JP2005065471A - Momentary power failure/momentary voltage drop countermeasure device, processing device, and momentary power failure/momentary voltage drop detecting method - Google Patents
Momentary power failure/momentary voltage drop countermeasure device, processing device, and momentary power failure/momentary voltage drop detecting methodInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 title description 17
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 65
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 40
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 20
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 82
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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- Stand-By Power Supply Arrangements (AREA)
Abstract
Description
本発明は,瞬停・瞬時電圧低下対策装置等に関し,特に,外部電源に瞬間的な停電または瞬間的な電圧の低下が生じた時に,内蔵された蓄電手段からのバックアップ電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置等に関する。 The present invention relates to an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device and the like, and more particularly to an instantaneous power failure that supplies backup power from a built-in power storage means when an instantaneous power failure or instantaneous voltage drop occurs in an external power source. -Related to instantaneous voltage drop countermeasures.
各種の負荷装置は,商用電源等の外部電源から供給される電力により動作する。このため,落雷等により外部電源の供給が瞬間的に停止(瞬停)したり,瞬停には至らないが瞬間的に電圧が低下(瞬時電圧低下)したりすると,負荷装置への電力供給が停止或いは不十分となるため,負荷装置の動作が停止したり,所望の動作をしなくなったりしてしまう。 Various load devices operate with electric power supplied from an external power source such as a commercial power source. For this reason, if the external power supply stops instantaneously (instantaneous power failure) due to lightning strikes, etc., or if the voltage drops instantaneously (instantaneous voltage decrease) without instantaneous power failure, Stops or becomes insufficient, so that the operation of the load device is stopped or the desired operation is not performed.
例えば,半導体ウェハをチップ状に分割するダイシング装置の例を挙げると,かかるダイシング装置では,スピンドルモータによって切削ブレードを回転させる切削ユニットや,半導体ウェハを保持するチャックテーブルを電動モータの駆動力によってX軸,Y軸方向に移動させるチャックテーブル移動機構などの負荷装置が,上記外部電源からの電力供給を受けて駆動している。このようなダイシング装置において,上記のような外部電源の瞬停あるいは瞬時電圧低下により,スピンドルモータ等の駆動が停止してしまうと,回転が停止した状態の切削ブレードが,X軸方向に移動する半導体ウェハと衝突して,切削ブレードおよび半導体ウェハの双方を損傷させてしまうことになる。 For example, as an example of a dicing apparatus that divides a semiconductor wafer into chips, in such a dicing apparatus, a cutting unit that rotates a cutting blade by a spindle motor and a chuck table that holds the semiconductor wafer are driven by an electric motor driving force X. A load device such as a chuck table moving mechanism that moves in the axial and Y-axis directions is driven by receiving power from the external power source. In such a dicing apparatus, when the drive of the spindle motor or the like is stopped due to the instantaneous power failure or the voltage drop of the external power supply as described above, the cutting blade in a state where the rotation is stopped moves in the X-axis direction. Colliding with the semiconductor wafer will damage both the cutting blade and the semiconductor wafer.
そこで,上記のような外部電源の瞬停または瞬時電圧低下に対応するため,いわゆるバッテリバックアップ方式の瞬停・瞬時電圧低下対策装置(無停電電源装置)が用いられている。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,外部電源の正常時には,外部電源からの電力をそのまま負荷装置に供給するとともに,内蔵するバッテリ等の蓄電手段を外部電源により充電しておく。一方,外部電源の瞬停または瞬時電圧低下等の異常時には,電力源を外部電源から蓄電手段に切り換え,この蓄電手段に蓄えられている電力を放電して,負荷装置に供給することができる。 Therefore, in order to cope with the instantaneous power failure or instantaneous voltage drop of the external power source as described above, a so-called battery backup type instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device (uninterruptible power supply device) is used. This instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device supplies power from the external power source to the load device as it is when the external power source is normal, and charges the storage means such as a built-in battery with the external power source. On the other hand, when the external power supply is in an abnormal state such as a momentary power failure or instantaneous voltage drop, the power source can be switched from the external power supply to the power storage means, and the power stored in the power storage means can be discharged and supplied to the load device.
このような瞬停・瞬時電圧低下対策装置では,入力された外部電源の電圧を測定し,この測定値と,予め設定された閾値とを比較することによって,入力された外部電源の電圧が正常であるか異常であるかを判定している。このような外部電源の電圧の正常/異常の判定基準となる閾値は,従来では固定値であることが一般的であった。このため,入力された外部電源の電圧が,当該固定閾値より大きければ正常と判定され,当該固定閾値より小さければ異常と判定されていた。 In such an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device, the voltage of the input external power supply is measured, and by comparing this measured value with a preset threshold value, the voltage of the input external power supply is normal. Or whether it is abnormal. Conventionally, a threshold value that is a criterion for determining whether the external power supply voltage is normal or abnormal is generally a fixed value. For this reason, if the input voltage of the external power supply is larger than the fixed threshold, it is determined to be normal, and if it is smaller than the fixed threshold, it is determined to be abnormal.
さらに,上記判定基準となる閾値を,外部電源の電圧波形の特性に応じて変更することが可能な瞬停・瞬時電圧低下対策装置も提案されている(例えば,特許文献1参照)。 Furthermore, an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device has been proposed that can change the threshold value serving as the determination criterion in accordance with the characteristics of the voltage waveform of the external power supply (see, for example, Patent Document 1).
上記従来の瞬停・瞬時電圧低下対策装置では,上記のような外部電源の電圧の正常/異常の判定基準となる閾値は,電力の供給を受ける負荷装置の消費電力(負荷)が最大となるときを想定して予め設定されていた。 In the above-mentioned conventional instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device, the power consumption (load) of the load device that receives power supply is maximized as the threshold value as a criterion for normality / abnormality of the external power supply voltage as described above. It was set in advance for the time.
しかしながら,負荷装置の消費電力は,常に最大消費電力となるわけではない。例えば,負荷装置が,上記切削ブレードを回転させるスピンドルモータを有する切削ユニットである場合を考えると,このスピンドルモータの消費電力は,被加工物の種類や切削加工の方式などによって異なる。具体的には,被加工物が切削抵抗の大きいガラス基板であるときには,スピンドルモータの消費電力は大きくなり,一方,被加工物が切削抵抗の小さいシリコン基板であるときには,スピンドルモータの消費電力は小さくなる。このように,実際には負荷装置は常に最大消費電力を消費して動作しているわけではない。 However, the power consumption of the load device is not always the maximum power consumption. For example, considering the case where the load device is a cutting unit having a spindle motor that rotates the cutting blade, the power consumption of the spindle motor varies depending on the type of workpiece and the cutting method. Specifically, when the workpiece is a glass substrate with a high cutting resistance, the power consumption of the spindle motor is large. On the other hand, when the workpiece is a silicon substrate with a low cutting resistance, the power consumption of the spindle motor is Get smaller. Thus, in practice, the load device does not always operate with the maximum power consumption.
ところが,上記のように最大消費電力(最大負荷)を想定した閾値によって電圧異常を検出する場合には,僅かな停電または電圧低下が生じた時であっても,即座に蓄電手段による電力のバックアップを行うような安全対策を講じる必要がある。 However, when a voltage abnormality is detected based on the threshold value assuming the maximum power consumption (maximum load) as described above, even if a slight power failure or voltage drop occurs, the power storage means immediately backs up the power. It is necessary to take safety measures such as
この理由は,瞬停・瞬時電圧低下対策装置と負荷装置との間に配設される整流器にある。この整流器は,瞬停・瞬時電圧低下対策装置からの交流電圧を直流電圧に変換して負荷装置に供給する機能を有しており,かかる変換のために通常はコンデンサが構成として含まれている。このコンデンサは,外部電源の正常時には電力を蓄電する一方,外部電源に異常が発生し整流器に電力が供給されなくなると,蓄電されている電力の放電を開始して,負荷装置に電力を供給することができる。このように,整流器内のコンデンサは,一時的にバッテリとしての役割を果たすことが可能である。かかる整流器内のコンデンサの放電状態を図8に示す。 The reason is the rectifier disposed between the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device and the load device. This rectifier has the function of converting the AC voltage from the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device into a DC voltage and supplying it to the load device. For such conversion, a capacitor is usually included as a configuration. . This capacitor stores electric power when the external power supply is normal, but when an abnormality occurs in the external power supply and power is no longer supplied to the rectifier, it starts discharging the stored electric power and supplies power to the load device be able to. Thus, the capacitor in the rectifier can temporarily serve as a battery. The discharge state of the capacitor in the rectifier is shown in FIG.
