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JP2004276230A - Mist generation device - Google Patents

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JP2004276230A
JP2004276230A JP2004030069A JP2004030069A JP2004276230A JP 2004276230 A JP2004276230 A JP 2004276230A JP 2004030069 A JP2004030069 A JP 2004030069A JP 2004030069 A JP2004030069 A JP 2004030069A JP 2004276230 A JP2004276230 A JP 2004276230A
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pressure
mist
gas supply
container
injector
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JP2004030069A
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Masaru Takigawa
勝 滝川
Takashi Ono
隆史 大野
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Ebara Corp
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Ebara Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make it unnecessary to carry out the complicated regulation of carrier gas supply pressure to a carrier gas exhaust nozzle accompanying the change of the gas supply pressure to an injector, and also to make it possible to carry out minimum quanta lubrication (MQL) working for a small diameter drill or the like. <P>SOLUTION: The device is provided with a first pressure control means 22 installed within a gas supply passage 5 for supplying the gas from a gas supply source 20 to the injector 11 and a second pressure control means 28 installed within a carrier gas supply passage 6 for supplying the carrier gas from the gas supply source 20 to the carrier gas exhaust nozzle 8, and for controlling the pressure of a secondary side to pressure obtained by having decompressed the pressure of the secondary side of the first pressure control means 22 at the constant ratio, in a mist generation device provided with the injector 11 which can be used to generate mist by receiving the supply of gas from the gas supply source 20 and liquid within a container 1 and to inject into the container 1, a conduit 9 for deriving the mist within the container 1 from the container 1, and the carrier gas exhaust nozzle 8 which is made to carry out communication to the conduit 9. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガスと液体を供給して容器内でミストを生成し、この生成したミストを、搬送流路を介して搬送し目的物に向けて噴霧するミスト生成装置に関し、特にマシニングセンタ、旋盤等の工作機械の工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するのに使用されるミスト生成装置に関する。   The present invention relates to a mist generation device that supplies a gas and a liquid to generate a mist in a container, conveys the generated mist through a conveyance flow path, and sprays the mist toward an object, particularly a machining center, a lathe, and the like. The present invention relates to a mist generator used to generate a mist for cooling and lubricating a tool or a workpiece of a machine tool.

ミスト(ガス中に含まれる液体微粒子)は、例えば医学の分野における吸入器、日常生活の分野における加湿器、洗浄または塗装剤への適用等、種々の技術の分野において広く用いられている。ミストはまた、工作機械の工具や被加工物の冷却や潤滑のためにも用いられている。
例えば、機械加工にあっては、加工の間、工具と被加工物との間に高い摩擦力が作用し、この摩擦力によって多量の熱が発生する。従って、これらの部材間の摩擦を冷却潤滑媒体(冷却潤滑剤)を用いて減少させる必要があり、これによって、これらの部材は同時に冷却される。
Mist (liquid fine particles contained in gas) is widely used in various technical fields such as application to inhalers in the field of medicine, humidifiers in the field of daily life, cleaning or coating agents, and the like. Mists are also used for cooling and lubrication of machine tool tools and workpieces.
For example, in machining, a high frictional force acts between a tool and a workpiece during processing, and a large amount of heat is generated by the frictional force. Therefore, it is necessary to reduce the friction between these members by using a cooling lubricating medium (cooling lubricant), so that these members are simultaneously cooled.

従来、この種の潤滑および冷却は、主の比較的多量の冷却潤滑剤を加工点に向けて噴射する方法を用いるのが一般的であった。しかしながら、この場合、一方では、過剰に供給された冷却潤滑剤が周囲に飛散し作業環境を悪化させる上に、冷却潤滑剤が多量に消費されるので、冷却および潤滑装置の稼動のコストが非常に高価なものとなり、他方では、環境上の理由から、使用済みの冷却潤滑剤を、複雑でコストのかかる方法で処分する必要があった。   Heretofore, this type of lubrication and cooling has generally used a method of injecting a relatively large amount of a main cooling lubricant toward a processing point. However, in this case, on the other hand, the excessively supplied cooling lubricant scatters around and degrades the working environment, and also consumes a large amount of cooling lubricant. On the other hand, for cooling reasons, used cooling lubricants have to be disposed of in a complex and costly manner for environmental reasons.

このような問題に対処するため、近年、いわゆる最少量潤滑(MQL)加工が実用化されており、工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するようにしたミスト生成装置が開発されている。
この種のミスト生成装置は、一般に、ガスと液体(冷却潤滑剤)の供給を受けて容器内でミストを生成する噴射器と、前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通されるとともに、キャリアガスを供給することによって前記ミストを前記導管の導出方向に向かって加速するキャリアガス噴出口とから構成され、前記ミストを前記導管に接続された搬送流路を介してノズルもしくは工具のオイルホールから加工点に噴霧するようになっている。
In order to cope with such a problem, so-called minimum lubrication (MQL) processing has been put into practical use in recent years, and a mist generation device for generating mist for cooling and lubricating tools and workpieces has been developed. Have been.
This kind of mist generating device is generally connected to an injector for receiving a supply of gas and liquid (cooling lubricant) to generate mist in a container, a conduit for discharging the mist from the container, and the conduit. And a carrier gas spout for accelerating the mist in a direction in which the conduit is drawn out by supplying a carrier gas.The nozzle or the tool is configured to transfer the mist through a transfer passage connected to the conduit. From the oil hole to the processing point.

図12は、上述のミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記した、いわゆるシステムカーブであり、ミスト生成装置が適正な運転条件で運転されている場合の一例を示す。
図12において、実線の曲線は、噴射器へのガス供給圧力をP、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力をPとした場合における、ミスト生成装置の吐出し風量と容器内圧力(吐出し圧力)の関係を示すミスト生成装置の特性曲線Aを示す。また、破線の曲線は、搬送流路の風量と圧力損失の関係を示すもので、流路とノズルまたは工具のオイルホールの抵抗を合成した抵抗曲線Rを示す。
FIG. 12 is a so-called system curve in which the characteristic curve of the above-described mist generation device and the resistance curve of the transport channel are shown together, and shows an example in which the mist generation device is operated under appropriate operating conditions.
In FIG. 12, the solid curve represents the discharge air volume of the mist generator and the pressure in the container (P 1) when the gas supply pressure to the injector is P 1 and the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port is P 2. shows the characteristic curve a 1 of the mist generating apparatus showing the relationship between discharge pressure). Further, dashed curve shows the relationship between the air volume and the pressure loss of the transport channel indicates the resistance curve R 1 obtained by combining the resistance of the oil hole of the passage and the nozzle or tool.

ミスト生成装置の運転点は、特性曲線Aと抵抗曲線Rのバランスポイントである交点(運転点C)となり、ミスト生成装置の容器内圧力はP、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量はQとなる。また、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、想像線の曲線(キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が0の場合の特性曲線)と容器内圧力Pの交点の風量であるQとなる。ここで、風量差Q−Qは、キャリアガス噴出口へのキャリアガスの供給によるミストの加速風量であり、この加速風量により、ノズルや工具のオイルホールからのミストの噴射速度を高めて、ミストの加工点への付着性を向上させるとともに、切粉等の排除能力を増加させることができる。 The operating point of the mist generating device is an intersection (operating point C 1 ) which is a balance point between the characteristic curve A 1 and the resistance curve R 1 , the pressure in the container of the mist generating device is P 3 , and the mist discharged from the mist generating device. air volume becomes Q 1. Further, mist air volume to be injected into the container from the injector is the air volume of intersection between the container internal pressure P 3 (characteristic curve for the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port 0) imaginary line curve the Q 2. Here, the air flow difference Q 1 -Q 2 is the accelerated air flow of the mist due to the supply of the carrier gas to the carrier gas outlet, and the accelerated air flow increases the injection speed of the mist from the nozzle or the oil hole of the tool. In addition, it is possible to improve the adhesion of the mist to the processing points and increase the ability to remove chips and the like.

しかしながら、従来のミスト生成装置を使用した実際の加工現場では、最少量潤滑(MQL)加工の理念に基づき、噴射器へのガス供給圧力を加工内容に応じて、その都度、最適な圧力に設定して加工を行うことが要求され、この時、噴射器へのガス供給圧力を変える度に、これに対応して、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力を適正な圧力に設定し直す必要があって、作業者を煩わせるだけでなく、度々誤設定による加工不良の原因となるといった問題があった。   However, in an actual processing site using a conventional mist generation device, the gas supply pressure to the injector is set to an optimum pressure in each case according to the processing content, based on the principle of minimum lubrication (MQL) processing. It is necessary to set the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port to an appropriate pressure every time the gas supply pressure to the injector is changed. Therefore, there is a problem that not only annoying the operator but also causing a processing failure due to erroneous setting.

図13は、例えば噴射器へのガス供給圧力とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力とが不適当な状態でミスト生成装置を運転した場合の一例を示す。この例は、噴射器へのガス供給圧力Pに対して、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Pが高すぎ(PのPに対する比率P/Pが大き過ぎ)、特性曲線Aが相対的に上昇した場合を示す。噴射器へのガス供給圧力Pおよび搬送流路の抵抗(抵抗曲線R)は、図12の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Cで運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はP、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量はQ、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量はQとなる。図12と図13を比較参照して判るように、この場合、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Qが少なくなってしまう。それによって、噴射器で生成されるミストも濃度の薄い不十分なものしか生成されない。従って、ミスト生成装置からのミスト(液体微粒子)吐出し量(噴射器から容器内に噴射されるミスト風量と濃度の積)が非常に少なくなってしまい、冷却能力や潤滑能力が極端に低下するという問題が発生する。 FIG. 13 shows an example of a case where the mist generating device is operated in a state where the gas supply pressure to the injector and the carrier gas supply pressure to the carrier gas outlet are inappropriate. This example, with respect to the gas supply pressure P 1 to the injector, (too large a ratio P 3 / P 1 against P 1 of P 3) carrier gas supply pressure P 3 is too high, to a carrier gas ejection ports, shows a case where the characteristic curve a 2 is relatively increased. Resistance of the gas supply pressure P 1 and the transport channel to the injector (resistance curve R 1) is the same as in FIG. 12. At this time, the mist generating device is driven at a driving point C 2, the mist chamber pressure of the mist generating device to be injected P 4, mist air volume Q 3 ejected from the mist generating device, into the container from the injector air volume becomes Q 4. As can be seen by comparing reference to FIGS. 12 and 13, in this case, mist air volume Q 4 to be injected into the container from the injector becomes less. As a result, the mist generated by the injector is also insufficiently generated with a low concentration. Therefore, the amount of mist (liquid fine particles) discharged from the mist generation device (the product of the amount of mist and the concentration of mist sprayed from the injector into the container) becomes extremely small, and the cooling ability and lubrication ability are extremely reduced. The problem occurs.

また、例えば小径ドリル等の搬送流路の抵抗が大きくなるような工具等を使用した最少量潤滑(MQL)加工にも適用できるように、適用範囲を拡げようとすると、搬送流路の抵抗が大きくなるにつれて、十分なミスト吐出し量が得られなくなって、このため、適用範囲を拡げるにも一定の限度があるのが現状であった。   In addition, if the range of application is to be expanded so that it can be applied to minimum lubrication (MQL) processing using a tool or the like that increases the resistance of the transport channel such as a small-diameter drill, the resistance of the transport channel increases. As the size increases, a sufficient mist discharge amount cannot be obtained, and therefore, there is a certain limit in expanding the applicable range.

図14は、搬送流路の抵抗(抵抗曲線R)が大きすぎる場合を示す。噴射器へのガス供給圧力Pおよびキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Pは、図12の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Cで運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はP、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量および噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、同じくQとなる。図12と図14を比較参照して判るように、この場合もまた、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Qが少なくなってしまう。それによって、噴射器で生成されるミストも濃度の薄い不十分なものしか生成されない。従って、ミスト生成装置からのミスト(液体微粒子)吐出し量(噴射器から容器内に噴射されるミスト風量と濃度の積)が非常に少なくなってしまい、冷却能力や潤滑能力が極端に低下するという問題が発生する。 FIG. 14 shows a case where the resistance (resistance curve R 2 ) of the transport channel is too large. Carrier gas supply pressure P 2 in the gas supply pressure P 1 and the carrier gas injection port to the injectors are the same as in FIG. 12. At this time, the mist generating device is driven at a driving point C 3, mist air volume container pressure of the mist generating device to be injected into the container from P 5, mist air volume and injector ejected from the mist generating device, Like the Q 5. As can be seen by comparing reference to FIGS. 12 and 14, also in this case, the mist air volume Q 5 to be injected into the container from the injector becomes smaller. As a result, the mist generated by the injector is also insufficiently generated with a low concentration. Therefore, the amount of mist (liquid fine particles) discharged from the mist generation device (the product of the amount of mist and the concentration of mist sprayed from the injector into the container) becomes extremely small, and the cooling ability and lubrication ability are extremely reduced. The problem occurs.

このような場合、例えば、ノズルの吐出口径または工具のオイルホール径を大きくして搬送流路の抵抗を減少させることができれば問題はないが、小径ドリル等の外径の細い工具の場合は、寸法の制約があるためオイルホール径を大きくすることが困難である。そのため、小径ドリル等に対しては、最少量潤滑(MQL)加工が適用できない場合が多かった。   In such a case, for example, there is no problem if the discharge port diameter of the nozzle or the oil hole diameter of the tool can be increased to reduce the resistance of the transfer passage, but in the case of a tool having a small outer diameter such as a small diameter drill, Due to size restrictions, it is difficult to increase the oil hole diameter. Therefore, for small diameter drills and the like, the minimum amount lubrication (MQL) processing cannot be applied in many cases.

