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JP2005220248A - Resin-curing type paste, and ceramic electronic component using the same - Google Patents

Resin-curing type paste, and ceramic electronic component using the same Download PDF

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JP2005220248A
JP2005220248A JP2004030275A JP2004030275A JP2005220248A JP 2005220248 A JP2005220248 A JP 2005220248A JP 2004030275 A JP2004030275 A JP 2004030275A JP 2004030275 A JP2004030275 A JP 2004030275A JP 2005220248 A JP2005220248 A JP 2005220248A
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JP
Japan
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resin
paste
inorganic powder
curing type
electronic component
Prior art date
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Pending
Application number
JP2004030275A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukitsugu Matsushita
幸嗣 松下
Akihiko Kawakami
章彦 川上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin-curing type paste comprising an inorganic powder, a polyimide precursor and a solvent without using an aromatic heterocyclic compound, sufficiently preventing the reaction between the powder and the resin, having stabilized viscosity, and capable of providing a homogeneous film without a void; and to provide a ceramic electronic component using the resin-curing type paste. <P>SOLUTION: The resin-curing type paste comprising the polyimide precursor, the inorganic powder and the solvent as essential components contains phosphoric acid. The ceramic electronic component is obtained by using the resin-curing type paste. The resin-curing type paste containing the phosphoric acid provides the inorganic powder-containing polyimide precursor paste having excellent viscosity stability and providing a film having good properties. The ceramic electronic component using the resin-curing type paste hardly causes a crack. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明は、セラミック基板や導体上に印刷して絶縁層などを形成するための、無機粉末を分散した樹脂硬化型ペースト、およびこれを用いたセラミック電子部品に関するものである。   The present invention relates to a resin curable paste in which inorganic powder is dispersed for printing on a ceramic substrate or a conductor to form an insulating layer and the like, and a ceramic electronic component using the same.

従来より、小型のコイル部品やコンデンサ部品などを形成する際に、絶縁層などの絶縁樹脂硬化物を形成することがある。例えば、多層基板においては、セラミック基板の上にスパッタなどにより導体薄膜で電極パターンを形成し、その上に絶縁層を設け、さらに導体層スパッタ、絶縁層の形成を繰り返すことで、多層構造を形成する際に絶縁層が設けられる。また、別の例として、チョークコイルやインダクタ等のチップ型コイル部品においては、絶縁シートにコイル導体パターンを形成して積層してコイル部を形成し、その上下からフェライト基板を絶縁性の接着剤によって接着して封止した後、コイル導体パターンと電気的に接続するようにフェライト基板上に外部電極を形成したものがある。ここで、コイル部とフェライト基板との間には、接着剤の硬化物である絶縁樹脂硬化物が形成されており、この絶縁樹脂硬化物がチップ型コイル部品の閉磁路構造に寄与している。   Conventionally, when forming a small coil component, a capacitor component, or the like, a cured insulating resin such as an insulating layer may be formed. For example, in a multilayer substrate, a multilayer structure is formed by forming an electrode pattern with a conductive thin film on a ceramic substrate by sputtering or the like, providing an insulating layer on the electrode pattern, and then repeating the sputtering of the conductor layer and the formation of the insulating layer. In this case, an insulating layer is provided. As another example, in a chip-type coil component such as a choke coil or an inductor, a coil conductor pattern is formed and laminated on an insulating sheet to form a coil portion, and an insulating adhesive is used to attach a ferrite substrate from above and below. In some cases, an external electrode is formed on a ferrite substrate so as to be electrically connected to the coil conductor pattern after being adhered and sealed by the above. Here, an insulating resin cured product that is a cured product of the adhesive is formed between the coil portion and the ferrite substrate, and this insulating resin cured product contributes to the closed magnetic circuit structure of the chip-type coil component. .

信頼性の高い部品を得るためには、絶縁樹脂硬化物に使われる樹脂として、機械強度、電気絶縁性、耐熱性に優れたものを使用する必要がある。中でも、ポリイミド樹脂は、これらの特性に特に優れている。ポリイミド樹脂としては、ポリイミド前駆体と溶剤からなる溶液を塗布乾燥後、加熱によりイミド化してポリイミド樹脂膜を得るものがよく知られている。
ポリイミド樹脂は優れた特性を持つが、コイル部品やコンデンサ部品の絶縁層として用いた場合、その誘電率、透磁率などが十分でない場合がある。高い誘電率や、高い透磁率を持つポリイミド絶縁層を得たい場合、ポリイミド前駆体樹脂溶液の中に、強誘電体や強磁性体の無機粉末を分散してペースト化する方法がある。
In order to obtain a highly reliable part, it is necessary to use a resin excellent in mechanical strength, electrical insulation, and heat resistance as a resin used in the cured insulating resin. Among these, the polyimide resin is particularly excellent in these characteristics. As a polyimide resin, one that obtains a polyimide resin film by applying and drying a solution comprising a polyimide precursor and a solvent and then imidizing by heating is well known.
Polyimide resin has excellent characteristics, but when used as an insulating layer for coil parts and capacitor parts, its dielectric constant, magnetic permeability, etc. may not be sufficient. In order to obtain a polyimide insulating layer having a high dielectric constant and a high magnetic permeability, there is a method in which a ferroelectric or ferromagnetic inorganic powder is dispersed in a polyimide precursor resin solution to form a paste.

