JP2006043682A - パターン形成装置、ヘッドユニット、位置決め治具 - Google Patents

Abstract

【課題】調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするインクジェット方式のパターン形成装置等を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド３１１毎に位置決めブロック３１２が設けられ、複数の位置決めブロック３１２は、スライド機構（スライダ３１３、スライドレール３１４）を介して着脱可能にベース部材３１５に連結される。また、スライド機構の両端部に当て止め機構３２１及び押し付け機構３２２を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、表示装置におけるカラーフィルタ等のパターンを形成するパターン形成装置等に関する。より詳細には、インクジェット方式等によりパターンを形成するパターン形成装置等に関する。

従来、基板上に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタのパターンを形成する方法として、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法がある。
染色法では、基板上に染色用の水溶性高分子材料を塗布し、フォトリソグラフィ工程をＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について繰り返し、基板上に所望の形状のカラーフィルタパターンを形成する。
顔料分散法では、基板上に感光性樹脂層を形成し、フォトリソグラフィ工程をＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について繰り返し、基板上に所望の形状のカラーフィルタパターンを形成する。
電着法では、基板上に透明電極をパターンニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬し、これをＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について繰り返し、基板上に所望の形状のカラーフィルタパターンを形成する。
印刷法では、熱硬化樹脂に顔料を分散させ、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について印刷を行い、基板上に所望の形状のカラーフィルタパターンを形成する。

しかしながら、上記の方法はいずれもＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について同一工程を繰り返す必要があるので、コスト、歩留まり等の面で問題点がある。
そこで、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層パターンを形成するパターン形成装置が提案されている（例えば、［特許文献１］参照。）。
このインクジェット方式によれば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のパターン形成を一度の工程により行い、製造工程を簡素化することができるので、コストの低減、歩留まりの向上等を図ることができる。

図３７及び図３８は、従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法を示す図である。
図３７に示すように、塗布幅（Ｙ方向）を拡大するためにインクジェットヘッドを複数配列する場合、千鳥足状に配列する方法が一般的である。この場合、例えば、複数のインクジェットヘッド５００１は、平行する２つの直線状に交互に配列される。ノズル孔５００２は、インクジェットヘッド５００１の左右端部には設けられないので、塗布方向（Ｘ方向）から見てノズル孔の全配列において空白部分が生じないようにするために交互に配列される。この従来のパターン形成装置は、各インクジェットヘッド５００１について、Ｙ方向の調整機構５００４及びθ方向の調整機構５００５とを備える。

図３８に示すように、従来のインクジェット方式のパターン形成装置は、パターン間ピッチが変更された場合、各インクジェットヘッド５００１をＹ方向（ｙ１、ｙ２、ｙ３、…）及びθ方向（φ）について調整し、ノズル孔５００２の位置を塗布対象である基板上の所定のパターン５００３の位置に調整する。

また、複数のヘッドを同時に回転させて角度を調整し、ノズル並び方向に各ヘッド個別に微調させるカラーフィルタの製造装置が提案されている（例えば、［特許文献２］参照。）。

特開２００２−３６１８５２号公報 特開平９−３００６６４号公報

しかしながら、塗布幅の拡大、変更に対応するためには、インクジェットヘッドを大規模化したりインクジェットヘッド数を増加する必要があるが、この場合、上記Ｙ方向及びθ方向の調整機構（旋回用及び列方向移動用のアクチュエータ）はインクジェットヘッド毎に個別に設ける必要があるので、調整機構の大規模化あるいは増設等を行う必要が生じてコスト的負担、維持管理負担等が増大するという問題点がある。また、各インクジェットヘッドに対する制御も困難かつ複雑化するという問題点がある。

また、［特許文献２］のカラーフィルタの製造装置は、ヘッドの位置決め機構に関し、スライド部材、ホルダ等を用いる構成となっており（［特許文献２］図３参照。）、塗布幅が拡大した場合、ヘッド位置決め機構が大型化し、ガタが生じて所要の精度を得ることが困難であり、また、コスト的負担、維持管理負担等が増大するという問題点がある。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするインクジェット方式のパターン形成装置等を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために第１の発明は、基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、１つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられるベースと、前記位置決め部及び前記ベース間に設けられる摺動手段と、前記ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、を具備することを特徴とするパターン形成装置である。

また、前記位置調整手段は、前記位置決め部の一方の摺動方向端部を当て止めする当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける押し付け手段とを具備することが望ましい。

パターン形成装置は、インクジェット方式等によりカラーフィルタ等を製造する装置である。カラーフィルタは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイパネル）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）等の表示装置に用いられる。

位置決め部は、個々のヘッド（インクジェットヘッド）の位置決めを行うものである。位置決め部としては、例えば、位置決めを行う治具としての位置決めブロック等を用いることができる。この場合、ヘッドと加工済の位置決めブロックとを接着してもよいし、ヘッドを位置決めブロックに取り付けた後に、位置決めブロック等の加工を行い、一体として成形するようにしてもよい。また、インクジェットヘッドを高精度に製作することにより、インクジェットヘッド自体に位置決め部の機能を持たせるようにしてもよい。
摺動手段は、ベース（ベース部材）に対して、ヘッド（インクジェットヘッド）を位置固定する位置決め部（位置決めブロック）を摺動方向（列方向）にスライドさせるスライド機構であり、例えば、スライドレール、当該スライドレールに着脱可能なスライダ（スライドブッシュ）等を用いることができる。
尚、位置決め部は、ベースに着脱可能である。

当て止め手段は、当て止めにより位置調整を行う機構である。当て止め位置の調整に関しては、スペーサとしての位置決め部をヘッド装着前に装着して、当て止め機構に設けられる調整機構（マイクロメータ等）により微調整を行うことができる。
押し付け手段は、当て止め手段からの押圧力を受け止める機構であり、例えば、バネ機構等を用いることができる。

ベースには、全体を回転する回転手段を設けるようにしてもよい。
回転手段は、回転機構であり、ベアリング、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。

第１の発明では、ヘッド毎に位置決め部が設けられ、１つまたは複数の位置決め部は、スライド機構を介して着脱可能にベースに連結される。１つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列の配列ヘッドユニットまたは複数列の配列ヘッドユニットがベースに連結される。尚、複数列の配列ヘッドユニットの場合、平行に配置してにベースに連結することが望ましい。
従って、スライド機構により、ヘッド（位置決め部）の着脱、交換、摺動方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

第２の発明は、基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、１つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられる第１ベースと、１つまたは複数の第１ベースが設けられる第２ベースと、前記位置決め部及び前記第１ベース間に設けられる第１摺動手段と、前記第１ベース及び前記第２ベース間に設けられる第２摺動手段と、前記第１ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う第１位置調整手段と、前記第２ベースにおいて前記第１ベースの位置調整を行う第２位置調整手段と、を具備することを特徴とするパターン形成装置である。

また、前記第１位置調整手段は、前記位置決め部の一方の摺動方向端部を当て止めする第１当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける第１押し付け手段とを具備することが望ましい。
また、前記第２位置調整手段は、前記第１ベースの一方の摺動方向端部を当て止めする第２当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける第２押し付け手段とを具備することが望ましい。
また、前記第２位置調整手段は、上記の第２当て止め手段及び第２押し付け手段に代えて前記第１ベースを直線駆動させる直線駆動手段を具備するようにしてもよい。
尚、複数列の配列ヘッドユニットの場合、平行に配置してに第１ベースに連結することが望ましい。

第１摺動手段は、第１ベース（バー）に対して、ヘッド（インクジェットヘッド）を位置固定する位置決め部（位置決めブロック）を摺動方向（列方向）にスライドさせるスライド機構であり、例えば、スライドレール、当該スライドレールに着脱可能なスライダ（スライドブッシュ）等を用いることができる。
尚、位置決め部は、第１ベースに着脱可能である。

第２摺動手段は、第２ベース（取り付け座）に対して、第１ベース（バー）を摺動方向（列方向）にスライドさせるスライド機構であり、例えば、スライドレール、当該スライドレールに着脱可能なスライダ（スライドブッシュ）、サーボモータ及びボールネジ、アクチュエータとしてのシャフト式リニアモータ等を用いることができる。
尚、第２摺動手段に関しては、サーボモータ等、それ自身で、位置決め機能を有しているものは、当て止め手段、押し付け手段は必要ない。
また、第１ベースは、第２ベースに着脱可能である。

