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JP2005136318A - Flexible wiring board and method of manufacturing same - Google Patents

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JP2005136318A
JP2005136318A JP2003372575A JP2003372575A JP2005136318A JP 2005136318 A JP2005136318 A JP 2005136318A JP 2003372575 A JP2003372575 A JP 2003372575A JP 2003372575 A JP2003372575 A JP 2003372575A JP 2005136318 A JP2005136318 A JP 2005136318A
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transparent resin
wiring
substrate
wiring board
flexible
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Japanese (ja)
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Atsushi Taniguchi
敦 谷口
Kazuyoshi Yoshida
一義 吉田
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible wiring board whose thinning is possible, whose flexibility is excellent, which can be used for connection of components and part members having inadequate heat-resistance property, and whose alignment is easy. <P>SOLUTION: The flexible wiring board comprises a flexible transparent resin substrate 14 having total beam transmittance of 70% or more and wiring 12 embedded in the transparent resin substrate so as to expose on the surface of the transparent substrate. The flexible wiring board is thin, superior in bending resistance, capable of low-temperature compression bonding with a photo-curing anisotropically-conductive adhesive taking advantage that the substrate is transparent, easy in alignment, and superior in productivity. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&amp;NCIPI

Description

本発明は、フレキシブル配線基板およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a flexible wiring board and a method for manufacturing the same.

従来用いられているフレキシブル配線基板としては、ポリイミドフィルムに銅箔を接着剤で接着した3層構造のフレキシブル銅張り積層板が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、このような3層構造の積層板には接着剤層が存在するため、薄型化には限界があった。また、ポリイミドフィルムは耐熱性、電気特性、機械的強度等の特性に優れているものの、これらの特性が劣る接着剤が用いられるため、ポリイミドフィルムの特性が十分に生かされないという問題もあった。
そこで、このような3層構造の積層板の欠点を補うものとして、接着剤層が存在しない2層構造(銅箔層とポリイミドフィルム層からなる)積層板が開発されている。この2層構造の積層板は、接着剤層が存在しないため、ポリイミドフィルムの特性を十分に生かすことができるうえに、上記3層構造のフレキシブル銅張り積層板よりも薄型化させることができ、軽量化とともに耐熱性及び電気特性の向上が可能となっている。
このような2層構造の積層板の製造方法として、例えば、銅箔の片面または両面にポリイミドの前駆体であるポリイミド酸のワニスを塗布した後、熱処理を施してイミド化させるキャスト法(例えば、特許文献2参照)や、銅片を高真空中で加熱して蒸発させてポリイミドフィルム表面に薄型に銅層を形成させる蒸着法(例えば、特許文献3参照)、または、メッキ液中で化学還元反応によりポリイミドフィルム表面に銅を析出させて銅層を形成する無電解メッキ法などが挙げられる。
特開平5−048264号公報 特開平5−129774号公報 特開平5−183266号公報
As a flexible wiring board conventionally used, a flexible copper-clad laminate having a three-layer structure in which a copper foil is bonded to a polyimide film with an adhesive is known (for example, see Patent Document 1).
However, since such a three-layer laminate has an adhesive layer, there is a limit to reducing the thickness. Moreover, although the polyimide film is excellent in characteristics such as heat resistance, electrical characteristics, and mechanical strength, since an adhesive having inferior these characteristics is used, there is a problem that the characteristics of the polyimide film are not fully utilized.
In order to compensate for the disadvantages of such a three-layer laminate, a two-layer laminate (consisting of a copper foil layer and a polyimide film layer) having no adhesive layer has been developed. Since the laminate of this two-layer structure does not have an adhesive layer, it can make full use of the characteristics of the polyimide film and can be made thinner than the flexible copper-clad laminate of the three-layer structure, It is possible to improve heat resistance and electrical characteristics along with weight reduction.
As a method for producing such a two-layer laminate, for example, after applying a polyimide acid varnish, which is a polyimide precursor, on one or both sides of a copper foil, a cast method (for example, imidizing by heat treatment) Patent Document 2), evaporation method in which a copper piece is heated and evaporated in a high vacuum to form a thin copper layer on the polyimide film surface (for example, see Patent Document 3), or chemical reduction in a plating solution Examples include an electroless plating method in which copper is deposited on the surface of the polyimide film by a reaction to form a copper layer.
JP-A-5-048264 JP-A-5-129774 JP-A-5-183266

しかしながら、近年さらなる電子機器の軽量化、配線の微細化が進行してきており、ポリイミドフィルム層、銅箔層のいずれに対しても、より一層の薄型化が望まれている。
しかし、2層構造のフレキシブル銅張り積層板を製造するにあたって、さらなる薄型化を特許文献2、3等に記載されている方法で行うとすると、材料(ポリイミドフィルムまたは銅箔)のハンドリング性が悪くなり、薄型化を図ることが困難であった。
また、蒸着法やメッキ法などによってポリイミドフィルム上に金属を積層させる方法では、ポリイミドフィルムと金属との界面において剥離を生じやすい、すなわち密着性が悪いという問題があり、これが原因で耐屈曲性に劣るといった問題を抱えていた。
However, in recent years, further weight reduction of electronic devices and miniaturization of wiring have progressed, and further reduction in thickness is desired for both the polyimide film layer and the copper foil layer.
However, in manufacturing a flexible copper-clad laminate having a two-layer structure, if further thinning is performed by the method described in Patent Documents 2, 3, etc., the handling property of the material (polyimide film or copper foil) is poor. Therefore, it has been difficult to reduce the thickness.
In addition, in the method of laminating a metal on a polyimide film by vapor deposition or plating, there is a problem that peeling is likely to occur at the interface between the polyimide film and the metal, that is, adhesion is poor, and this causes bending resistance. I was inferior.

また、配線基板と、これと接続する種々の電子部品(接続対象物)との接続においては、基材にポリイミドを用いる場合、その優れた耐熱性を利用し、熱硬化型異方導電性接着剤を用いることが一般的である。
しかし、フィルム液晶等、接続対象物の耐熱性が低い場合や、熱的寸法安定性が十分でない場合、熱硬化型異方導電性接着剤を用いると、加熱時の高温により接続信頼性が低下するおそれがある。そこで、このような場合には、低温にて接続可能な光硬化型の異方導電性接着剤を用いることが望ましいとされている。
しかし、基材に用いられるポリイミド、ポリアミドイミドは、一般的に紫外から可視光の領域で全光線透過率が低く、外観は濃黄色ないし茶褐色である。そのため、光硬化型の異方導電性接着剤で、良好な接続特性を得るためには、長い圧着時間が必要であったり、高い光エネルギーが必要になったりする。また、基材によっては、まったく光硬化型の異方導電性接着剤を用いることができなかった。
In addition, when polyimide is used as a base material for connection between a wiring board and various electronic components (objects to be connected) connected thereto, thermosetting anisotropic conductive adhesion is utilized by utilizing its excellent heat resistance. It is common to use an agent.
However, if the heat resistance of the object to be connected, such as a film liquid crystal, is low, or if the thermal dimensional stability is not sufficient, the use of a thermosetting anisotropic conductive adhesive reduces the connection reliability due to the high temperature during heating. There is a risk. Therefore, in such a case, it is desirable to use a photo-curing anisotropic conductive adhesive that can be connected at a low temperature.
However, polyimides and polyamideimides used for the substrate generally have a low total light transmittance in the ultraviolet to visible light region, and the appearance is dark yellow or brown. Therefore, in order to obtain good connection characteristics with a photo-curing anisotropic conductive adhesive, a long pressing time is required or high light energy is required. Also, depending on the substrate, a photo-curing anisotropic conductive adhesive could not be used at all.

