JP2006106760A - 平板表示装置製造システム - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 31
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 20
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 20
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 14
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 210000001699 lower leg Anatomy 0.000 description 3
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011554 ferrofluid Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
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Abstract
【課題】本発明は、クレーンが走行路に沿って走行する時に走行路に発生する気流が積載棚部に流入しないようにする、平板表示装置製造システムを提供することにある。
【解決手段】このために、本発明による平板表示装置製造システムは、走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして前記クレーンの両側部に設置されて、前記クレーンへの気流の流入を遮断する遮断板を含む。
【選択図】図１
【解決手段】このために、本発明による平板表示装置製造システムは、走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして前記クレーンの両側部に設置されて、前記クレーンへの気流の流入を遮断する遮断板を含む。
【選択図】図１
Description
本発明は平板表示装置製造システムに関し、特に、一つの工程ラインから他の工程ラインにカセットを搬送するためのカセット搬送システムに関する。
平板表示装置は、現在一般的に使用されている表示装置であって、液晶表示装置（ＬＣＤ、liquid crystal display）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ、organic light emitting diode）表示装置など、様々な種類がある。
このうちの液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示板、及びこれらの間に挿入されている液晶層からなる。したがって、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列して、液晶層を透過する光の透過率を調節して画像を表示する。
このうちの液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示板、及びこれらの間に挿入されている液晶層からなる。したがって、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列して、液晶層を透過する光の透過率を調節して画像を表示する。
このような液晶表示装置は、前記複数の基板が複数の工程ラインをたどる間に完成される。特に、このような基板を一つの工程ラインから他の工程ラインに案内するためには、カセット搬送システムが使用される。ここで、カセットは、複数の基板を収容する役割を果たす。
また、従来のカセット搬送システムは、走行路、カセットを搬入して走行路に沿って移動するクレーン、そして移動したカセットを積載する積載棚を含む。
また、従来のカセット搬送システムは、走行路、カセットを搬入して走行路に沿って移動するクレーン、そして移動したカセットを積載する積載棚を含む。
従来のカセット搬送システムの動作は下記の通りである。
クレーンは、ある一つの工程ラインからカセットを搬入する。そして、クレーンは、走行路に沿って次の工程ラインに移動する。そして、移動したクレーンは、次の工程ラインの積載棚にカセットを搬出する。
クレーンは、ある一つの工程ラインからカセットを搬入する。そして、クレーンは、走行路に沿って次の工程ラインに移動する。そして、移動したクレーンは、次の工程ラインの積載棚にカセットを搬出する。
しかし、従来のカセット搬送システムは、ガラス基板が大型化されるのに伴って、下記のような問題点が生じた。
まず、異物（Particle）がガラス基板に安着する確率が増加する。そして、カセットの大きさが大きくなる。
また、カセットを搬送するクレーンが大型化されるので、つまりクレーンの断面積が大きくなるので、クレーンが走行路に沿って移動する時に、走行路の周辺の気流が乱流状態になりやすい。
まず、異物（Particle）がガラス基板に安着する確率が増加する。そして、カセットの大きさが大きくなる。
また、カセットを搬送するクレーンが大型化されるので、つまりクレーンの断面積が大きくなるので、クレーンが走行路に沿って移動する時に、走行路の周辺の気流が乱流状態になりやすい。
つまり、走行路の異物が乱流によって積載棚に流入して、流入した異物がガラス基板の回路部にくっつくようになる。したがって、液晶表示装置に不良が起こる。
本発明の技術的課題は、クレーンの走行時に走行路の気流が積載棚部に流入しないようにする、平板表示装置製造システムを提供することにある。
本発明の技術的課題は、クレーンの走行時に走行路の気流が積載棚部に流入しないようにする、平板表示装置製造システムを提供することにある。
本願第１発明の一実施例による平板表示装置製造システムは、走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして前記クレーンの両側部に設置されて、前記クレーンへの気流の流入を遮断する遮断板を含む。クレーンの両側面に配置された遮断板は、クレーンの走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化するとともに、偏気流に含まれているパーティクルが積載棚部に流入するのを最少化することができる。これにより、基板が異物により汚染されるのを防止することができる。
また、本願第２発明は、第１発明において、前記クレーンは、水平フレーム、前記水平フレーム上に垂直に設置されている垂直フレーム、前記水平及び垂直フレームを前記走行路に沿って移動させる走行部、そして前記垂直フレームに設置されて、前記カセットを前記積載棚部に搬入及び搬出する搬送部を含むのが好ましい。水平及び垂直に可動であるため、積載棚部の任意の位置からカセットを搬入及び搬出することができる。
また、本願第３発明は、第２発明において、前記搬送部は、水平支持部、そして前記水平支持部上に設置されているロボットアームを含み、前記ロボットアームは、回転駆動部を含み、前記回転駆動部は、駆動軸及び回転リングを含み、前記駆動軸及び前記回転リングの間には、磁性シールが設置されるのが好ましい。駆動軸と回転リングとの間の磁性流体シールは、回転駆動部内で発生するパーティクルが外部に流出するのを防止する。
また、本願第４発明は、第２発明において、前記クレーンは、前記垂直フレームの外側面に設置されて、垂直フレームをカバーリングするクレーンカバーをさらに含むのが好ましい。カバーは、フレーム内部に異物が混入するのを防止する。
また、本願第５発明は、第４発明において、前記クレーンカバーは、前記クレーンの走行時の空気抵抗を減少させることができるように流線形又は三角形からなることができる。クレーンカバーを流線形又は三角形にすることで、クレーンの後面で形成される渦流を低減させることができるようになり、究極的に基板の汚染を最少化することができるようになる。また、クレーンカバーが流線形からなれば、クレーンの前面に形成される気流も分散されないので、渦流によって分散された異物による基板の汚染などをより確実に防止することができる。
また、本願第５発明は、第４発明において、前記クレーンカバーは、前記クレーンの走行時の空気抵抗を減少させることができるように流線形又は三角形からなることができる。クレーンカバーを流線形又は三角形にすることで、クレーンの後面で形成される渦流を低減させることができるようになり、究極的に基板の汚染を最少化することができるようになる。また、クレーンカバーが流線形からなれば、クレーンの前面に形成される気流も分散されないので、渦流によって分散された異物による基板の汚染などをより確実に防止することができる。
