JP2005181083A - Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査時間を短くし得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線を左右のモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物を透過した各透過Ｘ線をそれぞれＸ線検出器４にて検出するようにしたＸ線検査装置であって、Ｘ線発生装置１の出射口近傍に、出射されたＸ線Ｒを２つに分割するＸ線分割用スリット２を配置するとともに、Ｘ線を被検査物Ａに照射するためのモノクロメータ３Ａ，３ＢをＸ線分割用スリット２によるＸ線の分割数に応じて２個配置したものである。
【選択図】 図１

Description

本発明は、Ｘ線を用いて物体の内部を検査し得るＸ線検査装置およびＸ線検査方法に関する。

非破壊検査に用いられるＸ線検査装置としては、Ｘ線を出射するＸ線源と、このＸ線源から出射されたＸ線を単一波長化および平行化するモノクロメータと、このモノクロメータからこの単一波長化および平行化されたＸ線を被検査物に照射するとともに、当該被検査物の透過Ｘ線および屈折Ｘ線をＸ線検出器にてそれぞれ検出することにより、透過像および屈折像を得るものである（特許文献１参照）。

ところで、被検査物を一定方向からＸ線を照射して検査する場合は上述した特許文献１に開示されたものでも良いが、異なる複数方向から検査を行う必要が生じる場合がある。このような場合に対処する装置としては、例えば中央に被検査用空間部が設けられた環状体にＸ線照射部およびＸ線検出部が配置されるとともに、被検査物（被検者）を当該被検査用空間部内に移動させて全方位からＸ線による検査を行うようにしたＣＴ装置がある（特許文献２参照）。
特許第２６９４０４９号公報 特開平７−６７８６９号公報

しかし、上述したＣＴ装置の構成によると、被検者を検査空間部に移動させた後、Ｘ線照射部およびＸ線照射部を、被検者の周囲でもってゆっくりと回転させる必要があり、検査に時間を要するという問題があった。

また、一定波長のＸ線だけでは、被検査物の正確な内部情報が得られない場合があり、その都度、Ｘ線の波長を変えて検査を行う必要があり、やはり、検査に時間を要するという問題がある。

そこで、本発明は、検査時間を短くし得るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するようにしたＸ線検査装置であって、
上記Ｘ線源の出射部近傍に、出射されたＸ線を複数に分割するＸ線分割用スリットを配置するとともに、Ｘ線を被検査物に照射するためのモノクロメータを上記Ｘ線分割用スリットによるＸ線の分割数に応じて複数個配置したものである。

また、請求項２に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するようにしたＸ線検査装置であって、
上記Ｘ線源の出射部近傍に、Ｘ線を少なくとも３つに分割するＸ線分割用スリットを配置するとともに、このＸ線分割用スリットにて分割された１つのＸ線を被検査物にモノクロメータを介さずに照射するように構成し、
且つ分割された残りのＸ線を被検査物に照射するためのモノクロメータを当該残りのＸ線の個数に応じて複数個配置したものである。

また、請求項３に係るＸ線検査装置は、請求項１または２に記載の検査装置における各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長が同一のものを用いたものである。

さらに、請求項４に係るＸ線検査装置は、請求項１または２に記載の検査装置における各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長がそれぞれ異なるものを用いるとともに、被検査物を回転させるように構成したものである。

また、本発明の請求項５に係るＸ線検査方法は、Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するＸ線検査方法であって、
上記Ｘ線源から出射されたＸ線をＸ線分割用スリットにより複数に分割するとともに、これら分割されたＸ線をそれぞれ対応して配置された複数個のモノクロメータを介して被検査物に照射する方法である。

また、請求項６に係るＸ線検査方法は、Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するＸ線検査方法であって、
上記Ｘ線源から出射されたＸ線をＸ線分割用スリットにより、少なくとも３つに分割し、これら分割された１つのＸ線をモノクロメータを介さずに被検査物に照射するとともに、分割された残りのＸ線をそれぞれに対応して配置された複数個のモノクロメータを介して被検査物に照射する方法である。

