[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2004144565A - Apparatus and method for detecting defects in hologram - Google Patents

Apparatus and method for detecting defects in hologram Download PDF

Info

Publication number
JP2004144565A
JP2004144565A JP2002308596A JP2002308596A JP2004144565A JP 2004144565 A JP2004144565 A JP 2004144565A JP 2002308596 A JP2002308596 A JP 2002308596A JP 2002308596 A JP2002308596 A JP 2002308596A JP 2004144565 A JP2004144565 A JP 2004144565A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hologram
defect
image data
subject
defect detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002308596A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kojima
小島 弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2002308596A priority Critical patent/JP2004144565A/en
Publication of JP2004144565A publication Critical patent/JP2004144565A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect defects on a surface of a hologram. <P>SOLUTION: The apparatus for detecting the defect, which detects the defect on the surface of a thin plate-like hologram 10 to be tested, is provided with a planar light source 11 by which the substantive surface side except the overhead section on the surface of the hologram 10 is irradiated with test light in all directions in relation to the surface of the hologram 10 to be tested, a camera 12 which photographs the surface of the hologram 10 irradiated with the test light as an image viewed directly overhead and obtains image data, and an image data comparing section 32 which judges as to whether the defect is present or not on the surface of the hologram 10 to be tested, on the basis of the image data obtained by the camera 12 and image data of a defect-free hologram having a specification identical to the hologram 10 to be tested and being previously photographed to obtain its image data. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホログラムの表面の欠陥を検出する欠陥検出装置および欠陥検出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、転写型ホログラムは、レリーフ状の回折格子を平面上に記録したスタンパを、例えば樹脂表面に押しつけることによって回折格子パターンを樹脂表面に転写した後に、表面に金属が蒸着され、反射層が形成されることによって製造されている。もちろん、樹脂以外の種々の材料が使われることもある。
【0003】
このようにして形成されるホログラムは、光が入射する角度によって様々なパターンの画像を表示することができることから、ICカードや、クレジットカードに貼り付けることによって偽造防止や、セキュリティ管理等に応用がなされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このようにホログラムは、偽造防止や、セキュリティ管理等に応用されていることから、確実に制作することが要求される。
【0005】
しかしながら、上述したように、ホログラムはミクロンオーダでかつ非常に複雑な回折格子のパターンによって精密に形成されるものであるので、その製造は容易ではなく、製造段階においても十分に注意を払う必要がある。
【0006】
例えば、スタンパにゴミ等の異物が付着し、異物が付いたままの状態でホログラムが製造されると、スタンパを押すたび毎に回折格子の凹凸が潰れてしまい、表面に正しい回折格子パターンが得られなくなる。
【0007】
通常、ホログラムは、回折光を見ることになるので、視点によって像の見え方が変化する。このため、直接反射光や、単一もしくは複数の光源を用いた照明条件下では、一度に全画像を見ることはできない。また、光の照射条件の僅かな違いによっても見える画像が変化する。したがって、検査しようとする画像が安定せず、検査結果も信頼性が保てない。
【0008】
そのため、上述したように、万が一、表面に正しい回折格子が形成されず、欠陥のあるホログラムが製造されても、その欠陥を検出することは困難であり、欠陥のあるホログラムが連続して多数製造され続ける可能性があるという問題がある。
【0009】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能なホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。
【0011】
すなわち、請求項1の発明は、被検体である薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する装置であって、被検体であるホログラムの表面に対して、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射する検査光用光源と、検査光によって照射された該ホログラムの表面を直上部から見た画像を撮像し、画像データを取得する撮像手段と、撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像され取得された被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、被検体であるホログラムの表面に欠陥が有るか否かを判定する判定手段とを備えている。
【0012】
従って、請求項1の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面に回折格子が正しく形成されない場合には、検査光は直上部には回折しないので、直上部から見た画像データの中には、黒い点が撮像される。
【0013】
したがって、この黒い点が観察された場合には、ホログラムの表面には欠陥があるものと判定することにより、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0014】
請求項2の発明は、請求項1の発明のホログラムの欠陥検出装置において、検査光用光源は円筒状であり、被検体であるホログラム、および撮像手段を円筒内に配置する。
【0015】
従って、請求項2の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を、被検体であるホログラムの表面に向けて照射することができるとともに、ホログラムの表面の直上部に撮像手段を配置することができる。
【0016】
その結果、請求項1の発明のホログラムの欠陥検出装置を、コンパクトに構成することができる。
【0017】
請求項3の発明は、被検体であるロール状に巻かれた薄板状のホログラムを巻き取りながらホログラムの表面の欠陥を検出する装置であって、被検体であるホログラムが巻き取られる巻き取り方向に直交する方向に沿って溝切られ、該ホログラムの表面上に接近して配置されたスリットと、被検体であるホログラムの表面に対して、スリットの直上部を除く実質的な表面側全方向から、スリットを介して検査光を照射する検査光用光源と、検査光によって照射された該ホログラムの表面である検査エリアを、スリットを介して直上部から見た画像を順次撮像し、これをならべて1枚の画像データとする撮像手段と、撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像され取得された被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、検査エリアに欠陥が有るか否かを判定する判定手段と、判定手段によって判定された後に、判定手段が順次実行できるように、被検体であるホログラムを巻き取る巻取手段とを備えている。
【0018】
従って、請求項3の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ロール状に巻かれた薄板状のホログラムを製造しながら、連続的に表面の欠陥検出を行うことができる。
【0019】
請求項4の発明は、請求項3の発明のホログラムの欠陥検出装置において、検査光用光源は円筒状であり、検査エリア、および撮像手段を円筒内に配置する。
【0020】
従って、請求項4の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を、検査エリアに向けて照射することができるとともに、ホログラムの表面の直上部に撮像手段を配置することができる。その結果、請求項3の発明のホログラムの欠陥検出装置を、コンパクトに構成することができる。
【0021】
請求項5の発明は、請求項1または請求項3の発明のホログラムの欠陥検出装置において、検査光用光源は、平板状であり、直上部に撮像手段を配置する。
【0022】
従って、請求項5の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を、検査エリアに向けて照射することができるとともに、ホログラムの表面の直上部に撮像手段を配置することができる。その結果、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0023】
請求項6の発明は、請求項1乃至5のうち何れか1項の発明のホログラムの欠陥検出装置において、撮像手段を直上部に配置し、撮像手段と被検体であるホログラムとの間に備えられ、検査光によって照射された該ホログラムの表面を直上部から見た像を、撮像手段において結像させるテレセントリックレンズを付加する。
【0024】
テレセントリックレンズは、検査光によって照射された該ホログラムからの回折光のみを捉える。従って、請求項6の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面に回折格子が正しく形成されない場合には、直上部から見た画像データの中の黒い点を鮮明に撮像することができる。その結果、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0025】
請求項7の発明は、請求項1乃至6のうち何れか1項の発明のホログラムの欠陥検出装置において、判定手段は、撮像手段によって撮像された画像に基づく画像データと、予め撮像され取得された被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとを比較する比較手段と、比較手段による比較の結果、両画像データに相違する箇所があった場合には、欠陥が有るものと判定し、両画像データに相違する箇所が無かった場合には、欠陥が無いものと判定する欠陥判定手段とを備えている。
【0026】
従って、請求項7の発明のホログラムの欠陥検出装置においては、以上のような手段を講じることにより、被検体であるホログラムの直上部から撮像した画像データを、無欠陥のホログラムの画像データと比較することにより、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0027】