図8に示すように,整流器は,外部電源の正常時には外部電源の供給を受けて所定の出力電圧(例えば280V)を維持するが,外部電源に異常が生じると,内部のコンデンサの放電により,負荷装置に対する電力供給を維持しようとする。このコンデンサの放電では,時間の経過とともにコンデンサの蓄電量が低減するため,整流器の出力電圧は徐々に低下する。かかる場合に,電力の受け側である負荷装置が所定の許容電圧(例えば240V)までの電圧低下を許容できるように構成されているとすれば,瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,整流器の出力電圧が当該許容電圧に低下するまでの間に,バックアップを行えばよいことになる。 As shown in FIG. 8, when the external power supply is normal, the rectifier is supplied with the external power supply and maintains a predetermined output voltage (for example, 280 V). However, when an abnormality occurs in the external power supply, the internal capacitor discharges, Attempts to maintain power supply to the load device. In discharging this capacitor, the amount of electricity stored in the capacitor decreases with time, so the output voltage of the rectifier gradually decreases. In such a case, if the load device on the power receiving side is configured to allow a voltage drop to a predetermined allowable voltage (for example, 240 V), the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device is Backup is performed until the output voltage drops to the allowable voltage.
ここで問題となるのが,整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間であるが,整流器の出力電流が大きいほど,整流器の出力電圧が短時間で低下するため,当該時間は短くなる。この整流器の出力電流の大きさは,電力の供給を受ける負荷装置の消費電力(負荷)に応じて増減するものである。 The problem here is the time until the output voltage of the rectifier drops to the allowable voltage. However, the larger the output current of the rectifier, the shorter the time required because the output voltage of the rectifier decreases in a shorter time. . The magnitude of the output current of the rectifier increases and decreases according to the power consumption (load) of the load device that receives the power supply.
具体的に説明すると,図8の一点鎖線で示したように,負荷装置の消費電力が比較的小さい場合には,整流器の出力電流も小さくて済むため,整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間は比較的長くなる。一方,図8の破線で示したように,負荷装置の消費電力が比較的大きい場合には,整流器の出力電流が大きくなるため,整流器の出力電圧が許容電圧に低下するまでの時間は比較的短くなる。従って,瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,負荷装置の消費電力(負荷)が大きいほど,外部電源の異常時にバックアップを早期に行わなければならないといえる。 More specifically, as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 8, when the power consumption of the load device is relatively small, the output current of the rectifier can be small, so the output voltage of the rectifier decreases to an allowable voltage. The time until is relatively long. On the other hand, as shown by the broken line in FIG. 8, when the power consumption of the load device is relatively large, the output current of the rectifier increases, so the time until the output voltage of the rectifier decreases to the allowable voltage is relatively small. Shorter. Therefore, it can be said that the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device must perform backup earlier when the external power source is abnormal as the power consumption (load) of the load device is larger.
例えば,負荷装置が上記切削ユニットである場合において,切削抵抗の大きいガラス基板を切削加工するときには,切削ユニットの消費電力は,スペックにより定まる最大消費電力(100%)に近くなる。このため,瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,外部電源の異常発生後,早期にバックアップを行わなければならない。従って,電圧異常を検出する判定基準となる閾値のレベル(感度)を高く維持しなければならない。 For example, when the load device is the cutting unit described above, when cutting a glass substrate having a large cutting resistance, the power consumption of the cutting unit is close to the maximum power consumption (100%) determined by the specifications. For this reason, the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device must perform backup immediately after an external power supply abnormality occurs. Therefore, the threshold level (sensitivity) that serves as a criterion for detecting voltage abnormality must be kept high.
一方,切削抵抗の小さいシリコン基板を切削加工するときには,切削ユニットの消費電力は,上記最大消費電力の例えば19%以下であり,上記ガラス基板を切削加工する場合と比してかなり小さくなっている。このため,上記の理由により,外部電源に異常が発生してからバックアップを要する状態となるまでの時間に余裕があるので,ある程度の外部電源の電圧低下を許容することができる。従って,電圧異常を検出する判定基準となる閾値のレベル(感度)を下げることができる。 On the other hand, when cutting a silicon substrate with a low cutting resistance, the power consumption of the cutting unit is, for example, 19% or less of the maximum power consumption, which is considerably smaller than when the glass substrate is cut. . For this reason, since there is a sufficient time from the occurrence of abnormality in the external power supply to the time when backup is required, a certain level of voltage drop of the external power supply can be allowed. Therefore, the threshold level (sensitivity) that serves as a criterion for detecting voltage abnormality can be lowered.
しかしながら,上記従来の瞬停・瞬時電圧低下対策装置では,上述したように,負荷装置の実際の負荷状態とは無関係に,常に,最大消費電力(最大負荷)を想定した閾値を判定基準として,外部電源の電圧の正常/異常を判定していた。このため,負荷装置の負荷が低い場合などには,外部電源の電圧異常を検出する感度が必要以上に高くなってしまうことがあった。この結果,外部電源にノイズが多く含まれている環境下などでは,蓄電手段による不要なバックアップ動作を頻繁に行ってしまうため,蓄電手段の消耗や不具合が増大してしまうという問題があった。 However, in the conventional instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device, as described above, regardless of the actual load state of the load device, the threshold value that always assumes the maximum power consumption (maximum load) is always used as a criterion. The external power supply voltage was judged normal / abnormal. For this reason, when the load of the load device is low, the sensitivity to detect voltage abnormality of the external power supply may become higher than necessary. As a result, in an environment where the external power supply contains a lot of noise, unnecessary backup operation by the power storage means is frequently performed, and there is a problem that the power storage means is consumed and malfunctions increase.
なお,外部電源は複数の装置に電力を供給しているため,どうしてもノイズが含まれてしまう。このノイズは,図9に示すように微小な電圧低下となって現れる。かかるノイズの原因は様々あるが,その大きな原因のひとつに,他の装置の電源回路に設けられた整流器とコンデンサの存在が考えられる。一般的に,外部電源からの電力を装置に供給する場合,整流器によって交流電圧を直流電圧に変換した後,コンデンサによって滑らかな直流電圧にする。この場合,整流器に入力された交流電圧がコンデンサ電圧より高いレベルの時だけ整流器に電流が流れ,整流器に入力された交流電圧がコンデンサ電圧より低いレベルの時には,整流器によって阻止されて電流が流れない。このため,電源ラインの配線抵抗,および電源トランスが設けられている場合にはそのコイル抵抗によって,外部電源に電圧降下が発生する。従って,上記のような整流器およびコンデンサが他の装置に搭載されている場合には,その影響を受けて外部電源に一時的な電圧低下(即ち,ノイズ)が発生してしまう。 Since the external power supply supplies power to a plurality of devices, noise is inevitably included. This noise appears as a minute voltage drop as shown in FIG. There are various causes of such noise. One of the major causes is the presence of rectifiers and capacitors provided in the power supply circuits of other devices. In general, when power from an external power source is supplied to a device, an AC voltage is converted into a DC voltage by a rectifier and then converted into a smooth DC voltage by a capacitor. In this case, current flows through the rectifier only when the AC voltage input to the rectifier is higher than the capacitor voltage. When the AC voltage input to the rectifier is lower than the capacitor voltage, the current is blocked by the rectifier and does not flow. . For this reason, when a wiring resistance of the power supply line and a power transformer are provided, a voltage drop occurs in the external power supply due to the coil resistance. Therefore, when the rectifier and the capacitor as described above are mounted on another device, a temporary voltage drop (that is, noise) occurs in the external power source due to the influence.
本発明は,上記問題に鑑みてなされたものであり,本発明の目的とするところは,不要なバックアップ動作を低減して,蓄電手段の消耗や不具合を抑制することが可能な,新規かつ改良された瞬停・瞬時電圧低下対策装置等を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a novel and improved technique capable of reducing unnecessary backup operation and suppressing consumption and malfunction of power storage means. It is intended to provide an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device.
上記課題を解決するために,本発明の第1の観点によれば,負荷装置に対して,外部電源からの電力を供給するとともに,外部電源の電圧異常時には内部の蓄電手段からの電力を供給する,瞬停・瞬時電圧低下対策装置が提供される。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準に基づいて,外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定する判定手段と;判定手段によって外部電源に電圧異常が発生していると判定された場合に,負荷装置に対する電力源を,外部電源から蓄電手段に切り換える切換手段と;外部電源からの電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出する負荷検出手段と;検出された負荷状態に基づいて,判定基準を変更する判定基準変更手段と;を備えることを特徴とする。なお,瞬停とは,落雷等が原因で外部電源からの電力の供給が瞬間的に停止することをいい,瞬時電圧低下とは,瞬停にまでは至らないが外部電源の電圧が定格電圧よりも瞬間的に低下することをいう。 In order to solve the above-described problem, according to the first aspect of the present invention, power from an external power source is supplied to the load device, and power from internal power storage means is supplied when the voltage of the external power source is abnormal. A device for countermeasures against instantaneous interruption and voltage drop is provided. This instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device has a judging means for judging whether or not a voltage abnormality has occurred in the external power supply based on a judgment criterion relating to the presence or absence of a voltage abnormality in the external power supply; Switching means for switching the power source for the load device from the external power source to the power storage means when it is determined that a voltage abnormality has occurred; the load state of the load device that is operating upon receiving power supply from the external power source A load detection means for detecting the load; and a determination reference change means for changing the determination reference based on the detected load state. An instantaneous power failure means that the supply of power from an external power supply stops momentarily due to a lightning strike, etc. An instantaneous voltage drop means that the voltage of the external power supply does not reach the instantaneous power failure but the voltage of the external power supply Rather than a momentary drop.
