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JP2006240150A - Liquid ejection recording head - Google Patents

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JP2006240150A
JP2006240150A JP2005060704A JP2005060704A JP2006240150A JP 2006240150 A JP2006240150 A JP 2006240150A JP 2005060704 A JP2005060704 A JP 2005060704A JP 2005060704 A JP2005060704 A JP 2005060704A JP 2006240150 A JP2006240150 A JP 2006240150A
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JP
Japan
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liquid
recording
buffer chamber
support substrate
chamber
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2005060704A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukuo Yamaguchi
裕久雄 山口
Hiroshi Koizumi
寛 小泉
Takeshi Sankubo
毅 山久保
Akira Goto
顕 後藤
Mikiya Umeyama
幹也 梅山
Masaru Iketani
優 池谷
Tetsuya Ohashi
哲也 大橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a buffer chamber arrangement in which circulation cleaning can be carried out easily without setting a process dedicated to filling a hole. <P>SOLUTION: In an arrangement where a buffer chamber arranged on the rear surface of a chip plate and a liquid chamber in the chip plate are interconnected through a connection passage, the buffer chamber is opened in concave shape from the rear surface of the chip plate or opened in concave shape for a joint seal so that an ink supply passage is communicated while being sealed when the chip plate and a chip tank are insertion connected with the joint seal and the opening of the buffer chamber is also sealed just like a dead-end road. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は紙や布などの記録媒体に対して記録液などの液体をオリフィスより噴射させて記録を行う液体噴射記録ヘッドおよびこの液体噴射記録ヘッドを用いた液体噴射記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid jet recording head that performs recording by jetting a liquid such as a recording liquid from a orifice onto a recording medium such as paper or cloth, and a liquid jet recording apparatus using the liquid jet recording head.

従来プリンタ、複写機、ファクシミリ等のプリント装置は、画像情報に基づき被記録材上にドットパターンからなる画像を記録していくように構成されている。前記プリント装置は、そのプリント方式により、液体噴射方式、ワイヤドット式、サーマル式、レーザービーム式等に分けることができ、そのうちインクジェット式は液体噴射記録ヘッドを備え、その液路にインクを吐出させるために利用される吐出エネルギーを発生するエネルギー変換手段を有し、インクをインク供給口から液室を介して前記した液路に導き、ここでインクにエネルギー変換手段から与えられた吐出エネルギーによりインクを飛翔液滴として被記録材に向けて飛翔させ、その着弾により記録が行われるように構成されている。   Conventional printing apparatuses such as printers, copiers, and facsimiles are configured to record an image composed of a dot pattern on a recording material based on image information. The printing apparatus can be divided into a liquid ejecting method, a wire dot method, a thermal method, a laser beam method, and the like according to the printing method. Among them, the ink jet method includes a liquid ejecting recording head and ejects ink into the liquid path. Energy conversion means for generating discharge energy used for the purpose, and the ink is guided from the ink supply port to the liquid passage through the liquid chamber, and the ink is discharged by the discharge energy given to the ink from the energy conversion means. Are made to fly toward the recording material as flying droplets, and recording is performed by the landing.

中でも熱エネルギーを利用してインクを吐出する液体噴射記録ヘッドは、記録用のインク滴を吐出して飛翔液滴を形成するためのインク吐出口を高密度に配列することが可能であるほか全体的にコンパクト化も容易であること等の利点があるため多方面で実用化されている。   Above all, the liquid jet recording head that ejects ink using thermal energy can arrange the ink ejection ports for ejecting ink droplets for recording to form flying droplets in high density and the whole In particular, it has been put to practical use in many fields because of its advantages such as easy compactness.

さらに、近年においては高速記録の要求から液体噴射記録ヘッドに配列されるノズル数も多ノズル化されるようになってきている。   Furthermore, in recent years, the number of nozzles arranged in the liquid jet recording head has been increased due to the demand for high-speed recording.

又、別の従来例としては、特許文献1及び特許文献2をあげることが出来る。
特開平06-024002号公報 特開平06-210872号公報
As another conventional example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 can be cited.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 06-024002 Japanese Patent Laid-Open No. 06-210872

しかしながらインクジェット方式では流体であるインクを取り扱うために、インク振動によって吐出口周辺のメニスカス振動を大きく乱し画像品位の劣化を発生させることがある。特に高密度で多ノズル配列された液体噴射記録ヘッドにおいては単位時間あたりのインク流量が多く、吐出が停止された時、インクが前方へ移動しようとする慣性力が大きくなり、この慣性力によりノズル内のインクが押し出されて、吐出口におけるメニスカスが飛び出した状態になる。   However, in the inkjet method, in order to handle ink that is a fluid, the meniscus vibration around the ejection port is greatly disturbed by the ink vibration, and the image quality may be deteriorated. In particular, in a liquid jet recording head with a high density and multi-nozzle arrangement, the ink flow rate per unit time is large, and when the ejection is stopped, the inertial force that the ink tries to move forward increases, and this inertial force causes the nozzle to move forward. The ink inside is pushed out, and the meniscus at the ejection port pops out.

一方、インク供給源であるインクタンクは一般的に供給口からインク垂れが生じないようにするため、負圧力を維持させるような構成になっている。このことから、インクタンクから供給されるインクには上流側へ引き戻そうようとする力が作用するため、前述したような吐出口でメニスカスが飛び出した状態のインクはその後反対側に後退しようとする。   On the other hand, an ink tank as an ink supply source is generally configured to maintain a negative pressure in order to prevent ink dripping from the supply port. As a result, the ink supplied from the ink tank is subjected to a force to pull back to the upstream side, so that the ink in the state where the meniscus is ejected from the ejection port as described above tends to retreat to the opposite side thereafter. .

このように、吐出停止後は、吐出口メニスカスが前方に飛び出したり、後方へ後退したりする、いわゆるメニスカス振動を誘発する。このような振動は単位時間当たりのインク流量が増えるほど大きくなる。そして、メニスカス位置が前方に飛び出した状態や後方に後退した状態で次の印字信号が入ると、前者では、小さなインク滴が飛び散る、いわゆるスプラッシュ状の印字になってしまい、後者では、吐出速度や吐出量が小さくなる、いわゆるショボ状の吐出となって、いずれも印字品位を悪化させてしまうことになる。図9は従来構成の液体噴射記録ヘッドで所定の吐出をしたときの吐出パルスに対するインク流路内の圧力振動波形を示した図である。同図に示すように、吐出停止後では流路内の圧力振動振幅が大きく正圧とになっており、この圧力振動が前述したような吐出口のメニスカス振動を誘発して、次吐出を乱す要因となっている。そして、このような現象を解決する一手段とし、共通液室やインク流路途中にバッファ室を設け気泡を蓄えることで、このような圧力振動を吸収減衰させる方式が採用されている。   As described above, after the discharge is stopped, a so-called meniscus vibration in which the discharge port meniscus jumps forward or retreats backward is induced. Such vibration increases as the ink flow rate per unit time increases. When the next print signal is input with the meniscus position protruding forward or backward, the former results in a so-called splash-like print in which small ink droplets are scattered. The discharge amount becomes small, so-called shobo-like discharge, and both deteriorate print quality. FIG. 9 is a diagram showing a pressure oscillation waveform in the ink flow path with respect to an ejection pulse when a predetermined ejection is performed by a liquid jet recording head having a conventional configuration. As shown in the figure, after the discharge is stopped, the pressure vibration amplitude in the flow path is large and becomes a positive pressure, and this pressure vibration induces the meniscus vibration of the discharge port as described above and disturbs the next discharge. It is a factor. As a means for solving such a phenomenon, a method is adopted in which a buffer chamber is provided in the middle of the common liquid chamber or the ink flow path to store bubbles, thereby absorbing and attenuating such pressure vibration.

