分を意味する。
また、ここで言う金属疲労の促進とは、トリミング線の一部が破断するものも含む。
上記において、金属ワークを搬送する方向を巨視的にみた、通路の凹凸を除いた直線的な方向を搬送方向としている。
また、回転ロールとは、ベアリング等で支持されて固定された、回転が可能であるロールのことで、ローラとも言う。
また、ここで、「第1の回転ロールと第2の回転ロールとの距離(間隔)」とは、複数の第1の回転ロールあるいは複数の第2の回転ロールをその上に配する、搬送方向に沿う平面に、直交する方向における、第1の回転ロールの中心(軸中心)と第2の回転ロールの中心(軸中心)との距離である。
The trimming line metal fatigue accelerating device according to the present invention is a product in which a strip and a continuous metal sheet are etched to provide a trimming line part around the entire product so that the product and the unnecessary part are integrated. A metal fatigue promoting device for a trimming line portion that advances metal fatigue to a trimming line portion prior to trimming the product to be separated at a trimming line portion from a strip-shaped metal workpiece connected to the metal workpiece. The belt is used to move the metal workpiece along one surface of the metal workpiece, and the unevenness is repeated in a direction along the metal workpiece conveyance direction and perpendicular to the metal workpiece conveyance direction. A plurality of rolls arranged (in a zigzag manner) between the concave roll and the convex roll, with the belt and the metal work being placed along both sides thereof Metal fatigue promoting passage in the trimming line portion of the metal workpiece, which is pressed by a roll and gives the metal workpiece a meandering operation in which unevenness is repeated in a direction perpendicular to the conveying direction, thereby promoting metal fatigue in the trimming line portion. And further comprising metal work control means for controlling the metal work along the belt while suppressing floating of the metal work trimming line from the belt between the adjacent rolls. It is.
In the trimming line metal fatigue accelerating device, the metal workpiece is made of a magnetic material, and the metal workpiece control means places the metal workpiece on the other surface side of the belt that is not the metal workpiece side surface. A magnet that is attracted by magnetic force is disposed on the belt side, and a magnet is disposed on the roll on the other surface side.
Also, in any one of the above trimming line metal fatigue accelerating devices, the belt and the metal workpiece are arranged on a plane along the transport direction, a plurality of first rotating rolls, and the transport direction. A plane parallel to the plane along which each is arranged between each of the adjacent first rotary rolls, and is transported between a plurality of second rotary rolls that are integrally movable. The distance (interval) between the first rotary roll and the second rotary roll is controlled by moving the position of the plurality of second rotary rolls integrally. .
In this case, the trimming line portion is a linear portion on the outer periphery of the product in which a half-etched portion and / or a through-hole portion is formed by etching along the entire outer periphery of the product in order to easily separate the product from unnecessary portions. Means.
The term “acceleration of metal fatigue” as used herein includes a case where a part of the trimming line is broken.
In the above description, a linear direction excluding unevenness of the passage viewed macroscopically in the direction in which the metal workpiece is transported is defined as the transport direction.
The rotating roll is a roll that is supported and fixed by a bearing or the like and that can rotate, and is also called a roller.
In addition, here, “distance (interval) between the first rotary roll and the second rotary roll” means that a plurality of first rotary rolls or a plurality of second rotary rolls are arranged thereon. It is the distance between the center (axial center) of the first rotating roll and the center (axial center) of the second rotating roll in a direction orthogonal to the plane along the direction.

本発明のエッチング加工製品の製造装置は、上記のいずれかのトリミング線部の金属疲労促進装置を備えたことを特徴とするものである。   An apparatus for manufacturing an etched product according to the present invention includes any one of the above-described trimming line metal fatigue promoting devices.

本発明のトリミング線部の金属疲労促進方法は、帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進方法であって、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された複数のロールにより、案内されて、蛇行しながら、金属ワークの搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を進行させるもので、隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御することを特徴とするものである。
そして、上記トリミング線部の金属疲労促進方法であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御部は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつけるものであることを特徴とするものである。
The method for promoting metal fatigue of trimming line portions according to the present invention is such that a strip-like metal sheet is etched to provide a product and trimming line portions around the entire product so that the product and unnecessary portions are integrated. Trimming line section that makes it easy to separate the product from unnecessary parts by advancing metal fatigue in the trimming line section prior to trimming to separate the product at the trimming line section from the continuous metal workpiece connected to the belt. The metal fatigue promotion method is guided by a plurality of rolls arranged in a zigzag manner so as to repeat unevenness in a direction perpendicular to the conveyance direction of the metal workpiece and perpendicular to the conveyance direction of the metal workpiece. The metal work is conveyed along one side of the belt that advances in the metal workpiece conveyance direction while meandering, and metal fatigue is advanced in the trimming line portion. Between adjacent rolls, suppressing the floating of the belt at the trimming line portion of the metal workpiece, it is characterized in that controlled along the metal workpiece to the belt.
In the trimming line metal fatigue accelerating method, the metal workpiece is made of a magnetic material, and the metal workpiece controller is configured to place the metal workpiece on the other surface side of the belt which is not the metal workpiece side surface. The belt is attracted by a magnetic force.

