[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2005347412A - Sucked state inspection apparatus, surface mounter, and part testing apparatus - Google Patents

Sucked state inspection apparatus, surface mounter, and part testing apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2005347412A
JP2005347412A JP2004163605A JP2004163605A JP2005347412A JP 2005347412 A JP2005347412 A JP 2005347412A JP 2004163605 A JP2004163605 A JP 2004163605A JP 2004163605 A JP2004163605 A JP 2004163605A JP 2005347412 A JP2005347412 A JP 2005347412A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
adsorption
imaging
suction
state inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004163605A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4331054B2 (en
Inventor
Masanobu Miyamoto
正信 宮本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP2004163605A priority Critical patent/JP4331054B2/en
Publication of JP2005347412A publication Critical patent/JP2005347412A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4331054B2 publication Critical patent/JP4331054B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a more accurate inspection of the state of an electronic part as sucked to a suction member. <P>SOLUTION: A special section 1220 is formed on a suction nozzle 122 for sucking an electronic part. The level of the lower end of the electronic part is determined by a side face imaging camera 142, the level of the special section 1220 is determined by using an image taken of the special section 1220, and, based on the positional relationship of the special section 1220 to the lower end of the suction nozzle 122, the distance between the lower end of the suction nozzle 122 and the lower end of the electronic part is calculated. An operating means is provided for inspecting the state of the electronic part as sucked to the suction nozzle 122 based on the calculation result. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ICチップ等の電子部品をプリント基板等に搭載するための表面実装機やこの電子部品を検査する部品試験装置に備えられ、吸着ノズル等を備えた吸着部材により上記電子部品を吸着し、この電子部品を所定位置から目的位置に移動させる際に上記電子部品を撮像して吸着状態を判定する吸着状態検査装置に関する。   The present invention is provided in a surface mounting machine for mounting an electronic component such as an IC chip on a printed circuit board or the like, or a component testing apparatus for inspecting the electronic component, and the electronic component is adsorbed by an adsorbing member having an adsorption nozzle or the like. The present invention also relates to a suction state inspection apparatus that images the electronic component and determines the suction state when the electronic component is moved from a predetermined position to a target position.

従来から、ICチップ等の電子部品を所定位置からピックアップしてこの電子部品をプリント基板上に搭載させる表面実装機や、このピックアップした電子部品を検査用電気回路に接触させて電子部品を検査する部品試験装置のような部品搬送装置としては、主に下記のものが知られている。   Conventionally, a surface mounter that picks up an electronic component such as an IC chip from a predetermined position and mounts the electronic component on a printed circuit board, or inspects the electronic component by bringing the picked-up electronic component into contact with an inspection electric circuit. The following are mainly known as a component conveying apparatus such as a component testing apparatus.

この部品搬送装置は、上記電子部品を吸着して上記電子部品をピックアップする吸着部材と、この吸着部材を複数有するヘッドユニットとを備え、このヘッドユニットを移動させることにより上記所定位置から上記プリント基板が配置されている箇所又は上記検査用電気回路が配置されている箇所に上記電子部品を搬送する。   The component conveying apparatus includes an adsorption member that adsorbs the electronic component and picks up the electronic component, and a head unit having a plurality of the adsorption members, and the printed circuit board is moved from the predetermined position by moving the head unit. The electronic component is transported to a place where the electronic circuit for inspection is arranged or a place where the electric circuit for inspection is arranged.

このような装置を用いる場合、上記吸着部材で電子部品を吸着する際に位置ずれや吸着ミスが生じる場合があり、上記電子部品を正常な状態で搬送するためには、位置ずれや吸着ミスが生じていないかを検査する必要がある。   When such an apparatus is used, there may be a position shift or a suction error when the electronic component is sucked by the suction member. In order to transport the electronic component in a normal state, a position shift or a suction mistake is required. It is necessary to inspect whether it has occurred.

そこで、このような検査を行う吸着状態検査装置としては、上記吸着部材及び上記電子部品を横から照射する光源と、この光源からの光を受光することにより上記吸着部材及び上記電子部品の側方からの像を撮像する撮像手段とを備えたものが存在する(例えば、特許文献1)。   Therefore, as an adsorption state inspection apparatus for performing such an inspection, a light source for irradiating the adsorption member and the electronic component from the side, and a side of the adsorption member and the electronic component by receiving light from the light source. (For example, Patent Document 1).

かかる検査装置では、まず、上記電子部品が吸着されていない状態での吸着部材を上記撮像手段で撮像し、吸着部材の下端部の高さを認識する。次に、吸着部材の下端部に電子部品を吸着し、この状態を上記撮像手段で撮像し、先に認識した吸着部材の下端部の高さを基準としての電子部品の下端部がいかなる高さ分だけ下方に存在するかをCPU等の演算手段で演算することによって認識し、それに基づいて上記吸着部材が正常に吸着されているか否かを判定する。   In such an inspection apparatus, first, the suction member in a state where the electronic component is not sucked is imaged by the imaging means, and the height of the lower end portion of the suction member is recognized. Next, the electronic component is adsorbed to the lower end portion of the adsorption member, and this state is imaged by the imaging means. The height of the lower end portion of the adsorption member that has been recognized in advance is set to any height. It is recognized by calculating with a calculation means such as a CPU whether or not it exists below, and based on that, it is determined whether or not the adsorption member is normally adsorbed.

また、上記電子部品の吸着位置の位置ずれを調べてそれに応じた部品装着位置の補正等を行うため、例えば特許文献2に記載されているような、吸着部材及び電子部品を下から撮像する撮像手段を設け、この撮像手段で得られた画像を用いて吸着部材における電子部品の吸着状態を検査するものが知られている。この装置は、まず電子部品の下端部と撮像手段との距離を適切な位置に調節してピントを合わせ、次にこの撮像手段を用いて電子部品を撮像し、さらにこの撮像した画像を用いて電子部品の位置ずれを検出することにより、電子部品の吸着状態を検査する。
特開平6−45790号公報 特許第2801331号公報
In addition, in order to check the displacement of the suction position of the electronic component and correct the component mounting position according to the displacement, for example, the imaging for picking up the suction member and the electronic component as described in Patent Document 2 is performed. There is known a device provided with a means for inspecting a suction state of an electronic component on a suction member using an image obtained by the imaging means. This device first adjusts the distance between the lower end of the electronic component and the imaging means to an appropriate position to focus, then images the electronic component using the imaging means, and further uses the captured image. By detecting the displacement of the electronic component, the suction state of the electronic component is inspected.
JP-A-6-45790 Japanese Patent No. 2801331

上記吸着部材が正常に吸着されているか否かの判定、及び、上記吸着部材の吸着位置の位置ずれを検出するためには、上述した二つの装置を併用するのが好ましい。しかしながら、上述の装置を併用する場合、電子部品の位置ずれの検出のため、下からの撮像を正常に行うためには電子部品の下端部と撮像手段との距離を適切な位置にしてピントを合わせる必要があり、このピントを合わせるため、電子部品の形状(例えば厚み)に応じて吸着部材を上下方向に移動させる必要がある。   In order to determine whether or not the adsorption member is normally adsorbed and to detect a displacement of the adsorption position of the adsorption member, it is preferable to use the two devices described above in combination. However, when the above device is used in combination, the distance between the lower end portion of the electronic component and the image pickup means is set to an appropriate position for normal imaging from the bottom in order to detect displacement of the electronic component. In order to adjust the focus, it is necessary to move the suction member in the vertical direction according to the shape (for example, thickness) of the electronic component.

このように吸着部材を上下方向に移動させると、それに伴って吸着部材の下端部の高さが変動することになるが、特に吸着部材の下端部に電子部品が吸着されている場合、上記側方からの像を撮像する撮像手段では吸着部材の下端部の高さを認識することができない場合も考えられる。   When the suction member is moved in the vertical direction in this way, the height of the lower end portion of the suction member changes accordingly, especially when the electronic component is sucked to the lower end portion of the suction member, the above side It is also conceivable that the image pickup means for picking up an image from one side cannot recognize the height of the lower end portion of the suction member.

そして、この下端部の高さが認識できない場合、吸着部材の下端部の高さと電子部品の下端部の高さの高さとの差を正確に測定することができず、電子部品の吸着状態を正確に検査できないといった事態が生ずるおそれがある。   If the height of the lower end cannot be recognized, the difference between the height of the lower end of the suction member and the height of the lower end of the electronic component cannot be measured accurately, and the suction state of the electronic component There may be a situation where the inspection cannot be performed accurately.

そこで本発明は、かかる課題を解決し、吸着部材における電子部品の吸着状態をより正確に検査することを可能にした吸着状態検査装置、及び、吸着状態検査方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an adsorption state inspection device and an adsorption state inspection method that can solve such problems and can more accurately inspect the adsorption state of an electronic component in an adsorption member.

