JP2004273294A

JP2004273294A - Static electricity eliminator

Info

Publication number: JP2004273294A
Application number: JP2003063031A
Authority: JP
Inventors: Kentaro Fujii; 賢太郎藤井
Original assignee: Keyence Corp
Current assignee: Keyence Corp
Priority date: 2003-03-10
Filing date: 2003-03-10
Publication date: 2004-09-30
Anticipated expiration: 2023-03-10
Also published as: JP4315710B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable stable ionization of air even when the amount of the air discharged from a narrow pipe such as a tube is changed. <P>SOLUTION: The static electricity eliminator of DC system has a resistor 40 which detects a discharge current, and, when the current value detected by this resistor 40 is too small, heightens the primary voltage of at least one of transformers on the plus and minus sides to heighten the voltage to be applied to a discharge electrode 23, and, conversely, when the current value detected by the resistor 40 is too large, lowers the primary voltage of at least one of the transformers on the plus and minus sides to lower the voltage to be applied to the discharge electrode 23. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、コロナ放電により空気をイオン化する除電器に関し、より詳しく、イオン化した空気を、チューブやノズルなどの外部小径管を通じてワーク（除電対象物）の近傍まで搬送する形式の除電器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
除電器を設置するスペースが無い狭い所での除電や、チューブの屈曲性を利用した可動部の除電にチューブ搬送式除電器が活用されている。
【０００３】
コロナ放電により空気をイオン化する除電器は、ＡＣ（交流）方式とＤＣ（直流）方式の２種類に大別することができるが、その基本原理は、放電電極に高電圧を印加してコロナ放電を発生させ、このコロナ放電により空気をイオン化する点で共通している。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１３８０９０号公報
【０００５】
特許文献１は、正負のイオンがチューブ内で打ち消し合うのを回避できるように、交流周波数を１ｋＨｚ以上に設定した高周波ＡＣによるチューブ搬送式除電器つまりイオン生成装置を提案している。図１、図２は特許文献１に添付の図の一部である。図１を参照して、従来のチューブ搬送式除電器１は、空気流路に設けられた拡大室つまりイオン生成室２を有する。イオン生成室２は、その上壁に空気流入ポート３を有し、この空気流入ポート３は、コンプレッサなどの空気供給手段４に連通している。イオン生成室２の下壁にはイオン化空気流出ポート５を有し、このイオン化空気流出ポート５には可撓性導気チューブ６が連結されている。
【０００６】
イオン生成室２には放電電極７が設けられ、この放電電極７は、空気流入ポート３とイオン化空気流出ポート５とを結ぶ軸線に沿って配置されている。対向電極は、実質的に、イオン化空気流出ポート５の回りの下壁８で構成され、この下壁８は接地されている。
【０００７】
放電電極７には交流高電圧電源９からＡＣ電源が供給される。交流高電圧電源９は、図２に例示するように、商用電源１０を電源とする直流回路１１及び発振回路１２を有し、発振回路１２からの高周波電圧を昇圧するトランス１３の出力を高電圧ケーブル１４を経由して放電電極７に供給するようになっている。
【０００８】
従来のチューブ搬送式除電器１は、放電電極７に所定の電圧を印加してコロナ放電を発生させ、これにより、イオン生成室２に圧送される空気をイオン化し、次いで、イオン化した空気を、流出ポート５、可撓性導気チューブ６を通じてワーク（図示せず）の近傍に吐出する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、チューブなどを通じてイオン化した空気をワークの近傍まで搬送する形式の除電器は、イオン化した空気を外部小径管を通じて搬送してワークを除電するものであるが、外部小径管から吐出される空気の力で、ワークに付着した埃を除去できるという利点を含む。
【００１０】
埃の除去だけを目的とするのであれば、空気の流量を大きくした方が効率的であるが、吐出する空気によってワーク自体が飛散してはならないため、外部小径管から吐出する空気の量を調整する必要がある。また、ユーザ毎に意図する目的や程度が異なることから、ユーザ毎に外部小径管から吐出する空気の量を変化させることのできる機能を付加するのが望ましい。
【００１１】
しかし、空気の流量を変化させると、外部小径管内の圧力損失により放電電極の回りの気圧が変化してしまい、例えば、放電電極回りの気圧が相対的に低くなり過ぎるとオゾンやＮＯｘの大量発生の虞があり、他方、放電電極回りの気圧が相対的に高くなり過ぎると放電が停止してしまう虞がある。ちなみに、放電開始電圧は、放電電極回りの気圧と共に高くなる性質を有する。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、チューブなどの外部小径管から吐出する空気の量を変化させたとしても安定した空気のイオン化が可能な除電器を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
かかる技術的課題は、本発明によれば、
供給される空気をコロナ放電によりイオン化し、イオン化した空気を外部小径管を通じてワークの近傍に吐出することによりワークの除電を行う除電器であって、
前記供給される空気の量の変化に応じて、放電電極に印加する電圧を調整することのできる印加電圧調整手段を有することを特徴とする除電器を提供することにより達成される。印加電圧調整手段は例えば手動の電圧調整ダイヤルを設け、これをマニュアル操作することで放電電極に印加する電圧を調整するようにしてもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態では、適切なコロナ放電が行われているか否かを検出する放電検出手段を更に有する。この放電検出手段により、適切なコロナ放電が行われていないことを検出したときには、前記印加電圧調整手段により所定のコロナ放電状態になるように放電電極に印加する電圧の調整するフィードバック制御を行うことができる。
【００１５】
上記の放電検出手段としては、放電電流を検出するようにしてもよく、放電電極回りの気圧（圧力）を検出してもよく、或いは、供給される空気の流量を検出してもよい。
【００１６】