本発明は上記事情に鑑みて為されたもので、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴うキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整を不要にするとともに、小径ドリル等の最少量潤滑(MQL)加工を可能にしたミスト生成装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and eliminates the need for complicated adjustment of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port due to a change in the gas supply pressure to the injector, and minimizes the need for a small diameter drill or the like. It is an object of the present invention to provide a mist generation device that enables a small amount lubrication (MQL) process.

上記目的を達成するため、本発明のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第1の圧力制御手段と、前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を一定の比率で減圧した圧力に制御する第2の圧力制御手段とを備えたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a mist generating device according to the present invention includes: an injector configured to generate a mist by receiving supply of a gas from a gas supply source and a liquid in a container, and to spray the mist into the container; A mist generating device provided with a conduit for leading gas from the container, and a carrier gas outlet communicating with the conduit, wherein the first mist generator is provided in a gas supply path for supplying gas from the gas supply source to the injector. Pressure control means, installed in a carrier gas supply path for supplying a carrier gas from the gas supply source to the carrier gas outlet, and keeping the secondary pressure of the first pressure control means constant And a second pressure control means for controlling the pressure to a reduced pressure at a ratio of

ミスト生成装置を上記のように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力(ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力)になるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
なお、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力(第2の圧力制御手段の二次側圧力)の噴射器へのガス供給圧力(第1の圧力制御手段の二次側圧力)に対する比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、0.5〜0.7程度に設定することが好ましい。
By configuring the mist generating device as described above, the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port is automatically adjusted to an appropriate pressure (at a constant gas supply pressure) with the change of the gas supply pressure to the injector. (Pressure reduced by the ratio), so that complicated adjustment of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port is not required, and the usability of the mist generating device can be improved. In addition, this makes it possible to eliminate processing defects due to erroneous setting of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port.
The ratio of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port (secondary pressure of the second pressure control means) to the gas supply pressure to the injector (secondary pressure of the first pressure control means) is as follows: Although it differs somewhat depending on the characteristics of the mist generating device, it is preferable to set it to about 0.5 to 0.7.

本発明の他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第1の圧力制御手段と、前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を一定の差圧で減圧した圧力に制御する第2の圧力制御手段とを備えたことを特徴とする。   Another mist generation device of the present invention is an injector that receives a supply of gas from a gas supply source and a liquid in a container, generates a mist, and injects the mist into the container, and derives the mist in the container from the container. A mist generating device provided with a conduit for supplying gas and a carrier gas outlet communicating with the conduit, a first pressure control means provided in a gas supply path for supplying gas from the gas supply source to the injector. Installed in a carrier gas supply path that supplies a carrier gas from the gas supply source to the carrier gas ejection port, and reduces the secondary pressure by reducing the secondary pressure of the first pressure control unit by a constant differential pressure. And a second pressure control means for controlling the pressure to a predetermined value.

ミスト生成装置を上記のように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力(ガス供給圧力から一定の差圧を減圧した圧力)になるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
なお、噴射器へのガス供給圧力(第1の圧力制御手段の二次側圧力)とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力(第2の圧力制御手段の二次側圧力)の差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、0.15〜0.25MPa程度に設定することが好ましい。
By configuring the mist generation device as described above, the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port is automatically adjusted to an appropriate pressure (from a gas supply pressure to a constant value) with a change in the gas supply pressure to the injector. Since the pressure difference is reduced), it is not necessary to adjust the supply pressure of the carrier gas to the carrier gas ejection port, and the usability of the mist generator can be improved. In addition, this makes it possible to eliminate processing defects due to erroneous setting of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port.
The differential pressure between the gas supply pressure to the injector (secondary pressure of the first pressure control means) and the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port (secondary pressure of the second pressure control means) is Although it slightly varies depending on the characteristics of the mist generating device, it is preferable to set the pressure to about 0.15 to 0.25 MPa.

前記第1の圧力制御手段は、減圧弁からなるようにしてもよい。このように、第1の圧力制御手段を減圧弁で構成することにより、構成の簡素化と装置の低廉化を図ることができる。   The first pressure control means may include a pressure reducing valve. In this way, by configuring the first pressure control means with a pressure reducing valve, it is possible to simplify the configuration and reduce the cost of the device.

前記第1の圧力制御手段は、それぞれ異なった圧力に設定して並列に配置される複数の減圧弁と該減圧弁の下流側にそれぞれ設置される複数の電磁弁とを有するようにしても良い。これにより、電磁弁を選択操作することによって、遠隔操作により段階的に圧力を制御できるようにすることができる。このようなミスト生成装置によれば、工作機械の自動工具交換(ATC)等に伴う噴射器へのガス供給圧力の設定変更を自動で行うことができ、連続加工が可能となり生産性を向上させることができる。   The first pressure control means may include a plurality of pressure reducing valves set at different pressures and arranged in parallel, and a plurality of solenoid valves respectively installed downstream of the pressure reducing valves. . Thus, by selectively operating the solenoid valve, the pressure can be controlled stepwise by remote control. According to such a mist generating device, the setting change of the gas supply pressure to the injector can be automatically performed in association with automatic tool change (ATC) of a machine tool, etc., thereby enabling continuous machining and improving productivity. be able to.

前記第1の圧力制御手段は、比例圧力制御弁であってもよい。このように、第1の圧力制御弁を比例圧力制御弁で構成することにより、噴射器へのガス供給圧力を連続的(任意の値)に精度良く制御することができるので、工作機械の自動工具交換(ATC)等に伴う噴射器へのガス供給圧力の設定変更を自動で高精度に行うことができ、連続加工が可能となり生産性を向上させるとともに省エネルギー化を図ることができる。   The first pressure control means may be a proportional pressure control valve. Since the first pressure control valve is constituted by the proportional pressure control valve as described above, the gas supply pressure to the injector can be controlled continuously (arbitrarily) with high accuracy. The setting change of the gas supply pressure to the injector according to the tool change (ATC) or the like can be automatically changed with high accuracy, and continuous processing can be performed, thereby improving productivity and energy saving.

前記キャリアガス供給路は、前記第1の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第2の圧力制御手段は、定比減圧弁または定差減圧弁からなるようにしてよい。これにより、構成の簡素化と装置の低廉化を図ることができる。   The carrier gas supply path is formed by branching off from the gas supply path on the secondary side of the first pressure control means, and the second pressure control means comprises a constant ratio pressure reducing valve or a constant difference pressure reducing valve. You may do so. As a result, the configuration can be simplified and the cost of the apparatus can be reduced.

前記第2の圧力制御手段は、前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を検知する圧力センサからの信号で制御される比例圧力制御弁からなるようにしてもよい。これにより、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力を精度良く制御して、省エネルギー化を図ることができる。   The second pressure control means may comprise a proportional pressure control valve controlled by a signal from a pressure sensor for detecting a secondary pressure of the first pressure control means. This makes it possible to control the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port with high accuracy, thereby achieving energy saving.

本発明の更に他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、を備えたミスト生成装置において、前記容器内の圧力を減圧する内圧減圧手段を有することを特徴とする。   Still another mist generation device of the present invention is an injector that receives supply of a gas from a gas supply source and a liquid in a container to generate a mist and injects the mist into the container, and the mist in the container from the container. A mist generating device provided with a conduit for leading out, wherein an internal pressure reducing means for reducing the pressure in the container is provided.

図2は、図14に示す場合と同様に、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合に、上記の内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧した時のミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す。噴射器へのガス供給圧力P、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Pおよび搬送流路の抵抗(抵抗曲線R)は、図14に示す場合と同一である。また、図中の抵抗曲線Rは、前記内圧減圧手段の抵抗と搬送流路の抵抗(抵抗曲線R)を合成した合成抵抗曲線である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Cで運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はP、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量はQである。また、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量は、ミスト生成装置の容器内圧力Pと抵抗曲線Rとの交点の風量Qとなる。ここで、風量差Q−Qは、前記内圧減圧手段から容器外に放出されるガスの風量である。図2と図14を比較参照すると、図2の場合、ミスト生成装置から搬送流路を通って小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量Qは、図14の場合より若干減少するが、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Qは大きくなり、噴射器から濃度の濃い有効なミストが生成される。その結果、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト(液体微粒子)吐出し量(ミスト生成装置から搬送流路を通って小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量と濃度の積)は増加する。これによって、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量が得られる。 FIG. 2 shows the characteristic curve of the mist generating device when the pressure in the container is reduced by the internal pressure reducing means when the resistance of the transfer passage is too large, as in the case shown in FIG. 3 shows a system curve including a resistance curve. The gas supply pressure P 1 to the injector, the carrier gas supply pressure P 2 to the carrier gas ejection port, and the resistance of the transfer channel (resistance curve R 2 ) are the same as those shown in FIG. The resistance curve R 3 in the drawing is a combined resistance curve combined resistance (resistance curve R 2) resistor and conveyance passage of said internal pressure-reducing means. At this time, the mist generating device is driven at a driving point C 4, container pressure of the mist generating apparatus mist air volume to be injected into the container from P 6, the injector is Q 6. Also, through the transfer passage from the mist generator, for example, mist air volume to be injected from the oil hole of the tool, such as a small diameter drill, the air volume of intersection between the container internal pressure P 6 in the mist generating device and the resistance curve R 2 Q It becomes 7 . Here, the air volume difference Q 6 -Q 7 is the air volume of the gas discharged from the internal pressure reducing means to the outside of the container. Comparing reference to Figures 2 and 14, the case of FIG. 2, the mist air volume Q 7 ejected from the oil hole of the tool such as a small-diameter drill through the conveyance passage from the mist generating device is slightly lower than the case of FIG. 14 Suruga, mist air volume Q 6 to be injected into the container from the injector increases, effective mist is generated high concentration from the injector. As a result, the discharge amount of mist (liquid fine particles) ejected from an oil hole of a tool such as a small-diameter drill through the transport flow path from the mist generation device (such as a small-diameter drill through the transport flow path from the mist generation apparatus) The product of the mist air volume and the concentration injected from the oil hole of the tool) increases. As a result, a sufficient mist discharge amount can be obtained for processing with a small-diameter drill or the like.

このようなミスト生成装置によれば、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合でも、内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧することで、濃度の濃い有効なミストが生成されるので、小径ドリル等の最少量潤滑(MQL)加工を良好に行うことができる。   According to such a mist generation device, even when the resistance of the transport flow path is too large, the effective pressure mist having a high concentration is generated by reducing the pressure in the container by the internal pressure reducing means. Minimum lubrication (MQL) processing can be performed satisfactorily.

前記内圧減圧手段は、例えば、絞り機構を介して前記空間の前記ミストをフィルタに導く減圧流路と、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスを放出する排気口と、前記フィルタにより前記ミストから分離された液体を前記容器内に戻す戻り流路とを有する。これにより、減圧流路を介してフィルタに導かれたミストをガスと液体に分離し、ガスのみを放出して液体は容器内に戻るようにすることで、ミストの損失を無くすとともに、作業環境の汚染を防止することができる。   The internal pressure reducing unit includes, for example, a pressure reducing flow path that guides the mist in the space to a filter via a throttle mechanism, an exhaust port that releases gas separated from the mist by the filter, and a filter that removes the mist from the mist. A return channel for returning the separated liquid into the container. As a result, the mist guided to the filter via the decompression flow path is separated into gas and liquid, and only the gas is released so that the liquid returns to the inside of the container. Pollution can be prevented.

前記排気口に、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスの放出を制御する開閉弁を接続してもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合は開閉弁を開き、その他の場合は開閉弁を閉じて内圧減圧手段を選択的に機能させることにより、搬送流路の抵抗に応じてミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。   An on-off valve for controlling the release of gas separated from the mist by the filter may be connected to the exhaust port. In this way, the opening and closing valve is opened when the resistance of the transfer passage is too large, and in other cases, the opening and closing valve is closed and the internal pressure reducing means is selectively operated. Can be operated at an appropriate operating point.

前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であってもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、パイロット切換弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇しないので、パイロット切換弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。なお、容器内圧の噴射器へのガス供給圧力に対する比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、0.8〜0.9程度に設定することが好ましい。   The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. The pilot switching valve thus configured may be used. Thereby, when the resistance of the transfer passage is too large and the internal pressure of the container rises to a constant ratio to the gas supply pressure to the injector, the pilot switching valve is opened mechanically and the internal pressure reducing means is opened. In other cases, the internal pressure of the container does not increase to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, so that the pilot switching valve is not opened and the internal pressure reducing means can be prevented from functioning. Thus, the mist generating device can be automatically operated at an appropriate operating point in accordance with the resistance of the transport flow path with a simple configuration and at low cost. The ratio of the container internal pressure to the gas supply pressure to the injector slightly varies depending on the characteristics of the mist generator, but is preferably set to about 0.8 to 0.9.

前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であってもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、パイロット切換弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇しないので、パイロット切換弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。なお、噴射器へのガス供給圧力と容器内圧の差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、0.05〜0.1MPa程度に設定することが好ましい。   The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. A pilot switching valve may be used. As a result, if the resistance of the transfer passage is too large and the internal pressure of the container rises to a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, the pilot switching valve is opened mechanically to reduce the internal pressure. The means will function, otherwise the vessel internal pressure will not rise to a pressure having a constant differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, so the pilot switching valve will not open and the internal pressure reducing means will not function Accordingly, the mist generating device can be automatically operated at an appropriate operating point in accordance with the resistance of the transport flow path with a simple configuration and at low cost. The differential pressure between the gas supply pressure to the injector and the internal pressure of the container slightly varies depending on the characteristics of the mist generator, but is preferably set to about 0.05 to 0.1 MPa.