上記課題を解決するため、本発明は、電子部品を吸着する吸着部材を上下位置調節可能に設けた部品搬送手段と、上記吸着部材及びこれに吸着された上記電子部品を側方から撮像して側面画像を得る第1撮像手段と、上記吸着部材に吸着された上記電子部品を電子部品吸着面と垂直あるいは略垂直方向に離間した位置から撮像して底面画像を得る第2撮像手段とを備え、上記第1撮像手段及び上記第2撮像手段で撮像した画像を用いて吸着状態を検査する吸着状態検査装置であって、上記吸着部材の下端部に対して所定の位置関係にある部位に、側方から撮像した画像で認識可能な特徴部分を設けるとともに、上記第1撮像手段による撮像により得られる画像から検出される電子部品の下端部の高さ位置と、上記特徴部分を撮像した画像から検出される上記特徴部分の高さ位置と、上記吸着部材の下端部に対する上記特徴部分の位置関係とに基づいて、上記吸着部材の下端部から上記電子部品の下端部までの距離を演算し、この演算結果に基づいて上記電子部品の吸着状態を検査する演算手段を設けたことを特徴とするものである。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a component conveying unit provided with an adsorption member that adsorbs an electronic component so that the vertical position can be adjusted, and an image of the adsorption member and the electronic component adsorbed by the adsorption member from the side. First imaging means for obtaining a side image; and second imaging means for obtaining a bottom image by imaging the electronic component adsorbed by the adsorption member from a position perpendicular to or substantially perpendicular to the electronic component adsorption surface. An adsorption state inspection device that inspects an adsorption state using images captured by the first imaging unit and the second imaging unit, and a part that is in a predetermined positional relationship with respect to a lower end portion of the adsorption member, A feature portion recognizable from an image captured from the side is provided, and the height position of the lower end portion of the electronic component detected from the image obtained by imaging by the first imaging means and the image obtained by imaging the feature portion Based on the height position of the feature portion to be taken out and the positional relationship of the feature portion with respect to the lower end portion of the adsorption member, the distance from the lower end portion of the adsorption member to the lower end portion of the electronic component is calculated, An arithmetic means for inspecting the suction state of the electronic component based on the arithmetic result is provided.

この構成によれば、上記吸着部材の下端部から上記電子部品の下端部までの距離の演算は、上記電子部品の下端部の高さ位置と、上記特徴部分を撮像した画像から検出される上記特徴部分の高さ位置と、上記吸着部材の下端部に対する上記特徴部分の位置関係とに基づいて行われる。   According to this configuration, the calculation of the distance from the lower end portion of the suction member to the lower end portion of the electronic component is performed by detecting the height position of the lower end portion of the electronic component and the image obtained by imaging the characteristic portion. This is performed based on the height position of the characteristic portion and the positional relationship of the characteristic portion with respect to the lower end portion of the adsorption member.

すなわち、上記吸着部材の下端部から上記電子部品の下端部までの距離の演算は、側方から撮像した画像で認識可能な特徴部分を基準にして行うことができるため、上記吸着部材が上下方向に移動した場合においても上記演算を正確に行うことが可能となる。したがって、上記電子部品の吸着状態をより正確に検査することが可能となる。   That is, since the calculation of the distance from the lower end portion of the suction member to the lower end portion of the electronic component can be performed with reference to a feature portion that can be recognized from an image captured from the side, the suction member Even when moving to, the above calculation can be performed accurately. Therefore, it is possible to more accurately inspect the suction state of the electronic component.

また本発明の吸着状態検査装置において、上記吸着部材は、異なった形状を有する複数種類のものを備え、上記特徴部分は、上記吸着部材の種類に関わらず同一形状であるのがより好ましい。   In the adsorption state inspection device of the present invention, it is more preferable that the adsorption member includes a plurality of types having different shapes, and the characteristic portions have the same shape regardless of the type of the adsorption member.

この構成によれば、上記電子部品の形状に応じて適切な状態で吸着すべく上記吸着部材を複数種類備えた場合であっても、上記特徴部分を認識するためのデータを共通化することができ、このデータの記憶部分の負担を減らすことが可能となる。   According to this configuration, data for recognizing the characteristic portion can be shared even when a plurality of types of the suction members are provided to be sucked in an appropriate state according to the shape of the electronic component. It is possible to reduce the burden on the storage portion of this data.

また本発明の吸着状態検査装置において、上記第1撮像手段及び第2撮像手段での撮像を略同時に行うことがより好ましい。   In the suction state inspection apparatus according to the present invention, it is more preferable that the first imaging unit and the second imaging unit perform imaging substantially simultaneously.

この構成によれば、撮像するのにかかる時間を短縮することができ、より効率よく上記検査を行うことができる。   According to this configuration, it is possible to shorten the time taken for imaging, and it is possible to perform the inspection more efficiently.

なお、本発明の吸着状態検査装置において、上記第1撮像手段により上記吸着部材及びこれに吸着された電子部品を撮像するときの上記第1撮像手段の視野外となる位置に上記特徴部分を設け、この特徴部分を側方から撮像する第3撮像手段を備えたものにしてもよい。   In the suction state inspection apparatus according to the present invention, the characteristic portion is provided at a position outside the field of view of the first imaging unit when the first imaging unit images the suction member and the electronic component sucked by the suction member. Further, a third imaging means for imaging the characteristic portion from the side may be provided.

もっとも、上記第1撮像手段により上記吸着部材及びこれに吸着された電子部品を撮像するときの上記第1撮像手段の視野内となる位置に上記特徴部分を設けた方が、装置の構成を簡素化し、コストダウンを図る上ではより好ましい。   However, the configuration of the apparatus is simplified when the characteristic portion is provided at a position that is within the field of view of the first imaging unit when the first imaging unit images the adsorption member and the electronic component adsorbed thereto. This is more preferable in terms of cost reduction.

また本発明は、上記吸着状態検査装置と、上記電子部品を供給する部品供給部と、上記電子部品を搭載するプリント基板を供給するプリント基板供給手段とを備え、上記吸着状態検査装置に備えられた上記部品搬送手段により、上記部品供給部から上記プリント基板供給手段によって上記プリント基板が配置される基板配置位置に向けて上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記プリント基板上に実装することを可能にすることを特徴とする表面実装機である。   In addition, the present invention includes the suction state inspection device, a component supply unit that supplies the electronic component, and a printed board supply unit that supplies a printed board on which the electronic component is mounted, and is provided in the suction state inspection device. In addition, the electronic component is transported from the component supply unit to the board placement position where the printed board is placed by the printed board supply means, and the electronic component is mounted on the printed board. It is a surface mounting machine characterized by enabling.

さらに本発明は、上記吸着状態検査装置と、上記電子部品を供給する部品供給部と、上記電子部品を検査する検査用電気回路とを備え、上記吸着状態検査装置に備えられた上記部品搬送手段により、上記部品供給部から上記検査用電気回路が配置されている位置に向けて上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記検査用電子回路で検査することを可能にすることを特徴とする部品検査装置である。   Furthermore, the present invention includes the component conveying means provided in the adsorption state inspection device, comprising the adsorption state inspection device, a component supply unit that supplies the electronic component, and an inspection electric circuit that inspects the electronic component. Thus, it is possible to transport the electronic component from the component supply unit toward a position where the electrical circuit for inspection is arranged, and to inspect the electronic component with the electronic circuit for inspection. This is a component inspection device.

本発明の吸着状態検査装置によれば、上記吸着部材の下端部から上記電子部品の下端部までの距離の演算は、側方から撮像した画像で認識可能な特徴部分を基準にして行うことができるため、上記吸着部材が上下方向に移動した場合においても、上記演算を正確に行うことが可能となる。したがって、上記吸着部品における電子部品の吸着状態をより正確に検査することが可能となる。   According to the suction state inspection device of the present invention, the calculation of the distance from the lower end portion of the suction member to the lower end portion of the electronic component can be performed based on a feature portion that can be recognized from an image captured from the side. Therefore, even when the adsorption member moves in the vertical direction, the calculation can be accurately performed. Therefore, it is possible to more accurately inspect the suction state of the electronic component in the suction component.

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明に係る吸着状態検査装置を搭載した表面実装機の部分平面図である。また図2(a)は同部分側面図である。当実施形態の表面実装機は、主に各部機構の作動によってプリント基板Pに電子部品C(IC、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品:(図3(b)参照))を実装する本体機構部100と、その作動を制御するコントローラ200(図4参照)とからなる。本体機構部100は、基台110等からなる実装機本体と、この実装機本体に対して移動可能なヘッドユニット120(部品搬送手段)とを有している。上記基台110上には、プリント基板搬送用のコンベア111(プリント基板供給手段)が配置され、プリント基板Pがこのコンベア111上を搬送されて所定の装着作業位置で停止されるようになっている。   FIG. 1 is a partial plan view of a surface mounter equipped with an adsorption state inspection apparatus according to the present invention. FIG. 2A is a partial side view of the same. The surface mounter of this embodiment mounts an electronic component C (a small chip component such as an IC, a transistor, or a capacitor: (see FIG. 3B)) on the printed circuit board P mainly by operation of each part mechanism. It comprises a main body mechanism unit 100 and a controller 200 (see FIG. 4) that controls the operation thereof. The main body mechanism unit 100 includes a mounting machine body composed of a base 110 and the like, and a head unit 120 (component conveying means) that is movable relative to the mounting machine body. A printed board carrying conveyor 111 (printed board supply means) is arranged on the base 110, and the printed board P is carried on the conveyor 111 and stopped at a predetermined mounting work position. Yes.