また、本願第６発明は、第５発明において、前記クレーンカバーは、前記クレーンの走行時の形状抵抗を減少させることができるようにその表面に形成された複数の凸部又は凹部を有することができる。複数の凸部又は凹部を有するクレーンカバーにより、クレーンの後面で形成される渦流を低減させるとともに、クレーンの前面に形成される気流の分散を減少させて、基板の汚染をより確実に防止することができる。
また、本願第７発明は、第２発明において、前記クレーンを案内するためのワイヤー形状のレールをさらに含み、前記クレーンは、その上部に設置されて、前記レールが挿入されるチューブ形状のガイターをさらに含み、前記レール及び前記ガイターは、必要時にだけ接触するのが好ましい。このようなガイダーは、レールに沿って決められた位置に走行するようにクレーンをガイドする。特に、ガイターはレールと必要時にだけ接触するようにすることによって、レール及びガイターの接触によるパーティクルの発生を防止する。
また、本願第８発明は、第２発明において、前記クレーンは、前記垂直フレームに設置されて、前記搬送部を昇降させる昇降部をさらに含むのが好ましい。
また、本願第９発明は、第８発明において、前記昇降部は、少なくとも２つの駆動モータ、そして前記駆動モータを連結する駆動ベルトを含み、前記駆動ベルトは、前記駆動モータとの接触時にパーティクルが発生しない防塵材質からなるのが好ましい。駆動ベルトが防塵材質からなることにより、さらに基板のパーティクルによる汚染を防止することができる。
また、本願第９発明は、第８発明において、前記昇降部は、少なくとも２つの駆動モータ、そして前記駆動モータを連結する駆動ベルトを含み、前記駆動ベルトは、前記駆動モータとの接触時にパーティクルが発生しない防塵材質からなるのが好ましい。駆動ベルトが防塵材質からなることにより、さらに基板のパーティクルによる汚染を防止することができる。
また、本願第１０発明は、第３発明において、前記水平支持部には、前記搬送部で発生する異物をフィルタリングした後に排出する第１ファンフィルターユニットがさらに設置されるのが好ましい。第１ファンフィルターユニットにより、搬送部で発生する異物をフィルタリングした後に排出することで、積載棚部への異物の排出を防止し、基板の異物による汚染を防止することができる。
また、本願第１１発明は、第２発明において、前記垂直フレームの下部には、前記垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出する第２ファンフィルターユニットがさらに設置されるのが好ましい。第２ファンフィルターユニットにより、垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出することで、積載棚部への異物の排出を防止し、基板の異物による汚染を防止することができる。
また、本願第１２発明は、第２発明において、前記垂直フレームの側面には、前記垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出する第３ファンフィルターユニットがさらに設置されるのが好ましい。第３ファンフィルターユニットにより、垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出することで、積載棚部への異物の排出を防止し、基板の異物による汚染を防止することができる。
また、本願第１３発明は、第２発明において、前記水平フレームには、前記クレーンで発生する異物をフィルタリングした後に排出する第４ファンフィルターユニットがさらに設置されるのが好ましい。第４ファンフィルターユニットにより、水平フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出することで、積載棚部への異物の排出を防止し、基板の異物による汚染を防止することができる。
また、本願第１４発明は、第７発明において、前記クレーンの前記垂直フレームのうちの前記ガイダーに相応する部位には、吸気溝がさらに形成され、前記クレーンの前記垂直フレームの内部には、前記吸気溝を通じて外部の異物を吸入する吸気ファンがさらに設置されるのが好ましい。例えば、ガイダー及びレールが接触する場合に、接触によるパーティクルを吸気溝及び吸気ファンを通じて排出することができる。
また、本願第１５発明は、第２発明において、前記走行路の両端のうちの前記クレーンの走行方向を基準にして前方に位置した一端に相応する積載棚部には、風道が形成されるのが好ましい。このような風道により、クレーンが走行して押してきた偏気流を外部に放出することができる。よって、偏気流によりパーティクルが舞い上がって積載棚部にパーティクルが流入するのを防止することができる。
また、本願第１６発明は、第１５発明において、前記風道には、第１排気ファンが設置されるのが好ましい。第１排気ファンにより、風道からの偏気流を速かに除去することができる。結局、異物が積載棚部に流入するのを防止することができる。また、このような第１排気ファンは、クレーンが移動する間に発生する気流の逆流を防止する。
また、本願第１７発明は、第１発明において、前記積載棚部及び前記クレーンはクリーン領域に位置して、前記積載棚部の内部には、垂直下降気流が通過することができるように格子が垂直に形成され、前記積載棚部の上端のうちの前記格子に相応する部位には、前記クリーン領域に外部の異物が流入するのを防止するように前記垂直下降気流を形成する第５ファンフィルターユニットが設置されるのが好ましい。クレーンが走行路に沿って移動する瞬間に偏気流が積載棚部に流入するが、格子が垂直に形成されることでこの積載棚部に流入した偏気流はそのまま垂直下方に流れる。そして、第５ファンフィルターユニットにより、この垂直方向の偏気流を除去することで、クレーンの走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化するとともに、偏気流に含まれているパーティクルが積載棚部に流入するのを最少化することができる。
また、本願第１７発明は、第１発明において、前記積載棚部及び前記クレーンはクリーン領域に位置して、前記積載棚部の内部には、垂直下降気流が通過することができるように格子が垂直に形成され、前記積載棚部の上端のうちの前記格子に相応する部位には、前記クリーン領域に外部の異物が流入するのを防止するように前記垂直下降気流を形成する第５ファンフィルターユニットが設置されるのが好ましい。クレーンが走行路に沿って移動する瞬間に偏気流が積載棚部に流入するが、格子が垂直に形成されることでこの積載棚部に流入した偏気流はそのまま垂直下方に流れる。そして、第５ファンフィルターユニットにより、この垂直方向の偏気流を除去することで、クレーンの走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化するとともに、偏気流に含まれているパーティクルが積載棚部に流入するのを最少化することができる。
また、本願第１８発明は、第１７発明において、前記積載棚部の下端の下部分には、前記クリーン領域より清潔でない一般領域が位置して、前記格子は前記一般領域までのびて、前記格子のうちの前記一般領域に位置した部位には、前記一般領域の空気を前記格子に流入させる第２排気ファンが設置されるのが好ましい。垂直下降気流の垂直方向の進行を助け、垂直下降気流が即座に排出するのを助ける。よって、垂直下降気流が上昇して積載棚部に流入し、基板が汚染されるのを防止する。
また、本願第１９発明は、第２発明において、前記クレーンは、サーボボックスをさらに含み、前記サーボボックスは、二つの部分に分離されて、前記クレーンの前記垂直フレームの両側に各々設置されるのが好ましい。サーボボックスを分離して配置することで、クレーンの正面断面積を小さくして、空気抵抗による偏気流及び乱流の発生確率を減少させることができる。特に、クレーンの上部断面積が顕著に減少するので、クレーンの上部で形成される偏気流を大きく減少させることができる。
また、本願第２０発明は、第２発明において、前記クレーンは、少なくとも２つのキャパシターボックスをさらに含み、前記キャパシターボックスは、前記水平フレームに水平方向に沿って配置されるのが好ましい。キャパシターボックスを分離して配置することで、クレーンの正面断面積を小さくして、空気抵抗による偏気流及び乱流の発生確率を減少させることができる。特に、クレーンの上部断面積が顕著に減少するので、クレーンの上部で形成される偏気流を大きく減少させることができる。
また、本願第２１発明は、第１発明において、前記カセットの底面には、ＳＵＳ材質の第１摩耗防止部材が形成されるのが好ましい。ＳＵＳを用いることによって、異物が発生する源泉（source）を除去することができる。