前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁を設けるようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、定比リリーフ弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇しないので定比リリーフ弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。   The pressure reducing flow path may be provided with a constant ratio relief valve that operates at a constant pressure relative to the gas supply pressure to the injector. Thereby, when the resistance of the transfer flow path is too large and the internal pressure of the container rises to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, the constant ratio relief valve is opened mechanically to reduce the internal pressure. In other cases, the internal pressure of the container does not increase to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, so that the constant-pressure relief valve does not open and the internal pressure reducing means does not function. Thus, the mist generating device can be automatically operated at an appropriate operating point in accordance with the resistance of the transport channel with a simple configuration and at low cost.

前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧で作動する定差リリーフ弁を設けるようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、定差リリーフ弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇しないので定差リリーフ弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。   A constant pressure relief valve that operates at a constant pressure difference with respect to a gas supply pressure to the injector may be provided in the pressure reducing flow path. Accordingly, if the resistance of the transfer passage is too large and the internal pressure of the container rises to a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, the constant differential relief valve is mechanically opened to increase the internal pressure. The pressure reducing means functions, and in other cases, the internal pressure of the container does not increase to a pressure having a constant differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, so that the constant pressure relief valve does not open and the internal pressure reducing means does not function. As a result, the mist generating device can be automatically operated at an appropriate operating point in accordance with the resistance of the transport flow path at a low cost with a simple configuration.

前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、電磁弁が開いて内圧減圧手段が機能し、容器内圧が下降すると電磁弁が閉じて容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御されるので、搬送流路の抵抗に応じて自動的に精度良くミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a pressure sensor that detects a gas supply pressure to the injector and a pressure sensor that detects a pressure in the container. An electromagnetic valve may be provided which is controlled so that the pressure of the gas is a fixed ratio to the gas supply pressure to the injector. Thereby, when the resistance of the transport passage is too large and the internal pressure of the container increases to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, the electromagnetic valve is opened and the internal pressure reducing means functions, When the internal pressure drops, the solenoid valve closes and the container internal pressure is controlled so as to maintain a constant ratio with respect to the gas supply pressure to the injector. The generator can be operated at an appropriate operating point.

前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、電磁弁が開いて内圧減圧手段が機能し、容器内圧が下降すると電磁弁が閉じて容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有するように制御されるので、搬送流路の抵抗に応じて自動的に精度良くミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a pressure sensor that detects a gas supply pressure to the injector and a pressure sensor that detects a pressure in the container. May be provided with an electromagnetic valve which is controlled so that the pressure becomes a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector. Thereby, when the resistance of the transfer passage is too large and the internal pressure of the container rises to a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, the solenoid valve opens and the internal pressure reducing means functions. When the internal pressure of the container decreases, the solenoid valve closes and the internal pressure of the container is controlled so as to have a constant differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector. The mist generator can be operated at an appropriate operating point.

前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力との差圧を検知する差圧スイッチからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a differential pressure switch that detects a differential pressure between a gas supply pressure to the injector and a pressure in the container. May be provided with an electromagnetic valve which is controlled so that the pressure becomes a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector.

前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であってもよい。
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であってもよい。
The on-off valve opens when the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container are set as pilot pressures and the pressure in the container increases to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector. Thus, an air operated valve operated via a pilot switching valve may be used.
The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. Alternatively, an air operated valve operated via a pilot switching valve may be used.

本発明によれば、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴ってキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力となるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
また、容器の内圧を適正な圧力に制御できるようにした内圧減圧手段を備えることで、例えば流路抵抗が過大な小径ドリル等の外径の細いオイルホール付工具に対応して、小径ドリル等への最少量潤滑(MQL)加工の適用範囲を拡げることができる。
According to the present invention, the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port automatically becomes an appropriate pressure with the change of the gas supply pressure to the injector, so that the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port is reduced. No complicated adjustment is required, and the usability of the mist generation device can be improved. In addition, this makes it possible to eliminate processing defects due to erroneous setting of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port.
In addition, by providing an internal pressure reducing means capable of controlling the internal pressure of the container to an appropriate pressure, for example, a small-diameter drill or the like can be used for a tool with an oil hole having a small outer diameter such as a small-diameter drill having an excessive flow path resistance. The application range of the minimum quantity lubrication (MQL) processing can be expanded.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。このミスト生成装置は、例えばオイルのような液体冷却潤滑剤を供給する液体供給源(オイル源)2をその下部に収容する容器1を有している。この容器1は、カバー3によって覆われた圧力容器として構成されている。オイル源2の上方に形成された容器1の空間4には、噴射器11がカバー3に固設して設けられており、加圧空気(ガス)とオイル(液体)の供給を受けて噴射器11から噴射されたミストが滞留するようになっている。噴射器11への加圧空気(ガス)の供給は、ガス供給路5を介して行われる。加圧空気が、噴射器11内に設けられた絞り部12を通過したとき、断面積が拡大する結果として吸引力が発生し、この吸引力によってオイルが液体供給路7を介してオイル源2から噴射器11に吸引される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a mist generating device according to a first embodiment of the present invention. This mist generation device has a container 1 that accommodates a liquid supply source (oil source) 2 for supplying a liquid cooling lubricant such as oil, for example, at its lower part. This container 1 is configured as a pressure container covered by a cover 3. In the space 4 of the container 1 formed above the oil source 2, an injector 11 is provided fixedly to the cover 3, and is supplied with pressurized air (gas) and oil (liquid) to be injected. The mist sprayed from the vessel 11 stays. Supply of pressurized air (gas) to the injector 11 is performed via a gas supply path 5. When the pressurized air passes through the throttle unit 12 provided in the injector 11, a suction force is generated as a result of the increase in the cross-sectional area, and the suction force causes oil to flow through the liquid supply path 7 through the oil source 2. From the injector 11.

噴射器11は、その出口13において、加圧空気とオイルを混合しミストとして噴射する。噴射器11の出口13の下方には、円錐形状の偏向体14が配置されており、この偏向体14の表面は、複数の連続する段差を有する段差構造に形成されている。この偏向体14は、円錐形状の頂部が噴射器11の出口13に対向して設けられており、ロッド15、取付け板16を介して、吊下げロッド17によりカバー3から吊り下げ保持されている。カバー3には、空間4内のミストを容器1から導出するための導管9と、導管9に連通されるキャリアガス噴出口8が設けられている。キャリアガス噴出口8への加圧空気(キャリアガス)の供給は、キャリアガス供給路6を介して行われ、キャリアガス噴出口8から噴出された加圧空気は、空間4のミストを導管9の導出方向に向かって加速する。なお、導管9およびキャリアガス噴出口8は、複数設けてもよい。   At the outlet 13 of the injector 11, the compressed air and oil are mixed and injected as a mist. Below the outlet 13 of the injector 11, a conical deflector 14 is disposed, and the surface of the deflector 14 is formed in a step structure having a plurality of continuous steps. The deflector 14 is provided with a conical top facing the outlet 13 of the injector 11 and is suspended from the cover 3 by a suspension rod 17 via a rod 15 and a mounting plate 16. . The cover 3 is provided with a conduit 9 for drawing out the mist in the space 4 from the container 1 and a carrier gas outlet 8 communicating with the conduit 9. The supply of pressurized air (carrier gas) to the carrier gas ejection port 8 is performed via a carrier gas supply path 6, and the pressurized air ejected from the carrier gas ejection port 8 transfers the mist of the space 4 to a conduit 9. Accelerates in the direction of derivation. Note that a plurality of conduits 9 and carrier gas outlets 8 may be provided.

オイル源2から噴射器11へ延びる液体供給路7には流量計10が設けられており、この流量計10には、流量指示部10aと逆流防止機構10bが備えられている。また、噴射器11には、液体供給路7から供給されたオイルの流量を調整するための可変絞り弁18が設けられている。このように、流量計10に逆流防止機構10bを備えることで、ミスト生成装置の停止時に液体供給路7中のオイルがオイル源2に戻ることを防止して、液体供給路7内を常にオイルで満たすことができる。更に、噴射器11に可変絞り弁18を設けることで、ミスト生成装置の運転開始時に、この始動後瞬時にミストを発生させることができる。なお、噴射器11への液体供給手段は、上記流量計10および可変絞り弁18の代わりに流量制御可能な定量ポンプとして構成してもよい。   The liquid supply path 7 extending from the oil source 2 to the injector 11 is provided with a flow meter 10, and the flow meter 10 is provided with a flow indicator 10a and a backflow prevention mechanism 10b. Further, the injector 11 is provided with a variable throttle valve 18 for adjusting the flow rate of the oil supplied from the liquid supply path 7. As described above, by providing the flow meter 10 with the backflow prevention mechanism 10b, the oil in the liquid supply path 7 is prevented from returning to the oil source 2 when the mist generation device is stopped, and the oil in the liquid supply path 7 is always kept in the liquid supply path 7. Can be filled with. Further, by providing the injector 11 with the variable throttle valve 18, it is possible to generate mist immediately after the start of the operation of the mist generation device when the mist generation device is started. The liquid supply means to the injector 11 may be configured as a flow rate-controllable metering pump instead of the flow meter 10 and the variable throttle valve 18.

噴射器11へのガス(加圧空気)の供給は、ガス供給源(加圧空気供給源)20から延び、内部にフィルタ21、減圧弁22、圧力計23、2ポート電磁弁24およびチェック弁25を設置したガス供給路5を通して行われる。なお、2ポート電磁弁24は、ミスト生成装置の運転および停止を操作するためのものであり、用途に応じて2ポート手動弁としてもよい。キャリアガス噴出口8へのキャリアガス(加圧空気)の供給は、2ポート電磁弁24とチェック弁25との間でガス供給路5から分岐し、内部に定比減圧弁28およびチェック弁29を設置したキャリアガス供給路6を通して行われる。   The supply of gas (pressurized air) to the injector 11 extends from a gas supply source (pressurized air supply source) 20 and internally includes a filter 21, a pressure reducing valve 22, a pressure gauge 23, a two-port solenoid valve 24, and a check valve. This is performed through the gas supply path 5 provided with the gas supply line 25. Note that the two-port solenoid valve 24 is for operating the mist generation device to start and stop, and may be a two-port manual valve depending on the application. The supply of the carrier gas (pressurized air) to the carrier gas ejection port 8 branches off from the gas supply path 5 between the two-port solenoid valve 24 and the check valve 25, and has therein a constant ratio reducing valve 28 and a check valve 29 Is carried out through the carrier gas supply path 6 in which is installed.

ここで、前記減圧弁22は、ガス供給源20から噴射器11へ供給するガス(加圧空気)の二次側圧力を制御する第1の圧力制御手段としての役割を果たし、前記定比減圧弁28は、ガス供給源20からキャリアガス噴出口8に供給するキャリアガス(加圧空気)の二次側圧力を制御する第2の圧力制御手段としての役割を果たす。そして、この定比減圧弁(第2の圧力制御手段)28は、減圧弁(第1の圧力制御手段)22の二次側圧力を一定の比率、例えば0.5〜0.7程度に減圧した圧力に二次側圧力を制御するように構成されている。   Here, the pressure reducing valve 22 serves as first pressure control means for controlling the secondary pressure of the gas (pressurized air) supplied from the gas supply source 20 to the injector 11, and serves as the constant pressure reducing pressure. The valve 28 serves as second pressure control means for controlling the secondary pressure of the carrier gas (pressurized air) supplied from the gas supply source 20 to the carrier gas ejection port 8. The constant-pressure reducing valve (second pressure control means) 28 reduces the secondary pressure of the pressure reducing valve (first pressure control means) 22 to a constant ratio, for example, about 0.5 to 0.7. It is configured to control the secondary pressure to the set pressure.

これにより、噴射器11へのガス供給圧力の変更に伴ってキャリアガス噴出口8へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力(ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力)となるので、キャリアガス噴出口8へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口8へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。   As a result, the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port 8 automatically becomes an appropriate pressure (a pressure obtained by reducing the gas supply pressure at a constant ratio) with the change of the gas supply pressure to the injector 11. In addition, complicated adjustment of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port 8 is not required, and the usability of the mist generation device can be improved. In addition, this makes it possible to eliminate processing defects due to erroneous setting of the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port 8.

カバー3の上側には、容器1内の圧力を減圧する内圧減圧手段30、圧力計41および給油用止め弁42が設置されている。内圧減圧手段30は、フィルタ31と、空間4内のミストを可変絞り弁32を介してフィルタ31に導く減圧流路33と、フィルタ31によりミストから分離された空気を放出する排気口31aと、フィルタ31によりミストから分離されたオイルを一時貯留する貯留部31bと、ミスト生成装置の停止時に貯留部31b内のオイルを容器1内に戻すチェック弁34を備えた戻り流路35とから構成されている。フィルタ31の排気口31aには2ポート電磁弁36およびサイレンサ37が接続されている。なお、減圧流路33の可変絞り弁32は固定絞りとしてもよい。また、フィルタ31の排気口31aに接続された2ポート電磁弁36は、用途に応じて2ポート手動弁としてもよい。   Above the cover 3, an internal pressure reducing means 30 for reducing the pressure in the container 1, a pressure gauge 41, and a refueling stop valve 42 are provided. The internal pressure reducing unit 30 includes a filter 31, a pressure reducing passage 33 that guides the mist in the space 4 to the filter 31 via the variable throttle valve 32, an exhaust port 31 a that discharges air separated from the mist by the filter 31, The storage unit 31b temporarily stores the oil separated from the mist by the filter 31, and a return flow path 35 including a check valve 34 that returns the oil in the storage unit 31b into the container 1 when the mist generation device is stopped. ing. A two-port solenoid valve 36 and a silencer 37 are connected to the exhaust port 31a of the filter 31. Note that the variable throttle valve 32 of the pressure reducing flow path 33 may be a fixed throttle. Further, the two-port solenoid valve 36 connected to the exhaust port 31a of the filter 31 may be a two-port manual valve depending on the application.

