JP2004031653A - Package and optical semiconductor element fixed module - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、内部に光学部品、光半導体素子、通電部品等を収納固定するパッケージおよび光半導体素子固定モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、光半導体素子等を固定するパッケージは、図16に示すように、内部に構成する熱電クーラー10等の通電部品やその他部品を固定する金属底板1と金属枠体2を有し、金属底板1上に構成される金属枠体2の側壁の両側に貫通突出したセラッミック等の材料からなる絶縁端子3を有している。絶縁端子3に設けられたパッケージの内外を電気的に導通する金属配線部7の所定の位置に、通電部品やその他部品のリード絶縁端子やリード線9(以後、リード部)と、通電部品やその他部品とを結ぶ金ワイヤ等の配線(以後、リード部を含めて、電気配線)を固定するため、従来は例えば特開平8−37247号が開示するとおり、また、図17〜図19に示すように絶縁端子3に切り欠き3dまたは貫通孔3cを形成し、リード部の一部を金属配線部7に半田材やYAGレーザ溶接等によって固定していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、絶縁端子3に、切り欠き3dまたは貫通孔3cを加工形成する際、比較的脆い材料である絶縁端子3には、ひび割れや欠け等の損傷を受けやすいため、製造しがたく、製造コストも余分にかかってしまう等の問題があった。
【0004】
また、半田11がパッケージの側壁2や、隣接する金属配線部7と近接しているため、リード線9を絶縁端子3に半田11によって固定する際、例えば図20に示すように隣接する金属配線部7まで半田11が濡れ広がる。または、例えば図21に示すように半田11が下方に回り込んでしまう。このため、絶縁端子3上面や下面において、側壁2や隣接する金属配線部7に接触してしまい、金属配線部7に形成されていた所望の配線パターンとの電気的特性が得られず、最悪の場合には、例えば、電気的なショートを起こしてしまうという問題があった。
【0005】
この発明は、上記した問題を解決し、リード線9が絶縁端子3の金属配線部7に対して、電気的なショート等に至らないように、容易にかつ安価に半田付けできるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本願請求項1記載の発明にかかるパッケージは、電気配線を介して電気的入力もしくは出力を行う通電部品等を固定する金属底板と、前記金属底板上に立設される金属枠体と、前記金属枠体の側壁の少なくとも内側に貫通突出し、前記金属枠体の内外間を導通させる金属配線部を有した絶縁端子と、前記絶縁端子の金属配線部に貼着固定され、かつ、前記電気配線を固定する金属部材を有することを特徴とする。
【0007】
本願請求項2記載の発明にかかるパッケージは、前記絶縁端子がストレート部材であることを特徴とする。
【0008】
本願請求項3記載の発明にかかるパッケージは、前記金属部材が、前記絶縁端子から突出するように貼着固定されていることを特徴とする。
【0009】
本願請求項4記載の発明にかかるパッケージは、前記金属部材が、前記電気配線を固定する切り欠き、または、貫通孔の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【0010】
本願請求項5記載の発明にかかるパッケージは、前記金属部材の線膨張係数が、前記絶縁端子の線膨張係数と同等の値であることを特徴とする。
【0011】
本願請求項6記載の発明にかかるパッケージは、前記金属配線部が、前記絶縁端子の突出面の少なくとも一部に設けられたことを特徴とする。
【0012】
本願請求項7記載の発明にかかる光半導体素子固定モジュールは、本願請求項1〜6のいずれか一つに記載のパッケージと、前記通電部品と、前記モジュール内部に固定される光半導体素子とを有する光半導体素子固定モジュールであって、少なくとも、前記通電部品の前記電気配線は、前記金属部材に接合されていることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態であるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールについて説明する。
【0014】
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1であるパッケージの構成を示す斜視図である。図1において、このパッケージは、金属底板1と金属枠体2を有するとともに、金属枠体2の側壁の内側および外側に貫通突出したセラミック等によって実現される絶縁性材料からなる絶縁端子3を有する。絶縁端子3は、金属枠体2の内外を導通する金属配線部7を有する。金属枠体2の外側の金属配線部7にリード端子5が貼着固定される。
【0015】
ここで、金属枠体2内側の金属配線部7は内部に構成する部品、部材、素子や通電部品等との電気的接続に用いるものであり、金属配線部7にはリード線9を固定する金属部材8が、図示しない半田等によって貼着固定される。また、金属部材8は、例えば銅やニッケル、鉄−ニッケル合金等の加工性が良く、かつ、電気伝導性を有する材料で形成される。したがって、金属部材8に、例えば切り欠き8aを形成しておき、図5に示すように、リード線9を半田11により固定することができ、しかも、絶縁端子3に切り欠き等を形成する加工を行う必要がない。このため、比較的脆い材料である絶縁端子3に、ひび割れや欠け等の損傷が生じにくくなるので、製造し易くなる。また、製造コストも抑えることが可能になるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現できる。
【0016】
(実施の形態2)
つぎに、この発明の実施の形態2について説明する。図2は、この発明の実施の形態2であるパッケージに用いられる絶縁素子の構成を示す斜視図である。図2において、絶縁端子3は、断面が「凸」型の角柱形状をもったストレート部材である。この絶縁素子3は、金属枠体2の側壁に垂直な方向に突出した突出部33aが形成される。その他の構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0017】
このように、絶縁素子3は、各表面がフラットであるストレート部材によって形成されているため、絶縁端子3に切り欠き等を切削等によって形成加工しないので、比較的脆い材料である絶縁端子3にひび割れや欠け等の損傷が生じにくくなるので製造し易くなる。また、製造コストも抑えることが可能になるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現できる。
【0018】
(実施の形態3)