バッファ室の空間はそのインク供給系が有する振動を十分に減衰させ得るような容積が確保されなければならないが、バッファ室は共通液室やインク流路と連通しているため、共通液室内やインク流路内のインクがバッファ室へ流入して、バッファ室内の気体と置換されてしまう恐れがある。そして、バッファ室内の気体とインクが置換されると、インク供給系の振動減衰作用が低減され、不安定吐出となり印字品位を悪化させてしまうことになる。   The space of the buffer chamber must have a volume that can sufficiently attenuate the vibration of the ink supply system, but the buffer chamber communicates with the common liquid chamber and the ink flow path. Ink in the ink flow path may flow into the buffer chamber and be replaced with gas in the buffer chamber. If the gas and ink in the buffer chamber are replaced, the vibration damping action of the ink supply system is reduced, resulting in unstable ejection, and the print quality is deteriorated.

また一般に、バッファ室は共通液室またはインク流路から分岐されて袋小路状に配設されることから、バッファ室が配設された液体噴射記録ヘッドにおける部品洗浄では袋小路部であるバッファ室内の洗浄が不十分となったり、洗浄後の乾燥に長い時間を費やしてしまうといった問題を有していた。また、バッファ室内の洗浄が不十分であるとバッファ室に残存する塵などによって印字不良を引き起こすことになる。   In general, since the buffer chamber is branched from the common liquid chamber or the ink flow path and disposed in the shape of a bag path, cleaning of the buffer chamber, which is the path of the bag path, is performed in cleaning the parts in the liquid jet recording head in which the buffer chamber is disposed. Is insufficient, and it takes a long time to dry after washing. Further, if the buffer chamber is not sufficiently cleaned, printing defects may be caused by dust remaining in the buffer chamber.

これに対して、バッファ室の袋小路部を貫通構造とすることにより洗浄液を循環させることができるようになり、洗浄工程が容易に実施できるようにしたものがある。このような構成の場合、バッファ室洗浄後にシール部材などを用いてバッファ室の貫通部をシールし袋小路にしている。しかしバッファ室を貫通構造にすると、バッファ室洗浄後にバッファ室の貫通部をシール部材でシールする工程が別途必要となり生産性悪化やコストアップを招く要因となっていた。   On the other hand, there is one in which the cleaning liquid can be circulated by making the bag path portion of the buffer chamber a penetrating structure so that the cleaning process can be easily performed. In such a configuration, after the buffer chamber is washed, a penetrating portion of the buffer chamber is sealed with a seal member or the like to form a bag path. However, if the buffer chamber has a penetrating structure, a separate step of sealing the penetrating portion of the buffer chamber with a sealing member after cleaning the buffer chamber is required, which causes a decrease in productivity and an increase in cost.

また、液体噴射記録ヘッドが高温環境下に長期間放置された場合、バッファ室入り口付近の壁面にインク組成水分から蒸発した水滴が付着して壁面の濡れ性が増すことになる。そしてこれによって、バッファ室内の空気とその周辺インクとの置換が助長されると、バッファ室における振動抑制作用を軽減させてしまうことになる。   When the liquid jet recording head is left in a high temperature environment for a long period of time, water droplets evaporated from the ink composition moisture adhere to the wall surface near the entrance of the buffer chamber, and the wettability of the wall surface increases. As a result, when the replacement of the air in the buffer chamber with the surrounding ink is promoted, the vibration suppressing action in the buffer chamber is reduced.

上記対策として、バッファ室の開口面積を小さくしてバッファ室への流入抵抗を大きくすることにより、インクと空気との置換が抑制されるような構成を採った形態もある。しかしながら、図10の従来例のバッファ室構成図に示すように、バッファ室201の開口面積が小さくなると、それに伴ってバッファ室通路の断面積およびバッファ室全体の容積も小さくなるため、バッファ室内に収容できる空気容積が小さくなってしまうことになる。   As a countermeasure, there is a configuration in which the replacement of ink and air is suppressed by reducing the opening area of the buffer chamber and increasing the inflow resistance to the buffer chamber. However, as shown in the buffer chamber configuration diagram of the conventional example of FIG. 10, when the opening area of the buffer chamber 201 is reduced, the cross-sectional area of the buffer chamber passage and the entire volume of the buffer chamber are accordingly reduced. The air volume which can be accommodated will become small.

そこで、このような構成の場合、バッファ室内が所望の空気を収容できるように支持基板の厚みを大きくして、バッファ室通路を長くしたり、バッファ室通路を迂回させたりして複雑な通路にする必要があり、これが液体噴射記録ヘッドのコストアップ要因となっていた。   Therefore, in such a configuration, the thickness of the support substrate is increased so that the buffer chamber can accommodate desired air, the buffer chamber passage is lengthened, or the buffer chamber passage is bypassed to form a complicated passage. This has been a cause of cost increase of the liquid jet recording head.

本発明は本発明は液体噴射記録ヘッドおよび該液体噴射記録ヘッドを搭載する記録装置において、記録ユニット部とホルダー部が結合されることによって気体を存在させるバッファ室が形成される構成であることから、液体噴射記録ヘッドの組立において、バッファ室を閉塞させるための専用工程を設定する必要はなく、製造工程を簡略化できる効果がある。   According to the present invention, in the liquid jet recording head and the recording apparatus equipped with the liquid jet recording head, the recording unit portion and the holder portion are combined to form a buffer chamber in which gas exists. In the assembly of the liquid jet recording head, there is no need to set a dedicated process for closing the buffer chamber, and the manufacturing process can be simplified.

また、記録ユニット部とホルダー部とを結合する工程以前まではバッファ室内は第1プレートの共通液室から第1プレートの裏面まで貫通している構造であることから、洗浄液はバッファ室内へ容易に流し込めて循環させることができるようになり、バッファ室内は十分に洗浄されるようになる。したがって、印字不良を誘発する塵などの不純物がバッファ室から確実に除去されるため、高品位な画像形成が可能となる。   Since the buffer chamber has a structure that penetrates from the common liquid chamber of the first plate to the back surface of the first plate before the step of joining the recording unit portion and the holder portion, the cleaning liquid can easily enter the buffer chamber. The buffer chamber can be circulated by being poured, and the buffer chamber is sufficiently cleaned. Therefore, since impurities such as dust that cause printing defects are reliably removed from the buffer chamber, high-quality image formation is possible.

また、バッファ室から共通液室あるいは供給通路までを連通させる接続通路がバッファ室と個別に配設されるとともに、支持基板における記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口するようにバッファ室が配設されるため、次吐出に悪影響を与えない範囲でインク供給系の振動を減衰させ得るような所望の気体容積を収容可能なバッファ室空間が十分に確保できるようになる。   In addition, a connection passage that communicates from the buffer chamber to the common liquid chamber or the supply passage is provided separately from the buffer chamber, and opens in a concave shape from the surface of the support substrate opposite to the surface to which the recording element substrate is bonded. Since the buffer chamber is disposed in this manner, a sufficient buffer chamber space capable of accommodating a desired gas volume capable of attenuating vibration of the ink supply system within a range that does not adversely affect the next ejection can be secured. .

また、接続通路の通路断面積は小さく設定されることから、接続通路内の流体流動抵抗は大きくなり、環境変動下においてもバッファ室内の気体とインクの置換を抑えることでき、バッファ室内に必要とされる空気容量を常時保持することができるようになる。したがって、前の吐出によって発生するインク供給系の振動が十分に減衰されて、吐出駆動によって生じるメニスカス振動を軽減させることができる。これによって、メニスカス位置は次の吐出までに所定の位置に復帰するようになり、次の吐出も安定した液滴噴射が得られるようになるため、良好な吐出特性を有する液体噴射記録ヘッドを提供することが可能となる。   In addition, since the cross-sectional area of the connection passage is set to be small, the fluid flow resistance in the connection passage is increased, and the substitution of gas and ink in the buffer chamber can be suppressed even under environmental changes. It becomes possible to always maintain the air capacity. Therefore, the vibration of the ink supply system generated by the previous ejection is sufficiently attenuated, and the meniscus vibration generated by the ejection driving can be reduced. As a result, the meniscus position returns to a predetermined position before the next discharge, and stable liquid droplet ejection can be obtained for the next discharge, thus providing a liquid jet recording head having good discharge characteristics. It becomes possible to do.