(作用)
本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置は、このような構成にすることにより、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置の提供を可能としている。
詳しくは、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることにより、これを達成している。
即ち、金属ワークを、ベルトの一方の面側に沿わせて、ベルトとともに、前記複数のロールにより案内して金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作をさせながら搬送し、そのトリミング線部に金属疲労を促進させるトリミング線部の金属疲労促進通路と、金属疲労の促進により破断されて発生する金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きをベルトに沿うように抑える金属ワーク制御手段を備えていることにより、これを達成している。
金属ワーク制御手段としては、金属ワークをベルトに沿うように制御することができれば、特に限定されないが、例えば、真空吸着、機械的な抑え部、空気圧等により金属ワークをベルトに沿うようにする制御する方式のものが挙げられる。
金属ワークが磁性体からなる場合には、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配した請求項2に記載の形態が挙げられる。
更に、前記他方の面側のロール自体に磁石を配している形態も挙げられる。
特に、請求項2、請求項3に記載の形態は、金属ワークが磁性体からなることを利用して金属ワーク制御手段として磁石を配するもので、金属ワーク制御手段を簡単に構成できる。
そして、ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第1の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第1の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第2の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第2の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第1の回転ロールと前記第2の回転ロールとの間隔を制御する請求項4の形態とすることにより、簡単に第1の回転ロールと第2の回転ロールとの間隔を制御することができるものとしている。
ベルトの張力を調整するためのベルトテンションロール部を備えている請求項5の構成とすることにより、各回転ロールのピッチ調整、変更や間隔の変更に際しても、ベルトを所望のテンションで張ることを可能としている。
これらより、結局、確実に安定して、且つ、製品品質を損傷しないで、トリミング線部の金属疲労を促進して弱らせることを可能としている。
(Function)
The trimming line portion metal fatigue accelerating device of the present invention can give sufficient metal fatigue to the trimming line portion of the metal workpiece by such a configuration, and does not damage the product quality. It is possible to provide a metal fatigue promoting device.
Specifically, while traveling in the metal workpiece conveyance direction, in a direction along the metal workpiece conveyance direction and perpendicular to the metal workpiece conveyance direction, along with the belt for placing the metal workpiece on one surface thereof A plurality of rolls arranged so as to repeat the unevenness (zigzag), and both sides of the belt and the metal work are placed between the concave roll and the convex roll. The metal workpiece is subjected to a meandering operation in which irregularities are repeated in a direction orthogonal to the conveying direction by pressing the roll of the metal workpiece, and the metal fatigue in the trimming line portion of the metal workpiece is promoted to promote the metal fatigue in the trimming line portion. A path is provided, and further, the metal workpiece is controlled to follow the belt while suppressing the floating of the trimming line portion of the metal workpiece between the adjacent rolls from the belt. Due to the provision of the genus workpiece control means have achieved this.
That is, a metal workpiece is conveyed along a belt along one side of the belt while being guided by the plurality of rolls while performing a meandering operation in which unevenness is repeated in a direction perpendicular to the conveyance direction of the metal workpiece. , Metal trimming acceleration passage of the trimming line portion that promotes metal fatigue in the trimming line portion, and metal that suppresses floating from the belt in the trimming line portion of the metal workpiece that is broken by the promotion of metal fatigue along the belt This is achieved by providing the work control means.
The metal workpiece control means is not particularly limited as long as the metal workpiece can be controlled along the belt. For example, the control to make the metal workpiece along the belt by vacuum suction, a mechanical restraint, air pressure, or the like. The method of doing is mentioned.
3. When the metal workpiece is made of a magnetic material, the metal workpiece control means arranges a magnet that attracts the metal workpiece to the belt side by magnetic force on the other surface side of the belt that is not the metal workpiece side surface. The form of description is mentioned.
Furthermore, the form which has arrange | positioned the magnet itself to the roll of the said other surface side is also mentioned.
Particularly, according to the second and third aspects, the magnet is arranged as the metal work control means by utilizing the fact that the metal work is made of a magnetic material, and the metal work control means can be simply configured.
Then, the belt and the metal workpiece are arranged in a plane along the transport direction, and a plurality of first rotating rolls, and on the plane parallel to the plane along the transport direction, each of the adjacent first rotations. It is arranged between the rolls and is transported between a plurality of second rotating rolls that can move integrally, and by moving the positions of the plurality of second rotating rolls integrally, By setting it as the form of Claim 4 which controls the space | interval of a 1st rotation roll and a said 2nd rotation roll, the space | interval of a 1st rotation roll and a 2nd rotation roll can be controlled easily. It is supposed to be.
The belt tension roll unit for adjusting the tension of the belt is provided, so that the belt can be tensioned with a desired tension even when the pitch of each rotary roll is adjusted, changed, or the interval is changed. It is possible.
As a result, after all, the metal fatigue of the trimming line portion can be promoted and weakened reliably and stably without damaging the product quality.