かかる構成により,外部電源の電圧低下が発生したときには,判定手段は,当該電圧低下が負荷装置の動作に支障が生じる程度の電圧異常(瞬停,瞬時電圧低下等)であるか否かを,判定基準変更手段によって設定されている判定基準に基づいて判定することができる。この結果,電圧異常であると判定された場合には,切換手段が電力源を外部電源から蓄電手段に切り換えることにより,負荷装置に対する電力をバックアップすることができる。このため,外部電源の電圧異常が発生しても,負荷装置に対する電力供給を確保することができるので,負荷装置の動作が停止したり,不具合が生じたりすることがない。 With such a configuration, when a voltage drop of the external power supply occurs, the determination means determines whether or not the voltage drop is a voltage abnormality (instantaneous power failure, instantaneous voltage drop, etc.) to the extent that the load device operation is hindered. The determination can be made based on the determination criterion set by the determination criterion changing means. As a result, when it is determined that the voltage is abnormal, the switching unit switches the power source from the external power source to the power storage unit, so that the power to the load device can be backed up. For this reason, even if a voltage abnormality of the external power supply occurs, the power supply to the load device can be secured, so that the operation of the load device does not stop or cause a problem.
さらに,上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,上記判定基準を,負荷装置の負荷状態に応じて変更できる点が特徴的である。つまり,負荷装置は,最大負荷に近い状態で動作している時と,負荷に余裕がある状態で動作している時とでは消費電力に差があるため,外部電源の電圧低下によって負荷装置の動作に支障を生ずるか否かは,当該負荷装置の負荷状態によって異なる。そこで,上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置では,負荷検出手段が,外部電源の電力によって動作中の負荷装置の負荷状態を検出し,判定基準変更手段が,負荷検出手段によって検出された負荷状態に基づいて判定基準を動的に変更し,判定手段が,判定基準変更手段によって変更設定された判定基準に基づいて,入力されてくる外部電源の電圧異常の有無をリアルタイムで判定する構成を採用している。この構成において,判定基準変更手段は,負荷装置の負荷が大きいほど電圧異常を検出する感度が高くなるように,判定基準を変更する。これにより,判定手段は,負荷装置の負荷状態に応じた好適な判定基準で,外部電源の電圧異常の有無を検出することができる。このため,負荷装置の負荷が小さい時に,バックアップが不要な程度の軽微な電圧低下が発生しても,電力源のバックアップ動作を行わないようにできる。一方,同じ程度の軽微な電圧低下が発生しても,負荷装置の負荷が最大負荷に近い時には,バックアップ動作を行うことができる。この結果,瞬停・瞬時電圧低下対策装置は,負荷装置の負荷状態に応じて不要なバックアップ動作を回避して,内蔵するバッテリ等の蓄電手段の消耗や不具合を回避できる。 Further, the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device is characterized in that the determination criterion can be changed according to the load state of the load device. In other words, since the load device has a difference in power consumption when it is operating near the maximum load and when it is operating with sufficient load, the load device's voltage drops due to the voltage drop of the external power supply. Whether the operation is hindered depends on the load state of the load device. Therefore, in the above instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device, the load detecting means detects the load state of the operating load device by the power of the external power source, and the judgment reference changing means is the load state detected by the load detecting means. Based on the criteria, the judgment criteria are dynamically changed, and the judgment means adopts a configuration that judges in real time whether there is a voltage abnormality of the input external power source based on the judgment criteria changed and set by the judgment criteria changing means doing. In this configuration, the determination criterion changing means changes the determination criterion so that the sensitivity of detecting a voltage abnormality increases as the load of the load device increases. Thereby, the determination means can detect the presence / absence of a voltage abnormality of the external power source with a suitable determination criterion corresponding to the load state of the load device. For this reason, when the load of the load device is small, the backup operation of the power source can be prevented from being performed even if a slight voltage drop that does not require backup occurs. On the other hand, even when the same minor voltage drop occurs, the backup operation can be performed when the load of the load device is close to the maximum load. As a result, the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device can avoid unnecessary backup operation according to the load state of the load device, and can avoid the exhaustion and malfunction of the power storage means such as the built-in battery.
また,上記判定基準は,電圧閾値と時間閾値との組からなる,ように構成してもよい。かかる構成により,判定手段は,外部電源の電圧が電圧閾値を下回る時間が,時間閾値以上である場合には,外部電源に電圧異常が発生していると判定することができる。また,判定基準変更手段は,負荷装置の負荷が大きいほど,電圧閾値を大きくするように,あるいは時間閾値を小さくするように判定基準を変更することで,負荷状態に応じた好適な判定基準に変更できる。 Further, the determination criterion may be configured to include a set of a voltage threshold and a time threshold. With this configuration, the determination unit can determine that a voltage abnormality has occurred in the external power supply when the time during which the voltage of the external power supply falls below the voltage threshold is equal to or greater than the time threshold. In addition, the criterion changing means changes the criterion so that the voltage threshold is increased or the time threshold is decreased as the load of the load device is increased, so that the criterion is changed to a suitable criterion according to the load state. Can be changed.
また,上記判定基準変更手段は,負荷装置の負荷レベルに応じて予め設定された複数の判定基準を有しており,この複数の判定基準の中から,検出された負荷状態に応じた1つの判定基準を選択する,ように構成してもよい。かかる構成により,判定基準変更手段は,負荷装置の負荷をその大きさによって複数段階に区分した負荷レベルごとに,予め設定された複数の判定基準を有することができる。このため,判定基準変更手段は,負荷検出手段から負荷装置の負荷状態に関するデータが入力されると,かかる負荷状態が如何なる負荷レベルに属するかを判別し,判別された負荷レベルに対応して設定されている判定基準を選択することができる。これにより,判定基準変更手段は,負荷状態に応じた判定基準に容易かつ明確に変更することができる。 Further, the determination criterion changing means has a plurality of determination criteria set in advance according to the load level of the load device, and one of the plurality of determination criteria is selected according to the detected load state. It may be configured to select a determination criterion. With this configuration, the determination criterion changing means can have a plurality of predetermined determination criteria for each load level obtained by dividing the load of the load device into a plurality of stages. For this reason, when the data related to the load state of the load device is input from the load detection unit, the determination criterion changing unit determines which load level the load state belongs to, and sets it according to the determined load level. Can be selected. Thereby, the judgment reference changing means can easily and clearly change the judgment reference according to the load state.
また,上記負荷検出手段は,外部電源から負荷装置に供給される電力の電流値を測定し,測定した電流値と,外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出し,算出した消費電力に基づいて,負荷装置の負荷状態を検出する,ように構成してもよい。かかる構成により,負荷検出手段は,負荷装置の負荷状態を容易かつ迅速に検出することができる。 The load detecting means measures a current value of power supplied from the external power source to the load device, calculates power consumption based on the measured current value and the rated power of the external power source, and calculates the calculated power consumption. Based on the above, the load state of the load device may be detected. With this configuration, the load detection unit can easily and quickly detect the load state of the load device.
また,上記課題を解決するために,本発明の別の観点によれば,上記のような瞬停・瞬時電圧低下対策装置を備えることを特徴とする,加工装置が提供される。かかる構成により,加工装置は,負荷装置の負荷状態に応じて電圧異常の判定基準を好適に変更し,不要なバックアックアップ動作を抑制できる瞬停・瞬時電圧低下対策装置を備えることができる。このため,加工装置は,内蔵する1又は2以上の負荷装置(電動モータ等の駆動装置など)に対して安定して電力を供給できる。 In order to solve the above-mentioned problems, according to another aspect of the present invention, there is provided a machining apparatus comprising the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device as described above. With such a configuration, the machining apparatus can be provided with a momentary power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device that can suitably change the determination criterion of voltage abnormality in accordance with the load state of the load device and suppress unnecessary backup operation. For this reason, the processing device can stably supply power to one or more load devices (such as a drive device such as an electric motor) incorporated therein.
また,上記課題を解決するために,本発明の別の観点によれば,外部電源の電圧異常を検出する瞬停・瞬時電圧低下検出方法が提供される。この瞬停・瞬時電圧低下検出方法は,外部電源からの電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出するステップと;検出された負荷状態に基づいて,外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準を変更するステップと;変更された判定基準に基づいて,外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定するステップと;を含むことを特徴とする。 In order to solve the above problem, according to another aspect of the present invention, there is provided an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method for detecting a voltage abnormality of an external power supply. The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method includes a step of detecting a load state of a load device operating by receiving power from an external power source; and a voltage abnormality of the external power source based on the detected load state. A step of changing a determination criterion relating to presence / absence; and a step of determining whether or not a voltage abnormality has occurred in the external power source based on the changed determination criterion.
