[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2006014208A - 水晶発振器 - Google Patents

水晶発振器 Download PDF

Info

Publication number
JP2006014208A
JP2006014208A JP2004191826A JP2004191826A JP2006014208A JP 2006014208 A JP2006014208 A JP 2006014208A JP 2004191826 A JP2004191826 A JP 2004191826A JP 2004191826 A JP2004191826 A JP 2004191826A JP 2006014208 A JP2006014208 A JP 2006014208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
temperature
crystal oscillator
heating means
package
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004191826A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4354347B2 (ja
Inventor
Takeo Oita
武雄 追田
Minoru Fukuda
実 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2004191826A priority Critical patent/JP4354347B2/ja
Priority to US11/154,289 priority patent/US7088032B2/en
Priority to CNB2005100814744A priority patent/CN100485991C/zh
Priority to EP05270026A priority patent/EP1612930B8/en
Priority to AT05270026T priority patent/ATE383673T1/de
Priority to DE602005004205T priority patent/DE602005004205T2/de
Publication of JP2006014208A publication Critical patent/JP2006014208A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4354347B2 publication Critical patent/JP4354347B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02007Details of bulk acoustic wave devices
    • H03H9/02086Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02102Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0504Holders or supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0528Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of clips
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0542Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • H03H9/0552Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement the device and the other elements being mounted on opposite sides of a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03LAUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L1/00Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply
    • H03L1/02Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only
    • H03L1/04Constructional details for maintaining temperature constant

