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JP2005018069A - 液晶表示装置 - Google Patents

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JP2005018069A JP2004185182A JP2004185182A JP2005018069A JP 2005018069 A JP2005018069 A JP 2005018069A JP 2004185182 A JP2004185182 A JP 2004185182A JP 2004185182 A JP2004185182 A JP 2004185182A JP 2005018069 A JP2005018069 A JP 2005018069A
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Abstract


【課題】 本発明が目的とする技術的課題は、整列誤差を最少化することができると同時に、製造コストを節減することができる、液晶表示装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、下部絶縁基板上に形成され、ゲート電極を含むゲート線、ゲート線上に形成されているゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜上に形成されている半導体層、半導体層上に形成され、ゲート電極の上部でドレーン電極と各々対向しているソース電極と連結されているデータ線、ゲート絶縁膜上に形成されている保護膜、保護膜上に形成され、周縁部がデータ線の上部で互いに重畳している複数の色フィルター、色フィルターの上部に形成され、電気的に前記ドレーン電極と連結されている画素電極を含む薄膜トランジスタ表示板と、下部絶縁基板と比較して物理的または化学的に異なる特性を有する材質からなる上部絶縁基板、下部絶縁基板と対向する上部絶縁基板の上部に形成されている共通電極を含む対向表示板とを含む液晶表示装置に関する。このようにすれば、絶縁基板に対する製造コストを節減することができる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、液晶表示装置に関し、より詳しくは、薄膜トランジスタ表示板及びこれと対向する対向表示板を含む液晶表示装置に関する。
液晶表示装置は、一般に、電場を生成する電極を有する二つの基板間に液晶物質を注入して、二つの電極に互いに異なる電位を印加することにより、電界を形成して液晶分子の配列を変更させ、これにより光の透過率を調節して、画像を表現する装置である。
このような液晶表示装置は、画素電極及び赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の色フィルターが形成されている複数の画素を有し、配線を通じて印加される信号によって各画素が駆動されて、表示動作が行われる。配線には、走査信号を伝達するゲート線(または走査信号線)、画像信号を伝達するデータ線(または画像信号線)があり、各画素には、一つのゲート線及び一つのデータ線と連結されている薄膜トランジスタが形成されており、これにより画素に形成されている画素電極に伝達される画像信号が制御される。
この時、薄膜トランジスタが形成されている表示板には、ゲート信号またはスキャニング信号を伝達するゲート線、画像信号またはデータ信号を伝達するデータ線、画像信号が伝達される画素電極、及びゲート信号を通じて各画素の画素電極に伝達される画像信号を制御する薄膜トランジスタなどが形成されており、薄膜トランジスタ表示板と対向する表示板には、様々な色の画像を実現するために、各々の画素に配置されている赤、緑、青の色フィルター、及び画素に開口部を形成して、画素間から光が漏れるのを遮断したり、コントラスト比の低下を防止するためのブラックマトリックスが形成されている。しかし、ブラックマトリックスは、二つの表示板の整列誤差を考慮して広い幅に形成しなければならないため、画素の開口率を減少させる原因となり、ブラックマトリックスを除去する方法が開発されている。
一方、液晶表示装置用表示板の製造工程時に、表示板を製造するためには、基板の上部に薄膜を形成する成膜工程、所望の形状の薄膜をパターニングするためのマスクを利用した写真エッチング工程などが必要であるが、このような工程のほとんどは高温で行われる。したがって、二つの表示板の整列誤差を最少化するためには、二つの表示板の支持体である基板の特性が同一でなければ、製造工程時の熱的、化学的な変形を同一に維持することができない。
しかし、このような液晶表示装置を、特性が同一な基板を適用して表示板を製造しなければならない現在の製造工程では、製造コストの節減に限界がある。
