JP2006145849A - 検査用光学装置及び当該光学装置を備えた検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スペースを縮小可能で、汎用性の高い検査用光学装置を提供する。
【解決手段】レンズモジュール１０２に、所定位置に配置された検査用の被写体としての所定のパターンを投影する光学装置１であって、パターンが形成されたチャート１２と、レンズモジュール１００から見てチャート１２の背後側からチャート１２に光を照射する光源１１と、チャート１２と対物レンズ１０１との間に設けられる物体距離変換レンズ３とを備え、物体距離変換レンズ３は、チャート１２からの光をチャート１２よりも遠方からの光と同等の光に変換するように、チャート１２からの各同族光束ＬＦをそれぞれ放射状に射出するとともに、各同族光束ＬＦの主光線ＭＬが互いに収束するように各同族光束ＬＦを射出し、チャート１２は前記所定位置よりもレンズモジュール１００に近い位置に配置される。
【選択図】図４

Description

本発明は、撮像装置等の検査対象に所定パターンの光を照射する光学装置及び当該光学装置を備えた検査装置に関する。

光源からの光によりチャートのパターンをカメラに向けて投影し、そのパターンが正確に撮像されるか否かにより、カメラの解像度等の各種の検査を行う装置や当該検査装置に利用される光学装置が知られている。

一般に、このような検査装置では、カメラとチャートとの距離はカメラの実際の使用状態を想定して設定され、例えば、３００ｍｍ〜２０００ｍｍに設定される。また、チャートも比較的大きなもの、例えば１〜２ｍ四方のものが利用される。従って、検査装置は広いスペースを必要とした。

一方、カメラの自動焦点装置の検査にあたり、検査に必要なスペースを縮小する技術として特許文献１に記載の技術がある。特許文献１の技術では、チャートと検査対象のカメラとの間に測定用レンズ３１を配置するとともに、測定用レンズと測定用レンズの前側焦点との間でチャートを移動させ、見かけ上遠方に位置するチャートの偽像に対して自動焦点装置を動作させて検査することにより、スペースの縮小を図っている。
特開平１０−３９１９５号公報

特許文献１の技術では、測定用レンズから射出された光束の主光線の傾き、カメラに入射する光量等の種々の値は、測定用レンズとカメラとの位置関係やカメラの絞りによって左右されることになる。つまり、これらの設定次第では、所望の偽像を得ることができない。しかしながら、特許文献１では、これらの設定方法に関しては開示も示唆もない。

一方、検査に用いられる光学装置は、種々の検査対象に対応して利用できるように汎用性を有することが望ましい。特に、近年、携帯電話機に利用されるカメラ等、カメラの小型化が著しく、カメラのバリエーションも豊富であり、汎用性の確保が重要である。しかし、特許文献１の技術は、測定用レンズと検査対象のカメラを保持する台座部とが一体となった装置であり、このような課題の示唆もない。

本発明の目的は、スペースの縮小が可能で、汎用性の高い検査用光学装置又は当該光学装置を備えた検査装置を提供することにある。

本発明の第１の観点の検査用光学装置は、対物レンズと当該対物レンズを介して被写体を撮像する撮像素子とを含む検査対象に、前記検査対象に対して所定位置に配置された検査用の被写体としての所定のパターンを投影する光学装置であって、前記対物レンズに対向して配置され、前記パターンが形成されたチャートと、前記検査対象から見て前記チャートの背後側から前記チャートに光を照射する光源と、前記チャートと前記対物レンズとの間に設けられる物体距離変換レンズと、を備え、前記物体距離変換レンズは、前記チャートからの光を前記チャートよりも遠方からの光と同等の光に変換するように、前記チャートからの各同族光束をそれぞれ放射状に射出するとともに、各同族光束の当該物体距離変換レンズ自体によって規定される主光線が互いに収束するように各同族光束を射出し、前記チャートは、前記所定位置よりも前記検査対象に近い位置に配置される。