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】 消費電力が抑えられかつ周囲温度の変化に対して発振周波数が安定している水晶発振器を提供すること。
【解決手段】 パッケージ内にセラミックスなどの基板を当該基板の周縁部が支持されるように設け、この基板の一面及び他面の少なくとも一方に基板の周縁に沿って当該基板の内側領域を囲むように抵抗発熱層からなる帯状の加熱手段を設ける。そして加熱手段により囲まれた領域内にて水晶振動子、発振回路部及び感温素子を各々パッケージの内面に接しない状態で装着し、感温素子の温度検出値に基づいて温度制御回路部を介して加熱手段を制御する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、感温素子及び加熱手段を用いて周囲の温度変化に対する周波数の安定化を図るようにした水晶発振器に関する
水晶発振器について周囲温度変化に対する周波数の安定化を図るために、OCXOと呼ばれるタイプのものとTCXOと呼ばれるタイプのものとが知られている。OCXOは、パッケージ内に水晶片及び周辺回路を封入し、そのパッケージの外周面全体をヒータで覆って加熱する構造になっていることから、周囲の温度変化に対して水晶片の温度が安定し、温度特性が優れているが、消費電力が大きく、またウオームアップの時間が長いという短所がある。これに対してTCXOは、周辺回路の中に温度特性補償回路を設け、感温素子の温度検出値に基づいて発振周波数を補正する構成になっていることから、OCXOに比べて消費電力が小さく、ウオームアップの時間も短いが、温度安定性は劣っている。
そこで温度特性がTCXOよりも良好であり、また消費電力もそれほど大きくない、いわばOCXOとTCXOとの中間のタイプである構造が提案されている(特許文献1)。図6は特許文献1に記載された水晶発振器の水晶振動子部分を示す図であり、この水晶振動子部分は台座11a及びカバー体11bからなるパッケージ11内に設けた基板12の上に隙間を介して水晶片13を対向配置すると共に基板12の中央部にヒータ14を設け、ヒータ14の近傍に設けた感温素子15の温度検出値に基づいてヒータ14の発熱制御を行うように構成されている。なお発振回路部はパッケージ11の外に設けられていて、発振回路部は図示しない外部パッケージ内に封入されている。このような構成によれば、周囲の温度が変化したときに感温素子15が検知し、ヒータ14の発熱量が調整されて水晶片13の温度安定化が図られ、また構成が極めて簡素化されている利点がある。
しかし特許文献1の水晶発振器は次のような課題がある。即ち、周囲温度が変化すると、図示しない外部パッケージの温度が変化し、次いで内部パッケージ11の温度が変化し、こうして外部から順番に構造物及び部品の温度が変化していく。この場合外部から内部に温度変化が伝わっていくが、ヒータ14が水晶片13の中央部直下に位置しかつその近傍に感温素子15が位置しており、そして、水晶片13の位置と発振回路の位置とが異なることから、温度安定化に対する応答が悪いと、水晶片13と発振回路の温度差が大きくなる。一方中央に温度変化が伝わってヒータ14による温度制御作用が働き、温度変化分を打ち消す作用がヒータ14から全体に広がるまでに長い時間がかかる。
また水晶片13とヒータ14との関係に着目すると、周囲の温度変化を先ず水晶片13が受け、次いで感温素子15が受け、それに伴いヒータ14の発熱制御が行われるが、ヒータ14から水晶片13への熱輻射があったとしても、水晶片13への伝熱は主として基板12及び固定部材16を介して行われる。このため水晶片13が受けた温度変化が打ち消されるまで可成り長い時間がかかる。
このように水晶片13と発振回路との間で温度差がつきやすく、水晶片13の温度安定化のためのレスポンスが悪いと、水晶発振器からの発振周波数が不安定になり、また外部の温度が違えば、各部位の温度変化の割合が異なってくることから、実際に実機に組み込んで使用したときには、安定な発振源として機能しにくいという欠点がある。
更にまたこの構造は水晶片13の温度をヒータ14により制御するというコンセプトで作られているため、水晶片13を剥きだしにして使用している。そして剥きだしの水晶片13とヒータ14や感温素子15などが同一のパッケージ11内に配置されているため、制作工程においてこれら部品から飛散して水晶片13に付着したパーティクルや揮発成分などを除去する必要がある。このためパッケージ11内に部品を封入する前に、台座11aの上に各部品が組み立てられた状態で水晶片13に対してUV洗浄、プラズマ洗浄などを複雑に組み合わせた洗浄工程が必要になるという課題もある。
米国特許公報5,917,272号の図1〜図5
本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、消費電力が抑えられかつ周囲温度の変化に対して発振周波数が安定している水晶発振器を提供することにある。
本発明の水晶発振器は、パッケージ内に設けられた基板と、
この基板の一面及び他面の少なくとも一方に当該基板の内側領域を囲むように配置された加熱手段と、
この加熱手段により囲まれた領域内に設けられた水晶振動子及び発振回路部と、
前記加熱手段により囲まれた領域内に設けられ、その出力に応じて前記加熱手段の発熱量が制御される感温素子と、を備えたことを特徴とする。
加熱手段は、基板の内側領域を例えば周縁に沿って連続的にほぼ全周に亘って囲むように配置されることが好ましいが、断続的に配置される構成例えば島状に配置して多数の島状部位が基板の周囲を囲む構成であってもよい。また加熱手段としては、例えば厚膜のペーストを塗布したりあるいは金属薄膜を蒸着することにより形成される抵抗発熱層を挙げることができる。
本発明の具体的な構成例としては、基板が加熱手段よりも外側部位にて支持されており、基板に設けられている部品はパッケージに接していない構成を挙げることができる。なおここでいう外側部位とは、加熱手段の外縁が基板の支持部位よりも外側に位置している場合も含まれる。例えば加熱手段が帯状である場合、加熱手段の内縁よりも外側部位にて基板が支持されていればよい。パッケージ内は基板に設けられた部品と外部とを熱的に遮断するために真空雰囲気とするのが好ましいが、断熱材例えば発泡樹脂などを充填するようにしてもよい。
加熱手段により囲まれた領域内にも更に加熱手段が設けられている構成としてもよい。例えば一の帯状の加熱手段により基板の内側を囲み、更にその内側に他の帯状の加熱手段により基板の内側を囲むことにより二重化する構成、あるいは三重化以上の多重化構成、更にはまた前記一の帯状の加熱手段により囲まれた領域全体に加熱手段を設ける構成(この場合は基板のほぼ全面に加熱手段を設ける構成である)であってもよい。
本発明によれば、パッケージ内に設けた基板の例えば周縁に沿って加熱手段を設け、加熱手段により囲まれる領域に水晶振動子、発振回路部及び感温素子などを設けているため、周囲の温度変化は加熱手段により緩和されて内部に伝わっていく。従って水晶振動子や発振回路部の温度変化が小さく、また内部領域における温度勾配も小さく抑えられるため、周囲の温度変化による水晶発振器の発振周波数の変化が小さく、周波数の温度特性が安定する。