また、一般に、フレキシブル配線基板と接続対象物の接続の際、相対向するそれぞれの電極同士を位置合わせした後に、異方導電性接着剤を介して接続する。即ち、相対向する電極同士を直接的に位置合わせを行ったり、もしくは電極の外縁部に位置合せ用のマーキングをあらかじめ設け、その位置合せ用のマーキング同士を重ねる若しくは組み合わせることにより行なわれている。実際の製造工程では、フレキシブル配線基板を上層、接続対象物を下層として重ね、上層側より電極またはマーキングを画像認識装置にて透視、認識することで位置合わせを行なっている。
しかし、配線基板の基材が不透明であるので、下層となる接続対象物の電極または位置合せ用のマーキングの認識性は低く、その結果、認識度を上げるために強い光源を別途用意したり、位置合わせのためだけに別工程で配線基板に貫通孔を設けたりしており、生産性向上が妨げられていた。
In general, when the flexible wiring board and the connection object are connected, the electrodes facing each other are aligned and then connected via an anisotropic conductive adhesive. That is, it is performed by directly aligning the electrodes facing each other, or by previously providing alignment markings on the outer edges of the electrodes, and overlapping or combining the alignment markings. In the actual manufacturing process, alignment is performed by superimposing a flexible wiring board as an upper layer and an object to be connected as a lower layer, and seeing and recognizing an electrode or marking from the upper layer side with an image recognition device.
However, since the base material of the wiring board is opaque, the recognizability of the electrode of the connection object that is the lower layer or the marking for alignment is low, and as a result, a strong light source is separately prepared to increase the recognition degree, A through hole is provided in the wiring board in a separate process only for alignment, which hinders productivity improvement.

本発明は前記課題を解決するためになされたもので、薄型化が可能で、屈曲性に優れ、さらに耐熱性が十分でない部品や部材の接続にも用いることができ、位置合わせが容易なフレキシブル配線基板を目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and can be thinned, has excellent flexibility, and can be used for connecting parts and members having insufficient heat resistance, and can be easily aligned. Intended for wiring boards.

本発明のフレキシブル配線基板は、全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材と、該透明樹脂基材の表面に露出するように透明樹脂基材中に埋設された配線とを有することを特徴とするものである。
ここで、透明樹脂基材を構成する樹脂が前記配線に浸透していることが望ましい。
本発明のフレキシブル配線基板の製造方法の1つは、
金属粒子を含有する導電ペーストを基体上に塗布、乾燥して未焼結配線を形成し、該未焼結配線を焼結して配線を形成する配線形成工程と、
前記未焼結配線または焼結された配線を覆うように、透明樹脂を溶解した透明樹脂溶液を塗布、乾燥して全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材を形成して積層体とする積層工程と、
該積層体から前記基体を剥離する剥離工程とを有することを特徴とするものである。
ここで、基体は無機物からなることが望ましい。
本発明のフレキシブル配線基板の製造方法の他の1つは、
金属化合物を含有する導電ペーストを基体上に塗布、乾燥して配線を形成する配線形成工程と、
前記配線を覆うように透明樹脂を溶解した透明樹脂溶液を塗布、乾燥して全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材を形成して積層体とする積層工程と、
該積層体から前記基体を剥離する剥離工程とを有することを特徴とするものである。
The flexible wiring board of the present invention includes a flexible transparent resin substrate having a total light transmittance of 70% or more, and a wiring embedded in the transparent resin substrate so as to be exposed on the surface of the transparent resin substrate. It is characterized by having.
Here, it is desirable that the resin constituting the transparent resin base material penetrates into the wiring.
One of the manufacturing methods of the flexible wiring board of the present invention is:
Applying a conductive paste containing metal particles on a substrate and drying to form an unsintered wiring, sintering the unsintered wiring to form a wiring; and
A transparent resin solution in which a transparent resin is dissolved is applied and dried so as to cover the unsintered wiring or the sintered wiring, and a flexible transparent resin base material having a total light transmittance of 70% or more is formed. Laminating process to make a laminated body,
And a peeling step for peeling the substrate from the laminate.
Here, the substrate is preferably made of an inorganic material.
Another one of the manufacturing methods of the flexible wiring board of the present invention is:
A wiring forming step of applying a conductive paste containing a metal compound on a substrate and drying to form a wiring; and
A laminating step of applying a transparent resin solution in which a transparent resin is dissolved so as to cover the wiring and drying to form a flexible transparent resin base material having a total light transmittance of 70% or more to form a laminate,
And a peeling step for peeling the substrate from the laminate.

本発明によるフレキシブル配線基板であれば、薄型で、耐屈曲性に優れ、かつ基材が透明であるために光硬化型異方導電性接着剤による低温圧着が可能で、位置合わせが容易で生産性に優れている。   The flexible wiring board according to the present invention is thin, excellent in bending resistance and transparent in base material, so it can be cold-pressed with a photo-curing anisotropic conductive adhesive, and can be easily aligned. Excellent in properties.