このように、容器1内の圧力を減圧する内圧減圧手段30を備え、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合に、内圧減圧手段30により容器1内の圧力を減圧するこことで、下記のように、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト吐出し量を増加させて、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量を得るようにすることができ、これによって、小径ドリル等の最少量潤滑(MQL)加工を良好に行うことができる。   Thus, the internal pressure reducing means 30 for reducing the pressure in the container 1 is provided, and when the resistance of the transport passage is too large, the pressure in the container 1 is reduced by the internal pressure reducing means 30 as described below. In addition, by increasing the amount of mist discharged from the oil hole of a tool such as a small-diameter drill through the transfer channel from the mist generating device, a sufficient amount of mist is discharged for processing of a small-diameter drill or the like. , So that a minimum quantity lubrication (MQL) process such as a small diameter drill can be satisfactorily performed.

このような構成のミスト生成装置を工作機械の工具や被加工物の冷却や潤滑のために使用する際には、導管9に搬送流路50を接続して、この搬送流路50を介してノズルもしくは工具のオイルホールからミストを噴射させる。この図1に示す例では、作用を理解し易くするために、さらに、搬送流路50を3つの分岐流路52a,52b,52cに分岐し、それぞれの分岐流路52a,52b,52cに設けた2ポート切換弁51a,51b,51cによって、用途に応じて分岐流路52a,52b,52cを選択使用できるようにした例を示している。このことは、以下の各例においても同様である。   When the mist generating device having such a configuration is used for cooling or lubricating a tool or a workpiece of a machine tool, a transfer channel 50 is connected to the conduit 9 and the mist generation device is connected through the transfer channel 50. Inject mist from the nozzle or the oil hole of the tool. In the example shown in FIG. 1, in order to facilitate understanding of the operation, the transport flow path 50 is further branched into three branch flow paths 52a, 52b, 52c and provided in the respective branch flow paths 52a, 52b, 52c. An example is shown in which the branch flow paths 52a, 52b, 52c can be selectively used depending on the application by the two-port switching valves 51a, 51b, 51c. This is the same in each of the following examples.

つまり、分岐流路52aの他端は、ノズル53に接続されており、工作機械の主軸55aに取り付けられた、例えば、フライスカッター54aの加工点に向けてノズル53の先端53aからミスト58aを噴射できるようになっている。また、分岐流路52bの他端は、ロータリジョイント56bに接続されており、工作機械の中空主軸55bを介して、例えば、外径10〜50mm程度のドリル54b(オイルホールの流路抵抗が適正範囲のもの)のオイルホール57bからミスト58bを加工点に噴射できるようになっている。更に、分岐流路52cの他端は、ロータリジョイント56cに接続されており、工作機械の中空主軸55cを介して、例えば、外径10mm以下のような小径ドリル54c(オイルホールの流路抵抗が過大なもの)のオイルホール57cからミスト58cを加工点に噴射できるようになっている。   In other words, the other end of the branch channel 52a is connected to the nozzle 53, and the mist 58a is ejected from the tip 53a of the nozzle 53 toward, for example, a processing point of the milling cutter 54a attached to the main shaft 55a of the machine tool. I can do it. Further, the other end of the branch flow path 52b is connected to a rotary joint 56b, and through a hollow main shaft 55b of the machine tool, for example, a drill 54b having an outer diameter of about 10 to 50 mm (flow resistance of the oil hole is appropriate). The mist 58b can be sprayed from the oil hole 57b of the above range to the processing point. Further, the other end of the branch flow path 52c is connected to a rotary joint 56c, and through a hollow main shaft 55c of the machine tool, for example, a small-diameter drill 54c having an outer diameter of 10 mm or less (the flow resistance of the oil hole is reduced). The mist 58c can be sprayed to the processing point from the oil hole 57c (excessive).

次に、上記構成のミスト生成装置において、最初に、ドリル54bを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51bを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bから噴射できるようにしておく。オイルホール57bの流路抵抗が適正範囲の、例えば外径10〜50mm程度のドリル54bでは、噴射器11への加圧空気の供給圧力(ガス供給圧力)は、経験的に0.5〜0.7MPa程度が適当であり、例えば、減圧弁(第1の圧力制御手段)22の二次側圧力が0.6MPaになるように減圧弁22を設定しておき、定比減圧弁(第2の圧力制御手段)28は、この二次側圧力が一次側圧力の0.5〜0.7倍程度に減圧されるように設定しておく。なお、ドリル54bは、オイルホール57bの流路抵抗が適正範囲のものとして例示しているので、2ポート電磁弁36は閉じたまま内圧減圧手段30は使用しない。   Next, a case will be described in which the mist generating apparatus having the above-described configuration first performs processing using the drill 54b. First, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51b is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transfer passage 50, the two-port switching valve 51b, the branch passage 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft. Injection can be made through the oil hole 57b of the drill 54b via the hole 55b. In a drill 54b having a flow path resistance of the oil hole 57b within an appropriate range, for example, an outer diameter of about 10 to 50 mm, the supply pressure (gas supply pressure) of the pressurized air to the injector 11 is empirically set to 0.5 to 0. 0.7 MPa is appropriate. For example, the pressure reducing valve 22 is set so that the secondary pressure of the pressure reducing valve (first pressure control means) 22 becomes 0.6 MPa, Pressure control means) 28 is set so that the secondary pressure is reduced to about 0.5 to 0.7 times the primary pressure. In the drill 54b, the flow path resistance of the oil hole 57b is exemplified as being in an appropriate range, and therefore the internal pressure reducing means 30 is not used while the two-port solenoid valve 36 is closed.

ここで、2ポート電磁弁24を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁22で設定した圧力の加圧空気(ガス)がガス供給路5を介して噴射器11に流入するとともに、定比減圧弁28によって減圧弁22の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気(キャリアガス)がキャリアガス供給路6を介してキャリアガス噴出口8に供給される。噴射器11に流入した加圧空気が絞り部12を通過したとき、断面積の拡大によって吸引力が発生し、この吸引力によってオイルが液体供給路7を介してオイル源2から噴射器11に吸引される。噴射器11は、その出口13において加圧空気とオイルを混合してミストとして噴射する。噴射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、空間4内に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、偏向体14の段差構造を有する表面に衝突して付着する。噴射器11から噴射されたミストの流れは、段差構造を有する偏向体14の表面の上を高速で流れるので、偏向体14の表面に付着したオイルミストを細かく分断して霧化し微細な粒子径のミストを生成する。したがって、粒子径分布が非常に小さい径に高い密度で集中しているミストが生成される。生成されるミスト(液体微粒子)の量は、流量計10の指示値を見ながら可変絞り弁18を調整して噴射器11に流入するオイルの流量を制御することによって変更することができ、加工に必要な最少量で使用される。導管9から吐出されたミストの移送は、容器1の内圧を介して行われ、キャリアガス噴出口8から噴出された加圧空気は、空間4のミストを導管9の導出方向に向かって加速する。   Here, when the mist generator is operated by opening the two-port solenoid valve 24, pressurized air (gas) having the pressure set by the pressure reducing valve 22 flows into the injector 11 through the gas supply path 5, Pressurized air (carrier gas) reduced to a pressure at a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve 22 by the pressure reducing valve 28 is supplied to the carrier gas outlet 8 through the carrier gas supply path 6. When the pressurized air that has flowed into the injector 11 passes through the throttle unit 12, a suction force is generated due to the increase in the cross-sectional area, and the suction force causes oil to flow from the oil source 2 to the injector 11 through the liquid supply path 7. It is sucked. The injector 11 mixes the pressurized air and oil at the outlet 13 and injects it as a mist. Of the injected mist, the mist having a fine particle diameter floats in the space 4, and the mist having a relatively large particle diameter collides with and adheres to the surface of the deflector 14 having the step structure. The flow of the mist injected from the injector 11 flows at a high speed on the surface of the deflecting body 14 having the step structure, so that the oil mist attached to the surface of the deflecting body 14 is finely divided and atomized into fine particles. Generate a mist of Therefore, a mist in which the particle size distribution is concentrated at a very small diameter at a high density is generated. The amount of mist (liquid fine particles) generated can be changed by adjusting the variable throttle valve 18 while controlling the flow rate of the oil flowing into the injector 11 while observing the indicated value of the flow meter 10. Used in the minimum amount required for The transfer of the mist discharged from the conduit 9 is performed via the internal pressure of the container 1, and the pressurized air discharged from the carrier gas discharge port 8 accelerates the mist in the space 4 toward the discharge direction of the conduit 9. .

この場合のシステムカーブは、図12に示すようになり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bからミスト58bが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、2ポート電磁弁24を閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51bを閉じて分岐流路52bを遮断する。
The system curve in this case is as shown in FIG. 12, and the mist generating device is operated at an appropriate operating point, a mist with a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and the transfer flow path 50 and the two-port switching are performed. The mist 58b is injected from the oil hole 57b of the drill 54b to the processing point via the valve 51b, the branch flow path 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft 55b, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the two-port solenoid valve 24 is closed to stop the mist generation device, and then the two-port switching valve 51b is closed to shut off the branch flow path 52b.

続いて、ノズル53を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51aを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aから噴射できるようにしておく。ノズル53を使用した外部噴霧では、噴射器11への加圧空気(ガス)の供給圧力は、経験的に0.2〜0.4MPa程度が適当であり、例えば、減圧弁22の二次側圧力が0.3MPaになるように減圧弁22の設定を変更する。なお、ノズル53は、流路抵抗が適正なものが選定されているので、この場合も2ポート電磁弁36は閉じたまま内圧減圧手段30は使用しない。   Subsequently, a case where processing is performed by external spraying using the nozzle 53 will be described. In this case, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51a is opened, and the mist discharged from the conduit 9 passes through the transport flow path 50, the two-port switching valve 51a, and the branch flow path 52a. Injection can be made from the tip 53 a of the nozzle 53. In the case of the external spray using the nozzle 53, the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 is empirically appropriate at about 0.2 to 0.4 MPa. The setting of the pressure reducing valve 22 is changed so that the pressure becomes 0.3 MPa. Since the nozzle 53 is selected to have an appropriate flow path resistance, the internal pressure reducing means 30 is not used in this case also with the two-port solenoid valve 36 closed.

ここで、2ポート電磁弁24を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁22で設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、定比減圧弁28によって自動的に減圧弁22の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、減圧弁22の設定変更に伴うキャリアガス噴出口8への加圧空気供給圧力の煩雑な調整が不要であり、誤設定による加工不良もなくなる。この場合のシステムカーブも図12に示すようになり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aからミスト58aがフライスカッター54aの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、2ポート電磁弁24を閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51aを閉じて分岐流路52aを遮断する。
Here, when the mist generator is operated with the two-port solenoid valve 24 opened, pressurized air at the pressure set by the pressure reducing valve 22 flows into the injector 11 through the gas supply path 5 to generate mist. At this time, the pressure of the pressurized air supplied to the carrier gas outlet 8 is automatically reduced by the constant ratio reducing valve 28 to a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the reducing valve 22. There is no need for complicated adjustment of the supply pressure of the pressurized air to the carrier gas outlet 8 due to a change in the setting of the valve 22, and processing errors due to erroneous settings are eliminated. The system curve in this case is also as shown in FIG. 12, and the mist generating device is operated at an appropriate operating point, mist of a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and the transfer flow path 50 and the two-port switching valve The mist 58a is sprayed from the tip 53a of the nozzle 53 to the processing point of the milling cutter 54a via the branch passage 51a and the branch flow path 52a, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the two-port solenoid valve 24 is closed to stop the mist generating device, and then the two-port switching valve 51a is closed to shut off the branch flow path 52a.

最後に、小径ドリル54cを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51cを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射できるようにしておく。小径ドリル54cのような外径約10mm以下のドリルでは、噴射器11への加圧空気の供給圧力は、経験的に0.6〜0.9MPa程度が適当であり、例えば、減圧弁22の二次側圧力が0.8MPaになるように減圧弁22の設定を変更する。なお、小径ドリル54cは、オイルホール57cの流路抵抗が過大であるので、2ポート電磁弁36を開いて内圧減圧手段30を機能させる。   Lastly, a case in which machining is performed using the small diameter drill 54c will be described. In this case, prior to the operation of the mist generating device, the two-port switching valve 51c is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transport flow path 50, the two-port switching valve 51c, the branch flow path 52c, the rotary joint 56c, Injection can be made from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c via the hollow main shaft 55c. For a drill having an outer diameter of about 10 mm or less, such as the small diameter drill 54c, the supply pressure of the pressurized air to the injector 11 is empirically set at about 0.6 to 0.9 MPa. The setting of the pressure reducing valve 22 is changed so that the secondary pressure becomes 0.8 MPa. In the small diameter drill 54c, since the flow resistance of the oil hole 57c is excessive, the two-port solenoid valve 36 is opened to allow the internal pressure reducing means 30 to function.