本発明のエッチング加工製品の製造装置は、このような構成にすることにより、帯状のエッチング加工用の金属板素材から、エッチング加工製品を得るまでを、人手を入らない一貫ラインで行うことを可能としている。   By adopting such a configuration, the manufacturing apparatus for etching processed products of the present invention can perform an etching processed product from a strip-shaped metal plate material for etching processing in an integrated line that does not require manual labor. It is said.

本発明のトリミング線部の金属疲労促進方法は、このような構成にすることにより、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しないトリミング線部の金属疲労促進方法の提供を可能としている。   The trimming line portion metal fatigue promoting method according to the present invention can provide sufficient metal fatigue to the trimming line portion of the metal workpiece and can prevent the trimming line portion from damaging the product quality. It is possible to provide a method for promoting metal fatigue.

本発明は、上記のように、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置およびトリミング線部の金属疲労促進方法の提供を可能とした。
同時に、このようなトリミング線部の金属疲労促進装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置の提供を可能とした。
これにより、インライントリミングで、製品品質を損傷しないで、確実に安定して、トリミングライン部に金属疲労を与えて弱らせることが可能となった。
As described above, the present invention can impart sufficient metal fatigue to the trimming line portion of the metal workpiece and does not damage the product quality, and the metal fatigue promoting device for the trimming line portion and the metal fatigue promotion of the trimming line portion. It was possible to provide a method.
At the same time, it has become possible to provide an apparatus for manufacturing an etching processed product incorporating such a trimming line metal fatigue promoting device.
As a result, the in-line trimming can reliably weaken the trimming line portion by applying metal fatigue without damaging the product quality.

本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1(a)は本発明の金属疲労促進装置の実施の形態の1例の概略構成図で、図1(b)は図1(a)におけるA1部を拡大して示した図で、図1(c)は帯状に連続する金属ワークを図1(a)に示す金属疲労促進装置に投入した場合の金属シートの状態を示した図で、図2は本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の1例を示した概略構成図である。
尚、図1(a)中、点線の矢印1、矢印2は金属ワークの搬送方向で、実線矢印はベルトの進行方向を示した図である。
また、図1(c)におけるδは第1の回転ロールと第2の回転ロールとの間隔(距離)である。
図1、図2において、100は金属疲労促進装置、110、111はフレーム、113、113aは(第2の回転ロールの)位置移動操作部、115は(第2の回転ロールの)固定部、116は(第1の回転ロールの)固定部、120はベルト、130は第1の回転ロール、135は第2の回転ロール、140は(トリミング線部の)金属疲労促進通路、150はベルトテンションコントロール部、151は可動回転ロール、152、153は回転ロール、160はモータ(ベルト駆動部とも言う)、180は金属ワーク(金属薄板とも言う)、180Aは処理用基材、185はトリミング線部、190は磁石(金属ワーク制御手段)、210は加工用素材供給部、220は熱処理部、230は塗膜部、240、245はストレージ、250は露光部、260は現像処理部、270はエッチング加工部(エッチング処理部とも言う)、280はレジスト剥離部、290は洗浄処理部、300はトリミング装置、310は不要部巻取り部、320は製品、330はロールである。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 (a) is a schematic configuration diagram of an example of an embodiment of the metal fatigue promoting device of the present invention, and FIG. 1 (b) is an enlarged view of a portion A1 in FIG. 1 (a). 1 (c) is a view showing a state of a metal sheet when a metal work continuous in a strip shape is put into the metal fatigue accelerating device shown in FIG. 1 (a), and FIG. 2 is an apparatus for manufacturing an etched product of the present invention. It is the schematic block diagram which showed one example of this embodiment.
In FIG. 1 (a), dotted arrows 1 and 2 are directions in which the metal workpiece is conveyed, and solid arrows are directions in which the belt travels.
Further, δ in FIG. 1C is an interval (distance) between the first rotating roll and the second rotating roll.
1 and 2, 100 is a metal fatigue promoting device, 110 and 111 are frames, 113 and 113 a are position moving operation units (for the second rotating roll), 115 is a fixing unit (for the second rotating roll), 116 is a fixing portion (of the first rotating roll), 120 is a belt, 130 is a first rotating roll, 135 is a second rotating roll, 140 is a metal fatigue promoting passage (of a trimming line portion), and 150 is a belt tension. Control unit, 151 is a movable rotating roll, 152 and 153 are rotating rolls, 160 is a motor (also referred to as a belt driving unit), 180 is a metal workpiece (also referred to as a metal thin plate), 180A is a processing substrate, and 185 is a trimming line portion , 190 is a magnet (metal workpiece control means), 210 is a processing material supply unit, 220 is a heat treatment unit, 230 is a coating unit, 240 and 245 are storage units, 250 An exposure unit, 260 is a development processing unit, 270 is an etching processing unit (also referred to as an etching processing unit), 280 is a resist stripping unit, 290 is a cleaning processing unit, 300 is a trimming device, 310 is an unnecessary portion winding unit, and 320 is a product. , 330 is a roll.