上記コンベア111の両側には、部品供給部112が配置されている。これらの部品供給部112には、多数列のテープフィーダー112aが設けられている。各テープフィーダー112aは、各々、電子部品Cを所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるように構成されており、ヘッドユニット120により電子部品Cが間欠的に取り出されるようになっている。   On both sides of the conveyor 111, component supply units 112 are arranged. These component supply units 112 are provided with multiple rows of tape feeders 112a. Each of the tape feeders 112a is configured such that the tape that holds and holds the electronic component C at predetermined intervals is led out from the reel, and the electronic component C is intermittently taken out by the head unit 120. ing.

基台110の上方には、部品装着用のヘッドユニット120が装備されている。このヘッドユニット120は、部品供給部112とプリント基板Pが配置される基板配置位置とにわたって移動可能とされ、X軸方向及びY軸方向に移動することができるようになっている。   Above the base 110, a head unit 120 for mounting components is provided. The head unit 120 is movable over the component supply unit 112 and the board arrangement position on which the printed board P is arranged, and can move in the X-axis direction and the Y-axis direction.

すなわち、基台110上には、Y軸方向の固定レール113と、Y軸サーボモータ114により回転駆動されるボールねじ軸115とが配設され、上記固定レール113上にヘッドユニット支持部材116が配置されて、この支持部材116に設けられたナット部分116aが上記ボールねじ軸115に螺合している。   That is, a fixed rail 113 in the Y-axis direction and a ball screw shaft 115 that is rotationally driven by a Y-axis servo motor 114 are disposed on the base 110, and a head unit support member 116 is mounted on the fixed rail 113. The nut portion 116 a provided on the support member 116 is screwed onto the ball screw shaft 115.

また、上記支持部材116には、X軸方向のガイド部材117と、X軸サーボモータ118により駆動されるボールねじ軸119とが配設され、上記ガイド部材117にヘッドユニット120が移動可能に保持され、このヘッドユニット120に設けられたナット部分(図示せず)が上記ボールねじ軸119に螺合している。そして、Y軸サーボモータ114の作動により上記支持部材116がY軸方向に移動するとともに、X軸サーボモータ118の作動によりヘッドユニット120が支持部材116に対してX軸方向に移動するようになっている。   Further, the support member 116 is provided with a guide member 117 in the X-axis direction and a ball screw shaft 119 driven by an X-axis servo motor 118, and the head unit 120 is movably held by the guide member 117. A nut portion (not shown) provided on the head unit 120 is screwed onto the ball screw shaft 119. The support member 116 is moved in the Y-axis direction by the operation of the Y-axis servo motor 114, and the head unit 120 is moved in the X-axis direction with respect to the support member 116 by the operation of the X-axis servo motor 118. ing.

すなわち、ヘッドユニット120は、Y軸サーボモータ114、ボールねじ軸115、ヘッドユニット支持部材116、X軸サーボモータ118、ボールねじ軸119により移動可能となっている。   That is, the head unit 120 is movable by the Y-axis servo motor 114, the ball screw shaft 115, the head unit support member 116, the X-axis servo motor 118, and the ball screw shaft 119.

ヘッドユニット120には、先端に吸着ノズル122(吸着部材)を備えた1又は複数の実装用ヘッド121が設けられ、図示の例では6個の実装用ヘッド121が設けられている。   The head unit 120 is provided with one or a plurality of mounting heads 121 each having a suction nozzle 122 (suction member) at the tip, and in the illustrated example, six mounting heads 121 are provided.

これらの実装用ヘッド121の各吸着ノズル122には、その下端部から所定の高さ分上方に位置する箇所に特徴部分1220が形成されている(図3(a)参照)。この特徴部分1220は、水平方向に突出する形状に形成されたものであり、かかる特徴部分が形成された箇所が、各々の吸着ノズル122の下端から所定の高さであることを一目で認識することができる目印となっている。   Each suction nozzle 122 of these mounting heads 121 is formed with a characteristic portion 1220 at a position located a predetermined height above its lower end (see FIG. 3A). The feature portion 1220 is formed in a shape protruding in the horizontal direction, and it is recognized at a glance that the location where the feature portion is formed is a predetermined height from the lower end of each suction nozzle 122. It has become a landmark that can.

なお、この特徴部分1220は、上記のような目印の機能を有することができるものであれば、上記のように必ずしも吸着ノズル122から突出した形状にする必要はない。例えば、凹む形状に形成してもよい。   Note that the feature portion 1220 does not necessarily have a shape protruding from the suction nozzle 122 as described above as long as the feature portion 1220 can have the above-described mark function. For example, it may be formed in a concave shape.

また、ヘッドユニット120には、Z軸サーボモータ123と、このZ軸サーボモータ123より回転駆動されるZ軸ボールねじ軸124とが、各実装用ヘッド121に対して各々設けられている。   The head unit 120 is provided with a Z-axis servomotor 123 and a Z-axis ball screw shaft 124 that is rotationally driven by the Z-axis servomotor 123 for each mounting head 121.

そして、各実装用ヘッド121に相対回転可能な状態で取り付けられているナット部材125が、各々Z軸ボールねじ軸124に螺合し、このボールねじ軸124がZ軸サーボモータ123により回転駆動することにより実装用ヘッド121が上下方向に移動するようになっている。   A nut member 125 attached to each mounting head 121 in a relatively rotatable state is screwed into the Z-axis ball screw shaft 124, and the ball screw shaft 124 is rotationally driven by the Z-axis servo motor 123. As a result, the mounting head 121 moves in the vertical direction.

さらに、各実装用ヘッド121に対してそれぞれ、実装用ヘッド121を軸回り(R軸回り)に回転させる回転機構127が配置され、これらの回転機構127は、R軸サーボモータ128(図4参照)にそれぞれ接続されている。そして、上記R軸サーボモータ128を駆動することにより、各実装用ヘッド121がR軸回りに回転するようになっている。   Further, a rotation mechanism 127 that rotates the mounting head 121 about its axis (around the R axis) is arranged for each mounting head 121. These rotation mechanisms 127 are R-axis servomotors 128 (see FIG. 4). ) Is connected to each. Then, by driving the R-axis servo motor 128, each mounting head 121 rotates around the R-axis.

上記ヘッドユニット120の下端部には支持部材129が設けられ、この支持部材129の先端には、各吸着ノズル122を側方(水平方向)から照射する側面撮像用照明130が各々配置されている。   A support member 129 is provided at the lower end of the head unit 120, and side surface illuminations 130 for irradiating the suction nozzles 122 from the side (horizontal direction) are disposed at the tip of the support member 129. .

ヘッドユニット支持部材116の所定箇所にはカメラ支持部141が延設され、このカメラ支持部141の下端には、側面撮像用カメラ142(第1撮像手段)が取り付けられている。なお、側面撮像用照明130と、側面撮像用カメラ142とは、吸着ノズル122を挟んで対向する状態で配置されている。   A camera support portion 141 extends from a predetermined portion of the head unit support member 116, and a side surface imaging camera 142 (first image pickup means) is attached to the lower end of the camera support portion 141. Note that the side surface imaging illumination 130 and the side surface imaging camera 142 are arranged in a state of facing each other with the suction nozzle 122 interposed therebetween.

この側面撮像用カメラ142は、吸着ノズル122を側方から撮像するものであって、特徴部分1220を含む吸着ノズル122の下端部周辺の側方からの透過画像を得ることが可能となっている。なお、側面撮像用カメラ142の近傍に側面撮像用照明130を配置し、吸着ノズル122の下端部周辺側方の反射画像を得るようにする場合は、特徴部分1220は、吸着ノズルの側方表面に付した刻印、あるいはペイント等であってもよい。   The side surface imaging camera 142 images the suction nozzle 122 from the side, and can obtain a transmission image from the side near the lower end of the suction nozzle 122 including the characteristic portion 1220. . Note that when the side imaging illumination 130 is disposed in the vicinity of the side imaging camera 142 so as to obtain a reflected image around the lower end portion of the suction nozzle 122, the feature portion 1220 is the side surface of the suction nozzle. It may be engraved or painted.