本発明のフレキシブル配線基板は、図1、2に一例として示すように、透明樹脂基材14と、透明樹脂基材14中に埋設された配線12、12、・・・とを有している。
透明樹脂基材14は、平板状のもので、フレキシブル配線基板として適当な大きさ、形状が採用される。例えば、厚みは、3〜50μmが好ましく、5〜30μmがより好ましい。厚みが3μmより薄くなると透明樹脂基材の強度が不足して取り扱い中に破損しやすくなり、50μmより厚いとフレキシブル配線基板を使用した機器の薄型化を妨げる恐れがある。
この透明樹脂基材は、電気絶縁性の他、可撓性、耐熱性、機械的特性等のフレキシブル配線基板として所定の物性を有する材料からなる。特に、本発明においては、全光線透過率が70%以上であることが特徴である。80%以上であればより好ましい。
後述するような、有機溶剤に溶かして塗布、乾燥して形成する製造方法を考慮する場合、有機溶剤に可溶なものが適用される。
このような透明樹脂として、例えば、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホンが例示される。また、一般的なテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応により得られる芳香族ポリイミドは全光線透過率が低いため好ましくないが、無色透明に近く、有機溶剤に可溶な変性ポリイミド類、例えば脂肪族ポリイミド、フッ素化ポリイミドは用いることができる。
上記樹脂中、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、脂肪族ポリイミド、フッ素化ポリイミドは耐熱性、電気的特性にも優れるため、より好ましい。
これらの透明樹脂材料はそれぞれ単独で用いてもよく、2種以上を混合して使用してもよい。
さらに、所定の透明性が得られる範囲内であれば、芳香族ポリイミド、ポリアミドイミド、アミド樹脂等の全光線透過率の低い樹脂と、全光線透過率の高い樹脂と混合して使用することもできる。
有機溶剤に可溶な透明性に優れた変性ポリイミドとしては、ポリアミック酸を閉環する前は有機溶剤に可溶であって、ポリアミック酸を閉環した後は有機溶剤に不溶である通常のポリイミド樹脂の閉環前のものと、ポリアミック酸を閉環した後にも有機溶剤に可溶なポリイミド樹脂があるが、どちらも使用可能である。
さらに、配線への密着性を向上し、より耐熱性に優れたものとするために、上記透明樹脂に、さらにアルコキシシランおよび/またはアルコキシチタンを含有させることもできる。これにより、透明樹脂基材を無機シラン、無機チタンと可撓性樹脂とのいわゆるハイブリッド樹脂とすることが可能となる。
The flexible wiring board of the present invention has a transparent resin base material 14 and wirings 12, 12,... Embedded in the transparent resin base material 14, as shown in FIGS. .
The transparent resin base material 14 has a flat plate shape, and has an appropriate size and shape as a flexible wiring board. For example, the thickness is preferably 3 to 50 μm, and more preferably 5 to 30 μm. If the thickness is less than 3 μm, the strength of the transparent resin base material is insufficient and is easily damaged during handling, and if it is thicker than 50 μm, there is a concern that the thinning of the device using the flexible wiring board may be hindered.
This transparent resin base material is made of a material having predetermined physical properties as a flexible wiring board such as flexibility, heat resistance, mechanical properties, etc. in addition to electrical insulation. In particular, the present invention is characterized in that the total light transmittance is 70% or more. 80% or more is more preferable.
When considering a manufacturing method in which an organic solvent is dissolved and applied and dried as described later, a material soluble in the organic solvent is applied.
Examples of such transparent resins include polyester, polyurethane, polycarbonate, polyarylate, polyetherimide, polysulfone, and polyethersulfone. In addition, aromatic polyimide obtained by the reaction of a general tetracarboxylic dianhydride and diamine is not preferable because it has a low total light transmittance, but it is almost colorless and transparent, and is a modified polyimide soluble in an organic solvent, for example, Aliphatic polyimides and fluorinated polyimides can be used.
Among the resins, polyethersulfone, polyetherimide, aliphatic polyimide, and fluorinated polyimide are more preferable because they are excellent in heat resistance and electrical characteristics.
These transparent resin materials may be used alone or in combination of two or more.
Furthermore, as long as predetermined transparency is obtained, a resin having a low total light transmittance such as aromatic polyimide, polyamideimide, amide resin, and a resin having a high total light transmittance may be mixed and used. it can.
As a modified polyimide that is soluble in organic solvents and excellent in transparency, a conventional polyimide resin that is soluble in organic solvents before ring closure of polyamic acid and insoluble in organic solvents after ring closure of polyamic acid is used. There are polyimide resins that are soluble in organic solvents even after ring closure and those after polyamic acid ring closure, but both can be used.
Furthermore, in order to improve the adhesiveness to wiring and to have better heat resistance, the transparent resin may further contain alkoxysilane and / or alkoxytitanium. As a result, the transparent resin base material can be a so-called hybrid resin of inorganic silane, inorganic titanium and flexible resin.

本発明のフレキシブル配線基板においては、図2に示すように、配線12が透明樹脂基材14中に埋設されている。即ち、透明樹脂基材14の所定位置に凹部16、16、・・・が形成され、それら凹部16内に各配線12が位置し、その配線の表面が、透明樹脂基材14の表面18に露出し、略同一平面を形成している。
配線12は、配線基板として導電性を有するもので、通常、金属からなり、体積抵抗で1×10-6〜1×10-2Ω・cm程度の抵抗値を有する。
配線12の厚みは、0.01〜50μmが好ましく、1〜20μmがより好ましい。厚みが0.01μmより薄いと微細な配線を形成した際に十分な導電性を得ることができない恐れがある。他方、厚みが50μmよりも大きいと、薄型化、軽量化がなされないし、耐屈曲性に乏しい回路となりやすい。
In the flexible wiring board of the present invention, as shown in FIG. 2, the wiring 12 is embedded in the transparent resin base material 14. That is, recesses 16, 16,... Are formed at predetermined positions of the transparent resin base material 14, the wirings 12 are located in the recesses 16, and the surface of the wirings is on the surface 18 of the transparent resin base material 14. It is exposed and forms substantially the same plane.
The wiring 12 has conductivity as a wiring board, and is usually made of metal and has a volume resistance of about 1 × 10 −6 to 1 × 10 −2 Ω · cm.
The thickness of the wiring 12 is preferably 0.01 to 50 μm, and more preferably 1 to 20 μm. If the thickness is less than 0.01 μm, sufficient conductivity may not be obtained when a fine wiring is formed. On the other hand, when the thickness is larger than 50 μm, the circuit is not reduced in thickness and weight and tends to be a circuit having poor bending resistance.

このような本発明のフレキシブル配線基板であると、配線12が透明樹脂基材14中に埋設されているので、配線12と透明樹脂基材14の密着性、保持力が高く、耐屈曲性に優れたものとなる。
また、配線12が透明樹脂基材14中に埋設されているため、さらなる薄型化が実現可能となる。
また、本発明のフレキシブル配線基板では、透明性が高いので、光硬化型の異方導電性接着剤を用いても多大な圧着時間や光エネルギーを必要としない。従って、フィルム液晶等の耐熱性や熱的寸法安定性が低い接続対象物に対しても信頼性高く接続することが可能となる。
また、フレキシブル配線基板と接続対象物の接続に際して、フレキシブル配線基板と接続対象物を重ねても、各電極やマーキングを画像認識装置にて透視、認識して位置合わせすることが容易で、特段、認識度を上げるための強い光源や、位置合わせ用の貫通孔の穿設工程も不要となり、生産性に優れている。
In such a flexible wiring board of the present invention, since the wiring 12 is embedded in the transparent resin base material 14, the adhesiveness and holding power between the wiring 12 and the transparent resin base material 14 are high, and the bending resistance is improved. It will be excellent.
Further, since the wiring 12 is embedded in the transparent resin base material 14, further reduction in thickness can be realized.
In addition, since the flexible wiring board of the present invention has high transparency, even if a photo-curing anisotropic conductive adhesive is used, a large amount of pressure bonding time and light energy are not required. Therefore, it becomes possible to connect with high reliability to a connection object having low heat resistance and thermal dimensional stability such as film liquid crystal.
In addition, when connecting the flexible wiring board and the connection object, even if the flexible wiring board and the connection object are overlapped, it is easy to see and recognize each electrode and marking with an image recognition device. This eliminates the need for a strong light source for increasing the degree of recognition and a through-hole forming process for positioning, and is excellent in productivity.

