JP2004026365A - 作業台 - Google Patents
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Abstract
【課題】人手での搬出時に基板を破損することなく安全に行えるようにしたリフトピン付きの作業台を提供すること。
【解決手段】昇降機構により台部１０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピン２０を組み込んだ作業台であって、リフトピン２０はその先端に回転体２１が組み込まれていることを特徴とする。基板Ｇをスライドさせて搬出できることから、傷つけたり破損したりすることなく人手により搬出することができる。リフトピンとして、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造のものを使用することが好ましい。
【選択図】 図５
【解決手段】昇降機構により台部１０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピン２０を組み込んだ作業台であって、リフトピン２０はその先端に回転体２１が組み込まれていることを特徴とする。基板Ｇをスライドさせて搬出できることから、傷つけたり破損したりすることなく人手により搬出することができる。リフトピンとして、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造のものを使用することが好ましい。
【選択図】 図５
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板等の基板に対して加工や検査などを行う際にその基板を載置するための作業台であって、台部上に載置した基板を台部の上面から持ち上げるためのリフトピンを備えた作業台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、ガラス板などの基板に対して印刷等の加工や検査を行う場合には、定盤と呼ばれる平台状の作業台上に載せて行うのが一般的である。そして、このような作業台として、図１に示すように、載置した基板Ｇの搬出時にその基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げるためのリフトピンＰを組み込んだものが知られている。図中Ｍはエアーシリンダ等の昇降機構であり、ＳはリフトピンＰの下部に設けられたストッパである。
【０００３】
図１に示す作業台から基板を搬出するに際しては、図２に示すように、台部Ｂの中に組み込んだ複数本のリフトピンＰを昇降機構Ｍにより上昇させて基板Ｇを持ち上げ、このように持ち上げた基板Ｇを人手又はロボット等を使用して搬出する。そして、ロボットによる場合には、リフトピンＰで基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げた後に、基板Ｇの下方にアームを導入し、上方へアームを持ち上げることで基板Ｇを受け取って搬出する。一方、人手により基板Ｇを排出する場合は、リフトピンＰにより基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げ、基板Ｇの両端を持って搬出を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べたように、リフトピンを組み込んだ作業台で人手により基板を排出する場合は、ロボットによる搬出と同様に台部の上面からリフトピンにより基板を持ち上げ、基板の両端を持って搬出を行うが、この時に基板を引いてしまうと、リフトピンの先端部で基板の背面を傷つけたり、ガラス基板の場合には割ってしまうことがある。特に大型の基板ではこの可能性が高くなるため、人手での搬出は困難であった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、人手での搬出時に基板を破損することなく安全に行えるようにしたリフトピン付きの作業台を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の作業台は、昇降機構により台部の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピンを組み込んだ作業台であって、リフトピンはその先端に回転体が組み込まれていることを特徴としている。
【０００７】
そして、上記構成の作業台において、リフトピンは、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造にすることが好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、具体例を挙げて本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
図３は本発明に係る作業台の一つの実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【００１０】
この作業台は、昇降機構（図示せず）により台部１０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるように４本のリフトピン２０を組み込んだものであり、リフトピン２０としては、図４に拡大して示すように、先端に回転可能なボール２１を組み込み、下部にストッパ２０ａを設けたものが使用されている。なお、リフトピン昇降用のアクチュエータには、エアシリンダの他に、モータ、油圧シリンダ（基板重量が重い場合）が用いられる。
【００１１】
図３の作業台から基板Ｇの搬出を行うに際しては、図５に示すように、リフトピン２０をストッパ２０ａが台部１０に当たるまで上昇させ、基板Ｇを台部１０から持ち上げて支持する。この時、リフトピン２０の先端のボール２１が基板Ｇを支持するので、人手により基板Ｇをボール２１の上でスライドさせて搬出することができる。この場合、各リフトピン２０のリフト量を調節し、搬出方向へ基板Ｇを傾斜させて自重によりボール２１上を滑らせて搬出することもできる。もちろん、ロボットにより基板Ｇを搬出することも可能である。
【００１２】
