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JP2006140245A - アクチュエータ - Google Patents

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JP2006140245A JP2004327236A JP2004327236A JP2006140245A JP 2006140245 A JP2006140245 A JP 2006140245A JP 2004327236 A JP2004327236 A JP 2004327236A JP 2004327236 A JP2004327236 A JP 2004327236A JP 2006140245 A JP2006140245 A JP 2006140245A
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Abstract

【課題】可動子と案内面との接触部分の面圧を下げることで偏磨耗を防ぎ、一定の出力が得られる可動範囲を拡大したアクチュエータを提供する。
【解決手段】通電により磁束作用面が形成されるプランジャ7の周面P1、P2と対向する第1、第2のヨーク部5、6の対向面Y1、Y2のうち、少なくとも一方の磁気抵抗を円周方向で不均一化し可動子径方向に作用する磁力の合力を径方向一端E1側へ偏らせて作用させる。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えばリニアソレノイドなどのアクチュエータに関する。
従来、一般産業機械においては、自動制御用として様々なアクチュエータが用いられている。例えば電磁エネルギーを機械エネルギーに変換する電磁部品としてリニアソレノイドが好適に用いられている。ソレノイドの一般的な構成は、励磁コイルを備えた固定子の中心部に可動子鉄心(プランジャ)が固定鉄心に接離動可能に設けられている。固定子側の励磁コイルへの通電により第1、第2のヨーク部とプランジャとの間で磁気回路が形成されてプランジャに吸引力が作用するようになっている。
一般にプランジャの軸方向端面に磁束作用面を持つソレノイドの場合、ヨークに対する可動子の相対的な軸方向の移動量であるストローク量に対して出力(推力)が指数関数的に低下し易い(図16参照)。これに対して、可動子の推力低下を改善するため、可動子周面と対向するヨーク部との間に径方向に磁束作用面を設けたリニアソレノイドが提案されている(特許文献1)。
ここで、リニアソレノイドの一般的な構造について図13及び図14を参照して説明する。先ず、固定子51の構成について説明すると、ボビン52に巻き付けられた励磁コイル53と該励磁コイル53の周囲を覆う第1、第2のヨーク部54、55が設けられている。第1のヨーク部54は蓋状に形成されており、励磁コイル53の軸方向一端側を覆っている。第2のヨーク部55はカップ状に形成されており、励磁コイル53の軸方向他端側から胴部外周面を覆っている。これらの第1、第2のヨーク部54、55は、励磁コイル53への通電時に発生する固定子51側の磁気通路を形成する。ボビン52の軸孔には非磁性材よりなる案内筒(ガイドパイプ)56が嵌め込まれている。可動子(プランジャ)57は、ガイドパイプ56の軸孔に摺動可能に嵌め込まれている。プランジャ57の軸孔58には図示しない連結ロッドが締結されて、プランジャ57の軸方向への駆動力を伝達するようになっている。図14において、リニアソレノイドは、プランジャ57の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝59)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成される。即ち、プランジャ57の周面P1、P2と第1、第2のヨーク部54、55の対向面Y1、Y2との間で径方向に各々磁束作用面が形成され、当該磁束作用面が形成される対向面どうしの磁気抵抗が小さいため制御範囲で大きな出力(推力)が得られる。
特開2004−153063号公報
しかしながら、図14のリニアソレノイドの場合、励磁コイル53へ通電するとプランジャ57の周面P1、P2と第1、第2のヨーク部54、55の対向面Y1、Y2との間で全周にわたって強い磁気吸引力が作用する。プランジャ57の外径とガイドパイプ56の内径との間には公差を含むクリアランスが設けられているため、図15において、プランジャ57の姿勢が軸方向からわずかに傾いたままガイドパイプ56内で移動するおそれがある。この場合、プランジャ57の軸方向断面の対角位置において、プランジャ57とガイドパイプ56とが点接触(角当たり)となったまま摺動するため、プランジャ表面にコーティングされた被膜の偏磨耗を促進し(図15の摺動部Q、R部参照)、寿命が短くなるおそれがある。