ポリイミド前駆体と溶剤とからなる溶液に、強磁性体などの無機粉末を分散してペースト化する方法は、ポリイミド絶縁膜の透磁率を改良する方法として優れた方法であるが、これら無機粉末をポリイミド前駆体樹脂溶液に分散すると、ポリイミド前駆体の平衡状態および樹脂と無機粉末との酸塩基相互作用により、得られたペーストの粘度が顕著に変化してしまい、さらにはゲル化を引き起こす場合があり、保存安定性に問題があった。   Dispersing inorganic powders such as ferromagnets in a solution consisting of a polyimide precursor and a solvent to form a paste is an excellent method for improving the magnetic permeability of a polyimide insulating film. When dispersed in the polyimide precursor resin solution, the viscosity of the resulting paste may change significantly due to the equilibrium state of the polyimide precursor and the acid-base interaction between the resin and the inorganic powder, and may further cause gelation. There was a problem in storage stability.

ペーストの粘度上昇やゲル化の問題に対し、無機粉末と、ポリイミド前駆体を含有するペーストにおいて、1,2,3−ベンゾトリアゾール化合物、およびその誘導体などの芳香族複素環化合物を含有させることによる解決法が提案されている(例えば、特開2001−176720参照)。   Due to the increase in viscosity and gelation of the paste, the paste containing an inorganic powder and a polyimide precursor contains an aromatic heterocyclic compound such as a 1,2,3-benzotriazole compound and its derivative. A solution has been proposed (see, for example, JP-A-2001-176720).

特開2001−176720号公報JP 2001-176720 A

しかし、この方法では、ポリイミド前駆体に対して芳香族複素環化合物、具体的には1,2,3−ベンゾトリアゾールを10〜200重量%と非常に多量に添加しているため、溶剤乾燥後、1,2,3−ベンゾトリアゾールが分解する過程で、ボイドが残存する場合があり、均質な膜を生成できないという問題がある。
また、硬化温度300℃では1,2,3−ベンゾトリアゾールの熱分解性が十分となりえず、熱分解しきれていない残存物が多数存在するため、均質な膜を生成できないという問題がある。
However, in this method, an aromatic heterocyclic compound, specifically 1,2,3-benzotriazole is added in a very large amount of 10 to 200% by weight with respect to the polyimide precursor. In the process of decomposition of 1,2,3-benzotriazole, voids may remain, and there is a problem that a homogeneous film cannot be formed.
In addition, when the curing temperature is 300 ° C., the thermal decomposability of 1,2,3-benzotriazole cannot be sufficient, and there are many residues that are not completely thermally decomposed.

それゆえに、この発明の主たる目的は、無機粉末とポリイミド前駆体と溶剤とを含有する樹脂硬化型ペーストにおいて、上記のような芳香族複素環化合物を用いず、添加量が少なくても、十分に粉末と樹脂の反応を抑制し、粘度が安定で、ボイドがない均質な膜を形成できる樹脂硬化型ペーストを得ることにある。   Therefore, the main object of the present invention is to provide a resin curable paste containing an inorganic powder, a polyimide precursor, and a solvent, without using the aromatic heterocyclic compound as described above, and even if the addition amount is small. An object of the present invention is to obtain a resin curable paste that suppresses the reaction between the powder and the resin, has a stable viscosity, and can form a homogeneous film without voids.

粘度が安定しない原因として、ポリイミド前駆体溶液の平衡反応において、ポリアミド酸の合成反応が進むとともに、ポリアミド酸に分子間交換反応が生じる一方、ポリアミド酸の場合、テトラカルボン酸二無水物酸と芳香族ジアミンへと開裂する可逆反応が生じること、さらには、酸点または塩基点を有する無機粉末とポリアミド酸とが相互作用することが考えられ、リン酸を添加すると上記の平衡反応および相互作用の安定化が進行し、粘度を安定化することができることを見出し、本発明に至ったものである。   The cause of the unstable viscosity is that the polyamic acid synthesis reaction proceeds in the equilibrium reaction of the polyimide precursor solution and an intermolecular exchange reaction occurs in the polyamic acid. It is considered that a reversible reaction that cleaves into a group diamine occurs, and that the inorganic powder having an acid site or a base site interacts with polyamic acid. It has been found that stabilization proceeds and viscosity can be stabilized, and the present invention has been achieved.