請求項8の発明は、被検体である薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する方法であって、予め、被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データを撮像して取得しておき、被検体であるホログラムの表面に対して、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射し、検査光によって照射された該ホログラムの表面を直上部から見た画像を撮像して画像データを取得し、この取得された画像データと、予め取得しておいた無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、被検体であるホログラムの表面に欠陥が有るか否かを判定する。
【0028】
従って、請求項8の発明のホログラムの欠陥検出方法においては、以上のような手段を講じることにより、ホログラムの表面に回折格子が正しく形成されない場合には、検査光は直上部には回折しないので、直上部から見た画像データの中には、黒い点が撮像される。
【0029】
したがって、この黒い点が観察された場合には、ホログラムの表面には欠陥があるものと判定することにより、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0030】
請求項9の発明は、被検体であるロール状に巻かれた薄板状のホログラムを巻き取りながらホログラムの表面の欠陥を検出する方法であって、予め、被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データを撮像して取得しておき、被検体であるホログラムが巻き取られる巻き取り方向に直交する方向に沿って溝切られたスリットを該ホログラムの表面上に接近して配置し、被検体であるホログラムの表面に対して、スリットの直上部を除く実質的な表面側全方向から、スリットを介して検査光を照射し、検査光によって照射された該ホログラムの表面である検査エリアを、スリットを介して直上部から見た画像を順次撮像し、これをならべて1枚の画像データとし、この画像データと、予め取得しておいた無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、検査エリアに欠陥が有るか否かを判定し、判定がなされた後に、次の検査エリアに検査光が照射されるように、被検体であるホログラムを巻き取ることを繰り返すことによって、ロール状に巻かれた薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する。
【0031】
従って、請求項9の発明のホログラムの欠陥検出方法においては、以上のような手段を講じることにより、ロール状に巻かれた薄板状のホログラムを製造しながら、連続的に表面の欠陥検出を行うことができる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0033】
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態を図1から図6を用いて説明する。
【0034】
図1は、第1の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図である。
【0035】
すなわち、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置は、被検体である薄板状のホログラム10の表面の欠陥を検出する装置であって、平面光源11と、カメラ12と、画像取込部14と、画像処理装置16とを備えている。
【0036】
平面光源11は、図1に示すように、例えば白色光からなる検査光hを照射する。そしてこの検査光hを照射する側に、検査光hを拡散する拡散板であるディフューザ18を配置している。また、平面光源11は、図1の立面図および図2の平面図に示すように、中央部に撮像用穴20を設けている。そして、この撮像用穴20が、検査台17上に設けられた検査位置19の直上に配置されるようにしている。このような構成とすることによって、検査位置19に、被検体であるホログラム10を、検査する表面側を上に向けて載置した場合、このホログラム10の表面に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光hを照射可能なようにしている。
【0037】
また、この撮像用穴20の中にカメラ12を配置し、検査光hによって照射されたホログラム10の表面を真上から見た画像を撮像できるようにしている。また、このカメラ12の撮像レンズ22としては、好適にはテレセントリックレンズを用いる。
【0038】
テレセントリックレンズは、図3(a)に示すように、2枚のレンズとピンホールpとがセットになって構成されており、検査光hによって照射されたホログラム10の表面を、真上から見た像を撮像するのに適している。すなわち、図3(a)に示すように、テレセントリックレンズ22(#a)は、直進してくる光のみを使って結像するので、図3(a)中の記号aで示すように、斜めから入ってくる光は結像しない。このため、円筒体24を真上から見た場合、図3(b)に示すように、胴部25と中空部26とからのみなる画像となる。
【0039】
一方、テレセントリックレンズではない一般の撮影レンズ22(#b)は、図4(a)に示すように、2枚のレンズがセットになって構成されており、図4(a)中の記号bに示すように、斜めから入ってくる光も結像する。このため、円筒体24を真上から見た場合であっても、図4(b)に示すように、胴部25と中空部26との間に内側面27が存在するように結像する。
【0040】
このように、撮像レンズ22としてテレセントリックレンズ22(#a)を用いることによって、カメラ12は、被検体であるホログラム10の真上から見た場合、正確な画像を撮像する。
【0041】
画像取込部14は、カメラ12によって撮像された画像を取得し、この画像を電子化し、電子化した画像データを画像処理装置16へと出力する。
【0042】
画像処理装置16は、検査用画像データ格納部28と、基準画像データ格納部30と、画像データ比較部32と、欠陥判定部34とを備えている。
【0043】
検査用画像データ格納部28は、画像取込部14から出力された画像データを格納し、画像データ比較部32から要求があった場合には、格納している画像データを画像データ比較部32へと出力する。
【0044】
被検体であるホログラム10の表面に欠陥があるか否かを判定するためには、被検体のホログラムと同一仕様であり、無欠陥のホログラムを真上から撮像して得られた画像データと比較することによって行う。そのため、被検体のホログラムと同一仕様であり無欠陥のホログラムの真上から見た画像データを、予め撮像しておき、基準画像データ格納部30に格納しておく。
【0045】
画像データ比較部32は、検査用画像データ格納部28に格納された画像データと、基準画像データ格納部30に格納された画像データとを比較する。比較方法としては、同一座標における濃淡値の差分あるいは比率を演算する方法があるが、本発明では、実質的に両画像データの比較をできる方法であれば何れの方法であっても構わない。
【0046】
欠陥判定部34は、画像データ比較部32による比較の結果、両画像データに相違する箇所があった場合には、被検体であるホログラム10の表面に欠陥が有るものと判定する。一方、両画像データに相違する箇所が無かった場合には、被検体であるホログラム10は、表面に欠陥が無いものと判定する。
【0047】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の作用について説明する。
【0048】
すなわち、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置を用いて、被検体であるホログラム10の表面における欠陥の有無を判定するためには、まず、検査位置19に被検体であるホログラム10を、その表面を上、すなわちカメラ12の側に向けて配置する。この場合、カメラ12が、ホログラム10の表面を、真上から撮影できるように、ホログラム10を検査位置19に設置する。
【0049】
このようにして検査位置19に被検体であるホログラム10が配置されると、次に、平面光源11によって被検体であるホログラム10の表面側に向けて検査光hを照射する。平面光源11から照射された検査光hは、ディフューザ18によって拡散される。これによって、このホログラム10の表面に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から、検査光hが照射される。
【0050】
このように、ホログラム10の表面に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光が照射された場合の作用について、図5を用いて説明する。
【0051】
すなわち、ホログラム10の表面において、V方向に回折した回折光を得るためには、例えば、図5中に示すR方向のように、V方向を除く全ての方向からホログラム10に対して検査光hを照射する必要がある。このとき、ホログラム10のC点に回折格子が切ってあれば、V方向への回折光は存在する。
【0052】
しかしながら、C点の回折格子が潰れて平らになっている、すなわち回折格子に欠陥がある場合には、例えば図5中のR’方向に示すように、直接反射光のみとなり、V方向への回折光は存在しなくなる。このように、V方向への回折光が存在しない状態でC点を真上から撮像した場合には、黒い点として撮像される。
【0053】
よって、このようにして撮像された画像データを、例えば図6(a)に示すような同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データと比較することによって、欠陥の有無を検出することができる。
【0054】
したがって、被検体であるホログラム10に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から、検査光hが照射された場合、万が一、ホログラム10の表面に欠陥があり、回折格子が潰れて平らになっている箇所があると、その箇所からは真上方向(V方向)への回折光は存在しなくなる。その結果、図6(b)に示すように、この箇所は、ホログラム10の真上に配置されているカメラ12によって、黒い点kとして撮像される。
【0055】
また、被検体であるホログラム10からの回折光を、テレセントリックレンズ22(#a)を用いて、カメラ12に結像することによって、被検体であるホログラム10の真上から見た正確な画像が撮像される。
【0056】
カメラ12によって撮像された画像は、画像取込部14によって取得され、電子化された後に、この電子化した画像データは、画像処理装置16へ出力され、検査用画像データ格納部28に格納される。
【0057】
一方、基準画像データ格納部30には、例えば図6(a)に示すように、被検体のホログラム10と同一仕様であり、無欠陥のホログラムを真上から撮像して得られた画像データが予め撮影され、格納されている。
【0058】
そして、画像データ比較部32では、検査用画像データ格納部28に格納された画像データと、基準画像データ格納部30に格納された画像データとが比較される。
【0059】
更に、画像データ比較部32による比較の結果、図6(b)中に示す黒い点kのように、両画像データに相違する箇所があった場合には、欠陥判定部34によって、被検体であるホログラム10の表面に欠陥が有るものと判定される。一方、両画像データに相違する箇所が無かった場合には、被検体であるホログラム10は、表面に欠陥が無いものと判定される。
【0060】
上述したように、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置においては、上記のような作用により、被検体であるホログラム10の表面に欠陥がある場合には、検査光は直上部には回折しないので、直上部すなわち真上から見た画像データの中において、例えば図6(b)に示すように黒い点kとして撮像することができる。
【0061】
したがって、被検体であるホログラム10と同一仕様であって、欠陥の無いホログラムを直上部から撮像した画像データと比較することによって、被検体であるホログラム10の表面の欠陥を精度良く検出することが可能となる。
【0062】
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態を図7および図8を用いて説明する。
【0063】
図7は、第2の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図である。
【0064】
すなわち、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置は、図1に示す第1の実施の形態において用いられている平面光源11に代えて、図8にその斜視図を示すような円筒光源36を適用した点のみその構成を異としている。したがって、図7では、図1と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【0065】