本発明のフレキシブル配線基板10においては、配線12内の少なくとも一部に透明樹脂基材14を構成する樹脂が浸透していることが望ましい。配線12に透明樹脂が浸透することにより配線12と透明樹脂基材14の間の密着力がより強固となり、剥離しにくくなって、耐屈曲性がより向上する。   In the flexible wiring board 10 of the present invention, it is desirable that the resin constituting the transparent resin base material 14 penetrates into at least a part of the wiring 12. When the transparent resin penetrates into the wiring 12, the adhesion between the wiring 12 and the transparent resin base material 14 becomes stronger, it becomes difficult to peel off, and the bending resistance is further improved.

以下に本発明のフレキシブル配線基板の製造に好適な方法を説明する。
製法例1
まず、平板状の基体を用意する。この基体としては、例えばガラス板、金属板、セラミックス板などの無機物からなる無機基体;ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、フッ素樹脂等からなるプラスチックシート、プラスチックフィルムなどの有機基体を用いることができる。
この基体は、配線の形成方法、製造効率等を考慮しながら種々選択すればよい。例えば、下記の如く配線を高温の焼結によって形成する場合には耐熱性に優れた無機基体を用いることが望ましい。また、基体としてフィルム状態で連続的に供給して巻き取ることができる有機基体を用いれば、製造効率を向上できる。
基体は、ハンドリング性に優れたものであることが望ましい。ハンドリング性に優れた基体を使用することによって、2層構造各層の薄型化を図ることができる。基体の厚みとしては、20μm〜10mmが好ましい。
尚、後述するように、この基体は製造過程において用いられるもので、最終的には剥離、除去される。従って、基体の剥離をより容易にする為に、基体の表面に剥離材を設けておくことが好ましい。剥離材としては、シリコーン樹脂やフッ素樹脂からなる有機剥離材や、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜、酸化ジルコニウム薄膜などの離型性セラミックのような無機剥離材が使用できる。特に、耐熱性、耐久性に優れた無機剥離材を用いることが望ましい。
A method suitable for producing the flexible wiring board of the present invention will be described below.
Manufacturing example 1
First, a flat substrate is prepared. As this substrate, for example, an inorganic substrate made of an inorganic material such as a glass plate, a metal plate, a ceramic plate; polyester, polyurethane, polyamide, polyetherimide, polyamideimide, polyethersulfone, polyetheretherketone, polyimide, fluororesin, etc. An organic substrate such as a plastic sheet or a plastic film can be used.
Various bases may be selected in consideration of the wiring formation method, manufacturing efficiency, and the like. For example, when the wiring is formed by high-temperature sintering as described below, it is desirable to use an inorganic substrate having excellent heat resistance. Further, if an organic substrate that can be continuously supplied and wound in a film state is used as the substrate, the production efficiency can be improved.
It is desirable that the substrate has excellent handling properties. By using a substrate having excellent handling properties, each layer of the two-layer structure can be thinned. The thickness of the substrate is preferably 20 μm to 10 mm.
As will be described later, this substrate is used in the manufacturing process, and finally peeled off and removed. Accordingly, it is preferable to provide a release material on the surface of the substrate in order to make the substrate easier to peel. As the release material, an organic release material made of silicone resin or fluorine resin, or an inorganic release material such as a releasable ceramic such as a diamond-like carbon (DLC) thin film or a zirconium oxide thin film can be used. In particular, it is desirable to use an inorganic release material excellent in heat resistance and durability.

そして、図3(a)に示すように、この基体20上に所定厚、且つ、所定パターンの配線を形成する(配線形成工程)。
この配線は金属粒子を焼成して形成できる。即ち、金属粉末と無機結合剤を有機ビヒクル中に分散した導電ペーストを焼結して得られる。
この場合、金属としては、金、銀および銅から選ばれる1種または2種以上が望ましい。
無機結合剤としては、ホウケイ酸亜鉛系の低融点ガラス等が挙げられる。
有機ビヒクルとしては、エチルセルロース、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール等の樹脂をテルビネオール、ブチルカルビトール等の溶剤に溶解したものなどが挙げられる。
焼成法としては、導電ペーストを高温焼結して、有機ビヒクルを焼損させる方法の他、1〜500nmといったナノサイズの粒径を有する金属粒子を金属の融点以下、常温付近の温度で焼結し、低抵抗の配線とする方法が適用できる。
所定厚、かつ、所定パターンに形成する方法としては、スクリーン印刷、グラビア印刷などの公知の印刷法を適用できる。
このような印刷法を利用することで、基体20上に、所定パターンの配線を一段階で直接形成できる。
基体20上に所定パターンの配線12を焼成後、図3(b)に示すように、配線12を覆うように透明樹脂基材14を形成して積層体22とする(積層工程)。
この透明樹脂基材14の形成は、上述した所定の透明樹脂と有機溶剤を含有する透明樹脂溶液を塗布、乾燥することによりなされ得る。
有機溶剤としては、用いる透明樹脂を溶解できるものであればよく、アルコール系、ケトン系、エステル系、炭化水素系、芳香族系溶剤などの任意の有機溶剤を用いることができる。
透明樹脂溶液の塗布は、バーコーティング、コンマコーティング、グラビアコーティング、スクリーン印刷などの公知の塗布方法によって行うことができる。
乾燥は、例えば、熱風炉、IR炉などを用いて、通常100〜250℃程度の加熱によって行うことができる。
そして、有機溶剤を乾燥により除去して透明樹脂基材が十分に固化した後、剥離工程として、積層体22から、図3(c)に示すように、基体20を剥離して透明樹脂基材14中に配線12が埋設されたフレキシブル配線基板10が製造される。
Then, as shown in FIG. 3A, a wiring having a predetermined thickness and a predetermined pattern is formed on the substrate 20 (wiring forming step).
This wiring can be formed by firing metal particles. That is, it is obtained by sintering a conductive paste in which a metal powder and an inorganic binder are dispersed in an organic vehicle.
In this case, the metal is preferably one or more selected from gold, silver and copper.
Examples of the inorganic binder include zinc borosilicate low-melting glass.
Examples of the organic vehicle include those obtained by dissolving a resin such as ethyl cellulose, methyl cellulose, polyvinyl alcohol, and polyvinyl butyral in a solvent such as tervineol and butyl carbitol.
As a firing method, in addition to a method in which the conductive paste is sintered at a high temperature to burn the organic vehicle, metal particles having a nanosize particle size of 1 to 500 nm are sintered at a temperature below the melting point of the metal and at a temperature near room temperature. A method of forming a low resistance wiring can be applied.
As a method of forming a predetermined thickness and a predetermined pattern, a known printing method such as screen printing or gravure printing can be applied.
By using such a printing method, a predetermined pattern of wiring can be directly formed on the substrate 20 in one step.
After firing the wiring 12 having a predetermined pattern on the substrate 20, a transparent resin base material 14 is formed so as to cover the wiring 12, as shown in FIG.
The transparent resin base material 14 can be formed by applying and drying the above-described transparent resin solution containing the predetermined transparent resin and the organic solvent.
Any organic solvent may be used as long as it can dissolve the transparent resin to be used, and any organic solvent such as an alcohol, ketone, ester, hydrocarbon, or aromatic solvent can be used.
The application of the transparent resin solution can be performed by a known application method such as bar coating, comma coating, gravure coating, or screen printing.
Drying can be performed, for example, by heating at about 100 to 250 ° C. using a hot air furnace, an IR furnace, or the like.
And after removing an organic solvent by drying and a transparent resin base material fully solidified, as shown in FIG.3 (c) as a peeling process, the base | substrate 20 is peeled and a transparent resin base material is peeled off. The flexible wiring board 10 in which the wiring 12 is embedded in the wiring 14 is manufactured.