また、バッファ室の一平面を可撓性膜で形成することにより、バッファ室内空気の膨張収縮作用と可撓性膜の伸縮作用の併用によりインク振動の減衰効果を増大させることができるようになる。   In addition, by forming one plane of the buffer chamber with a flexible film, it is possible to increase the damping effect of the ink vibration by combining the expansion / contraction action of the air in the buffer room and the expansion / contraction action of the flexible film. .

以上説明したように、本発明は液体噴射記録ヘッドおよび該液体噴射記録ヘッドを搭載する記録装置において、記録ユニット部とホルダー部が結合されることによって気体を存在させるバッファ室が形成される構成であることから、液体噴射記録ヘッドの組立において、バッファ室を閉塞させるための専用工程を設定する必要はなく、製造工程を簡略化できる効果がある。   As described above, the present invention is a liquid jet recording head and a recording apparatus equipped with the liquid jet recording head, wherein the recording unit portion and the holder portion are combined to form a buffer chamber in which gas exists. For this reason, in assembling the liquid jet recording head, it is not necessary to set a dedicated process for closing the buffer chamber, and the manufacturing process can be simplified.

また、記録ユニット部とホルダー部とを結合する工程以前まではバッファ室内は第1プレートの共通液室から第1プレートの裏面まで貫通している構造であることから、洗浄液はバッファ室内へ容易に流し込めて循環させることができるようになり、バッファ室内は十分に洗浄されるようになる。したがって、印字不良を誘発する塵などの不純物がバッファ室から確実に除去されるため、高品位な画像形成が可能となる。   Since the buffer chamber has a structure that penetrates from the common liquid chamber of the first plate to the back surface of the first plate before the step of joining the recording unit portion and the holder portion, the cleaning liquid can easily enter the buffer chamber. The buffer chamber can be circulated by being poured, and the buffer chamber is sufficiently cleaned. Therefore, since impurities such as dust that cause printing defects are reliably removed from the buffer chamber, high-quality image formation is possible.

また、バッファ室から共通液室あるいは供給通路までを連通させる接続通路がバッファ室と個別に配設されるとともに、支持基板における記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口するようにバッファ室が配設されるため、次吐出に悪影響を与えない範囲でインク供給系の振動を減衰させ得るような所望の気体容積を収容可能なバッファ室空間が十分に確保できるようになる。   In addition, a connection passage that communicates from the buffer chamber to the common liquid chamber or the supply passage is provided separately from the buffer chamber, and opens in a concave shape from the surface of the support substrate opposite to the surface to which the recording element substrate is bonded. Since the buffer chamber is disposed in this manner, a sufficient buffer chamber space capable of accommodating a desired gas volume capable of attenuating vibration of the ink supply system within a range that does not adversely affect the next ejection can be secured. .

また、接続通路の通路断面積は小さく設定されることから、接続通路内の流体流動抵抗は大きくなり、環境変動下においてもバッファ室内の気体とインクの置換を抑えることでき、バッファ室内に必要とされる空気容量を常時保持することができるようになる。したがって、前の吐出によって発生するインク供給系の振動が十分に減衰されて、吐出駆動によって生じるメニスカス振動を軽減させることができる。これによって、メニスカス位置は次の吐出までに所定の位置に復帰するようになり、次の吐出も安定した液滴噴射が得られるようになるため、良好な吐出特性を有する液体噴射記録ヘッドを提供することが可能となる。   In addition, since the cross-sectional area of the connection passage is set to be small, the fluid flow resistance in the connection passage is increased, and the substitution of gas and ink in the buffer chamber can be suppressed even under environmental changes. It becomes possible to always maintain the air capacity. Therefore, the vibration of the ink supply system generated by the previous ejection is sufficiently attenuated, and the meniscus vibration generated by the ejection driving can be reduced. As a result, the meniscus position returns to a predetermined position before the next discharge, and stable liquid droplet ejection can be obtained for the next discharge, thus providing a liquid jet recording head having good discharge characteristics. It becomes possible to do.

また、バッファ室の一平面を可撓性膜で形成することにより、バッファ室内空気の膨張収縮作用と可撓性膜の伸縮作用の併用によりインク振動の減衰効果を増大させることができるようになる。   In addition, by forming one plane of the buffer chamber with a flexible film, it is possible to increase the damping effect of the ink vibration by combining the expansion / contraction action of the air in the buffer room and the expansion / contraction action of the flexible film. .

(1)記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記支持基板における前記記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数のバッファ室を形成し、
前記供給通路あるいは前記共通液室と前記バッファ室との間を接続するための接続通路が配設されることを特徴とする液体噴射記録ヘッドである。
(1) An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements for generating energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position A supply passage for supplying a recording liquid to the recording element substrate; and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A liquid discharge unit having
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
Forming one or a plurality of buffer chambers for accommodating a gas that opens in a concave shape from a surface opposite to a surface to which the recording element substrate is bonded in the support substrate;
In the liquid jet recording head, a connection passage for connecting the supply passage or the common liquid chamber and the buffer chamber is provided.

(2)前記バッファ室の開口部が栓部材により閉塞されることによって、前記バッファ室は前記接続通路のみ連通された袋小路状態となることを特徴とする(1)項に記載された液体噴射記録ヘッドである。   (2) The liquid jet recording described in item (1), wherein the opening of the buffer chamber is closed by a plug member so that the buffer chamber is in a bag path state in which only the connection passage is communicated. Head.

(3)前記栓部材は前記シール部材によって一体的に形成され、前記シール部材が前記液体吐出ユニットの前記支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記バッファ室の開口部が前記栓部材によって閉塞されるような構成にすることを特徴とする(2)項に記載された液体噴射記録ヘッドである。   (3) The plug member is integrally formed by the seal member, and when the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the opening of the buffer chamber is the plug member. The liquid jet recording head described in the item (2) is characterized in that the liquid jet recording head is configured to be closed by the head.

(4)記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記シール部材には前記支持基板と接合する面から凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数のバッファ室を配設し、
前記支持基板には前記シール部材と接合する面から前記供給通路もしくは前記共通液室まで貫通する接続通路が形成され、
前記シール部材が前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記バッファ室の開口部がシールされるとともに、前記バッファ室と前記接続通路が連通されるように構成されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッドである。
(4) An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements for generating energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position. A supply passage for supplying a recording liquid to the recording element substrate; and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A liquid discharge unit having
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
The sealing member is provided with one or a plurality of buffer chambers for containing a gas that opens in a concave shape from a surface bonded to the support substrate.
The support substrate is formed with a connection passage penetrating from the surface joined to the seal member to the supply passage or the common liquid chamber,
When the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the opening of the buffer chamber is sealed, and the buffer chamber and the connection passage are communicated with each other. This is a liquid jet recording head.

(5)記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記支持基板には、前記記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数の第1バッファ室と、
前記第1バッファ室から前記供給通路あるいは前記共通液室までを連通させるための接続通路が形成され、
前記シール部材には前記第1バッファ室の凹形状開口部と対向する位置であって、前記支持基板と接合する面から凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数の第2バッファ室が配設されて、
前記シール部材が前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記第1バッファ室の凹形状開口部と前記第2バッファ室の凹形状の開口部が連通してシールされるように構成されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッドである。
(5) An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements that generate energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position. A supply passage for supplying a recording liquid to the recording element substrate; and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A liquid discharge unit having
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
The support substrate includes one or more first buffer chambers that contain a gas that opens in a concave shape from the surface opposite to the surface to which the recording element substrate is bonded.
A connection passage is formed for communicating from the first buffer chamber to the supply passage or the common liquid chamber;
The seal member includes one or more second buffer chambers that are opposed to the concave opening of the first buffer chamber and that accommodate gas that opens in a concave shape from a surface to be bonded to the support substrate. Arranged,
When the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the concave opening of the first buffer chamber and the concave opening of the second buffer chamber communicate and are sealed. The liquid jet recording head is configured as described above.