この円筒光源36は、例えば白色光からなる検査光hを、中空部38側に照射する。また、円筒光源36の中空部38側である内周面には、検査光hを拡散する拡散板であるディフューザ18を配置している。
【0066】
このような円筒光源36を、図7に示すように、検査台17の上に載置し、更に検査台17の上に設けられた検査位置19が、中空部38の円筒軸中心上に存在するように配置する。更に、カメラ12を、検査位置19の直上部であって、その中心が同じ円筒軸中心上に存在するように配置する。
【0067】
このような配置構成とすることによって、円筒光源36から射出された検査光hは、ディフューザ18によって全方向に拡散され、検査位置19に、被検体であるホログラム10を、検査する表面側を上に向けて載置した場合、このホログラム10の表面に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光hを照射するようにしている。円筒光源36の高さHは、より高い方が、より垂直に近い角度からの検査光hも被検体であるホログラム10に対して照射することができるようになるために理想的ではあるが、ホログラム10からの回折光が、カメラ12に入射する程度の角度の検査光を照射できるような高さであれば良い。また、撮像レンズ22としては、第1の実施の形態と同様、テレセントリックレンズを用いるのが好適である。
【0068】
上述したように、図1に示すような平面光源11に代えて、図7に示すような円筒光源36を適用した構成とすることによっても、第1の実施の形態で得られた作用効果を奏することができる。
【0069】
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態を図9から図11を用いて説明する。
【0070】
図9は、第3の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図である。
【0071】
すなわち、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置は、被検体であるロール状に巻かれた薄板状のホログラムフィルム40を巻き取りながら表面の欠陥を検出する装置であって、ロール芯42,46およびローラ44、およびこれらを回転させる巻取装置47からなる巻取機構と、円筒光源36、カメラ12、およびスリット54を備えた黒色無反射層52とからなる検出系と、画像取込部14および画像処理装置16とからなる画像処理系とからなる。ここで、画像取込部14と、画像処理装置16との構成については、図1に示す画像取込部14と、画像処理装置16との構成と同じであるので、その説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【0072】
ロール芯42は、未検査であるホログラムフィルム40を巻いてある芯であり、ロール芯46は、検査済のホログラムフィルム40を巻き取る芯である。ロール芯42およびロール芯46は、ローラ44とともに、巻取装置47が駆動することによって、図中矢印に示す方向に回転するようにしている。これによって、ロール芯42に巻かれている未検査のホログラムフィルム40が、検出系側に供給され、検出系によって表面の欠陥検査がなされたホログラムフィルム40がロール芯46によって巻き取られるようにしている。
【0073】
検出系の黒色無反射層52には、図10の平面図中の矢印に示すように、被検体であるホログラムフィルム40が巻き取られる巻き取り方向にほぼ直交する方向に沿ってスリット54を溝切っている。そして、ローラ44が回転するとともに、スリット54の直下にホログラムフィルム40が位置するようにしている。そして、図10に示すように、スリット54を介して見えるホログラムフィルム40(この部分を「検査エリア41」と称する。)がほぼ平坦になるようにしている。
【0074】
円筒光源36は、第2の実施の形態で説明したものと同じ構成であり、図10の平面図に示すようなスリット54の中心Gが、中空部38の円筒中心軸上に存在するように配置する。このような構成とすることによって、検査エリア41の表面に対して、スリット54の直上部を除く実質的な表面側全方向から、スリット54を介して検査光を照射するようにしている。
【0075】
更に、カメラ12を、検査位置19の直上部であって、その中心が同じ円筒軸中心上に存在するように配置する。これによってカメラ12は、検査光によって照射された検査エリア41を、スリット54を介して直上部から見た画像を撮像する。また、カメラ12の前面側には、撮像レンズ22を備える。この撮像レンズ22もまた、第1および第2の実施の形態で説明したように、テレセントリックレンズ22(#a)を用いることが好ましい。テレセントリックレンズ22(#a)を用いることによって、カメラ12は、検査エリア41を直上側から見た鮮明な画像を撮像する。
【0076】
カメラ12によって撮像された画像は、画像取込部14によって電子化され、更に電子化された画像データが画像処理装置16へと出力され、画像処理装置16において検査エリア41をならべた1枚の画像データについての欠陥判定がなされるようにしている。画像取込部14および画像処理装置16の構成については、第1の実施の形態で説明した通りであるので、ここでは詳細説明を省略する。
【0077】
このようにして検査エリア41をならべた1枚の画像データについての欠陥判定がなされると、巻取装置47がロール芯42側からロール芯46側へとホログラムフィルム40を送り出すことで、次の検査エリア41をならべた1枚の画像データ(図11参照)が検査されるようにしている。
【0078】
そして、この次の検査エリア41をならべた1枚の画像データについても、上述したようにして欠陥判定を行い、これを繰り返すことによって、ホログラムフィルム40の表面欠陥の検出を連続的に行う。
【0079】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の作用について説明する。
【0080】
すなわち、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置を用いて、ロール芯42にロール状に巻かれた薄板上のホログラムフィルム40を、ロール芯46に巻き取りながら表面における欠陥の有無を判定するためには、まず、巻取装置47を駆動させる。これによって、ロール芯42およびロール芯46は、ローラ44とともに、図9中矢印に示す方向に回転する。これによって、ロール芯42に巻かれている未検査のホログラムフィルム40が、検出系側に供給され、検出系によって表面の欠陥検査がなされたホログラムフィルム40がロール芯46によって巻き取られる。
【0081】
検出系の黒色無反射層52には、図10の平面図中の矢印に示すように、被検体であるホログラムフィルム40が巻き取られる巻き取り方向に直交する方向に沿ってスリット54が溝切られている。そして、スリット54の直下にホログラムフィルム40が位置する。そして、図10に示すように、スリット54を介して見えるホログラムフィルム40の検査エリア41は、ほぼ平坦になる。
【0082】
このようにしてスリット54を介して検査エリア41が配置されると、次に、円筒光源36によってホログラムフィルム40の表面側に向けて検査光を照射する。円筒光源36から照射された検査光は、ディフューザ18によって拡散される。これによって、この検査エリア41の表面に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から、検査光が照射される。
【0083】
このように、検査エリア41に対して、直上部を除く実質的な表面側全方向から、検査光が照射された場合、万が一、この検査エリア41をならべた1枚の画像データに欠陥があり、回折格子が潰れて平らになっている箇所があると、その箇所からは真上方向(図5に示すV方向)への回折光は存在しなくなる。その結果、この箇所は、検査エリア41の直上部に配置されているカメラ12によって、例えば図6(b)に示すように黒い点kとして撮像される。
【0084】
また、被検体である検査エリア41からの回折光を、テレセントリックレンズ22(#a)を用いて、カメラ12に結像することによって、検査エリア41の直上から見た正確な画像が撮像される。
【0085】
カメラ12によって撮像された画像は、画像取込部14によって取得され、電子化された後に、この電子化した画像データは、画像処理装置16へ出力され、検査用画像データ格納部28に格納される。
【0086】
一方、基準画像データ格納部30には、被検体のホログラム10と同一仕様であり、例えば図6(a)に示すように、無欠陥のホログラムを真上から撮像して得られた画像データが予め撮影され、格納されている。
【0087】
そして、画像データ比較部32では、検査用画像データ格納部28に格納された画像データと、基準画像データ格納部30に格納された画像データとが比較される。
【0088】
更に、画像データ比較部32による比較の結果、両画像データに相違する箇所があった場合には、欠陥判定部34によってこの検査エリア41をならべた1枚の画像データに欠陥が有るものと判定される。一方、両画像データに相違する箇所が無かった場合には、この検査エリアをならべた1枚の画像データは、欠陥が無いものと判定される。
【0089】
このようにして検査エリア41をならべた1枚の画像データについての欠陥判定がなされると、巻取装置47がロール芯42側からロール芯46側へとホログラムフィルム40を送り出すことで、図11に示すように、次の検査エリア41をならべた1枚の画像データが検査される。
【0090】
そして、この次の検査エリアをならべた1枚の画像データについても、上述したようにして欠陥判定が行われ、これを繰り返すことによって、ホログラムフィルム40の表面欠陥の検出が連続的に行われる。
【0091】
上述したように、本実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置においては、上記のような作用により、被検体であるホログラムフィルム40の表面における欠陥検出を、連続的に行うことが可能となる。
【0092】
なお、第1の実施の形態と、第2の実施の形態との関係のように、円筒光源36に代えて、平面光源11を適用した構成とすることによっても、同様の作用効果を奏することができる。
【0093】
以上、本発明の好適な実施の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【0094】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被検体であるホログラムの表面に対して、ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射し、この検査光によって照射された該ホログラムの表面を直上部から見た画像データを得ることができる。
【0095】
ホログラムの表面に欠陥がある場合には、この画像データの中には、黒い点が撮像されるので、ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出することが可能なホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図
【図2】平面光源の一例を示す平面図
【図3】テレセントリックレンズの原理を説明するための模式図
【図4】非テレセントリックレンズの原理を説明するための模式図
【図5】ホログラムによる回折光の回折方向を説明するための図
【図6】ホログラムの画像データの一例を示す模式図
【図7】第2の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図
【図8】円筒光源の一例を示す斜視図
【図9】第3の実施の形態に係るホログラムの欠陥検出方法を適用したホログラム欠陥検出装置の一例を示す機能構成図
【図10】検出系の詳細図
【図11】検査エリアを説明するための模式図
【符号の説明】
h…検査光
k…黒い点
p…ピンホール
10…ホログラム
11…平面光源
12…カメラ
14…画像取込部
16…画像処理装置
17…検査台
18…ディフューザ
19…検査位置
20…撮像用穴
22…撮像レンズ
22(#a)…テレセントリックレンズ
22(#b)…非テレセントリックレンズ
24…円筒体
25…胴部
26…中空部
27…内側面
28…検査用画像データ格納部
30…基準画像データ格納部
32…画像データ比較部
34…欠陥判定部
36…円筒光源
38…中空部
40…ホログラムフィルム
41…検査エリア
42、46…ロール芯
44…ローラ
47…巻取装置
52…黒色無反射層
54…スリット
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a defect detection device and a defect detection method for detecting a defect on the surface of a hologram.