このような製造方法によれば、上述した本発明のフレキシブル配線基板を簡易に製造でき、ハンドリングを損なうことなく薄型化を図ることができる。
さらに、焼結前の導電ペーストに含まれていた溶剤や有機ビヒクル成分の蒸発によって微細な空隙が生じ、ここに、透明樹脂基材を含む溶液を塗布することにより、透明樹脂が浸透した状態で配線12が形成されるので、配線12と透明樹脂基材14の密着力が強固なものとなる。
なお、未焼結配線の焼結は、透明樹脂の塗布前に溶剤の乾燥を兼ねて行なえるが、透明樹脂基材を設けた後に行っても良い。後者のように、焼結前に透明樹脂を塗布し、焼結と透明樹脂の乾燥を同時に行うことによって、配線と透明樹脂基材の密着性がより向上し、耐屈曲性がより優れたものになる。
また、未焼結配線の焼結は、複数回行っても良く、例えば、透明樹脂の塗布前と塗布後の2回行っても良い。
また、上記したように、製造時に使用する基体として耐熱性の高い無機基体を用いることにより、400〜800℃程度の高温が必要となる高温タイプの導電ペーストを用いて焼結することができ、導電ペーストの材料選択の制約を解消しつつ、樹脂基材上に配線を形成することが可能となる。
According to such a manufacturing method, the flexible wiring board of the present invention described above can be easily manufactured, and the thickness can be reduced without impairing handling.
Furthermore, fine voids are generated by the evaporation of the solvent and organic vehicle components contained in the conductive paste before sintering, and by applying a solution containing a transparent resin substrate, the transparent resin is infiltrated. Since the wiring 12 is formed, the adhesion between the wiring 12 and the transparent resin base material 14 becomes strong.
The sintering of the unsintered wiring can be performed by drying the solvent before applying the transparent resin, but may be performed after providing the transparent resin base material. Like the latter, by applying a transparent resin before sintering, and simultaneously performing sintering and drying of the transparent resin, the adhesion between the wiring and the transparent resin substrate is further improved, and the flex resistance is more excellent become.
Further, the unsintered wiring may be sintered a plurality of times, for example, twice before and after the application of the transparent resin.
Moreover, as described above, by using an inorganic substrate having high heat resistance as a substrate used during production, it can be sintered using a high-temperature type conductive paste that requires a high temperature of about 400 to 800 ° C., Wiring can be formed on the resin base material while eliminating restrictions on the material selection of the conductive paste.

製法例2
上記製法例1では配線12の形成に焼成を利用したが、これに限られない。
例えば、金属粒子を含有する導電ペーストの代わりに、金属化合物および必要に応じて還元剤を含有する導電ペーストを基体上に塗布、乾燥することにより、基体20上に配線12を形成できる。
即ち、酸化金属の還元や、金属塩の還元、または有機金属化合物の分解によって配線が形成できる。
例えば、酸化銀、酸化銅のような金属酸化物の微粒子を含有するコロイド溶液(金属溶液)に、後述する還元剤などを添加するなどによって還元することで配線を形成できる。
同様に、ハロゲン化銀、硝酸銀、酢酸銀のような有機銀塩、ハロゲン化銅、硝酸銅、酢酸銅のような有機銅塩のコロイド溶液を還元剤により還元することで配線を形成できる。
また、金属カルボン酸化合物、金属アミン化合物、金属メルカプト化合物、アセチルアセトン金属錯体などの有機金属化合物を加熱により分解することで配線を形成できる。
また、これらの形成方法を組み合わせることによっても配線を形成できる。
上記金属溶液の溶剤としては、特に限定する必要はなく、水やアルコール系、ケトン系、エステル系、炭化水素系、芳香族系の有機溶剤が挙げられる。
還元剤としては、エチルセルロース、ポリビニルブチラールなどの還元性樹脂や、アスコルビン酸、ハイドロキノン、ベンゾキノン、カテコール、p-メトキシフェノール、ヒドラジン類、ホルムアルデヒド、グルコース、アミン類、トコフェノールなどが挙げられる。
配線を所定パターンに形成する方法としては、上記製法例1と同様に、スクリーン印刷、グラビア印刷などの公知の印刷法を適用できる。
そして、配線形成後には、上記製法例1と同様の積層工程、剥離工程を経ることによりフレキシブル配線基板が製造される。
この製造方法によっても、上述した本発明のフレキシブル配線基板を簡易に製造でき、ハンドリングを損なうことなく薄型化を図ることができる。
さらに、導電ペーストに含まれていた有機成分の分解や溶剤の蒸発等によって微細な空隙が生じ、ここに、透明樹脂基材を含む溶液を塗布することにより、透明樹脂が浸透した状態で配線12が形成されるので、配線12と透明樹脂基材14の密着力が強固なものとなる。
Manufacturing method example 2
In the manufacturing method example 1 described above, firing is used to form the wiring 12, but the invention is not limited to this.
For example, the wiring 12 can be formed on the substrate 20 by applying a conductive paste containing a metal compound and, if necessary, a reducing agent instead of the conductive paste containing metal particles on the substrate and drying.
That is, the wiring can be formed by reduction of metal oxide, reduction of metal salt, or decomposition of organometallic compound.
For example, the wiring can be formed by reducing a colloidal solution (metal solution) containing metal oxide fine particles such as silver oxide and copper oxide by adding a reducing agent described later.
Similarly, a wiring can be formed by reducing a colloidal solution of an organic silver salt such as silver halide, silver nitrate or silver acetate, or an organic copper salt such as copper halide, copper nitrate or copper acetate with a reducing agent.
Moreover, wiring can be formed by decomposing | disassembling organic metal compounds, such as a metal carboxylic acid compound, a metal amine compound, a metal mercapto compound, and an acetylacetone metal complex, by heating.
The wiring can also be formed by combining these forming methods.
The solvent for the metal solution is not particularly limited, and examples thereof include water, alcohols, ketones, esters, hydrocarbons, and aromatic organic solvents.
Examples of the reducing agent include reducing resins such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral, ascorbic acid, hydroquinone, benzoquinone, catechol, p-methoxyphenol, hydrazines, formaldehyde, glucose, amines, and tocophenol.
As a method for forming the wiring in a predetermined pattern, a known printing method such as screen printing or gravure printing can be applied, as in the case of Production Example 1.
And after wiring formation, a flexible wiring board is manufactured by passing through the same lamination process and peeling process as the above-mentioned manufacturing method example 1.
Also by this manufacturing method, the flexible wiring board of the present invention described above can be easily manufactured, and a reduction in thickness can be achieved without impairing handling.
Furthermore, fine voids are generated due to decomposition of organic components contained in the conductive paste, evaporation of the solvent, and the like. By applying a solution containing a transparent resin base material to this, the wiring 12 is in a state where the transparent resin has penetrated. Therefore, the adhesion between the wiring 12 and the transparent resin base material 14 becomes strong.