第１当て止め手段及び第２当て止め手段は、当て止めにより位置調整を行う機構である。当て止め位置の調整に関しては、スペーサとしての位置決め部をヘッド装着前に装着して、当て止め機構に設けられる調整機構（マイクロメータ等）により微調整を行うことができる。
第１押し付け手段及び第２押し付け手段は、第１当て止め手段及び第２当て止め手段からの押圧力を受け止める機構であり、例えば、バネ機構等を用いることができる。
直線駆動手段は、第１ベースを摺動方向に直線移動させる直線駆動機構であり、例えば、ボールネジ及びサーボモータ、あるいは、リニアサーボモータ等を用いることができる。

第１ベースには、１列に位置決め部を設けてもよいし、複数列の位置決め部を平行に設けるようにしてもよい。
第２ベースには、全体を回転する回転手段を設けるようにしてもよい。
回転手段は、回転機構であり、ベアリング、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。

第２の発明では、ヘッド毎に位置決め部が設けられ、１つまたは複数の位置決め部は、スライド機構を介して着脱可能に第１ベースに連結され、さらに、第１ベースは、スライド機構を介して着脱可能に第２ベースに連結される。尚、第２ベースに１つの第１ベースを連結するようにしてもよいし、第２ベースに複数の第１ベースを連結するようにしてもよい。
従って、スライド機構により、ヘッド（位置決め部、第１ベース）の着脱、交換、摺動方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

また、第１摺動手段の摺動範囲は、第２摺動手段の摺動範囲より小さくすることができる。第１ベースに設けられるスライドレール長は、インク塗布に必要な幅程度とすればよく、第２ベースに設けられるスライドレール長より小さくすることができる。
この場合、ヘッド（位置決め部、第１ベース）の着脱、交換は、第１ベース全体を第２ベースのスライドレールに沿ってスライドさせて、着脱位置、交換位置にヘッド（位置決め部、第１ベース）を移動させることにより行うことができる。
従って、第２ベースの大きさを必要最小限に抑えることができるので、ヘッドユニットの重量を大幅に減少させることができ、機構の簡素化、費用的負担の軽減を図ることができる。

第３の発明は、基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、１または複数のヘッドが設けられる１または複数のベースと、前記ベースを個別に回転させる回転手段と、前記ベースを個別に平行移動させる平行移動手段と、を具備することを特徴とするパターン形成装置である。

パターン形成装置は、１または複数のヘッドが設けられる１または複数のベースを、個別に回転及び平行移動させる。パターン形成装置は、例えば、１つまたは別々のガントリに１つまたは複数のヘッドユニットを備え、個別に回転及び平行移動を行うようにしてもよい。
第３の発明では、より大きな基板サイズに対応するためにより多くのヘッドが必要な場合であっても、高精度に位置決めが可能であり、装置製作に係る費用を低減することができる。
また、第３の発明では、ヘッドユニットについて特に限定されず、第１の発明のパターン形成装置、第２の発明のパターン形成装置等において、１つまたは複数のヘッドユニットを設けて個別に回転及び平行移動させるようにしてもよい。

第４の発明は、１つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、１つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられるベースと、前記位置決め部及び前記ベース間に設けられる摺動手段と、前記ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、を具備することを特徴とするヘッドユニットである。

第４の発明のヘッドユニットは、第１の発明のパターン形成装置に用いられるヘッドユニットに関する発明である。

第５の発明は、１つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、１つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられる第１ベースと、１つまたは複数の第１ベースが設けられる第２ベースと、前記位置決め部及び前記第１ベース間に設けられる第１摺動手段と、前記第１ベース及び前記第２ベース間に設けられる第２摺動手段と、前記第１ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う第１位置調整手段と、前記第２ベースにおいて前記第１ベースの位置調整を行う第２位置調整手段と、を具備することを特徴とするヘッドユニットである。

第５の発明のヘッドユニットは、第２の発明のパターン形成装置に用いられるヘッドユニットに関する発明である。

第６の発明は、１つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、少なくとも１つの前記位置決め部を摺動させる摺動手段と、少なくとも１つの前記摺動手段を他部材に着脱可能に固定する着脱固定手段と、前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、を具備することを特徴とするヘッドユニットである。

着脱固定手段は、ヘッドユニット本体を他部材（支持部材、ベース、バー等）に着脱可能に固定するものであり、例えば、アリ溝機構、スライド機構（ＬＭガイド等）等である。アリ溝機構を用いる場合、ヘッドユニット本体側にオス型のアリ溝を設け、他部材側にメス型のアリ溝を設け、両アリ溝を嵌合して水平方向にスライドさせることによりヘッドユニット本体と他部材との着脱を行う。また、固定に関しては、固定ネジを用いることができる。
スライド機構を用いる場合、装着時は、前後方向に抜けないようにするために、スライダ（スライドブッシュ）がスライドレール上を動かないように固定される。
また、先述の発明のパターン形成装置、ヘッドユニット等において、ベースと摺動手段との間に着脱固定手段を設け、ヘッドユニット本体とベースとを着脱可能に固定するようにしてもよい。

第６の発明では、ヘッドユニット本体と他部材との間に着脱固定手段が設けられるので、当該着脱固定手段を介して、ヘッドユニット本体と他部材との着脱を行うことができる。
従って、装着あるいは取り外しの際、摺動手段の分解あるいは組立（スライダとスライドレールの着脱等）、アクチュエータ等の駆動装置の接続解除あるいは接続等を行う必要がなく、摺動手段の精度維持を図ると共に作業負担等を軽減することができる。

第７の発明は、ベースに設けられヘッド毎に位置決めを行う位置決め治具であって、前記ベースに設けられるスライドレールに着脱可能なスライドブッシュを具備することを特徴とする位置決め治具である。

第７の発明の位置決め治具は、上述の発明のパターン形成装置、ヘッドユニットに用いられる位置決め治具に関する発明である。
尚、位置決め治具は、位置決め用の当て止め面、あるいは、当て止め位置を調整する位置決めネジを有することが望ましい。

尚、上記の発明では、ベース、バー等には、１つの位置決め治具を設けるようにしてもよいし、複数の位置決め治具を設けるようにしてもよい。また、複数の位置決め治具をベース、バー等に設ける場合、１つずつ平行に配置してもよいし、複数の位置決め治具を隣接配置してもよいし、複数の位置決め治具を隣接配置したものをそれぞれ平行に配置してもよいし、これらを組合せ、１つの位置決め治具と複数の位置決め治具を隣接配置したものをそれぞれ平行に配置してもよい。

本発明によれば、調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするインクジェット方式のパターン形成装置等を提供することができる。

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るパターン形成装置等の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。

まず、本発明の第１の実施の形態に係るパターン形成装置等について説明する。
最初に、図１を参照しながら、本発明の第１の実施の形態に係るパターン形成装置１０１の構成について説明する。
図１は、パターン形成装置１０１の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Ｙ軸は塗布幅方向を示し、Ｘ軸は塗布方向を示し、θ軸、Ｙ軸、Ｘ軸は、互いに直角をなす。

図１に示すパターン形成装置１０１は、インクジェットヘッドユニット１０２、吸着テーブル１０３、アライメントカメラ１０４、θ軸移動ステージ１０５、Ｙ軸移動ステージ１０６、Ｘ軸移動ステージ１０７等により構成される。

パターン形成装置１０１は、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する装置である。パターン形成装置１０１は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを乾燥させて着色画素部を形成し、当該基板上にカラーフィルタパターンを形成する。

インクジェットヘッドユニット１０２は、複数のインクジェットヘッドの位置決めを行い、基板に対してインクを吐出してパターン形成を行う。インクジェットヘッドユニット１０２については、後述する。
吸着テーブル１０３は、カラーフィルタパターンを形成する対象となる基板１０８（ガラス基板、フィルム基板等）を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブルと基板との間の空気を減圧、真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔（図示しない）が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。

アライメントカメラ１０４は、吸着テーブル１０３に吸着固定された基板１０８のθ方向角度及びＸＹ座標を検出するために、基板１０８の所定箇所（基板上に形成されるアライメントマーク（図示しない）等）を撮像するカメラである。アライメントカメラ１０４の撮像画像は、パターン形成装置１０１のアライメント部（図示しない）に入力される。
尚、アライメントカメラ１０４は、パターン形成装置１０１のフレーム（図示しない）に固定支持される。

アライメント部（図示しない）は、撮像画像に基づいて基板１０８のθ方向角度及びＸＹ座標を抽出する処理を行う。アライメント部（図示しない）は、抽出したデータを所定のデータと比較してそれらの偏差を算出し、偏差を小さくするように制御量を演算する。アライメント部（図示しない）は、θ軸移動ステージ１０５、Ｙ軸移動ステージ１０６、Ｘ軸移動ステージ１０７に対してそれぞれの制御量を出力して各ステージの位置制御を行う。このように、アライメント部（図示しない）は、アライメントカメラ１０４の撮像画像に基づいて、基板１０８が所定のθ方向角度、所定のＸＹ座標となるように制御する。