また、プランジャ57と第1、第2のヨーク部54、55との位置関係によっては、磁気抵抗が急激に変化し易く、励磁コイル53への通電時に推力が一気に高まることがあるため一定の推力でストローク量を制御できる範囲が限られ制御性が良くないという課題もあった。
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、可動子と案内面との接触部分の面圧を下げることで偏磨耗を防ぎ、一定の出力が得られる可動範囲を拡大したアクチュエータを提供することにある。
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
励磁コイルと、励磁コイルの一端側に設けられる第1のヨーク部と他端側に設けられる第2のヨーク部とで励磁コイルの周囲を覆う固定子と、励磁コイルの中心部に軸線方向に往復動可能に設けられる可動子とを備え、励磁コイルへの通電により第1、第2のヨーク部と可動子との間で磁気回路が形成されて可動子に磁力が作用するアクチュエータにおいて、通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と第1、第2のヨーク部が各々対向する対向面のうち、少なくとも一方の磁気抵抗を円周方向で不均一化し可動子径方向に作用する磁力の合力を径方向一端側へ偏らせて作用させることを特徴とする。
具体的には、通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と各々対向する第1、第2のヨーク部の対向面のうち、少なくとも一方の対向面積が当該可動子の径方向一端側から他端側に向かって漸進減少する形状であることを特徴とする。
より具体的には、磁束作用面となる可動子の周面に、当該可動子の周面と各々対向する第1、第2のヨーク部のうち少なくとも一方との対向面積が可動子径方向一端側から他端側に向かって漸進減少する傾き形状を有する溝又は段付き形状を有する切欠き部が形成されていることを特徴とする。
或いは、磁束作用面となる第1、第2のヨーク部のうち少なくとも一方に、可動子径方向一端側から他端側に向かって対向面積が漸進減少する傾き形状又は段付き形状を有することを特徴とする。
上述したアクチュエータを用いれば、通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と第1、第2のヨーク部が各々対向する対向面のうち、少なくとも一方の磁気抵抗を円周方向で不均一化し可動子径方向に作用する磁力の合力を径方向一端側へ偏らせて作用させる。これにより、励磁コイルへ通電した直後に可動子を通過する磁束バランスを磁気抵抗の小さい径方向一端側に偏らせるため、可動子へ作用する磁力が径方向一端側で強まる。このため、可動子が径方向一端側に引き寄せられたまま案内面に沿って摺動するので、可動子と案内面との接触部分の面圧を下げ可動子表面にコーティングされた被膜の偏磨耗を緩和して寿命を延ばすことができる。
また、通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と第1、第2のヨーク部の対向面のうち一方又は双方が可動子の径方向一端側から他端側に向かって対向面積が漸進減少する形状になっているので、通電により可動子と第1、第2のヨーク部との間で磁気抵抗の小さい径方向一端側から吸引が強まり、可動子が固定子側へ吸引されるにしたがって径方向他端側へ向かって徐々に対向面積が大きくなって吸引力が強まるので、一定の推力が長いストロークにわたって得られる。よって、推力差によって可動子の可動範囲の変動が少なく、一定の推力が得られる可動子の可動範囲が拡大するので、可動子の実可動範囲における制御性が向上する。
以下、本発明に係るアクチュエータの最良の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態はアクチュエータの一例としてリニアソレノイドについて説明する。
[第1実施例]
図1を参照して、リニアソレノイドの概略構成について説明する。