かかる構成により,外部電力の供給先である負荷装置の負荷状態に応じた好適な判定基準によって,外部電源の電圧異常の有無を判定できる。このため,当該負荷装置の動作に支障が生じる程度の電圧低下であれば電圧異常であると判定し,一方,当該負荷装置の動作に支障が生じない程度の電圧低下であれば電圧異常でないと判定することができる。従って,負荷装置の動作に支障が生ずるか否かを基準として,外部電源の電圧異常を的確に検出できる。 With this configuration, it is possible to determine whether there is an abnormality in the voltage of the external power source based on a suitable determination criterion according to the load state of the load device that is the supply destination of the external power. Therefore, if the voltage drop is such that the operation of the load device is hindered, it is determined that the voltage is abnormal. On the other hand, if the voltage drop is such that the operation of the load device is not hindered, the voltage is not abnormal. Can be determined. Therefore, it is possible to accurately detect the voltage abnormality of the external power supply based on whether or not the operation of the load device is hindered.
また,上記負荷装置の負荷状態を検出するステップは,外部電源から負荷装置に供給される電力の電流値を測定するステップと;測定した電流値と,外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出するステップと;算出した消費電力に基づいて,負荷装置の負荷状態を検出するステップと;を含む,ように構成してもよい。かかる構成により,負荷装置の負荷状態を容易かつ迅速に検出することができる。 Further, the step of detecting the load state of the load device includes a step of measuring a current value of power supplied from the external power source to the load device; power consumption based on the measured current value and the rated power of the external power source. And a step of detecting a load state of the load device based on the calculated power consumption. With this configuration, the load state of the load device can be detected easily and quickly.
また,上記判定基準は,電圧閾値と時間閾値との組からなる,ように構成してもよい。かかる構成により,外部電源の電圧が電圧閾値を下回る時間が時間閾値異常である場合には,外部電源に電圧異常が発生していると判定することができる。また,負荷装置の負荷状態が大きいほど,電圧閾値を大きくするように,あるいは時間閾値を小さくするように判定基準を変更することで,負荷状態に応じた好適な判定基準に変更できる。 Further, the determination criterion may be configured to include a set of a voltage threshold and a time threshold. With such a configuration, when the time during which the voltage of the external power supply falls below the voltage threshold is a time threshold abnormality, it can be determined that a voltage abnormality has occurred in the external power supply. In addition, as the load state of the load device is larger, the determination criterion is changed so as to increase the voltage threshold value or decrease the time threshold value, so that the determination criterion can be changed to a suitable determination criterion corresponding to the load state.
また,上記判定基準を変更するステップでは,負荷装置の負荷レベルに対応して予め設定されている複数の判定基準の中から,検出された負荷状態に応じた1つの判定基準を選択する,ように構成してもよい。かかる構成により,判定基準を負荷状態に応じて容易かつ明確に変更することができる。 Further, in the step of changing the determination criterion, one determination criterion corresponding to the detected load state is selected from a plurality of determination criteria set in advance corresponding to the load level of the load device. You may comprise. With this configuration, the determination criterion can be easily and clearly changed according to the load state.
以上説明したように本発明によれば,外部電源の電圧異常を判定するための判定基準を,負荷装置の負荷状態に応じた適正な判定基準に変更することができる。このため,負荷装置の負荷に余裕があるにもかかわらず,ノイズのような微小な瞬停または瞬時電圧低下にまで敏感に反応して,不要なバックアップを行うことを低減できる。従って,バッテリ等の蓄電手段の消耗や不具合を抑制することができる。 As described above, according to the present invention, the determination criterion for determining the voltage abnormality of the external power supply can be changed to an appropriate determination criterion according to the load state of the load device. For this reason, it is possible to reduce unnecessary backup by reacting sensitively to a minute instantaneous power failure such as noise or an instantaneous voltage drop even though the load of the load device has a margin. Therefore, it is possible to suppress the consumption and malfunction of the storage means such as the battery.
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
(第1の実施形態)
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置が適用されるダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
(First embodiment)
First, the overall configuration of a
図1に示すように,ダイシング装置10は,例えば,半導体ウェハなどの被加工物12を切削加工する切削ユニット20と,切削ユニット20を例えばY軸およびZ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構30と,被加工物12を保持するチャックテーブル40と,チャックテーブル40を例えばX軸およびY軸方向に移動させるチャックテーブル移動機構50と,被加工物12を洗浄する洗浄手段60と,被加工物12を搬送する搬送手段70と,から構成される。
As shown in FIG. 1, a
このうち,切削ユニット20は,図2に示すように,例えば,略リング形状を有する極薄の切削砥石である切削ブレード22と,切削ブレード22を両側より挟持してスピンドル24に装着するフランジ23と,一端に切削ブレード22が装着され,他端でスピンドルモータM1と連結されたスピンドル24と,スピンドル24を高速回転させる回転駆動力を発生する電動モータ(スピンドルモータ)M1と,スピンドル24を回転可能に支持するスピンドルハウジング26と,加工点に切削水を供給して冷却する切削水供給ノズル27と,切削ブレード22の外周を覆って切削水や切り屑などの飛散を防止するホイルカバー28とを備える。かかる構成の切削ユニット20は,切削ブレード22を高速回転させながら被加工物12に切り込ませることにより,被加工物12の加工面を切削することができる。
Among these, as shown in FIG. 2, the cutting
図1に戻り,切削ユニット移動機構30は,電動モータM2の回転駆動力により切削ユニット20をZ軸方向に移動させて,被加工物12に対する切削ブレード22の切り込み深さを調整することができる。また,この切削ユニット移動機構30は,電動モータM3の駆動力により切削ユニット20をY軸方向に移動させ,被加工物12上の切削ラインに切削ブレード22の刃先位置を合わせることができる。
Returning to FIG. 1, the cutting
チャックテーブル40は,例えば,真空チャック等を備えた略円盤状のテーブルである。このチャックテーブル40は,例えば,ウェハテープ13を介してフレーム14に支持された状態の被加工物12を,真空吸着して保持することができる。
The chuck table 40 is a substantially disk-shaped table provided with a vacuum chuck or the like, for example. The chuck table 40 can hold, for example, the
チャックテーブル移動機構50は,電動モータM3,M4の回転駆動力により,チャックテーブル40それぞれX軸およびY軸方向に移動させることができる。これにより,切削加工前には,チャックテーブル40上に保持された被加工物12を位置調整できるとともに,切削加工中には,被加工物12を上記切削ユニット20に対して切削ライン方向(例えばX軸方向)に相対移動させることができる。
The chuck
洗浄手段60は,例えばスピンナ洗浄装置等で構成されており,電動モータM6の回転駆動力によって被加工物12を回転させながら洗浄水を噴射することで,切削加工された被加工物12を洗浄することができる。
The cleaning means 60 is composed of, for example, a spinner cleaning device or the like, and cleans the
また,搬送手段70は,被加工物12をピックアップした搬送アームを電動モータM7の回転駆動力によって回動させ,チャックテーブル40,洗浄手段60および搬出入用カセット(図示せず。)の間で,被加工物12を搬送することができる。
Further, the conveying
このような構成のダイシング装置10は,高速回転させた切削ブレード22を被加工物12に所定の切り込み深さで切り込ませながら,切削ユニット20とチャックテーブル40とを例えばX軸方向に相対移動させることができる。これにより,被加工物12の加工面を切削加工して,切削ラインに沿って極薄の切溝(カーフ)を形成することができる。かかる切削加工を複数の切削ラインについて繰り返すことにより,被加工物12をダイシング加工して,複数のチップに分割することができる。
The dicing
以上のように,ダイシング装置10を構成する切削ユニット20,切削ユニット移動機構30,チャックテーブル移動機構50,洗浄手段60,搬送手段70等は,本実施形態にかかる負荷装置として構成されている。このような負荷装置は,それぞれ,駆動源である電動モータM1〜7(以下では,「電動モータM」と総称する場合もある。)を備えており,かかる電動モータMが電力の供給を受けて駆動することによって,上記各負荷装置の動作を行うことができる。
As described above, the cutting
次に,図3に基づいて,上記ダイシング装置10内の各負荷装置に電力を供給するための回路構成について説明する。なお,図3は,本実施形態にかかるダイシング装置10が具備する負荷装置に電力を供給するための回路構成の概要を示すブロック図である。
Next, a circuit configuration for supplying power to each load device in the
図3に示すように,本実施形態では,商業電源200からの電力は,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100−1,2,…,7,整流器90−1,2,…,7,および駆動回路80−1,2,…,7を介して,各負荷装置20,30,50,60,70内の電動モータM1〜7に供給される。