本発明が目的とする技術的課題は、整列誤差を最少化することができると同時に、製造コストを節減することができる、液晶表示装置を提供することにある。
前記のような課題を解決するために、本発明の実施例では、互いに隣接する画素からの光漏れを遮断するためのブラックマトリックスを、同一な表示板に形成されている信号線及び色フィルターとして利用し、互いに異なる熱的、化学的な特性を有する基板を利用して、互いに対向する二つの表示板を製造する。
より詳細には、本発明の実施例による液晶表示装置は、第1絶縁基板、絶縁基板上に形成され、互いに交差して画素領域を定義するゲート線及びデータ線、画素領域に各々形成されている画素電極、ゲート線のゲート電極、データ線のソース電極、画素電極に連結されているドレーン電極、及びチャンネルが形成されるチャンネル部を有する半導体層を含む薄膜トランジスタ、及び画素に各々順に配置されている赤、緑、青の色フィルターを含む第1表示板、及び第2絶縁基板、及び第1絶縁基板と対向する第2絶縁基板の上部に形成されている共通電極を含む第2表示板を有する。この時、第1絶縁基板及び第2絶縁基板は、異なる収縮率、または異なる密度、または異なる種類、または異なる組成物や組成物の成分比、または異なる厚さ、または異なる材質の特性を有する。
画素電極の周縁は、ゲート線またはデータ線と重畳し、赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部は、画素領域の周縁で互いに重畳したり、データ線の上部で重畳するのが好ましい。
また、赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部は、互いに部分的に重畳して突出部を形成することもできる。
半導体層とデータ線との間に形成されている抵抗性接触層をさらに含むことができ、半導体層及び抵抗性接触層は、データ線の形状に沿って延長されているのが好ましい。
半導体層は、ソース電極とドレーン電極との間の一部を除いた残りの部分がデータ線と同一な平面形状を有することができる。
本発明の実施例による液晶表示装置は、互いに異なる基板を適用することができ、製造コストを節減することができる。
添付した図面を参考にして、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施することができるように、詳細に説明する。しかし、本発明は多様な形態に実現することができ、ここで説明する実施例に限定されない。
図面は、各種層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示している。明細書全体を通じて類似した部分については同一な図面符号を付けている。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上に”あるとする時、これは他の部分の“すぐ上に”ある場合に限らず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。逆に、ある部分が他の部分の“すぐ上に”あるとする時、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
以下、本発明の実施例による液晶表示装置について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の第1実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図であり、図2は、図1の薄膜トランジスタ表示板を含む液晶表示装置の図1のII-II´線による断面図である。
本発明の実施例による液晶表示装置は、下部表示板100、これと対向している上部表示板200、下部表示板100と上部表示板200との間に充填されて所定の方向に配向されている液晶分子を含む液晶層300などを含む。具体的に図示されてはいないが、本発明の実施例による液晶表示装置は、上部、下部基板110、210の内側面に形成され、液晶層300の液晶分子を任意の方向に配向するための配向膜、上部、下部基板110、210の外側面に付着されている偏光板、液晶層300を通過する光の位相を補償するための補償板などを含むことができる。液晶分子は、電界印加によって配向が変わり、配向が変わる程度によって光の透過量が変わる。この時、偏光板の透過軸は、互いに垂直に、または平行に配置することができ、液晶層300の液晶分子は、基板110、210の面に対して垂直に配向されている垂直配向モードであっても良く、平行に配向されて下部基板110から上部基板210に至るまで捩じれて配向されている捩じれネマチック方式であっても良く、二つの基板110、210の中心面に対して対称に屈曲する配列であっても良い。