θ軸移動ステージ１０５は、回転ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の回転軸に回転自在に支持される。θ軸移動ステージ１０５は、アライメント部（図示しない）が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル１０３を回転する。

Ｙ軸移動ステージ１０６は、直線移動ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持される。Ｙ軸移動ステージ１０６は、アライメント部（図示しない）が出力する制御量に基づいて、θ軸移動ステージ１０５をＹ軸方向に移動する。

Ｘ軸移動ステージ１０７は、直線移動ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持される。Ｘ軸移動ステージ１０７は、アライメント部（図示しない）が出力する制御量に基づいて、Ｙ軸移動ステージ１０６をＸ軸方向に移動する。

このように、パターン形成装置１０１は、θ軸移動ステージ１０５、Ｙ軸移動ステージ１０６、Ｘ軸移動ステージ１０７により、所定のθ方向角度、所定のＸＹ座標となるように、基板１０８の位置決めを行う。

次に、図２を参照しながら、複数のインクジェットヘッドの配列について説明する。
図２は、複数のインクジェットヘッドの配列の説明図である。
尚、ノズル孔は、インクジェットヘッド左右端部等の使用されないノズル孔を除した有効ノズル孔であるものとして説明する。

インクジェットヘッド２０１は、それぞれ、位置決めブロック２０２（精密ブロック、固定治具）により位置決め精度を維持しつつ列状に配置され、配列ヘッドユニット２０４（ヘッド列）を形成する。インクジェットヘッド２０１は、それぞれ、複数のノズル孔２０３を備える。

位置決めブロック２０２は、インクジェットヘッド２０１に対して相当の形状、容積を要する。１列の配列ヘッドユニットでは、隣接するインクジェットヘッド間において、ノズル孔の欠如を生じる場合がある。そこで、複数の配列ヘッドユニットを平行に配置し、列方向位置を調整することにより、ノズル孔の位相を一致させ、隣接するインクジェットヘッド間におけるノズル孔の重複、欠如を防止することができる。

この場合、［式１］を満たすようにインクジェットヘッド２０１を配置して配列ヘッドユニット２０４を形成する。図２は、ｎ＝２の場合における、インクジェットヘッドの配列を示す。
Ｃ＝（ｎ−１）×（Ａ＋Ｂ）＋Ｂ…［式１］
尚、Ａ：ヘッド内ノズル孔列長２０５
Ｂ：ノズル孔間ピッチ２０６
Ｃ：ヘッド間ピッチ２０７（隣接ヘッド間のノズル孔ピッチ）
ｎ：配列ヘッドユニット２０４の数

次に、図３〜図５を参照しながら、インクジェットヘッドユニットについて説明する。
図３は、インクジェットヘッドユニット１０２の外観斜視図である。
図４は、インクジェットヘッドユニット１０２の平面図である。
図５は、インクジェットヘッドユニット１０２の断面図である。

図３では、インクジェットヘッドユニット１０２は、３色分（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ）の６列の配列ヘッドユニット３０１等から構成される。配列ヘッドユニット３０１は、それぞれ、１枚の板状部材であるベース部材３１５に取り付けられる。
図４及び図５では、インクジェットヘッドユニット１０２は、２列の配列ヘッドユニットから構成され、各配列ヘッドユニットは、１列のインクジェットヘッドから構成され、それぞれ、ベース部材に取り付けられる。
尚、ベース部材３１５は、取り付け座３０２に取り付けられる。

以下の説明では、理解の容易のため主として、図４及び図５に示すインクジェットヘッドユニットについて説明する。
尚、１つのインクジェットヘッドユニットに設ける配列ヘッドユニットの数、色、１つのベース部材に設けるインクジェットヘッドの列数、色については、図３〜図５に示すものに限定されない。
図３〜図５では、ベース部材３１５に複数列の配列ヘッドユニット３０１が設けられるが、ベース部材３１５に１列の配列ヘッドユニット３０１を設けることもできる（図示しない。）。

インクジェットヘッドユニット１０２は、複数の配列ヘッドユニット３０１を備え、取り付け座３０２、回転機構３０３、スライド機構３０４を介して、定盤（図示しない）に固定されるフレーム３０５に取り付けられる。回転機構３０３による回転、スライド機構３０４による移動等により、インクジェットヘッドユニット１０２全体の位置調整を行うことができる。

配列ヘッドユニット３０１は、インクジェットヘッド３１１、位置決めブロック３１２、スライダ（スライドブッシュ）３１３、スライドレール３１４、ベース部材３１５、当て止め機構３２１、押し付け機構３２２等から構成される。

インクジェットヘッド３１１は、位置決めブロック３１２の所定の位置に接着されて固定される。
位置決めブロック３１２は、インクジェットヘッド３１１の位置精度を確保する。さらに、位置決めブロック３１２を連結することにより、同一配列ヘッドユニット内における複数のインクジェットヘッド３１１の位置精度を得ることができる。

スライダ３１３は、位置決めブロック３１２に取り付けられ、ベース部材３１５に敷設されるスライドレール３１４に沿ってスライド移動する。スライダ３１３は、スライドレール３１４に着脱可能である。
スライドレール３１４の両端部には、当て止め機構３２１及び押し付け機構３２２が設けられ、インクジェットヘッド３１１の位置調整を行う。

尚、当て止め位置の調整に関しては、スペーサとしての位置決めブロックをインクジェットヘッド装着前に装着して、当て止め機構に設けられる調整機構（マイクロメータ等）により微調整を行うことができる。
また、押し付け機構に関しては、バネ機構等を用いることができる。
また、スライド機構、リニアガイドには、汎用のものを用いることができ、例えば、ＬＭガイド（ＴＨＫ株式会社製）等を用いることができる。

このように、インクジェットヘッド毎に位置決めブロックが設けられ、当該位置決めブロックは、スライダを有するので、ベース部材に設けられるスライドレールに沿ってスライド移動可能であり、また、ベース部材に対して着脱可能である。
すなわち、スライド機構により、インクジェットヘッド（位置決めブロック）の着脱、交換、列方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

次に、図６〜図８を参照しながら、位置決めブロックによるインクジェットヘッドの位置決めについて説明する。
図６は、位置決めブロック及びインクジェットヘッドの斜視図である。
図７は、位置決めブロック及びインクジェットヘッドの断面図である。
図８は、インクジェットヘッドの固定治具取付を示す斜視図である。

インクジェットヘッド６０１は、位置決めブロック６０２の所定の位置に接着剤６０７等により固定される。この場合、固定位置は、インクジェットヘッド６０１のノズル孔６０３間を結ぶ直線６０５、位置決めブロック６０２の基準マーク６０４間を結ぶ直線６０６、ノズル孔位置、基準マーク位置等に基づいて決定することが望ましい。例えば、直線６０５と直線６０６とを平行とし、ノズル孔と基準マークとの距離（ｌ、ｍ等）を所定の長さとすることにより、位置決めを行う。
接着剤６０７には、硬化時の収縮を抑制するために、ＵＶ硬化性接着剤を用いることが望ましい。

尚、図８に示すように、カメラ８０３を用いてインクジェットヘッド８０１及び位置決めブロック８０２等の画像を撮像し、当該画像について画像処理を行うことにより、インクジェットヘッドの位置決め、取り付け等を行うようにしてもよい。
また、インクジェットヘッドを位置決めブロックに取り付けた後に、位置決めブロック等の加工を行い、位置決めを行うようにしてもよい。
また、インクジェットヘッドと位置決めブロックを一体として成形してもよいし、インクジェットヘッドを高精度に製作することにより、インクジェットヘッド自体に位置決めブロックの機能を持たせるようにしてもよい。

次に、図９〜図１１を参照しながら、パターン形成装置１０１による配列ヘッドユニットの制御について説明する。
図９及び図１０は、配列ヘッドユニット、ノズル孔位置、パターン位置（画素の並び）の関係図である。
尚、θ軸回転角φは、配列ヘッドユニットの摺動方向（列方向）とＹ軸方向（塗布幅方向）とがなす角度のうち鋭角の角度の大きさを示すものとして説明する。

図９に示すように、２列の配列ヘッドユニット９０１−１、９０１−２によりパターン９０２を形成する場合において、ノズル孔間ピッチ９０５（ａ）とパターン間ピッチ９０６（ｂ）とが一致する場合、パターン形成装置１０１は、配列ヘッドユニット９０１のθ軸回転を行わず（θ軸回転角φ＝０）、スライド機構（スライドレール３１４、スライダ３１３、第２の実施の形態について後述する、上下スライドレール２３１４、２３１７、上下スライダ２３１３、２３１６）、当て止め機構（当止機構３２１、第２の実施の形態について後述する、上下当て止め機構２３２１、２３２３）、押し付け機構（押し付け機構３２２、第２の実施の形態について後述する、上下押し付け機構２３２２、２３２４）等により、配列ヘッドユニット９０１をＹ方向に移動及び位置固定させて、配列ヘッドユニット毎にインクジェットヘッド９０３のノズル孔９０４の位置をパターン９０２に合わせる。