また、本願第２２発明は、第１発明において、前記積載棚部のカセット接触部上には、ＳＵＳ材質の第２摩耗防止部材が形成されるのが好ましい。ＳＵＳを用いることによって、異物が発生する源泉（source）を除去することができる。
また、本願第２２発明は、第１発明において、前記積載棚部のカセット接触部上には、ＳＵＳ材質の第２摩耗防止部材が形成されるのが好ましい。ＳＵＳを用いることによって、異物が発生する源泉（source）を除去することができる。
また、本願第２３発明は、第１発明において、前記積載棚部は、溝部を有するフレームからなり、前記溝部は、カバーによってカバーリングされるのが好ましい。溝部によりフレームの強度を補強することができる。
また、本願第２４発明は、第１発明において、本発明の一実施例による平板表示装置製造システムは、外部の異物が前記走行路に流入するのを防止するために前記走行路の両端に形成される外部カバーをさらに含むのが好ましい。
また、本願第２４発明は、第１発明において、本発明の一実施例による平板表示装置製造システムは、外部の異物が前記走行路に流入するのを防止するために前記走行路の両端に形成される外部カバーをさらに含むのが好ましい。
また、本願第２５発明は、第１発明において、前記外部カバーには、前記走行路の気流が外部に排気されるように排気ホール、排気ダクト又は排気ダンパーが形成されるのが好ましい。レーンが走行路のいずれか一端に移動する時に発生する気流が外部カバーによってぶつかって乱流に変わるようになるが、排気ホール、排気ダクト又は排気ダンパーはこのような乱流を排出する。よって、乱流により異物が積載棚部内のカセットに流入するのを防止することができる。
また、本願第２６発明は、第２５発明において、前記排気ホール、排気ダクト又は排気ダンパーは、前記外部カバーの下部に形成されるのが好ましい。排気ホールが外部カバーの下部に形成されることで、外部カバーの排気ホールを通じて排出された気流が外部カバーの上部を通じて走行路中へ再び流入するのを防止する。これにより、気流が積載棚部のカセットにそのまま流入するのを防止することができる。
一方、本発明の他の実施例による平板表示装置製造システムは、走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーンを含み、前記クレーンの設定部に、前記クレーンの走行時の空気抵抗または形状抵抗を減少させることができるように所定の形状を有するクレーンカバーが設置される。
一方、本発明の他の実施例による平板表示装置製造システムは、走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして外部の異物が前記走行路に流入するのを防止する、前記走行路の両端に設置される外部カバーを含み、前記外部カバーには、前記走行路の気流が外部に排気されるように排気ホールが形成される。
本発明の一実施例による平板表示装置製造システムによれば、異物による液晶表示装置の不良を最少化することができる。
本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が、本発明を容易に実施することができるように、本発明の実施例について、添付した図面を参照して詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相異した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
それでは、本発明の一実施例による平板表示装置製造システムについて、図面を参照して詳細に説明する。
それでは、本発明の一実施例による平板表示装置製造システムについて、図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例によるカセット搬送システムを示した斜視図であり、図２は本発明の一実施例によるカセット搬送システムによって搬送されるカセットを示した斜視図であり、図３は、図１の水平フレーム１２０をより詳細に記載したものであり、本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちの積載棚部を示した斜視図である。
図１に示したように、本発明の一実施例によるカセット搬送システムは、走行路３００の両側に位置して、カセット１０を収容する積載棚部１００、前記走行路３００に沿って移動するクレーン２００を含む。
図１に示したように、本発明の一実施例によるカセット搬送システムは、走行路３００の両側に位置して、カセット１０を収容する積載棚部１００、前記走行路３００に沿って移動するクレーン２００を含む。
前記積載棚部１００は、垂直フレーム１１０及び水平フレーム１２０からなる。このような垂直及び水平フレーム１１０、１２０は、通電性を有するアルミニウム材質からなる。
図２に示したように、カセット１０は、アルミニウム（Ａｌ）材質からなるのが好ましく、カセット１０の底面には、第１摩耗防止部材１１がさらに形成される。このような第１摩耗防止部材１１は、ポリカーボネート（poly carbonate）やＳＵＳ（Steel Use Stainless、ステンレス鋼）材質からなる。したがって、カセット１０の搬送時に第１摩耗防止部材１１によって積載棚部１００との接触による摩耗を防止する。また、ＳＵＳ材質の第１摩耗防止部材１１及びアルミニウム材質の積載棚部１００のフレーム１１０、１２０は通電性を有するので、カセット１０が積載棚部１００に接触する時に積載棚部１００の接地によってカセット１０の静電気が防止される。
図２に示したように、カセット１０は、アルミニウム（Ａｌ）材質からなるのが好ましく、カセット１０の底面には、第１摩耗防止部材１１がさらに形成される。このような第１摩耗防止部材１１は、ポリカーボネート（poly carbonate）やＳＵＳ（Steel Use Stainless、ステンレス鋼）材質からなる。したがって、カセット１０の搬送時に第１摩耗防止部材１１によって積載棚部１００との接触による摩耗を防止する。また、ＳＵＳ材質の第１摩耗防止部材１１及びアルミニウム材質の積載棚部１００のフレーム１１０、１２０は通電性を有するので、カセット１０が積載棚部１００に接触する時に積載棚部１００の接地によってカセット１０の静電気が防止される。
また、図３に示したように、前記積載棚部１００は、カセットと直接接触するカセット接触部１１２、フレーム１１０、１２０の強度を補強するための溝部１１１、そしてフレーム１１０、１２０の外面を囲むカバー１１５を含む。
前記カセット接触部１１２は、その上面にＳＵＳ材質の第２摩耗防止部材１１３が形成されることによって、第１摩耗防止部材との接触時に発生するパーティクル（particle）を最少化する。そして、前記カバー１１５は、溝部１１１に異物が流入するのを防止する。
前記カセット接触部１１２は、その上面にＳＵＳ材質の第２摩耗防止部材１１３が形成されることによって、第１摩耗防止部材との接触時に発生するパーティクル（particle）を最少化する。そして、前記カバー１１５は、溝部１１１に異物が流入するのを防止する。
それでは、図４乃至図６を参照して、前記クレーンを詳細に説明する。
前記クレーン２００は、カセット１０を搬入して、次の工程ラインに移動した後、カセット１０を積載棚部１００に搬出する。
図４は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンを示した縦断面図であり、図５は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンを示した斜視図である。
前記クレーン２００は、カセット１０を搬入して、次の工程ラインに移動した後、カセット１０を積載棚部１００に搬出する。
図４は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンを示した縦断面図であり、図５は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンを示した斜視図である。
図４及び図５に示したように、クレーン２００は、水平フレーム２１０、垂直フレーム２２０、搬送部２３０、走行部２４０、及び昇降部２７０からなる。
前記垂直フレーム２２０は、ポスト（Post）形態で水平フレーム２１０の上部に設置されている。
前記走行部２４０は、駆動モータ及び車輪を含む回転駆動部２４３を有して、水平フレーム２１０の下部に設置される。したがって、クレーン２００は、走行路３００に沿って移動することができる。
前記垂直フレーム２２０は、ポスト（Post）形態で水平フレーム２１０の上部に設置されている。
前記走行部２４０は、駆動モータ及び車輪を含む回転駆動部２４３を有して、水平フレーム２１０の下部に設置される。したがって、クレーン２００は、走行路３００に沿って移動することができる。