下部表示板100は、ガラスなどの透明な絶縁物質からなる下部基板110、その内側面上に形成されている薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタと連結されており、ITO(indium tin oxide)やIZO(indium zinc oxide)などの透明な導電物質からなる画素電極190を含む。この時、薄膜トランジスタは、画素電極190に印加される画像信号電圧をスイッチングする。
上部表示板200は、ガラスなどの透明な絶縁物質からなっており、下部基板110とは異なる密度、または異なる種類、または異なる組成物や組成物の成分比、または異なる厚さ、または異なる材質の特性を有する上部基板210、及びITOまたはIZOなどの透明な導電物質からなる基準電極270が全面に形成されている。
より詳細には、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板100には、絶縁基板110上にゲート信号を伝達する複数のゲート線121が形成されている。ゲート線121は、主に横方向にのびており、各ゲート線121の一部は複数のゲート電極124をなす。また、各ゲート線の他の一部は下方に突出して複数の拡張部127をなす。
ゲート線121は、物理的な性質が異なる二つの膜、つまり下部膜211、241、271、291及びその上の上部膜212、242、272、292を含む。上部膜212、242、272、292は、ゲート信号の遅延や電圧の降下を減らすことができるように、低い比抵抗の金属、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などのアルミニウム系列の金属からなる。これとは異なって、下部膜211、241、271、291は、他の物質、特にIZOとの接触特性の良い物質、例えばモリブデン(Mo)やモリブデン合金やクロム(Cr)などからなる。下部膜211、241、271、291及び上部膜212、242、272、292の組み合わせの例としては、クロム/アルミニウム-ネオジム(Nd)合金を挙げることができる。
また、下部膜211、241、271、291及び上部膜212、242、272、292の側面は各々傾斜しており、その傾斜角は基板110の表面に対して約30-80°である。
ゲート線121上には、窒化ケイ素(SiNx)などからなるゲート絶縁膜140が形成されている。
ゲート絶縁膜140上には、水素化非晶質シリコン(hydrogenated amorphous silicon)などからなる複数の線状半導体151が形成されている。線状半導体151は、主に縦方向にのびており、ここから複数の突出部154がゲート電極124に向かってのびている。また、線状半導体151は、ゲート線121とぶつかる部分付近で幅が広くなり、ゲート線121を広い面積に亘って覆うように形成されている。
半導体151の上部には、シリサイドまたはn型不純物が高濃度にドーピングされたn+水素化非晶質シリコンなどの物質からなる複数の線状及び島状抵抗性接触部材(ohmic contact)161、165が形成されている。線状接触部材161は複数の突出部163を有しており、この突出部163及び島状接触部材165は、対となって半導体151の突出部154上に位置する。
半導体151及び抵抗性接触部材161、165の側面もまた傾斜しており、傾斜角は30-80°である。
抵抗接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上には、各々複数のデータ線171、複数のドレーン電極175、及び複数の維持蓄電器用導電体177が形成されている。
データ線171は、主に縦方向にのびており、ゲート線121と交差してデータ電圧を伝達する。各データ線171からドレーン電極175に向かってのびた複数の分枝がソース電極173をなす。一対のソース電極173とドレーン電極175とは互いに分離されており、ゲート電極124に対して互いに反対側に位置する。ゲート電極124、ソース電極173、及びドレーン電極175は、半導体151の突出部154と共に薄膜トランジスタをなし、薄膜トランジスタのチャンネルは、ソース電極173とドレーン電極175との間の突出部154に形成されている。
維持蓄電器用導電体177は、ゲート線121の一部において拡張された拡張部127と重畳している。
データ線171、ドレーン電極175、及び維持蓄電器用導電体177も、モリブデン(Mo)、モリブデン合金、クロム(Cr)などからなる下部膜711、731、751、771、791と、その上に位置したアルミニウム系列の金属からなる上部膜712、732、752、772、792とからなる。
データ線171、ドレーン電極175、及び維持蓄電器用導電体177の下部膜711、731、751、771、791と上部膜712、732、752、772、792も、ゲート線121と同様に、その側面が約30-80°の角度で傾斜している。