つぎに、この発明の実施の形態3について説明する。図3〜図5は、この発明の実施の形態4であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材との接合関係を示す斜視図である。その他のパッケージの構成は、実施の形態1に示した構成と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。図3〜図5において、金属部材8は、絶縁端子3の突出部3aからさらに突出するように、絶縁端子3に貼着固定される。この結果、例えば図20に示すように半田11が濡れ広がったり、あるいは図21に示すように半田11が下方に回り込んでしまっても、金属枠体2の側壁や隣接する金属配線部7と金属部材8との距離が遠くなるため、金属部材8と、これら金属枠体2の側壁や隣接の金属配線部7とが接触しにくくなる。このため、所望の配線パターンと電気的特性を得やすいパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現できる。
【0019】
(実施の形態4)
つぎに、この発明の実施の形態4について説明する。図6〜10は、この発明の実施の形態4であるパッケージに用いる金属部材の構成を示す斜視図である。その他の構成のパッケージの構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0020】
図6〜図10に示した金属部材8は、切り欠き8aあるいは貫通孔8bを有する。特に、図9および図10では、金属部材8自体の形状を矩形以外の形状としている。また、金属部材8は、切り欠き8aおよび貫通孔8bの双方を持たせるようにしてもよい。さらに、切り欠き8aおよび貫通孔8bの形状は任意であり、図6〜図10に示した形状には限定されない。また、材質は、金属であるので、切削加工やめっき等が比較的容易に製造できる。
【0021】
(実施の形態5)
つぎに、この発明の実施の形態5について説明する。この実施の形態5では、上述した実施の形態1〜4に示したパッケージに用いる金属部材8の材料を、絶縁端子3の線膨張係数と線膨張係数が同等な材料、例えば、タングステン、銅−タングステン合金、鉄−ニッケル合金、鉄−ニッケル−コバルト合金(商標、コバール)等から任意に選択するようにしている。これによって、熱変形によって、金属部材8と前記絶縁端子3との線膨張係数差による歪みの発生を抑制することができるので、例えば、金属部材8が剥がれてしまう等の問題が起きにくくなり、信頼性の高いパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現することができる。
【0022】
(実施の形態6)
つぎに、この発明の実施の形態6について説明する。図11は、この発明の実施の形態6であるパッケージに用いる絶縁素子3および金属部材8の構成を示す斜視図である。図12は、図11に示した絶縁素子3と金属部材8との接合関係を示す断面図である。その他のパッケージの構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0023】
図11および図12において、金属配線部7は、絶縁端子3の突出面3aの少なくとも一部にも設けられている。この場合、例えば、図12に示すように、金属部材8を半田11で頬杖をつくように貼着固定できるため、金属部材8と金属配線部7とを一層、強固に固定できるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現することができる。
【0024】
(実施の形態7)
つぎに、この発明の実施の形態7について説明する。図13は、この発明の実施の形態7である光半導体素子固定モジュールの構成を示す断面図である。図13に示したパッケージは、実施の形態1に示したパッケージであり、このパッケージの内部に収納固定される通電部品、例えば熱電クーラー(サーモモジュールともいう)10と、光半導体素子とその他部品部材とを有し、通電部品のリード線9が、金属部材8に接合されるものである。
【0025】
図13において、この光半導体素子固定モジュールは、金属底板1上に金属枠体2が立設され、その内部に、サーモモジュール10が最も下部に配置され、その上部の固定部材15上にレーザダイオード12およびレーザダイオード12の温度を検出するサーミスタ14が配置されたヒートシンクと、レーザ光の出力をモニタするフォトダイオード13が配置された固定台とが配設されるとともに、レーザダイオード12の近傍に、レンズ固定部材18によって光学レンズ19aが固定される。一方、レーザダイオード12から出射されるレーザ光を外部に導くため、金属枠体2の側壁に口出し部6が設けられ、この口出し部6に、順次、ウィンドウ20、光学レンズ19b、フェルール部品21が配置され、フェルール部品21に接続された光ファイバ22からレーザ光が外部に導かれる。その後、パッケージ内部には、例えば窒素などが封入され、蓋部材17によって封止される。
【0026】
通電部品は、例えば、抵抗体、コンデンサ、コイル等や、それらの組み合わさった電気回路、または、ICや回路実装基板等であっても良く、それらは電気配線を前記金属部材8に貼着固定することで電気的に接合する。
【0027】
また、光半導体素子は、レーザ光を発するレーザダイオード12、あるいは、受光するフォトダイオード13等であるパッケージおよび光半導体素子固定モジュールを実現する。
【0028】
(実施の形態8)
つぎに、この発明の実施の形態8について説明する。この実施の形態8は、上述した実施の形態1〜7に示した絶縁端子3の絶縁材料を、具体的に、セラミック、ガラス、エンジニアリングプラスチック、または、エポキシ等の樹脂等で形成するようにしている。
【0029】
(実施の形態9)
つぎに、この発明の実施の形態9について説明する。この実施の形態9では、上述した実施の形態1〜8に示した金属部材8の少なくとも表面層の全体、または、所望の部分を、半田性の良い金属、例えば、Sn,Zn,Au,Ni等をめっきや蒸着等によって施すようにしている。
【0030】
また、金属部材8表面に、あらかじめ半田、例えば、Pb−Sn,Zn−Sn,Au−Sn,Au−Si等を貼着し、所定の温度に加熱することで表面の半田が溶融し貼着固定する、または、新たな半田を補いながら貼着固定するようにしている。
【0031】
(実施の形態10)
つぎに、この発明の実施の形態10について説明する。図14は、この発明の実施の形態10であるパッケージに用いる絶縁素子と金属部材との接合状態を示す図である。この実施の形態10では、上述した実施の形態1〜9において、リード線9を金属部材8にレーザ溶接を用いて貼着する。図14では、溶接点16によって、リード線9と金属部材8とが貼着されている。または、半田付けの際にリード線9が動かないようにレーザ溶接で固定したのち、半田11にて貼着固定するようにする。
【0032】
(実施の形態11)
つぎに、この発明の実施の形態11について説明する。図15は、この発明の実施の形態11であるパッケージにおける絶縁端子3とリード線との接合状態を示す図である。その他の構成は実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0033】