[0002]
[Prior art]
Normally, a transfer type hologram is obtained by transferring a diffraction grating pattern to a resin surface by pressing a stamper having a relief-shaped diffraction grating recorded on a plane, for example, against a resin surface, and then depositing a metal on the surface to form a reflection layer. It is manufactured by being. Of course, various materials other than resin may be used.
[0003]
Since the hologram thus formed can display images of various patterns depending on the angle of incidence of light, the hologram can be applied to an IC card or a credit card to prevent forgery or security management. Has been done.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Since the hologram is applied to forgery prevention, security management, and the like, it is required to reliably produce the hologram.
[0005]
However, as described above, holograms are formed on the order of microns and are precisely formed by very complicated patterns of diffraction gratings. Therefore, their production is not easy, and it is necessary to pay sufficient attention even in the production stage. is there.
[0006]
For example, when a hologram is manufactured in a state where foreign matter such as dust adheres to the stamper and the foreign matter is still attached, every time the stamper is pressed, the unevenness of the diffraction grating is crushed, and a correct diffraction grating pattern is obtained on the surface. Can not be.
[0007]
Normally, a hologram sees diffracted light, and thus the appearance of an image changes depending on the viewpoint. For this reason, it is not possible to view all images at once under direct reflected light or under illumination conditions using one or more light sources. Further, the visible image changes due to a slight difference in light irradiation conditions. Therefore, the image to be inspected is not stable, and the inspection result cannot maintain reliability.
[0008]
For this reason, as described above, even if a correct diffraction grating is not formed on the surface and a defective hologram is manufactured, it is difficult to detect the defect, and a large number of defective holograms are continuously manufactured. There is a problem that may be continued.
[0009]
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a hologram defect detection device and a defect detection method capable of accurately detecting a defect on the surface of a hologram.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention takes the following measures.
[0011]
That is, the invention according to claim 1 is an apparatus for detecting a defect on the surface of a thin hologram, which is an object, and substantially removes the surface of the hologram, which is the object, except for a portion immediately above the surface of the hologram. A light source for inspection light that irradiates inspection light from all directions on the front side, an imaging unit that captures an image of the surface of the hologram illuminated by the inspection light as viewed from directly above, and obtains image data. Based on the acquired image data and the image data of the hologram of the subject which has been previously imaged and acquired with the same specifications as the hologram of the subject, it is determined whether or not the surface of the hologram of the subject has a defect. Determining means for performing the determination.
[0012]
Therefore, in the hologram defect detection apparatus according to the first aspect of the present invention, if the diffraction grating is not correctly formed on the surface of the hologram, the inspection light will not be diffracted immediately above by taking the above measures. In the image data viewed from directly above, a black dot is captured.
[0013]
Therefore, when this black dot is observed, it is possible to detect a defect on the surface of the hologram with high accuracy by determining that the surface of the hologram has a defect.
[0014]
According to a second aspect of the present invention, in the hologram defect detection apparatus according to the first aspect of the present invention, the light source for inspection light is cylindrical, and the hologram as an object and the imaging means are arranged in the cylinder.
[0015]
Therefore, in the hologram defect detection apparatus according to the second aspect of the present invention, by taking the above-described means, the inspection light is applied to the subject from substantially all directions on the surface side except for the portion immediately above the surface of the hologram. Irradiation can be performed toward the surface of the hologram, and the imaging means can be arranged immediately above the surface of the hologram.
[0016]
As a result, the hologram defect detection device according to the first aspect of the present invention can be made compact.
[0017]
The invention according to claim 3 is an apparatus for detecting a defect on the surface of a hologram while winding a thin hologram wound in a roll shape as an object, wherein the winding direction in which the hologram as the object is wound. And a slit that is grooved along a direction perpendicular to the surface of the hologram, and a substantially omnidirectional surface, except for a portion immediately above the slit, with respect to the surface of the hologram that is the subject. From, a light source for inspection light that irradiates inspection light through a slit, and an inspection area that is the surface of the hologram illuminated by the inspection light, sequentially image the image viewed from directly above through the slit, and Imaging means for arranging a single piece of image data; image data obtained by the imaging means; and a hologram having the same specifications as the hologram of the subject previously imaged and obtained, and having no defect. Determining means for determining whether or not there is a defect in the inspection area based on the image data; and winding up the hologram as the subject so that the determining means can sequentially execute after the determination by the determining means. Means.
[0018]
Therefore, in the hologram defect detection device according to the third aspect of the present invention, by taking the above-described means, the surface defect is continuously detected while producing a thin hologram wound in a roll shape. be able to.
[0019]
According to a fourth aspect of the present invention, in the hologram defect detection apparatus according to the third aspect of the present invention, the inspection light source has a cylindrical shape, and the inspection area and the imaging unit are arranged in the cylinder.
[0020]
Therefore, in the hologram defect detecting device according to the fourth aspect of the present invention, by taking the above-described means, the inspection light is directed to the inspection area from substantially all directions on the surface side except the portion immediately above the surface of the hologram. And the imaging means can be arranged directly above the surface of the hologram. As a result, the hologram defect detection device according to the third aspect of the present invention can be made compact.
[0021]
According to a fifth aspect of the present invention, in the hologram defect detection apparatus according to the first or third aspect, the inspection light source has a flat plate shape, and the imaging unit is disposed immediately above.
[0022]
Therefore, in the hologram defect detection apparatus according to the fifth aspect of the present invention, by taking the above-described means, the inspection light is directed to the inspection area from substantially all directions on the surface side except the portion immediately above the surface of the hologram. And the imaging means can be arranged directly above the surface of the hologram. As a result, it is possible to accurately detect a defect on the surface of the hologram.
[0023]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the hologram defect detection apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the imaging means is disposed immediately above and provided between the imaging means and the hologram as the subject. Then, a telecentric lens for forming an image of the surface of the hologram illuminated by the inspection light as viewed from directly above the hologram by an imaging unit is added.
[0024]
The telecentric lens captures only the diffracted light from the hologram illuminated by the inspection light. Therefore, in the hologram defect detecting device according to the sixth aspect of the present invention, by taking the above measures, if the diffraction grating is not correctly formed on the surface of the hologram, the image data in the image data viewed from directly above is not obtained. A black point can be clearly imaged. As a result, it is possible to accurately detect a defect on the surface of the hologram.
[0025]
According to a seventh aspect of the present invention, in the hologram defect detection apparatus according to any one of the first to sixth aspects, the determining unit includes image data based on an image captured by the imaging unit, and image data previously captured and acquired. Comparing means for comparing the image data of a hologram having the same specifications as that of the hologram which is the subject and having no defect, and if there is a difference between the two image data as a result of the comparison by the comparing means, the defect exists. If there is no difference between the two image data, there is provided a defect determining means for determining that there is no defect.
[0026]
Therefore, in the hologram defect detection apparatus according to the seventh aspect of the present invention, by taking the above-described measures, the image data captured from immediately above the hologram as the subject is compared with the image data of the defect-free hologram. By doing so, it becomes possible to accurately detect defects on the surface of the hologram.