例えば、放電検出手段が放電電流を検出する手段から構成されているときには、検出した放電電流の値が例えば所定の電流値よりも小さいとき、つまり放電状態が弱すぎるときには放電電極に印加する電圧を高めることにより適切なコロナ放電を実行させることができる。逆に、検出した放電電流の値が例えば所定の電流値よりも大きいとき、つまり放電状態が強すぎるときには放電電極に印加する電圧を下げることにより適切なコロナ放電を実行させることができる。
【００１７】
これにより、供給される空気の量の変化に対して、放電電極に印加する電圧の値を適正化することができ、放電電極に不十分な電圧を印加することによるコロナ放電の未発生や、放電電極に過剰な電圧を印加することによる火花放電の発生による除電能力の低下やオゾンの多量の発生を防止することができる。
【００１８】
放電電流を検知する方法としては、ＤＣ方式の除電器であれば、抵抗によって直流電流を測定してもよく、また、放電により発生するパルス状の電流を検知してもよい。ＤＣ方式の除電器であれば、直流電流の平均電流値を知ることによって、簡単に且つ正確にコロナ放電の強さを測定することができる。仮に、火花放電が発生すれば、電流が多く流れる。パルス状の電流を検知する方法は、電流値を計測するために必要な処理が多いものの、ＡＣ方式（高周波ＡＣを含む）及びＤＣ方式の除電器のいずれにも採用することができ、コロナ放電の強さを知ることができる。
【００１９】
放電電極回りの気圧（圧力）を例えば圧力センサを設けることで測定してフィードバック制御を行うのであれば、予め圧力と放電電圧との関係を求めておき、これをテーブルとして用意しておけば、検出した圧力に応じた最適の電圧に調整することもできる。同様に、空気の流量を計測してフィードバック制御を行うのであれば、予め流量と圧力との関係を求めておき、これをテーブルとして用意しておけば、検出した流量を圧力に変換することで最適の電圧に調整することができる。
【００２０】
【実施例】
以下に、本発明の好ましい実施例を添付の図面に基づいて説明する。図３は、実施例の除電器の電源回路２０のブロック図であり、従来と同様に商用電源１０を電源とする直流電源回路１１と、この直流電源回路１１からの電圧を調整する電圧調整回路２１とを有する。電源回路２０は、電圧調整回路２１により調整された電圧を昇圧回路２２により高電圧に高めて、この高電圧を放電電極つまり放電針２３に印加するようになっている。
【００２１】
電源回路２０は、放電状態を検出する回路２４を有し、この放電検出回路２４からの出力はアンプ２５により増幅されて比較回路２６に入力され、放電状態が所定の状態と異なるときには電圧調整回路２１により放電状態が所定の状態となるように直流電源回路１１からの電圧を調整するフィードバック制御が行われる。
【００２２】
図４〜図６は、放電検出回路２４の具体例を例示するための図であり、これら図４〜図６は、例示として、ＤＣ（直流）方式の除電器に関する回路図を示している。
【００２３】
すなわち、例えば図４を参照して、ＤＣ方式の除電器は、プラス側のトランス３０とマイナス側のトランス３１を有し、これらトランス３０、３１の一次側コイルに印加する電圧が上述した電圧調整回路２１により調整される。プラス側の昇圧回路３２（２２）はプラス側の放電針３３（２３）に接続され、マイナス側の昇圧回路３４（２２）はマイナス側の放電針３５（２３）に接続される。
【００２４】
プラス側放電針３３とマイナス側放電針３５との間の放電電流は、図４の例では、プラス側の昇圧回路３２とトランス３０との間の接地側の結線に抵抗４０が接続され、この抵抗４０を流れる電流を測定することにより検出することが可能である。測定した電流が目標値に対して小さいときには、プラス側又はマイナス側のトランス３０、３１の一次電圧の少なくとも一方を高める制御が行われる。他方、測定した電流が目標値に対して大きいときには、プラス側又はマイナス側のトランス３０、３１の一次電圧の少なくとも一方を低下させる制御が行われる。
【００２５】
抵抗４０は、図５に図示するように、マイナス側の昇圧回路３４とトランス３１との間の接地側の結線に接続するようにしてもよく、或いは、図６に図示するように、プラス側の昇圧回路３２とトランス３０との間の接地側の結線と、マイナス側の昇圧回路３４とトランス３１との間の接地側の結線との間に接続するようにしてもよい。
【００２６】
図７は、放電によって生じるパルス状の電流の有無によって放電状態を検出し、パルス状の電流が検出されない場合には、プラス又はマイナス側のトランス３０、３１の少なくとも一方の一次電圧を上昇させるようになっている。すなわち、プラス側であってもよいが例えばマイナス側の昇圧回路３４の出力側（高電圧ケーブル４０）に、コンデンサ４１を介してパルス状電流検知回路４２が接続されている。
【００２７】
パルス状電流検知回路４２は、図８に示すように、電流−電圧変換素子４３で構成してもよく、図９に示すように、電流−電圧変換素子４３の前段にパルストランス４４を用いてパルス状の電流を選択するようにしてもよい。電流−電圧変換素子４３としては、抵抗、コイル、ＬＣ並列回路などを用いることができる。
【００２８】
パルス状電流検知回路４２によって検出した電流をアンプ４５によって増幅し、整流回路４６、２値化回路（典型的にはコンパレータ）４７によって２値化して、パルス状電流の有無を検出するようにしてもよく、或いは、図１０に示すように、コンパレータ４７で二値化した後に、例えばマイコンによりパルス数をカウントすることいにより電流値に変換して、この電流値が目標値となるように放電針２３に印加する電圧を調整するようにしてもよい。
【００２９】
図１１は、ＤＣ方式の除電器であれば、昇圧回路３２（３４）と放電針３３（３５）の間に、比較的大きな抵抗値を有する制限抵抗５０を設けることで、放電状態の自動調整を行うことができる。
【００３０】
プラス側放電針３３とマイナス側放電針３５とを対向させて放電を行う場合、雰囲気圧力と放電電圧との相関関係を実験により求めたところ、常圧（０ＭＰａとする）に対して、０．２５ＭＰａでは約２倍、０．５ＭＰａでは約３倍の電圧が必要であることが分かった（この相関関係を「関係１」という）。
【００３１】
対向電極と同じような電界集中を生じさせることのできる同軸円筒電極に関し、放電開始電界と圧力との関係式は次のように表すことができる（書籍「新高電圧工学」ｐ７９、朝倉書店、著者：坂本、田頭）。
【００３２】
（式１）Ｅｃ＝３１．０δ｛１＋０．３０１（δｒ）^（ ⁻ ^１／２）｝
ここに、Ｅｃは放電開始電界（ｋＶ／ｃｍ）であり、δは相対空気密度であり、ｒは内側電極の外径である。相対空気密度（δ）は、絶縁気体を理想気体とみなして、温度変化に伴う気体密度の補正（温度補正）を行うためのものであり、次の式で表すことができる。
【００３３】
δ＝０．３８６ｐ／（２７３＋ｔ）
ここに、ｐは気圧（Ｔｏｒｒ）であり、ｔは気体温度（℃）であり、７６０Ｔｏｒｒ、２０℃のδを１としている。
【００３４】
上記の式１においても、０．５ＭＰａ（δ＝６）では常圧の約３倍の電界となることから、前述した実験結果は電界が集中する箇所でのコロナ放電の一般的な傾向であると考えることができる。
【００３５】
一方、常圧下での放電電流と電圧との相関は、図１２に示すように電極間距離によって変化する。放電電極に対する出力電圧を、高い圧力に対して適当な値に設定すると、常圧下では電圧が過剰となり、非常に大きな電流が流れてしまう。この電圧の過剰分を制限抵抗５０によって打ち消すには、下記の式２によって算出した抵抗値（Ｒ）以上の抵抗を制限抵抗５０として採用すればよい。
【００３６】
Ｒ＝過剰電圧／許容される電流変化
【００３７】
許容される電流変化としては、約２５μＡに設定するのがよい。約２５μＡよりも大きな電流値を設定すると、電極間に発生したブラシコロナが大きく成長して、オゾンなどの有害物質の発生量が更に大きくなる虞がある。
【００３８】
電極間距離として例えば１５ｍｍを設定し、最大圧力を０．２５ＭＰａ、０．５ＭＰａとすると、過剰電圧は、図１２及び上記「関係１」から次の値を得ることができる。
【００３９】