先ず、固定子1の構成について説明する。励磁コイル2はボビン3に巻き付けられている。ボビン3の巻芯部に設けられた軸孔には、非磁性材料よりなる案内筒(ガイドパイプ)4が嵌め込まれている。励磁コイル2は一端側に設けられる蓋状の第1のヨーク部5と他端側に設けられるカップ状の第2のヨーク部6とで周囲が覆われている。第1ヨーク部5及び第2ヨーク部6は磁性材料により構成されており、励磁コイル2へ通電により発生する固定子1の磁束通路を形成する。
可動子(プランジャ)7は、励磁コイル2の中心部(ボビン3の軸孔)に設けられたガイドパイプ4にガイドされて軸線方向に往復動可能に設けられる。尚、ガイドパイプ4に替えてボビンの巻芯部をプランジャ7の案内面とすることも可能である。プランジャ7は図示しない連結ロッドに連結されている。このプランジャ7若しくは連結ロッドは、例えばプル型のソレノイドの場合には、コイルバネなどにより固定子1より突出する方向に付勢されていてもよい。励磁コイル2への通電により第1、第2のヨーク部5、6とプランジャ7との間で磁気回路が形成されてプランジャ7に吸引力が作用するようになっている。
本実施形態のソレノイドは、プランジャ7の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝8)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。即ち、プランジャ7の一端側周面P1とこれに対向する第1のヨーク部5の対向面Y1、プランジャ7の他端側周面P2とこれに対向する第2のヨーク部6の対向面Y2において径方向に磁束作用面が形成される。通電により磁束作用面が形成されるプランジャ7の周面と各々対向する第1のヨーク部5と第2のヨーク部6の対向面のうち、少なくとも一方の対向面積(本実施例ではプランジャ7の周面P1、P2と第1、第2のヨーク部5、6の対向面Y1、Y2の対向面積)が、プランジャ7の径方向一端側E1から他端側E2に向かって漸進減少する形状になっている。具体的には、プランジャ7の一端側周面P1には、第1のヨーク部5の対向面Y1との対向面積が径方向一端側E1から他端側E2に向かって漸進減少する傾き(図1では左上がりの傾き)形状を有する凹溝8が形成されている。また、プランジャ7の他端側周面P2には、第2のヨーク部6の対向面Y2との対向面積が径方向一端側E1から他端側E2に向かって漸進減少する段付き形状を有する切欠き部9が形成されている。上記凹溝8及び切欠き部9を形成する傾斜面8a、9aの傾きは同一であっても或いは異なっていても良い。また、傾斜面8a、9aの形状は平面に限らず湾曲面、段付面、テーパー面など様々な形状であっても良い。
励磁コイル2へ通電した際に、プランジャ7の一端側周面(磁束作用面)P1と第1ヨーク部5の対向面(磁束作用面)Y1、プランジャ7の他端側周面(磁束作用面)P2と第2ヨーク部6の対向面(磁束作用面)Y2との間には各々全周にわたって吸引力F(水平分力F1、垂直分力F2)が作用する。プランジャ7は、吸引力Fの水平分力F1の合力により径方向に引き寄せられ、垂直分力F2の合力により軸方向に固定子1側へ引き込まれる。通電直後は、プランジャ7を通過する磁束バランスは磁気抵抗の小さい径方向一端E1側に偏るため、プランジャ7へ作用する水平分力F1の合力が径方向一端E1側で強まる。このため、図3において、プランジャ7がガイドパイプ4内で径方向一端側E1に引き寄せられ、ガイドパイプ4との接触部分の面圧を下げた状態で摺動する(図3の摺動部S参照)。これにより、プランジャ7の表面にコーティングされた被膜の偏磨耗を緩和して寿命を延ばすことができる。
また、リニアソレノイドのエネルギーは固定子1と可動子(プランジャ)7とのギャップに蓄えられる。図4において、磁束作用面を軸方向に有するソレノイドに比べて磁束作用面を径方向に有するソレノイドは、実可動範囲における推力の向上は見込める。しかしながら、プランジャの位置によって磁気抵抗が急激に変化し易いことから、プランジャ7の実可動範囲における一定の推力が得られる範囲が狭くなり易い(図4のグラフA参照)。これに対して、プランジャ7の一端側周面P1に第1のヨーク部5の対向面Y1との対向面積が径方向一端側E1から他端側E2に向かって漸進減少する傾きを有する凹溝8が形成され、プランジャ7の他端側周面P2に第2のヨーク部6の対向面Y2との対向面積が径方向一端側E1から他端側E2に向かって漸進減少する傾きを有する切欠き部9が形成されているので(図1参照)、通電直後にプランジャ7と第1、第2のヨーク部5、6との間で磁気抵抗の小さい径方向一端側E1で吸引力Fが強まる。プランジャ7が固定子1側へ引き込まれるにしたがって径方向他端側E2へ向かって徐々に磁気抵抗が小さくなって吸引力Fが強まるので、一定の推力が長いストロークにわたって得られる(図4グラフB参照)。よって、推力差によってプランジャ7の可動範囲の変動が少なく、一定の推力が得られるプランジャ7の可動範囲が拡大するので、プランジャ7の実可動範囲における制御性が向上する。