ここで、2ポート電磁弁24を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁22で設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。噴射器11から空間4に噴射されたミストの一部は、内圧減圧手段30の減圧流路33を通って可変絞り弁32に至り、大気圧近くまで減圧されてフィルタ31に導かれる。ミストは、フィルタ31で空気とオイルに分離され、分離された空気は、排気口31a、2ポート電磁弁36を通ってサイレンサ37から放出される。また、フィルタ31で分離されたオイルは、ミスト生成装置の運転中は、フィルタ31の貯留部31bに貯留される。噴射器11から空間4内に噴射された残りのミストは、導管9から吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射される。   Here, when the mist generator is operated with the two-port solenoid valve 24 opened, pressurized air at the pressure set by the pressure reducing valve 22 flows into the injector 11 through the gas supply path 5 to generate mist. Part of the mist injected into the space 4 from the injector 11 reaches the variable throttle valve 32 through the pressure reducing flow path 33 of the internal pressure reducing means 30, is reduced to near atmospheric pressure, and is guided to the filter 31. The mist is separated into air and oil by the filter 31, and the separated air is discharged from the silencer 37 through the exhaust port 31a and the two-port solenoid valve 36. The oil separated by the filter 31 is stored in the storage section 31b of the filter 31 during operation of the mist generation device. The remaining mist injected into the space 4 from the injector 11 is discharged from the conduit 9 and passes through the transport flow path 50, the two-port switching valve 51c, the branch flow path 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c. It is injected from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c.

この場合のシステムカーブは、図2に示すようになる。図2中のPは、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力、Pは、キャリアガス噴出口8への加圧空気(キャリアガス)供給圧力、抵抗曲線Rは、小径ドリル54cのオイルホール57cの抵抗を含む搬送流路全体の抵抗曲線、抵抗曲線Rは、内圧減圧手段30の流路抵抗と抵抗曲線Rを合成した合成抵抗曲線である。このとき、ミスト生成装置は、実線の曲線で示されたミスト生成装置の特性曲線Aと抵抗曲線Rの交点(運転点C)で運転される。Pは、容器1の内圧であり、内圧減圧手段30の可変絞り弁32によって噴射器11への加圧空気供給圧力に対して、例えば0.8〜0.9程度の所定の比率の圧力に減圧されるか、または0.05〜0.1MPa程度の差圧を有するよう調整される。噴射器11から空間4に噴射されるミスト風量はQとなる。また、導管9から搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射されるミスト風量は、容器1の内圧Pと抵抗曲線Rとの交点の風量Qとなる。ここで、風量差Q−Qは内圧減圧手段30から放出される空気の風量である。このように、流路抵抗が過大な小径ドリル54cの場合でも、内圧減圧手段30で適正な内圧にすることによって、噴射器11から空間4に噴射されるミスト風量Qを大きくすることができ、濃度の濃い有効なミストが生成される。その結果、導管9から搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射されるミスト(液体微粒子)吐出し量(導管9から搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射されるミスト風量と濃度の積)は増加する。これによって、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量が得られる。 The system curve in this case is as shown in FIG. P 1 in Figure 2, pressurized air (gas) supply pressure to the injector 11, P 2, pressurized air to a carrier gas ejection ports 8 (carrier gas) supply pressure, resistance curve R 2 are small resistance curve of the total delivery flow path including a resistance of the oil holes 57c of the drill 54c, resistance curve R 3 is a combined resistance curve obtained by combining the channel resistance and the resistance curve R 2 of internal pressure-reducing means 30. At this time, the mist generating device is operated at the intersection (operating point C 4 ) of the characteristic curve A 3 and the resistance curve R 3 of the mist generating device indicated by the solid line curve. P 6 is the internal pressure of the container 1, and the pressure at a predetermined ratio of, for example, about 0.8 to 0.9 with respect to the pressurized air supply pressure to the injector 11 by the variable throttle valve 32 of the internal pressure reducing means 30. It is adjusted to have a pressure difference of about 0.05 to 0.1 MPa. Mist air volume to be injected into the space 4 from the injector 11 is Q 6. Further, the amount of mist blown from the oil hole 57c of the small-diameter drill 54c from the conduit 9 via the transfer flow path 50, the two-port switching valve 51c, the branch flow path 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c is as follows. the internal pressure P 6 with air volume Q 7 at the intersection of the resistance curve R 2. Here, the air volume difference Q 6 -Q 7 is the air volume of the air discharged from the internal pressure reducing unit 30. Thus, even when the flow resistance excessively small diameter drill 54c, by an appropriate internal pressure in internal pressure-reducing means 30, it is possible to increase the mist air volume Q 6 to be injected into the space 4 from the injector 11 , A dense effective mist is generated. As a result, mist (liquid fine particles) injected from the oil hole 57c of the small-diameter drill 54c from the conduit 9 via the transfer passage 50, the two-port switching valve 51c, the branch passage 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c. Amount of discharge (the amount and concentration of mist air injected from the oil hole 57c of the small-diameter drill 54c from the conduit 9 via the transfer passage 50, the two-port switching valve 51c, the branch passage 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c. ) Increases. As a result, a sufficient mist discharge amount can be obtained for processing with a small-diameter drill or the like.

なお、定比減圧弁(第2の圧力制御手段)28の二次側圧力は、減圧弁(第1の圧力制御手段)22の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧されるが、容器1の内圧は、定比減圧弁28の二次側圧力より高く設定されているので、始動直後の過渡時の後は、チェック弁29が閉じた状態となり、キャリアガス噴出口8に加圧空気は供給されない。すなわち、始動時は急速に立ち上がり、その後は、小径ドリル54cのオイルホール57cの径が非常に小さいので、少量のミスト風量で十分なミスト噴射速度が得られキャリアガス噴出口8からの加速風量を必要としない状態となる。   The secondary pressure of the constant-pressure reducing valve (second pressure control means) 28 is reduced to a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve (first pressure control means) 22. However, since the internal pressure of the container 1 is set to be higher than the secondary pressure of the constant-pressure reducing valve 28, after the transient immediately after the start, the check valve 29 is closed and the carrier gas outlet 8 is closed. No pressurized air is supplied. That is, when the engine is started, it rapidly rises, and thereafter, since the diameter of the oil hole 57c of the small-diameter drill 54c is very small, a sufficient mist injection speed can be obtained with a small amount of mist airflow, and the accelerated airflow from the carrier gas outlet 8 is It is not required.

加工終了後、2ポート電磁弁24を閉じてミスト生成装置を停止させると、小径ドリル54cのオイルホール57cやサイレンサ37から容器1内の圧力が抜け、内圧減圧手段30のチェック弁34が開いてフィルタ31の貯留部31b内のオイルがチェック弁34、戻り流路35を通って容器1内に流入し、滴下してオイル源2に戻される。   When the mist generation device is stopped by closing the 2-port solenoid valve 24 after processing is completed, the pressure in the container 1 is released from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c and the silencer 37, and the check valve 34 of the internal pressure reducing means 30 is opened. The oil in the storage section 31b of the filter 31 flows into the container 1 through the check valve 34 and the return flow path 35, drops, and returns to the oil source 2.

この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、通常はドリル54bを使用して加工を行っており、時々、ノズル53や小径ドリル54cを使用して加工を行うことがある場合のような使用状況のときに好適である。なお、この実施の形態では、説明の便宜上、ドリル54bと小径ドリル54cの加工を別々の工作機械を使用して行うようにした例で説明したが、実際の加工現場では、一つの工作機械で工具交換して種々の加工を行うことも多い。   The mist generating apparatus of this embodiment normally performs processing using a drill 54b, and sometimes uses the nozzle 53 or a small-diameter drill 54c in some cases. It is preferable when In this embodiment, for convenience of explanation, the example in which the drill 54b and the small-diameter drill 54c are machined using different machine tools has been described. However, in an actual machining site, one machine tool is used. In many cases, various processing is performed by changing tools.

図3は、本発明の第2の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図3において、図1と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、オイル源2から噴射器11へ延びる液体供給路7に比例流量制御弁19を備えており、遠隔操作によりオイルの流量を制御できるようになっている。   FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration of the mist generation device according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 3, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same or corresponding portions. The mist generation device of this embodiment is provided with a proportional flow control valve 19 in the liquid supply path 7 extending from the oil source 2 to the injector 11, so that the flow rate of oil can be controlled by remote control.

噴射器11への加圧空気(ガス)の供給は、加圧空気供給源(ガス供給源)20から延び、内部にフィルタ21、複数列(図示では3列)の減圧流路43a,43b,43cから成る圧力制御流路43およびチェック弁25を設置したガス供給路5を通して行われる。このガス供給路5の圧力制御流路43の下流側には圧力計23が設けられている。圧力制御流路43は、ガス供給源20から噴射器11へ供給するガス(加圧空気)の二次側圧力を制御する第1の圧力制御手段としての役割を果たすもので、この各減圧流路43a,43b,43cには、減圧弁22a,22b,22cおよび2ポート電磁弁24a,24b,24cがそれぞれ備えられている。減圧弁22a,22b,22cは、それぞれ異なった加工に対応する適正圧力に予め設定されており、2ポート電磁弁24a,24b,24cを選択操作することによって、遠隔操作により段階的に供給圧力を制御できるようになっている。キャリアガス噴出口8への加圧空気(キャリアガス)の供給は、第1の実施の形態と同様に、圧力計23とチェック弁25との間で分岐し、内部に定比減圧弁(第2の圧力制御手段)28およびチェック弁29を設置したキャリアガス供給路6を通して行われる。   The supply of pressurized air (gas) to the injector 11 extends from a pressurized air supply source (gas supply source) 20 and has a filter 21 therein and a plurality of rows (three rows in the drawing) of decompression channels 43a, 43b, This is performed through the pressure control flow path 43 composed of 43c and the gas supply path 5 provided with the check valve 25. The pressure gauge 23 is provided downstream of the pressure control flow path 43 of the gas supply path 5. The pressure control channel 43 serves as first pressure control means for controlling the secondary pressure of the gas (pressurized air) supplied from the gas supply source 20 to the injector 11. The channels 43a, 43b, 43c are provided with pressure reducing valves 22a, 22b, 22c and two-port solenoid valves 24a, 24b, 24c, respectively. The pressure reducing valves 22a, 22b, and 22c are preset to appropriate pressures corresponding to different processes, respectively, and by selectively operating the two-port solenoid valves 24a, 24b, and 24c, the supply pressure is gradually increased by remote control. It can be controlled. The supply of the pressurized air (carrier gas) to the carrier gas outlet 8 branches between the pressure gauge 23 and the check valve 25 as in the first embodiment. Pressure control means 28) and a check valve 29.

内圧減圧手段30の排気口31aには、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と容器1の内圧をパイロット圧として、容器1の内圧が噴射器11への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば0.8〜0.9程度の圧力まで上昇すると開くようなパイロット切換弁38が接続されており、これにより、搬送流路の抵抗が過大な場合は、自動的に容器1の内圧を適正な圧力に減圧するようになっている。   The internal pressure of the container 1 is reduced to the pressure of the compressed air supplied to the injector 11 at the exhaust port 31a of the internal pressure reducing means 30 by using the supply pressure of the compressed air (gas) to the injector 11 and the internal pressure of the container 1 as pilot pressure. On the other hand, a pilot switching valve 38 that opens when the pressure rises to a predetermined ratio, for example, a pressure of about 0.8 to 0.9, is connected. The internal pressure of the container 1 is reduced to an appropriate pressure.

この実施の形態のミスト生成装置において、最初に、ドリル54bを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51bを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bから噴射できるようにしておく。なお、減圧弁22aの二次側圧力は、ノズル53用として、例えば0.3MPaに、減圧弁22bの二次側圧力は、ドリル54b用として、例えば0.6MPaに、減圧弁22cの二次側圧力は、小径ドリル54c用として、例えば0.8MPaに予め設定されているものとする。   In the mist generating device according to this embodiment, a case in which processing is first performed using the drill 54b will be described. First, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51b is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transfer passage 50, the two-port switching valve 51b, the branch passage 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft. Injection can be made through the oil hole 57b of the drill 54b via the hole 55b. The secondary pressure of the pressure reducing valve 22a is, for example, 0.3 MPa for the nozzle 53, and the secondary pressure of the pressure reducing valve 22b is, for example, 0.6 MPa for the drill 54b. It is assumed that the side pressure is preset to, for example, 0.8 MPa for the small diameter drill 54c.

ここで、2ポート電磁弁24bを開いてミスト生成装置を運転すると、ドリル54b用に減圧弁22bで設定されている圧力、例えば0.6MPaの加圧空気(ガス)がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、定比減圧弁28によって自動的に減圧弁22bの二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bからミスト58bが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、2ポート電磁弁24bを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51bを閉じて分岐流路52bを遮断する。
Here, when the mist generator is operated by opening the two-port solenoid valve 24b, the pressure set by the pressure reducing valve 22b for the drill 54b, for example, pressurized air (gas) of 0.6 MPa passes through the gas supply path 5. The mist flows into the injector 11 to generate mist. At this time, the pressure of the pressurized air supplied to the carrier gas injection port 8 is automatically reduced by the constant ratio pressure reducing valve 28 to a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve 22b. The generator is operated at an appropriate operating point, and a mist with a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9 and passes through the transfer passage 50, the two-port switching valve 51b, the branch passage 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft 55b. Then, the mist 58b is sprayed from the oil hole 57b of the drill 54b to the processing point, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the two-port solenoid valve 24b is closed to stop the mist generating device, and then the two-port switching valve 51b is closed to shut off the branch flow path 52b.

続いて、ノズル53を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51aを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aから噴射できるようにしておく。   Subsequently, a case where processing is performed by external spraying using the nozzle 53 will be described. In this case, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51a is opened, and the mist discharged from the conduit 9 passes through the transport flow path 50, the two-port switching valve 51a, and the branch flow path 52a. Injection can be made from the tip 53 a of the nozzle 53.