【００４０】
過剰電圧は、電極間距離Ｌ（ｍｍ）と対応する圧力Ｐ（ＭＰａ）によって変化することから、実験の結果は、次の近似式で表すことができる。
【００４１】

ここに、圧力による倍数は、上記「関係１」より近似している。また、常圧で放電する電圧は、図１２において、１μＡ流れる電圧と近似している。
【００４２】
したがって、制限抵抗５０に要求される抵抗値は、次の式で表すことができる。
（式２）Ｒ（ＭΩ）＝１０００×｛（１＋４Ｐ）（５＋Ｌ／５）−（２＋３Ｌ／５）｝（ｋＶ）／２５（μＡ）
【００４３】
上記式２により求めた抵抗値は次の通りである。なお、抵抗値は、プラス、マイナスの電源の抵抗値の和であり、電源自体の出力インピーダンスを含むため、電源の出力インピーダンスが１００ＭΩである場合には、プラス、マイナス夫々の抵抗値から１００ＭΩ少ない艇庫を用いることができる。
【００４４】
プラス、マイナスに必要な抵抗値の合計（Ｍ Ω）

【００４５】
本発明に採用できる制限抵抗５０の抵抗値は、１００ＭΩから２０００ＭΩであるのが好ましい。上述の式２から求めた計算値から１００ＭΩよりも小さい抵抗値であると、本発明の目的を実質的に達成することができない。２０００ＭΩよりも大きな抵抗値であると、抵抗での圧力降下が大きくなり過ぎて、高圧電源の出力値を非常に高く設定する必要が生じるため現実的なくなる。
【００４６】
電極間距離Ｌとして１０ｍｍ〜２５ｍｍが適当であるとすると、この電極間距離では、制限抵抗５０の抵抗値は、２００ＭΩ〜１０００ＭΩであるのが好ましい。
【００４７】
上述した電極間距離Ｌを設定した場合、２００ＭΩよりも小さな抵抗値であると、異常放電が発生する虞がある。また、１０００ＭΩよりも大きな抵抗値を採用すると電極間の電界が弱くなってしまう。
【００４８】
電極間距離Ｌが１５ｍｍであれば、制限抵抗４０の抵抗値は、２００ＭΩ〜５００ＭΩであるのがよい。上限値を５００ＭΩとしたのは、電圧降下を小さくするためである。
【００４９】
図１３〜図１６は、実施例の除電器６０の具体的な構造を示す図である。除電器６０は、圧縮空気を受け入れる空気流入ポート６１を含む本体６２を有し、この本体６２には、空気流入ポート６１から真っ直ぐに延びる断面円形の導気路６３が形成され、また、空気流入ポート６１とは反対側の面に空気流出ポート６４が形成されている。この空気流出ポート６４には、選択的に、チューブフィッティング６５を介して可撓性導気チューブ６６が取り付け可能であり、また、例えば複数の吐出口を含むフラットな形状のノズル６７が取り付け可能である。
【００５０】
本体６２の空気流出ポート６４側にオフセットした位置には、導気路６３と直交して延びる上下一対の穴６８が形成され、この穴６８の各々に、放電電極ユニット６９が脱着可能に取り付けられる。
【００５１】
放電電極ユニット６９を装着する穴６８つまりイオン化室を空気流出ポート６４側にオフセットして配置したことにより、本体６２の空気流入ポート６１側は空間的に余裕があるため、本体６２の空気流入ポート６１と放電電極ユニット装着穴６８との間には、導気路６３を挟んで左右に基板７０、７０が配置可能であり（図１４）、基板７０、７０には、上述した除電器６０に関連した高圧電源回路、フィードバック回路、除電器６０の制御回路、制御状態を表示するＬＥＤを除電器６０に取り付けた場合には、このＬＥＤを制御する回路を組み込むことも可能である。
【００５２】
放電電極ユニット６９は放電針７２を有し、放電針７２回りには、この放電針７２の先端を露出することのできる先細りの絶縁性スリーブ７３が設けられている。放電電極ユニット６９の長手方向中間部分には、導電性金属からなる接触リング７４が設けられ、この接触リング７４を通じて放電針７２に電源が供給される。
【００５３】
本体６２に設けられた高圧電源回路７５からステンレス製の板バネ７６を介して接触リング７４に高電圧電源が供給されるようになっており、この板バネ７６は、図１６から理解できるように、放電電極ユニット６９の側方から接触リング７４にアクセスして、この接触リング７４と当接するように配置されている。
【００５４】
放電電極ユニット６９は、その上部に形成されたネジにより本体６２の穴６８に螺着されるが、放電電極ユニット６９の必要箇所にシールリング（典型的にはＯリング）が設けられて、導気路６３を流れる空気の漏れが防止される。
【００５５】
一対の放電電極ユニット６９が本体６２に装着されると、一対の放電針７２の先端は、導気路６３を挟み且つ導気路６３の軸線と直交した軸線上で互いに対峙して配置されて導気路６３の軸線と直交して延びるイオン化室が形成される。各放電針７２の先端と導気路６３の軸線との間の距離は実質的に等しく、また、イオン化室の径は、導気路６３の直径と等しいか、それよりも若干大きくてもよい。
【００５６】
実施例の除電器６０にあっては、放電針７２を電極ユニット６９としてユニット化して、これを除電器本体６２に螺合することにより装着するようにしてあるため、放電針７２が汚れたときには、ユニット６９を取り外して掃除することができ、メンテナンス性を向上することができる。
【００５７】
また、放電電極ユニット６９の挿入方向とは直交する位置つまり放電電極ユニット６９の側面に板バネ７６などの接触片を配置させて高圧電源を放電針７２に供給するようにしてあるため、比較的簡単な構造で、脱着可能な放電電極ユニット６９のシール性を確保することができる。
【００５８】
また、先細りの絶縁性スリーブ７３の側面の傾斜面によって延面距離を実質的に延長することができるため、互いに対向する一対の放電針７２の基部間の離間距離Ｌ（図１６）が小さくなるように設計することができる。
【００５９】
また、放電放電電極ユニット装着穴６８を空気流出ポート６４側にオフセットして配置させたことから、イオン化室から空気流出ポート６４までの距離を短縮して、この間の圧力損出を低減することができる。このことは、空気流出ポート６４に連結するチューブ６６の長さ寸法やノズル６７の種類などがユーザのニーズによって自在に選択されるため、イオン化室から空気流出ポート６４までの間の圧力損出を低減することは望ましいことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のチューブ搬送式除電器の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１に図示の除電器の回路ブロック図である。
【図３】本発明に従う除電器の回路ブロック図である。
【図４】実施例に含まれる放電検出回路の第１具体例を示すブロック図である。
【図５】実施例に含まれる放電検出回路の第２の具体例を示すブロック図である。
【図６】実施例に含まれる放電検出回路の第３具体例を示すブロック図である。
【図７】実施例に含まれる放電検出回路の第４具体例（パルス状電流検知）を示すブロック図である。
【図８】図７に含まれるパルス状電流検知回路の具体例を示すブロック図である。
【図９】図８に示すブロック図の変形例を示す図である。
【図１０】図９に示す構成を用いてマイコンでフィードバックを制御を行う場合の具体的な構成を説明するためのブロック図である。
【図１１】比較的大きな抵抗値を備えた制限抵抗を設けることにより実質的に放電状態に応じた適正な電圧を放電電極を印加する具体的な構成を説明するためのブロック図である。
【図１２】電極間電圧と放電電流との関係を示すグラフである。
【図１３】実施例の除電器（放電電極ユニットが脱着可能）の外観概略図である。
【図１４】図１３に図示の除電器の平面図である。
【図１５】除電器内の導気路に沿って切断した除電器の縦断面図である
【図１６】除電器内の導気路を横断する方向に切断した除電器の横断面図である。
【符号の説明】
２０除電器の電源回路
２１電圧調整回路
２３放電針（放電電極）
２４放電検出回路
４０放電電流検出用の抵抗
４２パルス状電流検知回路
６０除電器
６６可撓性導気チューブ
６７ノズル
６９放電電極ユニット
７３先細り形状の絶縁性スリーブ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a static eliminator that ionizes air by corona discharge, and more particularly, to a static eliminator of a type that transports ionized air to the vicinity of a workpiece (an object to be neutralized) through an external small-diameter tube such as a tube or a nozzle.
[0002]
[Prior art]
A tube transport type static eliminator is used for static elimination in a narrow place where there is no space for installing the static eliminator, and for static elimination of a movable portion using the flexibility of a tube.
[0003]
A static eliminator that ionizes air by corona discharge can be roughly classified into two types, an AC (alternating current) type and a DC (direct current) type. The basic principle is that a high voltage is applied to a discharge electrode to perform corona discharge. Is common and the air is ionized by the corona discharge.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2000-138090 A