また、請求項７に係るＸ線検査方法は、請求項５または６に記載の検査方法における各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長が同一のものを用いる方法である。

さらに、請求項８に係るＸ線検査方法は、請求項５または６に記載の検査方法における各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長がそれぞれ異なるものを用いるとともに、被検査物を回転させる方法である。

上記Ｘ線発生装置およびＸ線検査方法によると、Ｘ線源の前方にＸ線分割用スリットを配置して、Ｘ線を複数に分割して被検査物に異なる方向から照射させるようにしたので、同時に、被検査物を異なる方向からＸ線検査を行うことができ、したがって短時間にて検査を行うことができる。

また、Ｘ線を被検査物に照射する際に、異なる波長を用いるとともに被検査物を回転させるようにしたので、短時間で且つより多くの被検査物の内部情報を得ることができる。

以下、短時間でＸ線検査を行い得るＸ線検査装置およびＸ線検査方法の実施の形態について説明する。
［実施の形態１］
以下、本実施の形態１に係るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を、図１に基づき説明する。

図１に示すように、このＸ線検査装置は、少なくとも、Ｘ線を発生させて所定方向に出射させるＸ線発生装置（Ｘ線源）１と、このＸ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒを上記所定方向に対してそれぞれ僅かな所定角度でもって左右２本（Ｒ１，Ｒ２）に分割するＸ線分割用スリット（例えば、Ｘ線発生装置１側から被検査物Ａを見て、左方向に３．０度および右方向に４．０度の取り出し角度でもってスリット状の開口部２ａ，２ｂが形成されたもの）２と、このＸ線分割用スリット２にて分割された各Ｘ線（分割Ｘ線）Ｒ１，Ｒ２に対応する左右位置に配置されて当該各Ｘ線Ｒ１，Ｒ２を反射（出射）しそのエネルギー密度を調節するとともに所定波長でもって単一波長化し且つ平行化したＸ線Ｒ（Ｒ１，Ｒ２）を被検査物Ａの前面に照射する２個のモノクロメータ３（３Ａ，３Ｂ）と、これら各モノクロメータ３から被検査物Ａに照射されてそれぞれ透過した透過Ｘ線を入射（検出）することによりそれぞれ透過像を得る２個のＸ線検出器４（４Ａ，４Ｂ）と、上記Ｘ線分割用スリット２と各モノクロメータ３Ａ，３Ｂとの間に配置されて各Ｘ線Ｒ１，Ｒ２のビームを絞るためのキャピラリープレート（集光プレートともいう）５（５Ａ，５Ｂ）とから構成されている。

なお、上記被検査物Ａは、Ｘ線発生装置１から所定方向に出射された場合におけるＸ線（中央のＸ線ともいう）の出射経路Ｃ上に配置されるとともに、２個のモノクロメータ３Ａ，３Ｂにより反射されるＸ線の方向（照射方向でもある）は、被検査物Ａの前方の左右斜め方向とされ、また各モノクロメータ３Ａ，３Ｂについては、当該モノクロメータ３Ａ，３Ｂにて反射により出射されるＸ線の波長が同一となるようにされている。

次に、上記構成を用いて被検査物のＸ線検査を行う方法について説明する。
まず、所定位置に設けられた検査台（図示せず）に被検査物Ａを載置する。
そして、Ｘ線発生装置１からＸ線Ｒを出射させると、Ｘ線分割用スリット２にて左右２本のＸ線Ｒ１，Ｒ２に分割された後、それぞれキャピラリープレート５Ａ，５Ｂにて絞られ、それぞれに対応して配置されたモノクロメータ３Ａ，３Ｂに入射される。

これら各モノクロメータ３Ａ，３Ｂにおいては、それぞれの波長でもって単一波長化され且つ平行化された２本のＸ線Ｒ１，Ｒ２は、被検査物Ａの前方の左右斜め方向でもって照射される。これら照射された２本のＸ線Ｒ１，Ｒ２は被検査物Ａを透過し、これらの透過Ｘ線はＸ線検出器４（４Ａ，４Ｂ）に入射されて左右方向での透過像が得られる。