はじめに、本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置の実施の形態の1例を図1に基づいて説明する。
本例のトリミング線部の金属疲労促進装置は、帯状に連続する磁性体からなる金属シートをエッチング加工して、製品であるシャドウマスクと、製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワーク180から、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進装置で、金属ワーク180を水平搬送するものである。
そして、金属ワーク180の搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワーク180を沿わせるためのベルト120と、金属ワーク180の搬送方向に沿い、且つ、金属ワーク180の搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下、即ち、凹凸を繰り返すようにジグザグに配置された、第1の回転ロール130と第2の回転ロール135からなる複数のロールとを有し、凹側の第2の回転ロール135と凸側の第1の回転ロール130との間において、ベルト120と金属ワーク180とを沿わせた状態で、その両側のロール(130、135)にて押圧し、金属ワーク180にその搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下(凹凸)を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路140を備え、更に、隣接するロール(第1の回転ロール130と第2の回転ロール135)間における、金属ワーク180のトリミング線部におけるベルト120からの浮きを抑え、金属ワーク180をベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段としての磁石190を備えている。
図1(c)に示すように、金属ワーク180は、ベルト120とともに、複数の第1の回転ロール130、複数の第2の回転ロール135により案内されて、金属ワークの搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下(凹凸)を繰り返す蛇行をしながら、金属ワーク180のトリミング線部における金属疲労が促進される。
First, an example of an embodiment of a metal fatigue promoting apparatus for trimming line portions according to the present invention will be described with reference to FIG.
The trimming line portion metal fatigue promoting device of this example etches a metal sheet made of a magnetic material continuous in a strip shape, and includes a shadow mask as a product, and a half-etched portion and a through-hole portion around the entire product. The trimming line portion is provided prior to trimming to separate the product at the trimming line portion from the metal workpiece 180 continuous in a strip shape, which is provided with a trimming line portion that integrally connects the product and the unnecessary portion at the half-etched portion. The metal work 180 is horizontally conveyed by a metal fatigue promoting device for trimming lines that facilitates separation of the product and unnecessary parts by advancing metal fatigue.
The belt 120 for moving the metal workpiece 180 along one surface of the metal workpiece 180 while traveling in the conveyance direction of the metal workpiece 180, along the conveyance direction of the metal workpiece 180, and with respect to the conveyance direction of the metal workpiece 180 The second rotation on the concave side has a plurality of rolls composed of the first rotary roll 130 and the second rotary roll 135 arranged in a zigzag so as to repeat up and down, that is, unevenness, in the perpendicular direction orthogonal to each other. Between the roll 135 and the first rotating roll 130 on the convex side, the belt 120 and the metal workpiece 180 are placed alongside and pressed by the rolls (130, 135) on both sides thereof. Trimming of a metal workpiece that gives a meandering motion that repeats up and down (unevenness) in the vertical direction perpendicular to the conveying direction, and promotes metal fatigue at the trimming line portion. In addition, a metal fatigue promoting passage 140 is provided at the groove line portion, and further, floating between the adjacent rolls (the first rotating roll 130 and the second rotating roll 135) from the belt 120 at the trimming line portion of the metal workpiece 180 is suppressed. A magnet 190 is provided as a metal work control means for controlling the metal work 180 along the belt.
As shown in FIG. 1C, the metal workpiece 180 is guided by the plurality of first rotating rolls 130 and the plurality of second rotating rolls 135 together with the belt 120, and is orthogonal to the conveying direction of the metal workpiece. The metal fatigue in the trimming line portion of the metal workpiece 180 is promoted while meandering repeatedly repeating up and down (unevenness) in the vertical direction.

本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、ベルト120と金属ワーク180とを、搬送方向(点線の矢印1、矢印2)に沿う水平面上に配列された複数の第1の回転ロール130と、各々が各隣接する前記第1の回転ロール130間に配され、前記搬送方向に沿う水平面に平行な別の水平面上に配列され、且つ、一体で鉛直方向に位置移動可能である複数の第2の回転ロール135との間で、搬送するもので、金属ワーク180を、ベルト120の上面(第2の回転ロール側の面)に沿わせて、ベルト120とともに、互い違いに第1の回転ロール130と第2の回転ロール135とからなる複数のロールにより案内して蛇行させながら搬送し、そのトリミング線部185において金属疲労を促進させるものである。
金属ワーク180には、折り曲げが繰り返し与えられ、これにより、金属ワーク180のトリミング線部185aの金属疲労が促進される。
尚、図1(a)において、金属ワークは、図示していないが、矢印1から矢印2の方向に、第1の回転ロール130、第2の回転ロール135により形成されるトリミング線部の金属疲労促進通路140を通過して、トリミング線部の金属疲労促進の作業が行われる。
矢印1から矢印2の方向が搬送方向である。
In the metal fatigue promoting device of the trimming line portion of this example, a plurality of first rotating rolls 130 in which the belt 120 and the metal workpiece 180 are arranged on a horizontal plane along the conveyance direction (dotted arrow 1 and arrow 2). And each of the plurality of first rotary rolls 130 arranged adjacent to each other, arranged on another horizontal plane parallel to the horizontal plane along the conveying direction, and integrally movable in the vertical direction. The metal workpiece 180 is conveyed between the second rotating roll 135 and the first rotation is alternately performed together with the belt 120 along the upper surface of the belt 120 (the surface on the second rotating roll side). It is conveyed while being guided and meandered by a plurality of rolls consisting of a roll 130 and a second rotating roll 135, and metal fatigue is promoted at the trimming line portion 185.
The metal workpiece 180 is repeatedly bent, whereby metal fatigue of the trimming line portion 185a of the metal workpiece 180 is promoted.
In FIG. 1A, although the metal workpiece is not shown, the metal of the trimming line portion formed by the first rotating roll 130 and the second rotating roll 135 in the direction from the arrow 1 to the arrow 2. The work for promoting metal fatigue at the trimming line portion is performed through the fatigue promoting passage 140.
The direction from arrow 1 to arrow 2 is the transport direction.