[0027]
The invention according to claim 8 is a method for detecting a defect on the surface of a thin hologram as an object, which is obtained by previously capturing image data of a defect-free hologram with the same specifications as the hologram as the object. In addition, the surface of the hologram, which is the subject, is irradiated with the inspection light from all directions substantially on the surface side except for the portion directly above the surface of the hologram, and the surface of the hologram irradiated by the inspection light is directly above the surface Image data obtained by capturing an image viewed from the hologram. Based on the obtained image data and the previously obtained image data of the defect-free hologram, a defect is detected on the surface of the hologram as the subject. It is determined whether or not there is.
[0028]
Accordingly, in the hologram defect detection method according to the eighth aspect of the present invention, by taking the above measures, if the diffraction grating is not correctly formed on the surface of the hologram, the inspection light will not be diffracted immediately above. In the image data viewed from directly above, a black dot is captured.
[0029]
Therefore, when this black dot is observed, it is possible to detect a defect on the surface of the hologram with high accuracy by determining that the surface of the hologram has a defect.
[0030]
A ninth aspect of the present invention is a method for detecting a defect on the surface of a hologram while winding a thin hologram wound in a roll shape as an object. Image data of the hologram of the defect is captured and acquired, and a slit that is grooved along a direction perpendicular to the winding direction in which the hologram to be inspected is wound is arranged close to the surface of the hologram. Then, on the surface of the hologram, which is the subject, the inspection light is irradiated through the slit from substantially all directions of the surface side except immediately above the slit, and the surface of the hologram irradiated by the inspection light. The inspection area is sequentially imaged as viewed from directly above through a slit, and the images are arranged into one piece of image data. This image data is combined with a previously obtained defect-free hologram. Determining whether there is a defect in the inspection area based on the image data and winding the hologram as the subject so that the next inspection area is irradiated with the inspection light after the determination is made. Is repeated to detect a defect on the surface of the thin hologram wound in a roll shape.
[0031]
Therefore, in the hologram defect detection method according to the ninth aspect of the present invention, by taking the above-described means, the surface defect is continuously detected while producing a thin hologram wound in a roll shape. be able to.
[0032]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0033]
(First Embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0034]
FIG. 1 is a functional configuration diagram illustrating an example of a hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the first embodiment is applied.
[0035]
That is, the hologram defect detection device to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied is a device that detects a defect on the surface of a thin plate-shaped hologram 10 as an object, and includes a planar light source 11 and a camera 12. , An image capturing unit 14 and an image processing device 16.
[0036]
As shown in FIG. 1, the flat light source 11 irradiates inspection light h made of, for example, white light. A diffuser 18 which is a diffusion plate for diffusing the inspection light h is arranged on the side to which the inspection light h is irradiated. Further, as shown in the elevation view of FIG. 1 and the plan view of FIG. 2, the flat light source 11 is provided with an imaging hole 20 at the center. The imaging hole 20 is arranged immediately above the inspection position 19 provided on the inspection table 17. With this configuration, when the hologram 10 to be inspected is placed at the inspection position 19 with the surface to be inspected facing upward, the surface of the hologram 10 except for the portion directly above the hologram 10 is substantially removed. The inspection light h can be radiated from all directions on the front surface side.
[0037]
In addition, the camera 12 is arranged in the imaging hole 20 so that an image of the surface of the hologram 10 illuminated by the inspection light h can be taken from directly above. As the imaging lens 22 of the camera 12, a telecentric lens is preferably used.
[0038]
As shown in FIG. 3A, the telecentric lens is configured by a set of two lenses and a pinhole p, and the surface of the hologram 10 irradiated by the inspection light h is viewed from directly above. It is suitable for capturing an image. That is, as shown in FIG. 3A, the telecentric lens 22 (#a) forms an image using only the light that travels straight, and therefore, as shown by the symbol a in FIG. Light coming from does not form an image. Therefore, when the cylindrical body 24 is viewed from directly above, as shown in FIG. 3B, an image consisting of only the trunk 25 and the hollow part 26 is obtained.
[0039]
On the other hand, a general photographing lens 22 (#b), which is not a telecentric lens, is configured as a set of two lenses as shown in FIG. 4A, and a symbol b in FIG. As shown in (2), light entering obliquely also forms an image. Therefore, even when the cylindrical body 24 is viewed from directly above, as shown in FIG. 4B, an image is formed such that the inner side surface 27 exists between the body 25 and the hollow portion 26. .
[0040]
As described above, by using the telecentric lens 22 (#a) as the imaging lens 22, the camera 12 captures an accurate image when viewed from directly above the hologram 10 that is the subject.
[0041]
The image capturing unit 14 acquires an image captured by the camera 12, digitizes the image, and outputs digitized image data to the image processing device 16.
[0042]
The image processing device 16 includes an inspection image data storage unit 28, a reference image data storage unit 30, an image data comparison unit 32, and a defect determination unit 34.
[0043]
The inspection image data storage unit 28 stores the image data output from the image capture unit 14 and, when requested by the image data comparison unit 32, stores the stored image data in the image data comparison unit 32. Output to
[0044]
In order to determine whether or not the surface of the hologram 10 as a subject has a defect, the hologram of the subject has the same specifications as the hologram of the subject, and is compared with image data obtained by imaging a hologram having no defect from directly above. Do it by doing. Therefore, image data of the same specification as the hologram of the subject and viewed from directly above the hologram having no defect is imaged in advance and stored in the reference image data storage unit 30.
[0045]
The image data comparison unit 32 compares the image data stored in the inspection image data storage unit 28 with the image data stored in the reference image data storage unit 30. As a comparison method, there is a method of calculating a difference or a ratio of gray values at the same coordinates, but in the present invention, any method may be used as long as it can substantially compare both image data.
[0046]
If there is a difference between the two image data as a result of the comparison by the image data comparison unit 32, the defect determination unit 34 determines that the surface of the hologram 10, which is the subject, has a defect. On the other hand, if there is no difference between the two image data, it is determined that the hologram 10 as the subject has no defect on the surface.
[0047]
Next, the operation of the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment configured as described above is applied will be described.
[0048]
That is, in order to determine the presence / absence of a defect on the surface of the hologram 10 to be inspected using the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied, first, the inspection position 19 is detected. The hologram 10 as a specimen is arranged with its surface facing upward, that is, facing the camera 12. In this case, the hologram 10 is set at the inspection position 19 so that the camera 12 can photograph the surface of the hologram 10 from directly above.
[0049]
When the hologram 10 to be inspected is arranged at the inspection position 19 in this way, next, the inspection light h is irradiated by the flat light source 11 toward the surface of the hologram 10 to be inspected. The inspection light h emitted from the plane light source 11 is diffused by the diffuser 18. As a result, the inspection light h is applied to the surface of the hologram 10 from substantially all directions on the surface side except the portion immediately above.
[0050]
The operation in the case where the inspection light is irradiated onto the surface of the hologram 10 from substantially all directions of the front surface side except the directly above portion will be described with reference to FIG.
[0051]
That is, in order to obtain the diffracted light diffracted in the V direction on the surface of the hologram 10, for example, the inspection light h is applied to the hologram 10 from all directions except the V direction, such as the R direction shown in FIG. Need to be irradiated. At this time, if the diffraction grating is cut at the point C of the hologram 10, diffracted light in the V direction exists.
[0052]
However, when the diffraction grating at the point C is flattened, that is, when the diffraction grating has a defect, for example, as shown in the R ′ direction in FIG. No diffracted light is present. As described above, when the point C is imaged from directly above in a state where there is no diffracted light in the V direction, it is imaged as a black point.
[0053]
Therefore, the presence or absence of a defect can be detected by comparing the image data captured in this way with the image data of a defect-free hologram having the same specifications as shown in FIG.
[0054]
Therefore, if the inspection light h is applied to the hologram 10 as an object from substantially all directions of the surface except for the portion directly above, the surface of the hologram 10 has a defect and the diffraction grating is crushed. When there is a flat portion, there is no diffracted light in the upward direction (V direction) from that portion. As a result, as shown in FIG. 6B, this portion is imaged as a black point k by the camera 12 disposed directly above the hologram 10.
[0055]
Further, by forming an image of the diffracted light from the hologram 10 as the object on the camera 12 using the telecentric lens 22 (#a), an accurate image viewed from directly above the hologram 10 as the object is obtained. The image is taken.
[0056]
After the image captured by the camera 12 is acquired by the image capturing unit 14 and digitized, the digitized image data is output to the image processing device 16 and stored in the inspection image data storage unit 28. You.
[0057]
On the other hand, the reference image data storage unit 30 stores, for example, as shown in FIG. 6A, image data that has the same specifications as the hologram 10 of the subject and is obtained by imaging a defect-free hologram from directly above. It is photographed and stored in advance.
[0058]
Then, the image data comparison unit 32 compares the image data stored in the inspection image data storage unit 28 with the image data stored in the reference image data storage unit 30.