ここで、2ポート電磁弁24aを開いてミスト生成装置を運転すると、ノズル53用に減圧弁22aで設定されている圧力、例えば0.3MPaの加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、定比減圧弁28によって自動的に減圧弁22aの二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aからミスト58aがフライスカッター54aの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、2ポート電磁弁24aを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51aを閉じて分岐流路52aを遮断する。
Here, when the mist generator is operated by opening the two-port solenoid valve 24a, the pressure set by the pressure reducing valve 22a for the nozzle 53, for example, 0.3 MPa pressurized air is injected through the gas supply path 5 into the injector. 11 and mist is generated. At this time, the pressure of the pressurized air supplied to the carrier gas injection port 8 is automatically reduced by the constant ratio pressure reducing valve 28 to a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve 22a. The generator is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and is passed through the transfer passage 50, the two-port switching valve 51 a, and the branch passage 52 a, and the tip 53 a of the nozzle 53. The mist 58a is sprayed to the processing point of the milling cutter 54a to perform good processing.
After processing, the two-port solenoid valve 24a is closed to stop the mist generating device, and then the two-port switching valve 51a is closed to shut off the branch flow path 52a.

最後に、小径ドリル54cを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51cを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射できるようにしておく。   Lastly, a case in which machining is performed using the small diameter drill 54c will be described. In this case, prior to the operation of the mist generating device, the two-port switching valve 51c is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transport flow path 50, the two-port switching valve 51c, the branch flow path 52c, the rotary joint 56c, Injection can be made from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c via the hollow main shaft 55c.

ここで、2ポート電磁弁24cを開いてミスト生成装置を運転すると、小径ドリル54c用に減圧弁22cで設定されている圧力、例えば0.8MPaの加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、定比減圧弁28によって自動的に減圧弁22cの二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口8に供給されるので、容器1の内圧がその圧力まで急速に上昇する。その後、容器1の内圧が更に上昇し、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して所定の比率、例えば0.8〜0.9倍程度の圧力に到達すると、自動的にパイロット切換弁38が開いて内圧減圧手段30が機能し、容器1の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から小径ドリルに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cからミスト58cが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、2ポート電磁弁24cを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51cを閉じて分岐流路52cを遮断する。
Here, when the mist generator is operated by opening the two-port solenoid valve 24c, the pressure set by the pressure reducing valve 22c for the small diameter drill 54c, for example, 0.8 MPa pressurized air is injected through the gas supply path 5. Mist flows into the vessel 11 and mist is generated. At this time, the pressurized air, which is automatically reduced to a predetermined ratio pressure with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve 22c by the constant ratio pressure reducing valve 28, is supplied to the carrier gas outlet 8, so that the container 1 The internal pressure rises rapidly to that pressure. Thereafter, when the internal pressure of the container 1 further increases and reaches a predetermined ratio, for example, a pressure of about 0.8 to 0.9 times the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11, the pressure is automatically increased. The pilot switching valve 38 is opened, and the internal pressure reducing means 30 functions to maintain the internal pressure of the container 1 at an appropriate pressure. As a result, the mist generating device is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9 to the small-diameter drill, and the transfer passage 50, the two-port switching valve 51c, and the branch passage 52c The mist 58c is jetted from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c to the processing point via the rotary joint 56c and the hollow main shaft 55c, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the two-port solenoid valve 24c is closed to stop the mist generation device, and then the two-port switching valve 51c is closed to shut off the branch flow path 52c.

このとき、サイレンサ37から容器1内の圧力が抜け、内圧減圧手段30のチェック弁34が開いてフィルタ31の貯留部31bのオイルが、チェック弁34、戻り流路35を通って容器1内に流入し、滴下してオイル源2に戻される。
この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、ノズル53、ドリル54bおよび小径ドリル54cを頻繁に交換しながら、遠隔装置により連続して加工を行う時に使用するのに好適である。
At this time, the pressure in the container 1 is released from the silencer 37, the check valve 34 of the internal pressure reducing unit 30 is opened, and the oil in the storage portion 31b of the filter 31 passes through the check valve 34 and the return flow path 35 into the container 1. It flows in, drops and is returned to the oil source 2.
The mist generation device of this embodiment is suitable for use when performing continuous processing by a remote device while frequently exchanging the nozzle 53, the drill 54b and the small diameter drill 54c, for example.

図4は、本発明の第3の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図4において、図3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図3に示す第2の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁38の代わりに、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して所定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁39を減圧流路33に設けたものである。この第3の実施の形態のミスト生成装置は、図3に示す第2の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図3に示す第2の実施の形態とほぼ同様である。   FIG. 4 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 4, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 3 indicate the same or corresponding portions. The mist generating device according to this embodiment differs from the mist generating device according to the second embodiment shown in FIG. 3 in that a predetermined pressure is applied to the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 instead of the pilot switching valve 38. The constant-pressure relief valve 39 which operates at a pressure of the ratio is provided in the pressure reducing flow path 33. The mist generation device according to the third embodiment is an alternative to the mist generation device according to the second embodiment shown in FIG. 3, and its operation is substantially the same as that of the second embodiment shown in FIG. It is.

図5は、本発明の第4の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図5において、図1と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、オイル源2から噴射器11へ延びる液体供給路7に比例流量制御弁19を備えており、遠隔操作によりオイルの流量を制御できるようになっている。   FIG. 5 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a fourth embodiment of the present invention. In FIG. 5, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same or corresponding portions. The mist generation device of this embodiment is provided with a proportional flow control valve 19 in the liquid supply path 7 extending from the oil source 2 to the injector 11, so that the flow rate of oil can be controlled by remote control.

噴射器11への加圧空気(ガス)の供給は、加圧空気供給源(ガス供給源)20から延び、内部にフィルタ21、比例圧力制御弁44およびチェック弁25を設置したガス供給路5を通して行われる。このガス供給路5の比例圧力制御弁44の下流側には、圧力センサ46および圧力計23が備えられている。キャリアガス噴出口8への加圧空気(キャリアガス)の供給は、フィルタ21と比例圧力制御弁44との間でガス供給路5から分岐し、内部に比例圧力制御弁45およびチェック弁29を設置したキャリアガス供給路6を通して行われる。   The pressurized air (gas) is supplied to the injector 11 from a pressurized air supply source (gas supply source) 20, and a gas supply path 5 in which a filter 21, a proportional pressure control valve 44, and a check valve 25 are installed. Is done through A pressure sensor 46 and a pressure gauge 23 are provided downstream of the proportional pressure control valve 44 in the gas supply path 5. The supply of pressurized air (carrier gas) to the carrier gas ejection port 8 branches off from the gas supply path 5 between the filter 21 and the proportional pressure control valve 44, and the proportional pressure control valve 45 and the check valve 29 are internally provided. This is performed through the installed carrier gas supply path 6.

ここで、前記比例圧力制御弁44は、ガス供給源20から噴射器11へ供給するガス(加圧空気)の二次側圧力を制御する第1の圧力制御手段としての役割を果たし、前記比例圧力制御弁45は、ガス供給源20からキャリアガス噴出口8に供給するキャリアガス(加圧空気)の二次側圧力を制御する第2の圧力制御手段としての役割を果たす。つまり、圧力センサ46により検知された圧力は、電気信号として別途設けられた制御盤(図示しない)に伝達され演算処理される。そして、前記制御盤は、比例圧力制御弁(第2の圧力制御手段)45の二次側圧力が比例圧力制御弁(第1の圧力制御手段)44の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるように比例圧力制御弁45を制御する。   Here, the proportional pressure control valve 44 serves as first pressure control means for controlling the secondary pressure of the gas (pressurized air) supplied from the gas supply source 20 to the injector 11, and The pressure control valve 45 functions as a second pressure control unit that controls the secondary pressure of the carrier gas (pressurized air) supplied from the gas supply source 20 to the carrier gas outlet 8. That is, the pressure detected by the pressure sensor 46 is transmitted as an electrical signal to a separately provided control panel (not shown) and is subjected to arithmetic processing. The control panel is configured such that the secondary pressure of the proportional pressure control valve (second pressure control means) 45 is a predetermined ratio to the secondary pressure of the proportional pressure control valve (first pressure control means) 44. The proportional pressure control valve 45 is controlled so that the pressure is reduced.

内圧減圧手段30の排気口31aには、2ポート電磁弁36が接続されており、カバー3の上側には、容器1の内圧を検知する圧力センサ47が備えられている。別途設けられた制御盤(図示しない)は、圧力センサ46,47からの信号を演算処理することによって、容器1の内圧が噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して所定の比率、例えば0.8〜0.9程度の圧力を越えると開き、それ以下の圧力では閉じているように2ポート電磁弁36を制御して、搬送流路の抵抗が過大な場合は自動的に容器1の内圧を適正な圧力に減圧するようになっている。   A two-port solenoid valve 36 is connected to the exhaust port 31 a of the internal pressure reducing unit 30, and a pressure sensor 47 for detecting the internal pressure of the container 1 is provided above the cover 3. A separately provided control panel (not shown) calculates signals from the pressure sensors 46 and 47 so that the internal pressure of the container 1 can be adjusted to a predetermined value with respect to the supply pressure of pressurized air (gas) to the injector 11. The two-port solenoid valve 36 is controlled so that it opens when the pressure exceeds a ratio, for example, about 0.8 to 0.9, and closes when the pressure is less than 0.8 to 0.9. Then, the internal pressure of the container 1 is reduced to an appropriate pressure.

この実施の形態のミスト生成装置において、最初に、ドリル54bを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51bを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bから噴射できるようにしておく。   In the mist generating device according to this embodiment, a case in which processing is first performed using the drill 54b will be described. First, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51b is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transfer passage 50, the two-port switching valve 51b, the branch passage 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft. Injection can be made through the oil hole 57b of the drill 54b via the hole 55b.

ここで、制御盤(図示しない)から比例圧力制御弁44にドリル54b用の設定圧力、例えば、0.6MPaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁(第1の圧力制御手段)44が作動して、比例圧力制御弁44にドリル54b用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、制御盤(図示しない)により比例圧力制御弁(第2の圧力制御手段)45が制御されて、自動的に比例圧力制御弁44の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bからミスト58bが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁44への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51bを閉じて分岐流路52bを遮断する。
Here, when an electric signal corresponding to the set pressure for the drill 54b, for example, 0.6 MPa is output from the control panel (not shown) to the proportional pressure control valve 44, the proportional pressure control valve (first pressure control means) 44 Is operated, pressurized air having a pressure set for the drill 54b in the proportional pressure control valve 44 flows into the injector 11 via the gas supply path 5, and mist is generated. At this time, the proportional pressure control valve (second pressure control means) 45 is controlled by a control panel (not shown) to automatically supply the proportional pressure control valve 44 The mist generation device is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and the transfer flow path The mist 58b is injected from the oil hole 57b of the drill 54b to the processing point via the 50, 2-port switching valve 51b, the branch flow path 52b, the rotary joint 56b, and the hollow main shaft 55b, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the signal output to the proportional pressure control valve 44 is turned off to stop the mist generating device. Thereafter, the two-port switching valve 51b is closed to shut off the branch flow path 52b.

続いて、ノズル53を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51aを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aから噴射できるようにしておく。   Subsequently, a case where processing is performed by external spraying using the nozzle 53 will be described. In this case, prior to the operation of the mist generation device, the two-port switching valve 51a is opened, and the mist discharged from the conduit 9 passes through the transport flow path 50, the two-port switching valve 51a, and the branch flow path 52a. Injection can be made from the tip 53 a of the nozzle 53.

ここで、制御盤(図示しない)から比例圧力制御弁44にノズル53用の設定圧力、例えば、0.3MPaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁44が作動して、比例圧力制御弁44にノズル53用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、制御盤(図示しない)により比例圧力制御弁45が制御されて、自動的に比例圧力制御弁44の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51a、分岐流路52aを経由して、ノズル53の先端53aからミスト58aがフライスカッター54aの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁44への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51aを閉じて分岐流路52aを遮断する。
Here, when an electric signal corresponding to the set pressure for the nozzle 53, for example, 0.3 MPa, is output from the control panel (not shown) to the proportional pressure control valve 44, the proportional pressure control valve 44 is operated, and the proportional pressure control is performed. Pressurized air at a pressure set for the nozzle 53 into the valve 44 flows into the injector 11 via the gas supply path 5 to generate mist. At this time, the proportional pressure control valve 45 is controlled by a control panel (not shown) to automatically supply the pressurized air supplied to the carrier gas jet port 8 to the secondary pressure of the proportional pressure control valve 44. Since the pressure is reduced to a predetermined ratio, the mist generating device is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and the transfer flow path 50, the 2-port switching valve 51a, The mist 58a is sprayed from the tip 53a of the nozzle 53 to the processing point of the milling cutter 54a via the branch channel 52a, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the signal output to the proportional pressure control valve 44 is turned off to stop the mist generating device. Thereafter, the two-port switching valve 51a is closed to shut off the branch flow path 52a.

最後に、小径ドリル54cを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、2ポート切換弁51cを開き、導管9から吐出されたミストが、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cから噴射できるようにしておく。   Lastly, a case in which machining is performed using the small diameter drill 54c will be described. In this case, prior to the operation of the mist generating device, the two-port switching valve 51c is opened, and the mist discharged from the conduit 9 is transferred to the transport flow path 50, the two-port switching valve 51c, the branch flow path 52c, the rotary joint 56c, Injection can be made from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c via the hollow main shaft 55c.