尚、上記説明においては、配線の形成に印刷法を適用した例を示したが、これに限られない。例えば、基体上に金属を蒸着および/またはメッキを利用して配線を形成できる。
この場合、金属としては、金、銀、銅、ニッケルの1種または2種以上の金属が望ましい。
蒸着法としては、物理蒸着法と、化学蒸着法(CVD法)があり、いずれの方法も使用可能である。中でも、物理蒸着法の1つであるスパッタリング法は、形成される回路が緻密で耐折り曲げ性に優れ、また、膜厚のコントロールがしやすい等により好ましい。
そして、薄膜状の金属層を設けた後、該金属層をエッチング法により所望のパターン形状に形成するに際しては、該金属層をフォトレジストにより表面をマスクし、エッチング液により不要の金属層を除去する公知のエッチング法により所定のパターンに形成すればよい。
このような蒸着法やメッキ法で形成した場合でも、その表面は複雑に凹凸が形成されるため、配線を覆うように透明樹脂溶液を塗布する工程を経ることで、透明樹脂を配線に浸透させることができ、剥離防止を図ることができる。
In the above description, the example in which the printing method is applied to the formation of the wiring is shown, but the present invention is not limited to this. For example, the wiring can be formed on the substrate by vapor deposition of metal and / or plating.
In this case, the metal is preferably one or more of gold, silver, copper, and nickel.
As a vapor deposition method, there are a physical vapor deposition method and a chemical vapor deposition method (CVD method), and either method can be used. Among these, the sputtering method, which is one of physical vapor deposition methods, is preferable because the formed circuit is dense and excellent in bending resistance, and the film thickness can be easily controlled.
Then, after forming a thin metal layer, when forming the metal layer into a desired pattern shape by an etching method, the surface of the metal layer is masked with a photoresist, and an unnecessary metal layer is removed with an etching solution. A predetermined pattern may be formed by a known etching method.
Even when formed by such a vapor deposition method or plating method, since the surface is complicatedly uneven, the transparent resin is infiltrated into the wiring through a process of applying a transparent resin solution so as to cover the wiring. It is possible to prevent peeling.

以下に、実施例を用いて、本発明をさらに詳しく説明する。
[実施例1]
基体として厚み5mmの耐熱ガラス板を用い、この上に離型層としてDLC薄層を設けて離型性基体を作製した。
圧力0.6Torr(80Pa)のヘリウム真空条件下で銀を蒸発させ、生成した銀超微粒子にミネラルスピリットの蒸気を接触させて冷却回収し、溶媒(ミネラルスピリット)中に独立した状態で分散している平均粒子径0.01μmの銀超微粒子を20質量%含有する導電ペーストを作製した。
この導電ペーストを、上記作製した離型性基体上に、スクリーン印刷法により塗布して、ライン&スペース=100μm(100μm間隔で形成された幅100μmのライン)の複数の配線ラインを形成し、250℃で48時間焼結させて厚さ2μmの回路を得た。
この回路上に、ポリエーテルサルホン溶液(ポリエーテルサルホン(スミカエクセル G4800:住友化学社製)を固形分30質量%となるようにN,N−ジメチルアセトアミドに溶解した)をコンマコータを用いて、厚み50μmでコーティングし、180℃で10分乾燥して透明樹脂基材を形成し、積層体とした。こうして得られた積層体から離型性基体を剥離し、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を測定した。その結果を表1に示す。
(厚み)
JIS C 6471に従い、電気マイクロメータ(ID-C112RB;(株)ミツトヨ)にて測定した値を示す。
(全光線透過率)
JIS K7361-1に従い、ヘイズメーター(NDH2000;日本電色工業(株)製)を用いて測定した。
(耐屈曲性)
JIS C 6471による耐折曲試験を行い、断線するまでの回数を測定した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
[Example 1]
A heat-resistant glass plate having a thickness of 5 mm was used as a substrate, and a DLC thin layer was provided thereon as a release layer to prepare a releasable substrate.
Silver is evaporated under a helium vacuum condition at a pressure of 0.6 Torr (80 Pa), and the resulting ultrafine silver particles are brought into contact with vapor of mineral spirit, cooled and recovered, and dispersed in a solvent (mineral spirit) in an independent state. A conductive paste containing 20% by mass of ultrafine silver particles having an average particle diameter of 0.01 μm was prepared.
This conductive paste is applied to the produced release substrate by a screen printing method to form a plurality of wiring lines having a line and space = 100 μm (lines with a width of 100 μm formed at intervals of 100 μm), and 250 Sintering was performed for 48 hours at 0 ° C. to obtain a circuit having a thickness of 2 μm.
On this circuit, a polyethersulfone solution (polyethersulfone (Sumika Excel G4800, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was dissolved in N, N-dimethylacetamide so as to have a solid content of 30% by mass) using a comma coater. The film was coated at a thickness of 50 μm and dried at 180 ° C. for 10 minutes to form a transparent resin base material to obtain a laminate. The releasable substrate was peeled from the laminate thus obtained to produce a flexible wiring board.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured. The results are shown in Table 1.
(Thickness)
The value measured with an electric micrometer (ID-C112RB; Mitutoyo Corporation) according to JIS C 6471 is shown.
(Total light transmittance)
According to JIS K7361-1, a haze meter (NDH2000; manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.) was used for measurement.
(Flexibility)
A bending resistance test according to JIS C 6471 was performed, and the number of times until disconnection was measured.

[実施例2]
基体として厚み50μmのポリイミドフィルム(カプトンEN:東レ・デュポン社製)を用い、この上にシリコーン離型材(KS839:信越化学工業社製)を塗布して、離型性基体を作製した。
還元型銀導電ペースト(XA-9024:藤倉化成社製)を上記作製した離型性基体上にスクリーン印刷法により塗布してライン&スペース=100μmの複数の配線ラインを形成し、180℃で1時間乾燥、焼結して厚さ2μmの回路を得た。
この回路上に、脂肪族ポリイミド溶液(脂肪族ポリイミド(PI-213:丸善石油化学社製)を固形分25質量%となるようにN−メチルピロリドンに溶解した)をコンマコータを用いて、厚み50μmでコーティングし、250℃で10分乾燥して透明樹脂基材を形成した。こうして得られた積層体から基体を剥離し、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を実施例1と同様にして測定した。その結果を表1に示す。
[Example 2]
A polyimide film (Kapton EN: manufactured by Toray DuPont) having a thickness of 50 μm was used as a substrate, and a silicone release material (KS839: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was applied thereon to produce a releasable substrate.
A reduced silver conductive paste (XA-9024: manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) is applied to the releasable substrate prepared above by a screen printing method to form a plurality of wiring lines with a line and space = 100 μm. Time drying and sintering were performed to obtain a circuit having a thickness of 2 μm.
On this circuit, an aliphatic polyimide solution (aliphatic polyimide (PI-213: manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) was dissolved in N-methylpyrrolidone so as to have a solid content of 25% by mass) using a comma coater and a thickness of 50 μm. And dried at 250 ° C. for 10 minutes to form a transparent resin substrate. The substrate was peeled from the laminate thus obtained to produce a flexible wiring board.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

[実施例3]
基体として厚み50μmのポリエーテルエーテルケトンフィルム(スミライトFS-1100;住友ベークライト)を用いた。
還元型銀導電ペースト(XA-9024:藤倉化成社製)を上記作製した離型性基体上にスクリーン印刷法により塗布してライン&スペース=100μmの複数の配線ラインを形成し、180℃で1時間乾燥、焼結して厚さ2μmの回路を得た。
ピロメリット酸二無水物のベンゼン環にフルオロアルキル基を導入した含フッ素酸二無水物、1,4−ジトリフルオロメチルピロメリット酸二無水物と、2,4,5,6−テトラフルオロ−1,3−フェニレンジアミンをN,N−ジメチルアセトアミドに溶解し、窒素雰囲気中で室温で48時間攪拌し、固形分25質量%となるようにポリアミド酸のN,N−ジメチルアセトアミド溶液を調製した。
このN,N−ジメチルアセトアミド溶液を上記作製した回路上にコンマコータを用いて、厚み50μmでコーティングし、窒素雰囲気下で250℃で30分乾燥して透明樹脂基材を形成して積層体とした。こうして得られた積層体から基体を剥離し、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を実施例1と同様にして測定した。その結果を表1に示す。
[Example 3]
A polyether ether ketone film (Sumilite FS-1100; Sumitomo Bakelite) having a thickness of 50 μm was used as the substrate.
A reduced silver conductive paste (XA-9024: manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) is applied to the releasable substrate prepared above by a screen printing method to form a plurality of wiring lines with a line and space = 100 μm. Time drying and sintering were performed to obtain a circuit having a thickness of 2 μm.
Fluoric acid dianhydride having a fluoroalkyl group introduced into the benzene ring of pyromellitic dianhydride, 1,4-ditrifluoromethylpyromellitic dianhydride, and 2,4,5,6-tetrafluoro-1 , 3-Phenylenediamine was dissolved in N, N-dimethylacetamide and stirred at room temperature for 48 hours in a nitrogen atmosphere to prepare an N, N-dimethylacetamide solution of polyamic acid so as to have a solid content of 25% by mass.
The N, N-dimethylacetamide solution was coated on the prepared circuit with a comma coater at a thickness of 50 μm and dried at 250 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere to form a transparent resin substrate to obtain a laminate. . The substrate was peeled from the laminate thus obtained to produce a flexible wiring board.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
基体として厚み5mmの耐熱ガラス板を用い、この上に離型層としてDLC薄層を設けて離型性基体を作製した。
圧力0.6Torr(80Pa)のヘリウム真空条件下で銀を蒸発させ、生成した銀超微粒子にミネラルスピリットの蒸気を接触させて冷却回収し、溶媒(ミネラルスピリット)中に独立した状態で分散している平均粒子径0.01μmの銀超微粒子を20質量%含有する導電ペーストを作製した。
この導電ペーストを上記作製した離型性基体上に、スクリーン印刷法により塗布して、ライン&スペース=100μm(100μm間隔で形成された幅100μmのライン)の複数の配線ラインを形成し、250℃で48時間焼結させて厚さ2μmの回路を得た。
この回路上に、固形分30質量%のポリアミドイミド樹脂溶液(バイロマックス:東洋紡績社製)をコンマコータを用いて、厚み50μmでコーティングし、180℃で10分乾燥して、茶褐色の樹脂基材を得た。こうして得られた積層体から基体を剥離し、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を実施例1と同様にして測定した。その結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
A heat-resistant glass plate having a thickness of 5 mm was used as a substrate, and a DLC thin layer was provided thereon as a release layer to prepare a releasable substrate.
Silver is evaporated under a helium vacuum condition at a pressure of 0.6 Torr (80 Pa), and the resulting ultrafine silver particles are brought into contact with vapor of mineral spirit, cooled and recovered, and dispersed in a solvent (mineral spirit) in an independent state. A conductive paste containing 20% by mass of ultrafine silver particles having an average particle diameter of 0.01 μm was prepared.
This conductive paste is applied on the release substrate prepared above by a screen printing method to form a plurality of wiring lines of line & space = 100 μm (100 μm width formed at 100 μm intervals) at 250 ° C. And a circuit having a thickness of 2 μm was obtained.
On this circuit, a polyamideimide resin solution having a solid content of 30% by mass (Vilomax: manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was coated with a comma coater at a thickness of 50 μm, dried at 180 ° C. for 10 minutes, and then a brown resin substrate Got. The substrate was peeled from the laminate thus obtained to produce a flexible wiring board.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

[比較例2]
市販のキャスティング法2層銅張り積層板(エスパネックス:新日鉄化学社製)を用いて、その銅箔上にパターン状のフォトレジストを形成し、不要な銅箔部分を塩化第二鉄溶液を用いてエッチングして、ライン&スペース=100μmの回路を形成して、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を実施例1と同様にして測定した。その結果を表1に示す。
[Comparative Example 2]
Using a commercially available casting method two-layer copper-clad laminate (Espanex: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), a patterned photoresist is formed on the copper foil, and an unnecessary copper foil portion is used with a ferric chloride solution. Etching was performed to form a circuit of line & space = 100 μm, and a flexible wiring board was manufactured.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

[比較例3]
市販の蒸着法2層銅張り積層板(メタロイヤル:東洋紡績社製)を用い、その銅箔上にパターン状のフォトレジストを形成し、不要な銅箔部分を塩化第二鉄溶液を用いてエッチングして、ライン&スペース=100μmの回路を形成して、フレキシブル配線基板を製造した。
得られたフレキシブル配線基板の厚み、全光線透過率、耐屈曲性を実施例1と同様にして測定した。その結果を表1に示す。
[Comparative Example 3]
Using a commercially available two-layer copper-clad laminate (Metal Royal: manufactured by Toyobo Co., Ltd.), a patterned photoresist is formed on the copper foil, and an unnecessary copper foil portion is used with a ferric chloride solution. Etching was performed to form a circuit of line & space = 100 μm, and a flexible wiring board was manufactured.
The thickness, total light transmittance, and bending resistance of the obtained flexible wiring board were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

Figure 2005136318
Figure 2005136318

表1から明らかなように、実施例1〜3のフレキシブル配線基板は、厚みが15μm以下と非常に薄く、耐屈曲性も50,000回以上と優れ、それと同時に全光線透過率が70%以上と非常に透明性に優れていた。
これに対して、比較例1〜3は全光線透過率が70%以下と透明性が低い。また比較例2、3は製法上、フレキシブル配線基板の厚みが厚くなってしまい、さらに比較例3については耐屈曲性にも劣っていた。
As is apparent from Table 1, the flexible wiring boards of Examples 1 to 3 have a very thin thickness of 15 μm or less, excellent bending resistance of 50,000 times or more, and at the same time, a total light transmittance of 70% or more. And was very transparent.
On the other hand, Comparative Examples 1 to 3 have a total light transmittance of 70% or less and low transparency. In Comparative Examples 2 and 3, the thickness of the flexible wiring board was increased due to the manufacturing method, and Comparative Example 3 was inferior in bending resistance.

本発明のフレキシブル配線基板は、例えば、回路基板間、回路基板等と液晶ディスプレイ(LCD)、あるいはプラズマディスプレイ(PDP)等の表示体等を接続するために用いられる。特に、フィルム液晶や耐熱性の劣る電子部品、部材等を搭載した回路基板等との接続においても、光硬化型異方導電接着剤により低温圧着を可能にし、これにより高い接続信頼性が得られる。
また、透明樹脂基材の優れた全光線透過率により、圧着工程時の位置合わせが容易になり、生産性が向上する。
The flexible wiring board of the present invention is used, for example, for connecting circuit boards, circuit boards, etc., and a display body such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP). In particular, even when connecting to circuit boards equipped with film liquid crystal, electronic parts with poor heat resistance, members, etc., low temperature pressure bonding is possible with a photo-curing anisotropic conductive adhesive, thereby obtaining high connection reliability. .
In addition, the excellent total light transmittance of the transparent resin base material facilitates the alignment during the crimping process and improves the productivity.

本発明のフレキシブル配線基板の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the flexible wiring board of this invention. 図1のII−II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 本発明のフレキシブル配線基板の製造過程の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing process of the flexible wiring board of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 フレキシブル配線基板
12 配線
14 透明樹脂基材
20 基体
22 積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Flexible wiring board 12 Wiring 14 Transparent resin base material 20 Base body 22 Laminated body

Claims (5)

全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材と、該透明樹脂基材の表面に露出するように透明樹脂基材中に埋設された配線とを有することを特徴とするフレキシブル配線基板。   A flexible having a flexible transparent resin base material having a total light transmittance of 70% or more and wiring embedded in the transparent resin base material so as to be exposed on the surface of the transparent resin base material Wiring board. 前記透明樹脂基材を構成する樹脂が前記配線に浸透していることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル配線基板。   The flexible wiring board according to claim 1, wherein a resin constituting the transparent resin base material penetrates into the wiring. 金属粒子を含有する導電ペーストを基体上に塗布、乾燥して未焼結配線を形成し、該未焼結配線を焼結して配線を形成する配線形成工程と、
前記未焼結配線または焼結された配線を覆うように、透明樹脂を溶解した透明樹脂溶液を塗布、乾燥して全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材を形成して積層体とする積層工程と、
該積層体から前記基体を剥離する剥離工程とを有することを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方法。
Applying a conductive paste containing metal particles on a substrate and drying to form an unsintered wiring, sintering the unsintered wiring to form a wiring; and
A transparent resin solution in which a transparent resin is dissolved is applied and dried so as to cover the unsintered wiring or the sintered wiring, and a flexible transparent resin base material having a total light transmittance of 70% or more is formed. Laminating process to make a laminated body,
A method for producing a flexible wiring board, comprising: a peeling step of peeling the substrate from the laminate.
金属化合物を含有する導電ペーストを基体上に塗布、乾燥して配線を形成する配線形成工程と、
前記配線を覆うように透明樹脂を溶解した透明樹脂溶液を塗布、乾燥して全光線透過率が70%以上の可撓性の透明樹脂基材を形成して積層体とする積層工程と、
該積層体から前記基体を剥離する剥離工程とを有することを特徴とするフレキシブル配線基板の製造方法。
A wiring forming step of applying a conductive paste containing a metal compound on a substrate and drying to form a wiring; and
A laminating step of applying a transparent resin solution in which a transparent resin is dissolved so as to cover the wiring and drying to form a flexible transparent resin base material having a total light transmittance of 70% or more to form a laminate,
A method for producing a flexible wiring board, comprising: a peeling step of peeling the substrate from the laminate.
前記基体が無機物からなることを特徴とする請求項3に記載のフレキシブル配線基板の製造方法。
The method for manufacturing a flexible wiring board according to claim 3, wherein the substrate is made of an inorganic substance.
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