図15に示すように、この実施の形態11では、絶縁端子3から突出して貼着固定された金属部材8の切り欠け8a、または、貫通孔8bの上下に通じて半田11が施されるようにしている。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のパッケージおよび光半導体素子固定モジュールによれば、絶縁端子にリード線を固定するための切り欠け等を設ける必要がなくなるため、ひび割れや欠け等の損傷を受けてしまうことを防止できる。
【0035】
そして、金属部材にリード線の一部を半田付けで固定することによって、前記金属部材に半田材がとどまりやすく、また、半田の濡れ広がりや、半田の回り込み等があっても、側壁や隣接する金属配線部まである程度距離がかせげるので接触しにくくなる。この結果、金属配線部に形成されていた所望の配線パターンと電気的特性が得られ、例えば、最悪の場合である電気的なショートが起こすことを有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1であるパッケージの概要構成を示す斜視図である。および光半導体素子固定モジュールの図である。
【図2】この発明の実施の形態2であるパッケージにおける絶縁端子の構成を示す斜視図である。
【図3】この発明の実施の形態3であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材との接合状態を示す図である。
【図4】図3に示した接合状態においてリード線を配置した状態を示す図である。
【図5】図4に示した接合状態において半田によってリード線を固定した状態を示す図である。
【図6】この発明の実施の形態4であるパッケージに用いられる金属部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図7】この発明の実施の形態4であるパッケージに用いられる金属部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図8】この発明の実施の形態4であるパッケージに用いられる金属部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図9】この発明の実施の形態4であるパッケージに用いられる金属部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図10】この発明の実施の形態4であるパッケージに用いられる金属部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図11】この発明の実施の形態6であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材の構成を示す斜視図である。
【図12】この発明の実施の形態6であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材との接合状態を示す断面図である。
【図13】この発明の実施の形態7である光半導体素子固定モジュールの構成を示す断面図である。
【図14】この発明の実施の形態10であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材との接合状態を示す図である。
【図15】この発明の実施の形態11であるパッケージにおける絶縁端子と金属部材とリード線との接合状態を示す図である。
【図16】従来のパッケージの構成を示す斜視図である。
【図17】従来のパッケージに用いられる絶縁素子の斜視図と正面図である。
【図18】図17における絶縁素子にリード線が配置された状態を示す斜視図と正面図である。
【図19】図18における絶縁素子とリード線とが半田によって固定された状態を示す斜視図と正面図である。
【図20】図19における半田固定において、隣接する金属配線部まで半田が濡れ広がった一例を示す正面図である。
【図21】図19における半田固定において下方に半田が回り込んだ一例を示す正面図である。
【符号の説明】
1 金属底板
2 金属枠体
3 絶縁端子
3a,3b 突出部
3d,8a 切り欠き
3c,3e,8b 貫通孔
4 封止部材
5 リード端子
6 口出し部
7 金属配線部
8 金属部材
9 リード線
10 熱電クーラー(サーモモジュール)
11 半田
12 レーザダイオード
13 フォトダイオード
14 サーミスタ
15 固定部材
16 溶接点
17 蓋部材
18 レンズ固定部材
19a,19b 光学レンズ
20 ウィンドウ
21 フェルール部品
22 光ファイバ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a package for housing and fixing an optical component, an optical semiconductor element, a current-carrying part, and the like, and an optical semiconductor element fixing module.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a package for fixing an optical semiconductor element or the like has a metal bottom plate 1 and a
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when forming the
[0004]
Further, since the
[0005]
The present invention solves the above-mentioned problems, and a package and an optical semiconductor that can be easily and inexpensively soldered so that the
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The package according to the first aspect of the present invention includes a metal bottom plate for fixing a current-carrying component or the like that performs an electrical input or output via an electrical wiring, a metal frame that stands on the metal bottom plate, An insulating terminal having a metal wiring portion projecting through at least the inner side of the side wall of the frame body and conducting between the inside and the outside of the metal frame body, and being adhered and fixed to the metal wiring portion of the insulating terminal; and It has a metal member to be fixed.