(6)前記シール材に配設されるバッファ室の一部が可撓性膜によって形成されていることを特徴とする(4)項乃至(5)項に記載された液体噴射記録ヘッドである。   (6) The liquid jet recording head described in (4) to (5), wherein a part of the buffer chamber disposed in the sealing material is formed of a flexible film. .

以下、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。   Hereinafter, the details of the present invention will be described in accordance with the description of the embodiments.

図1は本発明の実施例1に係る液体噴射記録ヘッドの断面図、図2は本発明の実施例1の一例であるバッファ室の構成を説明するための部分分解斜視図、図3、図4は本発明に係る液体噴射記録ヘッドの外観斜視図で、図3は分解斜視図、図4は組立斜視図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a partially exploded perspective view for explaining a configuration of a buffer chamber as an example of Embodiment 1 of the present invention. 4 is an external perspective view of the liquid jet recording head according to the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view, and FIG. 4 is an assembled perspective view.

本実施形態の液体噴射記録ヘッド101は不図示の交換式記録液貯蔵タンクを保持するためのタンクホルダー部材(不図示)などを組み付けることでヘッドユニットを完成させ得る形態やタンクホルダー部材などが取り付けられた液体噴射記録装置のキャリッジにヘッドユニットを搭載させる形態などに適用される。   The liquid jet recording head 101 according to the present embodiment has a configuration in which a head unit can be completed by assembling a tank holder member (not shown) for holding a replaceable recording liquid storage tank (not shown), a tank holder member, etc. The present invention is applied to a mode in which a head unit is mounted on a carriage of a liquid jet recording apparatus.

以下に、本発明の実施例1を図1乃至図4に基づいて説明する。   Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to FIGS.

液体噴射記録ヘッド101は、液滴を吐出する吐出口(ノズル)が列を成して形成されたノズル列からプリント信号に従って液滴を吐出する液滴吐出部と、液体噴射記録装置本体との間を伝送されるプリント信号の受け渡しをするために前記液滴吐出部に電気配線がなされるフレキシブルケーブルやTAB等のシート配線部材とを有する記録ユニット部102と、記録ユニット部102を保持するとともに記録ユニット部102に供給される記録液等を収容する記録液貯蔵タンクを着脱保持するための筐体の役割を担うホルダー部103とから構成され、同図に示す液体噴射記録ヘッド101はタンクホルダー部材が取り付けられたキャリッジに対して着脱可能に搭載される。   The liquid jet recording head 101 includes a liquid droplet ejection unit that ejects liquid droplets according to a print signal from a nozzle row in which ejection ports (nozzles) for ejecting liquid droplets are formed in rows, and a liquid jet recording apparatus main body. A recording unit 102 having a flexible cable and a sheet wiring member such as a TAB, in which electric wiring is made to the droplet discharge unit, for passing a print signal transmitted between them, and holding the recording unit 102 The liquid jet recording head 101 shown in the figure is composed of a holder unit 103 that serves as a housing for attaching and detaching a recording liquid storage tank that stores recording liquid supplied to the recording unit 102. It is detachably mounted on the carriage to which the member is attached.

1は記録素子基板、2は支持基板としての第1プレート、3はシート電気配線基板、4はコンタクト端子配線基板、5は第2プレート、6は流路部材、7はシール部材、8はビスである。   1 is a recording element substrate, 2 is a first plate as a support substrate, 3 is a sheet electric wiring substrate, 4 is a contact terminal wiring substrate, 5 is a second plate, 6 is a flow path member, 7 is a seal member, and 8 is a screw. It is.

記録素子基板1には、Si基板の片面に記録液を吐出するための複数の記録素子と、各記録素子に電力を供給するAl等の配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のノズルと複数の吐出口(不図示)とがフォトリソグラフィ技術により形成されるとともに吐出口と接続される複数のノズルに記録液を供給するための記録液室1aが裏面に開口するように形成されている。   The recording element substrate 1 is formed with a plurality of recording elements for discharging recording liquid on one side of the Si substrate and wirings such as Al for supplying power to each recording element by a film forming technique. A plurality of corresponding nozzles and a plurality of discharge ports (not shown) are formed by photolithography, and a recording liquid chamber 1a for supplying a recording liquid to the plurality of nozzles connected to the discharge ports is opened on the back surface. It is formed as follows.

2つの記録素子基板1は相対位置および傾きをアライメントした後に、第1プレート2の上面に載置接合される。記録素子基板1と第1プレート2の相対位置は半導体実装技術によって高精度に位置決め接合される。   The two recording element substrates 1 are placed and bonded to the upper surface of the first plate 2 after the relative position and the inclination are aligned. The relative positions of the recording element substrate 1 and the first plate 2 are positioned and bonded with high accuracy by a semiconductor mounting technique.

なお、記録素子基板1は同図に示すような2つ構成に限られるものではなく、1枚構成あるいは3枚以上の構成や異なるサイズの記録素子基板1を複数組み合わせる構成などがあり、各々の用途によって使い分けられている。   The recording element substrate 1 is not limited to the two configurations shown in the figure, and includes a single configuration, a configuration of three or more configurations, and a configuration in which a plurality of recording element substrates 1 of different sizes are combined. It is properly used depending on the purpose.

第1プレート2はアルミニウム、アルミニウム合金、セラミックス等の材料から成り、記録素子基板1における吐出発熱を効率良く放熱させるための放熱部材としての役割も担っている。   The first plate 2 is made of a material such as aluminum, an aluminum alloy, or ceramics, and also plays a role as a heat radiating member for efficiently radiating discharge heat generated in the recording element substrate 1.

この第1プレート2には記録素子基板1に記録液を供給するための共通液室2aと記録液供給口2bが形成されており、共通液室2aは記録素子基板1との接合面(以下は接合面2eと称す)から開口し、記録液供給口2bは第1プレート2の接合面2eと反対側の面(以下は裏面2fと称す)から開口するように形成されている。そして、記録素子基板1が第1プレート2の接合面2eに接合されると記録素子基板1の記録液室1aと第1プレート2の共通液室2aが連通される。   The first plate 2 is formed with a common liquid chamber 2a for supplying a recording liquid to the recording element substrate 1 and a recording liquid supply port 2b. The recording liquid supply port 2b is formed so as to open from the surface opposite to the bonding surface 2e of the first plate 2 (hereinafter referred to as the back surface 2f). When the recording element substrate 1 is bonded to the bonding surface 2e of the first plate 2, the recording liquid chamber 1a of the recording element substrate 1 and the common liquid chamber 2a of the first plate 2 are communicated.

また、第1プレート2の裏面2fから凹形状に開口するようにバッファ室2cが配設されており、バッファ室2c内に所望の空気が確保できるように容積設定されている。そして、バッファ室2cと共通液室2aは接続通路2dによって連通されている。接続通路2dは通路面積が小さく、流体の流動抵抗が大きくなるように設定されるとともに共通液室2a側の入り口が角形状になっていることから、共通液室2a内の記録液がバッファ室2c内へ容易に流れ込めないようになっている。さらに、毛細管力作用によって共通液室2aの壁面2g近傍に引き寄せられやすい記録液が接続通路2d内へ流動しないようにするため、接続通路2dと共通液室2aの壁面2gは離間して配設されている。   Further, the buffer chamber 2c is disposed so as to open in a concave shape from the back surface 2f of the first plate 2, and the volume is set so that desired air can be secured in the buffer chamber 2c. The buffer chamber 2c and the common liquid chamber 2a are communicated with each other through a connection passage 2d. Since the connecting passage 2d has a small passage area and is set so that the flow resistance of the fluid is increased and the entrance on the common liquid chamber 2a side has a square shape, the recording liquid in the common liquid chamber 2a is retained in the buffer chamber. It cannot flow easily into 2c. Further, the connection passage 2d and the wall surface 2g of the common liquid chamber 2a are arranged apart from each other so that the recording liquid that is easily drawn near the wall surface 2g of the common liquid chamber 2a due to the capillary force action does not flow into the connection passage 2d. Has been.

