JP2004119804A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004119804A5 JP2004119804A5 JP2002283020A JP2002283020A JP2004119804A5 JP 2004119804 A5 JP2004119804 A5 JP 2004119804A5 JP 2002283020 A JP2002283020 A JP 2002283020A JP 2002283020 A JP2002283020 A JP 2002283020A JP 2004119804 A5 JP2004119804 A5 JP 2004119804A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- detection means
- reaction tube
- detection information
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002283020A JP4286514B2 (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 半導体製造装置及び温度制御方法、半導体製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002283020A JP4286514B2 (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 半導体製造装置及び温度制御方法、半導体製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004119804A JP2004119804A (ja) | 2004-04-15 |
| JP2004119804A5 true JP2004119804A5 (zh) | 2005-10-13 |
| JP4286514B2 JP4286514B2 (ja) | 2009-07-01 |
Family
ID=32277019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002283020A Expired - Lifetime JP4286514B2 (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 半導体製造装置及び温度制御方法、半導体製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4286514B2 (zh) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7006900B2 (en) * | 2002-11-14 | 2006-02-28 | Asm International N.V. | Hybrid cascade model-based predictive control system |
| JP4555647B2 (ja) * | 2004-09-21 | 2010-10-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、温度制御方法 |
| JP4783029B2 (ja) * | 2005-01-31 | 2011-09-28 | 株式会社日立国際電気 | 熱処理装置及び基板の製造方法 |
| JP4878801B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2012-02-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法 |
| JP5017722B2 (ja) * | 2006-12-12 | 2012-09-05 | 東洋自動機株式会社 | 袋詰め包装におけるスチーム置換脱気装置及び方法 |
| JP4411341B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2010-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型熱処理装置用の熱交換器及び縦型熱処理装置 |
| JP5734081B2 (ja) * | 2010-10-18 | 2015-06-10 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、基板処理装置の温度制御方法、及び基板処理装置の加熱方法 |
| CN102063057B (zh) * | 2010-10-28 | 2012-09-05 | 北京大学 | 一种微机械谐振式器件闭环驱动用的pid控制装置 |
| KR101302156B1 (ko) | 2013-05-08 | 2013-08-30 | (주)테키스트 | 반도체 제조 설비를 위한 실시간 열량 모니터링 기반 열전소자 온도제어 시스템 |
| JP6087323B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2017-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理方法及びその熱処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
| JP6752851B2 (ja) * | 2017-09-12 | 2020-09-09 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | クーリングユニット、基板処理装置、および半導体装置の製造方法 |
| US11043402B2 (en) | 2017-09-12 | 2021-06-22 | Kokusai Electric Corporation | Cooling unit, heat insulating structure, and substrate processing apparatus |
| JP7117398B2 (ja) * | 2019-01-07 | 2022-08-12 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびヒータユニット |
| CN114459149A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-10 | 中国航天空气动力技术研究院 | 一种蓄热式风洞电预热加热器系统及控制方法 |
-
2002
- 2002-09-27 JP JP2002283020A patent/JP4286514B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004119804A5 (zh) | ||
| CA2447853A1 (en) | Chemical reaction apparatus and power supply system | |
| JP2003275653A5 (zh) | ||
| WO2005050717A3 (en) | Micro-transducer and thermal switch for same | |
| WO2006127889A3 (en) | Support for use in microchannel processing | |
| BRPI0416514A (pt) | sistema de camadas de alta temperatura para a dissipação de calor e processo para sua fabricação | |
| CN112063491B (zh) | 一种核酸检测扩增反应微通道温控装置及方法 | |
| CA2360249A1 (en) | Method for controlling a floor heating system | |
| WO2005036594A3 (en) | Method and apparatus for efficient temperature control using a contact volume | |
| DE60026245D1 (de) | Laserinduziertes Aufzeichnungsverfahren mit thermischer Übertragung durch Wärme | |
| JP2001249560A5 (ja) | 画像形成装置および加熱装置 | |
| EP1422484A4 (en) | REGENERATOR, AND THERMAL REGENERATION SYSTEM FOR FLUIDIZED GAS USING SUCH A REGENERATOR | |
| JP2006313200A5 (zh) | ||
| DE60303654D1 (de) | Klimaanlage | |
| DE60126930D1 (de) | Einrichtung zum erhitzen von dampf | |
| JP2005295762A5 (zh) | ||
| JP4259666B2 (ja) | インキュベータ | |
| JP2002171673A5 (zh) | ||
| DE50302334D1 (de) | Heizplatte | |
| JP2004014902A5 (zh) | ||
| ATE323805T1 (de) | Wand- oder deckenverkleidung, die als thermische austauschfläche ausgebildet ist | |
| DE60318303D1 (de) | Wärmeübertragungsaufzeichnungsmedium | |
| JP2005347303A5 (zh) | ||
| KR20150137981A (ko) | 열전 소자를 이용한 온도 제어 장치 및 온도 제어 방법 | |
| JP2007108663A5 (zh) |