Patent Literature 1 proposes a tube transfer type static eliminator using a high-frequency AC having an AC frequency set to 1 kHz or more, that is, an ion generator, so that positive and negative ions can be prevented from canceling each other in the tube. 1 and 2 are a part of the drawings attached to Patent Document 1. With reference to FIG. 1, a conventional tube transfer type static eliminator 1 has an enlarged chamber, that is, an ion generation chamber 2 provided in an air flow path. The ion generation chamber 2 has an air inlet port 3 on its upper wall, and the air inlet port 3 communicates with an air supply means 4 such as a compressor. The lower wall of the ion generation chamber 2 has an ionized air outlet port 5, and a flexible air guide tube 6 is connected to the ionized air outlet port 5.
[0006]
A discharge electrode 7 is provided in the ion generation chamber 2, and the discharge electrode 7 is arranged along an axis connecting the air inflow port 3 and the ionized air outflow port 5. The counter electrode consists essentially of a lower wall 8 around the ionized air outlet port 5, which is grounded.
[0007]
AC power is supplied to the discharge electrode 7 from an AC high voltage power supply 9. As shown in FIG. 2, the AC high-voltage power supply 9 includes a DC circuit 11 and an oscillating circuit 12 using a commercial power supply 10 as a power supply, and outputs an output of a transformer 13 for boosting a high-frequency voltage from the oscillating circuit 12 to a high voltage. The power is supplied to the discharge electrode 7 via the cable 14.
[0008]
The conventional tube transport type static eliminator 1 generates a corona discharge by applying a predetermined voltage to the discharge electrode 7, thereby ionizing air to be pumped into the ion generation chamber 2, and then ionizing the ionized air. The liquid is discharged to the vicinity of a work (not shown) through the outflow port 5 and the flexible air guide tube 6.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, a static eliminator of the type that transports ionized air to the vicinity of the work through a tube or the like is to discharge the work by transporting the ionized air through an external small-diameter pipe. This includes the advantage that dust attached to the work can be removed by force.
[0010]
If the purpose is only to remove dust, it is more efficient to increase the flow rate of air.However, since the work itself must not be scattered by the discharged air, the amount of air discharged from the external small-diameter pipe must be reduced. Need to adjust. Further, since the intended purpose and degree differ for each user, it is desirable to add a function capable of changing the amount of air discharged from the external small diameter pipe for each user.
[0011]
However, when the flow rate of air is changed, the pressure around the discharge electrode changes due to the pressure loss in the external small-diameter tube. For example, if the pressure around the discharge electrode becomes relatively low, a large amount of ozone or NOx is generated. On the other hand, when the pressure around the discharge electrode becomes relatively high, the discharge may be stopped. Incidentally, the discharge starting voltage has a property of increasing with the atmospheric pressure around the discharge electrode.
[0012]
Therefore, an object of the present invention is to provide a static eliminator capable of stably ionizing air even when the amount of air discharged from an external small-diameter tube such as a tube is changed.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, such a technical problem
A static eliminator that ionizes supplied air by corona discharge and discharges the work by discharging the ionized air to the vicinity of the work through an external small-diameter pipe,
This is achieved by providing a static eliminator characterized by having an applied voltage adjusting means capable of adjusting a voltage applied to a discharge electrode according to a change in the amount of supplied air. The applied voltage adjusting means may be provided with, for example, a manual voltage adjusting dial, and by manually operating the dial, the voltage applied to the discharge electrode may be adjusted.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In a preferred embodiment of the present invention, the apparatus further includes a discharge detecting unit for detecting whether or not an appropriate corona discharge is being performed. When the discharge detecting means detects that the appropriate corona discharge is not being performed, the applied voltage adjusting means performs feedback control for adjusting the voltage applied to the discharge electrode so as to be in a predetermined corona discharge state. Can be.