また、基台110上には、吸着ノズル122を下方から撮像するための底面撮像用カメラ151(第2撮像手段)及び底面撮像用照明152が配置され、これらの部品を使用することにより、吸着ノズル122の下端部周辺の下方からの画像を得ることが可能となっている。なお、吸着ノズル122がタレット式ヘッドに搭載されている場合において、吸着ノズルを倒立あるいは横方向に位置させた状態で撮像する場合には、底面撮像用カメラ151は上方からあるいは横方向から撮像する。すなわち、電子部品吸着面と垂直あるいは略垂直方向に吸着ノズル122から離間する方向(電子部品底面に対向する方向)から撮像するようになっていればよい。   Further, on the base 110, a bottom surface imaging camera 151 (second imaging unit) and a bottom surface imaging illumination 152 for imaging the suction nozzle 122 from below are arranged. By using these components, suction is performed. It is possible to obtain an image from below around the lower end of the nozzle 122. When the suction nozzle 122 is mounted on the turret type head, when imaging is performed with the suction nozzle inverted or laterally positioned, the bottom surface imaging camera 151 captures images from above or from the lateral direction. . That is, it is only necessary to pick up an image from a direction (a direction facing the bottom surface of the electronic component) away from the suction nozzle 122 in a direction perpendicular or substantially perpendicular to the electronic component suction surface.

次に、本実施形態における制御系統について図4を用いて説明する。   Next, the control system in this embodiment is demonstrated using FIG.

コントローラ200は、本体機構部100の内部の適所に設けられ、論理演算を実行する周知のCPU、そのCPUを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するROMおよび装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するRAM等から構成されている。コントローラ200は、機能構成としては、軸制御手段201と、撮像装置制御手段202と、画像メモリ203と、搭載情報記憶手段204と、マシン情報記憶手段205と、演算手段206とを備えている。なお、演算手段206には、各種情報を表示するための表示装置171が接続されている。   The controller 200 is provided at an appropriate position inside the main body mechanism unit 100, and is a well-known CPU for executing logical operations, a ROM for storing various programs for controlling the CPU in advance, and various data temporarily during operation of the apparatus. It is comprised from RAM etc. which memorize | store. The controller 200 includes an axis control unit 201, an imaging device control unit 202, an image memory 203, a mounting information storage unit 204, a machine information storage unit 205, and a calculation unit 206 as functional configurations. Note that a display device 171 for displaying various types of information is connected to the calculation means 206.

なお、このコントローラ200、ヘッドユニット120、側面撮像用カメラ142、底面撮像用カメラ151、及び、底面撮像用照明152を含む構成が、本実施形態における吸着状態検査装置として機能する。   The configuration including the controller 200, the head unit 120, the side surface imaging camera 142, the bottom surface imaging camera 151, and the bottom surface imaging illumination 152 functions as the suction state inspection device according to the present embodiment.

軸制御手段201は、上記表面実装機に設けられているY軸サーボモータ114、X軸サーボモータ118、Z軸サーボモータ123(第1ヘッドZ軸サーボモータ〜第6ヘッドZ軸サーボモータ)、及び、R軸サーボモータ128(第1ヘッドR軸サーボモータ〜第6ヘッドR軸サーボモータ)の駆動を制御するものである。   The axis control means 201 includes a Y-axis servo motor 114, an X-axis servo motor 118, a Z-axis servo motor 123 (first head Z-axis servo motor to sixth head Z-axis servo motor) provided in the surface mounting machine, And it controls the drive of the R-axis servo motor 128 (first head R-axis servo motor to sixth head R-axis servo motor).

撮像装置制御手段202は、側面撮像用カメラ142、底面撮像用カメラ151、側面撮像用照明130、及び、底面撮像用照明152の動作を制御するものである。   The imaging device control unit 202 controls operations of the side surface imaging camera 142, the bottom surface imaging camera 151, the side surface imaging illumination 130, and the bottom surface imaging illumination 152.

画像メモリ203は、側面撮像用カメラ142及び底面撮像用カメラ151での撮像により得られた画像データを格納するものである。   The image memory 203 stores image data obtained by imaging with the side surface imaging camera 142 and the bottom surface imaging camera 151.

搭載情報記憶手段204は、プリント基板P上に実装する電子部品Cに関する情報を記憶するものであって、例えば、電子部品Cの厚み、幅、高さ等の形状に関するデータや、どのような種類の電子部品Cをどの箇所に実装するか等の情報が格納されている。また、これらの電子部品Cが正常な状態で吸着ノズル122に吸着された状態における底面からの画像を示すデータについても格納されている。さらに、正常な状態で電子部品Cが吸着されているか否かを判定する規定値についても格納されている。   The mounting information storage unit 204 stores information about the electronic component C mounted on the printed circuit board P. For example, the mounting information storage unit 204 stores data on the shape, such as thickness, width, and height of the electronic component C, and what type The information such as where to mount the electronic component C is stored. In addition, data indicating an image from the bottom surface in a state where these electronic components C are attracted to the suction nozzle 122 in a normal state is also stored. Further, a prescribed value for determining whether or not the electronic component C is attracted in a normal state is also stored.

マシン情報記憶手段205は、例えば、本実施形態の表面実装機に関する情報が記憶されているものであって、例えば、特徴部分1220の形状や、各吸着ノズル122の下端部から特徴部分1220までの長さL10(図3(b)〜(d)参照)等に関するデータが格納されている。   The machine information storage unit 205 stores, for example, information related to the surface mounter of the present embodiment. For example, the shape of the feature portion 1220 and the lower end portion of each suction nozzle 122 to the feature portion 1220 are stored. Data relating to the length L10 (see FIGS. 3B to 3D) and the like are stored.

演算手段206は、CPU等のような演算機能を有するものである。この演算手段206では、画像メモリ203に格納された画像データ、搭載情報記憶手段204並びにマシン情報記憶手段205に格納されたデータ、及び、軸制御手段201からの制御データ等を使用して演算処理を行い、この演算結果に基づいてこの装置の各要素を制御する。   The calculation means 206 has a calculation function such as a CPU. In this calculation means 206, calculation processing is performed using image data stored in the image memory 203, data stored in the mounting information storage means 204 and machine information storage means 205, control data from the axis control means 201, and the like. And control each element of the apparatus based on the calculation result.

特に、電子部品Cの吸着状態を検査する場合においては、画像メモリ203に格納された側面撮像用カメラ142で撮像された画像から電子部品Cの下端部及び特徴部分1220の高さ位置を検出して特徴部分1220と電子部品Cの下端部との距離L11(図3(b)参照)を算出し、この距離L11と、マシン情報記憶手段205に格納されている吸着ノズル122の下端部から特徴部分1220までの長さL10とに基づいて、吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離L12を算出し、この結果と、搭載情報記憶手段204に格納されている電子部品Cの厚みとを照合させることにより、上記電子部品の吸着状態を検査することが可能となっている。   In particular, when inspecting the suction state of the electronic component C, the height position of the lower end portion of the electronic component C and the feature portion 1220 is detected from the image captured by the side surface imaging camera 142 stored in the image memory 203. Then, a distance L11 (see FIG. 3B) between the characteristic portion 1220 and the lower end portion of the electronic component C is calculated, and the characteristic is calculated from this distance L11 and the lower end portion of the suction nozzle 122 stored in the machine information storage unit 205. A distance L12 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the lower end portion of the electronic component C is calculated based on the length L10 to the portion 1220, and this result and the electronic component C stored in the mounting information storage unit 204 are calculated. By checking the thickness of the electronic component, it is possible to inspect the suction state of the electronic component.

次に、図5に基づいて、この装置の動作に関する手順について説明する。   Next, a procedure relating to the operation of this apparatus will be described with reference to FIG.

まず、ヘッドユニット120を部品供給部112上に配置し、動作の対象とする吸着ノズル122を選定するためのカウンタN1に初期値として1を設定する(ステップS1)。   First, the head unit 120 is arranged on the component supply unit 112, and 1 is set as an initial value in a counter N1 for selecting the suction nozzle 122 to be operated (step S1).

次に、動作対象となるZ軸サーボモータ123(初期値においては第1ヘッドZ軸サーボモータ)を作動させて吸着ノズル122を下降させ、電子部品Cを吸着する(ステップS2)。   Next, the Z-axis servo motor 123 (the first head Z-axis servo motor in the initial value) to be operated is operated to lower the suction nozzle 122 and suck the electronic component C (step S2).

さらに、Z軸サーボモータ123を作動させ、吸着ノズル122の下端部に吸着された電子部品Cに応じてその下面が底面撮像用カメラ151のピントが合う位置となるように吸着ノズル122を上昇させる(ステップS3)。   Further, the Z-axis servo motor 123 is operated to raise the suction nozzle 122 so that the lower surface thereof is in focus with the bottom surface imaging camera 151 according to the electronic component C sucked to the lower end portion of the suction nozzle 122. (Step S3).