図６は図３に示した作業台の変形例を示すもので、この作業台は、先端にボール２１の付いたリフトピン２０とボールが付いていないリフトピン２２の２種類を設けたものである。このタイプの作業台では、基板Ｇを台部１０から上昇させる場合には、ボールの付いていないリフトピン２２をストッパ２２ａが台部１０に当たるまで上昇させる。その後人手で搬出する場合には、ボール２１の付いたリフトピン２０をストッパ２０ａが台部１０に当たるまで上昇させて図示の如くボール２１により基板Ｇを支持する。
【００１３】
図７は本発明に係る作業台の別の実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【００１４】
この作業台は、昇降機構（図示せず）により台部３０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるように４本のリフトピン４０を組み込んだものであり、リフトピン４０としては、図８及び図９に拡大して示すように、外側ピン４１とそれより長くて先端に回転可能なボール４３を組み込んだ内側ピン４２の二重構造であって、外側ピン４１は台部３０に対して、内側ピン４２は外側ピン４１に対してそれぞれ上昇時にリフト量を規制するためのストッパ４１ａ，４２ａが設けてあるとともに、内側ピン４２は外側ピン４１より長くなっており、内側ピン４２を上昇させるとボール４３が外側ピン４１から出て、内側ピン４２を下降させるとボール４３が外側ピン４１の中に入る構造になっている。
【００１５】
図１０は上記の如き二重構造のリフトピンの駆動機構の一例を示す概略構成図であり、図示の例では外側ピン４１の中に内側ピン４２をその駆動機構ごと組み込んでいる。すなわち、外側ピン４１は下部にボックス状のフレーム４４を介してエアシリンダ４５により昇降可能となっており、そのボックス状のフレーム４４の中に内側ピン４２を昇降するためのエアシリンダ４６を配置した構造になっている。なお、リフトピン昇降用のアクチュエータには、エアシリンダの他に、モータ、油圧シリンダ（基板重量が重い場合）が用いられる。
【００１６】
図７の作業台から基板Ｇの搬出を行うに際しては、図１１に示すように、リフトピン４０を外側ピン４１のストッパ４１ａが台部３０に当たるまで上昇させ、基板Ｇを台部３０から持ち上げて外側ピン４１により支持する。この時、内側ピン４２のボール４３は外側ピン４１の中に入ったままである。ロボットによる搬出の場合は、図１２に示すように、基板Ｇを外側ピン４１で持ち上げた状態でロボットのアームＭを台部３０と基板Ｇの間に挿入し、アームＭを上方に引き上げて基板Ｇを搬出する。そして、人手により搬出する場合は、外側ピン４１で基板Ｇを持ち上げた状態から、図１３に示すように、内側ピン４２を上昇させ、内側ピン先端のボール４３で基板Ｇを支持し、この状態でボール４３の上で基板Ｇをスライドさせて搬出する。この場合、内側ピン４２のリフト量を調節し、搬出方向へ基板Ｇを傾斜させて自重によりボール４３上を滑らせて搬出することもできる。
【００１７】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による作業台は、上記した実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当然のことである。
【００１８】
例えば、上記の例では回転体としてボールを使用したが、回転体にローラを使用し、人手による搬出時の基板スライド方向を限定し、特定の方向に基板の搬出を行うようにしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、昇降機構により台部の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピンを組み込んだ作業台であって、リフトピンはその先端に回転体が組み込まれていることを特徴としているので、基板をスライドさせて搬出できることから、傷つけたり破損したりすることなく人手により搬出することができる。
【００２０】
さらに、リフトピンとして、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造のものを使用することにより、外側ピンで基板の支持を確実に行い、人手での搬出時に際しては内側ピン先端の回転体で支持してスライドできるので、人手による搬出の作業負荷が大幅に軽減できるとともに安全性も高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のリフトピン付き作業台を基板載置状態で示す概略構成図である。
【図２】図１に示す作業台を基板を持ち上げた状態で示す説明図である。
【図３】本発明に係る作業台の一つの実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【図４】図３に示す作業台に組み込まれたリフトピンの斜視図と側面図である。
【図５】図３に示す作業台を基板を持ち上げた状態で示す説明図である。
【図６】図３に示した作業台の変形例を示す概略構成図である。
【図７】本発明に係る作業台の別の実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【図８】図７に示す作業台に組み込まれたリフトピンを内側ピンを下降させた状態で示す斜視図と側面図である。
【図９】図７に示す作業台に組み込まれたリフトピンを内側ピンを上昇させた状態で示す斜視図と側面図である。
【図１０】二重構造のリフトピンの駆動機構の一例を示す概略構成図である。
【図１１】図７に示す作業台を基板を持ち上げて外側ピンで支持した状態で示す説明図である。
【図１２】図１１に示す支持状態の基板をロボットにより搬出する場合を示す説明図である。
【図１３】図１１に示す支持状態の基板を内側ピンで持ち上げてボールにより支持した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ 台部
２０ リフトピン
２０ａ ストッパ
２１ ボール
２２ リフトピン
２２ａ ストッパ
３０ 台部
４０ リフトピン
４１ 外側ピン
４１ａ ストッパ
４２ 内側ピン
４２ａ ストッパ
４３ ボール
４４ フレーム
４５，４６ エアシリンダ
Ｇ 基板
Ｍ アーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板等の基板に対して加工や検査などを行う際にその基板を載置するための作業台であって、台部上に載置した基板を台部の上面から持ち上げるためのリフトピンを備えた作業台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、ガラス板などの基板に対して印刷等の加工や検査を行う場合には、定盤と呼ばれる平台状の作業台上に載せて行うのが一般的である。そして、このような作業台として、図１に示すように、載置した基板Ｇの搬出時にその基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げるためのリフトピンＰを組み込んだものが知られている。図中Ｍはエアーシリンダ等の昇降機構であり、ＳはリフトピンＰの下部に設けられたストッパである。