図1及び図2は夫々本発明の水晶発振器に係る実施の形態を示す横断平面図及び縦断側面図である。図中2は、水晶発振器の外装体を構成する気密構造の容器であるパッケージであり、このパッケージ2は、熱伝導性の小さい材質例えばセラミックスからなる、上面が開放された箱形の台座21と、この台座21の上面を接着剤20を介して覆う例えば金属製のプレートからなる蓋部22とにより構成されている。パッケージ2内は外部に対して断熱構造とするためにこの例では真空雰囲気とされている。台座21の内側面には、全周に亘って段部23が形成されていて、この段部23の上に接着剤24を介して熱伝導性の小さい材質例えばガラスからなる基板3の周縁部が支持されている。なお台座21により基板3の周縁部全体を支持する代わりに、ガラススタッドのような点支持構造を採用することもできる。
基板3の一面(実施の形態の説明では「上面」とする)には、当該基板3の周縁に沿って加熱手段をなす例えば帯状の抵抗発熱層からなるヒータ4がほぼ全周に亘って、この例では一個所において僅かに間隔40が開いた状態で設けられている。41及び42はヒータ4の端子部である。この抵抗発熱層は、例えば金属薄膜を蒸着したものでもよいし、厚膜のペーストを塗布したものであってもよい。また抵抗発熱層は、帯状のものを複数本設けて多重化するようにしてもよい。
基板3の上面におけるヒータ4で囲まれた領域には、水晶振動子51、集積回路からなる発振回路部52、温度検出部をなす感温素子53及び周辺回路部品54が装着されている。前記感温素子53は、パッケージ2の外部からの温度変化を検知するときに、どの方向から温度変化が伝わっても同様のタイミングで察知できるようにするために基板3の中心部に配置されている。また水晶振動子51及び発振回路部52は、感温素子53を介して互いに対向する位置に配置されている。水晶振動子51は、この例では金属製の水晶振動子用の気密構造のパッケージ内に封入されているが、用語の煩雑化を避けるためにパッケージに封入された水晶振動子であっても「水晶振動子」という用語で呼ぶことにする。また周辺回路部品54の「C」、「R」は夫々コンデンサ及び抵抗を表している。
基板3の下面側には、温度制御用集積回路からなる温度制御部55と、周辺回路部品54とが装着されている。温度制御部55は、感温素子53により検出した温度検出値(温度検出結果)に基づいて感温素子53の温度検出値が設定値になるようにヒータ4の発熱量を制御する。また基板3においてヒータ4の内側近傍には、発振回路部52などと外部との電気的接続部位である内側ターミナル61が例えば四隅に夫々設けられると共に、台座21の段部23における四隅近傍には、外部ターミナル62が設けられ、各内部ターミナル61と対応する外部ターミナル62とがボンディングされたワイヤ63により電気的に接続されている。
次に上述の実施の形態の作用、効果について述べる。今外部の温度が変化したとすると、例えば温度が下がったとすると、その温度変化がパッケージ2に伝わるが、パッケージ2内は真空であるため、基板3上の回路部品への伝熱経路は主として台座21の段部23から基板3への熱伝導になる。台座21の温度変化は基板3の周縁部から内部領域に伝わろうとするが、基板3の周縁部にはヒータ3が存在するため、その温度変化はヒータ3に伝わり、この例ではヒータ3の温度が降下する。このためヒータ3で囲まれている内部領域の温度が降下するため、感温素子53が温度変化(温度降下)を察知し、その結果温度制御部55の制御動作によりヒータ3の発熱量が大きくなって感温素子53の温度検出値が設定値になるようにコントロールされ、内部領域の温度が元の温度に戻ろうとする。
従って内部領域の温度は、押し寄せてきた温度変化の影響で一旦降下するが、内部領域の周囲にはヒータ4が設けられているので、いわば押し寄せる波が防波堤により抑えられるかの如く、温度変化が小さくなり、内部領域における温度勾配が小さく抑えられる。なお外部からの温度変化は基板3と外部とを電気的に接続する導電路を介して直接伝わるが、導電路はワイヤ63により構成されているため、その伝熱量はわずかであり、このワイヤ63を介して内部領域に与える温度変化はほとんど無視できる。この結果水晶振動子51や発振回路部52の温度変化は、極めて小さくなり、温度変化による水晶発振器の発振周波数の変化が小さく、温度特性が安定する。
またパッケージ2内を真空雰囲気にすることで外部に対して熱的に絶縁しているため、パッケージ2の底面部や上面部(蓋体22)と内部部品との間の熱伝導も極めて少ないので、放熱が抑えられ、ヒータ4の消費電力が小さくて済む。またパッケージ2全体にヒータを設けるのではなく、基板3の外縁に沿って帯状に設けているため、この点からもヒータの消費電力が低減できる。
そして水晶振動子51の温度をヒータ4により直接コントロールするというよりも外部からの温度変化をヒータ4により緩和させるようにしているので、水晶振動子51として既にパッケージ化したものを用いることができる。このため製造工程において水晶振動子51に対して他の部品からのパーティクルや揮発成分などによる汚染がないので、UV洗浄、プラズマ洗浄などの複雑な洗浄工程が不要になる。なお本発明では、パッケージ化されていない水晶振動子51を用いてもよい。
ここで図1の構造を用いて水晶振動子及び発振回路をヒータ4で温度制御した場合(実施例)と、図6に示した構造を用いて水晶振動子だけを重点的に温度制御した場合(比較例)とについて、周囲の温度を−40℃から30℃まで変化させて10℃刻みで周波数の変化率を調べたところ、図3の結果が得られた。水晶振動子としては、外部電源5V、共振周波数5MHzのものを用いた。実線(1)は実施例の結果であり、鎖線(2)は比較例の結果である。この結果から分かるようにヒータ3により基板の内部領域を囲むことにより、温度変化に対して周波数変化が少ないことが分かる。
図4及び図5は本発明の他の実施の形態を示す図であり、図1及び図2の例に対応する部位については同一の符号を付してある。この例では、基板3の両面に各々ヒータ3が基板の周縁に沿って設けられている。そして基板3の上面側におけるヒータ3に囲まれる領域に発振回路部52及び温度制御部55が設けられると共に、水晶振動子51及び感温素子53は、基板3の下面側に設けられている。このような構成においても先の実施の形態と同様の効果が得られる。
本発明に係る水晶発振器の一実施の形態を示す横断平面図である。 上記一実施の形態を示す縦断側面図である。 上記実施の形態の効果を示す説明図である。 本発明に係る水晶発振器の他の実施の形態を示す平面図である。 上記他の実施の形態を示す縦断側面図である 従来の水晶発振器を示す縦断側面図である。
符号の説明
2 パッケージ
21 台座
22 蓋体
3 基板
4 ヒータ
51 水晶振動子
52 発振回路部
53 感温素子
54 周辺回路部品
55 温度制御部
63 ワイヤ