すなわち、一度の検査でもって、被検査物Ａに対し、左右２方向からの透過像が得られるため、被検査物Ａの検査時間が短く、例えば半分程度となる。
ここで、上記Ｘ線検査方法を簡単に説明すると、以下のようになる。

このＸ線検査方法は、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒをモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器４にて検出するＸ線検査方法であって、上記Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線ＲをＸ線分割用スリット２により２本に分割するとともに、これら分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ対応して配置された２個のモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して被検査物Ａに照射する方法である。

このように、Ｘ線発生装置１の前方にＸ線分割用スリット２を配置して、左右２本に分割するとともに、これら分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２を左右に配置されたモノクロメータ３Ａ，３Ｂに入射させて単一波長化および平行化して被検査物Ａの前方の左右斜め方向から被検査物Ａに照射させるようにしたので、被検査物Ａを異なる位置から同時にＸ線検査を行うことができ、したがって被検査物の検査時間を短くすることができる。
［実施の形態２］
次に、本実施の形態２に係るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を、図２に基づき説明する。

上記実施の形態１においては、前方の左右に配置された２個のモノクロメータから被検査物にＸ線を照射するとともに、被検査物を透過した透過Ｘ線をそのままＸ線検出器に導くように説明したが、本実施の形態２においては、各透過Ｘ線から被検査物内で屈折した屈折象を結晶による回折作用を用いて取り出すためのアナライザ（結晶分析板）を配置したものである。なお、実施の形態１と異なる箇所は、アナライザを配置したことにあるため、本実施の形態２においては、この異なる箇所に着目して説明するとともに、実施の形態１と同一の構成部材については同一の番号を付してその説明を省略する。

すなわち、図２に示すように、このＸ線検査装置は、各モノクロメータ３（３Ａ，３Ｂ）を介して被検査物Ａに照射されて当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線上の適所に、アナライザ１１（１１Ａ，１１Ｂ）および当該アナライザ１１により得られる透過像および屈折像を検出するためのＸ線検出器１２がそれぞれ配置されている。なお、１個のアナライザ１１Ａまたは１１Ｂに対して、透過像および屈折像を検出するために、それぞれにＸ線検出器１２Ａａ，１２Ａｂ；１２Ｂａ，１２Ｂｂが配置されている。

この構成によると、上述した実施の形態１と同様の効果に加えて、アナライザ１１に透過Ｘ線を通過させることにより、被検査物Ａをそのまま透過したＸ線により得られる透過象の他に、その内部で屈折したＸ線に基づき屈折像が得られ、したがって短い検査時間で、より多くの、被検査物Ａに対する内部情報を得ることができる。

なお、ここで、上述した実施の形態１と同様に、本実施の形態２に係るＸ線検査方法を簡単に説明しておく。
このＸ線検査方法は、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒをモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器１２にて検出するＸ線検査方法であって、上記Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線ＲをＸ線分割用スリット２により２本に分割するとともに、これら分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ対応して配置された２個のモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して被検査物Ａに照射し、さらに被検査物Ａを透過したＸ線を、アナライザ１１に通過させて、それぞれ透過像と屈折像とを得る方法である。
［実施の形態３］
次に、本実施の形態３に係るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を、図３に基づき説明する。

上記実施の形態１においては、前方の左右に配置された２個のモノクロメータから被検査物にＸ線を照射するとともに、被検査物を透過した透過Ｘ線をそのままＸ線検出器に導くようになし、また上記実施の形態２においては、各透過Ｘ線から被検査物内で屈折した屈折象を結晶による回折作用を用いて取り出すアナライザを配置したが、本実施の形態３においては、これら両実施の形態１および２をそれぞれ組み合わせたものである。したがって、本実施の形態３においては、アナライザおよびＸ線検出器を除いて、各実施の形態１および２にて説明した構成部材（同一番号を付する）を用いて簡単に説明する。