本発明の第２の観点の検査用光学装置は、対物レンズを含む検査対象に光を照射する光学装置であって、光源と、前記光源の光が照射される被投影体と、前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、を備え、前記物体距離変換レンズは、前記被投影体からの光を前記被投影体よりも遠方からの光と同等の光に変換するように、前記被投影体からの各同族光束をそれぞれ放射状に射出するとともに、各同族光束の当該物体距離変換レンズ自体によって規定される主光線が互いに収束するように各同族光束を射出する。

本発明の第３の観点の検査用光学装置は、対物レンズを含む検査対象に光を照射する光学装置であって、光源と、前記光源の光が照射される被投影体と、前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、を備え、前記被投影体は、前記物体距離変換レンズ側の端部が前記物体距離変換レンズの前記被投影体側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように配置され、前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は当該物体距離変換レンズの前記対物レンズ側のレンズ端より外側に設定されている。

好適には、前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は、前記対物レンズの入射瞳位置に一致するように設定されている。

好適には、前記対物レンズの前記物体距離変換レンズ側の主点は、前記物体距離変換レンズの前記対物レンズ側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように設定されている。

好適には、前記被投影体は、前記被投影体側の焦点と前記物体距離変換レンズとの間で移動可能に設けられている。

好適には、前記光源の光路に並列な軸を中心に回転可能な回転体を更に備え、前記被投影体は、前記回転体の円周方向に沿って複数配置され、前記回転体の回転に伴って、前記光路に挿入される被投影体が切り替えられる。

本発明の検査装置は、対物レンズを含む検査対象を保持する保持手段と、光源と、前記光源の光が照射される被投影体と、前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、を備え、前記被投影体は、前記物体距離変換レンズ側の端部が前記物体距離変換レンズの前記被投影体側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように配置され、前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は、当該物体距離変換レンズの前記対物レンズ側のレンズ端より外側に設定されるとともに、前記対物レンズの入射瞳位置に一致するように設定されている。

本発明によれば、スペースが縮小でき、汎用性の高い検査用光学装置を提供できる。

第１の実施形態
図１及び図２は、本発明を適用した第１の実施形態の光学装置１の外観を示す図であり、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は側面図、図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は背面図である。

光学装置１は、検査対象としてのレンズモジュール（カメラモジュール）１００（図３参照）に所定のパターンを投影する検査用の光学装置として構成されており、投影するパターンや光の強弱を変更可能である。なお、レンズモジュール１００は、対物レンズ１０１（図４参照）と、対物レンズ１０１を透過した光を受光するＣＣＤ等の撮像素子１０２とを含んで構成されている。なお、対物レンズ１０１は単レンズであってもよいし、レンズ群であってもよく、対物レンズ１０１と撮像素子１０２との間に他のレンズが配置されていてもよい。レンズモジュール１００は適宜な大きさのものでよく、例えば、携帯電話機に利用される比較的小型のものであってもよい。

光学装置１は筐体２を備えている。筐体２は、側方から見て略Ｌ字状に形成され、前後方向（図１の左右方向）の厚さが比較的薄い略直方体状の前面部２ａと、前面部２ａの背面側（図１の左側）に設けられ、鉛直方向の厚さが比較的薄い直方体状の背面部２ａとを備えている。筐体２は比較的小型に形成され、例えば、前後方向の長さが５００ｍｍ、前面部２ａの高さが３００ｍｍ、背面部２ｂの高さが１６０ｍｍである。

前面部２ａの前面側の上方側には、検査対象に光を照射するための物体距離変換レンズ３が、背面部２ｂの背面側には光学装置１に商用周波数の電力を供給する電源プラグが接続される電源レセプタ４が設けられている。