Claims (7)

  1. パッケージ内に設けられた基板と、
    この基板の一面及び他面の少なくとも一方に当該基板の内側領域を囲むように配置された加熱手段と、
    この加熱手段により囲まれた領域内に設けられた水晶振動子及び発振回路部と、
    前記加熱手段により囲まれた領域内に設けられ、その出力に応じて前記加熱手段の発熱量が制御される感温素子と、を備えたことを特徴とする水晶発振器。
  2. 基板は加熱手段よりも外側部位にて支持されており、
    基板に設けられている部品はパッケージに接していないことを特徴とする請求項1記載の水晶発振器。
  3. 加熱手段は、抵抗発熱層により構成されたことを特徴とする請求項1または2記載の水晶発振器。
  4. パッケージ内は真空雰囲気であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の水晶発振器。
  5. パッケージ内は断熱材が充填されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の水晶発振器。
  6. 水晶振動子は、水晶振動子用パッケージ内に封入されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載の水晶発振器。
  7. 加熱手段により囲まれた領域内に更に加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一に記載の水晶発振器。

JP2004191826A 2004-06-29 2004-06-29 水晶発振器 Expired - Fee Related JP4354347B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004191826A JP4354347B2 (ja) 2004-06-29 2004-06-29 水晶発振器
US11/154,289 US7088032B2 (en) 2004-06-29 2005-06-16 Crystal oscillator
CNB2005100814744A CN100485991C (zh) 2004-06-29 2005-06-29 晶体振荡器
EP05270026A EP1612930B8 (en) 2004-06-29 2005-06-29 Crystal oscillator
AT05270026T ATE383673T1 (de) 2004-06-29 2005-06-29 Quarzoszillator
DE602005004205T DE602005004205T2 (de) 2004-06-29 2005-06-29 Quarzoszillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004191826A JP4354347B2 (ja) 2004-06-29 2004-06-29 水晶発振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006014208A true JP2006014208A (ja) 2006-01-12
JP4354347B2 JP4354347B2 (ja) 2009-10-28