図１０に示すように、２列の配列ヘッドユニット１００１−１、１００２−２によりパターン１００２を形成する場合において、ノズル孔間ピッチ１００５（ｃ）とパターン間ピッチ１００６（ｄ）とが一致しない場合、パターン形成装置１０１は、回転機構３０３等により配列ヘッドユニット１００１−１、１００１−２を一体としてθ軸回転を行い（θ軸回転角１００７φ≠０）、スライド機構（スライドレール３１４、スライダ３１３、第２の実施の形態について後述する、上下スライドレール２３１４、２３１７、上下スライダ２３１３、２３１６）、当て止め機構（当止機構３２１、第２の実施の形態について後述する、上下当て止め機構２３２１、２３２３）、押し付け機構（押し付け機構３２２、第２の実施の形態について後述する、上下押し付け機構２３２２、２３２４）等により、配列ヘッドユニットをθ方向の角度を保ちつつスライド移動（列方向移動）させて、配列ヘッドユニット毎にインクジェットヘッド１００３のノズル孔１００４の位置をパターン１００２に合わせる。

尚、図１０に示すように、配列ヘッドユニット１００１−１をスライド移動の基準とする場合、配列ヘッドユニット１００１−２のみをスライド移動させるようにしてもよいし、全ての配列ヘッドユニット１００１−１、１００１−２をスライド移動させて、パターン１００２に対するノズル孔１００４の位置調整を行うようにしてもよい。

図１１は、配列ヘッドユニットの位置調整を示す斜視図である。
図１１では、インクジェットヘッドユニット１１０１は、２列の配列ヘッドユニット１１０２、１１０３がベース部材１１０４に取り付けられて構成される。ベース部材１１０４が１色分のバーである場合には、同色の２列の配列ヘッドユニット１１０２、１１０３が取り付けられる。配列ヘッドユニット１１０２を基準とする場合、位置調整は、配列ヘッドユニット１１０２に対する所定の相対位置に配列ヘッドユニット１１０３を合わせることにより行う。
また、図１１に示すように、カメラ１１０５を用いてインクジェットヘッド等の画像を撮像し、当該画像について画像処理を行うことにより、配列ヘッドユニットの位置調整を行うようにしてもよい。

以上の過程を経て、パターン形成装置は、インクジェットヘッドユニットの回転機構により、全列の配列ヘッドユニット（インクジェットヘッド）に対して一括して同時にθ軸回転制御を行い、インクジェットヘッドユニットのスライド機構により、配列ヘッドユニット（インクジェットヘッド）に対して各列毎にスライド移動制御を行い、各ノズル孔位置とパターン位置とを一致させる。

このように、パターン形成装置１０１は、相対的位置関係、θ軸回転角を保持しつつ、ノズル孔の各列毎に配列ヘッドユニット（インクジェットヘッド）のスライド移動を行って各ノズル孔位置を制御可能であるので、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことができる。
また、調整機構及び制御機構が簡素化されるので、コスト的負担、維持管理負担等を軽減することができる。例えば、インクジェットヘッドの交換は、配列ヘッドユニット単位で行うことができる。
また、複数のインクジェットヘッドを使用することにより、パターン形成を迅速に行うことができる。

以上、本発明の実施の形態に係るパターン形成装置について、インクジェットヘッドユニットの構成及び動作について説明した。
次に、図１２を参照しながら、本発明の実施の形態に係るパターン形成装置１０１の動作の一態様について説明する。
図１２は、パターン形成装置１０１の動作の一態様を示すフローチャートである。

オペレータは、塗布を行う対象品目における塗布位置の配列間隔（パターン間ピッチ）をパターン形成装置１０１に指示入力する（ステップ１２０１）。
パターン形成装置１０１のアライメント部（図示しない）は、入力された配列間隔に基づいて、回転機構３０３を制御して配列ヘッドユニット３０１のθ方向角度（θ軸回転角φ）を調整する（ステップ１２０２）。
アライメント部（図示しない）は、スライド機構３０４（列方向移動機構）を制御して配列ヘッドユニット３０１を列方向に移動し、ノズル孔の位相を一致させる列方向移動調整を行う（ステップ１２０３）。

パターン形成装置１０１は、自動供給装置（図示しない）によりガラス基板を吸着テーブル１０３に供給し（ステップ１２０４）、制御部（図示しない）は、真空ポンプを動作させてガラス基板を吸着テーブル１０３に吸着させる（ステップ１２０５）。

アライメント部（図示しない）は、θ軸移動ステージ１０５、Ｙ軸移動ステージ１０６、Ｘ軸移動ステージ１０７を制御して、ガラス基板のθ方向角度（θ軸回転角φ）、塗布位置の配列間隔及びノズル孔の配列に関するＹ方向位置調整、塗布開始のタイミング合わせのためのＸ方向位置調整を行う（ステップ１２０６）。

パターン形成装置１０１は、Ｘ軸移動ステージ１０７を塗布速度で移動させ、インクジェットヘッドユニット１０２の下にガラス基板を搬送する（ステップ１２０７）。
パターン形成装置１０１は、所定のタイミングで配列ヘッドユニット３０１のノズル孔から塗布材料（インク）を吐出させてガラス基板上に塗布を行い、所定のタイミングで吐出を停止し塗布を終了する（ステップ１２０８）。さらに、Ｘ軸移動ステージ１０７をガラス基板を供給・排出する位置に移動させる。

パターン形成装置１０１は、次の塗布対象が同一品目のガラス基板であるか否かを判定し、同一品目である場合（ステップ１２０９のＹｅｓ）、ステップ１２０４からの処理を繰り返し、同一品目でない場合（ステップ１２０９のＮｏ）、ステップ１２０１からの処理を繰り返す。

尚、上述のパターン形成装置の動作制御、各種判定等の処理については、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、記憶装置（ハードディスク等）、入出力装置（メディアリーダ）等を備えるコンピュータ等の電子計算機等を用いることができる。
この場合、各種処理・制御等に必要なプログラム、プログラム実行に必要なデータ、入力データ等を記憶装置に保持し、ＣＰＵが処理実行時にこれらをＲＡＭ上のワークメモリ領域に呼び出して実行し、演算処理（四則演算や比較演算等）、ハードウェアやソフトウェアの動作制御等を行い、上述の各種機能を実現することができる。
また、各種処理・制御等に必要なプログラム等をＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に保持させて流通させてもよいし、このプログラムを通信回線を介して送受することもできる。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、インクジェットヘッド毎に位置決めブロックが設けられ、複数の位置決めブロックは、スライド機構を介して着脱可能にベース部材に連結される。
従って、スライド機構により、インクジェットヘッド（位置決めブロック）の着脱、交換、列方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

次に、本発明の第２の実施の形態に係るパターン形成装置等について説明する。
最初に、図１３を参照しながら、本発明の第２の実施の形態に係るパターン形成装置２１０１の構成について説明する。
図１３は、パターン形成装置２１０１の概略斜視図である。

図１３に示すパターン形成装置２１０１は、図１に示すパターン形成装置１０１において、インクジェットヘッド１０２に代えてインクジェットヘッド２１０２を用いるものである。

次に、図１４〜図１６を参照しながら、本発明の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドユニットについて説明する。
図１４は、インクジェットヘッドユニット２１０２の外観斜視図である。
図１５は、インクジェットヘッドユニット２１０２の平面図である。
図１６は、インクジェットヘッドユニット２１０２の断面図である。

図１４では、インクジェットヘッドユニット２１０２は、３色分（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ）の６列の配列ヘッドユニット２３０１等から構成される。配列ヘッドユニット２３０１は、各色毎に１つのバー２３１５に取り付けられる。図１４に示すバー２３１５には、それぞれ、同色の２列の配列ヘッドユニット２３０１が取り付けられる。
図１５及び図１６では、インクジェットヘッドユニット２１０２は、２列の配列ヘッドユニットから構成され、各配列ヘッドユニットは、１列のインクジェットヘッドが１つのバーに取り付けられて構成される。