[0007]
The package according to the second aspect of the present invention is characterized in that the insulating terminal is a straight member.
[0008]
The package according to the third aspect of the present invention is characterized in that the metal member is attached and fixed so as to protrude from the insulating terminal.
[0009]
The package according to the invention of claim 4 of the present application is characterized in that the metal member has at least one of a cutout for fixing the electric wiring and a through hole.
[0010]
The package according to the invention of claim 5 of the present application is characterized in that a linear expansion coefficient of the metal member is equal to a linear expansion coefficient of the insulating terminal.
[0011]
The package according to the invention of
[0012]
An optical semiconductor element fixing module according to the invention of
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a package and an optical semiconductor element fixing module according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0014]
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a package according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, this package has a metal bottom plate 1 and a
[0015]
Here, the
[0016]
(Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of an insulating element used in the package according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 2, the
[0017]
As described above, since the
[0018]
(Embodiment 3)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIGS. 3 to 5 are perspective views showing a bonding relationship between an insulating terminal and a metal member in the package according to the fourth embodiment of the present invention. Other configurations of the package are the same as those shown in the first embodiment, and the same components are denoted by the same reference numerals. 3 to 5, the
[0019]
(Embodiment 4)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. 6 to 10 are perspective views showing the configuration of the metal member used for the package according to the fourth embodiment of the present invention. Other configurations of the package are the same as those of the first embodiment, and the same components are denoted by the same reference numerals.
[0020]
The
[0021]
(Embodiment 5)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. In the fifth embodiment, the material of the
[0022]
(Embodiment 6)
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of the insulating
[0023]
11 and 12, the
[0024]
(Embodiment 7)
Next, a seventh embodiment of the present invention will be described. FIG. 13 is a sectional view showing a configuration of an optical semiconductor element fixing module according to
[0025]
In FIG. 13, this optical semiconductor element fixing module is such that a
[0026]
The current-carrying component may be, for example, a resistor, a capacitor, a coil, or the like, or an electric circuit combining them, or an IC, a circuit mounting board, or the like. Electrical connection.