ソフト上吸着動作を行なう対象となる全ての吸着ノズル122に電子部品Cが吸着されていない場合には(ステップS4でNO)、カウンタN1に1を加算して(ステップS5)、ステップS2へと戻る。すなわち、次の動作対象となる吸着ノズル122(例えば、カウンタN1が2である場合は、第2吸着ノズル122b)における電子部品Cの吸着動作を行う。この作業は、対象となる全ての吸着ノズル122に電子部品Cが吸着されるまで行う。   If the electronic component C is not picked up by all the suction nozzles 122 to be subjected to the soft suction operation (NO in step S4), 1 is added to the counter N1 (step S5), and the process proceeds to step S2. Return. That is, the suction operation of the electronic component C is performed in the suction nozzle 122 (for example, the second suction nozzle 122b when the counter N1 is 2) as the next operation target. This operation is performed until the electronic component C is sucked by all the suction nozzles 122 to be targeted.

全ての吸着ノズル122に電子部品Cが吸着されると(ステップS4でYES)、撮像対象とする吸着ノズル122を選定するためのカウンタN2に初期値として1を設定する(ステップS6)。さらに、Y軸サーボモータ114及びX軸サーボモータ118を作動させ、底面撮像用カメラ151の上方へヘッドユニットを移動させる(ステップS7)。   When the electronic component C is attracted to all the suction nozzles 122 (YES in step S4), 1 is set as an initial value in the counter N2 for selecting the suction nozzle 122 to be imaged (step S6). Further, the Y-axis servo motor 114 and the X-axis servo motor 118 are operated to move the head unit above the bottom surface imaging camera 151 (step S7).

次に、ステップS8において、底面撮像用カメラ151及び底面撮像用照明152を作動させ、電子部品C又は吸着ノズル122の先端部分の底面からの画像を撮像する。そして、この撮像した画像を画像メモリ203に格納する。   Next, in step S <b> 8, the bottom surface imaging camera 151 and the bottom surface imaging illumination 152 are operated to capture an image from the bottom surface of the electronic component C or the tip portion of the suction nozzle 122. Then, the captured image is stored in the image memory 203.

そして、演算手段206において、この撮像された画像と、搭載情報記憶手段204に格納されている電子部品Cが正常な状態で吸着された状態を示す底面からの画像とを照合し、補正量を算出する(ステップS9)。この補正量がマシン情報記憶手段205に予め格納されている規定値の範囲外である場合や、電子部品Cそのものが吸着されていない場合、すなわち認識状態が良好でない場合には(ステップS10でNO)、表示装置171にエラー表示を行ってオペレータによる復帰処置を待つ等のエラー処理を行い(ステップS11)、それから後述のステップS14に進む。   Then, the calculation means 206 collates this captured image with the image from the bottom surface showing the state in which the electronic component C stored in the mounting information storage means 204 is sucked in a normal state, and calculates the correction amount. Calculate (step S9). When this correction amount is outside the range of the predetermined value stored in advance in the machine information storage means 205, or when the electronic component C itself is not picked up, that is, when the recognition state is not good (NO in step S10). ), Error processing is performed such as displaying an error on the display device 171 and waiting for a return treatment by the operator (step S11), and then proceeds to step S14 described later.

この補正量が上記規定値の範囲内である場合、すなわち認識状態が良好である場合には、ステップS12において側面撮像用照明130(カウンダN2が1のときは第1側面撮像用照明130a)及び側面撮像用カメラ142を作動させ、電子部品C又はN2番目の吸着ノズル先端部分の側面からの画像を撮像し、この撮像した画像を画像メモリ203に格納する。   If this correction amount is within the range of the specified value, that is, if the recognition state is good, in step S12, the side imaging illumination 130 (the first side imaging illumination 130a when the counter N2 is 1) and The side imaging camera 142 is operated to capture an image from the side of the tip of the electronic component C or the N2nd suction nozzle, and this captured image is stored in the image memory 203.

さらに、この側方からの画像を用いて、演算手段206で部品の厚み計算を行う(ステップS13)。なお、この部品の厚み計算に関する手順の詳細は後述のサブルーチンで説明する。   Further, the thickness of the part is calculated by the calculation means 206 using the image from the side (step S13). Details of the procedure for calculating the thickness of the component will be described in a subroutine described later.

そして、全ての吸着ノズル122の検査が終了していない場合(ステップS14でNO)、カウンタN2に1を加算し(ステップS15)、ステップS7へ戻る。   If all the suction nozzles 122 have not been inspected (NO in step S14), 1 is added to the counter N2 (step S15), and the process returns to step S7.

全ての吸着ノズルの検査が終了した場合(ステップS14でYES)、電子部品Cを実装すべくヘッドユニット120の移動を開始し(ステップS16)、プリント基板P上に電子部品Cを実装する(ステップS17)。   When inspection of all the suction nozzles is completed (YES in step S14), the head unit 120 starts to be mounted to mount the electronic component C (step S16), and the electronic component C is mounted on the printed circuit board P (step S16). S17).

次に、図6を用いて、部品の厚み計算に関するサブルーチンについて説明する。   Next, a subroutine relating to component thickness calculation will be described with reference to FIG.

まず、マシン情報記憶手段205から吸着ノズル122の下端部から特徴部分1220までの長さL10に関する情報を読み出す(ステップS31)。   First, information on the length L10 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the feature portion 1220 is read from the machine information storage unit 205 (step S31).

次に、画像メモリ203に格納された側方から撮像された画像を用いて特徴部分1220の高さ位置を検出する(ステップS32)。この検出ができなかったとき(ステップS33でNO)は、表示装置171にエラー表示を行ってオペレータによる復帰処置を待つ等のエラー処理を行い(ステップS34)、このサブルーチンを終了する。   Next, the height position of the feature portion 1220 is detected using the image captured from the side stored in the image memory 203 (step S32). If this detection is not possible (NO in step S33), error processing is performed such as displaying an error on the display device 171 and waiting for a return treatment by the operator (step S34), and this subroutine is terminated.

この検出に成功したとき(ステップS33でYES)は、電子部品Cの下端部の高さ位置を検出する。図3(d)に図示した状態のように電子部品Cの下端部が検出できない場合においては(ステップS36でNO)、表示装置171でエラー表示を行って(ステップS34)このサブルーチンを終了する。下端部が検出できたときには(ステップS36でYES)、電子部品の形状のチェックを行ない(ステップS37)、この形状の判定を行い(ステップS38)、下端面が傾いている場合には吸着不良が生じているとしてステップS34に進み、下端面が吸着ノズルの下端部すなわち吸着面とほぼ平行の場合に、ステップS39へと進行し、電子部品Cの厚み計算を行う。   When this detection is successful (YES in step S33), the height position of the lower end portion of the electronic component C is detected. When the lower end portion of the electronic component C cannot be detected as in the state illustrated in FIG. 3D (NO in step S36), an error is displayed on the display device 171 (step S34), and this subroutine is terminated. When the lower end portion can be detected (YES in step S36), the shape of the electronic component is checked (step S37), this shape is determined (step S38), and if the lower end surface is inclined, there is a suction failure. If the lower end surface is almost parallel to the lower end portion of the suction nozzle, that is, the suction surface, the process proceeds to step S39 to calculate the thickness of the electronic component C.

ステップS39においては、まず、既に検出された特徴部分1220の高さ位置及び電子部品Cの下端部の高さ位置を用い、特徴部分1220と電子部品Cの下端部との距離L11(図3(b)参照)を算出する。   In step S39, first, a distance L11 between the feature portion 1220 and the lower end portion of the electronic component C is used using the height position of the feature portion 1220 and the height position of the lower end portion of the electronic component C that have already been detected. b)) is calculated.

次に、この距離L11と、マシン情報記憶手段205に格納されている吸着ノズル122の下端部から特徴部分1220までの長さL10とに基づいて、吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離L12を算出する。   Next, based on the distance L11 and the length L10 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the feature portion 1220 stored in the machine information storage means 205, the lower end portion of the suction nozzle 122 and the lower end of the electronic component C are stored. The distance L12 to the part is calculated.

そして、この距離L12と搭載情報記憶手段204に格納されている電子部品Cの厚みとを照合させ、例えば図3(c)に図示した状態のように、この距離L12が規定値の範囲外、すなわち電子部品Cの厚みにおける寸法公差の範囲を超えている場合、表示装置171でエラー表示を行った(ステップS34)後にこのサブルーチンを終了し、規定値の範囲内であれば、そのままこのサブルーチンを終了する。   Then, the distance L12 is compared with the thickness of the electronic component C stored in the mounting information storage unit 204, and for example, as shown in FIG. In other words, if the range of the dimensional tolerance in the thickness of the electronic component C is exceeded, the subroutine is terminated after displaying an error on the display device 171 (step S34). finish.