また、第1プレート2には第2プレート5が接着固定されており、この第2プレート5には記録素子基板1との実装干渉を避けるための開口部5aが形成されている。   A second plate 5 is bonded and fixed to the first plate 2, and an opening 5 a for avoiding mounting interference with the recording element substrate 1 is formed in the second plate 5.

シート電気配線基板3は記録素子基板1に対して電気的に接続されるように、第2プレート5の上面に接合保持されている。そして、シート電気配線基板3とコンタクト端子配線基板4はACF、リードボンディング、ワイヤボンディング、パターンニング、コネクタなどの手段によって接続される。   The sheet electrical wiring substrate 3 is bonded and held on the upper surface of the second plate 5 so as to be electrically connected to the recording element substrate 1. The sheet electrical wiring board 3 and the contact terminal wiring board 4 are connected by means such as ACF, lead bonding, wire bonding, patterning, and connector.

上記した電気配線部(シート電気配線基板3とコンタクト端子配線基板4を接続した一連の配線部)は記録素子基板1に記録液を吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板1に対応する電気配線と液体噴射記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子4aとを有している。そして、この外部信号入力端子4aを有するコンタクト端子配線基板4は流路部材6の背面に位置決め固定されている。   The above-described electrical wiring portion (a series of wiring portions in which the sheet electrical wiring substrate 3 and the contact terminal wiring substrate 4 are connected) applies an electrical signal for discharging the recording liquid to the recording element substrate 1. 1 and an external signal input terminal 4a for receiving an electric signal from the liquid jet recording apparatus main body. The contact terminal wiring board 4 having the external signal input terminal 4 a is positioned and fixed on the back surface of the flow path member 6.

本構成では、電気配線部がシート電気配線基板3とコンタクト端子配線基板4に分割された構成であるが、シート電気配線基板3とコンタクト端子配線基板4を同一部材で形成する電気配線部段の構成にしても構わない。   In this configuration, the electric wiring portion is divided into the sheet electric wiring substrate 3 and the contact terminal wiring substrate 4. However, the electric wiring portion of the electric wiring portion forming the sheet electric wiring substrate 3 and the contact terminal wiring substrate 4 with the same member is used. You may make it a structure.

流路部材6には不図示の多孔質部材が接合されており、多孔質部材は第1プレート2との接合部の反対側に接合されている。そして、この多孔質部材によって不図示の記録液貯蔵タンクから供給される記録液内の塵埃の侵入を抑えることができるようになっている。   A porous member (not shown) is joined to the flow path member 6, and the porous member is joined to the opposite side of the joint portion with the first plate 2. The porous member can suppress the intrusion of dust in the recording liquid supplied from a recording liquid storage tank (not shown).

シール部材7は第1プレート2の記録液供給口2bと流路部材6の記録液流路6aとをシール接続して両者を連通させるもので、ゴム、エラストマーなどの材料によって形成される。シール部材7の上流側に設けられた第1ガイドスリーブ7aが流路部材6の下流側に設けられた第1位置決めスリーブ6bに挿入された後に、第1プレート2と流路部材6がビス8によって固定接続されると、シール部材7は第1プレート2と流路部材6によって挟持圧縮されるため、第1プレート2の記録液供給口2bと流路部材6の記録液流路6aとがシール部材7の連通路7bに接続されるとともに完全にシールされるようになる。つまり、第1ガイドスリーブ7aが第1位置決めスリーブ6aに挿入されて位置決めされるため、流路部材6の記録液流路6aとシール部材7の連通路7bは容易に相対位置決めできる構成となっている。   The seal member 7 seals the recording liquid supply port 2b of the first plate 2 and the recording liquid flow path 6a of the flow path member 6 so as to communicate with each other, and is formed of a material such as rubber or elastomer. After the first guide sleeve 7 a provided on the upstream side of the seal member 7 is inserted into the first positioning sleeve 6 b provided on the downstream side of the flow path member 6, the first plate 2 and the flow path member 6 are screwed 8. Since the seal member 7 is nipped and compressed by the first plate 2 and the flow path member 6, the recording liquid supply port 2b of the first plate 2 and the recording liquid flow path 6a of the flow path member 6 are connected. It is connected to the communication path 7b of the seal member 7 and completely sealed. That is, since the first guide sleeve 7a is inserted into the first positioning sleeve 6a and positioned, the recording liquid flow path 6a of the flow path member 6 and the communication path 7b of the seal member 7 can be easily positioned relatively. Yes.

このようにして、流路部材6に搭載された記録液貯蔵タンク(不図示)から供給された記録液は不図示の多孔質部材から流路内へ進入して第1プレート2の共通液室2aを経て、記録素子基板1の記録液室1aを介してノズル部へ供給される。   In this way, the recording liquid supplied from the recording liquid storage tank (not shown) mounted on the flow path member 6 enters the flow path from the porous member (not shown) and enters the common liquid chamber of the first plate 2. Through 2a, the ink is supplied to the nozzle portion via the recording liquid chamber 1a of the recording element substrate 1.

また、シール部材7には第1プレート2の裏面2fに開口されているバッファ室2cを閉塞させてシールするための栓部7eが配設されており、シール部材7の第2ガイドスリーブ7dが流路部材6の第2位置決めスリーブ6cに挿入された後に、第1プレート2と流路部材6がビス8によって固定接続されると、シール部材7は第1プレート2と流路部材6によって挟持圧縮されるため、第1プレート2のバッファ室2cの開口部はシール部材6の栓部7eによって閉塞されることになる。   Further, the sealing member 7 is provided with a plug portion 7e for closing and sealing the buffer chamber 2c opened in the back surface 2f of the first plate 2, and the second guide sleeve 7d of the sealing member 7 is provided. After the first plate 2 and the flow path member 6 are fixedly connected by the screws 8 after being inserted into the second positioning sleeve 6 c of the flow path member 6, the seal member 7 is sandwiched between the first plate 2 and the flow path member 6. Since the compression is performed, the opening of the buffer chamber 2 c of the first plate 2 is blocked by the plug portion 7 e of the seal member 6.

上記したように、記録ユニット部102とホルダー部103を結合することによって、第1プレート2のバッファ室2cの開口部が閉塞されて所望の容量の空気を貯蔵する領域が確保されるようになることから、本発明によれば、バッファ室を閉塞させるための専用工程を個別に設定する必要はなく、製造工程を簡略化できる。   As described above, by coupling the recording unit portion 102 and the holder portion 103, the opening of the buffer chamber 2c of the first plate 2 is closed to secure a region for storing a desired volume of air. Therefore, according to the present invention, it is not necessary to individually set a dedicated process for closing the buffer chamber, and the manufacturing process can be simplified.

さらに、記録ユニット部102とホルダー部103の結合工程以前までは第1プレート2のバッファ室2cは共通液室2aから第1プレート2の裏面2fまで貫通していることから、洗浄液はバッファ室2c内へ容易に流し込めるようになり、バッファ室2c内および接続通路2d内は十分に洗浄されるようになる。したがって、印字不良を誘発する塵などの不純物がバッファ室から確実に除去されるため、高品位な画像形成が可能となる。   Further, before the step of joining the recording unit portion 102 and the holder portion 103, since the buffer chamber 2c of the first plate 2 penetrates from the common liquid chamber 2a to the back surface 2f of the first plate 2, the cleaning liquid is stored in the buffer chamber 2c. Thus, the buffer chamber 2c and the connection passage 2d can be sufficiently cleaned. Therefore, since impurities such as dust that cause printing defects are reliably removed from the buffer chamber, high-quality image formation is possible.

以上説明したように、本発明はバッファ室2cと共通液室2aとを直接連通させることなく、両者の中継に接続通路2dを配設するとともに接続通路2dの流体の流動抵抗を大きくすることによって、バッファ室内2cの空気と共通液室2a内の記録液の置換が抑制されることになるため、環境変動に左右されることなくバッファ室2c内には常時所望容量の空気が確保されるようになる。   As described above, the present invention does not directly connect the buffer chamber 2c and the common liquid chamber 2a, but by disposing the connection passage 2d at the relay between them and increasing the flow resistance of the fluid in the connection passage 2d. The replacement of the air in the buffer chamber 2c with the recording liquid in the common liquid chamber 2a is suppressed, so that a desired volume of air is always secured in the buffer chamber 2c regardless of environmental fluctuations. become.

したがって、前の吐出によって発生するインク供給系の振動によって生じるメニスカス振動を軽減させることができる。これによって、メニスカス位置は次の吐出までに所定の位置に復帰するようになり、次の吐出も安定した液滴噴射が得られるようになり、良好な吐出特性を有する液体噴射記録ヘッドを提供することが可能となる。   Therefore, meniscus vibration caused by vibration of the ink supply system generated by the previous ejection can be reduced. As a result, the meniscus position returns to a predetermined position before the next discharge, and stable liquid droplet ejection can be obtained for the next discharge, thereby providing a liquid jet recording head having good discharge characteristics. It becomes possible.

なお、本実施形態では接続通路2dがバッファ室2cと共通液室2aとを中継して連通するような構成であるが、接続通路2dがバッファ室2cと記録液供給口2bとを中継して連通するような構成にしたり、バッファ室2cと記録液流路6aとを中継して連通するような構成にしても良く、このような構成にしても同等の効果が得られる。   In this embodiment, the connection passage 2d is configured to relay and communicate between the buffer chamber 2c and the common liquid chamber 2a. However, the connection passage 2d relays between the buffer chamber 2c and the recording liquid supply port 2b. It may be configured to communicate with each other, or may be configured to relay and communicate between the buffer chamber 2c and the recording liquid flow path 6a. Even with such a configuration, the same effect can be obtained.

図5は本発明の実施例3に係る液体噴射記録ヘッドの断面図、図6は実施例2に係るバッファ室の構成を説明するための部分分解斜視図である。   FIG. 5 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a partially exploded perspective view for explaining the configuration of the buffer chamber according to the second embodiment.

前記実施例1はバッファ室を第1プレート2の裏面2fから凹形状に開口したものであるが、例えば第1プレート2がセラミックス粉末成形で形成されるような場合、第1プレート2は共通液室2a側とバッファ室2c側の相対する両側からプレス成形されるため、粉末充填の均一性および離型抵抗性が悪化するとともに金型構造が複雑になってしまう欠点がある。   In the first embodiment, the buffer chamber is opened in a concave shape from the back surface 2f of the first plate 2. For example, when the first plate 2 is formed by ceramic powder molding, the first plate 2 is a common liquid. Since press molding is performed from opposite sides of the chamber 2a side and the buffer chamber 2c side, there are disadvantages that uniformity of powder filling and mold release resistance are deteriorated and the mold structure is complicated.

また、前記実施例1では、バッファ室2cの容量を大きくする場合、バッファ室2cの開口面積を大きくすることが必要となり、開口面積を大きくすることは記録素子基板1の記録液室1a間のピッチ設定を広げることになり、これが記録素子基板1の小型化を阻害することになる。   In the first embodiment, when the capacity of the buffer chamber 2 c is increased, it is necessary to increase the opening area of the buffer chamber 2 c, and increasing the opening area between the recording liquid chambers 1 a of the recording element substrate 1. This increases the pitch setting, and this hinders the downsizing of the recording element substrate 1.

上記課題を鑑みて、本実施例2はシール部材7にバッファ室を設けるように構成したものである。   In view of the above problems, the second embodiment is configured such that a buffer chamber is provided in the seal member 7.

以下に図5乃至図6に基づいて、本発明の実施例2を前記実施例1と同一部分には同一の番号を付して説明する。   The second embodiment of the present invention will be described below with the same reference numerals assigned to the same parts as in the first embodiment, based on FIGS.

7fはシール部材7の栓部に凹形状で開口されるバッファ室で、2dは第1プレート2の裏面2fから第1プレート2の共通液室2aまで貫通する接続通路であり、バッファ室7fと接続通路2dは両者が対向する位置に形成される。   Reference numeral 7f denotes a buffer chamber opened in a concave shape in the stopper portion of the seal member 7, and reference numeral 2d denotes a connection passage penetrating from the back surface 2f of the first plate 2 to the common liquid chamber 2a of the first plate 2, The connection passage 2d is formed at a position where both faces each other.

シール部材7の第1ガイドスリーブ7aが流路部材6の第1位置決めスリーブ6bに挿入され、シール部材7の第2ガイドスリーブ7dが流路部材6の第2位置決めスリーブ6cに挿入された後に、第1プレート2と流路部材6がビス8によって固定接続されると、シール部材7は第1プレート2と流路部材6によって挟持圧縮されるため、第1プレート2の記録液供給口2bと流路部材6の記録液流路6aとがシール部材7の連通路7bに接続されて完全にシールされるようになる。一方、第1プレート2の接続通路2dとシール部材7のバッファ室7fも連通されて完全にシールされる。   After the first guide sleeve 7a of the seal member 7 is inserted into the first positioning sleeve 6b of the flow path member 6, and the second guide sleeve 7d of the seal member 7 is inserted into the second positioning sleeve 6c of the flow path member 6, When the first plate 2 and the flow path member 6 are fixedly connected by the screws 8, the seal member 7 is sandwiched and compressed by the first plate 2 and the flow path member 6, so that the recording liquid supply port 2b of the first plate 2 and The recording liquid flow path 6a of the flow path member 6 is connected to the communication path 7b of the seal member 7 so as to be completely sealed. On the other hand, the connection passage 2d of the first plate 2 and the buffer chamber 7f of the seal member 7 are also communicated and completely sealed.

以上説明したように、本実施例2によれば、バッファ室7fがシール部材7に、接続通路2dが第1プレート2に分割して配設されるとともに、シール部材7の栓部から凹形状に開口されたバッファ室7fが第1プレート2、シール部材7、流路部材6を組み付けることによってバッファ室7fと接続通路2dがシールされて連通するような構成であることから、接続通路2dを長い通路に設定することができる。   As described above, according to the second embodiment, the buffer chamber 7f is divided into the seal member 7 and the connection passage 2d is divided into the first plate 2 and is recessed from the plug portion of the seal member 7. Since the buffer chamber 7f that is open to the buffer chamber 7f is connected to the connection passage 2d by assembling the first plate 2, the seal member 7, and the flow path member 6, the connection passage 2d is Can be set to a long passage.

すなわち、接続通路2dが長くて狭い通路に設定されることによって、接続通路2d内の流体の流動抵抗が大きくなり、液体噴射記録ヘッドが高温環境下に長期間放置されて場合であっても、バッファ室入り口付近の壁面に蒸発した水滴が付着し壁面の濡れ性が増しても、バッファ室内の空気とその周辺のインクとの置換が抑制されることになる。   That is, by setting the connection passage 2d to be a long and narrow passage, the flow resistance of the fluid in the connection passage 2d increases, and even when the liquid jet recording head is left in a high temperature environment for a long time, Even if evaporated water droplets adhere to the wall surface in the vicinity of the buffer chamber entrance and the wettability of the wall surface increases, the replacement of the air in the buffer chamber with the surrounding ink is suppressed.

また、第1プレート2がセラミックス粉末成形で形成されるような場合であっても、第1プレート2は共通液室2a側の一方向からのみプレス成形されるようになるため、離型抵抗性は小さくなる上、粉末充填の均一化制御が容易となり、また金型構造も簡単になる。   Further, even when the first plate 2 is formed by ceramic powder molding, the first plate 2 is press-molded only from one direction on the common liquid chamber 2a side. In addition, the uniformity of powder filling can be easily controlled, and the mold structure can be simplified.

また、バッファ室の7fの凹形状段差を大きく設定することにより、バッファ室7fの空気容積を大きくすることが容易に実施さきるようになる。
さらに、記録素子基板1の共通液室1a間ピッチを狭小化して、記録素子基板1の小型化を図る場合には、それに合致するように接続通路2dを小さくすれば良く、記録素子基板1の小型化を容易に図ることができるようになる。
In addition, it is easy to increase the air volume of the buffer chamber 7f by setting the concave step of the buffer chamber 7f large.
Further, when the recording element substrate 1 is reduced in size by narrowing the pitch between the common liquid chambers 1a of the recording element substrate 1, the connection passage 2d may be made small so as to match it. Miniaturization can be easily achieved.

図7は本発明の実施例3に係る液体噴射記録ヘッドの断面図である。   FIG. 7 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to Embodiment 3 of the present invention.

本実施例はバッファ室を第1プレート2とシール部材7に分割して配設することによって、液体噴射記録ヘッド全体を大きくすることなく、限られたスペース内でバッファ室の空間容積を大きく設定するものである。   In this embodiment, the buffer chamber is divided into the first plate 2 and the seal member 7, so that the space volume of the buffer chamber is set large in a limited space without increasing the entire liquid jet recording head. To do.

以下に図7に基づいて、本発明の実施例3を前記実施例と同一部分には同一の番号を付して説明する。   The third embodiment of the present invention will be described below with the same reference numerals assigned to the same parts as those in the first embodiment, based on FIG.

7fはシール部材7の栓部に凹形状で開口されるバッファ室(以下は第2バッファ室と称す)であり、第2バッファ室7fは第1プレート2の裏面2fから凹形状に開口されるバッファ室2c(以下は第1バッファ室と称す)に対向する位置に形成される。   Reference numeral 7f denotes a buffer chamber (hereinafter referred to as a second buffer chamber) opened in a concave shape in the stopper portion of the seal member 7, and the second buffer chamber 7f is opened in a concave shape from the back surface 2f of the first plate 2. It is formed at a position facing the buffer chamber 2c (hereinafter referred to as the first buffer chamber).

シール部材7の第1ガイドスリーブ7aが流路部材6の第1位置決めスリーブ6bに挿入され、シール部材7の第2ガイドスリーブ7dが流路部材6の第2位置決めスリーブ6cに挿入された後に、第1プレート2と流路部材6がビス8によって固定接続されると、シール部材7は第1プレート2と流路部材6によって挟持圧縮されるため、第1プレート2の記録液供給口2bと流路部材6の記録液流路6aとがシール部材の連通路7bに接続されて完全にシールされるようになる。一方、第1プレート2の第1バッファ室2cの開口部とシール部材7の第2バッファ室7fの開口部は連通されて完全にシールされることになる。   After the first guide sleeve 7a of the seal member 7 is inserted into the first positioning sleeve 6b of the flow path member 6, and the second guide sleeve 7d of the seal member 7 is inserted into the second positioning sleeve 6c of the flow path member 6, When the first plate 2 and the flow path member 6 are fixedly connected by the screws 8, the seal member 7 is sandwiched and compressed by the first plate 2 and the flow path member 6, so that the recording liquid supply port 2b of the first plate 2 and The recording liquid flow path 6a of the flow path member 6 is connected to the communication path 7b of the seal member to be completely sealed. On the other hand, the opening of the first buffer chamber 2c of the first plate 2 and the opening of the second buffer chamber 7f of the seal member 7 are communicated and completely sealed.

以上説明したように、本実施例3によればバッファ室が第1プレート2の裏面2fから凹形状に開口する第1バッファ室2cとシール部材7の栓部から凹形状に開口される第2バッファ室7fに分割して配設されることから、液体噴射記録ヘッド全体を大きくすることなく、バッファ室の空間容積を容易に大きく設定することができる。   As described above, according to the third embodiment, the buffer chamber is opened from the back surface 2f of the first plate 2 in a concave shape and the second buffer hole is opened from the plug portion of the seal member 7 in a concave shape. Since the buffer chamber 7f is divided and disposed, the space volume of the buffer chamber can be easily set large without enlarging the entire liquid jet recording head.

したがって、吐出周波数の高い形態や吐出口配列数の大きい形態などのようにインク振動が増大し大きなバッファ室空間容積を必要とする液体噴射記録ヘッドにおいては、本実施例3のような実施形態が有効となる。   Therefore, in a liquid jet recording head that requires a large buffer chamber space volume, such as a form with a high ejection frequency or a form with a large number of ejection port arrays, an embodiment like the third embodiment is used. It becomes effective.

図8は本発明の実施例3に係る液体噴射記録ヘッドの断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to Embodiment 3 of the present invention.

本実施例はシール部材7の栓部に凹形状で開口されるバッファ室を配設するとともに、バッファ室空間の一部の領域を可撓性膜で形成することによって、この可撓性膜の伸縮作用によってインク振動を減衰させるものである。   In this embodiment, a buffer chamber opened in a concave shape is disposed in the stopper portion of the seal member 7, and a part of the buffer chamber space is formed of a flexible membrane. The ink vibration is attenuated by the expansion and contraction action.

以下に図8に基づいて、本発明の実施例4を前記実施例と同一部分には同一の番号を付して説明する。   The fourth embodiment of the present invention will be described below with the same reference numerals assigned to the same parts as in the previous embodiment, based on FIG.

7gはシール部材7の栓部に凹形状で開口されるバッファ室7fの一平面に形成される可撓性膜である。シール部材7はゴム、エラストマーなどの材料によって形成されていることから、所望の面を薄い肉厚に設定することによって容易に伸縮可能な可撓性膜7gを形成することができる。   7 g is a flexible film formed on one plane of the buffer chamber 7 f opened in a concave shape in the stopper portion of the seal member 7. Since the seal member 7 is formed of a material such as rubber or elastomer, the flexible film 7g that can be easily expanded and contracted can be formed by setting a desired surface to a thin thickness.

また、可撓性膜7gに接するバッファ室7fと反対側の領域には空気溜り部6eが配設されていることから、可撓性膜7gが伸縮動作しやすいようになっている。   In addition, since the air reservoir 6e is disposed in a region opposite to the buffer chamber 7f that is in contact with the flexible membrane 7g, the flexible membrane 7g is easily expanded and contracted.

上記した構成によって、インク振動が発生した場合、バッファ室内の空気の圧力変動に連動して可撓性膜7gを伸縮するため、インク振動の減衰効果を増大させることができる。   With the above-described configuration, when ink vibration occurs, the flexible film 7g expands and contracts in conjunction with the pressure fluctuation of the air in the buffer chamber, so that the ink vibration attenuation effect can be increased.

なお、本実施例では所定の壁面を薄肉厚に設定することで可撓性膜を形成しているが、可撓性膜の形成はこのような構成に限られるものではなく、可撓性を有する別部材をシール部材7に接合するような構成にしても良い。   In this embodiment, the flexible film is formed by setting the predetermined wall surface to be thin, but the formation of the flexible film is not limited to such a configuration, and the flexibility is not limited. Another member may be configured to be joined to the seal member 7.

以上説明したように、バッファ室7fの一平面を可撓性膜7gで形成することにより、バッファ室内空気の膨張収縮作用と可撓性膜の伸縮作用の併用によりインク振動の減衰効果を増大させることができる。したがって、小さいバッファ室空間がであっても効果的にインク振動を減衰させることができるようになる。   As described above, by forming one plane of the buffer chamber 7f with the flexible film 7g, the damping effect of the ink vibration is increased by the combined use of the expansion / contraction action of the buffer chamber air and the expansion / contraction action of the flexible film. be able to. Therefore, even if there is a small buffer chamber space, ink vibration can be effectively attenuated.

本発明の実施例1に係る液体噴射記録ヘッドの断面図。1 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施例1の一例であるバッファ室の構成を説明するための部分分解斜視図。The partial exploded perspective view for demonstrating the structure of the buffer chamber which is an example of Example 1 of this invention. 本発明に係る液体噴射記録ヘッドの分解斜視図。1 is an exploded perspective view of a liquid jet recording head according to the present invention. 本発明に係る液体噴射記録ヘッドの組立斜視図。FIG. 3 is an assembled perspective view of a liquid jet recording head according to the present invention. 本発明の実施例2に係る液体噴射記録ヘッドの断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to a second embodiment of the invention. 本発明の実施例2の一例であるバッファ室の構成を説明するための部分分解斜視図。The partial exploded perspective view for demonstrating the structure of the buffer chamber which is an example of Example 2 of this invention. 本発明の実施例3に係る液体噴射記録ヘッドの断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to a third embodiment of the invention. 本発明の実施例4に係る液体噴射記録ヘッドの断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view of a liquid jet recording head according to Embodiment 4 of the invention. 従来例の液体噴射記録ヘッドにおける所定の吐出をしたときの吐出パルスに対するインク流路内の圧力振動波形を示した波形図。FIG. 9 is a waveform diagram showing a pressure oscillation waveform in an ink flow path with respect to an ejection pulse when a predetermined ejection is performed in a liquid jet recording head of a conventional example. 従来例の液体噴射記録ヘッドにおけるバッファ室形状を示す部分断面図。FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing a buffer chamber shape in a liquid jet recording head of a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

1 記録素子基板
2 支持基板
2a 共通液室
2b 記録液供給口
2c バッファ室、第1バッファ室
2d 接続通路
6 流路部材
6b 第1位置決めスリーブ
6c 第2位置決めスリーブ
7 シール部材
7a 第1ガイドスリーブ
7b 連通路
7d 第2ガイドスリーブ
7e 栓部
7f バッファ室、第2バッファ室
7g 可撓性膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Recording element board | substrate 2 Support substrate 2a Common liquid chamber 2b Recording liquid supply port 2c Buffer chamber, 1st buffer chamber 2d Connection channel 6 Flow path member 6b 1st positioning sleeve 6c 2nd positioning sleeve 7 Seal member 7a 1st guide sleeve 7b Communication path 7d Second guide sleeve 7e Plug portion 7f Buffer chamber, second buffer chamber 7g Flexible membrane

Claims (6)

記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記支持基板における前記記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数のバッファ室を形成し、
前記供給通路あるいは前記共通液室と前記バッファ室との間を接続するための接続通路が配設されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements that generate energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position and the recording element A liquid having a supply passage for supplying a recording liquid to the substrate and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A discharge unit;
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
Forming one or a plurality of buffer chambers for accommodating a gas that opens in a concave shape from a surface opposite to a surface to which the recording element substrate is bonded in the support substrate;
A liquid jet recording head, wherein a connection passage for connecting the supply passage or the common liquid chamber and the buffer chamber is provided.
前記バッファ室の開口部が栓部材により閉塞されることによって、前記バッファ室は前記接続通路のみ連通された袋小路状態となることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。   2. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the buffer chamber is closed by a plug member when the opening of the buffer chamber is closed by a plug member. 3. 前記栓部材は前記シール部材によって一体的に形成され、前記シール部材が前記液体吐出ユニットの前記支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記バッファ室の開口部が前記栓部材によって閉塞されるような構成にすることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射記録ヘッド。   The plug member is integrally formed by the seal member, and when the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the opening of the buffer chamber is closed by the plug member. The liquid jet recording head according to claim 2, wherein the liquid jet recording head is configured as described above. 記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記シール部材には前記支持基板と接合する面から凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数のバッファ室を配設し、
前記支持基板には前記シール部材と接合する面から前記供給通路もしくは前記共通液室まで貫通する接続通路が形成され、
前記シール部材が前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記バッファ室の開口部がシールされるとともに、前記バッファ室と前記接続通路が連通されるように構成されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements that generate energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position and the recording element A liquid having a supply passage for supplying a recording liquid to the substrate and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A discharge unit;
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
The sealing member is provided with one or a plurality of buffer chambers for containing a gas that opens in a concave shape from a surface bonded to the support substrate.
The support substrate is formed with a connection passage penetrating from the surface joined to the seal member to the supply passage or the common liquid chamber,
When the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the opening of the buffer chamber is sealed, and the buffer chamber and the connection passage are communicated with each other. A liquid jet recording head.
記録液を吐出するための吐出口と、記録液を吐出するためのエネルギーを発生する複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板を所定位置に接合固定するとともに前記記録素子基板に記録液を供給するための供給通路と、前記供給通路の下流側に配設されて記録液を一時的に貯蔵する共通液室が形成される板状部材からなる支持基板とを有する液体吐出ユニットと、
記録液を貯溜する液体容器が着脱保持可能で前記液体容器から前記液体吐出ユニットに記録液を供給する記録液通路を有するホルダーユニットと、
前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持されて前記支持基板の供給通路と前記ホルダーユニットの記録液通路とをシールするシール部材を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記支持基板には、前記記録素子基板を接合する面と反対側の面より凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数の第1バッファ室と、
前記第1バッファ室から前記供給通路あるいは前記共通液室までを連通させるための接続通路が形成され、
前記シール部材には前記第1バッファ室の凹形状開口部と対向する位置であって、前記支持基板と接合する面から凹形状に開口する気体を収容させる1つ乃至複数の第2バッファ室が配設されて、
前記シール部材が前記液体吐出ユニットの支持基板と前記ホルダーユニットによって挟持された際に、前記第1バッファ室の凹形状開口部と前記第2バッファ室の凹形状の開口部が連通してシールされるように構成されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
An ejection port for ejecting the recording liquid, a recording element substrate provided with a plurality of recording elements that generate energy for ejecting the recording liquid, and bonding and fixing the recording element substrate at a predetermined position and the recording element A liquid having a supply passage for supplying a recording liquid to the substrate and a support substrate made of a plate-like member that is disposed downstream of the supply passage and in which a common liquid chamber for temporarily storing the recording liquid is formed. A discharge unit;
A holder unit having a recording liquid passage for supplying a recording liquid from the liquid container to the liquid ejection unit, the liquid container storing the recording liquid being detachably held;
In a liquid jet recording head having a seal member sandwiched between a support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit and sealing a supply passage of the support substrate and a recording liquid passage of the holder unit,
The support substrate includes one or more first buffer chambers that contain a gas that opens in a concave shape from the surface opposite to the surface to which the recording element substrate is bonded.
A connection passage is formed for communicating from the first buffer chamber to the supply passage or the common liquid chamber;
The seal member includes one or more second buffer chambers that are opposed to the concave opening of the first buffer chamber and that accommodate gas that opens in a concave shape from a surface to be bonded to the support substrate. Arranged,
When the seal member is sandwiched between the support substrate of the liquid discharge unit and the holder unit, the concave opening of the first buffer chamber and the concave opening of the second buffer chamber communicate and are sealed. A liquid jet recording head configured as described above.
前記シール材に配設されるバッファ室の一部が可撓性膜によって形成されていることを特徴とする請求項4乃至請求項5のいずれかにに記載の液体噴射記録ヘッド。   6. The liquid jet recording head according to claim 4, wherein a part of the buffer chamber disposed in the sealing material is formed of a flexible film.
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