請求項1に係る発明は、ポリイミド前駆体と無機粉末と溶剤とを必須成分としてなるペーストにおいて、リン酸を含有することを特徴とする、樹脂硬化型ペーストである。
請求項2に係る発明は、前記ペーストであって、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の含有量が0.066重量%以上1.940重量%以下であることを特徴とする、請求項1に記載の樹脂硬化型ペーストである。
請求項3に係る発明は、前記無機粉末の含有量が、樹脂硬化型ペースト硬化後において50重量%以上90重量%以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の樹脂硬化型ペーストである。
請求項4に係る発明は、絶縁樹脂硬化物と導体とを有する電子部品であって、前記絶縁樹脂硬化物が請求項1〜請求項3のいずれかに記載の樹脂硬化型ペーストを硬化させて得られるものであり、前記樹脂硬化型ペーストに含まれる無機粉末がセラミック粉末であることを特徴とする電子部品である。
The invention according to claim 1 is a resin curable paste characterized by containing phosphoric acid in a paste comprising polyimide precursor, inorganic powder and solvent as essential components.
The invention according to claim 2 is the paste, wherein the content of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent is 0.066 wt% or more and 1.940 wt% or less. The resin curable paste described.
The invention according to claim 3 is characterized in that the content of the inorganic powder is 50% by weight or more and 90% by weight or less after the resin curable paste is cured. It is a paste.
The invention which concerns on Claim 4 is an electronic component which has insulation resin hardened | cured material and a conductor, Comprising: The said insulation resin hardened | cured material hardens the resin curable paste in any one of Claims 1-3. The electronic component obtained is characterized in that the inorganic powder contained in the resin curable paste is a ceramic powder.

本発明は上述のような構成を有することにより、粘度安定性に優れたかつ膜質が良好な無機粉末含有樹脂硬化型ペーストが得られる。   By having the configuration as described above, the present invention provides an inorganic powder-containing resin curable paste having excellent viscosity stability and good film quality.

この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。   The above object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of the best mode for carrying out the invention.

以下、本発明を具体的に説明する。
本発明の樹脂硬化型ペーストは、ポリイミド前駆体と、無機粉末と、溶剤と、リン酸と、を含むことを特徴としている。
ここでいう樹脂硬化型ペーストとは、乾燥や熱を加えることで樹脂成分をあまり飛散させずに無機粉末とともに硬化させて得られる。これにより、無機粉末が分散した絶縁樹脂硬化物を形成できる。
The present invention will be specifically described below.
The resin curable paste of the present invention includes a polyimide precursor, an inorganic powder, a solvent, and phosphoric acid.
The resin curable paste referred to here is obtained by curing together with inorganic powder without applying too much resin component by drying or applying heat. Thereby, the insulated resin hardened | cured material which the inorganic powder disperse | distributed can be formed.

(ポリイミド前駆体)
本発明におけるポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸二無水物酸とジアミンから反応して得られる。例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などのテトラカルボン酸二無水物と、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,3´−ジアミノジフェニルスルフォン、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミンなどのジアミンとをN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミドなどの非プロトン性極性溶媒中で反応させ得られるポリアミド酸およびそのエステルが挙げられるがこれらに限定されるものではない。
(Polyimide precursor)
The polyimide precursor in the present invention is obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride acid and diamine. For example, pyrocarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, etc. An anhydride and a diamine such as 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine and the like are added to N-methyl-2. -Polyamic acid obtained by reacting in an aprotic polar solvent such as pyrrolidone and N, N-dimethylacetamide and esters thereof are not limited thereto.

(無機粉末)
本発明における無機粉末とは、ガラス粉末、セラミック粉末等をいう。
セラミック粉末には、例えば、誘電体材料としてPZT、PbTiO3、PbMoO4、オプトエレクトロニクス材としてPLZT、Y3Fe512、PbS、PbSe、半導体材としてFeO、NiFe24系、αFe23、Cu2O、PbTe、磁性体材料としてNi、Ni−Zn、Ni−Cu−Zn、Ni−Co、Ni−Co−Zn、Mn−Zn、Mn−Mg−Zn、フェロックスプレーナー等のフェライト材が含まれる。
(Inorganic powder)
The inorganic powder in the present invention refers to glass powder, ceramic powder, and the like.
The ceramic powder includes, for example, PZT, PbTiO 3 , PbMoO 4 as a dielectric material, PLZT, Y 3 Fe 5 O 12 , PbS, PbSe as an optoelectronic material, FeO, NiFe 2 O 4 system, αFe 2 O as a semiconductor material. 3 , Cu 2 O, PbTe, ferrite as magnetic material, Ni, Ni—Zn, Ni—Cu—Zn, Ni—Co, Ni—Co—Zn, Mn—Zn, Mn—Mg—Zn, Ferroc sprayer, etc. Material is included.