As shown in FIG. 3, in this embodiment, the power from the
商用電源200は,例えば,ダイシング装置10等の加工装置に対して,外部から電力を供給するために利用される一般的な交流電源であり,本実施形態にかかる外部電源として構成されている。
The
瞬停・瞬時電圧低下対策装置100−1,2,…,7(以下,「瞬停・瞬時電圧低下対策装置100」という。)は,例えば,バッテリバックアップ式の無停電電源装置である。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,商用電源200の電圧が正常である時には,当該商業電源200からの電力をそのまま整流器90に供給するが,商用電源200に瞬停/瞬時電圧低下等の電圧異常が生じている時には,電力源を,商用電源200から内蔵バッテリに切り換えて,このバッテリに蓄電されている電力を整流器90に供給できる。このように,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,商用電源200の異常時に電力をバックアップすることができるが,詳細については後述する。
The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure devices 100-1, 2,..., 7 (hereinafter referred to as “instantaneous power failure / instantaneous voltage
なお,本実施形態では,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,ダイシング装置10が具備する各電動モータM1〜7に対応してそれぞれ個別に設けられている。これにより,各電動モータM1〜7の特性(負荷,連続駆動時間等)に対応するように調整された瞬停・瞬時電圧低下対策装置100を個別に配設して,各電動モータM1〜7に対して効率的に電力供給できるというメリットがある。しかし,かかる例に限定されず,例えば,全ての電動モータM1〜7(即ち,ダイシング装置10内の負荷装置の全て)に対して1つの瞬停・瞬時電圧低下対策装置100だけを設けるように構成してもよいし,或いは,電動モータM1〜7を複数のグループにグループ化(例えば負荷装置ごとにグループ化)し,かかるグループごとにそれぞれ1つの瞬停・瞬時電圧低下対策装置100を割り当てるようにしてもよい。これにより,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100の設置数を低減できるので,設置コスト,設置スペースの面でメリットがある。
In the present embodiment, the instantaneous power failure / instantaneous voltage
また,このような瞬時電圧低下対策装置100は,例えば,ダイシング装置10等の加工装置に内蔵されていてもよいし,或いは,当該加工装置とは別体に構成され,当該加工装置に外部接続(外付け)されてもよい。
Such an instantaneous voltage
整流器90−1,2,…,7(以下「整流器90」という。)は,例えば,半導体ダイオード,コンデンサなどで構成されており,入力された交流電圧を直流電圧に変換して出力することができる。また,この整流器90は,上述したように,通常時には内部のコンデンサに電力を蓄電し,商用電源200の電圧異常時には,コンデンサに蓄電した電力を放電して,一時的にバックアップ電力を供給することができる。なお,かかる整流器90は,例えば,上記瞬停・瞬時電圧低下対策装置100に含まれるように構成してもよいし,あるいは,切削ユニット20等の負荷装置に含まれるように構成してもよい。
The rectifiers 90-1, 2,..., 7 (hereinafter referred to as “
駆動回路80−1,2,…,7(以下「駆動回路80」という。)は,例えば,各負荷装置(切削ユニット20,切削ユニット移動機構30等)内に設けられる電動モータMの駆動を制御するための回路である。この駆動回路80は,整流器90から入力された直流電力から,各電動モータMを駆動させるための電気信号を生成して,各電動モータMに供給する。この結果,各電動モータMが回転駆動力を発生し,かかる回転駆動力によってダイシング装置10の各負荷装置が上述のように動作する。
The drive circuits 80-1, 2,..., 7 (hereinafter referred to as “
次に,図4に基づいて,本実施形態の特徴である瞬停・瞬時電圧低下対策装置100の構成について説明する。なお,図4は,本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100の概略的な構成を示すブロック図である。
Next, the configuration of the instantaneous power failure / instantaneous voltage
図4に示すように,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,例えば,判定手段102と,切換手段104と,充電回路106と,バッテリ108と,DC/AC変換回路110と,負荷検出手段112と,判定基準変更手段114と,を備える。この瞬停・瞬時電圧低下対策装置100では,電源供給ラインとして,例えば,第1の経路120と第2の経路130とが分岐するように設けられている。第1の経路120上には,例えば切換回路104が配され,また,第2の経路130上には,例えば,充電回路106,バッテリ108およびDC/AC変換回路110がこの順で直列に配されている。
As shown in FIG. 4, the instantaneous power failure / instantaneous voltage
判定手段102は,例えば,第1の経路120と第2の経路130の分岐部と,商用電源200との間に設けられ,外部の交流電源である商用電源200と直接的に接続されている。この判定手段102は,入力された商用電源200の電圧を検出して,商用電源200の電圧異常(瞬停,瞬時電圧低下)の有無を判定することができる。この判定手段102による電圧異常の判定は,例えば,電圧閾値と時間閾値との組み合わせからなる判定基準に基づいて行われるが,詳細は後述する。判定手段102の判定結果を表す信号は,切換手段104に出力される。
The
切換手段104は,例えば,各負荷装置の電動モータMへの電力源として,商用電源200とバッテリ108とを切り換える切換回路であり,この切換動作は,上記判定手段102の判定結果に基づいて行われる。具体的には,切換手段104は,判定手段102から商用電源200に電圧異常が発生したとの判定結果を表す信号が入力されると,電力源を商用電源200からバッテリ108に切り換えるよう制御する。具体的には,DC/AC変換回路110に対して切換信号を出力し,バッテリ45に蓄電された電力を放電するように制御する。
The switching means 104 is, for example, a switching circuit that switches between the
一方,切換手段104は,判定手段102から商用電源200の電圧異常が解消したとの判定結果を表す信号が入力されると,電力源をバッテリ108から商用電源200に切り換えるよう制御する。具体的には,DC/AC変換回路110に対して切換信号を出力してバックアップを中止させるとともに,判定手段102から自身に入力されてくる商用電源200の電力を負荷検出手段112に供給する。
On the other hand, the switching means 104 controls the power source to be switched from the
充電回路106は,判定手段102から入力された商用電源200の電力を,バッテリ108に蓄電するための制御回路である。
The charging
バッテリ108は,例えば,商用電源200の電力によって充電される充電池等であり,本実施形態にかかる蓄電手段として構成されている。このバッテリ108は,入力側が上記充電回路106と接続され,出力側がDC/AC変換回路110に接続されている。かかるバッテリ108は,商用電源200の正常時には電力を蓄電し,異常時には蓄えた電力をバックアップ用電力として放電することができる。なお,このバッテリ108の代わりに,例えば,並列に配置された複数のコンデンサなどで蓄電手段を構成し,バックアップに必要な電力を蓄電/放電できるようにしてもよい。
The
DC/AC変換回路110は,バッテリ108から入力された直流電圧を交流電圧に変換して出力する変換手段である。このDC/AC変換回路110は,切換回路104からの切換信号によって,バッテリ108に蓄電された電力を放電させ,交流に変換して負荷検出手段112に供給することができる。このDC/AC変換回路110の出力側は,切換回路104と負荷検出手段112との間に接続されている。
The DC /
このように,第1の経路120は,商用電源200の正常時に商用電源200からの電力を通すための経路であり,一方,第2の経路130は,瞬停等に備えて商用電源200の電力をバッテリ108に蓄電しておくとともに,瞬停等の商用電源200の電圧異常時にはバッテリ108に蓄電された電力を放電するための経路である。
Thus, the
従って,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,商用電源200の正常時は,第1の経路120を介して商用電源200の電力を整流器90に出力し,一方,商用電源200の電圧異常時は,第2の経路42を介してバッテリ108の電力を整流器90に出力することができる。このように,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100が出力した電力は,整流器90によって直流に変化された上で駆動回路80に供給され,駆動回路80および電動モータMの電力源となる。
Therefore, the instantaneous power failure / instantaneous voltage
さらに,例えば,第1の経路120と第2の経路130との合流部と,整流器90との間には,負荷検出手段112が設けられている。この負荷検出手段112は,例えば,電流計および演算回路などで構成されており,負荷装置(即ち,駆動回路80および電動モータM)の負荷状態を検出する機能を有する。
Further, for example, a
本実施形態では,この負荷検出手段112は,自身を流れる電流値を測定し,かかる測定電流値に基づいて消費電力を算出し,この算出した消費電力によって負荷装置の負荷状態を検出する構成を採用している。即ち,上記のような回路構成により,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100から負荷装置に供給される商用電源200の電力は,負荷検出手段112を通って出力される。このとき,負荷検出手段112に流れる電流値は,負荷装置の負荷に応じて増減する。また,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100から供給される電力の電圧は,所定の振幅および周期を有する交流電圧(商用電源200の定格電圧)であり,負荷装置の負荷にかかわらず一様に変化する。従って,負荷検出手段112は,上記のように,自身を流れる電流値を測定し,この測定電流値に定格電圧値を乗じることにより,消費電力を算出することができる。
In the present embodiment, the load detection means 112 measures a current value flowing through itself, calculates power consumption based on the measured current value, and detects a load state of the load device based on the calculated power consumption. Adopted. That is, with the circuit configuration as described above, the power of the
このように交流電源の電流値と電圧値を乗じて算出した消費電力[kVA]は,厳密な意味では,実際に負荷装置が仕事を行うため消費した電力(即ち,実際の負荷装置の負荷)[kW]とは異なり,「有効電力[kW]」と「無効電力」との和で表される表面上電力(皮相電力)である。これは,交流電源の場合には,電圧と電流の位相がずれるため,全ての電力が有効に消費されるわけではないので,上記算出した消費電力[kVA]は,実際に負荷装置が仕事に消費した電力(有効電力)と,全く仕事をしない電力(無効電力)とを含むからである。 The power consumption [kVA] calculated by multiplying the current value and voltage value of the AC power supply in this way is, in a strict sense, the power consumed by the load device actually performing work (that is, the load of the actual load device). Unlike [kW], it is the surface power (apparent power) represented by the sum of “active power [kW]” and “reactive power”. This is because in the case of an AC power supply, the voltage and current are out of phase, so not all power is consumed effectively. Therefore, the calculated power consumption [kVA] This is because it includes consumed power (active power) and power that does not work at all (reactive power).