本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、複数の第2の回転ロール135を一体的固定している固定部115を(第2の回転ロールの)位置移動操作部113、113aにて鉛直方向に位置移動することにより、図1(c)に示す第1の回転ロール130と第2の回転ロール135との距離(間隔)δを調整するものである。
尚、ここでは、品質的に問題なく、金属ワーク180を搬送方向に直交する鉛直方向に所定の量だけ上下できるように、第1の回転ロール130と第2の回転ロール135との距離(間隔)δを設定する。
In the metal fatigue promoting device of the trimming line portion of this example, the fixing portion 115 that integrally fixes the plurality of second rotating rolls 135 is moved by the position moving operation portions 113 and 113a (of the second rotating roll). The distance (interval) δ between the first rotary roll 130 and the second rotary roll 135 shown in FIG. 1C is adjusted by moving the position in the vertical direction.
Here, the distance (interval) between the first rotary roll 130 and the second rotary roll 135 so that the metal workpiece 180 can be moved up and down by a predetermined amount in the vertical direction orthogonal to the transport direction without any problem in quality. ) Set δ.

本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、各第1の回転ロール130はフレーム111に保持された固定部116にベアリング部(図示していない)により支持されて回転するものであり、また、各第2の回転ロール135はフレーム110に支持された固定部115に一体的に保持されたベアリング部(図示していない)により支持されて回転するもので、第1の回転ロール130、第2の回転ロール135ともに、搬送方向に沿い、水平に配置されている。
フレーム110はその位置が固定され、位置移動操作部113、113aにて鉛直方向の位置移動ができる。
位置移動操作部113、113aとしては、特に限定されないが、例えば、ボルト、ネジを用いた構成が挙げられる。
In the metal fatigue promoting device of the trimming line part of this example, each first rotating roll 130 is supported by a fixed part 116 held by the frame 111 and supported by a bearing part (not shown), and rotates. Each of the second rotating rolls 135 is supported and rotated by a bearing unit (not shown) integrally held by a fixing unit 115 supported by the frame 110. The first rotating rolls 130, Both the second rotating rolls 135 are disposed horizontally along the transport direction.
The position of the frame 110 is fixed, and the position movement operation units 113 and 113a can move the position in the vertical direction.
Although it does not specifically limit as position movement operation part 113, 113a, For example, the structure using a volt | bolt and a screw is mentioned.

ベルトテンションロール部150は、回転ロール152、153を固定し、可動回転ロール151を垂直方向移動させることによりベルトのテンションロールを行うものである。
これにより、各回転ロールによる押し込み量変更、あるいは第1の回転ロールのピッチ、第2の回転ロールのピッチ変更に際して、ベルト120の張力を調整することができる。
また、モータ160は、ベルト120を駆動するためのものである。
The belt tension roll unit 150 performs belt tension rolls by fixing the rotary rolls 152 and 153 and moving the movable rotary roll 151 in the vertical direction.
Thereby, the tension of the belt 120 can be adjusted when the amount of pressing by each rotating roll is changed, or when the pitch of the first rotating roll and the pitch of the second rotating roll are changed.
The motor 160 is for driving the belt 120.