[0027]
In addition, the optical semiconductor element realizes a package such as a
[0028]
(Embodiment 8)
Next, an eighth embodiment of the present invention will be described. In the eighth embodiment, the insulating material of the insulating
[0029]
(Embodiment 9)
Next, a ninth embodiment of the present invention will be described. In the ninth embodiment, at least the entire surface layer or a desired portion of the
[0030]
In addition, solder, for example, Pb-Sn, Zn-Sn, Au-Sn, Au-Si, or the like is pasted on the surface of the
[0031]
(Embodiment 10)
Next, a tenth embodiment of the present invention will be described. FIG. 14 is a diagram showing a bonding state between an insulating element and a metal member used in the package according to the tenth embodiment of the present invention. In
[0032]
(Embodiment 11)
Next, an eleventh embodiment of the present invention will be described. FIG. 15 is a diagram showing a bonding state between the
[0033]
As shown in FIG. 15, in the eleventh embodiment, the
[0034]
【The invention's effect】
As described above, according to the package and the optical semiconductor element fixing module of the present invention, there is no need to provide a cutout or the like for fixing the lead wire to the insulated terminal, so that the package is damaged by cracking or chipping. Can be prevented.
[0035]
Then, by fixing a part of the lead wire to the metal member by soldering, the solder material easily stays on the metal member. Since the distance to the metal wiring portion can be increased to some extent, contact becomes difficult. As a result, a desired wiring pattern and electrical characteristics formed on the metal wiring portion can be obtained, and for example, it is possible to effectively prevent, for example, the worst case electrical short circuit from occurring.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a package according to a first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram of an optical semiconductor element fixed module.
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of an insulating terminal in a package according to a second embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a diagram showing a bonding state between an insulating terminal and a metal member in a package according to a third embodiment of the present invention;
FIG. 4 is a view showing a state where lead wires are arranged in the bonding state shown in FIG. 3;
FIG. 5 is a view showing a state in which the lead wire is fixed by solder in the bonding state shown in FIG. 4;
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a configuration of a metal member used for a package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a configuration of a metal member used for a package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a perspective view showing an example of a configuration of a metal member used for a package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a perspective view showing an example of a configuration of a metal member used for a package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective view showing an example of a configuration of a metal member used for a package according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a perspective view showing a configuration of an insulating terminal and a metal member in a package according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a bonding state between an insulating terminal and a metal member in a package according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a sectional view showing a configuration of an optical semiconductor element fixing module according to a seventh embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a diagram showing a joint state between an insulating terminal and a metal member in a package according to a tenth embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a diagram showing a bonding state of an insulating terminal, a metal member, and a lead wire in a package according to an eleventh embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a conventional package.
FIG. 17 is a perspective view and a front view of an insulating element used in a conventional package.
18A and 18B are a perspective view and a front view showing a state where lead wires are arranged on the insulating element in FIG.
19 is a perspective view and a front view showing a state in which the insulating element and the lead wire in FIG. 18 are fixed by soldering.
20 is a front view showing an example in which the solder spreads to the adjacent metal wiring portion in the solder fixing in FIG. 19;
21 is a front view showing an example in which the solder wraps downward in the solder fixing in FIG. 19;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (7)
前記金属底板上に立設される金属枠体と、
前記金属枠体の側壁の少なくとも内側に貫通突出し、前記金属枠体の内外間を導通させる金属配線部を有した絶縁端子と、
前記絶縁端子の金属配線部に貼着固定され、かつ、前記電気配線を固定する金属部材と、
を備えることを特徴とするパッケージ。A metal bottom plate for fixing a current-carrying component that performs electrical input or output via electrical wiring,
A metal frame erected on the metal bottom plate,
An insulating terminal having a metal wiring portion projecting through at least the inside of the side wall of the metal frame and conducting between the inside and the outside of the metal frame;
A metal member attached and fixed to the metal wiring portion of the insulating terminal, and fixing the electric wiring,
A package comprising:
少なくとも、前記通電部品の前記電気配線は、前記金属部材に接合されていることを特徴とする光半導体素子固定モジュール。An optical semiconductor element fixing module comprising the package according to any one of claims 1 to 6, the current-carrying component, and an optical semiconductor element fixed inside the module.
At least the electrical wiring of the current-carrying part is joined to the metal member.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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