[第2実施例]
次に、リニアソレノイドの他例について図2を参照して説明する。リニアソレノイドの概略構成は、図1と同様であるので同一部材には同一番号を付して説明を援用する。以下、異なる構成を中心に説明する。
図2において、プランジャ7の一端側周面P1には均一な幅及び深さで周溝又は段付面(本実施例では凹溝10)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。また、プランジャ7の他端側周面P2は均一な円筒面に形成されている。プランジャ7の一端側周面P1に対向する第1のヨーク部5の対向面Y1に、当該周面P1との対向面積が径方向一端側H1から径方向他端側H2に向かって漸進減少する傾き形状(又は段付形状)が形成されている。即ち、図2において、第1のヨーク部5の対向面Y1には、径方向一端側H1から他端側H2に向かって磁気抵抗が増大する傾き(又は段)を有する傾斜面(又は段付面)11が形成されている。
また、プランジャ7の他端側周面P2に対向する第2のヨーク部6の対向面Y2に、当該周面P2との対向面積が径方向一端側H1から他端側H2に向かって漸進減少する傾き形状(又は段付形状)が形成されている。即ち、第2のヨーク部6の対向面Y2には、径方向一端側H1から他端側H2に向かって磁気抵抗が増大する傾き(又は段)を有する傾斜面(又は段付面)12が形成されている。
上記構成によっても、励磁コイル2へ通電した直後にプランジャ7へ作用する吸引力Fが磁気抵抗の小さい径方向一端側H1で強まるため、プランジャ7がガイドパイプ4内で径方向一端側H1に引き寄せられ、ガイドパイプ4との接触部分の面圧を下げた状態で摺動する(図3の摺動部S参照)。これにより、プランジャ7の表面にコーティングされた被膜の偏磨耗を緩和して寿命を延ばすことができる。
また、通電直後にプランジャ7と第1、第2のヨーク部5、6との間で磁気抵抗の小さい径方向一端側H1で吸引力が強まり、プランジャ7が固定子1側へ引き込まれるにしたがって径方向他端側H2へ向かって徐々に対向面積が大きくなって吸引力Fが強まるので、一定の推力が長いストロークにわたって得られる(図4グラフB参照)。よって、推力差によってプランジャ7の可動範囲の変動が少なく、一定の推力が得られるプランジャ7の可動範囲が拡大するので、プランジャ7の実可動範囲における制御性が向上する。
[第3実施例]
次にリニアソレノイドの他例について図5及び図6を参照して説明する。リニアソレノイドの概略構成は、第1実施例(図1)と同様であるので同一部材には同一番号を付して説明を援用する。以下、異なる構成を中心に説明する。
図6において、プランジャ7の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝18)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。図5において、本実施例は通電により磁束作用面が形成されるプランジャ7の周面に、面取りされた部分(断面D形状に形成された面;Dカット面13)が形成されている。このDカット面13によりプランジャ7の周面と第1のヨーク部5及び第2のヨーク部6が各々対向する対向面の磁気抵抗を円周方向で不均一化するようになっている。
図6において、励磁コイル2へ通電した際に、プランジャ7の一端側周面P1と対向する第1ヨーク部5の対向面Y1、プランジャ7の他端側周面P2と対向する第2ヨーク部6の対向面Y2との間には各々全周にわたって吸引力F(水平分力F1、垂直分力F2)が作用する。プランジャ7は、吸引力Fの水平分力F1の合力により径方向に引き寄せられ、垂直分力F2の合力により軸方向に固定子1側へ引き込まれる。通電直後は、プランジャ7を通過する磁束バランスは磁気抵抗の小さい径方向一端側H1に偏るため、プランジャ7へ作用する水平分力F1の合力が径方向一端側H1で強まる。このため、プランジャ7はガイドパイプ4内で径方向一端側H1に引き寄せられたまま摺動する。
[第4実施例]
次にリニアソレノイドの他例について図7及び図8を参照して説明する。リニアソレノイドの概略構成は、第1実施例(図1)と同様であるので同一部材には同一番号を付して説明を援用する。以下、異なる構成を中心に説明する。
