JP2005076492A - 間接流体式ダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体を高精度に送液するダイヤフラムポンプであって、送液すべき流体を収容し、流体出口11、ベント口12、流体入口10を具備し、内部形状が流体滞留防止及び流線形の形状を備えたダイヤフラム装着ハウジング24と、該ハウジング24内に配置し、被送液流体6と駆動用間接流体7とを密閉された状態に分割し、形状変化によってハウジング内の被送液流体を送液制御するダイヤフラム膜5と、ダイヤフラム膜を変形させるための間接流体を収容する間接流体収容シリンダ4と、間接流体シリンダ内の間接流体を移動させる間接流体移動用ピストン3と、間接流体移動用ピストンに連結し、該ピストンを直線的に往復移動駆動及び制御するモータ駆動シャフトを備えたリニアモータ1とから構成されている。
【選択図】図1
Description
ップ等の不連続な外乱要素が生じる場合があり、このような姿勢の振れは、間接流体の均一かつ連続的な移動を妨げる。また、従来の方式では、ボール螺子軸とピストン軸のオフセットやピストンガイドの剛性の低さによって、ピストンの姿勢精度悪化の原因となり得る。
b)ダイヤフラム装着ハウジング内に配置し、被送液流体と駆動用間接流体とを密閉された状態に分割し、形状変化によってハウジング内の被送液流体を送液制御するダイヤフラム膜と、
c)ダイヤフラム膜を変形させるための間接流体を収容する間接流体収容シリンダと、
d)間接流体シリンダ内の間接流体を移動させる間接流体移動用ピストンと、
e)間接流体移動用ピストンに連結し、該ピストンを直線的に往復移動駆動及び制御するモータ駆動シャフトを備えたリニアモータと、
から構成されることを特徴とする間接流体式ダイヤフラムポンプである。
1c、1cは、ポンプ本体フレームFに取り付けたコイル保持フレーム21の推進用の三相電機子コイルCを内周面に搭載したコイル孔部22内に嵌入装填されている。
る方向に移動させられ、結果としてダイヤフラム膜5が被送液流体6を流入する方向に変形する。
4…ピストンシリンダ 5…ダイヤフラム膜 6…被送液流体 7…駆動用間接流体
23…間接流体用ハウジング壁 24…ダイヤフラム装着ハウジング
25…被送液流体用ハウジング壁
Claims (7)
- 流体を高精度に送液するダイヤフラムポンプであって、
a)送液すべき流体を収容し、流体出口、流体入口、ベント調整口を具備し、内部形状が流体滞留防止及び流線形の形状を備えた駆動用間接流体と被送液流体とを収容するダイヤフラム装着ハウジングと、
b)ダイヤフラム装着ハウジング内に配置し、被送液流体と駆動用間接流体とを密閉された状態に分割し、形状変化によってハウジング内の被送液流体を送液制御するダイヤフラム膜と、
c)ダイヤフラム膜を変形させるための間接流体を収容する間接流体収容シリンダと、
d)間接流体シリンダ内の間接流体を移動させる間接流体移動用ピストンと、
e)間接流体移動用ピストンに連結し、該ピストンを直線的に往復移動駆動及び制御するモータ駆動シャフトを備えたリニアモータと、
から構成されることを特徴とする間接流体式ダイヤフラムポンプ。 - 前記リニアモータのモータ駆動シャフトによるピストンの直線的な往復移動駆動速度のリップル(揺らぎ)が±5%以下であり、直線性の高い送液が可能であることを特徴とする請求項1に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
- 前記リニアモータは直動タイプのシャフト式リニアモータであり、該リニアモータのモータ駆動シャフトを直線的にガイドするエアスライドガイド機構を備え、該エアスライドガイド機構による直線的なガイド方向と、該モータ駆動シャフトに連結するピストンの直線的な往復移動方向とを同一直線上に配置したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
- 前記エアスライドガイド機構が、高剛性エアスライドガイドを有することを特徴とする請求項3に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
- 前記リニアモータのモータ駆動シャフトの直線的な往復移動駆動方向が水平となるように設置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
- 前記ダイヤフラム膜の形状が、段付き或いはR付き形状であって、該ダイヤフラム膜の張力の発生を抑えることによって、前記リニアモータに係る推力使用量を抑制することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1 項に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
- 前記ベント調整口は通常は閉鎖状態にあり、必要に応じて送液すべき流体の流体出口となることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1 項に記載の間接流体式ダイヤフラムポンプ。
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