[0059]
Further, as a result of the comparison by the image data comparing unit 32, when there is a different portion between the two image data, as indicated by a black point k in FIG. It is determined that the surface of a certain hologram 10 has a defect. On the other hand, if there is no difference between the two image data, it is determined that the hologram 10 as the subject has no defect on the surface.
[0060]
As described above, in the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied, if the surface of the hologram 10 that is the subject has a defect, Since the light does not diffract right above, it can be picked up as a black point k, for example, as shown in FIG.
[0061]
Therefore, it is possible to accurately detect a defect on the surface of the hologram 10 as an object by comparing the hologram 10 having the same specifications as the object to be inspected with a hologram having no defect with image data taken from directly above. It becomes possible.
[0062]
(Second embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0063]
FIG. 7 is a functional configuration diagram illustrating an example of a hologram defect detection device to which the hologram defect detection method according to the second embodiment is applied.
[0064]
That is, the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied is replaced with the planar light source 11 used in the first embodiment shown in FIG. Only in that a cylindrical light source 36 as shown in FIG. Therefore, in FIG. 7, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Here, only different parts will be described.
[0065]
The cylindrical light source 36 irradiates the hollow portion 38 with inspection light h made of, for example, white light. The diffuser 18 which is a diffusion plate for diffusing the inspection light h is disposed on the inner peripheral surface of the cylindrical light source 36 on the hollow portion 38 side.
[0066]
As shown in FIG. 7, such a cylindrical light source 36 is mounted on the inspection table 17, and an inspection position 19 provided on the inspection table 17 is located on the center of the cylindrical axis of the hollow portion 38. To be arranged. Further, the camera 12 is arranged immediately above the inspection position 19 so that the center thereof is located on the same cylindrical axis center.
[0067]
With this arrangement, the inspection light h emitted from the cylindrical light source 36 is diffused in all directions by the diffuser 18, and the inspection light 19 is placed on the inspection position 19 with the surface of the hologram 10 to be inspected facing upward. In this case, the inspection light h is applied to the surface of the hologram 10 from substantially all directions on the front surface side except the upper portion. Although the higher the height H of the cylindrical light source 36 is, the higher the height is, it is ideal because the inspection light h from an angle closer to the vertical can also irradiate the hologram 10 as the subject. Any height may be used as long as the inspection light can be irradiated at an angle such that the diffracted light from the hologram 10 is incident on the camera 12. It is preferable to use a telecentric lens as the imaging lens 22, as in the first embodiment.
[0068]
As described above, by adopting a configuration in which the cylindrical light source 36 as shown in FIG. 7 is applied instead of the planar light source 11 as shown in FIG. 1, the operation and effect obtained in the first embodiment can be obtained. Can play.
[0069]
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0070]
FIG. 9 is a functional configuration diagram illustrating an example of a hologram defect detection device to which the hologram defect detection method according to the third embodiment is applied.
[0071]
That is, the hologram defect detection device to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied is a device that detects a surface defect while winding up a thin hologram film 40 wound in a roll shape as an object. A detection mechanism including a winding mechanism including the roll cores 42 and 46, the roller 44, and a winding device 47 for rotating the rollers and a black light-reflective layer 52 including the cylindrical light source 36, the camera 12, and the slit 54. And an image processing system including the image capturing unit 14 and the image processing device 16. Here, the configuration of the image capturing unit 14 and the image processing device 16 is the same as the configuration of the image capturing unit 14 and the image processing device 16 shown in FIG. Here, only the different parts will be described.
[0072]
The roll core 42 is a core around which the hologram film 40 which has not been inspected is wound, and the roll core 46 is a core which winds the hologram film 40 which has been inspected. The roll core 42 and the roll core 46 are configured to rotate in the direction indicated by the arrow in the drawing by driving the winding device 47 together with the roller 44. As a result, the uninspected hologram film 40 wound on the roll core 42 is supplied to the detection system side, and the hologram film 40 on which the surface defect inspection has been performed by the detection system is wound up by the roll core 46. I have.
[0073]
As shown by an arrow in the plan view of FIG. 10, a slit 54 is formed in the black anti-reflection layer 52 of the detection system along a direction substantially perpendicular to the winding direction in which the hologram film 40 as the subject is wound. I'm cutting. Then, as the roller 44 rotates, the hologram film 40 is positioned immediately below the slit 54. Then, as shown in FIG. 10, the hologram film 40 (this portion is referred to as the “inspection area 41”) seen through the slit 54 is made substantially flat.
[0074]
The cylindrical light source 36 has the same configuration as that described in the second embodiment, and the center G of the slit 54 as shown in the plan view of FIG. Deploy. With such a configuration, the inspection light is applied to the surface of the inspection area 41 from the substantially entire surface side except the portion directly above the slit 54 via the slit 54.
[0075]
Further, the camera 12 is arranged immediately above the inspection position 19 so that the center thereof is located on the same cylindrical axis center. As a result, the camera 12 captures an image of the inspection area 41 illuminated by the inspection light as viewed from directly above via the slit 54. An imaging lens 22 is provided on the front side of the camera 12. It is preferable that the imaging lens 22 also uses the telecentric lens 22 (#a) as described in the first and second embodiments. By using the telecentric lens 22 (#a), the camera 12 captures a clear image of the inspection area 41 viewed from directly above.
[0076]
The image captured by the camera 12 is digitized by the image capturing unit 14, and the digitized image data is output to the image processing device 16. Defect determination is performed on the image data. Since the configurations of the image capturing unit 14 and the image processing device 16 are as described in the first embodiment, detailed description will be omitted here.
[0077]
When a defect is determined for one piece of image data in which the inspection area 41 is arranged in this way, the winding device 47 sends the hologram film 40 from the roll core 42 side to the roll core 46 side, so that the next One image data (see FIG. 11) on which the inspection area 41 is arranged is inspected.
[0078]
Then, the defect determination is also performed as described above for one image data in which the next inspection area 41 is arranged, and by repeating this, the surface defect of the hologram film 40 is continuously detected.
[0079]
Next, the operation of the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment configured as described above is applied will be described.
[0080]
That is, using a hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied, the hologram film 40 on a thin plate wound in a roll shape around the roll core 42 is wound around the roll core 46 while being wound around the roll core 46. In order to determine the presence or absence of a defect in, first, the winding device 47 is driven. Accordingly, the roll core 42 and the roll core 46 rotate together with the roller 44 in the direction indicated by the arrow in FIG. As a result, the uninspected hologram film 40 wound around the roll core 42 is supplied to the detection system side, and the hologram film 40, whose surface has been inspected for defects by the detection system, is wound by the roll core 46.
[0081]
As shown by the arrow in the plan view of FIG. 10, a slit 54 is formed in the black anti-reflection layer 52 of the detection system along a direction perpendicular to the winding direction in which the hologram film 40 as the subject is wound. Has been. Then, the hologram film 40 is located directly below the slit 54. Then, as shown in FIG. 10, the inspection area 41 of the hologram film 40 seen through the slit 54 becomes substantially flat.
[0082]
When the inspection area 41 is arranged via the slit 54 in this manner, the cylindrical light source 36 irradiates the inspection light toward the surface of the hologram film 40 next. The inspection light emitted from the cylindrical light source 36 is diffused by the diffuser 18. As a result, the inspection light is irradiated onto the surface of the inspection area 41 from substantially all directions on the front surface side except for the portion directly above.
[0083]
As described above, when the inspection area 41 is irradiated with the inspection light from substantially all directions of the surface side except the upper portion, there is a defect in one piece of image data in which the inspection area 41 is arranged. When there is a flat portion where the diffraction grating is crushed, there is no diffracted light in the upward direction (the V direction shown in FIG. 5) from that portion. As a result, this point is imaged by the camera 12 disposed immediately above the inspection area 41 as, for example, a black point k as shown in FIG. 6B.
[0084]
Further, by forming an image of the diffracted light from the inspection area 41, which is the subject, on the camera 12 using the telecentric lens 22 (#a), an accurate image viewed from directly above the inspection area 41 is captured. .
[0085]
After the image captured by the camera 12 is acquired by the image capturing unit 14 and digitized, the digitized image data is output to the image processing device 16 and stored in the inspection image data storage unit 28. You.
[0086]
On the other hand, the reference image data storage unit 30 has the same specifications as the hologram 10 of the subject, and for example, as shown in FIG. It is photographed and stored in advance.
[0087]
Then, the image data comparison unit 32 compares the image data stored in the inspection image data storage unit 28 with the image data stored in the reference image data storage unit 30.