以下の説明では、理解の容易のため主として、図１５及び図１６に示すインクジェットヘッドユニットについて説明する。
尚、１つのインクジェットヘッドユニットに設ける配列ヘッドユニットの数、色、１つのバーに設けるインクジェットヘッドの列数、色については、図１４〜図１６に示すものに限定されない。
図１４に示すように、１つのバー２３１５に複数列の配列ヘッドユニット２３０１を設けてもよいし、図１５及び図１６に示すように１つのバー２３１５に１列の配列ヘッドユニット２３０１を設けるようにしてもよい。
また、図１４〜図１６では、取り付け座２３０２に複数のバー２３１５が設けられるが、取り付け座２３０２に１つのバー２３１５を設けることもできる（図示しない。）。

インクジェットヘッドユニット２１０２は、複数の配列ヘッドユニット２３０１を備え、取り付け座２３０２、回転機構２３０３、スライド機構２３０４を介して、定盤（図示しない）に固定されるフレーム２３０５に取り付けられる。回転機構２３０３による回転、スライド機構２３０４による移動等により、インクジェットヘッドユニット２１０２全体の位置調整を行うことができる。

配列ヘッドユニット２３０１は、インクジェットヘッド２３１１、位置決めブロック２３１２、下スライダ（スライドブッシュ）２３１３、下スライドレール２３１４、バー２３１５、上スライダ（スライドブッシュ）２３１６、上スライドレール２３１７、下当て止め機構２３２１、下押し付け機構２３２２、上当て止め機構２３２３、上押し付け機構２３２４等から構成される。

インクジェットヘッド２３１１は、位置決めブロック２３１２の所定の位置に接着されて固定される。
位置決めブロック２３１２は、インクジェットヘッド２３１１の位置精度を確保する。さらに、位置決めブロック２３１２を連結することにより、同一配列ヘッドユニット内における複数のインクジェットヘッド２３１１の位置精度を得ることができる。

下スライダ２３１３は、位置決めブロック２３１２に取り付けられ、バー２３１５に敷設される下スライドレール２３１４に沿ってスライド移動する。下スライダ２３１３は、下スライドレール２３１４に着脱可能である。
下スライドレール２３１４の両端部には、下当て止め機構２３２１及び下押し付け機構２３２２が設けられ、インクジェットヘッド２３１１の位置調整を行う。

上スライダ２３１６は、バー２３１５に取り付けられ、取り付け座２３０２に敷設される上スライドレール２３１７に沿ってスライド移動する。上スライダ２３１６は、上スライドレール２３１７に着脱可能である。
上スライドレール２３１７には、上当て止め機構２３２３及び上押し付け機構２３２４が設けられ、配列ヘッドユニット２３０１の位置調整を行う。

尚、当て止め位置の調整に関しては、スペーサとしての位置決めブロックをインクジェットヘッド装着前に装着して、当て止め機構に設けられる調整機構（マイクロメータ等）により微調整を行うことができる。
また、押し付け機構に関しては、バネ機構等を用いることができる。
また、スライド機構、リニアガイドには、汎用のものを用いることができ、例えば、ＬＭガイド（ＴＨＫ株式会社製）等を用いることができる。

このように、インクジェットヘッド毎に位置決めブロックが設けられ、当該位置決めブロックは、スライダを有するので、バーに設けられるスライドレールに沿ってスライド移動可能であり、また、バーに対して着脱可能である。
さらに、バーは、スライダを有するので、ベースに設けられるスライドレールに沿ってスライド移動可能であり、また、ベースに対して着脱可能である。
すなわち、スライド機構により、インクジェットヘッド（位置決めブロック、バー）の着脱、交換、列方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

また、バーに設けられるスライドレール長は、インク塗布に必要な幅程度とすればよく、取り付け座に設けられるスライドレール長より小さくすることができる。すなわち、バーの列方向の長さは、ベースより小さくすることができる。
この場合、インクジェットヘッド（位置決めブロック、バー）の着脱、交換は、バー全体をベースのスライドレールに沿ってスライドさせて、着脱位置、交換位置にインクジェットヘッド（位置決めブロック、バー）を移動させることにより行うことができる。
従って、バーの大きさを必要最小限に抑えることができるので、インクジェットヘッドユニットの重量を大幅に減少させることができ、インクジェットヘッドユニットの支持機構の簡素化、費用的負担の軽減を図ることができる。

尚、図１５及び図１６では、取り付け座２３０２に当て止め機構及び押し付け機構を設けて配列ヘッドユニット２３０１のバー２３１５の位置決めを行うものとして説明したが、配列ヘッドユニット２３０１のバー２３１５の位置決め機構は、これに限られない。図１４に示すように、取り付け座２３０２にボールネジ２３３１及びサーボモータ２３３２等による位置決め機構を設け、当該位置決め機構に着脱可能な方式にて配列ヘッドユニット２３０１のバー２３１５を締結するようにしてもよい。また、リニアサーボモータを用いる場合、ボールネジを不要とすることもできる。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、インクジェットヘッド毎に位置決めブロックが設けられ、複数の位置決めブロックは、スライド機構を介して着脱可能にバーに連結され、さらに、複数のバーは、スライド機構を介して着脱可能に取り付け座に連結される。
従って、スライド機構により、インクジェットヘッド（位置決めブロック、バー）の着脱、交換、列方向の相対位置調整を迅速かつ効率的に行うことができ、労力的負担を軽減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドを１つのユニットとして扱うことができるので、装置全体を簡素な構造とすることができ、費用的負担を軽減することができる。
また、スライド機構の両端部に当て止め機構及び押し付け機構を設けることにより、位置決め精度の向上を図ることができる。

次に、図１７〜図２８を参照しながら、本発明の第３の実施の形態に係るパターン形成装置等について説明する。

図１７は、本発明の第３の実施の形態に係る配列ヘッドユニット３３０の断面図である。
図１７に示す配列ヘッドユニット３３０は、インクジェットヘッド３３１、位置決めブロック３３２、スライド機構３３３、着脱固定部材３３４等から構成される。
配列ヘッドユニット３３０の本体は、着脱固定部材３３４を介して、他部材３３５に装着される。

インクジェットヘッド３３１は、第１の実施の形態のインクジェットヘッド３１１、第２の実施の形態のインクジェットヘッド２３１１と同様のものである。
位置決めブロック３３２は、第１の実施の形態の位置決めブロック３１２、第２の実施の形態の位置決めブロック２３１２と同様のものである。
スライド機構３３３は、第１の実施の形態のスライダ３１３及びスライドレール３１４、第２の実施の形態の下スライダ２３１３及び下スライドレール２３１４、上スライダ２３１６及び上スライドレール２３１７と同様のものである。

着脱固定部材３３４は、配列ヘッドユニット３３０の本体を他部材３３５に着脱可能に固定する部材である。尚、着脱固定部材３３４については、後述する。
他部材３３５は、配列ヘッドユニット３３０の支持等を行う部材であり、第１の実施の形態のベース部材３１５、第２の実施の形態のバー２３１５、取り付け座２３０２等に相当する。

図１８は、着脱固定部材３３４の一態様を示す正面図である。
図１９は、配列ヘッドユニット３３０を他部材３３５に装着した状態を示す図である。
図２０は、配列ヘッドユニット３３０と他部材３３５との着脱を示す図である。

図１８に示す着脱固定部材３３４は、アリ溝機構を有する部材であり、アリ溝３３６、アリ溝３３７、固定ネジ３３８等から構成される。
アリ溝３３６は、直線状に凸部が設けられる部材であり、例えば、オス型のアリ溝部材である。
アリ溝３３７は、直線状に凹部が設けられる部材であり、例えば、メス型のアリ溝部材である。
固定ネジ３３８は、アリ溝３３７の側面外側から凹部内面に通ずるネジ等の固定治具である。

図１９及び図２０に示すように、アリ溝３３６の凸部をアリ溝３３７の凹部に水平方向から嵌め込み、スライドさせることにより、配列ヘッドユニット３３０を他部材３３５に装着したり取り外したりすることができる。
また、固定ネジ３３８により、アリ溝３３６とアリ溝３３７との固定を行うことができる。

図２１は、先述のインクジェットヘッドユニット１０２（第１の実施の形態）に着脱固定部材３３４を設けた状態を示す図である。
図２１に示すインクジェットヘッドユニット１０２では、スライド機構（スライダ３１３、スライドレール３１４）側にオス型のアリ溝３３６が設けられ、ベース部材３１５側にメス型のアリ溝３３７が設けられる。

図２２は、先述のインクジェットヘッドユニット２１０２（第２の実施の形態）に着脱固定部材３３４を設けた状態を示す図である。
図２２に示すインクジェットヘッドユニット２１０２では、スライド機構（下スライダ２３１３、下スライドレール２３１４）側にオス型のアリ溝３３６が設けられ、バー２３１５側にメス型のアリ溝３３７が設けられる。