また、図7は側面撮像用カメラのスケールおよび実装用ヘッドの高さの調整処理を示すフローチャートであり、この調整処理は、上記の部品の厚み計算等に必要なデータを予め調べて記憶しておくために、工場出荷時やメインテナンス時等に行われる。なお、このフローチャートでは、各実装用ヘッドにそれぞれ複数種類のノズルから選択されるノズルが交換可能に取付けられる場合を想定し、複数のヘッドとその各ヘッドに選択的に取付けられる複数種類ずつのノズルについてそれぞれ調整処理を行うようにしている。   FIG. 7 is a flowchart showing adjustment processing of the scale of the side surface imaging camera and the height of the mounting head. In this adjustment processing, data necessary for the above-described thickness calculation of the components is examined and stored in advance. This is done at the time of factory shipment or maintenance. In this flowchart, it is assumed that nozzles selected from a plurality of types of nozzles are interchangeably mounted on each mounting head, and a plurality of heads and a plurality of types of nozzles that are selectively mounted on each head. Adjustment processing is performed for each.

調整処理においては、特定の実装用ヘッド121とそのヘッドに選択的に取付けられる複数種類の吸着ノズル122のうちの特定のノズルとを予め基準ヘッド、基準ノズルとしておき、先ず調査対象を基準ヘッド、基準ノズルとする(ステップS51)。続いて、ノズルに何も付いていないことの確認を調整者に要求し(ステップS52)、付いていないことの確認を示す入力があったか否かを判定し(ステップS53)、その判定がNOであれば調整者による復帰措置を要求する(ステップS54)。   In the adjustment process, a specific mounting head 121 and a specific nozzle among a plurality of types of suction nozzles 122 selectively attached to the head are set in advance as a reference head and a reference nozzle. A reference nozzle is set (step S51). Subsequently, the controller is requested to confirm that nothing is attached to the nozzle (step S52), and it is determined whether or not there is an input indicating confirmation that the nozzle is not attached (step S53). If there is, a request for return by the coordinator is requested (step S54).

ノズルに何も付いていないことが確認されたとき(ステップS3の判定がYESのとき)は、ヘッド121を初期高さの状態とし、この状態で側面撮像用カメラ142による撮像に基づいてノズル122の下端と特徴部分1220とを検出する(ステップS55)。   When it is confirmed that nothing is attached to the nozzle (when the determination in step S3 is YES), the head 121 is set to the initial height state, and in this state, the nozzle 122 is based on the imaging by the side imaging camera 142. , And the feature portion 1220 are detected (step S55).

そして、既にスケールが算出済みか否かを判定し(ステップS56)、算出済みであれば後記ステップS59に進むが、算出済みでなければ、ヘッド121を特定量上下移動してから再びノズル122の下端と特徴部分1220とを検出する(ステップS57)。そして、ヘッド121の移動量と、ステップS55とステップS57でそれぞれ検出したノズル122の下端および特徴部分1220の差に基づき、スケールを算出し、マシン情報の記憶部に記憶させ(ステップS58)、それからステップS59に進む。   Then, it is determined whether or not the scale has already been calculated (step S56), and if it has been calculated, the process proceeds to step S59 described later. The lower end and the characteristic portion 1220 are detected (step S57). A scale is calculated based on the amount of movement of the head 121 and the difference between the lower end of the nozzle 122 and the characteristic portion 1220 detected in steps S55 and S57, respectively, and is stored in the machine information storage unit (step S58). Proceed to step S59.

ステップS59では、現在の調査対象が基準ヘッド、基準ノズルか否かを判定する。そして、基準ヘッド、基準ノズルであれば後記ステップS61に進むが、そうでない場合、基準ヘッド、基準ノズルの初期高さ時の下端位置と同じとなるように該当ヘッド、ノズルの修正した初期高さを計算し、これをマシン情報の記憶部に記憶させ(ステップS60)、それからステップS61に進む。   In step S59, it is determined whether the current investigation target is a reference head or a reference nozzle. If the reference head and the reference nozzle are used, the process proceeds to step S61 described below. If not, the corrected initial height of the corresponding head and nozzle is set to be the same as the lower end position of the reference head and the reference nozzle at the initial height. Is stored in the machine information storage unit (step S60), and then the process proceeds to step S61.

ステップS61では、該当ヘッドに選択的に取付けられる可能性のある全ノズル種類について調整処理が終了したか否かを判定し、終了していなければ次のノズルに交換した上で(ステップS62)、ステップS52に戻ってそれ以下の処理を繰り返す。   In step S61, it is determined whether or not the adjustment process has been completed for all nozzle types that may be selectively attached to the head. If not, the nozzle is replaced with the next nozzle (step S62). Returning to step S52, the following processing is repeated.

該当ヘッドに対する全ノズル種類について調整処理が終了すると、部品下端エッジの形状のチェック(ステップS63)を行ってから、全ヘッドについて調整処理が終了したか否かを判定し(ステップS64)、終了していなければ調整対象を次のヘッドに変更した上で(ステップS65)、ステップS52に戻ってそれ以下の処理を繰り返す。   When the adjustment process is completed for all nozzle types for the corresponding head, the shape of the lower edge of the component is checked (step S63), and then it is determined whether the adjustment process is completed for all heads (step S64). If not, the adjustment target is changed to the next head (step S65), and the process returns to step S52 to repeat the subsequent processing.

全ヘッドについて調整処理が終了すれば、このフローチャートの処理を完了する。   When the adjustment process is completed for all the heads, the process of this flowchart is completed.

本実施形態の構成によれば、吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離L12の算出は、電子部品Cの下端部の高さ位置と、上記特徴部分1220の高さ位置と、上記吸着ノズル122の下端部から特徴部分1220までの距離L10に基づいて行われる。   According to the configuration of the present embodiment, the calculation of the distance L12 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the lower end portion of the electronic component C is performed by calculating the height position of the lower end portion of the electronic component C and the height position of the characteristic portion 1220. And based on a distance L10 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the characteristic portion 1220.

すなわち、吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離L12の算出は、側方から撮像した画像で認識可能な特徴部分1220を基準にして行うことができるため、吸着ノズル122が上下方向に移動した場合においても吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離L12を正確に算出することが可能となる。したがって、電子部品Cの吸着状態をより正確に検査することが可能となる。   That is, the calculation of the distance L12 from the lower end portion of the suction nozzle 122 to the lower end portion of the electronic component C can be performed based on the feature portion 1220 that can be recognized from the image captured from the side. Even when moving in the vertical direction, the distance L12 from the lower end of the suction nozzle 122 to the lower end of the electronic component C can be accurately calculated. Therefore, it is possible to more accurately inspect the suction state of the electronic component C.

また、側面撮像用カメラ142で、特徴部分1220を含む吸着ノズルの下端部周辺の側方からの画像を得ることが可能となっている。すなわち、特徴部分1220と吸着ノズル122の下端部は、共に、同じカメラで撮像することが可能となっているため、装置の構成を簡素化することが可能となる。   In addition, the side imaging camera 142 can obtain an image from the side near the lower end of the suction nozzle including the characteristic portion 1220. That is, since both the characteristic portion 1220 and the lower end portion of the suction nozzle 122 can be imaged by the same camera, the configuration of the apparatus can be simplified.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、これら以外にも特許請求の範囲内で適宜変形して良い。これらの変形例としては、主に下記のものが挙げられる。   Although one embodiment of the present invention has been described above, other modifications may be made as appropriate within the scope of the claims. Examples of these modifications mainly include the following.

第2実施形態(図8参照)
本実施形態は、第1実施形態と異なり、吸着ノズル122の撮像と特徴部分1220との撮像は別々のカメラで行われるものである。
Second embodiment (see FIG. 8)
In the present embodiment, unlike the first embodiment, imaging of the suction nozzle 122 and imaging of the characteristic portion 1220 are performed by separate cameras.

まず、特徴部分1220は、吸着ノズル122の上部、すなわち側面撮像用カメラ142の視野外に配置されている。   First, the feature portion 1220 is disposed above the suction nozzle 122, that is, outside the field of view of the side surface imaging camera 142.

そして、特徴部分1220を撮像する手段として、特徴部分撮像用カメラ161(第3撮像手段)及び、特徴部分撮像用照明162がヘッドユニット120の上部に配置されている。この特徴部分撮像用カメラ161及び162の動作は、図9のブロック図に示すとおり、撮像装置制御手段202によって制御される。   As a means for imaging the feature portion 1220, a feature portion imaging camera 161 (third imaging means) and a feature portion imaging illumination 162 are arranged on the top of the head unit 120. The operations of the feature portion imaging cameras 161 and 162 are controlled by the imaging device control means 202 as shown in the block diagram of FIG.