ここで、制御盤(図示しない)から比例圧力制御弁44に小径ドリル54c用の設定圧力、例えば、0.8MPaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁44が作動して、比例圧力制御弁44に小径ドリル54c用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、制御盤(図示しない)により比例圧力制御弁45が制御されて、自動的に比例圧力制御弁44の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口8に供給されるので、容器1の内圧がその圧力まで急速に上昇する。   Here, when an electric signal corresponding to the set pressure for the small-diameter drill 54c, for example, 0.8 MPa is output from the control panel (not shown) to the proportional pressure control valve 44, the proportional pressure control valve 44 is operated, and the proportional pressure Pressurized air having a pressure set for the small-diameter drill 54c in the control valve 44 flows into the injector 11 through the gas supply path 5, and mist is generated. At this time, the proportional pressure control valve 45 is controlled by a control panel (not shown), and the compressed air automatically reduced to a predetermined ratio with respect to the secondary pressure of the proportional pressure control valve 44 is supplied to the carrier. Since the gas is supplied to the gas outlet 8, the internal pressure of the container 1 rapidly rises to that pressure.

その後、容器1の内圧が更に上昇し噴射器11への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば0.8〜0.9程度の圧力に到達すると、制御盤(図示しない)からの指令によって2ポート電磁弁36が自動的に開いて内圧減圧手段30が機能し、容器1の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から小径ドリル54cに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cからミスト58cが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁44への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、2ポート切換弁51cを閉じて分岐流路52cを遮断する。
Thereafter, when the internal pressure of the container 1 further increases and reaches a predetermined ratio, for example, a pressure of about 0.8 to 0.9 with respect to the supply pressure of the pressurized air to the injector 11, a pressure from a control panel (not shown) is applied. The two-port solenoid valve 36 is automatically opened by the command, the internal pressure reducing means 30 functions, and the internal pressure of the container 1 is maintained at an appropriate pressure. As a result, the mist generating device is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9 to the small diameter drill 54c, and the transfer flow path 50, the 2-port switching valve 51c, the branch flow path The mist 58c is sprayed from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c to the processing point via the rotary joint 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c, so that good processing can be performed.
After the processing is completed, the signal output to the proportional pressure control valve 44 is turned off to stop the mist generating device, and then the two-port switching valve 51c is closed to shut off the branch flow channel 52c.

このとき、サイレンサ37から容器1内の圧力が抜け、内圧減圧手段30のチェック弁34が開いてフィルタ31の貯留部31bのオイルが、チェック弁34、戻り流路35を通って容器1内に流入し、滴下してオイル源2に戻される。
この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、ノズル53、ドリル54bおよび小径ドリル54cを頻繁に交換しながら、遠隔装置により連続して加工を行う時に使用するのに好適である。
At this time, the pressure in the container 1 is released from the silencer 37, the check valve 34 of the internal pressure reducing unit 30 is opened, and the oil in the storage portion 31b of the filter 31 passes through the check valve 34 and the return flow path 35 into the container 1. It flows in, drops and is returned to the oil source 2.
The mist generation device of this embodiment is suitable for use when performing continuous processing by a remote device while frequently exchanging the nozzle 53, the drill 54b and the small diameter drill 54c, for example.

図6は、本発明の第5の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図1に示す第1の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、図1に示すミスト生成装置における定比減圧弁28の代わりに定差減圧弁128を使用し、この定差減圧弁(第2の圧力制御手段)128を介して、定差減圧弁128の二次側圧力が、減圧弁(第1の圧力制御手段)22の二次側圧力から一定の差圧、例えば0.15〜0.25MPa程度の差圧を減圧した圧力となるようにした点にある。その他の構成は、図1に示すものと同様である。   FIG. 6 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a fifth embodiment of the present invention. The difference between the mist generating device of this embodiment and the mist generating device of the first embodiment shown in FIG. 1 is that a constant pressure reducing valve 128 is used instead of the constant ratio reducing valve 28 in the mist generating device shown in FIG. The constant pressure reducing valve (second pressure control means) 128 is used to increase the secondary pressure of the constant pressure reducing valve 128 from the secondary pressure of the pressure reducing valve (first pressure control means) 22 via this constant pressure reducing valve (second pressure control means) 128. The point is that a constant pressure difference, for example, a pressure difference of about 0.15 to 0.25 MPa is reduced. Other configurations are the same as those shown in FIG.

この例によれば、噴射器11へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口8へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力、すなわちガス供給圧力から一定の差圧、例えば0.15〜0.25MPaを減圧した圧力となり、これによって、キャリアガス噴出口8へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。   According to this example, with the change of the gas supply pressure to the injector 11, the carrier gas supply pressure to the carrier gas ejection port 8 automatically becomes an appropriate pressure, that is, a constant pressure difference from the gas supply pressure, for example, The pressure is reduced from 0.15 to 0.25 MPa, so that complicated adjustment of the supply pressure of the carrier gas to the carrier gas jet port 8 is not required, and the usability of the mist generation device can be improved.

図7は、本発明の第6の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図3に示す第2の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、前述の図6に示す場合と同様に、図3に示すミスト生成装置における定比減圧弁28の代わりに定差減圧弁128を使用し、更に、内圧減圧手段30の排気口31aに接続されるパイロット切換弁138として、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と容器1の内圧をパイロット圧として、容器1内の圧力が噴射器11へのガス供給圧力に対して一定の差圧、例えば0.05〜0.1MPa程度の差圧を有する圧力で開くようにしたものを使用し、容器1内の圧力が噴射器11へのガス供給圧力に対して、一定の差圧を有する圧力まで上昇するとパイロット切換弁138が開くようにした点にある。その他の構成は、図3に示すものと同様である。   FIG. 7 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a sixth embodiment of the present invention. The difference between the mist generating device of this embodiment and the mist generating device of the second embodiment shown in FIG. 3 is that, as in the case of FIG. A constant pressure reducing valve 128 is used in place of the valve 28, and a pilot switching valve 138 connected to the exhaust port 31 a of the internal pressure reducing means 30 serves as a supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 and the container 1. The internal pressure of the container 1 is set as a pilot pressure, and the pressure in the container 1 is opened at a constant differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector 11, for example, a differential pressure of about 0.05 to 0.1 MPa. And the pilot switching valve 138 is opened when the pressure in the container 1 rises to a pressure having a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector 11. Other configurations are the same as those shown in FIG.

この例によれば、前述と同様に、小径ドリル54cを使用した加工に際し、2ポート電磁弁24cを開いてミスト生成装置を運転すると、小径ドリル54c用に減圧弁22cで設定されている圧力、例えば0.8MPaの加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、定差減圧弁128によって自動的に減圧弁22cの二次側圧力に対して所定の差圧、例えば0.15〜0.25MPa程度の差圧を有する圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口8に供給されるので、容器1の内圧がその圧力まで急速に上昇する。その後、容器1の内圧がさらに上昇し噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して所定の差圧、例えば0.05〜0.1MPa程度の差圧を有する圧力に到達すると、自動的にパイロット切換弁138が開いて内圧減圧手段30が機能し、容器1の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から小径ドリル54cに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51c、分岐流路52c、ロータリジョイント56c、中空主軸55cを経由して、小径ドリル54cのオイルホール57cからミスト58cが加工点に噴射され良好な加工が行える。   According to this example, as described above, when processing using the small-diameter drill 54c and operating the mist generation device by opening the two-port solenoid valve 24c, the pressure set by the pressure reducing valve 22c for the small-diameter drill 54c, For example, pressurized air of 0.8 MPa flows into the injector 11 through the gas supply path 5 to generate mist. At this time, the pressurized air automatically reduced by the constant pressure reducing valve 128 to a predetermined differential pressure, for example, a differential pressure of about 0.15 to 0.25 MPa with respect to the secondary pressure of the pressure reducing valve 22c. Is supplied to the carrier gas jet port 8, so that the internal pressure of the container 1 rapidly rises to that pressure. Thereafter, when the internal pressure of the container 1 further increases and reaches a predetermined differential pressure, for example, a differential pressure of about 0.05 to 0.1 MPa with respect to the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11, The pilot switching valve 138 is automatically opened, and the internal pressure reducing means 30 functions to maintain the internal pressure of the container 1 at an appropriate pressure. As a result, the mist generating device is operated at an appropriate operating point, a mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9 to the small diameter drill 54c, and the transfer flow path 50, the 2-port switching valve 51c, the branch flow path The mist 58c is sprayed from the oil hole 57c of the small diameter drill 54c to the processing point via the rotary joint 52c, the rotary joint 56c, and the hollow main shaft 55c, so that good processing can be performed.

図8は、本発明の第7の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図4に示す第3の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、前述と同様に、図4に示すミスト生成装置における定比減圧弁28の代わりに定差減圧弁128を使用し、更に、内圧減圧手段30の減圧流路33内に設置される定比リリーフ弁39の代わりに、容器1内の圧力が噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と一定の差圧、例えば0.05〜0.1MPa程度を有する圧力まで上昇すると作動する定差リリーフ弁139を設置した点にある。その他の構成は、図4に示すものと同様である。   FIG. 8 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a seventh embodiment of the present invention. The difference between the mist generating device of this embodiment and the mist generating device of the third embodiment shown in FIG. 4 is that the constant-pressure reducing valve 28 in the mist generating device shown in FIG. The pressure in the container 1 is changed to the pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 by using the differential pressure reducing valve 128 and in addition to the constant ratio relief valve 39 installed in the pressure reducing flow path 33 of the internal pressure reducing means 30. The point is that a constant pressure relief valve 139 that operates when the pressure is increased to a pressure having a constant differential pressure, for example, about 0.05 to 0.1 MPa, is provided. Other configurations are the same as those shown in FIG.

図9は、本発明の第8の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図5に示す第4の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、キャリアガス供給路6内に設置される比例圧力制御弁145として、この比例圧力制御弁(第2の圧力制御手段)145の二次側圧力が比例圧力制御弁(第1の圧力制御手段)44の二次側圧力に対して所定の差圧、例えば0.15〜0.25MPa程度の差圧を有する圧力となるように制御するようにしたものを使用している。更に、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と容器1の内圧の差圧を検知する差圧スイッチ147が備えられ、内圧減圧手段30の2ポート電磁弁36は、この差圧スイッチ147からの信号で、容器1内の圧力が噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される。その他の構成は、図5に示すものと同様である。   FIG. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to an eighth embodiment of the present invention. The difference between the mist generating device of this embodiment and the mist generating device of the fourth embodiment shown in FIG. 5 is that the proportional pressure control valve 145 installed in the carrier gas supply path 6 (Second pressure control means) The secondary pressure of 145 is a predetermined pressure difference from the secondary pressure of proportional pressure control valve (first pressure control means) 44, for example, about 0.15 to 0.25 MPa. The pressure is controlled so as to have a pressure difference of. Further, a differential pressure switch 147 for detecting a differential pressure between the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 and the internal pressure of the container 1 is provided, and the two-port solenoid valve 36 of the internal pressure reducing means 30 is provided with a differential pressure switch. The signal from 147 is controlled so that the pressure in the container 1 becomes a pressure having a certain differential pressure with respect to the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11. Other configurations are the same as those shown in FIG.

この例によれば、前述と同様に、ドリル54bにより加工を行う際、制御盤(図示しない)から比例圧力制御弁44にドリル54b用の設定圧力、例えば、0.6MPaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁(第1の圧力制御手段)44が作動して、比例圧力制御弁44にドリル54b用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路5を介して噴射器11に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口8に供給される加圧空気は、制御盤(図示しない)により比例圧力制御弁(第2の圧力制御手段)145が制御されて、自動的に比例圧力制御弁44の二次側圧力に対して所定の差圧、例えば0.15〜0.25MPa程度の差圧を有する圧力に減圧された圧力となる。しかも、差圧スイッチ147からの信号で、容器1内の圧力が噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管9から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路50、2ポート切換弁51b、分岐流路52b、ロータリジョイント56b、中空主軸55bを経由して、ドリル54bのオイルホール57bからミスト58bが加工点に噴射され良好な加工が行える。   According to this example, similarly to the above, when processing is performed by the drill 54b, an electric signal corresponding to the set pressure for the drill 54b, for example, 0.6 MPa is transmitted from the control panel (not shown) to the proportional pressure control valve 44. When output, the proportional pressure control valve (first pressure control means) 44 is operated, and pressurized air of the pressure set for the drill 54b is supplied to the injector 11 through the gas supply path 5 to the proportional pressure control valve 44. Inflow generates mist. At this time, the proportional pressure control valve (second pressure control means) 145 is controlled by a control panel (not shown) to automatically supply the pressurized air supplied to the carrier gas jet port 8 to the proportional pressure control valve 44. The pressure is reduced to a pressure having a predetermined pressure difference, for example, a pressure difference of about 0.15 to 0.25 MPa with respect to the secondary side pressure. In addition, a signal from the differential pressure switch 147 controls the pressure in the container 1 to be a pressure having a constant differential pressure with respect to the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11. As a result, the mist generating device is operated at an appropriate operating point, mist having a sufficient air volume and concentration is discharged from the conduit 9, and the transfer flow path 50, the two-port switching valve 51b, the branch flow path 52b, the rotary joint 56b, The mist 58b is sprayed from the oil hole 57b of the drill 54b to the processing point via the hollow main shaft 55b, so that good processing can be performed.

図10は、本発明の第9の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図10において、図3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図3に示す第2の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁38の代わりに、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と容器1の内圧をパイロット圧として、容器1の内圧が噴射器11への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば0.8〜0.9程度の圧力まで上昇すると開くようなパイロット切換弁238を介して作動するエアオペレート弁48を排気口31aに接続したものである。この第9の実施の形態のミスト生成装置は、図3に示す第2の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図3に示す第2の実施の形態と同様である。   FIG. 10 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to a ninth embodiment of the present invention. In FIG. 10, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 3 indicate the same or corresponding portions. The mist generating device of this embodiment is different from the mist generating device of the second embodiment shown in FIG. 3 in that instead of the pilot switching valve 38, the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 and the pressure of the container 1 Using the internal pressure as a pilot pressure, a pilot switching valve 238 that opens when the internal pressure of the container 1 increases to a predetermined ratio with respect to the pressure of the pressurized air supplied to the injector 11, for example, a pressure of about 0.8 to 0.9. An air operated valve 48 that operates via the air outlet 31a is connected to the exhaust port 31a. The mist generation device according to the ninth embodiment is an alternative example of the mist generation device according to the second embodiment shown in FIG. 3, and its operation is the same as that of the second embodiment shown in FIG. is there.