すなわち、このＸ線検査装置においては、分割された一方のＸ線Ｒ１は、例えば左側のモノクロメータ３Ａを介して被検査物Ａに照射され、その透過Ｘ線Ｒ１がそのままＸ線検出器２１（２１Ａ）に入射されるように構成されるとともに、分割された他方のＸ線Ｒ２は、右側のモノクロメータ３Ｂから被検査物Ａに照射され、その透過Ｘ線Ｒ２がアナライザ２２に入射されて２個のＸ線検出器２１（２１Ｂ，２１Ｃ）により、透過像および屈折像が検出されるように構成されており、しかも被検査物Ａは回転台２３に載置されて検査時には、例えば矢印ａにて示すように、Ｘ線の照射方向と平行な面内にて且つ３６０度でもって回転されて、全方位からＸ線が照射されるように構成されている。

上記の構成によると、左右のモノクロメータ３Ａ，３Ｂから回転する被検査物Ａに照射されて透過したＸ線の一方のＸ線Ｒ１はＸ線検出器２１（２１Ａ）に入射されて透過像が得られ、また透過した他方のＸ線Ｒ２はアナライザ２２を通過して２個のＸ線検出器２１（２１Ｂ，２１Ｃ）に入射されて透過像と屈折像とが得られる。

このように、回転される被検査物Ａに、２方向からＸ線を照射するとともに、一方の透過Ｘ線により透過像を、他方の透過Ｘ線により透過像と屈折像とを検出するようにしたので、より多くの、被検査物Ａに対する内部情報を短時間で得ることができる。

なお、Ｘ線の強度は、Ｘ線分割用スリット２による取り出し角度が０度に近づくに従い低下するため、強度が低下する側のモノクロメータ３ＡによるＸ線Ｒ１の反射波を透過像用に用い、取り出し角度が大きい強度のある側のモノクロメータ３Ｂによる反射波を屈折像用に用いる。また、透過像を得るためのＸ線検出器２１とアナライザ２２における被検査物Ａからの距離は等しく（または、できるだけ等しく）されている。これは、Ｘ線の発散による影響を同一にするためである。

また、上述した各実施の形態と同様に、本実施の形態３に係るＸ線検査方法を簡単に説明しておく。
このＸ線検査方法は、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒをモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器２１にて検出するＸ線検査方法であって、上記Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線ＲをＸ線分割用スリット２により２本に分割するとともに、これら分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ対応して配置された２個のモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して回転する被検査物Ａに照射し、一方のモノクロメータ３Ａを介して被検査物Ａに照射されて透過したＸ線を、直接、Ｘ線検出器２１Ａに入射させるとともに、他方のモノクロメータ３Ｂを介して被検査物Ａに照射されて透過したＸ線Ｒ２をアナライザ２２を介してＸ線検出器２１Ｂ，２１Ｃに入射させて、被検査物Ａの一方からの透過像と他方からの透過像および屈折像とを得る方法である。
［実施の形態４］
次に、本実施の形態４に係るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を、図４に基づき説明する。

上記実施の形態１においては、Ｘ線分割用スリットにより、Ｘ線を左右の２本に分割したが、本実施の形態４においては、３本に分割するようにしたものである。したがって、上述した実施の形態１と異なる箇所は、Ｘ線分割用スリットに関する部分であるため、本実施の形態４においては、この異なる箇所に着目して説明するとともに、Ｘ線分割用スリットおよびＸ線検出器を除いて、実施の形態１にて説明した構成部材（同一番号を付する）を用いて簡単に説明する。

すなわち、図４に示すように、このＸ線検査装置のＸ線発生装置１の前方に配置されるＸ線分割用スリット３１には、Ｘ線発生装置１におけるＸ線の出射口（出射部）の中心線上と左右の位置とにそれぞれ開口部３１ａ，３１ｂ，３１ｃが形成されており、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒは、中央のＸ線Ｒ３と左右のＸ線Ｒ１，Ｒ２との合計３本に分割される。また、中央のＸ線Ｒ３についても、エネルギーを絞るためのキャピラリープレート５（５Ｃ）が設けられるとともに、その中心線上で且つ被検査物Ａの後方に中央部Ｘ線検出器４１（４１Ｃ）が設けられている。