しかし,上記算出した消費電力[kVA]は,実際の負荷装置の負荷[kW]と例えばリニアな相関を示すものである(例えば,[kVA]に力率(例えば0.8)を乗じて[kW]に換算できる。)。よって,負荷検出手段112は,上記算出した消費電力[kVA]の大きさによって,負荷装置の負荷状態を検出することが可能である。本実施形態にかかる負荷検出手段112は,このようにして検出した負荷状態を,例えば,最大負荷に対する割合(即ち,負荷率)で表す。
However, the calculated power consumption [kVA] indicates, for example, a linear correlation with the actual load [kW] of the load device (for example, [kVA] is multiplied by a power factor (for example, 0.8) [ kW].). Therefore, the
即ち,負荷検出手段112は,例えば,電力供給先の負荷装置の負荷が最大負荷となるときの最大消費電力[kVA]を予め測定して,保有している。負荷検出手段112は,実際に商用電源200の供給を受けて負荷装置が動作しているときの消費電力[kVA]を上記のように算出し,上記「最大消費電力[kVA]」に対する「算出した消費電力[kVA]」の割合(例えば0〜100%)である負荷率を算出し,この負荷率を当該負荷装置の現在の負荷状態として出力する。
That is, for example, the
例えば,負荷装置が上記切削ユニット20である場合について具体的に説明する。切削ユニット20が最大負荷となる状態(例えば,加工が予定されている被加工物12の中で最大の切削抵抗を有する被加工物12(例えば厚いガラス基板)を最大送り速度で切削加工している状態)において,上記負荷検出手段112によって消費電力[kVA]を測定し,最大消費電力[kVA]として記録しておく。例えば,この最大消費電力が4.0[kVA]であったとする。この条件下で,切削ユニット20が他の被加工物12として例えばCSP(Chip Size Package)基板を切削加工している状態において,消費電力が例えば3.0[kVA]と算出された場合には,上記負荷検出手段112は当該切削ユニット20の負荷状態が負荷率75%(3.0/4.0=0.75)であると検出する。また,比較的切削抵抗が低いシリコン基板などを切削加工している状態において,消費電力が0.8[kVA]と算出された場合には,上記負荷検出手段112は当該切削ユニット20の負荷状態が負荷率20%(0.8/4.0=0.2)であると検出する。
For example, the case where the load device is the cutting
このようにして,負荷検出手段112は,商用電源200の供給を受けて駆動している負荷装置の負荷状態を検出し,この負荷状態を例えば0〜100%の範囲の負荷率として出力する。負荷検出手段112は,このように検出した負荷装置の負荷状態のデータ(例えば負荷率)を,判定基準変更手段114に出力する。
In this way, the
判定基準変更手段114は,上記負荷検出手段112によって検出された負荷装置の負荷状態に基づいて,上記判定手段102が商用電源200の正常/異常を判定するための判定基準を変更する機能を有する。
The determination
この判定基準変更手段114は,例えば,負荷装置の負荷レベル毎に予め設定された複数の判定基準を,記録部(図示せず。)等に記録して保有している。この負荷レベルとは,負荷装置の負荷をその大きさに応じて複数のレベルに区分したものであり,本実施形態では,例えば,上記負荷率を基準として,第1レベル(例えば負荷率が0〜20%),第2レベル(20〜40%),第3レベル(40〜60%),第4レベル(60〜80%)および第5レベル(80〜100%)からなる5つの負荷レベルに区分されている。
For example, the determination
また,本実施形態にかかる判定基準は,例えば,商用電源200の電圧に関する閾値である電圧閾値と,商用電源200の電圧低下の継続時間に関する閾値である時間閾値との組み合わせからなり,この電圧閾値と時間閾値との組である判定基準が,上記負荷レベルごとにそれぞれ設定されている。このような負荷レベルに応じた複数の判定基準は,過去の実験や測定などにより蓄積されたデータに基づいて好適に設定されたものである。
In addition, the determination criterion according to the present embodiment includes, for example, a combination of a voltage threshold that is a threshold related to the voltage of the
より詳細には,かかる判定基準は,例えば,上記図8で説明したように,商用電源200の異常発生後,整流器90内のコンデンサの放電による一時的なバックアップでは対応不能となるまでの間(即ち,整流器90の出力電圧が許容電圧(例えば240V)に低下するまでの間)に,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100による電力のバックアップが開始されるように設定される。具体的には,例えば,図5に示すように,整流器90からの出力電圧が上記許容電圧(例えば240V)まで低下するまでの時間と,整流器90からの出力電流の大きさ(負荷装置の負荷に対応する。)との関係を表したグラフを,実験データ等に基づいて作成する。次いで,図5のグラフ線と,縦軸及び横軸とで囲まれる領域(図5のハッチングを施した領域)内の条件のときに,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100によるバックアップがなされるように,上記判定基準の電圧閾値および時間閾値を負荷レベル毎に設定する。かかる手法により,整流器90によるバックアップがオーバーフローしない範囲内で,負荷装置の負荷レベルが高いときには僅かな電圧低下でも電圧異常が発生したと判定し,一方,負荷レベルが低いときにはノイズのような微細な電圧低下では電圧異常とは判定しないように,電圧異常の判定基準を負荷レベル毎に設定できる。
More specifically, for example, as described above with reference to FIG. 8, such a determination criterion is a period from when an abnormality occurs in the
判定基準変更手段114は,以上のようにして予め設定された複数の判定基準を保有しており,負荷検出手段112から負荷装置の負荷状態(負荷率)が入力されると,当該負荷状態が如何なる負荷レベルに属するかを判別し,保有している複数の判定基準の中から,判別された負荷レベルに対応する1つの判定基準を選択する。さらに,判定基準変更手段114は,選択した判定基準を判定手段102に出力し,判定基準の変更を設定する。判定手段102は,判定基準変更手段114によって判定基準の変更設定がなされると,その後は,変更された判定基準に基づいて,商用電源200の電圧異常の有無,即ち,瞬停あるいは瞬時電圧低下が発生したか否かを判定する。
The determination
ここで,以下の表1に基づいて,負荷装置が切削ユニット20である場合の判定基準の具体例について説明する。なお,表1は,切削ユニット20の各負荷レベルに応じて設定された電圧閾値および時間閾値を示すテーブルである。
Here, based on the following Table 1, the specific example of the determination reference | standard in case a load apparatus is the cutting
表1に示すように,切削ユニット20に関しては,切削ユニット20の負荷状態に応じて例えば5つの判定基準(判定基準A〜E)が設定されている。この切削ユニット20の負荷状態は,例えば,負荷率20%ごとに5段階の負荷レベルにランク分けされている。また,各判定基準A〜Eでは,電圧閾値および時間閾値がそれぞれ設定されている。電圧閾値は,例えば,全ての判定基準A〜Eに共通して固定電圧閾値(例えば170V)に設定されている。一方,時間閾値は,例えば,負荷レベルが高いほど短時間となるように設定されており,負荷レベルが最も低いとき(負荷率0〜20%)は11.2msであり,負荷レベルが最も高いとき(負荷率80〜100%)は0.7msである。
As shown in Table 1, for the cutting
このように,表1にかかる判定基準は,商用電源200の電圧が固定電圧値(170V)以下に低下したときの継続時間が,時間閾値より大きいか否かに基づいて,商用電源200の電圧の正常/異常を判定するように設定されている。
Thus, the criterion according to Table 1 is that the voltage of the
具体的には,切削ユニット20がガラス基板を切削加工するときには,切削ユニット20の負荷状態は負荷率が80〜100%の範囲の負荷レベルに該当するので,判定基準変更手段114は判定基準Eを選択する。この判定基準Eは,「商用電源200の入力電圧として,170V以下の電圧が0.7ms以上継続した場合には,瞬停・瞬時電圧低下が発生したと判定する。」というものであり,電圧異常を検出する感度が最も高い判定基準が選択されることになる。
Specifically, when the cutting
また,シリコン基板を切削加工するときには,切削ユニット20の負荷状態は負荷率が0〜20%の範囲の負荷レベルに該当するので,判定基準変更手段114は判定基準Aを選択する。この判定基準Aは,「商用電源200の入力電圧として,170V以下の電圧が11.2ms以上継続した場合には,瞬停・瞬時電圧低下が発生したと判定する。」というものであり,電圧異常を検出する感度が最も低い判定基準が選択されることになる。
When cutting the silicon substrate, the load state of the cutting
このように判定基準変更手段114によって選択された判断基準を基準として,判定手段102は,商用電源200の電圧異常の有無を判定する。具体的には,この判定手段102は,商用電源200から入力された電圧値および時間を測定しており,この測定値と,上記判定基準の電圧閾値および時間閾値とを比較することによって,商用電源200に瞬停あるいは瞬時電圧低下が発生しているか否かを判定する。この判定の結果,異常であると判定した場合には,判定手段102は切換回路104に対して電力源を商用電源200からバッテリ108に切り換えるように命令し,この結果,バッテリ108に蓄電された電力が放電される。
The
ここで,図6および上記表1に基づいて,かかる判定手段102による商用電源200の電圧異常の検出動作について,より詳細に説明する。なお,図6は,本実施形態にかかる商用電源200において,複数種類の瞬時電圧低下が発生している電圧波形を示す説明図である。