Family

ID=34941864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004191826A Expired - Fee Related JP4354347B2 (ja) 2004-06-29 2004-06-29 水晶発振器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7088032B2 (ja)
EP (1) EP1612930B8 (ja)
JP (1) JP4354347B2 (ja)
CN (1) CN100485991C (ja)
AT (1) ATE383673T1 (ja)
DE (1) DE602005004205T2 (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007201858A (ja) * 2006-01-27 2007-08-09 Epson Toyocom Corp 水晶振動子、高精度水晶発振器
JP2007312387A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Taitien Electronics Co Ltd 水晶発振器モジュール
JP2011035548A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Kyocera Kinseki Corp 圧電デバイス
JP2013009419A (ja) * 2012-09-06 2013-01-10 Seiko Epson Corp 温度補償型圧電発振器の調整方法およびその方法により調整された温度補償型圧電発振器
US8547182B2 (en) 2010-10-08 2013-10-01 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Oven controlled crystal oscillator
JP2014030128A (ja) * 2012-07-31 2014-02-13 Kyocera Crystal Device Corp 圧電デバイス
JP2014107862A (ja) * 2012-11-30 2014-06-09 Seiko Epson Corp 温度補償型発振器、電子機器、及び移動体
JP2015119378A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 日本電波工業株式会社 高安定発振器
JP2015122607A (ja) * 2013-12-24 2015-07-02 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器および移動体
JP2016195345A (ja) * 2015-04-01 2016-11-17 京セラクリスタルデバイス株式会社 圧電デバイス及びその製造方法
US10084429B2 (en) 2013-12-24 2018-09-25 Seiko Epson Corporation Heating body, resonation device, electronic apparatus, and moving object
US10103708B2 (en) 2013-12-24 2018-10-16 Seiko Epson Corporation Heating body, vibration device, electronic apparatus, and moving object
WO2021240877A1 (ja) * 2020-05-25 2021-12-02 日本電波工業株式会社 水晶発振器
JP2022034974A (ja) * 2020-08-19 2022-03-04 日本電波工業株式会社 恒温槽付水晶発振器
JPWO2022050414A1 (ja) * 2020-09-07 2022-03-10
WO2022181546A1 (ja) * 2021-02-25 2022-09-01 株式会社大真空 恒温槽型圧電発振器
JP7581730B2 (ja) 2020-09-24 2024-11-13 株式会社大真空 圧電発振器