勿論、左右に分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２については、実施の形態１と同様に、左右に配置されたモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して被検査物Ａに照射され、その透過Ｘ線は、中央部Ｘ線検出器４１Ｃの左右に配置された右部および左部Ｘ線検出器４１Ａ，４１Ｂに入射されて透過像が得られる。

このように、Ｘ線分割用スリット３１により３本に分割されたＸ線を被検査物Ａに照射して３方からの透過像を得るようにしたので、一度の検査でもって、被検査物Ａに対し、３方向からの透過像が得られるため、被検査物Ａの検査時間が非常に短くなるとともに、より多くの、被検査物Ａに対する内部情報を得ることができる。

また、上述した各実施の形態と同様に、本実施の形態４に係るＸ線検査方法を簡単に説明すると、以下のようになる。
このＸ線検査方法は、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒをモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器４１にて検出するＸ線検査方法であって、上記Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線ＲをＸ線分割用スリット３１により、中央Ｒ３と左右Ｒ１，Ｒ２との合計３本に分割するとともに、これら分割された中央のＸ線Ｒ３を被検査物Ａに照射するとともに、残りの左右のＸ線Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ対応して配置された２個のモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して被検査物Ａに照射する方法である。
［実施の形態５］
次に、本実施の形態５に係るＸ線検査装置およびＸ線検査方法を、図５に基づき説明する。

上記実施の形態４においては、Ｘ線分割用スリットにより、Ｘ線を、中央および左右の合計３本に分割して被検査物Ａに照射するとともに、その透過Ｘ線をそのままＸ線検出器に導くように説明したが、本実施の形態５においては、左右に配置された両モノクロメータからの透過Ｘ線をアナライザを介してＸ線検出器に導くようにしたものである。したがって、実施の形態４と異なる箇所は、アナライザを配置したことにあるため、本実施の形態５においては、アナライザおよびＸ線検出器を除いて、実施の形態４にて説明した構成部材（同一番号を付する）を用いて簡単に説明する。

すなわち、図５に示すように、このＸ線検査装置は、Ｘ線分割用スリット３１にて中央と左右に分割された３本のＸ線Ｒの内、両モノクロメータ３Ａ，３Ｂにを介して被検査物Ａに照射されて当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線Ｒ１，Ｒ２をアナライザ５１（５１Ａ，５１Ｂ）に入射させるとともに、中央から被検査物Ａに照射されて当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線Ｒ３をそのまま中央部のＸ線検出器５２（５２Ｃ）に入射させるようにしたものである。勿論、各アナライザ５１Ａ，５１Ｂに対しては、その透過像を検出するＸ線検出器５２Ａａ，５２Ｂａおよび屈折像を検出するＸ線検出器５２Ａｂ，５２Ｂｂが配置されている。また、透過像を得るための中央部のＸ線検出器５２Ｃと各アナライザ５１Ａ，５１Ｂにおける被検査物Ａからの距離は等しく（または、できれば等しく）されている。

このように、アナライザ５１を通過させることにより、被検査物Ａの左右からの透過像の他に、左右における屈折像も得られるため、短時間で検査を行うことができるとともに、より多くの、被検査物Ａに対する内部情報が得られる。

なお、ここで、上述した各実施の形態と同様に、本実施の形態５に係るＸ線検査方法を、簡単に説明しておく。
このＸ線検査方法は、Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線Ｒをモノクロメータ３にて単一波長化および平行化して被検査物Ａに照射するとともに、当該被検査物Ａを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器５２にて検出するＸ線検査方法であって、上記Ｘ線発生装置１から出射されたＸ線ＲをＸ線分割用スリット３１により３本に分割するとともに、これら分割されたＸ線Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の内、左右の２本Ｒ１，Ｒ２をモノクロメータ３Ａ，３Ｂを介して被検査物Ａに照射して、その透過Ｘ線をアナライザ５１Ａ，５１Ｂに入射させて各Ｘ線検出器５２Ａ，５２Ｂにてその透過像および屈折像を得るようになし、且つ中央のＸ線Ｒ３を被検査物Ａに照射して、その透過Ｘ線を中央部のＸ線検出器５２Ｃに入射して透過像を得る方法である。