図8において、プランジャ7の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝18)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。図7において、本実施例はプランジャ7の軸方向上下端面に穴14、15が各々形成されている。図8において穴14、15はプランジャ7の径方向で矢印H2側に偏って形成されている。この穴14、15により通電によりプランジャ7内を通過する磁束通路に部分的に偏りが生じる。このため、プランジャ7の周面と第1のヨーク部5及び第2のヨーク部6が各々対向する対向面の磁気抵抗を円周方向で不均一化するようになっている。尚、穴14、15の穴径や周方向及び径方向で特定される穴位置は必ずしも一致していなくても良い。また、穴は少なくともプランジャ7の軸方向一端面に形成されていれば良く、貫通孔であっても有底穴のいずれであっても良い。
図8において、励磁コイル2へ通電した際に、プランジャ7の一端側周面P1と対向する第1ヨーク部5の対向面Y1、プランジャ7の他端側周面P2と対向する第2ヨーク部6の対向面Y2との間には各々全周にわたって吸引力F(水平分力F1、垂直分力F2)が作用する。プランジャ7は、吸引力Fの水平分力F1の合力により径方向に引き寄せられ、垂直分力F2の合力により軸方向に固定子1側へ引き込まれる。通電直後は、プランジャ7を通過する磁束バランスは磁束密度の高い径方向一端側H1に偏るため、プランジャ7へ作用する水平分力F1の合力が径方向一端側H1で強まる。このため、プランジャ7はガイドパイプ4内で径方向一端側H1に引き寄せられたまま摺動する。
[第5実施例]
次にリニアソレノイドの他例について図9及び図10を参照して説明する。リニアソレノイドの概略構成は、第1実施例(図1)と同様であるので同一部材には同一番号を付して説明を援用する。以下、異なる構成を中心に説明する。
図10において、プランジャ7の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝18)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。図9において、本実施例は磁束作用面となるプランジャ7の周面と対向する第1のヨーク部5の対向面Y1に周方向に切欠き部16が形成されている。この切欠き部16によりプランジャ7の周面と第1のヨーク部5及び第2のヨーク部6が各々対向する対向面の磁気抵抗を円周方向で不均一化するようになっている。尚、切欠き部16は第2のヨーク部6の対向面Y6に形成されていても良く、第1、第2のヨーク部5、6の対向面Y1、Y2の双方に形成されていても良い。
図10において、励磁コイル2へ通電した際に、プランジャ7の一端側周面P1と対向する第1ヨーク部5の対向面Y1、プランジャ7の他端側周面P2と対向する第2ヨーク部6の対向面Y2との間には各々全周にわたって吸引力F(水平分力F1、垂直分力F2)が作用する。プランジャ7は、吸引力Fの水平分力F1の合力により径方向に引き寄せられ、垂直分力F2の合力により軸方向に固定子1側へ引き込まれる。通電直後は、プランジャ7を通過する磁束バランスは磁気抵抗の小さい径方向一端側H1に偏るため、プランジャ7へ作用する水平分力F1の合力が径方向一端側H1で強まる。このため、プランジャ7はガイドパイプ4内で径方向一端側H1に引き寄せられたまま摺動する。
[第6実施例]
次にリニアソレノイドの他例について図11及び図12を参照して説明する。リニアソレノイドの概略構成は、第1実施例(図1)と同様であるので同一部材には同一番号を付して説明を援用する。以下、異なる構成を中心に説明する。
図12において、プランジャ7の少なくとも一端側の周面に周溝若しくは段付面(本実施例では凹溝18)が形成されており、径方向に磁束作用面が形成されるようになっている。図11において、本実施例はプランジャ7の中心部に設けられる出力軸連結用の軸孔17を偏芯した位置に設けられている。図12において軸孔17はプランジャ7の径方向で矢印H2側に偏って形成されている。この軸孔17の偏芯により通電によりプランジャ7内を通過する磁束通路に部分的に偏りが生じる。このため、プランジャ7の周面と第1のヨーク部5及び第2のヨーク部6が各々対向する対向面の磁気抵抗を円周方向で不均一化するようになっている。
図12において、励磁コイル2へ通電した際に、プランジャ7の一端側周面P1と対向する第1ヨーク部5の対向面Y1、プランジャ7の他端側周面P2と対向する第2ヨーク部6の対向面Y2との間には各々全周にわたって吸引力F(水平分力F1、垂直分力F2)が作用する。プランジャ7は、吸引力Fの水平分力F1の合力により径方向に引き寄せられ、垂直分力F2の合力により軸方向に固定子1側へ引き込まれる。通電直後は、プランジャ7を通過する磁束バランスは磁気密度の高い径方向一端側H1に偏るため、プランジャ7へ作用する水平分力F1の合力が径方向一端側H1で強まる。このため、プランジャ7はガイドパイプ4内で径方向一端側H1に引き寄せられたまま摺動する。
尚、プランジャ7及び第1、第2のヨーク部5、6の磁束作用面の形状は、溝と切欠き部、切欠き部と段付部、溝と段付部との組み合わせに限らず、溝と溝、切欠き部と切欠き部、段付部と段付部などのいずれの形状による組み合わせでも良い。また、プランジャ7と第1、第2のヨーク部5、6との対向面に複数の歯部(凹凸部)が軸方向に形成されていても良い。更には、ギャップは可動子側、第1、第2のヨーク部側のいずれかに限らず双方に形成されていても良い。リニアソレノイドはプル型であってもプッシュ型のいずれであってもよく、磁気回路内に永久磁石を含んでいても良く、DC用若しくはAC用リニアソレノイドのいずれであっても良い。
第1実施例に係るリニアソレノイドの断面説明図である。 第2実施例に係るリニアソレノイドの断面説明図である。 本発明のプランジャとガイドパイプの摺動部を示す部分拡大図である。 リニアソレノイドの変位と推力との関係を示すグラフ図である。 第3実施例に係るリニアソレノイドの平面図である。 図5のリニアソレノイドの矢印C−C方向断面説明図である。 第4実施例に係るリニアソレノイドの平面図である。 図6のリニアソレノイドの矢印C−C方向断面説明図である。 第5実施例に係るリニアソレノイドの平面図である。 図9のリニアソレノイドの矢印C−C方向断面説明図である。 第6実施例に係るリニアソレノイドの平面図である。 図11のリニアソレノイドの矢印C−C方向断面説明図である。 従来例に係るリニアソレノイドの平面図である。 図13のリニアソレノイドの矢印C−C方向断面説明図である。 従来のプランジャとガイドパイプの摺動部を示す部分拡大図である。 従来のソレノイドの変位と推力との関係を示すグラフ図である。
符号の説明
P1、P2 周面
Y1、Y2 対向面
1 固定子
2 励磁コイル
3 ボビン
4 ガイドパイプ
5 第1のヨーク部
6 第2のヨーク部
7 プランジャ
8、10、18 凹溝
8a、9a、11、12 傾斜面(段付面)
9、16 切欠き部
13 Dカット面
14、15 穴
17 軸孔

Claims (4)

  1. 励磁コイルと、励磁コイルの一端側に設けられる第1のヨーク部と他端側に設けられる第2のヨーク部とで励磁コイルの周囲を覆う固定子と、励磁コイルの中心部に軸線方向に往復動可能に設けられる可動子とを備え、励磁コイルへの通電により第1、第2のヨーク部と可動子との間で磁気回路が形成されて可動子に磁力が作用するアクチュエータにおいて、
    通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と第1、第2のヨーク部が各々対向する対向面のうち、少なくとも一方の磁気抵抗を円周方向で不均一化し可動子径方向に作用する磁力の合力を径方向一端側へ偏らせて作用させることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 通電により磁束作用面が形成される可動子の周面と各々対向する第1、第2のヨーク部の対向面のうち、少なくとも一方の対向面積が当該可動子の径方向一端側から他端側に向かって漸進減少する形状であることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
  3. 磁束作用面となる可動子の周面に、当該可動子の周面と各々対向する第1、第2のヨーク部のうち少なくとも一方との対向面積が可動子径方向一端側から他端側に向かって漸進減少する傾き形状を有する溝又は段付き形状を有する切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
  4. 磁束作用面となる第1、第2のヨーク部のうち少なくとも一方に、可動子径方向一端側から他端側に向かって対向面積が漸進減少する傾き形状又は段付き形状を有することを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
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