本発明の無機粉末の粒子径はハンドリング性、電気的、磁気的特性に問題がなければ特に限定しないが、例えば、積層体を形成する場合に、積層体に損傷を与えないように、できるだけ微細なものを用いることが好ましい。   The particle size of the inorganic powder of the present invention is not particularly limited as long as there is no problem in handling properties, electrical properties, and magnetic properties. For example, when forming a laminate, the particle size is as fine as possible so as not to damage the laminate. It is preferable to use a new one.

本発明における無機粉末配合量は、樹脂硬化型ペースト硬化後の固形分に対し、50〜90重量%配合させることが望ましい。50重量%より少ないと十分な電気的、磁気的特性が得られない。一方、90重量%より多くなると、樹脂硬化型ペーストの粘度が高くなり、樹脂硬化型ペーストとしてのハンドリング性が低下するばかりか機械強度や密着強度が低下する。   As for the inorganic powder compounding quantity in this invention, it is desirable to mix | blend 50 to 90 weight% with respect to solid content after resin-curable paste hardening. If it is less than 50% by weight, sufficient electrical and magnetic properties cannot be obtained. On the other hand, when it exceeds 90% by weight, the viscosity of the resin curable paste increases, and not only the handling property as the resin curable paste decreases, but also the mechanical strength and adhesion strength decrease.

全固形分重量の測定方法としては、少量の樹脂硬化型ペーストを取り、ポリイミド前駆体のイミド化工程と同じ加熱工程、たとえば350℃から380℃で1時間から2時間加熱を行い、残分重量を測定する方法がある。   As a method for measuring the total solid content weight, a small amount of resin-cured paste is taken and heated in the same heating step as the polyimide precursor imidation step, for example, at 350 ° C. to 380 ° C. for 1 hour to 2 hours, There is a way to measure.

無機粉末重量は、樹脂硬化型ペーストを800℃〜1000℃の高温で1から2時間処理することにより有機成分を完全に分解発揮させ、その残分重量を測定することで無機粉末重量が得られる。   The inorganic powder weight is obtained by treating the resin curable paste at a high temperature of 800 ° C. to 1000 ° C. for 1 to 2 hours to completely decompose the organic component and measuring the residual weight. .

(溶剤)
本発明において用いられる溶剤は、例えば、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、N−メチルカプロラクタム、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、1,3−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、ピリジン類、ピコリン類、キノリン類、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、ヘキセメチルホスホルアミド、テトラメチル尿素、o−クレゾール、フェノール、m−クレゾール、p−クレゾール、o−クロロフェノール、m−クロロフェノール、p−クロロフェノール、アニソール、等が挙げられ、これらは単独でも、混合して用いても構わない。
(solvent)
Examples of the solvent used in the present invention include N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, N-methylcaprolactam, and N-methyl-2- Pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, 1,3-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane Pyridines, picolines, quinolines, dimethyl sulfoxide, dimethyl sulfone, hexemethyl phosphoramide, tetramethylurea, o-cresol, phenol, m-cresol, p-cresol, o-chlorophenol, m-chlorophenol , P-chlorophenol, anisole Etc., and these alone, may be mixed and used.

混合のし易さ、作業性の容易さを得るために、樹脂硬化型ペーストの粘度は溶剤で調整するが、その粘度は5〜500Pa・s程度が好ましい。
この粘度範囲外であると、作業性が悪く、所望の形状に塗布することが難しい。
In order to obtain ease of mixing and ease of workability, the viscosity of the resin curable paste is adjusted with a solvent, and the viscosity is preferably about 5 to 500 Pa · s.
If it is outside this viscosity range, the workability is poor and it is difficult to apply in a desired shape.

(リン酸)
リン酸は、オルトリン酸、メタリン酸、ピロリン酸、三リン酸、四リン酸等が挙げられ、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の含有量は、0.066重量%以上1.940重量%以下である。0.066重量%よりも少ないと、粘度の増加が大きく、ゲル化に至るという問題が生じる。また、1.940重量%よりも多いと、粘度の増加が大きく、安定しないという問題が生じるので、好ましくない。
(phosphoric acid)
Examples of phosphoric acid include orthophosphoric acid, metaphosphoric acid, pyrophosphoric acid, triphosphoric acid, and tetraphosphoric acid. The content of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent is 0.066 wt% or more and 1.940 wt% or less. It is. When the amount is less than 0.066% by weight, the increase in viscosity is large, which causes a problem of gelation. On the other hand, if it is more than 1.940% by weight, the increase in viscosity is large and the problem of instability arises, which is not preferable.