図３は、光学装置１の内部構成を示す概念図である。光学装置１は、光源１１と、被投影体としてのチャート１２が複数設けられるターレット１３とを備えている。

光源１１は、チャート１２に対向する放射面１１ａに亘って均一な輝度で光を放射可能な面光源により構成される。放射面１１ａは、光の放射方向に見て、チャート１２及び物体距離変換レンズ３よりも広く形成されている。光源１１は、例えば、白色ＬＥＤが複数配置されたＬＥＤ面光源により構成することができる。

チャート１２は、透過性の基板に、当該基板とは光の透過率が異なる物質が所定のパターンで配置されることにより形成されている。例えばガラスに金属を蒸着することにより形成される。当該パターンは検査の目的に応じて適宜に設定される。ただし、基板に他の物質を配置せず、又は、基板の全面に他の物質を配置することにより、無模様に形成してもよい。チャート１２の大きさやチャート１２に形成されるパターンの大きさは、検査の目的に応じて適宜に設定されるが、例えば、矩形のチャート１２の対角線ｄ１２と、物体距離変換レンズ３の入射面の直径Ｄ３とが略同程度になるように設定される。つまり、従来のように、実際の被写体の大きさと同等の大きさに設定されたチャートに比較して、小さく設定される。

ターレット１３は略円盤状に形成されている。ターレット１３は、光源１１に対向するとともに、円盤の中心に設けられた軸部１３ａが光源１１よりも下方側に位置するように配置されている。軸部１３ａから円周側にかけては、円周方向に沿って、互いに異なるパターンを有する複数のチャート１２が設けられている。一方、軸部１３ａは物体距離変換レンズ３の光軸ＬＡに平行な軸周りに回動可能に、不図示の支持部によって支持されている。従って、ターレット１３の回動に伴って、光源１１に対向するチャート１２、つまり、物体距離変換レンズ３に投影されるチャート１２を順次切り替え可能である。なお、ターレット１３の大きさは、回転軸から円周方向にかけてチャート１２を配置可能であって、回転に伴って物体距離変換レンズ３に投影されるチャート１２を切り替え可能な大きさであればよく、例えば、ターレット１３の直径を物体距離変換レンズの直径の２〜３倍に設定することができる。

ターレット１３は、軸部１３ａが不図示の支持部に光軸ＬＡ方向に移動可能に支持されて、光源１１と物体距離変換レンズ３との間を移動可能である。ただし、後述するように、光源１１側へは、ターレット１３の物体距離変換レンズ側の端面が、物体距離変換レンズ３のターレット１３側の焦点まで移動できればよい。換言すれば、光源１１は、ターレット１３を上記焦点に配置したときにターレット１３を照射可能な位置に配置すればよい。

なお、筐体２の前面部２ａが背面部２ｂよりも高く形成されているのは、ターレット１３を収納するスペースを確保するためである。換言すれば、筐体２を前面側から見た高さ及び幅は、ターレット１３を収納するのに必要な大きさを確保すればよい。また、前面部２ａの前後方向の長さは、光源１１、ターレット１３（チャート１２）、物体距離変換レンズ３を配置できるスペースを確保すればよい。そして、上述のように、ターレット１３の直径は物体距離変換レンズ３の直径の２〜３倍に設定してよく、ターレット１３と物体距離変換レンズ３との距離は、物体距離変換レンズ３の焦点距離だけ確保できればよいから、筐体２を非常にコンパクトにすることが可能である。

光源１１及びターレット１３を駆動制御するために、光学装置１は、光源駆動部２２、モータ・駆動機構２５、ターレット回転方向駆動部２３、ターレット前後方向駆動部２４、制御部２１、電源部２６を更に備えている。モータ・駆動機構２５は、ターレット１３を回転方向に駆動するためのモータ及び機構と、ターレット１３を前後方向に駆動するためのモータ及び機構を含んで構成され、各モータはターレット回転方向駆動部２３、ターレット前後方向駆動部２４によりそれぞれ駆動制御される。制御部２１は駆動部２２〜２４を制御する。電源部２６は電源レセプタ４から供給される交流電圧を所定の値の直流電圧に変換して、制御部２１及び各駆動部２２〜２４に電力を供給する。これら光源１１及びターレット１３を駆動制御するための手段は、公知の技術を組み合わせて適宜に構成してよい。ただし、後述するように、ターレット１３の僅かな移動により、チャート１２とレンズモジュール１００との見かけ上の距離は大きく変動するため、モータ・駆動機構２５は、精度の高い位置制御が可能であることが好ましい。例えば、パルスの信号を入力することで回転するステッピングモータを含んで構成し、安価かつ簡素な構成で精度よく位置制御を行ってもよい。