[0088]
Further, as a result of the comparison by the image data comparing unit 32, when there is a difference between the two image data, the defect determining unit 34 determines that there is a defect in one piece of the image data that has arranged the inspection area 41. Is done. On the other hand, if there is no difference between the two pieces of image data, it is determined that one piece of image data including the inspection areas has no defect.
[0089]
When a defect is determined for one image data in which the inspection area 41 is arranged in this way, the winding device 47 sends the hologram film 40 from the roll core 42 side to the roll core 46 side. As shown in (1), one image data in which the next inspection area 41 is arranged is inspected.
[0090]
Then, the defect determination is also performed as described above for one image data in which the next inspection area is arranged, and by repeating this, the surface defect of the hologram film 40 is continuously detected.
[0091]
As described above, in the hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the present embodiment is applied, by the above-described operation, the defect detection on the surface of the hologram film 40 as the object is continuously performed. It is possible to do.
[0092]
Similar effects can be obtained by adopting a configuration in which the planar light source 11 is used instead of the cylindrical light source 36 as in the relationship between the first embodiment and the second embodiment. Can be.
[0093]
Although the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to such configurations. Within the scope of the technical idea described in the claims, those skilled in the art can come up with various modified examples and modified examples, and these modified examples and modified examples are also within the technical scope of the present invention. It is understood that it belongs to.
[0094]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the surface of a hologram, which is a subject, is irradiated with inspection light from substantially all directions on the surface side except for a portion immediately above the surface of the hologram, and is irradiated with the inspection light. It is possible to obtain image data in which the surface of the hologram is viewed from directly above.
[0095]
If there is a defect on the surface of the hologram, a black dot is picked up in this image data, so that a hologram defect detection apparatus and defect detection method capable of detecting a defect on the surface of the hologram with high accuracy Can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a functional configuration diagram showing an example of a hologram defect detection apparatus to which a hologram defect detection method according to a first embodiment is applied.
FIG. 2 is a plan view showing an example of a flat light source.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the principle of a telecentric lens.
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the principle of a non-telecentric lens.
FIG. 5 is a diagram for explaining a diffraction direction of diffracted light by a hologram.
FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of hologram image data.
FIG. 7 is a functional configuration diagram showing an example of a hologram defect detection device to which the hologram defect detection method according to the second embodiment is applied.
FIG. 8 is a perspective view showing an example of a cylindrical light source.
FIG. 9 is a functional configuration diagram showing an example of a hologram defect detection apparatus to which the hologram defect detection method according to the third embodiment is applied.
FIG. 10 is a detailed diagram of a detection system.
FIG. 11 is a schematic diagram for explaining an inspection area.
[Explanation of symbols]
h… Inspection light
k ... black dot
p ... pinhole
10 Hologram
11 Planar light source
12… Camera
14 ... Image capture unit
16. Image processing device
17… Inspection table
18 ... Diffuser
19… Inspection position
20 ... Imaging hole
22 ... Imaging lens
22 (#a): Telecentric lens
22 (#b): Non-telecentric lens
24 Cylindrical body
25 ... torso
26 ... hollow part
27 ... inside surface
28: Image data storage for inspection
30: Reference image data storage
32: Image data comparison unit
34: Defect judgment unit
36 ... Cylindrical light source
38 hollow part
40 ... hologram film
41… Inspection area
42, 46 ... roll core
44 ... Roller
47 ... Winding device
52: Black anti-reflection layer
54 ... Slit

Claims (9)

被検体である薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する装置であって、
前記被検体であるホログラムの表面に対して、前記ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射する検査光用光源と、
前記検査光によって照射された該ホログラムの表面を前記直上部から見た画像を撮像し、画像データを取得する撮像手段と、
前記撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像され取得された前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、前記被検体であるホログラムの表面に欠陥が有るか否かを判定する判定手段と
を備えたホログラムの欠陥検出装置。
An apparatus for detecting a defect on the surface of a thin hologram as an object,
On the surface of the hologram that is the subject, an inspection light source for irradiating inspection light from substantially all directions on the surface side except for a portion directly above the surface of the hologram,
Imaging means for capturing an image of the surface of the hologram illuminated by the inspection light as viewed from directly above, and acquiring image data;
Based on the image data acquired by the imaging means and the image data of the hologram, which has been previously imaged and acquired and has the same specifications as the hologram as the object, defects on the surface of the hologram as the object are detected. A hologram defect detection device, comprising: a determination unit that determines whether or not there is a hologram.
請求項1に記載のホログラムの欠陥検出装置において、
前記検査光用光源は円筒状であり、前記被検体であるホログラム、および前記撮像手段を略円筒内に配置するようにしたホログラムの欠陥検出装置。
The hologram defect detection device according to claim 1,
A defect detection device for a hologram, wherein the inspection light source has a cylindrical shape, and the hologram as the subject and the imaging unit are arranged in a substantially cylinder.
被検体であるロール状に巻かれた薄板状のホログラムを巻き取りながら前記ホログラムの表面の欠陥を検出する装置であって、
前記被検体であるホログラムが巻き取られる巻き取り方向に直交する方向に沿って溝切られ、該ホログラムの表面上に接近して配置されたスリットと、
前記被検体であるホログラムの表面に対して、前記スリットの直上部を除く実質的な表面側全方向から、前記スリットを介して検査光を照射する検査光用光源と、
前記検査光によって照射された該ホログラムの表面である検査エリアを、前記スリットを介して前記直上部から見た画像を順次撮像し、これをならべて1枚の画像データとする撮像手段と、
前記撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像され取得された前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、前記検査エリアに欠陥が有るか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段が順次実行できるように、前記被検体であるホログラムを巻き取る巻取手段と
を備えたホログラムの欠陥検出装置。
An apparatus for detecting a defect on the surface of the hologram while winding up a thin hologram wound in a roll shape as an object,
A slit that is grooved along a direction perpendicular to the winding direction in which the hologram as the subject is wound, and is disposed close to the surface of the hologram;
On the surface of the hologram that is the subject, from substantially all directions on the surface side except immediately above the slit, a light source for inspection light that irradiates inspection light through the slit,
Imaging means for sequentially inspecting the inspection area, which is the surface of the hologram illuminated by the inspection light, as viewed from directly above through the slit, and arranging these images as one image data;
Based on the image data obtained by the imaging unit and the image data of a hologram having the same specifications as the hologram as the subject and previously imaged and obtained, it is determined whether there is a defect in the inspection area. Determining means for determining;
A hologram defect detection device comprising: a winding unit that winds the hologram as the subject so that the determination unit can sequentially execute the hologram.
請求項3に記載のホログラムの欠陥検出装置において、
前記検査光用光源は円筒状であり、前記検査エリア、および前記撮像手段を略円筒内に配置するようにしたホログラムの欠陥検出装置。
The hologram defect detection device according to claim 3,
A hologram defect detection device, wherein the inspection light source has a cylindrical shape, and the inspection area and the imaging unit are arranged substantially in a cylinder.
請求項1または請求項3に記載のホログラムの欠陥検出装置において、
前記検査光用光源は、平板状であり、前記直上部に前記撮像手段を配置したホログラムの欠陥検出装置。
The hologram defect detection device according to claim 1 or 3,
The inspection light source is a hologram defect detection device having a flat plate shape, and the imaging unit disposed immediately above the inspection light source.
請求項1乃至5のうち何れか1項に記載のホログラムの欠陥検出装置において、
前記撮像手段を前記直上部に配置し、前記撮像手段と前記被検体であるホログラムとの間に備えられ、前記検査光によって照射された該ホログラムの表面を前記直上部から見た像を、前記撮像手段において結像させるテレセントリックレンズを付加したホログラムの欠陥検出装置。
The hologram defect detection device according to any one of claims 1 to 5,
The imaging unit is disposed immediately above, provided between the imaging unit and the hologram that is the subject, the image of the surface of the hologram illuminated by the inspection light viewed from the immediately above, A hologram defect detection device to which a telecentric lens for forming an image in an imaging unit is added.