次に本発明による樹脂硬化型ペーストの製造法、および得られた樹脂硬化型ペーストからポリイミド絶縁膜を形成する方法について説明する。本発明はこれに限定されるものではない。   Next, a method for producing a resin curable paste according to the present invention and a method for forming a polyimide insulating film from the obtained resin curable paste will be described. The present invention is not limited to this.

上記のポリイミド前駆体と溶剤とからなる混合ワニスにリン酸所定量を混合攪拌する。その後、無機粉体を混合する。
このとき、ポリイミド前駆体と溶剤とからなる混合ワニスと無機粉末との他に、無機粉末の表面を改質して樹脂成分との濡れ性を向上させる分散剤を添加してもよい。
分散剤としては、例えば、ポリオキシエチレンモノアリルメチルエーテル無水マレイン酸スチレン共重合物、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ナフタレンスルホン酸、ポリカルボン酸アンモニウム塩等が挙げられる。また、塗布膜の平滑性を向上する目的でレベリング剤、消泡剤などを添加することもできる。
A predetermined amount of phosphoric acid is mixed and stirred in the mixed varnish composed of the polyimide precursor and the solvent. Then, inorganic powder is mixed.
At this time, in addition to the mixed varnish composed of the polyimide precursor and the solvent and the inorganic powder, a dispersant for modifying the surface of the inorganic powder and improving the wettability with the resin component may be added.
Examples of the dispersant include polyoxyethylene monoallyl methyl ether maleic anhydride styrene copolymer, polyoxyethylene lauryl amine, naphthalene sulfonic acid, polycarboxylic acid ammonium salt and the like. Moreover, a leveling agent, an antifoamer, etc. can also be added in order to improve the smoothness of a coating film.

この混合溶液を、スラリー状になるまで攪拌を行う。得られたスラリーを、サンドミル、ボールミル、アトライター、3本ロールミルなど、公知の混練装置を用いて樹脂硬化型ペーストを作製することができる。   The mixed solution is stirred until it becomes a slurry. From the obtained slurry, a resin curable paste can be produced using a known kneading apparatus such as a sand mill, a ball mill, an attritor, or a three roll mill.

得られた樹脂硬化型ペーストを、スクリーン印刷機やスピンコーター等により、例えばセラミック基板などの基板上に均一に塗布する。
その後、熱風循環式オーブンやホットプレートなどにより、加熱乾燥することによりポリイミド前駆体に無機粉末が含まれた塗膜を得る。乾燥温度は50℃〜150℃で、10分〜60分加熱して乾燥する。
得られたポリイミド前駆体の塗膜を、加熱することで無機粉末を含有するポリイミド絶縁膜を得る。このときの加熱温度プロファイルは、例えば室温から150℃〜200℃まで30分で昇温し、30分保持した後、再び昇温して1時間で350℃から400℃にして1時間保持し、その後冷却する。
この加熱工程により、塗膜中の残留溶媒は完全に除去され、ポリイミド前駆体は脱水閉環反応を経てイミド化し、ポリイミド絶縁膜となる。このとき、リン酸は、添加量が微量のため、膜質が均質でボイドがなく、基板との密着性、機械的強度へは影響せず、劣化することなく、粘度安定性に優れる樹脂硬化型ペーストが得られる。
The obtained resin curable paste is uniformly coated on a substrate such as a ceramic substrate by a screen printer, a spin coater or the like.
Then, the coating film in which the inorganic powder was contained in the polyimide precursor is obtained by heat-drying with a hot air circulation oven, a hot plate, or the like. The drying temperature is 50 ° C. to 150 ° C., and drying is performed by heating for 10 minutes to 60 minutes.
The polyimide insulating film containing inorganic powder is obtained by heating the obtained coating film of the polyimide precursor. The heating temperature profile at this time is raised from room temperature to 150 ° C. to 200 ° C. in 30 minutes, held for 30 minutes, then heated up again and heated from 350 ° C. to 400 ° C. in 1 hour, held for 1 hour, Then cool down.
By this heating step, the residual solvent in the coating film is completely removed, and the polyimide precursor undergoes a dehydration ring-closing reaction to imidize to become a polyimide insulating film. At this time, since phosphoric acid is added in a very small amount, the film quality is uniform, there is no void, it does not affect the adhesion to the substrate, mechanical strength, it does not deteriorate, and it is excellent in viscosity stability. A paste is obtained.