図1に示す本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、帯状に連続する金属シートをエッチング加工して、製品と、該製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、金属ワーク180を、矢印1から矢印2の方向に搬送しながら、金属疲労促進通路140を通過させ、これにより、金属ワーク180に、その搬送方向に直交する鉛直方向の凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部に金属疲労を促進させ、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離し易くするが、特に、金属ワーク180が、金属疲労促進通路140を通過する際に、隣接するロール間に、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段として磁石190を配しており、これにより、隣接するロール間における、トリミング線部の金属疲労した部分がベルトから浮き上がるのを抑制する。
このようにして、トリミング線部185におけるベルトからの浮きに起因する品質的な損傷を受けず、トリミング線部185における十分な金属疲労促進を可能にしている。
ここでは、金属ワーク180の搬送方向(矢印1から矢印2の方向)に沿い、且つ、金属ワーク180の搬送方向に対して直交する鉛直方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された複数のロール(第1の回転ロール130、第2の回転ロール135により、案内されて、蛇行しながら、金属ワーク180の搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を促進させるため、従来の金属ワークの両側にベルトを沿えて搬送し、金属疲労を促進する形態に比べて、十分な金属疲労の促進を可能としており、また、金属ワーク制御手段として磁石190を配していることにより、品質的な損傷を防止できるものとしている。
In the metal fatigue accelerating device of the trimming line part of this example shown in FIG. 1, a metal sheet continuous in a strip shape is etched, and a product and a half-etched part and a through-hole part are formed around the product, Prior to the trimming for separating the product at the trimming line portion from the metal workpiece continuous in a strip shape, the trimming line portion for integrally connecting the product and the unnecessary portion at the half-etched portion is provided with an arrow. While passing in the direction of the arrow 2 from 1, the metal fatigue promoting passage 140 is passed, thereby giving the metal workpiece 180 a meandering action that repeats unevenness in the vertical direction perpendicular to the conveying direction, and the trimming line portion The metal fatigue is promoted and the trimming line part is promoted to make it easy to separate the product from the unnecessary part. When passing through the passage 140, the magnet 190 is disposed between the adjacent rolls as a metal work control means for controlling the metal work along the belt, whereby the trimming line portion between the adjacent rolls is arranged. Suppresses metal fatigue from lifting from the belt.
In this way, it is possible to sufficiently promote metal fatigue in the trimming line portion 185 without receiving quality damage due to the floating from the belt in the trimming line portion 185.
Here, a plurality of elements arranged in a zigzag manner so as to repeat unevenness in the vertical direction perpendicular to the conveying direction of the metal workpiece 180 along the conveying direction of the metal workpiece 180 (the direction from the arrow 1 to the arrow 2). The metal work is transported along one side of the belt that is guided by the first rotating roll 130 and the second rotating roll 135 and advances in the transport direction of the metal work 180. And, in order to promote metal fatigue in the trimming line part, it is possible to promote sufficient metal fatigue compared to the form that conveys the belt along both sides of the conventional metal workpiece and promotes metal fatigue, Further, by providing the magnet 190 as the metal workpiece control means, quality damage can be prevented.

本例は1例で、本発明は、これに限定されるものではない。
例えば、本例は金属ワークの水平搬送を前提としたものであるが、水平でなくても同様の作用効果が得られれば良いことは言うまでもない。
本例では、複数の第1の回転ロール130と複数の第2の回転ロール135とを、それぞれ水平に配し、互いに平行とし間隔を一定としているが、第1の回転ロール130と第2の回転ロール135との間隔を搬送方向に若干の勾配をもたせる形態も挙げられる。
また、ベルト120の、金属ワーク180との接触部に、吸引クリーナを配置する形態も挙げることができる。
この場合、金属粉発生による影響のないものとできる。
This example is one example, and the present invention is not limited to this example.
For example, although this example is based on the premise of horizontal conveyance of a metal workpiece, it is needless to say that the same function and effect can be obtained even if the workpiece is not horizontal.
In this example, the plurality of first rotating rolls 130 and the plurality of second rotating rolls 135 are arranged horizontally, parallel to each other, and have a constant interval. A form in which the gap between the rotary roll 135 and the conveyance direction has a slight gradient is also possible.
Moreover, the form which arrange | positions a suction cleaner in the contact part with the metal workpiece 180 of the belt 120 can also be mentioned.
In this case, it can be considered that there is no influence by metal powder generation.