ところで、上記各実施の形態において、アナライザが設けられていない場合、解像度を維持するために、被検出物からＸ線検出器までの距離が、他方のＸ線と干渉しない位置において、できるだけ小さくなるように構成され、またアナライザが設けられている場合、やはり、解像度を維持するために、被検出物からアナライザ、およびアナライザからＸ線検出器までの距離が、他方のＸ線と干渉しない位置において、できるだけ小さくなるように構成される。

さらに、上記各実施の形態においては、左右に配置された各モノクロメータとしては、その反射により出射するＸ線の波長が同一となるものを用いたが、例えば異なる波長となるものを用いるとともに、被検査物を回転台に載せてＸ線の照射方向と平行な面内で回転させることにより、同時に、異なる波長のＸ線を用いて被検査物を検査することができるので、Ｘ線の波長を変えて別々に検査を行う場合に比べて、より正確な検査を、短時間にて行うことができる。

また、上記各実施の形態においては、Ｘ線を２本または３本に分割したが、例えば４本以上に分割するとともに、それぞれモノクロメータを介して被検査物に照射させることもできる。

本発明の実施の形態１に係るＸ線検査装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の実施の形態２に係るＸ線検査装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の実施の形態３に係るＸ線検査装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の実施の形態４に係るＸ線検査装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の実施の形態５に係るＸ線検査装置の概略構成を示す平面図である。

符号の説明

Ａ 被検査物
Ｒ Ｘ線
１ Ｘ線発生装置
２ Ｘ線分割用スリット
３ モノクロメータ
４ Ｘ線検出器
１１ アナライザ
１２ Ｘ線検出器
２１ Ｘ線検出器
２２ アナライザ
２３ 回転台
３１ Ｘ線分割用スリット
４１ Ｘ線検出器
５１ アナライザ
５２ Ｘ線検出器

Claims (8)

1. Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するようにしたＸ線検査装置であって、
   上記Ｘ線源の出射部近傍に、出射されたＸ線を複数に分割するＸ線分割用スリットを配置するとともに、Ｘ線を被検査物に照射するためのモノクロメータを上記Ｘ線分割用スリットによるＸ線の分割数に応じて複数個配置したことを特徴とするＸ線検査装置。
2. Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するようにしたＸ線検査装置であって、
   上記Ｘ線源の出射部近傍に、Ｘ線を少なくとも３つに分割するＸ線分割用スリットを配置するとともに、このＸ線分割用スリットにて分割された１つのＸ線を被検査物にモノクロメータを介さずに照射するように構成し、
   且つ分割された残りのＸ線を被検査物に照射するためのモノクロメータを当該残りのＸ線の個数に応じて複数個配置したことを特徴とするＸ線検査装置。
3. 各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長が同一のものを用いたことを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
4. 各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長がそれぞれ異なるものを用いるとともに、被検査物を回転させるように構成したことを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
5. Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するＸ線検査方法であって、
   上記Ｘ線源から出射されたＸ線をＸ線分割用スリットにより複数に分割するとともに、これら分割されたＸ線をそれぞれ対応して配置された複数個のモノクロメータを介して被検査物に照射することを特徴とするＸ線検査方法。
6. Ｘ線源から出射されたＸ線をモノクロメータにて単一波長化および平行化して被検査物に照射するとともに、当該被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出器にて検出するＸ線検査方法であって、
   上記Ｘ線源から出射されたＸ線をＸ線分割用スリットにより、少なくとも３つに分割し、これら分割された１つのＸ線をモノクロメータを介さずに被検査物に照射するとともに、分割された残りのＸ線をそれぞれに対応して配置された複数個のモノクロメータを介して被検査物に照射することを特徴とするＸ線検査方法。
7. 各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長が同一のものを用いることを特徴とする請求項５または６に記載のＸ線検査方法。
8. 各モノクロメータとして、これら各モノクロメータから出射されるＸ線の波長がそれぞれ異なるものを用いるとともに、被検査物を回転させることを特徴とする請求項５または６に記載のＸ線検査方法。

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