前記搬送部２３０は、カセット１０を積載棚部１００からクレーン２００に搬入したり、クレーン２００から積載棚部１００に搬出する役割を果たす。このような搬送部２３０は、水平支持部２３１、水平支持部２３１上に設置されていて、回転駆動部２３３を有するロボットアーム２３２からなる。ここで、ロボットアーム２３２は、カセット１０の底面と接触して、カセット１０を積載棚部１００に搬出したり積載棚部１００から搬入する役割を果たす。
前記昇降部２７０は、水平支持部２３１を上昇及び下降させる役割を果たす。このような昇降部２７０は、複数の駆動モータ２７１、２７２、及び複数の駆動モータ２７１、２７２を連結する駆動ベルト２７３を含む。特に、前記駆動ベルト２７３は、パーティクルの発生を防止する防塵材質からなるのが好ましい。
図６は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンの回転駆動部を示した拡大図である。
図６は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンの回転駆動部を示した拡大図である。
図６に示したように、搬送部の回転駆動部２３３及び走行部２４０の回転駆動部２４３の各々は、駆動軸２３３１、駆動軸２３３１の回転を円滑にするためのベアリング（Bearing）２３３２、及び回転リング２３３３を含む。
さらに、駆動軸２３３１と回転リング２３３３との間には、磁性流体シール（Ferro Fluid Seal）２３３４が設置される。このような磁性流体シールは、回転駆動部２３３、２４３内で発生するパーティクルが外部に流出するのを防止する。
さらに、駆動軸２３３１と回転リング２３３３との間には、磁性流体シール（Ferro Fluid Seal）２３３４が設置される。このような磁性流体シールは、回転駆動部２３３、２４３内で発生するパーティクルが外部に流出するのを防止する。
そして、前記ベアリング２３３２は、クリーニング用グリース（Grease）が入っているベアリングを使用するのが好ましい。
また、図４に示したように、搬送部２３０の内部で発生するパーティクルは、別途の第１ファンフィルターユニット２３４（fan filter unit、ＦＦＵ）を利用してフィルタリングされた後に排出されるのが好ましい。
また、図４に示したように、搬送部２３０の内部で発生するパーティクルは、別途の第１ファンフィルターユニット２３４（fan filter unit、ＦＦＵ）を利用してフィルタリングされた後に排出されるのが好ましい。
また、図４に示したように、走行部２４０の回転駆動部２４３で発生する異物が飛散しないように、回転駆動部２４３に駆動部カバー２４１が設置されるのが好ましい。
図４に示したように、前記クレーン２００は、その上部に形成されるチューブ形状のガイダー（Guider）２５０を含む。そしてガイダー２５０に対応してワイヤー形状のレール（Rail）２０が外部に別途に設置される。そして、レール２０は、ガイダー２５０に挿入される。このようなガイダー２５０は、レール２０に沿って決められた位置に走行するようにクレーン２００をガイドする。
図４に示したように、前記クレーン２００は、その上部に形成されるチューブ形状のガイダー（Guider）２５０を含む。そしてガイダー２５０に対応してワイヤー形状のレール（Rail）２０が外部に別途に設置される。そして、レール２０は、ガイダー２５０に挿入される。このようなガイダー２５０は、レール２０に沿って決められた位置に走行するようにクレーン２００をガイドする。
特に、ガイター２５０の内周面はレール２０の外周面と設定された間隔で離隔して位置している。これは、非常時にだけ接触するようにすることによって、レール２０及びガイター２５０の接触によるパーティクルの発生を防止するためである。
一方、図４に示したように、前記クレーン２００の垂直フレーム２２０は、その下部に設置された第２ファンフィルターユニット２２３をさらに含むことができる。したがって、このような第２ファンフィルターユニット２２３は、垂直フレーム２２０の内部にある異物をフィルタリングした後に外部に排出する。
一方、図４に示したように、前記クレーン２００の垂直フレーム２２０は、その下部に設置された第２ファンフィルターユニット２２３をさらに含むことができる。したがって、このような第２ファンフィルターユニット２２３は、垂直フレーム２２０の内部にある異物をフィルタリングした後に外部に排出する。
また、クレーン２００の垂直フレーム２２０は、ガイダー２５０に相応する部位に形成された吸気溝２２１、その内部に設置された吸気ファン２２２を含む。したがって、ガイダー２５０及びレール２０が接触する場合に、接触によるパーティクルを吸気溝２２１及び吸気ファン２２２を通じて垂直フレーム２２０の内部に吸入して、再び第２ファンフィルターユニット２２３を通じて垂直フレーム２２０からパーティクルをフィルタリングした後に排出する。
一方、垂直フレーム２２０の側面には、複数の第３ファンフィルターユニット２２５が追加的に設置されるのが好ましい。このような第３ファンフィルターユニット２２５は、駆動ベルト２７３によって発生した異物が搬送部２３０に流出するのを防止することができる。つまり、第３ファンフィルターユニット２２５の回転によって垂直フレーム２２０の内部の圧力が低くなるので、その圧力差によって駆動ベルト２７３によって発生した異物が搬送部２３０に流出しないようになる。
また、クレーン２００の垂直フレーム２２０は、その外側に設置されたクレーンカバー６１０をさらに含むことができる。さらに、このようなクレーンカバー６１０は、前記第３ファンフィルターユニット２２５をカバーリングする。これにより、垂直フレーム２２０の内部の気流は第３ファンフィルターユニット２２５及びクレーンカバー６１０によってクレーン２００の底面へ誘導される。結局、気流がクレーン２００の底面へ誘導されるので、異物が搬送部２３０に流入するのをより確実に防止することができる。
また、このようなクレーンカバー６１０は、クレーン２００の走行時の空気抵抗（air resistance）を減少させることができるように流線形からなることができる。下記でその理由を具体的に説明する。
垂直フレーム２２０の横断面は四角形であるので、クレーン２００の走行時に垂直フレーム２２０の前面によって大きな空気抵抗が誘発され、このような空気抵抗によって垂直フレームの後面には大きな渦流が形成され、このような渦流によって分散された異物が基板を汚染するようになる。したがって、空気抵抗を減少させるために垂直フレーム２２０の前面に装着されたクレーンカバー６１０を流線形にすれば、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになり、究極的に基板の汚染を最少化することができるようになる。また、クレーンカバー６１０が流線形からなれば、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
垂直フレーム２２０の横断面は四角形であるので、クレーン２００の走行時に垂直フレーム２２０の前面によって大きな空気抵抗が誘発され、このような空気抵抗によって垂直フレームの後面には大きな渦流が形成され、このような渦流によって分散された異物が基板を汚染するようになる。したがって、空気抵抗を減少させるために垂直フレーム２２０の前面に装着されたクレーンカバー６１０を流線形にすれば、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになり、究極的に基板の汚染を最少化することができるようになる。また、クレーンカバー６１０が流線形からなれば、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
以下、図７乃至図１１を参照して、クレーンカバーの様々な変形例を説明する。
図７は本発明の一実施例の第１変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図８は本発明の一実施例の第２変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図９は本発明の一実施例の第３変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図１０は図９の要部を示した平面図であり、そして図１１は本発明の一実施例の第４変形例によるカセット搬送システムのうちのクレーンの要部を示した平面図である。