【０００３】
図１に示す作業台から基板を搬出するに際しては、図２に示すように、台部Ｂの中に組み込んだ複数本のリフトピンＰを昇降機構Ｍにより上昇させて基板Ｇを持ち上げ、このように持ち上げた基板Ｇを人手又はロボット等を使用して搬出する。そして、ロボットによる場合には、リフトピンＰで基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げた後に、基板Ｇの下方にアームを導入し、上方へアームを持ち上げることで基板Ｇを受け取って搬出する。一方、人手により基板Ｇを排出する場合は、リフトピンＰにより基板Ｇを台部Ｂの上面から持ち上げ、基板Ｇの両端を持って搬出を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べたように、リフトピンを組み込んだ作業台で人手により基板を排出する場合は、ロボットによる搬出と同様に台部の上面からリフトピンにより基板を持ち上げ、基板の両端を持って搬出を行うが、この時に基板を引いてしまうと、リフトピンの先端部で基板の背面を傷つけたり、ガラス基板の場合には割ってしまうことがある。特に大型の基板ではこの可能性が高くなるため、人手での搬出は困難であった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、人手での搬出時に基板を破損することなく安全に行えるようにしたリフトピン付きの作業台を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の作業台は、昇降機構により台部の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピンを組み込んだ作業台であって、リフトピンはその先端に回転体が組み込まれていることを特徴としている。
【０００７】
そして、上記構成の作業台において、リフトピンは、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造にすることが好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、具体例を挙げて本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
図３は本発明に係る作業台の一つの実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【００１０】
この作業台は、昇降機構（図示せず）により台部１０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるように４本のリフトピン２０を組み込んだものであり、リフトピン２０としては、図４に拡大して示すように、先端に回転可能なボール２１を組み込み、下部にストッパ２０ａを設けたものが使用されている。なお、リフトピン昇降用のアクチュエータには、エアシリンダの他に、モータ、油圧シリンダ（基板重量が重い場合）が用いられる。
【００１１】
図３の作業台から基板Ｇの搬出を行うに際しては、図５に示すように、リフトピン２０をストッパ２０ａが台部１０に当たるまで上昇させ、基板Ｇを台部１０から持ち上げて支持する。この時、リフトピン２０の先端のボール２１が基板Ｇを支持するので、人手により基板Ｇをボール２１の上でスライドさせて搬出することができる。この場合、各リフトピン２０のリフト量を調節し、搬出方向へ基板Ｇを傾斜させて自重によりボール２１上を滑らせて搬出することもできる。もちろん、ロボットにより基板Ｇを搬出することも可能である。
【００１２】
図６は図３に示した作業台の変形例を示すもので、この作業台は、先端にボール２１の付いたリフトピン２０とボールが付いていないリフトピン２２の２種類を設けたものである。このタイプの作業台では、基板Ｇを台部１０から上昇させる場合には、ボールの付いていないリフトピン２２をストッパ２２ａが台部１０に当たるまで上昇させる。その後人手で搬出する場合には、ボール２１の付いたリフトピン２０をストッパ２０ａが台部１０に当たるまで上昇させて図示の如くボール２１により基板Ｇを支持する。
【００１３】
図７は本発明に係る作業台の別の実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【００１４】
この作業台は、昇降機構（図示せず）により台部３０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるように４本のリフトピン４０を組み込んだものであり、リフトピン４０としては、図８及び図９に拡大して示すように、外側ピン４１とそれより長くて先端に回転可能なボール４３を組み込んだ内側ピン４２の二重構造であって、外側ピン４１は台部３０に対して、内側ピン４２は外側ピン４１に対してそれぞれ上昇時にリフト量を規制するためのストッパ４１ａ，４２ａが設けてあるとともに、内側ピン４２は外側ピン４１より長くなっており、内側ピン４２を上昇させるとボール４３が外側ピン４１から出て、内側ピン４２を下降させるとボール４３が外側ピン４１の中に入る構造になっている。
【００１５】
図１０は上記の如き二重構造のリフトピンの駆動機構の一例を示す概略構成図であり、図示の例では外側ピン４１の中に内側ピン４２をその駆動機構ごと組み込んでいる。すなわち、外側ピン４１は下部にボックス状のフレーム４４を介してエアシリンダ４５により昇降可能となっており、そのボックス状のフレーム４４の中に内側ピン４２を昇降するためのエアシリンダ４６を配置した構造になっている。なお、リフトピン昇降用のアクチュエータには、エアシリンダの他に、モータ、油圧シリンダ（基板重量が重い場合）が用いられる。
【００１６】