本発明による樹脂硬化型ペーストは、粘度安定性に優れ、さらに、本発明の樹脂硬化型ペーストより得られる無機粉末分散ポリイミド絶縁膜は、基板との密着性、機械的強度を持ち、さらに透磁率、誘電率など電気的、磁気的特性を自在に制御できるので電子部品用材料として非常に好適である。   The resin curable paste according to the present invention is excellent in viscosity stability. Further, the inorganic powder-dispersed polyimide insulating film obtained from the resin curable paste of the present invention has adhesion to the substrate, mechanical strength, and magnetic permeability. In addition, since the electrical and magnetic characteristics such as dielectric constant can be freely controlled, it is very suitable as a material for electronic parts.

本発明における樹脂硬化型ペーストを用いた電子部品としては、トランス、コモンモードチョークコイル等があり、樹脂硬化型ペーストはこれら電子部品に形成される絶縁層部分に用いられる。
本樹脂硬化型ペーストを用いることにより、例えば、コイル部品においては、基板上に形成された積層体の周囲を比透磁率が1より大きな絶縁層を形成することができることから、電磁結合度が向上するとともに、大きなインダクタンスを得ることができる。
Examples of the electronic component using the resin curable paste in the present invention include a transformer, a common mode choke coil, and the like, and the resin curable paste is used for an insulating layer portion formed on these electronic components.
By using this resin curable paste, for example, in a coil component, an insulating layer having a relative permeability greater than 1 can be formed around the laminate formed on the substrate, so that the degree of electromagnetic coupling is improved. In addition, a large inductance can be obtained.

以下の実施例で本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例により何等の制限を受けるものではない。   The present invention will be described in detail in the following examples, but the present invention is not limited to these examples.

(1)ポリイミド前駆体としては、ポリアミド酸のN,N−ジメチルアセトアミド溶液(樹脂固形分25重量%)を用いた。
(2)無機粉末としては、Ni−Cu−Zn系フェライト粉末を用いた。
(3)溶剤としては、N,N−ジメチルアセトアミドを用いた。
(4)リン酸としては、オルトリン酸(濃度85%)を用いた。
(5)分散剤としては、ポリカルボン酸アンモニウム塩タイプ分散剤を用いた。
(1) As the polyimide precursor, an N, N-dimethylacetamide solution of polyamic acid (resin solid content 25% by weight) was used.
(2) Ni-Cu-Zn ferrite powder was used as the inorganic powder.
(3) N, N-dimethylacetamide was used as the solvent.
(4) Orthophosphoric acid (concentration 85%) was used as phosphoric acid.
(5) A polycarboxylic acid ammonium salt type dispersant was used as the dispersant.

(ペースト作製)
実施例1〜実施例5
ポリアミド酸のN,N−ジメチルアセトアミド25重量%溶液に表1、2に示すポリカルボン酸アンモニウム塩タイプ分散剤とリン酸を混合攪拌し溶液を得た。
溶液にNi−Cu−Zn系フェライト粉末を混合し、サンドミルを用いてスラリー状になるまで混合攪拌を行いペーストを得た。
溶剤N,N−ジメチルアセトアミドに対するリン酸濃度は、実施例1は、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の重量が0.066重量%、実施例2は、0.110重量%、実施例3は、0.219重量%、実施例4は、0.438重量%、実施例5は、1.940重量%とした。
(Paste preparation)
Examples 1 to 5
A polycarboxylic acid ammonium salt type dispersant shown in Tables 1 and 2 and phosphoric acid were mixed and stirred in a 25% by weight solution of polyamic acid in N, N-dimethylacetamide to obtain a solution.
Ni-Cu-Zn ferrite powder was mixed into the solution, and the mixture was stirred using a sand mill until it became a slurry to obtain a paste.
The phosphoric acid concentration with respect to the solvent N, N-dimethylacetamide is 0.066% by weight of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent in Example 1, 0.110% by weight in Example 2, and 0.13% in Example 3. 0.219 wt%, Example 4 was 0.438 wt%, and Example 5 was 1.940 wt%.

比較例1〜3
比較例1は、実施例1でリン酸を添加しないものとした。比較例2は、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の重量が0.011重量%のものとした。比較例3は、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の重量が2.151重量%のものとした。
Comparative Examples 1-3
In Comparative Example 1, phosphoric acid was not added in Example 1. In Comparative Example 2, the weight of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent was 0.011% by weight. In Comparative Example 3, the weight of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent was 2.151% by weight.

(粘度)
粘度測定は、E型粘度計(東機産業製)を用いて測定した。
測定条件は測定温度25℃、コーンローター:1°34´×R24を使用し、5分後の値を採用した。
測定日は、作製当日、7日、30日後まで測定を行った。
(viscosity)
The viscosity was measured using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo).
The measurement conditions were a measurement temperature of 25 ° C., a cone rotor: 1 ° 34 ′ × R24, and values after 5 minutes were adopted.
The measurement date was measured until the day of preparation, 7 days, and 30 days later.