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060022556A1 (en) * 2004-07-29 2006-02-02 Bail David L Quartz resonator package having a housing with thermally coupled internal heating element
EP3547047B1 (en) * 2006-08-22 2021-05-19 Juniper Networks, Inc. Apparatus and method for thermal stabilization of pcb-mounted electronic components within an enclosed housing
US20080102761A1 (en) * 2006-10-27 2008-05-01 Stratex Networks, Inc. System and method for compensation of phase hits
US7683727B2 (en) * 2007-03-15 2010-03-23 Honeywell International Inc. Acceleration feedback control for crystal oscillators
EP1990911A1 (en) 2007-05-09 2008-11-12 Taitien Electronics Co., Ltd. Crystal oscillator device capable of maintaining constant temperature condition
US10266392B2 (en) * 2007-06-07 2019-04-23 E-Pack, Inc. Environment-resistant module, micropackage and methods of manufacturing same
US8049326B2 (en) * 2007-06-07 2011-11-01 The Regents Of The University Of Michigan Environment-resistant module, micropackage and methods of manufacturing same
US7782147B2 (en) * 2007-06-20 2010-08-24 Motorola, Inc. Apparatus for providing oscillator frequency stability
GB2450620B (en) 2007-06-27 2010-07-07 Fluke Corp System for providing a thermally stabilized fixed frequency piezoelectric optical modulator
US8059425B2 (en) * 2008-05-28 2011-11-15 Azurewave Technologies, Inc. Integrated circuit module with temperature compensation crystal oscillator
JP4803758B2 (ja) * 2008-11-21 2011-10-26 日本電波工業株式会社 発振装置
JP4955042B2 (ja) * 2009-05-18 2012-06-20 日本電波工業株式会社 恒温型の水晶発振器
EP2568496A3 (en) * 2011-09-09 2017-12-06 Assa Abloy Ab Method and apparatus for maintaining operational temperature of an integrated circuit
US20130321088A1 (en) * 2012-06-01 2013-12-05 Pierino Vidoni Surface mount ovenized oscillator assembly
US9576868B2 (en) * 2012-07-30 2017-02-21 General Electric Company Semiconductor device and method for reduced bias temperature instability (BTI) in silicon carbide devices
CN102902288B (zh) * 2012-09-26 2015-12-02 广东大普通信技术有限公司 一种恒温控制晶体振荡器及其恒温槽温度控制方法
US9287882B2 (en) * 2013-11-07 2016-03-15 Kyocera Crystal Device Corporation Temperature compensated crystal oscillator
JP6376330B2 (ja) * 2014-03-25 2018-08-22 セイコーエプソン株式会社 電子部品、電子機器および移動体
JP6041070B2 (ja) * 2014-05-07 2016-12-07 株式会社村田製作所 水晶振動装置
US10167189B2 (en) 2014-09-30 2019-01-01 Analog Devices, Inc. Stress isolation platform for MEMS devices
JP6507565B2 (ja) * 2014-10-28 2019-05-08 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP6561487B2 (ja) * 2015-02-16 2019-08-21 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、電子機器および移動体
US10069500B2 (en) * 2016-07-14 2018-09-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Oven controlled MEMS oscillator
US20180131324A1 (en) * 2016-08-15 2018-05-10 Bliley Technologies, Inc. High-Efficiency Ovenized Oscillator
CN106559070A (zh) * 2016-10-18 2017-04-05 北京无线电计量测试研究所 一种恒温晶体振荡器
US11223752B2 (en) * 2017-04-06 2022-01-11 Lg Innotek Co., Ltd. Camera module having extended support members for reduced power consumption
CN109981052A (zh) * 2019-04-17 2019-07-05 南京信息职业技术学院 双层恒温槽晶体振荡器结构及其制造方法
US11417611B2 (en) 2020-02-25 2022-08-16 Analog Devices International Unlimited Company Devices and methods for reducing stress on circuit components
US11981560B2 (en) 2020-06-09 2024-05-14 Analog Devices, Inc. Stress-isolated MEMS device comprising substrate having cavity and method of manufacture
CN113125023A (zh) * 2021-03-05 2021-07-16 深圳市福浪电子有限公司 一种用于检测晶体振荡器温度的检测装置
CN113315472B (zh) * 2021-04-30 2023-06-09 武汉海创电子股份有限公司 一种航天用恒温晶体振荡器专用厚膜电路
CN116938184A (zh) * 2023-09-19 2023-10-24 广东昕海科技有限公司 一种晶体振荡器

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4259606A (en) * 1979-05-25 1981-03-31 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Fast warm-up oven controlled piezoelectric oscillator
US5041800A (en) * 1989-05-19 1991-08-20 Ppa Industries, Inc. Lower power oscillator with heated resonator (S), with dual mode or other temperature sensing, possibly with an insulative support structure disposed between the resonator (S) and a resonator enclosure
US5696423A (en) * 1995-06-29 1997-12-09 Motorola, Inc. Temperature compenated resonator and method
US5729181A (en) 1996-08-23 1998-03-17 Hewlett-Packard Company High thermal gain oven with reduced probability of temperature gradient formation for the operation of a thermally stable oscillator
WO1999037018A1 (fr) 1998-01-20 1999-07-22 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. Oscillateur piezo-electrique
US5917272A (en) * 1998-06-11 1999-06-29 Vectron, Inc. Oven-heated crystal resonator and oscillator assembly
US6060692A (en) * 1998-09-02 2000-05-09 Cts Corporation Low power compact heater for piezoelectric device
US6049256A (en) * 1998-09-10 2000-04-11 Cts Corporation Low profile ovenized oscillator packing having a high thermal conductivity substrate
US6133674A (en) * 1998-10-27 2000-10-17 Cts Low profile integrated oscillator having a stepped cavity
US6731180B1 (en) * 2000-10-20 2004-05-04 Deleware Capital Formation Inc. Evacuated hybrid ovenized oscillator
US6501340B1 (en) * 2002-02-11 2002-12-31 Acr Electronics, Inc. Oscillator with frequency stabilizing circuit and method of constructing same