図11は、本発明の第10の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図11において、図7と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図7に示す第6の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁138の代わりに、噴射器11への加圧空気(ガス)供給圧力と容器1の内圧をパイロット圧として、容器1内の圧力が噴射器11へのガス供給圧力に対して一定の差圧、例えば0.05〜0.1MPa程度の差圧を有する圧力で開くようにしたパイロット切換弁338を介して作動するエアオペレート弁148を排気口31aに接続したものである。この第10の実施の形態のミスト生成装置は、図7に示す第6の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図7に示す第6の実施の形態と同様である。   FIG. 11 is a diagram illustrating a schematic configuration of a mist generation device according to the tenth embodiment of the present invention. In FIG. 11, portions denoted by the same reference numerals as those in FIG. 7 indicate the same or corresponding portions. The mist generating device of this embodiment is different from the mist generating device of the sixth embodiment shown in FIG. 7 in that the pilot switching valve 138 is replaced with the supply pressure of the pressurized air (gas) to the injector 11 and the container 1. Pilot switching in which the internal pressure is set as a pilot pressure and the pressure in the container 1 is opened at a constant differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector 11, for example, a pressure having a differential pressure of about 0.05 to 0.1 MPa. An air operated valve 148 operated via a valve 338 is connected to the exhaust port 31a. The mist generation device according to the tenth embodiment is an alternative to the mist generation device according to the sixth embodiment shown in FIG. 7, and its operation is the same as that of the mist generation device shown in FIG. is there.

本発明の第1の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 1st embodiment of the present invention. 図1に示すミスト生成装置の内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧した時の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a system curve in which a characteristic curve and a resistance curve of a transport passage when a pressure in a container is reduced by an internal pressure reducing unit of the mist generation device shown in FIG. 本発明の第2の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第3の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 3rd embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第5の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 5th embodiment of the present invention. 本発明の第6の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 6th embodiment of the present invention. 本発明の第7の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 7th embodiment of the present invention. 本発明の第8の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of an 8th embodiment of the present invention. 本発明の第9の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 9th embodiment of the present invention. 本発明の第10の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure showing the schematic structure of the mist generating device of a 10th embodiment of the present invention. ミスト生成装置が適正な運転条件で運転されている場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a system curve in which a characteristic curve of the mist generating device and a resistance curve of the transport flow path are described together when the mist generating device is operated under appropriate operating conditions. 噴射器へのガス供給圧力とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力とが不適当な状態でミスト生成装置を運転した場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。A system that describes both the characteristic curve of the mist generator and the resistance curve of the transport channel when the mist generator is operated when the gas supply pressure to the injector and the carrier gas supply pressure to the carrier gas outlet are inappropriate. It is a figure showing a curve. 搬送流路の抵抗が大きすぎる状態でミスト生成装置を運転した場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a system curve in which a characteristic curve of the mist generation device and a resistance curve of the conveyance flow channel are shown when the mist generation device is operated in a state where the resistance of the conveyance flow channel is too large.

符号の説明Explanation of reference numerals

1 容器
2 オイル源(液体供給源)
4 空間
5 ガス供給路
6 キャリアガス供給路
7 液体供給路
8 キャリアガス噴出口
9 導管
10 流量計
11 噴射器
14 偏向体
18 可変絞り弁
19 比例流量制御弁
20 ガス供給源(加圧空気供給源)
22 減圧弁(第1の圧力制御手段)
22a,22b,22c 減圧弁
24,24a,24b,24c,36 ポート電磁弁
25,29,34 チェック弁
28 定比減圧弁(第2の圧力制御手段)
30 内圧減圧手段
31a 排気口
31b 貯留部
32 可変絞り弁
33 減圧流路
37 サイレンサ
38,138,238,338 パイロット切換弁
39 定比リリーフ弁
43 圧力制御流路(第1の圧力制御手段)
43a,43b,43c 減圧流路
44 比例圧力制御弁(第1の圧力制御手段)
45,145 比例圧力制御弁(第2の圧力制御手段)
46,47 圧力センサ
48,148 エアオペレート弁
50 搬送流路
51a,51b,51c ポート切換弁
52a,52b,52c 分岐流路
53 ノズル
54b ドリル
54a フライスカッター
54c 小径ドリル
55a 主軸
55b,55c 中空主軸
56b,56c ロータリジョイント
57b,57c オイルホール
58a,58b,58c ミスト
128 定差減圧弁(第2の圧力制御手段)
139 定差リリーフ弁
145 比例圧力制御弁
147 差圧スイッチ
1 container 2 oil source (liquid supply source)
4 Space 5 Gas supply path 6 Carrier gas supply path 7 Liquid supply path 8 Carrier gas outlet 9 Conduit 10 Flow meter 11 Injector 14 Deflector 18 Variable throttle valve 19 Proportional flow control valve 20 Gas supply source (pressurized air supply source) )
22 Pressure reducing valve (first pressure control means)
22a, 22b, 22c Pressure reducing valves 24, 24a, 24b, 24c, 36-port solenoid valves 25, 29, 34 Check valve 28 Constant-pressure reducing valve (second pressure control means)
30 internal pressure reducing means 31a exhaust port 31b storage section 32 variable throttle valve 33 pressure reducing flow path 37 silencer 38, 138, 238, 338 pilot switching valve 39 constant ratio relief valve 43 pressure control flow path (first pressure control means)
43a, 43b, 43c Pressure reducing flow path 44 Proportional pressure control valve (first pressure control means)
45,145 proportional pressure control valve (second pressure control means)
46, 47 Pressure sensor 48, 148 Air operated valve 50 Conveyance flow path 51a, 51b, 51c Port switching valve 52a, 52b, 52c Branch flow path 53 Nozzle 54b Drill 54a Milling cutter 54c Small diameter drill 55a Main shaft 55b, 55c Hollow main shaft 56b, 56c Rotary joints 57b, 57c Oil holes 58a, 58b, 58c Mist 128 Constant pressure reducing valve (second pressure control means)
139 Constant pressure relief valve 145 Proportional pressure control valve 147 Differential pressure switch

Claims (20)

ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、
前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第1の圧力制御手段と、
前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を一定の比率で減圧した圧力に制御する第2の圧力制御手段とを備えたことを特徴とするミスト生成装置。
An injector that receives a gas from a gas supply source and a liquid in a container to generate a mist and sprays the mist into the container, a conduit that leads the mist from the container out of the container, and a carrier that communicates with the conduit. In a mist generating device provided with a gas ejection port,
First pressure control means installed in a gas supply path for supplying gas from the gas supply source to the injector;
A pressure that is installed in a carrier gas supply path that supplies a carrier gas from the gas supply source to the carrier gas ejection port, and that reduces the secondary pressure at a fixed rate to the secondary pressure of the first pressure control unit. And a second pressure control means for controlling the mist generation.
ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、
前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第1の圧力制御手段と、
前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を一定の差圧で減圧した圧力に制御する第2の圧力制御手段とを備えたことを特徴とするミスト生成装置。
An injector that receives a gas from a gas supply source and a liquid in a container to generate a mist and sprays the mist into the container, a conduit that leads the mist from the container out of the container, and a carrier that communicates with the conduit. In a mist generating device provided with a gas ejection port,
First pressure control means installed in a gas supply path for supplying gas from the gas supply source to the injector;
It is installed in a carrier gas supply path that supplies a carrier gas from the gas supply source to the carrier gas ejection port, and reduces the secondary pressure by reducing the secondary pressure of the first pressure control unit by a constant differential pressure. A mist generating device, comprising: second pressure control means for controlling pressure.
前記第1の圧力制御手段は、減圧弁からなることを特徴とする請求項1または2に記載のミスト生成装置。   The mist generation device according to claim 1, wherein the first pressure control unit includes a pressure reducing valve. 前記第1の圧力制御手段は、それぞれ異なった圧力に設定して並列に配置される複数の減圧弁と該減圧弁の下流側にそれぞれ設置される複数の電磁弁とを有することを特徴とする請求項1または2に記載のミスト生成装置。   The first pressure control means has a plurality of pressure reducing valves set at different pressures and arranged in parallel, and a plurality of solenoid valves respectively provided downstream of the pressure reducing valves. The mist generation device according to claim 1. 前記第1の圧力制御手段は、比例圧力制御弁からなることを特徴とする請求項1または2に記載のミスト生成装置。   The mist generation device according to claim 1, wherein the first pressure control means includes a proportional pressure control valve. 前記キャリアガス供給路は、前記第1の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第2の圧力制御手段は、定比減圧弁からなることを特徴とする請求項1に記載のミスト生成装置。   The carrier gas supply path is formed by branching off from the gas supply path on the secondary side of the first pressure control means, and the second pressure control means comprises a constant-pressure reducing valve. The mist generation device according to claim 1. 前記キャリアガス供給路は、前記第1の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第2の圧力制御手段は、定差減圧弁からなることを特徴とする請求項2に記載のミスト生成装置。   The carrier gas supply path is formed by branching from the gas supply path on the secondary side of the first pressure control means, and the second pressure control means comprises a constant pressure reducing valve. The mist generation device according to claim 2. 前記第2の圧力制御手段は、前記第1の圧力制御手段の二次側圧力を検知する圧力センサからの信号で制御される比例圧力制御弁からなることを特徴とする請求項1または2に記載のミスト生成装置。   3. The apparatus according to claim 1, wherein the second pressure control means comprises a proportional pressure control valve controlled by a signal from a pressure sensor for detecting a secondary pressure of the first pressure control means. The mist generating device according to the above. ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、を備えたミスト生成装置において、
前記容器内の圧力を減圧する内圧減圧手段を有することを特徴とするミスト生成装置。
A mist generating apparatus comprising: an injector configured to generate a mist by receiving supply of a gas from a gas supply source and a liquid in a container and to spray the mist into the container; and a conduit that leads the mist in the container from the container. At
A mist generating device comprising an internal pressure reducing means for reducing the pressure in the container.
前記内圧減圧手段は、絞り機構を介して前記容器内の前記ミストをフィルタに導く減圧流路と、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスを放出する排気口と、前記フィルタにより前記ミストから分離された液体を前記容器内に戻す戻り流路とを有することを特徴とする請求項9に記載のミスト生成装置。   The internal pressure reducing unit includes a pressure reducing flow path that guides the mist in the container to a filter through a throttle mechanism, an exhaust port that releases gas separated from the mist by the filter, and a filter that is separated from the mist by the filter. The mist generation device according to claim 9, further comprising: a return flow path for returning the discharged liquid into the container. 前記排気口に、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスの放出を制御する開閉弁を接続したことを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The mist generation device according to claim 10, wherein an on-off valve for controlling release of gas separated from the mist by the filter is connected to the exhaust port. 前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であることを特徴とする請求項11に記載のミスト生成装置。   The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. The mist generator according to claim 11, wherein the pilot switching valve is configured as described above. 前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であることを特徴とする請求項11に記載のミスト生成装置。   The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. The mist generation device according to claim 11, wherein the mist generation device is a pilot switching valve. 前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁を設けたことを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The mist generation device according to claim 10, wherein a constant ratio relief valve that operates at a constant pressure with respect to a gas supply pressure to the injector is provided in the pressure reducing flow path. 前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧で作動する定差リリーフ弁を設けたことを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The mist generating device according to claim 10, wherein a constant pressure relief valve that operates at a constant pressure difference with respect to a gas supply pressure to the injector is provided in the pressure reducing flow path. 前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a pressure sensor that detects a gas supply pressure to the injector and a pressure sensor that detects a pressure in the container. The mist generator according to claim 10, further comprising an electromagnetic valve that is controlled so that a pressure of the gas is a constant ratio to a gas supply pressure to the injector. 前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a pressure sensor that detects a gas supply pressure to the injector and a pressure sensor that detects a pressure in the container. The mist generating device according to claim 10, further comprising an electromagnetic valve that is controlled so that a pressure of the gas is a pressure having a constant pressure difference with respect to a gas supply pressure to the injector. 前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力との差圧を検知する差圧スイッチからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項10に記載のミスト生成装置。   The internal pressure reducing unit is provided in the exhaust port or the pressure reducing channel, and receives a signal from a differential pressure switch that detects a differential pressure between a gas supply pressure to the injector and a pressure in the container. The mist generating device according to claim 10, further comprising an electromagnetic valve that is controlled so that a pressure of the gas is a pressure having a constant pressure difference with respect to a gas supply pressure to the injector. 前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であることを特徴とする請求項11に記載のミスト発生装置。   The on-off valve opens when the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container are set as pilot pressures and the pressure in the container increases to a certain ratio with respect to the gas supply pressure to the injector. The mist generating device according to claim 11, wherein the mist generating device is an air operated valve operated via a pilot switching valve. 前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であることを特徴とする請求項11に記載のミスト発生装置。   The on-off valve opens when the pressure in the container rises to a certain differential pressure with respect to the gas supply pressure to the injector, using the gas supply pressure to the injector and the pressure in the container as pilot pressure. The mist generating device according to claim 11, wherein the mist generating device is an air operated valve operated via a pilot switching valve.
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