請求項1乃至6のうち何れか1項に記載のホログラムの欠陥検出装置において、
前記判定手段は、
前記撮像手段によって撮像された画像に基づく画像データと、予め撮像され取得された前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとを比較する比較手段と、
前記比較手段による比較の結果、両画像データに相違する箇所があった場合には、前記欠陥が有るものと判定し、両画像データに相違する箇所が無かった場合には、前記欠陥が無いものと判定する欠陥判定手段と
を備えているホログラムの欠陥検出装置。
The hologram defect detection device according to any one of claims 1 to 6,
The determining means includes:
Image data based on an image captured by the imaging unit, and a comparison unit that compares the image data of a hologram having no defect with the same specifications as the hologram that is the subject that has been captured and acquired in advance,
As a result of the comparison by the comparing means, if there is a difference between the two image data, it is determined that there is the defect, and if there is no difference between the two image data, the defect is not present. A hologram defect detection device, comprising:
被検体である薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する方法であって、
予め、前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データを撮像して取得しておき、
前記被検体であるホログラムの表面に対して、前記ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射し、
前記検査光によって照射された該ホログラムの表面を前記直上部から見た画像を撮像して画像データを取得し、
この取得された画像データと、前記予め取得しておいた無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、前記被検体であるホログラムの表面に欠陥が有るか否かを判定するようにしたホログラムの欠陥検出方法。
A method for detecting a defect on the surface of a thin plate-shaped hologram that is an object,
In advance, image data of a hologram having no defect with the same specification as the hologram that is the subject is imaged and acquired,
For the surface of the hologram that is the subject, irradiate the inspection light from substantially all directions of the surface side except the upper portion of the hologram surface,
Obtain image data by capturing an image of the surface of the hologram illuminated by the inspection light as viewed from directly above,
Based on the acquired image data and the previously acquired defect-free hologram image data, the hologram is configured to determine whether there is a defect on the surface of the hologram that is the subject. Defect detection method.
被検体であるロール状に巻かれた薄板状のホログラムを巻き取りながら前記ホログラムの表面の欠陥を検出する方法であって、
予め、前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データを撮像して取得しておき、
前記被検体であるホログラムが巻き取られる巻き取り方向に直交する方向に沿って溝切られたスリットを該ホログラムの表面上に接近して配置し、
前記被検体であるホログラムの表面に対して、前記スリットの直上部を除く実質的な表面側全方向から、前記スリットを介して検査光を照射し、
前記検査光によって照射された該ホログラムの表面である検査エリアを、前記スリットを介して前記直上部から見た画像を順次撮像し、これをならべて1枚の画像データとし、
この画像データと、前記予め取得しておいた無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、前記検査エリアに欠陥が有るか否かを判定し、
前記判定がなされた後に、前記判定手段が順次実行できるように、前記被検体であるホログラムを巻き取ることを繰り返すことによって、前記ロール状に巻かれた薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出するようにしたホログラムの欠陥検出方法。
A method for detecting a defect on the surface of the hologram while winding up a thin hologram wound in a roll shape as an object,
In advance, image data of a hologram having no defect with the same specification as the hologram that is the subject is imaged and acquired,
A slit grooved along a direction perpendicular to a winding direction in which the hologram as the subject is wound is arranged close to the surface of the hologram,
On the surface of the hologram that is the subject, from substantially all directions on the surface side except directly above the slit, irradiate inspection light through the slit,
The inspection area, which is the surface of the hologram illuminated by the inspection light, sequentially captures an image viewed from directly above through the slit, and arranges them as one image data,
Based on the image data and the previously acquired defect-free hologram image data, it is determined whether the inspection area has a defect,
After the determination is made, the defect of the surface of the thin hologram wound in the roll shape is detected by repeating the winding of the hologram as the subject so that the determination means can sequentially execute the determination. Hologram defect detection method.
JP2002308596A 2002-10-23 2002-10-23 Apparatus and method for detecting defects in hologram Pending JP2004144565A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002308596A JP2004144565A (en) 2002-10-23 2002-10-23 Apparatus and method for detecting defects in hologram

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002308596A JP2004144565A (en) 2002-10-23 2002-10-23 Apparatus and method for detecting defects in hologram

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004144565A true JP2004144565A (en) 2004-05-20

Family

ID=32454694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002308596A Pending JP2004144565A (en) 2002-10-23 2002-10-23 Apparatus and method for detecting defects in hologram

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004144565A (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1793198A1 (en) * 2004-09-07 2007-06-06 National Printing Bureau, Incorporated Administrative Agency Ovd examination method and examination instrument
JP2007299305A (en) * 2006-04-27 2007-11-15 Toppan Printing Co Ltd Device for detecting image
JP2008151602A (en) * 2006-12-15 2008-07-03 Dainippon Printing Co Ltd Inspection device and inspection method
JP2008275563A (en) * 2007-05-07 2008-11-13 Dainippon Printing Co Ltd Inspection image forming device, inspecting device, inspection image forming method and inspecting method
JP2009505543A (en) * 2005-08-17 2009-02-05 ウェセックス テクノロジー オプト−エレクトロニック プロダクツ リミテッド Handheld image processing device
JP2010261744A (en) * 2009-04-30 2010-11-18 Dainippon Printing Co Ltd Method and device for inspection of volume type hologram laminate
WO2011101893A1 (en) * 2010-02-17 2011-08-25 コニカミノルタホールディングス株式会社 Method and device for detecting flaw on surface of flexible object to be tested
WO2017018101A1 (en) * 2015-07-29 2017-02-02 シーシーエス株式会社 Light projecting device
CN113554636A (en) * 2021-07-30 2021-10-26 西安电子科技大学 Chip defect detection method based on generation of countermeasure network and computer generated hologram
WO2024203351A1 (en) * 2023-03-31 2024-10-03 京セラ株式会社 Visual inspection device

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1793198A4 (en) * 2004-09-07 2013-02-20 Nat Printing Bureau Incorporated Administrative Agency Ovd examination method and examination instrument
EP1793198A1 (en) * 2004-09-07 2007-06-06 National Printing Bureau, Incorporated Administrative Agency Ovd examination method and examination instrument
JP2009505543A (en) * 2005-08-17 2009-02-05 ウェセックス テクノロジー オプト−エレクトロニック プロダクツ リミテッド Handheld image processing device
JP2007299305A (en) * 2006-04-27 2007-11-15 Toppan Printing Co Ltd Device for detecting image
JP2008151602A (en) * 2006-12-15 2008-07-03 Dainippon Printing Co Ltd Inspection device and inspection method
JP2008275563A (en) * 2007-05-07 2008-11-13 Dainippon Printing Co Ltd Inspection image forming device, inspecting device, inspection image forming method and inspecting method
JP2010261744A (en) * 2009-04-30 2010-11-18 Dainippon Printing Co Ltd Method and device for inspection of volume type hologram laminate
WO2011101893A1 (en) * 2010-02-17 2011-08-25 コニカミノルタホールディングス株式会社 Method and device for detecting flaw on surface of flexible object to be tested
WO2017018101A1 (en) * 2015-07-29 2017-02-02 シーシーエス株式会社 Light projecting device
JP2017032289A (en) * 2015-07-29 2017-02-09 シーシーエス株式会社 Light irradiation device
US10605437B2 (en) 2015-07-29 2020-03-31 Ccs Inc. Light projecting device
CN113554636A (en) * 2021-07-30 2021-10-26 西安电子科技大学 Chip defect detection method based on generation of countermeasure network and computer generated hologram
WO2024203351A1 (en) * 2023-03-31 2024-10-03 京セラ株式会社 Visual inspection device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4673733B2 (en) Surface inspection apparatus and surface inspection method
US20180144183A1 (en) Method for identifying a security pattern using an artificial 3d reconstruction
CN110441323B (en) Product surface polishing method and system
JP2007299305A (en) Device for detecting image
JP2006003364A (en) Wafer inspection method and system
TW200937008A (en) Surface inspection apparatus and surface inspection method
JP2010528281A (en) Imaging optical inspection device with pinhole camera
JP2004144565A (en) Apparatus and method for detecting defects in hologram
KR101183179B1 (en) Method for checking of cof appearance using laser 3d measuring machine
TWM376848U (en) Coin detecting apparatus
JP3676092B2 (en) Surface defect inspection equipment
TW200527405A (en) Appearance inspector
US20100181483A1 (en) Through-substrate optical imaging device and method
JP4627596B2 (en) Light reflector inspection device, method of using the same, and light reflector inspection method
US20100033708A1 (en) Optical Inspection System Using UV Light for Automated Inspection of Holograms
TW468151B (en) Method and device for optical detection of local deformations, especially bubbles, in an optical data carrier
TWI388817B (en) Method and device for measuring the defect of the CCD object by the critical angle method
JP2004239834A (en) Defect detecting apparatus and defect detection method for hologram
JP2011053228A (en) Surface inspection device
JP2004212353A (en) Optical inspection apparatus
JP3149339B2 (en) Engraving separation method and optical member inspection device
JP2011064606A (en) Quality inspection device and method of quality inspection
JP3410231B2 (en) Target plate for camera light receiving position correction and camera position correction device
JP2005043229A (en) Device for inspecting defect of transparent plate
JP3556324B2 (en) Hologram inspection apparatus and method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050916

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080305

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080624

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090203