図７の作業台から基板Ｇの搬出を行うに際しては、図１１に示すように、リフトピン４０を外側ピン４１のストッパ４１ａが台部３０に当たるまで上昇させ、基板Ｇを台部３０から持ち上げて外側ピン４１により支持する。この時、内側ピン４２のボール４３は外側ピン４１の中に入ったままである。ロボットによる搬出の場合は、図１２に示すように、基板Ｇを外側ピン４１で持ち上げた状態でロボットのアームＭを台部３０と基板Ｇの間に挿入し、アームＭを上方に引き上げて基板Ｇを搬出する。そして、人手により搬出する場合は、外側ピン４１で基板Ｇを持ち上げた状態から、図１３に示すように、内側ピン４２を上昇させ、内側ピン先端のボール４３で基板Ｇを支持し、この状態でボール４３の上で基板Ｇをスライドさせて搬出する。この場合、内側ピン４２のリフト量を調節し、搬出方向へ基板Ｇを傾斜させて自重によりボール４３上を滑らせて搬出することもできる。
【００１７】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による作業台は、上記した実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当然のことである。
【００１８】
例えば、上記の例では回転体としてボールを使用したが、回転体にローラを使用し、人手による搬出時の基板スライド方向を限定し、特定の方向に基板の搬出を行うようにしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、昇降機構により台部の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピンを組み込んだ作業台であって、リフトピンはその先端に回転体が組み込まれていることを特徴としているので、基板をスライドさせて搬出できることから、傷つけたり破損したりすることなく人手により搬出することができる。
【００２０】
さらに、リフトピンとして、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造のものを使用することにより、外側ピンで基板の支持を確実に行い、人手での搬出時に際しては内側ピン先端の回転体で支持してスライドできるので、人手による搬出の作業負荷が大幅に軽減できるとともに安全性も高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のリフトピン付き作業台を基板載置状態で示す概略構成図である。
【図２】図１に示す作業台を基板を持ち上げた状態で示す説明図である。
【図３】本発明に係る作業台の一つの実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【図４】図３に示す作業台に組み込まれたリフトピンの斜視図と側面図である。
【図５】図３に示す作業台を基板を持ち上げた状態で示す説明図である。
【図６】図３に示した作業台の変形例を示す概略構成図である。
【図７】本発明に係る作業台の別の実施態様を基板を載置した状態で示す概略構成図である。
【図８】図７に示す作業台に組み込まれたリフトピンを内側ピンを下降させた状態で示す斜視図と側面図である。
【図９】図７に示す作業台に組み込まれたリフトピンを内側ピンを上昇させた状態で示す斜視図と側面図である。
【図１０】二重構造のリフトピンの駆動機構の一例を示す概略構成図である。
【図１１】図７に示す作業台を基板を持ち上げて外側ピンで支持した状態で示す説明図である。
【図１２】図１１に示す支持状態の基板をロボットにより搬出する場合を示す説明図である。
【図１３】図１１に示す支持状態の基板を内側ピンで持ち上げてボールにより支持した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ 台部
２０ リフトピン
２０ａ ストッパ
２１ ボール
２２ リフトピン
２２ａ ストッパ
３０ 台部
４０ リフトピン
４１ 外側ピン
４１ａ ストッパ
４２ 内側ピン
４２ａ ストッパ
４３ ボール
４４ フレーム
４５，４６ エアシリンダ
Ｇ 基板
Ｍ アーム
Claims (2)
- 昇降機構により台部の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピンを組み込んだ作業台であって、リフトピンはその先端に回転体が組み込まれていることを特徴とする作業台。
- リフトピンは、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るようになっていることを特徴とする請求項１に記載の作業台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002182532A JP2004026365A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 作業台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002182532A JP2004026365A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 作業台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004026365A true JP2004026365A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31179005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002182532A Pending JP2004026365A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 作業台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004026365A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040009691A (ko) * | 2002-07-24 | 2004-01-31 | 주식회사 래디언테크 | 반도체 식각장비에 적용되는 웨이퍼 분리장치 및 방법 |
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-
2002
- 2002-06-24 JP JP2002182532A patent/JP2004026365A/ja active Pending
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