[0015]
The discharge detecting means may detect a discharge current, may detect a pressure (pressure) around a discharge electrode, or may detect a flow rate of supplied air.
[0016]
For example, when the discharge detection means is constituted by means for detecting the discharge current, when the value of the detected discharge current is smaller than a predetermined current value, for example, when the discharge state is too weak, the voltage applied to the discharge electrode is reduced. By increasing the value, an appropriate corona discharge can be executed. Conversely, when the value of the detected discharge current is larger than a predetermined current value, for example, when the discharge state is too strong, appropriate corona discharge can be executed by reducing the voltage applied to the discharge electrode.
[0017]
This makes it possible to optimize the value of the voltage applied to the discharge electrode with respect to changes in the amount of supplied air, and to prevent the occurrence of corona discharge by applying an insufficient voltage to the discharge electrode, By applying an excessive voltage to the discharge electrode, it is possible to prevent a reduction in the charge removal ability due to the occurrence of spark discharge and a large amount of ozone.
[0018]
As a method for detecting the discharge current, a DC type static eliminator may be used to measure the DC current with a resistor or to detect a pulsed current generated by discharge. With a DC type static eliminator, the intensity of corona discharge can be easily and accurately measured by knowing the average current value of the direct current. If spark discharge occurs, a large amount of current flows. Although a method of detecting a pulsed current involves a lot of processing necessary for measuring a current value, it can be applied to both an AC type (including high-frequency AC) and a DC type static eliminator. You can know the strength of.
[0019]
If feedback control is performed by measuring the pressure (pressure) around the discharge electrode by, for example, providing a pressure sensor, the relationship between the pressure and the discharge voltage is obtained in advance, and this is prepared as a table. The voltage can be adjusted to an optimum voltage according to the detected pressure. Similarly, if the feedback control is performed by measuring the air flow rate, the relationship between the flow rate and the pressure is obtained in advance, and if this is prepared as a table, the detected flow rate can be converted into the pressure. It can be adjusted to the optimal voltage.
[0020]
【Example】
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 3 is a block diagram of a power supply circuit 20 of the static eliminator according to the embodiment. As in the conventional case, a DC power supply circuit 11 that uses a commercial power supply 10 as a power supply, and a voltage adjustment circuit that adjusts the voltage from the DC power supply circuit 11 21. The power supply circuit 20 raises the voltage adjusted by the voltage adjustment circuit 21 to a high voltage by the boosting circuit 22 and applies the high voltage to the discharge electrode, that is, the discharge needle 23.
[0021]
The power supply circuit 20 has a circuit 24 for detecting a discharge state. An output from the discharge detection circuit 24 is amplified by an amplifier 25 and input to a comparison circuit 26. When the discharge state is different from a predetermined state, a voltage adjustment circuit is provided. Feedback control for adjusting the voltage from the DC power supply circuit 11 is performed by the control unit 21 so that the discharge state becomes a predetermined state.
[0022]
4 to 6 are diagrams for illustrating specific examples of the discharge detection circuit 24, and FIGS. 4 to 6 are circuit diagrams relating to a DC (direct current) type static eliminator as an example.
[0023]
That is, for example, referring to FIG. 4, the DC type static eliminator has a positive transformer 30 and a negative transformer 31, and the voltage applied to the primary coil of these