(膜質)
実施例1〜5において硬化塗膜の膜質を表面粗さは、Surfcom 113B(東京精密製)により評価を行った。
実施例1〜5においては、表面粗さRaは5μm未満であり、硬化塗膜表面にボイドがなく膜質が良好であることを確認できた。
(Film quality)
In Examples 1 to 5, the film quality of the cured coating film was evaluated by Surfcom 113B (manufactured by Tokyo Seimitsu).
In Examples 1 to 5, the surface roughness Ra was less than 5 μm, and it was confirmed that there was no void on the cured coating film surface and the film quality was good.

実施例1〜5の結果を表1に、比較例1〜3の結果を表2に示す。   The results of Examples 1 to 5 are shown in Table 1, and the results of Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 2.

Figure 2005220248
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Figure 2005220248
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実施例1〜5は、いずれも作製30日後でも粘度変化は小さく、ゲル化せず安定なペースト状であった。一方、比較例1および比較例2は、作製後7日でペーストは大幅に増粘し、30日後にはゲル化に至った。比較例3は、作製後ペーストは大幅に増粘し、粘度が安定しないペーストであった。   In Examples 1 to 5, the change in viscosity was small even 30 days after the production, and the paste was stable without gelation. On the other hand, in Comparative Example 1 and Comparative Example 2, the paste greatly thickened 7 days after production, and reached gelation after 30 days. In Comparative Example 3, the paste after preparation was greatly thickened and the viscosity was not stable.

以下において、本発明の樹脂硬化型ペーストを用いて絶縁樹脂硬化物を形成した電子部品について、コモンモードチョークコイルを例に説明する。
図1は本発明のチップ型コイル部品の圧着前を示す分解斜視図、図2は本発明のチップ型コイル部品を示す概略斜視図、図3は本発明のチップ型コイル部品を示す断面図を示す。
Hereinafter, an electronic component in which an insulating resin cured product is formed using the resin curable paste of the present invention will be described using a common mode choke coil as an example.
1 is an exploded perspective view showing a chip-type coil component of the present invention before being crimped, FIG. 2 is a schematic perspective view showing the chip-type coil component of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing the chip-type coil component of the present invention. Show.

図1、図2に示すように、本発明のコモンモードチョークコイル1は、コイル部2と、本発明の樹脂硬化型ペースト4a(無機粉末としてはフェライト粉末を含む)を硬化させた絶縁樹脂硬化物4を介してコイル部2の上下に配置されるフェライト基板(磁性体基板)3と、外部電極5とからなる。   As shown in FIGS. 1 and 2, the common mode choke coil 1 of the present invention is a cured insulating resin obtained by curing the coil portion 2 and the resin curable paste 4 a of the present invention (including ferrite powder as inorganic powder). It consists of a ferrite substrate (magnetic substrate) 3 disposed above and below the coil part 2 via an object 4 and an external electrode 5.

このうち、コイル部2は、コイル導体パターン2aが形成された絶縁シート2b(フェライト粉末を含まないポリイミド樹脂シート)を複数枚積層し、かつ各コイル導体パターン2aを別の絶縁シート2bに設けられたビアホール2cによって電気的に接続することによって構成されている。
また、フェライト基板3は、絶縁樹脂硬化物4を介してコイル部2の上下から挟み込むように構成され、絶縁樹脂硬化物4によって固定されている。具体的には、樹脂硬化型ペースト4aは、フェライト基板3により圧着されると、コイル部2の側面及び貫通孔2dを通じてコイル部2の下面を覆うようになる。この状態で樹脂硬化型ペースト4aが硬化されると、図3に示されるようように、フェライト基板3間においてコイル部2の上下、貫通孔、及び側部が絶縁樹脂硬化物4によって固定された構造となる。
Among them, the coil portion 2 is formed by laminating a plurality of insulating sheets 2b (polyimide resin sheets not including ferrite powder) on which the coil conductor pattern 2a is formed, and each coil conductor pattern 2a is provided on another insulating sheet 2b. It is configured by being electrically connected by the via hole 2c.
Further, the ferrite substrate 3 is configured to be sandwiched from above and below the coil portion 2 via the insulating resin cured product 4 and is fixed by the insulating resin cured product 4. Specifically, when the resin curable paste 4a is pressure-bonded by the ferrite substrate 3, it covers the lower surface of the coil portion 2 through the side surface of the coil portion 2 and the through hole 2d. When the resin curable paste 4a is cured in this state, as shown in FIG. 3, the upper and lower sides, the through holes, and the side portions of the coil portion 2 are fixed by the insulating resin cured product 4 between the ferrite substrates 3. It becomes a structure.