図２３は、１つの着脱固定部材３３４に複数のヘッドユニット本体を設けた状態を示す図である。
図２１及び図２２では、１つの着脱固定部材３３４に１つのヘッドユニット本体を設けるものとして説明したが、図１９、図２０、図２３に示すように、１つの着脱固定部材３３４に複数の配列ヘッドユニット３３０を設けるようにしてもよい。
図２３に示すインクジェットヘッドユニットでは、１つのオス型のアリ溝３３６に複数のスライド機構（配列ヘッドユニット３３０−１のスライド機構３３３−１及び配列ヘッドユニット３３０−２のスライド機構３３３−２）が設けられ、他部材３３５側にメス型のアリ溝３３７が設けられる。

図２４は、着脱固定部材３３４のアリ溝３３６とアリ溝３３７とを横位置に装着した状況を示す図である。
図２１及び図２２等では、着脱固定部材３３４のアリ溝３３６とアリ溝３３７とは互いに上下位置に装着するものとして説明したが、これに限られない。
図２４に示す着脱固定部材３３４に示すように、アリ溝３３６とアリ溝３３７とを互いに横位置に装着するようにしてもよい。

一般に、スライド機構３３３には、図１９及び図２０に示すように、メモリスケール等の計測装置３３９が付設されるが、スライド機構３３３の分解あるいは組立を行う場合、また、スライド機構３３３のスライド部とスライドレール部を個別に製作する場合、精度維持が困難となる可能性がある。さらに、交換時にメモリスケールに傷等がついて精度維持が図れない可能性もある。
また、一般に、スライド機構３３３には、図１９及び図２０に示すように、アクチュエータ等の駆動装置３４０が付設されるが、駆動装置３４０は、配列ヘッドユニット３３０側及び他部材側３３５の両側に連結されるので、スライド機構３３３の分解あるいは組立を行う場合、駆動装置３４０についても取り外しあるいは接続を行う必要があり、作業負担等が増大する。

一方、図１７〜図２４について上述したように、第３の実施の形態では、着脱固定部材３３４を介して、配列ヘッドユニット３３０の他部材３３５への装着あるいは取り外しを行う。
従って、パターン形成装置は、配列ヘッドユニット３３０の装着あるいは取り外しの際、スライド機構３３３の分解あるいは組立（スライダとスライドレールの着脱等）、駆動装置３４０の接続解除あるいは接続等を行う必要がなく、スライド機構３３３の精度維持を図ると共に作業負担等を軽減することができる。

尚、着脱固定部材３３４として、上述のアリ溝機構の他に、ＬＭガイド等のスライド機構を用いることもできる。
図２５は、着脱固定部材３３４ａの一態様を示す正面図である。
図２６は、着脱固定部材３３４ｂの一態様を示す正面図である。
図２５は、図１７に示すアリ溝機構を有する着脱固定部材３３４に代えて、スライド機構（スライダ３５１及びスライドレール３５２）及び結合部材３５３を有する着脱固定部材３３４ａを用いたものである。
図２６は、図１７に示すアリ溝機構を有する着脱固定部材３３４に代えて、スライド機構（スライダ３５１及びスライドレール３５２）を有する着脱固定部材３３４ｂを用いたものである。
着脱固定部材３３４ａあるいは着脱固定部材３３４ｂのスライダ３５１及びスライドレール３５２を結合あるいは分離することにより、配列ヘッドユニット３３０を他部材３３５に対して装着したり取り外したりすることができる。
また、着脱固定部材３３４ａ及び着脱固定部材３３４ｂにおいて、装着時は、前後方向に抜けないようにするために、スライダ３５１がスライドレール３５２上を動かないように固定される。
尚、着脱固定部材３３４ａ、着脱固定部材３３４ｂと、スライド機構３３３との間の固定に関しては、図２５に示すように、着脱固定部材３３４ａのスライドレール３５２とスライド機構３３３のスライドレール３５４とを結合部材３５３を介して結合して固定してもよいし、図２６に示すように、着脱固定部材３３４ｂのスライドレール３５２とスライド機構３３３のスライドレール３５４とを背中合わせに直接結合して固定するようにしてもよい。

図２７は、先述のインクジェットヘッドユニット１０２（第１の実施の形態）に着脱固定部材３３４ａを設けた状態を示す図である。
図２７に示すインクジェットヘッドユニット１０２では、スライド機構（スライダ３１３、スライドレール３１４）側に結合部材３５３を介して着脱固定部材３３４ａのスライドレール３５２が設けられ、ベース部材３１５側に着脱固定部材３３４ａのスライダ３５１が設けられる。従って、スライド機構が２段になる。

図２８は、先述のインクジェットヘッドユニット２１０２（第２の実施の形態）に着脱固定部材３３４ａを設けた状態を示す図である。
図２８に示すインクジェットヘッドユニット２１０２では、スライド機構（下スライダ２３１３、下スライドレール２３１４）側に結合部材３５３を介して着脱固定部材３３４ａのスライドレール３５２が設けられ、バー２３１５側に着脱固定部材３３４ａのスライダ３５１が設けられる。従って、スライド機構が３段になる。

次に、図２９〜図３４を参照しながら、本発明の第４の実施の形態に係るパターン形成装置等について説明する。
図２９は、パターン形成装置３０００の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Ｙ軸は塗布幅方向を示し、Ｘ軸は塗布方向を示し、θ軸、Ｙ軸、Ｘ軸は、互いに直角をなす。

図２９に示すパターン形成装置３０００は、複数のインクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２、吸着テーブル１０３、アライメントカメラ１０４、θ軸移動ステージ１０５、Ｘ軸移動ステージ１０７等により構成される。
インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２は、それぞれ、回転機構３００２−１、３００２−２を介して、Ｙ軸移動機構３００３−１、３００３−２及びガントリ３００４−１、３００４−２に設けられる。
尚、吸着テーブル１０３、アライメントカメラ１０４、θ軸移動ステージ１０５、Ｘ軸移動ステージ１０７は、図１及び図１３に示すものと同様のものである。

パターン形成装置３０００は、回転機構３００２−１、３００２−２、Ｙ軸移動機構３００３−１、３００３−２により、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２を個別に回転動作させたり、個別にＹ軸移動させることことができる。

図３０〜図３２は、パターン形成装置３０００のインクジェットヘッドユニットを下方向から見た図である。
図３０〜図３２に示すように、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２は、それぞれ、１つのベース部材に５個のインクジェットヘッド２０１が設けられる。インクジェットヘッド２０１は、複数のノズル孔２０３を有する。

尚、個々のインクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２としては、先述のインクジェットヘッドユニット１０２（第１の実施の形態）、インクジェットヘッドユニット２１０２（第２の実施の形態）等を用いることができる。
また、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２は、それぞれ、旋回及びＹ軸移動した場合にも干渉しない程度に離れた場所に取り付けられる。

図３１に示すように、ノズル孔間ピッチ２０６（Ｂ）とパターン間ピッチが一致する場合、パターン形成装置３０００は、ノズル孔間ピッチ２０６（Ｂ）とユニット間ピッチ３００５（ΔＹ）とが一致するように、すなわち、（パターン間ピッチ）＝ΔＹ＝Ｂ、となるように、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２をＹ軸移動させる。

図３２に示すように、ノズル孔間ピッチ２０６（Ｂ）がパターン間ピッチより広い場合、パターン形成装置３０００は、（パターン間ピッチ）＝ΔＹ＝Ｂ×ｃｏｓθ、となるようにインクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２を回転及びＹ軸移動させる。

尚、ユニット間ピッチ３００５（ΔＹ）は、インクジェットヘッドユニット３００１−１の最端のノズル孔２０３−１とインクジェットヘッドユニット３００１−２の最端のノズル孔２０３−２との距離のＹ軸方向成分の大きさである。
また、パターン間ピッチは、塗布対象の基板上に形成するパターンのＹ軸方向の間隔を示す。

このように、パターン形成装置３０００は、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２をそれぞれ個別にＹ軸移動及び回転させて、Ｙ軸方向及びθ方向の位置決めを行う。パターン形成装置３０００は、インクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２にそれぞれ５個のインクジェットヘッドを備えるが、これらをあたかも１０個のインクジェットヘッドによる幅広のインクジェットヘッドユニットとして動作させることができる。
尚、当然ながらインクジェットヘッドユニット３００１−１、３００１−２を個々に動作させて使用してもよい。

図３３は、パターン形成装置３１００のインクジェットヘッドユニット３１０１を下方向から見た図である（回転角０）。
図３４は、パターン形成装置３１００のインクジェットヘッドユニット３１０１を下方向から見た図である（回転角θ）。
図３３及び図３４に示すパターン形成装置３１００は、１つのガントリ３１０４に１つのインクジェットヘッドユニット３１０１を備え、当該１のインクジェットヘッドユニット３１０１は、１０個のインクジェットヘッド２０１を有する。