また、吸着状態を調べるための動作においては、ステップS12の処理(図5参照)と相前後して、特徴部分撮像用カメラ161及び特徴部分撮像用照明162を作動させて特徴部分1220を撮像する動作も加わる。そして、特徴部分撮像用照明162による撮像に基づき、特徴部分の基準高さ位置(吸着ノズル122を所定基準高さまで上昇させたときの特徴部分1220の高さ位置)からの変位量が調べられ、この変位量に基づいて吸着ノズル122の下端の位置が求められ、これと、側面撮像用カメラ142による画像に基づいて求められた電子部品の下端部の高さ位置とにより、吸着ノズル122の下端部から電子部品Cの下端部までの距離が正確に算出される。   Further, in the operation for examining the suction state, the feature portion imaging camera 161 and the feature portion imaging illumination 162 are operated to image the feature portion 1220 in tandem with the process of step S12 (see FIG. 5). Operation is also added. Then, based on the imaging by the feature portion imaging illumination 162, the amount of displacement from the reference height position of the feature portion (the height position of the feature portion 1220 when the suction nozzle 122 is raised to the predetermined reference height) is examined, The position of the lower end of the suction nozzle 122 is obtained based on this displacement amount, and the lower end of the suction nozzle 122 is obtained from this and the height position of the lower end portion of the electronic component obtained based on the image taken by the side surface imaging camera 142. The distance from the part to the lower end part of the electronic component C is accurately calculated.

なお、特徴部分撮像用カメラ161及び特徴部分撮像用照明162による特徴部分1220の撮像と、側面撮像用カメラ142及び側面撮像用照明130による吸着ノズル122の撮像とは、ほぼ同一のタイミングで行われる。   Note that the imaging of the feature part 1220 by the feature part imaging camera 161 and the feature part imaging illumination 162 and the imaging of the suction nozzle 122 by the side imaging camera 142 and the side imaging illumination 130 are performed at substantially the same timing. .

また、工場出荷時やメインテナンス時等に行われるスケールおよび実装用ヘッドの高さの調整処理においては、図7中のステップS55およびステップS57,S58の処理が、側面撮像用カメラ142と特徴部分撮像用カメラ161の両方について行なわれる。   Further, in the scale and mounting head height adjustment processing performed at the time of factory shipment, maintenance, etc., the processing in step S55 and steps S57 and S58 in FIG. This is performed for both of the cameras 161.

その他実施形態
(1) 本発明の表面実装機において、上記吸着ノズル122は、複数種類の形状を有し、かつ、実装用ヘッド121の本体部分に対して着脱可能とされ、電子部品Cの形状に応じてこの吸着ノズル122を適宜取り替えられる構成となっていることが、電子部品Cの吸着状態を向上させることができる点で好ましい。かかる構成を採った場合、特徴部分1220は、吸着ノズル122の形状にかかわらず同一形状とすることが、マシン情報記憶手段205に格納すべき特徴部分1220の形状の種類を増やす必要がなく、記憶容量を少なくすることができるので好ましい。
Other Embodiments (1) In the surface mounting machine of the present invention, the suction nozzle 122 has a plurality of types of shapes and is detachable from the main body portion of the mounting head 121, and the shape of the electronic component C It is preferable that the suction nozzle 122 can be appropriately replaced according to the point that the suction state of the electronic component C can be improved. When such a configuration is adopted, the feature portion 1220 may have the same shape regardless of the shape of the suction nozzle 122, so that it is not necessary to increase the types of the shape of the feature portion 1220 to be stored in the machine information storage means 205, This is preferable because the capacity can be reduced.

(2) 本実施形態の部品認識装置は、表面実装機のみに適用可能であるものではなく、例えば、上記電子部品Cを検査する検査用電気回路が設けられた部品検査装置に適用することも可能である。なお、かかる構成に適用する場合、ヘッドユニット120は、部品供給部112と検査用電気回路が配置された位置とにわたって移動することになる。   (2) The component recognition apparatus of the present embodiment is not applicable only to a surface mounter, and may be applied to, for example, a component inspection apparatus provided with an inspection electric circuit for inspecting the electronic component C. Is possible. In addition, when applied to such a configuration, the head unit 120 moves over the position where the component supply unit 112 and the inspection electric circuit are arranged.

本発明の第1実施形態に係る表面実装機を概略的に示す平面図である。1 is a plan view schematically showing a surface mounter according to a first embodiment of the present invention. 図1のII−II断面におけるヘッドユニット周辺部分を示した概略図である。It is the schematic which showed the head unit periphery part in the II-II cross section of FIG. (a)は吸着ノズルの先端部分周辺を示した側面図であり、(b)〜(d)は、電子部品を吸着した状態での吸着ノズルの先端部分周辺を側面撮像用カメラで撮像した画像を示した図である。(A) is the side view which showed the front-end | tip part periphery of the suction nozzle, (b)-(d) is the image which imaged the front-end | tip part periphery of the suction nozzle in the state which adsorb | sucked the electronic component with the side surface imaging camera. FIG. 上記表面実装機の概略制御ブロック図である。It is a schematic control block diagram of the surface mounter. 上記表面実装機の動作を示す概略フローチャートである。It is a schematic flowchart which shows operation | movement of the said surface mounting machine. 上記表面実装機の動作において電子部品の吸着状態を判定するためのサブルーチンを示した概略フローチャートである。It is the general | schematic flowchart which showed the subroutine for determining the adsorption | suction state of an electronic component in operation | movement of the said surface mounting machine. 側面撮像用カメラのスケールおよび実装用ヘッドの高さの調整処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the adjustment process of the scale of a side surface imaging camera, and the height of the head for mounting. 本発明の第2実施形態にかかる表面実装機のヘッドユニット周辺部分の側面断面を示した概略図である。It is the schematic which showed the side surface cross section of the head unit periphery part of the surface mounter concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態にかかる表面実装機の概略制御ブロック図である。It is a schematic control block diagram of the surface mounting machine concerning 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

111 コンベア(プリント基板供給手段)
112 部品供給部
120 ヘッドユニット(部品搬送手段)
122 吸着ノズル(吸着部材)
142 側面撮像用カメラ(第1撮像手段)
151 底面撮像用カメラ(第2撮像手段)
161 特徴部分撮像用カメラ(第3撮像手段)
206 演算手段
1220 特徴部分
C 電子部品
P プリント基板

111 Conveyor (printed board supply means)
112 Component supply unit 120 Head unit (component conveying means)
122 Suction nozzle (Suction member)
142 Side imaging camera (first imaging means)
151 Bottom imaging camera (second imaging means)
161 Feature Part Imaging Camera (Third Imaging Unit)
206 Calculation means 1220 Characteristic part C Electronic component P Printed circuit board

Claims (7)

電子部品を吸着する吸着部材を上下位置調節可能に設けた部品搬送手段と、
上記吸着部材及びこれに吸着された上記電子部品を側方から撮像して側面画像を得る第1撮像手段と、
上記吸着部材に吸着された上記電子部品を電子部品吸着面と垂直あるいは略垂直方向に離間した位置から撮像して底面画像を得る第2撮像手段とを備え、
上記第1撮像手段及び上記第2撮像手段で撮像した画像を用いて吸着状態を検査する吸着状態検査装置であって、
上記吸着部材の下端部に対して所定の位置関係にある部位に、側方から撮像した画像で認識可能な特徴部分を設けるとともに、
上記第1撮像手段による撮像により得られる画像から検出される電子部品の下端部の高さ位置と、上記特徴部分を撮像した画像から検出される上記特徴部分の高さ位置と、上記吸着部材の下端部に対する上記特徴部分の位置関係とに基づいて、上記吸着部材の下端部から上記電子部品の下端部までの距離を演算し、この演算結果に基づいて上記電子部品の吸着状態を検査する演算手段を設けた
ことを特徴とする吸着状態検査装置。
Component conveying means provided with an adsorption member that adsorbs electronic components so that the vertical position can be adjusted,
First imaging means for capturing a side image by imaging the adsorption member and the electronic component adsorbed thereto from the side;
A second imaging unit that captures an image of the electronic component adsorbed by the adsorbing member from a position perpendicular to or substantially perpendicular to the electronic component adsorption surface and obtains a bottom image;
An adsorption state inspection device that inspects an adsorption state using images captured by the first imaging unit and the second imaging unit,
While providing a feature portion that can be recognized by an image captured from the side, in a portion that is in a predetermined positional relationship with the lower end portion of the adsorption member,
The height position of the lower end portion of the electronic component detected from the image obtained by imaging by the first imaging means, the height position of the feature portion detected from the image obtained by imaging the feature portion, and the suction member Calculation that calculates the distance from the lower end of the suction member to the lower end of the electronic component based on the positional relationship of the characteristic portion with respect to the lower end, and inspects the suction state of the electronic component based on the calculation result An adsorption state inspection apparatus characterized by comprising means.
請求項1記載の吸着状態検査装置において、
上記吸着部材は、異なった形状を有する複数種類のものを備え、
上記特徴部分は、上記吸着部材の種類に関わらず同一形状である
ことを特徴とする吸着状態検査装置。
In the adsorption state inspection device according to claim 1,
The adsorbing member comprises a plurality of types having different shapes,
The attraction state inspection device, wherein the characteristic portion has the same shape regardless of the type of the attraction member.
請求項1又は2のいずれかに記載の吸着状態検査装置において、
上記第1撮像手段及び第2撮像手段での撮像を略同時に行う
ことを特徴とする吸着状態検査装置。
In the adsorption | suction state inspection apparatus in any one of Claim 1 or 2,
The adsorption state inspection apparatus characterized in that imaging by the first imaging means and the second imaging means is performed substantially simultaneously.
請求項1〜3のいずれかに記載の吸着状態検査装置において、
上記第1撮像手段により上記吸着部材及びこれに吸着された電子部品を撮像するときの上記第1撮像手段の視野内となる位置に上記特徴部分を設けた
ことを特徴とする吸着状態検査装置。
In the adsorption | suction state inspection apparatus in any one of Claims 1-3,
An adsorption state inspection apparatus, wherein the characteristic portion is provided at a position within the field of view of the first imaging means when the first imaging means images the adsorption member and the electronic component adsorbed thereto.
請求項1〜3のいずれかに記載の吸着状態検査装置において、
上記第1撮像手段により上記吸着部材及びこれに吸着された電子部品を撮像するときの上記第1撮像手段の視野外となる位置に上記特徴部分を設け、この特徴部分を側方から撮像する第3撮像手段を備えた
ことを特徴とする吸着状態検査装置。
In the adsorption | suction state inspection apparatus in any one of Claims 1-3,
The characteristic portion is provided at a position outside the field of view of the first imaging means when the first imaging means images the adsorption member and the electronic component adsorbed thereto, and the characteristic portion is imaged from the side. An adsorption state inspection apparatus comprising three imaging means.
請求項1〜5のいずれかに記載の吸着状態検査装置と、
上記電子部品を供給する部品供給部と、
上記電子部品を搭載するプリント基板を供給するプリント基板供給手段とを備え、
上記吸着状態検査装置に備えられた上記部品搬送手段により、上記部品供給部から上記プリント基板供給手段によって上記プリント基板が配置される基板配置位置に向けて上記電子部品を搬送し、
この電子部品を上記プリント基板上に実装することを可能にする
ことを特徴とする表面実装機。
The adsorption state inspection device according to any one of claims 1 to 5,
A component supply unit for supplying the electronic component;
A printed circuit board supply means for supplying a printed circuit board on which the electronic component is mounted,
The electronic component is conveyed from the component supply unit to the board arrangement position where the printed board is arranged by the printed board supply means by the component conveyance means provided in the suction state inspection device,
A surface mounting machine characterized in that it is possible to mount this electronic component on the printed circuit board.
請求項1〜5のいずれかに記載の吸着状態検査装置と、
上記電子部品を供給する部品供給部と、
上記電子部品を検査する検査用電気回路とを備え、
上記吸着状態検査装置に備えられた上記部品搬送手段により、上記部品供給部から上記検査用電気回路が配置されている位置に向けて上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記検査用電子回路で検査することを可能にする
ことを特徴とする部品試験装置。
The adsorption state inspection device according to any one of claims 1 to 5,
A component supply unit for supplying the electronic component;
An inspection electric circuit for inspecting the electronic component,
The electronic component is conveyed from the component supply unit to a position where the electric circuit for inspection is arranged by the component conveying means provided in the adsorption state inspection device, and the electronic component is transferred to the electronic circuit for inspection. It is possible to inspect with a component testing device.
JP2004163605A 2004-06-01 2004-06-01 Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device Expired - Lifetime JP4331054B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004163605A JP4331054B2 (en) 2004-06-01 2004-06-01 Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004163605A JP4331054B2 (en) 2004-06-01 2004-06-01 Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005347412A true JP2005347412A (en) 2005-12-15
JP4331054B2 JP4331054B2 (en) 2009-09-16

Family

ID=35499523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004163605A Expired - Lifetime JP4331054B2 (en) 2004-06-01 2004-06-01 Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4331054B2 (en)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009054819A (en) * 2007-08-28 2009-03-12 Panasonic Corp Component mounting device
JP2009130034A (en) * 2007-11-21 2009-06-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd Front/back discriminating apparatus for suction component and front/back discriminating method for suction component
WO2013094124A1 (en) 2011-12-22 2013-06-27 ヤマハ発動機株式会社 Component imaging device, and component mounting device equipped with component imaging device
JP2017073431A (en) * 2015-10-06 2017-04-13 富士機械製造株式会社 Image recognizer
WO2017216966A1 (en) * 2016-06-17 2017-12-21 富士機械製造株式会社 Measuring apparatus
JP2018006417A (en) * 2016-06-28 2018-01-11 富士機械製造株式会社 Determination device
JP2019114818A (en) * 2019-04-18 2019-07-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting device and component existence determination method
JP2020102653A (en) * 2020-04-01 2020-07-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting device and component presence/absence determination method
CN112105254A (en) * 2016-03-04 2020-12-18 松下知识产权经营株式会社 Component thickness calculation method, component mounting device, and component presence determination method
JP2021048424A (en) * 2020-12-25 2021-03-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component suction method
JP2021048425A (en) * 2020-12-25 2021-03-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting method
JP2021057610A (en) * 2020-12-25 2021-04-08 パナソニックIpマネジメント株式会社 Opening and closing method of vacuum valve

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009054819A (en) * 2007-08-28 2009-03-12 Panasonic Corp Component mounting device
JP2009130034A (en) * 2007-11-21 2009-06-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd Front/back discriminating apparatus for suction component and front/back discriminating method for suction component
WO2013094124A1 (en) 2011-12-22 2013-06-27 ヤマハ発動機株式会社 Component imaging device, and component mounting device equipped with component imaging device
US9621777B2 (en) 2011-12-22 2017-04-11 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Component imaging device, and component mounting device equipped with component imaging device
JP2017073431A (en) * 2015-10-06 2017-04-13 富士機械製造株式会社 Image recognizer
CN112105254A (en) * 2016-03-04 2020-12-18 松下知识产权经营株式会社 Component thickness calculation method, component mounting device, and component presence determination method
CN112105254B (en) * 2016-03-04 2021-11-16 松下知识产权经营株式会社 Component thickness calculation method, component mounting device, and component presence determination method
WO2017216966A1 (en) * 2016-06-17 2017-12-21 富士機械製造株式会社 Measuring apparatus
JPWO2017216966A1 (en) * 2016-06-17 2019-04-11 株式会社Fuji measuring device
JP2018006417A (en) * 2016-06-28 2018-01-11 富士機械製造株式会社 Determination device
JP2019114818A (en) * 2019-04-18 2019-07-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting device and component existence determination method
JP2020102653A (en) * 2020-04-01 2020-07-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting device and component presence/absence determination method
JP2021048424A (en) * 2020-12-25 2021-03-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component suction method
JP2021048425A (en) * 2020-12-25 2021-03-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting method
JP2021057610A (en) * 2020-12-25 2021-04-08 パナソニックIpマネジメント株式会社 Opening and closing method of vacuum valve
JP7126054B2 (en) 2020-12-25 2022-08-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 Part mounting method
JP7126053B2 (en) 2020-12-25 2022-08-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 How to open and close the vacuum valve
JP7126052B2 (en) 2020-12-25 2022-08-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 Part pick-up method

Also Published As

Publication number Publication date
JP4331054B2 (en) 2009-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4331054B2 (en) Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device
JP2011066041A (en) Electronic component mounting device
KR102057918B1 (en) Component mounting device
JP2008060249A (en) Part packaging method and surface mounting machine
JP6889778B2 (en) Component mounting device
JP2005072046A (en) Apparatus for packaging electronic component
JP4921346B2 (en) Adsorption position correction method in component mounting apparatus
CN108029240B (en) Component mounting apparatus
JP2006019380A (en) Method and apparatus for inspecting liquid agent transfer condition and surface mounting apparatus
JP4122170B2 (en) Component mounting method and component mounting apparatus
JP2009212251A (en) Component transfer equipment
JP4909255B2 (en) Head movement position correction method and component in component mounting apparatus
JP6348832B2 (en) Component mounting apparatus, surface mounter, and component thickness detection method
JP7524127B2 (en) Component Mounting Equipment
JP6177714B2 (en) Component recognition device, component transfer device, and component mounting device
JP4421281B2 (en) Component recognition method, component recognition device, surface mounter, component test device, and board inspection device
JP4704218B2 (en) Component recognition method, apparatus and surface mounter
JP4901451B2 (en) Component mounting equipment
JP2006073959A (en) Component recognition device, surface mounting machine and component testing device
JP2007048921A (en) Electronic component image acquiring method and apparatus thereof
JP4091950B2 (en) Component mounting position correction method and surface mounter
JP2008166547A (en) Surface mounting equipment, and control method of surface mounting equipment
JP6231397B2 (en) Component recognition device, component transfer device, and component mounting device
JP4368709B2 (en) Surface mount machine
JP4509537B2 (en) Component recognition device, surface mounter and component testing device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070220

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090616

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090617

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4331054

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term