次に、本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の1例を図2に示し、簡単に説明する。
本例のエッチング加工製品の製造装置は、図1に示すトリミング線部の金属疲労促進装置100をシャドウマスクの製造ラインにインライン接続し、更に、トリミング装置300を接続したもので、簡単には、シャドウマスクの製造ライン装置で、帯状の金属薄板を加工素材として、フォトエッチング法により、帯状に連続する金属薄板をエッチング加工して、製品であるシャドウマスクと、製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワークを作製し、更に、連続して、トリミングを行い、製品と不要部とを分離するものである。
図2に示すように、順に、加工用素材供給部210、前処理部220、塗膜部230、ストレージ240、露光部250、ストレージ245、現像処理部260、エッチング処理部270、レジスト剥離部280、洗浄処理部290、金属疲労促進装置100、トリミング装置300、不要部巻き採り部310を配置し、加工用素材供給部210により、コイルに巻かれた金属薄板をコイル状態から帯状の加工用素材として供給し、シャドウマスク加工の各処理を行い、洗浄処理部290による洗浄処理を経て、製品部と不要部とからなる帯状の金属ワークにして、この状態で、金属疲労促進装置100に帯状のまま投入し、トリミング線部の金属疲労を促進させた後、トリミング装置300にて製品と不要部とを分離する。
尚、本例における加工用素材供給部210〜洗浄処理部290迄の各部やその処理は一般的でここでは、説明を省く。
金属疲労促進装置100については、上記図1に示す実施の形態例の説明に代える。
また、トリミング装置300としては、図3に示すような、引っ張りにより製品と不要部を分離する方式のものが挙げられるが、これに限定はされない。
本例は、1例で、必要に応じた処理部を設けても良いことは言うまでもない。
また、本例は、金属疲労促進装置100をシャドウマスク製造ラインに組み入れたものであるが、これに限定されるものではない。
Next, an example of an embodiment of an apparatus for manufacturing an etched product of the present invention is shown in FIG.
The etching processed product manufacturing apparatus of the present example is an apparatus in which the trimming line portion metal fatigue promoting apparatus 100 shown in FIG. 1 is connected in-line to the shadow mask manufacturing line, and further the trimming apparatus 300 is connected. With a shadow mask production line device, a strip-shaped metal thin plate is used as a processing material, and a metal thin plate that is continuous in a strip shape is etched by a photo-etching method. It is made of a through-hole part, and a half-etched part is provided with a trimming line part that integrally connects a product and an unnecessary part. The product and the unnecessary part are separated.
As shown in FIG. 2, the processing material supply unit 210, the preprocessing unit 220, the coating film unit 230, the storage 240, the exposure unit 250, the storage 245, the development processing unit 260, the etching processing unit 270, and the resist stripping unit 280 are sequentially arranged. The cleaning processing unit 290, the metal fatigue promoting device 100, the trimming device 300, and the unnecessary portion winding unit 310 are arranged, and the processing material supply unit 210 converts the metal thin plate wound on the coil from a coil state to a strip-shaped processing material. In this state, the metal fatigue promoting device 100 is subjected to a band-shaped metal workpiece having a product portion and an unnecessary portion. Then, the metal fatigue of the trimming line portion is promoted, and then the product and the unnecessary portion are separated by the trimming apparatus 300.
In addition, each part from the process raw material supply part 210 to the washing | cleaning process part 290 in this example and its process are common, and it abbreviate | omits description here.
The metal fatigue promoting device 100 is replaced with the description of the embodiment shown in FIG.
Further, as the trimming apparatus 300, as shown in FIG. 3, there is a system that separates a product from an unnecessary part by pulling, but the trimming apparatus 300 is not limited to this.
This example is an example, and it goes without saying that a processing unit according to need may be provided.
In this example, the metal fatigue promoting device 100 is incorporated in a shadow mask production line, but is not limited to this.

図1(a)は本発明の金属疲労促進装置の実施の形態の1例の概略構成図で、図1(b)は図1(a)におけるA1部を拡大して示した図で、図1(c)は帯状に連続する金属ワークを図1(a)に示す金属疲労促進装置に投入した場合の金属シートの状態を示した図である。FIG. 1 (a) is a schematic configuration diagram of an example of an embodiment of the metal fatigue promoting device of the present invention, and FIG. 1 (b) is an enlarged view of a portion A1 in FIG. 1 (a). 1 (c) is a view showing a state of a metal sheet when a metal work continuous in a strip shape is put into the metal fatigue promoting device shown in FIG. 1 (a). 本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の1例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed one example of embodiment of the manufacturing apparatus of the etching processed product of this invention. 従来のインライントリミング方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conventional in-line trimming method. シャドウマスクの製造方法におけるトリミングを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the trimming in the manufacturing method of a shadow mask.

符号の説明Explanation of symbols

100 金属疲労促進装置
110、111 フレーム
113、113a (第2の回転ロールの)位置移動操作部
115 (第2の回転ロールの)固定部
116 (第1の回転ロールの)固定部
120 ベルト
130 第1の回転ロール
135 第2の回転ロール
140 (トリミング線部の)金属疲労促進通路
150 ベルトテンションコントロール部
151 可動回転ロール
152、153 回転ロール
160 モータ(ベルト駆動部とも言う)
180 金属ワーク(金属薄板とも言う)
180A 処理用基材
185 トリミング線部
190 磁石(金属ワーク制御手段)
210 加工用素材供給部
220 熱処理部
230 塗膜部
240、245 ストレージ
250 露光部
260 現像処理部
270 エッチング加工部(エッチング処理部とも言う)
280 レジスト剥離部
290 洗浄処理部
300 トリミング装置
310 不要部巻取り部
320 製品
330 ロール
400 金属ワーク
410 シヤドウマスク
420 不要部
450 上側搬送部
451 搬送ベルト
453 ローラ
455 下側搬送部
456 搬送ベルト
458 ローラ
460 製品取り出し部
461 搬送ベルト
463 ローラ
470 金属ワークの通路
600 フープ状の金属板材
610、610A 金属シート
611 シヤドウマスク(シヤドウマスクの製品部)
611A 開孔形成領域
612 不要の金属板部
614 トリミング線部