抵抗性接触部材161、165は、その下部の半導体151、その上部のデータ線171及びドレーン電極175の間にだけ存在して、接触抵抗を低くする役割をする。線状半導体151は、ソース電極173とドレーン電極175との間をはじめとして、データ線171及びドレーン電極175により覆われずに露出された部分を有しており、ほとんどの部分では線状半導体151の幅がデータ線171の幅より狭い。しかし、前記したようにゲート線121とぶつかる部分で幅が広くなって、ゲート線121とデータ線171との間の絶縁を強化する。
データ線171、ドレーン電極175、及び維持蓄電器用導電体177と、露出された半導体151部分との上には、窒化ケイ素または酸化ケイ素からなる第1保護膜801が形成されている。
第1保護膜801の上部には、ストライプ状の赤、緑、青の色フィルター(R、G、B)が順に配列されている。色フィルター(R、G、B)各々の周縁は互いに重畳しているが、周縁部は、後続膜のステップカバレッジ特性を良好に誘導したり、表示板の平坦化を図ることにより、液晶の誤配列を防止することができるように、他の部分より厚さを薄くすることができ、互いに重畳する幅がデータ線171を完全に覆うように、データ線171の幅より広いのが好ましい。また、赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部が画素領域の周縁で互いに重畳していると好ましい。さらに、赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部が、互いに部分的に重畳して突出部を形成し重畳していても良い。
ここで、隣接する色フィルターの二つの周縁部が重畳している部分は、2種類の色が互いに重畳するためブラック状態となり、この部分を通じて光が漏れるのを適切に遮断することができ、光遮断膜としての機能をする長所がある。その結果、白黒のコントラスト比を向上させることができる。したがって、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板では、ゲート線121及びデータ線171と色フィルター(R、G、B)との重畳部分が画素間から漏れる光を遮断するブラックマトリックスの機能を代替する。
色フィルター(R、G、B)が形成されている第1保護膜801の上部には、平坦化特性が優れて感光性を有する有機物質、プラズマ化学気相蒸着(PECVD)により形成されるa-Si:C:O、a-Si:O:Fなどの低誘電率絶縁物質などからなる第2保護膜802が形成されている。
第1及び第2保護膜180には、ドレーン電極175、維持蓄電器用導電体177、及びデータ線171の端部179を各々露出する複数の接触孔185、187、182が形成されており、ゲート絶縁膜140と共にゲート線121の端部129を露出する複数の接触孔181が形成されている。一方、色フィルター(R、G、B)も、ドレーン電極175及び維持蓄電器用導電体177を露出する開口部を有する。図示しているように、色フィルター(R、G、B)の開口部は保護膜180の接触孔185、187より大きいが、そうでないこともあり、この場合には階段状の側壁からなる。
図示されているように、接触孔181、185、187、182は、ゲート線121の端部129、ドレーン電極175、維持蓄電器用導電体177、及びデータ線171の端部179の上部膜292、752、772、792を露出するが、上部膜292、752、772、792が除去されて下部膜291、751、771、791が露出することもでき、さらに、接触孔181、185、187、182が下部膜291、751、771、791の周縁部の境界線のうちの一部を露出した状態にすることもできる。
保護膜180上には、IZOまたはITOからなる複数の画素電極190及び複数の接触補助部材81、82が形成されている。
画素電極190は、接触孔185、187を通じてドレーン電極175及び維持蓄電器用導電体177と各々物理的、電気的に連結されて、ドレーン電極175からデータ電圧の印加を受け、導電体177にデータ電圧を伝達する。ここで、画素電極190の周縁は、ゲート線121またはデータ線171と重畳していると、画素間の光漏れを低減できるため好ましい。
図2のように、データ電圧が印加された画素電極190は、共通電圧の印加を受ける対向表示板200の共通電極270と共に電場を生成することにより、二つの表示板100、200間の液晶層300の液晶分子を再配列させる。
また、前記のように、画素電極190及び共通電極270は、蓄電器(以下、“液晶蓄電器”という)を形成して、薄膜トランジスタがターンオフされた後でも印加された電圧を維持するが、電圧維持能力を強化するために、液晶蓄電器と並列に連結された他の蓄電器を設けることができる。これを維持蓄電器という。維持蓄電器は、画素電極190及びこれと隣接するゲート線121(これを前段ゲート線という)の重畳などからなり、維持蓄電器の静電容量、つまり保持容量を増加させるために、ゲート線121を拡張した拡張部127を設けて重畳面積を大きくする一方で、画素電極190と連結されて拡張部127と重畳する維持蓄電器用導電体177を保護膜180下に設けて二つの間の距離を短くする。