transformers

30 and 31 is the above-described voltage adjustment. The adjustment is performed by the circuit 21. The plus side booster circuit 32 (22) is connected to the plus side discharge needle 33 (23), and the minus side booster circuit 34 (22) is connected to the minus side discharge needle 35 (23).
[0024]
In the example of FIG. 4, the discharge current between the plus side discharge needle 33 and the minus side discharge needle 35 is connected to the ground side connection between the plus side booster circuit 32 and the transformer 30 by the resistor 40. It can be detected by measuring the current flowing through the resistor 40. When the measured current is smaller than the target value, control is performed to increase at least one of the primary voltages of the positive and

negative transformers

30 and 31. On the other hand, when the measured current is larger than the target value, control for reducing at least one of the primary voltages of the positive and

negative transformers

30 and 31 is performed.
[0025]
The resistor 40 may be connected to a ground-side connection between the negative side booster circuit 34 and the transformer 31 as shown in FIG. 5, or may be connected to a positive side as shown in FIG. May be connected between the ground-side connection between the step-up circuit 32 and the transformer 30 and the ground-side connection between the negative side step-up circuit 34 and the transformer 31.
[0026]
FIG. 7 shows that the discharge state is detected based on the presence or absence of a pulse-like current generated by the discharge. If no pulse-like current is detected, the primary voltage of at least one of the positive and