Here, based on FIG. 6 and Table 1 above, the operation of detecting the voltage abnormality of the
図6の(1)に示すように,商用電源200に電圧閾値(170V)以下の電圧低下が1msの間生じたケースにおいて,最も厳しい上記判定基準Eが選択されている場合には,判定手段102は,入力された商用電源200の電圧(入力電圧)に異常があり,バッテリ108によるバックアップを行う必要があると判定する。これは,切削ユニット20の負荷が高く消費電力が多いため,整流器90の電圧降下時間が短くなるので,バッテリ108による早期のバックアップが必要だからである。一方,時間閾値が1ms以上である上記判定基準A〜Dが選択されている場合には,判定手段102は,入力電圧が正常の範囲内であり,バッテリ108によるバックアップの必要がないと判定する。これは,切削ユニット20の負荷および消費電力がさほど大きくなく,1ms程度の微小時間の電圧低下は,整流器90によるバックアップにより対応でき,バッテリ108によるバックアップまでは必要ないからである。
As shown in FIG. 6 (1), in the case where the voltage drop below the voltage threshold (170V) occurs in the
また,図6の(2)に示すように,商用電源200に電圧閾値(170V)以下の電圧低下が3msの間生じたケースにおいて,時間閾値が3ms未満である判定基準C〜Eが選択されている場合には,判定手段102は,入力電圧に異常があり,バッテリ108によるバックアップを行う必要があると判定する。一方,時間閾値が3ms以上である判定基準AおよびBが選択されている場合には,判定手段102は,入力電圧が正常の範囲内であり,バッテリ108によるバックアップの必要がないと判定する。
In addition, as shown in (2) of FIG. 6, in the case where the voltage drop below the voltage threshold (170V) occurs in the
さらに,図6の(3)に示すように,商用電源200に電圧閾値(170V)以下の電圧低下が10ms生じたケースにおいて,時間閾値が10ms未満である判定基準B〜Eが選択されている場合には,判定手段102は,入力電圧に異常があり,バッテリ108によるバックアップを行う必要があると判定する。一方,時間閾値が10ms以上である判定基準Aが選択されている場合には,判定手段102は,入力電圧が正常の範囲内であり,バッテリ108によるバックアップの必要がないと判定する。
Furthermore, as shown in (3) of FIG. 6, in the case where the voltage drop below the voltage threshold (170V) occurs in the
このように,本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,電力供給先である負荷装置の負荷状態に応じて,電力供給元である商用電源200の電圧異常の有無についての判定基準を切り換えることができる。このため,入力された商用電源200に同じ電圧低下が発生していたとしても,負荷状態によって異なる判断(負荷装置の動作に影響を及ぼす程度の重大な電圧低下であるとの判断,或いは,負荷装置の動作に影響を及ぼさない程度の微細な電圧低下(ノイズ)であるとの判断)を行うことができる。
As described above, the instantaneous power failure / instantaneous voltage
次に,図7に基づいて,上記のような本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100を利用した瞬停・瞬時電圧低下検出方法について説明する。なお,図7は,本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100を利用した瞬停・瞬時電圧低下検出方法を示すフローチャートである。
Next, based on FIG. 7, the instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method using the instantaneous power failure / instantaneous voltage
図7に示すように,まず,ステップS10では,負荷検出手段112によって,外部電源である商用電源200からの電力の供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態が検出される(ステップS10)。
As shown in FIG. 7, first, in step S10, the
詳細には,まず,負荷検出手段112は,整流器90に出力される電流値を測定し(ステップS102),次いで,かかる測定した電流値と,商用電源200の定格電圧とを乗算して消費電力を算出し(ステップS104),その後,算出された消費電力を,最大負荷で動作している時の負荷装置の消費電力(最大消費電力)で除算することにより,負荷装置の最大負荷に対する実際の負荷の割合(即ち,上記負荷率)を算出する(ステップS106)。このようにして,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100の出力側に設けられた負荷検出手段112を流れる電圧値等に基づいて,動作中の負荷装置の負荷状態を推定することができる。
Specifically, first, the
次いで,ステップS20では,判定基準変更手段114によって判定基準が変更される(ステップS20)。詳細には,判定基準変更手段114は,例えば,負荷レベル毎に予め設定されている複数の判断基準の中から,上記ステップS10で検出された負荷装置の負荷状態に応じた1つの判定基準を選択する。この判定基準は,上記のように電圧閾値と時間閾値との組からなるものである。かかる選択された判定基準は,判定手段102に出力され,判定手段102による電圧異常検出の基準値として設定される。この結果,商用電源200の電圧異常の判定基準が,動作中の負荷装置の負荷に応じた好適な判定基準に変更される。
Next, in step S20, the criterion is changed by the criterion changing means 114 (step S20). Specifically, for example, the determination
その後,ステップS30では,判定手段102によって,上記変更された判定基準に基づいて,商用電源200に電圧異常が発生しているか否かが継続的に判定される(ステップS30)。詳細には,例えば,判定手段102は,入力されてくる商用電源200の電圧が,上記変更された判定基準の電圧閾値未満となる時間を計測し,この時間が上記変更された判定基準の時間閾値以上である場合には,電圧異常が発生したと判定する。この判定では,例えば,負荷装置の負荷が高い状態にある場合には,比較的微小な電圧低下が発生しても感度良く電圧異常と判定されるため,バッテリ108によるバックアップが早期に実行される。一方,例えば,負荷装置の負荷が低い状態にある場合には,比較的微小な電圧低下が発生してもノイズの範囲内であり電圧異常でないと判定されるため,不要なバックアップが実行されない。
Thereafter, in step S30, the
以上のように,本実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,電力の供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態に応じて,商用電源200の電圧異常の判定基準を動的に変更することができる。換言すると,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,電力供給先である負荷装置の負荷レベルに応じて,電圧異常を検出する基準である閾値のレベル(感度)をリアルタイムで上下させることができる。具体的には,負荷装置の負荷が高いときには電圧異常検出の感度が高い判定基準に変更し,一方,負荷が低いときには感度が低い判定基準に変更することができる。
As described above, the instantaneous power failure / instantaneous voltage
これにより,負荷装置の負荷状態に応じた適正な判定基準で,商用電源200に電圧異常(瞬停あるいは瞬時電圧低下等)が発生したか否かを判定できる。このため,整流器90のコンデンサによる暫定的なバックアップと,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100のバッテリ108によるバックアップとを好適に使い分けることができるので,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100のバッテリ108による不必要なバックアップ動作を低減できる。従って,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100のバッテリ108の消耗を抑制できるとともに,電力源の切換が頻繁に起こることによる不都合を防止できる。よって,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,長期間にわたり安定して電力を供給することができる。
As a result, it is possible to determine whether or not a voltage abnormality (instantaneous power failure or instantaneous voltage drop, etc.) has occurred in the
ところで,例えば,負荷装置が切削ユニット20である場合,上記実施形態のように,検出手段112で検出した電流値等に基づく負荷状態に応じて,判定基準を切り換えるのではなく,被加工物12の種類に応じて,操作者が上記判定基準(上記電圧閾値,時間閾値等)を手動で選択するという手法も考えられる。しかし,かかる手法では,切削ユニット20の消費電力は必ずしも被加工物12の種類だけで決定されるわけではないため,判定基準を正確に選択し得ないこともある。また,操作者による判定基準の選択作業は手間がかかる上,当該選択作業をし忘れる可能性もある。従って,かかる手法より,上記実施形態のような判定基準の変更手法の方がより好適であるといえる。
By the way, for example, when the load device is the cutting
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.