ここで、図1に示すように、コイル部2の絶縁シート2bには、コイル導体パターン2aが形成されている周囲に、貫通孔2dが設けられており、この貫通孔2dに絶縁樹脂硬化物4となる本発明の樹脂硬化型ペースト4aが注入されるようになっている。なお、絶縁シート2bはその周囲に絶縁樹脂硬化物4が形成されるようにフェライト基板3より小さくすることが好ましい。
また、図2に示すように、外部電極5は、コイル導体パターン2aに電気的に接続するように、フェライト基板3の外側にスパッタリングによって形成されている。
Here, as shown in FIG. 1, the insulating sheet 2b of the coil portion 2 is provided with a through hole 2d around the coil conductor pattern 2a, and a cured insulating resin is formed in the through hole 2d. The resin curable paste 4a of the present invention to be 4 is injected. The insulating sheet 2b is preferably smaller than the ferrite substrate 3 so that the insulating resin cured product 4 is formed around the insulating sheet 2b.
As shown in FIG. 2, the external electrode 5 is formed by sputtering on the outside of the ferrite substrate 3 so as to be electrically connected to the coil conductor pattern 2a.

本発明の樹脂硬化型ペーストはボイドが生じにくい。このため、本発明の樹脂硬化型ペーストを用いて絶縁樹脂硬化物4を形成すれば、クラックの生じにくい電子部品を作製できる。その他、バネ状の導体の表面に膜状の樹脂硬化型ペーストを付与し硬化させて形成される巻き線型チップコイル等にも用いることができる。   The resin curable paste of the present invention is less susceptible to voids. For this reason, if insulating resin hardened material 4 is formed using the resin hardening type paste of the present invention, an electronic component which is hard to generate a crack can be produced. In addition, it can be used for a wound chip coil formed by applying a film-like resin-cured paste to the surface of a spring-like conductor and curing it.

本発明は、無機粉末に磁性体材料等を用いれば、トランスやコモンモードコイル等のインダクター、インピーダーなどのコイルモジュール電子部品等に用いられ、無機粉末に誘電体材料等を用いれば、樹脂多層基板等の電子部品に用いられる。   The present invention can be used for coil module electronic parts such as inductors and impedances such as transformers and common mode coils if a magnetic material is used for the inorganic powder, and a resin multilayer substrate if a dielectric material is used for the inorganic powder. Used for electronic parts.

本発明のチップ型コイル部品の圧着前を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the crimping | compression-bonding of the chip type coil component of this invention. 本発明のチップ型コイル部品を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the chip-type coil component of this invention. 本発明のチップ型コイル部品を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the chip-type coil component of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 チップ型コイル部品
2 コイル部
2a コイル導体パターン
2b 絶縁シート
2c ビアホール
2d 貫通孔
3 フェライト基板
4a 樹脂硬化型ペースト
4 絶縁樹脂硬化物
5 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chip type coil component 2 Coil part 2a Coil conductor pattern 2b Insulation sheet 2c Via hole 2d Through-hole 3 Ferrite substrate 4a Resin curable paste 4 Insulated resin cured product 5 External electrode

Claims (4)

ポリイミド前駆体と無機粉末と溶剤とを必須成分としてなるペーストにおいて、リン酸を含有することを特徴とする、樹脂硬化型ペースト。   A paste comprising a polyimide precursor, an inorganic powder, and a solvent as essential components, and containing phosphoric acid. 前記ペーストであって、溶剤を除いた混合物におけるリン酸の含有量が、0.066重量%以上1.940重量%以下であることを特徴とする、請求項1に記載の樹脂硬化型ペースト。   2. The resin curable paste according to claim 1, wherein the content of phosphoric acid in the mixture excluding the solvent is 0.066 wt% or more and 1.940 wt% or less. 前記無機粉末の含有量が、樹脂硬化型ペースト硬化後において50重量%以上90重量%以下であることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の樹脂硬化型ペースト。   The resin curable paste according to claim 1 or 2, wherein the content of the inorganic powder is 50 wt% or more and 90 wt% or less after the resin curable paste is cured. 絶縁樹脂硬化物と導体とを有する電子部品であって、
前記絶縁樹脂硬化物が請求項1〜請求項3のいずれかに記載の樹脂硬化型ペーストを硬化させて得られるものであり、
前記樹脂硬化型ペーストに含まれる無機粉末がセラミック粉末であることを特徴とする電子部品。
An electronic component having a cured insulating resin and a conductor,
The insulating resin cured product is obtained by curing the resin curable paste according to any one of claims 1 to 3.
An electronic component, wherein the inorganic powder contained in the resin curable paste is a ceramic powder.
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