また画素電極190は、隣接するゲート線121及びデータ線171と重畳して開口率を高めているが、重畳しないこともある。
接触補助部材81、82は、接触孔181、182を通じてゲート線の端部129及びデータ線の端部179と各々連結される。接触補助部材81、82は、ゲート線121及びデータ線171の各端部129、179と外部装置との接着性を補完し、これらを保護する役割をするものであって、必須ではなく、これらの適用は選択的である。
このような本発明の実施例による液晶表示装置において、対向表示板200は、全面に形成されている共通電極270だけを有しており、色フィルターまたはブラックマトリックスなどのようにパターニングされた薄膜は有していないので、液晶表示装置を完成するために薄膜トランジスタ表示板と整列させる際に整列誤差を考慮する必要がない。したがって、製造工程時にも、薄膜トランジスタ表示板100の下部基板110と物理的または化学的に同一な特性を考慮する必要がなく、下部基板110と異なる収縮率、または異なる密度、または異なる種類、または異なる組成物や組成物の成分比、または異なる厚さ、または異なる材質の特性を有する上部基板120を適用することができ、これにより低コストの上部基板120を選択して、液晶表示装置の製造コストを節減することができる。この時、二つの基板110、210のうちの少なくとも一つ、特に上部基板120は、低コストのプラスチック基板を用いることもでき、下部基板110より厚さの薄い基板を利用することもできる。
一方、薄膜トランジスタ表示板を製造する過程には、複数の写真エッチング工程が含まれるが、これを減らすための努力が進められている。その一つとして、前記したように、透明領域、反透過領域、及び不透明領域を有する光マスクを用いて、厚い部分及び薄い部分を有する感光膜パターンを形成し、これを利用して、いくつかの層が異なるパターンを有するようにエッチングする方法が行われている。そのうちの代表的なものは、非晶質シリコン層、抵抗性接触層、及びデータ線とドレーン電極を一つの感光膜パターンを利用してエッチングする4枚の光マスク工程である。通常、ゲート線121をパターニングする時に1回、非晶質シリコン層151及び抵抗性接触層161、165をパターニングする時に1回、データ線171及びドレーン電極175をパターニングする時に1回、保護膜180をパターニングする時に1回、画素電極をパターニングする時に1回の、計5回の写真エッチング工程が行われ、これを5枚の光マスク工程という。4枚の光マスク工程は、非晶質シリコン層、抵抗性接触層、及びデータ金属層を1枚の光マスクを用いて同時にパターニングすることにより、光マスクの数を1枚減らしたものである。この場合、データ線及びドレーン電極と抵抗性接触層とが実質的に同一な平面形状を有するようになり、非晶質シリコンの半導体層も、チャンネル部を除いた部分では、データ線及びドレーン電極と実質的に同一な平面形状を有する。図面を参照して、完成した薄膜トランジスタ表示板の構造について具体的に説明する。
図3乃至図5を参照して、本発明の第2実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板について詳細に説明する。
図3は、本発明の第2実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の構成を示した配置図であり、図4及び図5は、各々図3に示した薄膜トランジスタ表示板のIV-IV´線及びV-V´線による断面図である。
図3乃至図5のように、本実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の層状構造は、図1及び図2に示した液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の層状構造とほぼ同一である。つまり、基板110上に複数のゲート電極124を含む複数のゲート線121が形成されており、その上にゲート絶縁膜140、複数の突出部154を含む複数の線状半導体151、複数の突出部163を各々含む複数の線状抵抗性接触部材161、及び複数の島型抵抗性接触部材165が順に形成されている。抵抗性接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上には、複数のソース電極153を含む複数のデータ線171、複数のドレーン電極175が形成され、その上に保護膜180が形成されている。保護膜180及び/またはゲート絶縁膜140には、複数の接触孔181、185、182が形成されており、保護膜180上には、複数の画素電極190及び複数の接触補助部材81、82が形成されている。