なお、筐体２の背面部２ｂを背面側に長くして、筐体２全体をＬ字状としたのは、ターレット回転駆動部２３及びターレット前後方向駆動部２４を収納するスペースを背面部２ｂに確保するためである。ただし、筐体２全体が直方体となるように、各駆動部の構成及びレイアウトを設定することも可能である。

物体距離変換レンズ３は、チャート１２からの光をチャート１２よりも遠方からの光と同等の光に変換するためのものであり、換言すれば、チャート１２と検査対象との距離を実際の距離よりも、見かけ上、長い距離に変換するレンズである。

図４に物体距離変換レンズ３の概念図を示す。従来は、図４（ａ）に示すように、チャート１２から直接的にレンズモジュール１００へ投影していた。このため、チャート１２の１点から放射された光線群（同族光束）において、対物レンズ１０１に入射する光束ＬＦの放射角度θ１及び主光線ＭＬの対物レンズ１０１への入射角度θ２を、実際の使用状態と同等にしようとすると、チャート１２とレンズモジュール１００との距離を実際の被写体とレンズモジュール１００との距離にせざるを得ず、レンズモジュール１００の検査には比較的大きなスペースを必要とした。そこで、図４（ｂ）に示すように、物体距離変換レンズ３によりチャート１２からの光束ＬＦを図４（ａ）の光束と同等の光束に変換することにより、すなわち、各同族光束ＬＦをそれぞれ遠方からの光束と同様の放射角度θ１で放射状に射出するとともに、物体距離変換レンズ３自体により規定される主光線ＭＬが互いに収束し、各主光線ＭＬの角度θ２が遠方からの主光線と同様になるように各光束ＬＦを射出することにより、チャート１２とレンズモジュール１００との距離を、想定した被写体の位置とレンズモジュール１００との距離よりも短くする。

このような物体距離変換レンズ３は、種々の形状のレンズの組み合わせにより適宜構成可能であり、絞りを適宜設定して構成することも可能である。また、チャート１２、物体距離変換レンズ３、レンズモジュール１００の配置方法と、物体距離変換レンズ３の構成との組み合わせも種々のバリエーションが可能である。以下では、その一例を述べる。

図５は、物体距離変換レンズ３、チャート１２、対物レンズ１０１の配置を示す図である。物体距離変換レンズ３は、例えば複数のレンズを組み合わせて構成され、チャート１２側は比較的径の大きいレンズが、レンズモジュール１００側は比較的径の小さいレンズが用いられる。物体距離変換レンズ３は、全体として凸のレンズとして構成され、前側（チャート１２側）の主点Ｈ２からチャート１２側へ距離ｆ２の位置に前側焦点Ｆ２が、後側主点Ｈ２´から距離ｆ２´の位置に後側焦点Ｆ２´が位置する。なお、前側主点Ｈ２の位置と後側主点Ｈ２´の位置とは一致していてもよい。

チャート１２は、物体距離変換レンズ３側の端面１２ａが前側焦点Ｆ２と、物体距離変換レンズ３のチャート１２側のレンズ端３ａとの間を移動するように移動可能である。この移動により、物体距離変換レンズ３から射出される光束ＬＦは、平行光束又は適宜な角度θ１で広がる光束に設定され、チャート１２と対物レンズ１０１との見かけ上の距離を無限遠から適宜な距離まで設定できる。