例えば,上記実施形態では,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100が適用される加工装置として,ダイシング装置10の例を挙げて説明したが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100が適用される加工装置は,ダイシング装置以外の切削装置または切断装置,被加工物を研削加工する研削装置,研磨装置,被加工物にレーザ光を照射するレーザ加工装置など,各種の加工装置であってもよい。また,加工装置が備える負荷装置は,上記電動モータの例に限定されず,電力の供給を受けて所定の動作を行う装置(load)であれば,如何なる装置であっても良い。
For example, in the above-described embodiment, the dicing
また,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100が電力を供給する装置としては,上記のような加工装置に限定されず,電力の供給を受けて所定の動作を行う負荷装置を備え,かかる負荷装置の負荷をある程度予測可能な装置であれば,例えば,パーソナルコンピュータ等の情報処理装置,移動体端末装置,家庭電化製品,工業用製造装置,医療機器など,如何なる装置若しくはシステムであってもよい。
Further, the device for supplying power to the instantaneous power failure / instantaneous voltage
また,上記実施形態にかかる瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,図4に示したような回路構成を採用したが,本発明はかかる例に限定されない。即ち,瞬停・瞬時電圧低下対策装置100は,少なくとも,バッテリ108等の蓄電手段と,切換手段104と,判定手段102と,負荷検出手段112と,判定基準設定手段114とを具備しており,負荷装置の負荷状態を検出し,かかる負荷状態に応じて変更された判定基準に基づき外部電源の電圧異常を判定して,電力源を外部電源と蓄電手段との間で切り換えて電力を出力できる構成であれば,多様に設計変更可能である。例えば,切換手段104,判定手段102,負荷検出手段112及び/又は判定基準設定手段114を,1つの回路で構成しても良い。また,電力供給に直接携わる電力供給回路(蓄電手段,外部電源及び負荷装置との接続回路等)と,電力源の切換を制御する制御回路(切換手段104,判定手段102,負荷検出手段112および判定基準設定手段114)と,を分離して構成しても良い。また,整流器90等の整流器(整流用の1または2以上のコンデンサを含む。),AC/DC変換回路(インバータ),DC/AC変換回路などを,必要に応じて瞬停・瞬時電圧低下対策装置100の回路構成中に含めても良い。
Moreover, although the instantaneous power failure / instantaneous voltage
また,上記実施形態にかかる判定基準は,上記表1に示したような固定電圧閾値を有する複数の判定基準が設定されていたが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,時間閾値を固定時間閾値とし,負荷装置の負荷が大きいほど電圧閾値が高くなるような判定基準を採用してもよい。また,電圧閾値および時間閾値の双方が負荷装置の負荷レベルに応じて段階的に変化するような判定基準を採用してもよい。また,負荷装置の負荷レベルの数は,2つ以上で有れば負荷装置毎に異なる任意の数であってよく,判定基準もかかる負荷レベルの数に応じた任意の数を設定しておくことができる。 In addition, as the determination criteria according to the above embodiment, a plurality of determination criteria having fixed voltage thresholds as shown in Table 1 above are set, but the present invention is not limited to such an example. For example, a determination criterion may be adopted in which the time threshold is a fixed time threshold and the voltage threshold increases as the load of the load device increases. In addition, a determination criterion may be adopted in which both the voltage threshold value and the time threshold value change stepwise according to the load level of the load device. Further, the number of load levels of the load device may be an arbitrary number different depending on the load device as long as it is two or more, and the determination standard is set to an arbitrary number corresponding to the number of load levels. be able to.
また,上記実施形態にかかる負荷検出手段112は,自身を流れる電流値等に基づいて負荷装置の負荷を検出したが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,負荷検出手段112は,負荷装置に実装されている消費電力計などのセンサなどから,負荷装置の負荷に関する情報を取得してもよい。また,上記実施形態では,負荷状態として負荷率を算出したが,かかる例に限定されず,消費電力値等の生データを判定基準変更手段114に出力するようにし,判定基準変更手段114がこの生データと判定基準とをリンクできるように構成してもよい。
Moreover, although the load detection means 112 concerning the said embodiment detected the load of the load apparatus based on the electric current value etc. which flow through itself, this invention is not limited to this example. For example, the
本発明は,各種の加工装置などに電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置に適用可能であり,特に,内蔵された負荷装置の負荷が加工状態によって異なる加工装置などに電力を供給する瞬停・瞬時電圧低下対策装置に適用可能である。 The present invention is applicable to an instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device that supplies power to various processing devices, and in particular, supplies power to a processing device in which the load of the built-in load device varies depending on the processing state. Applicable to instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasures.
10 : ダイシング装置
20 : 切削ユニット
30 : 切削ユニット移動機構
80 : 駆動回路
90 : 整流器
100 : 瞬停・瞬時電圧低下対策装置
102 : 判定手段
104 : 切換手段
106 : 充電手段
108 : バッテリ
110 : DC/AC変換回路
112 : 負荷検出手段
114 : 判定基準変更手段
200 : 商用電源
M1〜7 : 電動モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10: Dicing apparatus 20: Cutting unit 30: Cutting unit moving mechanism 80: Drive circuit 90: Rectifier 100: Instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure apparatus 102: Judging means 104: Switching means 106: Charging means 108: Battery 110: DC / AC conversion circuit 112: Load detection means 114: Determination standard changing means 200: Commercial power supply M1-7: Electric motor
Claims (9)
前記外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準に基づいて,前記外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定する判定手段と;
前記判定手段によって前記外部電源に電圧異常が発生していると判定された場合に,前記負荷装置に対する電力源を,前記外部電源から前記蓄電手段に切り換える切換手段と;
前記外部電源からの電力供給を受けて動作している前記負荷装置の負荷状態を検出する負荷検出手段と;
前記検出された負荷状態に基づいて,前記判定基準を変更する判定基準変更手段と;
を備えることを特徴とする,瞬停・瞬時電圧低下対策装置。 An instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device that supplies power from an external power source to a load device and supplies power from an internal power storage means when the voltage of the external power source is abnormal:
Determining means for determining whether or not a voltage abnormality has occurred in the external power supply based on a determination criterion relating to the presence or absence of a voltage abnormality in the external power supply;
Switching means for switching a power source for the load device from the external power supply to the power storage means when it is determined by the determination means that a voltage abnormality has occurred in the external power supply;
Load detecting means for detecting a load state of the load device operating by receiving power supply from the external power source;
Determination criterion changing means for changing the determination criterion based on the detected load state;
An instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device characterized by comprising:
前記負荷装置の負荷レベルに応じて予め設定された複数の前記判定基準を有しており,
前記複数の判定基準の中から,前記検出された負荷状態に応じた1つの判定基準を選択することを特徴とする,請求項1または2のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置。 The criterion changing means is
A plurality of the determination criteria set in advance according to the load level of the load device;
3. The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device according to claim 1, wherein one determination criterion corresponding to the detected load state is selected from the plurality of determination criteria. .
前記外部電源から前記負荷装置に供給される電力の電流値を測定し,
前記測定した電流値と,前記外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出し,
前記算出した消費電力に基づいて,前記負荷装置の負荷状態を検出することを特徴とする,請求項1,2または3のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下対策装置。 The load detecting means includes
Measure the current value of power supplied from the external power source to the load device,
Calculate power consumption based on the measured current value and the rated power of the external power source,
4. The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop countermeasure device according to claim 1, wherein a load state of the load device is detected based on the calculated power consumption.
前記外部電源から電力供給を受けて動作している負荷装置の負荷状態を検出するステップと;
前記検出された負荷状態に基づいて,前記外部電源の電圧異常の有無に関する判定基準を変更するステップと;
前記変更された判定基準に基づいて,前記外部電源に電圧異常が発生しているか否かを判定するステップと;
を含むことを特徴とする,瞬停・瞬時電圧低下検出方法。 An instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method for detecting voltage abnormality of an external power supply:
Detecting a load state of a load device operating by receiving power supply from the external power source;
Changing a criterion for the presence or absence of voltage abnormality of the external power source based on the detected load state;
Determining whether a voltage abnormality has occurred in the external power source based on the changed determination criteria;
A method for detecting instantaneous power failure / instantaneous voltage drop, characterized by including:
前記外部電源から前記負荷装置に供給される電力の電流値を測定するステップと;
前記測定した電流値と,前記外部電源の定格電力とに基づいて消費電力を算出するステップと;
前記算出した消費電力に基づいて,前記負荷装置の負荷状態を検出するステップと;
を含むことを特徴とする,請求項6に記載の瞬停・瞬時電圧低下検出方法。 Detecting the load state of the load device comprises:
Measuring a current value of electric power supplied from the external power source to the load device;
Calculating power consumption based on the measured current value and the rated power of the external power source;
Detecting a load state of the load device based on the calculated power consumption;
The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method according to claim 6, comprising:
前記負荷装置の負荷レベルに対応して予め設定されている複数の前記判定基準の中から,前記検出された負荷状態に応じた1つの判定基準を選択することを特徴とする,請求項6,7または8のいずれかに記載の瞬停・瞬時電圧低下検出方法。
In the step of changing the criterion,
7. One determination criterion corresponding to the detected load state is selected from a plurality of the determination criterion preset corresponding to the load level of the load device. 9. The instantaneous power failure / instantaneous voltage drop detection method according to any one of 7 and 8.
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---|---|
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