図３３及び図３４のパターン形成装置３１００は、図２９〜図３２のパターン形成装置３０００と同様の基板サイズに対応可能である。
しかしながら、パターン形成装置３１００は、全てのインクジェットヘッドが１つのインクジェットヘッドユニットに設けられるため、パターン形成装置３０００と比較して、インクジェットヘッドユニットの大きさ、重量が大きくなる。
従って、パターン形成装置３１００では、所定の位置決め精度（例えば、数μｍレベル）が要求される場合、インクジェットヘッドユニットの支持部材を堅牢にし、ガントリの剛性を高め、かつ、位置決め用のアクチュエータの容量も大きくする必要があり、装置の製作費用が高騰するだけでなく、所望の位置決め精度が得られない可能性がある。

一方、図２９〜図３２について上述したように、本発明の第４の実施の形態に係るパターン形成装置３０００は、別々のガントリにそれぞれ複数のインクジェットヘッドユニットを備え、これらを個々に位置決め（Ｙ軸移動及び回転）することができるので、より大きな基板サイズに対応するためにより多くのインクジェットヘッドが必要な場合であっても、高精度に位置決めが可能であり、装置製作に係る費用を低減することができる。
また、複数のインクジェットヘッドユニットを個別に動作可能に設けることにより、１つのインクジェットヘッドユニットが動作不能に陥った場合であっても、他のインクジェットヘッドユニットを動作させることにより、装置全体が使用不要となることを防止することができる（バックアップ機能）。
また、図２９〜図３２では、パターン形成装置３０００は、２つのガントリ及び２つのインクジェットヘッドユニットを備えるものとして説明したが、３つ以上のガントリ及び３つ以上のインクジェットヘッドユニットにより、パターン形成装置を構成するようにしてもよい。当然ながら、図３３及び図３４に示すように、１つのガントリ及び１つのインクジェットヘッドユニットによりパターン形成装置３１００を構成することもできる。さらに、１つのガントリに対して１つのインクジェットヘッドユニットのみを設けるだけでなく、１つのガントリに対して複数のインクジェットヘッドユニットを設けるようにしてもよい。

以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるパターン形成装置等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明にかかるパターン形成装置等に関し、第１の実施の形態〜第４の実施の形態について説明したが、これらの実施の形態を適宜組み合わせてパターン形成装置等を構成することも当然可能である。

図３５は、インクジェットヘッドユニット４００１の平面図である。
図３６は、インクジェットヘッドユニット４００１の斜視図である。
図３５に示すインクジェットヘッドユニット４００１は、ベース部材（バー）４３１５に１つの配列ヘッドユニット４３０１が設けられる。配列ヘッドユニット４３０１は、１つのインクジェットヘッド４３１１及び１つの位置決めブロック４３１２を有する。配列ヘッドユニット４３０１には、第１の実施の形態及び第２の実施の形態で説明した、当て止め機構４３２１、押し付け機構４３２２、スライドレール４３１４等が設けられる。
先述の説明では、ベース部材あるいはバーには、主として、複数の配列ヘッドユニットが設けられるものとして説明したが（図４、図１５等）、図３５及び図３６に示すように、ベース部材（バー）４３１５に１つの配列ヘッドユニット４３０１を設けるようにしてもよい。
また、先述の説明では、配列ヘッドユニットは、主として、複数のインクジェットヘッド及び位置決めブロックが隣接配置されて構成されるものとして説明したが（図４、図１５等）、図３５及び図３６に示すように、配列ヘッドユニット４３０１を１つのインクジェットヘッド４３１１及び位置決めブロック４３１２により構成するようにしてもよい。
また、１つのベース、１つのバー等には、１つの位置決めブロックを設けるようにしてもよいし、複数の位置決めブロックを設けるようにしてもよい。また、複数の位置決めブロックをベース、バー等に設ける場合、１つずつ平行に配置してもよいし、複数の位置決めブロックを隣接配置してもよいし、複数の位置決めブロックを隣接配置したものをそれぞれ平行に配置してもよいし、これらを組合せ、１つの位置決めブロックと複数の位置決めブロックを隣接配置したものをそれぞれ平行に配置してもよい。

尚、位置決めブロック（精密ブロック）は、当て止め面を形成するものとして説明したが、位置決めネジ（精密ネジ）を埋め込み、当て止め位置を任意に調整可能にしてもよい。
また、各インクジェットヘッドの位置決めは、パターン形成装置にインクジェットヘッドユニットを装着後、パターン形成装置に設けられるカメラによりインクジェットヘッドの撮像を行い、画像処理を行うようにしてもよい。この場合、パターン形成装置上でインクジェットヘッドの位置調整を行うことができる。
また、各配列ヘッドユニット、各ヘッド列の列方向の相対位置決めは、パターン形成装置に備える計測機構（計測スケール等）を用いて行うようにしてもよい。この場合、計測データに基づいて、人手によりネジを調整してもよいし、コンピュータ等の電子計算機等による自動制御により位置調整を行うようにしてもよい。
また、インクの吐出は、インクジェットヘッドに限られず、例えば、ディスペンサ等を用いることもできる。

パターン形成装置１０１の概略斜視図 複数のインクジェットヘッドの配列の説明図 インクジェットヘッドユニット１０２の外観斜視図 インクジェットヘッドユニット１０２の平面図 インクジェットヘッドユニット１０２の断面図 位置決めブロック及びインクジェットヘッドの斜視図 位置決めブロック及びインクジェットヘッドの断面図 インクジェットヘッドの固定治具取付を示す斜視図 配列ヘッドユニット、ノズル孔位置、パターン位置（画素の並び）の関係図 配列ヘッドユニット、ノズル孔位置、パターン位置（画素の並び）の関係図 配列ヘッドユニットの位置調整を示す斜視図 パターン形成装置１０１の動作の一態様を示すフローチャート パターン形成装置２１０１の概略斜視図 インクジェットヘッドユニット２１０２の外観斜視図 インクジェットヘッドユニット２１０２の平面図 インクジェットヘッドユニット２１０２の断面図 配列ヘッドユニット３３０の断面図 着脱固定部材３３４の一態様を示す正面図 配列ヘッドユニット３３０を他部材３３５に装着した状態を示す図 配列ヘッドユニット３３０と他部材３３５との着脱を示す図 インクジェットヘッドユニット１０２に着脱固定部材３３４を設けた状態を示す図 インクジェットヘッドユニット２１０２に着脱固定部材３３４を設けた状態を示す図 １つの着脱固定部材３３４に複数のヘッドユニット本体を設けた状態を示す図 着脱固定部材３３４のアリ溝３３６とアリ溝３３７とを横位置に装着した状況を示す図 着脱固定部材３３４ａの一態様を示す正面図 着脱固定部材３３４ｂの一態様を示す正面図 インクジェットヘッドユニット１０２に着脱固定部材３３４ａを設けた状態を示す図 インクジェットヘッドユニット２１０２に着脱固定部材３３４ａを設けた状態を示す図 パターン形成装置３０００の概略斜視図 パターン形成装置３０００のインクジェットヘッドユニットを下方向から見た図 パターン形成装置３０００のインクジェットヘッドユニットを下方向から見た図 パターン形成装置３０００のインクジェットヘッドユニットを下方向から見た図 パターン形成装置３１００のインクジェットヘッドユニット３１０１を下方向から見た図（回転角０） パターン形成装置３１００のインクジェットヘッドユニット３１０１を下方向から見た図（回転角θ） インクジェットヘッドユニット４００１の平面図 インクジェットヘッドユニット４００１の斜視図 従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法 従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法