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007201858A (ja) * 2006-01-27 2007-08-09 Epson Toyocom Corp 水晶振動子、高精度水晶発振器
JP2007312387A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Taitien Electronics Co Ltd 水晶発振器モジュール
JP2011035548A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Kyocera Kinseki Corp 圧電デバイス
US8547182B2 (en) 2010-10-08 2013-10-01 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Oven controlled crystal oscillator
JP2014030128A (ja) * 2012-07-31 2014-02-13 Kyocera Crystal Device Corp 圧電デバイス
JP2013009419A (ja) * 2012-09-06 2013-01-10 Seiko Epson Corp 温度補償型圧電発振器の調整方法およびその方法により調整された温度補償型圧電発振器
JP2014107862A (ja) * 2012-11-30 2014-06-09 Seiko Epson Corp 温度補償型発振器、電子機器、及び移動体
JP2015119378A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 日本電波工業株式会社 高安定発振器
JP2015122607A (ja) * 2013-12-24 2015-07-02 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器および移動体
US10084429B2 (en) 2013-12-24 2018-09-25 Seiko Epson Corporation Heating body, resonation device, electronic apparatus, and moving object
US10103708B2 (en) 2013-12-24 2018-10-16 Seiko Epson Corporation Heating body, vibration device, electronic apparatus, and moving object
JP2016195345A (ja) * 2015-04-01 2016-11-17 京セラクリスタルデバイス株式会社 圧電デバイス及びその製造方法
WO2021240877A1 (ja) * 2020-05-25 2021-12-02 日本電波工業株式会社 水晶発振器
JP7426286B2 (ja) 2020-05-25 2024-02-01 日本電波工業株式会社 水晶発振器
US12028020B2 (en) 2020-05-25 2024-07-02 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal oscillator
JP2022034974A (ja) * 2020-08-19 2022-03-04 日本電波工業株式会社 恒温槽付水晶発振器
JP7492882B2 (ja) 2020-08-19 2024-05-30 日本電波工業株式会社 恒温槽付水晶発振器
JPWO2022050414A1 (ja) * 2020-09-07 2022-03-10
WO2022050414A1 (ja) * 2020-09-07 2022-03-10 株式会社大真空 恒温槽型圧電発振器
JP7505564B2 (ja) 2020-09-07 2024-06-25 株式会社大真空 恒温槽型圧電発振器
JP7581730B2 (ja) 2020-09-24 2024-11-13 株式会社大真空 圧電発振器
WO2022181546A1 (ja) * 2021-02-25 2022-09-01 株式会社大真空 恒温槽型圧電発振器
JPWO2022181546A1 (ja) * 2021-02-25 2022-09-01
JP7544247B2 (ja) 2021-02-25 2024-09-03 株式会社大真空 恒温槽型圧電発振器

Also Published As

Publication number Publication date
DE602005004205T2 (de) 2008-04-17
US7088032B2 (en) 2006-08-08
CN100485991C (zh) 2009-05-06
CN1716656A (zh) 2006-01-04
ATE383673T1 (de) 2008-01-15
JP4354347B2 (ja) 2009-10-28
US20050285482A1 (en) 2005-12-29
EP1612930B8 (en) 2008-04-30
DE602005004205D1 (de) 2008-02-21
EP1612930A1 (en) 2006-01-04
EP1612930B1 (en) 2008-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4354347B2 (ja) 水晶発振器
JP6662057B2 (ja) 圧電発振器
JP2007006270A (ja) 圧電発振器
JP2010213280A (ja) 熱的に制御された圧電共振子を含む発振子デバイス
JP4270158B2 (ja) 高安定圧電発振器
JP2015033065A (ja) 水晶振動子及び水晶発振器
JP7396496B2 (ja) 恒温槽型圧電発振器
JP2779619B2 (ja) 水晶発振器
JP6058974B2 (ja) 恒温槽付水晶発振器
CN111355448A (zh) 一种恒温晶体振荡器
JP5741869B2 (ja) 圧電デバイス
JP7424941B2 (ja) 恒温槽付水晶発振器
US12213384B2 (en) Oscillator
JP5205822B2 (ja) 圧電発振器
TW202228258A (zh) 恆溫槽型晶體振盪器
JPS6327454Y2 (ja)
JP5135018B2 (ja) 恒温型の水晶発振器
JP2005143060A (ja) 圧電振動子及びこれを用いた圧電発振器
JP2006304110A (ja) 温度補償型水晶発振モジュール
JP7492882B2 (ja) 恒温槽付水晶発振器
US11929709B2 (en) Oven-controlled crystal oscillator
JP7435132B2 (ja) 圧電発振器
US20240305269A1 (en) Piezoelectric resonator device
JPH07135421A (ja) 水晶発振器
JP2024156338A (ja) 発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070615

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090624

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090707

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090729

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees