JP2005222944A - 電界放出素子及びそれを備えたバックライト装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電界放出素子及びそれを備えたバックライト装置を提供する。
【解決手段】 基板上に相互交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、前記CNT触媒金属層で成長したCNTを備える電界放出素子である。
【選択図】 図2
【解決手段】 基板上に相互交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、前記CNT触媒金属層で成長したCNTを備える電界放出素子である。
【選択図】 図2
Description
本発明は電界放出素子及びそれを用いたバックライト装置に係り、特にカーボンナノチューブ(carbon nanotube;CNT)を用いた電界放出素子及びバックライト装置に関する。
通常、平板表示装置は大きく発光型と受光型とに分類されうる。発光型としては、陰極線管(Cathode Ray Tube; CRT)、プラズマ表示装置(Plasma Display Panel; PDP)及び電界放出表示装置(Field Emission Display; FED)などがあり、受光型としては液晶表示装置(Liquid Crystal Display; LCD)がある。この中で、LCDは、軽く、消費電力が少ないという長所を有しているが、それ自体が発光して画像を形成するものではなく、外部から光が入射されて画像を形成する受光型表示装置であるために、暗い所では画像が見づらいという問題点がある。このような問題点を解決するために液晶表示装置の背面にはバックライト装置が設けられる。
従来のバックライト装置としては、線光源として冷陰極蛍光ランプ(Cold Cathode Fluorescent Lamp;CCFL)と、点光源として発光ダイオード(Light Emitting Diode; LED)が主に使われてきた。しかし、このような従来のバックライト装置は一般的にその構成が複雑で製造費用が高く、かつ光源が側面にあるために光の反射と透過による電力消費量が大きいという短所がある。特に、液晶表示装置が大型化するほど輝度の均一性を確保し難いという問題点がある。
このため、最近では前記問題点を解消するために平面発光構造を有する電界放出型バックライト装置が提案されている。このような電界放出型バックライト装置は既存のCCFLなどを用いたバックライト装置に比べて電力消費量が少なく、かつ広い範囲の発光領域でも比較的均一な輝度を得ることができるという長所がある。
図1は、従来の電界放出型バックライト装置の一部断面図である。
図1を参照すれば、上部基板20と下部基板10とが一定間隔をおいて相互に対向して配置されている。そして、前記上部基板20の内面にはアノード電極22と蛍光体層24が順次に形成されており、前記下部基板10の上面にはカソード電極12が形成されている。前記カソード電極12上には所定の貫通ホール14aが形成されたゲート絶縁層14が形成されており、前記ゲート絶縁層14上には前記貫通ホール14aに対応するゲートホール16aが形成されたゲート電極16が形成されている。前記貫通ホール14aで露出された前記カソード電極12上にはCNTエミッタ30が形成されている。
このような構造を有する電界放出型バックライト装置において、アノード電極22に数kv電圧を印加し、ゲート電極16に数十Vの電圧を印加すれば、CNTエミッタ30から電子が放出されてアノード電極22に衝突する。この際、この電子は蛍光層24を励起して可視光26を放出する。
前記CNTエミッタ30はCNTが含まれたペーストをゲートホール16aに露出されたカソード電極12上をスクリーンプリンティングした後、エッチング過程を通じて得られる。
しかし、スクリーンプリンティングで得られるCNTエミッタ30でCNT含量が数十%以内であるために、CNTの量が制限され、したがって高輝度の電界放出素子を得るのに問題がある。
また、従来の積層構造の電界放出素子を得るためにはパターニング過程が反復され、これは電界放出素子のコスト上昇の主な要因となる。
本発明の目的は、前記問題点を改善するためのものであって、CNTエミッタのCNT密度を上昇させた電界放出素子及びバックライト装置を提供することである。
本発明の他の目的は、同じ平面上にカソード電極及びゲート電極を形成することによって、製造工程を単純化した電界放出素子及びバックライト装置を提供することである。
前記目的を達成するために本発明に係る電界放出素子は、基板上に相互交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、前記CNT触媒金属層で成長したCNTと、を備えることを特徴とする。
前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で断続的に形成されうる。
前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で連続して形成されうる。
前記CNT触媒金属層は、Ni、Co、Fe、インバーよりなる群のうち選択された少なくとも何れか1つよりなることが望ましい。
前記目的を達成するために本発明に係るバックライト装置は、所定間隔で平行に配置された上部基板及び下部基板と、前記上部基板に形成されたアノード電極と、前記アノード電極上に所定の厚さに形成された蛍光層と、前記下部基板上に相互に交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、前記CNT触媒金属層で成長したCNTと、を備える。
本発明に係る電界放出素子によれば、カソード電極上に形成されたCNTエミッタのCNT密度が上昇するので、CNTエミッタの電子放出能力が向上する。このような電界放出素子を使用するバックライト装置は高輝度特性を有しうる。
また、平面上にゲート電極をカソード電極と共に形成するために、ゲート電極を形成する製造工程が単純化され、したがって三極構造を有する電界放出型バックライト装置を安価で生産できる。
以下、添付された図面を参照しつつ本発明に係る電界放出素子及びバックライト装置の望ましい実施例を詳細に説明する。この過程で図面に示された層や領域の厚さは明細書の明確性のために誇張して示したものである。
図2は本発明に係るバックライト装置の概略的な断面図であり、図3は図2の電界放出素子の概略的な平面図である。
図2及び図3を共に参照すれば、上部基板120と下部基板110が一定間隔をおいて相互に対向して配置されている。前記上部基板120の内面にはアノード電極122と蛍光体層124とが順に形成されており、前記下部基板110の上面には電界放出素子が形成されている。
前記電界放出素子は、下部基板110上でストライプ状に相互に平行に交互に形成されたカソード電極112及びゲート電極116が配置されている。前記カソード電極112及びゲート電極116は下部基板110上にCrまたはITOを蒸着した後、これら電極をパターニングして得られる。
前記ゲート電極116はそれらの間のカソード電極112上のCNTエミッタ130から電子を抽出する。ゲート電極116には数10Vの電圧、例えば40Vの電圧が印加される。
前記カソード電極112上には金属薄膜113が形成されている。前記金属薄膜113はCNT触媒金属層であって、Ni、Co、Fe、インバーのうち少なくとも何れか1つより製造される。金属薄膜113はほぼ1μmの厚さに形成されることが望ましい。
前記金属薄膜113は、図3で前記カソード電極上で不連続的に形成されているが、必ずしもこれに限定されるものではない。すなわち、前記カソード電極112上で、図4に示されたように連続して形成されても良い。これはチップマウントのような表面実装技術で製造する時には所定サイズに不連続的に形成されうる。また、前記金属薄膜113は熱転写方法を使用して連続して形成しても良い。
前記金属薄膜113上にはCNTエミッタ130が形成されている。前記CNTエミッタ130は、金属薄膜113が形成された基板120を所定温度、例えば750℃に保ったチャンバに配置した状態で炭素を含有したガスを前記チャンバ内に注入すれば、金属薄膜113の表面からCNTが成長して作られる。前記炭素を含有したガスとしては、メタン(CH4)、アセチレン(C2H2)、エチレン(C2H4)、エタン(C2H6)、一酸化炭素(CO)及び二酸化炭素(CO2)などを使用しうる。
前記CNTエミッタ130は、前記炭素を吸着させる時間によって、前記金属薄膜113上に高密度で形成されうる。
前記バックライト装置の作用を、図面を参照して詳細に説明する。
まず、ゲート電極116に40Vパルス電圧を印加し、アノード電極122に2kV電圧を印加すれば、CNTエミッタ130から電子が放出される。このように放出された電子はアノード電極122に向かって進み、蛍光層124に衝突する。この時、蛍光層124から可視光線126が発光され、この可視光線126は上部基板120を通過する。
本発明は図面を参照して一実施形態に基づいて説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な実施形態の適用が可能である点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲に限って決められるべきである。
本発明の電界放出素子及びそれを備えたバックライト装置は、例えば、液晶表示装置に好適に適用されうる。
110 下部基板
112 カソード電極
113 金属薄膜
116 ゲート電極
120 上部基板
122 アノード電極
124 蛍光体層
126 可視光線
130 CNTエミッタ
112 カソード電極
113 金属薄膜
116 ゲート電極
120 上部基板
122 アノード電極
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130 CNTエミッタ
Claims (8)
- 基板上に相互に交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、
前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、
前記CNT触媒金属層で成長したCNTと、を備えることを特徴とする電界放出素子。 - 前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で断続的に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で連続して形成されたことを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 前記CNT触媒金属層は、Ni、Co、Fe、インバーよりなる群のうち選択された少なくとも何れか1つよりなることを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 所定間隔で平行に配置された上部基板及び下部基板と、
前記上部基板に形成されたアノード電極と、
前記アノード電極上に所定の厚さに形成された蛍光層と、
前記下部基板上に相互に交互に形成されたストライプ状のカソード電極及びゲート電極と、
前記カソード電極上に形成されたCNT触媒金属層と、
前記CNT触媒金属層で成長したCNTと、を備えることを特徴とする電界放出型バックライト装置。 - 前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で断続的に形成されたことを特徴とする請求項5に記載の電界放出型バックライト装置。
- 前記CNT触媒金属層は、前記カソード電極上で連続して形成されたことを特徴とする請求項5に記載の電界放出型バックライト装置。
- 前記CNT触媒金属層は、Ni、Co、Fe、インバーよりなる群のうち選択された少なくとも何れか1つよりなることを特徴とする請求項5に記載の電界放出型バックライト装置。
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