しかし、図1及び図2に示した薄膜トランジスタ表示板とは異なって、本実施例による薄膜トランジスタ表示板は、ゲート線121に拡張部を設ける代わりに、ゲート線121と同一な層にゲート線121と電気的に分離された複数の維持電極線131を設け、ドレーン電極175と重畳させて維持蓄電器を形成する。維持電極線131もまた、ゲート線121と同様に、下部膜311及び上部膜312を含む。維持電極線131は、共通電圧などの予め決められた電圧の印加を外部から受け、画素電極190及びゲート線121の重畳で発生する保持容量が十分な場合には、維持電極線131を省略することもできる。
半導体151は、薄膜トランジスタが位置する突出部154を除いて、データ線171、ドレーン電極175、及びその下部の抵抗性接触部材161、165と実質的に同一な平面形状を有している。具体的には、線状半導体151は、データ線171及びドレーン電極175との間、その下部の抵抗性接触部材161、165下に存在する部分との間の他にも、ソース電極173とドレーン電極175との間において露出された部分を有している。
また、保護膜180は、図2の第1保護膜801のみからなるが、第2保護膜802のみからなることもある。
このような本発明の第2実施例による薄膜トランジスタ表示板を適用した液晶表示装置もまた、第1実施例のように、製造コストの節減の効果を得ることができる。
前記のように、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も、本発明の権利範囲に属するものである。
本発明の第1実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図である。 図1の薄膜トランジスタ表示板を含む液晶表示装置の図1のII-II´線による断面図である。 本発明の第2実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図である。 図3の薄膜トランジスタ表示板のIV-IV´及びV-V´線による断面図である。 図3の薄膜トランジスタ表示板のIV-IV´及びV-V´線による断面図である。
符号の説明
100、200 表示板
110、210 基板
121 ゲート線
124 ゲート電極
140 ゲート絶縁膜
171 データ線
173 ソース電極
175 ドレーン電極
177 維持蓄電器用導電体
180 保護膜
190 画素電極
300 液晶層

Claims (10)

  1. 第1絶縁基板、前記絶縁基板上に形成され、互いに交差して画素領域を定義するゲート線及びデータ線、前記画素領域に各々形成されている画素電極、前記ゲート線のゲート電極、前記データ線のソース電極、前記画素電極に連結されているドレーン電極、及びチャンネルが形成されているチャンネル部を有する半導体層を含む薄膜トランジスタ、及び前記画素に各々順に配置されている赤、緑、青の色フィルターを含む第1表示板、及び
    第2絶縁基板、及び前記第1絶縁基板と対向する前記第2絶縁基板の上部に形成されている共通電極を含む第2表示板を含む液晶表示装置において、
    前記第1絶縁基板及び前記第2絶縁基板は、異なる収縮率、または異なる密度、または異なる種類、または異なる組成物や組成物の成分比、または異なる厚さ、または異なる材質の特性を有する、液晶表示装置。
  2. 前記画素電極の周縁は、前記ゲート線または前記データ線と重畳する、請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部は、前記画素領域の周縁で互いに重畳する、請求項1に記載の液晶表示装置。
  4. 前記赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部は、前記データ線の上部で重畳する、請求項1に記載の液晶表示装置。
  5. 前記赤、緑、青の色フィルターの周縁の一部は、互いに部分的に重畳して突出部を形成する、請求項1に記載の液晶表示装置。
  6. 前記半導体層と前記データ線との間に形成されている抵抗性接触層をさらに含む、請求項1に記載の液晶表示装置。
  7. 前記半導体層及び抵抗性接触層は、前記データ線の形状に沿って延長されている、請求項6に記載の液晶表示装置。
  8. 前記半導体層は、前記ソース電極と前記ドレーン電極との間の一部を除いた残りの部分が前記データ線と同一な平面形状を有する、請求項1に記載の液晶表示装置。
  9. 前記第2絶縁基板はプラスチックからなる、請求項1に記載の液晶表示装置。
  10. 前記第2絶縁基板は前記第1絶縁基板より厚さが薄い、請求項1に記載の液晶表示装置。
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