図６は、物体距離変換レンズ３とレンズモジュール１００との配置を示す図である。図６（ａ）に示すように、物体距離変換レンズ３の射出瞳ＥｘＰ２は、物体距離変換レンズ３のレンズモジュール１００側のレンズ端よりも外側に設定されている。このような設定は、例えば、物体距離変換レンズ３を複数のレンズにより構成し、チャート１２側のレンズとレンズモジュール１００側のレンズとの距離を適宜な距離に設定するとともに、当該レンズ間に適宜な大きさの開口径の絞りを設けることにより可能である。

一方、対物レンズ１０１の入射瞳ＥｎＰ１は、対物レンズ１０１よりも撮像素子１０２側に設定されている。なお、入射瞳ＥｎＰ１は、例えば対物レンズ１０１の保持枠により規定される。図６（ｂ）に示すように、入射瞳ＥｎＰ１の位置を射出瞳ＥｘＰ２の位置と一致させることにより、見かけ上の距離を実際の距離よりも長くしつつも、あたかも物体距離変換レンズ３が無い状態と同様にチャート１２のパターンがレンズモジュール１００に投影される。一方、図６（ｃ）に示すように、射出瞳ＥｘＰ２の位置と入射瞳ＥｎＰ１の位置とがずれている場合、遠方からの光と同等の光を対物レンズ１０１へ入射させることはできない。

なお、物体距離変換レンズ３のレンズモジュール１００側のレンズ端から射出瞳ＥｘＰ２までの距離ＬＰ２は、レンズモジュール１００の物体距離変換レンズ３側の端部から入射瞳ＬＰ１までの距離よりも大きく設定されている。また、射出瞳ＥｘＰ２の大きさと入射瞳ＥｎＰ１の大きさは、同程度あるいは入射瞳ＥｎＰ１が射出瞳ＥｘＰ２よりも小さく設定されている。

物体距離変換レンズ３は、上記のようにチャート１２からの光を遠方からの光と同等の光に変換できるように配置できれば適宜なものを利用してよいが、一例を示せば、レンズモジュール１００が携帯電話機等に利用される小型のもの（例えば対物レンズの直径が数ｍｍ程度）であり、対物レンズ１０１の焦点距離ｆ１が４ｍｍ程度、物体側の端部から入射瞳までの距離ＬＰ１が３ｍｍ程度である場合には、物体距離変換レンズ３として、焦点距離ｆ２が４０ｍｍ、レンズ端から射出瞳までの距離ＬＰ２が５．５ｍｍのものを使用してよい。

さらに、上述のように射出瞳ＥｘＰ２と入射瞳ＥｎＰ１とを位置合わせしたときに、図５に示すように、対物レンズ１０１の前側主点が、物体距離変換レンズ３の後側焦点Ｆ２´よりも物体距離変換レンズ３側に配置されるような物体距離変換レンズ３を用いてよい。例えば、上述の焦点距離の例において、物体距離変換レンズ３の後側主点Ｈ２´と対物レンズ１０１の前側主点Ｈ１との距離ｄが１７ｍｍ程度になるような物体距離変換レンズ３を用いてよい。なお、この場合、物体距離変換レンズ３及び対物レンズ１０１の合成焦点距離は６ｍｍ程度であり、合成前と格段の違いは生じない。

表１及び図７は、チャート１２と物体距離変換レンズ３との実際の距離Ｌ１と、チャート１２と物体距離変換レンズ３との見かけ上の距離ＶＤとの対応関係の一例を示す図である。距離ｂは、物体距離変換レンズ３の前側主点Ｈ２からチャート１２の端面１２ａまでの距離であり、距離Ｌ１は、チャート１２の端面１２ａと、物体距離変換レンズ３のレンズ端３ａとの距離である（図５参照）。これらの図表においては、以下の式により見かけ上の距離ＶＤを計算している。

Ｌ１＝ｆ２×ＶＤ／（ＶＤ−ｆ２）−Ｌ２ （１）

ここで、Ｌ２は物体距離変換レンズ３の前側主点Ｈ２からレンズ端３ａまでの距離であり、ｆ２＝４０ｍｍ、Ｌ２＝２０．８ｍｍとして計算している。この図表に示すように、実際の距離Ｌ１を１５ｍｍ程度の比較的短い距離にしても、見かけ上の距離ＶＤを３００ｍｍ程度にすることができ、さらには、実際の距離Ｌ１を１９ｍｍ程度にしただけで見かけ上の距離を無限遠にすることができる。

第２の実施形態
図８は本発明を適用した第２の実施形態の検査装置２００の概念図である。光学装置１との共通部分については、光学装置１と同一符号を付して説明を省略する。

検査装置２００は、レンズモジュール１００を保持する保持テーブル２０１が設けられている点で光学装置１と異なる。保持テーブル２０１は不図示の固定具によりレンズモジュール１００を固定位置に保持可能である。従って、図６にて説明した射出瞳ＥｘＰ２と入射瞳ＥｎＰ１との位置合わせがなされた状態で、レンズモジュール１００を保持できる。保持テーブル２０１は、特定のレンズモジュールのみを対象として入射瞳を物体距離変換レンズ３の射出瞳に位置合わせするように、筐体２に対して固定的に設けられてもよいし、図８に示すように、制御部２１によって制御されるテーブル駆動部２０３により、上下左右に駆動可能とし、各種のレンズモジュールに対して適宜位置合わせ可能としてもよい。また、制御部２１は、コネクタ２０２を介してレンズモジュール１００の撮像データを取得し、当該撮像データに基づいてレンズモジュール１００の検査を実行してもよい。

以上の第１及び第２の実施形態によれば、物体距離変換レンズ３によりチャート１２からの光が遠方からの光と同等の光に変換されるため、従来のようにチャート１２と検査対象のレンズモジュール１００との距離を実際の使用状態と同等の距離にせずともよく、チャート１２を従来よりもレンズモジュール１００に近づけることができる。従って、スペースの縮小が図られる。チャート１２も実際の被写体と同等の大きさに設定する必要がなくなるため、さらにスペースの縮小が図られる。また、射出瞳が物体距離変換レンズ３の外側に設定されるため、主光線の傾き等の設定値を物体距離変換レンズ３により設定することができ、汎用性が高まる。

さらに、上述の実施形態によれば、チャート１２が従来に比較して小さくなるために、チャート１２の切り替えを高速に行うことができる。これにより、検査効率も向上する。また、チャート１２を前側焦点又はその付近に移動させることにより、無限遠からの光と同等の光を作り出し、無限遠を対象とした検査をすることもできる。

本発明は以上の実施形態に限定されず、種々の形態で実施してよい。

検査対象はレンズにより光を取り込むものであればよく、撮像装置を構成するものに限定されない。例えば、レンズのみが検査対象であってもよい。

光源、チャート、物体距離変換レンズは、チャートから検査対象への光路に沿った距離を見かけ上長くできるように構成されればよく、これらの間に他の光学系が配置されてもよいし、物体距離変換レンズの光軸上において直線状に配置されていなくてもよい。物体距離変換レンズは、チャートからの透過光を変換するものに限られず、反射光を変換するものであってもよい。

被投影体はターレットにより切り替え可能なものに限定されず、適宜使用するチャートを光学装置に着脱するものであってもよい。ターレットの回転軸は光路に並列でなくてもよく、回転に伴ってチャートを切り替え可能であればよい。

本発明の第１の実施形態の光学装置の外観図。 本発明の第１の実施形態の光学装置の外観図。 図１の光学装置の内部構成を示す概念図。 図１の光学装置の物体距離変換レンズの概念図。 図１の光学装置の物体距離変換レンズ及びチャートの配置を示す図。 図１の光学装置の物体距離変換レンズ及び検査対象であるレンズモジュールの配置を示す図。 図１の光学装置のチャートと物体距離変換レンズとの見かけ上の距離の一例を示す図。 本発明の第２の実施形態の検査装置の内部構成を示す概念図。

符号の説明

１０１…対物レンズ、１００…検査対象、１…光学装置、１１…光源、１２…被投影体、３…物体距離変換レンズ、同族光束…ＬＦ、主光線…ＭＬ。

Claims (8)

1. 対物レンズと当該対物レンズを介して被写体を撮像する撮像素子とを含む検査対象に、前記検査対象に対して所定位置に配置された検査用の被写体としての所定のパターンを投影する光学装置であって、
   前記対物レンズに対向して配置され、前記パターンが形成されたチャートと、
   前記検査対象から見て前記チャートの背後側から前記チャートに光を照射する光源と、
   前記チャートと前記対物レンズとの間に設けられる物体距離変換レンズと、
   を備え、
   前記物体距離変換レンズは、前記チャートからの光を前記チャートよりも遠方からの光と同等の光に変換するように、前記チャートからの各同族光束をそれぞれ放射状に射出するとともに、各同族光束の当該物体距離変換レンズ自体によって規定される主光線が互いに収束するように各同族光束を射出し、
   前記チャートは、前記所定位置よりも前記検査対象に近い位置に配置される
   検査用光学装置。
2. 対物レンズを含む検査対象に光を照射する光学装置であって、
   光源と、
   前記光源の光が照射される被投影体と、
   前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、
   を備え、
   前記物体距離変換レンズは、前記被投影体からの光を前記被投影体よりも遠方からの光と同等の光に変換するように、前記被投影体からの各同族光束をそれぞれ放射状に射出するとともに、各同族光束の当該物体距離変換レンズ自体によって規定される主光線が互いに収束するように各同族光束を射出する
   検査用光学装置。
3. 対物レンズを含む検査対象に光を照射する光学装置であって、
   光源と、
   前記光源の光が照射される被投影体と、
   前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、
   を備え、
   前記被投影体は、前記物体距離変換レンズ側の端部が前記物体距離変換レンズの前記被投影体側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように配置され、
   前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は当該物体距離変換レンズの前記対物レンズ側のレンズ端より外側に設定されている
   検査用光学装置。
4. 前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は、前記対物レンズの入射瞳位置に一致するように設定されている
   請求項３に記載の検査用光学装置。
5. 前記対物レンズの前記物体距離変換レンズ側の主点は、前記物体距離変換レンズの前記対物レンズ側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように設定されている
   請求項３又は４に記載の検査用光学装置。
6. 前記被投影体は、前記被投影体側の焦点と前記物体距離変換レンズとの間で移動可能に設けられている
   請求項３〜５の何れか１項に記載の検査用光学装置。
7. 前記光源の光路に並列な軸を中心に回転可能な回転体を更に備え、
   前記被投影体は、前記回転体の円周方向に沿って複数配置され、
   前記回転体の回転に伴って、前記光路に挿入される被投影体が切り替えられる
   請求項３〜６の何れか１項に記載の検査用光学装置。
8. 対物レンズを含む検査対象を保持する保持手段と、
   光源と、
   前記光源の光が照射される被投影体と、
   前記被投影体からの前記光源の光を透過させ、前記対物レンズに照射する物体距離変換レンズと、
   を備え、
   前記被投影体は、前記物体距離変換レンズ側の端部が前記物体距離変換レンズの前記被投影体側の焦点よりも前記物体距離変換レンズ側に位置するように配置され、
   前記物体距離変換レンズの射出瞳位置は、当該物体距離変換レンズの前記対物レンズ側のレンズ端より外側に設定されるとともに、前記対物レンズの入射瞳位置に一致するように設定されている
   検査装置。
   
   

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