negative transformers

30 and 31 is increased. It has become. That is, the pulse-like current detection circuit 42 is connected via the capacitor 41 to the output side (high-voltage cable 40) of the booster circuit 34 on the minus side, for example.
[0027]
The pulse-shaped current detection circuit 42 may be configured by a current-voltage conversion element 43 as shown in FIG. 8, and by using a pulse transformer 44 in a stage preceding the current-voltage conversion element 43 as shown in FIG. 9. A pulsed current may be selected. As the current-voltage conversion element 43, a resistor, a coil, an LC parallel circuit, or the like can be used.
[0028]
The current detected by the pulse-like current detection circuit 42 is amplified by the amplifier 45 and binarized by the rectification circuit 46 and the binarization circuit (typically, a comparator) 47 to detect the presence or absence of the pulse-like current. Alternatively, as shown in FIG. 10, after being binarized by the comparator 47, the current is converted to a current value by counting the number of pulses by a microcomputer, for example, and the discharge is performed so that this current value becomes the target value. The voltage applied to the needle 23 may be adjusted.
[0029]
FIG. 11 shows a DC type static eliminator in which a limiting resistor 50 having a relatively large resistance value is provided between the booster circuit 32 (34) and the discharge needle 33 (35) to automatically adjust the discharge state. It can be performed.
[0030]
When the discharge was performed with the positive discharge needle 33 and the negative discharge needle 35 facing each other, the correlation between the atmospheric pressure and the discharge voltage was determined by experiment. It was found that the voltage was required to be about twice at 25 MPa and about three times at 0.5 MPa (this correlation is referred to as “relation 1”).
[0031]
Regarding a coaxial cylindrical electrode capable of generating the same electric field concentration as the counter electrode, the relational expression between the electric field at the start of discharge and the pressure can be expressed as follows (book "New High Voltage Engineering" p79, Asakura Shoten, author) : Sakamoto, Taga).
[0032]
(Equation 1) Ec = 31.0δ {1 + 0.301 (δr) (- 1/2)}
Here, Ec is a discharge starting electric field (kV / cm), δ is a relative air density, and r is an outer diameter of the inner electrode. The relative air density (δ) is for correcting the gas density accompanying the temperature change (temperature correction) by regarding the insulating gas as an ideal gas, and can be expressed by the following equation.
[0033]
δ = 0.386p / (273 + t)
Here, p is the atmospheric pressure (Torr), t is the gas temperature (° C.), and δ at 760 Torr and 20 ° C. is set to 1.
[0034]
Also in the above equation 1, at 0.5 MPa (δ = 6), the electric field is about three times as large as the normal pressure. Therefore, the above-described experimental result is a general tendency of the corona discharge at the place where the electric field is concentrated. Can be considered.
[0035]
On the other hand, the correlation between the discharge current and the voltage under normal pressure changes depending on the distance between the electrodes as shown in FIG. When the output voltage to the discharge electrode is set to an appropriate value for a high pressure, the voltage becomes excessive under normal pressure, and a very large current flows. In order to cancel the excess voltage by the limiting resistor 50, a resistor having a resistance value (R) calculated by the following equation 2 or more may be used as the limiting resistor 50.
[0036]
R = excess voltage / allowable current change
The allowable current change is preferably set to about 25 μA. If a current value larger than about 25 μA is set, the brush corona generated between the electrodes grows greatly, and the amount of harmful substances such as ozone may be further increased.
[0038]
When the distance between the electrodes is set to, for example, 15 mm and the maximum pressure is set to 0.25 MPa and 0.5 MPa, the following value can be obtained for the excess voltage from FIG.
[0039]

[0040]
Since the excess voltage changes depending on the interelectrode distance L (mm) and the corresponding pressure P (MPa), the result of the experiment can be represented by the following approximate expression.
[0041]

Here, the multiple by the pressure is closer to the above “Relationship 1”. The voltage discharged at normal pressure is similar to the voltage flowing at 1 μA in FIG.
[0042]
Therefore, the resistance value required for the limiting resistor 50 can be expressed by the following equation.
(Equation 2) R (MΩ) = 1000 × {(1 + 4P) (5 + L / 5) − (2 + 3L / 5)} (kV) / 25 (μA)
[0043]
The resistance value obtained by the above equation 2 is as follows. Note that the resistance value is the sum of the resistance values of the plus and minus power supplies and includes the output impedance of the power supply itself. Therefore, when the output impedance of the power supply is 100 MΩ, the resistance value is smaller by 100 MΩ than the resistance value of each of the plus and minus resistances. A yard can be used.
[0044]
Plus, the sum of the resistance values necessary to minus (M Ω)

[0045]
The resistance value of the limiting resistor 50 that can be employed in the present invention is preferably 100 MΩ to 2000 MΩ. If the resistance value is smaller than 100 MΩ from the calculated value obtained from the above equation 2, the object of the present invention cannot be substantially achieved. If the resistance value is larger than 2000 MΩ, the pressure drop at the resistance becomes too large, and it becomes necessary to set the output value of the high-voltage power supply to a very high value, which is not practical.
[0046]
Assuming that a distance L between electrodes of 10 mm to 25 mm is appropriate, the resistance value of the limiting resistor 50 is preferably 200 MΩ to 1000 MΩ at this distance between electrodes.
[0047]
When the distance L between the electrodes is set as described above, if the resistance value is smaller than 200 MΩ, abnormal discharge may occur. If a resistance value larger than 1000 MΩ is used, the electric field between the electrodes will be weakened.
[0048]
If the distance L between the electrodes is 15 mm, the resistance value of the limiting resistor 40 is preferably 200 MΩ to 500 MΩ. The upper limit is set to 500 MΩ in order to reduce the voltage drop.
[0049]
13 to 16 are diagrams illustrating a specific structure of the static eliminator 60 according to the embodiment. The static eliminator 60 has a main body 62 including an air inflow port 61 for receiving compressed air. The main body 62 is formed with an air guide passage 63 having a circular cross section extending straight from the air inflow port 61. An air outflow port 64 is formed on a surface opposite to the port 61. A flexible air guide tube 66 can be selectively attached to the air outlet port 64 via a tube fitting 65, and a flat nozzle 67 including, for example, a plurality of discharge ports can be attached to the air outlet port 64. is there.
[0050]
A pair of upper and lower holes 68 extending perpendicular to the air guide path 63 are formed at positions offset from the air outlet port 64 of the main body 62, and a discharge electrode unit 69 is detachably attached to each of the holes 68. .
[0051]
Since the hole 68 for mounting the discharge electrode unit 69, that is, the ionization chamber is offset to the air outflow port 64 side, the air inflow port 61 side of the main body 62 has a spatial margin.