符号の説明

１０１………パターン形成装置
１０２………インクジェットヘッドユニット
１０３………吸着テーブル
１０４………アライメントカメラ
１０５………θ軸移動ステージ
１０６………Ｙ軸移動ステージ
１０７………Ｘ軸移動ステージ
１０８………基板
３０１………配列ヘッドユニット、
３０２………取り付け座
３０３………回転機構
３０４………スライド機構
３０５………フレーム
３１１………インクジェットヘッド
３１２………位置決めブロック
３１３………スライダ
３１４………スライドレール
３１５………ベース部材
３２１………当て止め機構
３２２………押し付け機構
３３０………配列ヘッドユニット
３３１………インクジェットヘッド
３３２………位置決めブロック
３３３………スライド機構
３３４、３３４ａ、３３４ｂ………着脱固定部材
３３５………他部材
３３６………アリ溝（オス型）
３３７………アリ溝（メス型）
３３８………固定ネジ
３３９………計測装置
３４０………駆動装置
６０１………インクジェットヘッド
６０２………位置決めブロック
６０３………ノズル孔
６０４………基準マーク
６０７………接着剤
８０３、１１０５………カメラ
２１０１………パターン形成装置
２１０２………インクジェットヘッドユニット
２３０１………配列ヘッドユニット、
２３０２………取り付け座
２３０３………回転機構
２３０４………スライド機構
２３０５………フレーム
２３１１………インクジェットヘッド
２３１２………位置決めブロック
２３１３………下スライダ
２３１４………下スライドレール
２３１５………バー
２３１６………上スライダ
２３１７………上スライドレール
２３２１………下当て止め機構
２３２２………下押し付け機構
２３２３………上当て止め機構
２３２４………上押し付け機構
２３３１………ボールネジ
２３３２………サーボモータ
３０００………パターン形成装置
３００１−１、３００１−２………インクジェットヘッドユニット
３００２−１、３００２−２………回転機構
３００３−１、３００３−２………Ｙ軸移動機構
３００４−１、３００４−２………ガントリ
３００５………ユニット間ピッチ
３１００………パターン形成装置
３１０１………インクジェットヘッドユニット
３１０４………ガントリ
４００１………インクジェットヘッドユニット
４３０１………配列ヘッドユニット
４３１１………インクジェットヘッド
４３１２………位置決めブロック
４３１４………スライドレール
４３１５………ベース部材（バー）
４３２１………当て止め機構
４３２２………押し付け機構

Claims (31)

1. 基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、
   ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、
   １つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられるベースと、
   前記位置決め部及び前記ベース間に設けられる摺動手段と、
   前記ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、
   を具備することを特徴とするパターン形成装置。
2. 前記位置調整手段は、前記位置決め部の摺動方向端部を当て止めして位置調整を行う当て止め手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
3. 前記位置調整手段は、前記位置決め部の一方の摺動方向端部を当て止めする当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける押し付け手段とを具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のパターン形成装置。
4. 前記位置決め部は、前記ベースに着脱可能であることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載のパターン形成装置。
5. 前記摺動手段は、前記ベースに設けられるスライドレール及び前記位置決め部に設けられ前記スライドレールに着脱可能であるスライドブッシュにより構成されることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のパターン形成装置。
6. 基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、
   ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、
   １つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられる第１ベースと、
   １つまたは複数の第１ベースが設けられる第２ベースと、
   前記位置決め部及び前記第１ベース間に設けられる第１摺動手段と、
   前記第１ベース及び前記第２ベース間に設けられる第２摺動手段と、
   前記第１ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う第１位置調整手段と、
   前記第２ベースにおいて前記第１ベースの位置調整を行う第２位置調整手段と、
   を具備することを特徴とするパターン形成装置。
7. 前記第１位置調整手段は、前記位置決め部の摺動方向端部を当て止めして位置調整を行う第１当て止め手段を具備することを特徴とする請求項６に記載のパターン形成装置
8. 前記第１位置調整手段は、前記位置決め部の一方の摺動方向端部を当て止めする第１当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける第１押し付け手段とを具備することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のパターン形成装置。
9. 前記第２位置調整手段は、前記第１ベースの摺動方向端部を当て止めして位置調整を行う第２当て止め手段を具備することを特徴とする請求項６から請求項８までのいずれかに記載のパターン形成装置。
10. 前記第２位置調整手段は、前記第１ベースの一方の摺動方向端部を当て止めする第２当て止め手段と他方の摺動方向端部を押し付ける第２押し付け手段とを具備することを特徴とする請求項６から請求項９までのいずれかに記載のパターン形成装置。
11. 前記第２位置調整手段は、前記第１ベースを直線駆動させる直線駆動手段を具備することを特徴とする請求項６から請求項１０までのいずれかに記載のパターン形成装置。
12. 前記位置決め部が前記第１ベースに着脱可能であるか、あるいは、前記第１ベースが前記第２ベースに着脱可能であるか、少なくともいずれかであることを特徴とする請求項６から請求項１１までのいずれかに記載のパターン形成装置。
13. 前記第１摺動手段は、前記第１ベースに設けられるスライドレール及び前記位置決め部に設けられ前記スライドレールに着脱可能であるスライドブッシュにより構成されることを特徴とする請求項６から請求項１２までのいずれかに記載のパターン形成装置。
14. 前記第２摺動手段は、前記第２ベースに設けられるスライドレール及び前記第１ベースに設けられ前記スライドレールに着脱可能であるスライドブッシュにより構成されることを特徴とする請求項６から請求項１３までのいずれかに記載のパターン形成装置。
15. 前記第１摺動手段の摺動範囲は、前記第２摺動手段の摺動範囲より小さいことを特徴とする請求項６から請求項１４までのいずれかに記載のパターン形成装置。
16. 前記第１ベースは、複数列の位置決め部が平行に設けられることを特徴とする請求項６から請求項１５までのいずれかに記載のパターン形成装置。
17. 基板上にインクを塗布してパターンを形成するパターン形成装置であって、
    １つまたは複数のヘッドが設けられる１つまたは複数のベースと、
    前記ベースを個別に回転させる回転手段と、
    前記ベースを個別に平行移動させる平行移動手段と、
    を具備することを特徴とするパターン形成装置。
18. 前記ベースを１つまたは複数備え、
    前記ベースを個別に回転させる回転手段と、
    前記ベースを個別に平行移動させる平行移動手段と、
    を具備することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載のパターン形成装置。
19. 前記第２ベースを１つまたは複数備え、
    前記第２ベースを個別に回転させる回転手段と、
    前記第２ベースを個別に平行移動させる平行移動手段と、
    を具備することを特徴とする請求項６から請求項１６までのいずれかに記載のパターン形成装置。
20. １つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、
    ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、
    １つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられるベースと、
    前記位置決め部及び前記ベース間に設けられる摺動手段と、
    前記ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、
    を具備することを特徴とするヘッドユニット。
21. １つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、
    ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、
    １つの位置決め部が配列ヘッドユニットを形成し、または、複数の位置決め部が隣接配置されて配列ヘッドユニットを形成し、１列または複数列の前記配列ヘッドユニットが設けられる第１ベースと、
    １つまたは複数の第１ベースが設けられる第２ベースと、
    前記位置決め部及び前記第１ベース間に設けられる第１摺動手段と、
    前記第１ベース及び前記第２ベース間に設けられる第２摺動手段と、
    前記第１ベースにおいて前記位置決め部の位置調整を行う第１位置調整手段と、
    前記第２ベースにおいて前記第１ベースの位置調整を行う第２位置調整手段と、
    を具備することを特徴とするヘッドユニット。
22. １つまたは複数のヘッドから構成され基板上にインクを塗布してパターンを形成するヘッドユニットであって、
    ヘッド毎に設けられ位置決めを行う位置決め部と、
    少なくとも１つの前記位置決め部を摺動させる摺動手段と、
    少なくとも１つの前記摺動手段を他部材に着脱可能に固定する着脱固定手段と、
    前記位置決め部の位置調整を行う位置調整手段と、
    を具備することを特徴とするヘッドユニット。
23. 前記着脱固定手段は、アリ溝機構を有することを特徴とする請求項２２に記載のヘッドユニット。
24. 前記着脱固定手段は、スライド機構を有することを特徴とする請求項２２に記載のヘッドユニット。
25. 前記ベースと前記摺動手段とを着脱可能に固定する着脱固定手段を具備することを特徴とする請求項２０に記載のヘッドユニット。
26. 前記第１ベースと前記第１摺動手段とを着脱可能に固定する、あるいは、前記第２ベースと前記第２摺動手段とを着脱可能に固定する、着脱固定手段を具備することを特徴とする請求項２１に記載のヘッドユニット。
27. 前記ベースと前記摺動手段とを着脱可能に固定する着脱固定手段を具備することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載のパターン形成装置。
28. 前記第１ベースと前記第１摺動手段とを着脱可能に固定する、あるいは、前記第２ベースと前記第２摺動手段とを着脱可能に固定する、着脱固定手段を具備することを特徴とする請求項６から請求項１６までのいずれかに記載のパターン形成装置。
29. ベースに設けられヘッド毎に位置決めを行う位置決め治具であって、
    前記ベースに設けられるスライドレールに着脱可能なスライドブッシュを具備することを特徴とする位置決め治具。
30. 位置決め用の当て止め面を有することを特徴とする請求項２９に記載の位置決め治具。
31. 位置決め用の当て止め位置を調整する位置決めネジを有することを特徴とする請求項２９または請求項３０に記載の位置決め治具。

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