図７は本発明の一実施例の第１変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図８は本発明の一実施例の第２変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図９は本発明の一実施例の第３変形例によるカセット搬送システムのクレーンを示した斜視図であり、図１０は図９の要部を示した平面図であり、そして図１１は本発明の一実施例の第４変形例によるカセット搬送システムのうちのクレーンの要部を示した平面図である。
図７に示したように、本発明の一実施例の第１変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の空気抵抗を減少させるために三角形のクレーンカバー６２０を含む。
したがって、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになるので、基板の汚染を最少化することができるようになる。また、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
したがって、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになるので、基板の汚染を最少化することができるようになる。また、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
図８に示したように、本発明の一実施例の第２変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の空気抵抗を減少させるためにその上部が下方向に設定された角度θで傾いた形状のクレーンカバー６３０を含む。具体的に、設定された角度θは２０度乃至６０度であることができる。そして、前記クレーンカバー６３０は、空気抵抗を減少させるために流線形または三角形からなることができる。
したがって、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになるので、基板の汚染を最少化することができるようになる。また、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
図９及び図１０に示したように、本発明の一実施例の第３変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の形状抵抗（form drag）を減少させるためにその表面に複数の凸部が形成されたクレーンカバー６４０を含む。そして、前記クレーンカバー６４０は、空気抵抗を減少させるために流線形または三角形からなることができる。
図９及び図１０に示したように、本発明の一実施例の第３変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の形状抵抗（form drag）を減少させるためにその表面に複数の凸部が形成されたクレーンカバー６４０を含む。そして、前記クレーンカバー６４０は、空気抵抗を減少させるために流線形または三角形からなることができる。
したがって、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになるので、基板の汚染を最少化することができるようになる。また、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
図１１に示したように、本発明の一実施例の第４変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の形状抵抗を減少させるためにその表面に複数の凹部が形成されたクレーンカバー６５０を含む。そして、前記クレーンカバー６５０は、空気抵抗を減少させるために流線形または三角形からなることができる。
図１１に示したように、本発明の一実施例の第４変形例によるカセット搬送システムのクレーンは、クレーンの走行時の形状抵抗を減少させるためにその表面に複数の凹部が形成されたクレーンカバー６５０を含む。そして、前記クレーンカバー６５０は、空気抵抗を減少させるために流線形または三角形からなることができる。
したがって、垂直フレーム２２０の後面で形成される渦流を低減させることができるようになるので、基板の汚染を最少化することができるようになる。また、垂直フレーム２２０の前面に形成される気流も分散されないので、基板の汚染をより確実に防止することができる。
一方、図４、図５、及び図７乃至図９に示したように、クレーン２００は、その下部に設置される複数の第４ファンフィルターユニット２２６をさらに含むことができる。このような第４ファンフィルターユニット２２６は、強い吸入力でクレーン２００についている異物を除去するために、異物をクレーン２００の底面部に流出させる。
一方、図４、図５、及び図７乃至図９に示したように、クレーン２００は、その下部に設置される複数の第４ファンフィルターユニット２２６をさらに含むことができる。このような第４ファンフィルターユニット２２６は、強い吸入力でクレーン２００についている異物を除去するために、異物をクレーン２００の底面部に流出させる。
一方、図１２は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちのクレーンを示した図面であって、クレーンの移動方向を基準にしてクレーンの正面を示した正面図であり、図１３は本発明の一実施例によるカセット搬送システムを示した平面図であり、図１４は本発明の一実施例によるカセット搬送システムを示した正面図であり、図１５は本発明の一実施例によるカセット搬送システムのうちの積載棚部を示した断面図である。
図１５に示したように、本発明の一実施例によるカセット搬送システムは、クリーン領域１０００、及びクリーン領域１０００より清潔でない一般領域２０００に分けられる。特に、前記クリーン領域１０００には積載棚部１００及びクレーン２００が設置されていて、クリーン領域１０００は、積載棚部１００の上端１００１と下端１００２との間の領域として定義される。一般領域２０００は、積載棚部１００の下端１００２の下の領域として定義される。そして、垂直下降気流が通過することができるように、複数の格子（Grate）１０１が積載棚部１００の内部に垂直に形成されて、一般領域２０００までのびている。ここで、格子１０１は、積載棚とカセット１０との間の間隔、積載棚とクレーン２００との間の間隔、及びクレーンが移動する空間を示している。よって、このような間隔及び空間は垂直流路となる。なお、図１５において、ａは積載棚部と外部とを隔離させるための例えばハウジングであり、ｂは、例えば運搬されたカセットの基板を当該工程ラインに供給するための移送ロボットである。
一方、図１３示したように、クレーン２００が走行路３００に沿って走行する場合には、偏気流が発生して、クレーン２００の左側及び右側に設置されている積載棚部１００に流入する。
つまり、クレーン２００が走行路３００に沿って移動する瞬間に偏気流が積載棚部１００に流入して、積載棚部１００に流入した偏気流は、図１４に示したように、そのまま垂直下方に流れる。
つまり、クレーン２００が走行路３００に沿って移動する瞬間に偏気流が積載棚部１００に流入して、積載棚部１００に流入した偏気流は、図１４に示したように、そのまま垂直下方に流れる。
このような偏気流の積載棚部１００への流入量は、クレーン２００がカセット１０を積載した状態で走行する場合、高速で走行する場合、及びカセット１０が上昇及び下降される場合により一層増加する。
このような偏気流の積載棚部１００への流入を防止するために、図１または図１２に示したように、クレーン２００の両側面に遮断板５００を設置するのが好ましい。クレーン２００の両側面に配置された遮断板５００は、クレーン２００の走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化するとともに、偏気流に含まれているパーティクルが積載棚部１００に流入するのを最少化することができる。
このような偏気流の積載棚部１００への流入を防止するために、図１または図１２に示したように、クレーン２００の両側面に遮断板５００を設置するのが好ましい。クレーン２００の両側面に配置された遮断板５００は、クレーン２００の走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化するとともに、偏気流に含まれているパーティクルが積載棚部１００に流入するのを最少化することができる。
一方、図１３に示したように、クレーン２００が走行する走行路３００の両端のうちのクレーン２００の走行方向の終わり部分３１０に相応する積載棚部１００には、風道１９０が形成されている。このような風道１９０は、クレーン２００が走行して押してきた偏気流を外部に放出するための気体の流出路である。しかし、このような偏気流は、風道１９０を経ながら乱流に変わるので、積載棚部１００の格子１０１とぶつかる地点では格子１０１を通じて流れる下降気流の傾斜角が大きくなる。したがって、外部のパーティクルが積載棚部１００に流入する。結局、これを防止するために、風道１９０で気流が通過する格子のオープン率は他の格子のオープン率に比べて大きく形成するのが好ましい。
また、図１３及び図１４に示したように、風道１９０に第１排気ファン１５０を設置することによって、前記偏気流を速かに除去することができる。結局、異物が積載棚部１００に流入するのを防止することができる。また、このような第１排気ファン１５０は、クレーン２００が移動する間に発生する気流の逆流を防止する。
一方、図１５に示したように、積載棚部１００の上端１００１のうちの前記格子１０１に相応する部位には、クリーン領域１０００に外部のパーティクルが飛散するのを防止するように、垂直下降気流を形成する複数の第５ファンフィルターユニット１００３が設置されている。このような第５ファンフィルターユニット１００３が積載棚部１００の上端１００１に緻密に設置されることによって、垂直下降気流が円滑に形成されることができる。さらに、図１５に示したように、格子１０１のうちの一般領域２０００に位置した部位に、第２排気ファン２００２、２００３がさらに設置されることによって、一般領域２０００の外部の気流を格子１０１に流入させることができる。これにより、図１５に示すように、垂直下降気流の垂直方向の進行を助け、垂直下降気流が即座に排出するのを助ける。よって、垂直下降気流が上昇して積載棚部に流入し、基板が汚染されるのを防止する。
一方、図１５に示したように、積載棚部１００の上端１００１のうちの前記格子１０１に相応する部位には、クリーン領域１０００に外部のパーティクルが飛散するのを防止するように、垂直下降気流を形成する複数の第５ファンフィルターユニット１００３が設置されている。このような第５ファンフィルターユニット１００３が積載棚部１００の上端１００１に緻密に設置されることによって、垂直下降気流が円滑に形成されることができる。さらに、図１５に示したように、格子１０１のうちの一般領域２０００に位置した部位に、第２排気ファン２００２、２００３がさらに設置されることによって、一般領域２０００の外部の気流を格子１０１に流入させることができる。これにより、図１５に示すように、垂直下降気流の垂直方向の進行を助け、垂直下降気流が即座に排出するのを助ける。よって、垂直下降気流が上昇して積載棚部に流入し、基板が汚染されるのを防止する。
一方、図１２に示したように、クレーン２００のサーボボックス（Servo AMP Box）２６０は、分離及び小型化して垂直フレーム２２０の両側に近接するように設置する。そして、キャパシターボックス（Capacitor Box）２８０は、小型化して水平フレーム２１０に水平方向に沿って配置する。したがって、クレーン２００の正面断面積を小さくすることができる。結局、クレーン２００の正面断面積を小さくすることによって、空気抵抗による偏気流及び乱流の発生確率を減少させることができる。特に、クレーンの上部断面積が顕著に減少するので、クレーンの上部で形成される偏気流を大きく減少させることができる。
一方、図示しなかったが、積載棚部１００の上部及び走行路３００などにパーティクルカウントプローブ（count probe）を設置して、異物の発生率をモニターすることもできる。
一方、図１６は本発明の一実施例によるカセット搬送システムであって、システムにさらに形成される外部カバーを示した斜視図であり、図１７は本発明の一実施例の第５変形例によるカセット搬送システムを示した斜視図であり、そして図１８は本発明の一実施例の第６変形例によるカセット搬送システムを示した斜視図である。
一方、図１６は本発明の一実施例によるカセット搬送システムであって、システムにさらに形成される外部カバーを示した斜視図であり、図１７は本発明の一実施例の第５変形例によるカセット搬送システムを示した斜視図であり、そして図１８は本発明の一実施例の第６変形例によるカセット搬送システムを示した斜視図である。
本発明の一実施例によるカセット搬送システムは、図１６に示したように、異物が走行路３００に流入するのを防止するために、走行路３００の両端に設置される外部カバー５０００をさらに含むことができる。しかし、クレーン２００が走行路３００のいずれか一端に移動する時に発生する気流が外部カバー５０００によってぶつかって乱流に変わるようになり、このような乱流によって異物が積載棚部１００内のカセット１０に流入する。
したがって、図１６に示したように、このような乱流の発生を防止するために、外部カバー５０００に複数の排気ホール５５００を形成するのが好ましい。結局、クレーン２００が走行路３００のいずれか一端に移動する時に発生する気流は、外部カバー５０００の排気ホール５５００を通じて排気される。
しかし、外部カバー５０００の排気ホール５５００を通じて排出された気流が外部カバー５０００の上部を通じて走行路３００中へ再び流入して、このように流入した気流が積載棚部１００のカセット１０にそのまま流入する、したがって、このような現象を防止するために、複数の排気ホール５５００は外部カバー５０００の下部に形成されるのが好ましい。
しかし、外部カバー５０００の排気ホール５５００を通じて排出された気流が外部カバー５０００の上部を通じて走行路３００中へ再び流入して、このように流入した気流が積載棚部１００のカセット１０にそのまま流入する、したがって、このような現象を防止するために、複数の排気ホール５５００は外部カバー５０００の下部に形成されるのが好ましい。
図１７に示したように、本発明の一実施例の第５変形例によるカセット搬送システムは、前記乱流の発生を防止するために、複数の排気ダクト６５００が設置された外部カバー６０００をさらに含むことができる。結局、クレーン２００が走行路３００のいずれか一端に移動する時に発生する気流は、外部カバー６０００の排気ダクト６５００を通じて排気される。
しかし、外部カバー６０００の排気ダクト６５００を通じて排出された気流が外部カバー６０００の上部を通じて走行路３００中へ再び流入して、このように流入した気流が積載棚部１００のカセット１０にそのまま流入する。したがって、このような現象を防止するために、複数の排気ダクト６５００は前記排気ホール５５００と同様に外部カバー６０００の下部に設置されるのが好ましい。
図１８に示したように、本発明の一実施例の第６変形例によるカセット搬送システムは、前記乱流の発生を防止するために、複数の排気ダンパー７５００が設置された外部カバー７０００をさらに含むことができる。結局、クレーン２００が走行路３００のいずれか一端に移動する時に発生する気流は、外部カバー７０００の排気ダクト７５００を通じて排気される。
このような排気ダクト７５００は、走行路３００に沿って走行するクレーン２００によって発生する圧縮気流が隣接する積載棚部１００に流入せずに自然に外部カバー７０００の外部に排気されるようにすると同時に、外部カバー７０００の外の空気が走行路３００にある外部カバー７０００中へ流入するのを防止する。
しかし、外部カバー７０００の排気ダンパー７５００を通じて排出された気流が外部カバー７０００の上部を通じて走行路３００中へ再び流入して、このように流入した気流が積載棚部１００のカセット１０にそのまま流入する。したがって、このような現象を防止するために、複数の排気ダンパー７５００は前記排気ホール５５００と同様に外部カバー７０００の下部に設置されるのが好ましい。
しかし、外部カバー７０００の排気ダンパー７５００を通じて排出された気流が外部カバー７０００の上部を通じて走行路３００中へ再び流入して、このように流入した気流が積載棚部１００のカセット１０にそのまま流入する。したがって、このような現象を防止するために、複数の排気ダンパー７５００は前記排気ホール５５００と同様に外部カバー７０００の下部に設置されるのが好ましい。
上述のような構成により、クレーンの両側面に遮断板を設置することによって、クレーンの走行時に発生する気流が積載棚部に流入するのを最少化することができる。
また、本発明の一実施例によれば、風道に排気ファンを設置することによって、クレーンが走行路の両端を往復移動する場合に発生する圧縮気流の逆流を防止することができる。
また、本発明の一実施例によれば、風道に排気ファンを設置することによって、クレーンが走行路の両端を往復移動する場合に発生する圧縮気流の逆流を防止することができる。
また、本発明の一実施例によれば、クレーンの前／後面に所定の形状のクレーンカバーを設置することによって、クレーンの走行時のクレーンの空気抵抗または形状抵抗を最少化することができ、窮極的に乱流の発生を抑制して、基板が異物によって汚染されるのを防止することができる。
また、本発明の一実施例によれば、クレーンの異物をフィルタリングした後に排出する複数のファンフィルターユニットを設置することによって、基板が異物によって汚染されるのを防止することができる。
また、本発明の一実施例によれば、クレーンの異物をフィルタリングした後に排出する複数のファンフィルターユニットを設置することによって、基板が異物によって汚染されるのを防止することができる。
また、本発明の一実施例によれば、カセットをＳＵＳ及びＡｌで製造することによって、異物が発生する源泉（source）を除去することができる。
また、本発明の一実施例によれば、排気ホールが形成された外部カバーを設置することによって、クレーンの移動によって発生する気流が積載棚部に流入せずに自然に外部カバーの排気ホールを通じて排気されることができる。
また、本発明の一実施例によれば、排気ホールが形成された外部カバーを設置することによって、クレーンの移動によって発生する気流が積載棚部に流入せずに自然に外部カバーの排気ホールを通じて排気されることができる。
したがって、異物による液晶表示装置の不良を最少化することができる。
以上で、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点が理解できる。したがって、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も、本発明の権利範囲に属する。
以上で、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点が理解できる。したがって、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も、本発明の権利範囲に属する。
１０ カセット
１１ 第１摩耗防止部材
１００ 積載棚部
１０１ 格子
１０００ クリーン領域
１００３ 第５ファンフィルターユニット
１１０ 積載棚部の垂直フレーム
１１１ 溝部
１１２ カセット接触部
１１５ カバー
１５０ 第１排気ファン
１２０ 積載棚部の水平フレーム
２０ レール
２００ クレーン
２０００ 一般領域
２００２、２００３ 第２排気ファン
２１０ クレーンの水平フレーム
２２０ クレーンの垂直フレーム
２２１ 吸気溝
２２２ 吸気ファン
２２３ 第２ファンフィルターユニット
２２５ 第３ファンフィルターユニット
２２６ 第４ファンフィルターユニット
２３０ 搬送部
２３１ 水平支持部
２３２ ロボットアーム
２３３、２４３ 回転駆動部
２３４ 第１ファンフィルターユニット
２３３１ 駆動軸
２３３２ ベアリング
２３３３ 回転リング
２３３４ 磁性流体シール
２４０ 走行部
２４１ 駆動部カバー
２５０ ガイダー
２６０ サーボボックス
２７０ 昇降部
２７１、２７２ 駆動モータ
２７３、２２４ 駆動ベルト
２８０ キャパシターボックス
３００ 走行路
５００ 遮断板
５０００、６０００、７０００ 外部カバー
５５００ 排気ホール
６１０、６２０、６３０、６４０、６５０ クレーンカバー
６５００ 排気ダクト
７５００ 排気ダンパー
１１ 第１摩耗防止部材
１００ 積載棚部
１０１ 格子
１０００ クリーン領域
１００３ 第５ファンフィルターユニット
１１０ 積載棚部の垂直フレーム
１１１ 溝部
１１２ カセット接触部
１１５ カバー
１５０ 第１排気ファン
１２０ 積載棚部の水平フレーム
２０ レール
２００ クレーン
２０００ 一般領域
２００２、２００３ 第２排気ファン
２１０ クレーンの水平フレーム
２２０ クレーンの垂直フレーム
２２１ 吸気溝
２２２ 吸気ファン
２２３ 第２ファンフィルターユニット
２２５ 第３ファンフィルターユニット
２２６ 第４ファンフィルターユニット
２３０ 搬送部
２３１ 水平支持部
２３２ ロボットアーム
２３３、２４３ 回転駆動部
２３４ 第１ファンフィルターユニット
２３３１ 駆動軸
２３３２ ベアリング
２３３３ 回転リング
２３３４ 磁性流体シール
２４０ 走行部
２４１ 駆動部カバー
２５０ ガイダー
２６０ サーボボックス
２７０ 昇降部
２７１、２７２ 駆動モータ
２７３、２２４ 駆動ベルト
２８０ キャパシターボックス
３００ 走行路
５００ 遮断板
５０００、６０００、７０００ 外部カバー
５５００ 排気ホール
６１０、６２０、６３０、６４０、６５０ クレーンカバー
６５００ 排気ダクト
７５００ 排気ダンパー
Claims (28)
- 走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、
前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして
前記クレーンの両側部に設置されて、前記クレーンへの気流の流入を遮断する遮断板を含む、平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンは、
水平フレーム、
前記水平フレーム上に垂直に設置されている垂直フレーム、
前記水平及び垂直フレームを前記走行路に沿って移動させる走行部、そして
前記垂直フレームに設置されて、前記カセットを前記積載棚部に搬入及び搬出する搬送部を含む、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記搬送部は、
水平支持部、そして
前記水平支持部上に設置されているロボットアームを含み、
前記ロボットアームは、回転駆動部を含み、
前記回転駆動部は、駆動軸及び回転リングを含み、
前記駆動軸及び前記回転リングの間には、磁性シールが設置されている、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンは、
前記垂直フレームの外側面に設置されて、垂直フレームをカバーリングするクレーンカバーをさらに含む、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンカバーは、前記クレーンの走行時の空気抵抗を減少させることができるように流線形又は三角形からなる、請求項４に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記クレーンカバーは、前記クレーンの走行時の形状抵抗を減少させることができるように複数の凸部又は凹部を有する、請求項５に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記クレーンを案内するためのワイヤー形状のレールをさらに含み、
前記クレーンは、その上部に設置されて、前記レールが挿入されるチューブ形状のガイターをさらに含み、
前記レール及び前記ガイダーは、必要時にだけ接触する、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンは、前記垂直フレームに設置されて、前記搬送部を昇降させる昇降部をさらに含む、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記昇降部は、
少なくとも２つの駆動モータ、そして
前記駆動モータを連結する駆動ベルトを含み、
前記駆動ベルトは、前記駆動モータとの接触時にパーティクルが発生しない防塵材質からなる、請求項８に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記水平支持部には、前記搬送部で発生する異物をフィルタリングした後に排出する第１ファンフィルターユニットがさらに設置される、請求項３に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記垂直フレームの下部には、前記垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出する第２ファンフィルターユニットがさらに設置される、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記垂直フレームの側面には、前記垂直フレームの内部の異物をフィルタリングした後に排出する第３ファンフィルターユニットがさらに設置される、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記水平フレームには、前記クレーンで発生する異物をフィルタリングした後に排出する第４ファンフィルターユニットがさらに設置される、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記クレーンの前記垂直フレームのうちの前記ガイダーに相応する部位には、吸気溝がさらに形成され、
前記クレーンの前記垂直フレームの内部には、前記吸気溝を通じて外部の異物を吸入する吸気ファンがさらに設置される、請求項７に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記走行路の両端のうちの前記クレーンの走行方向を基準にして前方に位置した一端に相応する積載棚部には、風道が形成される、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記風道には、第１排気ファンが設置される、請求項１５に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記積載棚部及び前記クレーンはクリーン領域に位置して、
前記積載棚部の内部には、垂直下降気流が通過することができるように格子が垂直に形成され、
前記積載棚部の上端のうちの前記格子に相応する部位には、前記クリーン領域に外部の異物が流入するのを防止するように前記垂直下降気流を形成する第５ファンフィルターユニットが設置される、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記積載棚部の下端の下部分には、前記クリーン領域より清潔でない一般領域が位置して、
前記格子は前記一般領域までのびて、
前記格子のうちの前記一般領域に位置した部位には、前記一般領域の空気を前記格子に流入させる第２排気ファンが設置される、請求項１７に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンは、サーボボックスをさらに含み、
前記サーボボックスは、二つの部分に分離されて、前記クレーンの前記垂直フレームの両側に各々設置されている、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記クレーンは、少なくとも２つのキャパシターボックスをさらに含み、
前記キャパシターボックスは、前記水平フレームに水平方向に沿って配置される、請求項２に記載の平板表示装置製造システム。 - 前記カセットの底面には、ＳＵＳ材質の第１摩耗防止部材が形成されている、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記積載棚部のカセット接触部上には、ＳＵＳ材質の第２摩耗防止部材が形成されている、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記積載棚部は、溝部を有するフレームからなり、
前記溝部は、カバーによってカバーリングされる、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。 - 外部の異物が前記走行路に流入するのを防止するために前記走行路の両端に設置される外部カバーをさらに含む、請求項１に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記外部カバーには、前記走行路の気流が外部に排気されるように排気ホール、排気ダクト又は排気ダンパーが形成される、請求項２４に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記排気ホール、排気ダクト又は排気ダンパーは、前記外部カバーの下部に形成される、請求項２５に記載の平板表示装置製造システム。
- 走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、そして
前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーンを含み、
前記クレーンの設定部に、前記クレーンの走行時の空気抵抗または形状抵抗を減少させることができるように所定の形状を有するクレーンカバーが設置される、平板表示装置製造システム。 - 走行路の両側に位置して、カセットが積載される積載棚部、
前記走行路に沿って移動して、前記カセットを搬入及び搬出するクレーン、そして
外部の異物が前記走行路に流入するのを防止する、前記走行路の両端に形成される外部カバーを含み、
前記外部カバーには、前記走行路の気流が外部に排気されるように排気ホールが形成される、平板表示装置製造システム。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20040080228 | 2004-10-08 | ||
| KR1020050021408A KR20060043647A (ko) | 2004-10-08 | 2005-03-15 | 카세트 스토킹 시스템 |
| KR1020050038782A KR101189269B1 (ko) | 2005-05-10 | 2005-05-10 | 평판 표시 장치의 제조 시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006106760A true JP2006106760A (ja) | 2006-04-20 |
| JP4545076B2 JP4545076B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=36145524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005294296A Expired - Fee Related JP4545076B2 (ja) | 2004-10-08 | 2005-10-07 | 平板表示装置製造システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20060078408A1 (ja) |
| JP (1) | JP4545076B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010192505A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Atel Corp | 基板搬送装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4228397B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2009-02-25 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫 |
| CN105414989A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-03-23 | 青岛科华钢结构有限公司 | 铁塔自动化生产线 |
| JP6900862B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2021-07-07 | 株式会社デンソーウェーブ | 移動ロボット |
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| JP2004039760A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Advanced Display Inc | 搬送車、製造装置及び搬送システム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993006695A1 (en) * | 1991-09-23 | 1993-04-01 | Z-Microsystems | Enhanced security system for computing devices |
-
2005
- 2005-10-07 US US11/246,360 patent/US20060078408A1/en not_active Abandoned
- 2005-10-07 JP JP2005294296A patent/JP4545076B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20060078408A1 (en) | 2006-04-13 |
| JP4545076B2 (ja) | 2010-09-15 |
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
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| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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