Substrates

70, 70 can be arranged between the discharge electrode unit mounting hole 68 and the discharge electrode unit 61 on both sides of the air guide path 63 (FIG. 14). When a high-voltage power supply circuit, a feedback circuit, a control circuit of the static eliminator 60, and an LED for displaying a control state are attached to the static eliminator 60, a circuit for controlling the LED can be incorporated.
[0052]
The discharge electrode unit 69 has a discharge needle 72, and a tapered insulating sleeve 73 that can expose the tip of the discharge needle 72 is provided around the discharge needle 72. A contact ring 74 made of a conductive metal is provided at an intermediate portion in the longitudinal direction of the discharge electrode unit 69, and power is supplied to the discharge needle 72 through the contact ring 74.
[0053]
A high-voltage power supply is supplied from a high-voltage power supply circuit 75 provided in the main body 62 to a contact ring 74 via a stainless steel leaf spring 76, and this leaf spring 76 can be understood from FIG. The contact ring 74 is accessed from the side of the discharge electrode unit 69 and is arranged so as to contact the contact ring 74.
[0054]
The discharge electrode unit 69 is screwed into a hole 68 of the main body 62 by a screw formed on the upper part thereof. Leakage of air flowing through the air passage 63 is prevented.
[0055]
When the pair of discharge electrode units 69 are mounted on the main body 62, the tips of the pair of discharge needles 72 are arranged so as to face each other on an axis that sandwiches the air guide path 63 and is orthogonal to the axis of the air guide path 63. An ionization chamber extending perpendicular to the axis of the air passage 63 is formed. The distance between the tip of each discharge needle 72 and the axis of the air passage 63 is substantially equal, and the diameter of the ionization chamber may be equal to or slightly larger than the diameter of the air passage 63. .
[0056]
In the static eliminator 60 of the embodiment, since the discharge needle 72 is unitized as the electrode unit 69 and attached by screwing it to the static eliminator main body 62, when the discharge needle 72 becomes dirty, , The unit 69 can be removed for cleaning, and the maintainability can be improved.
[0057]
In addition, since a contact piece such as a leaf spring 76 is arranged at a position orthogonal to the insertion direction of the discharge electrode unit 69, that is, at a side surface of the discharge electrode unit 69, high-voltage power is supplied to the discharge needle 72. With a simple structure, the sealing performance of the detachable discharge electrode unit 69 can be ensured.
[0058]
Further, since the extension surface distance can be substantially extended by the inclined surface of the side surface of the tapered insulating sleeve 73, the separation distance L (FIG. 16) between the bases of the pair of discharge needles 72 facing each other is reduced. Can be designed as follows.
[0059]
Further, since the discharge electrode unit mounting hole 68 is arranged offset to the air outflow port 64 side, the distance from the ionization chamber to the air outflow port 64 can be shortened, and the pressure loss during this period can be reduced. it can. This is because the length of the tube 66 connected to the air outlet port 64 and the type of the nozzle 67 are freely selected according to the needs of the user, so that the pressure loss from the ionization chamber to the air outlet port 64 is reduced. Reduction is desirable.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of a conventional tube-carrying type static eliminator.
FIG. 2 is a circuit block diagram of the static eliminator shown in FIG.
FIG. 3 is a circuit block diagram of a static eliminator according to the present invention.
FIG. 4 is a block diagram illustrating a first specific example of a discharge detection circuit included in the embodiment.
FIG. 5 is a block diagram showing a second specific example of the discharge detection circuit included in the embodiment.
FIG. 6 is a block diagram showing a third specific example of the discharge detection circuit included in the embodiment.
FIG. 7 is a block diagram illustrating a fourth specific example (pulse current detection) of the discharge detection circuit included in the embodiment.
FIG. 8 is a block diagram showing a specific example of a pulse-like current detection circuit included in FIG. 7;
FIG. 9 is a diagram showing a modification of the block diagram shown in FIG. 8;
10 is a block diagram for explaining a specific configuration in a case where feedback control is performed by a microcomputer using the configuration shown in FIG. 9;
FIG. 11 is a block diagram for explaining a specific configuration in which an appropriate voltage substantially corresponding to a discharge state is applied to a discharge electrode by providing a limiting resistor having a relatively large resistance value.
FIG. 12 is a graph showing a relationship between a voltage between electrodes and a discharge current.
FIG. 13 is a schematic external view of a static eliminator (discharge electrode unit is detachable) of the embodiment.
FIG. 14 is a plan view of the static eliminator shown in FIG.
FIG. 15 is a vertical cross-sectional view of the static eliminator cut along an air guide path in the static eliminator. FIG. 16 is a transverse cross-sectional view of the static eliminator cut in a direction crossing the air guide path in the static eliminator. .
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 20 Power supply circuit of static eliminator 21 Voltage adjustment circuit 23 Discharge needle (discharge electrode)
24 Discharge detection circuit 40 Discharge current detection resistor 42 Pulse current detection circuit 60 Static eliminator 66 Flexible air guide tube 67 Nozzle 69 Discharge electrode unit 73 Tapered insulating sleeve

Claims

A static eliminator that ionizes supplied air by corona discharge and discharges the work by discharging the ionized air to the vicinity of the work through an external small-diameter pipe,
A static eliminator comprising an applied voltage adjusting means capable of adjusting a voltage applied to a discharge electrode in accordance with a change in the amount of supplied air.

Discharge detection means for detecting the discharge state of the discharge electrode,
2. The apparatus according to claim 1, further comprising: an applied voltage adjusting unit configured to increase a voltage applied to the discharge electrode when the discharge state detected by the discharge detection unit is weak, and to decrease a voltage applied to the discharge electrode when the discharge state is too strong. The static eliminator as described.

3. The static eliminator according to claim 2, wherein said discharge detecting means comprises means for detecting a pulsed current caused by the discharge.

3. The static eliminator according to claim 2, wherein said discharge detecting means comprises means for detecting a discharge current.

3. The static eliminator according to claim 2, wherein said discharge detecting means comprises means for detecting a flow rate of said air.

3. The static eliminator according to claim 2, wherein said discharge detecting means comprises means for detecting a pressure around said discharge electrode.