100 Metal fatigue promoting device 110, 111 Frame 113, 113a Position moving operation unit 115 (for the second rotating roll) Fixed portion 116 (for the second rotating roll) Fixed portion 120 (for the first rotating roll) Belt 130 First 1 rotating roll 135 2nd rotating roll 140 metal fatigue promoting passage 150 (trimming line section) belt tension control section 151 movable rotating rolls 152, 153 rotating roll 160 motor (also referred to as belt driving section)
180 Metal workpiece (also called thin metal plate)
180A processing substrate 185 trimming line 190 magnet (metal workpiece control means)
210 processing material supply unit 220 heat treatment unit 230 coating film unit 240, 245 storage 250 exposure unit 260 development processing unit 270 etching processing unit (also referred to as etching processing unit)
280 Resist stripping unit 290 Cleaning processing unit 300 Trimming device 310 Unnecessary part winding unit 320 Product 330 Roll 400 Metal work 410 Shade mask 420 Unnecessary part 450 Upper conveying part 451 Conveying belt 453 Roller 455 Lower conveying part 456 Conveying belt 458 Roller 460 Product Extraction part 461 Conveying belt 463 Roller 470 Metal work path 600 Hoop-like metal plate materials 610, 610A Metal sheet 611 Shear mask (product part of shear mask)
611A Hole forming region 612 Unnecessary metal plate portion 614 Trimming line portion


Claims (8)

帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させる、トリミング線部の金属疲労促進装置であって、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。   A metal sheet continuous in a strip shape is etched to provide a product and a trimming line portion around the entire product, and a continuous metal workpiece in a strip shape integrally connecting the product and an unnecessary portion, A trimming line metal fatigue promoting device that advances metal fatigue in the trimming line part prior to trimming the product at the trimming line part. A belt for aligning the metal workpiece, and a plurality of rolls arranged in a zigzag manner so as to repeat unevenness in a direction perpendicular to the conveyance direction of the metal workpiece and perpendicular to the conveyance direction of the metal workpiece. Between the concave roll and the convex roll, the belt and the metal workpiece are pressed along with the rolls on both sides thereof, and the metal workpiece is conveyed in the conveying direction. A metal fatigue promoting passage in the trimming line portion of the metal workpiece is provided to provide a meandering operation in which unevenness is repeated in a direction perpendicular to the trimming direction to promote metal fatigue in the trimming line portion, and further, the metal between the adjacent rolls A trimming line portion metal fatigue accelerating device comprising metal workpiece control means for controlling the metal workpiece so as to follow the belt while preventing the trimming line portion of the workpiece from floating from the belt. 請求項1に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配したものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。   The metal fatigue accelerating device for a trimming line portion according to claim 1, wherein the metal workpiece is made of a magnetic material, and the metal workpiece control means is arranged on the other surface side of the belt that is not the metal workpiece side surface. A trimming wire portion metal fatigue accelerating device, wherein a magnet for attracting a metal workpiece to the belt side by magnetic force is arranged. 請求項2に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記他方の面側のロール自体に磁石を配していることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。   3. The apparatus for promoting metal fatigue of a trimming line portion according to claim 2, wherein a magnet is arranged on the roll on the other surface side. 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第1の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第1の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第2の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第2の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第1の回転ロールと前記第2の回転ロールとの距離(間隔)を制御するものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。   4. The trimming line metal fatigue accelerating device according to claim 1, wherein the belt and the metal workpiece are arranged on a plane along a conveying direction. And a plurality of second rotating rolls that are arranged between the adjacent first rotating rolls on a plane that is parallel to the plane along the transport direction, and that are movable in an integrated manner. In this case, the distance (interval) between the first rotating roll and the second rotating roll is controlled by integrally moving the position of the plurality of second rotating rolls. A feature of the apparatus for promoting metal fatigue of a trimming line portion. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトの張力を調整するためのベルトテンションロール部を備えていることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。   5. The trimming line portion metal trimming acceleration device according to claim 1, further comprising a belt tension roll portion for adjusting the tension of the belt. Metal fatigue promoting device. 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置を備えたことを特徴とするエッチング加工製品の製造装置。   An apparatus for manufacturing an etching processed product, comprising the apparatus for promoting metal fatigue of a trimming line portion according to any one of claims 1 to 5. 帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進方法であって、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように(ジグザグに)配置された複数のロールにより、案内されて、蛇行しながら、金属ワークの搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を進行させるもので、隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御することを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進方法。   A metal sheet continuous in a strip shape is etched to provide a product and a trimming line portion around the entire product, and a continuous metal workpiece in a strip shape integrally connecting the product and an unnecessary portion, Trimming line metal fatigue promoting method that facilitates separation of products and unnecessary parts by causing metal fatigue to advance in the trimming line part before trimming to separate the product at the trimming line part. Advancing in the metal workpiece conveyance direction while being guided and meandered by a plurality of rolls arranged in a zigzag manner so as to repeat unevenness in a direction perpendicular to the metal workpiece conveyance direction. The metal work is transported along one surface of the belt to cause metal fatigue on the trimming line, and the metal work is trimmed between adjacent rolls. Suppressing the floating of the belt at the ring line section, the control metal fatigue promoting method of the trimming line portion, characterized in that along the metal workpiece to the belt. 請求項7に記載のトリミング線部の金属疲労促進方法であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御部は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつけるものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進方法。

The method for promoting metal fatigue of a trimming line portion according to claim 7, wherein the metal workpiece is made of a magnetic material, and the metal workpiece control unit is arranged on the other surface side of the belt that is not the metal workpiece side surface. A method for promoting metal fatigue of a trimming line portion, wherein the metal workpiece is attracted to the belt side by a magnetic force.

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